JP2007129175A - Method for manufacturing electronic device - Google Patents

Method for manufacturing electronic device Download PDF

Info

Publication number
JP2007129175A
JP2007129175A JP2006002695A JP2006002695A JP2007129175A JP 2007129175 A JP2007129175 A JP 2007129175A JP 2006002695 A JP2006002695 A JP 2006002695A JP 2006002695 A JP2006002695 A JP 2006002695A JP 2007129175 A JP2007129175 A JP 2007129175A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
integrated
lead frame
tape member
mold resin
wiring board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006002695A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4400575B2 (en
Inventor
Yutaka Fukuda
豊 福田
Mitsuhiro Saito
斎藤  光弘
Toshihiro Nagatani
利博 永谷
Yukihiro Maeda
幸宏 前田
Norihisa Imaizumi
典久 今泉
Yasutomi Asai
浅井  康富
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2006002695A priority Critical patent/JP4400575B2/en
Publication of JP2007129175A publication Critical patent/JP2007129175A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4400575B2 publication Critical patent/JP4400575B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48095Kinked
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • H01L2924/13055Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1306Field-effect transistor [FET]
    • H01L2924/13091Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19105Disposition of discrete passive components in a side-by-side arrangement on a common die mounting substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19107Disposition of discrete passive components off-chip wires

Landscapes

  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To realize the integration of three kinds of parts before sealing them by a molding resin without caulking and fixing, when different kinds of electronic elements are each mounted on a wiring substrate and heat sinks, and these are sealed together with a lead frame by the molding resin. <P>SOLUTION: In a method for manufacturing the electronic device, first electronic elements 11 to 14 are mounted on one surface of the wiring substrate, second electronic elements 21 to 24 are mounted on each one surface of heat sinks 41, 42, the lead frame 420 is disposed around the wiring substrate 30, and both electronic elements 11 to 14 and 21 to 24, the substrate 30, and the frame 420 are electrically connected. Thereafter, these components are sealed by the molding resin 70. After the other side of the wiring substrate 30, the other sides of the heat sinks 41, 42, and the frame 420 are integrated by being affixed to a common tape member 400; sealing is performed on them by the resin 70, and the member 400 is then exfoliated. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、それぞれに電子素子が搭載された配線基板およびヒートシンクと、リードフレームとをモールド樹脂にて一体に封止してなる電子装置の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing an electronic device in which a wiring board, a heat sink, and a lead frame each having electronic elements mounted thereon are integrally sealed with a mold resin.

この種の電子装置として、本出願人は先に、特願2004−291398号にて、リードフレーム、電子素子を搭載した配線基板およびヒートシンクをモールド樹脂で封止してなる電子装置を提案している。   As an electronic device of this type, the applicant previously proposed an electronic device in which a lead frame, a wiring board on which electronic elements are mounted, and a heat sink are sealed with a mold resin in Japanese Patent Application No. 2004-291398. Yes.

このような電子装置を製造するにあたっては、モールド樹脂による封止を行う前に、これらリードフレーム、配線基板およびヒートシンクの三者を、一体化して固定する必要がある。   In manufacturing such an electronic device, it is necessary to integrally fix the three of the lead frame, the wiring board, and the heat sink before sealing with the mold resin.

そこで、この先願のものでは、パワー素子やマイコンなど、種類の異なる電子素子を、それぞれの機能毎に別々の配線基板に搭載したうえで、さらに、これら配線基板をヒートシンクに搭載し、このヒートシンクとリードフレームとをかしめ固定することで一体化を行っている。   Therefore, in this earlier application, different types of electronic elements such as power elements and microcomputers are mounted on separate wiring boards for each function, and these wiring boards are further mounted on a heat sink. Integration is performed by caulking and fixing the lead frame.

なお、このヒートシンクとリードフレームとを、かしめ固定することで一体化する方法は、特許文献1に提案されている。
特許第3473525号公報
A method of integrating the heat sink and the lead frame by caulking and fixing is proposed in Patent Document 1.
Japanese Patent No. 3473525

しかしながら、上記した先願のものでは、種類の異なる電子素子をすべて配線基板を介して、ヒートシンクに搭載するため、たとえば、ヒートシンクに搭載することが不要な発熱の小さい電子素子までも、ヒートシンクに搭載することになり、結果的に、ヒートシンクが不必要に大きくなってしまう。   However, in the above-mentioned prior application, all different types of electronic elements are mounted on the heat sink via the wiring board. For example, even an electronic element with low heat generation that does not need to be mounted on the heat sink is mounted on the heat sink. As a result, the heat sink becomes unnecessarily large.

そこで、本発明者は、電子素子を、配線基板に搭載するものと、ヒートシンクに搭載するものとに区別することを検討した。   In view of this, the present inventor has studied to distinguish electronic devices from those mounted on a wiring board and those mounted on a heat sink.

つまり、配線基板の一面、ヒートシンクの一面にそれぞれ電子素子を搭載するとともに、配線基板の周囲にリードフレームを配置し、各電子素子、配線基板およびリードフレームを電気的に接続した後、これら配線基板、ヒートシンクおよびリードフレームの三者をモールド樹脂にて封止することとした。   In other words, electronic devices are mounted on one surface of the wiring board and one surface of the heat sink, and a lead frame is arranged around the wiring substrate, and each electronic device, the wiring substrate, and the lead frame are electrically connected, and then these wiring substrates are mounted. The heat sink and the lead frame were sealed with mold resin.

しかし、この場合、やはりモールド樹脂による封止を行う前に、配線基板、ヒートシンク、リードフレームの三者を一体に保持する必要がある。この場合、従来のように、かしめ固定を行うと、かしめを行う部位を、配線基板、ヒートシンクおよびリードフレームに設ける必要が生じ、これらの形状に制約を加えることになる。   However, in this case, it is necessary to hold the wiring board, the heat sink, and the lead frame together before sealing with the mold resin. In this case, when caulking and fixing are performed as in the prior art, it is necessary to provide caulking sites on the wiring board, the heat sink, and the lead frame, which restricts these shapes.

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、種類の異なる電子素子をそれぞれ配線基板、ヒートシンクに搭載し、これらをリードフレームとともにモールド樹脂にて封止するにあたって、かしめ固定によることなく、モールド樹脂封止前におけるこれら三者の一体化を実現することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and mounting different types of electronic elements on a wiring board and a heat sink, respectively, and sealing them with a mold resin together with a lead resin, without caulking and fixing, The object is to realize the integration of these three components before molding resin sealing.

上記目的を達成するため、本発明は、配線基板(30)およびヒートシンク(41、42)における電子素子(11〜14、21〜24)の搭載面とは反対の面側、すなわち配線基板(30)の他面側、ヒートシンク(41、42)の他面側およびリードフレーム(420)を、共通のテープ部材(400)に貼り付けて一体化した後、モールド樹脂(70)による封止を行い、続いて、テープ部材(400)を剥がすことを、第1の特徴とする。   In order to achieve the above object, the present invention provides a wiring board (30) and a heat sink (41, 42) opposite to the mounting surface of the electronic elements (11-14, 21-24), that is, the wiring board (30). ), The other surface side of the heat sink (41, 42) and the lead frame (420) are attached to the common tape member (400) and integrated, and then sealed with a mold resin (70). Subsequently, the first feature is to peel off the tape member (400).

それによれば、配線基板(30)およびヒートシンク(41、42)さらにリードフレーム(420)が、テープ部材(400)により一体化されるため、かしめ固定によることなく、モールド樹脂(70)の封止前におけるこれら三者の一体化を実現することができる。   According to this, since the wiring board (30), the heat sink (41, 42) and the lead frame (420) are integrated by the tape member (400), the molding resin (70) can be sealed without caulking. The integration of these three can be realized.

このような製造方法においては、テープ部材(400)に開口部(401)を設け、ヒートシンク(41、42)の他面の一部を、テープ部材(400)の厚さ分、開口部(401)にはめ込んで当該他面の一部を開口部(401)から露出させた状態で、ヒートシンク(41、42)をテープ部材(400)に貼り付けるようにしてもよい。   In such a manufacturing method, an opening (401) is provided in the tape member (400), and a part of the other surface of the heat sink (41, 42) is formed by the thickness of the tape member (400). ) And the heat sink (41, 42) may be attached to the tape member (400) in a state where a part of the other surface is exposed from the opening (401).

それによれば、この電子装置(100)を、外部基材(200)に対してヒートシンク(41、42)の他面を向けてはんだ実装するとき、この他面の一部がテープ部材(400)の厚さ分、モールド樹脂(70)から突出し、この突出部が電子装置(100)の実装時におけるはんだ(210)の厚さを確保するスペーサとして機能する。   According to this, when the electronic device (100) is solder-mounted with the other surface of the heat sink (41, 42) facing the external base material (200), a part of the other surface is a tape member (400). Projecting from the mold resin (70), and this projecting portion functions as a spacer for securing the thickness of the solder (210) when the electronic device (100) is mounted.

また、この製造方法においては、リードフレーム(420)として、フレーム部(421)に連結された複数本のリード(50、51)を有するものを用いた場合、複数本のリード(50、51)同士を支持部材(430)により連結した後、複数本のリード(50、51)のうち当該電子装置における前記モールド樹脂(70)の端面よりも内周側に位置する部位にて、複数本のリード(50、51)をフレーム部(421)から切り離し、切り離し後の複数本のリード(50、51)同士を支持部材(430)によって連結された状態とし、続いて、配線基板(30)、ヒートシンク(41、42)およびリードフレーム(420)にテープ部材(400)に貼り付けて一体化するようにしてもよい。   In this manufacturing method, when a lead frame (420) having a plurality of leads (50, 51) connected to the frame portion (421) is used, a plurality of leads (50, 51) are used. After connecting each other with the support member (430), a plurality of leads (50, 51) are located at a position located on the inner peripheral side of the end surface of the mold resin (70) in the electronic device. The leads (50, 51) are separated from the frame part (421), and the plurality of separated leads (50, 51) are connected to each other by the support member (430). Subsequently, the wiring board (30), The heat sink (41, 42) and the lead frame (420) may be attached to the tape member (400) to be integrated.

それによれば、複数本のリード(50、51)同士を支持部材(430)により連結した状態で、フレーム部(421)から切り離しても複数本のリード(50、51)同士は、ばらばらにならずに連結された状態を維持し、モールド樹脂(70)の封止後において、複数本のリード(50、51)の端部は、モールド樹脂(70)の端面よりも内周側に位置させることができる。   According to this, even if the plurality of leads (50, 51) are separated from the frame portion (421) in a state where the plurality of leads (50, 51) are connected to each other by the support member (430), the plurality of leads (50, 51) are separated. The ends of the plurality of leads (50, 51) are positioned on the inner peripheral side with respect to the end surface of the mold resin (70) after sealing the mold resin (70) and sealing the mold resin (70). be able to.

また、本発明者は、種類の異なる電子素子をそれぞれ配線基板、ヒートシンクに搭載し、これらをリードフレームとともにモールド樹脂にて封止してなる電子装置を2個製造する製造方法についても検討を行った。   The present inventor also examined a manufacturing method for manufacturing two electronic devices in which different types of electronic elements are mounted on a wiring board and a heat sink, and these are sealed together with a lead frame with a mold resin. It was.

