JP2007107779A - Fan filter unit - Google Patents

Fan filter unit Download PDF

Info

Publication number
JP2007107779A
JP2007107779A JP2005297514A JP2005297514A JP2007107779A JP 2007107779 A JP2007107779 A JP 2007107779A JP 2005297514 A JP2005297514 A JP 2005297514A JP 2005297514 A JP2005297514 A JP 2005297514A JP 2007107779 A JP2007107779 A JP 2007107779A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
filter unit
fan filter
motor
maintenance
unit according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005297514A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Chikuhichi
浩 築比地
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2005297514A priority Critical patent/JP2007107779A/en
Publication of JP2007107779A publication Critical patent/JP2007107779A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fan filter unit adapted to blow out sucked air from an outlet port through a filter by the effect of a fan driven by a motor and purify a manufacturing device or a clean room, in which necessity of maintenance can be determined from a current value carried to the motor. <P>SOLUTION: This fan filter unit comprises the motor 6 rotating the fan 5 provided within a main body 4 having a suction port 1 and the blow out 3, a current detection means 7 detecting current carried to the motor 6, and a first control means 8 capable of performing comparative determination of a detected current value with a preset determined value. When the current carried to the motor 6 is out of the predetermined value, necessity of maintenance is determined. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなどの清浄環境を必要とする製造装置やクリーンルームに使用されるファンフィルタユニットの制御装置に関する。   The present invention relates to a control device for a fan filter unit used in a manufacturing apparatus or a clean room that requires a clean environment such as a semiconductor, a liquid crystal display, and a plasma display panel.

従来、この種のファンフィルタユニットの制御装置は、モータにて駆動されるファンの作用により、吸い込まれた空気をフィルタを介して吹出し口から清浄空気として吹き出し、製造装置やクリーンルームの清浄化をおこないつつ、モータの異常、寿命の監視はモータに振動センサを設け、振動センサの値が所定の値を超えたときに警報信号を出力するものが知られている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, a control device for this type of fan filter unit cleans the manufacturing apparatus and clean room by blowing out sucked air as clean air from the outlet through the filter by the action of a fan driven by a motor. On the other hand, monitoring of motor abnormality and life is known in which a vibration sensor is provided in the motor and an alarm signal is output when the value of the vibration sensor exceeds a predetermined value (see, for example, Patent Document 1).

また、別の方法としてファンフィルタユニット内部に風速センサを設け、風速センサの検出値が設定値以内であるか否かにおいてファンフィルタユニットの異常判断するものが知られている(例えば、特許文献2参照)。
特開平7−243682号公報 実用新案登録第2529381号公報
Another method is known in which a wind speed sensor is provided inside the fan filter unit, and an abnormality of the fan filter unit is determined based on whether or not the detected value of the wind speed sensor is within a set value (for example, Patent Document 2). reference).
JP-A-7-243682 Utility Model Registration No. 2529381

このような従来のファンフィルタユニットの制御装置では、ファンの固定ねじの緩み、もしくは、ファンの脱落時はモータのシャフトのみが回転し振動が減少することが想定されるが、このような現象の故障については故障検出するのが困難であるという課題があり、ファンの脱落故障現象に対応できるモータの故障検出が要求されている。   In such a conventional fan filter unit control device, it is assumed that when the fan fixing screw is loosened or the fan falls off, only the motor shaft rotates and vibrations are reduced. There is a problem that it is difficult to detect a failure, and a failure detection of a motor that can cope with a fan dropout phenomenon is required.

また、振動によりモータの故障を監視しているので、複数台のファンフィルタユニットが並列に接続されているときや、他の機器の振動に影響されるという課題があり、他の機器の影響を受け難いモータの故障検出が要求されている。   In addition, since motor failure is monitored by vibration, there are issues when multiple fan filter units are connected in parallel or affected by vibrations of other devices. There is a need to detect motor failures that are difficult to receive.

また、風速によりファンフィルタユニットの異常判断する場合は、使用環境において塵埃が多目の場合には検出する異常の大半はフィルタの目詰まりとなり、短期間で異常を繰り返し報知することが想定され、異常発報が軽視され易いという課題があり、モータの故障検出が要求されている。   Also, when judging the abnormality of the fan filter unit based on the wind speed, it is assumed that most of the abnormalities detected when there are many dusts in the usage environment will clog the filter and repeatedly notify the abnormality in a short period of time. There is a problem that anomaly reporting is easily neglected, and there is a demand for motor failure detection.

また、振動や風速の故障判定条件は固定値であるため、設置環境や動作設定に対応することが困難であるという課題があり、設置環境や動作設定に対応できるモータの故障検出が要求されている。   In addition, because vibration and wind speed failure judgment conditions are fixed values, there is a problem that it is difficult to cope with installation environment and operation settings, and motor failure detection that can accommodate installation environment and operation settings is required. Yes.

本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、モータへ流れる電流値からメンテナンスの必要性を判断することのできるファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   The present invention solves such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide a fan filter unit that can determine the necessity of maintenance from the value of a current flowing to a motor.

また、メンテナンスサインを報知することができるようにしたファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   Moreover, it aims at providing the fan filter unit which enabled it to alert | report a maintenance sign.

また、視覚表示によるメンテナンスサインを報知することができるようにしたファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   It is another object of the present invention to provide a fan filter unit that can notify a maintenance sign by visual display.

また、聴覚伝達によるメンテナンスサインを報知することができるようにしたファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   It is another object of the present invention to provide a fan filter unit that can notify a maintenance sign by auditory transmission.

また、メンテナンスサインをガイダンスすることのできるようにしたファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   It is another object of the present invention to provide a fan filter unit capable of guiding a maintenance sign.

また、他の機器へメンテナンスサインを発信することのできるようにしたファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   It is another object of the present invention to provide a fan filter unit that can transmit a maintenance sign to other devices.

また、報知手段を任意の場所に移動することができるようにしたファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   Moreover, it aims at providing the fan filter unit which enabled it to move an alerting | reporting means to arbitrary places.

また、モータへ流れる電流値が所定の値に対して上下限値のどちらに外れたかを判断し、メンテナンスが必要と予測される部位を特定しメンテナンスサインを報知することができるようにしたファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   Also, a fan filter that can determine whether the value of the current flowing to the motor has deviated from the upper or lower limit value relative to a predetermined value, identify a part that is predicted to require maintenance, and notify a maintenance sign The purpose is to provide units.

また、初期動作時の電流検出手段の信号に応じて、所定の値を補正してメンテナンスサインを報知することができるようにしたファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   It is another object of the present invention to provide a fan filter unit capable of notifying a maintenance sign by correcting a predetermined value in accordance with a signal from a current detection means during initial operation.

また、電源低下の際にも補正した所定の値を補助電源手段により保持しつつ、メンテナンスサインを報知することができるようにしたファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   It is another object of the present invention to provide a fan filter unit that can notify a maintenance sign while holding a predetermined value corrected by an auxiliary power supply means even when the power is lowered.

また、電源低下や電源供給停止の際にも補正した所定の値の損失を回避し、メンテナンスサインを報知することができるようにしたファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   It is another object of the present invention to provide a fan filter unit which can avoid a loss of a predetermined value corrected even when the power supply is reduced or the power supply is stopped and which can notify a maintenance sign.

また、モータに流れる電流が所定の値から外れている時間をカウントし、設定カウント以上となるとメンテナンスサインを報知することができるようにしたファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   It is another object of the present invention to provide a fan filter unit that counts the time during which the current flowing through the motor deviates from a predetermined value and can notify a maintenance sign when the current exceeds a set count.

また、タイマー機能のカウント時間に応じて報知方法を変化させつつ、メンテナンスサインを報知することができるようにしたファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   It is another object of the present invention to provide a fan filter unit that can notify a maintenance sign while changing the notification method according to the count time of the timer function.

