JP2007098482A - Safety device of machine tool and machine tool including the safety device - Google Patents

Safety device of machine tool and machine tool including the safety device Download PDF

Info

Publication number
JP2007098482A
JP2007098482A JP2005287870A JP2005287870A JP2007098482A JP 2007098482 A JP2007098482 A JP 2007098482A JP 2005287870 A JP2005287870 A JP 2005287870A JP 2005287870 A JP2005287870 A JP 2005287870A JP 2007098482 A JP2007098482 A JP 2007098482A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
fluid
chamber
machine tool
supply unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005287870A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Eiichiro Someya
英一郎 染谷
Tomonori Maehara
智憲 前原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Citizen Watch Co Ltd
Original Assignee
Citizen Watch Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Citizen Watch Co Ltd filed Critical Citizen Watch Co Ltd
Priority to JP2005287870A priority Critical patent/JP2007098482A/en
Publication of JP2007098482A publication Critical patent/JP2007098482A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a safety device of a machine tool, functioning as a means for striking a balance of an elevating member and a shock absorbing means for preventing drop and a sudden rise of the elevating member in one device. <P>SOLUTION: This safety device of a machine tool includes: a hydraulic cylinder 151 interlocking with the elevating operation of the elevating member; and a lock mechanism 16, wherein the lock mechanism includes: a lock member 160 for regulating lowering of a piston rod 152a of the hydraulic cylinder 151 when power supply interruption occurs; a pressure chamber 161 for releasing locking of the lock member 169 by a pressure fluid supplied from a second fluid supply part 166; and a pressure reducing part 163 for reducing the pressure of a fluid in the pressure chamber 161 when power supply interruption or the like occurs to lock the piston rod 152a. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、昇降自在な主軸や刃物台等の昇降部材を有する工作機械において、前記昇降部材の重量バランスを取りつつ、停電時等の電源遮断時に前記昇降部材の落下を防止する工作機械の安全装置及びこの安全装置を備えた工作機械に関する。   The present invention relates to a machine tool having a lifting and lowering member such as a spindle and a turret that can be moved up and down, while maintaining the weight balance of the lifting and lowering member, and preventing the lifting and lowering member from dropping when the power is cut off during a power failure or the like. The present invention relates to a device and a machine tool provided with the safety device.

昇降自在な主軸や刃物台等の昇降部材を有する工作機械として、例えば、主軸を回転自在に支持する主軸頭と、この主軸頭を支持するラムと、このラムを昇降させる昇降手段とを有し、前記主軸の先端に装着した工具で、ラム下方のテーブルに固定されたワークの加工を行うものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開平11−347873号公報
As a machine tool having a lifting and lowering member such as a spindle and a tool post that can be raised and lowered, for example, a spindle head that rotatably supports the spindle, a ram that supports the spindle head, and a lifting means that lifts and lowers the ram A tool that is mounted on the tip of the spindle and that processes a workpiece fixed to a table below the ram is known (see, for example, Patent Document 1).
JP-A-11-347873

図7は上記の特許文献1に記載されている工作機械の概略図である。
ベッド1上にコラム3が立設され、コラム3の前面(図の左側の面)には、Y方向(紙面に直交する方向)に延びるガイド5aが設けられている。また、コラム3の前面には、ガイド5aに案内されながらY方向に進退移動するサドル4が設けられている。
テーブル2に固定されたワークを加工するための工具Tを下端に装着する主軸9は、主軸頭8に回転自在に支持されている。また、主軸頭8は、サドル4の前面で昇降するラム7に取付けられている。ラム7は、サドル4の前面にZ方向(上下方向)に設けられたガイド6に案内されながら、Z方向に昇降する。
FIG. 7 is a schematic view of the machine tool described in Patent Document 1 described above.
A column 3 is erected on the bed 1, and a guide 5 a extending in the Y direction (a direction perpendicular to the paper surface) is provided on the front surface (the left surface in the drawing) of the column 3. Further, a saddle 4 that moves forward and backward in the Y direction while being guided by the guide 5a is provided on the front surface of the column 3.
A spindle 9 on which a tool T for machining a workpiece fixed to the table 2 is mounted at the lower end is rotatably supported by the spindle head 8. The spindle head 8 is attached to a ram 7 that moves up and down on the front surface of the saddle 4. The ram 7 moves up and down in the Z direction while being guided by a guide 6 provided in the Z direction (vertical direction) on the front surface of the saddle 4.

ラム7を昇降させる駆動体としてのリニアモータ10は、ラム7の後面に取り付けられた磁石10bと、この磁石10bに対向してサドル4の前面に配置されたコイル10aとからなり、コイル10aに電力を供給することで、ラム7がガイド6に案内されながら昇降する。
また、図示の工作機械では、重量物であるラム7を昇降させる際のリニアモータ10の負荷を軽減するために、ラム7の下方に付勢手段としてのばね11を設け、このばね11によってラム7を常時上方に付勢している。
A linear motor 10 as a driving body for raising and lowering the ram 7 includes a magnet 10b attached to the rear surface of the ram 7 and a coil 10a disposed on the front surface of the saddle 4 so as to face the magnet 10b. By supplying electric power, the ram 7 moves up and down while being guided by the guide 6.
In the illustrated machine tool, a spring 11 as an urging means is provided below the ram 7 in order to reduce the load on the linear motor 10 when raising and lowering the heavy ram 7. 7 is always biased upward.

上記構成の工作機械では、停電等によりリニアモータ10のコイル10aへの電力供給が遮断されると、ラム7がばね11によって押し上げられ、サドル4の上端に衝突して、主軸頭8,主軸9,ラム7又はサドル4を破損させるおそれがある。
そこで、特許文献1に記載の工作機械では、サドル4の上端に、電源遮断時にラム7が上昇しないように規制して、ラム7とサドル4との衝突を防止するシリンダ装置12を設けている。
In the machine tool having the above configuration, when the power supply to the coil 10a of the linear motor 10 is interrupted due to a power failure or the like, the ram 7 is pushed up by the spring 11 and collides with the upper end of the saddle 4 to cause the spindle head 8 and the spindle 9 , The ram 7 or the saddle 4 may be damaged.
Therefore, in the machine tool described in Patent Document 1, a cylinder device 12 that prevents the ram 7 from colliding with the saddle 4 is provided at the upper end of the saddle 4 so that the ram 7 does not rise when the power is shut off. .

このシリンダ装置12は、液体や気体を作動媒体とするシリンダ121を主構成要素とする。そして、サドル4の上端を挿通させたシリンダ121の進退移動自在なピストンロッド122aの先端を、ラム7の上端に連結させている。
シリンダ121の内部は、ピストンロッド122aを取り付けるピストン122によって、第一チャンバ121aと第二チャンバ121bとに仕切られていて、第一チャンバ121aと第二チャンバ121bとは流体配管124により連通状に連結されている。
The cylinder device 12 includes a cylinder 121 having a liquid or gas as a working medium as a main component. The tip of a piston rod 122 a that allows the cylinder 121 inserted into the upper end of the saddle 4 to move forward and backward is connected to the upper end of the ram 7.
The inside of the cylinder 121 is partitioned into a first chamber 121a and a second chamber 121b by a piston 122 to which a piston rod 122a is attached, and the first chamber 121a and the second chamber 121b are connected in a communication manner by a fluid pipe 124. Has been.

流体配管124の途中部位には、電磁弁123が設けられていて、電源遮断時にこの電磁弁123が切り換わることにより、第一チャンバ121aと第二チャンバ121bとの間の流体の流通を規制することができるようになっている。
上記構成のシリンダ装置12によれば、通常の運転時に、ラム7は、ばね11の付勢を受けた状態でリニアモータ10の駆動によって昇降するが、このとき、シリンダ121では、第一チャンバ121aと第二チャンバ121bとの間を流体が自由に行き来するので、ラム7の昇降に追随してピストン122が移動し、シリンダ121からラム7に大きな負荷が作用することはない。
An electromagnetic valve 123 is provided in the middle of the fluid pipe 124, and the flow of fluid between the first chamber 121a and the second chamber 121b is restricted by switching the electromagnetic valve 123 when the power is shut off. Be able to.
According to the cylinder device 12 configured as described above, during normal operation, the ram 7 is lifted and lowered by driving the linear motor 10 while being biased by the spring 11. At this time, the cylinder 121 has the first chamber 121 a. Since the fluid freely moves between the second chamber 121 b and the second chamber 121 b, the piston 122 moves following the raising and lowering of the ram 7, and a large load does not act on the ram 7 from the cylinder 121.

停電等により電源が遮断されると、電磁弁123が瞬時に切り換わって流体配管124内の流体の流通を規制し、ピストン122が移動しないようにする。ラム7は、ばね11の付勢力によって持ち上げられようとするが、ピストン122の移動が規制されているため、サドル4の上端に衝突するという不都合を回避することができる。   When the power supply is cut off due to a power failure or the like, the solenoid valve 123 is instantaneously switched to restrict the flow of the fluid in the fluid piping 124 so that the piston 122 does not move. Although the ram 7 tends to be lifted by the urging force of the spring 11, since the movement of the piston 122 is restricted, the inconvenience of colliding with the upper end of the saddle 4 can be avoided.

