JP2007106009A - Method for manufacturing exposure module, exposure module and imaging device - Google Patents

Method for manufacturing exposure module, exposure module and imaging device Download PDF

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JP2007106009A JP2005299714A JP2005299714A JP2007106009A JP 2007106009 A JP2007106009 A JP 2007106009A JP 2005299714 A JP2005299714 A JP 2005299714A JP 2005299714 A JP2005299714 A JP 2005299714A JP 2007106009 A JP2007106009 A JP 2007106009A
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elements
light
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Toyotaro Kinoshita
豊太郎 木下
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing an exposure module which can reduce the dispersion of light-emitting element characteristics among the elements without causing a contamination, and an exposure module and an imaging device. <P>SOLUTION: The cathode side of the light-emitting elements 11a, 11b, etc. are each connected with a grounding wire 24 through resistance elements 22a, 22b, etc. and bypass wirings 23a, 23b, etc. The bypass wirings 23a, 23b, etc. are conducting wirings partially connected side by side with the resistance elements 22a and 22b, etc. Thus, the load resistance value of the resistance elements 22a, 22b, etc. acting on the light-emitting elements 11a, 11b, etc. can be substantially adjusted by the connection relationship. In this case, the bypass wirings 23a, 23b, etc. are formed using a liquid droplet discharging process, after detecting the brightness characteristics of the individual light-emitting elements 11a, 11b, etc. are detected. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、発光素子アレイを備えた露光モジュールおよびその製造方法、並びに画像形
成装置に関する。
The present invention relates to an exposure module including a light emitting element array, a manufacturing method thereof, and an image forming apparatus.

感光体上に露光手段を用いて潜像を形成し、トナー等を用いて当該潜像を可視画像化す
る画像形成装置は、コピー機や印刷機として現在広く利用されている。潜像形成のための
露光方式としては、光源からの光をポリゴンミラーで反射させて走査を行うタイプや、ラ
イン状に配列された複数の発光素子(発光素子アレイ)でライン走査を行うタイプなどが
ある。
2. Description of the Related Art Image forming apparatuses that form a latent image on a photoreceptor using an exposure unit and visualize the latent image using toner or the like are now widely used as copying machines and printing machines. As an exposure method for forming a latent image, a type in which light from a light source is reflected by a polygon mirror and scanning is performed, or a type in which line scanning is performed by a plurality of light emitting elements (light emitting element array) arranged in a line, etc. There is.

上述の発光素子アレイを用いた方式は、可動部分がないため装置構成の簡素化(小型化
)に有利であるが、複数の発光素子を光源としているため発光素子の特性(輝度)の素子
間ばらつきが問題となる。そこで、発光素子アレイを駆動して各発光素子の輝度を測定し
、その測定値に基づいて発光素子毎に電極の部分除去を行うことで、このような素子間ば
らつきを補正する方法が特許文献1に開示されている。
The above-described method using the light emitting element array is advantageous for simplification (downsizing) of the apparatus configuration because there is no moving part. However, since a plurality of light emitting elements are used as light sources, the characteristics (brightness) of the light emitting elements Variation is a problem. Therefore, a method of correcting such inter-element variation by driving the light emitting element array, measuring the luminance of each light emitting element, and performing partial electrode removal for each light emitting element based on the measured value is disclosed in Patent Literature 1 is disclosed.

特開平3−363264号公報JP-A-3-363264

しかしながら、上述の方法においては、電極の部分除去の際に発生するコンタミネーシ
ョンによる歩留まり低下が問題となる。
However, in the above-described method, there is a problem of yield reduction due to contamination that occurs during partial removal of electrodes.

本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、コンタミネーションを発生さ
せることなく発光素子特性の素子間ばらつきを低減することが可能な、露光モジュールの
製造方法、および露光モジュール、画像形成装置を提供することを目的としている。
The present invention has been made to solve the above-described problems, and can provide a method for manufacturing an exposure module, an exposure module, and an image that can reduce variation in light-emitting element characteristics between elements without causing contamination. An object is to provide a forming apparatus.

本発明は、複数の発光素子が並列接続されてなる回路を備える露光モジュールの製造方
法であって、前記複数の発光素子のそれぞれに直列接続される抵抗素子を含んで、前記回
路を形成する回路形成工程と、前記複数の発光素子のそれぞれについて発光特性を検出す
る特性検出工程と、前記特性検出工程における検出結果に基づいて、前記発光素子に作用
する負荷抵抗値の調整を行う負荷調整工程と、を有し、前記負荷調整工程は、バイパス配
線を前記抵抗素子に部分的に並列接続することにより行われることを特徴とする。
The present invention is a method of manufacturing an exposure module including a circuit in which a plurality of light emitting elements are connected in parallel, and includes a resistance element connected in series to each of the plurality of light emitting elements, and forming the circuit A forming step; a characteristic detecting step for detecting a light emitting characteristic for each of the plurality of light emitting elements; a load adjusting step for adjusting a load resistance value acting on the light emitting element based on a detection result in the characteristic detecting step; The load adjusting step is performed by partially connecting a bypass wiring to the resistance element in parallel.

