JP2007187780A - Antireflection thin film laminated body and optical display system - Google Patents

Antireflection thin film laminated body and optical display system Download PDF

Info

Publication number
JP2007187780A
JP2007187780A JP2006004550A JP2006004550A JP2007187780A JP 2007187780 A JP2007187780 A JP 2007187780A JP 2006004550 A JP2006004550 A JP 2006004550A JP 2006004550 A JP2006004550 A JP 2006004550A JP 2007187780 A JP2007187780 A JP 2007187780A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
layer
antireflection
film layer
antifouling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006004550A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigenobu Yoneyama
茂信 米山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toppan Printing Co Ltd filed Critical Toppan Printing Co Ltd
Priority to JP2006004550A priority Critical patent/JP2007187780A/en
Publication of JP2007187780A publication Critical patent/JP2007187780A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an antireflection thin film laminated body which can adequately lower reflectivity over a wide range of a visible light region and which is excellent in water repellency, fingerprint wipeability, corrosion resistance, weather resistance and adhesiveness and to provide an optical display system which is provided with the antireflection thin film laminated body at its front face. <P>SOLUTION: A conductive multilayered film constituted by alternatively laminating a high refractive index transparent thin film layer and a metal thin film layer is formed at least on a base material and an antifouling corrosion-protective layer having both an antifouling function and a corrosion-protective function is provided on the outermost layer to constitute the antireflection thin film laminated body. Further the optical display system which is provided with the antireflection thin film laminated body at its front face is also provided. The antireflection thin film laminated body is used as an optical functional filter of an optical article. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、光の反射率が低く、透過率が高く、視認性に優れ、表面の汚れを容易に拭き取り可能であり、かつ耐食性の高い反射防止薄膜積層体に関し、この反射防止薄膜積層体は光学機能性フィルタや光学表示装置の前面に好適に用いられる。   The present invention relates to an antireflection thin film laminate having low light reflectance, high transmittance, excellent visibility, easily wiping off surface dirt, and high corrosion resistance. It is suitably used for the front surface of optical functional filters and optical display devices.

CRT、液晶表示装置、プラズマディスプレイパネル(PDP)等の光学表示装置においては、外光の表示画面上への写り込みによって画像を認識しづらくなるという問題がある。光学表示装置は、最近では屋内だけでなく屋外にも持ち出される機会が増加し、表示画面上への外光の写り込みは一層深刻な問題になっている。光学表示装置のみならず、窓ガラス、眼鏡、ゴーグル等の光学物品においても同様に、外光の写り込みは視認性を悪化させてしまうという問題がある。このように、光学表示装置および光学物品においては、外光の写り込みを低減し、視認性を上げることが要求されている。そこで、外光の写り込みを低減するために、可視光領域の光に対して反射率の低い反射防止薄膜積層体を光学表示装置または光学物品の前面に設けることが行われる。   In an optical display device such as a CRT, a liquid crystal display device, or a plasma display panel (PDP), there is a problem that it becomes difficult to recognize an image due to reflection of external light on a display screen. In recent years, optical display devices have been increasingly taken not only indoors but also outdoors, and the reflection of external light on the display screen has become a more serious problem. Similarly, not only in an optical display device but also in an optical article such as a window glass, glasses, and goggles, there is a problem that reflection of outside light deteriorates visibility. As described above, the optical display device and the optical article are required to reduce the reflection of external light and improve the visibility. Therefore, in order to reduce the reflection of external light, an antireflection thin film laminate having a low reflectance with respect to light in the visible light region is provided on the front surface of the optical display device or optical article.

また、反射防止薄膜積層体に導電性を持たせることにより、電磁波シールド性能を付与できる。例えば、電磁波シールド性を付与した反射防止薄膜積層体をPDPの画像表示部の前面に設けることにより、PDP内部から発生する不要電磁波をシールドすることができる。また、電磁波シールド性を付与した反射防止薄膜積層体を、無線LANを用いた施設の窓ガラスに貼ることにより、建物の外から侵入してくる電磁波をシールドし、通信の混線を防止することができる。   Moreover, electromagnetic wave shielding performance can be imparted by imparting conductivity to the antireflection thin film laminate. For example, it is possible to shield unwanted electromagnetic waves generated from the inside of the PDP by providing an antireflection thin film laminate having an electromagnetic wave shielding property on the front surface of the image display unit of the PDP. In addition, it is possible to shield electromagnetic waves entering from the outside of buildings and prevent crosstalk of communication by pasting antireflection thin film laminates with electromagnetic shielding properties on window glass of facilities using wireless LAN. it can.

このような反射防止薄膜積層体としては、高屈折率透明薄膜層と金属薄膜層とが、高屈折率透明薄膜層と金属薄膜層との組み合わせを繰り返し単位として1回以上6回以下繰り返して積層され、さらにその上に高屈折率透明薄膜層が積層された積層構造を有するものが知られている。   As such an antireflection thin film laminate, a high refractive index transparent thin film layer and a metal thin film layer are laminated by repeating the combination of the high refractive index transparent thin film layer and the metal thin film layer once to 6 times or less. Further, those having a laminated structure in which a high refractive index transparent thin film layer is further laminated thereon are known.

しかしながら、この反射防止積層体は、高屈折率透明薄膜層と金属薄膜層との組み合わせ回数が3回以上であるため、厚膜になって透明性が低下し、また、成膜工程が増えるため、生産性が悪くなる。一方、高屈折率透明薄膜層と金属薄膜層との組み合わせ回数を減らすと、可視光領域の低波長側および高波長側の光に対する反射率が高くなり、反射率が充分に低くなる光の波長の範囲が狭くなってしまう。   However, in this antireflection laminate, the number of combinations of the high-refractive-index transparent thin film layer and the metal thin film layer is 3 times or more, so that the film becomes thick and the transparency is lowered, and the film forming process is increased. , Productivity becomes worse. On the other hand, if the number of combinations of the high refractive index transparent thin film layer and the metal thin film layer is reduced, the reflectance for light on the low wavelength side and the high wavelength side in the visible light region becomes high, and the wavelength of light at which the reflectance becomes sufficiently low. The range of becomes narrow.

金属薄膜層に銀を使用すると可視光領域で高い透過率を有する反射防止薄膜積層体を得ることができる。一方で、銀は耐食性能に劣り、経時で凝集、マイグレーション等を引き起こして欠陥となり得る。凝集、マイグレーション等の発生の原因は、大気中の酸素、硫黄、ハロゲン、アルカリ等に起因しているが、特に、高温高湿環境や、海辺の湿気った塩素雰囲気の環境など、凝集、マイグレーション等の発生因子が複数存在すると発生頻度は単独の因子が存在する場合に比べて高くなる傾向がある。   When silver is used for the metal thin film layer, an antireflection thin film laminate having high transmittance in the visible light region can be obtained. On the other hand, silver is inferior in corrosion resistance and can cause defects due to aggregation, migration, etc. over time. The cause of agglomeration, migration, etc. is due to atmospheric oxygen, sulfur, halogen, alkali, etc., but especially agglomeration, migration, such as high-temperature, high-humidity environments and seaside humid chlorine environments. When there are multiple occurrence factors such as the above, the occurrence frequency tends to be higher than when there is a single factor.

銀薄膜の劣化を抑制する方法としては、銀に他の金属を添加する方法、銀薄膜層に隣接した保護層を設ける方法がある。銀に他の金属を添加する方法に関しては、元素周期律表上で銀に近い元素の材料が凝集、マイグレーション等の発生の抑止効果が大きい。銀薄膜層に隣接した保護層を設ける方法に関しては、保護膜の材料自体が外界からの侵入物質に対して耐性を持つ、あるいは侵入物質を吸着するような材料が用いられる。銀に他の金属を添加する、および/あるいは銀薄膜層に隣接した保護層を設けることで凝集、マイグレ
ーション等が発生し始める時間を延長し、かつ発生頻度を低減することが可能である。
As a method for suppressing the deterioration of the silver thin film, there are a method of adding another metal to silver and a method of providing a protective layer adjacent to the silver thin film layer. With respect to the method of adding other metals to silver, the effect of suppressing the occurrence of aggregation, migration, etc. of the material of elements close to silver on the periodic table of elements is great. With respect to the method of providing a protective layer adjacent to the silver thin film layer, a material is used in which the material of the protective film itself is resistant to intruding substances from the outside or adsorbs the intruding substances. By adding another metal to silver and / or providing a protective layer adjacent to the silver thin film layer, it is possible to extend the time when aggregation, migration, etc. start to occur, and to reduce the frequency of occurrence.

一方、CRT、液晶表示装置、PDP等の光学表示装置の信頼性要求は年々高くなっているため、光学フィルタに対する信頼性の向上は必須の課題である。銀に他の金属を添加する方法、銀薄膜層に隣接した保護層を設ける方法以外に防食剤による銀の凝集、マイグレーション等の発生を抑止する方法がある。防食剤は銀の劣化を抑止するのに効果的である。加えて、市販の多種多様な材料が入手可能であり、使用方法も広く選べるため利便性が高い。銀に他の金属を添加する方法、銀薄膜層に隣接した保護層を設ける方法と組み合わせることで更なる銀劣化抑止の相乗効果が得られる。   On the other hand, since the reliability requirements of optical display devices such as CRTs, liquid crystal display devices, and PDPs are increasing year by year, it is an essential task to improve the reliability of optical filters. In addition to the method of adding another metal to silver and the method of providing a protective layer adjacent to the silver thin film layer, there are methods of suppressing the occurrence of silver aggregation, migration and the like due to the anticorrosive agent. Anticorrosives are effective in inhibiting silver degradation. In addition, a wide variety of commercially available materials are available, and the method of use is wide, so it is highly convenient. A further synergistic effect of inhibiting silver deterioration can be obtained by combining with a method of adding another metal to silver and a method of providing a protective layer adjacent to the silver thin film layer.

反射防止薄膜積層体の表面に防汚機能を付与することによって外界からの水分、油分、汗等の銀を劣化させる起因物質を弾き、且つ、表面の拭き取り性能を向上することができる。特に、水分、汗は銀を凝集、マイグレーションさせる塩化物、硫化物を含んでいるため防汚性能の付与は信頼性の観点から好ましい。加えて、防汚機能の付与によって表面の滑り性が増大するためテープピール試験のような密着性評価、及び擦過試験のような機械強度評価に対して有利に働く。   By imparting an antifouling function to the surface of the antireflection thin film laminate, it is possible to repel the substances causing deterioration such as moisture, oil and sweat from the outside, and to improve the wiping performance of the surface. In particular, since moisture and sweat contain chlorides and sulfides that aggregate and migrate silver, imparting antifouling performance is preferable from the viewpoint of reliability. In addition, since the slipping property of the surface is increased by providing the antifouling function, it is advantageous for adhesion evaluation such as a tape peel test and mechanical strength evaluation such as a scratch test.

