JP2007097233A - Microwave generating apparatus - Google Patents

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JP2007097233A JP2007006184A JP2007006184A JP2007097233A JP 2007097233 A JP2007097233 A JP 2007097233A JP 2007006184 A JP2007006184 A JP 2007006184A JP 2007006184 A JP2007006184 A JP 2007006184A JP 2007097233 A JP2007097233 A JP 2007097233A
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Hiroshi Matsumoto
紘 松本
Masatake Shinohara
真毅 篠原
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Kyoto University NUC
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  • Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microwave generating apparatus, capable of stabilizing or controlling the frequency/phase of a magnetron microwave and of simultaneously stabilizing or controlling the amplitude of the magnetron microwave. <P>SOLUTION: A phase or amplitude comparator 5 compares the microwave and a reference signal, in terms of one of the frequency/phase and amplitude, and changes an anode current depending on the comparison result, so that one of the frequency/phase and amplitude of the microwave matches that of the reference signal. Thereby, any one of the frequency/phase and amplitude of the microwave is stabilized through the control of magnetic fields. In parallel with this, the other one of the frequency/phase and amplitude of the microwave is stabilized, by manually changing a current of a coil, not shown, wound on a magnet, not shown, of the magnetron 1 through the control of magnetic fields. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、マグネトロンを発振源とするマイクロ波発生装置に関する。   The present invention relates to a microwave generator using a magnetron as an oscillation source.

主に加熱装置として使用されているこのようなマイクロ波発生装置としては、民生用マグネトロンの磁石部分にコイルを巻き、磁場強度の制御及び注入同期を組み合わせて、マグネトロンから発振したマイクロ波の周波数／位相制御を実現したもの（例えば、特許文献１参照）や、民生用マグネトロンの電源に対する位相同期ループ（ＰＬＬ）及び注入同期を組み合わせて、マグネトロンから発振したマイクロ波の周波数／位相制御を実現したもの（例えば、特許文献２参照）が提案されている。   As such a microwave generator mainly used as a heating device, a coil is wound around a magnet part of a commercial magnetron, and the frequency / frequency of the microwave oscillated from the magnetron is combined with control of magnetic field strength and injection locking. Realization of phase control (for example, see Patent Document 1), and realization of frequency / phase control of microwaves oscillated from a magnetron by combining a phase-locked loop (PLL) and injection locking for a power supply of a commercial magnetron (See, for example, Patent Document 2).

特願昭６０−１２３１１０号公報Japanese Patent Application No. 60-123110 特開２００２−４３８４８号公報JP 2002-43848 A

しかしながら、特許文献１，２に記載されたような従来のマイクロ波発生装置では、マイクロ波の周波数／振幅の制御に対しては所望の特性が得られるものの、マイクロ波の振幅の制御が困難となるため、加熱装置への適用に止まっている。したがって、マグネトロンのマイクロ波の周波数／位相を安定化し又は制御しながら、マグネトロンのマイクロ波の振幅を同時に安定化し又は制御する必要があるプラズマ発生装置、通信装置、レーダ装置等には従来のマイクロ波発生装置を適用できないのが現状である。   However, with the conventional microwave generators described in Patent Documents 1 and 2, it is difficult to control the amplitude of the microwave, although desired characteristics can be obtained for the control of the frequency / amplitude of the microwave. Therefore, the application to the heating device is stopped. Accordingly, conventional microwaves are required for plasma generators, communication devices, radar devices, etc. that need to stabilize or control the frequency / phase of the magnetron microwaves while simultaneously stabilizing or controlling the magnetron microwave amplitudes. At present, the generator is not applicable.

本発明の目的は、マグネトロンのマイクロ波の周波数／位相を安定化し又は制御し、これと同時にマグネトロンのマイクロ波の振幅を安定化し又は制御することができるマイクロ波発生装置を提供することである。   It is an object of the present invention to provide a microwave generator capable of stabilizing or controlling the frequency / phase of a magnetron microwave and simultaneously stabilizing or controlling the amplitude of the magnetron microwave.

本発明によるマイクロ波発生装置は、
アノード及びカソードを有し、そのアノードに供給される電流によって発振し、マイクロ波を発生するマグネトロンと、
前記マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちのいずれか一方を、電場を変動させることによって制御する電場変動手段と、
前記マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちの他方を、磁場を変動させることによって安定化する磁場変動手段とを具えることを特徴とする。 The microwave generator according to the present invention comprises:
A magnetron that has an anode and a cathode, oscillates by a current supplied to the anode, and generates a microwave;
Electric field changing means for controlling any one of the frequency / phase and amplitude of the microwave by changing the electric field;
Magnetic field changing means for stabilizing the other of the frequency / phase and amplitude of the microwave by changing the magnetic field is provided.