また、モータ回転数に応じて所定の値を変化させ、メンテナンスサインを報知できるようにしたファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   Another object of the present invention is to provide a fan filter unit in which a predetermined value is changed according to the number of motor revolutions so that a maintenance sign can be notified.

また、電源電圧に応じて所定の値を変化させ、メンテナンスサインを報知できるようにしたファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   It is another object of the present invention to provide a fan filter unit that can change a predetermined value according to a power supply voltage and notify a maintenance sign.

また、メンテナンスサイン報知中に他の機器を発停制御しながら、メンテナンスサインを報知できるようにしたファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   It is another object of the present invention to provide a fan filter unit that can notify a maintenance sign while controlling on / off of other devices during the maintenance sign notification.

また、複数モータを備えた機器においてもモータへ流れる合成の電流値からメンテナンスの必要性を判断することのできるようにしたファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   It is another object of the present invention to provide a fan filter unit that can determine the necessity of maintenance from the combined current value flowing to the motor even in a device having a plurality of motors.

本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、モータへ流れる電流を検出する電流検出手段と検出した電流値と予め設定された所定の値を比較しメンテナンスの必要性を判断する制御手段を備えた構成としたものである。   In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention has a current detecting means for detecting the current flowing to the motor, and a control means for comparing the detected current value with a predetermined value to determine the necessity of maintenance. It is set as the structure provided with.

この手段によりモータへ流れる電流値からメンテナンスの必要性を判断することのできるファンフィルタユニットが得られる。   By this means, a fan filter unit can be obtained that can determine the necessity of maintenance from the value of the current flowing to the motor.

また、本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、メンテナンスサインを報知する報知手段を備えたものである。   In addition, the fan filter unit of the present invention includes an informing means for informing a maintenance sign in order to achieve the above object.

これによりメンテナンスサインを報知することができるファンフィルタユニットが得られる。   Thereby, the fan filter unit which can alert | report a maintenance sign is obtained.

また、本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、報知手段は視覚表示を行なう表示手段としたものである。   In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention is configured such that the notification means is a display means for performing visual display.

これにより視覚表示によるメンテナンスサインを報知することができるファンフィルタユニットが得られる。   Thereby, the fan filter unit which can alert | report the maintenance sign by visual display is obtained.

また、本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、報知手段は音による聴覚伝達を用いた発報手段としたものである。   Further, in order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention is a reporting means using auditory transmission by sound.

これにより聴覚伝達によるメンテナンスサインを報知することができるファンフィルタユニットが得られる。   Thereby, the fan filter unit which can alert | report the maintenance sign by auditory transmission is obtained.

また、本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、報知手段は音声伝達を用いた音声手段としたものである。   In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention is configured such that the notification means is an audio means using audio transmission.

これによりメンテナンスサインをガイダンスすることのできるファンフィルタユニットが得られる。   As a result, a fan filter unit capable of guiding the maintenance sign is obtained.

また、本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、報知手段は他の機器へ通信信号で発信する通信手段としたものである。   Further, in order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention is configured such that the notifying means is a communication means that transmits a communication signal to another device.

これにより他の機器へメンテナンスサインを発信することのできるファンフィルタユニットが得られる。   Thereby, a fan filter unit capable of transmitting a maintenance sign to other devices is obtained.

また、本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、報知手段を移動可能な分割構成としたものである。   In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention has a divided configuration in which the notification means is movable.

これにより報知手段を任意の場所に移動することができるファンフィルタユニットが得られる。   Thereby, the fan filter unit which can move a alerting | reporting means to arbitrary places is obtained.

また、本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、モータへ流れる電流値に応じて報知方法を変化させる構成としたものである。   In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention is configured to change the notification method in accordance with the value of the current flowing to the motor.

これによりモータへ流れる電流値が所定の値に対して上下限値のどちらに外れたかを判断し、メンテナンスが必要と予測される部位を特定しメンテナンスサインを報知することができるファンフィルタユニットが得られる。   As a result, a fan filter unit that can determine whether the value of the current flowing to the motor deviates from the upper limit value or the lower limit value with respect to a predetermined value, identify a part that is predicted to require maintenance, and provide a maintenance sign is obtained. It is done.

また、本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、モータ初期動作時の電流値に応じて、予め設定された所定の値を補正する構成としたものである。   In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention is configured to correct a preset predetermined value in accordance with a current value at the time of initial motor operation.

これにより初期動作時の電流検出手段の信号に応じて、予め設定された所定の値を補正してメンテナンスサインを報知することができるファンフィルタユニットが得られる。   Thus, a fan filter unit capable of correcting a predetermined value set in advance and notifying a maintenance sign in accordance with a signal from the current detection means at the time of initial operation is obtained.

また、本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、制御手段の電源に補助電源手段を備えた構成としたものである。   In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention has a configuration in which auxiliary power supply means is provided in the power supply of the control means.

これにより電源低下の際にも補正した所定の値を補助電源手段により保持しつつ、メンテナンスサインを報知することができるファンフィルタユニットが得られる。   As a result, a fan filter unit capable of notifying the maintenance sign while maintaining the predetermined value corrected by the auxiliary power supply means even when the power is lowered can be obtained.

また、本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、補正した所定の値を記憶する保存手段を備えた構成としたものである。   In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention includes a storage unit that stores a corrected predetermined value.

これにより電源低下や電源供給停止の際にも補正した所定の値の損失を回避し、メンテナンスサインを報知することができるファンフィルタユニットが得られる。   As a result, it is possible to obtain a fan filter unit that can avoid a loss of a predetermined value that is corrected even when the power supply is reduced or the power supply is stopped, and that can notify a maintenance sign.

また、本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、時間をカウントするタイマー機能を備えた構成としたものである。   Further, the fan filter unit of the present invention is configured to have a timer function for counting time in order to achieve the above object.

これによりモータに流れる電流が所定の値を超えても、設定カウントに満たない間はメンテナンスサインを報知せずに待機し、設定カウント以上となるとメンテナンスサインを報知することができるファンフィルタユニットが得られる。   As a result, even if the current flowing through the motor exceeds a predetermined value, a fan filter unit is obtained that can stand by without notifying the maintenance sign as long as it does not reach the set count, and can notify the maintenance sign when it exceeds the set count. It is done.

また、本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、報知方法を変化させる構成としたものである。   In addition, the fan filter unit of the present invention is configured to change the notification method in order to achieve the above object.

これによりタイマー機能のカウント時間に応じて報知方法を変化させつつ、メンテナンスサインを報知することができるファンフィルタユニットが得られる。   As a result, a fan filter unit that can notify the maintenance sign while changing the notification method according to the count time of the timer function is obtained.

また、本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、モータの回転数を検出する回転数検出手段とモータの回転数に応じて所定の値を設定する構成としたものである。   In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention is configured to set a predetermined value in accordance with the rotational speed detection means for detecting the rotational speed of the motor and the rotational speed of the motor.

これによりモータ回転数に応じて所定の値を変化させ、メンテナンスサインを報知できるようにしたファンフィルタユニットが得られる。   As a result, a fan filter unit is obtained in which a predetermined value is changed according to the motor rotation speed so that a maintenance sign can be notified.

また、本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、モータに印加される電圧を検出する電圧検出手段と電圧に応じて所定の値を設定する構成としたものである。   In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention is configured to set a predetermined value according to the voltage detection means for detecting the voltage applied to the motor and the voltage.

これにより電源電圧に応じて所定の値を変化させ、メンテナンスサインを報知できるファンフィルタユニットが得られる。   As a result, a fan filter unit capable of changing a predetermined value according to the power supply voltage and notifying a maintenance sign is obtained.

また、本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、他の機器へ信号を送信する連動手段と連動手段を駆動するための機能を備えた構成としたものである。   In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention is configured to have an interlocking means for transmitting a signal to another device and a function for driving the interlocking means.