銀薄膜層へ防食機能を付与する工程としては、反射防止薄膜積層体の表面に防汚層を設ける前、あるいは後の2通りがある。後者の場合、防汚剤の撥水、撥油機能のため防食剤が銀薄膜層まで浸透せず、銀薄膜層の劣化抑止のための防食機能を発現させることができない。一方、前者の場合、防食剤が反射防止薄膜積層体の基材近くにまで到達し、各層の界面に過剰に防食剤が入り込む。結果として界面の密着力が低下し、防汚機能のみ付与し、且つ防食機能は付与しない反射防止薄膜積層体に比べて膜が剥がれ易くなることが確認されている。   There are two processes for imparting an anticorrosion function to the silver thin film layer before or after providing the antifouling layer on the surface of the antireflection thin film laminate. In the latter case, the anticorrosive agent does not penetrate into the silver thin film layer due to the water and oil repellent functions of the antifouling agent, and the anticorrosive function for inhibiting deterioration of the silver thin film layer cannot be expressed. On the other hand, in the former case, the anticorrosive reaches the vicinity of the base material of the antireflection thin film laminate, and the anticorrosive enters excessively at the interface of each layer. As a result, it has been confirmed that the adhesion of the interface is reduced, and the film is easily peeled off as compared with the antireflection thin film laminate that provides only the antifouling function and does not provide the anticorrosion function.

本発明は、上記の技術的背景を考慮してなされたものであって、可視光領域の広い範囲にわたって反射率を充分に低くすることができ、撥水性、指紋拭き取り性、耐食性、耐候性および密着性に優れた反射防止薄膜積層体およびその反射防止薄膜積層体を前面に備えた光学表示装置を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in consideration of the above technical background, and can sufficiently reduce the reflectance over a wide range of visible light region, and is water repellent, fingerprint wiping property, corrosion resistance, weather resistance and An object of the present invention is to provide an antireflection thin film laminate having excellent adhesion and an optical display device having the antireflection thin film laminate on the front surface.

上記の目的を達成するために、すなわち、請求項1に係る発明は、少なくとも基材上に、高屈折率透明薄膜層と金属薄膜層とを交互に積層してなる導電性多層膜を形成して、その最外層に防汚性機能と同時に防食性機能を備える防汚防食層を設けてなることを特徴とする反射防止薄膜積層体である。   In order to achieve the above object, that is, the invention according to claim 1 is to form a conductive multilayer film formed by alternately laminating a high refractive index transparent thin film layer and a metal thin film layer on at least a substrate. The antireflection thin film laminate is provided with an antifouling and anticorrosive layer having an antifouling function and an anticorrosive function at the outermost layer.

請求項2に係る発明は、前記金属薄膜層が銀又は銀を含む合金であることを特徴とする請求項1記載の反射防止薄膜積層体である。   The invention according to claim 2 is the antireflection thin film laminate according to claim 1, wherein the metal thin film layer is silver or an alloy containing silver.

請求項3に係る発明は、前記導電性多層膜と防汚防食層との間に低屈折率透明薄膜層を設けてなることを特徴とする請求項1又は2記載の反射防止薄膜積層体である。   The invention according to claim 3 is the antireflection thin film laminate according to claim 1 or 2, wherein a low refractive index transparent thin film layer is provided between the conductive multilayer film and the antifouling and anticorrosion layer. is there.

請求項4に係る発明は、請求項1〜3のいずれか1項に記載の反射防止薄膜積層体を光学機能性フィルターとして用いることを特徴とする反射防止薄膜積層体である。   The invention according to claim 4 is an antireflection thin film laminate using the antireflection thin film laminate according to any one of claims 1 to 3 as an optical functional filter.

請求項5に係る発明は、請求項1〜3のいずれか1項に記載の反射防止薄膜積層体を光学表示装置の前面に設けたことを特徴とする光学表示装置である。   The invention according to claim 5 is an optical display device characterized in that the antireflection thin film laminate according to any one of claims 1 to 3 is provided on the front surface of the optical display device.

本発明により、可視光領域の広い範囲にわたって反射率を充分に低くすることができ、撥水性、指紋拭き取り性、耐食性、耐候性および密着性に優れた反射防止薄膜積層体を提供することができる。   According to the present invention, the reflectance can be sufficiently lowered over a wide range of visible light region, and an antireflection thin film laminate excellent in water repellency, fingerprint wiping property, corrosion resistance, weather resistance and adhesion can be provided. .

本発明の反射防止薄膜積層体を、CRT、液晶表示装置、PDP等の光学表示装置の前面に用いた光学表示装置を提供することができる。また、本発明の反射防止薄膜積層体は窓ガラス、眼鏡、ゴーグル等の光学物品に設けられる光学機能性フィルタとしても有用である。   An optical display device using the antireflection thin film laminate of the present invention on the front surface of an optical display device such as a CRT, a liquid crystal display device, or a PDP can be provided. The antireflection thin film laminate of the present invention is also useful as an optical functional filter provided in optical articles such as window glass, glasses and goggles.

以下本発明の一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の反射防止薄膜積層体の一例を示す断面図である。この反射防止薄膜積層体300は、透明基材2と、透明基材2上に設けられたハードコート層3と、ハードコート層3上に設けられたプライマー層4と、プライマー層4上に設けられた高屈折率透明薄膜層5と、高屈折率透明薄膜層5上に設けられた保護層6と、保護層6上に設けられた金属薄膜層7と、金属薄膜層7上に設けられた保護層8と、保護層8上に設けられた高屈折率透明薄膜層9と、高屈折率透明薄膜層9上に設けられた低屈折率透明薄膜層10と、低屈折率透明薄膜層10上に設けられた機能性薄膜層11と、透明基材2の他方の面に設けられた粘着層1とを有して概略構成されるものである。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of the antireflection thin film laminate of the present invention. The antireflection thin film laminate 300 is provided on the transparent substrate 2, the hard coat layer 3 provided on the transparent substrate 2, the primer layer 4 provided on the hard coat layer 3, and the primer layer 4. The high refractive index transparent thin film layer 5, the protective layer 6 provided on the high refractive index transparent thin film layer 5, the metal thin film layer 7 provided on the protective layer 6, and the metal thin film layer 7 are provided. Protective layer 8, high refractive index transparent thin film layer 9 provided on protective layer 8, low refractive index transparent thin film layer 10 provided on high refractive index transparent thin film layer 9, and low refractive index transparent thin film layer The functional thin film layer 11 provided on 10 and the pressure-sensitive adhesive layer 1 provided on the other surface of the transparent substrate 2 are roughly configured.

(基材)
透明基材2としては、透明性を有する無機化合物成形物または有機化合物成形物が挙げられる。本発明における透明性とは、可視光領域の波長の光が透過すればよいことを意味する。成形物の形状としては、表面が平滑であれば特に限定されず、板状、ロール状等が挙げられる。また、透明基材2は、透明性を有する無機化合物成形物または有機化合物成形物の積層体であってもよい。
(Base material)
Examples of the transparent substrate 2 include an inorganic compound molded product or an organic compound molded product having transparency. Transparency in the present invention means that light having a wavelength in the visible light region may be transmitted. The shape of the molded product is not particularly limited as long as the surface is smooth, and examples thereof include a plate shape and a roll shape. Further, the transparent substrate 2 may be a transparent inorganic compound molded body or an organic compound molded body laminate.

透明性を有する無機化合物成形物としては、例えば、ソーダライムガラス、硼珪酸ガラス、石英ガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、無アルカリガラス、鉛ガラス等が挙げられる。   Examples of the inorganic compound molded product having transparency include soda lime glass, borosilicate glass, quartz glass, Pyrex (registered trademark) glass, alkali-free glass, lead glass, and the like.

透明性を有する有機化合物成形物としては、プラスチックが挙げられる。プラスチックとしては、例えば、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリプロピレン、ポリエチルペンテン、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアセタール、ポリウレタン、ポリエチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリエチレンサルファイド、ポリエーテルスルフォン、ポリオレフィン、ポリアリレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、トリアセチルセルロース等が挙げられる。   An example of the organic compound molding having transparency is plastic. Examples of the plastic include polyester, polyamide, polyimide, polypropylene, polyethylpentene, polyvinyl chloride, polyvinyl acetal, polyurethane, polyethyl methacrylate, polycarbonate, polystyrene, polyethylene sulfide, polyether sulfone, polyolefin, polyarylate, polyether ether. Examples thereof include ketones, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, and triacetyl cellulose.

透明基材2の厚さは、目的の用途に応じて適宜選択され、通常25〜300μmである。有機化合物成形物には、公知の添加剤、例えば、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤、着色剤、酸化防止剤、難燃剤等が含有されていてもよい。   The thickness of the transparent substrate 2 is appropriately selected according to the intended use, and is usually 25 to 300 μm. The organic compound molded product may contain known additives such as ultraviolet absorbers, plasticizers, lubricants, colorants, antioxidants, flame retardants and the like.

(ハードコート層)
ハードコート層3は、鉛筆等による引っ掻き傷、スチールウールによる擦り傷等の機械的外傷から透明基材2表面または透明基材2上に形成された各層を防護する層である。ハードコート層3を形成する材料としては、透明性、適度な硬度および機械的強度を有するものであればよく、アクリル系樹脂、有機シリコン系樹脂、ポリシロキサン等の樹脂材料が挙げられる。
(Hard coat layer)
The hard coat layer 3 is a layer that protects each layer formed on the surface of the transparent substrate 2 or on the transparent substrate 2 from mechanical injuries such as scratches by a pencil or the like and scratches by steel wool. The material for forming the hard coat layer 3 may be any material having transparency, appropriate hardness and mechanical strength, and examples thereof include resin materials such as acrylic resins, organic silicon resins, and polysiloxanes.

アクリル系樹脂としては、例えば、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコール(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、3−メチルペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールビスβ−(メタ)アクリロイルオキシプロピオネート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリ(2−ヒドロキシエチル)イソシアネートジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、2,3−ビス(メタ)アクリロイルオキシエチルオキシメチル[2.2.1]ヘプタン、ポリ1,2−ブタジエンジ(メタ)アクリレート、1,2−ビス(メタ)アクリロイルオキシメチルヘキサン、ノナエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラデカンエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、10−デカンジオール(メタ)アクリレート、3,8−ビス(メタ)アクリロイルオキシメチルトリシクロ[5.2.10]デカン、水素添加ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、2,2−ビス(4−(メタ)アクリロイルオキシジエトキシフェニル)プロパン、1,4−ビス((メタ)アクリロイルオキシメチル)シクロヘキサン、ヒドロキシピバリン酸エステルネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、エポキシ変成ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Examples of acrylic resins include 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, and triethylene. Glycol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, dipropylene glycol di (meth) acrylate, 3-methylpentanediol di (meth) acrylate, diethylene glycol bis β- (meth) acryloyloxypropionate, tri Methylolethane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tri 2-hydroxyethyl) isocyanate di (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, 2,3-bis (meth) acryloyloxyethyloxymethyl [2.2.1] heptane, poly 1,2-butadiene di ( (Meth) acrylate, 1,2-bis (meth) acryloyloxymethylhexane, nonaethylene glycol di (meth) acrylate, tetradecanethylene glycol di (meth) acrylate, 10-decanediol (meth) acrylate, 3,8-bis ( (Meth) acryloyloxymethyltricyclo [5.2.10] decane, hydrogenated bisphenol A di (meth) acrylate, 2,2-bis (4- (meth) acryloyloxydiethoxyphenyl) propane, 1,4-bis ((Meth) acrylo ilio Xylmethyl) cyclohexane, hydroxypivalate ester neopentyl glycol di (meth) acrylate, bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate, epoxy-modified bisphenol A di (meth) acrylate, and the like.