本発明による他のマイクロ波発生装置は、
アノード及びカソードを有し、そのアノードに供給される電流によって発振し、マイクロ波を発生するマグネトロンと、
前記マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちのいずれか一方を、電場を変動させることによって制御する電場変動手段と、
前記マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちの他方を、磁場を変動させることによって制御する磁場制御手段とを具えることを特徴とする。 Other microwave generators according to the present invention include:
A magnetron that has an anode and a cathode, oscillates by a current supplied to the anode, and generates a microwave;
Electric field changing means for controlling any one of the frequency / phase and amplitude of the microwave by changing the electric field;
Magnetic field control means for controlling the other of the frequency / phase and amplitude of the microwave by changing the magnetic field is provided.

本発明によるマイクロ波発生装置によれば、マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちのいずれか一方を、電場を変動させることによって制御するとともに、マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちの他方を、磁場を変動させることによって安定化する。これによって、マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちの一方を制御し、これと同時に、マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちの他方を安定化することができるようになる。   According to the microwave generator of the present invention, one of the microwave frequency / phase and amplitude is controlled by changing the electric field, and the other of the microwave frequency / phase and amplitude is controlled. Stabilize by changing the magnetic field. As a result, one of the microwave frequency / phase and amplitude can be controlled, and at the same time, the other of the microwave frequency / phase and amplitude can be stabilized.

本発明による他のマイクロ波発生装置によれば、マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちのいずれか一方を、電場を変動させることによって制御するとともに、マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちの他方を、磁場を変動させることによって制御する。これによって、マイクロ波の周波数／位相と振幅とを同時に制御することができるようになる。   According to another microwave generator of the present invention, one of the frequency / phase and amplitude of the microwave is controlled by changing the electric field, and the frequency / phase and amplitude of the microwave are controlled. The other is controlled by varying the magnetic field. As a result, the frequency / phase and amplitude of the microwave can be controlled simultaneously.

なお、本明細書中、「安定化」とは、マイクロ波の周波数／位相及び振幅並びにマイクロ波発生装置の出力を所定の範囲内に収まるよう受動的に変化させることを意味し、「制御」とは、マイクロ波の周波数／位相及び振幅並びにマイクロ波発生装置の出力を外部から能動的に変化させることを意味する。   In this specification, “stabilization” means passively changing the frequency / phase and amplitude of the microwave and the output of the microwave generator so as to be within a predetermined range, and “control”. This means that the frequency / phase and amplitude of the microwave and the output of the microwave generator are actively changed from the outside.

好適には、前記マグネトロンの固有発振周波数に近い固有周波数を有する基準信号を、前記マグネトロンに注入して、前記マグネトロンの発振周波数を前記基準信号の周波数に引き込んで同期をとることによって、前記マイクロ波の周波数／位相を更に制御する注入同期手段を更に具える。   Preferably, a reference signal having a natural frequency close to the natural oscillation frequency of the magnetron is injected into the magnetron, and the oscillation frequency of the magnetron is drawn into the frequency of the reference signal to synchronize with the microwave. And injection locking means for further controlling the frequency / phase of the.

本発明によるマイクロ波発生装置の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。図面中、同一構成要素には同一符号を付すものとする。   Embodiments of a microwave generator according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings, the same components are denoted by the same reference numerals.

図１は、本発明によるマイクロ波発生装置の第１の実施の形態を示す図である。このマイクロ波発生装置は、マグネトロン１と、高圧直流安定化電源２と、方向性結合器３と、減衰器及び位相又は振幅調整器４と、位相又は振幅比較器５と、基準信号発生器６と、可変移相器７とを具える。   FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of a microwave generator according to the present invention. The microwave generator includes a magnetron 1, a high-voltage DC stabilized power supply 2, a directional coupler 3, an attenuator and phase or amplitude adjuster 4, a phase or amplitude comparator 5, and a reference signal generator 6. And a variable phase shifter 7.

マグネトロン１の図示しないアノード（陽極）・カソード（陰極）間には、高圧直流安定化電源２から高圧直流電流（以下、「アノード電流」と称する。）が流され、これによって、マグネトロン１が発振状態に設定される。マグネトロン１から放射されるマイクロ波は、方向性結合器３を通じて外部出力され、例えばホーンアンテナなどの給電系に送出される。   Between the anode (anode) and cathode (cathode) (not shown) of the magnetron 1, a high-voltage direct current (hereinafter referred to as “anode current”) is supplied from the high-voltage direct-current stabilized power supply 2, thereby causing the magnetron 1 to oscillate. Set to state. The microwave radiated from the magnetron 1 is output to the outside through the directional coupler 3 and is sent to a feeding system such as a horn antenna.