これによりメンテナンスサイン報知中に他の機器を発停制御しながら、メンテナンスサインを報知できるようにしたファンフィルタユニットが得られる。   As a result, a fan filter unit can be obtained in which the maintenance sign can be notified while other devices are started and stopped during the maintenance sign notification.

また、本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、複数モータの合成電流を検出できる位置に電流検出手段を配した構成としたものである。   In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention has a configuration in which current detection means is arranged at a position where the combined current of a plurality of motors can be detected.

これにより複数モータを備えた機器においてもモータへ流れる合成の電流値からメンテナンスの必要性を判断することのできるようにしたファンフィルタユニットが得られる。   As a result, a fan filter unit can be obtained that can determine the necessity of maintenance from the combined current value flowing to the motor even in a device having a plurality of motors.

本発明によればモータへ流れる電流を検出する電流検出手段と検出した電流値と予め設定された所定の値との比較判断をすることのできる制御手段を備えモータへ流れる電流値からメンテナンスの必要性を判断することのできるようにしたのでモータへ流れる電流が所定の値から外れることでメンテナンスの必要性を判断できるファンフィルタユニットを提供できる。   According to the present invention, the current detection means for detecting the current flowing to the motor and the control means for making a comparison judgment between the detected current value and a preset predetermined value are provided, and maintenance is required from the current value flowing to the motor. Therefore, it is possible to provide a fan filter unit that can determine the necessity of maintenance when the current flowing to the motor deviates from a predetermined value.

また、報知手段によりメンテナンスサインを報知できるようにしたので、容易にメンテナンスの必要性を知ることができるファンフィルタユニットを提供できる。   Further, since the maintenance sign can be notified by the notification means, a fan filter unit that can easily know the necessity of maintenance can be provided.

また、報知手段を視覚表示を行なう表示手段とし視覚表示によるメンテナンスサインを報知できるようにしたので、外観確認により容易にメンテナンスの必要性を知ることができるファンフィルタユニットを提供できる。   In addition, since the notification means is used as a display means for visual display, and a maintenance sign by visual display can be notified, it is possible to provide a fan filter unit that can easily know the necessity of maintenance by confirming the appearance.

また、報知手段を音による聴覚伝達を用いた発報手段とし聴覚伝達によるメンテナンスサインを報知できるようにしたので、周囲に近づくことで容易にメンテナンスの必要性を知ることができるファンフィルタユニットを提供できる。   In addition, since the notification means is an alarming means using auditory transmission by sound so that a maintenance sign by auditory transmission can be notified, a fan filter unit is provided that can easily know the necessity of maintenance by approaching the surroundings it can.

また、報知手段を音声伝達を用いた音声手段としメンテナンスサインをガイダンスすることのできるようにしたので、容易メンテナンスの必要性と確実なメンテナンス情報を知ることができるファンフィルタユニットを提供できる。   In addition, since the notification means is a voice means using voice transmission so that the maintenance sign can be guided, it is possible to provide a fan filter unit that can know the necessity of easy maintenance and reliable maintenance information.

また、報知手段を他の機器へ通信信号で発信する通信手段とし他の機器へメンテナンスサインを発信することのできるようにしたので、離れた所から容易にメンテナンスの必要性を知ることができるファンフィルタユニットを提供できる。   In addition, since the notification means is a communication means that transmits a communication signal to another device so that a maintenance sign can be transmitted to the other device, a fan that can easily know the necessity of maintenance from a remote location. A filter unit can be provided.

また、報知手段を移動可能な分割構成とし任意の場所に移動することができるようにしたので、外観確認がし難い場所への設置環境や騒音、外光に影響なく、容易にメンテナンスの必要性を知ることができるファンフィルタユニットを提供できる。   In addition, because the notification means has a movable division configuration, it can be moved to any location, so there is no need to perform maintenance without affecting the installation environment, noise, and external light in places where it is difficult to confirm the appearance. Can provide a fan filter unit.

また、モータへ流れる電流値が所定の値に対して上下限値のどちらに外れたかを判断し、メンテナンスが必要と予測される部位を特定しメンテナンスサインを報知することができるようにしたので、メンテナンス時間の短縮ができるファンフィルタユニットを提供できる。   In addition, since it was determined whether the current value flowing to the motor deviated from the upper and lower limit values with respect to the predetermined value, it was possible to identify the part that is predicted to require maintenance and to notify the maintenance sign, A fan filter unit that can shorten the maintenance time can be provided.

また、初期動作時の電流検出手段の信号に応じて、所定の値を補正してメンテナンスサインを報知することができるようにしたので、設置状況により変化するモータに流れる電流値に応じて、所定の値を補正してメンテナンスサインを報知することができ、誤動作を抑制することができるファンフィルタユニットを提供できる。   In addition, a predetermined value is corrected according to the signal of the current detection means at the time of initial operation so that a maintenance sign can be notified. It is possible to provide a fan filter unit that can correct the value of the error and notify the maintenance sign and suppress malfunction.

また、補助電源手段を備え電源低下の際にも補正した所定の値を補助電源手段により保持しつつ、メンテナンスサインを報知することができるようにしたので、瞬時停電や短期間の停電により発生する電源低下の際にも補正した所定の値を保護し、データの損失から回避することができるファンフィルタユニットを提供できる。   In addition, since the auxiliary power supply means is provided so that the maintenance sign can be notified while the auxiliary power supply means holds a predetermined value corrected even when the power supply is reduced, it occurs due to an instantaneous power failure or a short-time power failure. It is possible to provide a fan filter unit that protects a predetermined value corrected even when the power is lowered and can avoid data loss.

また、保存手段を備え電源低下や電源供給停止の際にも補正した所定の値の損失を回避し、メンテナンスサインを報知することができるようにしたので、停電や長期間のメンテナンスにより発生する電源低下や電源供給停止の際にも補正した所定の値を保護し、データの損失から回避することができるファンフィルタユニットを提供できる。   In addition, a storage means is provided to prevent loss of a predetermined value corrected even when the power supply is reduced or the power supply is stopped, and the maintenance sign can be notified. It is possible to provide a fan filter unit that protects a predetermined value that is corrected even when the power supply is lowered or power supply is stopped, and can avoid data loss.

また、モータに流れる電流が所定の値から外れている時間をカウントし設定カウント以上となるとメンテナンスサインを報知することができるようにしたので、メンテナンスの不必要な一過性の負荷変動による誤認識を抑制しつつ、メンテナンスの必要性を知ることができるファンフィルタユニットを提供できる。   In addition, since the time when the current flowing through the motor deviates from the predetermined value is counted and exceeds the set count, the maintenance sign can be notified, so erroneous recognition due to transient load fluctuations that do not require maintenance It is possible to provide a fan filter unit capable of knowing the necessity of maintenance while suppressing the above.

また、タイマー機能のカウント時間に応じて報知方法を変化させつつ、メンテナンスサインを報知することができるようにしたので、メンテナンスの緊急性が判断することができ、特に複数台設置で同時にメンテナンスサインが報知された際には対応する優先順位を容易に決定することができるファンフィルタユニットを提供できる。   In addition, since the maintenance method can be notified while changing the notification method according to the count time of the timer function, it is possible to judge the urgency of maintenance, especially when multiple units are installed, It is possible to provide a fan filter unit that can easily determine the corresponding priority when notified.

また、回転数検出手段を備えモータ回転数に応じて所定の値を変化させ、メンテナンスサインを報知できるようにしたので、モータ回転数の変化より発生するモータ電流変動に起因する不必要なメンテナンスサインの報知を抑制しつつ、メンテナンスの必要性を知ることができるファンフィルタユニットを提供できる。   In addition, since a rotation speed detecting means is provided and a predetermined value is changed according to the motor rotation speed so that a maintenance sign can be notified, an unnecessary maintenance sign due to a motor current fluctuation caused by a change in the motor rotation speed is provided. Thus, it is possible to provide a fan filter unit that can know the necessity of maintenance while suppressing the notification.