すなわち、本発明は、当該電子装置を2個製造する製造方法において、配線基板(30)の他面側、ヒートシンク(41、42)の他面側およびリードフレーム(420)を、共通のテープ部材(400)の一面に貼り付けて一体化した一体化部材(500、500’)を2個用意し、一方の一体化部材(500)におけるテープ部材(400)の他面と、他方の一体化部材(500’)におけるテープ部材(400)の他面とを貼り合わせて、2個の一体化部材(500、500’)を連結した後、各々の一体化部材(500、500’)におけるテープ部材(400)の一面側をモールド樹脂(70)によって封止し、続いて、各々の一体化部材(500、500’)におけるテープ部材(400)の他面同士を剥がして一体化部材(500、500’)同士を分離するとともに、分離された各々の一体化部材(500、500’)からテープ部材(400)を剥がすことを、第2の特徴とする。   That is, according to the present invention, in the manufacturing method of manufacturing two electronic devices, the other surface side of the wiring board (30), the other surface side of the heat sink (41, 42), and the lead frame (420) are connected to a common tape member. Two integrated members (500, 500 ′) that are attached to one surface of (400) and integrated are prepared, and the other surface of the tape member (400) in one integrated member (500) and the other integrated. After bonding the other surface of the tape member (400) in the member (500 ') and connecting the two integrated members (500, 500'), the tape in each integrated member (500, 500 ') One surface side of the member (400) is sealed with the mold resin (70), and then the other surfaces of the tape member (400) in each integrated member (500, 500 ′) are peeled off to form the integrated member (5). 0,500 ') with the separation of each other, separated each integral member (500, 500' to be peeled off the tape member (400) from), the second feature.

それによれば、上記第1の特徴を有する製造方法と同様に、上記目的を達成できるとともに、2個の一体化部材(500、500’)をテープ部材(400)を境として対称的に配置できるため、モールド樹脂(70)封止時などにおける各部の熱膨張の影響や、モールド樹脂(70)の硬化収縮の影響を極力回避でき、装置の反りなどの変形を抑制することができる。   According to this, similarly to the manufacturing method having the first feature, the object can be achieved, and the two integrated members (500, 500 ′) can be symmetrically arranged with the tape member (400) as a boundary. Therefore, the influence of thermal expansion of each part at the time of sealing the mold resin (70) and the influence of curing shrinkage of the mold resin (70) can be avoided as much as possible, and deformation such as warping of the apparatus can be suppressed.

また、本発明は、当該電子装置を2個製造する製造方法において、配線基板(30)の他面側、ヒートシンク(41、42)の他面側およびリードフレーム(420)を、共通のテープ部材(400)の一面に貼り付けて一体化した一体化部材(500、500’)を2個用意し、これら2個の一体化部材(500、500’)を、それぞれのテープ部材(400)の一面側にて対向するように配置するとともに、両一体化部材(500、500’)の間に隙間部材(600)を介在させることで両一体化部材(500、500’)を隙間を持って保持した後、両一体化部材(500、500’)の隙間へモールド樹脂(70)を充填することで当該隙間を封止し、続いて、隙間部材(600)を除去するとともに、各々の一体化部材(500、500’)よりテープ部材(400)を剥がすことを、第3の特徴とする。   According to the present invention, in the manufacturing method of manufacturing two electronic devices, the other surface side of the wiring board (30), the other surface side of the heat sink (41, 42), and the lead frame (420) are connected to a common tape member. (400) Two integrated members (500, 500 ′) that are bonded and integrated on one surface are prepared, and these two integrated members (500, 500 ′) are attached to the respective tape members (400). It arrange | positions so that it may oppose on the one surface side, and it has a clearance gap between both integrated members (500, 500 ') by interposing a clearance member (600) between both integrated members (500, 500'). After the holding, the gap is sealed by filling the gap between the two integrated members (500, 500 ′) with the mold resin (70), and then the gap member (600) is removed and each of the integrated members is removed. (50) The peeling off the tape member (400) than 500 '), the third feature.

それによれば、上記第1の特徴を有する製造方法と同様に、上記目的を達成できるとともに、2個の一体化部材(500、500’)を隙間部材(600)を挟んで対称的に配置できるため、モールド樹脂(70)封止時などにおける各部の熱膨張の影響や、モールド樹脂(70)の硬化収縮の影響を極力回避でき、装置の反りなどの変形を抑制することができる。   According to this, similarly to the manufacturing method having the first feature, the object can be achieved, and the two integrated members (500, 500 ′) can be symmetrically arranged with the gap member (600) interposed therebetween. Therefore, the influence of thermal expansion of each part at the time of sealing the mold resin (70) and the influence of curing shrinkage of the mold resin (70) can be avoided as much as possible, and deformation such as warping of the apparatus can be suppressed.

そして、この場合、隙間部材(600)を、その一端部が各々の一体化部材(500、500’)毎にテープ部材(400)の一面に貼り付けられるとともに、他端部が相手側の隙間部材(600)の他端部と接着テープ(700)により貼り付けられた状態で、両一体化部材(500、500’)の間に介在させるとともに、各々の一体化部材(500、500’)におけるモールド樹脂(70)の封止領域を、これら隙間部材(600)および接着テープ(700)により区画するようにできる。   In this case, the gap member (600) has one end attached to one surface of the tape member (400) for each integrated member (500, 500 '), and the other end is the other-side gap. While being attached between the other end of the member (600) and the adhesive tape (700), it is interposed between the two integrated members (500, 500 ′) and each integrated member (500, 500 ′). The sealing region of the mold resin (70) can be partitioned by the gap member (600) and the adhesive tape (700).

それにより、各一体化部材(500、500’)におけるモールド樹脂(70)の封止領域を適切に形成し、モールド樹脂(70)の充填を適切に行うことができる。   Thereby, the sealing area | region of the mold resin (70) in each integrated member (500, 500 ') can be formed appropriately, and filling of the mold resin (70) can be performed appropriately.

なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。   In addition, the code | symbol in the parenthesis of each means described in a claim and this column is an example which shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各図相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, parts that are the same or equivalent to each other are given the same reference numerals in the drawings for the sake of simplicity.

(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係る電子装置100の表面側の概略平面構成を示す図であり、モールド樹脂70内の各部を透過して示してある。
(First embodiment)
FIG. 1 is a diagram showing a schematic planar configuration on the surface side of the electronic device 100 according to the first embodiment of the present invention, and shows each part in the mold resin 70 transparently.

また、図2は、図1中のA−A線に沿った概略断面図、図3は、本電子装置100の背面図、すなわち図1とは反対側の裏面側の概略平面構成を示す図である。   2 is a schematic cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 1. FIG. 3 is a rear view of the electronic device 100, that is, a schematic plan configuration on the back side opposite to FIG. It is.

限定するものではないが、本実施形態では、電子装置100は、自動車のパワーウィンドウの駆動モータを駆動するHICに適用されるものとして説明する。なお、図2は、本電子装置100を当該モータのケース200に搭載した状態を示している。   Although not limited, in the present embodiment, the electronic device 100 will be described as applied to an HIC that drives a drive motor of a power window of an automobile. FIG. 2 shows a state in which the electronic device 100 is mounted on the case 200 of the motor.

図1、図2に示されるように、第1の電子素子11〜14が、配線基板30の一面上に搭載され、第2の電子素子21〜24が、ヒートシンク41、42の一面上に搭載されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the first electronic elements 11 to 14 are mounted on one surface of the wiring board 30, and the second electronic elements 21 to 24 are mounted on one surface of the heat sinks 41 and 42. Has been.

第1の電子素子11〜14は、制御素子としてのマイコン11および制御IC12、さらに、その他のICチップ13、コンデンサ14からなる。これらは、半導体分野で通常採用されるものであり、発熱が比較的小さいものである。   The first electronic elements 11 to 14 include a microcomputer 11 and a control IC 12 as control elements, and other IC chips 13 and capacitors 14. These are usually employed in the semiconductor field and generate relatively little heat.

これら第1の電子素子11〜14は、図2に示されるように、配線基板30の一面上にはんだや導電性接着剤などのマウント材15を介して接続され、必要に応じて金やアルミニウムなどからなるボンディングワイヤ16を介して配線基板30に電気的に接続されている。   As shown in FIG. 2, these first electronic elements 11 to 14 are connected to one surface of the wiring substrate 30 via a mounting material 15 such as solder or conductive adhesive, and if necessary, gold or aluminum It is electrically connected to the wiring board 30 via a bonding wire 16 made of, for example.

ここで、配線基板30としては、3層以上の層が積層されたセラミック積層基板またはプリント配線基板などを採用することができる。具体的には、配線基板30は、アルミナからなるアルミナ基板であることが好ましく、本例では、アルミナからなる積層配線基板としている。   Here, as the wiring board 30, a ceramic laminated board or a printed wiring board in which three or more layers are laminated can be employed. Specifically, the wiring substrate 30 is preferably an alumina substrate made of alumina. In this example, the wiring substrate 30 is a laminated wiring substrate made of alumina.

また、図1に示されるように、配線基板30の周囲には、リード50、51が設けられており、これらリード50、51と配線基板30の一面とは、ボンディングワイヤ16を介して電気的に接続されている。   As shown in FIG. 1, leads 50 and 51 are provided around the wiring board 30, and the leads 50 and 51 and one surface of the wiring board 30 are electrically connected via bonding wires 16. It is connected to the.

このリード50、51は、後述するリードフレーム420(後述の図7参照)の一部として構成されるもので、通常のリードフレーム材料、すなわち銅や42アロイなどの板材から作られたものである。   The leads 50 and 51 are configured as a part of a lead frame 420 (see FIG. 7 described later) described later, and are made of a normal lead frame material, that is, a plate material such as copper or 42 alloy. .

ここで、図1中の左側のリード50は、本電子装置100の入力端子50であり、外部のECUなどからマイコン11などへ入力を行うためのものである。本例では、入力端子50は12本示されている。   Here, the left lead 50 in FIG. 1 is an input terminal 50 of the electronic apparatus 100, and is used for inputting to the microcomputer 11 or the like from an external ECU or the like. In this example, twelve input terminals 50 are shown.

また、図1中の上下に13本ずつ示されているリード51は、上記マイコン11の動作をチェックするためなどに用いられる検査端子51である。   Further, 13 leads 51 shown in the upper and lower portions in FIG. 1 are inspection terminals 51 used for checking the operation of the microcomputer 11.

モールド樹脂70による封止後は、マイコン11の動作特性などの検査は、入出力端子を検査しただけでは、検査しきれないため、この検査端子51によって途中の信号を検査できるようにしている。なお、検査後はこの検査端子51は使用する必要はない。   After sealing with the mold resin 70, the operation characteristics of the microcomputer 11 cannot be inspected simply by inspecting the input / output terminals, so that the intermediate signal can be inspected by the inspection terminal 51. Note that it is not necessary to use the inspection terminal 51 after the inspection.

第2の電子素子21〜24は、第1の電子素子11〜14よりも大きい電流が流れ且つ大きい発熱を行うものであり、パワーMOS素子やIGBT素子などのパワー素子からなるものである。   The second electronic elements 21 to 24 are configured to flow a current larger than that of the first electronic elements 11 to 14 and generate a large amount of heat, and are composed of power elements such as a power MOS element and an IGBT element.

本例では、第2の電子素子21〜24は、パワー素子としての4個のパワーMOS素子21〜24から構成されており、2個ずつに別れて、第1のヒートシンク41、第2のヒートシンク42に搭載されている。   In this example, the second electronic elements 21 to 24 are composed of four power MOS elements 21 to 24 as power elements. The second electronic elements 21 to 24 are divided into two, and the first heat sink 41 and the second heat sink. 42.

