JP2007148215A - Light-emitting device and electronic apparatus - Google Patents

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峻 銭
Shinsuke Fujikawa
紳介 藤川
Ryoichi Nozawa
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    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
    • H01L27/12Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
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    • H01L27/1255Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs integrated with passive devices, e.g. auxiliary capacitors

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To make a drive transistor of desired characteristics, without disadvantages, such as decrease in aperture ratio. <P>SOLUTION: The drive transistor Tdr for controlling the amperage that is supplied to the light-emitting device E from a power line 15 is formed on a surface of a substrate 10. The drive transistor Tdr includes a semiconductor layer 31, where a channel region 31c is formed between the source region 31s and the drain region 31d, and a gate electrode 511 facing the channel region 31c across a gate insulating layer Lg. The power line 15 extends therethrough, so as to overlap with the channel region 31c, when viewed from a direction perpendicular to the substrate 10. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、有機EL(ElectroLuminescent)材料など各種の発光材料からなる発光層を
備えた発光装置の構造に関する。
The present invention relates to a structure of a light emitting device provided with a light emitting layer made of various light emitting materials such as an organic EL (ElectroLuminescent) material.

発光素子に供給される電流量を制御するためのトランジスタ(以下「駆動トランジスタ
」という)が発光素子ごとに配置されたアクティブマトリクス方式の発光装置が従来から
提案されている。例えば特許文献1には、電源線から発光素子に至る経路上に駆動トラン
ジスタを配置した構成が開示されている。駆動トランジスタの半導体層は、ゲート絶縁層
を挟んでゲート電極に対向するチャネル領域と、チャネル領域の両側に位置するドレイン
領域およびソース領域とを含む。発光素子の電極(例えば陽極)は、トランジスタを覆う
絶縁層のコンタクトホールを介して半導体層のドレイン領域に導通する。また、絶縁層の
面上には半導体層のソース領域と重なり合う電源線が形成される。この電源線は、絶縁層
のコンタクトホールを介してソース領域に導通する。
特開2000−356963号公報(図1)
2. Description of the Related Art Conventionally, an active matrix light emitting device in which a transistor for controlling the amount of current supplied to a light emitting element (hereinafter referred to as “driving transistor”) is arranged for each light emitting element has been proposed. For example, Patent Document 1 discloses a configuration in which a driving transistor is arranged on a path from a power supply line to a light emitting element. The semiconductor layer of the driving transistor includes a channel region facing the gate electrode with the gate insulating layer interposed therebetween, and a drain region and a source region located on both sides of the channel region. An electrode (for example, an anode) of the light-emitting element is electrically connected to a drain region of the semiconductor layer through a contact hole in an insulating layer that covers the transistor. In addition, a power supply line overlapping with the source region of the semiconductor layer is formed on the surface of the insulating layer. This power supply line is conducted to the source region through a contact hole in the insulating layer.
JP 2000-356963 A (FIG. 1)

ところで、駆動トランジスタのチャネル幅やチャネル長は発光素子に供給される電流量
に応じて決定される。例えば発光素子に充分な電流を供給するためには、その電流量に応
じたチャネル幅を駆動トランジスタに確保する必要がある。しかしながら、特許文献1の
構成においては、チャネル幅を拡大すると必然的に駆動トランジスタの面積が増大すると
いう問題がある。特にボトムエミッション型の発光装置においては、発光素子による放射
光の出射側に駆動トランジスタが配置されるから、その面積の増大は開口率の低下に直結
する。このような事情を背景として、本発明は、開口率の低下といった不利益を伴なうこ
となく所望の特性の駆動トランジスタを作成するという課題の解決を目的としている。
Incidentally, the channel width and channel length of the driving transistor are determined in accordance with the amount of current supplied to the light emitting element. For example, in order to supply a sufficient current to the light emitting element, it is necessary to secure a channel width corresponding to the amount of current in the driving transistor. However, the configuration of Patent Document 1 inevitably increases the area of the drive transistor when the channel width is increased. In particular, in the bottom emission type light emitting device, since the driving transistor is arranged on the emission side of the emitted light by the light emitting element, an increase in the area directly leads to a decrease in the aperture ratio. Against this background, an object of the present invention is to solve the problem of creating a drive transistor having desired characteristics without a disadvantage such as a decrease in aperture ratio.

この課題を解決するために、本発明に係る発光装置は、電源線から発光素子に供給され
る電流量を制御する駆動トランジスタが基板上に形成された発光装置であって、駆動トラ
ンジスタは、ソース領域とドレイン領域との間にチャネル領域が形成された半導体層と、
ゲート絶縁層を挟んでチャネル領域に対向するゲート電極とを含み、電源線は、チャネル
領域と重なり合うことを特徴とする。なお、電源線がチャネル領域の一部と重なり合うか
全部と重なり合うかは本発明において不問である。また、本発明における電源線は所定の
電位(例えば高位側や低位側の電源電位)が供給される配線である。
In order to solve this problem, a light-emitting device according to the present invention is a light-emitting device in which a driving transistor that controls the amount of current supplied from a power supply line to a light-emitting element is formed on a substrate, and the driving transistor is a source A semiconductor layer in which a channel region is formed between the region and the drain region;
And a gate electrode facing the channel region with the gate insulating layer interposed therebetween, and the power supply line overlaps with the channel region. Note that it does not matter in the present invention whether the power supply line overlaps with a part or all of the channel region. Further, the power supply line in the present invention is a wiring to which a predetermined potential (for example, a power supply potential on a higher side or a lower side) is supplied.

この構成においては、駆動トランジスタのチャネル領域と重なり合うように電源線が形
成されるから、電源線によって覆われた領域の範囲内であれば、チャネル幅やチャネル長
を如何に選定したとしても駆動トランジスタと電源線との総面積(さらにボトムエミッシ
ョン型の発光装置における開口率)は変わらない。したがって、駆動トランジスタと電源
線との総面積に起因した種々の不利益(例えば開口率の低下)を解消することができる。
In this configuration, since the power supply line is formed so as to overlap with the channel region of the drive transistor, the drive transistor can be selected regardless of the channel width or the channel length as long as it is within the region covered by the power supply line. And the total area of the power lines (further, the aperture ratio in the bottom emission type light emitting device) does not change. Therefore, various disadvantages (for example, a decrease in aperture ratio) due to the total area of the drive transistor and the power supply line can be eliminated.

例えば、ボトムエミッション型の発光装置において、電源線によって覆われた範囲内に
て駆動トランジスタのチャネル幅を所期の寸法に拡大すれば、開口率を低下させることな
く、電源線から発光素子に供給される電流量を充分に確保することが可能である。また、
開口率が高水準に維持されるということは、所期の光量を発光装置から出射するための発
光層に供給されるべき電気エネルギが低減されることを意味する。発光層(特に有機EL
材料)は高い電気エネルギが供給されるほど特性の劣化が進行するから、発光層に供給さ
れる電気エネルギを低減できる本発明によれば、発光層の寿命(発光量や発光効率などの
特性値が所定値に低下するまでの時間長)を長期化できるという利点がある。
For example, in a bottom emission type light emitting device, if the channel width of the driving transistor is expanded to the desired size within the range covered by the power supply line, the power supply line supplies the light emitting element without reducing the aperture ratio. It is possible to secure a sufficient amount of current. Also,
The fact that the aperture ratio is maintained at a high level means that the electrical energy to be supplied to the light emitting layer for emitting the desired amount of light from the light emitting device is reduced. Light emitting layer (especially organic EL
Since the deterioration of characteristics progresses as the higher electrical energy is supplied to the material), according to the present invention, which can reduce the electrical energy supplied to the light emitting layer, the lifetime of the light emitting layer (characteristic values such as light emission amount and light emission efficiency). There is an advantage that it is possible to extend the time length until the value decreases to a predetermined value.

本発明の具体的な態様において、半導体層には、電源線の延在する方向がチャネル長と
なるようにソース領域とドレイン領域とチャネル領域とが形成される。この態様によれば
、電源線に沿って充分なチャネル長を確保できるから、駆動トランジスタを飽和領域で動
作させる場合(典型的には駆動トランジスタがオン状態とオフ状態の何れかに択一的に制
御される場合)に特に好適である。駆動トランジスタを飽和領域で動作させる場合として
は、例えば、駆動トランジスタがオン状態を維持する時間長とオフ状態を維持する時間長
との比率を制御することによって発光素子の光量(階調)を制御する場合(パルス幅変調
による階調の制御)がある。なお、この態様の具体例は、例えば第2実施形態や第5実施
形態として後述される。
In a specific aspect of the present invention, a source region, a drain region, and a channel region are formed in the semiconductor layer so that a direction in which the power supply line extends has a channel length. According to this aspect, since a sufficient channel length can be secured along the power supply line, when the drive transistor is operated in the saturation region (typically, the drive transistor is selectively turned on or off). Particularly when controlled). For example, when the drive transistor is operated in the saturation region, the amount of light (gradation) of the light-emitting element is controlled by controlling the ratio of the length of time that the drive transistor is kept on and the length of time it is kept off. (Tone control by pulse width modulation). In addition, the specific example of this aspect is later mentioned as 2nd Embodiment or 5th Embodiment, for example.

他の態様において、半導体層には、電源線の延在する方向がチャネル幅となるようにソ
ース領域とドレイン領域とチャネル領域とが形成される。この態様によれば、電源線に沿
って充分なチャネル幅を確保できるから、駆動トランジスタを線形領域で動作させる場合
に特に好適である。駆動トランジスタを線形領域で動作させる場合としては、例えば、駆
動トランジスタのソース−ドレイン間の電流をゲート電極の電位に応じて複数の段階の何
れかに制御することによって発光素子の光量(階調)を制御する場合がある。なお、この
態様の具体例は、例えば第1実施形態・第3実施形態および第4実施形態として後述され
る。
In another embodiment, a source region, a drain region, and a channel region are formed in the semiconductor layer so that a direction in which the power supply line extends has a channel width. According to this aspect, a sufficient channel width can be secured along the power supply line, which is particularly suitable when the driving transistor is operated in a linear region. In the case where the driving transistor is operated in a linear region, for example, the light amount (gradation) of the light emitting element is controlled by controlling the current between the source and the drain of the driving transistor in any of a plurality of stages according to the potential of the gate electrode. May be controlled. In addition, the specific example of this aspect is later mentioned, for example as 1st Embodiment, 3rd Embodiment, and 4th Embodiment.

駆動トランジスタのチャネル幅の方向に電源線が延在する態様において、さらに望まし
くは、半導体層およびゲート電極を覆う第1絶縁層が設けられ、ゲート電極は電源線と同
方向に延在し、電源線は、第1絶縁層に形成された複数のコンタクトホールを介してソー
ス領域およびドレイン領域の何れかに導通し、複数のコンタクトホールは、ゲート電極に
沿って配列する。この態様によれば、ゲート電極に沿った長手状の領域に複数のコンタク
トホールのスペースを容易に確保することができる。そして、電源線が複数のコンタクト
ホールを介して半導体層に接続されるから、例えばひとつのコンタクトホールのみが形成
された構成と比較して、電源線と半導体層との導通の確実性が担保され、さらには両者の
接触部の抵抗を低減することができる。なお、この態様の具体例は第4実施形態(図15
)として後述される。また、コンタクトホールとは、絶縁層の一方の側に位置する要素と
絶縁層の他方の側に位置する要素とを電気的に接続するための部分であり、より具体的に
は絶縁層をその厚さ方向に貫通する部分(孔や穴)である。コンタクトホールの平面的な
形状は任意である。
In the aspect in which the power supply line extends in the channel width direction of the driving transistor, more preferably, a first insulating layer covering the semiconductor layer and the gate electrode is provided, and the gate electrode extends in the same direction as the power supply line. The line conducts to either the source region or the drain region via a plurality of contact holes formed in the first insulating layer, and the plurality of contact holes are arranged along the gate electrode. According to this aspect, a plurality of contact hole spaces can be easily ensured in the longitudinal region along the gate electrode. Since the power supply line is connected to the semiconductor layer through a plurality of contact holes, for example, the reliability of conduction between the power supply line and the semiconductor layer is ensured as compared with a configuration in which only one contact hole is formed. Furthermore, the resistance of the contact portion between the two can be reduced. A specific example of this aspect is the fourth embodiment (FIG. 15).
) Will be described later. The contact hole is a portion for electrically connecting an element located on one side of the insulating layer and an element located on the other side of the insulating layer. It is a portion (hole or hole) penetrating in the thickness direction. The planar shape of the contact hole is arbitrary.

本発明の望ましい態様において、第1電極(例えば図1の電極Ea1や図19の電極Eb1
)と第2電極(例えば図1の電極Ea2や図19の電極Eb2)とを含む容量素子を具備し、
駆動トランジスタと容量素子とは電源線が延在する方向に配列し、ゲート電極と第2電極
とは電気的に接続され、電源線は、チャネル領域および容量素子と重なり合う。なお、こ
の態様における容量素子は、駆動トランジスタのゲート電極の電位を保持するための手段
(例えば図1の容量素子C1)であってもよいし、駆動トランジスタのゲート電極を容量
カップリングによって所望の電位に設定するための手段(例えば図19の容量素子C2)
であってもよい。
In a preferred embodiment of the present invention, the first electrode (for example, the electrode Ea1 in FIG. 1 or the electrode Eb1 in FIG. 19) is used.
) And a second electrode (for example, the electrode Ea2 in FIG. 1 and the electrode Eb2 in FIG. 19),
The driving transistor and the capacitor are arranged in a direction in which the power supply line extends, the gate electrode and the second electrode are electrically connected, and the power supply line overlaps with the channel region and the capacitor. The capacitive element in this aspect may be a means for holding the potential of the gate electrode of the driving transistor (for example, the capacitive element C1 in FIG. 1), or the gate electrode of the driving transistor may be set to a desired value by capacitive coupling. Means for setting the potential (for example, the capacitive element C2 in FIG. 19)
It may be.

この態様によれば、駆動トランジスタのチャネル領域だけでなく容量素子にも重なり合
うように電源線が形成される。したがって、電源線と容量素子とが重なり合わない構成と
比較して、駆動トランジスタと電源線と容量素子との総面積を低減することができる。例
えば、電源線によって覆われた範囲内において容量素子の各電極の面積を拡大することに
よって充分な静電容量の容量素子が構成される。さらに好適な態様において、第1電極は
半導体層と同一の材料によって形成され、第2電極はゲート電極と同一の材料によって形
成される。この態様によれば、共通の導電膜の選択的な除去によって第1電極と半導体層
(あるいは第2電極とゲート電極)とを一括的に形成することができるから、各々が別個
の材料によって形成された構成と比較して、製造工程の簡素化や製造コストの低減が実現
される。
According to this aspect, the power supply line is formed so as to overlap not only the channel region of the driving transistor but also the capacitive element. Therefore, the total area of the driving transistor, the power supply line, and the capacitive element can be reduced as compared with a configuration in which the power supply line and the capacitive element do not overlap. For example, a capacitive element having a sufficient capacitance is configured by enlarging the area of each electrode of the capacitive element within the range covered by the power line. In a more preferred aspect, the first electrode is formed of the same material as the semiconductor layer, and the second electrode is formed of the same material as the gate electrode. According to this aspect, the first electrode and the semiconductor layer (or the second electrode and the gate electrode) can be collectively formed by selectively removing the common conductive film, so that each is formed of a separate material. Compared with the configuration thus configured, the manufacturing process can be simplified and the manufacturing cost can be reduced.

本発明の発光装置は、トップエミッション型およびボトムエミッション型の双方に適用
される。なお、ボトムエミッション型の発光装置においては、発光素子からみて基板側(
すなわち発光素子からの放射光の出射側)に駆動トランジスタが配置される。この構成に
おいては、駆動トランジスタのチャネル領域の形態(寸法や形状)が開口率に直結する。
したがって、開口率を低下することなく所望の特性の駆動トランジスタを作成し得る本発
明は、ボトムエミッション型の発光装置に特に好適に採用される。
The light emitting device of the present invention is applied to both a top emission type and a bottom emission type. In the bottom emission type light emitting device, the substrate side (from the light emitting element side)
That is, a driving transistor is disposed on the emission side of the emitted light from the light emitting element. In this configuration, the form (size and shape) of the channel region of the driving transistor is directly connected to the aperture ratio.
Therefore, the present invention capable of producing a drive transistor having desired characteristics without reducing the aperture ratio is particularly preferably employed for a bottom emission type light emitting device.

