JP2007185850A - Light source device, optical scanner, and image forming device using the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光量制御および偏光制御を可能とした面発光レーザの光源装置又はマルチビーム面発光レーザ光源装置と、それを備えた光走査装置およびこれを備えた画像形成装置に関するものである。 The present invention relates to a surface emitting laser light source device or a multi-beam surface emitting laser light source device capable of controlling light quantity and polarization, an optical scanning device including the same, and an image forming apparatus including the same.
近年、画像形成装置の印字速度の向上、また書き込み密度の向上が望まれている。そのため、画像形成装置を構成する光走査装置において、高速かつ高密度の光走査を達成する手段の1つとして、光偏向器の偏向速度を上げる、すなわちポリゴンミラーの回転速度を上げる方法がある。
しかしながら、高速回転に伴う騒音や熱等の問題があり、回転速度向上にも限界がある。一方で、高速かつ高密度の光走査を達成するための別の手段としては、1度に複数の光ビームを走査して、同時に複数ラインを走査させる方法がある。
複数の光ビームを走査することを可能とするマルチビーム光源装置として、複数の光ビームを発生する1つのマルチビーム光源(1つのパッケージ内に複数の発光点を有するレーザアレイ光源)を用いて、従来の1つの光源を用いた光走査装置に置き換えることで実現することができる。
一方、従来のシングルビーム光源(1つのパッケージ内に1つの発光点を有するレーザ光源)を複数個用いて、マルチビーム光源装置を達成する方法が多数提案されている。
光源としては一般に半導体レーザが用いられており、従来は端面発光レーザがその主流であった。しかし近年では面発光レーザ(VCSELと呼ばれる)が登場してきた。
面発光レーザでは、端面発光レーザに比べてアレイ化が容易であることから、端面発光レーザでは4ビームから8ビーム程度が限界であったアレイ化に対して、面発光レーザでは16ビームから32ビーム、またそれ以上のアレイ化が可能となっている。
そのため、画像形成装置の印字速度の向上や、書き込み密度向上を達成するための光源として、また、面発光レーザを使用する光学装置、例えば、光通信用光源として期待されている。
In recent years, it has been desired to improve the printing speed and the writing density of image forming apparatuses. Therefore, as one of means for achieving high-speed and high-density optical scanning in the optical scanning device constituting the image forming apparatus, there is a method of increasing the deflection speed of the optical deflector, that is, increasing the rotational speed of the polygon mirror.
However, there are problems such as noise and heat associated with high-speed rotation, and there is a limit to improving the rotation speed. On the other hand, as another means for achieving high-speed and high-density optical scanning, there is a method of scanning a plurality of light beams at a time and simultaneously scanning a plurality of lines.
As a multi-beam light source device capable of scanning a plurality of light beams, using one multi-beam light source (laser array light source having a plurality of light emitting points in one package) that generates a plurality of light beams, This can be realized by replacing the conventional optical scanning device using one light source.
On the other hand, many methods for achieving a multi-beam light source device using a plurality of conventional single beam light sources (laser light sources having one light emitting point in one package) have been proposed.
A semiconductor laser is generally used as a light source, and an edge-emitting laser has been the mainstream in the past. In recent years, however, surface emitting lasers (called VCSELs) have appeared.
Since surface emitting lasers are easier to array than edge emitting lasers, the edge emitting lasers have a limit of about 4 to 8 beams, whereas surface emitting lasers have 16 to 32 beams. In addition, further arraying is possible.
Therefore, it is expected as a light source for improving the printing speed and writing density of the image forming apparatus, and as an optical device using a surface emitting laser, for example, a light source for optical communication.
屈折率の異なる2つの媒質(例えば、一方が空気で、もう一方が等方性媒質)が光の波長よりも小さい周期構造を有するような構造(SWS=Subwavelength Structure;サブ波長構造)になっている光学素子では、構造複屈折と呼ばれる光学異方性が発現する。
従来、複屈折性を用いるためには、水晶や方解石などの複屈折性結晶を用いる必要があり、物質固有の特性であることから複屈折性を変えることは難しかった。それに対して構造複屈折では特別な結晶を用いることなく、一般的な媒質の形状によって複屈折性を変えることができるため、比較的容易に制御することが可能である。
これによって、複屈折性結晶を用いない偏光ビームスプリッタなどが実現できる。また、媒質の形状による有効屈折率を制御することで反射防止構造を光学面に形成することもできる。
上記構造複屈折を有することから、TE偏光とTM偏光に対して、その構造の厚さを制御することによって位相差を変化させることができ、λ/2板やλ/4板の機能を発生させることができる。
TE偏光およびTM偏光に対する屈折率をn(TE)、n(TM)とし、使用する光の波長をλ、構造の厚さをdとおけば、発生する位相差φは、
φ=2π{n(TE)−n(TM)}d/λ
で表すことができる。
また、適切な厚さdを選ぶことによって、いずれかの偏光のみを透過する偏光フィルタを実現することもできる。
Two media having different refractive indexes (for example, one is air and the other isotropic medium) has a structure (SWS = Subwavelength Structure) having a periodic structure smaller than the wavelength of light. In an optical element, an optical anisotropy called structural birefringence appears.
Conventionally, in order to use birefringence, it has been necessary to use a birefringent crystal such as quartz or calcite, and it has been difficult to change the birefringence because it is a property specific to a substance. On the other hand, birefringence can be changed depending on the shape of a general medium without using a special crystal in structural birefringence, and can be controlled relatively easily.
Thereby, a polarizing beam splitter or the like that does not use a birefringent crystal can be realized. In addition, the antireflective structure can be formed on the optical surface by controlling the effective refractive index according to the shape of the medium.
Since it has the above-mentioned structural birefringence, the phase difference can be changed by controlling the thickness of the TE polarized light and TM polarized light, and the function of λ / 2 plate and λ / 4 plate is generated. Can be made.
If the refractive indices for TE polarized light and TM polarized light are n (TE) and n (TM), the wavelength of light to be used is λ, and the thickness of the structure is d, the generated phase difference φ is
φ = 2π {n (TE) −n (TM)} d / λ
It can be expressed as
Further, by selecting an appropriate thickness d, it is possible to realize a polarizing filter that transmits only one of the polarized light.
