JP2007192776A - X-ray inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、Ｘ線検査装置に関し、特に工業製品等の透視検査又はＣＴ検査を行うためのＸ線検査装置に関する。 The present invention relates to an X-ray inspection apparatus, and more particularly to an X-ray inspection apparatus for performing fluoroscopic inspection or CT inspection of industrial products and the like.
Ｘ線検査装置は、アルミ鋳物の内部欠陥や半導体基板の部品接合状態等を非破壊検査するために使用される。一般的に、Ｘ線検査装置には、Ｘ線源と、当該Ｘ線源に対向するように、イメージインテンシファイア（以下、ＩＩと略す）とＣＣＤカメラとを組み合わせたＸ線検出器とが配置されている。なお、最近では、ＩＩとＣＣＤカメラとを組み合わせたＸ線検出器に代えて、フラットパネルＸ線検出器を使用したものも利用されている。
このようなＸ線検査装置は、Ｘ線源とＸ線検出器との間に被測定物を載置するステージを備える。そして、ステージの移動等で被測定物の位置を調整しながら、透視Ｘ線像を撮影している。また、Ｘ線検出器、又は、Ｘ線源及びＸ線検出器の傾動等で、ステージ面に対して透視用Ｘ線を照射する角度を傾斜させながら、斜め方向からの透視Ｘ線像を撮影しているものもある。このようにＸ線検査装置による非破壊検査では、様々な位置の被測定物の透視Ｘ線像を撮影している。
The X-ray inspection apparatus is used for nondestructive inspection of an internal defect of an aluminum casting, a component bonding state of a semiconductor substrate, and the like. In general, an X-ray inspection apparatus includes an X-ray source and an X-ray detector that combines an image intensifier (hereinafter abbreviated as II) and a CCD camera so as to face the X-ray source. Has been placed. Recently, a flat panel X-ray detector is used instead of an X-ray detector combining II and a CCD camera.
Such an X-ray inspection apparatus includes a stage on which an object to be measured is placed between an X-ray source and an X-ray detector. A fluoroscopic X-ray image is taken while adjusting the position of the object to be measured by moving the stage or the like. Also, fluoroscopic X-ray images are taken from an oblique direction while tilting the angle of irradiating fluoroscopic X-rays to the stage surface by tilting the X-ray detector or the X-ray source and X-ray detector. Some are doing it. Thus, in the nondestructive inspection by the X-ray inspection apparatus, fluoroscopic X-ray images of the measurement object at various positions are taken.
そして、ステージの移動、Ｘ線検出器、又は、Ｘ線源及びＸ線検出器の傾動等の複数の移動動作を行う駆動部の制御は、種々の駆動信号が与えられることによって実行される。このとき、駆動信号発生手段は、入力装置の種々の操作によって種々の駆動信号を発生することになる。 Control of the drive unit that performs a plurality of movement operations such as stage movement, X-ray detector, or tilting of the X-ray source and X-ray detector is performed by receiving various drive signals. At this time, the drive signal generating means generates various drive signals by various operations of the input device.
種々の駆動信号を発生させるための入力装置としては、例えば、ジョイスティックが挙げられる。図４は、ジョイスティック５０の一例の構成を示す斜視図である。直方体形状の本体５３の上面の中央に、棒状のスティック５１が平面視すると四方向に傾斜可能に設けられている。さらに、本体５３の上面には、４個のボタン５２ａ〜５２ｄが設けられている。このようなジョイスティック５０では、スティック５１を四方向のうちのいずれか一方向に傾斜することにより、所定の駆動信号を発生させ、ステージを四方向のうちのいずれか一方向に移動させることができる。さらに、ボタン５２ａを押圧操作することにより、所定の駆動信号を発生させ、ステージを所定の方向に回転移動させることができ、ボタン５２ｂを押圧操作することにより、所定の駆動信号を発生させ、ステージを所定の方向とは逆方向に回転移動させることができ、ボタン５２ｃを押圧操作することにより、所定の駆動信号を発生させ、ステージを上昇移動させることができ、かつ、ボタン５２ｄを押圧操作することにより、所定の駆動信号を発生させ、ステージを下降移動させることができる。
An example of an input device for generating various drive signals is a joystick. FIG. 4 is a perspective view illustrating an exemplary configuration of the
一方、最近のＸ線検査装置は、コンピュータを有するものが多い。このようなＸ線検査装置は、モニタ画面に透視Ｘ線画像の画像表示を行ったり、マウス等の入力装置により複数の移動動作を実行する駆動部を制御したり、ハードディスク等の記憶媒体に透視Ｘ線画像や駆動部の制御に関する様々なデータを保存したりしている。また、コンピュータへの入力装置に用いられるマウスとしては、種々のタイプが提案されている。例えば、図５に示すように、左右一対のクッリクボタン２３ａ、２３ｃに加えて、回転可能とされたホイールボタン２３ｂが設けられ、左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃについてのクリック操作（極めて短時間の押圧操作）もしくは押圧操作のみならず、ホイールボタン２３ｂについての回転操作もしくは押圧操作によっても、コンピュータに対する入力動作が行われるホイール付マウス２３が実用に供されている。
On the other hand, many recent X-ray inspection apparatuses have a computer. Such an X-ray inspection apparatus displays an image of a fluoroscopic X-ray image on a monitor screen, controls a drive unit that executes a plurality of moving operations by an input device such as a mouse, or fluoroscopys a storage medium such as a hard disk. Various data relating to X-ray images and control of the drive unit are stored. Various types of mice have been proposed for use in computer input devices. For example, as shown in FIG. 5, in addition to a pair of left and
このようなコンピュータを有するＸ線検査装置による複数の移動動作を実行する駆動部の制御としては、例えば、モニタ画面に画像表示されたツールバーと称される表示区分（以下、マウス用操作画面ともいう）を利用する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