しかし、上記構成の工作機械では、ばね11によりラム7の重量バランスをとっているが、ばね11はその変形量によって付勢力が変化するため、ラム7の位置によってラム7に作用する付勢力が異なり、特にばね11の付勢力が大きくなるガイド6の下端付近では、リニアモータ10に大きな負荷が作用してスムースかつ迅速な昇降動作が困難になるという問題がある。
また、ラム7の重量バランスをとるばね11と、シリンダ装置12とを別々に設けているため、工作機械の装置構成が複雑になり、工作機械を大型化させるという問題もある。
However, in the machine tool configured as described above, the weight of the ram 7 is balanced by the spring 11. However, since the urging force of the spring 11 changes depending on the amount of deformation, the urging force that acts on the ram 7 depends on the position of the ram 7. In contrast, particularly near the lower end of the guide 6 where the urging force of the spring 11 is large, there is a problem that a large load acts on the linear motor 10 to make smooth and quick lifting operation difficult.
In addition, since the spring 11 for balancing the weight of the ram 7 and the cylinder device 12 are provided separately, the device configuration of the machine tool becomes complicated and there is a problem that the machine tool is enlarged.

本発明は上記の問題に鑑みてなされたもので、ラムや主軸のように昇降する昇降部材の重量バランスをとるための手段と、電源遮断時等に前記昇降部材の落下や急上昇を防止して装置の損傷を防止するための緩衝手段とを一つの装置で行うことができ、かつ、前記重量バランスを、昇降部材の位置に関係なく一定にすることのできる工作機械の安全装置及びこの安全装置を備えた工作機械の提供を目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and means for balancing the weight of a lifting member that moves up and down, such as a ram and a spindle, and prevents the lifting member from dropping or suddenly rising when the power is shut off. A safety device for a machine tool that can perform shock absorbing means for preventing damage to the device with a single device, and can make the weight balance constant regardless of the position of the elevating member, and the safety device It aims at providing the machine tool provided with.

上記課題を解決するために、本発明の安全装置は、モータその他の駆動手段により昇降する昇降部材を備えた工作機械に設けられ、電源遮断等が発生したときに前記昇降部材の落下を防止する安全装置であって、前記昇降部材の上方又は下方に設けられ、進退移動自在なピストンロッドが前記昇降部材の昇降動作に連動して移動する流体圧シリンダと、この流体圧シリンダの内部に設けられ、前記ピストンロッドとともに前記流体圧シリンダの内部で進退移動するピストンと、前記流体圧シリンダの内部に設けられ、前記ピストンによって仕切られた第一チャンバ及び第二チャンバと、前記第一チャンバに一定の圧力の流体を供給する第一流体供給部と前記第一チャンバとの間に設けられ、前記第一チャンバの圧力を前記第一流体供給部の流体の圧力と均等な圧力に維持する圧力均等維持手段を備えた第一圧力保持手段と、前記ピストンロッドの進退移動経路の途中部位に設けられ、電源遮断等が発生したときに前記ピストンロッドと係合して前記ピストンロッドの下降を規制するロック部材と、第二流体供給部から供給される所定圧力の流体が充填され、前記所定圧力の流体により前記ロック部材を前記ピストンロッドから離間させる圧力室と、電源遮断等が発生した時に前記圧力室の前記流体の圧力を減圧させて前記ロック部材により前記ピストンロッドをロックする減圧部とを有するロック機構と、前記第二チャンバの流体の圧力を前記第一チャンバの流体の圧力と異なる一定の圧力に保持する第二圧力保持手段とを備え、前記第一チャンバの流体の圧力と前記第二チャンバの流体の圧力との差により生じる前記ピストンの推力を、前記昇降部材の重量バランスに応じた大きさ構成としてある。
前記減圧部は、工作機械の正常運転時には前記圧力室と前記第二流体供給部とを連通状にし、前記電源遮断時等には前記圧力室を大気中に開放する切換弁とするとよい。
In order to solve the above-described problems, the safety device of the present invention is provided in a machine tool including a lifting member that is lifted and lowered by a motor or other driving means, and prevents the lifting member from falling when a power interruption occurs. A safety device, which is provided above or below the elevating member and includes a fluid pressure cylinder in which a piston rod that can move forward and backward moves in conjunction with the elevating operation of the elevating member, and the fluid pressure cylinder. A piston that moves forward and backward in the fluid pressure cylinder together with the piston rod; a first chamber and a second chamber that are provided in the fluid pressure cylinder and partitioned by the piston; A first fluid supply unit configured to supply a fluid having a pressure and the first chamber; A first pressure holding means having a pressure equality maintaining means for maintaining a pressure equal to the pressure of the pressure rod, and a piston pressure rod that is provided in the middle of the forward / backward movement path of the piston rod. And a pressure chamber that is filled with a predetermined pressure fluid supplied from a second fluid supply unit and that separates the lock member from the piston rod by the predetermined pressure fluid. And a pressure-reducing part that depressurizes the fluid pressure in the pressure chamber and locks the piston rod by the lock member when a power interruption occurs, and a pressure of the fluid in the second chamber Second pressure holding means for holding a constant pressure different from the pressure of the fluid in the first chamber, and the pressure of the fluid in the first chamber and the second chamber The thrust of the piston caused by the difference between the pressure of the fluid, there a size configuration in accordance with the weight balance of the elevation member.
The pressure reducing unit may be a switching valve that communicates the pressure chamber and the second fluid supply unit during normal operation of the machine tool and opens the pressure chamber to the atmosphere when the power is shut off.

この構成によれば、工作機械の正常運転時には、第一チャンバと第二チャンバとの間の圧力差を常時一定に保ち、この圧力差によって生じる前記ピストンの推力を、前記昇降部材の重量バランスに応じた大きさにすることができる。
そのため、前記昇降部材の位置にかかわらず、常時一定の力で前記昇降部材を持ち上げることができる。また、前記圧力差は、昇降部材の重量バランスに応じた大きさとしてあるので、最下降位置と最上昇位置の間でスムースかつ迅速な昇降部材の昇降動作を実現することができる。
また、電源遮断時等にも、ロック機構がピストンロッドと係合してピストンロッドが昇降しないようにするので、ラムや主軸等の昇降部材の落下を防止することができる。
According to this configuration, during normal operation of the machine tool, the pressure difference between the first chamber and the second chamber is always kept constant, and the thrust of the piston generated by this pressure difference is used as the weight balance of the lifting member. Can be sized accordingly.
Therefore, regardless of the position of the elevating member, the elevating member can be lifted with a constant force at all times. Further, since the pressure difference has a magnitude corresponding to the weight balance of the elevating member, a smooth and quick elevating operation of the elevating member can be realized between the lowest lowered position and the highest raised position.
Further, since the lock mechanism is engaged with the piston rod so that the piston rod does not move up and down even when the power is shut off, it is possible to prevent the raising and lowering members such as the ram and the main shaft from falling.

ここで、「工作機械の正常運転時」とは、電源ONにおける工作機械への電力の供給状態が正常で、安全装置で使用されるエア等の流体の圧力も正常である場合を含む。
また、「電源遮断時等」には、電源OFFの場合の他、安全装置で使用されるエア等の流体の圧力が異常である場合を含む。
さらに、第一流体供給部及び第二流体供給部は、工作機械に備え付けられたものであってもよいし、工作機械の外部に設けられたものであってもよい。
Here, “at the time of normal operation of the machine tool” includes a case where the power supply state to the machine tool when the power is turned on is normal and the pressure of fluid such as air used in the safety device is also normal.
Further, “when the power is shut off” includes not only the case where the power is turned off but also the case where the pressure of the fluid such as air used in the safety device is abnormal.
Further, the first fluid supply unit and the second fluid supply unit may be provided in the machine tool or may be provided outside the machine tool.

また、前記第一流体供給部にレギュレータ等の圧力調整手段を設け、前記第一チャンバに供給する流体の圧力を前記圧力調整手段で調整自在とすることで、前記流体圧シリンダの前記ピストンの推力を前記昇降部材の重量バランスに応じた適切な大きさに調整することができる。また、工具等の交換により、前記昇降部材の重量が変化しても、変化した重量バランスに応じて流体の圧力を調整することが可能になる。   The first fluid supply unit is provided with pressure adjusting means such as a regulator, and the pressure of the fluid supplied to the first chamber is adjustable by the pressure adjusting means, so that the thrust of the piston of the fluid pressure cylinder Can be adjusted to an appropriate size according to the weight balance of the elevating member. Further, even if the weight of the elevating member is changed by exchanging a tool or the like, the pressure of the fluid can be adjusted according to the changed weight balance.

本発明においては、第二チャンバの圧力保持手段は、前記第二チャンバを外気に連通させる連通部として構成するとよい。このようにすることで、第一チャンバに供給される流体の種類にかかわらず、第二チャンバの圧力を常時大気圧に保つことができる。   In the present invention, the pressure holding means of the second chamber may be configured as a communication portion that allows the second chamber to communicate with outside air. By doing in this way, the pressure of the second chamber can always be maintained at atmospheric pressure regardless of the type of fluid supplied to the first chamber.