また、本発明における駆動トランジスタは、ボトムゲート構造およびトップゲート構造
の何れであってもよい。ボトムゲート構造においては、半導体層に対して基板側にゲート
電極が形成される。トップゲート構造においては、半導体層に対して基板とは反対側にゲ
ート電極が形成される。このトップゲート構造において、ゲート電極を挟んで半導体層と
は反対側に電源線を形成すれば、ゲート電極と電源線とによって形成される容量を、駆動
トランジスタのゲート電極の電位を保持するために利用することができる。したがって、
ゲート電極とは別個に形成された容量素子の面積を縮小する(理想的にはゲート電極とは
別個の容量素子を不要とする)ことができる。
Further, the driving transistor in the present invention may have either a bottom gate structure or a top gate structure. In the bottom gate structure, a gate electrode is formed on the substrate side with respect to the semiconductor layer. In the top gate structure, a gate electrode is formed on the opposite side of the substrate from the semiconductor layer. In this top gate structure, if a power supply line is formed on the opposite side of the semiconductor layer across the gate electrode, the capacitance formed by the gate electrode and the power supply line can be held to hold the potential of the gate electrode of the driving transistor. Can be used. Therefore,
The area of the capacitor formed separately from the gate electrode can be reduced (ideally, a capacitor separate from the gate electrode is not necessary).

本発明に係る発光装置は各種の電子機器に利用される。この電子機器の典型例は、発光
装置を表示装置として利用した機器である。この種の電子機器としては、パーソナルコン
ピュータや携帯電話機などがある。もっとも、本発明に係る発光装置の用途は画像の表示
に限定されない。例えば、光線の照射によって感光体ドラムなどの像担持体に潜像を形成
するための露光装置(露光ヘッド)としても本発明の発光装置を適用することができる。
The light emitting device according to the present invention is used in various electronic devices. A typical example of this electronic device is a device that uses a light emitting device as a display device. Examples of this type of electronic device include a personal computer and a mobile phone. However, the use of the light emitting device according to the present invention is not limited to image display. For example, the light emitting device of the present invention can also be applied as an exposure device (exposure head) for forming a latent image on an image carrier such as a photosensitive drum by irradiation of light.

<A:発光装置の電気的な構成>
図1は、本発明の第1実施形態から第4実施形態に係る発光装置の電気的な構成を示す
回路図である。同図に示すように、発光装置Dは、相互に交差する複数の選択線11と複
数の信号線13とを有する。選択線11と信号線13との各交差には画素Pが配置される
。したがって、これらの画素Pはマトリクス状に配列する。各画素Pには電源線15を介
して電源電位Vddが供給される。
<A: Electrical configuration of light emitting device>
FIG. 1 is a circuit diagram showing an electrical configuration of the light emitting device according to the first to fourth embodiments of the present invention. As shown in the figure, the light emitting device D includes a plurality of selection lines 11 and a plurality of signal lines 13 that intersect each other. A pixel P is disposed at each intersection of the selection line 11 and the signal line 13. Therefore, these pixels P are arranged in a matrix. Each pixel P is supplied with a power supply potential Vdd via a power supply line 15.

電源線15から接地線(接地電位Gnd)に至る経路上には発光素子Eと駆動トランジス
タTdrとが配置される。発光素子Eは、有機EL材料からなる発光層23を第1電極21
(陽極)と第2電極22(陰極)との間に介在させた素子である。第1電極21は、画素
Pごとに相互に離間して形成される。一方、第2電極22は、複数の画素Pにわたって連
続に形成されて接地(Gnd)される。発光層23は、第1電極21から第2電極22に流
れる電流量に応じた光量で発光する。
On the path from the power supply line 15 to the ground line (ground potential Gnd), the light emitting element E and the drive transistor Tdr are arranged. The light emitting element E includes a light emitting layer 23 made of an organic EL material and a first electrode 21.
This is an element interposed between the (anode) and the second electrode 22 (cathode). The first electrodes 21 are formed so as to be separated from each other for each pixel P. On the other hand, the second electrode 22 is continuously formed over a plurality of pixels P and grounded (Gnd). The light emitting layer 23 emits light with a light amount corresponding to the amount of current flowing from the first electrode 21 to the second electrode 22.

駆動トランジスタTdrは、発光素子Eに供給される電流量を制御するためのnチャネル
型の薄膜トランジスタである。駆動トランジスタTdrのソース電極は発光素子Eの第1電
極21に接続される。駆動トランジスタTdrのドレイン電極は電源線15に接続される。
このドレイン電極とゲート電極との間には、ゲート電極の電位を保持する容量素子C1が
介在する。この容量素子C1は、駆動トランジスタTdrのドレイン電極に接続された電極
Ea1と駆動トランジスタTdrのゲート電極に接続された電極Ea2とを含む。
The drive transistor Tdr is an n-channel thin film transistor for controlling the amount of current supplied to the light emitting element E. The source electrode of the drive transistor Tdr is connected to the first electrode 21 of the light emitting element E. The drain electrode of the drive transistor Tdr is connected to the power supply line 15.
Between the drain electrode and the gate electrode, a capacitive element C1 for holding the potential of the gate electrode is interposed. The capacitive element C1 includes an electrode Ea1 connected to the drain electrode of the drive transistor Tdr and an electrode Ea2 connected to the gate electrode of the drive transistor Tdr.

図1の選択トランジスタTslは、駆動トランジスタTdrのゲート電極(電極Ea2)と信
号線13との間に介在して両者の電気的な接続を制御するnチャネル型の薄膜トランジス
タである。この選択トランジスタTslのゲート電極は選択線11に接続される。なお、駆
動トランジスタTdrや選択トランジスタTslの導電型は適宜に変更される。
The selection transistor Tsl in FIG. 1 is an n-channel thin film transistor that is interposed between the gate electrode (electrode Ea2) of the driving transistor Tdr and the signal line 13 to control the electrical connection between them. The gate electrode of the selection transistor Tsl is connected to the selection line 11. Note that the conductivity types of the drive transistor Tdr and the selection transistor Tsl are appropriately changed.

選択線11に供給される選択信号Sがアクティブレベル(ハイレベル)に遷移して選択
トランジスタTslがオン状態に変化すると、画素Pに指定された階調に応じたデータ電位
Vdataが信号線13から選択トランジスタTslを経由して駆動トランジスタTdrのゲート
電極に供給される。このときに容量素子C1にはデータ電位Vdataに応じた電荷が蓄積さ
れるから、選択線11が非アクティブレベルに遷移して選択トランジスタTslがオフ状態
に変化しても、駆動トランジスタTdrのゲート電極はデータ電位Vdataに維持される。し
たがって、発光素子Eには、駆動トランジスタTdrのゲート電極の電位に応じた電流(デ
ータ電位Vdataに応じた電流)が継続的に供給される。この電流の供給によって発光素子
Eはデータ電位Vdataに応じた輝度で発光する。
When the selection signal S supplied to the selection line 11 changes to the active level (high level) and the selection transistor Tsl changes to the on state, the data potential Vdata corresponding to the gradation specified for the pixel P is output from the signal line 13. The voltage is supplied to the gate electrode of the driving transistor Tdr via the selection transistor Tsl. At this time, charges corresponding to the data potential Vdata are accumulated in the capacitive element C1, and therefore, even if the selection line 11 changes to the inactive level and the selection transistor Tsl changes to the off state, the gate electrode of the drive transistor Tdr Is maintained at the data potential Vdata. Therefore, a current corresponding to the potential of the gate electrode of the driving transistor Tdr (current corresponding to the data potential Vdata) is continuously supplied to the light emitting element E. By supplying this current, the light emitting element E emits light with a luminance corresponding to the data potential Vdata.

<B−1:第1実施形態>
次に、本発明の第1実施形態に係る発光装置Dの画素Pの具体的な構成を説明する。図
2は、ひとつの画素Pの構成を示す平面図であり、図3は、図2におけるIII−III線から
みた断面図である。図3に示すように、駆動トランジスタTdrや発光素子Eといった図1
の要素は基板10の表面上に形成される。基板10は、ガラスやプラスチックなど各種の
絶縁性材料からなる板状の部材である。なお、基板10を被覆する絶縁性の膜体(例えば
酸化珪素や窒化珪素などの膜体)を下地として画素Pの各要素を形成してもよい。
<B-1: First Embodiment>
Next, a specific configuration of the pixel P of the light emitting device D according to the first embodiment of the present invention will be described. FIG. 2 is a plan view showing a configuration of one pixel P, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. As shown in FIG. 3, the driving transistor Tdr and the light emitting element E such as FIG.
These elements are formed on the surface of the substrate 10. The substrate 10 is a plate-like member made of various insulating materials such as glass and plastic. Each element of the pixel P may be formed using an insulating film body (for example, a film body such as silicon oxide or silicon nitride) covering the substrate 10 as a base.

図2に示すように、選択線11はX方向に延在し、信号線13および電源線15はX方
向と直交するY方向に延在する。発光素子Eを構成する第1電極21は信号線13と電源
線15との間隙に形成される。図4ないし図6は、図2に図示された要素が順次に形成さ
れていく様子を示す平面図である。なお、図4ないし図6においては、以後の工程にて第
1電極21が形成される領域(以下「電極形成領域」という)Aが二点鎖線によって図示
されている。
As shown in FIG. 2, the selection line 11 extends in the X direction, and the signal line 13 and the power supply line 15 extend in the Y direction orthogonal to the X direction. The first electrode 21 constituting the light emitting element E is formed in the gap between the signal line 13 and the power supply line 15. 4 to 6 are plan views showing how the elements shown in FIG. 2 are sequentially formed. 4 to 6, a region A (hereinafter referred to as “electrode formation region”) A in which the first electrode 21 is formed in the subsequent processes is illustrated by a two-dot chain line.

図2ないし図4に示すように、基板10の表面上には半導体層31と半導体層41とが
画素Pごとに形成される。半導体層31と半導体層41とは、基板10の全域にわたって
形成された半導体材料(例えばシリコン)の膜体をパターニングすることによって同一の
工程で一括的に形成される。なお、半導体層31と半導体層41との関係のように、複数
の要素がひとつの膜体の選択的な除去によって同一の工程で形成されることを以下では単
に「同層から形成される」と表記する。同層から形成された各要素は同一の材料からなる
As shown in FIGS. 2 to 4, a semiconductor layer 31 and a semiconductor layer 41 are formed for each pixel P on the surface of the substrate 10. The semiconductor layer 31 and the semiconductor layer 41 are collectively formed in the same process by patterning a film body of a semiconductor material (for example, silicon) formed over the entire area of the substrate 10. In the following, it is simply “formed from the same layer” that a plurality of elements are formed in the same process by selectively removing one film body as in the relationship between the semiconductor layer 31 and the semiconductor layer 41. Is written. Each element formed from the same layer is made of the same material.

図2および図4に示すように、半導体層31は、略L字状に成形された部分である。さ
らに詳述すると、半導体層31は、駆動トランジスタTdrを構成する素子部311と、電
極形成領域AからみてY方向の負側の領域にて素子部311からX方向に延在する延在部
313と、素子部311からY方向の正側に連続する電極Ea1とを含む。素子部311の
うちY方向における中途の部分にはX方向に延在する切欠部315が形成される。図4に
示される第1部分311aは切欠部315からみて延在部313側に位置する領域であり
、第2部分311bは切欠部315からみて電極Ea1側に位置する領域である。一方、半
導体層41は、電極形成領域AをY方向に挟んで延在部313とは反対側に形成されてX
方向に延在する。
As shown in FIGS. 2 and 4, the semiconductor layer 31 is a portion that is formed in a substantially L shape. More specifically, the semiconductor layer 31 includes an element portion 311 constituting the drive transistor Tdr and an extending portion 313 extending in the X direction from the element portion 311 in a negative region in the Y direction when viewed from the electrode formation region A. And an electrode Ea1 continuous from the element portion 311 to the positive side in the Y direction. A cutout portion 315 extending in the X direction is formed in an intermediate portion in the Y direction of the element portion 311. The first portion 311a shown in FIG. 4 is a region located on the extending portion 313 side when viewed from the notch portion 315, and the second portion 311b is a region located on the electrode Ea1 side when viewed from the notch portion 315. On the other hand, the semiconductor layer 41 is formed on the opposite side of the extending portion 313 with the electrode formation region A sandwiched in the Y direction.
Extend in the direction.

図3に示すように、半導体層31と半導体層41とが形成された基板10の表面はその
全域にわたってゲート絶縁層Lgに覆われる。図2・図3および図5に示すように、ゲー
ト絶縁層Lgの面上には中間導電体51と選択線11とが同層から形成される。図5に示
すように、中間導電体51は、電極Ea2とゲート電極511と接続部513とを含む。電
極Ea2は、基板10に垂直な方向からみて電極Ea1と重なり合う部分である。図3に示す
ように電極Ea1と電極Ea2とがゲート絶縁層Lgを挟んで対向することによって図1の容
量素子C1が形成される。接続部513は、電極形成領域AからみてY方向の正側の領域
にて電極Ea2からX方向に延在する部分である。
As shown in FIG. 3, the surface of the substrate 10 on which the semiconductor layer 31 and the semiconductor layer 41 are formed is covered with the gate insulating layer Lg over the entire area. As shown in FIGS. 2, 3 and 5, the intermediate conductor 51 and the selection line 11 are formed from the same layer on the surface of the gate insulating layer Lg. As shown in FIG. 5, the intermediate conductor 51 includes an electrode Ea2, a gate electrode 511, and a connection portion 513. The electrode Ea2 is a portion overlapping the electrode Ea1 when viewed from the direction perpendicular to the substrate 10. As shown in FIG. 3, the electrode Ea1 and the electrode Ea2 face each other with the gate insulating layer Lg interposed therebetween, whereby the capacitive element C1 of FIG. 1 is formed. The connection portion 513 is a portion extending in the X direction from the electrode Ea2 in the positive region in the Y direction when viewed from the electrode formation region A.

ゲート電極511は、電極Ea2のうちX方向の中央部からY方向の負側に延在する部分
(電極Ea2よりも幅狭な部分)であり、切欠部315を跨いで第1部分311aおよび第
2部分311bと重なり合う。図2および図3に示すように、半導体層31のうちゲート
絶縁層Lgを挟んでゲート電極511に対向する部分がチャネル領域31cとされる。半導
体層31には、このチャネル領域31cを挟むようにソース領域31sとドレイン領域31
dとが形成される。ソース領域31sはチャネル領域31cからみて延在部313側の領域
であり、ドレイン領域31dはチャネル領域31cよりも電極Ea1側の領域である。したが
って、図5に示すように、ゲート電極511の線幅(X方向における寸法)が駆動トラン
ジスタTdrのチャネル長Lに相当し、第1部分311aのY方向における寸法が駆動トラ
ンジスタTdrのチャネル幅Wに相当する。駆動トランジスタTdrと容量素子C1とはY方
向に配列する。また、以上のように、半導体層31に切欠部315が形成された構成によ
って、半導体層31のソース領域31sと電極Ea1とが電気的に切り離されるとともに、
半導体層31のドレイン領域31dと電極Ea1とが電気的に接続される。
The gate electrode 511 is a portion of the electrode Ea2 that extends from the center in the X direction to the negative side in the Y direction (a portion that is narrower than the electrode Ea2). The gate electrode 511 straddles the notch 315 and the first portion 311a and the first It overlaps with the two portions 311b. As shown in FIGS. 2 and 3, a portion of the semiconductor layer 31 that faces the gate electrode 511 across the gate insulating layer Lg is a channel region 31c. The semiconductor layer 31 includes a source region 31s and a drain region 31 so as to sandwich the channel region 31c.
d is formed. The source region 31s is a region on the extending portion 313 side as viewed from the channel region 31c, and the drain region 31d is a region on the electrode Ea1 side with respect to the channel region 31c. Therefore, as shown in FIG. 5, the line width (dimension in the X direction) of the gate electrode 511 corresponds to the channel length L of the drive transistor Tdr, and the dimension in the Y direction of the first portion 311a is the channel width W of the drive transistor Tdr. It corresponds to. The drive transistor Tdr and the capacitive element C1 are arranged in the Y direction. As described above, the configuration in which the notch 315 is formed in the semiconductor layer 31 electrically separates the source region 31s of the semiconductor layer 31 and the electrode Ea1,
The drain region 31d of the semiconductor layer 31 and the electrode Ea1 are electrically connected.