また、電圧検出手段を備え電源電圧に応じて所定の値を変化させ、メンテナンスサインを報知できるようにしたので、電圧の変化より発生するモータ電流変動に起因する不必要なメンテナンスサインの報知を抑制しつつ、メンテナンスの必要性を知ることができるファンフィルタユニットを提供できる。   In addition, a voltage detection means is provided to change the predetermined value according to the power supply voltage so that the maintenance sign can be notified, so that unnecessary maintenance sign notifications due to motor current fluctuations caused by voltage changes are suppressed. However, a fan filter unit that can know the necessity of maintenance can be provided.

また、連動手段を備えメンテナンスサイン報知中に他の機器を発停制御しながら、メンテナンスサインを報知できるようにしたので、メンテナンスサイン発報中に必要な機器の動作や不必要な機器の停止をし、メンテナンスサイン発報中でも機器の正常な動作に近づけるよう、もしくは、緊急処置動作として動作しつつ、メンテナンスの必要性を知ることができるファンフィルタユニットを提供できる。   In addition, it is possible to notify the maintenance sign while interlocking means is provided so that other devices can be started and stopped while the maintenance sign is being notified. In addition, it is possible to provide a fan filter unit that can know the necessity of maintenance while approaching the normal operation of the device even during maintenance sign notification or operating as an emergency treatment operation.

また、複数モータの合成電流を検出できる位置に電流検出手段を配しモータへ流れる合成の電流値からメンテナンスの必要性を判断することのできるようにしたので、複数モータを備えた機器においても、各モータに電流検出手段を設ける必要なく簡易で安価な構成でメンテナンスの必要性を検出することができるファンフィルタユニットを提供できる。   In addition, since the current detection means is arranged at a position where the combined current of the plurality of motors can be detected and the necessity of maintenance can be determined from the combined current value flowing to the motor, even in a device equipped with a plurality of motors, It is possible to provide a fan filter unit that can detect the necessity of maintenance with a simple and inexpensive configuration without providing a current detection means for each motor.

本発明の請求項1記載の発明は、吸込口と吹出口を有した本体内にファンを回転させるモータを設け、本体の吸込口から吸い込まれた空気をフィルタを介して吹出口から清浄空気を吹出すファンフィルタユニットにおいて、モータへ流れる電流を検出する電流検出手段と検出した電流値と予め設定された所定の値を比較しメンテナンスの必要性を判断する制御手段を備えた構成としたものであり、モータへ流れる電流値からメンテナンスの必要性を判断することができる。   According to the first aspect of the present invention, a motor for rotating a fan is provided in a main body having a suction port and a blower outlet, and the air sucked from the suction port of the main body is supplied with clean air from the blower outlet through a filter. The fan filter unit that blows out is configured to include a current detection unit that detects a current flowing to the motor, and a control unit that compares the detected current value with a predetermined value to determine the necessity of maintenance. Yes, the necessity of maintenance can be determined from the value of the current flowing to the motor.

また、請求項2記載の発明は、報知手段を備えた構成としたものであり、メンテナンスサインを報知することができる。   Further, the invention according to claim 2 is configured to have a notification means, and can notify a maintenance sign.

また、請求項3記載の発明は、報知手段は視覚表示を行なう表示手段とした構成のものであり、視覚表示によるメンテナンスサインを報知することができる。   According to a third aspect of the present invention, the notification means is configured as a display means for performing visual display, and a maintenance sign by visual display can be notified.

また、請求項4記載の発明は、報知手段は音による聴覚伝達を用いた発報手段とした構成のものであり、聴覚伝達によるメンテナンスサインを報知することができる。   In the invention according to claim 4, the notifying means is configured as an issuing means using auditory transmission by sound, and a maintenance sign by auditory transmission can be notified.

また、請求項5記載の発明は、報知手段は音声伝達を用いた音声手段とした構成のものであり、メンテナンスサインをガイダンスすることのできる。   According to a fifth aspect of the present invention, the notification means is a voice means using voice transmission, and can provide a maintenance sign.

また、請求項6記載の発明は、報知手段は他の機器へ通信信号で発信する通信手段とした構成のものであり、他の機器へメンテナンスサインを発信することのできる。   Further, in the invention described in claim 6, the notification means is configured as a communication means for transmitting a communication signal to another device, and a maintenance sign can be transmitted to the other device.

また、請求項7記載の発明は、報知手段を移動可能な分割構成としたものであり、報知手段を任意の場所に移動することができる。   Further, the invention described in claim 7 has a dividing configuration in which the notification means can be moved, and the notification means can be moved to an arbitrary place.

また、請求項8記載の発明は、モータへ流れる電流値に応じて報知方法を変化させる構成としたものであり、モータへ流れる電流値が所定の値に対して上下限値のどちらに外れたかを判断し、メンテナンスが必要と予測される部位を特定しメンテナンスサインを報知することができる。   The invention described in claim 8 is configured to change the notification method according to the value of the current flowing to the motor, and whether the value of the current flowing to the motor deviates from the upper or lower limit value with respect to a predetermined value. Can be identified, a part that is predicted to require maintenance is identified, and a maintenance sign can be notified.

また、請求項9記載の発明は、モータ初期動作時の電流値に応じて、予め設定された所定の値を補正する構成としたものであり、初期動作時の電流検出手段の信号に応じて、予め設定された所定の値を補正してメンテナンスサインを報知することができる。   The invention according to claim 9 is configured to correct a predetermined value in accordance with a current value at the time of initial operation of the motor, and according to a signal of current detection means at the time of initial operation. The maintenance sign can be notified by correcting a predetermined value set in advance.

また、請求項10記載の発明は、制御手段の電源に補助電源手段を備えた構成としたものであり、電源低下の際にも補正した所定の値を補助電源手段により保持しつつ、メンテナンスサインを報知することができる。   According to a tenth aspect of the present invention, the power supply of the control means is provided with an auxiliary power supply means, and a maintenance sign is maintained while the auxiliary power supply means holds a predetermined value corrected even when the power supply is lowered. Can be notified.

また、請求項11記載の発明は、補正した所定の値を記憶する保存手段を備えた構成としたものであり。電源低下や電源供給停止の際にも補正した所定の値の損失を回避し、メンテナンスサインを報知することができる。   The invention described in claim 11 comprises a storage means for storing the corrected predetermined value. A loss of a predetermined value corrected even when the power supply is reduced or the power supply is stopped can be avoided and a maintenance sign can be notified.

また、請求項12記載の発明は、時間をカウントするタイマー機能を備えた構成としたものであり、モータに流れる電流が所定の値から外れている時間をカウントし、設定カウント以上となると、メンテナンスサインを報知することができる。   The invention described in claim 12 is configured to have a timer function for counting time. When the current flowing through the motor deviates from a predetermined value is counted and exceeds a set count, maintenance is performed. The sign can be notified.

また、請求項13記載の発明は、報知方法を変化させる構成としたものであり、タイマー機能のカウント時間に応じて報知方法を変化させつつ、メンテナンスサインを報知することができる。   The invention according to claim 13 is configured to change the notification method, and can notify the maintenance sign while changing the notification method according to the count time of the timer function.

また、請求項14記載の発明は、モータの回転数を検出する回転数検出手段とモータの回転数に応じて所定の値を設定する構成としたものであり、モータ回転数に応じて所定の値を変化させ、メンテナンスサインを報知できる。   The invention described in claim 14 is configured to set a predetermined value according to the rotational speed of the motor and the rotational speed detecting means for detecting the rotational speed of the motor. The maintenance sign can be notified by changing the value.