そして、これらパワーMOS素子21〜24は、上記制御素子11、12によって制御されるものであるとともに上記パワーウィンドウのモータを駆動する駆動素子として構成されている。   The power MOS elements 21 to 24 are controlled by the control elements 11 and 12 and are configured as drive elements that drive the motor of the power window.

これらパワーMOS素子21〜24は、ヒートシンク41、42の一面に対して図示しないはんだなどを介して接続されている。これらのヒートシンク41、42は、鉄系金属からなる矩形板状のものであり、その外周部には突出した形状をなすモータ端子41a、42aを有している。このモータ端子41a、42aは、上記モータと接続される端子である。   These power MOS elements 21 to 24 are connected to one surface of the heat sinks 41 and 42 via solder or the like (not shown). These heat sinks 41 and 42 are rectangular plates made of iron-based metal, and have motor terminals 41a and 42a having a protruding shape on the outer peripheral portion thereof. The motor terminals 41a and 42a are terminals connected to the motor.

ここで、ヒートシンク41、42は、図示しないパワーMOS素子21〜24のドレイン電極と電気的に接続されて電極として機能するとともに、パワーMOS素子21〜24の放熱を行う機能を持つ。   Here, the heat sinks 41 and 42 are electrically connected to drain electrodes of the power MOS elements 21 to 24 (not shown) and function as electrodes, and also have a function of radiating heat from the power MOS elements 21 to 24.

また、図1、図2に示されるように、各パワーMOS素子21〜24と配線基板30の一面とは、ボンディングワイヤ16を介して電気的に接続されている。このボンディングワイヤ16は、図示しないパワーMOS素子21〜24のゲート電極と電気的に接続されており、いる。   As shown in FIGS. 1 and 2, the power MOS elements 21 to 24 and one surface of the wiring board 30 are electrically connected via bonding wires 16. The bonding wire 16 is electrically connected to gate electrodes of power MOS elements 21 to 24 (not shown).

また、図1、図2に示されるように、各パワーMOS素子21〜24に、鉄系金属からなるリード61、62、63が、図示しないはんだなどを介して接続されている。このリード61〜63は、リボンリードタイプのもので、パワーMOS素子21〜24は、ヒートシンク41、42とリード61〜63との間に挟まれている。   As shown in FIGS. 1 and 2, leads 61, 62, and 63 made of iron-based metal are connected to the power MOS elements 21 to 24 via solder (not shown). The leads 61 to 63 are of a ribbon lead type, and the power MOS elements 21 to 24 are sandwiched between the heat sinks 41 and 42 and the leads 61 to 63.

このリード61〜63は、パワーMOS素子21〜24の図示しないソース電極と電気的に接続されている。このリード61〜63は、後述する外部電源310(図5参照)に接続されて、パワーMOS素子21〜24に電力を供給するものである。   The leads 61 to 63 are electrically connected to source electrodes (not shown) of the power MOS elements 21 to 24. The leads 61 to 63 are connected to an external power supply 310 (see FIG. 5), which will be described later, and supply power to the power MOS elements 21 to 24.

ここで、図1に示されるように、4個のパワーMOS素子21〜24のうち中央の2個のパワーMOS素子21、23に接続されたリード61は電源端子(Vdd端子)61であり、上下の2個のパワーMOS素子22、24に接続されたリード62、63は、それぞれGND端子62、63である。   Here, as shown in FIG. 1, the lead 61 connected to the central two power MOS elements 21 and 23 among the four power MOS elements 21 to 24 is a power supply terminal (Vdd terminal) 61. Leads 62 and 63 connected to the two upper and lower power MOS elements 22 and 24 are GND terminals 62 and 63, respectively.

そして、図1〜図3に示されるように、これら電子素子11〜14、21〜24、配線基板30、ヒートシンク41、42、ボンディングワイヤ16、各リード50、61〜63は、モールド樹脂70により封止されている。   1 to 3, these electronic elements 11 to 14, 21 to 24, the wiring substrate 30, the heat sinks 41 and 42, the bonding wires 16, and the leads 50 and 61 to 63 are formed by the mold resin 70. It is sealed.

このモールド樹脂70は、通常の半導体パッケージに用いられるエポキシ系樹脂などのモールド材料からなり、成形金型を用いたトランスファーモールド法などにより成形されるものである。   The mold resin 70 is made of a molding material such as an epoxy resin used in a normal semiconductor package, and is molded by a transfer molding method using a molding die.

ここで、図3に示されるように、配線基板30の他面、ヒートシンク41、42の他面、各リード50、61〜63におけるボンディングワイヤ16やパワーMOS素子21〜24との接続面とは反対側の面は、モールド樹脂70から露出している。   Here, as shown in FIG. 3, the other surface of the wiring board 30, the other surfaces of the heat sinks 41 and 42, and the connection surfaces of the leads 50 and 61 to 63 with the bonding wires 16 and the power MOS elements 21 to 24 are The opposite surface is exposed from the mold resin 70.

そして、本電子装置100は、図2に示されるように、外部基材としてのモータのケース200に対して、配線基板30の他面およびヒートシンク41、42の他面を向けた状態で、はんだ実装される。   Then, as shown in FIG. 2, the electronic device 100 is soldered with the other surface of the wiring board 30 and the other surfaces of the heat sinks 41 and 42 facing the motor case 200 as an external base material. Implemented.

すなわち、本電子装置100は、ヒートシンク41、42のモータ端子41a、42a、リード50、61〜63におけるモールド樹脂70からの露出面にて、はんだ210を介してケース200に電気的に接続される。それにより、電子装置100と外部との電気的なやりとりが可能となっている。   That is, the electronic device 100 is electrically connected to the case 200 via the solder 210 on the exposed surfaces of the motor terminals 41 a and 42 a and the leads 50 and 61 to 63 of the heat sinks 41 and 42 from the mold resin 70. . Thereby, electrical exchange between the electronic device 100 and the outside is possible.

ここで、本例では、配線基板30の他面およびリード50、61〜63の露出面については、モールド樹脂70の表面と同一平面の関係、いわゆる面一(つらいち)の位置関係となっている。   Here, in this example, the other surface of the wiring board 30 and the exposed surfaces of the leads 50 and 61 to 63 are in the same plane as the surface of the mold resin 70, that is, the so-called flush relationship. Yes.

また、ヒートシンク41、42の他面のうちモータ端子41a、42aの部分は、同じくモールド樹脂70の表面と同一平面の関係となっているが、それ以外の矩形部分は、モールド樹脂70から突出している。   The portions of the motor terminals 41 a and 42 a on the other surfaces of the heat sinks 41 and 42 are also in the same plane as the surface of the mold resin 70, but the other rectangular portions protrude from the mold resin 70. Yes.

ここで、図4(a)は、図3中のB−B断面図、図4(b)は図3中のC−C断面図である。本例のヒートシンク41、42については、矩形部分をモータ端子41、42の部分よりも、モールド樹脂70から突出する分すなわち後述するテープ部材400の厚さ分、厚くしたものとなっている。なお、図4(a)にはテープ部材400を破線にて示してある。   Here, FIG. 4A is a BB cross-sectional view in FIG. 3, and FIG. 4B is a CC cross-sectional view in FIG. In the heat sinks 41 and 42 of this example, the rectangular portion is thicker than the portions of the motor terminals 41 and 42 by the amount protruding from the mold resin 70, that is, the thickness of the tape member 400 described later. In FIG. 4A, the tape member 400 is indicated by a broken line.

そして、このモールド樹脂70から突出するヒートシンク41、42の矩形部分は、電気絶縁性を有し且つ熱伝導性に優れたグリス(図示せず)などを介在させて、ケース200に接しており、ヒートシンク41、42からの熱がケース200に放熱されるようになっている。   The rectangular portions of the heat sinks 41 and 42 protruding from the mold resin 70 are in contact with the case 200 with grease (not shown) having electrical insulation and excellent thermal conductivity interposed therebetween, Heat from the heat sinks 41 and 42 is radiated to the case 200.

また、このモールド樹脂70から突出するヒートシンク41、42の一部すなわち矩形部分は、モータ端子41a、42a、リード50、61〜63の露出面をはんだ210を介してケース200する際の、はんだ210の高さを確保する機能を有する。   In addition, a part of the heat sinks 41 and 42 protruding from the mold resin 70, that is, a rectangular part, is the solder 210 when the exposed surfaces of the motor terminals 41 a and 42 a and the leads 50 and 61 to 63 are case 200 through the solder 210. It has a function to secure the height of.

次に、本電子装置100の回路構成について、図5も参照して述べる。図5は、本電子装置100の回路の主要部を示す等価回路図である。   Next, the circuit configuration of the electronic apparatus 100 will be described with reference to FIG. FIG. 5 is an equivalent circuit diagram showing the main part of the circuit of the electronic apparatus 100.

上記した第1の電子素子11〜14のうちマイコン11と、制御回路12a、駆動回路12b、コンパレータ12cを含む制御IC12とが、主要部をなしている。なお、他のICチップ13やコンデンサ14はノイズ除去などのために設けられており、図5では省略してある。   Of the first electronic elements 11 to 14 described above, the microcomputer 11 and the control IC 12 including the control circuit 12a, the drive circuit 12b, and the comparator 12c constitute the main part. The other IC chip 13 and the capacitor 14 are provided for noise removal and the like and are omitted in FIG.

また、4個のパワーMOS素子21〜24は、Hブリッジ回路を構成している。また、本電子装置100に対して、窓ガラスを駆動させるための上記パワーウィンドウのモータ300や外部電源310が設けられている。   Further, the four power MOS elements 21 to 24 constitute an H bridge circuit. The electronic apparatus 100 is provided with the power window motor 300 and the external power supply 310 for driving the window glass.

このような回路構成においては、図示しないマイコンから通信(たとえばLIN)によってマイコン11に信号を伝え、その指示に従い、マイコン11は制御回路12aと駆動回路12bを介して、各パワーMOS素子21〜24を制御する。駆動回路12bの出力は、各パワーMOS素子21〜24のゲートに入力される。   In such a circuit configuration, a signal is transmitted from a microcomputer (not shown) to the microcomputer 11 by communication (for example, LIN), and according to the instruction, the microcomputer 11 passes through each of the power MOS elements 21 to 24 via the control circuit 12a and the drive circuit 12b. To control. The output of the drive circuit 12b is input to the gates of the power MOS elements 21 to 24.

また、パワーMOS素子21、23はPチャネルMOSトランジスタであり、パワーMOS素子22、24はNチャネルMOSトランジスタである。そして、それぞれのパワーMOS素子21〜24のソース電極が上記電源端子61やGND端子62、63を介して、外部電源310に電気的に接続されている。   Power MOS elements 21 and 23 are P-channel MOS transistors, and power MOS elements 22 and 24 are N-channel MOS transistors. The source electrodes of the power MOS elements 21 to 24 are electrically connected to the external power supply 310 via the power supply terminal 61 and the GND terminals 62 and 63.