選択線11は、半導体層41の近傍にてX方向に延在する。この選択線11からY方向
の負側に分岐して半導体層41と重なり合う部分111は選択トランジスタTslのゲート
電極として機能する。すなわち、半導体層41のうちゲート絶縁層Lgを挟んで部分11
1に対向する部分が選択トランジスタTslのチャネル領域である。
The selection line 11 extends in the X direction in the vicinity of the semiconductor layer 41. A portion 111 that branches from the selection line 11 to the negative side in the Y direction and overlaps the semiconductor layer 41 functions as a gate electrode of the selection transistor Tsl. That is, the portion 11 of the semiconductor layer 41 across the gate insulating layer Lg.
A portion facing 1 is a channel region of the selection transistor Tsl.

図3に示すように、中間導電体51(ゲート電極511や電極Ea2)と選択線11とが
形成されたゲート絶縁層Lgの表面は第1絶縁層L1に覆われる。図2・図3および図6に
示すように、第1絶縁層L1の面上には、信号線13と接続部611と電源線15と電極
接続部68とが同層から形成される。
As shown in FIG. 3, the surface of the gate insulating layer Lg on which the intermediate conductor 51 (gate electrode 511 or electrode Ea2) and the selection line 11 are formed is covered with the first insulating layer L1. As shown in FIGS. 2, 3 and 6, the signal line 13, the connecting portion 611, the power supply line 15, and the electrode connecting portion 68 are formed from the same layer on the surface of the first insulating layer L1.

信号線13は、電極形成領域AからみてX方向の負側の領域にてY方向に延在する配線
である。図5および図6に示すように、信号線13からX方向に分岐して半導体層41と
重なり合う部分131は、第1絶縁層L1とゲート絶縁層Lgとを貫通するコンタクトホー
ルCH1を介して半導体層41のドレイン領域に導通する。これにより部分131は選択
トランジスタTslのドレイン電極として機能する。
The signal line 13 is a wiring extending in the Y direction in the negative region in the X direction when viewed from the electrode formation region A. As shown in FIGS. 5 and 6, a portion 131 that branches from the signal line 13 in the X direction and overlaps the semiconductor layer 41 is a semiconductor through a contact hole CH1 that penetrates the first insulating layer L1 and the gate insulating layer Lg. Conducting to the drain region of layer 41. Thereby, the portion 131 functions as a drain electrode of the selection transistor Tsl.

接続部611は、X方向に延在して半導体層41および接続部513(中間導電体51
)の双方と重なり合う部分である。図5および図6に示すように、接続部611は、第1
絶縁層L1とゲート絶縁層Lgとを貫通するコンタクトホールCH2を介して半導体層41
のソース領域に導通する。これにより接続部611は選択トランジスタTslのソース電極
として機能する。さらに、接続部611は、第1絶縁層L1を貫通するコンタクトホール
CH3を介して接続部513に導通する。以上の構成によって選択トランジスタTslと電
極Ea2(さらには駆動トランジスタTdrのゲート電極511)とが電気的に接続される。
The connection portion 611 extends in the X direction and extends from the semiconductor layer 41 and the connection portion 513 (intermediate conductor 51).
) That overlaps both. As shown in FIG. 5 and FIG.
The semiconductor layer 41 via a contact hole CH2 penetrating the insulating layer L1 and the gate insulating layer Lg.
Conductive to the source region. Thereby, the connection portion 611 functions as a source electrode of the selection transistor Tsl. Further, the connection portion 611 is electrically connected to the connection portion 513 through a contact hole CH3 penetrating the first insulating layer L1. With the above configuration, the selection transistor Tsl and the electrode Ea2 (and the gate electrode 511 of the driving transistor Tdr) are electrically connected.

電極接続部68は、半導体層31の延在部313と部分的に重なり合うように形成され
た略矩形状の部分である。図3・図5および図6に示すように、電極接続部68は、第1
絶縁層L1とゲート絶縁層Lgとを貫通するコンタクトホールCH4を介して延在部313
(半導体層31のソース領域31s)に導通する。すなわち、電極接続部68は駆動トラ
ンジスタTdrのソース電極として機能する。
The electrode connecting portion 68 is a substantially rectangular portion formed so as to partially overlap the extending portion 313 of the semiconductor layer 31. As shown in FIGS. 3, 5, and 6, the electrode connection portion 68 includes the first
Extending portion 313 through contact hole CH4 penetrating insulating layer L1 and gate insulating layer Lg
It conducts to (source region 31s of semiconductor layer 31). That is, the electrode connecting portion 68 functions as a source electrode of the driving transistor Tdr.

電源線15は、図2・図3および図6に示すように、基板10に垂直な方向からみて駆
動トランジスタTdrのチャネル領域31c(ゲート電極511)と重なり合う配線である
。本実施形態における電源線15は、Y方向に配列する駆動トランジスタTdrおよび容量
素子C1の双方と重なり合うようにY方向に延在する。さらに、本実施形態においては、
電源線15の延在する方向(Y方向)が駆動トランジスタTdrのチャネル幅Wの方向と一
致するように、チャネル領域31cとソース領域31sとドレイン領域31dとの形状や位
置(換言するとゲート電極511の形状)が選定されている。図5および図6に示すよう
に、素子部311の第2部分311bと重なり合う領域内にあってゲート電極511をX
方向に挟む各位置には、第1絶縁層L1とゲート絶縁層Lgとを貫通するコンタクトホール
CH5が形成される。電源線15は、各コンタクトホールCH5を介して半導体層31のド
レイン領域31dに導通する。すなわち、電源線15のうち第2部分311bと重なり合う
部分は、駆動トランジスタTdrのドレイン電極として機能する。
As shown in FIGS. 2, 3, and 6, the power supply line 15 is a wiring that overlaps with the channel region 31 c (gate electrode 511) of the driving transistor Tdr when viewed from the direction perpendicular to the substrate 10. In the present embodiment, the power supply line 15 extends in the Y direction so as to overlap both the drive transistor Tdr and the capacitor C1 arranged in the Y direction. Furthermore, in this embodiment,
The shape and position of the channel region 31c, the source region 31s, and the drain region 31d (in other words, the gate electrode 511) so that the extending direction (Y direction) of the power supply line 15 coincides with the channel width W direction of the driving transistor Tdr. Is selected. As shown in FIGS. 5 and 6, the gate electrode 511 is placed in the region overlapping with the second portion 311 b of the element portion 311.
Contact holes CH5 penetrating the first insulating layer L1 and the gate insulating layer Lg are formed at positions sandwiched in the direction. The power supply line 15 is electrically connected to the drain region 31d of the semiconductor layer 31 through each contact hole CH5. That is, the portion of the power supply line 15 that overlaps with the second portion 311b functions as the drain electrode of the drive transistor Tdr.

図3に示すように、電極接続部68や電源線15が形成された第1絶縁層L1の表面は
第2絶縁層L2に覆われる。第2絶縁層L2の表面には第1電極21が形成される。第1電
極21は、ITO(Indium Tin Oxide)やIZO(Indium Zinc Oxide)といった光
透過性の導電性材料によって形成された略矩形状の電極であり、第2絶縁層L2を貫通す
るコンタクトホールCH6を介して電極接続部68に導通する。
As shown in FIG. 3, the surface of the first insulating layer L1 on which the electrode connecting portion 68 and the power supply line 15 are formed is covered with the second insulating layer L2. A first electrode 21 is formed on the surface of the second insulating layer L2. The first electrode 21 is a substantially rectangular electrode formed of a light-transmitting conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide) or IZO (Indium Zinc Oxide), and is a contact hole CH6 penetrating the second insulating layer L2. Conduction to the electrode connection 68 through the.

第1電極21が形成された第2絶縁層L2の面上には、各画素Pの境界を仕切る形状(
格子状)の隔壁25が形成される。この隔壁25は、相隣接する第1電極21を電気的に
絶縁させる役割(すなわち第1電極21の電位の個別的な制御を可能とする役割)を担う
。隔壁25の内周面に包囲されて第1電極21を底面とする窪みに発光層23が配置され
る。なお、発光層23による発光を促進または効率化するための各種の機能層(正孔注入
層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層、正孔ブロック層、電子ブロック層)が発光層
23に積層された構成としてもよい。
On the surface of the second insulating layer L2 on which the first electrode 21 is formed, a shape that partitions the boundary of each pixel P (
A grid-like partition wall 25 is formed. The partition wall 25 plays a role of electrically insulating the adjacent first electrodes 21 (that is, a role enabling individual control of the potential of the first electrode 21). The light emitting layer 23 is disposed in a recess surrounded by the inner peripheral surface of the partition wall 25 and having the first electrode 21 as a bottom surface. Various functional layers (a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, an electron transport layer, a hole block layer, and an electron block layer) for promoting or improving the light emission by the light emitting layer 23 are the light emitting layers. It is good also as a structure laminated | stacked on 23. FIG.

図3に示すように、第2電極22は、複数の画素Pにわたって連続に形成されて発光層
23と隔壁25とを覆う電極である。したがって、隔壁25は、各発光素子Eの間隙の領
域において各第1電極21と第2電極22とを電気的に絶縁する。換言すると、隔壁25
は、第1電極21と第2電極22との間に電流が流れる領域(すなわち実際に発光する領
域)を画定する。第2電極22は、アルミニウムや銀といった単体金属やこれらを主成分
とする合金など光反射性を有する導電性材料によって形成される。したがって、発光層2
3から基板10側に出射した光と、発光層23から基板10とは反対側に出射して第2電
極22の表面で反射した光とが、第1電極21と各絶縁層(L2・L1・Lg)と基板10
とを透過して出射する。すなわち、本実施形態の発光装置Dはボトムエミッション型であ
る。
As shown in FIG. 3, the second electrode 22 is an electrode that is formed continuously over the plurality of pixels P and covers the light emitting layer 23 and the partition 25. Therefore, the partition wall 25 electrically insulates the first electrode 21 and the second electrode 22 in the gap region between the light emitting elements E. In other words, the partition wall 25
Defines a region where current flows between the first electrode 21 and the second electrode 22 (that is, a region where light is actually emitted). The second electrode 22 is formed of a light-reflective conductive material such as a single metal such as aluminum or silver or an alloy containing these as a main component. Therefore, the light emitting layer 2
The light emitted from 3 to the substrate 10 side and the light emitted from the light emitting layer 23 to the opposite side of the substrate 10 and reflected from the surface of the second electrode 22 are the first electrode 21 and each insulating layer (L 2 · L 1・ Lg) and substrate 10
And then pass through. That is, the light emitting device D of the present embodiment is a bottom emission type.

以上に説明したように、本実施形態においては、駆動トランジスタTdrのチャネル領域
31cや容量素子C1と重なり合うように電源線15が形成されるから、電源線15が駆動
トランジスタTdrや容量素子C1とは重なり合わないように形成された従来の構成と比較
して、駆動トランジスタTdrと容量素子C1と電源線15との総面積を削減することがで
きる。したがって、ボトムエミッション型の発光装置Dにおいて開口率を向上させること
ができる。また、開口率が向上するということは、発光装置Dから所期の光量を放射する
ために必要となる電気エネルギが低減されることを意味する。発光層23(特に有機EL
材料)は、高い電気エネルギが付与されるほど光学特性の劣化が進行するから、開口率が
向上される本実施形態によれば、発光層23を長寿命化することができるという効果が奏
される。
As described above, in the present embodiment, since the power supply line 15 is formed so as to overlap the channel region 31c of the drive transistor Tdr and the capacitive element C1, the power supply line 15 is different from the drive transistor Tdr and the capacitive element C1. Compared to the conventional configuration formed so as not to overlap, the total area of the drive transistor Tdr, the capacitive element C1, and the power supply line 15 can be reduced. Therefore, the aperture ratio can be improved in the bottom emission type light emitting device D. In addition, an improvement in the aperture ratio means that the electrical energy required to emit the desired amount of light from the light emitting device D is reduced. Light emitting layer 23 (especially organic EL
The material) is deteriorated in optical characteristics as the higher electric energy is applied. Therefore, according to the present embodiment in which the aperture ratio is improved, there is an effect that the life of the light emitting layer 23 can be extended. The

ところで、各画素Pに供給される電源電位Vddの安定化や発光素子Eに対する充分な電
流の供給のためには電源線15が幅広であることが望ましい。しかしながら、電源線15
が駆動トランジスタTdrや容量素子C1と重なり合わない構成においては、電源線15の
線幅の拡大が開口率の低下に直結するという問題がある。これに対し、本実施形態におい
ては、駆動トランジスタTdr(チャネル領域31c)や容量素子C1と重なり合う範囲内で
電源線15を拡大しても開口率には何らの影響もない。したがって、本実施形態によれば
、開口率を低下させることなく電源線15について充分な線幅を確保して電源電位Vddを
安定化することができるという利点がある。
By the way, in order to stabilize the power supply potential Vdd supplied to each pixel P and to supply a sufficient current to the light emitting element E, it is desirable that the power supply line 15 is wide. However, the power line 15
However, in the configuration in which the driving transistor Tdr and the capacitive element C1 do not overlap with each other, there is a problem that the increase in the line width of the power supply line 15 directly leads to a decrease in the aperture ratio. On the other hand, in this embodiment, even if the power supply line 15 is enlarged within a range overlapping with the driving transistor Tdr (channel region 31c) and the capacitive element C1, there is no influence on the aperture ratio. Therefore, according to the present embodiment, there is an advantage that the power supply potential Vdd can be stabilized by securing a sufficient line width for the power supply line 15 without reducing the aperture ratio.

また、コンタクトホールCH5の面積が小さい構成においては、コンタクトホールCH5
の形成の不良に起因して電源線15と駆動トランジスタTdrとが充分に導通しない場合や
、電源線15と駆動トランジスタTdr(半導体層31)との接触部の抵抗が増大する場合
がある。また、電源線15から駆動トランジスタTdrに大電流が流れ込むと電源線15と
駆動トランジスタTdrとの接触部が破壊される可能性もある。これに対し、本実施形態に
よれば、以上に説明したように電源線15の線幅が従来の構成と比較して拡大されるから
、コンタクトホールCH5の総数や各々の面積を充分に確保することができる。すなわち
、本実施形態に例示した構成においては、2個のコンタクトホールCH5が形成され、各
コンタクトホールCH5には電源線15と駆動トランジスタTdrとの確実な導通に必要な
面積が確保される。したがって、電源線15と駆動トランジスタTdrとを確実に導通させ
るとともに両者の接触部の抵抗を低減し、さらには両者の接触部の破壊を防止することが
できる。
In the configuration where the area of the contact hole CH5 is small, the contact hole CH5
In some cases, the power supply line 15 and the drive transistor Tdr are not sufficiently conducted due to the poor formation of the transistor, or the resistance of the contact portion between the power supply line 15 and the drive transistor Tdr (semiconductor layer 31) may increase. Further, when a large current flows from the power supply line 15 to the drive transistor Tdr, the contact portion between the power supply line 15 and the drive transistor Tdr may be destroyed. On the other hand, according to the present embodiment, as described above, the line width of the power supply line 15 is expanded as compared with the conventional configuration, so that the total number of contact holes CH5 and the area of each are sufficiently secured. be able to. That is, in the configuration exemplified in this embodiment, two contact holes CH5 are formed, and each contact hole CH5 secures an area necessary for reliable conduction between the power supply line 15 and the drive transistor Tdr. Therefore, the power supply line 15 and the driving transistor Tdr can be reliably conducted, the resistance of the contact portion between them can be reduced, and further, the destruction of the contact portion between both can be prevented.