この発明の露光モジュールの製造方法によれば、発光素子ごとにバイパス配線を追加形
成することで、発光素子に作用する付加抵抗値の調整を行うことができるので、コンタミ
ネーションを発生させずに発光特性の素子間ばらつきを低減することができる。
According to the method for manufacturing an exposure module of the present invention, the additional resistance value acting on the light emitting element can be adjusted by additionally forming a bypass wiring for each light emitting element, so that light emission can be performed without causing contamination. Variation in characteristics between elements can be reduced.

また好ましくは、前記露光モジュールの製造方法において、前記負荷調整工程は、液滴
吐出法を用いて行われることを特徴とする。
この発明の露光モジュールの製造方法によれば、液滴吐出法を用いて効率的に、上述し
た付加抵抗値の調整を行うことができる。
Preferably, in the exposure module manufacturing method, the load adjusting step is performed using a droplet discharge method.
According to the method for manufacturing an exposure module of the present invention, the above-described additional resistance value can be adjusted efficiently using the droplet discharge method.

本発明は、複数の発光素子が並列接続されてなる回路を備える露光モジュールであって
、前記回路は、前記複数の発光素子のそれぞれに直列接続される抵抗素子と、前記抵抗素
子に部分的に並列接続されるバイパス配線と、を備えることを特徴とする。
The present invention is an exposure module including a circuit in which a plurality of light emitting elements are connected in parallel, and the circuit includes a resistance element connected in series to each of the plurality of light emitting elements, and a part of the resistance element. And bypass wiring connected in parallel.

この発明の露光モジュールによれば、発光素子ごとにバイパス配線を追加形成すること
で、発光素子に作用する付加抵抗値の調整を行うことができるので、コンタミネーション
の発生を伴わずに発光特性の素子間ばらつきを低減することができる。
According to the exposure module of the present invention, the additional resistance value acting on the light emitting element can be adjusted by additionally forming a bypass wiring for each light emitting element, so that the emission characteristics can be reduced without causing contamination. Variations between elements can be reduced.

また好ましくは、前記露光モジュールにおいて、前記バイパス配線と前記抵抗素子との
接続関係は、対応する前記発光素子ごとに個別に設定されていることを特徴とする。
この発明の露光モジュールは、バイパス配線と抵抗素子との接続関係が発光素子毎に設
定されているので、各発光素子から均一な光を出射することができる。
Preferably, in the exposure module, a connection relationship between the bypass wiring and the resistance element is individually set for each corresponding light emitting element.
In the exposure module of the present invention, since the connection relationship between the bypass wiring and the resistance element is set for each light emitting element, uniform light can be emitted from each light emitting element.

本発明の画像形成装置は、上記露光モジュールを備えることを特徴とする。   An image forming apparatus according to the present invention includes the exposure module.

以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好まし
い種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定
する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
The embodiment described below is a preferred specific example of the present invention, and thus various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention is particularly limited in the following description. Unless otherwise stated, the present invention is not limited to these forms.

(画像形成装置の構成)
まずは、図1を参照して本発明に係る画像形成装置の全体構成について説明する。
図1は、画像形成装置の一例の内部構成を示す断面図である。
(Configuration of image forming apparatus)
First, the overall configuration of the image forming apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating an internal configuration of an example of an image forming apparatus.

図1において、画像形成装置100は、駆動ローラ51、従動ローラ52、テンション
ローラ53と、これらのローラ51,52,53によって図示矢印方向(反時計方向)へ
循環駆動される中間転写ベルト50と、を備えている。また、画像形成装置100は、中
間転写ベルト50と対向して所定間隔で配置された、同構成の4個の感光体ドラム41K
,41C,41M,41Yを備えている。感光体ドラム41K,41C,41M,41Y
は、中間転写ベルト50の駆動と同期して図示矢印方向(時計方向)へ回転駆動される。
In FIG. 1, an image forming apparatus 100 includes a driving roller 51, a driven roller 52, a tension roller 53, and an intermediate transfer belt 50 that is circulated and driven in the direction indicated by the arrow (counterclockwise) by these rollers 51, 52, and 53. It is equipped with. Further, the image forming apparatus 100 has four photosensitive drums 41 </ b> K having the same configuration and disposed at a predetermined interval so as to face the intermediate transfer belt 50.
, 41C, 41M, 41Y. Photosensitive drums 41K, 41C, 41M, 41Y
Is driven to rotate in the direction indicated by the arrow (clockwise) in synchronization with the drive of the intermediate transfer belt 50.

