JP2007153961A - Elastomer with high dielectric constant - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dielectric elastomer which requires no application of a large force for deformation, shows a sufficient strength and has no risk of breaking or powder fall by deformation, even when it is largely deformed before use. <P>SOLUTION: The elastomer with a high dielectric constant is obtained by dispersing particles of a dielectric in a crosslinked rubber such as ethylene propylene. The dielectric has a particle size of 30-500 nm and a relative dielectric constant of ≥1,000 and is obtained by treating a metal titanate etc. to which a bismuth oxide is added with a silane coupling agent. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は高誘電率エラストマーに関する。   The present invention relates to a high dielectric constant elastomer.

従来から高誘電性エラストマーとしては、電波吸収などの電界緩和用途などでハロゲン原子、アクリロニトリルなどの極性成分を有する極性合成ゴムにチタン酸バリウム、カーボンブラック、金属酸化物及び金属粉末などの添加剤を加えた組成(例えば、特許文献1)などが知られている。   Conventionally, as high dielectric elastomers, additives such as barium titanate, carbon black, metal oxides and metal powders are added to polar synthetic rubbers having polar components such as halogen atoms and acrylonitrile for electric field relaxation applications such as radio wave absorption. An added composition (for example, Patent Document 1) is known.

一方、誘電体として繊維状のものと有機高分子材料とを複合させる試みも行われている。例えば、特許文献2〜4に繊維状チタン酸バリウムもしくは多結晶体チタン酸バリウム繊維の製造方法が開示されている。しかしながら、これらの誘電体繊維はいずれも強度の不十分な繊維であるか、アスペクト比の小さな繊維であるため、エラストマーに配合して可撓性を有する高誘電材料を製造する目的に応用の難しい材料であった。   On the other hand, attempts have been made to combine a fibrous material with an organic polymer material as a dielectric. For example, Patent Documents 2 to 4 disclose a method for producing fibrous barium titanate or polycrystalline barium titanate fibers. However, since these dielectric fibers are fibers with insufficient strength or small aspect ratios, they are difficult to apply for the purpose of blending with an elastomer to produce a flexible high dielectric material. It was a material.

また、引き裂き強度などの機械的強度に優れ、耐久性のある高誘電性エラストマー組成物を提供する目的で、エラストマーマトリックス中に、一般式MO・TiO(式中、MはBa,Sr,Ca,Mg,Co,Pd,Zn,Be,Cdからなる群から選ばれた一種又は二種以上の金属元素を示す。)で表されるチタン酸金属塩繊維状物及び/又は該チタン酸金属塩を非晶質酸化チタンが包み込んだ態様で複合一体化した複合繊維を、合計重量を基準として5〜80重量%配合してなる高誘電性エラストマー組成物(特許文献5)及びそれを用いた電子材料が知られている。 Further, for the purpose of providing a durable high dielectric elastomer composition having excellent mechanical strength such as tear strength, the general formula MO.TiO 2 (wherein M is Ba, Sr, Ca) is included in the elastomer matrix. , Mg, Co, Pd, Zn, Be, or Cd represents a metal element selected from the group consisting of two or more metal elements) and / or the metal titanate. A high dielectric elastomer composition (Patent Document 5) obtained by blending 5 to 80% by weight of a composite fiber that is composite-integrated in a form in which amorphous titanium oxide is encapsulated, and an electronic device using the same The material is known.

例えば、特許文献6に記載のエラストマーを2枚の電極で挟み、電極間に直流電圧を負荷することにより、電極間のクーロン力でエラストマーが圧縮され、圧縮されたエラストマーが電極間からはみ出るように伸び、力を発生する機構が開示されている。
特公昭58−24455号公報 特公昭62−7160号公報 特公昭62−55243号公報 特開昭63−260822号公報 特許第348391号明細書 米国特許第6812624号明細書
For example, by sandwiching the elastomer described in Patent Document 6 between two electrodes and applying a DC voltage between the electrodes, the elastomer is compressed by the Coulomb force between the electrodes, and the compressed elastomer protrudes from between the electrodes. A mechanism for generating elongation and force is disclosed.
Japanese Patent Publication No.58-24455 Japanese Examined Patent Publication No. 62-7160 Japanese Examined Patent Publication No. 62-55243 JP-A-63-260822 Japanese Patent No. 348391 US Pat. No. 6,812,624

しかしながら、誘電体を適切なサイズ及び粒径分布を選択していないため、エラストマーを大きく変形させて使用する場合には、強度が不足し、変形させると破損するおそれがあった。さらに、粉落ちを生じるおそれがあった。   However, since an appropriate size and particle size distribution are not selected for the dielectric, when the elastomer is used with a large deformation, the strength is insufficient, and there is a possibility that the dielectric will be damaged if deformed. Furthermore, there was a possibility of causing powder falling.

繊維状の誘電体を充填した場合には、エラストマーの伸び縮みをさえぎるため、変形に際し、大きな力を要し、かつ、変形させたときに破損するおそれがあった。   When the fibrous dielectric material is filled, the expansion and contraction of the elastomer is interrupted, so that a large force is required for the deformation, and there is a possibility of being damaged when the deformation is performed.

適切な誘電体を選ばない場合、誘電率が低くてエラストマーの誘電率が十分に向上しないおそれがあった。また、誘電体の誘電率の温度による変化や電界による変化が大きく、使用できる温度領域や、電界領域が限られるおそれがあった。   If an appropriate dielectric material is not selected, the dielectric constant is low and the dielectric constant of the elastomer may not be sufficiently improved. In addition, changes in the dielectric constant of the dielectric due to temperature and changes due to an electric field are large, and there is a possibility that the usable temperature range and the electric field range may be limited.

そこで本発明は、誘電性エラストマーの性能を改良することにある。   Therefore, the present invention is to improve the performance of the dielectric elastomer.