以上においては電源線15の線幅に着目したが、駆動トランジスタTdrの特性に着目す
ると、本実施形態には以下のような利点もある。すなわち、本実施形態においては、電源
線15によって覆われた領域の範囲内であれば、駆動トランジスタTdrのチャネル長Lや
チャネル幅Wを如何に選定したとしても開口率は変化しない。したがって、高い開口率を
維持しながら所望の特性の駆動トランジスタTdrを作成することができる。特に本実施形
態においては、電源線15の延在する方向(Y方向)がチャネル幅Wとなるようにチャネ
ル領域31c(ゲート電極511の形態)が画定されるから、駆動トランジスタTdrにつ
いて充分なチャネル幅Wを容易に確保することができる。したがって、発光素子Eに充分
な電流量を供給し得る駆動トランジスタTdrが実現される。
In the above description, the line width of the power supply line 15 is focused. However, when focusing on the characteristics of the drive transistor Tdr, the present embodiment also has the following advantages. That is, in the present embodiment, the aperture ratio does not change regardless of the channel length L and the channel width W of the driving transistor Tdr as long as they are within the region covered by the power line 15. Therefore, it is possible to create the drive transistor Tdr having desired characteristics while maintaining a high aperture ratio. In particular, in the present embodiment, the channel region 31c (form of the gate electrode 511) is defined so that the extending direction (Y direction) of the power supply line 15 becomes the channel width W. The width W can be easily secured. Therefore, the driving transistor Tdr that can supply a sufficient amount of current to the light emitting element E is realized.

なお、チャネル幅Wが大きい駆動トランジスタTdrは線形領域が広いから、チャネル幅
Wを充分に確保できる本実施形態は、駆動トランジスタTdrの抵抗値を段階的に変化させ
るべき方式の発光装置Dに特に好適である。このような方式としては、例えば、各画素P
に指定された階調に応じて駆動トランジスタTdrのゲート電極の電位を段階的に変化させ
ることで発光素子Eへの電流量を段階的に制御する方式がある。
Since the drive transistor Tdr having a large channel width W has a wide linear region, this embodiment capable of sufficiently securing the channel width W is particularly suitable for the light-emitting device D of the type in which the resistance value of the drive transistor Tdr should be changed stepwise. Is preferred. As such a method, for example, each pixel P
There is a method in which the amount of current to the light emitting element E is controlled stepwise by changing the potential of the gate electrode of the drive transistor Tdr stepwise in accordance with the gradation specified in FIG.

また、本実施形態によれば開口率を低下させることなくゲート電極511の面積(チャ
ネル領域31cの面積)が拡大されるから、駆動トランジスタTdrのゲート容量を容易に
確保することができる。このゲート容量はデータ電位Vdataの保持(ゲート電極511の
電位の保持)に利用されるから、本実施形態によれば、容量素子C1に必要となる静電容
量を低減することができる。したがって、容量素子C1を小面積化する(理想的には容量
素子C1を不要とする)ことができる。もっとも、本実施形態においては、駆動トランジ
スタTdrだけでなく容量素子C1にも重なり合うように電源線15が形成されるから、電
源線15によって覆われた領域の範囲内であれば、電極Ea1や電極Ea2の面積を如何に選
定したとしても開口率には影響しない。したがって、別の観点からすれば、開口率を低下
させることなく容量素子C1に充分な静電容量を確保できるという利点もある。
Further, according to the present embodiment, the area of the gate electrode 511 (the area of the channel region 31c) is expanded without reducing the aperture ratio, so that the gate capacitance of the drive transistor Tdr can be easily ensured. Since this gate capacitance is used for holding the data potential Vdata (holding the potential of the gate electrode 511), according to the present embodiment, the capacitance required for the capacitive element C1 can be reduced. Therefore, the area of the capacitive element C1 can be reduced (ideally, the capacitive element C1 is unnecessary). However, in the present embodiment, the power supply line 15 is formed so as to overlap not only the drive transistor Tdr but also the capacitive element C1, so that the electrode Ea1 and the electrode are within the range covered by the power supply line 15. No matter how the area of Ea2 is selected, the aperture ratio is not affected. Therefore, from another point of view, there is also an advantage that a sufficient capacitance can be secured in the capacitive element C1 without reducing the aperture ratio.

本実施形態において、第1電極21を駆動トランジスタTdrに接続するための要素(延
在部313や電極接続部68)と、選択トランジスタTslを構成する要素(信号線13の
部分131や半導体層41や接続部611)とは、Y方向に沿って発光層23を挟む各位
置に形成される。また、発光層23からみてX方向の一方の側には信号線13が配置され
、他方の側には、駆動トランジスタTdrや容量素子C1が配置されるとともに電源線15
が両者と重なり合うように形成される。以上のように、本実施形態においては、発光層2
3の四方を包囲するように各種の素子や配線が配置されるから、発光層23の形状が単純
化されるとともにその面積が充分に確保されるというという利点がある。また、信号線1
3の部分131と半導体層41と接続部611と接続部513とがX方向に沿って配置さ
れ、各々を導通するためのコンタクトホール(CH1・CH2・CH3)がX方向に沿って
直線状に配列する。この構成によれば、部分131と半導体層41と接続部611と接続
部513とが直線的に配列しない構成と比較して、発光層23の形状の単純化や大面積化
をいっそう容易に実現することができる。
In the present embodiment, elements for connecting the first electrode 21 to the drive transistor Tdr (extension part 313 and electrode connection part 68) and elements constituting the selection transistor Tsl (part 131 of the signal line 13 and semiconductor layer 41). And the connecting portion 611) are formed at respective positions sandwiching the light emitting layer 23 along the Y direction. In addition, the signal line 13 is disposed on one side in the X direction when viewed from the light emitting layer 23, and the driving transistor Tdr and the capacitor element C1 are disposed on the other side, and the power line 15
Is formed so as to overlap with both. As described above, in the present embodiment, the light emitting layer 2
Since various elements and wirings are arranged so as to surround the four sides, there is an advantage that the shape of the light emitting layer 23 is simplified and the area thereof is sufficiently secured. Signal line 1
3 part 131, semiconductor layer 41, connection part 611 and connection part 513 are arranged along the X direction, and contact holes (CH 1, CH 2, CH 3) for conducting each of them are linearly formed along the X direction. Arrange. According to this configuration, compared with a configuration in which the portion 131, the semiconductor layer 41, the connection portion 611, and the connection portion 513 are not linearly arranged, the shape and area of the light emitting layer 23 can be simplified more easily. can do.

<B−2:第2実施形態>
次に、本発明の第2実施形態に係る発光装置Dの画素Pの具体的な構成を説明する。図
7は、本実施形態における画素Pの構成を示す平面図である。図8ないし図10は、図7
に示された要素が順次に形成されていく様子を示す平面図である。なお、以下に示す各実
施形態のうち第1実施形態と同様の要素については第1実施形態と共通の符号を付してそ
の詳細な説明を適宜に省略する。
<B-2: Second Embodiment>
Next, a specific configuration of the pixel P of the light emitting device D according to the second embodiment of the present invention will be described. FIG. 7 is a plan view showing the configuration of the pixel P in the present embodiment. 8 to 10 are shown in FIG.
It is a top view which shows a mode that the element shown by is formed sequentially. In the following embodiments, the same elements as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment, and detailed description thereof is omitted as appropriate.

図7および図8に示すように、基板10の面上には半導体層32と半導体層42とが同
層から形成される。半導体層32は、第1実施形態の半導体層31と同様に、素子部32
1と延在部323と電極Ea1とを含む。ただし、本実施形態における素子部321に切欠
部315は形成されていない。また、本実施形態の半導体層42は、Y方向を長手とする
島状の部分である。半導体層32と半導体層42とが形成された基板10の表面はゲート
絶縁層Lgに覆われる。
As shown in FIGS. 7 and 8, the semiconductor layer 32 and the semiconductor layer 42 are formed from the same layer on the surface of the substrate 10. The semiconductor layer 32 is similar to the semiconductor layer 31 of the first embodiment in the element portion 32.
1, an extending portion 323, and an electrode Ea 1. However, the notch portion 315 is not formed in the element portion 321 in the present embodiment. In addition, the semiconductor layer 42 of the present embodiment is an island-shaped portion having the Y direction as a longitudinal direction. The surface of the substrate 10 on which the semiconductor layer 32 and the semiconductor layer 42 are formed is covered with the gate insulating layer Lg.

図7および図9に示すように、ゲート絶縁層Lgの面上には選択線11と中間導電体5
2とが同層から形成される。選択線11は、X方向に延在して半導体層42と交差する。
半導体層42のうちゲート絶縁層Lgを挟んで選択線11に対向する部分が選択トランジ
スタTslのチャネル領域となる。
As shown in FIGS. 7 and 9, the selection line 11 and the intermediate conductor 5 are formed on the surface of the gate insulating layer Lg.
2 are formed from the same layer. The selection line 11 extends in the X direction and intersects the semiconductor layer 42.
A portion of the semiconductor layer 42 that faces the selection line 11 with the gate insulating layer Lg interposed therebetween becomes a channel region of the selection transistor Tsl.

中間導電体52は、電極Ea1に対向して容量素子C1を構成する電極Ea2と、電極Ea2
からみてY方向の負側に間隔をあけて隣接するゲート電極521と、電極Ea2とゲート電
極521とを連結する連結部522と、第1実施形態の接続部513と同形態の接続部5
23とを含む。ゲート電極521は、半導体層32の素子部321と重なり合う電極であ
り、連結部522から素子部321の略全幅(X方向の寸法)にわたってX方向に延在す
る。図7に示すように、半導体層32のうちゲート絶縁層Lgを挟んでゲート電極521
に対向する部分がチャネル領域32cである。このチャネル領域32cを挟むようにソース
領域32sおよびドレイン領域32dが形成される。したがって、本実施形態においては、
図9に示すように、ゲート電極521のY方向における寸法がチャネル長Lに相当し、ゲ
ート電極521のX方向における寸法がチャネル幅Wに相当する。
The intermediate conductor 52 includes an electrode Ea2 that forms a capacitive element C1 facing the electrode Ea1, and an electrode Ea2
The gate electrode 521 adjacent to the negative side in the Y direction as viewed from the side, the connecting portion 522 connecting the electrode Ea2 and the gate electrode 521, and the connecting portion 5 having the same form as the connecting portion 513 in the first embodiment.
23. The gate electrode 521 is an electrode that overlaps the element portion 321 of the semiconductor layer 32, and extends in the X direction from the connecting portion 522 over substantially the entire width (dimension in the X direction) of the element portion 321. As shown in FIG. 7, the gate electrode 521 sandwiching the gate insulating layer Lg in the semiconductor layer 32.
The portion opposite to is the channel region 32c. A source region 32s and a drain region 32d are formed so as to sandwich the channel region 32c. Therefore, in this embodiment,
As shown in FIG. 9, the dimension in the Y direction of the gate electrode 521 corresponds to the channel length L, and the dimension in the X direction of the gate electrode 521 corresponds to the channel width W.

選択線11と中間導電体52とが形成されたゲート絶縁層Lgの表面は第1絶縁層L1に
覆われる。図7および図10に示すように、第1絶縁層L1の面上には、信号線13と接
続部621と電極接続部68と電源線15とが形成される。信号線13は、第1実施形態
と同様に、部分131と半導体層42と接続部621とを介して電極Ea2に電気的に接続
される。
The surface of the gate insulating layer Lg on which the selection line 11 and the intermediate conductor 52 are formed is covered with the first insulating layer L1. As shown in FIGS. 7 and 10, the signal line 13, the connection portion 621, the electrode connection portion 68, and the power supply line 15 are formed on the surface of the first insulating layer L1. Similarly to the first embodiment, the signal line 13 is electrically connected to the electrode Ea2 via the portion 131, the semiconductor layer 42, and the connection portion 621.

図10に示すように、電源線15は、基板10に垂直な方向からみて駆動トランジスタ
Tdr(特にチャネル領域31c)および容量素子C1の双方と重なり合うようにY方向に延
在する。素子部321のうち中間導電体52と重なり合わない部分(より具体的にはゲー
ト電極521と電極Ea2との間隙)には、第1絶縁層L1とゲート絶縁層Lgとを貫通する
2個のコンタクトホールCH5が形成される。電源線15は、各コンタクトホールCH5を
介して半導体層32のドレイン領域32dに導通する。
As shown in FIG. 10, the power supply line 15 extends in the Y direction so as to overlap both the drive transistor Tdr (particularly the channel region 31c) and the capacitive element C1 when viewed from the direction perpendicular to the substrate 10. In the portion of the element portion 321 that does not overlap with the intermediate conductor 52 (more specifically, the gap between the gate electrode 521 and the electrode Ea2), two pieces penetrating the first insulating layer L1 and the gate insulating layer Lg are provided. A contact hole CH5 is formed. The power supply line 15 is electrically connected to the drain region 32d of the semiconductor layer 32 through each contact hole CH5.

電極接続部68は、第1実施形態と同様に、コンタクトホールCH4を介して半導体層
32の延在部323に導通する。発光素子Eの第1電極21は、図7および図10に示す
ように、信号線13や電源線15を覆う第2絶縁層L2のコンタクトホールCH6を介して
電極接続部68に導通する。発光層23や隔壁25や第2電極22の構成は第1実施形態
と同様である。
The electrode connection portion 68 is electrically connected to the extension portion 323 of the semiconductor layer 32 through the contact hole CH4, as in the first embodiment. As shown in FIGS. 7 and 10, the first electrode 21 of the light emitting element E is electrically connected to the electrode connection portion 68 through the contact hole CH6 of the second insulating layer L2 covering the signal line 13 and the power supply line 15. The structure of the light emitting layer 23, the partition 25, and the 2nd electrode 22 is the same as that of 1st Embodiment.

以上のように、本実施形態においても、駆動トランジスタTdrのチャネル領域32c(
ゲート電極521)や容量素子C1と重なり合うように電源線15が形成されるから、第
1実施形態と同様の作用および効果が奏される。また、本実施形態においては、電源線1
5の延在する方向(Y方向)がチャネル長Lとなるようにチャネル領域32cとソース領
域32sとドレイン領域32dとが画定されるから、駆動トランジスタTdrについて充分な
チャネル長Lを容易に確保することができる。チャネル長Lが大きい駆動トランジスタT
drは飽和領域が広いから、駆動トランジスタTdrのオン状態とオフ状態とが明確に区別さ
れるべき方式の発光装置Dに本実施形態は特に好適である。このような方式としては、例
えば、各画素Pに指定された階調に応じて駆動トランジスタTdrのオン状態の期間とオフ
状態の期間とを比率を変化させることで発光素子Eの光量(階調)を制御する方式(パル
ス幅変調方式による階調制御)がある。
As described above, also in this embodiment, the channel region 32c (
Since the power supply line 15 is formed so as to overlap with the gate electrode 521) and the capacitive element C1, the same operations and effects as the first embodiment are exhibited. In the present embodiment, the power line 1
Since the channel region 32c, the source region 32s, and the drain region 32d are defined so that the extending direction 5 (Y direction) becomes the channel length L, a sufficient channel length L is easily secured for the drive transistor Tdr. be able to. Driving transistor T having a large channel length L
Since dr has a wide saturation region, this embodiment is particularly suitable for a light emitting device D of a type in which the on state and the off state of the drive transistor Tdr should be clearly distinguished. As such a system, for example, the amount of light (grayscale) of the light emitting element E is changed by changing the ratio between the on-state period and the off-state period of the driving transistor Tdr according to the gradation designated for each pixel P. ) (Tone control by a pulse width modulation method).

なお、本実施形態においても、図2に例示した第1実施形態と同様に、信号線13の部
分131と半導体層41と接続部621と接続部523とがX方向に沿って配列されると
ともに各コンタクトホール(CH1・CH2・CH3)がX方向に沿って直線状に配列する
構成を採用することができる。この構成によれば、発光層23の形状の単純化や大面積化
をいっそう容易に実現することができる。
Also in this embodiment, as in the first embodiment illustrated in FIG. 2, the portion 131 of the signal line 13, the semiconductor layer 41, the connection portion 621, and the connection portion 523 are arranged along the X direction. A configuration in which the contact holes (CH1, CH2, CH3) are arranged linearly along the X direction can be employed. According to this configuration, it is possible to more easily realize the simplification of the shape of the light emitting layer 23 and the increase in area.