図６は、コンピュータを有するＸ線検査装置により画像表示されたモニタ画面を示す図である。モニタ画面５４には、透視Ｘ線画像５５とマウス用操作画面５６とポインタ５８とが表示されている。さらに、マウス用操作画面５６には、複数のアイコン５７が表示されている。複数のアイコン５７は、種々の駆動信号を発生させるために夫々対応するものである。
そして、モニタ画面５４上をホイール付マウス２３の操作に応じて移動するポインタ５８を、複数のアイコンから選択される一のアイコンに合わせて、左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃをクリック操作することにより、ステージを四方向に並進移動させたり、ステージを回転移動させたり、ステージを昇降移動させたりすることができる。
FIG. 6 is a view showing a monitor screen image-displayed by an X-ray inspection apparatus having a computer. On the
Then, the
近年、Ｘ線検査装置では、ステージを四方向に並進移動させたり、ステージを回転移動させたり、ステージを昇降移動させたりする移動動作だけでなく、さらに独立したユニット等を搭載することにより、移動動作の種類数を増加させてきている。そのために、使用者が多様な移動動作を操作しなければならなくなってきている。 In recent years, X-ray inspection equipment moves not only by moving the stage in four directions, rotating the stage, moving the stage up and down, but also by mounting an independent unit. The number of types of movement has been increased. Therefore, the user has to operate various movement operations.
このような現状において、入力装置に用いられるジョイスティックのボタンの数を単に増やしても、Ｘ線検査装置の操作性がよくなるとは考えられない。しかも、最近のＸ線検査装置は、コンピュータを有するものが多いので、入力装置をマウスからジョイスティックに持ち替えて操作することは煩わしかった。 Under such circumstances, it is not considered that the operability of the X-ray inspection apparatus is improved simply by increasing the number of buttons of the joystick used in the input apparatus. In addition, since many recent X-ray inspection apparatuses have a computer, it has been troublesome to change the input device from a mouse to a joystick.
また、モニタ画面に画像表示されたマウス用操作画面を利用する方法がとられる場合では、マウス用操作画面に表示される複数のアイコンから選択すべき駆動信号を発生させることになる所望のアイコンを探して、マウスを操作することによりポインタを所望のアイコンに合わせて、クリックボタンをクリック操作することになる。つまり、移動動作の種類数を増加させると、アイコンの数を増やすことになる。そのために、使用者の混乱も招きかねないうえに、マウス用操作画面の画像面積も大きくなってしまう。
そこで、本発明は、Ｘ線測定光学系と被測定物との位置関係を調整する際に、ホイール付マウスを用いる簡単な操作によって、所望の移動動作で所望の方向に移動させることができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
In addition, when a method using the mouse operation screen displayed on the monitor screen is used, a desired icon that generates a drive signal to be selected from a plurality of icons displayed on the mouse operation screen is displayed. By searching and operating the mouse, the pointer is set to a desired icon and the click button is clicked. That is, increasing the number of types of movement operations increases the number of icons. For this reason, the user may be confused and the image area of the mouse operation screen will be large.
Therefore, the present invention can be moved in a desired direction by a desired movement operation by a simple operation using a mouse with a wheel when adjusting the positional relationship between the X-ray measurement optical system and the object to be measured. An object is to provide a line inspection apparatus.
すなわち、本発明のＸ線検査装置は、透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器と当該Ｘ線検出器に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源とを有するＸ線測定光学系と、前記Ｘ線検出器と前記Ｘ線源との間に被測定物を配置するステージと、前記Ｘ線測定光学系と前記被測定物との位置関係を調整する、少なくとも二つの移動動作を実行する駆動部と、少なくとも一つの押圧操作可能なクリックボタンと少なくとも一つの回転操作可能なホイールボタンとを有するホイール付マウスとを備えるＸ線検査装置であって、前記駆動部に、一のホイールボタンを回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を選択させ、さらに、一のクリックボタンを押圧操作することによって、選択された移動動作で所定の方向に移動させる駆動信号を発生する駆動信号発生手段を備えるようにしている。 That is, the X-ray inspection apparatus of the present invention includes an X-ray measurement optical system having an X-ray detector that captures a fluoroscopic X-ray image and an X-ray source that irradiates the X-ray detector with the X-ray for fluoroscopy. Execute at least two movement operations for adjusting the positional relationship between the X-ray detector and the X-ray source, the stage for placing the DUT between the X-ray detector and the X-ray source, and the X-ray measuring optical system and the DUT. An X-ray inspection apparatus comprising: a drive unit that performs, and a mouse with a wheel having at least one click button that can be pressed and at least one wheel button that can be rotated. Rotate to select one of the two movements, and then press one of the buttons to move the selected movement in a predetermined direction. So that a drive signal generating means for generating a signal.
