JP2007178307A - Wavelength detector of laser light, and laser device - Google Patents

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景康 酒匂
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wavelength detector of laser light capable of detecting correctly the wavelength of the laser light. <P>SOLUTION: An optical wedge 16 is provided in an optical path where the laser light passes, and an interference fringe generated by the optical wedge 16 is received by a two-split detector 17a and a two-split detector 17b. Assuming that a refractive index of the optical wedge 16 is n, the width of the detector is a, a separation distance between the two sets of the two-split detectors is b, a light beam incident angle is ϕ, the shortest wavelength is λ, the longest wavelength is λ', the beam diameter of the light beam is W, and m is an integer, an equality: θ≤λ*sinϕ/(4*n*a) is established in the range of 0.1*(λ'*λ)/((2*n*(λ'-λ)))≤d≤W/(4*tan(Arcsin((sinϕ)/n))). <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

この発明は、レーザ光の波長検出器およびレーザ装置に関する。   The present invention relates to a laser beam wavelength detector and a laser apparatus.

次世代の記録再生装置として、ホログラム記録媒体(ホログラムメモリ)に情報を記録し、ホログラム記録媒体から記録された情報を再生するホログラム記録再生装置(ホログラム記録装置またはホログラム再生装置並びにホログラム記録および再生装置)の開発が進んでいる。   Hologram recording / reproducing apparatus (hologram recording apparatus or hologram reproducing apparatus and hologram recording / reproducing apparatus) for recording information on a hologram recording medium (hologram memory) and reproducing information recorded from the hologram recording medium as a next-generation recording / reproducing apparatus ) Is under development.

ホログラム記録装置では、ページ単位に構成された記録すべき情報(記録データ)によって変調された信号光と、その信号光を生成する同一のレーザ光源からの参照光とを発生させ、ホログラム記録媒体に照射する。それによって、ホログラム記録媒体上で信号光と参照光とが干渉してホログラム記録媒体中に干渉縞が形成され、その干渉縞をホログラム記録媒体の屈折率または透過率の変化による回折格子(ホログラム)として形状化して記録データが記録される。   In the hologram recording apparatus, signal light modulated by information to be recorded (recording data) configured in units of pages and reference light from the same laser light source that generates the signal light are generated, and the hologram recording medium Irradiate. Thereby, the signal light and the reference light interfere with each other on the hologram recording medium to form interference fringes in the hologram recording medium, and the interference fringes are formed by a diffraction grating (hologram) by changing the refractive index or transmittance of the hologram recording medium. As a result, the recording data is recorded.

また、このようにして記録された回折格子(ホログラム)から記録データを再生するホログラム再生装置では、記録済みの記録媒体に形成された回折格子(ホログラム)に参照光を照射して発生された回折光(再生光)を受光素子で検出して記録データを再生できる。   Further, in a hologram reproducing apparatus that reproduces recorded data from a diffraction grating (hologram) recorded in this way, the diffraction generated by irradiating the diffraction grating (hologram) formed on the recorded recording medium with reference light Recording data can be reproduced by detecting light (reproducing light) with a light receiving element.

このようなホログラム記録再生装置に用いるレーザ光源としては、シングルモードにちかいレーザ光源が望ましいところから、外部共振器型レーザ装置が用いられる場合がある。例えば、図14に示すように、マルチモードで発振するレーザ・ダイオード(LD:Laser Diode)101をレンズ103で平行光として、グレーティング102に照射して、支点105を中心としてグレーティング102をねじ104によって回転させて、グレーティング102とレーザ・ダイオード101との相対角度を調整して、グレーティング102で回折してレーザ・ダイオード101に戻る1次光のレーザ波長と等しい特定の波長を選択して発振させ、0次光を得るレーザ装置100として、所謂、外部共振型レーザ装置として、リトロウ型レーザ装置についての提案もなされている(例えば、非特許文献1を参照)。図14に記載されているレーザ・ダイオード101に戻らない1次光は、上述の特定の波長とは異なる波長のレーザビームである。
Tomiji.Tanaka, et al. 「Littrow-type blue laser for holographic data storage」, Technical digest of Optical Data Storage 2004 p311
As a laser light source used in such a hologram recording / reproducing apparatus, an external resonator type laser apparatus may be used since a laser light source close to a single mode is desirable. For example, as shown in FIG. 14, a laser diode (LD) 101 that oscillates in a multimode is irradiated as parallel light by a lens 103 to a grating 102, and the grating 102 is centered on a fulcrum 105 by a screw 104. Rotate, adjust the relative angle between the grating 102 and the laser diode 101, select a specific wavelength equal to the laser wavelength of the primary light diffracted by the grating 102 and returned to the laser diode 101, and oscillate. As a so-called external resonance type laser device for obtaining zero-order light, a so-called Littrow type laser device has also been proposed (for example, see Non-Patent Document 1). The primary light that does not return to the laser diode 101 illustrated in FIG. 14 is a laser beam having a wavelength different from the specific wavelength described above.
Tomiji.Tanaka, et al. “Littrow-type blue laser for holographic data storage”, Technical digest of Optical Data Storage 2004 p311

上述したリトロウ型レーザ装置で代表される外部共振型レーザ装置においては、レーザ光の波長を変化させることができるものの、記録再生に用いる光ビームの発振モードは、ホログラム記録媒体に対する記録再生に適したモードホップ領域と記録再生に適さないモードホップ領域が存在する。そこで、ホログラム記録再生においては、レーザ装置が記録再生に適したモードで光ビームを出射していることをレーザ光の波長を検出することによって確認して、ホログラム記録媒体への記録データの記録およびホログラム記録媒体からの記録データの再生をおこなわなければならないが、レーザ光の波長を正確に検出するのが困難であった。   In the external resonance type laser device represented by the above-described Littrow type laser device, although the wavelength of the laser beam can be changed, the oscillation mode of the light beam used for recording / reproducing is suitable for recording / reproducing with respect to the hologram recording medium. There are mode hop areas and mode hop areas that are not suitable for recording and reproduction. Therefore, in hologram recording / reproduction, it is confirmed by detecting the wavelength of the laser beam that the laser device emits a light beam in a mode suitable for recording / reproduction, and recording data on the hologram recording medium and Although recording data from the hologram recording medium has to be reproduced, it has been difficult to accurately detect the wavelength of the laser beam.

本発明は、上述の課題を解決し、レーザ光の波長を正しく検出できるレーザ光波長検出器およびそのようなレーザ光検出器を用いるレーザ装置を提供することを目的とするものである。   An object of the present invention is to solve the above-described problems and to provide a laser beam wavelength detector capable of correctly detecting the wavelength of the laser beam and a laser device using such a laser beam detector.

本発明のレーザ光の波長検出器は、レーザ光が通過する光路中に配されるレーザ光の波長検出器であって、対抗する表面および裏面の各々で前記レーザ光を反射するオプティカルウェッジと、前記オプティカルウェッジによって発生させられる干渉縞の光強度の変化する方向に2つに分割された受光面を有する2組の2分割ディテクタを具備する波長検出ディテクタと、を備え、前記オプティカルウェッジの屈折率をn、前記2分割ディテクタを構成する各々のディテクタの幅をa、前記2組の2分割ディテクタの、相互の離間距離をb、前記オプティカルウェッジに対して前記光ビームの入射する角度をφ、波長が検出される前記光ビームの波長の範囲における、最も短い波長をλ、最も長い波長をλ’、前記光ビームのビーム径をW、0を含む正の整数をmとし、前記オプティカルウェッジの前記表面と前記裏面との間の厚みdと、前記表面と前記裏面とのなす角度θと、の各々が、0.1*(λ’*λ)/((2*n*(λ’-λ))≦d≦W/(4*tan(Arcsin((sinφ)/n))の範囲であって、θ≦λ*sinφ/(4*n*a)であるように前記オプティカルウェッジが形成されることを特徴とする。   The wavelength detector of the laser beam of the present invention is a wavelength detector of a laser beam arranged in an optical path through which the laser beam passes, and an optical wedge that reflects the laser beam on each of the opposing front and back surfaces, A wavelength detection detector comprising two sets of two-divided detectors each having a light-receiving surface divided into two in the direction in which the light intensity of the interference fringes generated by the optical wedge changes, the refractive index of the optical wedge N, the width of each detector constituting the two-divided detector is a, the distance between the two sets of two-divided detectors is b, the angle of incidence of the light beam with respect to the optical wedge is φ, In the wavelength range of the light beam to be detected, λ is the shortest wavelength, λ ′ is the longest wavelength, W is the beam diameter of the light beam, and 0 M is a positive integer, and the thickness d between the front surface and the back surface of the optical wedge and the angle θ between the front surface and the back surface are each 0.1 * (λ ′ * λ) / ((2 * n * (λ'-λ)) ≦ d ≦ W / (4 * tan (Arcsin ((sinφ) / n)), where θ ≦ λ * sinφ / (4 * n * a ), The optical wedge is formed.