また、第二チャンバについても、第一チャンバと同様に流体供給部を連結し、この流体供給部により圧力を一定に保つことができるようにしてもよい。
具体的には、前記第二圧力保持手段が、前記第二チャンバに一定の圧力の流体を供給する第三流体供給部と前記第二チャンバとの間に設けられ、前記第二チャンバの圧力を前記第三流体供給部の流体の圧力と均等な圧力に維持する圧力均等維持手段を有する構成とするとよい。
In addition, the fluid supply unit may be connected to the second chamber similarly to the first chamber so that the pressure can be kept constant by the fluid supply unit.
Specifically, the second pressure holding means is provided between the second chamber and a third fluid supply unit that supplies a fluid having a constant pressure to the second chamber, and the pressure of the second chamber is reduced. It is preferable to have a pressure equality maintaining means for maintaining a pressure equal to the pressure of the fluid in the third fluid supply unit.

前記第一チャンバに流体を供給する第一流体供給部と、前記第二チャンバに流体を供給する第三流体供給部とは同一の流体供給部であってもよい。この場合は、レギュレータ等の圧力調整手段により、前記第一チャンバに供給する流体の圧力と前記第二チャンバに供給する流体の圧力とを異ならせるようにするとよい。
第一チャンバ及び第二チャンバに供給される流体がエア等の気体のように圧縮性及び膨張性の大きい流体である場合、工具の着脱等により昇降部材の重量が急激に変化すると、前記第一チャンバの流体が圧縮又は膨張するとともに前記第二チャンバの流体が膨張又は圧縮して、ピストンとともに昇降部材を大きく移動させるという問題がある。そこで、第一チャンバだけでなく第二チャンバにも流体供給部から一定圧力の流体を供給するようにし、第一チャンバ及び第二チャンバ内の流体の圧力を予め高めに設定することで、第一チャンバ及び第二チャンバの流体の圧縮量及び膨張量を小さくすることができ、前記ピストン及び昇降部材の移動量を小さくすることができる。
The first fluid supply unit that supplies fluid to the first chamber and the third fluid supply unit that supplies fluid to the second chamber may be the same fluid supply unit. In this case, the pressure of the fluid supplied to the first chamber may be made different from the pressure of the fluid supplied to the second chamber by a pressure adjusting means such as a regulator.
When the fluid supplied to the first chamber and the second chamber is a fluid having a high compressibility and expandability such as a gas such as air, if the weight of the elevating member suddenly changes due to attachment / detachment of a tool, the first There is a problem that the fluid in the chamber is compressed or expanded and the fluid in the second chamber is expanded or compressed to move the lifting member together with the piston. Therefore, by supplying a constant pressure of fluid from the fluid supply unit not only to the first chamber but also to the second chamber, and setting the pressure of the fluid in the first chamber and the second chamber to be high in advance, The amount of compression and expansion of the fluid in the chamber and the second chamber can be reduced, and the amount of movement of the piston and the lifting member can be reduced.

また、前記第一チャンバ及び/又は第二チャンバに供給する流体が液体である場合に、前記排出口から排出された前記流体を回収する流体回収手段を設けてもよい。
このようにすることで、前記排出口から排出された流体を流体供給部等に戻して再利用することが可能になる。
In addition, when the fluid supplied to the first chamber and / or the second chamber is a liquid, fluid recovery means for recovering the fluid discharged from the discharge port may be provided.
In this way, the fluid discharged from the discharge port can be returned to the fluid supply unit and reused.

本発明においては、前記第一流体供給部と前記第二流体供給部とを共通の流体供給部としてもよい。そして、前記切換弁を、前記流体供給部から前記第一チャンバ及び前記圧力室又は前記第一チャンバ,前記第二チャンバ及び前記圧力室にエアを供給するためのエア配管の合流点よりも前記流体供給部側に設けてもよい。   In the present invention, the first fluid supply unit and the second fluid supply unit may be a common fluid supply unit. Then, the switching valve is connected to the first chamber and the pressure chamber from the fluid supply unit, or the fluid from a confluence of air piping for supplying air to the first chamber, the second chamber and the pressure chamber. You may provide in the supply part side.

前記した第一圧力保持手段及び/又は第二圧力保持手段の圧力均等維持手段は、前記流体供給部に連結された入口と、前記第一チャンバ及び/又は第二チャンバに連結された出口と、前記流体の排出口と、前記入口と前記出口とを連通状に連結する第一通路と、前記出口と前記排出口とを連通状に連結する第二通路と、前記第一通路と前記第二通路とを選択的に切り換える弁体とを有し、前記出口側の流体の圧力が前記入口側の流体の圧力よりも高くなったときに、前記弁体が前記第一通路を閉じて前記第二通路を開き、前記出口から前記排出口に流体が流れるようにし、前記出口側の流体の圧力が前記入口側の流体の圧力よりも低くなったときに、前記弁体が前記第二通路を閉じて前記第一通路を開き、前記入口から前記出口に流体が流れるようにして、前記ピストンの推力を前記昇降部材の重量バランスに応じた一定の大きさに保つ構成としてもよい。   The pressure equalization maintaining means of the first pressure holding means and / or the second pressure holding means includes an inlet connected to the fluid supply unit, an outlet connected to the first chamber and / or the second chamber, The fluid discharge port, the first passage that connects the inlet and the outlet in a communication manner, the second passage that connects the outlet and the discharge port in a communication manner, the first passage, and the second passage A valve body that selectively switches between the passages, and when the pressure of the fluid on the outlet side becomes higher than the pressure of the fluid on the inlet side, the valve body closes the first passage and When the pressure of the fluid on the outlet side becomes lower than the pressure of the fluid on the inlet side, the valve body opens the second passage. Close and open the first passage, fluid flows from the inlet to the outlet And so it may be configured to maintain the thrust of the piston to a certain magnitude corresponding to the weight balance of the elevation member.

このように構成することで、前記モータその他の駆動手段による昇降部材の昇降動作に追随して流体圧シリンダ内で前記ピストンが移動しても、第一チャンバ及び/又は第二チャンバ内の流体の圧力を常に流体供給部から供給される流体の圧力と同じにすることができる。   With this configuration, even if the piston moves in the fluid pressure cylinder following the lifting / lowering operation of the lifting / lowering member by the motor or other driving means, the fluid in the first chamber and / or the second chamber is moved. The pressure can always be the same as the pressure of the fluid supplied from the fluid supply unit.

本発明の工作機械は、上記構成のいずれかの安全装置を備えた構成としてある。
本発明の工作機械によれば、停電等の電源遮断が生じても、安全装置により昇降部材が落下等することなく、停電等が生じたときの位置に保持することができる。
The machine tool of the present invention is configured to include any one of the safety devices described above.
According to the machine tool of the present invention, even if a power interruption such as a power failure occurs, the elevating member is not dropped by the safety device and can be held at the position when the power failure occurs.

本発明は上記のように構成されているので、主軸やラム等の昇降部材に対し、常に一定の付勢力で重量バランスをとることができ、昇降部材の位置にかかわらず、スムースで迅速な昇降動作を行うことができる。
また、停電等により電源遮断が生じた場合にも、ただちにロック機構がピストンロッドの昇降を規制するので、前記昇降部材が落下して装置を破損するという不具合も防止することができる。
Since the present invention is configured as described above, it is possible to always maintain a weight balance with a constant biasing force with respect to elevating members such as the main shaft and ram, and smooth and quick elevating regardless of the position of the elevating member. The action can be performed.
In addition, even when the power is cut off due to a power failure or the like, the lock mechanism immediately controls the lifting and lowering of the piston rod, so that the problem that the lifting member falls and damages the device can be prevented.

さらに、重量バランスの付与と昇降部材の落下等防止とを単一の安全装置によって行うことができるので、工作機械を大型化したり複雑化したりすることもない。
本発明の工作機械によれば、工作機械の稼働中に停電等の電源遮断が生じても、昇降部材は電源遮断が生じた位置で停止して落下等することがないので、工具やその他の構成部材を損傷したりすることなく、保守・点検等の際にも安全に作業を行うことができる。
Furthermore, since it is possible to perform weight balance and prevent the lifting member from being dropped by a single safety device, the machine tool is not enlarged or complicated.
According to the machine tool of the present invention, even if a power interruption such as a power failure occurs during operation of the machine tool, the elevating member does not stop at the position where the power interruption occurs and does not fall down. Work can be performed safely during maintenance and inspection without damaging the components.

以下、本発明の好適な実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、本発明の安全装置を備えた工作機械の一例を示す図である。なお、以下の説明では、図7に示す工作機械と同一部材、同一部位には同一符号を付して詳しい説明は省略する。
図1に示すように、この実施形態の工作機械では、サドル4の下端とラム7との間に、エアシリンダ151を有する安全装置15を設けている。そして、エアシリンダ151の進退移動自在なピストンロッド152aでラム7を下方から支持している。
ピストンロッド152aとラム7とは連結してもよいが、この実施形態のようにラム7の下方にエアシリンダ151を配置する場合には、ピストンロッド152aの上にラム7を載置するようにするとよい。
このように、ラム7とピストンロッド152aとを非連結状態にすれば、例えば工作機械のトラブル発生時に、小型のラムを作業者が手作業で移動させて、トラブルの迅速な修復を図ることができるという利点がある。
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram showing an example of a machine tool provided with the safety device of the present invention. In the following description, the same members and parts as those of the machine tool shown in FIG.
As shown in FIG. 1, in the machine tool of this embodiment, a safety device 15 having an air cylinder 151 is provided between the lower end of the saddle 4 and the ram 7. The ram 7 is supported from below by a piston rod 152a that allows the air cylinder 151 to move forward and backward.
The piston rod 152a and the ram 7 may be connected. However, when the air cylinder 151 is disposed below the ram 7 as in this embodiment, the ram 7 is placed on the piston rod 152a. Good.
As described above, if the ram 7 and the piston rod 152a are disconnected, for example, when trouble occurs in the machine tool, the operator can manually move the small ram to quickly repair the trouble. There is an advantage that you can.