本発明のＸ線検査装置によれば、選択対象となる移動動作の種類数にかかわらず、ホイール付マウスが有するホイールボタンを回転操作することによって、煩わしさを伴わず容易に、複数の移動動作のうちから所望の移動動作を選択することができる。さらに、ホイール付マウスが有するクリックボタンを押圧操作することによって、煩わしさを伴わず容易に、所望の移動動作で所定の方向に移動させることができる。また、入力装置をマウスからジョイスティックに持ち替えて操作することもなく、Ｘ線測定光学系と被測定物との位置関係を調整することができる。 According to the X-ray inspection apparatus of the present invention, regardless of the number of types of moving operations to be selected, a plurality of moving operations can be easily performed without bothering by rotating a wheel button of a mouse with a wheel. A desired movement operation can be selected from among them. Furthermore, by pressing the click button of the mouse with a wheel, it can be easily moved in a predetermined direction by a desired movement operation without bothering. In addition, the positional relationship between the X-ray measurement optical system and the object to be measured can be adjusted without changing the input device from a mouse to a joystick.
（その他の課題を解決するための手段および効果）
また、本発明のＸ線検査装置においては、少なくとも二つの押圧操作可能なクリックボタンと少なくとも一つの回転操作可能なホイールボタンとを有するホイール付マウスとを備えるＸ線検査装置であって、前記駆動部に、一のホイールボタンを回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を選択させ、さらに、一のクリックボタンを押圧操作することによって、選択された移動動作で所定の方向に移動させ、かつ、他の一のクリックボタンを押圧操作することによって、選択された移動動作で所定の方向とは逆方向に移動させる駆動信号を発生する駆動信号発生手段を備えるようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、一のクリックボタンもしくは他の一のクリックボタンを押圧操作することによって、所望の移動動作で所定の方向にも所定の方向とは逆方向にも移動させることができるので、選択対象となる移動動作の種類数を減らすことができる。よって、複数の移動動作のうちから所望の移動動作を素早く選択することができる。
(Means and effects for solving other problems)
In the X-ray inspection apparatus of the present invention, the X-ray inspection apparatus includes a mouse with a wheel having at least two click buttons that can be pressed and at least one wheel button that can be rotated. By rotating one wheel button to select one movement operation from at least two movement operations, and further pressing one click button to select a predetermined direction in the selected movement operation And a drive signal generating means for generating a drive signal for moving the selected click operation in a direction opposite to the predetermined direction by pressing the other click button. Good.
According to such an X-ray inspection apparatus of the present invention, by pressing one click button or another one click button, the desired moving operation is performed in a predetermined direction in a direction opposite to the predetermined direction. Therefore, the number of types of movement operations to be selected can be reduced. Therefore, a desired moving operation can be quickly selected from a plurality of moving operations.
また、本発明のＸ線検査装置においては、前記移動動作は、ステージ面に平行なＸ方向へのＸ並進移動動作、ステージ面に平行でありかつ当該Ｘ方向に垂直なＹ方向へのＹ並進移動動作、ステージ面に平行でありかつ当該Ｘ方向及びＹ方向とは異なるＷ方向へのＷ並進移動動作、ステージ面に平行でありかつ当該Ｘ方向、Ｙ方向及びＷ方向とは異なるＶ方向へのＶ並進移動動作、当該Ｘ方向、Ｙ方向、Ｗ方向及びＶ方向に垂直なＺ方向へのＺ並進移動動作、当該Ｚ方向を回転軸とする回転移動動作、又は、ステージ面に対して透視用Ｘ線を照射する角度を傾斜させる傾斜移動動作であるようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、Ｘ並進移動動作、Ｙ並進移動動作、Ｚ並進移動動作、回転移動動作、傾動移動動作のような移動動作だけでなく、Ｗ並進移動動作、Ｖ並進移動動作のような移動動作を追加しているので、７種類の移動動作を実行させることで、Ｘ線測定光学系と被測定物との位置関係を調整することができる。
ここで、Ｗ方向はＸ方向と反時計回りに４５度ずれているとともに、Ｖ方向はＸ方向と反時計回りに１３５度ずれていることが好ましいが、Ｘ方向と任意の角度でずれていてもよい。例えば、Ｗ方向はＸ方向と反時計回りに３０度ずれているとともに、Ｖ方向はＸ方向と反時計回りに１５０度ずれているものが挙げられる。
In the X-ray inspection apparatus of the present invention, the moving operation is an X translational movement operation in the X direction parallel to the stage surface, and a Y translation in the Y direction parallel to the stage surface and perpendicular to the X direction. Moving operation, W translational movement operation in the W direction parallel to the stage surface and different from the X direction and Y direction, parallel to the stage surface and in the V direction different from the X direction, Y direction and W direction V translational movement, Z translational movement in the Z direction perpendicular to the X, Y, W, and V directions, rotational movement around the Z direction as a rotation axis, or see through the stage surface An inclination movement operation for inclining the angle at which the X-ray is irradiated may be performed.
According to such an X-ray inspection apparatus of the present invention, not only a movement operation such as an X translation movement operation, a Y translation movement operation, a Z translation movement operation, a rotation movement operation, and a tilt movement operation, but also a W translation movement operation, Since a movement operation such as a V translation movement operation is added, the positional relationship between the X-ray measurement optical system and the object to be measured can be adjusted by executing seven types of movement operations.