この発明のレーザ光の波長検出器では、レーザ光の波長を検出するためにレーザ光が通過する光路中に配されるレーザ光の波長検出器であって、対抗する表面および裏面の各々で前記レーザ光を反射するオプティカルウェッジと、オプティカルウェッジによって発生させられる干渉縞の光強度の変化する方向に2つに分割された受光面を有する2組の2分割ディテクタを具備する波長検出ディテクタと、を備える。オプティカルウェッジの屈折率をn、2分割ディテクタを構成する各々のディテクタの幅をa、2組の2分割ディテクタの、相互の離間距離をb、オプティカルウェッジに対して光ビームの入射する角度をφ、波長が検出される光ビームの波長の範囲における、最も短い波長をλ、最も長い波長をλ’、光ビームのビーム径をW、0を含む正の整数をmとし、0.1*(λ’*λ)/((2*n*(λ’-λ))≦d≦W/(4*tan(Arcsin((sinφ)/n))の範囲にオプティカルウェッジの表面と裏面との間の厚みdを定め、θ≦λ*sinφ/(4*n*a)となるように表面と裏面とのなす角度θを定め、レーザ光の波長を正確に検出できる。   The laser light wavelength detector according to the present invention is a laser light wavelength detector disposed in an optical path through which the laser light passes in order to detect the wavelength of the laser light, and is provided on each of the opposing front and back surfaces. An optical wedge that reflects laser light, and a wavelength detection detector that includes two sets of two-divided detectors each having a light-receiving surface that is divided into two in the direction in which the light intensity of interference fringes generated by the optical wedge changes. Prepare. The refractive index of the optical wedge is n, the width of each detector constituting the two-divided detector is a, the separation distance between the two sets of two-divided detectors is b, and the angle of incidence of the light beam with respect to the optical wedge is φ. In the wavelength range of the detected light beam, λ is the shortest wavelength, λ ′ is the longest wavelength, W is the beam diameter of the light beam, m is a positive integer including 0, and 0.1 * (λ ′ * λ) / ((2 * n * (λ'-λ)) ≤d≤W / (4 * tan (Arcsin ((sinφ) / n)) The thickness between the front and back of the optical wedge d is determined, and the angle θ between the front surface and the back surface is determined so that θ ≦ λ * sinφ / (4 * n * a), and the wavelength of the laser beam can be accurately detected.

本発明のレーザ装置は、ホログラム記録媒体に記録データを記録し、または、前記ホログラム記録媒体に記録された記録データを再生するホログラム記録再生装置に用いるレーザ装置であって、マルチモードで発振するレーザと、前記レーザから出射されるレーザ光の1次回折光を前記レーザに戻すグレーティングと、前記グレーティングからの0次光を所定の方向に反射するミラーと、前記グレーティングの光ビーム照射面であるグレーティング表面と前記ミラーの光ビーム照射面であるミラー表面とのなす角度を一定に保ちながら、前記グレーティング表面と前記ミラー表面との延長線が交わる線の交点を中心として回転するように配された回転軸と、前記ミラーからの0次光が通過する光路中に配されるレーザ光の波長検出器と、を備え、前記波長検出器は、対抗する表面および裏面の各々で前記レーザ光を反射するオプティカルウェッジと、前記オプティカルウェッジによって発生させられる干渉縞の光強度の変化する方向に2つに分割された受光面を有する2組の2分割ディテクタを具備する波長検出ディテクタと、を具備し、前記オプティカルウェッジの屈折率をn、前記2分割ディテクタを構成する各々のディテクタの幅をa、前記2組の2分割ディテクタの、相互の離間距離をb、前記オプティカルウェッジに対して前記光ビームの入射する角度である入射角度をφ、波長が検出される前記光ビームの波長の範囲における最も短い波長をλ、最も長い波長をλ’、前記光ビームのビーム径をW、0を含む正の整数をmとし、前記オプティカルウェッジの前記表面と前記裏面との間の厚みdと、前記表面と前記裏面とのなす角度θと、の各々が、0.1*(λ’*λ)/((2*n*(λ’-λ))≦d≦W/(4*tan(Arcsin((sinφ)/n))の範囲であって、θ≦λ*sinφ/(4*n*a)であるように前記オプティカルウェッジが形成されることを特徴とする。   The laser apparatus of the present invention is a laser apparatus used in a hologram recording / reproducing apparatus for recording recording data on a hologram recording medium or reproducing the recording data recorded on the hologram recording medium, and a laser that oscillates in a multimode. A grating that returns the first-order diffracted light of the laser light emitted from the laser to the laser, a mirror that reflects the zero-order light from the grating in a predetermined direction, and a grating surface that is a light beam irradiation surface of the grating And a rotation axis arranged to rotate around the intersection of the lines where the extension lines of the grating surface and the mirror surface intersect, while maintaining a constant angle between the mirror surface and the mirror surface that is the light beam irradiation surface of the mirror And a wavelength detector for laser light arranged in an optical path through which the zero-order light from the mirror passes. The wavelength detector includes an optical wedge that reflects the laser light on each of the opposing front and back surfaces, and a light receiving surface that is divided into two in the direction in which the light intensity of interference fringes generated by the optical wedge changes. A wavelength detection detector comprising two sets of two-divided detectors, wherein the refractive index of the optical wedge is n, the width of each detector constituting the two-divided detector is a, and the two sets of two-divided detectors The distance between the detectors is b, the incident angle that is the angle of incidence of the light beam with respect to the optical wedge is φ, the shortest wavelength in the wavelength range of the light beam to be detected is λ, the most A long wavelength is λ ′, a beam diameter of the light beam is W, a positive integer including 0 is m, and the surface of the optical wedge is Each of the thickness d between the back surface and the angle θ between the front surface and the back surface is 0.1 * (λ ′ * λ) / ((2 * n * (λ′−λ)) ≦ d ≦ W / (4 * tan (Arcsin ((sinφ) / n)) range, wherein the optical wedge is formed such that θ ≦ λ * sinφ / (4 * n * a). To do.

この発明のレーザ装置では、ホログラム記録媒体に記録データを記録し、または、ホログラム記録媒体に記録された記録データを再生するホログラム記録再生装置に用いるレーザ装置であって、レーザと、グレーティングと、ミラーと、回転軸と、レーザ光の波長検出器と、を備え、レーザはマルチモードで発振し、グレーティングはレーザから出射されるレーザ光の1次回折光をレーザに戻し、ミラーはグレーティングからの0次光を所定の方向に反射し、回転軸はグレーティングの光ビーム照射面であるグレーティング表面とミラーの光ビーム照射面であるミラー表面とのなす角度を一定に保ちながら、グレーティング表面とミラー表面との延長線が交わる線の交点を中心として回転するように配されており、回転軸を中心とした回転に応じた波長のレーザ光を一定の方向へ出射できる。また、レーザ光の波長検出器はミラーからの0次光が通過する光路中に配されている。レーザ光の波長検出器は、対抗する表面および裏面の各々で前記レーザ光を反射するオプティカルウェッジと、オプティカルウェッジによって発生させられる干渉縞の光強度の変化する方向に2つに分割された受光面を有する2組の2分割ディテクタを具備する波長検出ディテクタと、を備える。オプティカルウェッジの屈折率をn、2分割ディテクタを構成する各々のディテクタの幅をa、2組の2分割ディテクタの、相互の離間距離をb、オプティカルウェッジに対して光ビームの入射する角度をφ、波長が検出される光ビームの波長の範囲における、最も短い波長をλ、最も長い波長をλ’、光ビームのビーム径をW、0を含む正の整数をmとし、0.1*(λ’*λ)/((2*n*(λ’-λ))≦d≦W/(4*tan(Arcsin((sinφ)/n))の範囲にオプティカルウェッジの表面と裏面との間の厚みdを定め、θ≦λ*sinφ/(4*n*a)となるように表面と裏面とのなす角度θを定め、レーザ光の波長を正確に検出できる。   The laser apparatus according to the present invention is a laser apparatus used in a hologram recording / reproducing apparatus for recording recording data on a hologram recording medium or reproducing recorded data recorded on a hologram recording medium, the laser, a grating, and a mirror A rotation axis and a wavelength detector of the laser beam, the laser oscillates in multimode, the grating returns the first-order diffracted light of the laser beam emitted from the laser to the laser, and the mirror receives the zeroth-order from the grating Reflects light in a predetermined direction, and the rotation axis keeps the angle between the grating surface, which is the light beam irradiation surface of the grating, and the mirror surface, which is the light beam irradiation surface of the mirror, while maintaining a constant angle between the grating surface and the mirror surface. It is arranged to rotate around the intersection of the lines where the extension lines intersect, and it can rotate around the rotation axis. Flip was a laser beam having a wavelength can be emitted to a certain direction. The wavelength detector of the laser beam is arranged in the optical path through which the zero-order light from the mirror passes. The wavelength detector of the laser beam includes an optical wedge that reflects the laser beam on each of the opposing front and back surfaces, and a light receiving surface that is divided into two in the direction in which the light intensity of the interference fringes generated by the optical wedge changes A wavelength detection detector having two sets of two-divided detectors. The refractive index of the optical wedge is n, the width of each detector constituting the two-divided detector is a, the separation distance between the two sets of two-divided detectors is b, and the angle of incidence of the light beam with respect to the optical wedge is φ. In the wavelength range of the detected light beam, λ is the shortest wavelength, λ ′ is the longest wavelength, W is the beam diameter of the light beam, m is a positive integer including 0, and 0.1 * (λ ′ * λ) / ((2 * n * (λ'-λ)) ≤d≤W / (4 * tan (Arcsin ((sinφ) / n)) The thickness between the front and back of the optical wedge d is determined, and the angle θ between the front surface and the back surface is determined so that θ ≦ λ * sinφ / (4 * n * a), and the wavelength of the laser beam can be accurately detected.