上述ないし図中の符号に付記されたK,C,M,Yは、それぞれ黒、シアン、マゼンタ
、イエローを意味しており、K,C,M,Yが付記された符号の要素(部品)は、それぞ
れ各色に対応して設けられた要素を表している。各色の要素は構成が共通しているため、
以降では記述の煩雑さを避けるため、それぞれの要素についてK,C,M,Yの付記を省
略して説明を行う。
The symbols K, C, M, and Y added to the reference numerals in the above-described figures and drawings mean black, cyan, magenta, and yellow, respectively, and the elements (parts) of the reference numerals that have K, C, M, and Y added thereto. Represents elements provided corresponding to the respective colors. Each color element has the same configuration,
In the following, in order to avoid complexity of description, the description of each element is omitted by omitting K, C, M, and Y.

感光体ドラム41は、中間転写ベルト50の駆動と同期して図示矢印方向(時計方向)
へ回転駆動される。感光体ドラム41の周囲には、感光体ドラム41の感光体面(外周面
)を一様に帯電させる帯電手段(コロナ帯電器)42と、感光体ドラム41の回転に同期
して感光体面をライン走査する露光モジュールとしての露光ヘッド10と、が設けられて
いる。ここで、露光ヘッド10の発光エネルギーピーク波長と感光体面の感度ピーク波長
とは略一致するように設定されており、露光ヘッド10による上記走査により、感光体面
には潜像(静電像)が形成される。
The photosensitive drum 41 is synchronized with the driving of the intermediate transfer belt 50 in the direction indicated by the arrow (clockwise).
It is driven to rotate. Around the photosensitive drum 41, a charging means (corona charger) 42 for uniformly charging the photosensitive surface (outer peripheral surface) of the photosensitive drum 41, and the photosensitive surface are lined in synchronization with the rotation of the photosensitive drum 41. An exposure head 10 is provided as an exposure module for scanning. Here, the light emission energy peak wavelength of the exposure head 10 and the sensitivity peak wavelength of the photosensitive member surface are set to substantially coincide with each other, and a latent image (electrostatic image) is formed on the photosensitive member surface by the scanning by the exposure head 10. It is formed.

また、各感光体ドラム41の周囲には、感光体面の潜像にトナーを付与して可視画像(
トナー像)を形成する現像装置44と、トナー像を中間転写ベルト50に転写する一次転
写ローラ45と、一次転写後に感光体面に残留しているトナーを除去するクリーニング装
置46と、が設けられている。
In addition, around each photosensitive drum 41, toner is applied to the latent image on the photosensitive member surface so that a visible image (
A developing device 44 for forming a toner image), a primary transfer roller 45 for transferring the toner image to the intermediate transfer belt 50, and a cleaning device 46 for removing the toner remaining on the surface of the photoreceptor after the primary transfer. Yes.

現像装置44は、トナーを例えば供給ローラで現像ローラへ搬送し、現像ローラ表面に
付着した現像剤の膜厚を規制ブレードで規制し、その現像ローラを感光体ドラム41の感
光体面に接触させて感光面の電位レベルに応じて現像剤を付着させるようになっている。
The developing device 44 conveys the toner to the developing roller with, for example, a supply roller, regulates the film thickness of the developer attached to the surface of the developing roller with a regulating blade, and brings the developing roller into contact with the photoreceptor surface of the photoreceptor drum 41. A developer is attached in accordance with the potential level of the photosensitive surface.

黒、シアン、マゼンタ、イエローのそれぞれに対応して形成された各トナー像は、一次
転写ローラ45に印加される一次転写バイアスにより中間転写ベルト50上に順次一次転
写され、中間転写ベルト50上で順次重ね合わされてフルカラーとなったトナー像は、二
次転写ローラ66において用紙等の記録媒体Pに二次転写され、定着部61を通ることで
記録媒体P上に定着され、排紙ローラ対62によって、装置上部に形成された排紙トレイ
68上へ排出される。
Each toner image formed corresponding to each of black, cyan, magenta, and yellow is sequentially primary-transferred onto the intermediate transfer belt 50 by the primary transfer bias applied to the primary transfer roller 45, and on the intermediate transfer belt 50. The toner images that are sequentially superimposed and become full color are secondarily transferred to the recording medium P such as paper by the secondary transfer roller 66, and are fixed on the recording medium P through the fixing unit 61. As a result, the paper is discharged onto a paper discharge tray 68 formed in the upper part of the apparatus.

定着部61には、加熱ローラを用いた熱ロール方式のものや、光照射を利用したフラッ
シュ方式のものなどが用いられる。フラッシュ方式の場合、その照射手段として、後述す
る露光ヘッド10と同構成のものを採用することができる。
For the fixing unit 61, a heat roll type using a heating roller, a flash type using light irradiation, or the like is used. In the case of a flash system, an irradiation unit having the same configuration as that of an exposure head 10 to be described later can be adopted.