<B−3:第3実施形態>
次に、本発明の第3実施形態に係る発光装置Dの画素Pの具体的な構成を説明する。図
11は、本実施形態における画素Pの構成を示す平面図である。同図に示すように、本実
施形態においては、選択線11がY方向に延在するとともに信号線13および電源線15
がX方向に延在する。図12ないし図14は、図11に示された各要素が順次に形成され
ていく様子を示す平面図である。
<B-3: Third Embodiment>
Next, a specific configuration of the pixel P of the light emitting device D according to the third embodiment of the invention will be described. FIG. 11 is a plan view showing the configuration of the pixel P in the present embodiment. As shown in the figure, in the present embodiment, the selection line 11 extends in the Y direction, and the signal line 13 and the power line 15
Extends in the X direction. 12 to 14 are plan views showing how the elements shown in FIG. 11 are sequentially formed.

図11および図12に示すように、基板10の面上には半導体層33と半導体層43と
が同層から形成される。半導体層33は、略コ字状(略U字状)の部分である。さらに詳
述すると、半導体層33は、X方向に延在する電極Ea1と、電極Ea1からX方向の正側に
連続する素子部331と、電極Ea1や素子部331と電極形成領域Aとの間隙にてX方向
に延在する延在部333と、素子部331と延在部333とを各々のX方向の正側の端部
にて相互に連結する連結部335とを含む。
As shown in FIGS. 11 and 12, a semiconductor layer 33 and a semiconductor layer 43 are formed from the same layer on the surface of the substrate 10. The semiconductor layer 33 is a substantially U-shaped (substantially U-shaped) part. More specifically, the semiconductor layer 33 includes an electrode Ea1 extending in the X direction, an element portion 331 continuous from the electrode Ea1 to the positive side in the X direction, and a gap between the electrode Ea1 and the element portion 331 and the electrode formation region A. And an extending portion 333 extending in the X direction, and a connecting portion 335 that connects the element portion 331 and the extending portion 333 to each other at the end on the positive side in the X direction.

半導体層43は、各々がX方向に延在する4個の部分(431ないし434)とY方向
に延在する接続部436とを含む。部分431と部分432とはX方向における負側の端
部にて相互に連結される。部分432と部分433とはX方向における正側の端部にて相
互に連結される。また、部分433と部分434とはX方向における負側の端部にて相互
に連結される。接続部436は部分434のX方向における正側の端部に連結される。
The semiconductor layer 43 includes four portions (431 to 434) each extending in the X direction and a connection portion 436 extending in the Y direction. The portion 431 and the portion 432 are connected to each other at the negative end in the X direction. The portion 432 and the portion 433 are connected to each other at the positive end in the X direction. Further, the portion 433 and the portion 434 are connected to each other at the negative end in the X direction. The connecting portion 436 is connected to the positive end of the portion 434 in the X direction.

図11および図13に示すように、半導体層33と半導体層43とを覆うゲート絶縁層
Lgの面上には選択線11と中間導電体53とが同層から形成される。選択線11は、Y
方向に延在して半導体層43の部分431ないし部分434と交差する。この構成におい
て、部分431ないし部分434の各々のうち選択線11と重なり合う部分が選択トラン
ジスタTslのチャネル領域となる。すなわち、本実形態における選択トランジスタTslは
、部分431および部分432を含むデュアルゲート構造のトランジスタと部分433お
よび部分434を含むデュアルゲート構造のトランジスタとが直列に配列された構成であ
る。この構成によれば、単一のチャネル領域のみを含むひとつのトランジスタが選択トラ
ンジスタTslとして利用される構成と比較して、半導体層43の各チャネル領域を介した
電流のリークを抑制することができる。
As shown in FIGS. 11 and 13, the selection line 11 and the intermediate conductor 53 are formed from the same layer on the surface of the gate insulating layer Lg covering the semiconductor layer 33 and the semiconductor layer 43. Select line 11 is Y
It extends in the direction and intersects with the portions 431 to 434 of the semiconductor layer 43. In this configuration, a portion of each of the portions 431 to 434 that overlaps the selection line 11 becomes a channel region of the selection transistor Tsl. That is, the selection transistor Tsl in this embodiment has a configuration in which a dual-gate transistor including the portion 431 and the portion 432 and a dual-gate transistor including the portion 433 and the portion 434 are arranged in series. According to this configuration, current leakage through each channel region of the semiconductor layer 43 can be suppressed as compared with a configuration in which a single transistor including only a single channel region is used as the selection transistor Tsl. .

図13に示すように、中間導電体53は、X方向を長手とする電極Ea2と、電極Ea2か
らX方向の正側に延在するゲート電極531と、電極Ea2におけるX方向の負側の周縁か
らY方向に延在する接続部533とを含む。電極Ea2と電極Ea1とがゲート絶縁層Lgを
挟んで対向することによって容量素子C1が形成される。
As shown in FIG. 13, the intermediate conductor 53 includes an electrode Ea2 whose longitudinal direction is the X direction, a gate electrode 531 extending from the electrode Ea2 to the positive side in the X direction, and a peripheral edge on the negative side in the X direction of the electrode Ea2. And a connecting portion 533 extending in the Y direction. The electrode Ea2 and the electrode Ea1 face each other with the gate insulating layer Lg interposed therebetween, so that the capacitive element C1 is formed.

ゲート電極531は、半導体層33の素子部331と重なり合う電極であり、連結部3
35の略全幅にわたってX方向に延在する。図11および図13に示すように、半導体層
33のうちゲート絶縁層Lgを挟んでゲート電極531に対向する部分が駆動トランジス
タTdrのチャネル領域33cである。また、半導体層33のうちチャネル領域33cを挟ん
で電極Ea2側に位置する領域はドレイン領域33dであり、延在部333側に位置する領
域はソース領域33sである。したがって、図13に示すように、ゲート電極531の線
幅(Y方向の寸法)がチャネル長Lに相当し、連結部335のX方向における寸法がチャ
ネル幅Wに相当する。また、駆動トランジスタTdrと容量素子C1とはX方向に配列する
The gate electrode 531 is an electrode that overlaps the element portion 331 of the semiconductor layer 33, and the connection portion 3.
It extends in the X direction over substantially the entire width of 35. As shown in FIGS. 11 and 13, the portion of the semiconductor layer 33 that faces the gate electrode 531 across the gate insulating layer Lg is the channel region 33c of the drive transistor Tdr. In the semiconductor layer 33, a region located on the electrode Ea2 side with the channel region 33c interposed therebetween is a drain region 33d, and a region located on the extending portion 333 side is a source region 33s. Therefore, as shown in FIG. 13, the line width (dimension in the Y direction) of the gate electrode 531 corresponds to the channel length L, and the dimension in the X direction of the connecting portion 335 corresponds to the channel width W. The drive transistor Tdr and the capacitive element C1 are arranged in the X direction.

選択線11と中間導電体53とが形成されたゲート絶縁層Lgの表面は第1絶縁層L1に
覆われる。図11および図14に示すように、第1絶縁層L1の面上には、信号線13と
接続部631と電極接続部68と電源線15とが同層から形成される。信号線13は、第
1絶縁層L1とゲート絶縁層Lgとを貫通するコンタクトホールCH1を介して半導体層4
3の接続部436に導通する。電極接続部68の形態や他の要素との接続の関係は第1実
施形態や第2実施形態と同様である。
The surface of the gate insulating layer Lg on which the selection line 11 and the intermediate conductor 53 are formed is covered with the first insulating layer L1. As shown in FIGS. 11 and 14, the signal line 13, the connection part 631, the electrode connection part 68, and the power supply line 15 are formed from the same layer on the surface of the first insulating layer L1. The signal line 13 is connected to the semiconductor layer 4 via a contact hole CH1 penetrating the first insulating layer L1 and the gate insulating layer Lg.
3 connection part 436 is conducted. The form of the electrode connection portion 68 and the connection relationship with other elements are the same as those in the first embodiment and the second embodiment.

接続部631は、半導体層43の部分431におけるX方向の正側の端部と中間導電体
53の接続部533とに重なり合うようにY方向に延在する。図13および図14に示す
ように、接続部631は、コンタクトホールCH2を介して部分431に導通するととも
に、コンタクトホールCH3を介して中間導電体53の接続部533に導通する。すなわ
ち、選択トランジスタTslのソース電極(部分431)と容量素子C1の電極Ea2(さら
には駆動トランジスタTdrのゲート電極531)とが接続部631を介して電気的に接続
される。
The connection portion 631 extends in the Y direction so as to overlap the positive end portion in the X direction of the portion 431 of the semiconductor layer 43 and the connection portion 533 of the intermediate conductor 53. As shown in FIGS. 13 and 14, the connection portion 631 is electrically connected to the portion 431 via the contact hole CH2, and is electrically connected to the connection portion 533 of the intermediate conductor 53 via the contact hole CH3. That is, the source electrode (part 431) of the selection transistor Tsl and the electrode Ea2 of the capacitive element C1 (and the gate electrode 531 of the driving transistor Tdr) are electrically connected via the connection portion 631.

電源線15は、基板10に垂直な方向からみて駆動トランジスタTdrのチャネル領域3
3cおよび容量素子C1の双方と重なり合うようにX方向に延在する。素子部331のうち
中間導電体52と重なり合わない領域には第1絶縁層L1とゲート絶縁層Lgとを貫通する
コンタクトホールCH5が形成される。電源線15は、このコンタクトホールCH5を介し
て半導体層33のドレイン領域33dに導通する。
The power line 15 is connected to the channel region 3 of the driving transistor Tdr when viewed from the direction perpendicular to the substrate 10.
It extends in the X direction so as to overlap both 3c and the capacitive element C1. A contact hole CH5 penetrating the first insulating layer L1 and the gate insulating layer Lg is formed in a region of the element portion 331 that does not overlap with the intermediate conductor 52. The power supply line 15 is electrically connected to the drain region 33d of the semiconductor layer 33 through the contact hole CH5.

以上に説明したように、本実施形態においても駆動トランジスタTdrのチャネル領域3
3c(ゲート電極531)や容量素子C1と重なり合うように電源線15が形成されるから
、第1実施形態と同様の作用および効果が奏される。また、本実施形態においては、電源
線15の延在する方向とチャネル幅Wの方向とが一致するようにチャネル領域33cとソ
ース領域33sとドレイン領域33dとが画定されるから、第1実施形態と同様に、駆動ト
ランジスタTdrについて充分なチャネル幅Wを確保することができるという利点がある。
As described above, also in this embodiment, the channel region 3 of the drive transistor Tdr
Since the power supply line 15 is formed so as to overlap with 3c (gate electrode 531) and the capacitive element C1, the same operations and effects as in the first embodiment are exhibited. In the present embodiment, the channel region 33c, the source region 33s, and the drain region 33d are defined so that the direction in which the power supply line 15 extends and the direction of the channel width W coincide with each other. Similarly to the above, there is an advantage that a sufficient channel width W can be secured for the drive transistor Tdr.

また、本実施形態においては、基板10に垂直な方向からみて電極接続部68と信号線
13との間隙の領域に駆動トランジスタTdrが配置され、この駆動トランジスタTdrを覆
う電源線15が信号線13と同層から形成される。この構成においては、信号線13と電
源線15とが近接するから、駆動トランジスタTdrと信号線13とが隣接する構成にも拘
わらず、信号線13に発生したノイズが駆動トランジスタTdrや電極接続部68に与える
影響を低減ないし防止することが可能である。
In the present embodiment, the driving transistor Tdr is disposed in the gap region between the electrode connection portion 68 and the signal line 13 when viewed from the direction perpendicular to the substrate 10, and the power supply line 15 covering the driving transistor Tdr is connected to the signal line 13. And the same layer. In this configuration, since the signal line 13 and the power supply line 15 are close to each other, noise generated in the signal line 13 is caused by the drive transistor Tdr and the electrode connection portion regardless of the configuration in which the drive transistor Tdr and the signal line 13 are adjacent to each other. 68 can be reduced or prevented.

なお、第1実施形態や第2実施形態においては、信号線13と容量素子C1(駆動トラ
ンジスタTdr)とがX方向に沿って発光層23を挟む各位置に配置された構成を例示した
。この構成においては、信号線13と容量素子C1との間の選択トランジスタTslに関わ
る要素(部分131・半導体層41・接続部611(621)および接続部513(52
3))を、発光層23のX方向における全幅にわたって配置する必要がある。これに対し
、本実施形態においては、選択トランジスタTslに関わる要素(半導体層43や接続部6
31)を発光層23とは無関係に配置することができるから、第1実施形態や第2実施形
態と対比すると、例えば部分131や接続部611を省略できる分だけ開口率を増加する
ことができる。
In the first embodiment and the second embodiment, the configuration in which the signal line 13 and the capacitive element C1 (drive transistor Tdr) are arranged at each position sandwiching the light emitting layer 23 along the X direction is illustrated. In this configuration, elements (part 131, semiconductor layer 41, connection part 611 (621) and connection part 513 (52) related to the selection transistor Tsl between the signal line 13 and the capacitive element C 1.
3)) needs to be disposed over the entire width of the light emitting layer 23 in the X direction. On the other hand, in the present embodiment, elements related to the selection transistor Tsl (semiconductor layer 43 and connection portion 6).
31) can be arranged independently of the light emitting layer 23, so that the aperture ratio can be increased by the amount that, for example, the portion 131 and the connecting portion 611 can be omitted, as compared with the first and second embodiments. .

また、本実施形態においては、駆動トランジスタTdrからみて発光層23側の領域内に
コンタクトホールCH2・CH3・CH4およびCH6が相互に近接して配置される。この構
成によれば、例えばコンタクトホールCH2やCH3が駆動トランジスタTdrからみてX方
向の一方の側に形成された構成と比較して、電源線15がX方向に延在する領域を充分に
確保できるという利点がある。
In the present embodiment, the contact holes CH2, CH3, CH4, and CH6 are disposed close to each other in the region on the light emitting layer 23 side as viewed from the drive transistor Tdr. According to this configuration, for example, compared to a configuration in which the contact holes CH2 and CH3 are formed on one side in the X direction as viewed from the driving transistor Tdr, a region where the power supply line 15 extends in the X direction can be sufficiently secured. There is an advantage.

<B−4:第4実施形態>
次に、本発明の第4実施形態に係る発光装置Dの画素Pの具体的な構成を説明する。図
15は、本実施形態における画素Pの構成を示す平面図である。同図に示すように、本実
施形態においては、第3実施形態と同様に、選択線11がY方向に延在するとともに信号
線13および電源線15がX方向に延在する。図16ないし図18は、図15に示された
各要素が順次に形成されていく様子を示す平面図である。なお、本実施形態のうち第3実
施形態と同様の要素については共通の符号を付してその詳細な説明を適宜に省略する。
<B-4: Fourth Embodiment>
Next, a specific configuration of the pixel P of the light emitting device D according to the fourth embodiment of the present invention will be described. FIG. 15 is a plan view showing the configuration of the pixel P in the present embodiment. As shown in the figure, in this embodiment, the selection line 11 extends in the Y direction and the signal line 13 and the power supply line 15 extend in the X direction, as in the third embodiment. 16 to 18 are plan views showing how the elements shown in FIG. 15 are sequentially formed. In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the element similar to 3rd Embodiment among this embodiment, and the detailed description is abbreviate | omitted suitably.

図15および図16に示すように、基板10の面上には半導体層34と半導体層44と
が同層から形成される。半導体層34は、電極形成領域AからみてY方向の正側に位置す
る略矩形状の部分である。半導体層44は、第3実施形態の半導体層43と同じ形状であ
る。
As shown in FIGS. 15 and 16, the semiconductor layer 34 and the semiconductor layer 44 are formed from the same layer on the surface of the substrate 10. The semiconductor layer 34 is a substantially rectangular portion located on the positive side in the Y direction when viewed from the electrode formation region A. The semiconductor layer 44 has the same shape as the semiconductor layer 43 of the third embodiment.