本発明によれば、レーザ光の波長を正しく検出できるレーザ光波長検出器およびそのようなレーザ光検出器を用いるレーザ装置を提供できる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the laser beam wavelength detector which can detect the wavelength of a laser beam correctly, and the laser apparatus using such a laser beam detector can be provided.

(レーザ装置およびレーザ検出器)
図1を参照して、実施形態のレーザ光波長検出器とそれを用いるレーザ装置10について、説明する。レーザ装置10は、マルチモードのレーザ・ダイオード11、コリメートレンズ12、グレーティング13、ミラー14、オプティカルウェッジ16、波長検出ディテクタ17および演算器18を備えるものである。ここで、レーザ光波長検出器は、オプティカルウェッジ16、波長検出ディテクタ17および演算器18で構成されるものである。
(Laser device and laser detector)
With reference to FIG. 1, the laser beam wavelength detector of embodiment and the laser apparatus 10 using the same are demonstrated. The laser device 10 includes a multi-mode laser diode 11, a collimating lens 12, a grating 13, a mirror 14, an optical wedge 16, a wavelength detection detector 17, and a calculator 18. Here, the laser light wavelength detector includes an optical wedge 16, a wavelength detection detector 17, and an arithmetic unit 18.

ミラー14とグレーティング13とは固着され、回転軸27を中心に紙面内の矢印で示す方向に回転可能とされている。ここで、グレーティング表面13aとミラー表面14aとの延長線が交わる線の交点に回転軸27を有している。これによって、グレーティング表面13aとミラー表面14aとのなす角度を一定(例えば90°の角度)に保ちながら、ミラー14とグレーティング13とを回転軸27を中心として回転させることができるようになされている。   The mirror 14 and the grating 13 are fixed, and are rotatable about a rotation shaft 27 in a direction indicated by an arrow in the drawing. Here, the rotating shaft 27 is provided at the intersection of the lines where the extension lines of the grating surface 13a and the mirror surface 14a intersect. Thus, the mirror 14 and the grating 13 can be rotated around the rotation axis 27 while keeping the angle formed by the grating surface 13a and the mirror surface 14a constant (for example, an angle of 90 °). .

まず、レーザ光波長検出器を構成するオプティカルウェッジ16、波長検出ディテクタ17および演算器18の機能の概略を説明する。ミラー14からの光ビーム24をオプティカルウェッジ16の表面16aと裏面16bの両表面にて反射させて得られる光ビーム26を2組以上のフォトディテクタ17の受光面に導く、そして、受光面の表面に生じる干渉縞の動きを電気信号として検知する。このように作用する、レーザ光波長検出器によって最終的にレーザ装置10から出射される0次光25の光ビームの性質を知ることができる。すなわち、レーザ光の波長を検出することによって記録再生に適さないモードホップ領域であるか、記録再生に適したモードホップ領域であるかを検出できる。   First, an outline of the functions of the optical wedge 16, the wavelength detection detector 17, and the computing unit 18 constituting the laser beam wavelength detector will be described. The light beam 26 obtained by reflecting the light beam 24 from the mirror 14 on both the front surface 16a and the back surface 16b of the optical wedge 16 is guided to the light receiving surfaces of two or more sets of photodetectors 17, and is then applied to the surface of the light receiving surface. The generated interference fringe motion is detected as an electrical signal. The property of the light beam of the 0th-order light 25 finally emitted from the laser device 10 can be known by the laser light wavelength detector acting in this way. That is, by detecting the wavelength of the laser beam, it is possible to detect whether the mode hop region is not suitable for recording / reproduction or the mode hop region suitable for recording / reproduction.

次に、図1に示すレーザ装置10の作用の概略を説明する。レーザ・ダイオード11から出射された光ビーム20はコリメートレンズ12で平行光とされ、平行光とされた光ビーム21はグレーティング13で、波長ごとに異なった方向へ向かう回折光である1次回折光を発する。グレーティング13は反射型の回折格子として形成されており、レーザ・ダイオード11からのマルチモードの光ビーム20を受光して、その波長ごとに異なった方向へ回折するが、それらの1次光のうち、レーザ・ダイオード11に戻る1次光もあり、レーザ・ダイオード11に戻る方向の1次光が該当する波長に対しては、グレーティング13とレーザ・ダイオード11とで共振器が構成されるので、レーザ・ダイオード11は、その波長でシングルモードにちかい発振をおこなうこととなる。   Next, an outline of the operation of the laser apparatus 10 shown in FIG. 1 will be described. The light beam 20 emitted from the laser diode 11 is converted into parallel light by the collimator lens 12, and the light beam 21 converted into parallel light is converted by the grating 13 into first-order diffracted light that is diffracted in different directions for each wavelength. To emit. The grating 13 is formed as a reflection type diffraction grating and receives the multimode light beam 20 from the laser diode 11 and diffracts it in different directions for each wavelength. There is also primary light returning to the laser diode 11, and for the wavelength corresponding to the primary light returning to the laser diode 11, the grating 13 and the laser diode 11 constitute a resonator. The laser diode 11 oscillates close to a single mode at that wavelength.

また大半の光はグレーティング13で反射して0次光22として、最終的には0次光25として、出射されるので、この0次光25として出射される光ビームを種々の機器、たとえばホログラム記録再生装置に使用することができる。   Further, most of the light is reflected by the grating 13 and emitted as 0th-order light 22 and finally as 0th-order light 25. Therefore, the light beam emitted as the 0th-order light 25 is used as various devices such as holograms. It can be used for a recording / reproducing apparatus.

このような構成において、グレーティング13のレーザ・ダイオード11に対する距離および角度を変えると、レーザ光の波長を変えることができるが、そうすると、0次光方向の出射方向も変わって、種々の機器に適用することは困難である。そこで、上述したように本実施形態のレーザ装置10では、グレーティング13と協調して動くミラー14を採用している。グレーティング13からの0次光22はミラー14でも反射することにより、0次光24として、出射方向を変えることができる。0次光24は、さらにオプティカルウェッジ16を通過して0次光25が最終的に得られる。   In such a configuration, if the distance and angle of the grating 13 to the laser diode 11 are changed, the wavelength of the laser light can be changed. However, if this is done, the emission direction in the 0th-order light direction is also changed and applied to various devices. It is difficult to do. Therefore, as described above, the laser device 10 of the present embodiment employs the mirror 14 that moves in cooperation with the grating 13. The 0th-order light 22 from the grating 13 is also reflected by the mirror 14, so that the emission direction can be changed as the 0th-order light 24. The zero-order light 24 further passes through the optical wedge 16 and finally the zero-order light 25 is obtained.

ここで、0次光25の出射光方向を常に一定方向となす条件は、ミラー14を形成するミラー表面14aとグレーティング13を形成するグレーティング表面13aの延長面の交点に回転軸27を配置することである。すなわち、回転軸27を中心にミラー14およびグレーティング13の相対関係を維持したままで、回転させることによって、所望の周波数で共振するレーザ、所謂、チューナブルレーザとして機能させることができることとなる。   Here, the condition that the direction of the emitted light of the 0th-order light 25 is always constant is that the rotating shaft 27 is arranged at the intersection of the extended surface of the mirror surface 14a forming the mirror 14 and the grating surface 13a forming the grating 13. It is. That is, by rotating while maintaining the relative relationship between the mirror 14 and the grating 13 around the rotation axis 27, it is possible to function as a so-called tunable laser that resonates at a desired frequency.

図2を参照して、レーザ光波長検出器を構成するオプティカルウェッジ16の作用を説明する。図2おいて符号24aを付す線は、光ビーム24の一本の光線を示し、符号25aを付す線は、光ビーム25の一本の光線を示し、符号26aを付す線は、光ビーム26の一本の光線を示すものである。光ビーム26の受光面15(仮想的な面である)には、オプティカルウェッジ16の表面16aで反射する光ビームとオプティカルウェッジ16の裏面16bで反射する光ビームとの干渉によって、干渉縞(フリンジ)が生じる(干渉縞は図9に模式的に示されている)。   With reference to FIG. 2, the operation of the optical wedge 16 constituting the laser beam wavelength detector will be described. In FIG. 2, a line denoted by reference numeral 24 a indicates one light beam 24, a line denoted by reference numeral 25 a indicates one light beam 25, and a line denoted by reference numeral 26 a indicates the light beam 26. Is a single ray. On the light receiving surface 15 (virtual surface) of the light beam 26, interference fringes (fringe) are caused by interference between the light beam reflected by the front surface 16 a of the optical wedge 16 and the light beam reflected by the back surface 16 b of the optical wedge 16. (Interference fringes are schematically shown in FIG. 9).

ここで、受光面と同じ平面上に、2つの2分割フォトディテクタ(PD)17aと2分割フォトディテクタ(PD)17bとの2つの2分割フォトディテクタを有するフォトディテクタ17を備えている。また、2分割フォトディテクタ17aは、フォトディテクタ17a1、フォトディテクタ17a2、2分割フォトディテクタ17bは、フォトディテクタ17b1、フォトディテクタ17b2、の各々を有しており、これらの4つのフォトディテクタは、干渉縞の分布する方向に列状に配置されている。 Here, on the same plane as the light receiving surface, a photodetector 17 having two two-divided photodetectors of two two-divided photodetectors (PD) 17a and two-divided photodetectors (PD) 17b is provided. The two-divided photodetector 17a has a photodetector 17a 1 , a photodetector 17a 2 , and the two-divided photodetector 17b has a photodetector 17b 1 and a photodetector 17b 2 , and these four photodetectors are distributed with interference fringes. It is arranged in a row in the direction.