しかしながら、面発光レーザを用いた光源装置を従来の光走査装置へ適用していく場合には、端面発光レーザに対して、以下のような種々の問題点を有し、これらを解決するための幾つかの技術が知られている(例えば、特許文献1乃至6及び非特許文献1参照)。
端面発光レーザでは、後方への出射光をモニタしながらAPC(自動電力制御、Auto Power Control)をかけて駆動しているのが一般的であるのに対し、面発光レーザではその構造上、後方出射光を生じないため、何らかの手段による光量制御が必要となる。
光量制御がかけられない光源装置を用いて画像形成装置で出力した画像においては、光源装置の光出力変動に起因する濃度変動が発生してしまい、良好な画像が得られないという問題を生じる。
そのため、面発光レーザを用いた場合の光量制御手段として、面発光レーザから放出される光ビームのうち、或る所定の割合を有する一部の光ビームを分岐させて光検出器に導き、その光検出器の出力に応じて、レーザ光量制御装置において、面発光レーザの光出力が所定の出力となるようにその駆動電流を制御して、面発光レーザを駆動するという手段が考えられる。
However, when a light source device using a surface emitting laser is applied to a conventional optical scanning device, it has various problems as described below with respect to an edge emitting laser, and is intended to solve these problems. Several techniques are known (see, for example, Patent Documents 1 to 6 and Non-Patent Document 1).
The edge-emitting laser is generally driven by applying APC (Auto Power Control) while monitoring the light emitted backward, whereas the surface-emitting laser is rearward because of its structure. Since no outgoing light is generated, it is necessary to control the amount of light by some means.
In an image output by an image forming apparatus using a light source device to which light amount control cannot be applied, a density variation due to a light output variation of the light source device occurs, resulting in a problem that a good image cannot be obtained.
Therefore, as a light amount control means when using a surface emitting laser, a part of the light beam emitted from the surface emitting laser having a certain predetermined ratio is branched and guided to a photodetector. In accordance with the output of the photodetector, a means for driving the surface emitting laser by controlling the driving current so that the light output of the surface emitting laser becomes a predetermined output in the laser light quantity control device can be considered.
図13はビームスプリッタを用いる一部の光ビームの分岐の従来例を示す概略図である
。図14はハーフミラーを用いる一部の光ビームの分岐の従来例を示す概略図である。
一部の光ビームを分岐させて光検出器40に導くための方法として、特許文献1ではビームスプリッタ41を用いて一部の光ビームを分岐させている(図13)。また、特許文献2では、ビーム分離光学素子としてハーフミラー44を用いて一部の光ビームを分岐させている(図14)。
図14の光学系43の光量制御回路42では、ハーフミラー44及びポリゴンミラー48、被走査面(感光体ドラム)45への2枚の走査結像レンズ46、47のみを符号で示している。
端面発光レーザでは、出射する光ビームの偏光方向は、端面発光レーザの活性層に平行な方向を有する直線偏光である。図15は端面発光レーザの出射する光ビームの偏光方向を示す模式図である。
図15のように端面発光レーザの直線偏光に対し、面発光レーザではその構造上、基本的にランダム偏光であるため、何らかの手段による偏光制御が必要となる。
光走査装置において、光ビームは光偏向器による反射や、多数の光学素子による透過や反射を受ける。この際、界面での透過や反射は偏光依存性を有するため、入射面に平行な面内にその偏光方向を有する(P偏光)場合と、入射面に垂直な方向にその偏光方向を有する(S偏光)場合では、その透過率、反射率が異なってしまう。
そのため、マルチビーム光源装置では各々の光源から出射する光ビームの偏光方向は等しくすることが望ましい。また、端面発光レーザを用いた光源装置を想定して製作された光走査装置に面発光レーザを用いた光源装置を置き換えた場合には、その偏光方向は等しく合わせる必要があり、もし異なる偏光状態にある場合には、1ライン内(1走査内)における光量特性が著しく劣化する。
従って、このような画像形成装置で出力した画像においては、光偏向器や光学素子の透過率や反射率の偏光依存性に起因する濃度変動が発生してしまい、良好な画像が得られないという問題を生じる。
FIG. 13 is a schematic diagram showing a conventional example of branching of some light beams using a beam splitter. FIG. 14 is a schematic view showing a conventional example of branching of a part of a light beam using a half mirror.
As a method for branching a part of the light beam and guiding it to the
In the light quantity control circuit 42 of the
In the edge emitting laser, the polarization direction of the emitted light beam is linearly polarized light having a direction parallel to the active layer of the edge emitting laser. FIG. 15 is a schematic diagram showing the polarization direction of the light beam emitted from the edge emitting laser.
In contrast to the linearly polarized light of the edge-emitting laser as shown in FIG. 15, the surface-emitting laser is basically random polarized light due to its structure, and thus polarization control by some means is required.
In an optical scanning device, a light beam is reflected by an optical deflector and transmitted and reflected by a number of optical elements. At this time, since transmission and reflection at the interface have polarization dependency, the polarization direction is in a plane parallel to the incident surface (P-polarized light), and the polarization direction is perpendicular to the incident surface ( In the case of (S-polarized), the transmittance and reflectance are different.
Therefore, in the multi-beam light source device, it is desirable that the polarization directions of the light beams emitted from the respective light sources are equal. In addition, if a light source device using a surface emitting laser is replaced with an optical scanning device manufactured assuming a light source device using an edge emitting laser, the polarization directions must be matched equally, and different polarization states In this case, the light quantity characteristic in one line (in one scan) is remarkably deteriorated.
Therefore, in an image output by such an image forming apparatus, a density variation due to the polarization dependency of the transmittance or reflectance of the optical deflector or optical element occurs, and a good image cannot be obtained. Cause problems.