有機シリコン系樹脂としては、例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テトラペンタエトキシシラン、テトラペンタイソプロキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、メチルトリブトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルエトキシシラン、ジメチルメトキシシラン、ジメチルプロポキシシラン、ジメチルブトキシシラン、メチルジメトキシシラン、メチルジエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン等が挙げられる。   Examples of the organic silicon resin include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetraisopropoxysilane, tetrapentaethoxysilane, tetrapentaisoproxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, methyltripropoxysilane, Examples include butoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, dimethylethoxysilane, dimethylmethoxysilane, dimethylpropoxysilane, dimethylbutoxysilane, methyldimethoxysilane, methyldiethoxysilane, and hexyltrimethoxysilane.

ハードコート層3は、これら樹脂材料を透明基材2上に成膜し、熱硬化、紫外線硬化、または電離放射線硬化法によって硬化させることによって形成される。ハードコート層3の厚さは、物理膜厚で0.5μm以上、好ましくは3〜20μm、より好ましくは3〜6μmである。   The hard coat layer 3 is formed by depositing these resin materials on the transparent substrate 2 and curing them by heat curing, ultraviolet curing, or ionizing radiation curing. The thickness of the hard coat layer 3 is 0.5 μm or more, preferably 3 to 20 μm, more preferably 3 to 6 μm in terms of physical film thickness.

ハードコート層3に、平均粒子径が0.01〜3μmの透明微粒子を分散させて、アンチグレアと呼ばれる処理を施してもよい。ハードコート層3中の微粒子により表面が微細な凹凸状になって光の拡散性が向上し、光の反射をより低減できる。   Transparent hard particles having an average particle diameter of 0.01 to 3 μm may be dispersed in the hard coat layer 3 and subjected to a process called antiglare. The fine particles in the hard coat layer 3 have fine irregularities on the surface, improving the light diffusibility and further reducing the reflection of light.

ハードコート層3は、表面処理が施されていることが好ましい。表面処理を施すことにより、隣接する層との密着性を向上させることができる。ハードコート層3の表面処理としては、例えば、コロナ処理法、蒸着処理法、電子ビーム処理法、高周波放電プラズマ処理法、スパッタリング処理法、イオンビーム処理法、大気圧グロー放電プラズマ処理法、アルカリ処理法、酸処理法等が挙げられる。   The hard coat layer 3 is preferably subjected to a surface treatment. By performing the surface treatment, the adhesion with an adjacent layer can be improved. Examples of the surface treatment of the hard coat layer 3 include corona treatment, vapor deposition, electron beam treatment, high frequency discharge plasma treatment, sputtering treatment, ion beam treatment, atmospheric pressure glow discharge plasma treatment, and alkali treatment. Method, acid treatment method and the like.

(プライマー層)
プライマー層4は、ハードコート層3と導電性多層膜100との間の密着性を向上させる層である。プライマー層4の材料としては、例えば、シリコン、ニッケル、クロム、錫、金、銀、白金、亜鉛、チタン、タングステン、ジルコニウム、パラジウム等の金属;これら金属の2種類以上からなる合金;これらの酸化物、弗化物、硫化物、窒化物等が挙げ
られる。酸化物、弗化物、硫化物、窒化物の化学組成は、密着性が向上するならば、化学量論的な組成と一致しなくてもよい。
(Primer layer)
The primer layer 4 is a layer that improves the adhesion between the hard coat layer 3 and the conductive multilayer film 100. Examples of the material of the primer layer 4 include metals such as silicon, nickel, chromium, tin, gold, silver, platinum, zinc, titanium, tungsten, zirconium, and palladium; alloys composed of two or more of these metals; Products, fluorides, sulfides, nitrides and the like. The chemical composition of oxides, fluorides, sulfides, and nitrides may not match the stoichiometric composition as long as adhesion is improved.

プライマー層4の厚さは、透明基材2の透明性を損なわない程度であればよく、好ましくは物理膜厚で0.1〜10nmである。
プライマー層4は、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、化学蒸着(CVD)法等の従来公知の方法で形成できる。
The thickness of the primer layer 4 should just be a grade which does not impair the transparency of the transparent base material 2, Preferably it is 0.1-10 nm by a physical film thickness.
The primer layer 4 can be formed by a conventionally known method such as a vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, an ion beam assist method, or a chemical vapor deposition (CVD) method.

(導電性多層膜)
本発明における反射防止薄膜積層体300は、導電性多層膜100に、電磁波シールド性、赤外線カット性を付与するものであり、高屈折率透明薄膜層と金属薄膜層とが1層ずつ交互に設けられ、高屈折率透明薄膜層の数がn+1であり、金属薄膜層の数がnである(ただし、nは1以上の整数である)。図示例の導電性多層膜100はn=1の例である。導電性多層膜100は、透明基材2側から順に、高屈折率透明薄膜層5、保護層6、金属薄膜層7、保護層8および高屈折率透明薄膜層9から構成される。
(Conductive multilayer film)
The antireflection thin film laminate 300 according to the present invention provides the conductive multilayer film 100 with electromagnetic wave shielding properties and infrared cut properties, and a high refractive index transparent thin film layer and a metal thin film layer are alternately provided one by one. The number of high refractive index transparent thin film layers is n + 1, and the number of metal thin film layers is n (where n is an integer of 1 or more). The illustrated conductive multilayer film 100 is an example where n = 1. The conductive multilayer film 100 includes a high refractive index transparent thin film layer 5, a protective layer 6, a metal thin film layer 7, a protective layer 8 and a high refractive index transparent thin film layer 9 in order from the transparent substrate 2 side.

高屈折率透明薄膜層5、9は、波長550nmの光の屈折率が1.7以上であり、かつ波長550nmの光の消衰係数が0.5以下である層である。   The high refractive index transparent thin film layers 5 and 9 are layers having a refractive index of light having a wavelength of 550 nm of 1.7 or more and an extinction coefficient of light having a wavelength of 550 nm of 0.5 or less.

高屈折率透明薄膜層5、9の材料としては、インジウム、錫、チタン、シリコン、亜鉛、ジルコニウム、ニオブ、マグネシウム、ビスマス、セリウム、クロム、タンタル、アルミニウム、ゲルマニウム、ガリウム、アンチモン、ネオジウム、ランタン、トリウム、ハフニウム等の金属;これらの金属の酸化物、弗化物、硫化物、窒化物;酸化物、弗化物、硫化物、窒化物の混合物等が挙げられる。酸化物、弗化物、硫化物、窒化物の化学組成は、透明性を保持した化学組成であれば、化学量論的な組成と一致しなくてもよい。   The materials for the high refractive index transparent thin film layers 5 and 9 include indium, tin, titanium, silicon, zinc, zirconium, niobium, magnesium, bismuth, cerium, chromium, tantalum, aluminum, germanium, gallium, antimony, neodymium, lanthanum, Metals such as thorium and hafnium; oxides, fluorides, sulfides, and nitrides of these metals; oxides, fluorides, sulfides, and mixtures of nitrides. The chemical composition of oxides, fluorides, sulfides, and nitrides may not match the stoichiometric composition as long as the chemical composition maintains transparency.

高屈折率透明薄膜層5と高屈折率透明薄膜層9とは、必ずしも同一の材料でなくてもよく、目的に合わせて適宜選択される。高屈折率透明薄膜層5、9は、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、CVD法、湿式塗工法等の従来公知の方法で形成できる。   The high-refractive-index transparent thin film layer 5 and the high-refractive-index transparent thin film layer 9 are not necessarily the same material, and are appropriately selected according to the purpose. The high refractive index transparent thin film layers 5 and 9 can be formed by a conventionally known method such as an evaporation method, a sputtering method, an ion plating method, an ion beam assist method, a CVD method, or a wet coating method.

金属薄膜層7は、波長550nmの光の屈折率が1.0以下、消衰係数が10.0以下であることが好ましい。金属薄膜層7の材料としては例えば、金、銀、銅、白金、アルミニウム、パラジウム等の金属;これら金属の2種類以上を含んだ合金;これらの金属の酸化物、弗化物、硫化物、窒化物;酸化物、弗化物、硫化物、窒化物の混合物等が挙げられる。これらのうち、銀、銀を含む合金、銀を含む混合物が好適である。銀は、波長550nmの光の屈折率が0.055と小さく、一方、消衰係数は3.32と大きい。屈折率に対する消衰係数の比が他の金属に比べて大きいため金属性が高い、つまり導電性が高い。   The metal thin film layer 7 preferably has a refractive index of light having a wavelength of 550 nm of 1.0 or less and an extinction coefficient of 10.0 or less. Examples of the material for the metal thin film layer 7 include metals such as gold, silver, copper, platinum, aluminum, and palladium; alloys containing two or more of these metals; oxides, fluorides, sulfides, and nitrides of these metals. A mixture of oxides, fluorides, sulfides, nitrides, and the like. Among these, silver, an alloy containing silver, and a mixture containing silver are preferable. Silver has a small refractive index of light with a wavelength of 550 nm as 0.055, while its extinction coefficient is as large as 3.32. Since the ratio of the extinction coefficient to the refractive index is larger than that of other metals, the metallicity is high, that is, the electrical conductivity is high.

銀の薄膜は、酸素、硫黄、ハロゲン、アルカリ等によって劣化しやすく、結果として凝集、マイグレーション等を発生する。一方、銀に他の金属元素を含有させると銀の化学的安定性が向上することが知られている。銀に含有させる金属元素としては、例えば、金、銅、白金、錫、アルミニウム、ニッケル、マグネシウム、チタン、ビスマス、ジルコニウム、ネオジウム、パラジウム、亜鉛、インジウム、ゲルマニウム、イリジウム、オスミウム、ルテニウム、レニウム、ロジウム、イットリウム、ハフニウム等が挙げられる。これら金属元素は、2種類以上を銀に含有させてもよい。これらの金属元素を銀に含有させる場合、その含有量は、金属薄膜層7または反射防止薄膜積層体300の光学性能を悪化させずに、耐食性に寄与する程度であればよく、0.1原子%〜20原子%程度である。   A silver thin film is easily deteriorated by oxygen, sulfur, halogen, alkali, and the like, and as a result, aggregation, migration, and the like occur. On the other hand, it is known that the chemical stability of silver improves when silver contains other metal elements. Examples of metal elements contained in silver include gold, copper, platinum, tin, aluminum, nickel, magnesium, titanium, bismuth, zirconium, neodymium, palladium, zinc, indium, germanium, iridium, osmium, ruthenium, rhenium, and rhodium. , Yttrium, hafnium and the like. Two or more of these metal elements may be contained in silver. In the case where these metal elements are contained in silver, the content thereof may be a level that contributes to corrosion resistance without deteriorating the optical performance of the metal thin film layer 7 or the antireflection thin film laminate 300, and is 0.1 atom. % To about 20 atomic%.