Here, it is preferable that the W direction is deviated 45 degrees counterclockwise from the X direction, and the V direction is deviated 135 degrees counterclockwise from the X direction, but is deviated from the X direction by an arbitrary angle. Also good. For example, the W direction is offset 30 degrees counterclockwise from the X direction, and the V direction is offset 150 degrees counterclockwise from the X direction.
また、本発明のＸ線検査装置においては、モニタ画面と、前記モニタ画面に前記選択された移動動作の種類の画像表示を行う移動動作表示制御手段とを備えるようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、ホイールボタンを回転操作することによって、複数の移動動作のうちから所望の移動動作を選択する際に、モニタ画面に移動動作の種類が画像表示されるので、容易に移動動作の種類を認識することができる。
The X-ray inspection apparatus of the present invention may further include a monitor screen and a movement operation display control unit that displays an image of the selected movement operation type on the monitor screen.
According to such an X-ray inspection apparatus of the present invention, when a desired moving operation is selected from a plurality of moving operations by rotating the wheel button, the type of the moving operation is displayed on the monitor screen. Therefore, the type of movement operation can be easily recognized.
そして、本発明のＸ線検査装置においては、前記少なくとも二つの移動動作は、それぞれ順番を付され、前記一のホイールボタンを所定の方向に回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を順番に移行させ、かつ、当該一のホイールボタンを所定の方向とは逆方向に回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を逆の順番に移行させるようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、複数の移動動作のうちから所望の移動動作を選択する際に、ホイールボタンを所定の方向もしくは所定の方向とは逆の方向に回転操作することによって、順番にも逆の順番にも移動動作の種類を移行させることを可能とするので、複数の移動動作のうちから所望の移動動作を素早く選択することができる。
In the X-ray inspection apparatus according to the present invention, the at least two moving operations are each assigned an order, and the one wheel button is rotated in a predetermined direction, so that one of the at least two moving operations can be performed. By shifting the movement operation in order and rotating the one wheel button in the direction opposite to the predetermined direction, the movement operation is shifted from at least two movement operations in the reverse order. Also good.
According to such an X-ray inspection apparatus of the present invention, when a desired moving operation is selected from a plurality of moving operations, the wheel button is rotated in a predetermined direction or a direction opposite to the predetermined direction. As a result, it is possible to shift the type of the movement operation in both the order and the reverse order, so that a desired movement operation can be quickly selected from a plurality of movement operations.
さらに、本発明のＸ線検査装置においては、前記モニタ画面に、前記ホイール付マウスを操作することによって移動するポインタの画像表示を行うポインタ表示制御手段と、前記ポインタが前記モニタ画面の所定の範囲にあるときには、前記駆動信号発生手段が駆動信号を発生することを可能とし、一方、前記ポインタが前記モニタ画面の所定の範囲にないときには、前記駆動信号発生手段は駆動信号を発生することを不可能とする駆動信号作成制御手段とを備えるようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、駆動信号が発生することに制限を与えることができるので、不用意な操作による誤動作をなくすことができる。
Furthermore, in the X-ray inspection apparatus of the present invention, pointer display control means for displaying an image of a pointer that moves by operating the mouse with a wheel on the monitor screen, and the pointer is within a predetermined range of the monitor screen The drive signal generating means can generate a drive signal, while the drive signal generating means is not allowed to generate a drive signal when the pointer is not within a predetermined range of the monitor screen. Drive signal generation control means that can be provided may be provided.
According to such an X-ray inspection apparatus of the present invention, since it is possible to limit the generation of the drive signal, it is possible to eliminate malfunction due to careless operation.
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments described below, and it goes without saying that various aspects are included without departing from the spirit of the present invention.