また、パワーMOS素子21、22のドレイン電極は、これに導通する第1のヒートシンク41のモータ端子41aを介して、モータ300の一方の端子301に電気的に接続され、パワーMOS素子23、24のドレイン電極は、これに導通する第2のヒートシンク42のモータ端子42aを介して、モータ300の他方の端子302に電気的に接続される。   Further, the drain electrodes of the power MOS elements 21 and 22 are electrically connected to one terminal 301 of the motor 300 via the motor terminal 41a of the first heat sink 41 which is conducted to the power MOS elements 21 and 22, and the power MOS elements 23 and 24 are connected. This drain electrode is electrically connected to the other terminal 302 of the motor 300 via the motor terminal 42a of the second heat sink 42 which is electrically connected thereto.

ここで、車の窓ガラスを上昇・下降するのがモータ300である。モータ停止時では、4個のパワーMOS素子21〜24のすべてがOFF状態である。   Here, it is the motor 300 that moves up and down the window glass of the car. When the motor is stopped, all of the four power MOS elements 21 to 24 are in the OFF state.

窓ガラスの上昇時では、Hブリッジにおける一方の対角線上に位置する2個のパワーMOS素子21、24がON状態、他方の対角線上に位置する2個のパワーMOS素子22、23がOFF状態となり、モータ300において一方の端子301から他方の端子302へ電流が流れる。   When the window glass is raised, the two power MOS elements 21 and 24 located on one diagonal line in the H bridge are turned on, and the two power MOS elements 22 and 23 located on the other diagonal line are turned off. In the motor 300, a current flows from one terminal 301 to the other terminal 302.

また、下降時では、Hブリッジにおける一方の対角線上に位置する2個のパワーMOS素子21、24がOFF状態、他方の対角線上に位置する2個のパワーMOS素子22、23がON状態となり、モータ300において他方の端子302から一方の端子301へ電流が流れる。つまり、上昇時と下降時とでは、Hブリッジ回路によってモータ300へ流れる電流が逆転し、モータ300の回転も逆転する。   At the time of lowering, the two power MOS elements 21 and 24 located on one diagonal line in the H bridge are in the OFF state, and the two power MOS elements 22 and 23 located on the other diagonal line are in the ON state. In the motor 300, a current flows from the other terminal 302 to the one terminal 301. That is, the current flowing to the motor 300 is reversed by the H bridge circuit and the rotation of the motor 300 is also reversed at the time of ascent and descent.

また、窓ガラスを上昇させ、上昇しきった時にパワーMOS素子21、24がON状態を保持すると、モータ300に過大な電流が流れるので、モータ300に大きなトルクが発生し、挟み込み状態となる。   Further, if the window glass is raised and the power MOS elements 21 and 24 are kept in the ON state when the window glass is fully raised, an excessive current flows in the motor 300, so that a large torque is generated in the motor 300 and the motor 300 is in a sandwiched state.

このとき、モータ300の回転を、たとえば図示しないホールセンサなどにより検出して、検出されたモータ回転状態とマイコン11の指令とを比較し、コンパレータ12cにて挟み込み状態と判断する。すると、制御回路12aによって、信号が切り替えられ、モータ300のトルクは下がり、窓ガラスによる挟み込みを防止できる。   At this time, the rotation of the motor 300 is detected by, for example, a hall sensor (not shown), the detected motor rotation state is compared with the instruction of the microcomputer 11, and the comparator 12c determines that the pinch state has occurred. Then, the signal is switched by the control circuit 12a, the torque of the motor 300 is lowered, and the pinching by the window glass can be prevented.

次に、図6〜図8を参照して、本電子装置100の製造方法について述べる。図6は、本製造方法に用いるテープ部材400の単体の概略平面構成を示す図である。また、図7、図8は、それぞれ、テープ部材400をワークに貼り付けた状態を示す概略平面図、概略断面図である。これら図7、図8においては、モールド樹脂70の外形を一点鎖線にて示してあり、図7においては、テープ部材400は破線にて示してある。   Next, a method for manufacturing the electronic device 100 will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a diagram showing a schematic plan configuration of a single tape member 400 used in the present manufacturing method. 7 and 8 are a schematic plan view and a schematic cross-sectional view, respectively, showing a state where the tape member 400 is attached to the workpiece. 7 and 8, the outer shape of the mold resin 70 is indicated by a one-dot chain line. In FIG. 7, the tape member 400 is indicated by a broken line.

まず、配線基板30の一面上に第1の電子素子11〜14を搭載し、これら第1の電子素子11〜14のうち必要な部分にワイヤボンディングを行う。また、ヒートシンク41、42の一面上に第2の電子素子としてのパワーMOS素子21〜24を搭載するとともに、このパワーMOS素子21〜24とリード61〜63との接続を行う。   First, the first electronic elements 11 to 14 are mounted on one surface of the wiring board 30, and wire bonding is performed on necessary portions of the first electronic elements 11 to 14. Further, power MOS elements 21 to 24 as second electronic elements are mounted on one surface of the heat sinks 41 and 42, and the power MOS elements 21 to 24 and the leads 61 to 63 are connected.

ここで、図7に示されるように、ヒートシンク41、42、および、パワーMOS素子21〜24に接続されるリード61〜63は、共通のフレーム部410に一体に連結されている。   Here, as shown in FIG. 7, the heat sinks 41 and 42 and the leads 61 to 63 connected to the power MOS elements 21 to 24 are integrally coupled to a common frame portion 410.

そして、ヒートシンク41、42およびリード61〜63とフレーム部410との連結部のバネ弾性を利用して、パワーMOS素子21〜24は、ヒートシンク41、42とリード61〜63との間に挟まれる。   The power MOS elements 21 to 24 are sandwiched between the heat sinks 41 and 42 and the leads 61 to 63 by using the spring elasticity of the connection portions between the heat sinks 41 and 42 and the leads 61 to 63 and the frame portion 410. .

また、配線基板30の周囲に、上記入力端子50および検査端子51を有するリードフレーム420を配置する。このリードフレーム420は、上記入力端子50および検査端子51が、コの字型のフレーム部421に一体に連結されたものである。   A lead frame 420 having the input terminal 50 and the inspection terminal 51 is disposed around the wiring substrate 30. The lead frame 420 is formed by integrally connecting the input terminal 50 and the inspection terminal 51 to a U-shaped frame portion 421.

続いて、配線基板30の他面側、ヒートシンク41、42の他面側、リードフレーム420の他面側にテープ部材400を配置する。つまり、図7に示されるように各部材30、41、42、410、420が配置されたワークにおいて、その背面側にテープ部材400を貼り付け、これら各部材30、41、42、410、420を一体化する。   Subsequently, the tape member 400 is disposed on the other surface side of the wiring board 30, the other surface side of the heat sinks 41 and 42, and the other surface side of the lead frame 420. That is, as shown in FIG. 7, in the work in which the members 30, 41, 42, 410, 420 are arranged, the tape member 400 is pasted on the back side, and these members 30, 41, 42, 410, 420 are attached. Is integrated.

このテープ部材400は、図7に示されるように、各部材30、41、42、410、420が、最終的な配置とされた状態において、これら各部材のすべてに重なるような大きさをもつシート状のものである。本例では、図6、図7に示されるように、テープ部材400は矩形板状のものである。   As shown in FIG. 7, the tape member 400 has a size such that each of the members 30, 41, 42, 410, and 420 overlaps all of the members in a final arrangement. It is a sheet. In this example, as shown in FIGS. 6 and 7, the tape member 400 has a rectangular plate shape.

また、テープ部材400は、後述するモールド樹脂70の封止工程に耐えうる耐熱性を有するものであり、ポリイミドなどからなる粘着テープが用いられる。そして、その貼り付けは圧着などにより行うことができる。   The tape member 400 has heat resistance that can withstand the sealing process of the mold resin 70 described later, and an adhesive tape made of polyimide or the like is used. And the affixing can be performed by pressure bonding or the like.

図6に示されるように、テープ部材400は、モールド樹脂70から突出するヒートシンク41、42の矩形部分に対応した矩形状の開口部401を有している。また、上述したが、テープ部材400の厚さは、ヒートシンク41、42の矩形部分がモールド樹脂70から突出する寸法と同一である。   As shown in FIG. 6, the tape member 400 has a rectangular opening 401 corresponding to the rectangular portions of the heat sinks 41 and 42 protruding from the mold resin 70. Further, as described above, the thickness of the tape member 400 is the same as the dimension in which the rectangular portions of the heat sinks 41 and 42 protrude from the mold resin 70.

本例では、ヒートシンク41、42の他面のうち上記矩形部分を、テープ部材400の厚さ分、開口部401にはめ込んで当該矩形部分を開口部401から露出させた状態で、ヒートシンク41、42の他面のうちモータ端子41a、42aの部分をテープ部材400に貼り付ける(図4、図8参照)。   In this example, the rectangular portions of the other surfaces of the heat sinks 41 and 42 are fitted into the openings 401 by the thickness of the tape member 400 so that the rectangular portions are exposed from the openings 401, and the heat sinks 41 and 42 are exposed. Of the other surface, the motor terminals 41a and 42a are attached to the tape member 400 (see FIGS. 4 and 8).

こうして、図7、図8に示されるように、配線基板30の他面、ヒートシンク41、42の他面およびリードフレーム420を、共通のテープ部材400に貼り付けて一体に保持する。   Thus, as shown in FIGS. 7 and 8, the other surface of the wiring board 30, the other surfaces of the heat sinks 41 and 42, and the lead frame 420 are attached to the common tape member 400 and held together.

そして、この状態で、配線基板30とリードフレーム420の各端子50、51との間、および、配線基板30とパワーMOS素子21〜24との間にワイヤボンディングを行い、ワイヤ16による電気的な接続を行う。   In this state, wire bonding is performed between the wiring board 30 and each of the terminals 50 and 51 of the lead frame 420 and between the wiring board 30 and the power MOS elements 21 to 24, so Connect.

この両電子素子11〜14、21〜24、配線基板30およびリードフレーム420が電気的に接続されるとともにテープ部材400による一体化がなされた状態のワークを、樹脂成形用の図示しない金型に設置する。   The work in a state where the electronic elements 11 to 14, 21 to 24, the wiring board 30 and the lead frame 420 are electrically connected and integrated by the tape member 400 is used as a mold (not shown) for resin molding. Install.

このとき、テープ部材400を下側とし、当該金型に押しつけるようにワークの設置を行う。そして、金型内に樹脂を注入・充填し、モールド樹脂70による封止を行う。そして、モールド樹脂70の硬化が完了したら、ワークを金型から取り出し、続いて、テープ部材400を剥がす。   At this time, the work is placed so that the tape member 400 is on the lower side and pressed against the mold. Then, a resin is injected and filled in the mold, and sealing with the mold resin 70 is performed. When the curing of the mold resin 70 is completed, the work is taken out from the mold, and then the tape member 400 is peeled off.

その後は、モールド樹脂70の外部にてリードカットを行い、各リード50、51、61〜63およびモータ端子41a、42aを、フレーム部410、421から切り離す。こうして、本実施形態の電子装置100ができあがる。   Thereafter, lead cutting is performed outside the mold resin 70 to separate the leads 50, 51, 61 to 63 and the motor terminals 41 a and 42 a from the frame portions 410 and 421. Thus, the electronic device 100 of this embodiment is completed.

このように、上記製造方法によれば、配線基板30およびヒートシンク41、42さらにリードフレーム420が、テープ部材400により一体化されるため、かしめ固定によることなく、モールド樹脂70の封止前におけるこれら三者の一体化を実現することができる。   As described above, according to the above manufacturing method, since the wiring board 30, the heat sinks 41 and 42, and the lead frame 420 are integrated by the tape member 400, they are not caulked and fixed before the mold resin 70 is sealed. The integration of the three can be realized.