金属薄膜層7は、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビーム
アシスト法、CVD法、湿式塗工法等の従来公知の方法により形成できる。スパッタリング法を用いる場合は、直流電源にて成膜が可能であり、大きな成膜速度が得られるため生産性に優れる。
The metal thin film layer 7 can be formed by a conventionally known method such as an evaporation method, a sputtering method, an ion plating method, an ion beam assist method, a CVD method, or a wet coating method. When the sputtering method is used, film formation is possible with a direct current power source, and a high film formation rate is obtained, so that productivity is excellent.

保護層6、8は、金属薄膜層7を腐食から保護するための層である。保護層6、8の材料としては、例えば、亜鉛、シリコン、ニッケル、クロム、金、白金、アルミニウム、マグネシウム、ニオブ、ルテニウム、レニウム、ロジウム、アンチモン、チタン、パラジウム、ビスマス、錫等の金属;これらの金属の2種類以上を含有した合金;これらの金属の酸化物、弗化物、硫化物、窒化物が挙げられる。   The protective layers 6 and 8 are layers for protecting the metal thin film layer 7 from corrosion. Examples of the material of the protective layers 6 and 8 include metals such as zinc, silicon, nickel, chromium, gold, platinum, aluminum, magnesium, niobium, ruthenium, rhenium, rhodium, antimony, titanium, palladium, bismuth, and tin; Alloys containing two or more of these metals; oxides, fluorides, sulfides and nitrides of these metals.

金属薄膜層7の両面に保護層を設ける場合、これらの保護層は、同じ材料、同じ成膜方法および同じ膜厚でなくてもよい。また、保護層を設ける位置は、図示例のように高屈折率透明薄膜層と金属薄膜層との間に限定はされず、透明基材と防汚層の間に設けられていればよい。さらに、金属薄膜層7に耐食性に優れた材料を使用した場合は保護層を設けなくても構わない。   When providing a protective layer on both surfaces of the metal thin film layer 7, these protective layers may not be the same material, the same film-forming method, and the same film thickness. In addition, the position where the protective layer is provided is not limited between the high refractive index transparent thin film layer and the metal thin film layer as in the illustrated example, and may be provided between the transparent substrate and the antifouling layer. Further, when a material having excellent corrosion resistance is used for the metal thin film layer 7, a protective layer may not be provided.

なお、導電性多層膜は、図示例のような、保護層を除いた3層構造(n=1)の導電性多層膜100に限定はされず、高屈折率透明薄膜層と金属薄膜層とが交互に設けられ、かつ最上層および最下層が高屈折率透明薄膜層であるものであれば、3層の高屈折率透明薄膜層と2層の金属薄膜層とが交互に設けられた5層構造(n=2)のもの、または7層以上(nが3以上)のものであってもよい。   Note that the conductive multilayer film is not limited to the conductive multilayer film 100 having a three-layer structure (n = 1) excluding the protective layer as shown in the illustrated example, and the high refractive index transparent thin film layer, the metal thin film layer, Are alternately provided, and if the uppermost layer and the lowermost layer are high refractive index transparent thin film layers, three high refractive index transparent thin film layers and two metal thin film layers are alternately provided. It may have a layer structure (n = 2) or 7 layers or more (n is 3 or more).

(低屈折率透明薄膜層)
低屈折率透明薄膜層6は、波長550nmの光の屈折率が1.7未満であり、かつ波長550nmの光の消衰係数が0.5以下である層である。
(Low refractive index transparent thin film layer)
The low refractive index transparent thin film layer 6 is a layer in which the refractive index of light having a wavelength of 550 nm is less than 1.7 and the extinction coefficient of light having a wavelength of 550 nm is 0.5 or less.

低屈折率透明薄膜層10の材料としては例えば、酸化シリコン、酸化アルミニウム、窒化チタン、弗化マグネシウム、弗化バリウム、弗化カルシウム、弗化セリウム、弗化ハフニウム、弗化ランタン、弗化ナトリウム、弗化アルミニウム、弗化鉛、弗化ストロンチウム、弗化イッテリビウム等が挙げられる。低屈折率透明薄膜層10は、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、CVD法、湿式塗工法等の方法で形成できる。   Examples of the material for the low refractive index transparent thin film layer 10 include silicon oxide, aluminum oxide, titanium nitride, magnesium fluoride, barium fluoride, calcium fluoride, cerium fluoride, hafnium fluoride, lanthanum fluoride, sodium fluoride, Examples thereof include aluminum fluoride, lead fluoride, strontium fluoride, ytterbium fluoride and the like. The low refractive index transparent thin film layer 10 can be formed by a method such as vapor deposition, sputtering, ion plating, ion beam assist, CVD, or wet coating.

低屈折率透明薄膜層10を設けることにより、反射率が充分に低くなる光の波長の範囲を380〜780nmの広い範囲にわたって拡大することができる。   By providing the low-refractive-index transparent thin film layer 10, the range of the wavelength of light at which the reflectance is sufficiently low can be expanded over a wide range of 380 to 780 nm.

(機能性薄膜層)
機能性薄膜層11は、防汚性および防食性の両機能を持つ層である。機能性薄膜層11には防汚剤および防食剤を同時に成膜することで防汚性および防食性の両機能を付与する。
(Functional thin film layer)
The functional thin film layer 11 is a layer having both antifouling and anticorrosive functions. The functional thin film layer 11 is provided with both antifouling and anticorrosive functions by simultaneously forming an antifouling agent and an anticorrosive agent.

防汚性の付与によって、反射防止薄膜積層体1の表面についた水滴、指紋等の拭き取りを容易にし、かつ表面への衝撃による擦り傷等の外傷を防止する。防汚剤としては、撥水性、撥油性および低摩擦性を有するものとして反応性官能基と結合している珪素原子を有するフッ素含有珪素化合物が挙げられる。   By imparting antifouling properties, it is easy to wipe off water droplets, fingerprints and the like on the surface of the antireflection thin film laminate 1, and also prevent external damage such as scratches due to impact on the surface. Examples of the antifouling agent include fluorine-containing silicon compounds having a silicon atom bonded to a reactive functional group as having water repellency, oil repellency and low friction.

反応性官能基としては、加水分解性基、ハロゲン原子等が挙げられる。加水分解性基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等のアルコキシ基;メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基等のアルコキシアルコキシ基;アリロキシ基、イソプロペノキシ基等のアルケニルオキシ基;アセトキシ基、プロピオニ
ルオキシ基、ブチルカルボニルオキシ基、ベンゾイルオキシ基等のアシロキシ基;ジメチルケトオキシム基、メチルエチルケトオキシム基、ジエチルケトオキシム基、シクロペンタノキシム基、シクロヘキサノキシム基等のケトオキシム基;N−メチルアミノ基、N−エチルアミノ基、N−プロピルアミノ基、N−ブチルアミノ基、N,N−ジメチルアミノ基、N,N−ジエチルアミノ基、N−シクロヘキシルアミノ基等のアミノ基;N−メチルアセトアミド基、N−エチルアセトアミド基、N−メチルベンズアミド基等のアミド基;N,N−ジメチルアミノオキシ基、N,N−ジエチルアミノオキシ基等のアミノオキシ基等が挙げられる。ハロゲン原子としては、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられる。これらのうち、メトキシ基、エトキシ基、イソプロペノキシ基が好適である。
Examples of the reactive functional group include a hydrolyzable group and a halogen atom. Examples of hydrolyzable groups include alkoxy groups such as methoxy, ethoxy, propoxy, and butoxy groups; alkoxyalkoxy groups such as methoxymethoxy, methoxyethoxy, and ethoxyethoxy groups; alkenyloxy groups such as allyloxy and isopropenoxy groups An acyloxy group such as an acetoxy group, a propionyloxy group, a butylcarbonyloxy group or a benzoyloxy group; a ketoxime group such as a dimethylketoxime group, a methylethylketoxime group, a diethylketoxime group, a cyclopentanoxime group or a cyclohexanoxime group; Amino groups such as N-methylamino group, N-ethylamino group, N-propylamino group, N-butylamino group, N, N-dimethylamino group, N, N-diethylamino group, N-cyclohexylamino group; N -Methylacetamide , N- ethyl acetamide group, an amido group such as N- methylbenzamide group; N, N- dimethylamino group, N, an amino group, such as N- diethylamino group and the like. Examples of the halogen atom include a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom. Of these, a methoxy group, an ethoxy group, and an isopropenoxy group are preferable.

防汚剤の撥水性能は、防汚剤の分子鎖中にパーフルオロアルキレン基、パーフルオロ(ポリ)オキシアルキレン基等を有することによって発現する。分子鎖の構造の大半がこれらの基で占められているため、確実に水が弾かれる。   The water repellency of the antifouling agent is manifested by having a perfluoroalkylene group, a perfluoro (poly) oxyalkylene group or the like in the molecular chain of the antifouling agent. Since most of the structure of the molecular chain is occupied by these groups, water is surely repelled.

珪素原子を有するフッ素含有珪素化合物が分子構造中にエーテル結合を含んでいる場合、化合物がエーテル結合部分で屈曲性を持ち、結果として分子鎖の形態の自由度が大きくなる。様々な形態をもったフッ素含有珪素化合物が表面を覆うため、膜が緻密になり撥水性、指紋等の拭き取り性等の防汚性能が向上する。   When the fluorine-containing silicon compound having a silicon atom contains an ether bond in the molecular structure, the compound has flexibility at the ether bond portion, and as a result, the degree of freedom in the form of the molecular chain is increased. Since the fluorine-containing silicon compound having various forms covers the surface, the film becomes dense and the antifouling performance such as water repellency and wiping properties such as fingerprints is improved.

防食性の付与は金属薄膜層の腐食による劣化を抑止するために行う。JIS Z0103−2004は腐食を「金属がそれをとり囲む環境物質によって、化学的または電気化学的に浸食されるか若しくは材質的に劣化する現象。」と定義している。更に、耐食性を「金属が腐食に耐える性質。」、防食を「金属が腐食するのを防止すること。」としている。従って、本発明に使用する防食剤としては金属を防食する性能を有するものであれば如何なる材料でも構わない。   The anti-corrosion property is imparted to suppress the deterioration of the metal thin film layer due to corrosion. JIS Z0103-2004 defines corrosion as "a phenomenon in which a metal is chemically or electrochemically eroded or deteriorated by the environmental material surrounding it." Furthermore, the corrosion resistance is “the property that the metal resists corrosion”, and the anticorrosion is “to prevent the metal from corroding”. Therefore, any material can be used as the anticorrosive used in the present invention as long as it has a performance to prevent corrosion of metals.