[第一の実施形態]
図2は、本発明の安全装置の第一の実施形態にかかり、その構成を説明するブロック図である。
エアシリンダ151の内部は、ピストンロッド152aとともに進退移動するピストン152によって第一チャンバ151a(図2の下方)と第二チャンバ151b(同上方)とに仕切られている。
第二チャンバ151bはサイレンサ157を介して外気に連通しており、その内部圧力が常に大気圧に保たれるようになっている。この実施形態では、第二チャンバ151bを外気に連通させる連通部(孔)が、第二チャンバ151bのエアの圧力を一定(大気圧)に保つ第二圧力保持手段を構成する。
[First embodiment]
FIG. 2 is a block diagram illustrating the configuration according to the first embodiment of the safety device of the present invention.
The interior of the air cylinder 151 is partitioned into a first chamber 151a (lower part in FIG. 2) and a second chamber 151b (upper part) by a piston 152 that moves forward and backward together with the piston rod 152a.
The second chamber 151b communicates with the outside air through the silencer 157, and the internal pressure is always kept at atmospheric pressure. In this embodiment, the communication portion (hole) that allows the second chamber 151b to communicate with the outside air constitutes a second pressure holding unit that keeps the air pressure in the second chamber 151b constant (atmospheric pressure).

なお、第二圧力保持手段をこのような連通部とすることで、第一チャンバ151aに供給される流体の種類と無関係に、つまり、第一チャンバ151aに供給される流体がエア以外の例えば油や水のような液体であっても、第二チャンバ151bの圧力を大気圧で一定に保つことができるという利点がある。そして、ラム7の昇降動作に伴うピストン152の移動に追随して、外気中のエアが第二チャンバ151bに出入りする。   In addition, by setting the second pressure holding means as such a communication portion, the fluid supplied to the first chamber 151a is an oil other than air, for example, oil regardless of the type of fluid supplied to the first chamber 151a. Even if it is a liquid like water or water, there exists an advantage that the pressure of the 2nd chamber 151b can be kept constant at atmospheric pressure. The air in the outside air enters and exits the second chamber 151b following the movement of the piston 152 as the ram 7 moves up and down.

また、第一チャンバ151aは、エア配管154を介して圧力均等維持手段であるクイックエキゾーストバルブ155及び流体供給部であるエアタンク156に連結されている。エアタンク156は、工作機械の本体に備えられていてもよいし、工作機械の外部に設けられていてもよい。   The first chamber 151a is connected via an air pipe 154 to a quick exhaust valve 155 that is a pressure uniformity maintaining means and an air tank 156 that is a fluid supply unit. The air tank 156 may be provided in the main body of the machine tool or may be provided outside the machine tool.

なお、エアタンク156に貯蔵されるエアの圧力は、第一チャンバ151aのエアの圧力と第二チャンバ151bのエアの圧力(大気圧)との差によって生じるピストン152の推力が、ラム7の重量バランスに応じた大きさになるものである。エアの圧力は、重量バランスに必要な力とピストン152の面積とによって決定される。例えば、ラム7の重量が80Nで、ピストン152の直径が2cm(3.14cm)である場合は、ラム7との重量バランスに必要な第一チャンバ151aのエアの圧力と第二チャンバ151bのエアの圧力との差は0.26MPaと算出することができる。 The pressure of the air stored in the air tank 156 is the weight balance of the ram 7 by the thrust of the piston 152 generated by the difference between the air pressure in the first chamber 151a and the air pressure (atmospheric pressure) in the second chamber 151b. It becomes the size according to. The air pressure is determined by the force required for weight balance and the area of the piston 152. For example, when the weight of the ram 7 is 80 N and the diameter of the piston 152 is 2 cm (3.14 cm 2 ), the air pressure of the first chamber 151a necessary for the weight balance with the ram 7 and the second chamber 151b The difference from the air pressure can be calculated as 0.26 MPa.

また、エアタンク156又はエアタンク156近傍のエア配管154に、圧力調整手段としてのレギュレータ156aを設けることで、エアタンク156から第一エアチャンバ151aに供給されるエアの圧力を、ラム7の重量バランスに最適な圧力に調整することが可能になるだけでなく、装着する工具等の違いによってラム7の重量が変化しても、重量の変化に応じてエアの圧力を微調整することが可能になる。   Further, by providing a regulator 156a as a pressure adjusting means in the air tank 156 or an air pipe 154 in the vicinity of the air tank 156, the pressure of the air supplied from the air tank 156 to the first air chamber 151a is optimal for the weight balance of the ram 7 In addition to being able to adjust to a certain pressure, even if the weight of the ram 7 changes due to a difference in tools to be mounted, the air pressure can be finely adjusted according to the change in weight.

クイックエキゾーストバルブ155は、一定の圧力のエアを貯蔵するエアタンク156に入口(in)側が連結されるとともに、出口(out)側が第一チャンバ151aに連結されている。そして、出口(out)側の流体の圧力が入口(in)側の流体の圧力よりも高くなったときに、出口(out)側のエアを排気することで第一チャンバ151aのエアの圧力を、エアタンク156から供給されるエアの圧力と均等に維持する。   The quick exhaust valve 155 has an inlet (in) side connected to an air tank 156 that stores air at a constant pressure, and an outlet (out) side connected to the first chamber 151a. Then, when the pressure of the fluid on the outlet (out) side becomes higher than the pressure of the fluid on the inlet (in) side, the air pressure in the first chamber 151a is reduced by exhausting the air on the outlet (out) side. The pressure of the air supplied from the air tank 156 is kept equal.

図3は、上記したクイックエキゾーストバルブ155の一例にかかり、その原理を説明する図である。
クイックエキゾーストバルブ155のエア流路155aの途中部位には、入口(in)側と排気口(ex)側との間で進退移動する弁体155bが挿入されている。この弁体155bは略円錐台形状に形成されていて、エア流路155aの途中部位に形成された円錐状の座155cと嵌合するようになっている。
FIG. 3 is a diagram illustrating an example of the quick exhaust valve 155 described above and explaining the principle thereof.
A valve body 155b that moves forward and backward between the inlet (in) side and the exhaust port (ex) side is inserted in the middle portion of the air flow path 155a of the quick exhaust valve 155. The valve body 155b is formed in a substantially truncated cone shape, and is fitted to a conical seat 155c formed in the middle of the air flow path 155a.

出口(out)側のエアの圧力が入口(in)側のエアの圧力よりも高いときには、弁体155bは座155cに押し付けられていて、エアタンク156から第一チャンバ155aへエアが流れないようになっている。また、弁体155bが座155cに押し付けられることで、外気に連通する排気口が開口し、第一チャンバ151aの圧力上昇分のエアが出口(out)側から排気口(ex)側へ流れ、外気中に放出される。なお、図2に示すように、クイックエキゾーストバルブ155の排気口(ex)側には、排気音を低減させるためのサイレンサ157を取り付けてもよい。   When the pressure of the air on the outlet (out) side is higher than the pressure of the air on the inlet (in) side, the valve body 155b is pressed against the seat 155c so that air does not flow from the air tank 156 to the first chamber 155a. It has become. Further, when the valve body 155b is pressed against the seat 155c, the exhaust port communicating with the outside air opens, and the air corresponding to the pressure increase in the first chamber 151a flows from the outlet (out) side to the exhaust port (ex) side, Released into the open air. As shown in FIG. 2, a silencer 157 for reducing exhaust noise may be attached to the exhaust port (ex) side of the quick exhaust valve 155.

第一チャンバ151aの圧力上昇分のエアが排気されて、第一チャンバ155aの圧力がエアタンク156のエアの圧力より僅かに低くなると、弁体155bが入口(in)側のエアの圧力によって押されて座155cから離れ、前記排気口を閉じる。また、エア流路155aを入口(in)側から出口(out)側まで連通状にし、第一チャンバ151aへのエアの供給を可能にする。これにより、第一チャンバ155aのエアの圧力が、エアタンク156と同じ圧力に保たれる。
この実施形態では、クイックエキゾーストバルブ155とエアタンク156及びレギュレータ156aとで、第一チャンバ151aのエアの圧力を一定に保つ第一圧力保持手段が構成される。
When the air for the pressure increase in the first chamber 151a is exhausted and the pressure in the first chamber 155a becomes slightly lower than the air pressure in the air tank 156, the valve body 155b is pushed by the air pressure on the inlet (in) side. Leaving the seat 155c, the exhaust port is closed. In addition, the air flow path 155a is communicated from the inlet (in) side to the outlet (out) side, so that air can be supplied to the first chamber 151a. Thereby, the pressure of the air in the first chamber 155a is maintained at the same pressure as that of the air tank 156.
In this embodiment, the quick exhaust valve 155, the air tank 156, and the regulator 156a constitute first pressure holding means for keeping the air pressure in the first chamber 151a constant.