図16は従来の偏光制御手段を示す概略図である。この問題のため、面発光レーザを用いた場合の偏光制御手段として、一例としては、特許文献3に示すようにデバイス構造自体に偏光方向を制御する構造を設けることもできるが、素子構造が複雑になってしまい製作が困難である(図16)。
また、面発光レーザの構造や製造方法に応じて制御構造も異なることが推測され、任意の面発光レーザに適用できるとは限らない。他の一例としては、面発光レーザから出射した光ビームに対して、透過や反射の偏光依存性を受けない段階において、その偏光を制御することが考えられる。
図17は面発光レーザの出射側に偏光ビームスプリッタを配置する特許文献4の偏光制御手段の従来例を示す概略図である。図18は偏光子とハーフミラーを使用する特許文献5の偏光制御手段の従来例を示す概略図である。
面発光レーザの発光部外に偏光制御手段を用いた方法として、特許文献4では面発光レーザ49の出射側に偏光ビームスプリッタ50を配置して、所望の偏光方向の光ビームだけを透過させている(図17)。また、特許文献5では光ビームの光路中に偏光子51、ハーフミラー52を設けることによって所望の偏光方向の光ビームだけを透過させている(図18)。
FIG. 16 is a schematic view showing a conventional polarization control means. Because of this problem, as an example of polarization control means when a surface emitting laser is used, a structure for controlling the polarization direction can be provided in the device structure itself as shown in
Further, it is speculated that the control structure varies depending on the structure of the surface emitting laser and the manufacturing method, and it is not necessarily applicable to any surface emitting laser. As another example, it is conceivable to control the polarization of a light beam emitted from a surface emitting laser at a stage where it does not receive polarization dependency of transmission and reflection.
FIG. 17 is a schematic view showing a conventional example of the polarization control means of
As a method using polarization control means outside the light emitting part of the surface emitting laser, in
これら従来技術において、特許文献1や特許文献4においては、光量制御は行っていない。また、特許文献5においては、偏光制御手段と光量制御を行うための光ビームを分岐するための手段は設けられているが、別々に分離されている。特許文献6においては、偏光フィルタによって偏光方向を制御する。
上述したように、特許文献1の光量制御手段は、ビームスプリッタやカバーガラス(平行平板)にて一部の光を分岐させて光検出器へ導く。特許文献2の光量制御手段は、ビーム分離光学素子(ハーフミラー)を用いる。
特許文献3では、共振器構造によって偏光を制御する。特許文献4の偏光制御手段では、面発光レーザの出射側に偏光ビームスプリッタを配置している。特許文献5では、光源手段と偏向手段との間に偏光制限手段を設けた光走査装置が開示され、さらに偏光制限手段は一部の光学要素と一体的に形成される。さらには偏光制限手段と偏向手段との間に光量検出手段を設ける。
特許文献6では、偏光フィルタによって偏光方向を制御する。さらに、非特許文献1では、光の波長よりも小さい周期構造を有するような構造(SWS=Subwavelength Structure;サブ波長構造)について記載している。
As described above, the light amount control means of Patent Document 1 branches a part of light with a beam splitter or a cover glass (parallel plate) and guides it to the photodetector. The light quantity control means of
In
In Patent Document 6, the polarization direction is controlled by a polarizing filter. Further, Non-Patent Document 1 describes a structure having a periodic structure smaller than the wavelength of light (SWS = Subwavelength Structure).
しかしながら、これらの従来技術においては面発光レーザの偏光制御は行っていない。また、端面発光レーザでは、後方への出射光をモニタしながらAPC(自動電力制御)をかけて駆動しているのが一般的であるのに対し、面発光レーザではその構造上、後方出射光を生じないため、何らかの手段による光量制御が必要となる。
光量制御が掛けられない光源装置を用いて画像形成装置で出力した画像においては、光源装置の光出力変動に起因する濃度変動が発生してしまい、良好な画像が得られないという問題を生じる。
さらに、端面発光レーザを用いた光源装置を想定して製作された光走査装置に面発光レーザを用いた光源装置を置き換えた場合には、その偏光方向は等しく合わせる必要があり、もし異なる偏光状態にある場合には、1ライン内(1走査内)における光量特性が著しく劣化するという問題もある。
そこで、本発明の目的は、上述した実情を考慮して、光量制御手段と偏光制御手段の両方を1つの光源装置内に有するとともに、さらに光路分岐手段と偏光制御手段をカバーガラスと一体化した小型で、低コストの面発光レーザを用いた光源装置、これを備える光走査装置及びこれを備える画像形成装置を提供することにある。
However, in these conventional techniques, the polarization control of the surface emitting laser is not performed. In general, an edge-emitting laser is driven by APC (automatic power control) while monitoring the emitted light from the rear, whereas the surface-emitting laser has a structure in which the emitted light is rearward. Therefore, it is necessary to control the amount of light by some means.
In an image output by an image forming apparatus using a light source device that cannot perform light amount control, a density variation due to a light output variation of the light source device occurs, and a problem that a good image cannot be obtained occurs.
Furthermore, when a light source device using a surface-emitting laser is replaced with an optical scanning device manufactured assuming a light source device using an edge-emitting laser, the polarization directions must be matched equally, and different polarization states In this case, there is a problem that the light quantity characteristic in one line (in one scan) is remarkably deteriorated.
In view of the above situation, the object of the present invention is to have both the light quantity control means and the polarization control means in one light source device, and further, the optical path branching means and the polarization control means are integrated with the cover glass. An object of the present invention is to provide a light source device using a small-sized and low-cost surface emitting laser, an optical scanning device including the same, and an image forming apparatus including the same.
上記の課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、面発光レーザと、この面発光レーザを封止するためのカバーガラスと、前記面発光レーザから出射する光ビームの一部を受光する光検出器とを備えている光源装置において、前記面発光レーザから出射する光ビームの一部を分岐させて前記光検出器に導くための光路分岐手段と、前記面発光レーザから出射する光ビームの偏光を制御する偏光制御手段とを前記カバーガラスと一体化する光源装置を特徴とする。
また、請求項2に記載の発明は、前記光路分岐手段が前記カバーガラスの前記面発光レーザ側に設ける請求項1記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項3に記載の発明は、前記光路分岐手段が前記カバーガラス上に設けた周期構造による回折格子である請求項2記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項4に記載の発明は、前記偏光制御手段が前記カバーガラスの前記面発光レーザとは反対側に設ける請求項1記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項5に記載の発明は、前記偏光制御手段が前記カバーガラス上に設けた、前記面発光レーザの波長と同程度、もしくは波長よりも小さい周期構造による回折格子である請求項4記載の光源装置を特徴とする。
In order to solve the above-described problems, the invention described in claim 1 includes a surface emitting laser, a cover glass for sealing the surface emitting laser, and a part of a light beam emitted from the surface emitting laser. In a light source device comprising a photodetector for receiving light, an optical path branching means for branching a part of a light beam emitted from the surface emitting laser and guiding it to the photodetector, and emitting from the surface emitting laser The light source device is characterized in that polarization control means for controlling polarization of the light beam is integrated with the cover glass.