また、請求項15記載の発明は、モータに印加される電圧を検出する電圧検出手段と電圧に応じて所定の値を設定する構成としたものであり、電源電圧に応じて所定の値を変化させ、メンテナンスサインを報知できる。   According to a fifteenth aspect of the present invention, the voltage detecting means for detecting the voltage applied to the motor and the predetermined value are set according to the voltage, and the predetermined value is changed according to the power supply voltage. The maintenance sign can be notified.

また、請求項16記載の発明は、他の機器へ信号を送信する連動手段と連動手段を駆動するための機能を備えた構成としたものであり、メンテナンスサイン報知中に他の機器を発停制御しながら、メンテナンスサインを報知できる。   Further, the invention described in claim 16 is configured to have a mechanism for transmitting a signal to another device and a function for driving the device, so that the other device can be started and stopped during the maintenance sign notification. A maintenance sign can be notified while controlling.

また、請求項17記載の発明は、複数モータの合成電流を検出できる位置に電流検出手段を配した構成としたものであり、複数モータを備えた機器においてもモータへ流れる合成の電流値からメンテナンスの必要性を判断することのできる。   The invention according to claim 17 is configured such that a current detection means is arranged at a position where the combined current of a plurality of motors can be detected, and even in an apparatus equipped with a plurality of motors, maintenance is performed from the combined current value flowing to the motor. The necessity of can be judged.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(実施の形態1)
図1に示すように、吸込口1と塵埃を除去するフィルタ2を介してなる吹出口3を有した本体4の内部にファン5を回転させるモータ6を配し、このモータ6にてファン5が回転することにより、吸込口1から吸い込まれた空気がフィルタ2により塵埃除去され吹出口3から清浄空気として吹出し、図示していないが本体4が設置されたクリーンルームや製造装置内部を浄化する。
(Embodiment 1)
As shown in FIG. 1, a motor 6 for rotating a fan 5 is arranged inside a main body 4 having an air outlet 3 formed through a suction port 1 and a filter 2 for removing dust. , The air sucked from the suction port 1 is dust-removed by the filter 2 and blown out as clean air from the blower outlet 3 to purify the interior of the clean room and the manufacturing apparatus (not shown) where the main body 4 is installed.

また、前記モータ6へ流れる電流を電流検出手段7により検出し、この電流値を制御手段としての第1制御手段8にて予め設定された所定の値と比較して所定の値から外れているとき報知手段9が動作しメンテナンスサインを報知するように制御部10を構成する。電流検出手段7としては、電流が検出できれば良く、カレントトランス、シャント抵抗などがある。制御部10は電流検出手段7と第1制御手段8と報知手段9を備えている。   Further, the current flowing to the motor 6 is detected by the current detection means 7, and this current value is compared with a predetermined value preset by the first control means 8 as the control means and deviates from the predetermined value. When the notification means 9 operates, the control unit 10 is configured to notify the maintenance sign. The current detection means 7 only needs to be able to detect a current, and includes a current transformer, a shunt resistor, and the like. The control unit 10 includes current detection means 7, first control means 8, and notification means 9.

上記構成において、モータ6へ流れる電流が所定の値から外れたときメンテナンスの必要性を判断することができる。   In the above configuration, the necessity of maintenance can be determined when the current flowing to the motor 6 deviates from a predetermined value.

また、報知手段9によりメンテナンスサインを報知するので、容易にメンテナンスの必要性を知ることができる。   Further, since the maintenance sign is notified by the notification means 9, the necessity of maintenance can be easily known.

また、報知手段9を発光LEDやランプもしくは液晶表示体に代表される表示手段に置き換え、視覚表示によるメンテナンスサインを報知するように構成される。   Further, the notification means 9 is replaced with a display means typified by a light emitting LED, a lamp or a liquid crystal display, so that a maintenance sign by visual display is notified.

上記構成において、外観確認により容易にメンテナンスの必要性を知ることができる。   In the above configuration, it is possible to easily know the necessity of maintenance by confirming the appearance.

また、報知手段9を音を発生するブザーやチャイムに代表される発報手段に置き換え、聴覚伝達によるメンテナンスサインを報知するように構成される。   Further, the notification means 9 is replaced with a notification means represented by a buzzer or chime that generates sound, and a maintenance sign by auditory transmission is notified.

上記構成において、周囲に近づくことで容易にメンテナンスの必要性を知ることができる。   In the above configuration, the necessity of maintenance can be easily known by approaching the surroundings.

また、報知手段9をスピーカーに代表される音声手段に置き換え、音声伝達を用いてメンテナンスサインをガイダンス報知するように構成される。   Further, the notification means 9 is replaced with voice means typified by a speaker, and the maintenance sign is informed by using voice transmission.

上記構成において、容易メンテナンスの必要性と確実なメンテナンス情報を知ることができる。   In the above configuration, the necessity of easy maintenance and reliable maintenance information can be known.

また、報知手段9を電磁開閉器や汎用通信機もしくはトランジスタに代表される通信手段に置き換え、他の機器へ通信信号でメンテナンスサインを発信するように構成される。   Further, the notification means 9 is replaced with a communication means represented by an electromagnetic switch, a general-purpose communication device, or a transistor, and a maintenance sign is transmitted to other devices by a communication signal.

上記構成において、離れた所から容易にメンテナンスの必要性を知ることができる。   In the above configuration, the necessity of maintenance can be easily known from a remote location.

(実施の形態2)
図2に示すように、制御部10から報知手段9を分割した構成とし任意の場所に移動できるように構成される。制御部10は電流検出手段7と第1制御手段8を備えている。
(Embodiment 2)
As shown in FIG. 2, the notification unit 9 is divided from the control unit 10 and can be moved to an arbitrary place. The control unit 10 includes current detection means 7 and first control means 8.

上記構成において、本体4が外観確認し難い場所へ設置された場合や周囲の騒音、外光によりメンテナンスサインの確認が困難な環境下においても、報知手段9を周囲環境の影響を受けない場所に移動して容易にメンテナンスの必要性を知ることができる。   In the above configuration, even when the main body 4 is installed in a place where it is difficult to confirm the appearance, or in an environment where it is difficult to confirm the maintenance sign due to ambient noise and external light, the notification means 9 is placed in a place that is not affected by the surrounding environment. You can move easily and know the need for maintenance.

(実施の形態3)
図3に示すように、第2制御手段11によりモータ6へ流れる電流値が所定の値に対して上下限値のどちらに外れたか判断し、報知方法を変化するように構成される。
(Embodiment 3)
As shown in FIG. 3, the second control means 11 is configured to determine whether the value of the current flowing to the motor 6 deviates from the upper and lower limit values with respect to a predetermined value, and to change the notification method.

上記構成において、所定の値の上限値を外れたときは、ベアリングの磨耗により抵抗が増大することや、ファン5の変形により周囲との接触が起こりモータ6への負荷が増していることが予想されメンテナンスの割合は”交換作業”が多く、所定の値の下限値を外れたときは、ファン5の取付ねじが緩んでいることや羽根の脱落によりモータ6への負荷が減少していることが予想されメンテナンスの割合は”確認・調整作業”が多くなる傾向があり、メンテナンス作業の事前に所定の値に対してモータ6の電流値が上下限値のどちらに外れたかを報知手段9により認識できるのでメンテナンスの準備および作業の時間短縮ができる。   In the above configuration, when the upper limit value of the predetermined value is not reached, it is expected that the resistance increases due to wear of the bearings, or that the fan 5 is deformed to contact with the surroundings and the load on the motor 6 is increased. The percentage of maintenance is “replacement work”, and if the lower limit of the predetermined value is not reached, the mounting screw of the fan 5 is loose and the load on the motor 6 is reduced due to the blades falling off. The maintenance ratio tends to increase “confirmation / adjustment work”, and the notification means 9 indicates whether the current value of the motor 6 deviates from the upper or lower limit value with respect to a predetermined value before the maintenance work. Since it can be recognized, maintenance preparation and work time can be reduced.