そして、フォトディテクタ17a1からは電気信号V17a1、フォトディテクタ17a2からは電気信号V17a2、フォトディテクタ17b1からは電気信号V17b1、フォトディテクタ17b2からは電気信号V17b2、の各々が生じる。演算器18では、これらのフォトディテクタからの電気信号を基に以下の式1および式2に示す第1規格化差信号S17adnおよび第2規格化差信号S17bdnを演算して得る。 The photodetector 17a 1 generates an electrical signal V17a 1 , the photodetector 17a 2 generates an electrical signal V17a 2 , the photodetector 17b 1 generates an electrical signal V17b 1 , and the photodetector 17b 2 generates an electrical signal V17b 2 . The calculator 18 calculates and obtains a first normalized difference signal S17adn and a second normalized difference signal S17bdn shown in the following equations 1 and 2 based on the electrical signals from these photodetectors.

S17adn=(V17a1-V17a2)/(V17a1+V17a2)・・・(式1)
S17bdn=(V17b1-V17b2)/(V17b1+V17b2)・・・・(式2)
S17adn = (V17a 1 -V17a 2 ) / (V17a 1 + V17a 2 ) (Formula 1)
S17bdn = (V17b 1 -V17b 2 ) / (V17b 1 + V17b 2 ) ... (Formula 2)

式1、式2に示す演算をおこなうことによって、第1規格化差信号S17adnおよび第2規格化差信号S17bdnは光量に依存しない干渉縞の分布のみに応じた信号とすることができる。ここで、式1、式2の演算は、演算器18によっておこなわれる。演算器18は、さらに、式1、式2の演算結果を得て、第1規格化差信号S17adnまたは第2規格化差信号S17bdnのいずれか、一方の、より品質の良好なる信号、または、第1規格化差信号S17adnおよび第2規格化差信号S17bdnの両方を加算した信号を、レーザ光の波長検出器からの出力信号として出力する。   By performing the calculations shown in Equations 1 and 2, the first normalized difference signal S17adn and the second normalized difference signal S17bdn can be made into signals corresponding only to the distribution of interference fringes independent of the amount of light. Here, the operations of Expressions 1 and 2 are performed by the calculator 18. The computing unit 18 further obtains the computation results of Equations 1 and 2, and either the first normalized difference signal S17adn or the second normalized difference signal S17bdn, one of the signals with better quality, or A signal obtained by adding both the first normalized difference signal S17adn and the second normalized difference signal S17bdn is output as an output signal from the wavelength detector of the laser beam.

ここで、図3は、レーザ装置10におけるレーザ・ダイオード11に流れるダイオード電流Idと発振波長(スペクトル)の関係を示すものである。図3から読み取れるように、一の特定のダイオード電流Idに対して、一または複数の波長が対応している。そして、この一または複数の波長に対応してフリンジの形状と位置とが特定される。   Here, FIG. 3 shows the relationship between the diode current Id flowing through the laser diode 11 in the laser device 10 and the oscillation wavelength (spectrum). As can be seen from FIG. 3, one or more wavelengths correspond to one specific diode current Id. Then, the shape and position of the fringe are specified corresponding to the one or more wavelengths.

図4は、ダイオード電流Idと、フリンジの形状の変化によって生じる規格化差信号(第1規格化差信号S17adnと第2規格化差信号S17bdnとを、以下、規格化差信号と総称する)との関係を示すものである。ここで、図4における符号aを付した領域は、LD(内部共振器)によるモードホップ(以下、LDのモードホップと称する)の領域であり、複数の波長の波長分布の幅(以下、波長幅と称する)として40pm(ピコ・メータ)の波長幅を持ち、符号bを付した領域は、外部共振器によるモードホップ(以下、外部共振器のモードホップと称する)の領域であり、一般に4pmないし7pmの波長幅を持つ。符号cを付した領域がシングルモードの領域である。   FIG. 4 shows a diode current Id and a normalized difference signal (first normalized difference signal S17adn and second normalized difference signal S17bdn are hereinafter collectively referred to as a normalized difference signal) caused by a change in fringe shape. This shows the relationship. Here, the region marked with a in FIG. 4 is a region of mode hops (hereinafter referred to as LD mode hops) by an LD (internal resonator), and the width of the wavelength distribution of a plurality of wavelengths (hereinafter referred to as wavelength). A region having a wavelength width of 40 pm (picometer) as a width) and a symbol b is a region of a mode hop by an external resonator (hereinafter referred to as a mode hop of an external resonator), and is generally 4 pm. Or a wavelength width of 7 pm. A region denoted by reference sign c is a single mode region.

このように、規格化差信号は特徴的な波形であるので、LDのモードホップのみ避けたい場合は、規格化差信号が急激に変化する近傍で発振しないようにダイオード電流Idの値を設定し、レーザ・ダイオード11を発振させる。   Thus, the normalized difference signal has a characteristic waveform. Therefore, when only the mode hop of the LD is to be avoided, the value of the diode current Id is set so as not to oscillate in the vicinity where the normalized difference signal changes rapidly. The laser diode 11 is oscillated.

さらに、完全シングルモードで発振させる場合には、図4における符号cを付した領域で発振するようなダイオード電流Idをレーザ・ダイオード11に流す。なお、外部共振器のモードホップの領域でレーザ装置10を用いるか、シングルモードの領域でレーザ装置10を用いるかは、ホログラム記録再生の特性としての要求される度合いに依存する。例えば、信号光と参照光の光路差がゼロに近い場合はLDのモードホップのみ避けるだけで十分な記録再生特性が得られる。   Further, when oscillating in the complete single mode, a diode current Id that oscillates in the region denoted by reference character c in FIG. Whether the laser device 10 is used in the mode hop region of the external resonator or the laser device 10 in the single mode region depends on the required degree as the characteristics of hologram recording / reproduction. For example, when the optical path difference between the signal light and the reference light is close to zero, sufficient recording / reproduction characteristics can be obtained only by avoiding only the LD mode hop.

このようにして、規格化差信号を検出することによって、レーザ装置10から得られ、記録再生に用いるレーザ光が、シングルモードの領域、外部共振器のモードホップの領域、または、LDのモードホップの領域、のいずれであるかを原理的には検出できるものである。しかしながら、2分割フォトディテクタ17aまたは2分割フォトディテクタ17bの配置された位置とフリンジとの関係で、図4に示す規格化差信号の波形が大きく変化するのが実情である。   In this way, by detecting the standardized difference signal, the laser light obtained from the laser device 10 and used for recording / reproducing is a single mode region, an external resonator mode hop region, or an LD mode hop. In principle, it is possible to detect which of the regions. However, the actual situation is that the waveform of the normalized difference signal shown in FIG. 4 varies greatly depending on the relationship between the position where the two-divided photodetector 17a or the two-divided photodetector 17b is arranged and the fringe.

図5を参照して、ダイオード電流Idを変化した場合に、2分割フォトディテクタ17bの配置された位置とフリンジとの関係によって規格化差信号がどのように変化するかを具体的に説明をする。まず、2分割フォトディテクタ17bを構成するフォトディテクタ17b1とフォトディテクタ17b2との中間にフリンジの濃淡の変化が大きい部分がくる場合(図2を参照)には、フリンジの微小な移動を検知しにくく、規格化差信号は図5の(B)に示すような波形となる。 With reference to FIG. 5, how the normalized difference signal changes according to the relationship between the position where the two-divided photodetector 17b is arranged and the fringe when the diode current Id is changed will be described in detail. First, when a portion having a large change in the density of the fringe comes between the photo detector 17b 1 and the photo detector 17b 2 constituting the two-divided photo detector 17b (see FIG. 2), it is difficult to detect a minute movement of the fringe, The normalized difference signal has a waveform as shown in FIG.

一方、2分割フォトディテクタ17aの配置された位置とフリンジとの関係によれば、2分割フォトディテクタ17aを構成するフォトディテクタ17a1とフォトディテクタ17a2との中間にフリンジの濃淡の変化が小さい部分がくる場合(図2を参照)には、フリンジの微小な移動を検知し易く、規格化差信号は図5の(A)に示すような波形となる。 On the other hand, according to the relationship between the position where the two-divided photo detector 17a is arranged and the fringe, a portion where the change in the density of the fringe is small is placed between the photo detector 17a 1 and the photo detector 17a 2 constituting the two-divided photo detector 17a ( In FIG. 2, it is easy to detect a minute movement of the fringe, and the normalized difference signal has a waveform as shown in FIG.