The invention according to
According to a third aspect of the present invention, there is provided the light source device according to the second aspect, wherein the optical path branching means is a diffraction grating having a periodic structure provided on the cover glass.
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the light source device according to the first aspect, wherein the polarization control means is provided on a side of the cover glass opposite to the surface emitting laser.
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a diffraction grating according to the fourth aspect of the present invention, wherein the polarization control means is provided on the cover glass and has a periodic structure that is the same as or smaller than the wavelength of the surface emitting laser. The light source device is characterized.
また、請求項6に記載の発明は、前記光路分岐手段と前記偏光制御手段が、前記カバーガラスの一方の面に設けられた、少なくとも2つの周期構造を有する偏光依存性の回折格子である請求項1記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項7に記載の発明は、前記光路分岐手段と前記偏光制御手段が、前記カバーガラスの前記面発光レーザ側に設ける請求項6記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項8に記載の発明は、前記面発光レーザが複数の発光部を有する面発光レーザアレイである請求項1記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項9に記載の発明は、請求項1乃至8記載のいずれか一項記載の光源装置と、前記光源装置から導かれる光ビームを光偏向器に導光するための第2光学系と、この第2光学系から導かれる光ビームを偏向走査するための光偏向器と、この光偏向器により偏向走査された光ビームを被走査面上に光スポットとして結像させるための第3光学系とを有する光走査装置を特徴とする。
また、請求項10に記載の発明は、請求項9記載の光走査装置を光書き込みユニットとして用いる画像形成装置を特徴とする。
The invention according to claim 6 is a polarization-dependent diffraction grating in which the optical path branching unit and the polarization control unit are provided on one surface of the cover glass and have at least two periodic structures. The light source device according to Item 1 is characterized.
The invention according to claim 7 is characterized in that the light path branching means and the polarization control means are provided on the surface emitting laser side of the cover glass.
The invention according to claim 8 is the light source device according to claim 1, wherein the surface emitting laser is a surface emitting laser array having a plurality of light emitting portions.
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided the light source device according to any one of the first to eighth aspects and a second optical system for guiding a light beam guided from the light source device to an optical deflector. An optical deflector for deflecting and scanning the light beam guided from the second optical system, and a third for imaging the light beam deflected and scanned by the optical deflector as a light spot on the surface to be scanned. An optical scanning device having an optical system is characterized.
According to a tenth aspect of the present invention, there is provided an image forming apparatus using the optical scanning device according to the ninth aspect as an optical writing unit.
本発明によれば、光路分岐手段と偏光制御手段の2つの機能を有する手段が一体化されるとともに、さらには半導体レーザ(端面発光レーザや面発光レーザ)装置が一般に有するカバーガラスにその機能を集約させることによって、小型かつ低コストの光源装置が提供できる。
本発明によれば、また、光源装置の光出力変動が起きないようにするとともに、画像上においてそれに起因する濃度変動が発生しないようにする。さらに、光偏向器や光学素子の透過率や反射率の偏光依存性が起きないようにするとともに、それに起因する濃度変動が発生しないようにし、これら濃度変動を抑えることによって、良好な画像を得ることができる。
According to the present invention, means having two functions of an optical path branching means and a polarization control means are integrated, and furthermore, the function is applied to a cover glass generally possessed by a semiconductor laser (edge emitting laser or surface emitting laser) device. By concentrating, a small and low-cost light source device can be provided.
According to the present invention, the light output fluctuation of the light source device does not occur, and the density fluctuation caused by it does not occur on the image. In addition, the polarization dependency of the transmittance and reflectance of the optical deflector and optical element is prevented, and density fluctuations caused by it are prevented from occurring. By suppressing these density fluctuations, a good image can be obtained. be able to.
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図1は本発明による光源装置の第1の実施の形態を示す概略図である。図1において、光源装置Aは、面発光レーザ1と、この面発光レーザ1から出射する光ビームの一部を受光する光検出器2が、面発光レーザ1を封止するためのカバーガラス3、ホルダ4、およびベース5によってパッケージング(包装)されている。
図2は面発光レーザの一例を示す概略図である。図2の面発光レーザ1は、活性層1cが2つのクラッド層1a、1bに挟まれており、さらにそのクラッド層1a、1bの上下の面に高い反射率を有する反射面1d、1eを正対して形成するような構造を有している。
この2つの反射面1d、1eに挟まれた領域が基板6に対して垂直な、いわゆる、ファブリーペロー共振器となり、活性層1cの発振領域1fでレーザ発振が起こり、基板6に対して垂直な方向、すなわち図に示す矢印A方向に光ビームを発振している。面発光レーザ1では、この構造上、基本的にランダム偏光を有している。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic view showing a first embodiment of a light source device according to the present invention. In FIG. 1, a light source device A includes a surface emitting laser 1 and a
FIG. 2 is a schematic view showing an example of a surface emitting laser. In the surface emitting laser 1 of FIG. 2, the
A region sandwiched between the two reflecting
図1において、面発光レーザ1から出射する光ビームは光学素子であるカバーガラス3に入射され、その光ビームの一部はカバーガラス3で分岐されて、光検出器2に入射される。一方、面発光レーザ1から出射する光ビームはランダム偏光であるのに対し、カバーガラス3を透過した後の光ビームは所定の方向をもつ直線偏光となっている。