本発明は、架橋ゴムに、比誘電率が1,000以上であって粒径30〜500nmの範囲の誘電体の粒子を分散してなることを特徴とする高誘電率エラストマー、に関する。   The present invention relates to a high dielectric constant elastomer obtained by dispersing dielectric particles having a relative dielectric constant of 1,000 or more and a particle size in the range of 30 to 500 nm in a crosslinked rubber.

本発明の高誘電率エラストマーによれば、誘電体そのものを補強材として利用できるとともに、比誘電率及び圧縮時の変形量を向上させることができる。   According to the high dielectric constant elastomer of the present invention, the dielectric itself can be used as a reinforcing material, and the relative dielectric constant and the amount of deformation during compression can be improved.

本発明は、誘電性エラストマーを2枚の電極で挟み、電極間に電圧を負荷することにより、電極間のクーロン力でエラストマーが圧縮され、圧縮されたエラストマーが電極間からはみ出るように伸び、力を発生する機構に用いるエラストマーに関する。   In the present invention, a dielectric elastomer is sandwiched between two electrodes, and a voltage is applied between the electrodes, so that the elastomer is compressed by a Coulomb force between the electrodes, and the compressed elastomer extends so as to protrude from between the electrodes. The present invention relates to an elastomer used in a mechanism that generates

その機構においては、電場がかかったときに、(1)比較的小さな反発力で大きく変形することが求められており、また、繰返し作動のため、高い耐久性が必要である。また、電極間のクーロン力は、エラストマーの誘電率に比例し、かつ、負荷される電界の2乗に比例する。このため、(2)エラストマーの誘電率が高いと発生する力が高まる。また、高い電界を負荷すれば発生する力が高まるため、(3)エラストマーの絶縁耐圧を上げると負荷できる電界を上げられ、それによって発生する力を高めることができる。   In such a mechanism, when an electric field is applied, (1) it is required to be greatly deformed with a relatively small repulsive force, and high durability is required for repeated operation. The Coulomb force between the electrodes is proportional to the dielectric constant of the elastomer and proportional to the square of the applied electric field. For this reason, (2) the generated force increases when the dielectric constant of the elastomer is high. Further, since the force generated when a high electric field is loaded increases, (3) When the dielectric strength of the elastomer is increased, the loadable electric field can be increased, thereby increasing the generated force.

(1)を達成するには、適切なサイズの補強用充填材を適切な量を入れる必要がある。エラストマーを伸び易くするためには、充填材は粒状であることが求められ、一方、サイズが大きすぎると耐久性が低下するおそれがある。   In order to achieve (1), it is necessary to put an appropriate amount of an appropriately sized reinforcing filler. In order to make the elastomer easily stretched, the filler is required to be granular. On the other hand, if the size is too large, the durability may be lowered.

通常、エラストマーの誘電率はせいぜい8程度と高くないため、エラストマーの誘電性能を向上させるためには、高誘電率の誘電体をできる限り多くエラストマーに充填する必要がある。   Normally, the dielectric constant of an elastomer is not as high as about 8 at most, so in order to improve the dielectric performance of the elastomer, it is necessary to fill the elastomer with as much dielectric material as possible.

今回、高誘電率の誘電体の形状を粒状、そのサイズを粒径30〜500nm、その充填量を、通常、架橋ゴムの体積を基準にし、5〜20容量%と設定することで、誘電体を補強・耐久性付与と誘電率付与の目的で使用することができるようになり、高い誘電率を出すとともに、耐久性に優れたエラストマーを開発することができた。   This time, the shape of the dielectric with a high dielectric constant is granular, the size is 30 to 500 nm, and the filling amount is usually set to 5 to 20% by volume based on the volume of the crosslinked rubber. Can be used for the purpose of reinforcing / durability and providing a dielectric constant, and an elastomer having a high dielectric constant and excellent durability can be developed.

本発明の高誘電率エラストマーは、架橋ゴムに、比誘電率が1,000以上であって粒径30〜500nmの範囲の誘電体の粒子を分散してなることを特徴とする。ここで、高誘電率とは誘電率が1,000以上を示す誘電体をいう。本発明の高誘電率エラストマーは、架橋ゴムと該誘電体とを含む組成物ともいえる。   The high dielectric constant elastomer of the present invention is characterized in that dielectric particles having a relative dielectric constant of 1,000 or more and a particle size of 30 to 500 nm are dispersed in a crosslinked rubber. Here, the high dielectric constant means a dielectric having a dielectric constant of 1,000 or more. The high dielectric constant elastomer of the present invention can be said to be a composition comprising a crosslinked rubber and the dielectric.

本発明に用いることのできる架橋ゴムとしては、特に制限はなく、常温でゴム状の弾性を有する物質であれば有機物、無機物を問わず、また天然物であっても合成物であってもよい。   The crosslinked rubber that can be used in the present invention is not particularly limited, and may be an organic or inorganic substance as long as it is a substance having rubber-like elasticity at room temperature, and may be a natural product or a synthetic product. .

天然架橋ゴムとしては、塩化ゴム、塩酸ゴム、環化ゴム、マレイン酸化ゴム、水素化ゴム、天然ゴムの二重結合にPMMA,PAN、アクリル酸エステルなどのビニルモノマーをグラフトさせてなるグラフト変性ゴム、窒素気流中でモノマー存在下に天然ゴムを素練してなるブロックコポリマーなどを挙げることができる。これらは、天然ゴムを原料とするものの他、合成cis−1,4−ポリイソプレンを原料としたものを含む。   Natural cross-linked rubbers include chlorinated rubber, hydrochloric acid rubber, cyclized rubber, maleated rubber, hydrogenated rubber, and graft-modified rubber made by grafting vinyl monomers such as PMMA, PAN and acrylate to the double bond of natural rubber. And a block copolymer formed by masticating natural rubber in the presence of a monomer in a nitrogen stream. These include those made from synthetic cis-1,4-polyisoprene as well as those made from natural rubber.