防食剤としては、アミン類およびその誘導体、ピロール環を有する物、トリアゾール環を有する物、ピラゾール環を有する物、チアゾール環を有する物、イミダゾール環を有する物、インダゾール環を有する物、銅キレート化合物類、チオ尿素類、メルカプト基を有する物、ナフタレン系の少なくとも一種またはこれらの混合物から選ばれることが望ましい。   Anticorrosive agents include amines and derivatives thereof, those having a pyrrole ring, those having a triazole ring, those having a pyrazole ring, those having a thiazole ring, those having an imidazole ring, those having an indazole ring, copper chelate compounds It is desirable to select at least one of thioureas, thioureas, mercapto group-containing products, naphthalene series, or a mixture thereof.

アミン類およびその誘導体としては、エチルアミン、ラウリルアミン、トリ−n−ブチルアミン、O−トルイジン、ジフェニルアミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、2N−ジメチルエタノールアミン、2−アミノ−2−メチル−1,3−プロパンジオール、アセトアミド、アクリルアミド、ベンズアミド、p−エトキシクリソイジン、ジシクロヘキシルアンモニウムナイトライト、ジシクロヘキシルアンモニウムサリシレート、モノエタノールアミンベンゾエート、ジシクロヘキシルアンモニウムベンゾエート、ジイソプロピルアンモニウムベンゾエート、ジイソプロピルアンモニウムナイトライト、シクロヘキシルアミンカーバメイト、ニトロナフタレンアンモニウムナイトライト、シクロヘキシルアミンベンゾエート、ジシクロヘキシルアンモニウムシクロヘキサンカルボキシレート、シクロヘキシルアミンシクロヘキサンカルボキシレート、ジシクロヘキシルアンモニウムアクリレート、シクロヘキシルアミンアクリレート等、あるいはこれらの混合物が挙げられる。   Examples of amines and derivatives thereof include ethylamine, laurylamine, tri-n-butylamine, O-toluidine, diphenylamine, ethylenediamine, diethylenetriamine, triethylenetetramine, tetraethylenepentamine, monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, 2N- Dimethylethanolamine, 2-amino-2-methyl-1,3-propanediol, acetamide, acrylamide, benzamide, p-ethoxychrysidine, dicyclohexylammonium nitrite, dicyclohexylammonium salicylate, monoethanolamine benzoate, dicyclohexylammonium benzoate, diisopropyl Ammonium benzoate, diisopropylammonium nitrite Cyclohexylamine carbamate, nitronaphthalene nitrite, cyclohexylamine benzoate, dicyclohexylammonium cyclohexanecarboxylate, cyclohexylamine cyclohexane carboxylate, dicyclohexylammonium acrylate, cyclohexylamine acrylate, or mixtures thereof.

ピロール環を有する物としては、N−ブチル−2,5−ジメチルピロール,N−フェニル−2,5ジメチルピロール、N−フェニル−3−ホルミル−2,5−ジメチルピロール,N−フェニル−3,4−ジホルミル−2,5−ジメチルピロール等、あるいはこれらの混合物が挙げられる。   Examples of the compound having a pyrrole ring include N-butyl-2,5-dimethylpyrrole, N-phenyl-2,5dimethylpyrrole, N-phenyl-3-formyl-2,5-dimethylpyrrole, N-phenyl-3, 4-diformyl-2,5-dimethylpyrrole, etc., or a mixture thereof.

トリアゾール環を有する物としては、1,2,3−トリアゾール、1,2,4−トリアゾール、3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、3−ヒドロキシ−1,2,4−トリアゾール、3−メチル−1,2,4−トリアゾール、1−メチル−1,2,4−トリアゾール、1−メチル−3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、4−メチル−1,2,3−トリアゾール、ベンゾトリアゾール、トリルトリアゾール、1−ヒドロキシベンゾトリアゾール、4,5,6,7−テトラハイドロトリアゾール、3−アミノ−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−メチル−1,2,4−トリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−5’−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−5’−tert−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ3’5’−ジ−tert−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−4−オクトキシフェニル)ベンゾトリアゾール等、あるいはこれらの混合物が挙げられる。   Examples of the compound having a triazole ring include 1,2,3-triazole, 1,2,4-triazole, 3-mercapto-1,2,4-triazole, 3-hydroxy-1,2,4-triazole, 3- Methyl-1,2,4-triazole, 1-methyl-1,2,4-triazole, 1-methyl-3-mercapto-1,2,4-triazole, 4-methyl-1,2,3-triazole, Benzotriazole, tolyltriazole, 1-hydroxybenzotriazole, 4,5,6,7-tetrahydrotriazole, 3-amino-1,2,4-triazole, 3-amino-5-methyl-1,2,4- Triazole, carboxybenzotriazole, 2- (2′-hydroxy-5′-methylphenyl) benzotriazole, 2- (2′-hydroxy-5) -Tert-butylphenyl) benzotriazole, 2- (2'-hydroxy3'5'-di-tert-butylphenyl) benzotriazole, 2- (2'-hydroxy-4-octoxyphenyl) benzotriazole, or the like, or These mixtures are mentioned.

ピラゾール環を有する物としては、ピラゾール、ピラゾリン、ピラゾロン、ピラゾリジン、ピラゾリドン、3,5−ジメチルピラゾール、3−メチル−5−ヒドロキシピラゾール、4−アミノピラゾール等、あるいはこれらの混合物が挙げられる。   Examples of the compound having a pyrazole ring include pyrazole, pyrazoline, pyrazolone, pyrazolidine, pyrazolidone, 3,5-dimethylpyrazole, 3-methyl-5-hydroxypyrazole, 4-aminopyrazole, and the like, or a mixture thereof.

チアゾール環を有する物としては、チアゾール、チアゾリン、チアゾロン、チアゾリジン、チアゾリドン、イソチアゾール、ベンゾチアゾール、2−N,N−ジエチルチオベンゾチアゾール、P−ジメチルアミノベンザルロダニン、2−メルカプトベンゾチアゾール等、あるいはこれらの混合物が挙げられる。   Examples of the compound having a thiazole ring include thiazole, thiazoline, thiazolone, thiazolidine, thiazolidone, isothiazole, benzothiazole, 2-N, N-diethylthiobenzothiazole, P-dimethylaminobenzallodanine, 2-mercaptobenzothiazole, etc. Or a mixture thereof.

イミダゾール環を有する物としては、イミダゾール、ヒスチジン、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロメチルイミダゾール、2−フェニル−4,5ジヒドロキシメチルイミダゾール、4−フォルミルイミダゾール、2−メチル−4−フォルミルイミダゾール、2−フェニル−4−フォルミルイミダゾール、4−メチル−5−フォルミルイミダゾール、2−エチル−4−メチル−5−フォルミルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−4−フォルミルイミダゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール等、あるいはこれらの混合物が挙げられる。   Examples of the compound having an imidazole ring include imidazole, histidine, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-undecylimidazole, 1-benzyl-2-methyl. Imidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecyl Imidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydromethylimidazole, 2-phenyl-4,5 dihydroxymethylimidazole, 4-formylimidazole, 2-methyl-4-formylimidazole, 2-phenyl-4-form Ruimidazole, 4-methyl-5-formylimidazole, 2-ethyl-4-methyl-5-formylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-4-formylimidazole, 2-mercaptobenzimidazole, etc., or these Of the mixture.

インダゾール環を有する物としては、4−クロロインダゾール、4−ニトロインダゾール、5−ニトロインダゾール、4−クロロ−5−ニトロインダゾール等、あるいはこれらの混合物が挙げられる。   Examples of the substance having an indazole ring include 4-chloroindazole, 4-nitroindazole, 5-nitroindazole, 4-chloro-5-nitroindazole, and a mixture thereof.

銅キレート化合物類としては、アセチルアセトン銅、エチレンジアミン銅、フタロシアニン銅、エチレンジアミンテトラアセテート銅、ヒドロキシキノリン銅等、あるいはこれらの混合物が挙げられる。   Examples of the copper chelate compounds include acetylacetone copper, ethylenediamine copper, phthalocyanine copper, ethylenediaminetetraacetate copper, hydroxyquinoline copper, and a mixture thereof.

チオ尿素類としては、チオ尿素、グアニルチオ尿素等、あるいはこれらの混合物が挙げられる。   Examples of thioureas include thiourea, guanylthiourea, and the like, or a mixture thereof.

メルカプト基を有する物としては、すでに上記に記載した材料も加えれば、メルカプト酢酸、チオフェノール、1,2‐エタンジオール、3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、1−メチル−3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、2−メルカプトベン
ゾチアゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、グリコールジメルカプトアセテート、3‐メルカプトプロピルトリメトキシシラン等、あるいはこれらの混合物が挙げられる。
As a product having a mercapto group, if the above-mentioned materials are added, mercaptoacetic acid, thiophenol, 1,2-ethanediol, 3-mercapto-1,2,4-triazole, 1-methyl-3-mercapto -1,2,4-triazole, 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzimidazole, glycol dimercaptoacetate, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, and the like, or a mixture thereof.

ナフタレン系としては、チオナリド等が挙げられる。   Examples of the naphthalene type include thionalide.

防汚防食層は、前述の防汚性材料、防食性材料を原料として、蒸着法(共蒸着法)、CVD法、プラズマ重合法等の真空ドライプロセスにより成膜することができる。具体的には、防汚性材料、防食性材料の混合液の混合ガスを対象物上に堆積させる方法、それぞれ原料となるガスを導入し、反応させながら対象物上に堆積させる方法などがある。   The antifouling and anticorrosion layer can be formed by a vacuum dry process such as a vapor deposition method (co-evaporation method), a CVD method, or a plasma polymerization method using the above-mentioned antifouling material or anticorrosive material as a raw material. Specifically, there are a method of depositing a mixed gas of a mixture of antifouling material and anticorrosive material on an object, a method of introducing a gas as a raw material, and depositing it on the object while reacting. .

このように、1つの層で防汚防食性の機能を持たせる際に、防汚剤と防食剤を同時に成膜することにより、密着性に優れ、層間剥離が生じないものとすることができる。   As described above, when the anti-stain and anti-corrosion function is provided in one layer, the anti-stain agent and the anti-corrosion agent can be simultaneously formed to have excellent adhesion and do not cause delamination. .

(粘着層)
粘着層1は、可視光領域の波長の光を透過し、かつ粘着性を有するものであればよい。粘着層1は、光学的性能の観点から、波長500〜600nmの光の屈折率が1.45〜
1.7であり、消衰係数がほぼ0であることが好ましい。粘着層1の材料としては、例えば、アクリル系接着剤、シリコン系接着剤、ウレタン系接着剤、ポリビニルブチラール接着剤(PVA)、エチレン−酢酸ビニル系接着剤(EVA)、ポリビニルエーテル、飽和無定形ポリエステル、メラミン樹脂等が挙げられる。
(Adhesive layer)
The adhesive layer 1 only needs to transmit light having a wavelength in the visible light region and have adhesiveness. From the viewpoint of optical performance, the adhesive layer 1 has a refractive index of 1.45 to 500 nm.
It is preferably 1.7 and the extinction coefficient is preferably almost zero. Examples of the material for the pressure-sensitive adhesive layer 1 include acrylic adhesives, silicon adhesives, urethane adhesives, polyvinyl butyral adhesives (PVA), ethylene-vinyl acetate adhesives (EVA), polyvinyl ether, and saturated amorphous. Examples include polyester and melamine resin.