図15および図17に示すように、半導体層34と半導体層44とを覆うゲート絶縁層
Lgの面上には選択線11と中間導電体54とが同層から形成される。選択線11は第3
実施形態と同様である。図17に示すように、中間導電体54はゲート電極541と接続
部543とを含む。ゲート電極541は、ゲート絶縁層Lgを挟んで半導体層34と重な
り合う部分であり、半導体層34の略全幅にわたってX方向に延在する。接続部543は
、第3実施形態の接続部533と同様に、ゲート電極541の端部からY方向に延在する
As shown in FIGS. 15 and 17, the select line 11 and the intermediate conductor 54 are formed from the same layer on the surface of the gate insulating layer Lg covering the semiconductor layer 34 and the semiconductor layer 44. The selection line 11 is the third
This is the same as the embodiment. As shown in FIG. 17, the intermediate conductor 54 includes a gate electrode 541 and a connection portion 543. The gate electrode 541 is a portion that overlaps the semiconductor layer 34 with the gate insulating layer Lg interposed therebetween, and extends in the X direction over substantially the entire width of the semiconductor layer 34. The connection portion 543 extends from the end portion of the gate electrode 541 in the Y direction, similarly to the connection portion 533 of the third embodiment.

図15に示すように、半導体層34のうちゲート絶縁層Lgを挟んでゲート電極541
に対向する部分が駆動トランジスタTdrのチャネル領域34cである。また、半導体層3
4のうちチャネル領域34cを挟んで電極形成領域A側に位置する領域がソース領域34s
であり、その反対側に位置する領域がドレイン領域34dである。したがって、図17に
示すように、ゲート電極541の線幅(Y方向の寸法)がチャネル長Lに相当し、半導体
層34のX方向における寸法がチャネル幅Wに相当する。
As shown in FIG. 15, the gate electrode 541 is sandwiched between the gate insulating layers Lg in the semiconductor layer 34.
The portion opposite to is the channel region 34c of the drive transistor Tdr. In addition, the semiconductor layer 3
4, the region located on the electrode forming region A side with the channel region 34c interposed therebetween is the source region 34s.
The region located on the opposite side is the drain region 34d. Accordingly, as shown in FIG. 17, the line width (dimension in the Y direction) of the gate electrode 541 corresponds to the channel length L, and the dimension in the X direction of the semiconductor layer 34 corresponds to the channel width W.

図18に示すように、選択線11と中間導電体54とを覆う第1絶縁層L1の面上には
、信号線13と接続部641と電極接続部68と電源線15とが同層から形成される。信
号線13・接続部641および電極接続部68の各々の形態や他の要素との接続の関係は
、第3実施形態における信号線13・接続部631および電極接続部68と同様である。
As shown in FIG. 18, on the surface of the first insulating layer L1 covering the selection line 11 and the intermediate conductor 54, the signal line 13, the connection part 641, the electrode connection part 68, and the power supply line 15 are formed from the same layer. It is formed. Each form of the signal line 13 / connection part 641 and the electrode connection part 68 and the connection relationship with other elements are the same as those of the signal line 13 / connection part 631 and the electrode connection part 68 in the third embodiment.

電源線15は、第3実施形態と同様に、基板10に垂直な方向からみて駆動トランジス
タTdrのチャネル領域34cと重なり合うようにX方向に延在する。図15および図18
に示すように、この電源線15は、第1絶縁層L1とゲート絶縁層Lgとを貫通する複数(
5個)のコンタクトホールCH5を介して半導体層34のドレイン領域34dに導通する。
複数のコンタクトホールCH5は、ゲート電極541に沿ってX方向に配列する。
As in the third embodiment, the power supply line 15 extends in the X direction so as to overlap the channel region 34c of the drive transistor Tdr when viewed from the direction perpendicular to the substrate 10. 15 and 18
As shown in FIG. 2, the power line 15 includes a plurality of (through the first insulating layer L1 and the gate insulating layer Lg (
Conduction to the drain region 34d of the semiconductor layer 34 through the five contact holes CH5.
The plurality of contact holes CH5 are arranged in the X direction along the gate electrode 541.

以上に説明したように、本実施形態においても駆動トランジスタTdrのチャネル領域3
4c(ゲート電極541)と重なり合うように電源線15が形成されるから、第1実施形
態や第3実施形態と同様の作用および効果が奏される。また、本実施形態においては、ゲ
ート電極541に沿って複数のコンタクトホールCH5が形成されるから、第3実施形態
と比較して、駆動トランジスタTdrと電源線15とを確実に導通させるとともに両者の接
触部の抵抗を低減することができる。なお、本実施形態において図1の容量素子C1は独
立して形成されないが、半導体層34の全幅にわたってゲート電極541が形成されるこ
とでデータ電位Vdataの保持に充分な静電容量を確保することが可能である。
As described above, also in this embodiment, the channel region 3 of the drive transistor Tdr
Since the power supply line 15 is formed so as to overlap with 4c (the gate electrode 541), the same operation and effect as the first embodiment and the third embodiment are exhibited. In the present embodiment, a plurality of contact holes CH5 are formed along the gate electrode 541. Therefore, as compared with the third embodiment, the driving transistor Tdr and the power supply line 15 are reliably conducted and both of them are connected. The resistance of the contact portion can be reduced. In the present embodiment, the capacitive element C1 of FIG. 1 is not formed independently, but the gate electrode 541 is formed over the entire width of the semiconductor layer 34 to ensure a sufficient capacitance for holding the data potential Vdata. Is possible.

<C:第5実施形態>
<C−1:画素の電気的な構成>
次に、本発明の第5実施形態に係る発光装置Dの構成を説明する。図19は、発光装置
Dにおけるひとつの画素Pの電気的な構成を示す回路図である。同図に示すように、本実
施形態においては、pチャネル型の駆動トランジスタTdrのソース電極が電源線15に接
続されるとともにドレイン電極が発光素子Eの第1電極21に接続される。選択トランジ
スタTslのゲート電極が選択線11に接続されるとともにドレイン電極が信号線13に接
続される点は図1の構成と同様である。
<C: Fifth Embodiment>
<C-1: Pixel Electrical Configuration>
Next, the structure of the light-emitting device D which concerns on 5th Embodiment of this invention is demonstrated. FIG. 19 is a circuit diagram showing an electrical configuration of one pixel P in the light emitting device D. As shown in the figure, in the present embodiment, the source electrode of the p-channel type driving transistor Tdr is connected to the power supply line 15 and the drain electrode is connected to the first electrode 21 of the light emitting element E. The point that the gate electrode of the selection transistor Tsl is connected to the selection line 11 and the drain electrode is connected to the signal line 13 is the same as the configuration of FIG.

図19に示すように、駆動トランジスタTdrのゲート電極とドレイン電極(発光素子E
の第1電極21)との間には、両者の電気的な接続を制御するためのnチャネル型のトラ
ンジスタ(以下「初期化トランジスタ」という)Tintが介在する。初期化トランジスタ
Tintのゲート電極は初期化信号INTが供給される初期化線12に接続される。初期化
線12は、例えばX方向に配列する複数の画素Pにて共用される。
As shown in FIG. 19, the gate electrode and the drain electrode (light emitting element E) of the driving transistor Tdr.
Between the first electrode 21), an n-channel transistor (hereinafter referred to as "initializing transistor") Tint for controlling the electrical connection therebetween is interposed. The gate electrode of the initialization transistor Tint is connected to the initialization line 12 to which the initialization signal INT is supplied. The initialization line 12 is shared by, for example, a plurality of pixels P arranged in the X direction.

また、本実施形態の画素Pは電極Eb1と電極Eb2とから構成される容量素子C2を含む
。電極Eb1は選択トランジスタTslのソース電極に接続される。電極Eb2は駆動トランジ
スタTdrのゲート電極に接続される。なお、図19においては図示を省略したが、図1に
例示された構成と同様に、駆動トランジスタTdrのゲート電極の電位を保持する容量素子
C1をゲート電極と電源線15との間に配置してもよい。
Further, the pixel P of the present embodiment includes a capacitive element C2 composed of the electrode Eb1 and the electrode Eb2. The electrode Eb1 is connected to the source electrode of the selection transistor Tsl. The electrode Eb2 is connected to the gate electrode of the drive transistor Tdr. Although not shown in FIG. 19, a capacitive element C 1 that holds the potential of the gate electrode of the drive transistor Tdr is disposed between the gate electrode and the power supply line 15, as in the configuration illustrated in FIG. May be.

次に、ひとつの画素Pの動作を初期化期間と書込期間と駆動期間とに区分して説明する
。まず、初期化期間においては、信号線13に所定の電位Vrefが供給されるとともに、
選択線11の選択信号Sと初期化線12の初期化信号INTとがアクティブレベル(ハイ
レベル)を維持する。したがって、容量素子C2の電極Eb1には信号線13から選択トラ
ンジスタTslを介して電位Vrefが供給される。また、初期化トランジスタTintがオン状
態に変化することによって駆動トランジスタTdrがダイオード接続される。したがって、
駆動トランジスタTdrのゲート電極の電位Vgは、電源線15の電源電位Vddと駆動トラ
ンジスタTdrの閾値電圧Vthとの差分値(Vg=Vdd−Vth)に収束する。
Next, the operation of one pixel P will be described by dividing it into an initialization period, a writing period, and a driving period. First, in the initialization period, a predetermined potential Vref is supplied to the signal line 13, and
The selection signal S of the selection line 11 and the initialization signal INT of the initialization line 12 maintain the active level (high level). Therefore, the potential Vref is supplied from the signal line 13 to the electrode Eb1 of the capacitive element C2 via the selection transistor Tsl. Further, when the initialization transistor Tint is turned on, the drive transistor Tdr is diode-connected. Therefore,
The potential Vg of the gate electrode of the drive transistor Tdr converges to a difference value (Vg = Vdd−Vth) between the power supply potential Vdd of the power supply line 15 and the threshold voltage Vth of the drive transistor Tdr.

次に、初期化期間の経過後の書込期間においては、初期化信号INTが非アクティブレ
ベル(ローレベル)に遷移して駆動トランジスタTdrのダイオード接続が解除される。そ
して、選択トランジスタTslがオン状態に維持されたまま、信号線13から電極Eb1に供
給される電位Vrefが画素Pの階調に応じたデータ電位Vdataに変更される。駆動トラン
ジスタTdrのゲート電極のインピーダンスは充分に高いから、電極Eb1が電位Vrefから
データ電位Vdataまで変化量ΔV(=Vref−Vdata)だけ変動すると、電極Eb2の電位
は容量素子C2における容量カップリングによってその直前の電位Vg(=Vdd−Vth)か
ら変動する。このときの電極Eb2の電位の変化量は、容量素子C2とその他の寄生容量(
例えば駆動トランジスタTdrのゲート容量やその他の配線に寄生する容量、あるいは画素
Pが容量素子C1を含む場合にはこの容量素子C1)との容量比に応じて定まる。より具体
的には、容量素子C2の静電容量を「C」とし寄生容量の静電容量を「Cs」とすると、電
極Eb2の電位の変化量は「ΔV・C/(C+Cs)」と表現される。したがって、書込期
間の終点において駆動トランジスタTdrの電位Vgは以下の式(1)のレベルで安定する。
Vg=Vdd−Vth−k・ΔV ……(1)
ただし、k=C/(C+Cs)
Next, in the writing period after the lapse of the initialization period, the initialization signal INT transitions to the inactive level (low level), and the diode connection of the drive transistor Tdr is released. Then, the potential Vref supplied from the signal line 13 to the electrode Eb1 is changed to the data potential Vdata corresponding to the gradation of the pixel P while the selection transistor Tsl is maintained in the on state. Since the impedance of the gate electrode of the driving transistor Tdr is sufficiently high, when the electrode Eb1 changes from the potential Vref to the data potential Vdata by a change amount ΔV (= Vref−Vdata), the potential of the electrode Eb2 is caused by capacitive coupling in the capacitive element C2. It fluctuates from the immediately preceding potential Vg (= Vdd−Vth). The amount of change in the potential of the electrode Eb2 at this time depends on the capacitive element C2 and other parasitic capacitances (
For example, it is determined according to the gate capacitance of the driving transistor Tdr, the capacitance parasitic to other wiring, or the capacitance ratio with the capacitance element C1) when the pixel P includes the capacitance element C1. More specifically, when the capacitance of the capacitive element C2 is “C” and the capacitance of the parasitic capacitance is “Cs”, the amount of change in the potential of the electrode Eb2 is expressed as “ΔV · C / (C + Cs)”. Is done. Therefore, at the end of the writing period, the potential Vg of the driving transistor Tdr is stabilized at the level of the following formula (1).
Vg = Vdd−Vth−k · ΔV (1)
However, k = C / (C + Cs)

書込期間の経過後の駆動期間においては、選択信号Sが非アクティブレベルに遷移して
選択トランジスタTslがオフ状態に変化する。そして、駆動トランジスタTdrのゲート電
極の電位Vgに応じた電流が電源線15から駆動トランジスタTdrを経由して発光素子E
に供給される。この電流の供給によって発光素子Eはデータ電位Vdataに応じた光量で発
光する。
In the driving period after the writing period elapses, the selection signal S transits to an inactive level and the selection transistor Tsl changes to an off state. A current corresponding to the potential Vg of the gate electrode of the drive transistor Tdr is supplied from the power supply line 15 via the drive transistor Tdr to the light emitting element E.
To be supplied. By supplying this current, the light emitting element E emits light with a light amount corresponding to the data potential Vdata.

いま、駆動トランジスタTdrが飽和領域で動作すると仮定すれば、駆動期間にて発光素
子Eに供給される電流Iは以下の式(2)によって表現される。ただし、「β」は駆動トラ
ンジスタTdrの利得係数であり、「Vgs」は駆動トランジスタTdrのゲート−ソース間の
電圧である。
I=(β/2)(Vgs−Vth)2 ……(2)
=(β/2)(Vdd−Vg−Vth)2
式(1)の代入によって式(2)は以下のように変形される。
I=(β/2)(k・ΔV)2
すなわち、本実施形態において発光素子Eに供給される電流Iは駆動トランジスタTdr
の閾値電圧Vthに依存しない。したがって、各駆動トランジスタTdrの閾値電圧Vthのバ
ラツキに起因した発光素子Eの光量の誤差(輝度のムラ)を抑制することができる。
Assuming that the driving transistor Tdr operates in the saturation region, the current I supplied to the light emitting element E in the driving period is expressed by the following equation (2). However, “β” is a gain coefficient of the driving transistor Tdr, and “Vgs” is a gate-source voltage of the driving transistor Tdr.
I = (β / 2) (Vgs−Vth) 2 (2)
= (Β / 2) (Vdd−Vg−Vth) 2
By substituting equation (1), equation (2) is transformed as follows.
I = (β / 2) (k · ΔV) 2
That is, in the present embodiment, the current I supplied to the light emitting element E is the driving transistor Tdr.
It does not depend on the threshold voltage Vth. Therefore, it is possible to suppress an error (luminance unevenness) in the light amount of the light emitting element E due to the variation in the threshold voltage Vth of each drive transistor Tdr.

<C−2:画素Pの構造>
次に、図20ないし図23を参照して、本実施形態における画素Pの具体的な構造を説
明する。図20は、ひとつの画素Pの構成を示す平面図であり、図21ないし図23は、
図20に示された各要素が順次に形成されていく様子を示す平面図である。
<C-2: Structure of Pixel P>
Next, a specific structure of the pixel P in the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 20 is a plan view showing the configuration of one pixel P, and FIGS.
It is a top view which shows a mode that each element shown by FIG. 20 is formed sequentially.