合成架橋ゴムとしては、VDF−HFP,VDF−CTFE、VDF−PFVE,フルオロシリコーンゴム、TFE−PFVE,PTFE−P,フルオロアルコキシポリフォスファゼンなどのフッ素ゴム、イソブチレンゴム、エチレンプロピレンゴム、エチレンプロピレンジエンゴム、エチレンプロピレンターポリマー、クロロスルホン化ポリエチレンゴムなどのポリオレフィン系エラストマー、スチレン−イソプレン−スチレンブロックコポリマー(SIS)、スチレン−ブタジエン−スチレンコポリマー(SBS)、スチレン−エチレン−ブチレン−スチレンブロックコポリマー(SEBS)などのスチレン系エラストマー、イソプレンゴム、ウレタンゴム、エピクロロヒドリンゴム、クロロプレンゴム、シリコーンゴム、ナイロン12、ブチルゴム、ブタジエンゴム、フッ素ゴム、ポリノルボルネンゴム、アクロロニトリル−ブタジエンゴムなどを挙げることができる。ここで、VDF:ビニデンフルオライド、HFP:ヘキサフルオロプロピレン、CTFE:クロロトリフルオロエチレン、PFVE:パーフルオロメチルビニリエーテル、TFE:テトラフルオロエチレン、PTFE−P:ポリテトラフルオロエチレン−プロピレンである。   Synthetic crosslinked rubber includes fluorine rubber such as VDF-HFP, VDF-CTFE, VDF-PFVE, fluorosilicone rubber, TFE-PFVE, PTFE-P, fluoroalkoxypolyphosphazene, isobutylene rubber, ethylene propylene rubber, ethylene propylene diene Polyolefin elastomers such as rubber, ethylene propylene terpolymer, chlorosulfonated polyethylene rubber, styrene-isoprene-styrene block copolymer (SIS), styrene-butadiene-styrene copolymer (SBS), styrene-ethylene-butylene-styrene block copolymer (SEBS) ) Styrene elastomer, isoprene rubber, urethane rubber, epichlorohydrin rubber, chloroprene rubber, silicone rubber, nylon 12 Butyl rubber, butadiene rubber, fluorine rubber, polynorbornene rubber, A chloronitrile - butadiene rubber and the like. Here, VDF: vinylidene fluoride, HFP: hexafluoropropylene, CTFE: chlorotrifluoroethylene, PFVE: perfluoromethylvinyl ether, TFE: tetrafluoroethylene, PTFE-P: polytetrafluoroethylene-propylene. .

これらの架橋ゴムは、一種または二種以上を混合して用いてもよい。また、架橋ゴムの持つ弾力性を損なわない範囲で熱可塑性樹脂の一種又は二種以上を配合して用いることができる。   These crosslinked rubbers may be used alone or in combination of two or more. Further, one or two or more thermoplastic resins can be blended and used within a range that does not impair the elasticity of the crosslinked rubber.

本発明のエラストマーに用いることができる架橋ゴムとしては、天然架橋ゴム及び合成非極性エラストマーよりなる群から選ばれる一種又は二種以上を用いた場合には、電気絶縁性に優れた高誘電性エラストマーを得ることができ、特に絶縁性の要求される用途に好ましくい。合成非極性のエラストマーとしては、エチレンプロピレンゴム、エチレンプロピレンジエンゴム、イソブチレンゴム、イソプレンゴム、シリコーンゴムなどを挙げることができる。   As the crosslinked rubber that can be used in the elastomer of the present invention, when one or two or more kinds selected from the group consisting of natural crosslinked rubber and synthetic non-polar elastomer are used, a highly dielectric elastomer excellent in electrical insulation. This is particularly suitable for applications requiring insulation. Examples of synthetic nonpolar elastomers include ethylene propylene rubber, ethylene propylene diene rubber, isobutylene rubber, isoprene rubber, and silicone rubber.