また、本実施形態では、テープ部材400に開口部401を設け、ヒートシンク41、42の他面の一部を、テープ部材400の厚さ分、開口部401にはめ込んで開口部401から露出させるように、テープ部材400の貼り付けを行っているため、上記したモールド樹脂70からの突出部が形成され、この突出部により、はんだ210の厚さを確保することができる。   In this embodiment, the tape member 400 is provided with the opening 401, and a part of the other surface of the heat sinks 41 and 42 is fitted into the opening 401 by the thickness of the tape member 400 so as to be exposed from the opening 401. In addition, since the tape member 400 is attached, the protruding portion from the mold resin 70 is formed, and the thickness of the solder 210 can be secured by the protruding portion.

また、モールド樹脂70による封止の際、各リード50、51、61〜63、およびヒートシンク41、42のモータ端子41a、42aは、テープ部材400により被覆された状態となっており、モールド樹脂70が付かないため、これら部分の樹脂バリが防止され、導通性、はんだ実装性に優れたものにできる。   Further, at the time of sealing with the mold resin 70, the leads 50, 51, 61 to 63 and the motor terminals 41 a and 42 a of the heat sinks 41 and 42 are covered with the tape member 400. Therefore, resin burrs at these portions are prevented, and the continuity and solder mountability can be improved.

(第2実施形態)
図9は、本発明の第2実施形態に係る製造方法を示す概略平面図であり、モールド樹脂70の外形を一点鎖線、テープ部材400を破線にて示してある。このように、リードフレーム420が多連の場合であっても、テープ部材400を用いて、上記実施形態と同様の製造方法を行うことができる。
(Second Embodiment)
FIG. 9 is a schematic plan view showing a manufacturing method according to the second embodiment of the present invention, in which the outer shape of the mold resin 70 is indicated by a one-dot chain line, and the tape member 400 is indicated by a broken line. As described above, even when the lead frame 420 is a multiple, the manufacturing method similar to that of the above embodiment can be performed using the tape member 400.

(第3実施形態)
図10は、本発明の第3実施形態に係る電子装置の概略背面構成を示す図であり、図11は、本電子装置の製造方法を示す概略平面図である。なお、図11では、モールド樹脂70の外形を一点鎖線、テープ部材400を破線にて示してある。
(Third embodiment)
FIG. 10 is a diagram showing a schematic back side configuration of an electronic device according to the third embodiment of the present invention, and FIG. 11 is a schematic plan view showing a method for manufacturing the electronic device. In FIG. 11, the outer shape of the mold resin 70 is indicated by a one-dot chain line, and the tape member 400 is indicated by a broken line.

上記実施形態では、矩形板状のモールド樹脂70の端面にリード50、51、61〜63およびモータ端子41a、42aが存在する(上記図1、図2参照)。このような構成の場合、はんだ接合時などにおいて、このモールド樹脂70の端面にてリード間でリークやブリッジが生じやすい。   In the above embodiment, the leads 50, 51, 61 to 63 and the motor terminals 41a and 42a are present on the end surface of the rectangular mold resin 70 (see FIGS. 1 and 2). In the case of such a configuration, leaks and bridges are likely to occur between leads on the end surface of the mold resin 70 at the time of soldering.

このことを考慮して、本実施形態では、図10に示されるように、矩形板状のモールド樹脂70の端面にリード50、51、61〜63およびモータ端子41a、42aを存在させない構成としている。具体的には、上記実施形態に比べてリード50、51、61〜63およびモータ端子41a、42aを短くし、その端部を矩形板状のモールド樹脂70の端面よりも内側に位置させている。   In consideration of this, in the present embodiment, as shown in FIG. 10, the leads 50, 51, 61 to 63 and the motor terminals 41 a and 42 a are not present on the end surface of the rectangular plate-shaped mold resin 70. . Specifically, the leads 50, 51, 61 to 63 and the motor terminals 41 a and 42 a are shortened compared to the above embodiment, and the end portions thereof are positioned inside the end surface of the rectangular plate-shaped mold resin 70. .

このようなリードの構成を形成するための本実施形態の製造方法について、図11を参照して述べる。   A manufacturing method of this embodiment for forming such a lead configuration will be described with reference to FIG.

上記実施形態と同様に、配線基板30、ヒートシンク41、42に対し、それぞれ電子素子11〜14、21〜24を実装し、また、パワーMOS素子21〜24とリード61〜63との接続を行う。そして、配線基板30の周囲に、上記入力端子50および検査端子51を有するリードフレーム420を配置する。   Similarly to the above embodiment, the electronic elements 11 to 14 and 21 to 24 are mounted on the wiring board 30 and the heat sinks 41 and 42, respectively, and the power MOS elements 21 to 24 and the leads 61 to 63 are connected. . A lead frame 420 having the input terminal 50 and the inspection terminal 51 is disposed around the wiring substrate 30.

次に、本実施形態では、図11に示されるように、リード50、51、61〜63およびモータ端子41a、42aにおけるテープ部材400の貼り付け面とは反対側の面に対して、枠状の被覆テープ430を貼り付ける。   Next, in the present embodiment, as shown in FIG. 11, the lead 50, 51, 61 to 63 and the motor terminals 41 a and 42 a have a frame shape with respect to the surface opposite to the surface to which the tape member 400 is attached. The covering tape 430 is affixed.

この被覆テープ430は、その外周形状がモールド樹脂70の外形よりも一回り小さいものである。本例では、被覆テープ430は矩形枠状のものである。なお、図11では、テープ部材430の表面に、便宜上ハッチングを施し、わかりやすくしてある。   The outer peripheral shape of the covering tape 430 is slightly smaller than the outer shape of the mold resin 70. In this example, the covering tape 430 has a rectangular frame shape. In FIG. 11, the surface of the tape member 430 is hatched for convenience to make it easy to understand.

そして、この被覆テープ430の外側の辺部に沿って、リード50、51、61〜63およびヒートシンク41、42のモータ端子41a、42aをフレーム部410、421から切り離す。   Then, the leads 50, 51, 61 to 63 and the motor terminals 41 a, 42 a of the heat sinks 41, 42 are separated from the frame parts 410, 421 along the outer side of the covering tape 430.

これにより、リード50、51、61〜63およびヒートシンク41、42は、被覆テープ430により固定されてその配置状態を維持するとともに、切断された端部がモールド樹脂70の外形すなわちモールド樹脂70の端面よりも内側に位置するような短いものとなる。   As a result, the leads 50, 51, 61 to 63 and the heat sinks 41 and 42 are fixed by the covering tape 430 to maintain the arrangement state, and the cut ends are the outer shape of the mold resin 70, that is, the end surfaces of the mold resin 70. It becomes short so that it may be located inside.

次に、このワークにおける被覆テープ430とは反対側すなわち背面側に対して、上記実施形態と同様に、テープ部材400を貼り付ける。そして、この状態で、上記実施形態と同様に、ワイヤボンディングを行い、その後、モールド樹脂70による封止、テープ部材400の剥離を行うことにより、本実施形態の電子装置ができあがる。   Next, the tape member 400 is affixed to the opposite side to the covering tape 430 in this work, that is, the back side, similarly to the above embodiment. In this state, wire bonding is performed in the same manner as in the above embodiment, and thereafter, sealing with the mold resin 70 and peeling of the tape member 400 are performed to complete the electronic device of this embodiment.

このように本実施形態によれば、リードフレーム420として、フレーム部421に連結された複数本のリード50、51を有するものを用いた場合において、複数本のリード50、51同士を支持部材としての被覆テープ430により連結した後、複数本のリード50、51のうち電子装置におけるモールド樹脂70の端面よりも内周側に位置する部位にて、複数本のリード50、51をフレーム部421から切り離し、切り離し後の複数本のリード50、51同士を被覆テープ430によって連結された状態とし、続いて、テープ部材400の貼り付けを行うようにしている。   As described above, according to the present embodiment, when the lead frame 420 having a plurality of leads 50 and 51 connected to the frame portion 421 is used, the plurality of leads 50 and 51 are used as support members. After being connected by the covering tape 430, the plurality of leads 50 and 51 are removed from the frame portion 421 at a portion of the plurality of leads 50 and 51 that is located on the inner peripheral side of the end surface of the mold resin 70 in the electronic device. The separated leads 50 and 51 are connected to each other by the covering tape 430, and then the tape member 400 is attached.

それにより、複数本のリード50、51同士を支持部材430により連結した状態で、フレーム部421から切り離しても複数本のリード50、51同士は、ばらばらにならずに連結された状態を維持し、モールド樹脂70の封止後において、複数本のリード50、51の端部は、モールド樹脂70の端面よりも内周側に位置させることができる
また、本実施形態では、この支持部材としての被覆テープ430を、リードフレーム420の各リード50、51だけでなく、上述したように、ヒートシンク41、42、および、パワーMOS素子21〜24に接続されるリード61〜63を共通のフレーム部410に連結してなるものに対しても適用し、同様の効果を発揮している。
Thereby, even if it isolate | separates from the flame | frame part 421 in the state which connected multiple leads 50 and 51 with the support member 430, the multiple leads 50 and 51 maintain the state connected without disjointing. After sealing the mold resin 70, the end portions of the plurality of leads 50 and 51 can be positioned on the inner peripheral side with respect to the end surface of the mold resin 70. As described above, the covering tape 430 includes not only the leads 50 and 51 of the lead frame 420 but also the heat sinks 41 and 42 and the leads 61 to 63 connected to the power MOS elements 21 to 24 as a common frame portion 410. It is also applied to those that are connected to, and exhibits the same effect.

(第4実施形態)
本発明の第4実施形態は、配線基板30の一面上に第1の電子素子11〜14を搭載し、ヒートシンク41、42の一面上に第2の電子素子21〜24を搭載するとともに、配線基板30の周囲にリードフレーム420を配置し、両電子素子11〜14、21〜24、配線基板30およびリードフレーム420を電気的に接続した後、両電子素子11〜14、21〜24、配線基板30、ヒートシンク41、42およびリードフレーム420をモールド樹脂70にて封止してなる電子装置を、2個製造する電子装置の製造方法を提供する。
(Fourth embodiment)
In the fourth embodiment of the present invention, the first electronic elements 11 to 14 are mounted on one surface of the wiring board 30, the second electronic elements 21 to 24 are mounted on one surface of the heat sinks 41 and 42, and the wiring A lead frame 420 is arranged around the substrate 30 and both the electronic elements 11 to 14, 21 to 24, the wiring board 30 and the lead frame 420 are electrically connected, and then both the electronic elements 11 to 14, 21 to 24, wiring Provided is an electronic device manufacturing method for manufacturing two electronic devices in which a substrate 30, heat sinks 41 and 42, and a lead frame 420 are sealed with a mold resin 70.

図12、図13、図14は、本実施形態に係る製造方法を示す図であり、図12は、テープ部材400をワークに貼り付けた状態すなわち一体化部材500を示す概略断面図であり、図13は、2個の一体化部材500、500’を連結した状態を示す概略断面図であり、図14は、図13に示されるものをさらにモールド樹脂70にて封止した状態を示す概略断面図である。   FIGS. 12, 13, and 14 are diagrams illustrating a manufacturing method according to the present embodiment, and FIG. 12 is a schematic cross-sectional view illustrating a state in which the tape member 400 is attached to a work, that is, an integrated member 500. FIG. 13 is a schematic cross-sectional view showing a state in which two integrated members 500 and 500 ′ are connected, and FIG. 14 is a schematic view showing a state in which what is shown in FIG. It is sectional drawing.