なお、図中、63は多数枚の記録媒体Pが積層保持されている給紙カセット、64は給
紙カセット63から記録媒体Pを一枚ずつ給送するピックアップローラ、65は二次転写
ローラ66の二次転写部への記録媒体Pの供給タイミングを規定するゲートローラ対、6
6は中間転写ベルト50との間で二次転写部を形成する二次転写手段としての二次転写ロ
ーラ、67は二次転写後に中間転写ベルト50の表面に残留しているトナーを除去するク
リーニング手段としてのクリーニングブレードである。
In the figure, reference numeral 63 denotes a paper feeding cassette in which a large number of recording media P are stacked and held, 64 denotes a pickup roller for feeding the recording media P from the paper feeding cassette 63 one by one, and 65 denotes a secondary transfer roller 66. A pair of gate rollers for defining the supply timing of the recording medium P to the secondary transfer portion of
Reference numeral 6 denotes a secondary transfer roller as a secondary transfer unit that forms a secondary transfer portion with the intermediate transfer belt 50, and 67 denotes cleaning that removes toner remaining on the surface of the intermediate transfer belt 50 after the secondary transfer. A cleaning blade as a means.

(露光ヘッドの構成)
次に、図2、図3を参照して露光ヘッドの構成について説明する。
図2は、露光ヘッドの電気的構成を示す回路図である。図3は、抵抗素子およびバイパ
ス配線の平面構造を示す部分平面図である。
(Configuration of exposure head)
Next, the configuration of the exposure head will be described with reference to FIGS.
FIG. 2 is a circuit diagram showing the electrical configuration of the exposure head. FIG. 3 is a partial plan view showing a planar structure of the resistance element and the bypass wiring.

図2において、露光ヘッド10は、感光体ドラム41(図1参照)の回転軸方向に沿っ
てライン状に配列された発光素子11a,11b…を備えている。発光素子11a,11
b…には、それぞれ、公知の有機EL素子が用いられており、アノード電極、正孔輸送層
、有機EL材料層、電子輸送層、カソード電極が積層された構造となっている。
2, the exposure head 10 includes light emitting elements 11a, 11b,... Arranged in a line along the rotation axis direction of the photosensitive drum 41 (see FIG. 1). Light emitting elements 11a and 11
Each of b ... uses a known organic EL element, and has a structure in which an anode electrode, a hole transport layer, an organic EL material layer, an electron transport layer, and a cathode electrode are laminated.

発光素子11a,11b…のアノード側は、電圧供給のスイッチングを行う駆動スイッ
チ13a,13b…のドレイン端子とそれぞれ接続されている。さらに、駆動スイッチ1
3a,13b…のソース端子は、駆動電圧VDが供給されるソース線14と接続されてい
る。また、駆動スイッチ13a,13b…のゲート端子は、制御回路15と接続されてい
る。
The anode side of the light emitting elements 11a, 11b... Is connected to the drain terminals of the drive switches 13a, 13b. Furthermore, the drive switch 1
The source terminals 3a, 13b... Are connected to the source line 14 to which the drive voltage VD is supplied. Further, the gate terminals of the drive switches 13a, 13b... Are connected to the control circuit 15.

制御回路15は、信号線19および信号線20と接続されるシフトレジスタ16と、シ
フトレジスタ16の出力端子および信号線21と接続されるラッチ回路17と、ラッチ回
路17の出力端子と接続されるデコーダ回路18と、を備えている。ここで、信号線19
にはクロック信号CLKが、信号線20にはデータ信号DATが、信号線21にはラッチ
信号LATがそれぞれ供給される。
Control circuit 15 is connected to shift register 16 connected to signal line 19 and signal line 20, latch circuit 17 connected to the output terminal of shift register 16 and signal line 21, and the output terminal of latch circuit 17. And a decoder circuit 18. Here, the signal line 19
Is supplied with the clock signal CLK, the signal line 20 with the data signal DAT, and the signal line 21 with the latch signal LAT.

データ信号DATは、各発光素子11a,11b…毎の駆動階調値(多値)で構成され
たシリアルデータ信号である。クロック信号CLKに同期されてシフトレジスタ16に転
送されたデータ信号DATは、記録周期に対応したタイミングでラッチされ、デコーダ回
路18で各階調値に応じたパルス波にデコードされる。そして、各駆動スイッチ13a,
13b…のゲート端子にパルス波が印加されることで、各発光素子11a,11b…に駆
動電圧VDが供給され、光が出射される。パルス波は、例えば、階調値が大きくなるほど
時間成分が長くなるような矩形波であり、一記録周期内における電圧供給時間の差で階調
制御がなされるようになっている。
The data signal DAT is a serial data signal composed of drive gradation values (multivalue) for each light emitting element 11a, 11b,. The data signal DAT transferred to the shift register 16 in synchronization with the clock signal CLK is latched at a timing corresponding to the recording cycle, and is decoded by the decoder circuit 18 into a pulse wave corresponding to each gradation value. And each drive switch 13a,
The pulse voltage is applied to the gate terminals 13b, so that the drive voltage VD is supplied to the light emitting elements 11a, 11b, and light is emitted. The pulse wave is, for example, a rectangular wave in which the time component becomes longer as the gradation value increases, and gradation control is performed based on the difference in voltage supply time within one recording cycle.