2分割フォトディテクタの配置される位置とフリンジとの関係を概ね固定する事ができる固定波長型の外部共振器レーザでは、規格化差信号の振幅変化が大きくなるように、すなわち、図5の(A)に示すような波形となるように、2分割フォトディテクタの配置される位置を調整できるので良好なS/N(信号対雑音比)を有する規格化差信号が検出できる。しかしながら、本実施形態のレーザ装置10のような波長可変型の外部共振器レーザでは、2分割フォトディテクタの配置される位置とフリンジとの関係はレーザ光の波長に依存して変化するので、常に良好なるS/N(信号対雑音比)を有する規格化差信号が検出できるとは限らないこととなる。   In the fixed wavelength type external resonator laser capable of substantially fixing the relationship between the position where the two-divided photodetector is disposed and the fringe, the amplitude change of the normalized difference signal is increased, that is, (A of FIG. The position where the two-divided photodetectors are arranged can be adjusted so as to obtain a waveform as shown in (2), so that a normalized difference signal having a good S / N (signal to noise ratio) can be detected. However, in a wavelength tunable external resonator laser such as the laser device 10 of the present embodiment, the relationship between the position where the two-divided photodetector is disposed and the fringe changes depending on the wavelength of the laser beam, so it is always good. Therefore, it is not always possible to detect a normalized difference signal having an S / N (signal-to-noise ratio).

そこで、本実施形態では、2つの2分割フォトディテクタ17aと2分割フォトディテクタ17bとを用いて、規格化差信号のS/Nを改善している。すなわち、フリンジに対する位置関係を異ならせた2つの2分割フォトディテクタ17aと2分割フォトディテクタ17bとを用いて、S/Nがより良好な信号を用いるか、両方の信号を組み合わせて、レーザ光の波長を検出することとしている。   Therefore, in this embodiment, the S / N of the normalized difference signal is improved by using two two-divided photo detectors 17a and two-divided photo detectors 17b. That is, by using two two-divided photodetectors 17a and 17b having different positional relationships with respect to the fringe, a signal having a better S / N is used, or a combination of both signals is used to reduce the wavelength of the laser beam. Trying to detect.

以下に、オプティカルウェッジ16の形状と、2分割フォトディテクタ17aと2分割フォトディテクタ17bとの配置との関係とについて考察を加える。   Below, the shape of the optical wedge 16 and the relationship between the arrangement of the two-divided photo detector 17a and the two-divided photo detector 17b will be considered.

まず、オプティカルウェッジ16の厚みd(以下、厚みdと省略する)について検討する。オプティカルウェッジ16の厚みdによって光路差の変化を生じ、この光路差の変化がフリンジを生じさせる。そして、光ビームの波長が変化するにしたがってフリンジと2分割フォトディテクタとの相対位置関係が変化するものである。したがって、厚みdは、レーザ波長に応じて移動するフリンジ移動量に影響を及ぼす。具体的には、厚みdを小さくしていくとフリンジの移動量が低下し、規格化差信号のS/Nが悪化して、モードホップを認識しにくいという問題点が生じる。   First, the thickness d (hereinafter abbreviated as thickness d) of the optical wedge 16 will be examined. A change in the optical path difference is caused by the thickness d of the optical wedge 16, and the change in the optical path difference causes a fringe. The relative positional relationship between the fringe and the two-divided photodetector changes as the wavelength of the light beam changes. Therefore, the thickness d affects the amount of fringe movement that moves according to the laser wavelength. Specifically, when the thickness d is reduced, the amount of movement of the fringe is reduced, the S / N of the normalized difference signal is deteriorated, and there is a problem that it is difficult to recognize the mode hop.

(オプティカルウェッジの厚みdと、角度θについて)
以下に、順をおって説明し、オプティカルウェッジの厚みdと、角度θとの望ましい範囲を定量的に求める。
(About optical wedge thickness d and angle θ)
In the following, description will be made in order, and a desirable range between the thickness d of the optical wedge and the angle θ will be quantitatively determined.

まず、厚みd(図6を参照)とフリンジの移動量についての関係を求める。まず、フリンジは光路差の整数倍のところに表れるので光路差が大事であるが、光路差Dは下記の式3で求められる。nは屈折率である(図6を参照)。なお、以下の式において記号*は積算を表し、/は除算を表すものである。ここで、厚みdは、後述する、オプティカルウェッジの角度θ(図6を参照)に応じてオプティカルウェッジの各部で微少ながら異なるものであるが、以下の各々の式においては、厚みdは、透過する光ビームの中心部における厚みであるとするものである。   First, a relationship between the thickness d (see FIG. 6) and the amount of movement of the fringe is obtained. First, since the fringe appears at an integral multiple of the optical path difference, the optical path difference is important, but the optical path difference D is obtained by the following equation (3). n is the refractive index (see FIG. 6). In the following expression, the symbol * represents integration, and / represents division. Here, the thickness d is slightly different in each part of the optical wedge according to the angle θ (see FIG. 6) of the optical wedge, which will be described later, but in each of the following expressions, the thickness d is the transmission It is assumed that the thickness is at the center of the light beam.

D=d*2*n・・・(式3)   D = d * 2 * n (Formula 3)

式3を得るに当たり、オプティカルウェッジを往復する光は同じ光路を通るとみなした。フリンジは光路差ゼロのところから波長と同じ光路差のところに1本目、波長の倍の光路差のところで2本目とできる。フリンジの移動は、ある光路差に対して刻む波長幅が変わることでフリンジの番号が変わる(フリンジが通過する)ことによって起きる現象であり、2分割フォトディテクタではこのフリンジの通過を検知している。この光路差Dをレーザ波長の単位で表すと式4で表される。ここでλはレーザ波長である。   In obtaining Equation 3, it was assumed that light traveling back and forth in the optical wedge would go through the same optical path. The fringe can be changed from a zero optical path difference to a first optical path difference equal to the wavelength, and a second fringe double the wavelength optical path difference. The movement of the fringe is a phenomenon that occurs when the fringe number changes (the fringe passes) by changing the wavelength width carved for a certain optical path difference, and the two-divided photodetector detects the passage of the fringe. When this optical path difference D is expressed in units of laser wavelength, it is expressed by Equation 4. Where λ is the laser wavelength.

C=D/λ・・・(式4)
式4のCは光路差をフリンジの単位で表した数なので小数点を含む実数で表される。そして、波長が変わることで起きるフリンジの通過する本数Iは式5で表される。ここで、λはレーザ光の波長検出範囲における最短波長であり、λ’はレーザ光の波長検出範囲における最長波長である。
C = D / λ (Formula 4)
Since C in Equation 4 is a number representing the optical path difference in fringe units, it is represented by a real number including a decimal point. The number I of fringes that pass due to the change in wavelength is expressed by Equation 5. Here, λ is the shortest wavelength in the wavelength detection range of the laser beam, and λ ′ is the longest wavelength in the wavelength detection range of the laser beam.

I=D/λ-D/λ’・・・(式5)
よって、式3と5をまとめて式6を得る。
I = D / λ−D / λ ′ (Formula 5)
Therefore, Equation 6 is obtained by combining Equations 3 and 5.

I=d*2*n*(λ’-λ)/(λ’*λ)・・・(式6)
ここで、チップモードによるフリンジ通過量は測定ノイズより最低でも1/10本以上が必要であるから、式7を得ることができる。
I = d * 2 * n * (λ′−λ) / (λ ′ * λ) (Formula 6)
Here, since the fringe passage amount in the chip mode needs to be at least 1/10 of the measurement noise, Equation 7 can be obtained.

0.1≦d*2*n*(λ’-λ)/(λ’*λ)・・・(式7)   0.1 ≦ d * 2 * n * (λ′−λ) / (λ ′ * λ) (Expression 7)

式7を整理すると厚みdの条件は式8で表される。
d≧0.1*(λ’*λ)/((2*n*(λ’-λ))・・・(式8)
When formula 7 is arranged, the condition of thickness d is expressed by formula 8.
d ≧ 0.1 * (λ ′ * λ) / ((2 * n * (λ′−λ)) (Expression 8)

しかしながら、厚みdを大きくしてゆくと、フリンジの移動量は大きくすることができるものの、オプティカルウェッジの両面で反射した光が重ならず、干渉縞が生じない問題がおきる。すなわち、図7に示すように、光路の異なる、オプティカルウェッジの表面で反射した光ビーム(表面反射光)と、オプティカルウェッジの裏面で反射した光ビーム(裏面反射光)との各々は、所謂、ガウシアンビームであり光強度が周辺部ほど弱くなるので、ウェッジの厚みdが大きくなった場合、光ビームを45度程度の傾きで、オプティカルウェッジに入射させてフリンジを生じさせるのが困難となり、オプティカルウェッジに対して光ビームの入射角度をさらに傾ける必要が生じてしまう。   However, as the thickness d is increased, the amount of movement of the fringe can be increased, but the light reflected on both sides of the optical wedge does not overlap and interference fringes do not occur. That is, as shown in FIG. 7, each of a light beam reflected on the surface of the optical wedge (front surface reflected light) and a light beam reflected on the back surface of the optical wedge (back surface reflected light) having different optical paths is so-called Since it is a Gaussian beam and the light intensity becomes weaker at the periphery, when the wedge thickness d increases, it becomes difficult to cause the light beam to enter the optical wedge with an inclination of about 45 degrees, and to produce fringe. It becomes necessary to further tilt the incident angle of the light beam with respect to the wedge.