本発明で用いることができる誘電体としては、比誘電率が1,000以上であって、粒径が30〜500nmの範囲にあるものである。該粒状誘電体を、架橋ゴムに所定量充填、分散させることで、誘電体そのものを補強材として用いることができるとともに、比誘電率及び圧縮時の変形量を向上させることができる。具体的には、比誘電率が8以上、かつ、圧縮時の圧縮方向及び垂直方向への変化量が20%以上の特性を示すエラストマーを作製できる。また、誘電体の粒径が揃っていない場合、変形時に粒子同士が干渉し、変形を妨げると考えられる。分散状態は、架橋ゴムと該誘電体を十分に攪拌し、ほぼ均一に該誘電体を架橋ゴム中に分散させることが好ましい。このように分散されることにより、該誘電体の添加効果を十分に発揮させることができる。誘電体の具体例としては、一般式MO・TiO(式中、MはBa,Sr,Ca,Mg,Co,Pd,Zn,Be及びCdよりなる群から選ばれた一種又は二種以上の金属元素を示す。)で表されるチタン酸金属塩、該チタン酸金属塩にBiを加えた(Sr1−x)TiO−Bi−nTiO(式中、MはBa,Ca,Mg,Pb,Zn,Cuよりなる群から選ばれた一種又は二種以上の金属元素を示す。)で表される化合物、前記化合物にさらに、ニオブ、タンタル、鉄、アルミニウム、ナトリウム、ケイ素よりリンなる群から選ばれた少なくとも1種を添加したものなどが挙げられる。これは、例えば、BaTiOのように一種のみの金属元素からなるチタン酸塩の場合、温度や電場による比誘電率の変化が大きいため、変化がより少ないこれらのBi−nTiOを含むものの方が好ましい。温度や電場による比誘電率の変化が小さい高誘電率材料としては、BaTiO(特許第3341003号)、または、Li(1−x−y)TiNiOのように、ニッケル酸化物、チタン、リチウムなどをドーピングしたものも使用できる。上記の化合物の中で、(Sr1−x)TiO−Bi−nTiO(式中、MはBa,Ca,Mg,Pb,Zn,Cuよりなる群から選ばれた一種又は二種以上の金属元素を示す。)で表される化合物または前記化合物にさらに、ニオブ、タンタル、鉄、アルミニウム、ナトリウム、ケイ素よりリンなる群から選ばれた少なくとも1種を添加したものが、比誘電率及び変位を向上させる点から好ましい。なお、比誘電率は、1000〜8000の範囲のものを用いることが好ましい。より広い温度範囲で使用することを考慮すると、比誘電率が8000を超える誘電体は、比誘電率の温度による変化が大きく、用途によっては問題となる場合がある。 The dielectric that can be used in the present invention has a relative dielectric constant of 1,000 or more and a particle size in the range of 30 to 500 nm. By filling and dispersing a predetermined amount of the granular dielectric in the crosslinked rubber, the dielectric itself can be used as a reinforcing material, and the relative dielectric constant and the amount of deformation during compression can be improved. Specifically, it is possible to produce an elastomer having a characteristic that the relative dielectric constant is 8 or more and the amount of change in the compression direction and the vertical direction during compression is 20% or more. Further, when the particle diameters of the dielectrics are not uniform, it is considered that the particles interfere with each other at the time of deformation, thereby preventing the deformation. In the dispersion state, it is preferable that the crosslinked rubber and the dielectric are sufficiently stirred to disperse the dielectric in the crosslinked rubber almost uniformly. By being dispersed in this manner, the effect of adding the dielectric can be sufficiently exhibited. Specific examples of the dielectric include a general formula MO · TiO 2 (wherein M is one or more selected from the group consisting of Ba, Sr, Ca, Mg, Co, Pd, Zn, Be, and Cd). shows a metal element. metal titanate represented by), in said metal titanate was added Bi 2 O 3 in (Sr 1-x M x) TiO 3 -Bi 2 O 3 -nTiO 2 ( wherein, M represents one or two or more metal elements selected from the group consisting of Ba, Ca, Mg, Pb, Zn, and Cu. In addition, niobium, tantalum, iron, aluminum And at least one selected from the group consisting of phosphorous, sodium and silicon. This is because, for example, in the case of a titanate composed of only one metal element such as BaTiO 3 , the change in relative permittivity due to temperature and electric field is large, so that these Bi 2 O 3 -nTiO 2 with less change are changed. The inclusion is preferred. As a high dielectric constant material whose change in relative dielectric constant due to temperature and electric field is small, nickel oxide, such as BaTiO 3 (Japanese Patent No. 334003) or Li (1-xy) Ti y Ni x O, A material doped with titanium, lithium, or the like can also be used. Among the above compounds, (Sr 1-x M x ) TiO 3 —Bi 2 O 3 —nTiO 2 (wherein M is a kind selected from the group consisting of Ba, Ca, Mg, Pb, Zn, Cu) Or two or more kinds of metal elements.) Or a compound obtained by adding at least one selected from the group consisting of niobium, tantalum, iron, aluminum, sodium, and silicon to the compound represented by This is preferable from the viewpoint of improving the relative permittivity and displacement. The relative dielectric constant is preferably in the range of 1000 to 8000. Considering the use in a wider temperature range, a dielectric having a relative dielectric constant exceeding 8000 has a large change in the relative dielectric constant depending on the temperature, which may cause a problem depending on the application.

次に、誘電体粒子をシランカップリング剤による処理は次の方法で行う。   Next, the dielectric particles are treated with a silane coupling agent by the following method.

シランカップリング剤は、希薄水溶液にして使用する。シランカップリング剤の水溶液濃度は、通常、0.1〜2.0%程度が一般的である。水に対して相溶性の乏しいシランカップリング剤の場合には、0.1〜2.0%程度の酢酸水や、水−アルコール(酢酸水−アルコール)混合液で希釈して用いる。酢酸は、シランカップリング剤の加水分解促進とシラノールの安定性を高めるpH領域にする二つの効果を有する。   The silane coupling agent is used as a dilute aqueous solution. The aqueous solution concentration of the silane coupling agent is generally about 0.1 to 2.0%. In the case of a silane coupling agent having poor compatibility with water, it is diluted with about 0.1 to 2.0% acetic acid water or a water-alcohol (acetic acid water-alcohol) mixture. Acetic acid has two effects in the pH range that enhances the hydrolysis of the silane coupling agent and the stability of silanol.

具体的には、次の方法で調製する。
(1)酢酸濃度1.0%の水溶液を準備する。
シランカップリング剤の溶解性が良好な場合、酢酸濃度を低下させることができる。アミノシランカップリング剤の場合には酢酸の添加は必要がない。
(2)酢酸水溶液をよく攪拌しながら、シランカップリング剤を滴下する。
シランカップリング剤の濃度は、通常、1.0%とする。攪拌速度は、液を跳ね上げない状態でできるだけ速く行う。また、滴下時間が短いとシランカップリング剤の分散が不良となり、ゲル状の生成が多くなる。
(3)滴下終了後、さらに50分間攪拌を継続する。
水溶液がほぼ透明になった時点で、シランカップリング剤の加水分解は終了している。
(4)調整した液に、誘電体粉末を混合し、攪拌後、遠心分離機で分離し、誘電体部を取り出し、乾燥炉で乾燥させる。
Specifically, it is prepared by the following method.
(1) Prepare an aqueous solution with an acetic acid concentration of 1.0%.
When the solubility of the silane coupling agent is good, the acetic acid concentration can be lowered. In the case of an aminosilane coupling agent, it is not necessary to add acetic acid.
(2) A silane coupling agent is dropped while thoroughly stirring the aqueous acetic acid solution.
The concentration of the silane coupling agent is usually 1.0%. The stirring speed is as fast as possible without splashing the liquid. On the other hand, when the dropping time is short, the dispersion of the silane coupling agent becomes poor, and the gel-like generation increases.
(3) After the completion of dripping, stirring is continued for another 50 minutes.
When the aqueous solution becomes almost transparent, the hydrolysis of the silane coupling agent is completed.
(4) The prepared powder is mixed with dielectric powder, stirred and separated by a centrifugal separator, and the dielectric part is taken out and dried in a drying furnace.