方向性結合器３は、マイクロ波出力の一部を減衰器及び位相又は振幅調整器４に分岐出力し、かかる分岐出力は、減衰器及び位相又は振幅調整器４によって減衰及び位相又は振幅調整された後、位相又は振幅比較器５に供給される。   The directional coupler 3 branches and outputs a part of the microwave output to the attenuator and phase or amplitude adjuster 4, and the branched output is attenuated and phase or amplitude adjusted by the attenuator and phase or amplitude adjuster 4. Is supplied to the phase or amplitude comparator 5.

基準信号発生器６は、マグネトロン１の固有発振周波数に近い周波数を有する基準信号を発生するものであり、発生した基準信号は、可変移相器７を通じて位相又は振幅比較器５に供給される。   The reference signal generator 6 generates a reference signal having a frequency close to the natural oscillation frequency of the magnetron 1, and the generated reference signal is supplied to the phase or amplitude comparator 5 through the variable phase shifter 7.

位相又は振幅比較器５は、マイクロ波と基準信号とを周波数／位相と振幅のうちの一方について比較し、比較の結果に応じて、マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちの一方が基準信号のものに一致するように、アノード電流を変化させる。これによって、マイクロ波の周波数／位相の制御と振幅の安定化のうちのいずれか一方は、電場の変動により制御される。   The phase or amplitude comparator 5 compares the microwave and the reference signal with respect to one of frequency / phase and amplitude, and one of the microwave frequency / phase and amplitude is the reference signal according to the comparison result. The anode current is varied to match that of Thereby, one of the control of the frequency / phase of the microwave and the stabilization of the amplitude are controlled by the fluctuation of the electric field.

これと平行して、マグネトロン１の図示しない磁石に巻かれた図示しないコイルの電流を手動によって変化させることによって、マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちの他方は、受動的な磁場の変動により安定化される。その結果、本実施の形態によれば、電源に対する位相同期ループ（ＰＬＬ）フィードバックによって、マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちの一方が制御され、これと同時に、コイルへの電流を変化させることによって、マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちの他方を安定化することができるようになる。   In parallel with this, by manually changing the current of a coil (not shown) wound around a magnet (not shown) of the magnetron 1, the other one of the frequency / phase and amplitude of the microwave is caused by the fluctuation of the passive magnetic field. Stabilized. As a result, according to the present embodiment, one of the frequency / phase and amplitude of the microwave is controlled by phase-locked loop (PLL) feedback to the power supply, and at the same time, the current to the coil is changed. This makes it possible to stabilize the other of the microwave frequency / phase and amplitude.

図２は、本発明によるマイクロ波発生装置の第２の実施の形態を示す図である。このマイクロ波発生装置は、マグネトロン１と、高圧直流安定化電源２と、方向性結合器３'と、減衰器及び位相又は振幅調整器４と、位相又は振幅比較器５と、基準信号発生器６と、可変移相器７と、位相又は振幅比較器８とを具える。   FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment of the microwave generator according to the present invention. The microwave generator includes a magnetron 1, a high-voltage direct current stabilized power supply 2, a directional coupler 3 ', an attenuator and phase or amplitude adjuster 4, a phase or amplitude comparator 5, and a reference signal generator. 6, a variable phase shifter 7, and a phase or amplitude comparator 8.

本実施の形態では、方向性結合器３'は、マイクロ波出力の一部を減衰器及び位相又は振幅調整器４の他に位相又は振幅比較器８にも分岐出力する。位相又は振幅比較器８には、基準信号も供給され、マイクロ波と基準信号とを強度について比較し、比較の結果に応じて、マイクロ波の強度が基準信号のものに一致するように、図示しないコイルの電流を能動的に変化させる。これによって、マイクロ波の周波数／位相の制御と振幅の安定化のうちの他方は、電場の変動により制御される。これによって、マイクロ波の周波数／位相と振幅とを同時に制御することができるようになる。   In the present embodiment, the directional coupler 3 ′ outputs a part of the microwave output to the phase or amplitude comparator 8 in addition to the attenuator and the phase or amplitude adjuster 4. The reference signal is also supplied to the phase or amplitude comparator 8, and the microwave and the reference signal are compared with respect to intensity, and the microwave intensity matches that of the reference signal according to the comparison result. The coil current is not actively changed. Thereby, the other of the control of the frequency / phase of the microwave and the stabilization of the amplitude is controlled by the fluctuation of the electric field. As a result, the frequency / phase and amplitude of the microwave can be controlled simultaneously.

