JP2007115381A

JP2007115381A - Magnetic head and magnetic tape apparatus

Info

Publication number: JP2007115381A
Application number: JP2005308775A
Authority: JP
Inventors: Yutaka Hayata; 裕早田; Masaaki Sekine; 昌章関根
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2005-10-24
Filing date: 2005-10-24
Publication date: 2007-05-10

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic head in which occurrence of dielectric breakdown can be prevented by suppressing occurrence of frictional electrification by sliding to a magnetic recording medium. <P>SOLUTION: The magnetic head 20 performing reading and/or recording of signals by sliding to the magnetic recording medium 2, is provided with a head element consisting of a magnetic material and having magnetic shields 24, 25 or magnetic cores 21, 23. Surface resistivity of a gap layer 26 filled between magnetic shields 24 and 25, or magnetic cores 21 and 23 is within a range from 1×10<SP>6</SP>Ω/sq to 1×10<SP>11</SP>Ω/sq. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、磁気テープ等の磁気記録媒体に対して、信号（磁気情報）の読み取り及び／又は記録を行う磁気ヘッド、及びこの磁気ヘッドを備えた磁気テープ装置に係わる。 The present invention relates to a magnetic head that reads and / or records a signal (magnetic information) on a magnetic recording medium such as a magnetic tape, and a magnetic tape device including the magnetic head.

近年、磁気テープを用いてデータの記録及び再生を行う磁気記録再生装置においては、取り扱う情報量の増大に伴って、さらなる記録密度の向上が望まれている。
そして、信号の読み取り用の磁気ヘッドとして、従来のインダクティブヘッドに代わりＭＲ（Magneto Resistive：磁気抵抗効果型）ヘッドを採用することが必要不可欠となっている。 2. Description of the Related Art In recent years, in a magnetic recording / reproducing apparatus that records and reproduces data using a magnetic tape, further improvement in recording density is desired as the amount of information handled increases.
As a magnetic head for reading signals, it is indispensable to use an MR (Magneto Resistive) head instead of a conventional inductive head.

ＭＲヘッドは、磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）による磁気抵抗効果を利用して、磁気記録媒体に記録された信号を読み取る磁気ヘッドであり、信号の検出感度が高く、大きな再生出力を得られるため、磁気テープ上の記録トラック幅を容易に縮小できると共に、線方向の記録密度が高められる。これにより、磁気記録媒体の高密度化を図ることが可能となる。 An MR head is a magnetic head that reads a signal recorded on a magnetic recording medium using the magnetoresistive effect of a magnetoresistive element (MR element), and has high signal detection sensitivity and can provide a large reproduction output. The recording track width on the magnetic tape can be easily reduced and the recording density in the linear direction can be increased. This makes it possible to increase the density of the magnetic recording medium.

このＭＲヘッドは、一般的に、インダクティブ型ヘッドと比較して静電気や熱に弱いという性質を有している。 This MR head generally has a property of being weak against static electricity and heat as compared with an inductive head.

ここで、図６に示すＨＢＭ（Human Body Model）を用いて、ＭＲヘッドのＥＳＤ（Electrostatic Discharge）破壊電圧の測定を行った。
即ち、図６に示すＨＢＭにおいて、１００ｐＦのコンデンサに電荷を蓄積し、１．５ｋΩの抵抗値を介して放電させたときの、デバイス（ＭＲヘッド）１０１に加わる電圧と抵抗との関係を測定した。 Here, the ESD breakdown voltage of the MR head was measured using an HBM (Human Body Model) shown in FIG.
That is, in the HBM shown in FIG. 6, the relationship between the voltage applied to the device (MR head) 101 and the resistance when electric charge was accumulated in a 100 pF capacitor and discharged through a resistance value of 1.5 kΩ was measured. .

ＭＲヘッドにおけるＥＳＤ破壊電圧の測定結果を、図７Ａ及び図７Ｂに示す。図７Ａは、ＡＭＲ（Anisotropic Magneto Resistive）ヘッドについての測定結果を示し、図７Ｂは、ＧＭＲ（Giant Magneto Resistive）ヘッドについての測定結果を示す。
図７Ａ及び図７Ｂによると、ＡＭＲヘッドの場合は２００〜２５０Ｖ程度、ＧＭＲヘッドの場合は３０〜４０Ｖ程度からそれぞれ抵抗値が変化し、ＥＳＤ破壊が発生していることがわかる。 The measurement result of the ESD breakdown voltage in the MR head is shown in FIGS. 7A and 7B. FIG. 7A shows the measurement results for an AMR (Anisotropic Magneto Resistive) head, and FIG. 7B shows the measurement results for a GMR (Giant Magneto Resistive) head.
According to FIGS. 7A and 7B, it is understood that the resistance value changes from about 200 to 250 V in the case of the AMR head and about 30 to 40 V in the case of the GMR head, and ESD breakdown occurs.

また、放電後のＧＭＲヘッドの感度の測定例を、図８に示す。
図８は、図７と同様に、ＨＢＭを用いて放電を発生させた後のＧＭＲヘッドの感度を、このＧＭＲヘッドに一定の磁界をかけたときのＧＭＲヘッドの電圧変化量として示している。
図８より、放電時の電圧が３０Ｖ程度に達すると、ＧＭＲヘッドの磁気特性が劣化することがわかる。 FIG. 8 shows a measurement example of the sensitivity of the GMR head after discharge.
FIG. 8 shows the sensitivity of the GMR head after the discharge is generated using the HBM, as in FIG. 7, as a voltage change amount of the GMR head when a constant magnetic field is applied to the GMR head.
FIG. 8 shows that the magnetic characteristics of the GMR head deteriorate when the voltage during discharge reaches about 30V.

磁気記録媒体として磁気テープを使用する場合には、磁気ヘッドを磁気テープと摺動させて、信号（磁気情報）の読み取りや記録を行う。
そして、磁気ヘッドの磁気テープとの摺動面には、基板材、感磁素子、シールド膜及び絶縁膜（アルミナ等）が露出している。これらのうち、絶縁膜が磁気テープと摺動することにより、摩擦帯電する。この帯電がヘッドに放電電流として流れ、上述したＥＳＤ破壊を起こす。
このように、ＥＳＤ破壊を起こしやすい磁気ヘッドを、磁気テープのドライブ装置に応用するためには、静電気対策が必要となる。 When a magnetic tape is used as the magnetic recording medium, a signal (magnetic information) is read or recorded by sliding the magnetic head with the magnetic tape.
A substrate material, a magnetic sensitive element, a shield film, and an insulating film (such as alumina) are exposed on the sliding surface of the magnetic head with respect to the magnetic tape. Of these, the insulating film slides on the magnetic tape and is triboelectrically charged. This electrification flows as a discharge current in the head and causes the ESD damage described above.
Thus, in order to apply a magnetic head that is prone to ESD destruction to a magnetic tape drive device, it is necessary to take measures against static electricity.

ここで、帯電電圧の測定方法の一例を図９に示す。
図９に示すように、アルミナ製のローラ２０１を回転させ、磁気テープ２０２に錘２０３を付けてローラ２０１に巻きつける。このローラ２０１が回転摺動することにより、テープ２０２との摺動で帯電する。この帯電を非接触の表面電位計２０４で測定する。
このようにして測定した、回転数と帯電電圧との関係の一例を、表１に示す。表１に示す測定値は、テープ２０２として蒸着テープを用いて、温度２７℃、湿度５０％の環境下で測定したものである。 Here, an example of a method for measuring the charging voltage is shown in FIG.
As shown in FIG. 9, the alumina roller 201 is rotated, and a weight 203 is attached to the magnetic tape 202 and wound around the roller 201. As the roller 201 rotates and slides, the roller 201 is charged by sliding with the tape 202. This charge is measured with a non-contact surface potential meter 204.
An example of the relationship between the rotational speed and the charging voltage measured in this way is shown in Table 1. The measured values shown in Table 1 were measured using a vapor-deposited tape as the tape 202 in an environment of a temperature of 27 ° C. and a humidity of 50%.

アルミナ製のローラ２０１の表面が、テープ２０２との摺動により帯電することによって、表１に示すように、数１００Ｖの電圧を発生する。 When the surface of the roller 201 made of alumina is charged by sliding with the tape 202, a voltage of several hundred volts is generated as shown in Table 1.

一方、磁気再生ヘッドにおいて、シールド膜と感磁素子との間のギャップは、非常に狭く、０．１μｍ（１００ｎｍ）以下となっている。そのため、この狭いギャップに充填される絶縁膜の耐圧も小さくなり、絶縁破壊を起こしやすくなる。
ここで、アルミナから成るギャップ膜の膜厚と絶縁破壊電圧との測定値の一例を、表２に示す。 On the other hand, in the magnetic reproducing head, the gap between the shield film and the magnetosensitive element is very narrow, being 0.1 μm (100 nm) or less. For this reason, the withstand voltage of the insulating film filling the narrow gap is also reduced, and dielectric breakdown is likely to occur.
Here, an example of measured values of the thickness of the gap film made of alumina and the dielectric breakdown voltage is shown in Table 2.

表２に示す例のように、ギャップ膜を構成している絶縁膜の静電耐圧は、せいぜい数１０Ｖ程度である。 As in the example shown in Table 2, the electrostatic withstand voltage of the insulating film constituting the gap film is at most about several tens of volts.