シランカップリング剤には、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、p−スチリルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、N−2(アミノエチル)3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2(アミノエチル)3−アミノプロピルメトキシシラン、N−2(アミノエチル)3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−トリエトキシシリル−N−(1,3−ジメチル−ブチリデン)プロピルアミン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド、3−イソシアネートプロピルトリエトキシシランなどが挙げられる。ゴムがEPDMの場合、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシランまたは3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシランが好ましい。   Silane coupling agents include 3-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, 3-methacryloxypropyltriethoxysilane, vinyltrichlorosilane, vinyltriethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, p-styryltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacrylic Roxypropyltrimethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, N-2 (aminoethyl) 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2 (aminoethyl) 3-aminopropylmethoxysilane, N 2 (aminoethyl) 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-triethoxysilyl-N- (1,3-dimethyl-butylidene) propylamine, N -Phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, bis (triethoxysilylpropyl) tetrasulfide, 3-isocyanatopropyltri And ethoxysilane. When the rubber is EPDM, 3-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane or 3-methacryloxypropyltriethoxysilane is preferred.

誘電体をシランカップリング剤で処理することにより、誘電性エラストマーに対する補強効果が高まり、圧縮時の耐久性が増加する効果がある。   By treating the dielectric with a silane coupling agent, the effect of reinforcing the dielectric elastomer is enhanced, and the durability during compression is increased.

このように、前記粒状誘電体を所定量充填、分散させることで、誘電体そのものを補強材として用いることができるとともに、比誘電率が8以上、かつ、圧縮時の圧縮方向及び垂直方向への変化量が20%以上のエラストマーを作製することができる。   Thus, by filling and dispersing a predetermined amount of the granular dielectric, the dielectric itself can be used as a reinforcing material, and the relative dielectric constant is 8 or more, and the compression direction and the vertical direction during compression are increased. An elastomer having a change amount of 20% or more can be produced.

前記誘電体の添加量が、前記架橋ゴムの体積を基準にし、5〜20体積%の範囲を占め、かつ、前記誘電体の粒子の最大径と最小径とのアスペクト比が3以下であることが好ましい。アスペクト比について、最大径と最小径が同じの場合には、アスペクト比は1となり、この値が最小値となる。これにより、本発明のエラストマーを使用する機構において、出力が高められる。また、実施例では変形量が多いため、同じ変形量で使用する場合、変形量に対する余裕があり、耐久性も確保できる。   The added amount of the dielectric occupies a range of 5 to 20% by volume based on the volume of the crosslinked rubber, and the aspect ratio between the maximum diameter and the minimum diameter of the dielectric particles is 3 or less. Is preferred. Regarding the aspect ratio, when the maximum diameter and the minimum diameter are the same, the aspect ratio is 1, and this value is the minimum value. Thereby, in the mechanism using the elastomer of the present invention, the output is enhanced. In addition, since the amount of deformation is large in the embodiment, when the same amount of deformation is used, there is a margin for the amount of deformation, and durability can be ensured.

また、本発明の高誘電率エラストマーは、前記誘電体以外の補強用充填剤であって、粒径10nm以上のものを含まないことが好ましい、上限としては通常補強材として用いられる範囲、例えば10μmまでの範囲のものを含まないことが望ましい。該補強用充填剤を含まないようにすることにより、エラストマーの圧縮時の伸びをさらに高めることができ、また、より低い力で伸ばすことができる。なお、通常、ゴム材料の補強用充填剤としては、ゴムを硬くする目的で加えられるものであれば特に制限されることなく、カーボンブラック、炭酸カルシウムなどが例示できる。   The high dielectric constant elastomer of the present invention is preferably a reinforcing filler other than the dielectric and does not include those having a particle size of 10 nm or more. The upper limit is a range usually used as a reinforcing material, for example, 10 μm. It is desirable not to include those up to. By not including the reinforcing filler, the elongation of the elastomer during compression can be further increased, and the elastomer can be stretched with a lower force. In general, the reinforcing filler for the rubber material is not particularly limited as long as it is added for the purpose of hardening the rubber, and examples thereof include carbon black and calcium carbonate.

以下、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明は実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated in detail based on an Example, this invention is not limited to an Example.

(実施例及び比較例)
エラストマーとしては、エチレンプロピレンを使用し、誘電体以外は次の配合とした。
(Examples and Comparative Examples)
As the elastomer, ethylene propylene was used, and the following composition was used except for the dielectric.

JSR製エチレンプロピレン生ゴムEP93 100質量部に、ナフテン系プロセスオイル20質量部、ステアリン酸を1質量部、酸化亜鉛を5質量部、加硫系としてテトラメチルチウラムジスルフィド(TT)、テトラエチルチウラムジスルフィド(TET)、N−シクロヘキシルベンゾチアジルスルフェンアミド(CZ)をそれぞれ2質量部、誘電体を添加する。   JSR ethylene propylene raw rubber EP93 100 parts by mass, 20 parts by mass of naphthenic process oil, 1 part by mass of stearic acid, 5 parts by mass of zinc oxide, tetramethylthiuram disulfide (TT), tetraethylthiuram disulfide (TET) as vulcanization system ), 2 parts by mass of N-cyclohexylbenzothiazylsulfenamide (CZ) and a dielectric.