発光素子11a,11b…のカソード側は、それぞれ抵抗素子22a,22bおよびバ
イパス配線23a,23b…を介して接地線24に接続されている。ここで、バイパス配
線23a,23b…は、抵抗素子22a,22b…と部分的に並列接続された導電配線で
あり、その接続関係によって、発光素子11a,11b…に作用する抵抗素子22a,2
2b…の実質的な負荷抵抗値が調整されるようになっている。尚、抵抗素子22a,22
b…とバイパス配線23a,23b…との接続関係は、対応する発光素子11a,11b
…ごとに個別に設定される。
The cathode side of the light emitting elements 11a, 11b... Is connected to the ground line 24 via the resistance elements 22a, 22b and bypass wirings 23a, 23b. Here, the bypass wirings 23a, 23b... Are conductive wirings partially connected in parallel with the resistance elements 22a, 22b..., And the resistance elements 22a, 2 acting on the light emitting elements 11a, 11b.
The substantial load resistance value of 2b... Is adjusted. The resistance elements 22a and 22
.. and the bypass wirings 23a, 23b,... are connected to the corresponding light emitting elements 11a, 11b.
Each is set individually.

図3に示すように、抵抗素子22a,22b…は、平面構造的には、接地線24から延
出する電極24a,24b…と、電極25a,25b…との間に形成された高抵抗材料膜
(ハッチングで図示)である。
As shown in FIG. 3, the resistance elements 22a, 22b... Are made of a high resistance material formed between the electrodes 24a, 24b... Extending from the ground line 24 and the electrodes 25a, 25b. A membrane (illustrated by hatching).

バイパス配線23a,23b…は、平面構造的には、抵抗素子22a,22b…の一部
に重ねて形成された導電性材料膜である。抵抗素子22a,22b…におけるバイパス配
線23a,23bとの重なり領域(破線領域)は、抵抗成分としての機能を実質的に失う
ことになるため、発光素子11a,11b…(図2参照)に作用する実質的な負荷抵抗値
は、当該重なり領域の程度に応じて決定されることになる。
The bypass wirings 23a, 23b... Are conductive material films that are formed so as to overlap a part of the resistance elements 22a, 22b. The overlapping regions (broken line regions) of the resistance elements 22a, 22b, etc. with the bypass wirings 23a, 23b substantially lose the function as the resistance component, and thus act on the light emitting elements 11a, 11b,. The substantial load resistance value to be determined is determined according to the degree of the overlapping region.

このように、個々の発光素子11a,11b…ごとに、対応する負荷抵抗値の設定がさ
れることで特性の素子間ばらつきが補償されており、かくして、露光ヘッド10は、各発
光素子11a,11b…から一様な輝度の光を出射することが可能となっている。
As described above, by setting the corresponding load resistance value for each of the light emitting elements 11a, 11b,..., The inter-element variation in characteristics is compensated. It is possible to emit light of uniform brightness from 11b.

(液滴吐出装置の構成)
次に、図4を参照して、液滴吐出法において用いる液滴吐出装置について説明する。図
4は、液滴吐出装置の構成の一例を示す模式図である。
(Configuration of droplet discharge device)
Next, a droplet discharge apparatus used in the droplet discharge method will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an example of the configuration of the droplet discharge device.

図4において、液滴吐出装置200は、一面に複数のノズル212を配した吐出ヘッド
201と、吐出ヘッド201と対向する位置に基板202を載置するための載置台203
とを備えている。また、吐出ヘッド201を、基板202との距離を保ったまま縦横に移
動(走査)させる走査手段204と、吐出ヘッド201に機能液を供給する機能液供給手
段205と、吐出ヘッド201の吐出制御を行う吐出制御手段206と、を備えている。
In FIG. 4, the droplet discharge device 200 includes a discharge head 201 having a plurality of nozzles 212 arranged on one surface, and a mounting table 203 for mounting a substrate 202 at a position facing the discharge head 201.
And. Further, a scanning unit 204 that moves (scans) the ejection head 201 vertically and horizontally while maintaining a distance from the substrate 202, a functional liquid supply unit 205 that supplies functional liquid to the ejection head 201, and ejection control of the ejection head 201. And a discharge control means 206 for performing the above.

吐出ヘッド201には、複数に枝分かれした微細な流路が形成されており、当該流路の
端部は、圧力室(キャビティ)211、ノズル212となっている。圧力室211の外郭
の一面は、圧電素子210によって変形可能となっており、吐出制御手段206からの駆
動信号によって圧力室211内に圧力を発生させることで、ノズル212から液滴213
が吐出される。尚、吐出技術としては、この例のような電気機械方式の他に、電気信号を
熱に変換して圧力を発生させるいわゆるサーマル方式などもある。
The discharge head 201 is formed with a plurality of minute flow paths that branch into a pressure chamber (cavity) 211 and a nozzle 212. One surface of the outer wall of the pressure chamber 211 can be deformed by the piezoelectric element 210, and by generating a pressure in the pressure chamber 211 by a drive signal from the discharge control means 206, the droplet 213 is discharged from the nozzle 212.
Is discharged. In addition to the electromechanical system as in this example, the discharge technique includes a so-called thermal system in which an electric signal is converted into heat to generate pressure.