(実施の形態4)
図4に示すように、第3制御手段12によりモータ6初期動作時の電流値に応じて、所定の値を補正するように構成される。
(Embodiment 4)
As shown in FIG. 4, the third control unit 12 is configured to correct a predetermined value according to the current value during the initial operation of the motor 6.

上記構成において、モータ6を初めて駆動したときに流れる電流値が所定の値の範囲の中心値となるように所定の値を補正するようにして、本体4の設置状況で壁や物が近くにある場合には吸込みスペースが縮小しモータ6へ流れる電流が減少することや、設置気圧の変化、あるいはダクト設置による機体内外差圧により変化するモータ6に流れる電流値に応じて、所定の値を補正してメンテナンスサインを報知することができ、誤動作を抑制することができる。   In the above configuration, the predetermined value is corrected so that the value of the current flowing when the motor 6 is driven for the first time becomes the center value of the range of the predetermined value, so that the wall or object is close in the installation state of the main body 4. In some cases, the suction space is reduced and the current flowing to the motor 6 decreases, or the predetermined value is set according to the value of the current flowing to the motor 6 that changes due to a change in the installation air pressure or a differential pressure inside and outside the machine due to the installation of the duct. The correction can be corrected and a maintenance sign can be notified, and malfunction can be suppressed.

また、実施の形態4では、モータ6に流れる電流値を所定の値の中心値となるよう補正する一例を記載したが、モータ6の保護を目的とするために補正できる範囲に上限値制限を設けても良い。   In the fourth embodiment, an example in which the value of the current flowing through the motor 6 is corrected to the center value of the predetermined value has been described. However, the upper limit value is limited to a range that can be corrected for the purpose of protecting the motor 6. It may be provided.

(実施の形態5)
図5に示すように、第3制御手段12へ供給する電源に補助電源手段13を配置し、電圧低下の際に補助電源手段13より電気を供給するように構成される。補助電源手段13としては、電気を供給できればよく、バッテリーなどがある。
(Embodiment 5)
As shown in FIG. 5, the auxiliary power supply means 13 is arranged in the power supply supplied to the third control means 12, and is configured to supply electricity from the auxiliary power supply means 13 when the voltage drops. The auxiliary power supply means 13 may be any battery as long as it can supply electricity.

上記構成において、瞬時停電や短期間の停電により発生する電圧低下の際には補助電源手段13より電気が供給されるため、第3制御手段12は通常通り駆動できるので補正した所定の値を保護し、データの損失から回避することができる。   In the above configuration, since the power is supplied from the auxiliary power supply means 13 in the case of a voltage drop caused by an instantaneous power failure or a short-time power failure, the third control means 12 can be driven as usual, so that the corrected predetermined value is protected. And it can be avoided from data loss.

(実施の形態6)
図6に示すように、電源供給がなくなってもデータを保持する保存手段14を配置し補正した所定の値を保存するように構成される。保存手段14としては、データが保持できればよく、メモリ、EEPROMなどがある。
(Embodiment 6)
As shown in FIG. 6, a storage unit 14 that holds data is arranged to store a corrected predetermined value even when power supply is stopped. The storage unit 14 only needs to hold data, and includes a memory, an EEPROM, and the like.

上記構成において、停電や長期間のメンテナンスにより発生する電圧低下や電源供給停止の際には構成された部品の機能が全て停止されるが、保存手段14へ保存している補正した所定の値は保護され、次に電源供給が開始された際に第3制御手段12によりデータが読み込まれ、機能停止前の状態に復帰することができ、データ損失から回避することができる。   In the above configuration, all the functions of the configured components are stopped when a voltage drop or power supply stop caused by a power failure or long-term maintenance is stopped, but the corrected predetermined value stored in the storage means 14 is Data is read by the third control means 12 when the power supply is started next time, and it is possible to return to the state before the function stop, thus avoiding data loss.

(実施の形態7)
図7に示すように、時間をカウントするタイマー機能を有した第4制御手段15を有し、モータ6に流れる電流が所定の値から外れている時間をカウントし、設定カウント以上となるとメンテナンスサインを報知するように構成される。
(Embodiment 7)
As shown in FIG. 7, it has the 4th control means 15 which has the timer function which counts time, counts the time when the electric current which flows into the motor 6 has remove | deviated from predetermined value, and when it becomes more than setting count, a maintenance sign It is comprised so that it may alert | report.

上記構成において、第4制御手段15はモータ6に流れる電流が所定の値を超えても、設定カウントに満たない間はメンテナンスサインを報知せずに待機し、設定カウント以上となると報知手段9を駆動させメンテナンスサインを報知するので、メンテナンスの不必要な一過性の負荷変動による誤認識を抑制しつつ、メンテナンスの必要性を知ることができる。   In the above configuration, even if the current flowing through the motor 6 exceeds a predetermined value, the fourth control unit 15 stands by without notifying the maintenance sign as long as the current does not reach the set count. Since it is driven and a maintenance sign is notified, it is possible to know the necessity of maintenance while suppressing misrecognition due to temporary load fluctuations that do not require maintenance.

(実施の形態8)
図8に示すように、報知方法を変化させる機能を有した第5制御手段16を有し、タイマー機能のカウント時間に応じて報知方法を変化させつつ、メンテナンスサインを報知するように構成される。
(Embodiment 8)
As shown in FIG. 8, it has the 5th control means 16 with the function to change a notification method, and it is comprised so that a maintenance sign may be notified, changing a notification method according to the count time of a timer function. .

上記構成において、報知方法がカウント時間に応じて変化するのでメンテナンスの緊急性が判断することができ、特に複数台設置で同時にメンテナンスサインが報知された際には対応する優先順位を容易に決定することができる。   In the above configuration, since the notification method changes according to the count time, it is possible to determine the urgency of maintenance. In particular, when a plurality of devices are installed and a maintenance sign is notified at the same time, the corresponding priority order is easily determined. be able to.

(実施の形態9)
図9に示すように、モータ6の回転数を検出する回転数検出手段17とモータ6の回転数に応じて所定の値を設定した第6制御手段18を有し、モータ回転数に応じて所定の値を変化させ、メンテナンスサインを報知するように構成される。回転数検出手段17としては、モータの回転数が検出できれば良く、タコジェネレータなどがある。
(Embodiment 9)
As shown in FIG. 9, it has the rotation speed detection means 17 which detects the rotation speed of the motor 6, and the 6th control means 18 which set the predetermined value according to the rotation speed of the motor 6, and according to the rotation speed of the motor A predetermined value is changed, and a maintenance sign is notified. As the rotation speed detection means 17, it is sufficient if the rotation speed of the motor can be detected, and there is a tachometer generator or the like.

上記構成において、モータ回転数の変化より発生するモータ電流変動に起因する不必要なメンテナンスサインの報知を抑制しつつ、メンテナンスの必要性を知ることができる。   In the above-described configuration, it is possible to know the necessity of maintenance while suppressing notification of unnecessary maintenance signs caused by motor current fluctuations caused by changes in the motor rotation speed.

(実施の形態10)
図10に示すように、モータ6に印加される電圧を検出する電圧検出手段19と電圧に応じて所定の値を設定した第7制御手段20を有し、電源電圧に応じて所定の値を変化させ、メンテナンスサインを報知するように構成される。
(Embodiment 10)
As shown in FIG. 10, it has a voltage detection means 19 for detecting a voltage applied to the motor 6 and a seventh control means 20 for setting a predetermined value according to the voltage, and the predetermined value according to the power supply voltage. It is configured to change and notify the maintenance sign.

上記構成において、電圧の変化より発生するモータ電流変動に起因する不必要なメンテナンスサインの報知を抑制しつつ、メンテナンスの必要性を知ることができる。   In the above-described configuration, it is possible to know the necessity of maintenance while suppressing notification of unnecessary maintenance signs due to motor current fluctuations caused by voltage changes.