以下、具体的な実施例を挙げて本発明を説明する。   Hereinafter, the present invention will be described with specific examples.

[実施例1]
透明基材2である、厚さ80μmのトリアセチルセルロースフィルム(以下、TACフィルムと記す)上に、紫外線硬化型アクリル系樹脂(共栄社化学(株)製、商品名:PE−3A)をウェットコーティングによって成膜し、物理膜厚5μmのハードコート層3を形成した。ハードコート層3上に、SiOxをスパッタリング法により堆積させ、物理膜厚3nmのプライマー層4を形成した。プライマー層4上に、酸化インジウム中に酸化錫10重量%を含有する透明導電酸化物材料(ITO)をスパッタリング法により堆積させ、物理膜厚27nmの高屈折率透明薄膜層5を形成した。高屈折率透明薄膜層5上に、ニクロムをスパッタリング法により堆積させ、物理膜厚0.8nmの保護層6を形成した。保護層6上に、銀中に金1.5原子%および銅0.5原子%を含有する合金をスパッタリング法により堆積させ、物理膜厚9nmの金属薄膜層7を形成した。金属薄膜層7上に、ニクロムをスパッタリング法により堆積させ、物理膜厚0.8nmの保護層8を形成した。保護層8上に、酸化インジウム中に酸化錫10重量%を含有するITOをスパッタリング法により堆積させ、物理膜厚20nmの高屈折率透明薄膜層9を形成した。次いで、高屈折率透明薄膜層9上に、SiO2の低屈折率透明薄膜層10をスパッタリング法により堆積し、物理膜厚で40nm形成した。
[Example 1]
Wet coating of UV curable acrylic resin (trade name: PE-3A, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) on a triacetyl cellulose film (hereinafter referred to as TAC film) having a thickness of 80 μm, which is a transparent substrate 2 To form a hard coat layer 3 having a physical thickness of 5 μm. On the hard coat layer 3, SiOx was deposited by a sputtering method to form a primer layer 4 having a physical film thickness of 3 nm. On the primer layer 4, a transparent conductive oxide material (ITO) containing 10% by weight of tin oxide in indium oxide was deposited by a sputtering method to form a high refractive index transparent thin film layer 5 having a physical film thickness of 27 nm. Nichrome was deposited on the high refractive index transparent thin film layer 5 by a sputtering method to form a protective layer 6 having a physical thickness of 0.8 nm. On the protective layer 6, an alloy containing 1.5 atomic% of gold and 0.5 atomic% of copper in silver was deposited by sputtering to form a metal thin film layer 7 having a physical thickness of 9 nm. Nichrome was deposited on the metal thin film layer 7 by sputtering to form a protective layer 8 having a physical thickness of 0.8 nm. On the protective layer 8, ITO containing 10% by weight of tin oxide in indium oxide was deposited by a sputtering method to form a high refractive index transparent thin film layer 9 having a physical film thickness of 20 nm. Next, a low refractive index transparent thin film layer 10 made of SiO 2 was deposited on the high refractive index transparent thin film layer 9 by a sputtering method to form a physical film thickness of 40 nm.

さらに、低屈折率透明薄膜層10の上に防汚防食層としての機能性薄膜層11を以下のように形成した。   Furthermore, the functional thin film layer 11 as an antifouling anticorrosive layer was formed on the low refractive index transparent thin film layer 10 as follows.

図2のような構造の基板回転機構を有する蒸着装置を用い、防汚剤は真空槽の中に設置し、防食剤は流量制御機器16を通じて真空槽に導入した。防汚剤にはフッ素含有珪素化合物(信越化学工業(株)製、商品名:KP801M)を使用した。防食剤には2‐ヘプタデシルイミダゾールをメタノールの溶媒に溶解した溶液を使用し、30℃に加熱保持した。真空槽12内を1.0E−3Paまで排気したところで防汚剤を加熱し、同時に真空
槽12と流量制御機器16の間に繋がるガス弁17を開放して、防汚剤と防食剤を透明基材20上に同時に堆積させて機能性薄膜層11を形成した。防食剤は流量制御機器16を使って流量を調整することで防汚効果および防食効果が十分発揮され、かつ反射防止薄膜積層体の膜界面が劣化しないようにした。蒸着中、回転機構付き基板ホルダー19は一定回転数で回転させた。
An evaporation apparatus having a substrate rotation mechanism having a structure as shown in FIG. 2 was used, the antifouling agent was installed in the vacuum chamber, and the anticorrosive agent was introduced into the vacuum chamber through the flow rate control device 16. A fluorine-containing silicon compound (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name: KP801M) was used as the antifouling agent. A solution prepared by dissolving 2-heptadecylimidazole in a methanol solvent was used as the anticorrosive, and the mixture was kept heated at 30 ° C. When the inside of the vacuum chamber 12 is exhausted to 1.0E-3 Pa, the antifouling agent is heated, and at the same time, the gas valve 17 connected between the vacuum chamber 12 and the flow rate control device 16 is opened so that the antifouling agent and the anticorrosive agent are transparent. The functional thin film layer 11 was formed by simultaneously depositing on the substrate 20. The anticorrosive agent was adjusted to the flow rate using the flow rate control device 16 so that the antifouling effect and the anticorrosive effect were sufficiently exhibited, and the film interface of the antireflection thin film laminate was not deteriorated. During vapor deposition, the substrate holder 19 with a rotation mechanism was rotated at a constant rotation speed.

TACフィルムの他方の面に、アクリル系接着剤を塗布して粘着層1を形成し、反射防止薄膜積層体300を得た。   The adhesive layer 1 was formed on the other surface of the TAC film by applying an acrylic adhesive to obtain an antireflection thin film laminate 300.

[実施例2]
機能性薄膜層11以外は実施例1と同様にして、防汚防食層としての機能性薄膜層11を形成前の反射防止薄膜積層体を作製した。
[Example 2]
Except for the functional thin film layer 11, an antireflection thin film laminate before forming the functional thin film layer 11 as an antifouling and anticorrosion layer was produced in the same manner as in Example 1.

図3のような構造の基板回転機構を有するCVD装置を用いて防汚剤および防食剤を成膜した。防汚剤にはフッ素含有珪素化合物(信越化学工業(株)製、商品名:KP801M)を使用した。防食剤には2‐ヘプタデシルイミダゾールをメタノールの溶媒に溶解した溶液を使用した。まず、真空槽12を1.0E−4Paまで排気した後、防汚剤および予め30℃に加熱保持しておいた防食剤のガスをそれぞれの流量制御機器16を用いて真空槽12内に導入した。導入時の圧力は2.0Paに調整した。防汚剤と防食剤の分圧は防汚効果および防食効果が十分発揮され、かつ反射防止薄膜積層体の膜界面が劣化しない条件に調整した。RF電源22を用いて励起周波数13.56MHzの高周波電力を防汚剤成膜用および防食剤成膜用のそれぞれの電極24に印可してグロー放電を同時発生させ、低屈折率透明薄膜層10の上に防汚剤および防食剤を成膜した。成膜中、回転機構付き基板ホルダー19は一定回転数で回転させた。   An antifouling agent and an anticorrosive were formed using a CVD apparatus having a substrate rotation mechanism having a structure as shown in FIG. A fluorine-containing silicon compound (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name: KP801M) was used as the antifouling agent. A solution prepared by dissolving 2-heptadecylimidazole in a methanol solvent was used as the anticorrosive. First, after evacuating the vacuum chamber 12 to 1.0E-4 Pa, the antifouling agent and the gas of the anticorrosive previously heated to 30 ° C. are introduced into the vacuum chamber 12 using the respective flow rate control devices 16. did. The pressure at the time of introduction was adjusted to 2.0 Pa. The partial pressures of the antifouling agent and the anticorrosive were adjusted so that the antifouling effect and the anticorrosive effect were sufficiently exhibited, and the film interface of the antireflection thin film laminate was not deteriorated. The RF power source 22 is used to apply high-frequency power with an excitation frequency of 13.56 MHz to the electrodes 24 for forming the antifouling agent and for forming the anticorrosive agent, so that glow discharge is simultaneously generated. An antifouling agent and an anticorrosive agent were formed on the film. During film formation, the substrate holder 19 with a rotation mechanism was rotated at a constant rotation number.

TACフィルムの他方の面に、アクリル系接着剤を塗布して粘着層8を形成し、反射防止薄膜積層体300を得た。   The adhesive layer 8 was formed on the other surface of the TAC film by applying an acrylic adhesive to obtain an antireflection thin film laminate 300.

[実施例3]
各層の物理膜厚と高屈折率透明薄膜層の材料をインジウム中にセリウム10原子%を含有する透明導電酸化物材料(ICO)に変更した以外は、実施例1と同様にして、機能性薄膜層を形成する前の下記の反射防止薄膜積層体を作製した。
[Example 3]
A functional thin film in the same manner as in Example 1, except that the physical film thickness of each layer and the material of the high refractive index transparent thin film layer were changed to a transparent conductive oxide material (ICO) containing 10 atomic% of cerium in indium. The following antireflection thin film laminate before forming the layer was produced.

TACフィルム(80μm)/ハードコート(5μm)/SiOx(3nm)/ICO(25nm)/NiCr(0.8nm)/銀合金(9nm)/NiCr(0.8nm)/ICO(19nm)/SiO2(48nm)。 TAC film (80 μm) / hard coat (5 μm) / SiOx (3 nm) / ICO (25 nm) / NiCr (0.8 nm) / silver alloy (9 nm) / NiCr (0.8 nm) / ICO (19 nm) / SiO 2 ( 48 nm).

さらに、低屈折率透明薄膜層10の上に防汚防食層としての機能性薄膜層11を以下のように形成した。   Furthermore, the functional thin film layer 11 as an antifouling anticorrosive layer was formed on the low refractive index transparent thin film layer 10 as follows.