オプティカルウェッジに対して光ビームの入射角度をさらに傾ける場合は、オプティカルウェッジの両面で反射した光ビームのズレ量gは式9で表される。ここで、g、φは、図8に示すものである。   When the incident angle of the light beam is further inclined with respect to the optical wedge, the deviation amount g of the light beam reflected on both surfaces of the optical wedge is expressed by Expression 9. Here, g and φ are as shown in FIG.

g=2*d*tan(Arcsin((sinφ)/n))・・・(式9)
式9は、オプティカルウェッジの両面の角度は非常に小さいことからオプティカルウェッジが平行平板であると仮定して、スネルの法則より算出した。
g = 2 * d * tan (Arcsin ((sinφ) / n)) (Formula 9)
Since the angle of both surfaces of the optical wedge is very small, Equation 9 is calculated based on Snell's law on the assumption that the optical wedge is a parallel plate.

ここで、光ビームのビーム径をWとして、光ビームのズレ量を光ビームの半径以下にするには厚みdは下記の式10から得られる。なお、e≒2.718として、ビーム径Wは、光ビームの中心強度の1/(e*e)になる径とした。一般にレーザ・ダイオードから出射し平行光となった光ビームのビーム径Wの値は3.5mm程度である。また、光ビームのズレ量を光ビームの半径以下とするのは、明確な干渉縞が生じるようにして、規格化差信号のS/Nを十分に確保するためである。   Here, assuming that the beam diameter of the light beam is W and the amount of deviation of the light beam is less than or equal to the radius of the light beam, the thickness d can be obtained from the following Equation 10. Note that e≈2.718, and the beam diameter W was 1 / (e * e) of the center intensity of the light beam. Generally, the value of the beam diameter W of a light beam emitted from a laser diode and converted into parallel light is about 3.5 mm. The reason why the amount of deviation of the light beam is equal to or smaller than the radius of the light beam is to ensure a sufficient S / N of the normalized difference signal so that a clear interference fringe is generated.

d≦W/(4*tan(Arcsin((sinφ)/n))・・・(式10)
式8と式10より、オプティカルウェッジの厚みdを規定する式11が導き出される。
d ≦ W / (4 * tan (Arcsin ((sinφ) / n)) (Expression 10)
From Expression 8 and Expression 10, Expression 11 that defines the thickness d of the optical wedge is derived.

0.1*(λ’*λ)/((2*n*(λ’-λ))≦d≦W/(4*tan(Arcsin((sinφ)/n))・・・(式11)   0.1 * (λ ′ * λ) / ((2 * n * (λ′−λ)) ≦ d ≦ W / (4 * tan (Arcsin ((sinφ) / n))) (Equation 11)

次に、オプティカルウェッジの角度θ(以下、角度θと省略する)について検討を加える。角度θはフリンジピッチpに関係し、式12、式13とをまとめて、式14で得られる。図9に、角度θと、フリンジピッチpとの関係を模式的に示す。   Next, the angle θ of the optical wedge (hereinafter abbreviated as the angle θ) is examined. The angle θ is related to the fringe pitch p, and the expressions 12 and 13 are collectively obtained by the expression 14. FIG. 9 schematically shows the relationship between the angle θ and the fringe pitch p.

q=λ/(2*n*tanθ)・・・(式12)   q = λ / (2 * n * tanθ) (Formula 12)

p=q*sinφ・・・・・・・(式13)   p = q * sinφ ... (Formula 13)

p=λ*sinφ/(2*n*θ)・・(式14)   p = λ * sinφ / (2 * n * θ) ... (Formula 14)

なお、式14を得るに際して、角度θは非常に小さいので、tanθ=θと近似した。ここで、適切なフリンジピッチpは2分割フォトディテクタの幅と間隔により規定される。図10にフォトディテクタの幅aとフリンジピッチpとの関係を図で示す。2つの2分割フォトディテクタの配置において、角度θを大きくするとフリンジピッチpが小さくなり、2分割フォトディテクタの各々のフォトディテクタの幅a(以下、幅aと省略する)に対して小さくなりすぎるとフリンジを検知できない。   In obtaining the equation 14, the angle θ is very small, and thus approximated to tan θ = θ. Here, an appropriate fringe pitch p is defined by the width and interval of the two-divided photodetector. FIG. 10 shows the relationship between the width a of the photodetector and the fringe pitch p. In the arrangement of two two-divided photodetectors, when the angle θ is increased, the fringe pitch p is decreased. Can not.

図11にフリンジピッチpと幅aとの比率に対する、2分割フォトディテクタから出力される規格化差信号の振幅を示す。ここで、規格化差信号が1になるのは、2分割フォトディテクタを構成する一方のフォトディテクタに全光量が照射し、他方のフォトディテクタに全く光りが入らない理想状態である。   FIG. 11 shows the amplitude of the normalized difference signal output from the two-divided photodetector with respect to the ratio between the fringe pitch p and the width a. Here, the normalized difference signal becomes 1 in an ideal state where the entire light quantity is irradiated to one of the photodetectors constituting the two-divided photodetector and no light enters the other photodetector.

図11に示すグラフより、規格化差信号の振幅の低下が30%以下に抑えられるのは、フリンジピッチpが幅aの倍以上となる式15に示す場合である。この条件から式16を得ることができる。   From the graph shown in FIG. 11, the decrease in the amplitude of the normalized difference signal is suppressed to 30% or less in the case of Expression 15 in which the fringe pitch p is greater than or equal to twice the width a. From this condition, Equation 16 can be obtained.

2a≦p・・・・・・・・(式15)
θ≦λ*sinφ/(4*n*a)・・(式16)
2a ≦ p (Equation 15)
θ ≦ λ * sinφ / (4 * n * a) (16)

ここで、規格化差信号の振幅の低下が30%以下としたのは、この程度以上の振幅の低下が生じる場合には、S/Nの観点より、正確なレーザ波長の検出が困難であるとの結論が、実験の結果として得られたからである。   Here, the decrease in the amplitude of the normalized difference signal is set to 30% or less. When the decrease in the amplitude is more than this level, it is difficult to accurately detect the laser wavelength from the viewpoint of S / N. This is because the conclusion was obtained as a result of the experiment.

一方、角度θを小さくしてゆくとフリンジピッチpが大きくなる。しかし、あまりにフリンジピッチpが幅aに対して大きくなりすぎると2組の2分割フォトディテクタを用いる意味が低下する。2組の規格化差信号が類似してきて、1組の2分割フォトディテクタを用いているのと変わらなくなるからである。   On the other hand, as the angle θ is decreased, the fringe pitch p is increased. However, if the fringe pitch p is too large with respect to the width a, the meaning of using two sets of two-divided photodetectors decreases. This is because the two sets of standardized difference signals are similar and are no different from using one set of two-divided photodetectors.

また、2組の2分割フォトディテクタの離間距離b(図10を参照)は、第1規格化差信号と第2規格化差信号とが同相か逆相にならないように配置しないと2組設ける意味が薄れてしまう。このような配置においては、2組の2分割フォトディテクタから得られる情報は実質的に同一のものでだからである。フリンジピッチpの周期に対して1/4または3/4周期、一般的には、mを0を含む正の整数として、(1/2*m+1/4)周期ずれた位置に2組の2分割フォトディテクタを離間させて配置するのが理想的である。   Further, the separation distance b (see FIG. 10) of the two sets of the two-divided photodetectors means that two sets are provided unless the first standardized difference signal and the second standardized difference signal are arranged in the same or opposite phase. Will fade. This is because in such an arrangement, the information obtained from the two sets of two-divided photodetectors is substantially the same. Two or two periods at positions shifted by (1/2 * m + 1/4) periods, where m is a positive integer including 0, with respect to the period of the fringe pitch p. Ideally, the split photodetectors should be spaced apart.

しかしながら、現実には、2組の2分割フォトディテクタの離間距離bを厳密に目標とする値とすることは困難であり、図12に示すように2分割フォトディテクタは、矢印で示す方向にずれる。このような、理想状態からのずれを、各々の2分割フォトディテクタについて、10%許容できるとして、図12に示す例では、式17、式18を得ることができる。
(1/4-0.1)*p≦b≦(1/4+0.1)*p・・・(式17)
(3/4-0.1)*p≦b≦(3/4+0.1)*p・・・(式18)
However, in reality, it is difficult to set the separation distance b of the two sets of the two-divided photodetectors strictly as a target value, and the two-divided photodetectors are shifted in the direction indicated by the arrows as shown in FIG. In the example shown in FIG. 12, Expressions 17 and 18 can be obtained assuming that such a deviation from the ideal state can be allowed 10% for each of the two-divided photodetectors.
(1 / 4-0.1) * p ≦ b ≦ (1/4 + 0.1) * p (Expression 17)
(3 / 4-0.1) * p ≦ b ≦ (3/4 + 0.1) * p (Equation 18)

ここで、許容度を10%としたのは、2分割フォトディテクタの取り付けの精度を考慮した場合には、この程度の位置ずれが発生するからである。式17、式18を、一般化すると、式19が得られる。   The reason why the tolerance is set to 10% is that this degree of misalignment occurs when the accuracy of mounting the two-divided photodetector is taken into consideration. By generalizing Equations 17 and 18, Equation 19 is obtained.

(0.5*m+0.15)*p≦b≦(0.5*m+0.35)*p (m=0.1.2…)・・・(式19)
そして、式14と式19とからより、角度θについて式20を得る。
(0.5 * m + 0.15) * p ≦ b ≦ (0.5 * m + 0.35) * p (m = 0.1.2 ...) (Equation 19)
From Expression 14 and Expression 19, Expression 20 is obtained for the angle θ.