静電気破壊が発生するメカニズムは、図１０のように考えられる。
図１０に示すように、磁気テープ１０２と磁気ヘッド１２０とが摺動したとき、磁気ヘッド１２０の絶縁膜１２６が摩擦帯電し、それにより磁気シールド層１２４，１２５の電位が上昇する。磁気シールド層１２４，１２５と、ＭＲ素子１２７のスピンバルブ膜１４０や電極層１２８，１２９との間の電圧が、ギャップ層を構成する絶縁膜１２６の耐圧以上に上昇したとき、絶縁膜１２６が絶縁破壊を起こし、その放電電流１４１により、ＭＲ素子１２７を通じて電流１３０が流れ、ＭＲ素子１２７のスピンバルブ膜１４０を静電気破壊するものである。 The mechanism by which electrostatic breakdown occurs can be considered as shown in FIG.
As shown in FIG. 10, when the magnetic tape 102 and the magnetic head 120 slide, the insulating film 126 of the magnetic head 120 is triboelectrically charged, thereby increasing the potential of the magnetic shield layers 124 and 125. When the voltage between the magnetic shield layers 124 and 125 and the spin valve film 140 or the electrode layers 128 and 129 of the MR element 127 rises above the withstand voltage of the insulating film 126 constituting the gap layer, the insulating film 126 is insulated. This causes breakdown, and the discharge current 141 causes a current 130 to flow through the MR element 127, thereby electrostatically destroying the spin valve film 140 of the MR element 127.

ここで、磁気テープ１０２と摺動させて記録再生しているときに、静電気破壊を起こした磁気ヘッド１２０の摺動面を、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）で観察した。
その結果、ギャップ層の絶縁膜１２６の両側の磁気シールド層１２４，１２５と電極層１２８，１２９との境界付近に、静電気破壊で生じた金属溶解の痕跡が多数観察された。 Here, the sliding surface of the magnetic head 120 that caused electrostatic breakdown was observed with an AFM (atomic force microscope) during recording / reproduction while being slid with the magnetic tape 102.
As a result, many traces of metal dissolution caused by electrostatic breakdown were observed near the boundary between the magnetic shield layers 124 and 125 and the electrode layers 128 and 129 on both sides of the insulating film 126 of the gap layer.

この金属溶解の痕跡を生じた状態の概略平面図を図１１に示す。
図１１に示すように、ＭＲ素子１２７のスピンバルブ膜１４０の両側に接続された、電極層１２８ａ，１２９ａ及び１２８ｂ，１２９ｂ、並びに磁気シールド層１２４と、これらの間の絶縁膜１２６との界面に、金属溶解の痕跡１４２が多数発生している。 FIG. 11 shows a schematic plan view of the state in which the trace of metal dissolution is generated.
As shown in FIG. 11, the electrode layers 128a, 129a and 128b, 129b connected to both sides of the spin valve film 140 of the MR element 127, the magnetic shield layer 124, and the interface between the insulating film 126 therebetween. Many traces of metal dissolution 142 are generated.

このような痕跡１４２が発生するのは、図１２の概念図で示すように、多数回の放電が発生するためである。
即ち、テープ摺動により帯電電圧が上昇し、絶縁耐圧（Ｖｂｒｅａｋｄｏｗｎ）を超えたとき放電が発生する。放電によって、帯電電圧がいったん下がるが、テープ摺動により再び帯電電圧が上昇していく。
この過程を繰り返すことによって、多数個の放電破壊痕が形成されたものである。 Such a trace 142 is generated because a large number of discharges occur as shown in the conceptual diagram of FIG.
That is, the charging voltage rises due to the sliding of the tape, and discharge occurs when the dielectric breakdown voltage (Vbreakdown) is exceeded. Although the charging voltage once decreases due to the discharge, the charging voltage increases again due to the sliding of the tape.
By repeating this process, a large number of discharge breakdown traces are formed.

従って、このような、磁気ヘッドが磁気テープと接触して磨耗するようなテープドライブにおいては、磁気ヘッドの静電気破壊を防止するため、絶縁膜の摩擦帯電を抑制する必要がある。 Therefore, in such a tape drive in which the magnetic head comes into contact with the magnetic tape and wears out, it is necessary to suppress frictional charging of the insulating film in order to prevent electrostatic breakdown of the magnetic head.

上述した摩擦帯電による静電気破壊の発生を防止するための方法としては、磁気ヘッドの摺動面をコーティング材で覆うことが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
米国特許第６８７９４７０号明細書 As a method for preventing the occurrence of electrostatic breakdown due to frictional charging described above, it has been proposed to cover the sliding surface of the magnetic head with a coating material (see, for example, Patent Document 1).
US Pat. No. 6,879,470

従来のハードディスク用の磁気ヘッドにおいては、一般に、ディスクに対向する磁気ヘッドの表面を、厚さ数ｎｍのＤＬＣ（Diamond like carbon）膜によって、コーティングしている。
また、磁気ヘッドをディスクに対して浮上させているため、磁気ヘッドとディスクとが接触しない。
従って、磁気ヘッドの絶縁膜の帯電は発生しない。 In a conventional magnetic head for a hard disk, the surface of the magnetic head facing the disk is generally coated with a DLC (Diamond like carbon) film having a thickness of several nm.
Further, since the magnetic head is levitated with respect to the disk, the magnetic head and the disk do not contact each other.
Therefore, charging of the insulating film of the magnetic head does not occur.

これに対して、磁気テープ用の磁気ヘッドにおいては、磁気テープと摺動することにより磁気ヘッド表面の磨耗が起こる。
そのため、同様にＤＬＣ膜をコーティングしたとしても、コーティング材のＤＬＣ膜が短時間で磨耗してしまう。
このことから、上記特許文献１に記載された方法を採用しても、結局は、アルミナ等の絶縁膜が直接磁気テープと接触することになって、摩擦帯電が発生することになる。 On the other hand, in a magnetic head for a magnetic tape, the surface of the magnetic head is worn by sliding with the magnetic tape.
Therefore, even if the DLC film is coated in the same manner, the DLC film as a coating material is worn out in a short time.
For this reason, even if the method described in Patent Document 1 is adopted, an insulating film such as alumina is in direct contact with the magnetic tape in the end, and triboelectric charging occurs.

上述した問題の解決のために、本発明においては、磁気記録媒体との摺動による摩擦帯電の発生を抑制することにより、静電気破壊の発生を防止することができる磁気ヘッド、及びこの磁気ヘッドを備えた磁気テープ装置を提供するものである。 In order to solve the above-described problems, in the present invention, a magnetic head capable of preventing the occurrence of electrostatic breakdown by suppressing the generation of frictional charging due to sliding with a magnetic recording medium, and the magnetic head are provided. A magnetic tape device provided is provided.

本発明の磁気ヘッドは、磁気記録媒体と摺動することにより、磁気記録媒体に対して信号の読み取り及び／又は記録を行うものであり、磁性材料から成る、磁気シールド又は磁気コアを有するヘッド素子を備え、このヘッド素子において、磁気シールド又は磁気コアの間に充填されているギャップ層の表面抵抗率が、１×１０^６Ω／ｓｑ〜１×１０^１１Ω／ｓｑの範囲内であるものである。 The magnetic head of the present invention reads and / or records a signal on a magnetic recording medium by sliding with the magnetic recording medium, and has a magnetic shield or a magnetic core made of a magnetic material. In this head element, the surface resistivity of the gap layer filled between the magnetic shield or the magnetic core is in the range of 1 × 10 ⁶ Ω / sq to 1 × 10 ¹¹ Ω / sq. is there.

上述の本発明の磁気ヘッドの構成によれば、磁気シールド又は磁気コアの間に充填されているギャップ層の表面抵抗率が、１×１０^６Ω／ｓｑ〜１×１０^１１Ω／ｓｑの範囲内であることにより、ギャップ層が抵抗導電性を有している。これにより、磁気記録媒体との摺動によって生じる、ギャップ層の摩擦帯電を抑制することができるため、摩擦帯電による静電気破壊の発生を防止することが可能になる。 According to the configuration of the above-described magnetic head of the present invention, the surface resistivity of the gap layer filled between the magnetic shield or the magnetic core is in the range of 1 × 10 ⁶ Ω / sq to 1 × 10 ¹¹ Ω / sq. By being inside, the gap layer has resistance conductivity. Accordingly, frictional charging of the gap layer caused by sliding with the magnetic recording medium can be suppressed, so that occurrence of electrostatic breakdown due to frictional charging can be prevented.

本発明の磁気テープ装置は、磁気テープを走行させるテープ走行手段と、磁気テープと摺動することにより、信号の読み取り及び／又は記録を行う磁気ヘッドとを備え、この磁気ヘッドが上記本発明の磁気ヘッドの構成であり、この磁気ヘッドを単数又は複数備えたものである。 The magnetic tape device of the present invention comprises a tape running means for running the magnetic tape, and a magnetic head that reads and / or records a signal by sliding with the magnetic tape. The configuration of the magnetic head includes one or more magnetic heads.

上述の本発明の磁気テープ装置の構成によれば、磁気テープを走行させるテープ走行手段と、磁気テープと摺動することにより、信号の読み取り及び／又は記録を行う磁気ヘッドとを備え、この磁気ヘッドが上記本発明の磁気ヘッドの構成であることにより、磁気ヘッドにおいて磁気テープとの摺動によって生じる、ギャップ層の摩擦帯電を抑制することができるため、摩擦帯電による静電気破壊の発生を防止することが可能になる。これにより、磁気テープを安定して動作させることができる。 According to the above-described configuration of the magnetic tape apparatus of the present invention, the magnetic tape apparatus includes the tape running means for running the magnetic tape, and the magnetic head for reading and / or recording the signal by sliding with the magnetic tape. Since the head has the configuration of the magnetic head of the present invention, frictional charging of the gap layer caused by sliding with the magnetic tape in the magnetic head can be suppressed, so that electrostatic breakdown due to frictional charging is prevented. It becomes possible. Thereby, a magnetic tape can be operated stably.