図4のような構造のロール・ツー・ロール方式のCVD装置を用いた。防食剤にはベンゾイミダゾールをエタノールの溶媒に溶解した溶液を、防汚剤にはフッ素含有珪素化合物(信越化学工業(株)製、商品名:KP801M)を使用した。まず、真空槽12を1.0E−4Paまで排気した後、防汚剤および予め30℃に加熱保持しておいた防食剤の混合ガスを流量制御機器27を用いて真空槽12内に導入した。導入時の圧力は2.0Paに調整した。防汚剤と防食剤の分圧は防汚効果および防食効果が十分発揮され、かつ反射防止薄膜積層体の膜界面が劣化しない条件に調整した。RF電源22を用いて励起周波数13.56MHzの高周波電力を電極24に印可してグロー放電を発生させ、低屈折率透明薄膜層10の上に防汚剤および防食剤を成膜した。   A roll-to-roll CVD apparatus having a structure as shown in FIG. 4 was used. A solution obtained by dissolving benzimidazole in an ethanol solvent was used as the anticorrosive agent, and a fluorine-containing silicon compound (trade name: KP801M, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was used as the antifouling agent. First, after evacuating the vacuum chamber 12 to 1.0E-4 Pa, a mixed gas of the antifouling agent and the anticorrosive previously heated to 30 ° C. was introduced into the vacuum chamber 12 using the flow rate control device 27. . The pressure at the time of introduction was adjusted to 2.0 Pa. The partial pressures of the antifouling agent and the anticorrosive were adjusted so that the antifouling effect and the anticorrosive effect were sufficiently exhibited, and the film interface of the antireflection thin film laminate was not deteriorated. A high frequency power having an excitation frequency of 13.56 MHz was applied to the electrode 24 using the RF power source 22 to generate glow discharge, and an antifouling agent and an anticorrosive agent were formed on the low refractive index transparent thin film layer 10.

TACフィルムの他方の面に、アクリル系接着剤を塗布して粘着層1を形成し、反射防止薄膜積層体300を得た。   The adhesive layer 1 was formed on the other surface of the TAC film by applying an acrylic adhesive to obtain an antireflection thin film laminate 300.

[比較例1]
図2の装置を用いて機能性薄膜層11を形成するにあたり、防汚剤のみを使用し、防食剤は使用しない以外は実施例1と同様な反射防止薄膜積層体300を作製した。
[Comparative Example 1]
In forming the functional thin film layer 11 using the apparatus of FIG. 2, an antireflection thin film laminate 300 similar to that of Example 1 was produced except that only an antifouling agent was used and no anticorrosive agent was used.

[比較例2]
図2の装置を用いて機能性薄膜層11を形成するにあたり、最初に防食剤を成膜し、防食剤の成膜が終了した後に続いて防汚剤を成膜した以外は実施例1と同様な反射防止薄膜積層体300を作製した。
[Comparative Example 2]
In forming the functional thin film layer 11 using the apparatus of FIG. 2, the anticorrosive agent was first formed, and the antifouling agent was subsequently formed after the formation of the anticorrosive agent was completed. A similar antireflection thin film laminate 300 was produced.

[比較例3]
図3の装置を用いて機能性薄膜層11を形成するにあたり、防汚剤のみを使用し、防食剤は使用しない以外は実施例2と同様な反射防止薄膜積層体300を作製した。
[Comparative Example 3]
In forming the functional thin film layer 11 using the apparatus of FIG. 3, an antireflection thin film laminate 300 similar to that of Example 2 was produced except that only an antifouling agent was used and no anticorrosive agent was used.

[比較例4]
図3の装置を用いて機能性薄膜層11を形成するにあたり、最初に防食剤を成膜し、防食剤の成膜が終了した後に続いて防汚剤を成膜した以外は実施例2と同様な反射防止薄膜積層体300を作製した。
[Comparative Example 4]
In forming the functional thin film layer 11 using the apparatus of FIG. 3, the anticorrosive agent was formed first, and after the film formation of the anticorrosive agent was completed, the antifouling agent was subsequently formed. A similar antireflection thin film laminate 300 was produced.

[比較例5]
図4の装置を用いて機能性薄膜層11を形成するにあたり、防汚剤のみを使用し、防食剤は使用しない以外は実施例3と同様な反射防止薄膜積層体300を作製した。
[Comparative Example 5]
In forming the functional thin film layer 11 using the apparatus of FIG. 4, an antireflection thin film laminate 300 similar to that of Example 3 was produced except that only an antifouling agent was used and no anticorrosive agent was used.

[比較例6]
図4の装置を用いて機能性薄膜層11を形成するにあたり、最初に防食剤を成膜し、防食剤の成膜が終了した後に続いて防汚剤を成膜した以外は実施例3と同様な反射防止薄膜積層体300を作製した。
[Comparative Example 6]
In forming the functional thin film layer 11 using the apparatus of FIG. 4, the anticorrosive agent was first formed, and the antifouling agent was subsequently formed after the formation of the anticorrosive agent. A similar antireflection thin film laminate 300 was produced.

実施例1、2および比較例1〜6で得られた反射防止薄膜積層体300について以下の評価を行った。   The following evaluation was performed about the antireflection thin film laminated body 300 obtained in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 6.

(1)5重量%NaCl水溶液浸漬試験
200mm×200mmのサンプルを、200mm×200mmの石英ガラス基板上に粘着層1側が石英ガラス基板側になるように貼り合わせ、5重量%のNaCl水溶液に24時間浸漬した。浸漬後の反射防止薄膜積層体300を経時で観察し、金属薄膜層7の銀の凝集点を目視で数えた。サンプルの浸漬中はNaCl水溶液の温度は20℃に保持した。その結果を表1に示す。
(1) 5 wt% NaCl aqueous solution immersion test A 200 mm × 200 mm sample was bonded onto a 200 mm × 200 mm quartz glass substrate so that the adhesive layer 1 side was on the quartz glass substrate side, and the 5 wt% NaCl aqueous solution was applied for 24 hours. Soaked. The antireflection thin film laminate 300 after immersion was observed over time, and the silver aggregation points of the metal thin film layer 7 were visually counted. During the immersion of the sample, the temperature of the NaCl aqueous solution was kept at 20 ° C. The results are shown in Table 1.

Figure 2007187780
Figure 2007187780

(2)耐湿熱性試験
200mm×200mmのサンプルを、200mm×200mmの石英ガラス基板上に粘着層1側が石英ガラス基板側になるように貼り合わせ、65℃−95%RHの恒温恒湿槽内に入れた。1000時間までの耐湿熱試験を実施して、反射防止薄膜積層体300の経時変化を観察し、金属薄膜層7の銀の凝集点を目視で数えた。その結果を表2に示す。
(2) Moisture and heat resistance test A 200 mm x 200 mm sample was bonded onto a 200 mm x 200 mm quartz glass substrate so that the adhesive layer 1 side was on the quartz glass substrate side, and placed in a constant temperature and humidity chamber at 65 ° C-95% RH. I put it in. A heat and humidity resistance test for up to 1000 hours was performed, the change with time of the antireflection thin film laminate 300 was observed, and the silver aggregation points of the metal thin film layer 7 were visually counted. The results are shown in Table 2.

Figure 2007187780
Figure 2007187780

(3)純水による接触角測定
協和界面化学(株)製、接触角計CA−Xを用いて反射防止薄膜積層体300の機能性薄膜層11側の純水による接触角を測定した。その結果を表3に示す。
(3) Contact angle measurement with pure water The contact angle with pure water on the functional thin film layer 11 side of the antireflection thin film laminate 300 was measured using a contact angle meter CA-X manufactured by Kyowa Interface Chemical Co., Ltd. The results are shown in Table 3.

Figure 2007187780
Figure 2007187780

(4)クロスカットテープピール試験
反射防止薄膜積層体300の機能性薄膜層11側表面の10mm×10mm部分に1mm×1mmの桝目状の切れ目を100個作り、桝目部分にセロハンテープを貼り付ける。次いでセロハンテープを引き剥がしたとき剥がれずに残っている桝の数を数えた。その結果を表4に示す。表4中、100/100は桝が一つも剥がれなかったことを示す。
(4) Cross-Cut Tape Peel Test 100 1 mm × 1 mm grid-like cuts are made on the 10 mm × 10 mm portion on the surface of the functional thin film layer 11 of the antireflection thin film laminate 300, and cellophane tape is attached to the grid portion. Next, the number of wrinkles remaining without peeling when the cellophane tape was peeled off was counted. The results are shown in Table 4. In Table 4, 100/100 indicates that no wrinkles were peeled off.

Figure 2007187780
Figure 2007187780

5重量%NaCl水溶液浸漬試験に関しては、機能性薄膜層11に防汚剤と防食剤を使用した実施例1〜3、および比較例2、4、6は金属薄膜層7の銀の凝集が発生しなかった。一方、防汚剤のみを使用し、防食剤を使用しなかった比較例1、3、5は金属薄膜層7の銀の凝集が発生し、銀が腐食した。   Regarding the 5% by weight NaCl aqueous solution immersion test, Aggregation of silver in the metal thin film layer 7 occurred in Examples 1 to 3 and Comparative Examples 2, 4, and 6 in which the antifouling agent and the anticorrosive agent were used for the functional thin film layer 11. I did not. On the other hand, in Comparative Examples 1, 3, and 5 in which only the antifouling agent was used and no anticorrosive agent was used, aggregation of silver in the metal thin film layer 7 occurred and the silver was corroded.

耐湿熱試験に関しては、実施例1〜3、および比較例2、4、6は1000時間を経過しても金属薄膜層7の銀の凝集は確認されなかった。一方、比較例1、3、5は240時間経過時点で銀の凝集が確認された。さらに、240時間以降も銀の凝集個数は増え続けた。   Regarding the wet heat resistance test, in Examples 1 to 3 and Comparative Examples 2, 4, and 6, aggregation of silver in the metal thin film layer 7 was not confirmed even after 1000 hours had passed. On the other hand, Aggregation of silver was confirmed in Comparative Examples 1, 3, and 5 after 240 hours. Furthermore, the number of silver aggregates continued to increase after 240 hours.

NaCl水溶液浸漬試験および耐湿熱試験に対して実施例1〜3、および比較例2、4、6が良好な結果を示した理由は、防汚剤による疎水性の付与により銀の凝集起因であるNaCl水溶液や水分が機能性薄膜層11で弾かれ、金属薄膜層7まで到達するのを抑止したこと、加えて、防食剤による耐食性の付与により銀の腐食を防止する作用が有効に働いたことによるためであると推測される。   The reason why Examples 1 to 3 and Comparative Examples 2, 4, and 6 showed good results with respect to the NaCl aqueous solution immersion test and the heat and humidity resistance test was due to aggregation of silver by imparting hydrophobicity with an antifouling agent. The action of preventing corrosion of silver by adding corrosion resistance with an anticorrosive agent worked effectively, as the NaCl aqueous solution and moisture were repelled by the functional thin film layer 11 and reached the metal thin film layer 7. This is presumed to be due to this.

純水による接触角測定に関しては、実施例および比較例のいずれも100°を超えており、良好な結果を示した。防汚剤と防食剤の両方を使用した実施例1〜3、および比較例2、4、6は、防汚剤のみを使用し、防食剤を使用しなかった比較例1、3、5と比較して接触角が小さい傾向にあった。理由は、防食剤が防汚剤による疎水性能の発現に干渉していることが推測される。   Regarding the contact angle measurement with pure water, both the example and the comparative example exceeded 100 °, and good results were shown. Examples 1-3 using both antifouling agents and anticorrosives, and Comparative Examples 2, 4, 6 were used with Comparative Examples 1, 3, 5 and 5 using only antifouling agents and not using anticorrosive agents. In comparison, the contact angle tended to be small. The reason is presumed that the anticorrosive agent interferes with the development of hydrophobic performance by the antifouling agent.