本実施形態は、上記第1実施形態の電子装置100すなわち図1〜図4等に示されている電子装置100と同一構成の電子装置100を、2個製造する製造方法を提供するものである。   The present embodiment provides a manufacturing method for manufacturing two electronic devices 100 having the same configuration as the electronic device 100 of the first embodiment, that is, the electronic device 100 shown in FIGS. .

まず、本実施形態の製造方法では、上記第1実施形態と同様に、配線基板30の一面上に第1の電子素子11〜14を搭載してワイヤボンディングを行うとともに、ヒートシンク41、42の一面上にパワーMOS素子21〜24を搭載してリード61〜63の接続を行う。   First, in the manufacturing method of the present embodiment, the first electronic elements 11 to 14 are mounted on one surface of the wiring board 30 and wire bonding is performed, and one surface of the heat sinks 41 and 42 is performed, as in the first embodiment. The power MOS elements 21 to 24 are mounted thereon, and the leads 61 to 63 are connected.

続いて、上記第1実施形態と同様に、配線基板30の他面側、ヒートシンク41、42の他面側、リードフレーム420の他面側にテープ部材400を配置し、上記図7に示されるように、各部材30、41、42、410、420の背面側に貼り付けられたテープ部材400によって、これら各部材を一体化する。   Subsequently, as in the first embodiment, the tape member 400 is disposed on the other surface side of the wiring board 30, the other surface side of the heat sinks 41 and 42, and the other surface side of the lead frame 420, as shown in FIG. As described above, these members are integrated by the tape member 400 attached to the back side of each member 30, 41, 42, 410, 420.

ここまでの工程において、図12に示されるように、テープ部材400により一体化された一体化部材500ができあがる。なお、この一体化部材500は、上記第1実施形態において図7、図8に示されるものと同様である。そして、本実施形態では、この一体化部材500、500’を2個作製する。   In the steps so far, as shown in FIG. 12, an integrated member 500 integrated by the tape member 400 is completed. The integrated member 500 is the same as that shown in FIGS. 7 and 8 in the first embodiment. In this embodiment, two integrated members 500 and 500 'are produced.

次に、図13に示されるように、2個の一体化部材500、500’において、一方の一体化部材500におけるテープ部材400の他面と、他方の一体化部材500’におけるテープ部材400の他面とを貼り合わせて、2個の一体化部材500、500’を連結する。   Next, as shown in FIG. 13, in the two integrated members 500 and 500 ′, the other surface of the tape member 400 in one integrated member 500 and the tape member 400 in the other integrated member 500 ′. The two other members 500 and 500 ′ are connected by bonding to the other surface.

その後、この連結された2個の一体化部材500、500’を樹脂成形用の図示しない金型に設置し、図14に示されるように、各々の一体化部材500、500’におけるテープ部材400の一面側をモールド樹脂70によって封止する。   Thereafter, the two integrated members 500 and 500 ′ connected to each other are installed in a mold (not shown) for resin molding, and as shown in FIG. 14, the tape member 400 in each of the integrated members 500 and 500 ′. One surface side is sealed with a mold resin 70.

続いて、各々の一体化部材500、500’におけるテープ部材400の他面同士を剥がして一体化部材500、500’同士を分離し、これら分離された各々の一体化部材500、500’からテープ部材400を剥がす。その後は、上記第1実施形態と同様にリードカットなどを行うことにより、2個の電子装置100ができあがる。   Subsequently, the other surfaces of the tape member 400 in each integrated member 500, 500 ′ are peeled off to separate the integrated members 500, 500 ′ from each other, and the tape is separated from each of the separated integrated members 500, 500 ′. The member 400 is peeled off. Thereafter, two electronic devices 100 are completed by performing lead cutting or the like in the same manner as in the first embodiment.

本実施形態の製造方法によれば、上記第1実施形態の製造方法と同様に、かしめ固定によることなく、モールド樹脂封止前における配線基板、ヒートシンク、リードフレームの三者の一体化を実現できるとともに、2個の一体化部材500、500’をテープ部材400を境として極力対称的に配置した状態でモールド樹脂70による封止を行うことができる。   According to the manufacturing method of the present embodiment, as in the manufacturing method of the first embodiment, the integration of the wiring board, the heat sink, and the lead frame before molding resin sealing can be realized without using caulking. At the same time, sealing with the mold resin 70 can be performed in a state where the two integrated members 500 and 500 ′ are arranged as symmetrically as possible with the tape member 400 as a boundary.

そのため、1個ずつ樹脂封止を行う場合に比べて、モールド樹脂70の封止時などにおける各部の熱膨張の影響や、モールド樹脂70の硬化収縮の影響を極力回避でき、電子装置100の反りなどの変形を抑制できる。   Therefore, as compared with the case where resin sealing is performed one by one, the influence of thermal expansion of each part at the time of sealing the mold resin 70 and the influence of curing shrinkage of the mold resin 70 can be avoided as much as possible. Etc. can be suppressed.

なお、本実施形態の製造方法に対して、上記第2実施形態および上記第3実施形態の製造方法を適用してもよい。   In addition, the manufacturing method of the said 2nd Embodiment and the said 3rd Embodiment may be applied with respect to the manufacturing method of this embodiment.

(第5実施形態)
本発明の第5実施形態も、上記第4実施形態と同様に、当該電子装置100を2個製造する電子装置の製造方法を提供する。
(Fifth embodiment)
Similarly to the fourth embodiment, the fifth embodiment of the present invention also provides a method for manufacturing an electronic device that manufactures two electronic devices 100.

図15は、本実施形態に係る製造方法を示す図であり、2個の一体化部材500、500’を隙間部材600を介して連結した状態を示す概略断面図である。本実施形態も、上記第1実施形態の電子装置100に示されている電子装置100と同一構成の電子装置100を、2個製造する製造方法を提供するものである。   FIG. 15 is a diagram illustrating the manufacturing method according to the present embodiment, and is a schematic cross-sectional view illustrating a state where two integrated members 500 and 500 ′ are connected via a gap member 600. The present embodiment also provides a manufacturing method for manufacturing two electronic devices 100 having the same configuration as the electronic device 100 shown in the electronic device 100 of the first embodiment.

まず、本製造方法においても、上記第1実施形態と同様に、配線基板30の一面上、ヒートシンク41、42の一面上への各電子素子11〜14、21〜24の搭載などを行い、配線基板30の他面側、ヒートシンク41、42の他面側、リードフレーム420の他面側にテープ部材400を貼り付けることで、図15に示されるように、テープ部材400により一体化された一体化部材500、500’を2個作製する。   First, also in the present manufacturing method, as in the first embodiment, the electronic elements 11 to 14 and 21 to 24 are mounted on one surface of the wiring board 30 and one surface of the heat sinks 41 and 42 to perform wiring. By attaching the tape member 400 to the other surface side of the substrate 30, the other surface side of the heat sinks 41 and 42, and the other surface side of the lead frame 420, as shown in FIG. Two forming members 500 and 500 ′ are produced.

そして、本実施形態では、図15に示されるように、これら2個の一体化部材500、500’を、それぞれのテープ部材400の一面側にて対向するように配置する。   In the present embodiment, as shown in FIG. 15, these two integrated members 500 and 500 ′ are arranged so as to face each other on the one surface side of each tape member 400.

つまり、上記第4実施形態では、両一体化部材500、500’をテープ部材400側にて背中合わせの状態で貼り付けて連結したが、本実施形態では、それとは反対向きに、両一体化部材500、500’を対向させる。   That is, in the fourth embodiment, the two integrated members 500 and 500 ′ are bonded and connected in a back-to-back state on the tape member 400 side, but in the present embodiment, the two integrated members are opposed to each other. 500 and 500 ′ are opposed to each other.

また、両一体化部材500、500’の間に隙間部材600を介在させることで両一体化部材500、500’を隙間を持って保持する。この隙間部材600は、セラミックや樹脂、あるいは金属などからなる柱状のものである。   Further, by interposing the gap member 600 between the two integrated members 500 and 500 ', the two integrated members 500 and 500' are held with a gap. The gap member 600 is a columnar member made of ceramic, resin, metal, or the like.

そして、図15に示されるように、隙間部材600は、その一端部が各々の一体化部材500、500’毎にテープ部材400の一面に貼り付けられるとともに、その他端部が相手側の隙間部材600の他端部と接着テープ700により貼り付けられた状態となっている。   As shown in FIG. 15, the gap member 600 has one end portion affixed to one surface of the tape member 400 for each integrated member 500, 500 ′, and the other end portion being a counterpart gap member. In this state, the other end portion 600 is adhered to the adhesive tape 700.

このような状態で、隙間部材600は、両一体化部材500、500’の間に介在し、また、それぞれの一体化部材500、500’におけるモールド樹脂70の充填空間すなわちモールド樹脂70の封止領域は、隙間部材600および接着テープ700により、区画されている。   In such a state, the gap member 600 is interposed between the two integrated members 500 and 500 ′, and the space for filling the mold resin 70 in each of the integrated members 500 and 500 ′, that is, the sealing of the mold resin 70. The region is partitioned by the gap member 600 and the adhesive tape 700.

そして、本実施形態では、この図15の状態のものを、樹脂成形用の図示しない金型に設置し、両一体化部材500、500’の隙間へモールド樹脂70を充填することで当該隙間を封止する。   And in this embodiment, the thing of the state of this FIG. 15 is installed in the metal mold | die for resin molding, and the said clearance gap is filled by filling the mold resin 70 into the clearance gap between both the integral members 500 and 500 '. Seal.

続いて、接着テープ700および隙間部材600を除去するとともに、各々の一体化部材500、500’よりテープ部材400を剥がす。その後は、上記第1実施形態と同様にリードカットなどを行うことにより、2個の電子装置100ができあがる。   Subsequently, the adhesive tape 700 and the gap member 600 are removed, and the tape member 400 is peeled off from the integrated members 500 and 500 '. Thereafter, two electronic devices 100 are completed by performing lead cutting or the like in the same manner as in the first embodiment.

本実施形態の製造方法によっても、上記第1実施形態の製造方法と同様に、かしめ固定によることなく、モールド樹脂封止前における配線基板、ヒートシンク、リードフレームの三者の一体化を実現できるとともに、2個の一体化部材500、500’を隙間部材600を挟んでテープ部材400を境として極力対称的に配置した状態でモールド樹脂70による封止を行うことがができる。   Even with the manufacturing method of the present embodiment, as with the manufacturing method of the first embodiment, it is possible to realize the integration of the wiring board, the heat sink, and the lead frame before molding resin sealing without using caulking and fixing. Sealing with the mold resin 70 can be performed in a state where the two integrated members 500 and 500 ′ are arranged as symmetrically as possible with the gap member 600 interposed therebetween and the tape member 400 as a boundary.

そのため、1個ずつ樹脂封止を行う場合に比べて、モールド樹脂70の封止時などにおける各部の熱膨張の影響や、モールド樹脂70の硬化収縮の影響を極力回避でき、電子装置100の反りなどの変形を抑制できる。   Therefore, as compared with the case where resin sealing is performed one by one, the influence of thermal expansion of each part at the time of sealing the mold resin 70 and the influence of curing shrinkage of the mold resin 70 can be avoided as much as possible. Etc. can be suppressed.