上述の構成において、吐出ヘッド201の走査と同期したノズル212毎の吐出制御を
行うことにより、基板202上に所望のパターンで機能液を配置することが可能となって
いる。尚、液滴吐出装置200は、一走査中において複数種の機能液を吐出可能なように
構成することもできる。
In the above configuration, by performing ejection control for each nozzle 212 in synchronization with the scanning of the ejection head 201, it is possible to dispose the functional liquid in a desired pattern on the substrate 202. The droplet discharge device 200 can also be configured to discharge a plurality of types of functional liquids during one scan.

(露光ヘッドの製造方法)
次に、図2、図3、図5、図6参照して露光ヘッドの製造方法について説明する。図5
は、露光ヘッドの製造工程を示すフローチャートである。図6は、製造の一過程における
回路の部分平面図である。
(Exposure head manufacturing method)
Next, an exposure head manufacturing method will be described with reference to FIGS. 2, 3, 5, and 6. FIG.
These are the flowcharts which show the manufacturing process of an exposure head. FIG. 6 is a partial plan view of a circuit in a manufacturing process.

まず最初の工程では、既知の半導体製造技術等を用いて、発光素子11a,11b…、
抵抗素子22a,22b…、駆動スイッチ13a,13b…、制御回路15、およびこれ
らを接続する各種配線を、基板上に形成する(図5の回路形成工程S1)。このとき、基
板上における抵抗素子22a,22b…は、図6(a)に示すように、一律な寸法で規定
された高抵抗材料膜(ハッチングで図示)として形成されており、それぞれ等しい抵抗値
を有している。
In the first step, the light emitting elements 11a, 11b,...
The resistance elements 22a, 22b,..., The drive switches 13a, 13b..., The control circuit 15, and various wirings connecting them are formed on the substrate (circuit formation step S1 in FIG. 5). At this time, the resistance elements 22a, 22b... On the substrate are formed as high resistance material films (shown by hatching) defined by uniform dimensions, as shown in FIG. have.

次に、工程S1で形成された回路に駆動信号を供給して各発光素子11a,11b…の
駆動を行い、輝度センサー等を用いて素子毎の発光特性(輝度特性)の検出を行う(図5
の特性検出工程S2)。
Next, a drive signal is supplied to the circuit formed in step S1 to drive each of the light emitting elements 11a, 11b..., And a light emission characteristic (luminance characteristic) is detected for each element using a luminance sensor or the like (FIG. 5
Characteristic detection step S2).

次に、図6(b)に示すように、液滴吐出法を用いて抵抗素子22a,22b…と部分
的に重なるように導電性機能液Lをパターン配置し(図5の工程S3)、さらに、導電性
機能液Lを電気炉等で焼成することにより、図3に示すように、バイパス配線23a,2
3b…を形成する(図5の工程S4)。これにより、発光素子11a,11b…に作用す
る負荷抵抗値が、抵抗素子22a,22b…とバイパス配線23a,23b…との重なり
量に応じて減少することになる。すなわち、工程S3および工程S4は、本発明における
負荷調整工程を構成している。
Next, as shown in FIG. 6B, the conductive functional liquid L is arranged in a pattern so as to partially overlap the resistance elements 22a, 22b... Using the droplet discharge method (step S3 in FIG. 5). Further, by firing the conductive functional liquid L in an electric furnace or the like, as shown in FIG.
3b... Are formed (step S4 in FIG. 5). As a result, the load resistance value acting on the light emitting elements 11a, 11b... Decreases according to the amount of overlap between the resistance elements 22a, 22b. That is, step S3 and step S4 constitute a load adjustment step in the present invention.

図6(b)において、抵抗素子22a,22b…と導電性機能液Lとの重なり量は、先
の工程S2で取得した輝度特性の情報に基づいて設定されている。すなわち、輝度特性の
検出値と所定の基準レベルとの差が、負荷抵抗値の減少分で補償されるように、抵抗素子
22a,22b…と導電性機能液Lとの重なり量が設定されるようになっている。尚、検
出値と設定される当該重なり量との関係は、あらかじめ実験により取得されている。
In FIG. 6B, the overlapping amount of the resistance elements 22a, 22b... And the conductive functional liquid L is set based on the luminance characteristic information acquired in the previous step S2. That is, the amount of overlap between the resistance elements 22a, 22b... And the conductive functional liquid L is set so that the difference between the detected value of the luminance characteristic and the predetermined reference level is compensated by the decrease in the load resistance value. It is like that. Note that the relationship between the detected value and the set overlap amount is acquired in advance by experiments.

かくして、工程S3および工程S4を経て、輝度特性の素子間ばらつきが緩和され、各
発光素子11a,11b…は、上記基準レベルと同等の輝度の光を、均一に出射すること
ができるようになる。
Thus, through steps S3 and S4, the variation in luminance characteristics between elements is reduced, and each of the light emitting elements 11a, 11b,... Can emit light with a luminance equivalent to the reference level uniformly. .