誘電体は素練で添加し、その後、上記加硫系を加え、混練した後、シート状に成形し、加硫を行った。   The dielectric was added by mastication, and then the above vulcanization system was added and kneaded, then formed into a sheet and vulcanized.

(実施例1,3,4,5)
誘電体は、特開2004−161533の手法を参照し、次のように条件を振り、異なる粒径のものを作製した。
(Examples 1, 3, 4, and 5)
The dielectrics were made with different particle sizes by referring to the method of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-161533 under the following conditions.

0.01〜0.05mol/リットルの硝酸バリウム、0.01〜0.05mol/リットルのチタニウムテトライソプロポオキシドを1mol/リットルの硝酸溶液に溶解させ(Ba/Tiの比=1)、0.075〜0.1mol/リットルの硝酸カリウムと0.075〜0.1mol/リットルの硝酸ナトリウムを添加した(Tiに対して硝酸塩がモル比で4〜15)。   0.01 to 0.05 mol / liter of barium nitrate and 0.01 to 0.05 mol / liter of titanium tetraisopropoxide are dissolved in 1 mol / liter of nitric acid solution (Ba / Ti ratio = 1). 075 to 0.1 mol / liter of potassium nitrate and 0.075 to 0.1 mol / liter of sodium nitrate were added (nitrate with respect to Ti in a molar ratio of 4 to 15).

この溶液を超音波噴霧器により噴霧し液滴化させ、1〜10リットル/min.の窒素ガスをキャリアガスとして加熱炉に供給した。加熱炉は5段炉、炉心管は内径(D),加熱部分の長さ(L)の比L/Dを15〜77としたセラミック管を用いた。加熱温度は1,000℃とした。   This solution is sprayed with an ultrasonic atomizer to form droplets, and 1 to 10 liters / min. Was supplied as a carrier gas to the heating furnace. The heating furnace was a five-stage furnace, and the core tube was a ceramic tube having an inner diameter (D) and a ratio L / D of the length (L) of the heated portion of 15 to 77. The heating temperature was 1,000 ° C.

加熱炉を出た粒子は静電捕集器で捕集し、製造した粒子は超音波洗浄及び遠心分離により洗浄後、乾燥させた。   The particles exiting the heating furnace were collected by an electrostatic collector, and the produced particles were washed by ultrasonic washing and centrifugation and then dried.

なお、実施例5においては、さらにシランカップリング剤処理を行った。シランカップリング剤の種類としては3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシランを、酢酸濃度は1.0%の水溶液を、シランカップリング剤の濃度は1.0%のものを用いた。   In Example 5, a silane coupling agent treatment was further performed. As the type of silane coupling agent, 3-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, an aqueous solution having an acetic acid concentration of 1.0%, and an silane coupling agent having a concentration of 1.0% were used.

(実施例2)
誘電体としては、平均粒径410nmのBaTiO(粒状)(共立マテリアル製)を用いた。
(Example 2)
As the dielectric, BaTiO 3 (granular) (manufactured by Kyoritsu Material) having an average particle diameter of 410 nm was used.

(実施例6)
誘電体は、下記の方法で調製した。
(Example 6)
The dielectric was prepared by the following method.

(Sr1−xBa)TiO(x=0.5)は、0.05mol/リットルの硝酸バリウム、0.05mol/リットルの硝酸ストロンチウム、0.1mol/リットルのチタニウムテトライソプロポオキシドを1mol/リットルの硝酸溶液に溶解させ(Ba:Sr:Tiに比=1:1:2)、0.75mol/リットルの硝酸カリウムと0.75mol/リットルの硝酸ナトリウムを添加した(Tiに対して硝酸塩がモル比で15)。 (Sr 1-x Ba x ) TiO 3 (x = 0.5) is composed of 1 mol of 0.05 mol / liter of barium nitrate, 0.05 mol / liter of strontium nitrate, 0.1 mol / liter of titanium tetraisopropoxide. / Liter of nitric acid solution (Ba: Sr: Ti ratio = 1: 1: 2), and 0.75 mol / liter of potassium nitrate and 0.75 mol / liter of sodium nitrate were added (nitrate relative to Ti 15) in molar ratio.

この溶液を超音波噴霧器により噴霧し液滴化させ、1リットル/min.の窒素ガスをキャリアガスとして加熱炉に供給した。加熱炉は5段炉、炉心管は内径(D),加熱部分の長さ(L)の比L/Dを15〜77としたセラミック管を用いた。加熱温度は1,000℃とした。   This solution was sprayed with an ultrasonic atomizer to form droplets, and 1 liter / min. Was supplied as a carrier gas to the heating furnace. The heating furnace was a five-stage furnace, and the core tube was a ceramic tube having an inner diameter (D) and a ratio L / D of the length (L) of the heated portion of 15 to 77. The heating temperature was 1,000 ° C.

加熱炉を出た粒子は静電捕集器で捕集し、製造した粒子は超音波洗浄及び遠心分離により洗浄後、乾燥させた。   The particles exiting the heating furnace were collected by an electrostatic collector, and the produced particles were washed by ultrasonic washing and centrifugation and then dried.

(実施例7)
誘電体は、特許第3341003号明細書を参考とし、下記の方法で調製した。
(Example 7)
The dielectric was prepared by the following method with reference to Japanese Patent No. 334003.