上述の本発明によれば、摩擦帯電による静電気破壊の発生を防止することが可能になり、また、磁気記録媒体との摺動によって磁気ヘッド表面が磨耗しても、摩擦帯電による静電気破壊の発生を防止することができるため、磁気ヘッドの長時間の使用が可能になる。
従って、本発明により、寿命が長く、信頼性の高い磁気ヘッド、並びに磁気ヘッドを備えた磁気記録再生装置等の装置（ドライブ）を実現することができる。 According to the present invention described above, it is possible to prevent the occurrence of electrostatic breakdown due to frictional charging, and even if the surface of the magnetic head is worn due to sliding with the magnetic recording medium, the occurrence of electrostatic breakdown due to frictional charging is caused. Therefore, the magnetic head can be used for a long time.
Therefore, according to the present invention, it is possible to realize a magnetic head having a long life and high reliability, and a device (drive) such as a magnetic recording / reproducing apparatus including the magnetic head.

また、摩擦帯電の発生を抑制することができるため、乾燥した環境等の帯電しやすい環境下でも安定して使用することができる。
これにより、使用環境によらず安定して動作する装置（ドライブ）を実現することができる。 Moreover, since generation | occurrence | production of frictional charging can be suppressed, it can be used stably also in the environment where it is easy to charge, such as a dry environment.
As a result, it is possible to realize a device (drive) that operates stably regardless of the use environment.

さらにまた、磁気記録媒体の記録密度の高密度化に伴って、磁気ヘッドのギャップが狭くなったり、ヘッド素子が微細化されたりしても、静電気破壊の発生を防止することが可能になるため、磁気記録媒体の高密度化や装置（ドライブ）の小型化を図ることが可能となる。 Furthermore, as the recording density of the magnetic recording medium is increased, it is possible to prevent the occurrence of electrostatic breakdown even when the gap of the magnetic head is narrowed or the head element is miniaturized. Therefore, it is possible to increase the density of the magnetic recording medium and reduce the size of the device (drive).

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
まず、本発明の磁気ヘッドを適用する磁気記録再生装置の一形態の概略構成図を、図１に示す。
図１に示す磁気記録再生装置１は、ヘリカルスキャン方式によって磁気テープ２に対して信号の記録及び／又は再生を行うものである。
この磁気記録再生装置１は、磁気テープ２を走行させるテープ手段として、磁気テープ２を供給する供給リール３と、供給リール３から供給された磁気テープ２を巻き取る巻取リール４と、供給リール３と巻取リール４との間で磁気テープ２の引き回しを行う複数のガイドローラ５ａ〜５ｆとを具備し、磁気テープ２が図中矢印Ａ方向に走行するように構成されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
First, FIG. 1 shows a schematic configuration diagram of an embodiment of a magnetic recording / reproducing apparatus to which a magnetic head of the present invention is applied.
A magnetic recording / reproducing apparatus 1 shown in FIG. 1 records and / or reproduces signals on a magnetic tape 2 by a helical scan method.
The magnetic recording / reproducing apparatus 1 includes a supply reel 3 for supplying the magnetic tape 2, a take-up reel 4 for winding the magnetic tape 2 supplied from the supply reel 3, and a supply reel as tape means for running the magnetic tape 2. 3 and a plurality of guide rollers 5a to 5f for routing the magnetic tape 2 between the take-up reel 4 and the take-up reel 4 so that the magnetic tape 2 travels in the direction of arrow A in the figure.

また、ガイドローラ５ｅとガイドローラ５ｆとの間には、テープ走行手段として、磁気テープ２が掛け合わされるピンチローラ５ｇと、このピンチローラ５ｇと共に磁気テープ２を挟み込むキャップスタン６と、このキャップスタン６を回転駆動するキャップスタンモータ６ａとが設けられている。
磁気テープ２は、ピンチローラ５ｇとキャップスタン６との間に挟みこまれ、キャップスタン６がキャップスタンモータ６ａによって図１中矢印Ｂ方向に回転駆動することにより、矢印Ａ方向に一定の速度及び張力で走行する。 Between the guide roller 5e and the guide roller 5f, as a tape running means, a pinch roller 5g on which the magnetic tape 2 is wound, a cap stun 6 sandwiching the magnetic tape 2 together with the pinch roller 5g, and the cap stun A cap stun motor 6a that rotates the motor 6 is provided.
The magnetic tape 2 is sandwiched between the pinch roller 5g and the cap stan 6, and the cap stan 6 is rotationally driven in the direction of arrow B in FIG. Travel with tension.

この磁気記録再生装置１においては、ガイドローラ５ｃと５ｄとの間に、磁気テープ２に対して信号の記録動作、再生動作を行うヘッドドラム７が設けられている。このヘッドドラム７は、ヘッドドラム７付近の拡大図を図２に示すように、駆動モータ８により図２中矢印Ｃ方向に回転駆動する回転ドラム９と、ベース（図示せず）に固定された固定ドラム１０とを有している。回転ドラム９の外周面部９ａと、固定ドラム１０の外周面部１０ａとにより、円筒面が形成されている。 In this magnetic recording / reproducing apparatus 1, a head drum 7 for performing signal recording and reproducing operations on the magnetic tape 2 is provided between the guide rollers 5c and 5d. As shown in FIG. 2, an enlarged view of the vicinity of the head drum 7 is fixed to a rotating drum 9 and a base (not shown) that are driven to rotate in the direction of arrow C in FIG. And a fixed drum 10. A cylindrical surface is formed by the outer peripheral surface portion 9 a of the rotating drum 9 and the outer peripheral surface portion 10 a of the fixed drum 10.

磁気テープ２は、図１に示したガイドローラ５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆによって導かれ、回転ドラム９及び固定ドラム１０の外周面部９ａ，１０ａに、略１８０゜の角度範囲でヘリカル状に巻きつけられた状態で走行する。
また、固定ドラム１０の外周面部１０ａには、磁気テープ２を案内するリードガイド１０ｂが設けられており、このリードガイド１０ｂに沿って磁気テープ２が回転ドラム９の回転方向に対して斜めに走行するようになっている。 The magnetic tape 2 is guided by the guide rollers 5c, 5d, 5e, and 5f shown in FIG. 1, and is helically wound around the outer peripheral surface portions 9a and 10a of the rotating drum 9 and the fixed drum 10 in an angular range of about 180 °. Drive in the
Further, a lead guide 10b for guiding the magnetic tape 2 is provided on the outer peripheral surface portion 10a of the fixed drum 10, and the magnetic tape 2 travels obliquely with respect to the rotation direction of the rotary drum 9 along the lead guide 10b. It is supposed to be.

回転ドラム９の外周面部９ａには、磁気テープ２に対して信号の記録動作を行う一対の記録用磁気ヘッド１１ａ，１１ｂと、磁気テープ２に対して信号の再生動作を行う一対の再生用磁気ヘッド１２ａ，１２ｂとが取り付けられている。
これら記録用磁気ヘッド１１ａ及び再生用磁気ヘッド１２ａと、記録用磁気ヘッド１１ｂ及び再生用磁気ヘッド１２ｂとは、互いに１８０゜の位相差をもって回転ドラム９の外周面部９ａに対向配置されている。
また、記録用磁気ヘッド１１ａ，１１ｂ及び再生用磁気ヘッド１２ａ，１２ｂは、その記録ギャップ及び再生ギャップが、磁気テープ２の走行方向と略直交する方向に対してアジマス角に応じて斜めとなるように配置されている。 A pair of recording magnetic heads 11 a and 11 b that perform a signal recording operation on the magnetic tape 2 and a pair of reproducing magnetic that perform a signal reproduction operation on the magnetic tape 2 are provided on the outer peripheral surface portion 9 a of the rotary drum 9. Heads 12a and 12b are attached.
The recording magnetic head 11a and the reproducing magnetic head 12a, and the recording magnetic head 11b and the reproducing magnetic head 12b are arranged opposite to the outer peripheral surface portion 9a of the rotary drum 9 with a phase difference of 180 °.
Further, the recording magnetic heads 11a and 11b and the reproducing magnetic heads 12a and 12b have their recording gap and reproducing gap inclined according to the azimuth angle with respect to the direction substantially perpendicular to the running direction of the magnetic tape 2. Is arranged.

従って、ヘッドドラム７においては、回転ドラム９及び固定ドラム１０の外周面部９ａ，１０ａに掛け合わされた磁気テープが図２中矢印Ａ方向に走行しながら、駆動モータ８により回転ドラム９が図２中矢印Ｃ方向に回転駆動することによって、回転ドラム９に搭載された一対の記録用磁気ヘッド１１ａ，１１ｂ及び一対の再生用磁気ヘッド１２ａ，１２ｂが磁気テープ２と摺動しながら、信号の記録動作又は再生動作を行うことになる。 Therefore, in the head drum 7, the magnetic tape applied to the outer peripheral surface portions 9 a and 10 a of the rotary drum 9 and the fixed drum 10 travels in the direction of arrow A in FIG. By rotating and driving in the direction of arrow C, the signal recording operation is performed while the pair of recording magnetic heads 11a and 11b and the pair of reproducing magnetic heads 12a and 12b mounted on the rotating drum 9 slide on the magnetic tape 2. Alternatively, a reproduction operation is performed.