[ロック機構]
次に、電源遮断時等にピストンロッド152aの昇降を規制するロック機構16について説明する。
第二チャンバ151bの上方には、ピストンロッド152aに係合してピストンロッド152aの昇降を規制するロック部材160が設けられている。
このロック部材160は、第二チャンバ151bの上方に設けられた圧力室161内に収容されている。圧力室161には、エア配管164を介して第二エアタンク166が連結されていて、この第二エアタンク166から圧力室161に供給される所定圧力のエアにより、工作機械の正常運転時にはロック部材160はピストンロッド152aから離間している。そして、電源遮断等により圧力室161内のエアの圧力が予め設定された値を下回ったときに、ロック部材160がピストンロッド152a側に移動して係合し、ピストンロッド152aをロックしてその昇降を規制する。このような圧力室161とロック部材160とによるピストンロッド152aのロックは、例えば特開2003−336605号公報等により公知である。
[Lock mechanism]
Next, the lock mechanism 16 that restricts the lifting and lowering of the piston rod 152a when the power is shut off will be described.
Above the second chamber 151b, a lock member 160 that engages with the piston rod 152a and restricts the elevation of the piston rod 152a is provided.
The lock member 160 is accommodated in a pressure chamber 161 provided above the second chamber 151b. A second air tank 166 is connected to the pressure chamber 161 via an air pipe 164, and the lock member 160 is operated during normal operation of the machine tool by air of a predetermined pressure supplied from the second air tank 166 to the pressure chamber 161. Is spaced from the piston rod 152a. When the air pressure in the pressure chamber 161 falls below a preset value due to power shutoff or the like, the lock member 160 moves to the piston rod 152a side and engages to lock the piston rod 152a. Regulate lifting. Such locking of the piston rod 152a by the pressure chamber 161 and the lock member 160 is known, for example, from Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-336605.

エア配管164の途中部位には、電磁弁163が設けられている。この電磁弁163は、工作機械の正常運転時にはエアタンク156と圧力室161とを連通状にし(以下、この状態を「閉」という)、圧力室161内のエアの圧力がエアタンク156と同じ圧力に保たれるようにしている。また、電源遮断時等には、電磁弁163が切り換わって圧力室161内のエアを大気中に開放し(以下、この状態を「開」という)、圧力室161内のエアの圧力を大気圧にする。これにより、ロック部材160がピストンロッド152aに係合してロックし、ピストンロッド152aの昇降を規制する。   An electromagnetic valve 163 is provided in the middle of the air pipe 164. The solenoid valve 163 communicates the air tank 156 and the pressure chamber 161 during normal operation of the machine tool (hereinafter, this state is referred to as “closed”), and the pressure of the air in the pressure chamber 161 is the same as that of the air tank 156. To keep it. When the power is shut off, the solenoid valve 163 is switched to release the air in the pressure chamber 161 to the atmosphere (hereinafter, this state is referred to as “open”), and the pressure of the air in the pressure chamber 161 is increased. Set to atmospheric pressure. As a result, the lock member 160 engages and locks with the piston rod 152a to restrict the elevation of the piston rod 152a.

上記構成の本発明の工作機械の作用を、図4のフローチャートを参照しながら説明する。
工作機械が正常状態で運転されている時には、圧力室161には第二エアタンク166から所定圧力のエアが供給されていて、ロック部材160がピストンロッド152aから離間している。また、この状態において、リニアモータ10の駆動によりラム7が上昇すると(ステップS1)、これにともなってピストン152が上昇し、第二チャンバ151bのエアが外気中に排気される(ステップS3)。
The operation of the machine tool of the present invention configured as described above will be described with reference to the flowchart of FIG.
When the machine tool is operating in a normal state, air of a predetermined pressure is supplied to the pressure chamber 161 from the second air tank 166, and the lock member 160 is separated from the piston rod 152a. Further, in this state, when the ram 7 is raised by driving the linear motor 10 (step S1), the piston 152 is raised accordingly, and the air in the second chamber 151b is exhausted into the outside air (step S3).

ピストン152の上昇とともに、第一チャンバ151aの内容積が増大した分だけ圧力が下降しようとするが(ステップS2)、圧力下降分を補うようにエアタンク156からクイックエキゾーストバルブ155を通して第一チャンバ151aにエアが供給されるので(ステップS4)、第一チャンバ151aのエアの圧力はエアタンク156のエアの圧力と常に同じに保たれる。   As the piston 152 rises, the pressure tends to drop by the amount of increase in the internal volume of the first chamber 151a (step S2), but the air tank 156 passes through the quick exhaust valve 155 to the first chamber 151a to compensate for the pressure drop. Since air is supplied (step S4), the air pressure in the first chamber 151a is always kept the same as the air pressure in the air tank 156.

一方、リニアモータ10の駆動によりラム7が下降すると(ステップS11)、これにともなってピストン152が下降し、第二チャンバ151bに外気中からエアが取り込まれる(ステップS13)。
また、ピストン152の下降とともに、第一チャンバ151aの内容積が減少した分だけ圧力が上昇しようとするが(ステップS12)、第一チャンバ151aの圧力上昇分のエアはクイックエキゾーストバルブ155の排気口から外気中に放出されるので(ステップS14)、この場合も第一チャンバ151aのエアの圧力はエアタンク156のエアの圧力と同じに保たれる。
On the other hand, when the ram 7 is lowered by driving the linear motor 10 (step S11), the piston 152 is lowered accordingly, and air is taken into the second chamber 151b from the outside air (step S13).
Further, as the piston 152 moves down, the pressure tends to increase by the amount that the internal volume of the first chamber 151a has decreased (step S12), but the air corresponding to the pressure increase in the first chamber 151a is used as the exhaust port of the quick exhaust valve 155. In this case, the air pressure in the first chamber 151a is kept the same as the air pressure in the air tank 156.

第一チャンバ151aのエアの圧力がエアタンク156のエアの圧力と同等になったとき、第一チャンバ151aのエアの圧力又はエアタンク156のエアの圧力が予め設定された規定の範囲内にあるかどうかを、図示しない圧力計等の検出結果に基づいてNC装置が判断する(ステップS5)。
そして、エアの圧力が規定の範囲外である場合には、アラームを発生させ(ステップS6)、電磁弁153を切り換えて開状態にして第一チャンバ151aへのエアの供給を遮断するとともに、電磁弁163を開状態にして圧力室161のエアを大気中に開放し、ロック部材160でピストンロッド152aをロックして、工作機械の稼動を停止させる(ステップS7,S8)。
エアの圧力が規定の範囲内であるときは、電源が遮断されていないことを前提に(ステップS9)電磁弁153の閉状態を維持する(ステップS10)。以後、ラム7を昇降動させるたびにステップS1〜S10の動作を繰り返す。
When the air pressure in the first chamber 151a becomes equal to the air pressure in the air tank 156, whether the air pressure in the first chamber 151a or the air pressure in the air tank 156 is within a preset specified range. Is determined by the NC device based on the detection result of a pressure gauge (not shown) (step S5).
If the air pressure is outside the specified range, an alarm is generated (step S6), the electromagnetic valve 153 is switched to open to shut off the supply of air to the first chamber 151a, and the electromagnetic The valve 163 is opened to release the air in the pressure chamber 161 to the atmosphere, and the piston rod 152a is locked by the lock member 160 to stop the operation of the machine tool (steps S7 and S8).
When the air pressure is within the specified range, the closed state of the electromagnetic valve 153 is maintained (step S10) on the assumption that the power supply is not shut off (step S9). Thereafter, each time the ram 7 is moved up and down, the operations in steps S1 to S10 are repeated.

[第二の実施形態]
次に、本発明の安全装置の第二の実施形態を、図5を参照しながら説明する。
この実施形態では、図示するように、ロック機構16の圧力室161に所定圧力のエアを供給するエアタンクと、第一チャンバ151aに所定圧力のエアを供給するエアタンクとを共通のエアタンク156としてある。
また、エアタンク156から第一チャンバ151aにエアを供給するためのエア配管154と、エアタンク156から圧力室161にエアを供給するためのエア配管164との合流点よりもエアタンク156側に、電磁弁163が配置されている。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the safety device of the present invention will be described with reference to FIG.
In this embodiment, as shown in the figure, an air tank that supplies air of a predetermined pressure to the pressure chamber 161 of the lock mechanism 16 and an air tank that supplies air of a predetermined pressure to the first chamber 151a are used as a common air tank 156.
In addition, the solenoid valve is located closer to the air tank 156 than the confluence of the air pipe 154 for supplying air from the air tank 156 to the first chamber 151 a and the air pipe 164 for supplying air from the air tank 156 to the pressure chamber 161. 163 is arranged.

この実施形態では、工作機械の正常運転時には圧力室161及び第一チャンバ151aの双方にエアが供給され、ロック部材160によるピストンロッド152aのロックが解除された状態で、ラムとの重量バランスを取りつつピストンロッド152aの昇降が行われる。
電源遮断時等では、電磁弁163が開状態に切り換わって、圧力室161及び第一チャンバ151aのエアが大気中に開放され、ロック部材160によってピストンロッド152aがロックされて、ピストンロッド152aの昇降が規制される。
In this embodiment, during normal operation of the machine tool, air is supplied to both the pressure chamber 161 and the first chamber 151a, and the piston rod 152a is unlocked by the lock member 160 to achieve a weight balance with the ram. The piston rod 152a is lifted and lowered.
When the power is shut off, the solenoid valve 163 is switched to the open state, the air in the pressure chamber 161 and the first chamber 151a is released to the atmosphere, the piston rod 152a is locked by the lock member 160, and the piston rod 152a Elevation is restricted.