導電性機能液Lとしては、具体的には、Au,Ag,Pt等の導電性材料の微粒子化を
分散媒中に分散させたものが用いられる。このような微粒子は、分散性を向上させるため
その表面に有機物(クエン酸など)をコーティングして用いることもできる。また、分散
媒は、上述の微粒化を分散できるもので、凝集を起こさないものであれば特に限定されな
い。具体的には、水の他に、メタノール、エタノールなどのアルコール類、n−ヘプタン
、トルエンなどの炭化水素系化合物、またエチレングリコールジメチルエーテルなどのエ
ーテル系化合物、更にプロピレンカーボネート、N−メチル−2−ピロリドンなどの極性
化合物を挙げることができる。これらは、単独でも、あるいは2種以上の混合物としても
使用することができる。
As the conductive functional liquid L, specifically, a liquid obtained by dispersing fine particles of a conductive material such as Au, Ag, or Pt in a dispersion medium is used. Such fine particles can also be used by coating the surface thereof with an organic substance (such as citric acid) in order to improve dispersibility. The dispersion medium is not particularly limited as long as it can disperse the above-described atomization and does not cause aggregation. Specifically, in addition to water, alcohols such as methanol and ethanol, hydrocarbon compounds such as n-heptane and toluene, ether compounds such as ethylene glycol dimethyl ether, propylene carbonate, N-methyl-2- Mention may be made of polar compounds such as pyrrolidone. These can be used alone or as a mixture of two or more.

また、導電性機能液Lは、液滴吐出装置200(図4参照)における吐出特性や目詰ま
り性、分散の安定性、吐出後における基板上での動的特性や乾燥速度などに鑑みて、分散
媒の蒸気圧、分散質濃度、表面張力、粘度、比重などについて適切な調整がされている。
このため、導電性機能液Lには、界面活性剤や保湿剤、粘度調整剤などを添加することが
できる。
In addition, the conductive functional liquid L is in consideration of the discharge characteristics and clogging properties of the droplet discharge device 200 (see FIG. 4), the stability of dispersion, the dynamic characteristics on the substrate after discharge, the drying speed, and the like. Appropriate adjustments have been made to the vapor pressure, dispersoid concentration, surface tension, viscosity, specific gravity and the like of the dispersion medium.
For this reason, a surfactant, a humectant, a viscosity modifier and the like can be added to the conductive functional liquid L.

最後に、パッケージング等の後工程を行い(図5の工程S5)、露光ヘッド10(図1
参照)が完成する。
(変形例)
次に、図7を参照して、本発明の変形例について、先の実施形態との相違点を中心に説
明する。図7は、変形例における抵抗素子およびバイパス配線の平面構造を示す部分平面
図である。
Finally, a post-process such as packaging is performed (step S5 in FIG. 5), and the exposure head 10 (FIG. 1).
Reference) is completed.
(Modification)
Next, with reference to FIG. 7, the modification of this invention is demonstrated centering on difference with previous embodiment. FIG. 7 is a partial plan view showing a planar structure of the resistance element and the bypass wiring in the modification.

変形例におけるバイパス配線30a,30b…は、電極24a,24b…から一体に延
出し、抵抗素子22a,22b…に平行に伸長する伸長部31a,31b…と、抵抗素子
22a,22b…との接点をなす接点部32a,32b…と、から構成されている。伸長
部31a,31b…は、それぞれ同じ形状、寸法で形成され、接点部32a,32b…は
、液滴吐出法を用いてほぼ同じ大きさで形成される。
In the modified example, the bypass wirings 30a, 30b,... Extend integrally from the electrodes 24a, 24b, and extend between the resistance elements 22a, 22b, and the contact points between the resistance elements 22a, 22b, and so on. Are formed of contact portions 32a, 32b,. The elongated portions 31a, 31b,... Are formed with the same shape and dimensions, and the contact portions 32a, 32b,.

この変形例の態様では、発光素子11a,11b…(図2参照)に作用する実質的な負
荷抵抗値は、伸長部31a,31b…の伸長方向における接点部32a,32b…の位置
によって決められている。すなわち、接点部32a,32b…の位置が電極25a,25
b…寄りになるほど当該負荷抵抗値は小さくなるため、この関係に着目し、輝度特性の素
子間ばらつきを補償するように接点部32a,32b…の位置が設定されるようになって
いる。
In this variation, the substantial load resistance value acting on the light emitting elements 11a, 11b (see FIG. 2) is determined by the positions of the contact portions 32a, 32b,. ing. That is, the positions of the contact portions 32a, 32b.
Since the load resistance value becomes smaller as it becomes closer to b..., the position of the contact portions 32a, 32b... is set so as to compensate for the variation in luminance characteristics between elements.

この変形例のように、バイパス配線については、抵抗素子と基板面方向で並列するよう
にこれを形成することも可能であるし、工程を分割してこれを形成することも可能である
As in this modification, the bypass wiring can be formed so as to be parallel to the resistance element in the substrate surface direction, or can be formed by dividing the process.