具体的には、記録時において、磁気テープ２に対して一方の記録用磁気ヘッド１１ａが、記録信号に応じた磁界を印加しながら所定のトラック幅で記録トラックを形成し、他方の記録用磁気ヘッド１１ｂが、この記録トラックに隣接して記録信号に応じた磁界を印加しながら所定のトラック幅で記録トラックを形成する。
そして、これら記録用磁気ヘッド１１ａ、１１ｂが磁気テープ２に対して繰り返し記録トラックを形成することによって、磁気テープ２に対して連続的に信号を記録することになる。 Specifically, at the time of recording, one recording magnetic head 11a forms a recording track with a predetermined track width while applying a magnetic field corresponding to the recording signal to the magnetic tape 2, and the other recording magnetic head. The head 11b forms a recording track with a predetermined track width while applying a magnetic field corresponding to the recording signal adjacent to the recording track.
The recording magnetic heads 11 a and 11 b repeatedly form recording tracks on the magnetic tape 2 to continuously record signals on the magnetic tape 2.

一方、再生時には、磁気テープ２に対して、一方の再生用磁気ヘッド１２ａが、記録用磁気ヘッド１１ａにより記録された記録トラックから信号磁界を検出し、他方の再生用磁気ヘッド１２ｂが、記録用磁気ヘッド１１ｂにより記録された記録トラックから信号磁界を検出する。
そして、これら再生用磁気ヘッド１２ａ，１２ｂが記録トラックから繰り返し信号磁界を検出することによって、磁気テープ２に記録された信号を連続的に再生することになる。 On the other hand, at the time of reproduction, with respect to the magnetic tape 2, one reproducing magnetic head 12a detects a signal magnetic field from the recording track recorded by the recording magnetic head 11a, and the other reproducing magnetic head 12b is used for recording. A signal magnetic field is detected from the recording track recorded by the magnetic head 11b.
The reproducing magnetic heads 12a and 12b repeatedly detect the signal magnetic field from the recording track, thereby continuously reproducing the signal recorded on the magnetic tape 2.

次に、本発明の磁気ヘッドの一実施の形態として、図１及び図２に示した磁気記録再生装置１に用いられる磁気ヘッドの概略構成図を図３及び図４に示す。図３は、磁気ヘッドの一部を切り欠いた状態の概略斜視図を示す、図４は、磁気テープとの摺動面の概略平面図を示す。 Next, as an embodiment of the magnetic head of the present invention, schematic configuration diagrams of the magnetic head used in the magnetic recording / reproducing apparatus 1 shown in FIGS. 1 and 2 are shown in FIGS. FIG. 3 is a schematic perspective view showing a state in which a part of the magnetic head is cut out, and FIG. 4 is a schematic plan view of a sliding surface with the magnetic tape.

図３及び図４に示す磁気ヘッド２０は、磁気記録媒体からの磁気信号の検出を行う感磁素子として、スピンバルブ膜を利用した巨大磁気抵抗効果素子（以下、ＧＭＲ素子という。）を備える、いわゆる巨大磁気抵抗効果型磁気ヘッド（以下、ＧＭＲヘッドという。）である。 The magnetic head 20 shown in FIGS. 3 and 4 includes a giant magnetoresistive element (hereinafter referred to as a GMR element) using a spin valve film as a magnetosensitive element for detecting a magnetic signal from a magnetic recording medium. This is a so-called giant magnetoresistive head (hereinafter referred to as a GMR head).

この磁気ヘッド（ＧＭＲヘッド）２０は、電磁誘導を利用して記録再生を行うインダクティブ型磁気ヘッドや異方性磁気抵抗効果型磁気ヘッドよりも感度が高く、再生出力が大きく高密度記録に適している。
従って、上述した磁気記録再生装置１においては、ＧＭＲヘッド２０を一対の再生用磁気ヘッド１２ａ，１２ｂに用いることにより、さらなる高密度記録化が図られる。 This magnetic head (GMR head) 20 has higher sensitivity than an inductive magnetic head or an anisotropic magnetoresistive magnetic head that performs recording / reproduction using electromagnetic induction, and has a large reproduction output and is suitable for high-density recording. Yes.
Therefore, in the magnetic recording / reproducing apparatus 1 described above, by using the GMR head 20 for the pair of reproducing magnetic heads 12a and 12b, higher density recording can be achieved.

なお、一対の再生用磁気ヘッド１２ａ，１２ｂは、互いのアジマス角が逆位相となる以外は同一の構成を有している。従って、以下の説明においては、これら一対の再生用磁気ヘッド１２ａ，１２ｂをまとめてＧＭＲヘッド２０として説明する。 The pair of reproducing magnetic heads 12a and 12b have the same configuration except that their azimuth angles are opposite to each other. Accordingly, in the following description, the pair of reproducing magnetic heads 12a and 12b will be collectively described as the GMR head 20.

磁気ヘッド（ＧＭＲヘッド）２０は、図４に示すように、第１のコア部材２１上に、各種薄膜形成技術により磁気シールド層２４、ＧＭＲ素子２７、ギャップ層２６、及びシールド層２５が順次形成されてなり、保護膜２２を介して第２のコア部材２３が貼り付けられた構造を有している。
また、磁気ヘッド（ＧＭＲヘッド）２０は、磁気テープ２が摺接する媒体摺動面２０ａが、図３中矢印Ａに示す磁気テープ２の走行方向に沿って略円弧状に湾曲した曲面となっている。
そして、この媒体摺動面２０ａから外部に臨む再生ギャップが磁気テープ２の走行方向と略直交する方向に対してアジマス角に応じて斜めとなるように配置される。 As shown in FIG. 4, in the magnetic head (GMR head) 20, a magnetic shield layer 24, a GMR element 27, a gap layer 26, and a shield layer 25 are sequentially formed on the first core member 21 by various thin film forming techniques. Thus, the second core member 23 is attached via the protective film 22.
Further, in the magnetic head (GMR head) 20, the medium sliding surface 20a on which the magnetic tape 2 is slidably contacted is a curved surface curved in a substantially arc shape along the traveling direction of the magnetic tape 2 indicated by an arrow A in FIG. Yes.
Then, the reproducing gap that faces the outside from the medium sliding surface 20a is arranged so as to be inclined according to the azimuth angle with respect to the direction substantially orthogonal to the running direction of the magnetic tape 2.

ＧＭＲヘッド２０は、上下一対の磁気シールド層２４，２５の間にギャップ層２６を介してＧＭＲ素子２７が挟み込まれた構造を有している。
一対の磁気シールド層２４，２５は、ＧＭＲ素子２７を磁気的にシールドするのに充分な幅を有する軟磁性膜からなり、ギャップ層２６を介してＧＭＲ素子２７を挟み込むことにより、磁気テープ２からの信号磁界のうち、再生対象外の磁界がＧＭＲ素子２７に引き込まれないように機能する。
即ち、ＧＭＲヘッド２０においては、ＧＭＲ素子２７に対して再生対象外の信号磁界が一対の磁気シールド層２４，２５に導かれ、再生対象の信号磁界だけがＧＭＲ素子２７へと導かれる。これにより、ＧＭＲ素子２７の周波数特性及び読み取り分解能の向上が図られている。 The GMR head 20 has a structure in which a GMR element 27 is sandwiched between a pair of upper and lower magnetic shield layers 24 and 25 via a gap layer 26.
The pair of magnetic shield layers 24 and 25 are made of a soft magnetic film having a sufficient width to magnetically shield the GMR element 27. By sandwiching the GMR element 27 through the gap layer 26, the magnetic shield layer 24 and 25 are separated from the magnetic tape 2. The signal magnetic field functions so as not to be drawn into the GMR element 27.
That is, in the GMR head 20, a signal magnetic field that is not to be reproduced with respect to the GMR element 27 is guided to the pair of magnetic shield layers 24 and 25, and only a signal magnetic field that is to be reproduced is guided to the GMR element 27. Thereby, the frequency characteristics and reading resolution of the GMR element 27 are improved.

ギャップ層２６は、ＧＭＲ素子２７と一対の磁気シールド層２４，２５との間を磁気的に隔離する非磁性非導電性膜からなり、一対の磁気シールド層２４，２５とＧＭＲ素子２７との間隔がギャップ長となる。
ＧＭＲ素子２７は、スピンバルブ膜４０に対して面内方向に流れるセンス電流のコンダクタンスが、一対の磁性層の磁化の相対角度に依存して変化する、いわゆる巨大磁気抵抗効果を利用したものである。 The gap layer 26 is made of a nonmagnetic non-conductive film that magnetically isolates the GMR element 27 and the pair of magnetic shield layers 24 and 25, and the gap between the pair of magnetic shield layers 24 and 25 and the GMR element 27. Is the gap length.
The GMR element 27 utilizes a so-called giant magnetoresistance effect in which the conductance of the sense current flowing in the in-plane direction with respect to the spin valve film 40 changes depending on the relative angle of magnetization of the pair of magnetic layers. .