(0.5m+0.15)*λ*sinφ/2*n*b≦θ≦(0.5m+0.35)*λ*sinφ/2*n*b・・・・(式20)   (0.5m + 0.15) * λ * sinφ / 2 * n * b ≦ θ ≦ (0.5m + 0.35) * λ * sinφ / 2 * n * b (Equation 20)

上式のうち、式11、式16、式20の全てを満たすオプティカルウェッジを使うことで、2組の2分割フォトディテクタで発生される第1規格化差信号と第2規格化差信号の少なくともいずれか、からは、フリンジ移動の信号を表す良好なるS/Nを有する規格化差信号を得る事ができる。   Of the above equations, by using an optical wedge that satisfies all of Equation 11, Equation 16, and Equation 20, at least one of the first normalized difference signal and the second normalized difference signal generated by the two sets of two-part photodetectors. Therefore, a normalized difference signal having a good S / N representing a fringe movement signal can be obtained.

0.1*(λ’*λ)/((2*n*(λ’-λ))≦d≦W/(4*tan(Arcsin((sinφ)/n))・・・(式11)
θ≦λ*sinφ/(4*n*a)・・(式16)
(0.5m+0.15)*λ*sinφ/2*n*b≦θ≦(0.5m+0.35)*λ*sinφ/2*n*b・・・・(式20)
0.1 * (λ ′ * λ) / ((2 * n * (λ′−λ)) ≦ d ≦ W / (4 * tan (Arcsin ((sinφ) / n))) (Equation 11)
θ ≦ λ * sinφ / (4 * n * a) (16)
(0.5m + 0.15) * λ * sinφ / 2 * n * b ≦ θ ≦ (0.5m + 0.35) * λ * sinφ / 2 * n * b (Equation 20)

ここで、上述したように、λは、外部共振型レーザ装置から出射される光ビームの最短の波長、λ’は、外部共振型レーザ装置から出射される光ビームの最長の波長、nは、オプティカルウェッジの屈折率、dは、オプティカルウェッジの厚み、φは、オプティカルウェッジへの光ビームの入射角度、θは、オプティカルウェッジの角度、aは、フォトディテクタの幅、bは、2組の2分割フォトディテクタの離間距離、Wは、光ビームの直径、mは、0を含む正の整数である。   Here, as described above, λ is the shortest wavelength of the light beam emitted from the external resonant laser device, λ ′ is the longest wavelength of the light beam emitted from the external resonant laser device, and n is The refractive index of the optical wedge, d is the thickness of the optical wedge, φ is the angle of incidence of the light beam on the optical wedge, θ is the angle of the optical wedge, a is the width of the photodetector, and b is divided into two sets of two The distance between the photodetectors, W is the diameter of the light beam, and m is a positive integer including zero.

(具体的な数値例)
式11、式16、式20を用いて、具体的な例を示す。オプティカルウェッジへの光ビームの入射角度(オプティカルウェッジの設置角)φが45°(度)、フォトディテクタの幅aが60μm(マイクロ・メータ)、2組の2分割フォトディテクタの離間距離bが320μm、ガラスで形成されるオプティカルウェッジの屈折率nが1.5、外部共振型レーザ装置から出射されるレーザビームの最短波長λが405nm(ナノ・メータ)、最長波長λ’が405.04nm、光ビームの直径Wが3.5mm(ミリ・メータ)として、この値を上述の式11、式16各々に代入する。
(Specific numerical examples)
Specific examples will be shown using Equation 11, Equation 16, and Equation 20. The incident angle of the light beam on the optical wedge (optical wedge installation angle) φ is 45 ° (degrees), the photodetector width a is 60 μm (micrometer), the separation distance b between the two sets of two-part photodetectors is 320 μm, The refractive index n of the optical wedge formed by the above is 1.5, the shortest wavelength λ of the laser beam emitted from the external resonant laser device is 405 nm (nanometer), the longest wavelength λ ′ is 405.04 nm, Assuming that the diameter W is 3.5 mm (millimeters), this value is substituted into each of the above-described equations 11 and 16.

厚みdは、式11より、式21の範囲のものとなる。
0.14≦d≦1.64 (mm)・・・・(式21)
角度θは、式16より、式22で表せるのものとなる。
θ≦164 (Sec) ・・・・(式22)
かつ、式20より、角度θは、以下の範囲に限定される。
9≦θ≦22 (m=0のとき)、
40≦θ≦52 (m=1のとき)、
71≦θ≦83 (m=2のとき)、
102≦θ≦114 (m=3のとき)、
133≦θ≦145 (m=4のとき)
The thickness d is in the range of Formula 21 from Formula 11.
0.14 ≤ d ≤ 1.64 (mm) ... (Formula 21)
The angle θ can be expressed by Expression 22 from Expression 16.
θ ≦ 164 (Sec) (Equation 22)
In addition, from Equation 20, the angle θ is limited to the following range.
9 ≦ θ ≦ 22 (when m = 0),
40 ≦ θ ≦ 52 (when m = 1),
71 ≦ θ ≦ 83 (when m = 2),
102 ≦ θ ≦ 114 (when m = 3),
133 ≦ θ ≦ 145 (when m = 4)

よって、この例でのオプティカルウェッジの厚みdと角度θは図13に示す四角い枠内の範囲となる。   Therefore, the thickness d and the angle θ of the optical wedge in this example are within a square frame shown in FIG.

図13の四角い枠内は、オプティカルウェッジの光ビーム反射面と2組の2分割フォトディテクタの受光面とが平行するものとした場合の範囲である。しかしながら、厚みdの範囲が0.14mm以上かつ1.64mm以下であって、角度θが164Sec(秒)以下である場合には、2分割フォトディテクタの受光面と、オプティカルウェッジの光ビーム反射面とを平行ではなく、傾けて、この傾き角度に応じて、図13に示す四角い範囲を図13の上下方向(角度θ方向)にさらに拡大することができる。   The square frame in FIG. 13 is a range in the case where the light beam reflecting surface of the optical wedge and the light receiving surfaces of the two sets of two-divided photodetectors are parallel to each other. However, when the range of the thickness d is 0.14 mm or more and 1.64 mm or less and the angle θ is 164 Sec (seconds) or less, the light receiving surface of the two-divided photodetector, the light beam reflecting surface of the optical wedge, Are not parallel but can be tilted, and the square range shown in FIG. 13 can be further expanded in the vertical direction (angle θ direction) in FIG. 13 according to the tilt angle.

上述した実施形態のレーザ光の波長検出器によれば、予め定めた最短波長λから最長波長λ’までの範囲において、レーザ光の波長を正確に検出できる。   According to the laser beam wavelength detector of the above-described embodiment, the wavelength of the laser beam can be accurately detected in the range from the predetermined shortest wavelength λ to the longest wavelength λ ′.

上述した実施形態のレーザ装置によれば、正確にレーザ光の波長が検出できるので、マルチモードで発振するレーザ・ダイオードと外部共振器とを有するレーザ装置を用いたホログラム記録再生装置において、ホログラム記録媒体に記録データを記録し、または、ホログラム記録媒体に記録された記録データを再生するに際して、検出したレーザ光の波長に基づき、記録再生に用いるレーザ光が、シングルモードの領域、外部共振器のモードホップの領域、または、LDのモードホップの領域、のいずれであるかを検出して、記録再生の管理をし、信頼性の高い記録再生をおこなうことができる。   According to the laser device of the above-described embodiment, the wavelength of the laser beam can be accurately detected. Therefore, in the hologram recording / reproducing device using the laser device having a laser diode that oscillates in multimode and an external resonator, hologram recording When recording data on the medium or reproducing the recording data recorded on the hologram recording medium, the laser light used for recording / reproducing is based on the detected wavelength of the laser light, and the laser light used for recording / reproduction is in a single mode region or external resonator. It is possible to detect the mode hop area or the LD mode hop area, manage the recording and reproduction, and perform highly reliable recording and reproduction.

なお、本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、開示された技術的思想の範囲内におよぶものである。また実施形態についても、上述の実施形態に限られず、これらを様々に変形し、組み合わせた実施形態が実施可能であることは言うまでもない。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, but extends to the scope of the disclosed technical idea. Further, the embodiment is not limited to the above-described embodiment, and it is needless to say that embodiments in which these are variously modified and combined can be implemented.

実施形態のレーザ装置の構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure of the laser apparatus of embodiment. レーザ光波長検出器を構成するオプティカルウェッジの作用を説明する図である。It is a figure explaining the effect | action of the optical wedge which comprises a laser beam wavelength detector. ダイオード電流と発振波長(スペクトル)の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between a diode electric current and an oscillation wavelength (spectrum). ダイオード電流、規格化差信号との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between a diode electric current and a normalization difference signal. ダイオード電流と規格化差信号との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between a diode electric current and a normalization difference signal. オプティカルウェッジの各部の変数を示す図である。It is a figure which shows the variable of each part of an optical wedge. オプティカルウェッジの表面反射光と裏面反射光とを示す図である。It is a figure which shows the surface reflected light and back surface reflected light of an optical wedge. 光ビームの入射角度を傾ける場合のオプティカルウェッジの両面で反射した光ビームのズレ量を示す図である。It is a figure which shows the deviation | shift amount of the light beam reflected on both surfaces of the optical wedge in the case of inclining the incident angle of a light beam. オプティカルウェッジの角度と、フリンジピッチとの関係を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the relationship between the angle of an optical wedge, and a fringe pitch. フォトディテクタの幅とフリンジピッチとの関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the width | variety of a photodetector, and a fringe pitch. フリンジピッチと幅との比率に対する規格化差信号を示す図である。It is a figure which shows the normalization difference signal with respect to the ratio of fringe pitch and width. 2分割フォトディテクタのずれ方向を示す図である。It is a figure which shows the shift | offset | difference direction of a 2 division | segmentation photodetector. 実施例のオプティカルウェッジの厚みと角度の範囲を示す図である。It is a figure which shows the range of the thickness and angle of the optical wedge of an Example. 背景技術のレーザ装置の構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure of the laser apparatus of background art.