この時、カバーガラス3は光路分岐手段であるとともに、偏光制御手段をも兼ね備えている。従って、カバーガラス3には光路分岐手段と偏光制御手段が一体化されているのである。光検出器2からの光ビームの強度信号に基づいて面発光レーザ1の光量制御が行なわれる。
図3はレーザ光量制御装置の一例を示す概略図である。図3において、光源装置Aのカバーガラス3から角度θをもって反射された光ビームの一部は光検出器2に入射される。
光検出器2からの光強度信号はレーザ光量制御装置7に送られ、このレーザ光量制御装置7では面発光レーザ1の光出力が所定の出力となるようにその駆動電流を制御している。レーザ光量制御装置7からの電流信号は面発光レーザ1へフィードバックされており、面発光レーザ1は所定の光出力にて駆動されるようになっている。
In FIG. 1, a light beam emitted from the surface emitting laser 1 is incident on a
At this time, the
FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of a laser light quantity control device. In FIG. 3, a part of the light beam reflected at an angle θ from the
The light intensity signal from the
図4は光路分岐手段の一例を示す概略図である。図4において、光源装置Aの面発光レーザ1はベース5に取り付けられている。光路分岐手段はホルダ4に支持されたカバーガラス3の面発光レーザ側に設けられたハーフミラー面3aである。
このハーフミラー面3aによって、光ビームの或る所定の割合、例えば、50%が透過され、残りの50%が反射される。ハーフミラー面3aは誘電体多層膜などによって形成することができる。
ここで、ハーフミラー面3aで透過又は反射される光ビームの割合は、以下の要因によって設定することができる。この光源装置Aから出射する光ビームはできるだけ高出力が望ましいのが一般的であり、透過率はできるだけ高いほうが良い。
従って、光検出器2で光ビームの一部を検出する上で必要最低限の光出力のみを反射させるが望ましい。光路分岐手段を面発光レーザ1側に設けることにより、偏光制御手段より前に光ビームの一部を分岐することにより、光強度が高い状態で光路分岐が可能である。
FIG. 4 is a schematic view showing an example of the optical path branching means. In FIG. 4, the surface emitting laser 1 of the light source device A is attached to a
The
Here, the ratio of the light beam transmitted or reflected by the
Therefore, it is desirable to reflect only the minimum light output necessary for detecting a part of the light beam by the
図5は光路分岐手段の別の例を示す概略図である。図5において、光源装置Aの光路分岐手段はカバーガラス3の面発光レーザ1側に設けられた周期構造による回折面3bである。
例えば、±1次の反射光を光検出器2で検出している様子である。回折面3bのピッチΛを、面発光レーザ1の出射する波長λに対して、Λ>λとすることで、±1次の回折光が発生する。
図5では±1次の反射光に対して光検出器2をそれぞれ設けているが、+1次、または−1次のいずれかに対して設けることもできるし、もちろん±1次以外の回折光を用いることもできる。カバーガラス3を直接加工することが可能であり、高分子や金属ワイヤー等の他の物質を付加する必要がなく、安定した偏光制御手段の形成が可能である。
さらには、回折面3bをブレーズ化することによって、+1次の回折効率を−1次よりも高くすることもできるし、その逆も可である。また、回折面等によって出る不要な光は、光源装置A内または外において、必要に応じて、開口手段(図示せず)等によってカットすることもできる。
図6は偏光制御手段の一例を示す概略図である。図6において、偏光制御手段はカバーガラス3の面発光レーザ1とは反対側に設けられた高分子製偏光フィルタ(偏光子)8である。
このように偏光制御手段を面発光レーザ1とは反対側に設けることにより、光源装置Aの最終面に偏光制御手段があるので、良好に偏光制御された状態で光源装置から出射することができる。
面発光レーザ1から出射されたランダム偏光のうち、或る方向を持った直線偏光成分のみを透過させている。偏光制御手段としては、その他に、ワイヤーグリッド偏光子などを用いることができる。このように、カバーガラス3表面に薄く形成できることが望ましい。
FIG. 5 is a schematic view showing another example of the optical path branching means. In FIG. 5, the light path branching means of the light source device A is a
For example, it is a state that ± 1st order reflected light is detected by the
In FIG. 5, the
Further, by blazing the
FIG. 6 is a schematic view showing an example of the polarization control means. In FIG. 6, the polarization control means is a polymer polarizing filter (polarizer) 8 provided on the opposite side of the
By providing the polarization control means on the side opposite to the surface emitting laser 1 in this way, the polarization control means is provided on the final surface of the light source device A, so that light can be emitted from the light source device in a state in which polarization control is well performed. .
Of the randomly polarized light emitted from the surface emitting laser 1, only the linearly polarized light component having a certain direction is transmitted. In addition, a wire grid polarizer or the like can be used as the polarization control means. Thus, it is desirable that the
図7は偏光制御手段の別の例を示す概略図である。図7において、偏光制御手段はカバーガラス3の面発光レーザ1とは反対側に設けられた周期構造による偏光依存性を持った回折面(回折格子)9である。
回折面9のピッチΛ’が面発光レーザ1の出射する波長λに近い(Λ’=λ〜10λ程度)、もしくはピッチΛ’が波長λより小さい(Λ’<λ)ような、いわゆる、共鳴領域、もしくはサブ波長領域と呼ばれる領域において、その回折面9は偏光依存性を有する。このような回折面9では、その回折面9に入射する光ビームの偏光方向(例えば、TE波やTM波)によって、その挙動が異なる。
例えば、Λ’=2λとなる偏光依存性の回折面9はSchmitz(シュミッツ)等による(OPTICS LETTERS(オプティクス・レターズ)、第20巻、第17号、p1830)に示されている。これによれば、TE偏光を透過させることができ、TM偏光は±1次で回折させている。
また、Λ’<λとなるサブ波長構造を用いても、構造複屈折性を用いて上記のような所望の偏光を透過させることが可能である。回折面9等によって出る不要な光は、光源装置A内または外において、必要に応じて、開口手段(図示せず)等によってカットすることもできる。
カバーガラス3を直接加工することが可能であり、多層膜等の他の物質を付加する必要がなく、熱的、強度的に安定した光路分岐手段の形成が可能である。
FIG. 7 is a schematic view showing another example of the polarization control means. In FIG. 7, the polarization control means is a diffraction surface (diffraction grating) 9 having polarization dependency due to a periodic structure provided on the opposite side of the
A so-called resonance in which the pitch Λ ′ of the diffractive surface 9 is close to the wavelength λ emitted from the surface emitting laser 1 (Λ ′ = λ˜10λ) or the pitch Λ ′ is smaller than the wavelength λ (Λ ′ <λ). In a region called a region or a sub-wavelength region, the diffractive surface 9 has polarization dependency. Such a diffractive surface 9 has different behavior depending on the polarization direction of the light beam incident on the diffractive surface 9 (for example, TE wave or TM wave).
For example, a polarization-dependent diffractive surface 9 with Λ ′ = 2λ is shown in Schmitz et al. (OPTICS LETTERS, Vol. 20, No. 17, p1830). According to this, TE polarized light can be transmitted, and TM polarized light is diffracted by ± 1st order.
