JP2007132890A - タッチプローブの接触検出方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一定の励起周波数(f)で正弦波振動させられた触針部5aと、触針部の振動波形を測定出力するセンサユニット7を有するタッチプローブの接触検出方法であって、センサユニットによって出力された振動波形を周波数分布に変換し、励起周波数の整数(n)倍の所定の高調波(n×f)の値があらかじめ定められた閾値以上となった時に、タッチプローブが被測定対象物に接触したと判定する。また、所定の高調波は励起周波数(f)の二倍の高調波(2×f)である。さらには、励起周波数(f)は触針部の固有振動数とは異なるようにする。
【選択図】 図1
Description
N=a・(2πf)2・m となる。したがって、振動周波数fにより測定圧Nを調節できることになる。
また、振動数が固有振動数fnであれば、板バネのバネ常数kとして、
(2πfn)2=k/m であるので、
N=a・k となる。
2 被測定対象物
5 タッチプローブ
5a 触針部
6 振動子
7 センサユニット
12 PC、周波数解析器、出力器、比較器
f 励起周波数
Claims (6)
- 一定の励起周波数(f)で正弦波振動させられた触針部と、前記触針部の振動波形を測定出力するセンサユニットと、を有するタッチプローブの接触検出方法であって、前記センサユニットによって出力された振動波形の周波数分布を求め、前記励起周波数の整数(n)倍の所定の高調波(n×f)の値があらかじめ定められた閾値以上となった時に、前記タッチプローブが被測定対象物に接触したと判定することを特徴とするタッチプローブの接触検出方法。
- 前記所定の高調波は前記励起周波数(f)の二倍の高調波(2×f)であることを特徴とする請求項1記載のタッチプローブの接触検出方法。
- 前記励起周波数(f)は触針部の固有振動数とは異なるようにされていることを特徴とする請求項1又は2に記載のタッチプローブの接触検出方法。
- 被測定物に接触可能にされた触針と、前記触針を一定の励起周波数(f)で正弦波振動させる振動子と、前記触針部の振動波形を測定出力するセンサユニットと、を有するタッチプローブの接触検出装置であって、前記センサユニットによって出力された振動波形の周波数分布を求める周波数解析器と、前記周波数分析の励起周波数の整数(n)倍の所定の高調波(n×f)を出力する出力器と、前記出力器からの出力をあらかじめ定めた閾値と比較しON−OFF信号を出力する比較器と、を有することを特徴とするタッチプローブの接触検出装置。
- 前記所定の高調波は前記励起周波数(f)の二倍の高調波(2×f)であることを特徴とする請求項4記載のタッチプローブの接触検出装置。
- 前記励起周波数(f)は触針部の固有振動数とは異なるようにされていることを特徴とする請求項4又は5に記載のタッチプローブの接触検出装置。
Priority Applications (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010139262A (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-24 | Ts Tech Co Ltd | 測定方法および測定装置 |
KR20230142489A (ko) | 2021-02-03 | 2023-10-11 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | 포지티브형 감광성 수지 조성물 |
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2005
- 2005-11-14 JP JP2005328555A patent/JP4453920B2/ja active Active
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