符号の説明Explanation of symbols

10 レーザ装置、11 レーザ・ダイオード、12 コリメートレンズ、13 グレーティング、13a グレーティング表面、14 ミラー、14a ミラー表面、15 受光面、16 オプティカルウェッジ、17 波長検出ディテクタ、17a、17b 2分割フォトディテクタ、17a1、17a2、17b1、17b2 フォトディテクタ、18 演算器、27 回転軸
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Laser apparatus, 11 Laser diode, 12 Collimating lens, 13 Grating, 13a Grating surface, 14 Mirror, 14a Mirror surface, 15 Light-receiving surface, 16 Optical wedge, 17 Wavelength detection detector, 17a, 17b Two-part photo detector, 17a 1, 17a 2, 17b 1, 17b 2 photodetector, 18 computing unit, 27 rotating shaft

Claims (4)

レーザ光が通過する光路中に配されるレーザ光の波長検出器であって、
対抗する表面および裏面の各々で前記レーザ光を反射するオプティカルウェッジと、
前記オプティカルウェッジによって発生させられる干渉縞の光強度の変化する方向に2つに分割された受光面を有する2組の2分割ディテクタを具備する波長検出ディテクタと、を備え、
前記オプティカルウェッジの屈折率をn、前記2分割ディテクタを構成する各々のディテクタの幅をa、前記2組の2分割ディテクタの、相互の離間距離をb、前記オプティカルウェッジに対して前記光ビームの入射する角度である入射角度をφ、波長が検出される前記光ビームの波長の範囲における最も短い波長をλ、最も長い波長をλ’、前記光ビームのビーム径をW、0を含む正の整数をmとし、
前記オプティカルウェッジの前記表面と前記裏面との間の厚みdと、前記表面と前記裏面とのなす角度θと、の各々が、0.1*(λ’*λ)/((2*n*(λ’-λ))≦d≦W/(4*tan(Arcsin((sinφ)/n))の範囲であって、
θ≦λ*sinφ/(4*n*a)であるように前記オプティカルウェッジが形成されることを特徴とするレーザ光の波長検出器。
A wavelength detector for laser light arranged in an optical path through which the laser light passes,
An optical wedge that reflects the laser beam on each of the opposing front and back surfaces;
A wavelength detection detector comprising two sets of two-divided detectors having a light-receiving surface divided into two in the direction in which the light intensity of the interference fringes generated by the optical wedge changes,
The refractive index of the optical wedge is n, the width of each detector constituting the two-divided detector is a, the separation distance between the two sets of the two-divided detectors is b, and the optical beam is separated from the optical wedge. The incident angle, which is the incident angle, is φ, the shortest wavelength in the wavelength range of the light beam where the wavelength is detected is λ, the longest wavelength is λ ′, the beam diameter of the light beam is a positive value including W and 0 Let m be an integer,
Each of the thickness d between the front and back surfaces of the optical wedge and the angle θ between the front and back surfaces is 0.1 * (λ ′ * λ) / ((2 * n * (λ '-λ)) ≦ d ≦ W / (4 * tan (Arcsin ((sinφ) / n))
A laser light wavelength detector, wherein the optical wedge is formed such that θ ≦ λ * sinφ / (4 * n * a).
前記オプティカルウェッジの表面および裏面は、前記2組の2分割ディテクタの受光面に略平行に配置され、さらに、(0.5m+0.15)*λ*sinφ/2*n*b≦θ≦(0.5m+0.35)*λ*sinφ/2*n*bの範囲に前記表面と前記裏面とのなす角度θが含まれるように前記オプティカルウェッジが形成されることを特徴とする請求項1に記載のレーザ光の波長検出器。   The front and back surfaces of the optical wedge are arranged substantially parallel to the light receiving surfaces of the two sets of the two-divided detectors, and (0.5 m + 0.15) * λ * sinφ / 2 * n * b ≦ θ ≦ (0.5 m 2. The laser according to claim 1, wherein the optical wedge is formed so that an angle θ between the front surface and the back surface is included in a range of +0.35) * λ * sinφ / 2 * n * b. Light wavelength detector. ホログラム記録媒体に記録データを記録し、または、前記ホログラム記録媒体に記録された記録データを再生するホログラム記録再生装置に用いる波長検出器を有するレーザ装置であって、
マルチモードで発振するレーザと、
前記レーザから出射されるレーザ光の1次回折光を前記レーザに戻すグレーティングと、
前記グレーティングからの0次光を所定の方向に反射するミラーと、
前記グレーティングの光ビーム照射面であるグレーティング表面と前記ミラーの光ビーム照射面であるミラー表面とのなす角度を一定に保ちながら、前記グレーティング表面と前記ミラー表面との延長線が交わる線の交点を中心として回転するように配された回転軸と、
前記ミラーからの0次光が通過する光路中に配されるレーザ光の波長検出器と、を備え、
前記波長検出器は、
対抗する表面および裏面の各々で前記レーザ光を反射するオプティカルウェッジと、
前記オプティカルウェッジによって発生させられる干渉縞の光強度の変化する方向に2つに分割された受光面を有する2組の2分割ディテクタを具備する波長検出ディテクタと、を具備し、
前記オプティカルウェッジの屈折率をn、前記2分割ディテクタを構成する各々のディテクタの幅をa、前記2組の2分割ディテクタの、相互の離間距離をb、前記オプティカルウェッジに対して前記光ビームの入射する角度である入射角度をφ、波長が検出される前記光ビームの波長の範囲における最も短い波長をλ、最も長い波長をλ’、前記光ビームのビーム径をW、0を含む正の整数をmとし、
前記オプティカルウェッジの前記表面と前記裏面との間の厚みdと、前記表面と前記裏面とのなす角度θと、の各々が、
0.1*(λ’*λ)/((2*n*(λ’-λ))≦d≦W/(4*tan(Arcsin((sinφ)/n))の範囲であって、
θ≦λ*sinφ/(4*n*a)であるように前記オプティカルウェッジが形成されることを特徴とするレーザ装置。
A laser device having a wavelength detector for use in a hologram recording / reproducing apparatus for recording recording data on a hologram recording medium or reproducing the recording data recorded on the hologram recording medium,
A laser that oscillates in multimode;
A grating that returns the first-order diffracted light of the laser light emitted from the laser to the laser;
A mirror that reflects zero-order light from the grating in a predetermined direction;
While maintaining a constant angle between the grating surface that is the light beam irradiation surface of the grating and the mirror surface that is the light beam irradiation surface of the mirror, the intersection of the lines where the extension lines of the grating surface and the mirror surface intersect A rotation axis arranged to rotate as a center;
A wavelength detector of laser light arranged in an optical path through which the zero-order light from the mirror passes,
The wavelength detector is
An optical wedge that reflects the laser beam on each of the opposing front and back surfaces;
A wavelength detection detector comprising two sets of two-divided detectors having a light-receiving surface divided into two in the direction in which the light intensity of the interference fringes generated by the optical wedge changes,
The refractive index of the optical wedge is n, the width of each detector constituting the two-divided detector is a, the separation distance between the two sets of the two-divided detectors is b, and the optical beam is separated from the optical wedge. The incident angle, which is the incident angle, is φ, the shortest wavelength in the wavelength range of the light beam where the wavelength is detected is λ, the longest wavelength is λ ′, the beam diameter of the light beam is a positive value including W and 0 Let m be an integer,
Each of the thickness d between the front surface and the back surface of the optical wedge, and the angle θ formed by the front surface and the back surface,
0.1 * (λ '* λ) / ((2 * n * (λ'-λ)) ≤d≤W / (4 * tan (Arcsin ((sinφ) / n))
A laser apparatus, wherein the optical wedge is formed so that θ ≦ λ * sinφ / (4 * n * a).
前記オプティカルウェッジの表面および裏面は、前記2組の2分割ディテクタの受光面に略平行に配置され、さらに、(0.5m+0.15)*λ*sinφ/2*n*b≦θ≦(0.5m+0.35)*λ*sinφ/2*n*b、の範囲に前記表面と前記裏面とのなす角度θが含まれるように前記オプティカルウェッジが形成されることを特徴とする請求項3に記載のレーザ装置。

The front and back surfaces of the optical wedge are arranged substantially parallel to the light receiving surfaces of the two sets of the two-divided detectors, and (0.5 m + 0.15) * λ * sinφ / 2 * n * b ≦ θ ≦ (0.5 m The optical wedge is formed so that an angle θ between the front surface and the back surface is included in a range of +0.35) * λ * sinφ / 2 * n * b. Laser device.

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