Even if a subwavelength structure satisfying Λ ′ <λ is used, it is possible to transmit the desired polarized light as described above by using the structural birefringence. Unnecessary light emitted from the diffractive surface 9 or the like can be cut by an opening means (not shown) or the like in the light source device A or outside as necessary.
The
図8はカバーガラスの一方の面に、光路分岐手段と偏光制御手段の両方を設けた一例を示す概略図である。図9は図8の光路分岐手段と偏光制御手段をTE偏光およびTM偏光とともに示す概略図である。
図8及び図9において、光路分岐手段と偏光制御手段の両方をカバーガラス3の一方の面(図では面発光レーザ1側の面)に設けた回折面10である。この回折面10の対向側にはホルダ4内でベース5に取り付けられた光検出器2が配置されている。
カバーガラス3上には、光路分岐手段としてピッチΛを有する回折格子と、偏光制御手段としてピッチΛ’を有する回折格子が一体化され、2つの周期構造が複合化された偏光依存性の回折格子10が形成されている。ピッチで比較すると、Λ>Λ’となっている。
FIG. 8 is a schematic view showing an example in which both the optical path branching means and the polarization control means are provided on one surface of the cover glass. FIG. 9 is a schematic diagram showing the optical path branching means and the polarization control means of FIG. 8 together with TE polarized light and TM polarized light.
8 and 9, a
On the
構造複屈折性を示す場合には、ピッチΛ’の周期構造部は、次式で示されるような有効屈折率を有する一様な等方性媒質と近似することができる。TE偏光及びTM偏光に対する屈折率をn(TE)、n(TM)とし、基板の屈折率n(ここではカバーガラス3の屈折率)、光の波長をλ、ピッチΛ’、フィルファクターf’とすると、
n(TE)=√{fn2+(1−f)}
n(TM)=√[n2/{f+(1−f)n2}]
となる。
従って、ピッチΛ’の周期構造部はTE偏光、TM偏光に対して異なった有効屈折率を有するように扱える。すなわち、図9ではTE偏光に対しては、ピッチΛの屈折率n(TE)からなる回折格子のように見え、TM偏光に対しては、ピッチΛの屈折率n(TM)からなる回折格子のように見える。
従って、TE偏光、TM偏光に対して異なった挙動を示すことが可能であり、一方の直線偏光は透過するが、それに直交する直線偏光は反射するような偏光分離ミラーを構成することができる。これによって、偏光制御が可能である。
さらに、光路分岐を行うために、反射する光ビームに対しては、ピッチΛを選択することにより、例えば、±1次の回折を生じるようにすることができるので、光検出器2へ光ビームの一部を分岐させることができ、光路分岐手段として挙動することができる。
When exhibiting structural birefringence, the periodic structure portion having the pitch Λ ′ can be approximated as a uniform isotropic medium having an effective refractive index as represented by the following equation. The refractive indexes for TE polarized light and TM polarized light are n (TE) and n (TM), the refractive index n of the substrate (here, the refractive index of the cover glass 3), the wavelength of light λ, the pitch Λ ′, and the fill factor f ′. Then,
n (TE) = √ {fn 2 + (1−f)}
n (TM) = √ [n 2 / {f + (1−f) n 2 }]
It becomes.
Therefore, the periodic structure portion having the pitch Λ ′ can be handled so as to have different effective refractive indexes for the TE polarized light and the TM polarized light. That is, in FIG. 9, it looks like a diffraction grating having a refractive index n (TE) with a pitch Λ for TE-polarized light and a diffraction grating having a refractive index n (TM) with a pitch Λ for TM-polarized light. looks like.
Therefore, it is possible to configure a polarization separation mirror that can exhibit different behavior with respect to TE polarized light and TM polarized light, and transmits one linearly polarized light but reflects linearly polarized light orthogonal thereto. Thereby, polarization control is possible.
Further, in order to branch the optical path, by selecting the pitch Λ for the reflected light beam, for example, ± 1st-order diffraction can be generated, so that the light beam is transmitted to the
さらに、図8に示しているように、光路分岐手段と偏光制御手段を複合化した回折素子10はカバーガラス3の面発光レーザ1側に設けることができる。このように、光路分岐手段と偏光制御手段をカバーガラス3の一方の面に設けることにより、カバーガラス3への直接加工により形成することができ、他の物質を付加する必要がなく、また一方の面のみへの加工で済むというメリットがある。
面発光レーザ1側はパッケージングされていることから、非回折素子表面の保護等を省略することも可能であるし、異物やゴミなどから守ることもできる。もちろん、面発光レーザ1とは反対側に設けることができないわけではない。
本発明では、光源装置を構成する部品として、面発光レーザと、カバーガラスと、光検出器の他に、ベースやホルダを図示しているが、これらが一体化されたホルダを用いても構わないし、別に第3の保持部材を設けても構わない。
これらは本発明になんら影響を与えるものではない。また、ホルダとカバーガラスの支持方法等についても詳細に言及するものではなく、既知の方法を用いることが可能である。
面発光レーザからの光ビームを、光源装置から出射する光ビームと、光源装置内で光検出器へ導く光ビームとに分岐する光路分岐手段と、光源装置から出射する光ビームを直線偏光とする偏光制御手段を、カバーガラスに集約して一体化したところに本発明の特徴があるのであって、それ以外の構成についてはなんら限定するものではない。
面発光レーザは、端面発光レーザに比べると、アレイ化が比較的容易であり、数十個の発光点を有する面発光レーザアレイが実現されている。これらの素子を本発明の光源装置に適用することもできる。
Furthermore, as shown in FIG. 8, the
Since the surface-emitting laser 1 side is packaged, it is possible to omit the protection of the surface of the non-diffractive element or the like, and it is possible to protect it from foreign matter or dust. Of course, it cannot be provided on the side opposite to the surface emitting laser 1.
In the present invention, as a component constituting the light source device, in addition to the surface emitting laser, the cover glass, and the photodetector, a base and a holder are illustrated. However, a holder in which these are integrated may be used. Alternatively, a third holding member may be provided separately.
These do not affect the present invention. Further, the method for supporting the holder and the cover glass is not described in detail, and a known method can be used.