図１は、本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図である。Ｘ線検査装置１は、Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器１２とを有するＸ線測定光学系１３と、被測定物を載置するステージ１４と、駆動部１５と、Ｘ線検査装置１全体の制御を行う制御系（コンピュータ）２０とにより構成される。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. The
Ｘ線測定光学系１３は、Ｘ線検出器１２とＸ線発生装置１１とを有する。Ｘ線検出器１２は、ＩＩと当該ＩＩの裏面に一体的に取り付けられたＣＣＤカメラとを有する。一方、Ｘ線発生装置１１は、Ｘ線源であり、ＩＩの表面に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線管を有する。
よって、ＩＩが透視用Ｘ線を検出することにより蛍光像を形成することになる。さらに、この蛍光像をＣＣＤカメラで撮影することによって、透視用Ｘ線の映像信号がコンピュータ２０に出力される。
なお、Ｘ線検出器１２は、駆動部１５のうちのＸ線検出器移動機構による傾動移動動作で、ステージ１４面に透視用Ｘ線を照射する角度を傾斜させるように、移動可能に設けられている。また、Ｘ線発生装置１１は、移動したＩＩの表面に向けて透視用Ｘ線を照射することを可能とするように形成されている。
The X-ray measurement
Therefore, a fluorescent image is formed when II detects X-ray for fluoroscopy. Further, by photographing this fluorescent image with a CCD camera, a video signal of fluoroscopic X-rays is output to the
The
ステージ１４は、板状体である。そして、ステージ１４は、Ｘ線検出器１２とＸ線発生装置１１との間に被測定物Ｓを載置する。
なお、ステージ１４は、駆動部１５のうちのステージ移動機構によるＸ並進移動動作、Ｙ並進移動動作、Ｗ並進移動動作、Ｖ並進移動動作、Ｚ並進移動動作及び回転移動動作で、図２に示すように、ステージ１４面に平行な八方向（ＸＹＷＶ方向）に移動したり、ステージ１４面に垂直な方向（Ｚ方向）を軸として回転移動（α方向）したり、ステージ１４面に垂直な方向（Ｚ方向）に昇降移動したりするように、移動可能に設けられている。なお、Ｗ方向はＸ方向と反時計回りに４５度ずれており、Ｙ方向はＸ方向と反時計回りに９０度ずれており、Ｖ方向はＸ方向と反時計回りに１３５度ずれている。
The
The
駆動部１５は、Ｘ線検出器移動機構とステージ移動機構とを有する。これにより、傾動移動動作、Ｘ並進移動動作、Ｙ並進移動動作、Ｗ並進移動動作、Ｖ並進移動動作、Ｚ並進移動動作及び回転移動動作の７種類の移動動作を実行することで、Ｘ線測定光学系１３と被測定物Ｓとの位置関係を調整する。ここで、傾動移動動作、Ｚ並進移動動作及び回転移動動作は、例えば、それぞれモータを用いて実行される。また、Ｘ並進移動動作、Ｙ並進移動動作、Ｗ並進移動動作及びＶ並進移動動作は、例えば、２個のモータを用いて実行される。つまり、２個のモータを用いることにより、ＸＹＷＶ方向にステージを移動させる。そして、それぞれのモータの回転量及び回転方向により、移動距離及び移動方向が決定される。
The
コンピュータ２０においては、Ｘ線画像表示制御手段３１、駆動信号発生手段３２、駆動信号作成制御手段３３、ポインタ表示制御手段３４、及び、移動動作表示制御手段３５の処理手段２１を備え、さらに、モニタ画面２４ａを有する表示装置２４、並びに、入力装置であるキーボード２２及びホイール付マウス２３が連結されている。
キーボード２２及びホイール付マウス２３は、それらの夫々についての種々の操作によって、コンピュータ２０に対する入力動作が行われるものである。
The
The
図３は、本発明に係るＸ線検査装置により画像表示されたモニタ画面２４ａを示す図である。モニタ画面２４ａには、透視Ｘ線画像２４ｂとポインタ２４ｃと移動動作の種類２４ｄとが表示されている。
FIG. 3 is a diagram showing a
ホイール付マウス２３は、図５を用いて説明したものと同様のものである。つまり、ホイール付マウス２３では、左クリックボタン２３ａ及び右クリックボタン２３ｃと、ホイールボタン２３ｂとが設けられている。左クリックボタン２３ａ及び右クリックボタン２３ｃの夫々に対しては、クリック操作と押圧操作とが行われる。ホイールボタン２３ｂは、破線により示される軸Ｃを有していて、軸Ｃを回転中心として矢印Ａの方向（Ａ方向）及び矢印Ｂの方向（Ｂ方向）のいずれにも回転可能とされる。よって、ホイールボタン２３ｄに対しては、Ａ方向及びＢ方向の回転操作と押圧操作とが行われる。
また、ホイール付マウス２３を机に対して移動させる操作をすることによって、モニタ画面２４ａに画像表示されたポインタ４ｃを移動することができる。
The
Further, the pointer 4c displayed on the
ポインタ表示制御手段３４は、モニタ画面２４ａにポインタ２４ｃの画像表示を行うとともに、ホイール付マウス２３から出力された入力信号に基づいて、モニタ画面２４ａに画像表示されたポインタ２４ｃを移動する制御を行うものである。
移動動作表示制御手段３５は、モニタ画面２４ａの一部に選択されている移動動作の種類２４ｄの画像表示を行うとともに、ホイール付マウス２３の種々の操作によって、移動動作の種類２４ｄを移行させる画像表示を行う制御を行うものである。
Ｘ線画像表示制御手段３１は、Ｘ線検出器１２から出力された映像信号に基づいて、モニタ画面２４ａの一部に透視Ｘ線画像２４ｂの画像表示を行う制御を行うものである。
The pointer
The moving operation display control means 35 displays an image of the moving
The X-ray image display control means 31 performs control to display an image of the