クロスカットテープピール試験に関しては、実施例1〜3、および比較例1、3、5は比較例2、4、6より良好な結果を示した。比較例2、4、6は防食剤を成膜した後に防汚剤を成膜したが、防汚剤と防食剤の成膜工程を分けたため防食剤の成分が反射防止薄膜積層体の各層界面に過剰に浸透して界面の密着性を劣化させたものと推測される。一方、実施例1〜3は防汚剤と防食剤を同時に成膜することで、防食剤は金属薄膜層の銀合金薄膜まで浸透するが銀合金薄膜層から基材までの各界面には到達せず、更に防汚剤の機能発現を妨げることがなかったと推測される。比較例1、3、5は機能性薄膜層11の機能が防汚性のみであるため密着性が良好であった。   Regarding the cross-cut tape peel test, Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1, 3, and 5 showed better results than Comparative Examples 2, 4, and 6. In Comparative Examples 2, 4, and 6, the antifouling agent was formed after forming the anticorrosive agent. However, since the antifouling agent and anticorrosive film forming steps were separated, the components of the anticorrosive agent were the interfaces of each layer of the antireflection thin film laminate. It is presumed that the adhesiveness at the interface deteriorated due to excessive penetration. On the other hand, in Examples 1 to 3, by forming the antifouling agent and the anticorrosive agent at the same time, the anticorrosive agent penetrates to the silver alloy thin film of the metal thin film layer, but reaches each interface from the silver alloy thin film layer to the base material. In addition, it is presumed that the function of the antifouling agent was not hindered. In Comparative Examples 1, 3, and 5, the function of the functional thin film layer 11 was only antifouling, and thus the adhesion was good.

上記の結果より、可視光領域の広い範囲にわたって反射率を充分に低くすることができ、撥水性、指紋拭き取り性、耐食性、耐候性および密着性に優れた反射防止薄膜積層体を提供することができる。   From the above results, it is possible to provide an antireflection thin film laminate that can sufficiently reduce the reflectance over a wide range in the visible light region and is excellent in water repellency, fingerprint wiping property, corrosion resistance, weather resistance, and adhesion. it can.

本発明の反射防止薄膜積層体を、CRT、液晶表示装置、PDP等の光学表示装置の前
面に用いた光学表示装置を提供することができる。また、本発明の反射防止薄膜積層体は窓ガラス、眼鏡、ゴーグル等の光学物品に設けられる光学機能性フィルタとしても有用である。
An optical display device using the antireflection thin film laminate of the present invention on the front surface of an optical display device such as a CRT, a liquid crystal display device, or a PDP can be provided. The antireflection thin film laminate of the present invention is also useful as an optical functional filter provided in optical articles such as window glass, glasses and goggles.

本発明の反射防止薄膜積層体の構成の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of a structure of the antireflection thin film laminated body of this invention. 本発明の反射防止薄膜積層体の実施例1および比較例1、2の作製に使用した蒸着装置の概略図である。It is the schematic of the vapor deposition apparatus used for preparation of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 of the antireflection thin film laminate of the present invention. 本発明の反射防止薄膜積層体の実施例2および比較例3、4の作製に使用したCVD装置の概略図である。It is the schematic of the CVD apparatus used for preparation of Example 2 and Comparative Examples 3 and 4 of the antireflection thin film laminated body of this invention. 本発明の反射防止薄膜積層体の実施例3および比較例5、6の作製に使用したロール・ツー・ロール方式のCVD装置の概略図である。It is the schematic of the CVD apparatus of the roll-to-roll system used for preparation of Example 3 and Comparative Examples 5 and 6 of the antireflection thin film laminate of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1・・・粘着層
2・・・透明基材
3・・・ハードコート層
4・・・プライマー層
5・・・高屈折率透明薄膜層
6・・・保護層
7・・・金属薄膜層
8・・・保護層
9・・・高屈折率透明薄膜層
10・・・低屈折率透明薄膜層
11・・・機能性薄膜層
12・・・真空槽
13・・・材料設置用ボート
14・・・防汚剤
15a・・・防食剤の導入口
15b・・・防汚剤の導入口
16・・・流量制御機器
17・・・ガス弁
18・・・ガスシャワーヘッド
19・・・回転機構付き基板ホルダー
20・・・透明基材
21・・・排気口
22・・・RF電源
23・・・整合器
24・・・電極
25・・・ローラー
26・・・透明フィルム基材
27・・・防汚剤および防食剤の混合ガスの流量制御機器
100・・・導電性多層膜
200・・・導電性反射防止積層体
300・・・反射防止薄膜積層体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Adhesive layer 2 ... Transparent base material 3 ... Hard-coat layer 4 ... Primer layer 5 ... High refractive index transparent thin film layer 6 ... Protective layer 7 ... Metal thin film layer 8 ... Protective layer 9 ... High refractive index transparent thin film layer 10 ... Low refractive index transparent thin film layer 11 ... Functional thin film layer 12 ... Vacuum tank 13 ... Material installation boat 14 ... Antifouling agent 15a: anticorrosive inlet 15b ... antifoulant inlet 16 ... flow control device 17 ... gas valve 18 ... gas shower head 19 ... with rotation mechanism Substrate holder 20 ... transparent substrate 21 ... exhaust port 22 ... RF power supply 23 ... matching device 24 ... electrode 25 ... roller 26 ... transparent film substrate 27 ... prevention Flow rate control device 100 of mixed gas of dirt and anticorrosive agent ... conductive multilayer film 200 ... conductive antireflection laminate 3 0 ... anti-reflective thin film laminate

Claims (5)

少なくとも基材上に、高屈折率透明薄膜層と金属薄膜層とを交互に積層してなる導電性多層膜を形成して、その最外層に防汚性機能と同時に防食性機能を備える防汚防食層を設けてなることを特徴とする反射防止薄膜積層体。   An anti-fouling film is formed on at least a base material by forming a conductive multilayer film by alternately laminating a high refractive index transparent thin film layer and a metal thin film layer, and the outermost layer has an anti-fouling function and an anti-corrosion function. An antireflection thin film laminate comprising an anticorrosion layer. 前記金属薄膜層が銀又は銀を含む合金であることを特徴とする請求項1記載の反射防止薄膜積層体。   2. The antireflection thin film laminate according to claim 1, wherein the metal thin film layer is silver or an alloy containing silver. 前記導電性多層膜と防汚防食層との間に低屈折率透明薄膜層を設けてなることを特徴とする請求項1又は2記載の反射防止薄膜積層体。   3. The antireflection thin film laminate according to claim 1, wherein a low refractive index transparent thin film layer is provided between the conductive multilayer film and the antifouling and anticorrosion layer. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の反射防止薄膜積層体を光学機能性フィルターとして用いることを特徴とする反射防止薄膜積層体。   An antireflection thin film laminate according to any one of claims 1 to 3 is used as an optical functional filter. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の反射防止薄膜積層体を光学表示装置の前面に設けたことを特徴とする光学表示装置。   An optical display device comprising the antireflection thin film laminate according to claim 1 provided on a front surface of the optical display device.
JP2006004550A 2006-01-12 2006-01-12 Antireflection thin film laminated body and optical display system Pending JP2007187780A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006004550A JP2007187780A (en) 2006-01-12 2006-01-12 Antireflection thin film laminated body and optical display system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006004550A JP2007187780A (en) 2006-01-12 2006-01-12 Antireflection thin film laminated body and optical display system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007187780A true JP2007187780A (en) 2007-07-26

Family

ID=38343007

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006004550A Pending JP2007187780A (en) 2006-01-12 2006-01-12 Antireflection thin film laminated body and optical display system

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007187780A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103383868A (en) * 2012-05-04 2013-11-06 远东新世纪股份有限公司 Transparent conductive lamination body
JP2015088657A (en) * 2013-10-31 2015-05-07 三菱化学株式会社 Composition for led lead frame coating film formation, method for forming led lead frame coating film, method for protecting lead frame, led lead frame, led package and manufacturing method thereof, and led and manufacturing method thereof
WO2022209094A1 (en) * 2021-03-30 2022-10-06 ホヤ レンズ タイランド リミテッド Eyeglass lens, manufacturing method for eyeglass lens, and eyeglasses
WO2022209093A1 (en) * 2021-03-30 2022-10-06 ホヤ レンズ タイランド リミテッド Method for producing spectacle lens

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103383868A (en) * 2012-05-04 2013-11-06 远东新世纪股份有限公司 Transparent conductive lamination body
JP2015088657A (en) * 2013-10-31 2015-05-07 三菱化学株式会社 Composition for led lead frame coating film formation, method for forming led lead frame coating film, method for protecting lead frame, led lead frame, led package and manufacturing method thereof, and led and manufacturing method thereof
WO2022209094A1 (en) * 2021-03-30 2022-10-06 ホヤ レンズ タイランド リミテッド Eyeglass lens, manufacturing method for eyeglass lens, and eyeglasses
WO2022209093A1 (en) * 2021-03-30 2022-10-06 ホヤ レンズ タイランド リミテッド Method for producing spectacle lens

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4802568B2 (en) Antireflection laminate, optical functional filter, optical display device and optical article
US10007037B2 (en) Infrared-ray reflective film
US20200239360A1 (en) Transparent substrate laminated body and method for producing same
KR101843302B1 (en) Infrared reflecting substrate and method for producing same
TWI719932B (en) Glass laminate with protective film
JP6361162B2 (en) Manufacturing method of glass substrate with double-sided low reflection film
JP5262066B2 (en) Manufacturing method of antireflection film and manufacturing method of polarizing plate including the same
JP2007194109A (en) Conductive laminate, optical functional filter, and optical display device
ES2889903T3 (en) Solar mirrors and methods for making solar mirrors having improved properties
WO2016021543A1 (en) Infrared-reflecting film
JP5463678B2 (en) Transparent conductive film
JP2010231171A (en) Optical article and method for producing the same
KR20150113115A (en) Production method for infrared radiation reflecting film
JP2008268418A (en) Reflection preventing film
JP4967273B2 (en) Conductive antireflection laminate and method for producing the same
JP2007187780A (en) Antireflection thin film laminated body and optical display system
JP2007206146A (en) Antireflection film, method of manufacturing the same and display equipped with the antireflection film
WO2019004199A1 (en) Transparent heat-shielding/heat-insulating member, and method for manufacturing same
JP2009075325A (en) Antireflection film
JP2022124227A (en) Gas barrier film and production method therefor, and polarizing plate and image display device
JP2021041711A (en) Display device
JP4609053B2 (en) Conductive laminate, optical functional filter, and optical display
JP4961738B2 (en) Conductive laminate and display
JP7057714B2 (en) Transparent heat shield and heat insulating member and its manufacturing method
JP2022006679A (en) Transparent heat blocking and heat insulating member and method for manufacturing the same