(実施の形態11)
図11に示すように、他の機器へ信号を送信する連動手段21と連動手段21を駆動するための機能を追加した第8制御手段22を有し、メンテナンスサイン報知中に他の機器を発停制御しながら、メンテナンスサインを報知するように構成される。連動手段21としては、他の機器へ信号を送信できればよく、リレー、電磁開閉器などがある。
(Embodiment 11)
As shown in FIG. 11, it has an interlocking means 21 for transmitting a signal to another device and an eighth control means 22 to which a function for driving the interlocking device 21 is added. It is configured to notify a maintenance sign while stopping. As the interlocking means 21, it is sufficient that signals can be transmitted to other devices, and there are a relay, an electromagnetic switch and the like.

上記構成において、メンテナンスサイン発報中に必要な機器の動作や不必要な機器の停止をし、メンテナンスサイン発報中でも機器の正常な動作に近づけるよう、もしくは、緊急処置動作として動作しつつ、メンテナンスの必要性を知ることができる。   In the above configuration, operation of necessary equipment during maintenance sign notification or unnecessary stop of equipment is performed so that maintenance equipment can be brought close to normal operation even during maintenance sign notification, or while operating as an emergency treatment operation. Can know the need.

(実施の形態12)
図12に示すように、本体4の内部に第1モータ23と第2モータ24を有し、このモータの合成電流を検出できる位置に電流検出手段7を配し、モータへ流れる合成の電流値からメンテナンスの必要性を判断するように構成される。
(Embodiment 12)
As shown in FIG. 12, the main body 4 has a first motor 23 and a second motor 24, and the current detection means 7 is arranged at a position where the combined current of the motor can be detected, and the combined current value flowing to the motor Configured to determine the need for maintenance.

上記構成において、複数モータを備えた機器においても、各モータに電流検出手段7を設ける必要なく簡易で安価な構成でメンテナンスの必要性を検出することができる。   In the above configuration, even in a device including a plurality of motors, the necessity of maintenance can be detected with a simple and inexpensive configuration without the need to provide the current detection means 7 for each motor.

家屋の24時間常時換気を行なっている換気扇のモータメンテナンス検出の用途にも適用できる。   The present invention can also be applied to the use of a motor maintenance detection of a ventilation fan that performs 24-hour regular ventilation in a house.

本発明の実施の形態1記載の構成を示すブロック図The block diagram which shows the structure of Embodiment 1 of this invention 本発明の実施の形態2記載の構成を示すブロック図The block diagram which shows the structure of Embodiment 2 of this invention 本発明の実施の形態3記載の構成を示すブロック図The block diagram which shows the structure of Embodiment 3 of this invention 本発明の実施の形態4記載の構成を示すブロック図Block diagram showing the configuration of the fourth embodiment of the present invention 本発明の実施の形態5記載の構成を示すブロック図Block diagram showing the configuration of the fifth embodiment of the present invention 本発明の実施の形態6記載の構成を示すブロック図Block diagram showing the configuration of the sixth embodiment of the present invention 本発明の実施の形態7記載の構成を示すブロック図Block diagram showing the configuration of the seventh embodiment of the present invention 本発明の実施の形態8記載の構成を示すブロック図Block diagram showing the configuration of the eighth embodiment of the present invention 本発明の実施の形態9記載の構成を示すブロック図A block diagram showing a configuration of a ninth embodiment of the present invention 本発明の実施の形態10記載の構成を示すブロック図Block diagram showing the configuration of the tenth embodiment of the present invention 本発明の実施の形態11記載の構成を示すブロック図Block diagram showing the configuration of the eleventh embodiment of the present invention 本発明の実施の形態12記載の構成を示すブロック図Block diagram showing the configuration of the twelfth embodiment of the present invention

符号の説明Explanation of symbols

1 吸込口
2 フィルタ
3 吹出口
4 本体
5 ファン
6 モータ
7 電流検出手段
8 第1制御手段
9 報知手段
10 制御部
11 第2制御手段
12 第3制御手段
13 補助電源手段
14 保存手段
15 第4制御手段
16 第5制御手段
17 回転数検出手段
18 第6制御手段
19 電圧検出手段
20 第7制御手段
21 連動手段
22 第8制御手段
23 第1モータ
24 第2モータ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Intake port 2 Filter 3 Outlet 4 Main body 5 Fan 6 Motor 7 Current detection means 8 1st control means 9 Notification means 10 Control part 11 2nd control means 12 3rd control means 13 Auxiliary power supply means 14 Storage means 15 4th control Means 16 Fifth control means 17 Rotational speed detection means 18 Sixth control means 19 Voltage detection means 20 Seventh control means 21 Interlocking means 22 Eighth control means 23 First motor 24 Second motor

Claims (17)

吸込口と吹出口を有した本体内にファンを回転させるモータを設け、本体の吸込口から吸い込まれた空気をフィルタを介して吹出口から清浄空気を吹出すファンフィルタユニットにおいて、モータへ流れる電流を検出する電流検出手段と検出した電流値と予め設定された所定の値を比較しメンテナンスの必要性を判断する制御手段を備えたことを特徴とするファンフィルタユニット。 A current that flows to the motor in a fan filter unit that has a motor that rotates a fan in the main body having a suction port and a blower outlet, and blows clean air from the blower outlet through the filter. A fan filter unit comprising: a current detection means for detecting a current value; and a control means for comparing the detected current value with a predetermined value set in advance to determine the necessity of maintenance. メンテナンスサインを報知する報知手段を備えたことを特徴とする請求項1記載のファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to claim 1, further comprising an informing unit for informing a maintenance sign. 報知手段は視覚表示を行なう表示手段としたことを特徴とする請求項2記載のファンフィルタユニットの制御装置。 3. The fan filter unit control device according to claim 2, wherein the notification means is a display means for performing visual display. 報知手段は音による聴覚伝達を用いた発報手段としたことを特徴とする請求項2記載のファンフィルタユニット。 3. The fan filter unit according to claim 2, wherein the informing means is an informing means using auditory transmission by sound. 報知手段は音声伝達を用いた音声手段としたことを特徴とする請求項2記載のファンフィルタユニット。 3. The fan filter unit according to claim 2, wherein the notification means is a sound means using sound transmission. 報知手段は他の機器へ通信信号で発信する通信手段としたことを特徴とする請求項2記載のファンフィルタユニット。 3. The fan filter unit according to claim 2, wherein the notification means is a communication means for transmitting to other devices by a communication signal. 報知手段を移動可能な分割構成としたことを特徴とする請求項2記載のファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to claim 2, wherein the notification unit has a movable divided configuration. モータへ流れる電流値に応じて報知方法を変化させることを特徴とする請求項2記載のファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to claim 2, wherein the notification method is changed in accordance with a value of a current flowing to the motor. モータ初期動作時の電流値に応じて、予め設定された所定の値を補正することを特徴とする請求項2記載のファンフィルタユニット。 3. The fan filter unit according to claim 2, wherein a predetermined value set in advance is corrected in accordance with a current value at the time of initial motor operation. 制御手段の電源に補助電源手段を備えたことを特徴とする請求項9記載のファンフィルタユニット。 10. The fan filter unit according to claim 9, further comprising auxiliary power supply means as a power supply for the control means. 補正した所定の値を記憶する保存手段を備えたことを特徴とする請求項9記載のファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to claim 9, further comprising a storage unit that stores the corrected predetermined value. 時間をカウントするタイマー機能を備えたことを特徴とする請求項2記載のファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to claim 2, further comprising a timer function for counting time. 報知方法を変化させることを特徴とする請求項12記載のファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to claim 12, wherein the notification method is changed. モータの回転数を検出する回転数検出手段とモータの回転数に応じて所定の値を設定することを特徴とする請求項2記載のファンフィルタユニット。 3. The fan filter unit according to claim 2, wherein a predetermined value is set in accordance with a rotational speed detecting means for detecting the rotational speed of the motor and the rotational speed of the motor. モータに印加される電圧を検出する電圧検出手段と電圧に応じて所定の値を設定することを特徴とする請求項2記載のファンフィルタユニット。 3. The fan filter unit according to claim 2, wherein a predetermined value is set in accordance with voltage detection means for detecting a voltage applied to the motor and the voltage. 他の機器へ信号を送信する連動手段と連動手段を駆動するための機能を備えたことを特徴とする請求項2記載のファンフィルタユニット。 3. The fan filter unit according to claim 2, further comprising an interlocking unit that transmits a signal to another device and a function for driving the interlocking unit. 複数モータの合成電流を検出できる位置に電流検出手段を配したことを特徴とする請求項1乃至16のいずれかに記載のファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to any one of claims 1 to 16, wherein a current detection means is arranged at a position where the combined current of the plurality of motors can be detected.
JP2005297514A 2005-10-12 2005-10-12 Fan filter unit Pending JP2007107779A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005297514A JP2007107779A (en) 2005-10-12 2005-10-12 Fan filter unit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005297514A JP2007107779A (en) 2005-10-12 2005-10-12 Fan filter unit