スピンバルブ膜４０としては、例えば、図示しないが、下地層、反強磁性層、磁化固定層、非磁性層、磁化自由層、及び保護層が順次積層された構造を有するボトム型のスピンバルブ膜や、下地層、磁化自由層、非磁性層、磁化固定層、反強磁性層、及び保護層が順次積層された構造を有するトップ型のスピンバルブ膜や、下地層、反強磁性層、磁化固定層、非磁性層、磁化自由層、非磁性層、磁化固定層、反強磁性層、及び保護層が順次積層された構造を有するデュアル型のスピンバルブ膜等が挙げられる。
スピンバルブ膜４０を構成する磁化固定層は、反強磁性層に隣接して配置されることによって、反強磁性層との間で働く交換結合磁界により、所定の方向に磁化が固定された状態となる。一方、磁化自由層は、非磁性層を介して磁化固定層と磁気的に隔離されることによって、微弱な外部磁界に対して磁化方向が容易に変化することが可能となる。
また、非磁性層は、非磁性導体が用いられて非磁性導電層が形成される。これにより、スピンバルブ膜４０から成る巨大磁気抵抗効果素子（ＧＭＲ素子）が構成される。 As the spin valve film 40, for example, although not shown, a bottom type spin valve film having a structure in which an underlayer, an antiferromagnetic layer, a magnetization fixed layer, a nonmagnetic layer, a magnetization free layer, and a protective layer are sequentially stacked. Or a top-type spin valve film having a structure in which an underlayer, a magnetization free layer, a nonmagnetic layer, a magnetization fixed layer, an antiferromagnetic layer, and a protective layer are sequentially laminated, an underlayer, an antiferromagnetic layer, a magnetization Examples thereof include a dual-type spin valve film having a structure in which a fixed layer, a nonmagnetic layer, a magnetization free layer, a nonmagnetic layer, a magnetization fixed layer, an antiferromagnetic layer, and a protective layer are sequentially stacked.
The magnetization pinned layer constituting the spin valve film 40 is arranged adjacent to the antiferromagnetic layer, so that the magnetization is pinned in a predetermined direction by an exchange coupling magnetic field acting between the antiferromagnetic layer and It becomes. On the other hand, the magnetization free layer is magnetically isolated from the magnetization fixed layer via the nonmagnetic layer, so that the magnetization direction can be easily changed with respect to a weak external magnetic field.
The nonmagnetic layer is formed of a nonmagnetic conductive layer using a nonmagnetic conductor. Thus, a giant magnetoresistive element (GMR element) composed of the spin valve film 40 is formed.

従って、スピンバルブ膜４０では、外部磁界が印加されると、外部磁界の大きさや向きに応じて磁化自由層の磁化方向が変化する。
そして、磁化自由層の磁化方向が磁化固定層の磁化方向に対して逆方向（反平行）となるとき、このスピンバルブ膜４０に流れる電流の抵抗値が最大となる。一方、磁化自由層の磁化方向が磁化固定層の磁化方向に対して同一方向（平行）となるときに、このスピンバルブ膜４０に流れる電流の抵抗値が最小となる。 Therefore, in the spin valve film 40, when an external magnetic field is applied, the magnetization direction of the magnetization free layer changes according to the magnitude and direction of the external magnetic field.
When the magnetization direction of the magnetization free layer is opposite (antiparallel) to the magnetization direction of the magnetization fixed layer, the resistance value of the current flowing through the spin valve film 40 is maximized. On the other hand, when the magnetization direction of the magnetization free layer is the same (parallel) to the magnetization direction of the magnetization fixed layer, the resistance value of the current flowing through the spin valve film 40 is minimized.

このように、スピンバルブ膜４０は、印加される外部磁界に応じて電気抵抗が変化することから、この抵抗変化を読み取ることによって磁気テープ２からの磁気信号を検出する感磁素子として機能している。 Thus, the spin valve film 40 functions as a magnetosensitive element that detects a magnetic signal from the magnetic tape 2 by reading the resistance change because the electric resistance changes according to the applied external magnetic field. Yes.

スピンバルブ膜４０を構成する、反強磁性層、磁化固定層、非磁性層、磁化自由層の各層には、従来提案されているスピンバルブ膜に使用されている各種材料を使用することができる。より好ましくは、優れた耐食性を示す材料を使用する。
なお、下地層及び保護層は、スピンバルブ膜４０の比抵抗の増加を抑制するために設けられ、例えばＴａ等からなる。 For the antiferromagnetic layer, the magnetization fixed layer, the nonmagnetic layer, and the magnetization free layer constituting the spin valve film 40, various materials used in conventionally proposed spin valve films can be used. . More preferably, a material exhibiting excellent corrosion resistance is used.
The underlayer and the protective layer are provided to suppress an increase in specific resistance of the spin valve film 40, and are made of, for example, Ta.

また、このＧＭＲ素子２７の動作の安定化を図るため、スピンバルブ膜４０の長手方向の両端部には、図３及び図４に示すように、このＧＭＲ素子２７にバイアス磁界を印加するための一対の永久磁石膜２８ａ，２８ｂが設けられている。
そして、これら一対の永久磁石膜２８ａ，２８ｂに挟み込まれた部分の幅が、ＧＭＲ素子２７の再生トラック幅Ｔｗとなっている。
さらに、一対の永久磁石膜２８ａ，２８ｂ上には、このＧＭＲ素子２７の抵抗値を減少させるための一対の低抵抗化膜２９ａ，２９ｂが設けられている。 Further, in order to stabilize the operation of the GMR element 27, as shown in FIG. 3 and FIG. 4, a bias magnetic field is applied to both ends of the spin valve film 40 in the longitudinal direction. A pair of permanent magnet films 28a and 28b are provided.
The width of the portion sandwiched between the pair of permanent magnet films 28 a and 28 b is the reproduction track width Tw of the GMR element 27.
Further, on the pair of permanent magnet films 28a and 28b, a pair of low resistance films 29a and 29b for reducing the resistance value of the GMR element 27 are provided.

また、ＧＭＲ素子２７には、スピンバルブ膜にセンス電流を供給するための一対の導体部３０ａ，３０ｂが、その一端部側をそれぞれ一対の永久磁石膜２８ａ，２８ｂ、及び低抵抗化膜２９ａ，２９ｂに接続するように設けられている。
また、導体部３０ａ，３０ｂの他端部側には、外部回路と接続される一対の外部接続用端子３１ａ，３１ｂが設けられている。 The GMR element 27 includes a pair of conductor portions 30a and 30b for supplying a sense current to the spin valve film, and a pair of permanent magnet films 28a and 28b and a low resistance film 29a, 29b is provided to be connected.
A pair of external connection terminals 31a and 31b connected to an external circuit are provided on the other end side of the conductor portions 30a and 30b.

保護膜２２は、ＧＭＲヘッド２０が形成された第１のコア部材２１の主面を外部接続用端子３１ａ，３１ｂが外部に臨む部分を除いて被覆すると共に、このＧＭＲヘッド２０が形成された第１のコア部材２１と第２のコア部材２３とを接合する。 The protective film 22 covers the main surface of the first core member 21 on which the GMR head 20 is formed except for the portions where the external connection terminals 31a and 31b face the outside, and the first layer on which the GMR head 20 is formed. The first core member 21 and the second core member 23 are joined.

なお、図３及び図４に示すＧＭＲヘッド２０は、特徴をわかりやすくするために、ＧＭＲ素子２７の周辺を拡大して図示されているが、実際には、第１のコア部材２１及び第２のコア部材２３に比較してＧＭＲ素子２７の部分は非常に微細であり、媒体摺動面２０ａにおいて、ＧＭＲヘッド２０が外部に臨むのは、ほとんど第１のコア部材２１と第２のコア部材２３とが突き合わされた上部端面だけである。 The GMR head 20 shown in FIG. 3 and FIG. 4 is shown with the periphery of the GMR element 27 enlarged for easy understanding of the characteristics, but in practice, the first core member 21 and the second core member 21 are shown. Compared with the core member 23, the GMR element 27 is very fine, and the GMR head 20 faces the outside on the medium sliding surface 20a, almost the first core member 21 and the second core member. 23 is only the upper end face with which 23 is abutted.

上述したように構成されるＧＭＲヘッド２０は、チップベース（図示せず）に貼り付けると共に、一対の外部接続用端子３１ａ，３１ｂがチップベースに設けられた接続端子と電気的に接続される。
そして、チップベースに設けられたＧＭＲヘッド２０は、一対の再生用磁気ヘッド１２ａ，１２ｂとして、図２に示す回転ドラム９に取り付けられる。 The GMR head 20 configured as described above is attached to a chip base (not shown), and a pair of external connection terminals 31a and 31b are electrically connected to connection terminals provided on the chip base.
The GMR head 20 provided on the chip base is attached to the rotary drum 9 shown in FIG. 2 as a pair of reproducing magnetic heads 12a and 12b.

本実施の形態のＧＭＲヘッド２０においては、特に、第１のコア部材２１、第２のコア部材２３、磁気シールド層２４，２５の各層の間に充填されているギャップ層２６を、従来の絶縁性ではなく、抵抗導電性を有する構成とする。 In the GMR head 20 of the present embodiment, the gap layer 26 filled between the first core member 21, the second core member 23, and the magnetic shield layers 24 and 25 is particularly insulated from the conventional insulation. It is set as the structure which has resistance conductivity instead of property.

そして、抵抗導電性を有するギャップ層２６の表面抵抗率は、１×１０^６Ω／ｓｑ〜１×１０^１１Ω／ｓｑの範囲内とする。
ギャップ層２６の表面抵抗率が低すぎると、電流が増加して、ノイズ源となる恐れがある。
一方、ギャップ層２６の表面抵抗率が高すぎると、帯電電圧が増加して、静電気破壊を起こす恐れがある。 Then, the surface resistivity of the gap layer 26 having resistance conductivity is set in the range of 1 × 10 ⁶ Ω / sq to 1 × 10 ¹¹ Ω / sq.
If the surface resistivity of the gap layer 26 is too low, the current may increase and become a noise source.
On the other hand, if the surface resistivity of the gap layer 26 is too high, the charging voltage increases, which may cause electrostatic breakdown.