Optical path branching means for branching the light beam from the surface emitting laser into a light beam emitted from the light source device and a light beam guided to the photodetector in the light source device, and the light beam emitted from the light source device is linearly polarized light The feature of the present invention lies in the fact that the polarization control means is integrated and integrated on the cover glass, and other configurations are not limited at all.
Surface emitting lasers are relatively easy to array compared to edge emitting lasers, and surface emitting laser arrays having several tens of light emitting points have been realized. These elements can also be applied to the light source device of the present invention.
図10は面発光レーザアレイを用いた光源装置を示す概略図である。図10において、光源装置Aは、面発光レーザアレイ1Aと、この面発光レーザアレイ1Aから出射されている複数の光ビーム(図では簡単化のため3本の光ビームとしている)を示している。
その光ビームの一部を受光する光検出器2は、面発光レーザアレイ1Aを封止するためのカバーガラス3、ホルダ4、及びベース5によってパッケージングされている。
光路分岐手段と偏光制御手段については上述の説明した例が各々の光ビームに対して適用できる。光路分岐手段によって分岐された各々の光ビームは、面発光レーザアレイ1Aの各光ビームをまとめて光量制御するのであれば、光検出器2によって複数の光ビームをまとめて検出してしまうこともできる。
この場合はまとめて検出できるサイズの光検出器を用意してもよいし、代表として幾つかの光ビームを検出するだけのサイズの光検出器を用意することもできる。一方で、面発光レーザアレイ1Aの各光ビームに別々に光量制御を行うようであれば、光路分岐手段によって分岐された光ビーム毎の光検出器を用意する必要がある。
FIG. 10 is a schematic view showing a light source device using a surface emitting laser array. In FIG. 10, a light source device A shows a surface-emitting
The
As for the optical path branching means and the polarization control means, the above-described example can be applied to each light beam. Each light beam branched by the optical path branching means may be detected collectively by the
In this case, a photodetector having a size that can be detected collectively may be prepared, or a photodetector having a size that only detects several light beams may be prepared as a representative. On the other hand, if the light amount control is separately performed for each light beam of the surface emitting
図11は本発明による光走査装置を示す概略図である。図11を参照して、(a)において、光ビームを偏向走査する方向を主走査方向と呼び、その概略断面を示し、(b)において、それに直交する方向を副走査方向と呼び、その概略断面を示している。
光源ユニット20は、光源装置Aと第1光学系11(例えば、単玉レンズ)から構成される。光源装置Aから出射された光ビームは単玉レンズ11によって平行な光ビームに整形され、第2光学系21に導かれる。この第2光学系21は、例えば、シリンドリカルレンズ12からなり、光ビームはシリンドリカルレンズ12によって線状の光ビームとなるように一方向に収束され、光偏向器13の偏向反射面上に線像として結像する。
その後、第3光学系22に導かれる。第3光学系22は、例えば、2枚の走査結像レンズ14、15からなり、光偏向器13により偏向走査される2つの光ビームは、走査結像レンズ14、15により所望の光スポットに結像される。結像された光スポットは被走査面16上を所定間隔で走査する。
また、光源装置Aに面発光レーザアレイ1A(図10)を用いて複数の光ビームが用いられる場合でも上記と同様である。この場合には、被走査面16において複数の光スポットは、主走査方向及び副走査方向において所定間隔が維持されている。この所定間隔が得られるように、各光学素子(光源装置Aの面発光レーザアレイ1A及び11〜15)が配置されている。
このように、面発光レーザアレイにおいても本発明が適用でき、ビーム数向上に対してメリットがある。さらには、画像形成装置の印字速度の向上、また書き込み密度の向上に対するメリットがある。また、小型で低コストの光源装置が適用できるので、光走査装置に関しても、小型化、低コスト化が実現できる。
光源装置Aから出射された不要な光ビーム(例えば、回折素子による必要でない回折次数の光ビーム)がある場合については、必要に応じて光走査装置内または装置外において、被走査面上に光スポットを形成しないように遮光しておけば良い。
FIG. 11 is a schematic view showing an optical scanning device according to the present invention. Referring to FIG. 11, in (a), the direction in which the light beam is deflected and scanned is referred to as a main scanning direction, and a schematic cross section thereof is shown. In (b), the direction orthogonal thereto is referred to as a sub scanning direction, A cross section is shown.
The
Thereafter, the light is guided to the third
The same applies to the case where a plurality of light beams are used for the light source device A using the surface emitting
Thus, the present invention can also be applied to a surface emitting laser array, which is advantageous for improving the number of beams. Furthermore, there are advantages in improving the printing speed and writing density of the image forming apparatus. In addition, since a small and low-cost light source device can be applied, the optical scanning device can also be reduced in size and cost.
In the case where there is an unnecessary light beam emitted from the light source device A (for example, a light beam of an unnecessary diffraction order by the diffraction element), light is applied to the surface to be scanned in the optical scanning device or outside the device as necessary. What is necessary is just to shield from light so as not to form a spot.
図12は本発明による光走査装置を搭載する画像形成装置を示す概略図である。画像形成装置において画像を形成する画像形成プロセスの1つとして、電子写真プロセスがある。以下に電子写真プロセスについて概略を説明する。
電子写真プロセスは、周知のように、像担持体(例えば、感光体)23に帯電手段24によって電位を与え(帯電プロセス)、光書き込みユニット(露光手段)25からの光スポットを像担持体23上に照射することにより潜像を作り(露光プロセス)、その潜像に現像手段26によりトナーを付着させトナー像を作り(現像プロセス)、記録紙Pに転写手段27によりそのトナー像を写し(転写プロセス)、定着手段28により圧力や熱をかけ、記録紙Pに融着させる(定着プロセス)ようになっている。
なお、像担持体23上に残ったトナーはクリーナ手段29によって清掃され、さらに帯電部分は除電ユニット30によって除電される。また、本発明の光書き込みユニットは、高速なカラー画像出力に有利な、タンデム型の画像形成装置にも適用できる。
このように画像形成装置においては、面発光レーザの光量制御を行うことにより、画像上においてそれに起因する濃度変動が発生しない。また、面発光レーザ1の偏光制御を行うことにより、光偏向器や光学素子の透過率や反射率の偏光依存性が起きないようにして、画像上においてそれに起因する濃度変動が発生しない。これら濃度変動を抑えることによって、面発光レーザ1を用いた場合においても、良好な画像を得ることができる。
さらに、面発光レーザ1の適用により、画像形成装置の印字速度の向上、また書き込み密度の向上を実現することができる。一方で、面発光レーザ1を用いた時と同じ印字速度、同じ走査密度の光走査装置を構成する上では、光偏向器の回転速度を低減することが可能となるため、消費電力の低下、回転運動に伴う騒音の低下や熱発生の低下に貢献できる。
FIG. 12 is a schematic view showing an image forming apparatus equipped with an optical scanning device according to the present invention. One of image forming processes for forming an image in an image forming apparatus is an electrophotographic process. An outline of the electrophotographic process will be described below.