[第三の実施形態]
図6は、本発明の安全装置の第三の実施形態を説明するブロック図である。
この実施形態では、エア配管154を介して第二チャンバ151bに一定圧のエアを供給できるようにしているとともに、エア配管154′を介して、エアタンク156から第一チャンバ151aに一定圧のエアを供給できるようにしている。そして、エア配管154の途中部位に、クイックエキゾーストバルブ155を設けているとともに、エア配管154′の途中部位に、このクイックエキゾーストバルブ155と同じ構成のクイックエキゾーストバルブ155′を設けている。この実施形態においても、クイックエキゾーストバルブ155′は圧力均等維持手段として作用する。
[Third embodiment]
FIG. 6 is a block diagram illustrating a third embodiment of the safety device of the present invention.
In this embodiment, a constant pressure of air can be supplied to the second chamber 151b via the air pipe 154, and a constant pressure of air is supplied from the air tank 156 to the first chamber 151a via the air pipe 154 '. It can be supplied. A quick exhaust valve 155 is provided in the middle of the air pipe 154, and a quick exhaust valve 155 'having the same configuration as the quick exhaust valve 155 is provided in the middle of the air pipe 154'. Also in this embodiment, the quick exhaust valve 155 'acts as a pressure equalization maintaining means.

また、第一チャンバ151aに連結されたエア配管154及び第二チャンバ151bに連結されたエア配管154′には、圧力調整手段としてのレギュレータ156a,156a′が設けられ、第一チャンバ151aのエアの圧力と、第二チャンバ151bのエアの圧力との差により生じるピストン152の推力を、ラム7の重量バランスに応じた適切な大きさに調整することができるようになっている。
なお、この実施形態におけるロック機構16は、第一の実施形態のロック機構16と同じものである。
Further, regulators 156a and 156a 'as pressure adjusting means are provided in the air pipe 154 connected to the first chamber 151a and the air pipe 154' connected to the second chamber 151b, and the air in the first chamber 151a is supplied. The thrust of the piston 152 generated by the difference between the pressure and the pressure of the air in the second chamber 151 b can be adjusted to an appropriate size according to the weight balance of the ram 7.
The lock mechanism 16 in this embodiment is the same as the lock mechanism 16 in the first embodiment.

この実施形態では、クイックエキゾーストバルブ155とエアタンク156及びレギュレータ156aとで、第一チャンバ151aのエアの圧力を一定に保つ第一圧力保持手段が構成され、クイックエキゾーストバルブ155′とエアタンク156′及びレギュレータ156a′とで、第二チャンバ151bのエアの圧力を一定に保つ第二圧力保持手段が構成される。この実施形態の場合も、第一チャンバ151aと第二チャンバ151bのエアの圧力差は、エアの圧力は、ラム7との重量バランスに必要な力とピストン152の面積とによって決定される。   In this embodiment, the quick exhaust valve 155, the air tank 156 and the regulator 156a constitute a first pressure holding means for keeping the air pressure in the first chamber 151a constant, and the quick exhaust valve 155 ', the air tank 156' and the regulator 156a ′ constitutes a second pressure holding means for keeping the air pressure in the second chamber 151b constant. Also in this embodiment, the air pressure difference between the first chamber 151 a and the second chamber 151 b is determined by the force necessary for the weight balance with the ram 7 and the area of the piston 152.

この実施形態の安全装置は、第一チャンバ151a及び第二チャンバ151bに供給される流体がエアのように圧縮性及び膨張性の大きい流体である場合に特に有利である。例えば、工具の取り外しにより昇降部材の重量が急激に変化すると、第一チャンバ151aの流体が膨張するとともに第二チャンバ151bの流体が圧縮されて、ピストン152とともにラム7を持ち上げようとする。そこで、第一チャンバ151a及び第二チャンバ151bのエアの圧力を予め高めに設定しておくことで、第一チャンバ151aのエアの膨張量及び第二チャンバ151bのエアの圧縮量を小さくして、工具取り外しの際にラム7の移動量を小さくすることができる。   The safety device of this embodiment is particularly advantageous when the fluid supplied to the first chamber 151a and the second chamber 151b is a fluid having high compressibility and expandability such as air. For example, when the weight of the elevating member suddenly changes due to the removal of the tool, the fluid in the first chamber 151 a expands and the fluid in the second chamber 151 b is compressed, so that the ram 7 is lifted together with the piston 152. Therefore, by setting the air pressure in the first chamber 151a and the second chamber 151b to be high in advance, the air expansion amount in the first chamber 151a and the air compression amount in the second chamber 151b are reduced, When the tool is removed, the amount of movement of the ram 7 can be reduced.

本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態により何ら限定されるものではない。
例えば、上記の説明では、昇降部材としてラムや主軸を例に挙げて説明したが、本発明は刃物台等他の昇降部材にも適用が可能である。
また、上記の説明では、ラム等の昇降部材の下方にエアシリンダ等の流体圧シリンダを配置しているが、前記昇降部材の上方に流体圧シリンダを配置してもよい。昇降部材の上方に流体圧シリンダを配置する場合には、前記昇降部材と流体圧シリンダのピストンロッドとを連結して、昇降部材の昇降動作に連動してピストンロッドが移動するようにする。
Although preferred embodiments of the present invention have been described, the present invention is not limited to the above-described embodiments.
For example, in the above description, the ram and the main shaft have been described as examples of the elevating member, but the present invention can also be applied to other elevating members such as a tool post.
In the above description, a fluid pressure cylinder such as an air cylinder is disposed below a lifting member such as a ram. However, a fluid pressure cylinder may be disposed above the lifting member. When the fluid pressure cylinder is disposed above the lifting member, the lifting member and the piston rod of the fluid pressure cylinder are connected so that the piston rod moves in conjunction with the lifting operation of the lifting member.

さらに、上記の説明では、安全装置15の作動媒体(流体)としてエアを例に挙げて説明したが、エア以外の他のガスを作動媒体としてもよく、ガスに限らず液体を作動媒体とすることも可能である。また、第一チャンバと第二チャンバとで異なる流体を用いてもよく、例えば、一方のチャンバ(例えば第一チャンバ)に液体を供給し、他方のチャンバ(第二チャンバ)に気体を供給してもよい。   Further, in the above description, air has been described as an example of the working medium (fluid) of the safety device 15, but other gases other than air may be used as a working medium, and liquid is not limited to gas. It is also possible. Further, different fluids may be used in the first chamber and the second chamber. For example, a liquid is supplied to one chamber (for example, the first chamber), and a gas is supplied to the other chamber (second chamber). Also good.

また、本発明においては、クイックエキゾーストバルブ(圧力均等維持手段)から排出された流体を回収する流体回収手段を設けてもよい。そして、回収した流体を流体供給部に戻すことで、流体の再利用を図るようにすることができる。流体回収手段としては、例えば、圧力均等維持手段の排出口と流体供給部と連結する配管と、この配管の途中に設けたポンプとで構成することができる。   In the present invention, a fluid recovery means for recovering the fluid discharged from the quick exhaust valve (pressure equality maintaining means) may be provided. Then, by returning the collected fluid to the fluid supply unit, the fluid can be reused. The fluid recovery means can be constituted by, for example, a pipe connected to the discharge port of the pressure uniformity maintaining means and the fluid supply unit, and a pump provided in the middle of the pipe.

さらに、上記の説明では、電源遮断時等に切換弁163を切り換えて圧力室161内のエアを大気中に開放することで、ロック部材160でピストンロッド152aをロックしているが、エアタンク166よりも低圧の別のエアタンクを準備し、電源遮断時等に切換弁163を切り換えて圧力室161が低圧のエアタンクに連通するようにすることで、ロック部材160でピストンロッド152aをロックするように構成してもよい。   Furthermore, in the above description, the switching valve 163 is switched when the power is shut off to release the air in the pressure chamber 161 to the atmosphere, so that the piston rod 152a is locked by the lock member 160. Also, another low-pressure air tank is prepared, and the switching valve 163 is switched when the power is shut off so that the pressure chamber 161 communicates with the low-pressure air tank so that the piston rod 152a is locked by the lock member 160. May be.

またさらに、上記の他の実施形態では、第一チャンバ151a側のエアタンクと第二チャンバ151b側のエアタンクとを同じものとしているが、第一チャンバ151a側のエアタンクと第二チャンバ151b側のエアタンクを別のもの(第一流体供給部と第三流体供給部)としてもよい。
また、第一チャンバや第二チャンバに一定の圧力の流体を供給する流体供給部は、エア等の流体を一定圧力で貯蔵するタンクであるとして説明したが、一定の圧力の流体を供給することができるのであれば、ポンプ等であってもよい。
Furthermore, in the other embodiments described above, the air tank on the first chamber 151a side and the air tank on the second chamber 151b side are the same, but the air tank on the first chamber 151a side and the air tank on the second chamber 151b side are It is good also as another thing (a 1st fluid supply part and a 3rd fluid supply part).
Moreover, although the fluid supply part which supplies the fluid of a fixed pressure to a 1st chamber or a 2nd chamber was demonstrated as a tank which stores fluids, such as air, at a fixed pressure, supplying a fluid of a fixed pressure If it is possible, a pump or the like may be used.