従来の絶縁性のギャップ層（例えばアルミナ層）が磁気テープとの摺動により摩擦帯電していたのに対して、このようにギャップ層２６を抵抗導電性とすることにより、磁気テープ２と摺動する際の摩擦帯電の発生を抑制することができる。 Whereas a conventional insulating gap layer (for example, an alumina layer) was frictionally charged by sliding with the magnetic tape, the gap layer 26 is made to be resistively conductive in this way, thereby sliding the magnetic tape 2 and the magnetic tape 2. Generation of frictional charging during movement can be suppressed.

上述した抵抗導電性を有するギャップ層２６の材料としては、例えば、Ａｌ_２Ｏ_３（アルミナ），ＳｉＯ_２，Ｓｉ_３Ｎ_４から選ばれた１つ以上の材料（酸化物又は窒化物から成る絶縁材料）に、Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｔａ，Ｗ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｐｔ，Ａｕ，Ａｇ，Ｐｄ，ＴｉＣ，ＳｉＣから選ばれた１つ以上の材料（導電性材料）を添加したものが挙げられる。
導電性材料の添加の割合（元素比又は重量比）は、ギャップ層２６の表面抵抗率が１×１０^６Ω／ｓｑ〜１×１０^１１Ω／ｓｑの範囲内となるように設定する。 As the material of the gap layer 26 having resistance conductivity described above, for example, one or more materials selected from Al ₂ O ₃ (alumina), SiO ₂ , and Si ₃ N ₄ (insulation made of oxide or nitride) are used. The material) includes one or more materials (conductive materials) selected from Ti, Ni, Cr, Ta, W, Al, Si, Pt, Au, Ag, Pd, TiC, and SiC. .
The addition ratio (element ratio or weight ratio) of the conductive material is set so that the surface resistivity of the gap layer 26 is in the range of 1 × 10 ⁶ Ω / sq to 1 × 10 ¹¹ Ω / sq.

なお、上述した導電性材料は、下記の３種類に分類される。
耐摩耗性の強い金属元素：Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｔａ，Ｗ，Ａｌ，Ｓｉ
耐蝕性を有する金属元素：Ｐｔ，Ａｕ，Ａｇ，Ｐｄ
耐摩耗性を有する導電性化合物：ＴｉＣ，ＳｉＣ
即ち、これらの導電性材料から選定された材料を使用することにより、他の導電性材料を使用した場合と比較して、耐摩耗性又は耐蝕性に優れたギャップ層２６を形成することができる。 Note that the above-described conductive materials are classified into the following three types.
Metal elements with high wear resistance: Ti, Ni, Cr, Ta, W, Al, Si
Metal elements having corrosion resistance: Pt, Au, Ag, Pd
Wear-resistant conductive compounds: TiC, SiC
That is, by using a material selected from these conductive materials, it is possible to form the gap layer 26 that is superior in wear resistance or corrosion resistance as compared with the case where other conductive materials are used. .

上述したギャップ層２６を成膜する方法としては、通常のスパッタ法を適用し、ターゲット材料として、上述した絶縁材料と導電性材料とを、目標とする表面抵抗率が得られるような割合で混合したターゲットを作製すればよい。 As a method for forming the gap layer 26 described above, a normal sputtering method is applied, and the above-described insulating material and conductive material are mixed as a target material at a ratio that provides a target surface resistivity. What is necessary is just to produce the target.

上述の本実施の形態の磁気ヘッド（ＧＭＲヘッド）２０の構成によれば、第１のコア部材２１、第２のコア部材２３、磁気シールド層２４，２５の各層の間に充填されているギャップ層２６を、抵抗導電性を有し、表面抵抗率が１×１０^６Ω／ｓｑ〜１×１０^１１Ω／ｓｑの範囲内である構成としたことにより、磁気ヘッド（ＧＭＲヘッド）２０が磁気テープ２と摺動する際における、摩擦帯電の発生を抑制することができる。
これにより、摩擦帯電による磁気ヘッド２０の静電気破壊の発生を防止することができる。 According to the configuration of the magnetic head (GMR head) 20 of the above-described embodiment, the gap filled between the first core member 21, the second core member 23, and the magnetic shield layers 24 and 25. Since the layer 26 has resistance conductivity and has a surface resistivity in the range of 1 × 10 ⁶ Ω / sq to 1 × 10 ¹¹ Ω / sq, the magnetic head (GMR head) 20 is magnetic. Generation of frictional charging when sliding with the tape 2 can be suppressed.
Thereby, the occurrence of electrostatic breakdown of the magnetic head 20 due to frictional charging can be prevented.

また、本実施の形態の磁気ヘッド２０によれば、磁気テープ２との摺動によって、磁気ヘッド２０の表面が磨耗しても、ギャップ層２６の特性を維持して、摩擦帯電による静電気破壊の発生を防止することができるため、磁気ヘッド２０の長時間の使用が可能になる。
さらに、乾燥した環境等の帯電しやすい環境下でも、安定して磁気ヘッド２０を動作させることができる。
さらにまた、磁気テープ２の記録密度の高密度化に伴って、磁気ヘッド２０のギャップが狭くなったり、ＧＭＲ素子２７が微細化されたりしても、ギャップ層２６によって摩擦帯電を抑制することができるため、静電気破壊の発生を防止することが可能になる。 Further, according to the magnetic head 20 of the present embodiment, even if the surface of the magnetic head 20 is worn by sliding with the magnetic tape 2, the characteristics of the gap layer 26 are maintained, and electrostatic breakdown due to frictional charging is prevented. Since the generation can be prevented, the magnetic head 20 can be used for a long time.
Furthermore, the magnetic head 20 can be stably operated even in an environment where charging is easy, such as a dry environment.
Furthermore, even if the gap of the magnetic head 20 is narrowed or the GMR element 27 is miniaturized as the recording density of the magnetic tape 2 is increased, the friction layer is suppressed by the gap layer 26. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of electrostatic breakdown.

従って、本実施の形態の磁気ヘッド２０を図１及び図２に示した磁気記録再生装置１に適用することにより、寿命が長く、信頼性の高い磁気記録再生装置１を実現することができる。
また、使用環境によらず安定して動作する磁気記録再生装置１を実現することができる。
さらにまた、磁気テープ２の高密度化や磁気記録再生装置１の小型化を図ることが可能となる。 Therefore, by applying the magnetic head 20 of the present embodiment to the magnetic recording / reproducing apparatus 1 shown in FIGS. 1 and 2, the magnetic recording / reproducing apparatus 1 having a long life and high reliability can be realized.
In addition, the magnetic recording / reproducing apparatus 1 that operates stably regardless of the use environment can be realized.
Furthermore, it is possible to increase the density of the magnetic tape 2 and reduce the size of the magnetic recording / reproducing apparatus 1.

次に、本発明の磁気ヘッドの他の実施の形態として、磁気ヘッドの概略構成図を図５Ａ及び図５Ｂに示す。
この磁気ヘッド５０は、再生用磁気ヘッド（例えば図１の磁気記録再生装置１の１２ａ，１２ｂ）に用いられるものであり、ヘッド素子として磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）を用いたＭＲヘッドの構成である。 Next, as another embodiment of the magnetic head of the present invention, schematic configuration diagrams of the magnetic head are shown in FIGS. 5A and 5B.
This magnetic head 50 is used in a reproducing magnetic head (for example, 12a and 12b of the magnetic recording / reproducing apparatus 1 in FIG. 1), and an MR head configuration using a magnetoresistive effect element (MR element) as a head element. It is.

磁気ヘッド５０は、２つのヘッド基板５１，５２の間に、ＭＲ素子６０と、軟磁性材料によってなる一対の磁気シールド層５３，５４が配設された構造をなす。ヘッド基板５１，５２と、各磁気シールド層５３，５４との間には、ギャップ層５６が形成され、また、磁気シールド層５３，５４の間に、ギャップ層５６を介してＭＲ素子６０が形成されて、磁気テープ７０に対する感磁部を構成している。
ＭＲ素子６０としては、例えば、先の実施の形態のＧＭＲヘッド２０で用いた、非磁性導電層を介して強磁性層（磁化固定層及び磁化自由層）を積層してなるスピンバルブ膜から成る巨大磁気抵抗効果素子（ＧＭＲ素子）と同様のＭＲ素子を用いることができる。 The magnetic head 50 has a structure in which an MR element 60 and a pair of magnetic shield layers 53 and 54 made of a soft magnetic material are disposed between two head substrates 51 and 52. A gap layer 56 is formed between the head substrates 51 and 52 and the magnetic shield layers 53 and 54, and an MR element 60 is formed between the magnetic shield layers 53 and 54 via the gap layer 56. Thus, a magnetic sensitive portion for the magnetic tape 70 is configured.
The MR element 60 is composed of, for example, a spin valve film formed by laminating a ferromagnetic layer (a magnetization fixed layer and a magnetization free layer) via a nonmagnetic conductive layer used in the GMR head 20 of the previous embodiment. An MR element similar to a giant magnetoresistive element (GMR element) can be used.