図20および図21に示すように、基板10の面上には半導体層35と半導体層45と
が同層から形成される。半導体層35は、駆動トランジスタTdrを構成する略矩形状の第
1素子部351と、第1素子部351に連設された第2素子部352と、第1素子部35
1からX方向の負側に延在する延在部353とを含む。第2素子部352は、図19の初
期化トランジスタTintを構成する部分であり、第1素子部351からY方向の負側に突
出する部分352aと、部分352aからみてX方向の正側にてY方向に延在する部分35
2bとを、各々のY方向の負側の端部にて相互に連結した形状となっている。
As shown in FIGS. 20 and 21, the semiconductor layer 35 and the semiconductor layer 45 are formed from the same layer on the surface of the substrate 10. The semiconductor layer 35 includes a substantially rectangular first element portion 351 constituting the drive transistor Tdr, a second element portion 352 connected to the first element portion 351, and a first element portion 35.
1 and an extending portion 353 extending to the negative side in the X direction. The second element part 352 is a part constituting the initialization transistor Tint of FIG. 19, and a part 352a protruding from the first element part 351 to the negative side in the Y direction and a positive side in the X direction as viewed from the part 352a. A portion 35 extending in the Y direction
2b are connected to each other at the negative ends in the Y direction.

半導体層45は、電極Eb1と素子部451とを含む。電極Eb1は、図19の容量素子C
2を構成する略矩形状の電極である。素子部451は、選択トランジスタTslを構成する
部分であり、電極Eb1からY方向の正側に突出する部分451aと、部分451aからみて
X方向の正側にてY方向に延在する部分451bとを、各々のY方向の正側の端部にて相
互に連結した形状である。
The semiconductor layer 45 includes an electrode Eb1 and an element portion 451. The electrode Eb1 is the capacitive element C in FIG.
2 is a substantially rectangular electrode. The element portion 451 is a portion constituting the selection transistor Tsl, a portion 451a protruding from the electrode Eb1 to the positive side in the Y direction, and a portion 451b extending in the Y direction on the positive side in the X direction as viewed from the portion 451a. Are connected to each other at the positive ends in the Y direction.

図20および図22に示すように、半導体層35と半導体層45とを覆うゲート絶縁層
Lgの面上には選択線11と初期化線12と中間導電体55とが同層から形成される。選
択線11は、X方向に延在して半導体層45の素子部451と重なり合う。半導体層45
の部分451aおよび部分451bの各々のうちゲート絶縁層Lgを介して選択線11と対
向する領域がチャネル領域となる。また、初期化線12は、X方向に延在して半導体層3
5の第2素子部352と重なり合う。半導体層35の部分352aおよび部分352bの各
々のうちゲート絶縁層Lgを介して初期化線12と対向する領域がチャネル領域となる。
以上のように、本実施形態における選択トランジスタTslおよび初期化トランジスタTin
tはデュアルゲート構造のトランジスタである。
As shown in FIGS. 20 and 22, the selection line 11, the initialization line 12, and the intermediate conductor 55 are formed from the same layer on the surface of the gate insulating layer Lg covering the semiconductor layer 35 and the semiconductor layer 45. . The selection line 11 extends in the X direction and overlaps with the element portion 451 of the semiconductor layer 45. Semiconductor layer 45
Of each of the portions 451a and 451b, a region facing the selection line 11 via the gate insulating layer Lg becomes a channel region. Further, the initialization line 12 extends in the X direction and extends to the semiconductor layer 3.
5 overlaps with the second element portion 352. Of each of the portion 352a and the portion 352b of the semiconductor layer 35, a region facing the initialization line 12 via the gate insulating layer Lg becomes a channel region.
As described above, the selection transistor Tsl and the initialization transistor Tin in this embodiment.
t is a dual-gate transistor.

中間導電体55は、略矩形状の電極Eb2と、電極Eb2からみてY方向の負側に間隔をあ
けて隣接するゲート電極551と、電極Eb2とゲート電極551とを連結する連結部55
2とを含む。電極Eb1と電極Eb2とがゲート絶縁層Lgを挟んで対向することによって図
19の容量素子C2が構成される。
The intermediate conductor 55 includes a substantially rectangular electrode Eb2, a gate electrode 551 that is adjacent to the negative side in the Y direction as viewed from the electrode Eb2, and a connecting portion 55 that connects the electrode Eb2 and the gate electrode 551.
2 is included. Electrode Eb1 and electrode Eb2 are opposed to each other with gate insulating layer Lg interposed therebetween, so that capacitive element C2 in FIG. 19 is configured.

ゲート電極551は、半導体層35の第1素子部351と重なり合う電極であり、連結
部552から第1素子部351の略全幅にわたってX方向に延在する。図20に示すよう
に、半導体層35(第1素子部351)のうちゲート絶縁層Lgを挟んでゲート電極55
1に対向する部分が駆動トランジスタTdrのチャネル領域35cである。また、半導体層
35には、チャネル領域35cを挟んで延在部353側に位置するドレイン領域35dと、
半導体層45側に位置するソース領域35sとが形成される。したがって、図22に示す
ように、ゲート電極551のY方向における寸法が駆動トランジスタTdrのチャネル長L
に相当し、第1素子部351のX方向における寸法がチャネル幅Wに相当する。また、駆
動トランジスタTdrと容量素子C2とはY方向に配列する。
The gate electrode 551 is an electrode that overlaps the first element portion 351 of the semiconductor layer 35, and extends from the connecting portion 552 in the X direction over substantially the entire width of the first element portion 351. As shown in FIG. 20, the gate electrode 55 is sandwiched between the gate insulating layer Lg in the semiconductor layer 35 (first element portion 351).
A portion facing 1 is a channel region 35c of the drive transistor Tdr. The semiconductor layer 35 includes a drain region 35d located on the extending portion 353 side with the channel region 35c interposed therebetween,
A source region 35s located on the semiconductor layer 45 side is formed. Therefore, as shown in FIG. 22, the dimension of the gate electrode 551 in the Y direction is the channel length L of the drive transistor Tdr.
The dimension in the X direction of the first element portion 351 corresponds to the channel width W. The drive transistor Tdr and the capacitive element C2 are arranged in the Y direction.

選択線11と初期化線12と中間導電体55とが形成されたゲート絶縁層Lgの表面は
第1絶縁層L1に覆われる。図20および図23に示すように、第1絶縁層L1の面上には
、信号線13と接続部651と電極接続部68と電源線15とが形成される。Y方向に延
在する信号線13は、第1絶縁層L1とゲート絶縁層Lgとを貫通するコンタクトホールC
H1を介して部分451b(すなわち選択トランジスタTslのドレイン電極)に導通する。
電極接続部68の形態や他の要素との接続の関係は第1実施形態と同様である。
The surface of the gate insulating layer Lg on which the selection line 11, the initialization line 12, and the intermediate conductor 55 are formed is covered with the first insulating layer L1. As shown in FIGS. 20 and 23, the signal line 13, the connection portion 651, the electrode connection portion 68, and the power supply line 15 are formed on the surface of the first insulating layer L1. The signal line 13 extending in the Y direction has a contact hole C penetrating the first insulating layer L1 and the gate insulating layer Lg.
The portion 451b (that is, the drain electrode of the selection transistor Tsl) is conducted through H1.
The form of the electrode connection portion 68 and the connection relationship with other elements are the same as in the first embodiment.

電源線15は、駆動トランジスタTdrのチャネル領域35c(ゲート電極551)およ
び容量素子C2の双方と重なり合うようにY方向に延在する。図22および図23に示す
ように、第1素子部351のうち中間導電体55と重なり合わない部分(より具体的には
ゲート電極551と電極Eb2との間隙)には2個のコンタクトホールCH5が形成される
。電源線15は、コンタクトホールCH5を介して半導体層35のソース領域35sに導通
する。
The power supply line 15 extends in the Y direction so as to overlap both the channel region 35c (gate electrode 551) of the driving transistor Tdr and the capacitive element C2. As shown in FIGS. 22 and 23, two contact holes CH5 are formed in a portion of the first element portion 351 that does not overlap with the intermediate conductor 55 (more specifically, a gap between the gate electrode 551 and the electrode Eb2). Is formed. The power supply line 15 is electrically connected to the source region 35s of the semiconductor layer 35 through the contact hole CH5.

電源線15のうちX方向の正側の周縁には切欠部151が形成される。接続部651は
、この切欠部151の内側に電源線15から離間して形成された部分であり、第2素子部
352の部分352bと中間導電体55のゲート電極551とに重なり合うようにY方向
に延在する。図22および図23に示すように、接続部651は、第1絶縁層L1とゲー
ト絶縁層Lgとを貫通するコンタクトホールCH2を介して第2素子部352(部分352
b)に導通するとともに、第1絶縁層L1を貫通するコンタクトホールCH3を介して中間
導電体55(ゲート電極551)に導通する。すなわち、初期化トランジスタTintと駆
動トランジスタTdrのゲート電極551とが接続部651を介して電気的に接続される。
A notch 151 is formed in the peripheral edge on the positive side in the X direction of the power supply line 15. The connection portion 651 is a portion formed inside the cutout portion 151 and spaced from the power supply line 15, and is overlapped with the portion 352 b of the second element portion 352 and the gate electrode 551 of the intermediate conductor 55 in the Y direction. Extend to. As shown in FIGS. 22 and 23, the connecting portion 651 is connected to the second element portion 352 (part 352) via a contact hole CH2 that penetrates the first insulating layer L1 and the gate insulating layer Lg.
Conducting to b) and conducting to the intermediate conductor 55 (gate electrode 551) through a contact hole CH3 penetrating the first insulating layer L1. That is, the initialization transistor Tint and the gate electrode 551 of the driving transistor Tdr are electrically connected via the connection portion 651.

以上に説明したように、本実施形態においても駆動トランジスタTdrのチャネル領域3
5c(ゲート電極551)や容量素子C2と重なり合うように電源線15が形成されるから
、第1実施形態と同様の作用および効果が奏される。また、電源線15の延在する方向(
Y方向)が駆動トランジスタTdrのチャネル長Lの方向と一致するから、第2実施形態と
同様にチャネル長Lを充分に確保することができるという利点がある。
As described above, also in this embodiment, the channel region 3 of the drive transistor Tdr
Since the power supply line 15 is formed so as to overlap with 5c (gate electrode 551) and the capacitive element C2, the same operations and effects as the first embodiment are exhibited. The direction in which the power line 15 extends (
Since (Y direction) coincides with the channel length L direction of the drive transistor Tdr, there is an advantage that the channel length L can be sufficiently secured as in the second embodiment.

<D:変形例>
以上の各形態には様々な変形を加えることができる。具体的な変形の態様を例示すれば
以下の通りである。なお、以下の各態様を適宜に組み合わせてもよい。
<D: Modification>
Various modifications can be made to each of the above embodiments. An example of a specific modification is as follows. In addition, you may combine each following aspect suitably.

(1)変形例1
以上の実施形態においては、半導体層(31,32,33,34,35)の上層にゲー
ト電極(511,521,531,541,551)が形成されたトップゲート構造の駆
動トランジスタTdrを例示したが、半導体層の下層にゲート電極が形成された(すなわち
半導体層と基板10との間にゲート電極が介在する)ボトムゲート構造のトランジスタを
駆動トランジスタTdrとして採用してもよい。なお、以上の各形態のように駆動トランジ
スタTdrをトップゲート構造とした場合には、第1絶縁層L1を挟んでゲート電極と電源
線15とが対向する部分が、駆動トランジスタTdrのゲート電極の電位を保持するための
容量素子として機能する。この構成によれば容量素子C1に必要となる静電容量が低減さ
れるから、容量素子C1が小型化される(理想的には第4実施形態や第5実施形態に例示
したように容量素子C1が省略される)という利点がある。
(1) Modification 1
In the above embodiment, the top-gate driving transistor Tdr in which the gate electrodes (511, 521, 531, 541, 551) are formed in the upper layer of the semiconductor layer (31, 32, 33, 34, 35) is exemplified. However, a bottom-gate transistor in which a gate electrode is formed in a lower layer of a semiconductor layer (that is, a gate electrode is interposed between the semiconductor layer and the substrate 10) may be employed as the driving transistor Tdr. When the driving transistor Tdr has a top gate structure as in each of the above embodiments, a portion where the gate electrode and the power supply line 15 face each other with the first insulating layer L1 interposed therebetween is the gate electrode of the driving transistor Tdr. It functions as a capacitor for holding a potential. According to this configuration, since the capacitance required for the capacitive element C1 is reduced, the capacitive element C1 is reduced in size (ideally, as illustrated in the fourth and fifth embodiments). C1 is omitted).

(2)変形例2
以上の各形態においてはボトムエミッション型の発光装置Dを例示したが、発光素子か
らの放射光が基板10とは反対側に出射するトップエミッション型の発光装置にも本発明
は適用される。駆動トランジスタTdrや電源線15の配置に要するスペースが大きい場合
には、トップエミッション型の発光装置においても画素Pの高精細化が制約されるといっ
た種々の不利益がある。本発明によれば駆動トランジスタTdrおよび電源線15の総面積
が削減されるから、トップエミッション型の発光装置に適用された場合には、これらの不
利益を解消できるという利点がある。もっとも、ボトムエミッション型の発光装置Dにお
いては発光素子Eによる放射光の出射側(すなわち発光素子Eからみて基板10側)に駆
動トランジスタTdrや電源線15が配置されるから、駆動トランジスタTdrや電源線15
の面積の増大は開口率の低下に直結する。したがって、駆動トランジスタTdrや電源線1
5の面積を縮小できる本発明は、開口率が問題となるボトムエミッション型の発光装置D
に特に好適であると言える。
(2) Modification 2
In each of the above embodiments, the bottom emission type light emitting device D is illustrated, but the present invention is also applied to a top emission type light emitting device in which the emitted light from the light emitting element is emitted to the side opposite to the substrate 10. When the space required for the arrangement of the drive transistor Tdr and the power supply line 15 is large, there are various disadvantages such as high definition of the pixel P being restricted even in the top emission type light emitting device. According to the present invention, since the total area of the drive transistor Tdr and the power supply line 15 is reduced, there is an advantage that these disadvantages can be eliminated when applied to a top emission type light emitting device. However, in the bottom emission type light emitting device D, the driving transistor Tdr and the power source line 15 are disposed on the emission side of the emitted light from the light emitting element E (that is, the substrate 10 side as viewed from the light emitting element E). Line 15
An increase in the area directly leads to a decrease in the aperture ratio. Therefore, the drive transistor Tdr and the power line 1
The present invention capable of reducing the area of 5 is a bottom emission type light emitting device D in which the aperture ratio is a problem.
It can be said that this is particularly suitable.

(3)変形例3
以上の各形態においては、駆動トランジスタTdrのチャネル領域(31c,32c,33
c,34c,35c)の全域と重なり合うように電源線15が形成された構成を例示したが
、このチャネル領域の一部と重なり合うように電源線15が形成された構成としてもよい
。また、チャネル領域だけでなくソース領域(31s,32s,33s,34s,35s)や
ドレイン領域(31d,32d,33d,34d,35d)に重なり合うように電源線15が
形成された構成も採用される。
(3) Modification 3
In the above embodiments, the channel region (31c, 32c, 33) of the drive transistor Tdr
The configuration in which the power supply line 15 is formed so as to overlap with the entire area of c, 34c, and 35c) is illustrated, but a configuration in which the power supply line 15 is formed so as to overlap with a part of the channel region may be adopted. A configuration in which the power supply line 15 is formed so as to overlap not only the channel region but also the source region (31s, 32s, 33s, 34s, 35s) and the drain region (31d, 32d, 33d, 34d, 35d) is also employed. .

(4)変形例4
以上の各形態を適宜に組み合わせてもよい。例えば、第5実施形態のように駆動トラン
ジスタTdrの閾値電圧Vthを補償する画素Pにおいて、第1実施形態・第3実施形態およ
び第4実施形態と同様に、電源線15の延在する方向と駆動トランジスタTdrのチャネル
幅Wの方向とが一致するように、半導体層35におけるチャネル領域35c・ソース領域
35sおよびドレイン領域35dの形状や電源線15の方向が選定された構成としてもよい
(4) Modification 4
You may combine the above each form suitably. For example, in the pixel P that compensates the threshold voltage Vth of the drive transistor Tdr as in the fifth embodiment, the direction in which the power supply line 15 extends is the same as in the first embodiment, the third embodiment, and the fourth embodiment. The configuration of the channel region 35c, the source region 35s and the drain region 35d in the semiconductor layer 35 and the direction of the power supply line 15 may be selected so that the direction of the channel width W of the drive transistor Tdr matches.