本発明は、刃物台や主軸等の昇降部材を昇降させるあらゆる種類の工作機械、例えば、旋盤、ボール盤、フライス盤、研削盤、放電加工機等の工作機械に適用が可能で、リニアモータで前記昇降部材を昇降させるものに限らず、電源遮断により前記昇降部材が落下する可能性のある全ての工作機械に適用が可能である。   The present invention can be applied to all types of machine tools for raising and lowering lifting members such as a tool post and a spindle, for example, lathes, drilling machines, milling machines, grinding machines, electric discharge machines, etc. The present invention is not limited to the one that raises and lowers the member, but can be applied to all machine tools in which the raising and lowering member may drop due to power interruption.

本発明の一実施形態にかかり、安全装置を備えた工作機械の一例を示す図である。It is a figure showing an example of a machine tool provided with a safety device concerning one embodiment of the present invention. 安全装置の第一の実施形態にかかり、その構成を説明するブロック図である。1 is a block diagram illustrating a configuration according to a first embodiment of a safety device. FIG. この実施形態におけるクイックエキゾーストバルブの原理を説明する図である。It is a figure explaining the principle of the quick exhaust valve in this embodiment. この実施形態にかかる安全装置の作用を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the effect | action of the safety device concerning this embodiment. 本発明の安全装置の第二の実施形態にかかり、その構成を説明するブロック図である。It is a block diagram concerning the 2nd embodiment of the safety device of the present invention, and explaining the composition. 本発明の安全装置の第三の実施形態にかかり、その構成を説明するブロック図である。It is a block diagram explaining the structure concerning 3rd embodiment of the safety device of this invention. 本発明の従来例にかかり、特許文献1に記載されている工作機械の概略図である。It is the schematic of the machine tool concerning the prior art example of this invention and described in patent document 1. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 ベッド
2 テーブル
3 コラム
4 サドル
5a,5b ガイド
6 ガイド
7 ラム
8 主軸頭
9 主軸
10 リニアモータ
15 安全装置
151 エアシリンダ
151a 第一チャンバ
151b 第二チャンバ
152 ピストン
152a ピストンロッド
154 エア配管
155 クイックエキゾーストバルブ
156 エアタンク
157 サイレンサ
16 ロック機構
160 ロック部材
161 圧力室
163 電磁弁
164 エア配管
166 第二エアタンク
1 bed 2 table 3 column 4 saddle 5a, 5b guide 6 guide 7 ram 8 spindle head 9 spindle 10 linear motor 15 safety device 151 air cylinder 151a first chamber 151b second chamber 152 piston 152a piston rod 154 air piping 155 quick exhaust valve 156 Air tank 157 Silencer 16 Lock mechanism 160 Lock member 161 Pressure chamber 163 Solenoid valve 164 Air piping 166 Second air tank

Claims (10)

モータその他の駆動手段により昇降する昇降部材を備えた工作機械に設けられ、電源遮断等が発生したときに前記昇降部材の落下を防止する安全装置であって、
前記昇降部材の上方又は下方に設けられ、進退移動自在なピストンロッドが前記昇降部材の昇降動作に連動して移動する流体圧シリンダと、
この流体圧シリンダの内部に設けられ、前記ピストンロッドとともに前記流体圧シリンダの内部で進退移動するピストンと、
前記流体圧シリンダの内部に設けられ、前記ピストンによって仕切られた第一チャンバ及び第二チャンバと、
前記第一チャンバに一定の圧力の流体を供給する第一流体供給部と前記第一チャンバとの間に設けられ、前記第一チャンバの圧力を前記第一流体供給部の流体の圧力と均等な圧力に維持する圧力均等維持手段を備えた第一圧力保持手段と、
前記ピストンロッドの進退移動経路の途中部位に設けられ、電源遮断等が発生したときに前記ピストンロッドと係合して前記ピストンロッドの下降を規制するロック部材と、第二流体供給部から供給される所定圧力の流体が充填され、前記所定圧力の流体により前記ロック部材を前記ピストンロッドから離間させる圧力室と、電源遮断等が発生した時に前記圧力室の前記流体の圧力を減圧させて前記ロック部材により前記ピストンロッドをロックする減圧部とを有するロック機構と、
前記第二チャンバの流体の圧力を前記第一チャンバの流体の圧力と異なる一定の圧力に保持する第二圧力保持手段とを備え、
前記第一チャンバの流体の圧力と前記第二チャンバの流体の圧力との差により生じる前記ピストンの推力を、前記昇降部材の重量バランスに応じた大きさとしたことを特徴とする工作機械の安全装置。
A safety device that is provided in a machine tool provided with a lifting member that is lifted and lowered by a motor or other driving means, and that prevents the lifting member from falling when a power interruption occurs,
A fluid pressure cylinder that is provided above or below the elevating member and in which a piston rod that is movable back and forth moves in conjunction with the elevating operation of the elevating member;
A piston which is provided inside the fluid pressure cylinder and moves forward and backward in the fluid pressure cylinder together with the piston rod;
A first chamber and a second chamber provided inside the fluid pressure cylinder and partitioned by the piston;
The first chamber is provided between a first fluid supply unit that supplies a fluid having a constant pressure to the first chamber and the first chamber, and the pressure of the first chamber is equal to the pressure of the fluid of the first fluid supply unit. First pressure holding means comprising pressure equality maintaining means for maintaining the pressure;
A lock member that is provided in the middle of the forward / backward movement path of the piston rod, engages with the piston rod when power interruption occurs, and is supplied from the second fluid supply unit. A pressure chamber that is filled with a fluid of a predetermined pressure and the lock member is separated from the piston rod by the fluid of the predetermined pressure, and the pressure of the fluid in the pressure chamber is reduced when the power is shut off and the lock is performed. A locking mechanism having a pressure reducing part that locks the piston rod by a member;
Second pressure holding means for holding the pressure of the fluid in the second chamber at a constant pressure different from the pressure of the fluid in the first chamber;
A safety device for a machine tool, wherein the piston thrust generated by the difference between the fluid pressure in the first chamber and the fluid pressure in the second chamber is sized according to the weight balance of the elevating member. .
前記減圧部が、工作機械の正常運転時には前記圧力室と前記第二流体供給部とを連通状にして前記ロック部材を前記ピストンロッドから離間させ、電源遮断等が発生した時には前記圧力室を大気中に開放して減圧する切換弁であることを特徴とする請求項1に記載の工作機械の安全装置。 The pressure reducing unit communicates the pressure chamber with the second fluid supply unit during normal operation of the machine tool to separate the lock member from the piston rod. The safety device for a machine tool according to claim 1, wherein the safety valve is a switching valve that is opened and decompressed. 前記第一流体供給部から供給される流体の圧力を圧力調整手段で調整して、前記流体圧シリンダの前記ピストンの推力を前記昇降部材の重量バランスに応じた大きさとすることを特徴とする請求項1又は2に記載の工作機械の安全装置。 The pressure of the fluid supplied from the first fluid supply unit is adjusted by pressure adjusting means, and the thrust of the piston of the fluid pressure cylinder is set to a magnitude corresponding to the weight balance of the lifting member. Item 3. A machine tool safety device according to Item 1 or 2. 前記第二圧力保持手段が、前記第二チャンバを外気に連通させる連通部であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の工作機械の安全装置。 The safety device for a machine tool according to any one of claims 1 to 3, wherein the second pressure holding means is a communication portion that allows the second chamber to communicate with outside air. 前記第二圧力保持手段が、前記第二チャンバに一定の圧力の流体を供給する前記第三流体供給部と前記第二チャンバとの間に設けられ、前記第二チャンバの圧力を前記第三流体供給部の流体の圧力と均等な圧力に維持する圧力均等維持手段を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の工作機械の安全装置。 The second pressure holding means is provided between the third fluid supply section for supplying a fluid having a constant pressure to the second chamber and the second chamber, and the pressure of the second chamber is set to the third fluid. The safety device for a machine tool according to any one of claims 1 to 3, further comprising pressure equality maintaining means for maintaining a pressure equal to the pressure of the fluid in the supply unit. 前記第一チャンバに流体を供給する第一流体供給部と、前記第二チャンバに流体を供給する第三流体供給部とが同一の流体供給部で、圧力調整手段により前記第一チャンバに供給する流体の圧力と前記第二チャンバに供給する流体の圧力とを異ならせたことを特徴とする請求項5に記載の工作機械の安全装置。 The first fluid supply unit that supplies fluid to the first chamber and the third fluid supply unit that supplies fluid to the second chamber are the same fluid supply unit, and supply to the first chamber by pressure adjusting means. 6. The safety device for a machine tool according to claim 5, wherein the pressure of the fluid is different from the pressure of the fluid supplied to the second chamber. 前記第一チャンバ及び/又は前記第二チャンバに供給する流体が液体である場合に、前記排出口から排出された前記流体を回収する流体回収手段を設けたことを特徴とする請求項5又は6に記載の工作機械の安全装置。 The fluid recovery means for recovering the fluid discharged from the discharge port when the fluid supplied to the first chamber and / or the second chamber is a liquid is provided. The machine tool safety device described in 1. 前記第一流体供給部及び前記第二流体供給部又は前記第一流体供給部,前記第二流体供給部及び前記第三流体供給部が共通の流体供給部で、この流体供給部から前記第一チャンバ及び前記圧力室又は前記第一チャンバ,前記第二チャンバ及び前記圧力室にエアを供給するためのエア配管の合流点よりも前記流体供給部側に、前記切換弁を設けたことを特徴とする請求項2〜7のいずれかに記載の工作機械の安全装置。 The first fluid supply unit and the second fluid supply unit or the first fluid supply unit, the second fluid supply unit, and the third fluid supply unit are a common fluid supply unit. The switching valve is provided closer to the fluid supply unit than a confluence of air pipes for supplying air to the chamber and the pressure chamber or the first chamber, the second chamber, and the pressure chamber. The machine tool safety device according to any one of claims 2 to 7. 前記圧力均等維持手段が、前記流体供給部に連結された入口と、前記第一チャンバ又は前記第二チャンバに連結された出口と、前記流体の排出口と、前記入口と前記出口とを連通状に連結する第一通路と、前記出口と前記排出口とを連通状に連結する第二通路と、前記第一通路と前記第二通路とを選択的に切り換える弁体とを有し、
前記出口側の流体の圧力が前記入口側の流体の圧力よりも高くなったときに、前記弁体が前記第一通路を閉じて前記第二通路を開き、前記出口から前記排出口に流体が流れるようにし、前記出口側の流体の圧力が前記入口側の流体の圧力よりも低くなったときに、前記弁体が前記第二通路を閉じて前記第一通路を開き、前記入口から前記出口に流体が流れるようにして、
前記ピストンの推力を前記昇降部材の重量バランスに応じた一定の大きさに保つこと、
を特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の工作機械の安全装置。
The equal pressure maintaining means communicates an inlet connected to the fluid supply unit, an outlet connected to the first chamber or the second chamber, a fluid outlet, and the inlet and the outlet. A first passage that is connected to the second passage, a second passage that connects the outlet and the discharge port in communication, and a valve body that selectively switches between the first passage and the second passage,
When the pressure of the fluid on the outlet side becomes higher than the pressure of the fluid on the inlet side, the valve body closes the first passage and opens the second passage, and fluid flows from the outlet to the discharge port. When the pressure of the fluid on the outlet side is lower than the pressure of the fluid on the inlet side, the valve body closes the second passage and opens the first passage, and the outlet from the inlet So that fluid flows through
Maintaining the thrust of the piston at a constant magnitude according to the weight balance of the elevating member;
The machine tool safety device according to any one of claims 1 to 8, wherein:
モータその他の駆動手段により昇降する昇降部材を備えた工作機械であって、請求項1〜9のいずれかに記載の安全装置を備えたことを特徴とする工作機械。 A machine tool comprising an elevating member that elevates and lowers by a motor or other driving means, comprising the safety device according to any one of claims 1 to 9.
JP2005287870A 2005-09-30 2005-09-30 Safety device of machine tool and machine tool including the safety device Pending JP2007098482A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005287870A JP2007098482A (en) 2005-09-30 2005-09-30 Safety device of machine tool and machine tool including the safety device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005287870A JP2007098482A (en) 2005-09-30 2005-09-30 Safety device of machine tool and machine tool including the safety device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007098482A true JP2007098482A (en) 2007-04-19