ここで、本実施形態においては、各々の一体化部材500、500’におけるモールド樹脂70の封止領域を、隙間部材600および接着テープ700により区画したが、たとえば、両一体化部材500、500’の間に何らかの仕切部材を設けることにより、当該封止領域を形成してもよい。   Here, in the present embodiment, the sealing region of the mold resin 70 in each integrated member 500, 500 ′ is partitioned by the gap member 600 and the adhesive tape 700. For example, both the integrated members 500, 500 ′. The sealing region may be formed by providing some partition member between them.

なお、本実施形態の製造方法に対して、上記第2実施形態および上記第3実施形態の製造方法を適用してもよい。   In addition, the manufacturing method of the said 2nd Embodiment and the said 3rd Embodiment may be applied with respect to the manufacturing method of this embodiment.

また、これら第4および第5の実施形態は、それぞれが電子素子を搭載する第1の配線基板および第2の配線基板を、共通の1枚の鉄製ヒートシンクの上面に実装し、これら電子素子、2枚の配線基板およびヒートシンクを、モールド樹脂によって封止するとともに、ヒートシンクの下面をモールド樹脂から露出させるようにした電子装置に対しても、適用が可能である。   In the fourth and fifth embodiments, the first wiring board and the second wiring board, each mounting an electronic element, are mounted on the upper surface of a common iron heat sink, and the electronic element, The present invention can also be applied to an electronic device in which two wiring boards and a heat sink are sealed with a mold resin and the lower surface of the heat sink is exposed from the mold resin.

特に、このような構成の電子装置の場合、鉄製のヒートシンクの厚さ方向を考慮すると熱膨張係数バランスを確保することは難しい。また モールド樹脂自体の硬化収縮も数%あるのでパッケージ全体のそりが発生してしまう。しかし、この場合も、上記第4または第5実施形態の適用により、反り等の発生しないパッケージを実現できる。   In particular, in the case of an electronic device having such a configuration, it is difficult to ensure a thermal expansion coefficient balance in consideration of the thickness direction of the iron heat sink. Moreover, since the cure shrinkage of the mold resin itself is several percent, the entire package is warped. However, in this case as well, a package that does not warp can be realized by applying the fourth or fifth embodiment.

(他の実施形態)
図16、図17、図18は、本発明における種々の他の実施形態を示す概略断面である。
(Other embodiments)
16, 17 and 18 are schematic cross sections showing various other embodiments of the present invention.

上記実施形態では、ヒートシンク41、42において、ヒートシンク41、42の他面の一部すなわち矩形部分を、モータ端子41、42の部分よりもテープ部材400の厚さ分、厚くして、テープ部材400の開口部401にはめ込むことにより、当該開口部401から露出させた。   In the above embodiment, in the heat sinks 41 and 42, a part of the other surface of the heat sinks 41, 42, that is, a rectangular portion is made thicker than the motor terminals 41 and 42 by the thickness of the tape member 400. It was exposed from the opening 401 by fitting into the opening 401.

それに対してが、図16に示されるように、テープ部材400には上記開口部を設けず、ヒートシンク41、42の他面全体を平坦面として、当該他面全体にテープ部材400を貼り付けてもよい。この場合、テープ部材400の剥離後は、ヒートシンク41、42の他面全体がモールド樹脂70の表面と同一平面の関係となる。   On the other hand, as shown in FIG. 16, the tape member 400 is not provided with the opening, and the other surfaces of the heat sinks 41 and 42 are made flat and the tape member 400 is attached to the other surfaces. Also good. In this case, after peeling off the tape member 400, the entire other surfaces of the heat sinks 41 and 42 are in the same plane as the surface of the mold resin 70.

また、上記実施形態では、モールド樹脂70から突出するヒートシンク41、42の矩形部分は、電気絶縁性を有し且つ熱伝導性に優れたグリスなどを介在させて、ケース200に接するが、当該部分をケース200にはんだ付けしてもよい。   Further, in the above embodiment, the rectangular portions of the heat sinks 41 and 42 protruding from the mold resin 70 are in contact with the case 200 through the presence of grease having electrical insulation and excellent thermal conductivity. May be soldered to the case 200.

この場合、図17に示されるように、ヒートシンク41、42の他面において矩形部分に、はんだ付け用の凹み部43を形成し、この凹み部43にはんだを配設して、ケース200にはんだ付けすればよい。   In this case, as shown in FIG. 17, a soldering recess 43 is formed in a rectangular portion on the other surface of the heat sinks 41, 42, solder is disposed in the recess 43, and the case 200 is soldered. You can attach it.

また、上記実施形態では、リボンリードタイプのリード61〜63を用いて、パワーMOS素子21〜24の図示しないソース電極と電気的な接続を行っていたが、図18に示されるように、これらリード61〜63は、上記入力端子50や検査端子51と同様にリードフレーム420の一部として構成し、ボンディングワイヤ16による接続を行ってもよい。   In the above embodiment, the ribbon lead type leads 61 to 63 are used to electrically connect the source electrodes (not shown) of the power MOS elements 21 to 24. However, as shown in FIG. The leads 61 to 63 may be configured as a part of the lead frame 420 similarly to the input terminal 50 and the inspection terminal 51 and may be connected by the bonding wire 16.

また、上記実施形態では、電子装置100を外部基材としてのモータのケース200に対して、はんだ実装したが、導電性接着剤やさらには溶接などによって実装を行ってもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the electronic device 100 was solder-mounted with respect to the motor case 200 as an external base material, you may mount by a conductive adhesive or also welding.

また、電子素子、配線基板、ヒートシンクおよびリードフレームは、上記実施形態に限定されるものではなく、その種類や数、形状、材質など、適宜設計変更可能である。   In addition, the electronic element, the wiring board, the heat sink, and the lead frame are not limited to the above-described embodiment, and the design, type, number, shape, material, and the like can be changed as appropriate.

また、テープ部材についても、配線基板、ヒートシンクおよびリードフレームの構成に応じて適宜変形してもよく、配線基板の他面側、ヒートシンクの他面側およびリードフレームに貼り付けられこれらを一体に保持可能なものであれば、上記実施形態に限定されるものではない。   Also, the tape member may be appropriately deformed according to the configuration of the wiring board, the heat sink and the lead frame, and is attached to the other side of the wiring board, the other side of the heat sink and the lead frame to hold them together. If possible, the present invention is not limited to the above embodiment.

なお、このような本発明のテープ部材の厚みは、特に限定するものではないが、たとえば0.1mmである。   The thickness of the tape member of the present invention is not particularly limited, but is, for example, 0.1 mm.

本発明の第1実施形態に係る電子装置の概略平面図である。1 is a schematic plan view of an electronic device according to a first embodiment of the present invention. 図1中のA−A概略断面図である。It is an AA schematic sectional drawing in FIG. 図1に示される電子装置の概略背面図である。FIG. 2 is a schematic rear view of the electronic device shown in FIG. 1. (a)は図3中のB−B断面図、(b)は図3中のC−C断面図である。(A) is BB sectional drawing in FIG. 3, (b) is CC sectional drawing in FIG. 図1に示される電子装置の等価回路図である。FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of the electronic device shown in FIG. 1. 上記第1実施形態に係る製造方法に用いるテープ部材の単体の概略平面図である。It is a schematic plan view of a single tape member used for the manufacturing method according to the first embodiment. 図6に示されるテープ部材をワークに貼り付けた状態を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows the state which affixed the tape member shown by FIG. 6 on the workpiece | work. 図6に示されるテープ部材をワークに貼り付けた状態を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the state which affixed the tape member shown by FIG. 6 on the workpiece | work. 本発明の第2実施形態に係る製造方法を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows the manufacturing method which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態に係る電子装置の概略背面図である。It is a schematic rear view of the electronic device which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 図10に示される電子装置の製造方法を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows the manufacturing method of the electronic device shown by FIG. 本発明の第4実施形態に係る電子装置の製造方法においてテープ部材をワークに貼り付けた状態を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the state which affixed the tape member on the workpiece | work in the manufacturing method of the electronic device which concerns on 4th Embodiment of this invention. 上記第4実施形態の製造方法において2個の一体化部材を連結した状態を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the state which connected the two integrated members in the manufacturing method of the said 4th Embodiment. 上記第4実施形態の製造方法において図13に示されるものをモールド樹脂にて封止した状態を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the state which sealed what was shown by FIG. 13 in the manufacturing method of the said 4th Embodiment with mold resin. 本発明の第5実施形態に係る電子装置の製造方法において2個の一体化部材を隙間部材を介して連結した状態を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the state which connected the two integrated members via the gap member in the manufacturing method of the electronic device which concerns on 5th Embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態を示す概略断面である。It is a schematic cross section which shows other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態を示す概略断面である。It is a schematic cross section which shows other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態を示す概略断面である。It is a schematic cross section which shows other embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

11…第1の電子素子としてのマイコン、
12…第1の電子素子としての制御IC、
13…第1の電子素子としてのICチップ、
14…第1の電子素子としてのコンデンサ、
21、22、23、24…第2の電子素子としてのパワーMOS素子、
30…配線基板、41、42…ヒートシンク、70…モールド樹脂、
400…テープ部材、401…テープ部材の開口部、420…リードフレーム。
11 ... A microcomputer as a first electronic element,
12 ... Control IC as first electronic element,
13 ... IC chip as the first electronic element,
14: a capacitor as a first electronic element,
21, 22, 23, 24... Power MOS elements as second electronic elements,
30 ... Wiring board, 41, 42 ... Heat sink, 70 ... Mold resin,
400: Tape member, 401: Opening of tape member, 420: Lead frame.