出発原料として、それぞれ平均粒径0.1〜1μmの主成分原料(BaTiO)100molおよび第1〜5副成分原料として、MgOおよびMnOの原料に炭酸塩(第1副成分:MgCOを1.0mol、第4副成分:MnCOを0.374mol)を用い、他の原料には酸化物(第2副成分:Yを2.0mol、第3副成分:(Ba0.6Ca0.4)SiOを3mol、第5副成分:Vを0.1mol)を用いた。第3副成分である(Ba0.6Ca0.4)SiOは、BaCO、CaCOおよびSiOをボールミルにより16時間湿式混合し、乾燥後、1150℃において空気中で焼成し、さらに、ボールミルにより100時間湿式粉砕することにより製造した。これらの原料を配合して、ボールミルにより16時間湿式混合し、乾燥させて誘電体材料とした。 As starting materials, 100 mol of main component materials (BaTiO 3 ) each having an average particle size of 0.1 to 1 μm and as the first to fifth subcomponent materials, carbonate (first subcomponent: MgCO 3 is 1) 0.0 mol, the fourth subcomponent: 0.374 mol of MnCO 3 , and the other raw materials are oxide (second subcomponent: Y 2 O 3 of 2.0 mol, third subcomponent: (Ba 0.6) Ca 0.4 ) SiO 3 (3 mol) and fifth subcomponent: V 2 O 5 (0.1 mol) were used. The third subcomponent (Ba 0.6 Ca 0.4 ) SiO 3 is obtained by wet-mixing BaCO 3 , CaCO 3 and SiO 2 with a ball mill for 16 hours, drying, and firing in air at 1150 ° C., It was manufactured by wet grinding with a ball mill for 100 hours. These raw materials were blended, wet mixed by a ball mill for 16 hours, and dried to obtain a dielectric material.

得られた乾燥後の誘電体材料100質量部と、アクリル樹脂4.8質量部と、塩化メチレン40質量部と、酢酸エチル20質量部と、ミネラルスピリット6質量部と、アセトン4質量部とをボールミルで混合してペースト化し、誘電体層用ペーストを得た。   100 parts by weight of the obtained dielectric material after drying, 4.8 parts by weight of acrylic resin, 40 parts by weight of methylene chloride, 20 parts by weight of ethyl acetate, 6 parts by weight of mineral spirit, and 4 parts by weight of acetone The paste was mixed by a ball mill to obtain a dielectric layer paste.

次いで、上記誘電体層用ペーストを用いてPETフィルム上に、厚さ5μmのグリーンシートを形成し、PETフィルムからグリーンシートを剥離した。次いで、これらのグリーンシートを50層積層し、圧着してグリーンチップを得た。   Next, a green sheet having a thickness of 5 μm was formed on the PET film using the dielectric layer paste, and the green sheet was peeled off from the PET film. Next, 50 layers of these green sheets were laminated and pressed to obtain a green chip.

上記グリーンチップを所定サイズに切断し、脱バインダ処理、焼成及びアニールを行って、積層セラミック焼成体を得た。脱バインダ処理は、昇温速度15℃/時間、保持温度350℃、保持時間2時間、加湿したN+H混合ガス雰囲気(酸素分圧は10〜31Pa)の条件で行った。焼成は、昇温速度200℃/時間、保持温度1260〜1340℃、保持時間2時間、冷却速度300℃/時間、加湿したN+H混合ガス雰囲気(酸素分圧は10〜6Pa)の条件で行った。アニールは、保持温度1050℃、温度保持時間2時間、冷却速度300℃/時間、窒素雰囲気の条件で行った。なお、脱バインダ処理および焼成の際の雰囲気の加湿には、水温を35℃としてウェッターを用いた。 The green chip was cut into a predetermined size and subjected to binder removal processing, firing and annealing to obtain a multilayer ceramic fired body. The binder removal treatment was performed under the conditions of a heating rate of 15 ° C./hour, a holding temperature of 350 ° C., a holding time of 2 hours, and a humidified N 2 + H 2 mixed gas atmosphere (oxygen partial pressure of 10 to 31 Pa). Firing is performed under conditions of a temperature rising rate of 200 ° C./hour, a holding temperature of 1260 to 1340 ° C., a holding time of 2 hours, a cooling rate of 300 ° C./hour, and a humidified N 2 + H 2 mixed gas atmosphere (oxygen partial pressure is 10 to 6 Pa). I went there. The annealing was performed under the conditions of a holding temperature of 1050 ° C., a temperature holding time of 2 hours, a cooling rate of 300 ° C./hour, and a nitrogen atmosphere. Note that a wetter was used at a water temperature of 35 ° C. for humidifying the atmosphere during binder removal and firing.

得られたチップを粉砕し、平均粒径80nmの誘電体粒子を得た。   The obtained chip was pulverized to obtain dielectric particles having an average particle diameter of 80 nm.

(比較例2、4、5)
誘電体は、特開2004−161533の手法を参照し、次のように条件を振り、異なる粒径のものを作製した。
(Comparative Examples 2, 4, 5)
The dielectrics were made with different particle sizes by referring to the method of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-161533 under the following conditions.

0.01〜0.05mol/リットルの硝酸バリウム、0.01〜0.05mol/リットルのチタニウムテトライソプロポオキシドを1mol/リットルの硝酸溶液に溶解させ(Ba/Tiの比=1)、0.075〜0.1mol/リットル硝酸カリウムと0.075〜0.1mol/リットルの硝酸ナトリウムを添加した(Tiに対して硝酸塩がモル比で4〜15)。   0.01 to 0.05 mol / liter of barium nitrate and 0.01 to 0.05 mol / liter of titanium tetraisopropoxide are dissolved in 1 mol / liter of nitric acid solution (Ba / Ti ratio = 1). 075 to 0.1 mol / liter potassium nitrate and 0.075 to 0.1 mol / liter sodium nitrate were added (nitrate is 4 to 15 in molar ratio to Ti).

この溶液を超音波噴霧器により噴霧し液滴化させ、1〜10リットル/min.の窒素ガスをキャリアガスとして加熱炉に供給した。加熱炉は5段炉、炉心管は内径(D),加熱部分の長さ(L)の比L/Dを15〜77としたセラミック管を用いた。加熱温度は1,000℃とした。   This solution is sprayed with an ultrasonic atomizer to form droplets, and 1 to 10 liters / min. Was supplied as a carrier gas to the heating furnace. The heating furnace was a five-stage furnace, and the core tube was a ceramic tube having an inner diameter (D) and a ratio L / D of the length (L) of the heated portion of 15 to 77. The heating temperature was 1,000 ° C.