この磁気ヘッド５０においては、磁気シールド層５３，５４が一対の磁気シールド部材を構成し、これら一対の磁気シールド部材間のシールドギャップ内にＭＲ素子６０が配設された構造とされていることにより、周波数特性及び分解能の向上が図られている。
磁気シールド層５３，５４は例えばパーマロイのメッキ膜からなる。
磁気シールド層５３，５４及びギャップ層５６が一方のヘッド基板５１上に薄膜形成され、さらに他方のヘッド基板５２が接合されることにより、再生用磁気ヘッド５０が形成される。 In the magnetic head 50, the magnetic shield layers 53 and 54 constitute a pair of magnetic shield members, and the MR element 60 is disposed in the shield gap between the pair of magnetic shield members. The frequency characteristics and resolution are improved.
The magnetic shield layers 53 and 54 are made of a permalloy plating film, for example.
The magnetic shield layers 53 and 54 and the gap layer 56 are formed as a thin film on one head substrate 51, and the other head substrate 52 is bonded to form the reproducing magnetic head 50.

また、この磁気ヘッド５０は、導線５９等により端子５８と接続され、これにより磁気ヘッド５０へ電源の供給がなされる。
さらに、磁気ヘッド５０は、導電性を有するベースメタル５７に、例えばエポキシ系等の接着剤（図示せず）によって固着されている。ベースメタル５７は、例えば、真鍮等から成る。
ヘッド基板５１，５２は、接着剤による接着とは別に、例えば導電性ペースト６１等によりベースメタル５７と電気的に接続される。この導電性ペースト６１としては、例えば銀ペーストが用いられる。 The magnetic head 50 is connected to a terminal 58 by a conducting wire 59 or the like, whereby power is supplied to the magnetic head 50.
Further, the magnetic head 50 is fixed to the conductive base metal 57 with an adhesive (not shown) such as epoxy. The base metal 57 is made of, for example, brass.
The head substrates 51 and 52 are electrically connected to the base metal 57 by, for example, a conductive paste 61 or the like, apart from bonding by an adhesive. As this conductive paste 61, for example, a silver paste is used.

本実施の形態の磁気ヘッド５０では、特に、ヘッド基板５１，５２、磁気シールド層５３，５４の各層の間に充填されているギャップ層５６を、従来の絶縁性の材料（例えばアルミナ）ではなく、抵抗導電性を有する構成とする。
また、抵抗導電性を有するギャップ層５６の表面抵抗率を、１×１０^６Ω／ｓｑ〜１×１０^１１Ω／ｓｑの範囲内とする。
これにより、先の実施の形態の磁気ヘッド２０と同様に、磁気テープ７０との摺動による摩擦帯電を抑制することができる。 In the magnetic head 50 of the present embodiment, in particular, the gap layer 56 filled between the head substrates 51 and 52 and the magnetic shield layers 53 and 54 is not a conventional insulating material (for example, alumina). The structure has resistance conductivity.
In addition, the surface resistivity of the gap layer 56 having resistance conductivity is set in the range of 1 × 10 ⁶ Ω / sq to 1 × 10 ¹¹ Ω / sq.
Thereby, like the magnetic head 20 of the previous embodiment, frictional charging due to sliding with the magnetic tape 70 can be suppressed.

本実施の形態の磁気ヘッド５０においても、ギャップ層５６の材料としては、例えば、前述したＡｌ_２Ｏ_３（アルミナ），ＳｉＯ_２，Ｓｉ_３Ｎ_４から選ばれた１つ以上の材料（酸化物又は窒化物から成る絶縁材料）に、Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｔａ，Ｗ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｐｔ，Ａｕ，Ａｇ，Ｐｄ，ＴｉＣ，ＳｉＣから選ばれた１つ以上の材料（導電性材料）を添加したものが挙げられる。
このような材料を用いることにより、抵抗導電性を有するギャップ層５６の耐磨耗性又は耐蝕性を向上することができる。 Also in the magnetic head 50 of the present embodiment, the material of the gap layer 56 is, for example, one or more materials (oxides) selected from Al ₂ O ₃ (alumina), SiO ₂ , and Si ₃ N ₄ described above. Or an insulating material made of nitride) and one or more materials (conductive materials) selected from Ti, Ni, Cr, Ta, W, Al, Si, Pt, Au, Ag, Pd, TiC, and SiC. Additions can be mentioned.
By using such a material, the wear resistance or the corrosion resistance of the gap layer 56 having resistance conductivity can be improved.

上述の本実施の形態の磁気ヘッド５０の構成によれば、ヘッド基板５１，５２、磁気シールド層５３，５４の各層の間に充填されているギャップ層５６を、抵抗導電性を有し、表面抵抗率が１×１０^６Ω／ｓｑ〜１×１０^１１Ω／ｓｑの範囲内である構成としたことにより、磁気ヘッド５０が磁気テープ７０と摺動する際における、摩擦帯電の発生を抑制することができる。
これにより、摩擦帯電による磁気ヘッド５０の静電気破壊の発生を防止することができる。 According to the configuration of the magnetic head 50 of the present embodiment described above, the gap layer 56 filled between the head substrates 51 and 52 and the magnetic shield layers 53 and 54 has a resistance conductivity, and has a surface. Since the resistivity is in the range of 1 × 10 ⁶ Ω / sq to 1 × 10 ¹¹ Ω / sq, generation of frictional charging when the magnetic head 50 slides on the magnetic tape 70 is suppressed. be able to.
Thereby, the occurrence of electrostatic breakdown of the magnetic head 50 due to frictional charging can be prevented.

また、本実施の形態の磁気ヘッド５０によれば、磁気テープ７０との摺動によって、磁気ヘッド５０の表面が磨耗しても、ギャップ層５６の特性を維持して、摩擦帯電による静電気破壊の発生を防止することができるため、磁気ヘッド５０の長時間の使用が可能になる。
さらに、乾燥した環境等の帯電しやすい環境下でも、安定して磁気ヘッド５０を動作させることができる。
さらにまた、磁気テープ７０の記録密度の高密度化に伴って、磁気ヘッド５０のギャップが狭くなったり、ＭＲ素子６０が微細化されたりしても、ギャップ層５６によって摩擦帯電を抑制することができるため、静電気破壊の発生を防止することが可能になる。 Further, according to the magnetic head 50 of the present embodiment, even if the surface of the magnetic head 50 is worn due to sliding with the magnetic tape 70, the characteristics of the gap layer 56 are maintained, and electrostatic breakdown due to frictional charging is prevented. Since the occurrence can be prevented, the magnetic head 50 can be used for a long time.
Furthermore, the magnetic head 50 can be stably operated even in an environment where charging is easy, such as a dry environment.
Furthermore, even if the gap of the magnetic head 50 is narrowed or the MR element 60 is miniaturized as the recording density of the magnetic tape 70 is increased, frictional charging is suppressed by the gap layer 56. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of electrostatic breakdown.

本実施の形態の磁気ヘッド５０を再生用磁気ヘッド１２ａ，１２ｂに用いて、図１及び図２に示した磁気記録再生装置１を構成することができる。
本実施の形態の磁気ヘッド５０を用いることにより、先の実施の形態の磁気ヘッド２０を用いた場合と同様に、寿命が長く、信頼性の高い磁気記録再生装置１や、使用環境によらず安定して動作する磁気記録再生装置１を実現することができ、また磁気記録再生装置１の小型化を図ることが可能となる。 The magnetic recording / reproducing apparatus 1 shown in FIGS. 1 and 2 can be configured by using the magnetic head 50 of the present embodiment for the reproducing magnetic heads 12a and 12b.
By using the magnetic head 50 according to the present embodiment, as with the case of using the magnetic head 20 according to the previous embodiment, the magnetic recording / reproducing apparatus 1 having a long life and high reliability is used regardless of the use environment. The magnetic recording / reproducing apparatus 1 which operates stably can be realized, and the magnetic recording / reproducing apparatus 1 can be downsized.

上述の各実施の形態では、非磁性層として非磁性導電膜を用いたスピンバルブ膜から構成されるＧＭＲ素子をヘッド素子として用いて、磁気抵抗効果素子を有する磁気ヘッド（ＭＲヘッド）を構成した場合について説明した。
本発明は、ＧＭＲ素子だけでなく、非磁性層としてトンネル絶縁層を用いたスピンバルブ膜から構成されるトンネル磁気抵抗効果素子（ＴＭＲ素子）をヘッド素子として用いた磁気ヘッド（ＭＲヘッド）にも適用することが可能である。
トンネル磁気抵抗効果素子（ＴＭＲ素子）を用いて磁気ヘッド（ＴＭＲヘッド）を構成することにより、高い感度が得られるため、本発明をＴＭＲヘッドに適用することにより、高感度で高密度な再生ヘッドを実現することが可能になる。 In each of the embodiments described above, a magnetic head (MR head) having a magnetoresistive effect element is configured by using, as a head element, a GMR element including a spin valve film using a nonmagnetic conductive film as a nonmagnetic layer. Explained the case.
The present invention is applicable not only to a GMR element but also to a magnetic head (MR head) using a tunnel magnetoresistive effect element (TMR element) composed of a spin valve film using a tunnel insulating layer as a nonmagnetic layer as a head element. It is possible to apply.
Since a high sensitivity can be obtained by configuring a magnetic head (TMR head) using a tunnel magnetoresistive element (TMR element), a high-sensitivity and high-density reproducing head can be obtained by applying the present invention to a TMR head. Can be realized.