Family

ID=38025928

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005287870A Pending JP2007098482A (en) 2005-09-30 2005-09-30 Safety device of machine tool and machine tool including the safety device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007098482A (en)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010221319A (en) * 2009-03-23 2010-10-07 Pascal Engineering Corp Balancer device for linear driving type machine tool
JP2013026267A (en) * 2011-07-15 2013-02-04 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd Two-axis drive mechanism, die bonder and method for driving die bonder
CN103341780A (en) * 2013-06-28 2013-10-09 宁波海顺数控机械有限公司 Self-pressurization balance mechanism and application on machining center
US20130285478A1 (en) * 2012-04-27 2013-10-31 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co. Ltd. Safety Pin
CN103586527A (en) * 2013-11-26 2014-02-19 山东泰丰液压股份有限公司 Valve type plate shearer hydraulic control system with safety protection device
US20140060318A1 (en) * 2012-08-28 2014-03-06 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Safety Pin
CN104690141A (en) * 2015-02-10 2015-06-10 苏州汇程精密模具有限公司 Safety hardware punching die
CN108907845A (en) * 2018-08-12 2018-11-30 陕西理工大学 A kind of limiting device of multifunction machine
CN109648353A (en) * 2017-10-11 2019-04-19 维嘉数控科技(苏州)有限公司 Z-axis driving structure and PCB edge milling machines
CN112264803A (en) * 2020-10-19 2021-01-26 胡少洪 Digital automatic control hydraulic porous drilling machine
CN115446710A (en) * 2022-08-15 2022-12-09 无锡市明鑫数控磨床有限公司 Intelligent vertical grinding machine with vertical interlocking protection function

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59146729A (en) * 1983-02-10 1984-08-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd Gravity drop preventing device
JPS59169407A (en) * 1983-03-16 1984-09-25 井関農機株式会社 Seedling feeder and sensor in seedling planter
JPH11347873A (en) * 1998-06-02 1999-12-21 Hitachi Via Mechanics Ltd Work machining device
JP2003336605A (en) * 2002-05-17 2003-11-28 Smc Corp Lock-equipped air cushion cylinder device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59146729A (en) * 1983-02-10 1984-08-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd Gravity drop preventing device
JPS59169407A (en) * 1983-03-16 1984-09-25 井関農機株式会社 Seedling feeder and sensor in seedling planter
JPH11347873A (en) * 1998-06-02 1999-12-21 Hitachi Via Mechanics Ltd Work machining device
JP2003336605A (en) * 2002-05-17 2003-11-28 Smc Corp Lock-equipped air cushion cylinder device

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010221319A (en) * 2009-03-23 2010-10-07 Pascal Engineering Corp Balancer device for linear driving type machine tool
JP2013026267A (en) * 2011-07-15 2013-02-04 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd Two-axis drive mechanism, die bonder and method for driving die bonder
TWI459478B (en) * 2011-07-15 2014-11-01 Hitachi High Tech Instr Co Ltd 2-axis drive mechanism and wafer bonding machine
KR101357340B1 (en) * 2011-07-15 2014-02-03 가부시끼가이샤 히다찌 하이테크 인스트루먼츠 Biaxial driving mechanism and die bonder
US20130285478A1 (en) * 2012-04-27 2013-10-31 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co. Ltd. Safety Pin
US20140060318A1 (en) * 2012-08-28 2014-03-06 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Safety Pin
CN103341780A (en) * 2013-06-28 2013-10-09 宁波海顺数控机械有限公司 Self-pressurization balance mechanism and application on machining center
CN103586527A (en) * 2013-11-26 2014-02-19 山东泰丰液压股份有限公司 Valve type plate shearer hydraulic control system with safety protection device
CN103586527B (en) * 2013-11-26 2015-10-14 山东泰丰液压股份有限公司 With safety guard lock formula plate shearing machine hydraulic control system
CN104690141A (en) * 2015-02-10 2015-06-10 苏州汇程精密模具有限公司 Safety hardware punching die
CN109648353A (en) * 2017-10-11 2019-04-19 维嘉数控科技(苏州)有限公司 Z-axis driving structure and PCB edge milling machines
CN108907845A (en) * 2018-08-12 2018-11-30 陕西理工大学 A kind of limiting device of multifunction machine
CN112264803A (en) * 2020-10-19 2021-01-26 胡少洪 Digital automatic control hydraulic porous drilling machine
CN115446710A (en) * 2022-08-15 2022-12-09 无锡市明鑫数控磨床有限公司 Intelligent vertical grinding machine with vertical interlocking protection function
CN115446710B (en) * 2022-08-15 2023-07-18 无锡市明鑫数控磨床有限公司 Intelligent vertical grinding machine with vertical interlocking protection function

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007098482A (en) Safety device of machine tool and machine tool including the safety device
US10010999B2 (en) Control valves for waterjet systems and related devices, systems, and methods
US10864613B2 (en) Control valves for waterjet systems and related devices, systems, and methods
JP5350926B2 (en) Flowing water detector
JP2008045705A (en) Hydraulic control device
WO2020039738A1 (en) Workpiece support
US6802242B1 (en) Pneumatic circuit control system
US7159610B2 (en) Relief valve
EP2759373A2 (en) A method of fluid pressure control in a hydrostatic burnishing tool and hydrostatic burnishing tool
JP2007506048A (en) Hydraulic control and adjustment system with volume equalization
JP2005288592A (en) Safety device of machine tool and machine tool equipped with safety device
JP6605242B2 (en) Hydraulic drive device for work machine
JP4557580B2 (en) Gas supply system
JPWO2008029443A1 (en) Fluid control valve
JP4985222B2 (en) Fluid pressure unit
US7748309B2 (en) Axle locking cylinder structure for heavy construction equipment
JP2015003346A (en) Clamp device
KR101247726B1 (en) Reducer for vehicle
JP5385648B2 (en) Balancer device for linear drive machine tools
JPH11347873A (en) Work machining device
JP4780974B2 (en) Balanced crane
EP3865714B1 (en) Arrangement comprising an accelerator-equipped pneumatic cylinder
JP2603452Y2 (en) Elevator valve device
JP4595411B2 (en) Air supply actuator
JP2008276630A (en) Pressure reducing valve

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080522

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110517

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110927