(5)変形例5
以上の各形態においては、隔壁25の内周縁の内側の領域のみに発光層23が形成され
た構成を例示したが、基板10の全面(より詳細には第2絶縁層L2の全面)にわたって
発光層23が連続に形成された構成としてもよい。この構成によれば、例えば、スピンコ
ート法などの低廉な成膜技術を発光層23の形成に採用できるという利点がある。なお、
第1電極21は発光素子Eごとに個別に形成されるから、発光層23が複数の発光素子E
にわたって連続するとは言っても、発光層23の光量は発光素子Eごとに個別に制御され
る。以上のように発光層23が複数の発光素子Eにわたって連続する構成においては隔壁
25を省略してもよい。
(5) Modification 5
In each of the above embodiments, the configuration in which the light emitting layer 23 is formed only in the inner region of the inner periphery of the partition wall 25 is exemplified. However, light emission is performed over the entire surface of the substrate 10 (more specifically, the entire surface of the second insulating layer L2). The layer 23 may be formed continuously. According to this configuration, for example, there is an advantage that an inexpensive film forming technique such as a spin coating method can be adopted for forming the light emitting layer 23. In addition,
Since the first electrode 21 is individually formed for each light emitting element E, the light emitting layer 23 includes a plurality of light emitting elements E.
Although it is continuous, the light amount of the light emitting layer 23 is individually controlled for each light emitting element E. As described above, in the configuration in which the light emitting layer 23 is continuous over the plurality of light emitting elements E, the partition walls 25 may be omitted.

なお、隔壁25で仕切られた各空間に発光材料の液滴を吐出するインクジェット法(液
滴吐出法)で発光層23を形成する場合には、以上の各形態のように第2絶縁層L2の面
上に隔壁25を配置した構成が好適に採用される。ただし、発光層23を発光素子Eごと
に形成するための方法は適宜に変更される。より具体的には、基板10の全域に形成され
た発光材料の膜体を選択的に除去する方法や、レーザ転写(LITI: Laser-Induced Therma
l Imaging)法など各種のパターニング技術によっても発光層23は発光素子Eごとに形
成される。この場合には、隔壁25の形成を不要としながら発光素子Eごとに独立に発光
層23を形成できる。以上のように、本発明の発光装置において隔壁25は必ずしも必要
な要素ではない。
In the case where the light emitting layer 23 is formed by the ink jet method (droplet discharge method) in which the droplets of the light emitting material are discharged in the spaces partitioned by the partition walls 25, the second insulating layer L2 as in the above embodiments. The structure which has arrange | positioned the partition 25 on this surface is employ | adopted suitably. However, the method for forming the light emitting layer 23 for each light emitting element E is appropriately changed. More specifically, a method of selectively removing a film of a light emitting material formed over the entire area of the substrate 10 or a laser transfer (LITI: Laser-Induced Therma)
The light emitting layer 23 is formed for each light emitting element E by various patterning techniques such as l Imaging). In this case, the light emitting layer 23 can be formed independently for each light emitting element E without forming the partition wall 25. As described above, the partition 25 is not necessarily a necessary element in the light emitting device of the present invention.

(6)変形例6
以上の各形態においては有機EL材料からなる発光層23を含む発光素子Eを例示した
が、本発明における発光素子はこれに限定されない。例えば、無機EL材料からなる発光
層を含む発光素子やLED(Light Emitting Diode)素子など様々な発光素子を採用する
ことができる。本発明における発光素子は、電気エネルギの供給(典型的には電流の供給
)によって発光する素子であれば足り、その具体的な構造や材料の如何は不問である。
(6) Modification 6
In each of the above embodiments, the light emitting element E including the light emitting layer 23 made of an organic EL material has been exemplified, but the light emitting element in the present invention is not limited to this. For example, various light emitting elements such as a light emitting element including a light emitting layer made of an inorganic EL material and an LED (Light Emitting Diode) element can be employed. The light-emitting element in the present invention may be an element that emits light by supplying electric energy (typically supplying current), and its specific structure and material are not limited.

<E:応用例>
次に、本発明に係る発光装置を利用した電子機器の具体的な形態を説明する。図24は
、以上に説明した何れかの形態に係る発光装置Dを表示装置として採用したモバイル型の
パーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。パーソナルコンピュータ2000は
、表示装置としての発光装置Dと本体部2010とを備える。本体部2010には、電源
スイッチ2001およびキーボード2002が設けられている。この発光装置Dは有機E
L材料の発光層23を発光素子Eに使用しているので、視野角が広く見易い画面を表示で
きる。
<E: Application example>
Next, specific modes of electronic devices using the light-emitting device according to the present invention will be described. FIG. 24 is a perspective view showing the configuration of a mobile personal computer that employs the light emitting device D according to any one of the embodiments described above as a display device. The personal computer 2000 includes a light emitting device D as a display device and a main body 2010. The main body 2010 is provided with a power switch 2001 and a keyboard 2002. This light emitting device D is organic E
Since the light emitting layer 23 of the L material is used for the light emitting element E, a screen with a wide viewing angle and easy to see can be displayed.

図25に、各形態に係る発光装置Dを適用した携帯電話機の構成を示す。携帯電話機3
000は、複数の操作ボタン3001およびスクロールボタン3002、ならびに表示装
置としての発光装置Dを備える。スクロールボタン3002を操作することによって、発
光装置Dに表示される画面がスクロールされる。
FIG. 25 shows a configuration of a mobile phone to which the light emitting device D according to each embodiment is applied. Mobile phone 3
000 includes a plurality of operation buttons 3001, scroll buttons 3002, and a light emitting device D as a display device. By operating the scroll button 3002, the screen displayed on the light emitting device D is scrolled.

図26に、各形態に係る発光装置Dを適用した携帯情報端末(PDA:Personal Digit
al Assistants)の構成を示す。情報携帯端末4000は、複数の操作ボタン4001お
よび電源スイッチ4002、ならびに表示装置としての発光装置Dを備える。電源スイッ
チ4002を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が発光装置Dに表
示される。
FIG. 26 shows a personal digital assistant (PDA: Personal Digit) to which the light emitting device D according to each embodiment is applied.
al Assistants). The information portable terminal 4000 includes a plurality of operation buttons 4001, a power switch 4002, and a light emitting device D as a display device. When the power switch 4002 is operated, various kinds of information such as an address book and a schedule book are displayed on the light emitting device D.

なお、本発明に係る発光装置が適用される電子機器としては、図24から図26に示し
たもののほか、デジタルスチルカメラ、テレビ、ビデオカメラ、カーナビゲーション装置
、ページャ、電子手帳、電子ペーパー、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、
テレビ電話、POS端末、プリンタ、スキャナ、複写機、ビデオプレーヤ、タッチパネル
を備えた機器等などが挙げられる。また、本発明に係る発光装置の用途は画像の表示に限
定されない。例えば、光書込み型のプリンタや電子複写機といった画像形成装置において
は、用紙などの記録材に形成されるべき画像に応じて感光体を露光する書込みヘッドが使
用されるが、この種の書込みヘッドとしても本発明の発光装置を利用することができる。
Electronic devices to which the light emitting device according to the present invention is applied include those shown in FIGS. 24 to 26, digital still cameras, televisions, video cameras, car navigation devices, pagers, electronic notebooks, electronic papers, calculators. , Word processor, workstation,
Examples include a video phone, a POS terminal, a printer, a scanner, a copying machine, a video player, and a device equipped with a touch panel. Further, the use of the light emitting device according to the present invention is not limited to the display of images. For example, in an image forming apparatus such as an optical writing type printer or an electronic copying machine, a writing head that exposes a photosensitive member according to an image to be formed on a recording material such as paper is used. The light emitting device of the present invention can also be used.

発光装置の電気的な構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the electrical structure of a light-emitting device. 第1実施形態における画素の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the pixel in 1st Embodiment. 図2におけるIII−III線からみた断面図である。It is sectional drawing seen from the III-III line in FIG. 半導体層が形成された段階を示す平面図である。It is a top view which shows the step in which the semiconductor layer was formed. 選択線や中間導電体が形成された段階を示す平面図である。It is a top view which shows the stage in which the selection line and the intermediate conductor were formed. 信号線や電源線が形成された段階を示す平面図である。It is a top view which shows the stage in which the signal line and the power source line were formed. 第2実施形態に係る画素の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the pixel which concerns on 2nd Embodiment. 半導体層が形成された段階を示す平面図である。It is a top view which shows the step in which the semiconductor layer was formed. 選択線や中間導電体が形成された段階を示す平面図である。It is a top view which shows the stage in which the selection line and the intermediate conductor were formed. 信号線や電源線が形成された段階を示す平面図である。It is a top view which shows the stage in which the signal line and the power source line were formed. 第3実施形態に係る画素の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the pixel which concerns on 3rd Embodiment. 半導体層が形成された段階を示す平面図である。It is a top view which shows the step in which the semiconductor layer was formed. 選択線や中間導電体が形成された段階を示す平面図である。It is a top view which shows the stage in which the selection line and the intermediate conductor were formed. 信号線や電源線が形成された段階を示す平面図である。It is a top view which shows the stage in which the signal line and the power source line were formed. 第4実施形態に係る画素の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the pixel which concerns on 4th Embodiment. 半導体層が形成された段階を示す平面図である。It is a top view which shows the step in which the semiconductor layer was formed. 選択線や中間導電体が形成された段階を示す平面図である。It is a top view which shows the stage in which the selection line and the intermediate conductor were formed. 信号線や電源線が形成された段階を示す平面図である。It is a top view which shows the stage in which the signal line and the power source line were formed. 本発明の第5実施形態に係る発光装置の画素の電気的な構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the electric constitution of the pixel of the light-emitting device which concerns on 5th Embodiment of this invention. 第5実施形態に係る画素の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the pixel which concerns on 5th Embodiment. 半導体層が形成された段階を示す平面図である。It is a top view which shows the step in which the semiconductor layer was formed. 選択線や中間導電体が形成された段階を示す平面図である。It is a top view which shows the stage in which the selection line and the intermediate conductor were formed. 信号線や電源線が形成された段階を示す平面図である。It is a top view which shows the stage in which the signal line and the power source line were formed. 本発明に係る電子機器の具体的な形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the specific form of the electronic device which concerns on this invention. 本発明に係る電子機器の具体的な形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the specific form of the electronic device which concerns on this invention. 本発明に係る電子機器の具体的な形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the specific form of the electronic device which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

D……発光装置、E……発光素子、P……画素、11……選択線、12……初期化線、1
3……信号線、15……電源線、21……第1電極、22……第2電極、23……発光層
、25……隔壁、Lg……ゲート絶縁層、L1……第1絶縁層、L2……第2絶縁層、31
,32,33,34,35,41,42,43,44,45……半導体層、31c,32c
,33c,34c,35c……チャネル領域、31s,32s,33s,34s,35s……ソー
ス領域、31d,32d,33d,34d,35d……ドレイン領域、51,52,53,5
4,55……中間導電体、511,521,531,541,551……ゲート電極、6
8……電極接続部、L……チャネル長、W……チャネル幅。
D: Light emitting device, E: Light emitting element, P: Pixel, 11: Selection line, 12: Initialization line, 1
3 ... Signal line, 15 ... Power supply line, 21 ... First electrode, 22 ... Second electrode, 23 ... Light emitting layer, 25 ... Partition wall, Lg ... Gate insulating layer, L1 ... First insulation Layer, L2 ... second insulating layer, 31
, 32, 33, 34, 35, 41, 42, 43, 44, 45... Semiconductor layer, 31c, 32c
, 33c, 34c, 35c ... channel region, 31s, 32s, 33s, 34s, 35s ... source region, 31d, 32d, 33d, 34d, 35d ... drain region, 51, 52, 53, 5
4, 55 ... intermediate conductor, 511, 521, 531, 541, 551 ... gate electrode, 6
8: Electrode connection portion, L: Channel length, W: Channel width.

Claims (9)

電源線から発光素子に供給される電流量を制御する駆動トランジスタが基板上に形成さ
れた発光装置であって、
前記駆動トランジスタは、
ソース領域とドレイン領域との間にチャネル領域が形成された半導体層と、
ゲート絶縁層を挟んで前記チャネル領域に対向するゲート電極とを含み、
前記電源線は、前記チャネル領域と重なり合う
ことを特徴とする発光装置。
A light-emitting device in which a driving transistor for controlling the amount of current supplied from a power supply line to a light-emitting element is formed on a substrate,
The drive transistor is
A semiconductor layer in which a channel region is formed between a source region and a drain region;
A gate electrode facing the channel region across a gate insulating layer,
The power supply line overlaps with the channel region.
前記半導体層には、前記電源線の延在する方向がチャネル長となるように前記ソース領
域と前記ドレイン領域と前記チャネル領域とが形成される
請求項1に記載の発光装置。
The light emitting device according to claim 1, wherein the source region, the drain region, and the channel region are formed in the semiconductor layer so that a direction in which the power supply line extends has a channel length.
前記半導体層には、前記電源線の延在する方向がチャネル幅となるように前記ソース領
域と前記ドレイン領域と前記チャネル領域とが形成される
請求項1に記載の発光装置。
The light emitting device according to claim 1, wherein the source region, the drain region, and the channel region are formed in the semiconductor layer so that a direction in which the power supply line extends has a channel width.
前記半導体層および前記ゲート電極を覆う第1絶縁層を具備し、
前記ゲート電極は前記電源線と同方向に延在し、
前記電源線は、前記第1絶縁層に形成された複数のコンタクトホールを介して前記ソー
ス領域および前記ドレイン領域の何れかに導通し、
前記複数のコンタクトホールは、前記ゲート電極に沿って配列する
請求項3に記載の発光装置。
Comprising a first insulating layer covering the semiconductor layer and the gate electrode;
The gate electrode extends in the same direction as the power line,
The power line is electrically connected to either the source region or the drain region through a plurality of contact holes formed in the first insulating layer;
The light emitting device according to claim 3, wherein the plurality of contact holes are arranged along the gate electrode.
第1電極と第2電極とを含む容量素子を具備し、
前記駆動トランジスタと前記容量素子とは前記電源線が延在する方向に配列し、
前記ゲート電極と前記第2電極とは電気的に接続され、
前記電源線は、前記チャネル領域および前記容量素子と重なり合う
請求項1から請求項3の何れかに記載の発光装置。
Comprising a capacitive element including a first electrode and a second electrode;
The drive transistor and the capacitive element are arranged in a direction in which the power supply line extends,
The gate electrode and the second electrode are electrically connected;
The light-emitting device according to claim 1, wherein the power line overlaps the channel region and the capacitor.
前記第1電極は、前記半導体層と同一の材料によって形成され、
前記第2電極は、前記ゲート電極と同一の材料によって形成され、前記ゲート絶縁層を
挟んで前記第1電極に対向する
請求項5に記載の発光装置。
The first electrode is formed of the same material as the semiconductor layer,
The light emitting device according to claim 5, wherein the second electrode is formed of the same material as the gate electrode and faces the first electrode with the gate insulating layer interposed therebetween.
前記発光素子からの放射光は、前記基板を透過して出射する
請求項1から請求項6の何れかに記載の発光装置。
The light-emitting device according to claim 1, wherein the emitted light from the light-emitting element is transmitted through the substrate and emitted.
前記半導体層は、前記ゲート電極と前記基板との間に介在し、
前記電源線は、前記ゲート電極を挟んで前記半導体層とは反対側に形成される
請求項1から請求項7の何れかに記載の発光装置。
The semiconductor layer is interposed between the gate electrode and the substrate;
The light emitting device according to claim 1, wherein the power supply line is formed on a side opposite to the semiconductor layer with the gate electrode interposed therebetween.
請求項1から請求項8の何れかに記載の発光装置を具備する電子機器。



The electronic device which comprises the light-emitting device in any one of Claims 1-8.



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