本発明は上述の実施形態に限定されない。
例えば、上述の発光素子には、無機発光ダイオードなどを採用することもできる。
また、各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略したり、図示しない他
の構成と組み合わせたりすることができる。
The present invention is not limited to the above-described embodiment.
For example, an inorganic light-emitting diode or the like can be employed for the above-described light-emitting element.
Moreover, each structure of each embodiment can combine these suitably, can be abbreviate | omitted, or can combine with the other structure which is not shown in figure.

画像形成装置の一例の内部構成を示す断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an internal configuration of an example of an image forming apparatus. 露光ヘッドの電気的構成を示す回路図。FIG. 3 is a circuit diagram showing an electrical configuration of an exposure head. 抵抗素子およびバイパス配線の平面構造を示す部分平面図。The partial top view which shows the planar structure of a resistive element and bypass wiring. 液滴吐出装置の構成の一例を示す模式図。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating an example of a configuration of a droplet discharge device. 露光ヘッドの製造工程を示すフローチャート。The flowchart which shows the manufacturing process of an exposure head. (a)および(b)は、製造の一過程における回路の部分平面図。(A) And (b) is a partial top view of the circuit in one process of manufacture. 変形例における抵抗素子およびバイパス配線の平面構造を示す部分平面図。The partial top view which shows the planar structure of the resistive element and bypass wiring in a modification.

符号の説明Explanation of symbols

10…露光ヘッド、11a〜11e…発光素子、13a〜13e…駆動スイッチ、14
…ソース線、15…制御回路、16…シフトレジスタ、17…ラッチ回路、18…デコー
ダ回路、19…信号線、20…信号線、21…信号線、22a〜21e…抵抗素子、23
a〜23e…バイパス配線、24…接地線、24a,24b…電極、25a,25b…電
極、30a,30b…バイパス配線、31a,31b…伸長部、32a,32b…接点部
、41…感光体ドラム、100…画像形成装置。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Exposure head, 11a-11e ... Light emitting element, 13a-13e ... Drive switch, 14
DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Source line, 15 ... Control circuit, 16 ... Shift register, 17 ... Latch circuit, 18 ... Decoder circuit, 19 ... Signal line, 20 ... Signal line, 21 ... Signal line, 22a-21e ... Resistance element, 23
a-23e: bypass wiring, 24: grounding wire, 24a, 24b ... electrode, 25a, 25b ... electrode, 30a, 30b ... bypass wiring, 31a, 31b ... elongating part, 32a, 32b ... contact part, 41 ... photoconductor drum 100: Image forming apparatus.

Claims (5)

複数の発光素子が並列接続されてなる回路を備える露光モジュールの製造方法であって

前記複数の発光素子のそれぞれに直列接続される抵抗素子を含んで、前記回路を形成す
る回路形成工程と、
前記複数の発光素子のそれぞれについて発光特性を検出する特性検出工程と、
前記特性検出工程における検出結果に基づいて、前記発光素子に作用する負荷抵抗値の
調整を行う負荷調整工程と、を有し、
前記負荷調整工程は、バイパス配線を前記抵抗素子に部分的に並列接続することにより
行われることを特徴とする露光モジュールの製造方法。
An exposure module manufacturing method comprising a circuit in which a plurality of light emitting elements are connected in parallel,
A circuit forming step of forming the circuit including a resistance element connected in series to each of the plurality of light emitting elements;
A characteristic detection step of detecting a light emission characteristic for each of the plurality of light emitting elements;
A load adjustment step of adjusting a load resistance value acting on the light emitting element based on a detection result in the characteristic detection step,
The method of manufacturing an exposure module, wherein the load adjusting step is performed by partially connecting a bypass wiring to the resistance element in parallel.
前記負荷調整工程は、液滴吐出法を用いて行われることを特徴とする請求項1に記載の
露光モジュールの製造方法。
The method of manufacturing an exposure module according to claim 1, wherein the load adjustment step is performed using a droplet discharge method.
複数の発光素子が並列接続されてなる回路を備える露光モジュールであって、
前記回路は、前記複数の発光素子のそれぞれに直列接続される抵抗素子と、前記抵抗素
子に部分的に並列接続されるバイパス配線と、を備えることを特徴とする露光モジュール
An exposure module comprising a circuit in which a plurality of light emitting elements are connected in parallel,
An exposure module comprising: a resistance element connected in series to each of the plurality of light emitting elements; and a bypass wiring partially connected in parallel to the resistance element.
前記バイパス配線と前記抵抗素子との接続関係は、対応する前記発光素子ごとに個別に
設定されていることを特徴とする請求項3に記載の露光モジュール。
4. The exposure module according to claim 3, wherein the connection relationship between the bypass wiring and the resistance element is individually set for each of the corresponding light emitting elements.
請求項3または4に記載の露光モジュールを備える画像形成装置。
An image forming apparatus comprising the exposure module according to claim 3.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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