駆動信号発生手段３２は、ホイール付マウス２３の種々の操作によって、７種類の移動動作から一の移動動作を選択するとともに、選択されている移動動作を実行させる駆動信号を駆動部１５に発生する制御を行うものである。
駆動信号作成制御手段３３は、ポインタ２４ｃがモニタ画面２４ａの透視Ｘ線画像２４ｂ上にあるときには、駆動信号発生手段３２が種々の駆動信号を発生することを可能とし、一方、ポインタ２４ｃがモニタ画面２４ａの透視Ｘ線画像２４ｂ上にないときには、駆動信号発生手段３２が種々の駆動信号を発生することを不可能とする制御を行うものである。
The drive signal generating means 32 selects one movement operation from the seven types of movement operations and generates a drive signal for executing the selected movement operation in the
The drive signal creation control means 33 enables the drive signal generation means 32 to generate various drive signals when the
ここで、本発明に係るＸ線検査装置での、Ｘ線測定光学系１３と被測定物Ｓとの位置関係を調整する方法について説明する。本発明に係るＸ線検査装置では、上述したように、傾動移動動作、Ｘ並進移動動作、Ｙ並進移動動作、Ｗ並進移動動作、Ｖ並進移動動作、Ｚ並進移動動作及び回転移動動作の７種類の移動動作を実行できる。
Here, a method for adjusting the positional relationship between the X-ray measurement
（１）移動動作の実行の開始もしくは終了方法
Ｘ線測定光学系１３と被測定物Ｓとの位置関係を調整する操作を開始するときには、ホイール付マウス２３を操作することにより、モニタ画面２４ａの透視Ｘ線画像２４ｂ上に、ポインタ２４ｃを移動させる。一方、Ｘ線測定光学系１３と被測定物Ｓとの位置関係を調整する操作を終了するときには、ホイール付マウス２３を操作することにより、モニタ画面２４ａの透視Ｘ線画像２４ｂ外に、ポインタ２４ｃを移動させる。
(1) Method for Starting or Ending Execution of Movement Operation When starting an operation for adjusting the positional relationship between the X-ray measurement
（２）移動動作の選択方法
ホイール付マウス２３のホイールボタン２３ｂをＡ方向もしくはＢ方向の回転操作することによって、７種類の移動動作から一の移動動作を選択する。このとき、ホイールボタン２３ｂをＡ方向に回転操作することで、傾動移動動作→Ｘ並進移動動作→Ｙ並進移動動作→Ｗ並進移動動作→Ｖ並進移動動作→Ｚ並進移動動作→回転移動動作→傾動移動動作→・・・という順番をもって、循環的に移行させるか、又は、ホイールボタン２３ｂをＢ方向に回転操作することで、傾動移動動作→回転移動動作→Ｚ並進移動動作→Ｖ並進移動動作→Ｗ並進移動動作→Ｙ並進移動動作→Ｘ並進移動動作→傾動移動動作→・・・という逆の順番をもって、循環的に移行させる。そして、ホイールボタン２３ｂのＡ方向もしくはＢ方向の回転操作を所望の移動動作の位置で停止する。
(2) Selection Method of Moving Operation One moving operation is selected from seven types of moving operations by rotating the
なお、モニタ画面２４ａの移動動作の種類２４ｄには、選択された移動動作の種類が画像表示される。このとき、移動動作の種類２４ｄには、ホイールボタン２３ｂをＡ方向に回転操作した際に、傾動移動動作→Ｘ並進移動動作→Ｙ並進移動動作→Ｗ並進移動動作→Ｖ並進移動動作→Ｚ並進移動動作→回転移動動作→傾動移動動作→・・・という順番をもって、循環的に移行させるか、又は、ホイールボタン２３ｂをＢ方向に回転操作した際に、傾動移動動作→回転移動動作→Ｚ並進移動動作→Ｖ並進移動動作→Ｗ並進移動動作→Ｙ並進移動動作→Ｘ並進移動動作→傾動移動動作→・・・という逆の順番をもって、循環的に移行させる画像表示が行われる。つまり、７種類の移動動作から一の移動動作を選択する際に、モニタ画面２４ａで移動動作の種類の移行を認識できるように、移動動作の種類が画像表示される。よって、所望の移動動作の画像表示に移行したときに、ホイールボタン２３ｂのＡ方向もしくはＢ方向の回転操作を停止することになる。
Note that the type of movement operation selected on the
（３）移動動作の操作方法
傾動移動動作、Ｘ並進移動動作、Ｙ並進移動動作、Ｗ並進移動動作、Ｖ並進移動動作、Ｚ並進移動動作及び回転移動動作のうちから一の移動動作を選択した場合において、順にそれぞれの移動動作の操作方法について説明する。
(3) Operation method of the moving operation One moving operation is selected from the tilting moving operation, the X translational movement operation, the Y translational movement operation, the W translational movement operation, the V translational movement operation, the Z translational movement operation, and the rotational movement operation. In the case, the operation method of each moving operation will be described in order.