また、記録用ヘッドのように、磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）を用いないで、磁気コアの間にギャップ層を充填して成る薄膜ヘッドに対しても、本発明を適用することが可能である。
このような薄膜ヘッドに本発明を適用する場合には、磁気コアの間に充填されたギャップ層を、表面抵抗率が１×１０^６Ω／ｓｑ〜１×１０^１１Ω／ｓｑの範囲内である、抵抗導電性のギャップ層とすればよい。 Further, the present invention can be applied to a thin film head in which a gap layer is filled between magnetic cores without using a magnetoresistive effect element (MR element) like a recording head. is there.
When the present invention is applied to such a thin film head, the gap layer filled between the magnetic cores has a surface resistivity in the range of 1 × 10 ⁶ Ω / sq to 1 × 10 ¹¹ Ω / sq. A certain resistance conductive gap layer may be used.

また、再生用磁気ヘッドと記録用磁気ヘッドとを上下に積層して、磁気コアや磁気シールドを上下のヘッドで共用する複合磁気ヘッドを構成して、この複合磁気ヘッドの再生用磁気ヘッド又は記録用磁気ヘッドに本発明を適用してもよい。
さらに、本発明を適用した記録用磁気ヘッドを複数個積層したり（例えば、特開２００２−２１６３１３号を参照）、本発明を適用した再生用磁気ヘッドを複数個積層したりすることにより、いわゆるマルチチャンネル磁気ヘッドを構成してもよい。 Also, a reproducing magnetic head and a recording magnetic head are stacked one above the other to form a composite magnetic head in which the magnetic core and the magnetic shield are shared by the upper and lower heads. The present invention may be applied to a magnetic head for use.
Furthermore, a plurality of recording magnetic heads to which the present invention is applied are stacked (for example, see Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-216313), or a plurality of reproducing magnetic heads to which the present invention is applied are stacked so-called. A multi-channel magnetic head may be configured.

また、本発明は、図１に示したヘリカルスキャン方式の磁気記録再生装置１に限らず、リニア記録方式の磁気記録再生装置にも適用することが可能である。 The present invention can be applied not only to the helical scan type magnetic recording / reproducing apparatus 1 shown in FIG. 1 but also to a linear recording type magnetic recording / reproducing apparatus.

また、本発明は、上述した各実施の形態のように、磁気テープ２，７０を磁気記録媒体として使用する磁気ヘッド２０，５０に限らず、ハードディスクのようなディスク状の磁気記録媒体等、他の形状の磁気記録媒体を使用する磁気ヘッドに適用することが可能である。
ハードディスクでも、今後、記録密度をさらに向上させるために、従来の浮上式磁気ヘッドに代わり、ディスクに磁気ヘッドを摺動させて、信号の読み取り（再生）や記録を行う構成とすることが考えられる。
そのような場合においても、本発明の磁気ヘッドを適用することにより、摩擦帯電を抑制して静電気破壊を防止することができ、信頼性の高い磁気ヘッド並びに磁気ヘッドを備えた装置（ディスクドライブ）を実現することができる。 Further, the present invention is not limited to the magnetic heads 20 and 50 using the magnetic tapes 2 and 70 as magnetic recording media as in the above-described embodiments, and other disk-like magnetic recording media such as hard disks, etc. It is possible to apply to a magnetic head using a magnetic recording medium of the shape.
Even in the hard disk, in order to further improve the recording density in the future, instead of the conventional floating magnetic head, it is considered that the magnetic head is slid on the disk to read (reproduce) or record the signal. .
Even in such a case, by applying the magnetic head of the present invention, it is possible to suppress electrostatic charging and prevent electrostatic breakdown, and a highly reliable magnetic head and a device (disk drive) including the magnetic head. Can be realized.

本発明は、磁気記録媒体に対して信号の再生及び記録を行う磁気記録再生装置に限らず、もっぱら再生或いは記録のいずれか一方のみを行う磁気再生装置や磁気記録装置にも適用可能である。
即ち、磁気記録媒体（磁気テープや磁気ディスク等）に対して摺動して、信号の再生及び／又は記録を行う装置一般(磁気テープ装置や磁気ディスク装置等)に、本発明を適用することが可能である。 The present invention is not limited to a magnetic recording / reproducing apparatus that reproduces and records a signal on a magnetic recording medium, but can also be applied to a magnetic reproducing apparatus or a magnetic recording apparatus that exclusively performs reproduction or recording.
That is, the present invention is applied to a general apparatus (magnetic tape apparatus, magnetic disk apparatus, etc.) for reproducing and / or recording signals by sliding on a magnetic recording medium (magnetic tape, magnetic disk, etc.). Is possible.

本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various other configurations can be taken without departing from the gist of the present invention.

本発明の磁気ヘッドを適用する磁気記録再生装置の一形態の概略構成図である。It is a schematic block diagram of one form of the magnetic recording / reproducing apparatus to which the magnetic head of this invention is applied. 図１のヘッドドラム付近の拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of the vicinity of the head drum in FIG. 1. 本発明の磁気ヘッドの一実施の形態の概略構成図（一部を切り欠いた状態の概略斜視図）である。1 is a schematic configuration diagram (schematic perspective view with a part cut away) of an embodiment of a magnetic head of the present invention. 図３の磁気ヘッドの磁気テープとの摺動面の概略平面図である。FIG. 4 is a schematic plan view of a sliding surface of the magnetic head of FIG. 3 with a magnetic tape. 本発明の磁気ヘッドの他の実施の形態の概略構成図である。Ａ平面図である。Ｂ磁気テープとの摺動面の平面図である。It is a schematic block diagram of other embodiment of the magnetic head of this invention. It is A top view. B is a plan view of a sliding surface with a magnetic tape. ＨＢＭの回路の概略図である。It is the schematic of the circuit of HBM. Ａ、ＢＭＲヘッドにおけるＥＳＤ破壊電圧の測定結果である。It is a measurement result of the ESD breakdown voltage in A and B MR heads. 放電後におけるＧＭＲヘッドの感度の測定例を示す図である。It is a figure which shows the example of a measurement of the sensitivity of the GMR head after discharge. 帯電電圧の測定方法の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the measuring method of a charging voltage. 静電気破壊が発生するメカニズムを説明する図である。It is a figure explaining the mechanism which an electrostatic breakdown generate | occur | produces. 金属溶解の痕跡を生じた状態の概略平面図である。It is a schematic top view of the state which produced the trace of metal dissolution. 多数回の放電を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows many times of discharge.

Explanation of symbols

１磁気記録再生装置、２，７０磁気テープ、５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆガイドローラ、７ヘッドドラム、９回転ドラム、１０固定ドラム、１１ａ，１１ｂ記録用磁気ヘッド、１２ａ，１２ｂ再生用磁気ヘッド、２０磁気ヘッド（ＧＭＲヘッド）、２１第１のコア部材、２２保護膜、２３第２のコア部材、２４，２５，５３，５４磁気シールド層、２６，５６ギャップ層、２７ＧＭＲ素子、２８ａ，２８ｂ永久磁石膜、２９ａ，２９ｂ低抵抗化膜、３０ａ，３０ｂ導体部、４０スピンバルブ膜、５０磁気ヘッド、５１，５２ヘッド基板、５７ベースメタル、５８端子、５９導線、６０ＭＲ素子、６１導電性ペースト DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic recording / reproducing apparatus, 2,70 Magnetic tape, 5a, 5b, 5c, 5d, 5e, 5f Guide roller, 7 Head drum, 9 Rotating drum, 10 Fixed drum, 11a, 11b Recording magnetic head, 12a, 12b Magnetic head, 20 magnetic head (GMR head), 21 first core member, 22 protective film, 23 second core member, 24, 25, 53, 54 magnetic shield layer, 26, 56 gap layer, 27 GMR element 28a, 28b Permanent magnet film, 29a, 29b Low resistance film, 30a, 30b Conductor part, 40 Spin valve film, 50 Magnetic head, 51, 52 Head substrate, 57 Base metal, 58 Terminal, 59 Conductor, 60 MR element 61 Conductive paste

Claims

A magnetic head that reads and / or records a signal on the magnetic recording medium by sliding with the magnetic recording medium,
A head element having a magnetic shield or a magnetic core made of a magnetic material;
In the head element, the surface resistivity of the gap layer filled between the magnetic shield or the magnetic core is in the range of 1 × 10 ⁶ Ω / sq to 1 × 10 ¹¹ Ω / sq. And magnetic head.

2. The head element comprising a magnetoresistive effect element provided between the magnetic shields, wherein the gap layer is filled between the magnetoresistive effect element and the magnetic shield. The magnetic head described in 1.

The gap layer may be made of one or more materials selected from Al ₂ O ₃ , SiO ₂ , and Si ₃ N ₄ with Ti, Ni, Cr, Ta, W, Al, Si, Pt, Au, Ag, Pd, 2. The magnetic head according to claim 1, wherein one or more materials selected from TiC and SiC are added.

3. The magnetic head according to claim 2, wherein the magnetoresistive effect element of the head element is a giant magnetoresistive effect element in which a ferromagnetic layer is laminated via a nonmagnetic conductor layer.

The magnetic head according to claim 2, wherein the magnetoresistive effect element of the head element is a tunnel magnetoresistive effect element in which a ferromagnetic layer is laminated via a tunnel insulating film.

A tape running means for running the magnetic tape;
A magnetic head for reading and / or recording signals by sliding with the magnetic tape;
The magnetic head includes a head element made of a magnetic material and having a magnetic shield or a magnetic core. In the head element, a surface resistivity of a gap layer filled between the magnetic shield or the magnetic core is 1 It is in the range of × 10 ⁶ Ω / sq to 1 × 10 ¹¹ Ω / sq,
A magnetic tape device comprising one or a plurality of the magnetic heads.

A magnetic tape device, wherein the magnetic head is mounted on a rotating drum, and signals are detected by a helical scan method.