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007107779A true JP2007107779A (en) 2007-04-26

Family

ID=38033784

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005297514A Pending JP2007107779A (en) 2005-10-12 2005-10-12 Fan filter unit

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007107779A (en)

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009289177A (en) * 2008-05-30 2009-12-10 Toshiba Corp Electronic equipment
JP2013053846A (en) * 2012-11-12 2013-03-21 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Indoor equipment unit and air conditioner
JP2015081693A (en) * 2013-10-21 2015-04-27 日立アプライアンス株式会社 Air conditioner
CN104713207A (en) * 2013-12-17 2015-06-17 约克广州空调冷冻设备有限公司 Brushless direct current motor fan-coil unit and rotating speed control system and method thereof
KR101531585B1 (en) * 2013-08-12 2015-07-06 주식회사 시스웍 FFU and EFU controller
US9518748B2 (en) 2009-08-16 2016-12-13 G-Con Manufacturing Inc. Modular, self-contained, mobile clean room
US9795957B2 (en) 2009-08-16 2017-10-24 G-Con Manufacturing, Inc. Modular, self-contained, mobile clean room
CN108507128A (en) * 2018-02-14 2018-09-07 青岛海尔空调器有限总公司 Automatically cleaning control method and air conditioner for air conditioner
US10161147B2 (en) 2013-10-14 2018-12-25 G-Con Manufacturing Inc. Method for connecting modular mobile rooms
CN109855261A (en) * 2019-01-10 2019-06-07 奥克斯空调股份有限公司 A kind of control method and air conditioner of air conditioner
US10533758B2 (en) 2014-07-11 2020-01-14 G-Con Manufacturing Inc. Modular parts that supply utilities to cleanroom, isolation or containment cubicles, pods, or modules
KR102283050B1 (en) * 2020-08-14 2021-07-29 윤수정 Droplet block table and structures comprising same
US11492795B2 (en) 2020-08-31 2022-11-08 G-Con Manufacturing, Inc. Ballroom-style cleanroom assembled from modular buildings
US11624182B2 (en) 2019-08-15 2023-04-11 G-Con Manufacturing, Inc. Removable panel roof for modular, self-contained, mobile clean room
CN116905116A (en) * 2023-08-31 2023-10-20 江苏阿代尔新材料科技有限公司 Flame-retardant cool regenerated polyester filament fiber and production method thereof

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009289177A (en) * 2008-05-30 2009-12-10 Toshiba Corp Electronic equipment
US10654036B2 (en) 2009-08-16 2020-05-19 G-Con Manufacturing, Inc. Modular, self-contained, mobile clean room
US9518748B2 (en) 2009-08-16 2016-12-13 G-Con Manufacturing Inc. Modular, self-contained, mobile clean room
US9765980B2 (en) 2009-08-16 2017-09-19 G-Con Manufacturing, Inc. Modular, self-contained, mobile clean room
US9795957B2 (en) 2009-08-16 2017-10-24 G-Con Manufacturing, Inc. Modular, self-contained, mobile clean room
JP2013053846A (en) * 2012-11-12 2013-03-21 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Indoor equipment unit and air conditioner
KR101531585B1 (en) * 2013-08-12 2015-07-06 주식회사 시스웍 FFU and EFU controller
US10161147B2 (en) 2013-10-14 2018-12-25 G-Con Manufacturing Inc. Method for connecting modular mobile rooms
JP2015081693A (en) * 2013-10-21 2015-04-27 日立アプライアンス株式会社 Air conditioner
CN104713207A (en) * 2013-12-17 2015-06-17 约克广州空调冷冻设备有限公司 Brushless direct current motor fan-coil unit and rotating speed control system and method thereof
US10533758B2 (en) 2014-07-11 2020-01-14 G-Con Manufacturing Inc. Modular parts that supply utilities to cleanroom, isolation or containment cubicles, pods, or modules
CN108507128A (en) * 2018-02-14 2018-09-07 青岛海尔空调器有限总公司 Automatically cleaning control method and air conditioner for air conditioner
CN109855261A (en) * 2019-01-10 2019-06-07 奥克斯空调股份有限公司 A kind of control method and air conditioner of air conditioner
US11624182B2 (en) 2019-08-15 2023-04-11 G-Con Manufacturing, Inc. Removable panel roof for modular, self-contained, mobile clean room
KR102283050B1 (en) * 2020-08-14 2021-07-29 윤수정 Droplet block table and structures comprising same
WO2022035135A1 (en) * 2020-08-14 2022-02-17 윤수정 Droplet blocking table and structure including same
CN114761649A (en) * 2020-08-14 2022-07-15 尹琇浈 Anti-splash table and structure comprising same
US11492795B2 (en) 2020-08-31 2022-11-08 G-Con Manufacturing, Inc. Ballroom-style cleanroom assembled from modular buildings
CN116905116A (en) * 2023-08-31 2023-10-20 江苏阿代尔新材料科技有限公司 Flame-retardant cool regenerated polyester filament fiber and production method thereof
CN116905116B (en) * 2023-08-31 2024-03-29 江苏阿代尔新材料科技有限公司 Flame-retardant cool regenerated polyester filament fiber and production method thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007107779A (en) Fan filter unit
JP2015108468A (en) Fan filter unit and control system for fan filter unit
JP2009079843A (en) Apparatus monitoring device and remote monitoring system
KR20170061832A (en) Automatic air filter unit for room ventilation
WO2019188157A1 (en) Microcomputer-type gas meter
CN110044008A (en) The control method of air-conditioner outdoor unit
JP5342528B2 (en) Air conditioner with active filter
JP4765798B2 (en) Diagnostic device and air conditioning management device
KR20170069034A (en) Fan monitoring system
JP6321527B2 (en) Air purifier with fan filter unit
JP2015183502A (en) Shutter apparatus
JP2012059117A (en) Patrol inspection support system
JP2019015166A (en) Shutter apparatus
JP6126860B2 (en) Fire alarm system
KR102034001B1 (en) Controller for cooling fan &amp; control system and method for cooling fan of transfomer using the same
CN209116498U (en) A kind of fan coil warning system
JP2008027321A (en) Fire alarm for dwelling
CN210218191U (en) Fan intelligence cloud monitoring device
KR100868678B1 (en) Fan filter unit and fan filter unit monitoring apparatus using minuteness differential pressure measurement sensor module
JP2008046790A (en) Production line monitor system
KR20080007929A (en) Unmanned substation a warning system and unmanned substation a warning control method
CN110878989B (en) Anti-condensation control method for air conditioner
CN219015354U (en) General state monitoring device for electrical equipment
CN106054064A (en) Fault detection method and fault detection device of air conditioner, and air conditioner
WO2019234826A1 (en) Monitoring system