加熱炉を出た粒子は静電捕集器で捕集し、製造した粒子は超音波洗浄及び遠心分離により洗浄後、乾燥させた。   The particles exiting the heating furnace were collected by an electrostatic collector, and the produced particles were washed by ultrasonic washing and centrifugation and then dried.

(比較例3)
誘電体としては、平均粒径800nmのBaTiO(粒状)(共立マテリアル製)を用いた。
(Comparative Example 3)
As the dielectric, BaTiO 3 (granular) (manufactured by Kyoritsu Material) having an average particle diameter of 800 nm was used.

(比較例6)
誘電体は、特開平9−31244号公報を参照し、下記の方法で得た。
(Comparative Example 6)
The dielectric was obtained by the following method with reference to JP-A-9-31244.

繊維状(Sr1−xBa)TiOは、特開平9−31244号公報の参考例1を参照して用意し、平均繊維径0.4μm、平均繊維長7μmのものを得た。 Fibrous (Sr 1-x Ba x ) TiO 3 was prepared with reference to Reference Example 1 of JP-A-9-31244 to obtain an average fiber diameter of 0.4 μm and an average fiber length of 7 μm.

実施例1〜7及び比較例1〜6において、配合した成分の比率及び得られた結果を表1に示す。ここで、誘電体のアスペクト比の測定は、TEM観察により、各誘電体の比誘電率は、焼成後、粉砕する前に、東陽テクニカ製1296+1260を用い、常温で測定し、得られたエラストマー組成物の性能は、比誘電率(東陽テクニカ製1296+1260)及び圧縮荷重を加えたときの亀裂発生変位(Δx/x)「図1参照」で比較した。   In Examples 1-7 and Comparative Examples 1-6, the ratio of the component mix | blended and the obtained result are shown in Table 1. Here, the aspect ratio of the dielectric was measured by TEM observation. The dielectric constant of each dielectric was measured at room temperature using 1296 + 1260 manufactured by Toyo Technica after firing and before pulverization. The performance of the product was compared by relative permittivity (1296 + 1260 manufactured by Toyo Technica) and crack initiation displacement (Δx / x) when a compressive load was applied (see FIG. 1).

図1は変位の測定方法を説明する概略図面である。図1(A)は圧縮前の状態を示し、図1(B)は荷重圧縮後の状態を示す。サンプルであるエラストマー円柱直径x=6mm、高さ2mmである。測定はノギスを用いて行った。   FIG. 1 is a schematic view for explaining a displacement measuring method. FIG. 1A shows a state before compression, and FIG. 1B shows a state after load compression. The sample is an elastomer cylinder diameter x = 6 mm and a height of 2 mm. The measurement was performed using calipers.

Figure 2007153961
Figure 2007153961

表1において
*:繊維径0.4μm、長さ7μm
**:変位NGのため未測定
比較例1は、エチレンプロピレンゴムである。
In Table 1 *: Fiber diameter 0.4 μm, length 7 μm
**: Unmeasured due to displacement NG Comparative Example 1 is ethylene propylene rubber.

誘電体の添加量:誘電体のvol%=誘電体の体積×100/(ゴム体積+誘電体の体積)、ここで、ゴムの体積=ゴムの質量/ゴム比重、誘電体の質量/誘電体の比重。   Addition amount of dielectric: vol% of dielectric = dielectric volume × 100 / (rubber volume + dielectric volume), where rubber volume = rubber mass / rubber specific gravity, dielectric mass / dielectric Specific gravity.

表1から、実施例1〜7のエラストマーは比誘電率が8.6〜33の範囲にあり、かつ、変形量が0.21〜0.33の範囲にあることがわかる。それに対し、比較例1〜6のエラストマーは、比較例1の場合を除き、相対的に耐久性の値が低かった。   From Table 1, it can be seen that the elastomers of Examples 1 to 7 have a relative dielectric constant in the range of 8.6 to 33 and a deformation amount in the range of 0.21 to 0.33. On the other hand, the elastomers of Comparative Examples 1 to 6 had relatively low durability values except for Comparative Example 1.

変位の測定方法を説明する概略図面である。It is a schematic drawing explaining the measuring method of displacement.

符号の説明Explanation of symbols

1:エラストマー円柱、
2:円板ジグ。
1: elastomer cylinder,
2: Disc jig.

Claims (4)

架橋ゴムに、比誘電率が1,000以上であって粒径30〜500nmの範囲の誘電体の粒子を分散してなることを特徴とする高誘電率エラストマー。   A high dielectric constant elastomer obtained by dispersing dielectric particles having a relative dielectric constant of 1,000 or more and a particle size in the range of 30 to 500 nm in a crosslinked rubber. 前記誘電体の添加量が、前記架橋ゴムの体積を基準にし、5〜20体積%の範囲を占め、かつ、前記誘電体の粒子の最大径と最小径とのアスペクト比が3以下であることを特徴とする請求項1記載のエラストマー。   The added amount of the dielectric occupies a range of 5 to 20% by volume based on the volume of the crosslinked rubber, and the aspect ratio between the maximum diameter and the minimum diameter of the dielectric particles is 3 or less. The elastomer according to claim 1. 前記誘電体以外の補強用充填剤であって、粒径10nm以上のものを含まないことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のエラストマー。   The elastomer according to claim 1 or 2, wherein the filler is a reinforcing filler other than the dielectric and does not contain a particle having a particle diameter of 10 nm or more. 前記誘電体の粒子は、シランカップリング剤で処理されてなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のエラストマー。   The elastomer particles according to claim 1, wherein the dielectric particles are treated with a silane coupling agent.
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