In the electrophotographic process, as is well known, an electric potential is applied to the image carrier (for example, photoconductor) 23 by the charging means 24 (charging process), and the light spot from the optical writing unit (exposure means) 25 is applied to the
The toner remaining on the
As described above, in the image forming apparatus, by controlling the light amount of the surface emitting laser, the density fluctuation caused by it does not occur on the image. Further, by controlling the polarization of the surface emitting laser 1, the polarization dependency of the transmittance and the reflectance of the optical deflector and the optical element does not occur, and the density fluctuation caused by it does not occur on the image. By suppressing these density fluctuations, a good image can be obtained even when the surface emitting laser 1 is used.
Furthermore, by applying the surface emitting laser 1, it is possible to improve the printing speed and the writing density of the image forming apparatus. On the other hand, in configuring an optical scanning device having the same printing speed and the same scanning density as when the surface emitting laser 1 is used, the rotational speed of the optical deflector can be reduced, so that the power consumption is reduced. Contributes to the reduction of noise and heat generation associated with rotational movement.
A 光源装置、B 画像形成装置、1 面発光レーザ、1A 面発光レーザアレイ、2 光検出器、3 カバーガラス(光路分岐手段、偏光制御手段)、3a ハーフミラー面(光路分岐手段)、3b 回折面(周期構造による)、8 偏光子(偏光制御手段)、9 回折格子(周期構造による回折面)、10 回折格子(光路分岐手段と偏光制御手段を複合化)
A light source device, B image forming apparatus, 1 surface emitting laser, 1A surface emitting laser array, 2 photodetector, 3 cover glass (light path branching means, polarization control means), 3a half mirror surface (light path branching means), 3b diffraction Surface (depending on the periodic structure), 8 polarizer (polarization control means), 9 diffraction grating (diffractive surface due to periodic structure), 10 diffraction grating (combining optical path branching means and polarization control means)
Claims (10)
An image forming apparatus using the optical scanning device according to claim 9 as an optical writing unit.
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008263176A (en) * | 2007-03-16 | 2008-10-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Wavelength detection apparatus, wavelength stabilized laser equipment, and image display unit |
JP2011066031A (en) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Ricoh Co Ltd | Light source device, optical scanning device, and image forming device |
JP2012151441A (en) * | 2010-12-28 | 2012-08-09 | Ricoh Co Ltd | Optical device, optical scanner, and image formation apparatus |
JP2013037025A (en) * | 2011-08-03 | 2013-02-21 | Ricoh Co Ltd | Light source device, optical scanner, and image forming apparatus |
US8385377B2 (en) | 2010-08-04 | 2013-02-26 | Alps Electric Co., Ltd. | Semiconductor laser device |
JP2013051283A (en) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Ricoh Co Ltd | Optical device, optical scanner, and image formation apparatus |
JP2020017619A (en) * | 2018-07-25 | 2020-01-30 | 住友電気工業株式会社 | Optical module and method for manufacturing optical module |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08330661A (en) * | 1995-06-05 | 1996-12-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | Laser beam quantity monitor for surface emitting laser |
JPH10215020A (en) * | 1997-01-24 | 1998-08-11 | Hewlett Packard Co <Hp> | Laser-base light source as unitary body |
JPH1139705A (en) * | 1997-07-16 | 1999-02-12 | Ricoh Co Ltd | Optical pickup device |
JP2003270569A (en) * | 2002-03-13 | 2003-09-25 | Canon Inc | Scanning optical system and image forming apparatus using it |
JP2003534669A (en) * | 2000-05-23 | 2003-11-18 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | Systems and methods for VCSEL polarization control |
JP2005085942A (en) * | 2003-09-08 | 2005-03-31 | Seiko Epson Corp | Optical module and optical transmitter |
-
2006
- 2006-01-12 JP JP2006005431A patent/JP5080008B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08330661A (en) * | 1995-06-05 | 1996-12-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | Laser beam quantity monitor for surface emitting laser |
JPH10215020A (en) * | 1997-01-24 | 1998-08-11 | Hewlett Packard Co <Hp> | Laser-base light source as unitary body |
JPH1139705A (en) * | 1997-07-16 | 1999-02-12 | Ricoh Co Ltd | Optical pickup device |
JP2003534669A (en) * | 2000-05-23 | 2003-11-18 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | Systems and methods for VCSEL polarization control |
JP2003270569A (en) * | 2002-03-13 | 2003-09-25 | Canon Inc | Scanning optical system and image forming apparatus using it |
JP2005085942A (en) * | 2003-09-08 | 2005-03-31 | Seiko Epson Corp | Optical module and optical transmitter |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008263176A (en) * | 2007-03-16 | 2008-10-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Wavelength detection apparatus, wavelength stabilized laser equipment, and image display unit |
JP2011066031A (en) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Ricoh Co Ltd | Light source device, optical scanning device, and image forming device |
US8385377B2 (en) | 2010-08-04 | 2013-02-26 | Alps Electric Co., Ltd. | Semiconductor laser device |
JP2012151441A (en) * | 2010-12-28 | 2012-08-09 | Ricoh Co Ltd | Optical device, optical scanner, and image formation apparatus |
JP2013037025A (en) * | 2011-08-03 | 2013-02-21 | Ricoh Co Ltd | Light source device, optical scanner, and image forming apparatus |
JP2013051283A (en) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Ricoh Co Ltd | Optical device, optical scanner, and image formation apparatus |
JP2020017619A (en) * | 2018-07-25 | 2020-01-30 | 住友電気工業株式会社 | Optical module and method for manufacturing optical module |
JP7073964B2 (en) | 2018-07-25 | 2022-05-24 | 住友電気工業株式会社 | Optical module and manufacturing method of optical module |
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Publication number | Publication date |
---|---|
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