（３−１）傾動移動動作を選択した場合
ホイール付マウス２３の左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃを押圧操作することによって、傾動移動動作でＸ線検出器１２を移動させる。このとき、右クリックボタン２３ｃを押圧操作することで、Ｘ線発生装置１１を中心にしてＸ方向の正方向にＸ線検出器１２を移動させる。一方、左クリックボタン２３ａを押圧操作することで、Ｘ線発生装置１１を中心にしてＸ方向の負方向にＸ線検出器１２を移動させる。そして、Ｘ線検出器１２が所望の位置に来たときに、左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃの押圧操作を止める。
(3-1) When the tilt movement operation is selected By pressing the
（３−２）Ｘ並進移動動作を選択した場合
ホイール付マウス２３の左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃを押圧操作することによって、Ｘ並進移動動作でステージ１４を移動させる。このとき、右クリックボタン２３ｃを押圧操作することで、Ｘ方向の正方向にステージ１４を移動させる。一方、左クリックボタン２３ａを押圧操作することで、Ｘ方向の負方向にステージ１４を移動させる。そして、ステージ１４が所望の位置に来たときに、左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃの押圧操作を止める。
(3-2) When X translation movement operation is selected The
（３−３）Ｙ並進移動動作、Ｗ並進移動動作、又は、Ｖ並進移動動作を選択した場合
ホイール付マウス２３の左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃを押圧操作することによって、Ｙ並進移動動作、Ｗ並進移動動作又はＶ並進移動動作でステージ１４を移動させる。このとき、Ｘ並進移動動作を選択した場合と同様に、右クリックボタン２３ｃを押圧操作することで、Ｙ方向、Ｗ方向又はＶ方向の正方向にステージ１４を移動させる。一方、左クリックボタン２３ａを押圧操作することで、Ｙ方向、Ｗ方向又はＶ方向の負方向にステージ１４を移動させる。そして、ステージ１４が所望の位置に来たときに、左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃの押圧操作を止める。
(3-3) When a Y translational movement operation, a W translational movement operation, or a V translational movement operation is selected, the Y translational movement operation is performed by pressing the
（３−４）Ｚ並進移動動作を選択した場合
ホイール付マウス２３の左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃを押圧操作することによって、Ｚ並進移動動作でステージ１４を移動させる。このとき、右クリックボタン２３ｃを押圧操作することで、Ｚ方向の正方向にステージ１４を移動させる。一方、左クリックボタン２３ａを押圧操作することで、Ｚ方向の負方向にステージ１４を移動させる。そして、ステージ１４が所望の位置に来たときに、左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃの押圧操作を止める。
(3-4) When the Z translation movement operation is selected The
（３−５）回転移動動作を選択した場合
ホイール付マウス２３の左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃを押圧操作することによって、回転移動動作でステージ１４を移動させる。このとき、右クリックボタン２３ｃを押圧操作することで、Ｚ方向を中心にして右回転（α方向）でステージ１４を回転させる。一方、左クリックボタン２３ａを押圧操作することで、Ｚ方向を中心にして左回転でステージ１４を回転させる。そして、ステージ１４が所望の角度に回転したときに、左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃの押圧操作を止める。
(3-5) When rotational movement operation is selected By pressing the
したがって、Ｘ線検査装置１によれば、ホイールボタン２３ｂを回転操作することによって、煩わしさを伴わず容易に、７週類の移動動作のうちから所望の移動動作を選択することができる。さらに、煩わしさを伴わず容易に、右クリックボタン２３ａを押圧操作することによって、所望の移動動作で正方向に移動させ、かつ、左クリックボタン２３ｃを押圧操作することによって、所望の移動動作で負方向に移動させることができる。また、ホイール付マウス２３からジョイスティックに持ち替えて操作することもなく、Ｘ線測定光学系１３と被測定物Ｓとの位置関係を調整することができる。
Therefore, according to the
（別の実施形態）
上記実施形態では、二つの押圧操作可能なクリックボタンと一つの回転操作可能なホイールボタンを有するホイール付マウスとを備えるＸ線検査装置としたが、一つの押圧操作可能なクリックボタンと一つの回転操作可能なホイールボタンを有するホイール付マウスとを備えるＸ線検査装置としてもよい。
そして、上記実施形態では、移動動作として、傾動移動動作、Ｘ並進移動動作、Ｙ並進移動動作、Ｗ並進移動動作、Ｖ並進移動動作、Ｚ並進移動動作及び回転移動動作で、正負方向を設定したが、別の実施形態では、移動動作として、正方向の傾動移動動作、負方向の傾動移動動作、正方向のＸ並進移動動作、負方向のＸ並進移動動作、正方向のＹ並進移動動作、負方向のＹ並進移動動作、正方向のＶ並進移動動作、負方向のＶ並進移動動作、正方向のＷ並進移動動作、負方向のＷ並進移動動作、正方向のＺ並進移動動作、負方向のＺ並進移動動作、正方向の回転移動動作、負方向の回転移動動作で、一方向のみを設定することになる。
(Another embodiment)
In the above-described embodiment, the X-ray inspection apparatus includes two click buttons that can be operated by pressing and a mouse with a wheel that has one wheel button that can be operated by rotation. However, one click button and one rotation that can be operated by pressing. It is good also as an X-ray inspection apparatus provided with the mouse | mouth with a wheel which has a wheel button which can be operated.
And in the said embodiment, the positive / negative direction was set by tilting movement operation, X translation movement operation, Y translation movement operation, W translation movement operation, V translation movement operation, Z translation movement operation, and rotation movement operation as movement operation. However, in another embodiment, as the movement operation, the positive direction tilt movement operation, the negative direction tilt movement operation, the positive direction X translation movement operation, the negative direction X translation movement operation, the positive direction Y translation movement operation, Y translation movement in the negative direction, V translation movement in the positive direction, V translation movement in the negative direction, W translation movement in the positive direction, W translation movement in the negative direction, Z translation movement in the positive direction, negative direction Only one direction is set in the Z translation movement operation, the positive rotation movement operation, and the negative rotation movement operation.
本発明は、ホイール付マウスを用いて、Ｘ線測定光学系と被測定物との位置関係を調整するＸ線検査装置に利用することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for an X-ray inspection apparatus that adjusts the positional relationship between an X-ray measurement optical system and an object to be measured using a wheeled mouse.