Claims (6)

配線基板(30)の一面上に第1の電子素子(11〜14)を搭載し、ヒートシンク(41、42)の一面上に第2の電子素子(21〜24)を搭載するとともに、前記配線基板(30)の周囲にリードフレーム(420)を配置し、前記両電子素子(11〜14、21〜24)、前記配線基板(30)および前記リードフレーム(420)を電気的に接続した後、
前記両電子素子(11〜14、21〜24)、前記配線基板(30)、前記ヒートシンク(41、42)および前記リードフレーム(420)をモールド樹脂(70)にて封止してなる電子装置の製造方法であって、
前記配線基板(30)の他面側、前記ヒートシンク(41、42)の他面側および前記リードフレーム(420)を、共通のテープ部材(400)に貼り付けて一体化した後、前記モールド樹脂(70)による封止を行い、続いて、前記テープ部材(400)を剥がすことを特徴とする電子装置の製造方法。
The first electronic elements (11-14) are mounted on one surface of the wiring board (30), the second electronic elements (21-24) are mounted on one surface of the heat sink (41, 42), and the wiring After arranging a lead frame (420) around the substrate (30) and electrically connecting the electronic elements (11-14, 21-24), the wiring substrate (30) and the lead frame (420) ,
An electronic device in which both the electronic elements (11-14, 21-24), the wiring board (30), the heat sink (41, 42) and the lead frame (420) are sealed with a mold resin (70). A manufacturing method of
After the other surface side of the wiring board (30), the other surface side of the heat sink (41, 42), and the lead frame (420) are attached to a common tape member (400) and integrated, the mold resin (70) Sealing is performed, and then the tape member (400) is peeled off.
前記テープ部材(400)に開口部(401)を設け、
前記ヒートシンク(41、42)の他面の一部を、前記テープ部材(400)の厚さ分、前記開口部(401)にはめ込んで当該他面の一部を前記開口部(401)から露出させた状態で、前記ヒートシンク(41、42)を前記テープ部材(400)に貼り付けることを特徴とする請求項1に記載の電子装置の製造方法。
An opening (401) is provided in the tape member (400),
Part of the other surface of the heat sink (41, 42) is fitted into the opening (401) by the thickness of the tape member (400), and part of the other surface is exposed from the opening (401). 2. The method of manufacturing an electronic device according to claim 1, wherein the heat sink (41, 42) is attached to the tape member (400) in a state of being applied.
前記リードフレーム(420)として、フレーム部(421)に連結された複数本のリード(50、51)を有するものを用い、
このリードフレーム(420)における前記複数本のリード(50、51)同士を、支持部材(430)により連結した後、
前記複数本のリード(50、51)のうち当該電子装置における前記モールド樹脂(70)の端面よりも内周側に位置する部位にて、前記複数本のリード(50、51)を前記フレーム部(421)から切り離すとともに、切り離された前記複数本のリード(50、51)同士が前記支持部材(430)によって連結された状態とし、
続いて、前記配線基板(30)、前記ヒートシンク(41、42)および前記リードフレーム(420)への前記テープ部材(400)の貼り付けを行うことを特徴とする請求項1または2に記載の電子装置の製造方法。
As the lead frame (420), one having a plurality of leads (50, 51) connected to a frame part (421) is used.
After the plurality of leads (50, 51) in the lead frame (420) are connected by a support member (430),
Of the plurality of leads (50, 51), the plurality of leads (50, 51) are connected to the frame portion at a position located on the inner peripheral side of the end surface of the mold resin (70) in the electronic device. (421) and the plurality of separated leads (50, 51) are connected to each other by the support member (430),
Subsequently, the tape member (400) is attached to the wiring board (30), the heat sink (41, 42), and the lead frame (420). A method for manufacturing an electronic device.
配線基板(30)の一面上に第1の電子素子(11〜14)を搭載し、ヒートシンク(41、42)の一面上に第2の電子素子(21〜24)を搭載するとともに、前記配線基板(30)の周囲にリードフレーム(420)を配置し、前記両電子素子(11〜14、21〜24)、前記配線基板(30)および前記リードフレーム(420)を電気的に接続した後、前記両電子素子(11〜14、21〜24)、前記配線基板(30)、前記ヒートシンク(41、42)および前記リードフレーム(420)をモールド樹脂(70)にて封止してなる電子装置を、2個製造する電子装置の製造方法であって、
前記配線基板(30)の他面側、前記ヒートシンク(41、42)の他面側および前記リードフレーム(420)を、共通のテープ部材(400)の一面に貼り付けて一体化した一体化部材(500、500’)を2個用意し、
一方の前記一体化部材(500)における前記テープ部材(400)の他面と、他方の前記一体化部材(500’)における前記テープ部材(400)の他面とを貼り合わせて、これら2個の前記一体化部材(500、500’)を連結した後、
各々の前記一体化部材(500、500’)における前記テープ部材(400)の一面側を前記モールド樹脂(70)によって封止し、
続いて、各々の前記一体化部材(500、500’)における前記テープ部材(400)の他面同士を剥がして前記一体化部材(500、500’)同士を分離するとともに、分離された各々の前記一体化部材(500、500’)から前記テープ部材(400)を剥がすことを特徴とする電子装置の製造方法。
The first electronic elements (11-14) are mounted on one surface of the wiring board (30), the second electronic elements (21-24) are mounted on one surface of the heat sink (41, 42), and the wiring After arranging a lead frame (420) around the substrate (30) and electrically connecting the electronic elements (11-14, 21-24), the wiring substrate (30) and the lead frame (420) Electrons formed by sealing the electronic elements (11-14, 21-24), the wiring board (30), the heat sinks (41, 42) and the lead frame (420) with a mold resin (70). An electronic device manufacturing method for manufacturing two devices,
An integrated member in which the other surface side of the wiring board (30), the other surface side of the heat sink (41, 42), and the lead frame (420) are bonded and integrated on one surface of a common tape member (400). (500, 500 ')
The other surface of the tape member (400) in one integrated member (500) and the other surface of the tape member (400) in the other integrated member (500 ′) are bonded together. After connecting the integrated members (500, 500 ′) of
One side of the tape member (400) in each of the integrated members (500, 500 ′) is sealed with the mold resin (70),
Subsequently, the other surfaces of the tape member (400) in each of the integrated members (500, 500 ′) are peeled off to separate the integrated members (500, 500 ′) from each other. A method of manufacturing an electronic device, wherein the tape member (400) is peeled off from the integrated member (500, 500 ').
配線基板(30)の一面上に第1の電子素子(11〜14)を搭載し、ヒートシンク(41、42)の一面上に第2の電子素子(21〜24)を搭載するとともに、前記配線基板(30)の周囲にリードフレーム(420)を配置し、前記両電子素子(11〜14、21〜24)、前記配線基板(30)および前記リードフレーム(420)を電気的に接続した後、前記両電子素子(11〜14、21〜24)、前記配線基板(30)、前記ヒートシンク(41、42)および前記リードフレーム(420)をモールド樹脂(70)にて封止してなる電子装置を、2個製造する電子装置の製造方法であって、
前記配線基板(30)の他面側、前記ヒートシンク(41、42)の他面側および前記リードフレーム(420)を、共通のテープ部材(400)の一面に貼り付けて一体化した一体化部材(500、500’)を2個用意し、
これら2個の一体化部材(500、500’)を、それぞれの前記テープ部材(400)の一面側にて対向するように配置するとともに、前記両一体化部材(500、500’)の間に隙間部材(600)を介在させることで前記両一体化部材(500、500’)を隙間を持って保持した後、
前記両一体化部材(500、500’)の隙間へ前記モールド樹脂(70)を充填することで当該隙間を封止し、
続いて、前記隙間部材(600)を除去するとともに、各々の前記一体化部材(500、500’)より前記テープ部材(400)を剥がすことを特徴とする電子装置の製造方法。
The first electronic elements (11-14) are mounted on one surface of the wiring board (30), the second electronic elements (21-24) are mounted on one surface of the heat sink (41, 42), and the wiring After arranging a lead frame (420) around the substrate (30) and electrically connecting the electronic elements (11-14, 21-24), the wiring substrate (30) and the lead frame (420) Electrons formed by sealing the electronic elements (11-14, 21-24), the wiring board (30), the heat sinks (41, 42) and the lead frame (420) with a mold resin (70). An electronic device manufacturing method for manufacturing two devices,
An integrated member in which the other surface side of the wiring board (30), the other surface side of the heat sink (41, 42), and the lead frame (420) are bonded and integrated on one surface of a common tape member (400). (500, 500 ')
These two integrated members (500, 500 ′) are arranged so as to face each other on the one surface side of each of the tape members (400), and between the two integrated members (500, 500 ′). After holding the both integrated members (500, 500 ′) with a gap by interposing a gap member (600),
Sealing the gap by filling the gap between the two integrated members (500, 500 ′) with the mold resin (70),
Subsequently, the gap member (600) is removed, and the tape member (400) is peeled off from each of the integrated members (500, 500 ′).
前記隙間部材(600)を、その一端部が各々の前記一体化部材(500、500’)毎に前記テープ部材(400)の一面に貼り付けられるとともに、他端部が相手側の隙間部材(600)の他端部と接着テープ(700)により貼り付けられた状態で、前記両一体化部材(500、500’)の間に介在させるとともに、
各々の前記一体化部材(500、500’)における前記モールド樹脂(70)の封止領域を、これら隙間部材(600)および接着テープ(700)により区画するようにしたことを特徴とする請求項5に記載の電子装置の製造方法。
One end of the gap member (600) is affixed to one surface of the tape member (400) for each of the integrated members (500, 500 '), and the other end is a counterpart gap member ( 600) with the other end portion and the adhesive tape (700) attached thereto, and interposed between the two integrated members (500, 500 ′),
The sealing region of the mold resin (70) in each of the integrated members (500, 500 ') is partitioned by the gap member (600) and the adhesive tape (700). 5. A method for manufacturing an electronic device according to 5.
JP2006002695A 2005-10-06 2006-01-10 Manufacturing method of electronic device Expired - Fee Related JP4400575B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006002695A JP4400575B2 (en) 2005-10-06 2006-01-10 Manufacturing method of electronic device

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005293219 2005-10-06
JP2006002695A JP4400575B2 (en) 2005-10-06 2006-01-10 Manufacturing method of electronic device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007129175A true JP2007129175A (en) 2007-05-24
JP4400575B2 JP4400575B2 (en) 2010-01-20

Family

ID=38151553

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006002695A Expired - Fee Related JP4400575B2 (en) 2005-10-06 2006-01-10 Manufacturing method of electronic device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4400575B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012137333A1 (en) * 2011-04-07 2012-10-11 三菱電機株式会社 Molded module and electric power steering apparatus
JP2017102124A (en) * 2017-01-18 2017-06-08 日立オートモティブシステムズ株式会社 Thermal type flowmeter

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012137333A1 (en) * 2011-04-07 2012-10-11 三菱電機株式会社 Molded module and electric power steering apparatus
EP2695795A4 (en) * 2011-04-07 2015-07-08 Mitsubishi Electric Corp Molded module and electric power steering apparatus
US9123693B2 (en) 2011-04-07 2015-09-01 Mitsubishi Electric Corporation Mold module utilized as power unit of electric power steering apparatus and electric power steering apparatus
EP3536582A1 (en) * 2011-04-07 2019-09-11 Mitsubishi Electric Corporation Mold module and electric power steering apparatus
JP2017102124A (en) * 2017-01-18 2017-06-08 日立オートモティブシステムズ株式会社 Thermal type flowmeter

Also Published As

Publication number Publication date
JP4400575B2 (en) 2010-01-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8358514B2 (en) Electronic control device
KR101149298B1 (en) Four mosfet full bridge module
JP6065973B2 (en) Semiconductor module
US20070075419A1 (en) Semiconductor device having metallic lead and electronic device having lead frame
JP6093455B2 (en) Semiconductor module
JP5264189B2 (en) Inverter device and manufacturing method thereof
JP2008141140A (en) Semiconductor device
JP2017017109A (en) Semiconductor device
JP5603489B2 (en) Sealed control module for automobile
JP5262983B2 (en) Mold package and manufacturing method thereof
JP4552810B2 (en) Semiconductor device
JP5267021B2 (en) Semiconductor device and inverter circuit using the same
JP5257229B2 (en) Semiconductor device and heat sink
JP2008218688A (en) Semiconductor device
JP4400575B2 (en) Manufacturing method of electronic device
JP4333505B2 (en) Semiconductor device
JP2009206406A (en) Power semiconductor device
JP5147295B2 (en) Semiconductor device
JP2007158288A (en) Load-driving electronic device
JP2018512724A (en) Electronic component and manufacturing method thereof
JPH10173085A (en) Electronic module and manufacturing method of electronic module
US20230245948A1 (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP4225246B2 (en) Manufacturing method of electronic device
JP2007234921A (en) Mold package
JP2007234920A (en) Electronic device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080122

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20091001

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20091006

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20091019

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121106

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131106

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees