JP2007165484A - Organic semiconductor transistor element, manufacturing method therefor, and semiconductor device - Google Patents

Organic semiconductor transistor element, manufacturing method therefor, and semiconductor device Download PDF

Info

Publication number
JP2007165484A
JP2007165484A JP2005358169A JP2005358169A JP2007165484A JP 2007165484 A JP2007165484 A JP 2007165484A JP 2005358169 A JP2005358169 A JP 2005358169A JP 2005358169 A JP2005358169 A JP 2005358169A JP 2007165484 A JP2007165484 A JP 2007165484A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
organic semiconductor
substituted
transistor element
unsubstituted monovalent
semiconductor transistor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2005358169A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2007165484A5 (en
Inventor
Hiroaki Moriyama
弘朗 森山
Mieko Seki
三枝子 関
Hidekazu Hirose
英一 廣瀬
Tadayoshi Ozaki
忠義 尾崎
Koji Horiba
幸治 堀場
Akira Imai
彰 今井
Takeshi Agata
岳 阿形
Katsuhiro Sato
克洋 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Business Innovation Corp
Original Assignee
Fuji Xerox Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Xerox Co Ltd filed Critical Fuji Xerox Co Ltd
Priority to JP2005358169A priority Critical patent/JP2007165484A/en
Publication of JP2007165484A publication Critical patent/JP2007165484A/en
Publication of JP2007165484A5 publication Critical patent/JP2007165484A5/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Thin Film Transistor (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic semiconductor transistor element which shows superior solubility and compatibility in a solvent and a resin, is made of a charge transporting material having high carrier mobility, has a high operation speed, and is manufactured easily. <P>SOLUTION: The organic semiconductor transistor element includes source and drain electrodes, an organic semiconductor arranged to be electrically conductive to the source and drain electrodes, and a gate electrode. The organic semiconductor contains one or more kinds of charge transporting polyethers made of a repetition unit containing at least one structure as a partial structure that is selected out of structures represented by at least one or more kinds of the formulas: (AI-1) and (AI-2). In the formulas, the symbol Ar denotes a replaced or nonreplaced single valent benzene ring, a replaced or nonreplaced single valent polynuclear aromatic group hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, a replaced or nonreplaced single valent condensed aromatic group hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, or a replaced or nonreplaced single heterocyclic ring; T denotes a two-valent linear hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, or a two-valent branch hydrocarbon group having 2 to 10 carbon atoms; m denotes an integer of 0 to 3; and X denotes a substituent represented by the formula (AII). In the formula AII, R<SB>1</SB>to R<SB>6</SB>denotes a replaced or nonreplaced single valent benzene ring, a replaced or nonreplaced single valent polynuclear aromatic group hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, or a single valent branch hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms, and n denotes an integer of 1 to 10. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、有機半導体を利用した有機半導体トランジスタ素子、これを用いた半導体装置および該有機半導体トランジスタ素子の製造方法に関するものであり、より詳細には、電子ペーパーあるいはデジタルペーパー、有機EL素子、電気泳動型表示素子、液晶素子等の表示素子の駆動回路、電子タグ、スマートカード等に用いる理論回路およびメモリー素子、ガスセンサー等の分野に好適に使用できる有機半導体トランジスタ素子、これを用いた半導体装置および該有機半導体トランジスタ素子の製造方法に関する。   The present invention relates to an organic semiconductor transistor element using an organic semiconductor, a semiconductor device using the organic semiconductor transistor element, and a method for manufacturing the organic semiconductor transistor element. More specifically, the present invention relates to electronic paper or digital paper, an organic EL element, Organic semiconductor transistor element suitable for use in fields such as electrophoretic display elements, drive circuits for display elements such as liquid crystal elements, electronic tags, smart cards, memory elements, gas sensors, and semiconductor devices using the same And a method of manufacturing the organic semiconductor transistor element.

薄膜トランジスタは、液晶表示素子等の表示用スイッチング素子として幅広く用いられている。従来、薄膜トランジスタは、アモルファスや多結晶のシリコンを用いて作製されている。しかし、このようなシリコンを用いた薄膜トランジスタの作製には、スパッタリング、CVD装置、その他の真空系を用いた製造プロセスが用いられるが、大変高額である。さらには薄膜トランジスタを作製するために真空系の製造プロセスを繰り返し行い、半導体層等の各層を形成するため、薄膜トランジスタを用いた表示装置等の大型化は製造コストの大幅な増加を伴う問題点があった。
また、アモルファスや多結晶のシリコンを成膜するプロセスは非常に高い温度で行なわれ、基材として用いられる材料が限定されてしまう。従って、軽量でフレキシビリィがある樹脂基板等は使用できないという問題点があった。
Thin film transistors are widely used as display switching elements such as liquid crystal display elements. Conventionally, a thin film transistor is manufactured using amorphous or polycrystalline silicon. However, manufacturing of a thin film transistor using such silicon uses sputtering, a CVD apparatus, and other manufacturing processes using a vacuum system, which are very expensive. In addition, the manufacturing process of a vacuum system is repeatedly performed to form a thin film transistor, and each layer such as a semiconductor layer is formed. Therefore, an increase in the size of a display device using a thin film transistor has a problem with a significant increase in manufacturing cost. It was.
In addition, the process for forming amorphous or polycrystalline silicon is performed at a very high temperature, and the materials used as the base material are limited. Therefore, there is a problem that a resin substrate having a light weight and flexibility cannot be used.

一方、近年有機EL素子等に代表される有機半導体の研究が盛んに行なわれている。それとともにシリコン材料には無い軽量性、柔軟性という特徴を有する有機材料を回路に組み込もうとする研究が報告されるようになってきた。
このような薄膜トランジスタに用いる有機物としては、低分子化合物および高分子化合物が用いられる。低分子化合物としては、ペンタセン、テトラセン等のポリアセン化合物(例えば、特許文献1〜3参照)、銅フタロシアニン等のフタロシアニン化合物(例えば、特許文献4,5参照)が提案されている。
しかし、低分子化合物の場合、シリコンと同じ真空系を用いた製造プロセスを繰り返す必要があり、製造プロセス上の問題は依然解消されていない。
On the other hand, research on organic semiconductors typified by organic EL elements has been actively conducted in recent years. At the same time, studies have been reported to incorporate organic materials into circuits that have characteristics of lightness and flexibility that are not found in silicon materials.
As an organic substance used for such a thin film transistor, a low molecular compound and a high molecular compound are used. As low molecular weight compounds, polyacene compounds such as pentacene and tetracene (for example, see Patent Documents 1 to 3) and phthalocyanine compounds such as copper phthalocyanine (for example, refer to Patent Documents 4 and 5) have been proposed.
However, in the case of a low molecular weight compound, it is necessary to repeat the manufacturing process using the same vacuum system as that of silicon, and the problem in the manufacturing process has not been solved.

また、高分子化合物としては、セクシチオフェン等の芳香族オリゴマー(例えば、特許文献6参照)、ポリチオフェン、ポリチエニレンビニレン、ポリ(p−フェニレンビニレン)等の高分子化合物(例えば、特許文献7〜10、非特許文献1参照)が提案されている。   Examples of the polymer compound include aromatic compounds such as sexithiophene (for example, see Patent Document 6), polymer compounds such as polythiophene, polythienylene vinylene, and poly (p-phenylene vinylene) (for example, Patent Documents 7 to 7). 10, Non-Patent Document 1).

このような、高分子化合物は、可溶性が大きく、スピンコーティングやディプコーティングなど低コストの技術で成膜が可能であるので製造プロセスで有利であるが、キャリア移動度が低いという問題点があった。また、ポリ(p−フェニレンビニレン)においては、可溶前駆体をスピンコート後、熱処理するため、主鎖共役系高分子中に欠陥が入りやすく電気特性を著しく低下させる問題点があった。
特開平5−55568号公報 特開平10−270712号公報 特開2001−94107号公報 特開平5−190877号公報 特開2000−174277号公報 特開平8−264805号公報 特開平8−228034号公報 特開平8−228035号公報 特開平10−125924号公報 特開平10−190001号公報 Appl.Phys.Lett., Vol.73,108(1998)
Such a polymer compound is highly soluble and is advantageous in the manufacturing process because it can be formed by a low-cost technique such as spin coating or dip coating, but has a problem of low carrier mobility. . In addition, since poly (p-phenylene vinylene) is heat-treated after spin-coating a soluble precursor, there is a problem that defects tend to occur in the main chain conjugated polymer and the electrical properties are remarkably lowered.
JP-A-5-55568 JP-A-10-270712 JP 2001-94107 A Japanese Patent Laid-Open No. 5-190877 JP 2000-174277 A JP-A-8-264805 JP-A-8-228034 JP-A-8-228035 Japanese Patent Laid-Open No. 10-125924 Japanese Patent Laid-Open No. 10-190001 Appl. Phys. Lett. , Vol. 73, 108 (1998)

本発明は、上記問題点を解決することを課題とする。すなわち、溶剤や樹脂に対する溶解性及び相溶性に優れ、高いキャリア移動度を有する電荷輸送性ポリエーテルまたは電荷輸送性ポリエステルを用い、動作速度が速く、且つ製造が容易な有機半導体トランジスタ素子およびその製造方法、並びに、前記有機半導体トランジスタ素子を用いた半導体装置を提供することを課題とする。   An object of the present invention is to solve the above problems. That is, an organic semiconductor transistor element that is excellent in solubility and compatibility with a solvent and a resin, uses a charge-transporting polyether or charge-transporting polyester having high carrier mobility, has a high operation speed, and is easy to manufacture. It is an object to provide a method and a semiconductor device using the organic semiconductor transistor element.

上記課題は以下の本発明により達成される。すなわち、本発明は、
<1>
ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース電極および前記ドレイン電極と導通可能に設けられた有機半導体と、該有機半導体に対して絶縁され且つ電場を印加することが可能なゲート電極とを少なくとも含む有機半導体トランジスタ素子において、
前記有機半導体が、少なくとも1種以上の下記一般式(AI−1)および(AI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエーテルを1種以上含有することを特徴とする有機半導体トランジスタ素子である。

Figure 2007165484
〔一般式(AI−1)および(AI−2)中、Arは置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、または、置換もしくは未置換の1価の複素環を表し、Tは炭素数1〜6の2価の直鎖状炭化水素基または炭素数2〜10の2価の分枝鎖状炭化水素基を表し、mは0〜3の整数を表す。また、Xは、下記一般式(AII)で表される置換基を表す。〕
Figure 2007165484
〔一般式(AII)中、R、R、R、R、R、およびRは、置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の1価の複素環、炭素数1〜18の1価の直鎖状炭化水素基、又は、炭素数3〜10の1価の分枝鎖状炭化水素基を表し、nは1〜10の整数を表す。〕 The above-mentioned subject is achieved by the following present invention. That is, the present invention
<1>
An organic including at least a source electrode, a drain electrode, an organic semiconductor provided to be conductive with the source electrode and the drain electrode, and a gate electrode insulated from the organic semiconductor and capable of applying an electric field In a semiconductor transistor element,
A charge transporting polyether composed of a repeating unit in which the organic semiconductor includes at least one selected from the structures represented by the following general formulas (AI-1) and (AI-2) as a partial structure: It is an organic semiconductor transistor element characterized by containing 1 or more types.
Figure 2007165484
[In the general formulas (AI-1) and (AI-2), Ar represents a substituted or unsubstituted monovalent benzene ring, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, Represents a substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings or a substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, and T is a divalent linear chain having 1 to 6 carbon atoms. It represents a hydrocarbon group or a divalent branched hydrocarbon group having 2 to 10 carbon atoms, and m represents an integer of 0 to 3. X represents a substituent represented by the following general formula (AII). ]
Figure 2007165484
[In General Formula (AII), R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , and R 6 are substituted or unsubstituted monovalent benzene rings, substituted or unsubstituted aromatic rings 2 to 10 Monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon, substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, monovalent having 1 to 18 carbon atoms Represents a straight-chain hydrocarbon group or a monovalent branched hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms, and n represents an integer of 1 to 10. ]

<2>
前記有機半導体が、下記一般式(AIII)で示される電荷輸送性ポリエーテルであることを特徴とする<1>に記載の有機半導体トランジスタ素子である。

Figure 2007165484
〔一般式(AIII)において、Aは前記一般式(AI−1)および(AI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種以上を表し、pは5〜5000の整数を表す。〕 <2>
The organic semiconductor transistor element according to <1>, wherein the organic semiconductor is a charge transporting polyether represented by the following general formula (AIII).
Figure 2007165484
[In General Formula (AIII), A 1 represents at least one selected from the structures represented by General Formulas (AI-1) and (AI-2), and p represents an integer of 5 to 5000. ]

<3>
ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース電極および前記ドレイン電極と導通可能に設けられた有機半導体と、該有機半導体に対して絶縁され且つ電場を印加することが可能なゲート電極とを少なくとも備え、前記有機半導体が、少なくとも1種以上の下記一般式(AI−1)および(AI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエーテルを1種以上含有する有機半導体トランジスタ素子を、溶媒中に溶解させた前記電荷輸送性ポリエーテルを少なくとも1種以上含む溶液を用いて製造する有機半導体トランジスタ素子の製造方法であって、
前記有機半導体が、前記溶液に外部刺激を付与して、前記溶液をノズルから液滴状に吐出させる方法を利用して形成されることを特徴とする有機半導体トランジスタ素子の製造方法である。

Figure 2007165484
〔一般式(AI−1)および(AI−2)中、Arは置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、または、置換もしくは未置換の1価の複素環を表し、Tは炭素数1〜6の2価の直鎖状炭化水素基または炭素数2〜10の2価の分枝鎖状炭化水素基を表し、mは0〜3の整数を表す。また、Xは、下記一般式(AII)で表される置換基を表す。〕
Figure 2007165484
〔一般式(AII)中、R、R、R、R、R、およびRは、置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の1価の複素環、炭素数1〜18の1価の直鎖状炭化水素基、又は、炭素数3〜10の1価の分枝鎖状炭化水素基を表し、nは1〜10の整数を表す。〕 <3>
Comprising at least a source electrode, a drain electrode, an organic semiconductor provided to be conductive with the source electrode and the drain electrode, and a gate electrode insulated from the organic semiconductor and capable of applying an electric field; A charge transporting polyether composed of a repeating unit in which the organic semiconductor includes at least one selected from the structures represented by the following general formulas (AI-1) and (AI-2) as a partial structure: A method for producing an organic semiconductor transistor element comprising producing an organic semiconductor transistor element containing at least one kind by using a solution containing at least one kind of the charge transporting polyether dissolved in a solvent,
The organic semiconductor is formed using a method of applying an external stimulus to the solution and discharging the solution in a droplet form from a nozzle.
Figure 2007165484
[In the general formulas (AI-1) and (AI-2), Ar represents a substituted or unsubstituted monovalent benzene ring, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, Represents a substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings or a substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, and T is a divalent linear chain having 1 to 6 carbon atoms. It represents a hydrocarbon group or a divalent branched hydrocarbon group having 2 to 10 carbon atoms, and m represents an integer of 0 to 3. X represents a substituent represented by the following general formula (AII). ]
Figure 2007165484
[In General Formula (AII), R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , and R 6 are substituted or unsubstituted monovalent benzene rings, substituted or unsubstituted aromatic rings 2 to 10 Monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon, substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, monovalent having 1 to 18 carbon atoms Represents a straight-chain hydrocarbon group or a monovalent branched hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms, and n represents an integer of 1 to 10. ]

<4>
前記外部刺激が圧力であることを特徴とする<3>に記載の有機半導体トランジスタ素子の製造方法である。
<4>
<3> The method for producing an organic semiconductor transistor element according to <3>, wherein the external stimulus is pressure.

<5>
溶媒中に溶解させた前記電荷輸送性ポリエーテルを少なくとも1種以上含む溶液を用い、前記溶媒を含んだ状態の塗膜を形成する塗膜形成工程と、前記塗膜を乾燥させる乾燥工程とを少なくとも経ることにより前記有機半導体トランジスタ素子を製造する<3>に記載の有機半導体トランジスタ素子の製造方法であって、前記乾燥工程が、酸素濃度が100ppm以下、且つ、水分濃度が100ppm以下の環境下で実施されることを特徴とする有機半導体トランジスタ素子の製造方法である。
<5>
Using a solution containing at least one kind of the charge transporting polyether dissolved in a solvent, a coating film forming step for forming a coating film containing the solvent, and a drying step for drying the coating film The method for producing an organic semiconductor transistor element according to <3>, wherein the organic semiconductor transistor element is produced by passing through at least an environment where the oxygen concentration is 100 ppm or less and the water concentration is 100 ppm or less. This is a method for manufacturing an organic semiconductor transistor element.

<6>
基板と、該基板上に設けられた1個以上の有機半導体トランジスタ素子とを含み、
前記有機半導体トランジスタ素子が、ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース電極および前記ドレイン電極と導通可能に設けられた有機半導体と、該有機半導体に対して絶縁され且つ電場を印加することが可能なゲート電極とを少なくとも備え、前記有機半導体が、少なくとも1種以上の下記一般式(AI−1)および(AI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエーテルを1種以上含有することを特徴とする半導体装置である。

Figure 2007165484
〔一般式(AI−1)および(AI−2)中、Arは置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、または、置換もしくは未置換の1価の複素環を表し、Tは炭素数1〜6の2価の直鎖状炭化水素基または炭素数2〜10の2価の分枝鎖状炭化水素基を表し、mは0〜3の整数を表す。また、Xは、下記一般式(AII)で表される置換基を表す。〕
Figure 2007165484
〔一般式(AII)中、R、R、R、R、R、およびRは、置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の1価の複素環、炭素数1〜18の1価の直鎖状炭化水素基、又は、炭素数3〜10の1価の分枝鎖状炭化水素基を表し、nは1〜10の整数を表す。〕 <6>
A substrate, and one or more organic semiconductor transistor elements provided on the substrate,
The organic semiconductor transistor element has a source electrode, a drain electrode, an organic semiconductor provided to be conductive with the source electrode and the drain electrode, and is insulated from the organic semiconductor and can apply an electric field. A repeating unit comprising at least a gate electrode, wherein the organic semiconductor includes at least one selected from the structures represented by the following general formulas (AI-1) and (AI-2) as a partial structure: A semiconductor device comprising at least one charge transporting polyether.
Figure 2007165484
[In the general formulas (AI-1) and (AI-2), Ar represents a substituted or unsubstituted monovalent benzene ring, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, Represents a substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings or a substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, and T is a divalent linear chain having 1 to 6 carbon atoms. It represents a hydrocarbon group or a divalent branched hydrocarbon group having 2 to 10 carbon atoms, and m represents an integer of 0 to 3. X represents a substituent represented by the following general formula (AII). ]
Figure 2007165484
[In General Formula (AII), R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , and R 6 are substituted or unsubstituted monovalent benzene rings, substituted or unsubstituted aromatic rings 2 to 10 Monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon, substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, monovalent having 1 to 18 carbon atoms Represents a straight-chain hydrocarbon group or a monovalent branched hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms, and n represents an integer of 1 to 10. ]

<7>
ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース電極および前記ドレイン電極と導通可能に設けられた有機半導体と、該有機半導体に対して絶縁され且つ電場を印加することが可能なゲート電極とを少なくとも含む有機半導体トランジスタ素子において、
前記有機半導体が、少なくとも1種以上の下記一般式(BI−1)および(BI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエステルを1種以上含有することを特徴とする有機半導体トランジスタ素子である。

Figure 2007165484
〔一般式(BI−1)および(BI−2)中、Arは置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、または、置換もしくは未置換の1価の複素環を表し、Tは炭素数1〜6の2価の直鎖状炭化水素基または炭素数2〜10の2価の分枝鎖状炭化水素基を表し、k、lはそれぞれ独立に0または1を表す。また、Xは、下記一般式(BII)で表される置換基を表す。〕
Figure 2007165484
〔一般式(BII)中、R、Rは、水素原子、アルキル基、置換もしくは未置換のアリール基、又は、置換もしくは未置換のアラルキル基を表し、nは1〜10の整数を表す。〕 <7>
An organic including at least a source electrode, a drain electrode, an organic semiconductor provided to be conductive with the source electrode and the drain electrode, and a gate electrode insulated from the organic semiconductor and capable of applying an electric field In a semiconductor transistor element,
1 is a charge transporting polyester composed of a repeating unit in which the organic semiconductor includes at least one selected from the structures represented by the following general formulas (BI-1) and (BI-2) as a partial structure. It is an organic semiconductor transistor element characterized by containing at least seeds.
Figure 2007165484
[In the general formulas (BI-1) and (BI-2), Ar represents a substituted or unsubstituted monovalent benzene ring, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, Represents a substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings or a substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, and T is a divalent linear chain having 1 to 6 carbon atoms. It represents a hydrocarbon group or a divalent branched hydrocarbon group having 2 to 10 carbon atoms, and k and l each independently represents 0 or 1. X represents a substituent represented by the following general formula (BII). ]
Figure 2007165484
[In General Formula (BII), R 1 and R 2 represent a hydrogen atom, an alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, or a substituted or unsubstituted aralkyl group, and n represents an integer of 1 to 10. . ]

<8>
前記有機半導体が、下記一般式(BIII−1)または(BIII−2)で示される電荷輸送性ポリエステルであることを特徴とする<7>に記載の有機半導体トランジスタ素子である。

Figure 2007165484
〔一般式(BIII−1)および(BIII−2)中、Aは上記一般式(BI−1)および(BI−2)で示される構造から選択される少なくとも1種を表し、Yは2価の炭化水素基を表し、Zは2価の炭化水素基を表す。また、Rは水素原子、アルキル基、置換もしくは未置換のアリール基、又は、置換もしくは未置換のアラルキル基、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素を表し、B及びB’は−O−(Y−O)m−H、または−O−(Y−O)m−CO−Z−CO−OR’を表し、R’は水素原子、アルキル基、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換のアラルキル基を表す。mは1〜5の整数を表す。pは5〜5,000の整数を表す。〕 <8>
<7> The organic semiconductor transistor element according to <7>, wherein the organic semiconductor is a charge transporting polyester represented by the following general formula (BIII-1) or (BIII-2).
Figure 2007165484
[In General Formulas (BIII-1) and (BIII-2), A represents at least one selected from the structures represented by General Formulas (BI-1) and (BI-2), and Y represents a divalent group. Z represents a divalent hydrocarbon group. R is a hydrogen atom, an alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, a substituted or unsubstituted aralkyl group, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, a substituted Alternatively, it represents an unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, and B and B ′ are —O— (YO) m—H, or —O— (YO) m—. CO-Z-CO-OR ', wherein R' represents a hydrogen atom, an alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, or a substituted or unsubstituted aralkyl group. m represents an integer of 1 to 5. p represents an integer of 5 to 5,000. ]

<9>
ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース電極および前記ドレイン電極と導通可能に設けられた有機半導体と、該有機半導体に対して絶縁され且つ電場を印加することが可能なゲート電極とを少なくとも備え、前記有機半導体が、少なくとも1種以上の下記一般式(BI−1)および(BI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエステルを1種以上含有する有機半導体トランジスタ素子を、溶媒中に溶解させた前記電荷輸送性ポリエステルを少なくとも1種以上含む溶液を用いて製造する有機半導体トランジスタ素子の製造方法であって、
前記有機半導体が、前記溶液に外部刺激を付与して、前記溶液をノズルから液滴状に吐出させる方法を利用して形成されることを特徴とする有機半導体トランジスタ素子の製造方法。

Figure 2007165484
〔一般式(BI−1)および(BI−2)中、Arは置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、または、置換もしくは未置換の1価の複素環を表し、Tは炭素数1〜6の2価の直鎖状炭化水素基または炭素数2〜10の2価の分枝鎖状炭化水素基を表し、k、lはそれぞれ独立に0または1を表す。また、Xは、下記一般式(BII)で表される置換基を表す。〕
Figure 2007165484
〔一般式(BII)中、R、Rは、水素原子、アルキル基、置換もしくは未置換のアリール基、又は、置換もしくは未置換のアラルキル基を表し、nは1〜10の整数を表す。〕 <9>
Comprising at least a source electrode, a drain electrode, an organic semiconductor provided to be conductive with the source electrode and the drain electrode, and a gate electrode insulated from the organic semiconductor and capable of applying an electric field; 1 is a charge transporting polyester composed of a repeating unit in which the organic semiconductor includes at least one selected from the structures represented by the following general formulas (BI-1) and (BI-2) as a partial structure. A method for producing an organic semiconductor transistor element comprising producing an organic semiconductor transistor element containing at least one species using a solution containing at least one kind of the charge transporting polyester dissolved in a solvent,
The method of manufacturing an organic semiconductor transistor element, wherein the organic semiconductor is formed using a method in which an external stimulus is applied to the solution and the solution is ejected in a droplet form from a nozzle.
Figure 2007165484
[In the general formulas (BI-1) and (BI-2), Ar represents a substituted or unsubstituted monovalent benzene ring, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, Represents a substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings or a substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, and T is a divalent linear chain having 1 to 6 carbon atoms. It represents a hydrocarbon group or a divalent branched hydrocarbon group having 2 to 10 carbon atoms, and k and l each independently represents 0 or 1. X represents a substituent represented by the following general formula (BII). ]
Figure 2007165484
[In General Formula (BII), R 1 and R 2 represent a hydrogen atom, an alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, or a substituted or unsubstituted aralkyl group, and n represents an integer of 1 to 10. . ]

<10>
前記外部刺激が圧力であることを特徴とする<9>に記載の有機半導体トランジスタ素子の製造方法である。
<10>
<9> The method for producing an organic semiconductor transistor element according to <9>, wherein the external stimulus is pressure.

<11>
溶媒中に溶解させた前記電荷輸送性ポリエステルを少なくとも1種以上含む溶液を用い、前記溶媒を含んだ状態の塗膜を形成する塗膜形成工程と、前記塗膜を乾燥させる乾燥工程とを少なくとも経ることにより前記有機半導体トランジスタ素子を製造する<9>に記載の有機半導体トランジスタ素子の製造方法であって、前記乾燥工程が、酸素濃度が100ppm以下、且つ、水分濃度が100ppm以下の環境下で実施されることを特徴とする有機半導体トランジスタ素子の製造方法である。
<11>
Using a solution containing at least one kind of the charge transporting polyester dissolved in a solvent, at least a coating film forming step for forming a coating film containing the solvent and a drying step for drying the coating film The organic semiconductor transistor element manufacturing method according to <9>, wherein the organic semiconductor transistor element is manufactured by passing through an environment where the oxygen concentration is 100 ppm or less and the water concentration is 100 ppm or less. A method for producing an organic semiconductor transistor element, wherein the method is implemented.

<12>
基板と、該基板上に設けられた1個以上の有機半導体トランジスタ素子とを含み、
前記有機半導体トランジスタ素子が、ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース電極および前記ドレイン電極と導通可能に設けられた有機半導体と、該有機半導体に対して絶縁され且つ電場を印加することが可能なゲート電極とを少なくとも備え、前記有機半導体が、少なくとも1種以上の下記一般式(BI−1)および(BI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエステルを1種以上含有することを特徴とする半導体装置。

Figure 2007165484
〔一般式(BI−1)および(BI−2)中、Arは置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、または、置換もしくは未置換の1価の複素環を表し、Tは炭素数1〜6の2価の直鎖状炭化水素基または炭素数2〜10の2価の分枝鎖状炭化水素基を表し、k、lはそれぞれ独立に0または1を表す。また、Xは、下記一般式(BII)で表される置換基を表す。〕
Figure 2007165484
〔一般式(BII)中、R、Rは、水素原子、アルキル基、置換もしくは未置換のアリール基、又は、置換もしくは未置換のアラルキル基を表し、nは1〜10の整数を表す。〕 <12>
A substrate, and one or more organic semiconductor transistor elements provided on the substrate,
The organic semiconductor transistor element has a source electrode, a drain electrode, an organic semiconductor provided to be conductive with the source electrode and the drain electrode, and is insulated from the organic semiconductor and can apply an electric field. A repeating unit comprising at least a gate electrode, wherein the organic semiconductor includes at least one selected from the structures represented by the following general formulas (BI-1) and (BI-2) as a partial structure: A semiconductor device comprising at least one charge transporting polyester.
Figure 2007165484
[In the general formulas (BI-1) and (BI-2), Ar represents a substituted or unsubstituted monovalent benzene ring, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, Represents a substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings or a substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, and T is a divalent linear chain having 1 to 6 carbon atoms. It represents a hydrocarbon group or a divalent branched hydrocarbon group having 2 to 10 carbon atoms, and k and l each independently represents 0 or 1. X represents a substituent represented by the following general formula (BII). ]
Figure 2007165484
[In General Formula (BII), R 1 and R 2 represent a hydrogen atom, an alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, or a substituted or unsubstituted aralkyl group, and n represents an integer of 1 to 10. . ]

以上に説明したように本発明によれば、溶剤や樹脂に対する溶解性及び相溶性に優れ、高いキャリア移動度を有する電荷輸送性ポリエーテルまたは電荷輸送性ポリエステルを用い、動作速度が速く、且つ製造が容易な有機半導体トランジスタ素子およびその製造方法、並びに、前記有機半導体トランジスタ素子を用いた半導体装置を提供することができる。   As described above, according to the present invention, a charge transporting polyether or charge transporting polyester having excellent solubility and compatibility with solvents and resins, high carrier mobility, high operating speed, and production It is possible to provide an organic semiconductor transistor element and a method for manufacturing the same, and a semiconductor device using the organic semiconductor transistor element.

以下に本発明を、電荷輸送性ポリエーテルを用いた有機半導体トランジスタ素子と、電荷輸送性ポリエステルを用いた有機半導体トランジスタ素子とに分けて説明した後、双方に共通する事項について説明する。   In the following, the present invention will be described by dividing it into an organic semiconductor transistor element using a charge transporting polyether and an organic semiconductor transistor element using a charge transporting polyester, and then the matters common to both will be described.

−電荷輸送性ポリエーテルを用いた有機半導体トランジスタ素子−
本発明の有機半導体トランジスタ素子は、ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース電極および前記ドレイン電極と導通可能に設けられた有機半導体と、該有機半導体に対して絶縁され且つ電場を印加することが可能なゲート電極とを少なくとも含む有機半導体トランジスタ素子において、前記有機半導体が、少なくとも1種以上の下記一般式(AI−1)および(AI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエーテルを1種以上含有することを特徴とする。
この電荷輸送性ポリエーテルは、動作時の熱安定性、溶剤や樹脂に対する溶解性及び相溶解性に優れる上にキャリア移動度が高く、さらに、本発明の有機半導体トランジスタ素子は、前記電荷輸送性ポリエーテルを含有してなる有機半導体を有しているため、動作速度が速く且つ製造が容易である。
-Organic semiconductor transistor device using charge transporting polyether-
The organic semiconductor transistor element of the present invention includes a source electrode, a drain electrode, an organic semiconductor provided to be conductive with the source electrode and the drain electrode, and an electric field insulated from the organic semiconductor and applying an electric field. An organic semiconductor transistor element including at least a possible gate electrode, wherein the organic semiconductor is at least one selected from the structures represented by the following general formulas (AI-1) and (AI-2): It is characterized by containing one or more charge transporting polyethers composed of repeating units included as a partial structure.
This charge transporting polyether is excellent in thermal stability during operation, solubility in solvents and resins and phase solubility, and has high carrier mobility. Further, the organic semiconductor transistor element of the present invention has the charge transporting property. Since it has an organic semiconductor containing a polyether, the operation speed is high and the production is easy.

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Arは置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、または、置換もしくは未置換の1価の複素環を表し、Tは炭素数1〜6の2価の直鎖状炭化水素基または炭素数2〜10の2価の分枝鎖状炭化水素基を表し、mは0〜3の整数を表す。
また、Xは、下記一般式(AII)で表される置換基を表す。
Ar is a substituted or unsubstituted monovalent benzene ring, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, a substituted or unsubstituted monovalent condensed ring having 2 to 10 aromatic rings Represents an aromatic hydrocarbon or a substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, and T represents a divalent linear hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms or a divalent branched chain having 2 to 10 carbon atoms. Represents a hydrocarbon group, and m represents an integer of 0 to 3.
X represents a substituent represented by the following general formula (AII).

Figure 2007165484
Figure 2007165484

一般式(AII)中、R、R、R、R、R、およびRは、置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の1価の複素環、炭素数1〜18の1価の直鎖状炭化水素基、又は、炭素数3〜10の1価の分枝鎖状炭化水素基を表し、nは1〜10の整数を表す。 In general formula (AII), R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , and R 6 are substituted or unsubstituted monovalent benzene rings, substituted or unsubstituted aromatic rings having 2 to 10 Monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon, substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, monovalent monovalent ring having 1 to 18 carbon atoms A linear hydrocarbon group or a monovalent branched hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms is represented, and n represents an integer of 1 to 10.

一般式(AI―1)、(AI―2)および(AII)中において、Ar、R、R、R、R、R、およびRを表す構造として選択される多核芳香族炭化水素及び縮合多環芳香族炭化水素は特に限定されない。なお、当該多核芳香族炭化水素及び縮合芳香族炭化水素とは、本発明においては、具体的には以下に定義されることを意味する。
すなわち、「多核芳香族炭化水素」とは、炭素と水素から構成される芳香環が2個以上存在し、環同士が炭素―炭素結合によって結合している炭化水素を表し、環同士が、ビニレン基あるいはエチニレン基を介して結合されているものも含む。具体的には、ビフェニル、ターフェニル等が挙げられる。
また、「縮合芳香族炭化水素」とは、炭素と水素から構成される芳香環が2個以上存在し、環同士が1対の炭素原子を共有している炭化水素を表す。具体的には、ナフタレン、アントラセン、フェナントレン、ピレン、フルオレン等が挙げられる。
A polynuclear aromatic selected as a structure representing Ar, R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , and R 6 in the general formulas (AI-1), (AI-2), and (AII) The hydrocarbon and the condensed polycyclic aromatic hydrocarbon are not particularly limited. In the present invention, the polynuclear aromatic hydrocarbon and the condensed aromatic hydrocarbon mean specifically defined as follows.
That is, “polynuclear aromatic hydrocarbon” refers to a hydrocarbon in which two or more aromatic rings composed of carbon and hydrogen are present and the rings are bonded by a carbon-carbon bond, and the rings are vinylene. And those bonded via an ethynylene group. Specific examples include biphenyl and terphenyl.
The “condensed aromatic hydrocarbon” represents a hydrocarbon in which two or more aromatic rings composed of carbon and hydrogen are present and the rings share a pair of carbon atoms. Specific examples include naphthalene, anthracene, phenanthrene, pyrene, and fluorene.

また、複素環は、その環骨格を構成する原子数(Nr)が、Nr=5及び/又は6が好ましく用いられる。また、環骨格を構成する炭素原子以外の原子(異種原子)の種類及び数は特に限定されないが、例えば、硫黄原子、窒素原子、酸素原子等が好ましく用いられ、前記環骨格中には2種類以上及び/又は2個以上の異種原子が含まれてもよい。特に5員環構造をもつ複素環として、チオフェン、ピロール及びフラン、または、前記化合物の3位および4位の炭素を窒素で置き換えた複素環が好ましく用いられ、6員環構造を持つ複素環として、ピリジンが好ましく用いられる。
なお、上記の「多核芳香族炭化水素」や「縮合芳香族炭化水素」には、これら炭化水素基を構成する芳香環の少なくとも1つ以上を複素環に置換した炭化水素基も含まれる。
例えば、芳香環の一部を複素環に置換した多核芳香族炭化水素としては、ビフェニル基を構成する芳香環の少なくとも1つ以上をチオフェン等の複素環に置き換えたものや、ターフェニル基を構成するベンゼン環の少なくともひとつ以上をチオフェン等の複素環に置き換えたものなどが挙げられる。また、芳香環の少なくとも1つ以上を複素環に置換した縮合芳香族炭化水素としては、例えば、カルバゾール等が挙げられる。
また、アルキル基は、炭素数1〜5のアルキル基が挙げられる。
In addition, the number of atoms (Nr) constituting the ring skeleton of the heterocyclic ring is preferably Nr = 5 and / or 6. Further, the type and number of atoms (heterogeneous atoms) other than carbon atoms constituting the ring skeleton are not particularly limited. For example, a sulfur atom, a nitrogen atom, an oxygen atom and the like are preferably used, and two types are included in the ring skeleton. The above and / or two or more different atoms may be contained. In particular, as a heterocyclic ring having a 5-membered ring structure, thiophene, pyrrole and furan, or a heterocyclic ring in which the 3- and 4-position carbons of the compound are replaced with nitrogen are preferably used. Pyridine is preferably used.
The “polynuclear aromatic hydrocarbon” and the “condensed aromatic hydrocarbon” include a hydrocarbon group in which at least one of the aromatic rings constituting the hydrocarbon group is substituted with a heterocyclic ring.
For example, polynuclear aromatic hydrocarbons in which a part of the aromatic ring is substituted with a heterocyclic ring include those in which at least one of the aromatic rings constituting the biphenyl group is replaced with a heterocyclic ring such as thiophene, or a terphenyl group And those in which at least one benzene ring is replaced with a heterocyclic ring such as thiophene. In addition, examples of the condensed aromatic hydrocarbon in which at least one or more of the aromatic rings are substituted with a heterocyclic ring include carbazole.
Examples of the alkyl group include an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.

Ar、R、R、R、R、R、およびRのベンゼン環、多核芳香族炭化水素、縮合多環芳香族炭化水素および複素環の置換基としては、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基、置換アミノ基、ハロゲン原子、シアノ基等が挙げられる。
アルキル基としては、炭素数1〜10のものが好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基等が挙げられる。アルコキシル基としては、炭素数1〜10のものが好ましく、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基等が挙げられる。アリール基としては、炭素数6〜20のものが好ましく、例えば、フェニル基、トルイル基等が挙げられ、アラルキル基としては、炭素数7〜20のものが好ましく、例えば、ベンジル基、フェネチル基等が挙げられる。置換アミノ基の置換基としては、アルキル基、アリール基、アラルキル基等が挙げられ、具体例は前述の通りである。
Ar, R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , and R 6 may have a benzene ring, polynuclear aromatic hydrocarbon, condensed polycyclic aromatic hydrocarbon or heterocyclic substituent as a hydrogen atom, alkyl Group, alkoxy group, aryl group, aralkyl group, substituted amino group, halogen atom, cyano group and the like.
As an alkyl group, a C1-C10 thing is preferable, for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group etc. are mentioned. As an alkoxyl group, a C1-C10 thing is preferable, for example, a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, an isopropoxy group etc. are mentioned. As the aryl group, those having 6 to 20 carbon atoms are preferable, and examples thereof include a phenyl group and toluyl group. As the aralkyl group, those having 7 to 20 carbon atoms are preferable, and examples thereof include benzyl group and phenethyl group. Is mentioned. Examples of the substituent of the substituted amino group include an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group, and the like, and specific examples are as described above.

なお、Xはフルオレンとチオフェンとが共役されることにより、Xの官能基間の相互作用が強くなり平面性を向上することができ電気特性を向上させることできる。また、合成面においてもフルオレンおよびチオフェンは鈴木カップリング、ホモカップリング等、多くの合成手法を用いることができ反応も容易で、高純度の目的物を獲得することが出来る。   In addition, when X is conjugated with fluorene and thiophene, the interaction between the functional groups of X is strengthened, so that planarity can be improved and electrical characteristics can be improved. Also, in terms of synthesis, fluorene and thiophene can use many synthetic methods such as Suzuki coupling, homocoupling, etc., can be easily reacted, and can obtain a high-purity target product.

Tは、炭素数1〜6の2価の直鎖状炭化水素基または炭素数2〜10の2価の分枝鎖状炭化水素基を示し、好ましくは炭素数が2〜6の2価の直鎖状炭化水素基および炭素数3〜7の2価の分枝鎖状炭化水素基より選択される。具体的な構造を以下に示す。   T represents a divalent linear hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms or a divalent branched hydrocarbon group having 2 to 10 carbon atoms, preferably a divalent hydrocarbon group having 2 to 6 carbon atoms. It is selected from a linear hydrocarbon group and a divalent branched hydrocarbon group having 3 to 7 carbon atoms. A specific structure is shown below.

Figure 2007165484
Figure 2007165484

次に、表1〜表26に一般式(AI−1)で示される構造の具体例を示し、表27〜50に一般式(AI−2)で示される構造の具体例を示す。なお、表1〜50中、mの値は特に限定されず0〜3のいずれでもよい。   Next, specific examples of the structure represented by the general formula (AI-1) are shown in Tables 1 to 26, and specific examples of the structure represented by the general formula (AI-2) are shown in Tables 27 to 50. In addition, in Tables 1-50, the value of m is not specifically limited, Any of 0-3 may be sufficient.

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

一般式(AI−1)および(AI−2)で示される構造から選択された少なくとも一種を部分構造として繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエーテルとしては、下記一般式(AIII)で示されるものが好適に使用される。   Examples of the charge transporting polyether comprising a repeating unit having at least one selected from the structures represented by the general formulas (AI-1) and (AI-2) as a partial structure include those represented by the following general formula (AIII): Preferably used.

Figure 2007165484
Figure 2007165484

一般式(AIII)において、Aは前記一般式(AI−1)および(AI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種以上を表し、一つのポリマー中に2種類以上の構造Aが含まれてもよい。一般式(AIII)中、pは5〜5000の整数を表す。 In the general formula (AIII), A 1 represents at least one selected from the structures represented by the general formulas (AI-1) and (AI-2), and two or more types of structures A are included in one polymer. 1 may be included. In general formula (AIII), p represents an integer of 5 to 5000.

本発明で用いられる一般式(AI−1)および(AI−2)で示される構造から選択された少なくとも一種を部分構造として繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエーテルの重量平均分子量Mwは、5000〜300000の範囲にあるものが好ましい。
以下、一般式(AIII)で示される上記の電荷輸送性ポリエーテルの具体例を 表51〜表53に示すが、本発明はこれらの具体例に限定されるものではない。尚、表51〜表53における、「A」の欄の番号は、前記一般式(AI−1)および(AI−2)で示される構造の具体例である構造番号(表1〜50の「構造」の欄に示される番号の化合物)に対応している。また、表中のmは一般式(AI−1)および(AI−2)中におけるmを意味する。以下、各番号を付した具体例(化合物)、例えば615の番号を付した具体例は表示化合物(615)という。
The weight average molecular weight Mw of the charge transporting polyether comprising a repeating unit having at least one selected from the structures represented by the general formulas (AI-1) and (AI-2) used in the present invention as a partial structure is 5000 to 5000. Those in the range of 300,000 are preferred.
Specific examples of the above charge transporting polyether represented by the general formula (AIII) are shown in Tables 51 to 53, but the present invention is not limited to these specific examples. In Tables 51 to 53, the numbers in the column “A 1 ” are structural numbers (specifications of Tables 1 to 50) that are specific examples of the structures represented by the general formulas (AI-1) and (AI-2). Corresponding to the compound numbered in the “Structure” column. Moreover, m in the table means m in the general formulas (AI-1) and (AI-2). Hereinafter, specific examples (compounds) given respective numbers, for example, specific examples given numbers 615 are referred to as display compounds (615).

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

本発明の上記ポリエーテルは、下記一般式(AIV)で示されるヒドロキシル基を有する化合物を分子間で縮合させることによって、容易に製造することができる。ここで、下記一般式(AIV)におけるはAは、前記一般式(AIII)におけるAと同様である。 The said polyether of this invention can be easily manufactured by condensing the compound which has a hydroxyl group shown by the following general formula (AIV) between molecules. Here, A 1 is the following formula (AIV) is the same as A 1 in the general formula (AIII).

Figure 2007165484
Figure 2007165484

具体的には前記ポリエーテルは、例えば、以下のように合成することができる。
1)上記ポリエーテルは、上記一般式(AIV)のうち2個のヒドロキシアルキル基を有する化合物(以下、「モノマー」と略す)を加熱脱水縮合する方法によって上記電荷輸送性ポリエーテルを合成することができる。この場合、無溶媒でモノマーを加熱溶融し、水の脱離による重合反応を促進させるため減圧下で反応させることが望ましい。また、溶媒を使用する場合は、水の除去のため、水と共沸する溶媒、例えば、トリクロロエタン、トルエン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、ニトロベンゼン、1−クロロナフタレン等が有効であり、モノマー1当量に対して、1〜100当量、好ましくは2〜50当量の範囲で用いられる。反応温度は任意に設定できるが、重合中に生成する水を除去するために、溶媒の沸点で反応させるのが好ましい。重合が進まない場合には、反応系から溶媒を除去し、粘ちょう状態で加熱撹拌してもよい。
Specifically, the polyether can be synthesized, for example, as follows.
1) The above-mentioned polyether is synthesized by a method in which a compound having two hydroxyalkyl groups in the general formula (AIV) (hereinafter abbreviated as “monomer”) is heated and dehydrated and condensed. Can do. In this case, it is desirable that the monomer be heated and melted without a solvent and reacted under reduced pressure in order to accelerate the polymerization reaction due to the elimination of water. When a solvent is used, a solvent that azeotropes with water, for example, trichloroethane, toluene, chlorobenzene, dichlorobenzene, nitrobenzene, 1-chloronaphthalene, etc. is effective for removing water. 1 to 100 equivalents, preferably 2 to 50 equivalents. The reaction temperature can be arbitrarily set, but it is preferable to carry out the reaction at the boiling point of the solvent in order to remove water generated during the polymerization. If the polymerization does not proceed, the solvent may be removed from the reaction system and heated and stirred in a viscous state.

2)上記ポリエーテルは、酸触媒として、p−トルエンスルホン酸、塩酸、硫酸、トリフルオロ酢酸等のプロトン酸、あるいは塩化亜鉛等のルイス酸を用い脱水縮合する方法によって合成することもできる。この場合、モノマー1当量に対して、酸触媒を1〜1/10000〜1/10当量、好ましくは1/1000〜1/50当量の範囲で用いる。重合中に生成する水を除去するために、水と共沸可能な溶剤を用いるのが好ましい。溶剤としては、トルエン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、ニトロベンゼン、1−クロロナフタレン等が有効であり、モノマー1当量に対して、1〜100当量、好ましくは2〜50当量の範囲で用いられる。反応温度は任意に設定できるが、重合中に生成する水を除去するために、溶剤の沸点で反応させることが好ましい。   2) The polyether can also be synthesized by a dehydration condensation method using a protonic acid such as p-toluenesulfonic acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, trifluoroacetic acid, or a Lewis acid such as zinc chloride as an acid catalyst. In this case, the acid catalyst is used in the range of 1 to 1/10000 to 1/10 equivalent, preferably 1/1000 to 1/50 equivalent, per equivalent of monomer. In order to remove water generated during the polymerization, it is preferable to use a solvent azeotropic with water. As the solvent, toluene, chlorobenzene, dichlorobenzene, nitrobenzene, 1-chloronaphthalene and the like are effective, and 1 to 100 equivalents, preferably 2 to 50 equivalents, are used with respect to 1 equivalent of the monomer. The reaction temperature can be arbitrarily set, but it is preferable to carry out the reaction at the boiling point of the solvent in order to remove water generated during the polymerization.

3)上記モノマーは、イソシアン化シクロヘキシル等のイソシアン化アルキル、シアンン化シクロヘキシル等のイソシアン化アルキル、シアン酸p−トリルや2,2−ビス(4−シアナートフェニル)プロパン等のシアン酸エステル、ジクロロヘキシルカルボジイミド(DCC)、トリクロロアセトニトリル等の縮合剤を用いる方法によっても合成することができる。この場合、縮合剤は、モノマー1当量に対して、1/2〜10当量、好ましくは1〜3当量の範囲で用いられる。溶剤として、トルエン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、1−クロロナフタレン等が有効であり、モノマー1当量に対して、1〜100当量、好ましくは2〜50当量の範囲で用いられる。反応温度は任意に設定できるが、室温から溶剤の沸点で反応させることが好ましい。上記1)、2)および3)の合成法のうち、異性化や副反応が起こりにくいことから、合成法1)または3)が好ましい。特に、合成法3)は反応条件がより穏和なことからより好ましい。   3) The above monomers include alkyl isocyanates such as cyclohexyl isocyanate, alkyl isocyanates such as cyclohexyl cyanide, cyanate esters such as p-tolyl cyanate and 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane, and dichloromethane. It can also be synthesized by a method using a condensing agent such as hexylcarbodiimide (DCC) or trichloroacetonitrile. In this case, the condensing agent is used in a range of 1/2 to 10 equivalents, preferably 1 to 3 equivalents, relative to 1 equivalent of the monomer. As the solvent, toluene, chlorobenzene, dichlorobenzene, 1-chloronaphthalene and the like are effective, and 1 to 100 equivalents, preferably 2 to 50 equivalents, are used with respect to 1 equivalent of the monomer. Although reaction temperature can be set arbitrarily, it is preferable to make it react from the room temperature to the boiling point of a solvent. Of the synthesis methods 1), 2) and 3), the synthesis method 1) or 3) is preferred because isomerization and side reactions are unlikely to occur. In particular, the synthesis method 3) is more preferable because the reaction conditions are milder.

反応終了後、溶剤を用いなかった場合は溶解可能な溶剤に溶解させる。溶剤を用いた場合には、そのまま、メタノール、エタノール等のアルコール類や、アセトン等の非共役系高分子が溶解しにくい貧溶剤中に滴下し、ポリエーテルを析出させ、ポリエーテルを分離した後、水や有機溶剤で十分に洗浄し、乾燥させる。さらに必要であれば、適当な有機溶剤に溶解させ、貧溶剤中に滴下し、モノマーを析出させる再沈澱処理を繰り返してもよい。再沈澱処理の際には、メカニカルスターラー等で、効率よく撹拌しながら行うことが好ましい。再沈澱処理の際にポリエーテルを溶解させる溶剤は、ポリエーテル1当量に対して、1〜100当量、好ましくは2〜50当量の範囲で用いられる。また、貧溶剤はポリエーテル1当量に対して、1〜1000当量、好ましくは10〜500当量の範囲で用いられる。さらに、上記反応において、モノマーを2種以上、好ましくは2〜5種、さらに好ましくは2〜3種用いることにより、共重合ポリマーの合成も可能である。異種のモノマーを共重合することによって、電気特性、成膜性、溶解性および蛍光特性を制御することができる。   If the solvent is not used after completion of the reaction, it is dissolved in a soluble solvent. In the case of using a solvent, after dropping it in a poor solvent in which alcohols such as methanol and ethanol and non-conjugated polymers such as acetone are difficult to dissolve, the polyether is separated and the polyether is separated. Wash thoroughly with water or organic solvent and dry. Further, if necessary, the reprecipitation treatment in which the monomer is precipitated by dissolving in an appropriate organic solvent and dropping in a poor solvent may be repeated. The reprecipitation treatment is preferably carried out with efficient stirring using a mechanical stirrer or the like. The solvent for dissolving the polyether in the reprecipitation treatment is used in the range of 1 to 100 equivalents, preferably 2 to 50 equivalents, per 1 equivalent of the polyether. The poor solvent is used in an amount of 1 to 1000 equivalents, preferably 10 to 500 equivalents, per 1 equivalent of polyether. Furthermore, in the above reaction, a copolymer can be synthesized by using two or more monomers, preferably 2 to 5, more preferably 2 to 3 monomers. By copolymerizing different types of monomers, electrical characteristics, film formability, solubility, and fluorescence characteristics can be controlled.

ポリエーテルの重合度は、低すぎると成膜性に劣り、強固な膜が得られにくく、また、高すぎると溶剤への溶解度が低くなり、加工性が悪くなるため、pは5〜5000の範囲に設定され、好ましくは10〜3000、より好ましくは15〜1000の範囲である。
また、ポリマーの末端は、モノマーと同様にヒドロキシル基、すなわち末端基が水素原子であってよいが、溶解性、成膜性、モビリティー等のポリマー物性に影響を及ぼす場合には、末端基を修飾し物性を制御することができる。例えば、末端のヒドロキシル基を、硫酸アルキル、ヨウ化アルキル等でアルキルエーテル化することができる。具体的な試薬としては、硫酸ジメチル、硫酸ジエチル、ヨウ化メチル、ヨウ化エチル等から任意に選ぶことができ、末端のヒドロキシル基に対し1〜3当量、好ましくは1〜2当量の範囲で用いる。その際、塩基触媒を用いることができるが、塩基触媒として、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水素化ナトリウム、ナトリウム金属等から任意に選ぶことができ、末端のヒドロキシル基に対し〜3当量、好ましくは1〜2当量の範囲で用いる。
If the degree of polymerization of the polyether is too low, the film formability is poor, and it is difficult to obtain a strong film. If the degree of polymerization is too high, the solubility in the solvent is lowered and the processability is deteriorated, so p is 5 to 5000. It is set to a range, preferably 10 to 3000, more preferably 15 to 1000.
In addition, the terminal of the polymer may be a hydroxyl group as in the case of the monomer, that is, the terminal group may be a hydrogen atom. However, if the polymer physical properties such as solubility, film-forming property, and mobility are affected, the terminal group is modified. The physical properties can be controlled. For example, the terminal hydroxyl group can be alkyl etherified with alkyl sulfate, alkyl iodide or the like. The specific reagent can be arbitrarily selected from dimethyl sulfate, diethyl sulfate, methyl iodide, ethyl iodide and the like, and is used in the range of 1 to 3 equivalents, preferably 1 to 2 equivalents with respect to the terminal hydroxyl group. . In this case, a base catalyst can be used, but the base catalyst can be arbitrarily selected from sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium hydride, sodium metal, etc., and is preferably ˜3 equivalents with respect to the terminal hydroxyl group, preferably Is used in the range of 1 to 2 equivalents.

反応温度は、0℃から使用する溶剤の沸点で行うことができる。また、その際用いる溶剤として、ベンゼン、トルエン、塩化メチレン、テトラヒドロフラン、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、N−メチルピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン等の不活性溶剤から選んだ単独溶剤、あるいは2〜3種の混合溶剤が使用できる。
また、反応によっては、相間移動触媒としてテトラ−n−ブチルアンモニウムアイオダイド等の第4級アンモニウム塩を使用することもできる。また、末端のヒドロキシル基に酸ハロゲン化物を用いアシル化して、末端基をアシル基にすることもできる。酸ハロゲン化物は特に限定するものではないが、例えばアクリロイルクロリド、クロトノイルクロリド、メタクリロイルクロリド、n−ブチルクロリド、2−フロイルクロリド、ベンゾイルクロリド、シクロヘキサンカルボニルクロリド、エナンチルクロリド、フェニルアセチルクロリド、o−トルオイルクロリド、m−トルオイルクロリド、p−トルオイルクロリド等があげられ、末端のヒドロキシル基に対し1〜3当量、好ましくは1〜2当量の範囲で用いる。その際、塩基触媒を用いることができるが、塩基触媒としては、ピリジン、ジメチルアミノピリジン、トリメチルアミン、トリエチルアミン等から任意に選ぶことができ、酸クロリドに対し1〜3当量、好ましくは1〜2当量の範囲で用いる。その際用いる溶剤として、ベンゼン、トルエン、塩化メチルン、テトラヒドロフラン、メチルエチルケトン等があげられる。反応は、0℃から溶剤の沸点で行うことができる。好ましくは、0℃から30℃の範囲で行う。さらに、無水酢酸等の酸無水物を用いてもアシル化することができる。溶剤を用いる場合は、具体的には、ベンゼン、トルエン、クロロベンゼン等の不活性溶剤を使用することができる。反応は、0℃から溶剤の沸点で行うことができる。好ましくは、40℃から溶剤の沸点で行えばよい。
The reaction temperature can be from 0 ° C. to the boiling point of the solvent used. In addition, the solvent used at that time is selected from inert solvents such as benzene, toluene, methylene chloride, tetrahydrofuran, N, N-dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, N-methylpyrrolidone, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone. However, a single solvent or a mixed solvent of 2 to 3 types can be used.
Depending on the reaction, a quaternary ammonium salt such as tetra-n-butylammonium iodide can be used as a phase transfer catalyst. Alternatively, the terminal hydroxyl group can be acylated using an acid halide to convert the terminal group into an acyl group. The acid halide is not particularly limited, and examples thereof include acryloyl chloride, crotonoyl chloride, methacryloyl chloride, n-butyl chloride, 2-furoyl chloride, benzoyl chloride, cyclohexanecarbonyl chloride, enanthyl chloride, phenylacetyl chloride, o -Toluoyl chloride, m-toluoyl chloride, p-toluoyl chloride, etc. are mentioned, It uses in the range of 1-3 equivalent with respect to the hydroxyl group of a terminal, Preferably it is 1-2 equivalent. In this case, a base catalyst can be used, and the base catalyst can be arbitrarily selected from pyridine, dimethylaminopyridine, trimethylamine, triethylamine, etc., and is 1 to 3 equivalents, preferably 1 to 2 equivalents, with respect to the acid chloride. Use within the range. Examples of the solvent used at that time include benzene, toluene, methyl chloride, tetrahydrofuran, and methyl ethyl ketone. The reaction can be carried out from 0 ° C. to the boiling point of the solvent. Preferably, it is performed in the range of 0 ° C to 30 ° C. Furthermore, acylation can also be performed using an acid anhydride such as acetic anhydride. When using a solvent, specifically, an inert solvent such as benzene, toluene or chlorobenzene can be used. The reaction can be carried out from 0 ° C. to the boiling point of the solvent. Preferably, it may be carried out from 40 ° C. to the boiling point of the solvent.

そのほか、モノイソシアネートを用い、末端にウレタン残基(−CONH−R’)を導入することができる。具体的なモノイソシアネートとしては、イソシアン酸ベンジルエステル、イソシアン酸n−ブチルエステル、イソシアン酸t−ブチルエステル、イソシアン酸シクロヘキシルエステル、イソシアン酸2,6−ジメチルエステル、イソシアン酸エチルエステル、イソシアン酸イソプロピルエステル、イソシアン酸2−メトキシフェニルエステル、イソシアン酸4−メトキシフェニルエステル、イソシアン酸n−オクタデシルエステル、イソシアン酸フェニルエステル、イソシアン酸i−プロピルエステル、イソシアン酸m−トリルエステル、イソシアン酸p−トリルエステル、イソシアン酸1−ナフチルエステル等から任意に選ぶことができ、末端のヒドロキシル基に対し1〜3当量、好ましくは1〜2当量の範囲で用いる。その際用いる溶剤として、ベンゼン、トルエン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、塩化メチレン、テトラヒドロフラン、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、N−メチルピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン等をあげることができる。反応温度は、0℃から使用溶剤の沸点で行うことができる。反応が進みにくい場合は、ジラウリン酸ジブチルスズ(II)、オクチル酸スズ(II)、ナフテン酸鉛等の金属化合物、あるいはトリエチルアミン、トリメチルアミン、ピリジン、ジメチルアミノピリジン等の3級アミンを触媒として添加することもできる。   In addition, a urethane residue (—CONH—R ′) can be introduced at the terminal using monoisocyanate. Specific monoisocyanates include isocyanic acid benzyl ester, isocyanic acid n-butyl ester, isocyanic acid t-butyl ester, isocyanic acid cyclohexyl ester, isocyanic acid 2,6-dimethyl ester, isocyanic acid ethyl ester, isocyanic acid isopropyl ester. Isocyanic acid 2-methoxyphenyl ester, isocyanic acid 4-methoxyphenyl ester, isocyanic acid n-octadecyl ester, isocyanic acid phenyl ester, isocyanic acid i-propyl ester, isocyanic acid m-tolyl ester, isocyanic acid p-tolyl ester, It can be arbitrarily selected from isocyanic acid 1-naphthyl ester and the like, and is used in the range of 1 to 3 equivalents, preferably 1 to 2 equivalents with respect to the terminal hydroxyl group. Examples of solvents used in this case include benzene, toluene, chlorobenzene, dichlorobenzene, methylene chloride, tetrahydrofuran, N, N-dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, N-methylpyrrolidone, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, and the like. Can do. The reaction temperature can be from 0 ° C. to the boiling point of the solvent used. If the reaction is difficult to proceed, add a metal compound such as dibutyltin (II) dilaurate, tin (II) octylate or lead naphthenate, or a tertiary amine such as triethylamine, trimethylamine, pyridine or dimethylaminopyridine as a catalyst. You can also.

−電荷輸送性ポリエステルを用いた有機半導体トランジスタ素子−
本発明の有機半導体トランジスタ素子は、ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース電極および前記ドレイン電極と導通可能に設けられた有機半導体と、該有機半導体に対して絶縁され且つ電場を印加することが可能なゲート電極とを少なくとも含む有機半導体トランジスタ素子において、前記有機半導体が、少なくとも1種以上の下記一般式(BI−1)および(BI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエステルを1種以上含有することを特徴とする。
この電荷輸送性ポリエステルは、動作時の熱安定性、溶剤や樹脂に対する溶解性及び相溶解性に優れる上にキャリア移動度が高く、さらに、本発明の有機半導体トランジスタ素子は、前記電荷輸送性ポリエステルを含有してなる有機半導体を有しているため、動作速度が速く且つ製造が容易である。
-Organic semiconductor transistor device using charge transporting polyester-
The organic semiconductor transistor element of the present invention includes a source electrode, a drain electrode, an organic semiconductor provided to be conductive with the source electrode and the drain electrode, and an electric field insulated from the organic semiconductor and applying an electric field. An organic semiconductor transistor element including at least a possible gate electrode, wherein the organic semiconductor is at least one selected from the structures represented by the following general formulas (BI-1) and (BI-2): It is characterized by containing one or more kinds of charge transporting polyesters composed of repeating units included as a partial structure.
This charge transporting polyester is excellent in thermal stability during operation, solubility in solvents and resins and phase solubility, and has a high carrier mobility. Further, the organic semiconductor transistor element of the present invention comprises the charge transporting polyester. Therefore, the organic semiconductor containing the organic compound has a high operating speed and is easy to manufacture.

Figure 2007165484
Figure 2007165484

一般式(BI−1)および(BI−2)中、Arは置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、または、置換もしくは未置換の1価の複素環を表し、Tは炭素数1〜6の2価の直鎖状炭化水素基または炭素数2〜10の2価の分枝鎖状炭化水素基を表し、k、lはそれぞれ独立に0または1を表す。
また、Xは、下記一般式(BII)で表される置換基を表す。
In general formulas (BI-1) and (BI-2), Ar is a substituted or unsubstituted monovalent benzene ring, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, and a substituted group. Or an unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings or a substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, wherein T is a divalent linear carbonized carbon having 1 to 6 carbon atoms. Represents a hydrogen group or a divalent branched hydrocarbon group having 2 to 10 carbon atoms, and k and l each independently represents 0 or 1;
X represents a substituent represented by the following general formula (BII).

Figure 2007165484
Figure 2007165484

一般式(BII)中、R、Rは、水素原子、アルキル基、置換もしくは未置換のアリール基、又は、置換もしくは未置換のアラルキル基を表し、nは1〜10の整数を表し、2〜8の範囲であることが好ましい。 In general formula (BII), R 1 and R 2 represent a hydrogen atom, an alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, or a substituted or unsubstituted aralkyl group, n represents an integer of 1 to 10, A range of 2 to 8 is preferable.

一般式(BI―1)および(BI―2)中において、Arを表す構造として選択される多核芳香族炭化水素及び縮合多環芳香族炭化水素は特に限定されない。なお、当該多核芳香族炭化水素及び縮合芳香族炭化水素とは、本発明においては、具体的には以下に定義されることを意味する。
すなわち、「多核芳香族炭化水素」とは、炭素と水素から構成される芳香環が2個以上存在し、環同士が炭素―炭素結合によって結合している炭化水素を表し、環同士が、ビニレン基あるいはエチニレン基を介して結合されているものも含む。具体的には、ビフェニル、ターフェニル等が挙げられる。また、「縮合芳香族炭化水素」とは、炭素と水素から構成される芳香環が2個以上存在し、環同士が1対の炭素原子を共有している炭化水素を表す。具体的には、ナフタレン、アントラセン、フェナントレン、ピレン、フルオレン等が挙げられる。
In the general formulas (BI-1) and (BI-2), the polynuclear aromatic hydrocarbon and the condensed polycyclic aromatic hydrocarbon selected as the structure representing Ar are not particularly limited. In the present invention, the polynuclear aromatic hydrocarbon and the condensed aromatic hydrocarbon mean specifically defined as follows.
That is, “polynuclear aromatic hydrocarbon” refers to a hydrocarbon in which two or more aromatic rings composed of carbon and hydrogen are present and the rings are bonded by a carbon-carbon bond, and the rings are vinylene. And those bonded via an ethynylene group. Specific examples include biphenyl and terphenyl. The “condensed aromatic hydrocarbon” represents a hydrocarbon in which two or more aromatic rings composed of carbon and hydrogen are present and the rings share a pair of carbon atoms. Specific examples include naphthalene, anthracene, phenanthrene, pyrene, and fluorene.

また、複素環は、その環骨格を構成する原子数(Nr)が、Nr=5及び/又は6が好ましく用いられる。また、環骨格を構成する炭素原子以外の原子(異種原子)の種類及び数は特に限定されないが、例えば、硫黄原子、窒素原子、酸素原子等が好ましく用いられ、前記環骨格中には2種類以上及び/又は2個以上の異種原子が含まれてもよい。特に5員環構造をもつ複素環として、チオフェン、ピロール及びフラン、または、前記化合物の3位および4位の炭素を窒素で置き換えた複素環が好ましく用いられ、6員環構造を持つ複素環として、ピリジンが好ましく用いられる。
なお、上記の「多核芳香族炭化水素」や「縮合芳香族炭化水素」には、これら炭化水素基を構成する芳香環の少なくとも1つ以上を複素環に置換した炭化水素基も含まれる。
例えば、芳香環の一部を複素環に置換した多核芳香族炭化水素としては、ビフェニル基を構成する芳香環の少なくとも1つ以上をチオフェン等の複素環に置き換えたものや、ターフェニル基を構成するベンゼン環の少なくともひとつ以上をチオフェン等の複素環に置き換えたものなどが挙げられる。また、芳香環の少なくとも1つ以上を複素環に置換した縮合芳香族炭化水素としては、例えば、カルバゾール等が挙げられる。
また、アルキル基は、炭素数1〜5のアルキル基が挙げられる。
In addition, the number of atoms (Nr) constituting the ring skeleton of the heterocyclic ring is preferably Nr = 5 and / or 6. Further, the type and number of atoms (heterogeneous atoms) other than carbon atoms constituting the ring skeleton are not particularly limited. For example, a sulfur atom, a nitrogen atom, an oxygen atom and the like are preferably used, and two types are included in the ring skeleton. The above and / or two or more different atoms may be contained. In particular, as a heterocyclic ring having a 5-membered ring structure, thiophene, pyrrole and furan, or a heterocyclic ring in which the 3- and 4-position carbons of the compound are replaced with nitrogen are preferably used. Pyridine is preferably used.
The “polynuclear aromatic hydrocarbon” and the “condensed aromatic hydrocarbon” include a hydrocarbon group in which at least one of the aromatic rings constituting the hydrocarbon group is substituted with a heterocyclic ring.
For example, polynuclear aromatic hydrocarbons in which a part of the aromatic ring is substituted with a heterocyclic ring include those in which at least one of the aromatic rings constituting the biphenyl group is replaced with a heterocyclic ring such as thiophene, or a terphenyl group And those in which at least one benzene ring is replaced with a heterocyclic ring such as thiophene. In addition, examples of the condensed aromatic hydrocarbon in which at least one or more of the aromatic rings are substituted with a heterocyclic ring include carbazole.
Examples of the alkyl group include an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.

Arのベンゼン環、多核芳香族炭化水素、縮合多環芳香族炭化水素および複素環の置換基としては、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基、置換アミノ基、ハロゲン原子、シアノ基等が挙げられる。
アルキル基としては、炭素数1〜10のものが好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基等が挙げられる。アルコキシル基としては、炭素数1〜10のものが好ましく、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基等が挙げられる。アリール基としては、炭素数6〜20のものが好ましく、例えば、フェニル基、トルイル基等が挙げられ、アラルキル基としては、炭素数7〜20のものが好ましく、例えば、ベンジル基、フェネチル基等が挙げられ、Ar基が縮合多環芳香族炭化水素である場合には、チオフェンの側鎖に一価のビニル基あるいはエチニル基を有するものも好適である。置換アミノ基の置換基としては、アルキル基、アリール基、アラルキル基等が挙げられ、具体例は前述の通りである。
Ar substituents of benzene ring, polynuclear aromatic hydrocarbon, condensed polycyclic aromatic hydrocarbon and heterocyclic ring include hydrogen atom, alkyl group, alkoxy group, aryl group, aralkyl group, substituted amino group, halogen atom, cyano Groups and the like.
As an alkyl group, a C1-C10 thing is preferable, for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group etc. are mentioned. As an alkoxyl group, a C1-C10 thing is preferable, for example, a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, an isopropoxy group etc. are mentioned. As the aryl group, those having 6 to 20 carbon atoms are preferable, and examples thereof include a phenyl group and toluyl group, and as the aralkyl group, those having 7 to 20 carbon atoms are preferable, and examples thereof include benzyl group and phenethyl group. In the case where the Ar group is a condensed polycyclic aromatic hydrocarbon, those having a monovalent vinyl group or ethynyl group in the side chain of thiophene are also suitable. Examples of the substituent of the substituted amino group include an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group, and the like, and specific examples are as described above.

なお、Xはフルオレンとチオフェンとが共役されることにより、Xの官能基間の相互作用が強くなり平面性を向上することができ電気特性を向上させることできる。また、合成面においてもフルオレンおよびチオフェンは鈴木カップリング、ホモカップリング等、多くの合成手法を用いることができ反応も容易で、高純度の目的物を獲得することが出来る。   In addition, when X is conjugated with fluorene and thiophene, the interaction between the functional groups of X is strengthened, so that planarity can be improved and electrical characteristics can be improved. Also, in terms of synthesis, fluorene and thiophene can use many synthetic methods such as Suzuki coupling, homocoupling, etc., can be easily reacted, and can obtain a high-purity target product.

Tは、炭素数1〜6の2価の直鎖状炭化水素基または炭素数2〜10の2価の分枝鎖状炭化水素基を示し、好ましくは炭素数が2〜6の2価の直鎖状炭化水素基および炭素数3〜7の2価の分枝鎖状炭化水素基より選択される。具体的な構造を以下に示す。   T represents a divalent linear hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms or a divalent branched hydrocarbon group having 2 to 10 carbon atoms, preferably a divalent hydrocarbon group having 2 to 6 carbon atoms. It is selected from a linear hydrocarbon group and a divalent branched hydrocarbon group having 3 to 7 carbon atoms. A specific structure is shown below.

Figure 2007165484
Figure 2007165484

次に、表54〜74に一般式(BI−1)で示される構造の具体例を示し、表75〜92に一般式(BI−2)で示される構造の具体例を示す。なお、表75〜92中、「Bu」はブチル基、「Oct」はオクチル基、「Hex」はヘキシル基の略である。   Next, specific examples of the structure represented by the general formula (BI-1) are shown in Tables 54 to 74, and specific examples of the structure represented by the general formula (BI-2) are shown in Tables 75 to 92. In Tables 75 to 92, “Bu” is an abbreviation for butyl group, “Oct” is an abbreviation for octyl group, and “Hex” is an abbreviation for hexyl group.

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

一般式(BI−1)および(BI−2)で示される構造から選択された少なくとも一種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエステルとしては、下記一般式(BIII−1)および(BIII−2)で示されるものが好適に使用される。   Examples of the charge transporting polyester comprising a repeating unit containing at least one selected from the structures represented by the general formulas (BI-1) and (BI-2) as a partial structure include the following general formulas (BIII-1) and (BIII -2) is preferably used.

Figure 2007165484
Figure 2007165484

一般式(BIII−1)および(BIII−2)において、Aは前記一般式(BI−1)および(BI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種以上を表し、一つのポリマー中に2種類以上の構造Aが含まれてもよい。
一般式(BIII−1)および(BIII−2)中、Yは2価の炭化水素基を表し、Zは2価の炭化水素基を表す。また、Rは水素原子、アルキル基、置換もしくは未置換のアリール基、又は、置換もしくは未置換のアラルキル基、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素を表し、B及びB’は−O−(Y−O)m−H、または−O−(Y−O)m−CO−Z−CO−OR’を表し、R’は水素原子、アルキル基、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換のアラルキル基を表す。mは1〜5の整数を表す。pは5〜5,000の整数を表す。
YおよびZは、具体的には下記の式(BIV−1)〜(BIV−7)から選択された基が挙げられる。
In the general formulas (BIII-1) and (BIII-2), A represents at least one selected from the structures represented by the general formulas (BI-1) and (BI-2). Two or more types of structures A may be included.
In general formulas (BIII-1) and (BIII-2), Y represents a divalent hydrocarbon group, and Z represents a divalent hydrocarbon group. R is a hydrogen atom, an alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, a substituted or unsubstituted aralkyl group, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, a substituted Alternatively, it represents an unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, and B and B ′ are —O— (YO) m—H, or —O— (YO) m—. CO-Z-CO-OR ', wherein R' represents a hydrogen atom, an alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, or a substituted or unsubstituted aralkyl group. m represents an integer of 1 to 5. p represents an integer of 5 to 5,000.
Specific examples of Y and Z include groups selected from the following formulas (BIV-1) to (BIV-7).

Figure 2007165484
Figure 2007165484

式中R11およびR12は、それぞれ水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシル基、置換もしくは未置換のフェニル基、置換もしくは未置換のアラルキル基、またはハロゲン原子を表し、aおよびbはそれぞれ1〜10の整数を意味し、cおよびeはそれぞれ0、1または2の整数を意味し、dおよびfはそれぞれ0または1を意味し、Vは下記の式(BV−1)〜(BV−11)に示される2価の置換基を意味する。 In the formula, R 11 and R 12 are each a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms, a substituted or unsubstituted phenyl group, a substituted or unsubstituted aralkyl group, or a halogen atom. A and b each represent an integer of 1 to 10, c and e each represents an integer of 0, 1 or 2, d and f each represents 0 or 1, and V represents the following formula: It means a divalent substituent represented by (BV-1) to (BV-11).

Figure 2007165484
Figure 2007165484

式(BV−1)〜(BV−11)中、gは1〜5の整数を表し、hおよびiは0〜5の整数を表す。   In formulas (BV-1) to (BV-11), g represents an integer of 1 to 5, and h and i represent an integer of 0 to 5.

本発明で用いられる一般式(BI−1)および(BI−2)で示される構造から選択された少なくとも一種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエステルの重量平均分子量Mwは、5000〜300000の範囲であることが好ましい。   The weight average molecular weight Mw of the charge transporting polyester comprising a repeating unit containing at least one selected from the structures represented by formulas (BI-1) and (BI-2) as a partial structure used in the present invention is 5000 to 5000. A range of 300,000 is preferable.

以下、一般式(BIII−1)および(BIII−2)で示される上記の電荷輸送性ポリエステルの具体例を表93〜表97に示すが、本発明はこれらの具体例に限定されるものではない。尚、表93〜表97における、「A」の欄の番号は、前記一般式(BI−1)および(BI−2)で示される構造の具体例である構造番号(表54〜表92の「構造」の欄に示される番号の化合物)に対応している。また、m、pは一般式(BIII−1)および(BIII−2)におけるm、pを意味する。
なお、表93〜97において、「Y」の欄にのみ構造を示した例は、一般式(BIII−1)の電荷輸送性ポリエステルの具体例を意味し、「Y」および「Z」双方の欄に構造を示した例は、一般式(BIII−2)の電荷輸送性ポリエステルの具体例を意味する。以下、各番号を付した具体例(化合物)、例えば715の番号の化合物については「例示化合物(715)」と記す。
Specific examples of the charge transporting polyesters represented by the general formulas (BIII-1) and (BIII-2) are shown in Table 93 to Table 97, but the present invention is not limited to these specific examples. Absent. In Table 93 to Table 97, the numbers in the column “A” are structural numbers (specifications of Tables 54 to 92) which are specific examples of the structures represented by the general formulas (BI-1) and (BI-2). Corresponding to the compound numbered in the “Structure” column. M and p mean m and p in formulas (BIII-1) and (BIII-2).
In Tables 93 to 97, an example in which the structure is shown only in the column “Y” means a specific example of the charge transporting polyester of the general formula (BIII-1), and both “Y” and “Z” The example whose structure is shown in the column means a specific example of the charge transporting polyester of the general formula (BIII-2). Hereinafter, specific examples (compounds) given respective numbers, for example, compounds having the number 715 are referred to as “exemplary compounds (715)”.

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

本発明に用いられる電荷輸送性ポリエステルの合成方法は、所望する構造に応じて公知の方法を組み合わせて利用することができ、特に限定されるものではないが、具体例として前記一般式(BI−1)および(BI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエステルが、前記一般式(BIII−1)または(BIII−2)で示されるようなポリエステルである場合について以下に詳細に説明する。   The method for synthesizing the charge transporting polyester used in the present invention can be used in combination with known methods depending on the desired structure, and is not particularly limited, but as a specific example, the general formula (BI- A charge transporting polyester comprising a repeating unit containing at least one selected from the structures represented by 1) and (BI-2) as a partial structure is represented by the general formula (BIII-1) or (BIII-2). The case where it is such a polyester will be described in detail below.

本発明に用いられる電荷輸送性ポリエステルが、前記一般式(BIII−1)または(BIII−2)で示されるようなポリエステルである場合は、下記一般式(BI−3)で示されるモノマーを、例えば、第4版実験化学講座第28巻(丸善,1992)等に記載された公知の方法で重合させることによって合成することができる。   When the charge transporting polyester used in the present invention is a polyester represented by the general formula (BIII-1) or (BIII-2), a monomer represented by the following general formula (BI-3) For example, it can be synthesized by polymerization by a known method described in the 4th edition, Experimental Chemistry Course Vol. 28 (Maruzen, 1992).

Figure 2007165484
Figure 2007165484

但し、一般式(BI−3)において、Aは前記一般式(BI−1)および(BI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種以上を表し、A′は水酸基、ハロゲン原子、または、基−O−Rを表し、Rはアルキル基、置換もしくは未置換のアリール基、または、アラルキル基を表す。
すなわち、前記一般式(BI−1)および(BI−2)で示されるポリエステルは、次のようにして合成することができる。
In General Formula (BI-3), A represents at least one selected from the structures represented by General Formulas (BI-1) and (BI-2), and A ′ represents a hydroxyl group, a halogen atom, Alternatively, the group represents —O—R 6 , where R 6 represents an alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, or an aralkyl group.
That is, the polyesters represented by the general formulas (BI-1) and (BI-2) can be synthesized as follows.

1)A′が水酸基の場合には、モノマーにHO−(Y−O)m−Hで示される2価アルコール類をほぼ当量混合し、酸触媒を用いて重合する。酸触媒としては、硫酸、トルエンスルホン酸、トリフルオロ酢酸等、通常のエステル化反応に用いるものが使用でき、モノマー1重量部に対して、1/10,000〜1/10重量部、好ましくは1/1,000〜1/50重量部の範囲で用いられる。重合中に生成する水を除去するために、水と共沸可能な溶剤を用いることが好ましく、トルエン、クロロベンゼン、1−クロロナフタレン等が有効であり、モノマー1重量部に対して、1〜100重量部、好ましくは2〜50重量部の範囲で用いられる。反応温度は任意に設定できるが、重合中に生成する水を除去するために、溶剤の沸点で反応させることが好ましい。   1) When A ′ is a hydroxyl group, a dihydric alcohol represented by HO— (Y—O) m—H is mixed with the monomer in an approximately equivalent amount and polymerized using an acid catalyst. As the acid catalyst, those used for usual esterification reaction such as sulfuric acid, toluenesulfonic acid, trifluoroacetic acid and the like can be used, and 1 / 10,000 to 1/10 parts by weight, preferably 1 part by weight of monomer. It is used in the range of 1/1000 to 1/50 parts by weight. In order to remove water generated during polymerization, it is preferable to use a solvent azeotropic with water, and toluene, chlorobenzene, 1-chloronaphthalene and the like are effective, and 1 to 100 parts by weight per 1 part by weight of the monomer. It is used in the range of parts by weight, preferably 2 to 50 parts by weight. The reaction temperature can be arbitrarily set, but it is preferable to carry out the reaction at the boiling point of the solvent in order to remove water generated during the polymerization.

反応終了後、溶剤を用いなかった場合には溶解可能な溶剤に溶解させる。溶剤を用いた場合には、反応溶液をそのまま、メタノール、エタノール等のアルコール類や、アセトン等のポリマーが溶解しにくい貧溶剤中に滴下し、ポリエステルを析出させ、ポリエステルを分離した後、水や有機溶剤で十分洗浄し、乾燥させる。更に、必要であれば適当な有機溶剤に溶解させ、貧溶剤中に滴下し、ポリエステルを析出させる再沈殿処理を繰り返してもよい。再沈殿処理の際には、メカニカルスターラー等で、効率よく撹拌しながら行うことが好ましい。再沈殿処理の際にポリエステルを溶解させる溶剤は、ポリエステル1重量部に対して、1〜100重量部、好ましくは2〜50重量部の範囲で用いられる。また、貧溶剤はポリエステル1重量部に対して、1〜1,000重量部、好ましくは10〜500重量部の範囲で用いられる。   When the solvent is not used after completion of the reaction, it is dissolved in a soluble solvent. When a solvent is used, the reaction solution is dropped as it is in a poor solvent in which alcohols such as methanol and ethanol and polymers such as acetone are difficult to dissolve, to precipitate the polyester, and after separating the polyester, Wash thoroughly with organic solvent and dry. Further, if necessary, the reprecipitation treatment in which the polyester is precipitated by dissolving in an appropriate organic solvent and dropping in a poor solvent may be repeated. The reprecipitation treatment is preferably carried out with efficient stirring with a mechanical stirrer or the like. The solvent for dissolving the polyester during the reprecipitation treatment is used in the range of 1 to 100 parts by weight, preferably 2 to 50 parts by weight, with respect to 1 part by weight of the polyester. The poor solvent is used in an amount of 1 to 1,000 parts by weight, preferably 10 to 500 parts by weight, based on 1 part by weight of the polyester.

2)A′がハロゲンの場合には、モノマーにHO−(Y−O)m−Hで示される2価アルコール類をほぼ当量混合し、ピリジンやトリエチルアミン等の有機塩基性触媒を用いて重合する。有機塩基性触媒は、モノマー1当量に対して、1〜10当量、好ましくは2〜5当量の範囲で用いられる。溶剤としては、塩化メチレン、テトラヒドロフラン(THF)、トルエン、クロロベンゼン、1−クロロナフタレン等が有効であり、モノマー1重量部に対して、1〜100重量部、好ましくは2〜50重量部の範囲で用いられる。反応温度は任意に設定できる。重合後、前述のように再沈殿処理し、精製する。   2) When A ′ is halogen, a dihydric alcohol represented by HO— (Y—O) m—H is mixed with the monomer in an equivalent amount and polymerized using an organic basic catalyst such as pyridine or triethylamine. . An organic basic catalyst is used in 1-10 equivalent with respect to 1 equivalent of monomers, Preferably it is 2-5 equivalent. As the solvent, methylene chloride, tetrahydrofuran (THF), toluene, chlorobenzene, 1-chloronaphthalene and the like are effective, and in the range of 1 to 100 parts by weight, preferably 2 to 50 parts by weight with respect to 1 part by weight of the monomer. Used. The reaction temperature can be arbitrarily set. After the polymerization, reprecipitation treatment is performed as described above, and purification is performed.

また、ビスフェノール等の酸性度の高い2価アルコール類の場合には、界面重合法も用いることができる。すなわち、2価アルコール類を水に加え、当量の塩基を加えて溶解させた後、激しく撹拌しながら2価アルコール類と当量のモノマー溶液を加えることによって重合できる。この際、水は2価アルコール類1重量部に対して、1〜1,000重量部、好ましくは2〜500重量部の範囲で用いられる。モノマーを溶解させる溶剤としては、塩化メチレン、ジクロロエタン、トリクロロエタン、トルエン、クロロベンゼン、1−クロロナフタレン等が有効である。反応温度は任意に設定でき、反応を促進するために、アンモニウム塩、スルホニウム塩等の相間移動触媒を用いることが効果的である。相間移動触媒は、モノマー1重量部に対して、0.1〜10重量部、好ましくは0.2〜5重量部の範囲で用いられる。   In the case of dihydric alcohols with high acidity such as bisphenol, an interfacial polymerization method can also be used. That is, it can polymerize by adding a dihydric alcohol to water, adding an equivalent base and dissolving it, and then adding a monomer solution equivalent to the dihydric alcohol with vigorous stirring. In this case, water is used in an amount of 1 to 1,000 parts by weight, preferably 2 to 500 parts by weight, based on 1 part by weight of the dihydric alcohol. As the solvent for dissolving the monomer, methylene chloride, dichloroethane, trichloroethane, toluene, chlorobenzene, 1-chloronaphthalene and the like are effective. The reaction temperature can be arbitrarily set, and in order to promote the reaction, it is effective to use a phase transfer catalyst such as an ammonium salt or a sulfonium salt. The phase transfer catalyst is used in an amount of 0.1 to 10 parts by weight, preferably 0.2 to 5 parts by weight, based on 1 part by weight of the monomer.

3)A′が−O−Rの場合には、モノマーに、HO−(Y−O)−Hで示される2価アルコール類を過剰に加え、硫酸、リン酸等の無機酸、チタンアルコキシド、カルシウムおよびコバルト等の酢酸塩或いは炭酸塩、亜鉛や鉛の酸化物を触媒に用いて加熱し、エステル交換により合成できる。2価アルコール類はモノマー1当量に対して、2〜100当量、好ましくは3〜50当量の範囲で用いられる。触媒はモノマー1重量部に対して、1/10,000〜1重量部、好ましくは1/1,000〜1/2重量部の範囲で用いられる。反応は、反応温度200〜300℃で行い、基−O−Rから基−O−(Y−O)−Hへのエステル交換終了後は、HO−(Y−O)−Hの脱離による重合を促進するため、減圧下で反応させることが好ましい。また、HO−(Y−O)−Hと共沸可能な1−クロロナフタレン等の高沸点溶剤を用いて、常圧下でHO−(Y−O)−Hを共沸で除きながら反応させることもできる。 3) When A ′ is —O—R 6, an excessive amount of a dihydric alcohol represented by HO— (Y—O) m —H is added to the monomer, an inorganic acid such as sulfuric acid or phosphoric acid, titanium It can be synthesized by transesterification by heating using an alkoxide, acetate or carbonate such as calcium and cobalt, an oxide of zinc or lead as a catalyst. The dihydric alcohol is used in the range of 2 to 100 equivalents, preferably 3 to 50 equivalents, with respect to 1 equivalent of the monomer. The catalyst is used in the range of 1 / 10,000 to 1 part by weight, preferably 1 / 1,000 to 1/2 part by weight, based on 1 part by weight of the monomer. The reaction is carried out at a reaction temperature of 200 to 300 ° C. After the transesterification from the group —O—R 6 to the group —O— (Y—O) m —H is completed, HO— (Y—O) m —H In order to accelerate the polymerization due to elimination, the reaction is preferably carried out under reduced pressure. Also, HO- (Y-O) with m -H and high boiling point solvent such as azeotropic 1-chloronaphthalene under normal pressure HO- (Y-O) with the exception of m -H azeotropically reaction It can also be made.

また、次のようにしてポリエステルを合成することができる。上記それぞれの場合において、2価アルコール類を過剰に加えて反応させることによって下記一般式(BI−4)で示される化合物を生成した後、この化合物を前記一般式(BI−3)で示したモノマーの代わりとして用いて上記と同様の方法で、2価カルボン酸または2価カルボン酸ハロゲン化物等と反応させればよく、それによってポリエステルを得ることができる。   Further, polyester can be synthesized as follows. In each of the above cases, a compound represented by the following general formula (BI-4) was formed by adding an excess of dihydric alcohols and reacting, and then the compound was represented by the above general formula (BI-3). What is necessary is just to make it react with a bivalent carboxylic acid or a bivalent carboxylic acid halide etc. by the method similar to the above using it instead of a monomer, and, thereby, polyester can be obtained.

Figure 2007165484
Figure 2007165484

但し、一般式(BI−4)中、Aは前記一般式(BI−1)および(BI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種以上を表し、Yは2価のアルコール残基を表し、mは1〜5の整数を表す。
また、前記電荷輸送性ポリエステルの末端に任意の分子を導入することを行っても良い。その場合、次のような方法が挙げられる。すなわち、A’が水酸基の場合、末端導入化合物のモノカルボン酸を共重合させるか、ポリマーの重合反応後の電子輸送性化合物にモノカルボン酸を仕込んで反応させ導入することができる。
また、A’がハロゲンの場合、末端導入化合物のモノ酸塩化物を共重合させるか、ポリマーの重合反応後、末端導入化合物のモノ酸塩化物を仕込んで反応させ導入することができる。A′が−O−Rの場合には、末端導入化合物のモノエステルを共重合させるか、ポリマーの重合反応後、末端導入化合物のモノエステルを仕込んで反応させ導入することができる。
In General Formula (BI-4), A represents at least one selected from the structures represented by General Formulas (BI-1) and (BI-2), and Y represents a divalent alcohol residue. M represents an integer of 1 to 5.
Further, any molecule may be introduced into the terminal of the charge transporting polyester. In that case, the following method is mentioned. That is, when A ′ is a hydroxyl group, the terminal-introducing compound monocarboxylic acid can be copolymerized, or the electron transporting compound after the polymerization reaction of the polymer can be charged and reacted for introduction.
When A ′ is halogen, the monoacid chloride of the terminally introduced compound can be copolymerized, or after the polymerization reaction of the polymer, the monoacid chloride of the terminally introduced compound can be charged and reacted for introduction. When A ′ is —O—R 6 , the monoester of the terminally introduced compound can be copolymerized, or after the polymerization reaction of the polymer, the monoester of the terminally introduced compound can be charged and reacted for introduction.

−有機半導体トランジスタ素子の構成、製造方法等−
次に、上述した電荷輸送性ポリエ−テル又は電荷輸送性ポリエステルを用いた本発明の有機半導体トランジスタ素子の構成について具体例を挙げて詳細に説明する。
本発明の有機半導体トランジスタ素子は、ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース電極および前記ドレイン電極と導通可能に設けられた有機半導体と、該有機半導体に対して絶縁され且つ電場を印加することが可能なゲート電極と、を少なくとも含む構成を有するものである。
ここで、前記有機半導体には上記に説明した少なくとも1種以上の電荷輸送性ポリエーテルまたは電荷輸送性ポリエステルが含まれる。なお、本発明の有機半導体トランジスタ素子の形状は、必要に応じて、所望の形状とすることができるが、薄膜状であることが好ましい。
-Configuration of organic semiconductor transistor element, manufacturing method, etc.-
Next, the structure of the organic semiconductor transistor element of the present invention using the above-described charge transporting polyether or charge transporting polyester will be described in detail with specific examples.
The organic semiconductor transistor element of the present invention includes a source electrode, a drain electrode, an organic semiconductor provided to be conductive with the source electrode and the drain electrode, and an electric field insulated from the organic semiconductor and applying an electric field. A possible gate electrode.
Here, the organic semiconductor includes at least one charge transporting polyether or charge transporting polyester described above. In addition, although the shape of the organic semiconductor transistor element of this invention can be made into a desired shape as needed, it is preferable that it is a thin film form.

以下、図を参照しつつ、本発明の有機半導体トランジスタ素子の構成についてより詳細に説明するが、これに限定されるわけではない。
図1〜図3は、本発明の有機半導体トランジスタ素子の構成の一例を示す模式断面図である。ここで、図1および2は、本発明の有機半導体トランジスタ素子が、電界効果トランジスタ(FIeld Effect TransIstor)構造を有している場合について示したものである。また、図3は、本発明の有機半導体トランジスタ素子が、静電誘導トランジスタ(StatIc InductIon TransItor)構造を有している場合について示したものである。
Hereinafter, the configuration of the organic semiconductor transistor element of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings, but is not limited thereto.
1 to 3 are schematic cross-sectional views showing an example of the configuration of the organic semiconductor transistor element of the present invention. Here, FIGS. 1 and 2 show a case where the organic semiconductor transistor element of the present invention has a field effect transistor (Field Effect Transistor) structure. FIG. 3 shows a case where the organic semiconductor transistor element of the present invention has a static induction transistor (StatIc InductIon TransItor) structure.

図1〜3中、機能が共通する部材には同一の符号が付してあり、1が基板、2がソース電極、3がドレイン電極、4が有機半導体層、5がゲート電極、6が絶縁層を表す。以下、図1〜3に示す本発明の有機半導体トランジスタ素子の構成について順に説明する。
図1に示す本発明の有機半導体トランジスタ素子は、基板1上にゲート電極5、絶縁層6がこの順に設けられ、この絶縁層6上に、ソース電極2およびドレイン電極3とが離間した位置に設けられると共に、ソース電極2およびドレイン電極3を被覆するように有機半導体層4が設けられている。
1 to 3, members having the same functions are denoted by the same reference numerals, 1 being a substrate, 2 being a source electrode, 3 being a drain electrode, 4 being an organic semiconductor layer, 5 being a gate electrode, and 6 being insulating. Represents a layer. Hereinafter, the configuration of the organic semiconductor transistor element of the present invention shown in FIGS.
In the organic semiconductor transistor element of the present invention shown in FIG. 1, a gate electrode 5 and an insulating layer 6 are provided in this order on a substrate 1, and the source electrode 2 and the drain electrode 3 are separated from each other on the insulating layer 6. The organic semiconductor layer 4 is provided so as to cover the source electrode 2 and the drain electrode 3.

また、図2に示す本発明の有機半導体トランジスタ素子は、基板1状にゲート電極5、絶縁層6がこの順に設けられ、この絶縁層6上に、ソース電極2、および、このソース電極2の絶縁層6と接する側と反対側の面も覆うように有機半導体層4が設けられている。さらに、ドレイン電極3が、有機半導体層4の絶縁層6が設けられた側と反対側の面上で、ソース電極2に対して基板1の平面方向に離間した位置に設けられている。
さらに、図3に示す本発明の有機半導体トランジスタ素子は、基板1上にソース電極2、有機半導体層4、ドレイン電極3がこの順に積層され、複数のゲート電極5が、有機半導体層4中に設けられる(図3に示す例では、4つのゲート電極5が、基板1の平面方向と平行且つ等間隔に配置されている)。
In the organic semiconductor transistor element of the present invention shown in FIG. 2, a gate electrode 5 and an insulating layer 6 are provided in this order on a substrate 1, and a source electrode 2 and the source electrode 2 are formed on the insulating layer 6. The organic semiconductor layer 4 is provided so as to cover the surface opposite to the side in contact with the insulating layer 6. Further, the drain electrode 3 is provided on the surface of the organic semiconductor layer 4 opposite to the side on which the insulating layer 6 is provided, at a position separated from the source electrode 2 in the planar direction of the substrate 1.
Further, in the organic semiconductor transistor element of the present invention shown in FIG. 3, a source electrode 2, an organic semiconductor layer 4, and a drain electrode 3 are stacked in this order on a substrate 1, and a plurality of gate electrodes 5 are formed in the organic semiconductor layer 4. (In the example shown in FIG. 3, four gate electrodes 5 are arranged in parallel with the planar direction of the substrate 1 and at equal intervals).

なお、ゲート電極5は、紙面に対して垂直方向に、ソース電極2及びドレイン電極3の双方と平行になるように配置され、各々のゲート電極5同士も相互に平行となるように設けられている。また、図3中、ゲート電極5と、有機半導体層4とは、両者の界面に設けられた不図示の絶縁層により絶縁されている。
図1〜図3に示すような有機半導体トランジスタ素子においては、ゲート電極5に印加される電圧によってソース電極2とドレイン電極3との間に流れる電流を制御することができる。
The gate electrode 5 is arranged in a direction perpendicular to the paper surface so as to be parallel to both the source electrode 2 and the drain electrode 3, and the gate electrodes 5 are also provided so as to be parallel to each other. Yes. In FIG. 3, the gate electrode 5 and the organic semiconductor layer 4 are insulated by an insulating layer (not shown) provided at the interface between them.
In the organic semiconductor transistor element as shown in FIGS. 1 to 3, the current flowing between the source electrode 2 and the drain electrode 3 can be controlled by the voltage applied to the gate electrode 5.

なお、本発明の有機半導体トランジスタ素子を用いて、何らかの電子デバイスを作製する場合には、基板上に、1個以上の本発明の有機半導体トランジスタ素子を搭載した構成(半導体装置)として利用することができ、この半導体装置に、さらに他の素子や回路等を組み合わせることにより所望の電子デバイスを作製することができる。   In addition, when producing any electronic device using the organic semiconductor transistor element of the present invention, it is used as a configuration (semiconductor device) in which one or more organic semiconductor transistor elements of the present invention are mounted on a substrate. A desired electronic device can be manufactured by combining this semiconductor device with another element or circuit.

次に、有機半導体部分を除く、本発明の有機半導体素子や半導体装置を構成する各部材について詳細に説明する。
ソース電極、ドレイン電極およびゲート電極に用いられる電極材料としては、効率よく電荷注入することができる材料が用いられ、具体的には、金属、金属酸化物、導電性高分子等が使用される。
金属としてはマグネシウム、アルミニウム、金、銀、銅、クロム、タンタル、インジウム、パラジウム、リチウム、カルシウムおよびこれらの合金が挙げられる。金属酸化物としては、酸化リチウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化スズインジウム(ITO)、酸化スズ(NESA)、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化インジウム亜鉛等の金属酸化膜があげられる。
Next, each member which comprises the organic-semiconductor element and semiconductor device of this invention except an organic-semiconductor part is demonstrated in detail.
As an electrode material used for the source electrode, the drain electrode, and the gate electrode, a material capable of efficiently injecting charges is used. Specifically, a metal, a metal oxide, a conductive polymer, or the like is used.
Examples of the metal include magnesium, aluminum, gold, silver, copper, chromium, tantalum, indium, palladium, lithium, calcium, and alloys thereof. Examples of the metal oxide include metal oxide films such as lithium oxide, magnesium oxide, aluminum oxide, indium tin oxide (ITO), tin oxide (NESA), indium oxide, zinc oxide, and indium zinc oxide.

導電性高分子としては、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリチオフェン誘導体、ポリピロール、ポリピリジン、ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸の錯体等があげられる。
また、電極に用いられる材料と有機半導体(層)に用いられる上述した高分子化合物とのイオン化ポテンシャルの差が大きいと電荷注入特性が悪くなるため、ドレイン電極および/またはソース電極に用いられる材料のイオン化ポテンシャルと、有機半導体(層)に用いられる高分子化合物とのイオン化ポテンシャルの差が1.0eV以内であることが好ましく、特に0.5ev以内であることがさらに好ましい。また、このような電極−高分子化合物間のイオン化ポテンシャルの差という観点からは、電極材料としては、特にAuを用いることが好ましい。
Examples of the conductive polymer include polyaniline, polythiophene, polythiophene derivatives, polypyrrole, polypyridine, and a complex of polyethylenedioxythiophene and polystyrene sulfonic acid.
In addition, if the difference in ionization potential between the material used for the electrode and the above-described polymer compound used for the organic semiconductor (layer) is large, the charge injection characteristics are deteriorated. Therefore, the material used for the drain electrode and / or the source electrode The difference in ionization potential between the ionization potential and the polymer compound used for the organic semiconductor (layer) is preferably within 1.0 eV, more preferably within 0.5 ev. In view of the difference in ionization potential between the electrode and the polymer compound, it is particularly preferable to use Au as the electrode material.

電極の形成方法としては、上記の電極材料を蒸着法や、スパッタ等の公知の薄膜形成方法を用いて作製した薄膜を、公知のフォトリソグラフィー法やリフトオフ法を利用して形成したり、インクジェット等によりレジストを用いて所望のパターン(電極形状)にエッチングする方法や、アルミニウムなどの電極材料を直接熱転写する方法が利用できる。また、電極材料として導電性高分子を用いる場合には、これを溶媒に溶解させ、インクジェット等によりパターニングしても良い。   As a method for forming an electrode, a thin film produced by using a known thin film forming method such as a vapor deposition method or sputtering as the electrode material described above is formed using a known photolithography method or a lift-off method, or an inkjet or the like. Thus, a method of etching into a desired pattern (electrode shape) using a resist or a method of directly transferring an electrode material such as aluminum can be used. When a conductive polymer is used as the electrode material, it may be dissolved in a solvent and patterned by ink jet or the like.

各電極間や、ゲート電極と有機半導体(層)とを絶縁する絶縁部材としては、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化タンタル、酸化アルミニウム、酸化チタン等の無機物、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、メタクリル樹脂、アクリル樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、セルロース樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリススチレン樹脂、ポリビニルアセテート樹脂、スチレンブタジエン共重合体、塩化ビニルデン−アクリロニトリル共重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル−無水マレイン酸共重合体、シリコン樹脂等の有機絶縁高分子等が挙げられるが、これに限定されるものではない。   Insulating members that insulate between each electrode or between the gate electrode and the organic semiconductor (layer) include inorganic substances such as silicon dioxide, silicon nitride, tantalum oxide, aluminum oxide, titanium oxide, polycarbonate resin, polyester resin, methacrylic resin, acrylic Resin, polyvinyl chloride resin, cellulose resin, urethane resin, epoxy resin, polystyrene styrene resin, polyvinyl acetate resin, styrene butadiene copolymer, vinyl chloride-acrylonitrile copolymer, vinyl chloride-vinyl acetate-maleic anhydride copolymer Examples thereof include, but are not limited to, organic insulating polymers such as silicon resin.

基板としては、リン等を高濃度にドープしたシリコン単結晶やガラス、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、メタクリル樹脂、アクリル樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、セルロース樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリススチレン樹脂、ポリビニルアセテート樹脂、スチレンブタジエン共重合体、塩化ビニルデン−アクリロニトリル共重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル−無水マレイン酸共重合体、シリコン樹脂等のプラスチック基板等が挙げられるが、これに限定されるものではない。   As the substrate, silicon single crystal or glass doped with phosphorus or the like in high concentration, glass resin, polycarbonate resin, polyester resin, methacrylic resin, acrylic resin, polyvinyl chloride resin, cellulose resin, urethane resin, epoxy resin, police styrene resin, polyvinyl acetate Examples thereof include, but are not limited to, resins, styrene butadiene copolymers, vinyl chloride-acrylonitrile copolymers, vinyl chloride-vinyl acetate-maleic anhydride copolymers, plastic substrates such as silicone resins, and the like.

特に、電子ペーパーまたはデジタルペーパーや携帯電子機器等の可撓性を求められる電子デバイス(以下、「可撓性電子デバイス」と称す)に用いられる電子回路に本発明の有機半導体トランジスタ素子を用いる場合、基板として可撓性がある基板を用いることが望ましい。特に基板として曲げ弾性率が1000MPa以上、より好ましくは5000MPa以上である基板を用いることにより可撓性がある表示素子の駆動回路や電子回路に適応させることができる。   In particular, when the organic semiconductor transistor element of the present invention is used in an electronic circuit used in an electronic device (hereinafter referred to as “flexible electronic device”) that is required to be flexible, such as electronic paper, digital paper, or portable electronic equipment. It is desirable to use a flexible substrate as the substrate. In particular, by using a substrate having a flexural modulus of 1000 MPa or more, more preferably 5000 MPa or more as the substrate, the substrate can be applied to a flexible display element drive circuit or electronic circuit.

これは、本発明の有機半導体トランジスタ素子は、有機半導体部分が、上述したような高分子化合物を主成分として含むために十分な弾性を有しており、可撓性のある基板上に素子を形成しても、大きな変形や、変形の繰り返しに耐え、安定した性能を維持し続けることができるためである。一方、無機半導体トランジスタ素子では、半導体部分が無機材料からなるため、弾性に欠けているため、このような変形を前提とした使用は極めて困難である。さらに無機半導体トランジスタ素子を作製するプロセスは、高温を必要とするため基板にプラスチックを用いることが出来ないという不具合がある。また、有機半導体部分が低分子材料を主成分とするような有機半導体トランジスタ素子においても、高分子材料のような弾性には欠けているため、このような変形を前提とした使用は困難であるか、あるいは、信頼性に劣る。   This is because the organic semiconductor transistor element of the present invention has sufficient elasticity that the organic semiconductor portion contains the above-described polymer compound as a main component, and the element is placed on a flexible substrate. This is because even if formed, it can withstand large deformations and repeated deformations and can maintain stable performance. On the other hand, in an inorganic semiconductor transistor element, since the semiconductor portion is made of an inorganic material and lacks elasticity, it is extremely difficult to use it based on such deformation. Further, the process for manufacturing the inorganic semiconductor transistor element has a disadvantage that plastic cannot be used for the substrate because it requires a high temperature. In addition, even in an organic semiconductor transistor element in which the organic semiconductor portion is mainly composed of a low molecular material, since it lacks elasticity like a polymer material, it is difficult to use it assuming such deformation. Or it is inferior in reliability.

なお、本発明において、「可撓性電子デバイス」とは、〔1〕その使用態様が、上述した電子ペーパーやデジタルペーパー等のように、電源のオン/オフ状態に係わらず、平坦な状態から曲げたり、撓ませたり、屈曲させたりした状態としたり、あるいは、その逆の態様で使用することが可能であり、〔2〕その構成が、基板と、該基板上に1個以上設けられた有機半導体トランジスタ素子とを少なくとも含み、〔3〕上記〔1〕項に説明したような可撓性が、有機半導体トランジスタ素子が設けられた基板部分において少なくとも求められる電子デバイスを意味する。   In the present invention, the term “flexible electronic device” refers to [1] a usage state from a flat state, regardless of whether the power is on or off, such as the electronic paper and digital paper described above. It can be bent, bent, bent, or vice versa. [2] The substrate is provided with one or more components on the substrate. [3] means an electronic device that is required to be flexible at least in the substrate portion provided with the organic semiconductor transistor element.

有機半導体部分を層状に形成する方法としては、特に液相成膜法を用いることが好ましく、例えば、スピンコート法、キャステング法、ディップ法、ダイコート法、ロールコート法、バーコート法、インクジェット法、および各印刷手法等が用いられるが、これに限定されるものではない。
しかしながら、塗布後のエッチングによるパターン形成が不要であるため、製造工程が簡略化でき、また、有機半導体トランジスタ素子を大面積の基板上に多数形成する上でも高い生産性を得ることができるインクジェット法を利用することが好ましい。
すなわち、インクジェットプリンターに利用されているインクジェット記録による画像形成技術を、有機半導体トランジスタ素子の有機半導体部分の形成に利用することができる。
As a method of forming the organic semiconductor portion in a layered manner, it is particularly preferable to use a liquid phase film forming method, for example, spin coating method, casting method, dipping method, die coating method, roll coating method, bar coating method, ink jet method, Each printing method is used, but is not limited thereto.
However, since it is not necessary to form a pattern by etching after coating, the manufacturing process can be simplified, and high productivity can be obtained even when a large number of organic semiconductor transistor elements are formed on a large-area substrate. Is preferably used.
That is, an image forming technique based on ink jet recording used in an ink jet printer can be used for forming an organic semiconductor portion of an organic semiconductor transistor element.

この場合、インクの代わりに、溶媒中に溶解させた電荷輸送性ポリエーテルまたは電荷輸送性ポリエステルを少なくとも1種以上含む溶液(以下、インクジェット印刷にのみ利用する場合を「インクジェット用有機半導体溶液」と称し、インクジェット印刷に限定しない場合は単に「有機半導体溶液」と称す場合がある)を用いて、液滴吐出ヘッドのノズルから液滴状の有機半導体溶液を吐出させることによって、基板上の所望の位置に所望の膜厚・形状の有機半導体を形成することができる。   In this case, instead of ink, a solution containing at least one charge transporting polyether or charge transporting polyester dissolved in a solvent (hereinafter referred to as “inkjet organic semiconductor solution” is used only for ink jet printing). When not limited to ink-jet printing, it may be simply referred to as “organic semiconductor solution”), and the droplet-shaped organic semiconductor solution is ejected from the nozzle of the droplet ejection head to obtain a desired on the substrate. An organic semiconductor having a desired film thickness and shape can be formed at the position.

また、液滴吐出ヘッドとしても、基本的な構成や原理は、インクジェットプリンターに用いられている記録ヘッドと同様のものが利用できる。すなわち、有機半導体溶液に圧力や熱等の外部刺激を付与することによって、インクジェット用有機半導体溶液をノズルから液滴状に吐出する方法(いわゆる圧電素子を用いたピエゾインクジェット方式、熱沸騰現象を利用した熱インクジェット方式等)が利用できる。   In addition, as a droplet discharge head, the same basic configuration and principle as those of a recording head used in an ink jet printer can be used. That is, by applying an external stimulus such as pressure or heat to the organic semiconductor solution, a method of ejecting the organic semiconductor solution for inkjet from the nozzle into droplets (a so-called piezoelectric inkjet method using a piezoelectric element, utilizing a thermal boiling phenomenon) Can be used.

しかしながら、本発明の有機半導体トランジスタ素子の製造に際しては、外部刺激は熱よりも圧力であることがより好ましい。外部刺激が熱である場合には、インクジェット用有機半導体溶液のノズルからの吐出から、基板上へ着弾した有機半導体溶液の溶媒の揮発による塗膜の形成(固化)というインクジェット印刷プロセスにおいて、インクジェット用有機半導体溶液の粘度が熱によって大きく変化してしまうため、レベリング性やパターニング精度の制御が困難になる場合がある。これに加えて、耐熱性に劣る電荷輸送性ポリエーテルまたは電荷輸送性ポリエステルが利用できなくなり、材料選択肢が狭くなってしまう場合がある。   However, in the production of the organic semiconductor transistor element of the present invention, the external stimulus is more preferably pressure than heat. When the external stimulus is heat, in the inkjet printing process of forming (solidifying) a coating film by volatilization of the solvent of the organic semiconductor solution that has landed on the substrate from ejection of the inkjet organic semiconductor solution from the nozzle, Since the viscosity of the organic semiconductor solution is greatly changed by heat, it may be difficult to control leveling properties and patterning accuracy. In addition to this, charge transporting polyethers or charge transporting polyesters that are inferior in heat resistance cannot be used, and material options may be narrowed.

また、インクジェット法を利用した本発明の有機半導体トランジスタ素子の製造に用いられる装置としては、上述した液滴吐出ヘッドの他に、必要に応じて、例えば、有機半導体トランジスタ素子を形成する対象である基板等の固定あるいは搬送手段や、液滴吐出ヘッドを基板平面方向に対して走査する液滴吐出ヘッド走査手段等を有していてもよい。
なお、インクジェット用有機半導体溶液は、上述したように電荷輸送性ポリエーテルまたは電荷輸送性ポリエステルと、溶媒とを少なくとも含むものであればその組成や物性は特に限定されるものではないが、インクジェット用有機半導体溶液の粘度は、形成される膜厚によって異なるが、おおよそ25℃において0.01〜1000cpsの範囲内であることが好ましく、1〜100cpsの範囲内であることが好ましい。
Moreover, as an apparatus used for manufacturing the organic semiconductor transistor element of the present invention using the inkjet method, in addition to the above-described droplet discharge head, for example, an organic semiconductor transistor element is formed as necessary. A fixing or conveying means for the substrate or the like, or a droplet discharge head scanning means for scanning the droplet discharge head with respect to the substrate plane direction may be provided.
The organic semiconductor solution for inkjet is not particularly limited in composition and physical properties as long as it contains at least a charge transporting polyether or charge transporting polyester and a solvent as described above. The viscosity of the organic semiconductor solution varies depending on the film thickness to be formed, but is preferably in the range of 0.01 to 1000 cps at about 25 ° C., and preferably in the range of 1 to 100 cps.

粘度が0.01cps未満である場合には、基板上に着弾した有機半導体溶液が、基板平面方向に広がり易く、膜厚の制御が困難となったり、パターニング精度が劣化してしまう場合がある。また、粘度が1000cpsを超える場合には、インクジェット用有機半導体溶液の粘性が高すぎるために吐出不良を起こしやすくなる場合がある。
なお、インクジェット用有機半導体溶液の粘度は、電荷輸送性ポリエーテルまたは電荷輸送性ポリエステルや、必要に応じて添加されるその他の添加剤成分の含有量や、電荷輸送性ポリエーテルまたは電荷輸送性ポリエステルの分子量等を制御することによって、所望の値に調整することができる。
When the viscosity is less than 0.01 cps, the organic semiconductor solution that has landed on the substrate tends to spread in the plane direction of the substrate, making it difficult to control the film thickness, and patterning accuracy may be degraded. Moreover, when the viscosity exceeds 1000 cps, the viscosity of the organic semiconductor solution for inkjet may be too high, which may cause ejection failure.
In addition, the viscosity of the organic semiconductor solution for inkjet is determined depending on the charge transporting polyether or charge transporting polyester, the content of other additive components added as necessary, the charge transporting polyether or the charge transporting polyester. By controlling the molecular weight and the like, it can be adjusted to a desired value.

インクジェット用有機半導体溶液に用いられる溶媒としては、電荷輸送性ポリエーテルまたは電荷輸送性ポリエステルを溶解できるものであれば特に限定されないが、例えば、有機溶媒、例えば、炭化水素系溶媒、エステル系溶媒、エーテル系溶媒、ハロゲン系溶媒、アルコール系溶媒等や、水、またこれらの混合溶媒等を挙げることができる。
ここで、前記炭化水素系溶媒としては、例えば、トルエン、ベンゼン、キシレン、ヘキサン、オクタン、ヘキサデカン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン、ラクトン、テトラリン、クメンなどが挙げられ、前記エステル系溶媒としては、例えば、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸アミルなどが挙げられ、前記エーテル系溶媒としては、例えば、ジブチルエーテル、ジベンジルエーテルなどが挙げられ、前記ハロゲン系溶媒としては、例えば、1,1−ジクロロエタン、1−フルオロエタン、2,2,2−トリフルオロエタン、2,2,3,3,3−ペンタフルオロプロパン、クロロホルム、四塩化炭素、モノクロロベンゼン、o−ジクロロベンゼンなどが挙げられ、前記アルコール系溶媒としては、メタノール、エタノール、I−プロピルアルコールなどが挙げられる。
The solvent used in the organic semiconductor solution for inkjet is not particularly limited as long as it can dissolve the charge transporting polyether or the charge transporting polyester. For example, an organic solvent such as a hydrocarbon solvent, an ester solvent, Examples include ether solvents, halogen solvents, alcohol solvents, water, and mixed solvents thereof.
Here, examples of the hydrocarbon solvent include toluene, benzene, xylene, hexane, octane, hexadecane, cyclohexane, cyclohexanone, lactone, tetralin, cumene and the like, and examples of the ester solvent include methyl acetate. , Ethyl acetate, isopropyl acetate, amyl acetate, and the like. Examples of the ether solvent include dibutyl ether and dibenzyl ether. Examples of the halogen solvent include 1,1-dichloroethane, 1 -Fluoroethane, 2,2,2-trifluoroethane, 2,2,3,3,3-pentafluoropropane, chloroform, carbon tetrachloride, monochlorobenzene, o-dichlorobenzene, etc., and the alcohol solvent As methanol, ethanol , I- and propyl alcohol.

なお、上述したようなインクジェット法やその他の液相成膜法を利用して有機半導体トランジスタ素子を製造する場合、有機半導体部分は、有機半導体溶液を用い、溶媒を含んだ状態の塗膜を形成する塗膜形成工程と、この塗膜を乾燥させて有機半導体からなる膜を形成する乾燥工程とを少なくとも経ることによって形成される。
ここで、乾燥工程は、酸素濃度が100ppm以下、且つ、水分濃度が100ppm以下の環境下で実施されることが好ましい。酸素濃度や水分濃度が100ppmを超えると雰囲気中に酸素分子や水分子として存在する酸素原子が、電荷輸送性ポリエーテルを劣化させてしまう場合があり、乾燥時の加熱処理温度が高いとこのような劣化がより起こりやすくなるためである。
In addition, when manufacturing an organic semiconductor transistor element using the inkjet method as described above or other liquid phase film forming methods, the organic semiconductor portion uses an organic semiconductor solution and forms a coating film containing a solvent. The coating film is formed by at least a coating film forming process and a drying process of drying the coating film to form a film made of an organic semiconductor.
Here, the drying step is preferably performed in an environment where the oxygen concentration is 100 ppm or less and the water concentration is 100 ppm or less. If the oxygen concentration or water concentration exceeds 100 ppm, oxygen atoms present as oxygen molecules or water molecules in the atmosphere may deteriorate the charge transporting polyether. If the heat treatment temperature during drying is high, this is the case. This is because excessive deterioration is more likely to occur.

なお、酸素濃度は50ppm以下であることがより好ましく、10ppm以下であることが更に好ましい。また、水分濃度は50ppm以下であることがより好ましく、10ppm以下であることが更に好ましい。   The oxygen concentration is more preferably 50 ppm or less, and further preferably 10 ppm or less. The water concentration is more preferably 50 ppm or less, and further preferably 10 ppm or less.

さらに水分や酸素による有機半導体トランジスタ素子の劣化を防ぐために保護層を設けてもよい。具体的な保護層の材料としては、In、Sn、Pb、Au、Cu、Ag、Al等の金属、MgO、SiO、TiO等の金属酸化物、ポリエチレン樹脂、ポリウレア樹脂、ポリイミド樹脂等の樹脂が挙げられる。保護層の形成には、真空蒸着法、スパッタリング法、プラズマ重合法、CVD法、コーティング法が適用できる。
以上に説明したように本発明の有機半導体トランジスタ素子は、有機半導体部分に使用する高分子化合物の種類や、素子の構成等を適宜選択することにより、オン/オフ比を10〜10程度の範囲内で有機半導体トランジスタ素子の用途に応じて調整することができる。
Further, a protective layer may be provided in order to prevent deterioration of the organic semiconductor transistor element due to moisture or oxygen. Specific examples of the protective layer material include metals such as In, Sn, Pb, Au, Cu, Ag, and Al, metal oxides such as MgO, SiO 2 , and TiO 2 , polyethylene resins, polyurea resins, and polyimide resins. Resin. For forming the protective layer, a vacuum deposition method, a sputtering method, a plasma polymerization method, a CVD method, or a coating method can be applied.
As described above, the organic semiconductor transistor element of the present invention has an on / off ratio of about 10 2 to 10 5 by appropriately selecting the type of polymer compound used in the organic semiconductor portion, the structure of the element, and the like. Within the range, it can be adjusted according to the use of the organic semiconductor transistor element.

以下、本発明を、実施例を挙げてさらに具体的に説明する。ただし、これら各実施例は、本発明を制限するものではない。
(実施例A1)
ガラス基板上に真空蒸着により金を100nmの膜厚で成膜し、ゲート電極とした。次いで、ゲート電極上にスパッタリングによりSiOを300nmの膜厚で絶縁層を形成し、更に、ソース電極およびドレイン電極として金属マスクを通して金を150nmの膜厚で成膜した。なお、ソース電極およびドレイン電極の間隔は50μmである。
その後、ソース電極およびドレイン電極と導通可能なように、例示化合物(A616)を5重量%含むジクロロエタン溶液を目開き0.1μmのPTFEフィルターで濾過した有機半導体溶液を、ディップ法により厚さ0.15μmの薄膜を形成し、有機半導体トランジスタ素子を作製した。
なお、有機半導体薄膜は、予めソース電極とドレイン電極とが対向する領域と、この領域に接したソース電極およびドレイン電極の一部を除いてレジストによりマスキングした状態でディップ法により塗膜を形成し、続いて、この塗膜を酸素濃度が5ppm、水分濃度が5ppmの不活性ガス雰囲気下で130℃に乾燥処理するプロセスを経て形成した。
Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, these examples do not limit the present invention.
(Example A1)
A gold film was formed to a thickness of 100 nm on a glass substrate by vacuum vapor deposition to obtain a gate electrode. Then, the SiO 2 to form an insulating layer with a film thickness of 300nm by sputtering on the gate electrode, further, by forming a gold film thickness of 150nm through a metal mask as a source electrode and a drain electrode. Note that the distance between the source electrode and the drain electrode is 50 μm.
Thereafter, an organic semiconductor solution obtained by filtering a dichloroethane solution containing 5% by weight of the exemplified compound (A616) through a PTFE filter having a mesh size of 0.1 μm so as to be electrically connected to the source electrode and the drain electrode has a thickness of 0. A 15 μm thin film was formed to produce an organic semiconductor transistor element.
The organic semiconductor thin film is formed by a dip method in a state where the source electrode and the drain electrode face each other in advance and masked with a resist except for a part of the source electrode and the drain electrode in contact with the region. Subsequently, this coating film was formed through a process of drying at 130 ° C. in an inert gas atmosphere having an oxygen concentration of 5 ppm and a water concentration of 5 ppm.

(実施例A2)
実施例A1で用いた例示化合物(A616)の代わりに例示化合物(A621)を用いた以外は、実施例A1と同様にして有機半導体トランジスタ素子を作製した。
(Example A2)
An organic semiconductor transistor element was produced in the same manner as in Example A1, except that the exemplified compound (A621) was used instead of the exemplified compound (A616) used in Example A1.

(実施例A3)
実施例A1で用いた例示化合物(A616)の代わりに例示化合物(A626)を用いた以外は、実施例A1と同様にして有機半導体トランジスタ素子を作製した。
(Example A3)
An organic semiconductor transistor element was produced in the same manner as in Example A1, except that the exemplified compound (A626) was used instead of the exemplified compound (A616) used in Example A1.

(実施例A4)
実施例A1で用いた例示化合物(A616)の代わりに例示化合物(A638)を用いた以外は、実施例A1と同様にして有機半導体トランジスタ素子を作製した。
(Example A4)
An organic semiconductor transistor element was produced in the same manner as in Example A1, except that the exemplified compound (A638) was used instead of the exemplified compound (A616) used in Example A1.

(実施例A5)
実施例A1で用いた例示化合物(A616)の代わりに例示化合物(A650)を用いた以外は、実施例A1と同様にして有機半導体トランジスタ素子を作製した。
(Example A5)
An organic semiconductor transistor element was produced in the same manner as in Example A1, except that the exemplified compound (A650) was used instead of the exemplified compound (A616) used in Example A1.

(実施例A6)
実施例A1で用いた例示化合物(A616)代わりに例示化合物(A651)を用いた以外は、実施例A1と同様にして有機半導体トランジスタ素子を作製した。
(Example A6)
An organic semiconductor transistor element was produced in the same manner as in Example A1, except that the exemplified compound (A651) was used instead of the exemplified compound (A616) used in Example A1.

(実施例A7)
実施例A1で用いた例示化合物(A616)の代わりに例示化合物(A671)を用いた以外は、実施例A1と同様にして有機半導体トランジスタ素子を作製した。
(Example A7)
An organic semiconductor transistor element was produced in the same manner as in Example A1, except that the exemplified compound (A671) was used instead of the exemplified compound (A616) used in Example A1.

(実施例A8)
実施例A1で用いた例示化合物(A616)の代わりに例示化合物(A679)を用いた以外は、実施例A1と同様にして有機半導体トランジスタ素子を作製した。
(Example A8)
An organic semiconductor transistor element was produced in the same manner as in Example A1, except that the exemplified compound (A679) was used instead of the exemplified compound (A616) used in Example A1.

(実施例B1)
ガラス基板上に真空蒸着により金を100nmの膜厚で成膜し、ゲート電極とした。次いで、ゲート電極上にスパッタリングによりSiOを300nmの膜厚で絶縁層を形成し、更に、ソース電極およびドレイン電極として金属マスクを通して金を150nmの膜厚で成膜した。なお、ソース電極およびドレイン電極の間隔は50μmである。
その後、ソース電極およびドレイン電極と導通可能なように、例示化合物(B727)を5重量%含むジクロロエタン溶液を目開き0.1μmのPTFEフィルターで濾過した有機半導体溶液を、ディップ法により厚さ0.15μmの薄膜を形成し、有機半導体トランジスタ素子を作製した。
なお、有機半導体薄膜は、予めソース電極とドレイン電極とが対向する領域と、この領域に接したソース電極およびドレイン電極の一部を除いてレジストによりマスキングした状態でディップ法により塗膜を形成し、続いて、この塗膜を酸素濃度が5ppm、水分濃度が5ppmの不活性ガス雰囲気下で130℃に乾燥処理するプロセスを経て形成した。
(Example B1)
A gold film was formed to a thickness of 100 nm on a glass substrate by vacuum vapor deposition to obtain a gate electrode. Then, the SiO 2 to form an insulating layer with a film thickness of 300nm by sputtering on the gate electrode, further, by forming a gold film thickness of 150nm through a metal mask as a source electrode and a drain electrode. Note that the distance between the source electrode and the drain electrode is 50 μm.
Thereafter, an organic semiconductor solution obtained by filtering a dichloroethane solution containing 5% by weight of the exemplary compound (B727) through a PTFE filter having a mesh size of 0.1 μm so as to be electrically connected to the source electrode and the drain electrode has a thickness of 0. A 15 μm thin film was formed to produce an organic semiconductor transistor element.
The organic semiconductor thin film is formed by a dip method in a state where the source electrode and the drain electrode face each other in advance and masked with a resist except for a part of the source electrode and the drain electrode in contact with the region. Subsequently, this coating film was formed through a process of drying at 130 ° C. in an inert gas atmosphere having an oxygen concentration of 5 ppm and a water concentration of 5 ppm.

(実施例B2)
実施例B1で用いた例示化合物(B727)の代わりに例示化合物(B741)を用いた以外は、実施例B1と同様にして有機半導体トランジスタ素子を作製した。
(Example B2)
An organic semiconductor transistor element was produced in the same manner as in Example B1, except that the exemplified compound (B741) was used instead of the exemplified compound (B727) used in Example B1.

(実施例B3)
実施例B1で用いた例示化合物(B727)の代わりに例示化合物(B766)を用いた以外は、実施例B1と同様にして有機半導体トランジスタ素子を作製した。
(Example B3)
An organic semiconductor transistor element was produced in the same manner as in Example B1, except that the exemplified compound (B766) was used instead of the exemplified compound (B727) used in Example B1.

(実施例B4)
実施例B1で用いた例示化合物(B727)の代わりに例示化合物(B768)を用いた以外は、実施例B1と同様にして有機半導体トランジスタ素子を作製した。
(Example B4)
An organic semiconductor transistor element was produced in the same manner as in Example B1, except that the exemplified compound (B768) was used instead of the exemplified compound (B727) used in Example B1.

(実施例B5)
実施例B1で用いた例示化合物(B727)の代わりに例示化合物(B785)を用いた以外は、実施例B1と同様にして有機半導体トランジスタ素子を作製した。
(Example B5)
An organic semiconductor transistor element was produced in the same manner as in Example B1, except that the exemplified compound (B785) was used instead of the exemplified compound (B727) used in Example B1.

(実施例B6)
実施例B1で用いた例示化合物(B727)代わりに例示化合物(B789)を用いた以外は、実施例B1と同様にして有機半導体トランジスタ素子を作製した。
(Example B6)
An organic semiconductor transistor element was produced in the same manner as in Example B1, except that the exemplified compound (B789) was used instead of the exemplified compound (B727) used in Example B1.

(比較例1)
上記実施例A1で用いた例示化合物(A616)の代わりに下記構造式(V)で示される化合物を用い、ディップ法の代わりに蒸着法を利用して有機半導体薄膜を形成した他は実施例A1と同様にして有機半導体トランジスタ素子を作製した。
(Comparative Example 1)
Example A1 except that the compound represented by the following structural formula (V) was used in place of the exemplified compound (A616) used in Example A1 above, and an organic semiconductor thin film was formed by vapor deposition instead of dipping. In the same manner, an organic semiconductor transistor element was produced.

Figure 2007165484
Figure 2007165484

(比較例2)
上記実施例A1で用いた例示化合物(A616)の代わりにポリ[2−メトキシ−5−(2−エチルヘキシル)−1,4−フェニレンビニレン]を用い、ディップ法の代わりに蒸着法を利用して有機半導体薄膜を形成した他は実施例A1と同様に有機半導体トランジスタ素子を作製した。
(Comparative Example 2)
Poly [2-methoxy-5- (2-ethylhexyl) -1,4-phenylenevinylene] is used instead of the exemplified compound (A616) used in Example A1 above, and vapor deposition is used instead of dipping. An organic semiconductor transistor element was produced in the same manner as in Example A1 except that an organic semiconductor thin film was formed.

(比較例3)
上記実施例A1で用いた例示化合物(A616)の代わりに下記構造式(VI)で示される化合物(重量平均分子量:64000)を用いた他は実施例A1と同様に有機半導体トランジスタ素子を作製した。
(Comparative Example 3)
An organic semiconductor transistor element was produced in the same manner as in Example A1, except that the compound represented by the following structural formula (VI) (weight average molecular weight: 64000) was used instead of the exemplified compound (A616) used in Example A1. .

Figure 2007165484
Figure 2007165484

−評価−
実施例および比較例で得られた有機半導体トランジスタ素子を半導体パラメーターアナライザー(アジレントテクノロジー社製、4155C)を用いて、ゲート電圧を印加した時の電流−電圧特性を測定し、キャリア移動度(線形領域)とオン/オフ比を算出した。
また、実施例で用いた各例示化合物および比較例で例示化合物の代わりに用いた電荷輸送性高分子の収率は、例示化合物や電荷輸送性高分子のモノマー合成時における純度をHPLC(高速液体クロマトグラフィー)にて測定し、そのピーク面積から算出した。
-Evaluation-
The organic semiconductor transistor elements obtained in Examples and Comparative Examples were measured for current-voltage characteristics when a gate voltage was applied using a semiconductor parameter analyzer (manufactured by Agilent Technologies, 4155C), and carrier mobility (linear region) ) And the on / off ratio were calculated.
In addition, the yield of the charge transporting polymer used in place of the exemplified compound in each of the exemplified compounds used in the examples and the comparative examples is determined by HPLC (high performance liquid). Chromatography) and calculated from the peak area.

以上のように作製した有機半導体トランジスタ素子のオン/オフ比を、有機化合物層の形成に用いた電荷輸送性材料のキャリア移動度や、収率と共に表98に示す。表98からわかるように、いずれの実施例に示す有機半導体トランジスタ素子もゲート電極に印加する電圧(ゲート電圧)の変化に伴い、ソース電極・有機半導体層・ドレイン電極間を流れるドレイン‐ソース電流が変化するスイッチング特性を示し、良好なオンオフ比を示していた。
しかし、比較例では、有機半導体薄膜の形成に用いた電荷輸送性材料のキャリア移動度が低かったために、on/off比が、実施例の素子と比べて劣っていることがわかった。また、有機半導体薄膜の形成に際し、液相成膜法が利用できない/気相成膜法を利用しなければならない場合があった。
Table 98 shows the on / off ratio of the organic semiconductor transistor element manufactured as described above together with the carrier mobility and yield of the charge transporting material used for forming the organic compound layer. As can be seen from Table 98, in the organic semiconductor transistor elements shown in any of the examples, the drain-source current flowing between the source electrode, the organic semiconductor layer, and the drain electrode is changed with the change of the voltage applied to the gate electrode (gate voltage). It showed changing switching characteristics and a good on / off ratio.
However, in the comparative example, it was found that the on / off ratio was inferior to that of the device of the example because the carrier mobility of the charge transporting material used for forming the organic semiconductor thin film was low. Further, when forming an organic semiconductor thin film, there is a case where a liquid phase film forming method cannot be used / a vapor phase film forming method must be used.

なお、比較例3では、一般式(BI−1)においてX基として2価のフルオレン基を導入したものを合成して評価したが、一般式(BI−2)や、一般式(AI−1)、一般式(AI−2)においてX基として2価のフルオレン基を導入したものでも比較例3と同程度かそれ以下の特性しか得ることができなかった。
また、一般式(AI−1)、一般式(AI−2)、一般式(BI−1)、および一般式(BI−2)において、X基として、チエニレン基を導入したものを合成して実施例と同様の評価を試みようとしたが、実施例で用いた例示化合物と比べて、合成時の収率が極めて低く十分な量を得ることができなかった。
また、X基がチオフェン(下記化合物)の場合は、収率が10%以下と低く、精製も困難であり、有機半導体トランジスタ素子を作製しても、評価できなかった。
In Comparative Example 3, evaluation was performed by synthesizing a general formula (BI-1) in which a divalent fluorene group was introduced as an X group, but the general formula (BI-2) and the general formula (AI-1) were evaluated. ), Even when a divalent fluorene group was introduced as the X group in the general formula (AI-2), only characteristics comparable to or lower than those of Comparative Example 3 could be obtained.
Moreover, in general formula (AI-1), general formula (AI-2), general formula (BI-1), and general formula (BI-2), what introduce | transduced thienylene group as X group was synthesize | combined. Although an attempt was made to try the same evaluation as in Examples, the yield during synthesis was extremely low compared to the exemplified compounds used in Examples, and sufficient amounts could not be obtained.
Further, when the X group was thiophene (the following compound), the yield was as low as 10% or less, and purification was difficult, and even when an organic semiconductor transistor element was produced, it could not be evaluated.

Figure 2007165484
Figure 2007165484

Figure 2007165484
Figure 2007165484

本発明の有機半導体トランジスタ素子の層構成の一例を示した概略構成図である。It is the schematic block diagram which showed an example of the laminated constitution of the organic-semiconductor transistor element of this invention. 本発明の有機半導体トランジスタ素子の層構成の一例を示した概略構成図である。It is the schematic block diagram which showed an example of the laminated constitution of the organic-semiconductor transistor element of this invention. 本発明の有機半導体トランジスタ素子の層構成の一例を示した概略構成図である。It is the schematic block diagram which showed an example of the laminated constitution of the organic-semiconductor transistor element of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 基板
2 ソース電極
3 ドレイン電極
4 有機半導体層
5 ゲート電極
6 絶縁層
1 Substrate 2 Source electrode 3 Drain electrode 4 Organic semiconductor layer 5 Gate electrode 6 Insulating layer

Claims (12)

ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース電極および前記ドレイン電極と導通可能に設けられた有機半導体と、該有機半導体に対して絶縁され且つ電場を印加することが可能なゲート電極とを少なくとも含む有機半導体トランジスタ素子において、
前記有機半導体が、少なくとも1種以上の下記一般式(AI−1)および(AI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエーテルを1種以上含有することを特徴とする有機半導体トランジスタ素子。
Figure 2007165484
〔一般式(AI−1)および(AI−2)中、Arは置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、または、置換もしくは未置換の1価の複素環を表し、Tは炭素数1〜6の2価の直鎖状炭化水素基または炭素数2〜10の2価の分枝鎖状炭化水素基を表し、mは0〜3の整数を表す。また、Xは、下記一般式(AII)で表される置換基を表す。〕
Figure 2007165484
〔一般式(AII)中、R、R、R、R、R、およびRは、置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の1価の複素環、炭素数1〜18の1価の直鎖状炭化水素基、又は、炭素数3〜10の1価の分枝鎖状炭化水素基を表し、nは1〜10の整数を表す。〕
An organic including at least a source electrode, a drain electrode, an organic semiconductor provided to be conductive with the source electrode and the drain electrode, and a gate electrode insulated from the organic semiconductor and capable of applying an electric field In a semiconductor transistor element,
A charge transporting polyether composed of a repeating unit in which the organic semiconductor includes at least one selected from the structures represented by the following general formulas (AI-1) and (AI-2) as a partial structure: An organic semiconductor transistor element containing at least one kind.
Figure 2007165484
[In the general formulas (AI-1) and (AI-2), Ar represents a substituted or unsubstituted monovalent benzene ring, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, Represents a substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings or a substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, and T is a divalent linear chain having 1 to 6 carbon atoms. It represents a hydrocarbon group or a divalent branched hydrocarbon group having 2 to 10 carbon atoms, and m represents an integer of 0 to 3. X represents a substituent represented by the following general formula (AII). ]
Figure 2007165484
[In General Formula (AII), R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , and R 6 are substituted or unsubstituted monovalent benzene rings, substituted or unsubstituted aromatic rings 2 to 10 Monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon, substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, monovalent having 1 to 18 carbon atoms Represents a straight-chain hydrocarbon group or a monovalent branched hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms, and n represents an integer of 1 to 10. ]
前記有機半導体が、下記一般式(AIII)で示される電荷輸送性ポリエーテルであることを特徴とする請求項1に記載の有機半導体トランジスタ素子。
Figure 2007165484
〔一般式(AIII)において、Aは前記一般式(AI−1)および(AI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種以上を表し、pは5〜5000の整数を表す。〕
2. The organic semiconductor transistor element according to claim 1, wherein the organic semiconductor is a charge transporting polyether represented by the following general formula (AIII).
Figure 2007165484
[In General Formula (AIII), A 1 represents at least one selected from the structures represented by General Formulas (AI-1) and (AI-2), and p represents an integer of 5 to 5000. ]
ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース電極および前記ドレイン電極と導通可能に設けられた有機半導体と、該有機半導体に対して絶縁され且つ電場を印加することが可能なゲート電極とを少なくとも備え、前記有機半導体が、少なくとも1種以上の下記一般式(AI−1)および(AI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエーテルを1種以上含有する有機半導体トランジスタ素子を、溶媒中に溶解させた前記電荷輸送性ポリエーテルを少なくとも1種以上含む溶液を用いて製造する有機半導体トランジスタ素子の製造方法であって、
前記有機半導体が、前記溶液に外部刺激を付与して、前記溶液をノズルから液滴状に吐出させる方法を利用して形成されることを特徴とする有機半導体トランジスタ素子の製造方法。
Figure 2007165484
〔一般式(AI−1)および(AI−2)中、Arは置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、または、置換もしくは未置換の1価の複素環を表し、Tは炭素数1〜6の2価の直鎖状炭化水素基または炭素数2〜10の2価の分枝鎖状炭化水素基を表し、mは0〜3の整数を表す。また、Xは、下記一般式(AII)で表される置換基を表す。〕
Figure 2007165484
〔一般式(AII)中、R、R、R、R、R、およびRは、置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の1価の複素環、炭素数1〜18の1価の直鎖状炭化水素基、又は、炭素数3〜10の1価の分枝鎖状炭化水素基を表し、nは1〜10の整数を表す。〕
Comprising at least a source electrode, a drain electrode, an organic semiconductor provided to be conductive with the source electrode and the drain electrode, and a gate electrode insulated from the organic semiconductor and capable of applying an electric field; A charge transporting polyether composed of a repeating unit in which the organic semiconductor includes at least one selected from the structures represented by the following general formulas (AI-1) and (AI-2) as a partial structure: A method for producing an organic semiconductor transistor element comprising producing an organic semiconductor transistor element containing at least one kind by using a solution containing at least one kind of the charge transporting polyether dissolved in a solvent,
The method of manufacturing an organic semiconductor transistor element, wherein the organic semiconductor is formed using a method in which an external stimulus is applied to the solution and the solution is ejected in a droplet form from a nozzle.
Figure 2007165484
[In the general formulas (AI-1) and (AI-2), Ar represents a substituted or unsubstituted monovalent benzene ring, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, Represents a substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings or a substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, and T is a divalent linear chain having 1 to 6 carbon atoms. It represents a hydrocarbon group or a divalent branched hydrocarbon group having 2 to 10 carbon atoms, and m represents an integer of 0 to 3. X represents a substituent represented by the following general formula (AII). ]
Figure 2007165484
[In General Formula (AII), R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , and R 6 are substituted or unsubstituted monovalent benzene rings, substituted or unsubstituted aromatic rings 2 to 10 Monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon, substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, monovalent having 1 to 18 carbon atoms Represents a straight-chain hydrocarbon group or a monovalent branched hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms, and n represents an integer of 1 to 10. ]
前記外部刺激が圧力であることを特徴とする請求項3に記載の有機半導体トランジスタ素子の製造方法。   4. The method of manufacturing an organic semiconductor transistor element according to claim 3, wherein the external stimulus is pressure. 溶媒中に溶解させた前記電荷輸送性ポリエーテルを少なくとも1種以上含む溶液を用い、前記溶媒を含んだ状態の塗膜を形成する塗膜形成工程と、前記塗膜を乾燥させる乾燥工程とを少なくとも経ることにより前記有機半導体トランジスタ素子を製造する請求項3に記載の有機半導体トランジスタ素子の製造方法であって、前記乾燥工程が、酸素濃度が100ppm以下、且つ、水分濃度が100ppm以下の環境下で実施されることを特徴とする有機半導体トランジスタ素子の製造方法。   Using a solution containing at least one kind of the charge transporting polyether dissolved in a solvent, a coating film forming step for forming a coating film containing the solvent, and a drying step for drying the coating film The method for producing an organic semiconductor transistor element according to claim 3, wherein the organic semiconductor transistor element is produced by passing through at least an environment in which the drying step has an oxygen concentration of 100 ppm or less and a water concentration of 100 ppm or less. The manufacturing method of the organic-semiconductor transistor element characterized by the above-mentioned. 基板と、該基板上に設けられた1個以上の有機半導体トランジスタ素子とを含み、
前記有機半導体トランジスタ素子が、ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース電極および前記ドレイン電極と導通可能に設けられた有機半導体と、該有機半導体に対して絶縁され且つ電場を印加することが可能なゲート電極とを少なくとも備え、前記有機半導体が、少なくとも1種以上の下記一般式(AI−1)および(AI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエーテルを1種以上含有することを特徴とする半導体装置。
Figure 2007165484
〔一般式(AI−1)および(AI−2)中、Arは置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、または、置換もしくは未置換の1価の複素環を表し、Tは炭素数1〜6の2価の直鎖状炭化水素基または炭素数2〜10の2価の分枝鎖状炭化水素基を表し、mは0〜3の整数を表す。また、Xは、下記一般式(AII)で表される置換基を表す。〕
Figure 2007165484
〔一般式(AII)中、R、R、R、R、R、およびRは、置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の1価の複素環、炭素数1〜18の1価の直鎖状炭化水素基、又は、炭素数3〜10の1価の分枝鎖状炭化水素基を表し、nは1〜10の整数を表す。〕
A substrate, and one or more organic semiconductor transistor elements provided on the substrate,
The organic semiconductor transistor element has a source electrode, a drain electrode, an organic semiconductor provided to be conductive with the source electrode and the drain electrode, and is insulated from the organic semiconductor and can apply an electric field. A repeating unit comprising at least a gate electrode, wherein the organic semiconductor includes at least one selected from the structures represented by the following general formulas (AI-1) and (AI-2) as a partial structure: A semiconductor device comprising at least one charge transporting polyether.
Figure 2007165484
[In the general formulas (AI-1) and (AI-2), Ar represents a substituted or unsubstituted monovalent benzene ring, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, Represents a substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings or a substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, and T is a divalent linear chain having 1 to 6 carbon atoms. It represents a hydrocarbon group or a divalent branched hydrocarbon group having 2 to 10 carbon atoms, and m represents an integer of 0 to 3. X represents a substituent represented by the following general formula (AII). ]
Figure 2007165484
[In General Formula (AII), R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , and R 6 are substituted or unsubstituted monovalent benzene rings, substituted or unsubstituted aromatic rings 2 to 10 Monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon, substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, monovalent having 1 to 18 carbon atoms Represents a straight-chain hydrocarbon group or a monovalent branched hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms, and n represents an integer of 1 to 10. ]
ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース電極および前記ドレイン電極と導通可能に設けられた有機半導体と、該有機半導体に対して絶縁され且つ電場を印加することが可能なゲート電極とを少なくとも含む有機半導体トランジスタ素子において、
前記有機半導体が、少なくとも1種以上の下記一般式(BI−1)および(BI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエステルを1種以上含有することを特徴とする有機半導体トランジスタ素子。
Figure 2007165484
〔一般式(BI−1)および(BI−2)中、Arは置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、または、置換もしくは未置換の1価の複素環を表し、Tは炭素数1〜6の2価の直鎖状炭化水素基または炭素数2〜10の2価の分枝鎖状炭化水素基を表し、k、lはそれぞれ独立に0または1を表す。また、Xは、下記一般式(BII)で表される置換基を表す。〕
Figure 2007165484
〔一般式(BII)中、R、Rは、水素原子、アルキル基、置換もしくは未置換のアリール基、又は、置換もしくは未置換のアラルキル基を表し、nは1〜10の整数を表す。〕
An organic including at least a source electrode, a drain electrode, an organic semiconductor provided to be conductive with the source electrode and the drain electrode, and a gate electrode insulated from the organic semiconductor and capable of applying an electric field In a semiconductor transistor element,
1 is a charge transporting polyester composed of a repeating unit in which the organic semiconductor includes at least one selected from the structures represented by the following general formulas (BI-1) and (BI-2) as a partial structure. An organic semiconductor transistor element comprising at least a seed.
Figure 2007165484
[In the general formulas (BI-1) and (BI-2), Ar represents a substituted or unsubstituted monovalent benzene ring, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, Represents a substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings or a substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, and T is a divalent linear chain having 1 to 6 carbon atoms. It represents a hydrocarbon group or a divalent branched hydrocarbon group having 2 to 10 carbon atoms, and k and l each independently represents 0 or 1. X represents a substituent represented by the following general formula (BII). ]
Figure 2007165484
[In General Formula (BII), R 1 and R 2 represent a hydrogen atom, an alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, or a substituted or unsubstituted aralkyl group, and n represents an integer of 1 to 10. . ]
前記有機半導体が、下記一般式(BIII−1)または(BIII−2)で示される電荷輸送性ポリエステルであることを特徴とする請求項7に記載の有機半導体トランジスタ素子。
Figure 2007165484
〔一般式(BIII−1)および(BIII−2)中、Aは上記一般式(BI−1)および(BI−2)で示される構造から選択される少なくとも1種を表し、Yは2価の炭化水素基を表し、Zは2価の炭化水素基を表す。また、Rは水素原子、アルキル基、置換もしくは未置換のアリール基、又は、置換もしくは未置換のアラルキル基、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素を表し、B及びB’は−O−(Y−O)m−H、または−O−(Y−O)m−CO−Z−CO−OR’を表し、R’は水素原子、アルキル基、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換のアラルキル基を表す。mは1〜5の整数を表す。pは5〜5,000の整数を表す。〕
The organic semiconductor transistor element according to claim 7, wherein the organic semiconductor is a charge transporting polyester represented by the following general formula (BIII-1) or (BIII-2).
Figure 2007165484
[In General Formulas (BIII-1) and (BIII-2), A represents at least one selected from the structures represented by General Formulas (BI-1) and (BI-2), and Y represents a divalent group. Z represents a divalent hydrocarbon group. R is a hydrogen atom, an alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, a substituted or unsubstituted aralkyl group, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, a substituted Alternatively, it represents an unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, and B and B ′ are —O— (YO) m—H, or —O— (YO) m—. CO-Z-CO-OR ', wherein R' represents a hydrogen atom, an alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, or a substituted or unsubstituted aralkyl group. m represents an integer of 1 to 5. p represents an integer of 5 to 5,000. ]
ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース電極および前記ドレイン電極と導通可能に設けられた有機半導体と、該有機半導体に対して絶縁され且つ電場を印加することが可能なゲート電極とを少なくとも備え、前記有機半導体が、少なくとも1種以上の下記一般式(BI−1)および(BI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエステルを1種以上含有する有機半導体トランジスタ素子を、溶媒中に溶解させた前記電荷輸送性ポリエステルを少なくとも1種以上含む溶液を用いて製造する有機半導体トランジスタ素子の製造方法であって、
前記有機半導体が、前記溶液に外部刺激を付与して、前記溶液をノズルから液滴状に吐出させる方法を利用して形成されることを特徴とする有機半導体トランジスタ素子の製造方法。
Figure 2007165484
〔一般式(BI−1)および(BI−2)中、Arは置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、または、置換もしくは未置換の1価の複素環を表し、Tは炭素数1〜6の2価の直鎖状炭化水素基または炭素数2〜10の2価の分枝鎖状炭化水素基を表し、k、lはそれぞれ独立に0または1を表す。また、Xは、下記一般式(BII)で表される置換基を表す。〕
Figure 2007165484
〔一般式(BII)中、R、Rは、水素原子、アルキル基、置換もしくは未置換のアリール基、又は、置換もしくは未置換のアラルキル基を表し、nは1〜10の整数を表す。〕
Comprising at least a source electrode, a drain electrode, an organic semiconductor provided to be conductive with the source electrode and the drain electrode, and a gate electrode insulated from the organic semiconductor and capable of applying an electric field; 1 is a charge transporting polyester composed of a repeating unit in which the organic semiconductor includes at least one selected from the structures represented by the following general formulas (BI-1) and (BI-2) as a partial structure. A method for producing an organic semiconductor transistor element comprising producing an organic semiconductor transistor element containing at least one species using a solution containing at least one kind of the charge transporting polyester dissolved in a solvent,
The method of manufacturing an organic semiconductor transistor element, wherein the organic semiconductor is formed using a method in which an external stimulus is applied to the solution and the solution is ejected in a droplet form from a nozzle.
Figure 2007165484
[In the general formulas (BI-1) and (BI-2), Ar represents a substituted or unsubstituted monovalent benzene ring, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, Represents a substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings or a substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, and T is a divalent linear chain having 1 to 6 carbon atoms. It represents a hydrocarbon group or a divalent branched hydrocarbon group having 2 to 10 carbon atoms, and k and l each independently represents 0 or 1. X represents a substituent represented by the following general formula (BII). ]
Figure 2007165484
[In General Formula (BII), R 1 and R 2 represent a hydrogen atom, an alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, or a substituted or unsubstituted aralkyl group, and n represents an integer of 1 to 10. . ]
前記外部刺激が圧力であることを特徴とする請求項9に記載の有機半導体トランジスタ素子の製造方法。   The method of manufacturing an organic semiconductor transistor element according to claim 9, wherein the external stimulus is pressure. 溶媒中に溶解させた前記電荷輸送性ポリエステルを少なくとも1種以上含む溶液を用い、前記溶媒を含んだ状態の塗膜を形成する塗膜形成工程と、前記塗膜を乾燥させる乾燥工程とを少なくとも経ることにより前記有機半導体トランジスタ素子を製造する請求項9に記載の有機半導体トランジスタ素子の製造方法であって、前記乾燥工程が、酸素濃度が100ppm以下、且つ、水分濃度が100ppm以下の環境下で実施されることを特徴とする有機半導体トランジスタ素子の製造方法。   Using a solution containing at least one kind of the charge transporting polyester dissolved in a solvent, at least a coating film forming step for forming a coating film containing the solvent and a drying step for drying the coating film The method of manufacturing an organic semiconductor transistor element according to claim 9, wherein the organic semiconductor transistor element is manufactured by passing through an environment in which the drying step has an oxygen concentration of 100 ppm or less and a moisture concentration of 100 ppm or less. A method for producing an organic semiconductor transistor element, wherein the method is implemented. 基板と、該基板上に設けられた1個以上の有機半導体トランジスタ素子とを含み、
前記有機半導体トランジスタ素子が、ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース電極および前記ドレイン電極と導通可能に設けられた有機半導体と、該有機半導体に対して絶縁され且つ電場を印加することが可能なゲート電極とを少なくとも備え、前記有機半導体が、少なくとも1種以上の下記一般式(BI−1)および(BI−2)で示される構造から選択された少なくとも1種を部分構造として含む繰り返し単位よりなる電荷輸送性ポリエステルを1種以上含有することを特徴とする半導体装置。
Figure 2007165484
〔一般式(BI−1)および(BI−2)中、Arは置換もしくは未置換の1価のベンゼン環、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の多核芳香族炭化水素、置換もしくは未置換の芳香環数2〜10の1価の縮合芳香族炭化水素、または、置換もしくは未置換の1価の複素環を表し、Tは炭素数1〜6の2価の直鎖状炭化水素基または炭素数2〜10の2価の分枝鎖状炭化水素基を表し、k、lはそれぞれ独立に0または1を表す。また、Xは、下記一般式(BII)で表される置換基を表す。〕
Figure 2007165484
〔一般式(BII)中、R、Rは、水素原子、アルキル基、置換もしくは未置換のアリール基、又は、置換もしくは未置換のアラルキル基を表し、nは1〜10の整数を表す。〕
A substrate, and one or more organic semiconductor transistor elements provided on the substrate,
The organic semiconductor transistor element has a source electrode, a drain electrode, an organic semiconductor provided to be conductive with the source electrode and the drain electrode, and is insulated from the organic semiconductor and can apply an electric field. A repeating unit comprising at least a gate electrode, wherein the organic semiconductor includes at least one selected from the structures represented by the following general formulas (BI-1) and (BI-2) as a partial structure: A semiconductor device comprising at least one charge transporting polyester.
Figure 2007165484
[In the general formulas (BI-1) and (BI-2), Ar represents a substituted or unsubstituted monovalent benzene ring, a substituted or unsubstituted monovalent polynuclear aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings, Represents a substituted or unsubstituted monovalent condensed aromatic hydrocarbon having 2 to 10 aromatic rings or a substituted or unsubstituted monovalent heterocyclic ring, and T is a divalent linear chain having 1 to 6 carbon atoms. It represents a hydrocarbon group or a divalent branched hydrocarbon group having 2 to 10 carbon atoms, and k and l each independently represents 0 or 1. X represents a substituent represented by the following general formula (BII). ]
Figure 2007165484
[In General Formula (BII), R 1 and R 2 represent a hydrogen atom, an alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, or a substituted or unsubstituted aralkyl group, and n represents an integer of 1 to 10. . ]
JP2005358169A 2005-12-12 2005-12-12 Organic semiconductor transistor element, manufacturing method therefor, and semiconductor device Withdrawn JP2007165484A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005358169A JP2007165484A (en) 2005-12-12 2005-12-12 Organic semiconductor transistor element, manufacturing method therefor, and semiconductor device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005358169A JP2007165484A (en) 2005-12-12 2005-12-12 Organic semiconductor transistor element, manufacturing method therefor, and semiconductor device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007165484A true JP2007165484A (en) 2007-06-28
JP2007165484A5 JP2007165484A5 (en) 2009-02-19

Family

ID=38248072

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005358169A Withdrawn JP2007165484A (en) 2005-12-12 2005-12-12 Organic semiconductor transistor element, manufacturing method therefor, and semiconductor device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007165484A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4520093B2 (en) Polythiophenes and devices using the same
JP4584539B2 (en) Polythiophenes
EP2109162B1 (en) Organic semiconductor composite, organic transistor material and organic field effect transistor
EP2188322B1 (en) Novel arylamine polymer, method for producing the same, ink composition, film, electronic device, organic thin-film transistor, and display device
JP4269613B2 (en) Organic electroluminescence device
JP6706316B2 (en) Organic semiconductor device, polymer, organic semiconductor composition and organic semiconductor film
WO2017022761A1 (en) Organic thin-film transistor and method for producing same, organic thin-film transistor material, organic thin-film transistor composition, compound, and organic semiconductor film
JP2007116115A (en) Organic semiconductor material and organic field-effect transistor
CN100428521C (en) Organic semiconductor transistor element
EP1760103B1 (en) Arylamine polymer and organic thin film transistor
JP2007220904A (en) Organic electroluminescent device, manufacturing method thereof, and image display medium
EP3605630A1 (en) Organic semiconductor element, organic semiconductor composition, organic semiconductor film manufacturing method, organic semiconductor film, and compound and polymer for use therein
JP6751364B2 (en) Organic semiconductor device, organic semiconductor composition, method for producing organic semiconductor film, organic semiconductor film, and polymer used therefor
JP2007165484A (en) Organic semiconductor transistor element, manufacturing method therefor, and semiconductor device
JP5002882B2 (en) Organic electroluminescence device
JP2007142288A (en) Organic semiconductor transistor element, manufacturing method therefor and semiconductor device
JP2006086495A (en) Organic semiconductor transistor element and its manufacturing method
JP6573983B2 (en) Composition for forming organic semiconductor film, compound, organic semiconductor film, organic semiconductor element
JP2007115989A (en) Organic semiconductor transistor element, its manufacturing method and semiconductor device
JP2007335696A (en) Organic electric field light-emitting element, method of manufacturing the same, and image display medium
JP6328792B2 (en) Organic semiconductor device and compound
JP2006086496A (en) Organic semiconductor transistor element and its manufacturing method
JP6574052B2 (en) Organic semiconductor device, polymer, organic semiconductor composition, and organic semiconductor film
JP2005175456A (en) Organic semiconductor transistor element, semiconductor device using the same, and method of manufacturing semiconductor device
JP4882524B2 (en) Organic electroluminescent device, manufacturing method thereof, and image display medium

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20081212

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081215

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081212

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20110628