１ ： Ｘ線検査装置
１１： Ｘ線発生装置（Ｘ線源）
１２： Ｘ線検出器
１３： Ｘ線測定光学系
１４： ステージ
１５： 駆動部
２０： 制御系
２３： ホイール付マウス
２４： 表示装置
２４ａ： モニタ画面
２４ｂ： 透視Ｘ線画像
３１： Ｘ線画像表示制御手段
３２： 駆動信号発生手段
1: X-ray inspection device 11: X-ray generator (X-ray source)
12: X-ray detector 13: X-ray measurement optical system 14: Stage 15: Drive unit 20: Control system 23: Mouse with wheel 24:
Claims (6)
前記Ｘ線検出器と前記Ｘ線源との間に被測定物を配置するステージと、
前記Ｘ線測定光学系と前記被測定物との位置関係を調整する、少なくとも二つの移動動作を実行する駆動部と、
少なくとも一つの押圧操作可能なクリックボタンと少なくとも一つの回転操作可能なホイールボタンとを有するホイール付マウスとを備えるＸ線検査装置であって、
前記駆動部に、一のホイールボタンを回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を選択させ、さらに、一のクリックボタンを押圧操作することによって、選択された移動動作で所定の方向に移動させる駆動信号を発生する駆動信号発生手段を備えることを特徴とするＸ線検査装置。 An X-ray measurement optical system having an X-ray detector that captures a fluoroscopic X-ray image and an X-ray source that irradiates X-rays for fluoroscopy toward the X-ray detector;
A stage for placing an object to be measured between the X-ray detector and the X-ray source;
A drive unit that performs at least two movement operations for adjusting a positional relationship between the X-ray measurement optical system and the object to be measured;
An X-ray inspection apparatus comprising a mouse with a wheel having at least one click button that can be pressed and at least one wheel button that can be rotated.
By causing the drive unit to rotate one wheel button, one moving operation is selected from at least two moving operations, and further, by pressing one click button, a predetermined moving operation is performed. An X-ray inspection apparatus comprising: drive signal generating means for generating a drive signal for moving in the direction of.
前記駆動部に、一のホイールボタンを回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を選択させ、さらに、一のクリックボタンを押圧操作することによって、選択された移動動作で所定の方向に移動させ、かつ、他の一のクリックボタンを押圧操作することによって、選択された移動動作で所定の方向とは逆方向に移動させる駆動信号を発生する駆動信号発生手段を備えることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。 An X-ray inspection apparatus comprising a mouse with a wheel having at least two click buttons that can be pressed and at least one wheel button that can be rotated.
By causing the drive unit to rotate one wheel button, one moving operation is selected from at least two moving operations, and further, by pressing one click button, a predetermined moving operation is performed. Drive signal generating means for generating a drive signal for moving in the direction opposite to the predetermined direction by the selected moving operation by pressing the other click button. The X-ray inspection apparatus according to claim 1, wherein the apparatus is an X-ray inspection apparatus.
前記モニタ画面に前記選択された移動動作の種類の画像表示を行う移動動作表示制御手段とを備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。 A monitor screen;
The X-ray inspection apparatus according to claim 1, further comprising a movement operation display control unit configured to display an image of the type of the selected movement operation on the monitor screen.
前記一のホイールボタンを所定の方向に回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を順番に移行させ、かつ、当該一のホイールボタンを所定の方向とは逆方向に回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を逆の順番に移行させることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。 The at least two movement operations are each ordered.
By rotating the one wheel button in a predetermined direction, one movement operation is shifted in order from at least two movement operations, and the one wheel button is rotated in a direction opposite to the predetermined direction. The X-ray inspection apparatus according to claim 1, wherein one moving operation is shifted in the reverse order from at least two moving operations.
前記ポインタが前記モニタ画面の所定の範囲にあるときには、前記駆動信号発生手段が駆動信号を発生することを可能とし、一方、前記ポインタが前記モニタ画面の所定の範囲にないときには、前記駆動信号発生手段は駆動信号を発生することを不可能とする駆動信号作成制御手段とを備えることを特徴とする請求項４又は５に記載のＸ線検査装置。
Pointer display control means for displaying an image of a pointer that moves by operating the mouse with a wheel on the monitor screen;
When the pointer is within a predetermined range of the monitor screen, the drive signal generating means is allowed to generate a drive signal, while when the pointer is not within the predetermined range of the monitor screen, the drive signal is generated. 6. The X-ray inspection apparatus according to claim 4, wherein the means comprises drive signal generation control means for making it impossible to generate a drive signal.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006013671A JP2007192776A (en) | 2006-01-23 | 2006-01-23 | X-ray inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006013671A JP2007192776A (en) | 2006-01-23 | 2006-01-23 | X-ray inspection device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| JP2007192776A true JP2007192776A (en) | 2007-08-02 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP2007192776A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010035414A1 (en) * | 2008-09-26 | 2010-04-01 | オリンパス株式会社 | Microscope system, storage medium in which control program therefor is stored, and control method therefor |
| JP2010079035A (en) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Olympus Corp | Microscope system, control program, and control method thereof |
-
2006
- 2006-01-23 JP JP2006013671A patent/JP2007192776A/en active Pending
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| US8339702B2 (en) | 2008-09-26 | 2012-12-25 | Olympus Corporation | Microscope system, storage medium storing control program, and control method |
| US8699129B2 (en) | 2008-09-26 | 2014-04-15 | Olympus Corporation | Microscope system, storage medium storing control program, and control method |
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