図３は、本発明によるマイクロ波発生装置の第３の実施の形態を示す図である。このマイクロ波発生装置は、マグネトロン１と、高圧直流安定化電源２と、方向性結合器３と、減衰器及び位相又は振幅調整器４と、位相又は振幅比較器５と、基準信号発生器６と、可変移相器７と、分配器９と、サーキュレータ１０とを具える。   FIG. 3 is a diagram showing a third embodiment of the microwave generator according to the present invention. The microwave generator includes a magnetron 1, a high-voltage DC stabilized power supply 2, a directional coupler 3, an attenuator and phase or amplitude adjuster 4, a phase or amplitude comparator 5, and a reference signal generator 6. And a variable phase shifter 7, a distributor 9, and a circulator 10.

本実施の形態では、基準信号が、可変移相器７を通じて分配器９に供給される。この分配器９は、入力された基準信号を２系統に分配するものであり、一方の系統の基準信号は、サーキュレータ１０に供給され、他方の系統の基準信号は、位相又は振幅比較器５に供給される。   In the present embodiment, the reference signal is supplied to the distributor 9 through the variable phase shifter 7. The distributor 9 distributes the inputted reference signal into two systems, the reference signal of one system is supplied to the circulator 10, and the reference signal of the other system is supplied to the phase or amplitude comparator 5. Supplied.

サーキュレータ１０は、分配器９から供給される基準信号を第１端子から入力し、この入力基準信号を第２端子から出力してマグネトロン１に注入し、マグネトロン１から放射されるマイクロ波を第２端子から取り込んで第３端子から出力する。サーキュレータ１０から出力されるマイクロ波は、方向性結合器３を通じて外部に出力され、例えばホーンアンテナなどの給電系に送出される。   The circulator 10 inputs the reference signal supplied from the distributor 9 from the first terminal, outputs the input reference signal from the second terminal, injects it into the magnetron 1, and applies the microwave radiated from the magnetron 1 to the second terminal. Take in from the terminal and output from the third terminal. The microwave output from the circulator 10 is output to the outside through the directional coupler 3 and is transmitted to a power feeding system such as a horn antenna.

マグネトロン１の発振状態において、基準信号発生器６で発生した、マグネトロン１の固有発振周波数に近い周波数を有する基準信号が、サーキュレータ１０を通じてマグネトロン１に注入される。その結果、マグネトロン１の発振周波数は、基準信号の周波数に引き込まれていく。   In the oscillation state of the magnetron 1, a reference signal generated by the reference signal generator 6 and having a frequency close to the natural oscillation frequency of the magnetron 1 is injected into the magnetron 1 through the circulator 10. As a result, the oscillation frequency of the magnetron 1 is drawn to the frequency of the reference signal.

マグネトロン１から放射されるマイクロ波は、サーキュレータ１０及び方向性結合器３を通じて外部に出力される。この際、サーキュレータ１０の有する特性により、マイクロ波出力が基準信号入力側に戻ることはない。   The microwave radiated from the magnetron 1 is output to the outside through the circulator 10 and the directional coupler 3. At this time, due to the characteristics of the circulator 10, the microwave output does not return to the reference signal input side.

本実施の形態によれば、電源に対するＰＬＬフィードバックによって、マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちの一方が制御され、これと同時に、コイルへの電流を変化させることによって、マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちの他方を安定化することができるようになる。また、同期注入法により、マグネトロン１の発振周波数を基準信号の周波数に引き込み、フィードバック制御によって周波数／位相の同期をとることができる。この際、マグネトロン１のアノード電流を制御することによって周波数／位相の同期をとっているので、制御幅を極めて広くとることができ、これによって、安定性が更に向上する。   According to the present embodiment, one of the frequency / phase and amplitude of the microwave is controlled by the PLL feedback to the power supply, and at the same time, the frequency / phase of the microwave is changed by changing the current to the coil. And the other of the amplitudes can be stabilized. Further, the oscillation frequency of the magnetron 1 can be drawn into the frequency of the reference signal by the synchronous injection method, and the frequency / phase can be synchronized by feedback control. At this time, since the frequency / phase synchronization is achieved by controlling the anode current of the magnetron 1, the control range can be made very wide, thereby further improving the stability.

図４は、本発明によるマイクロ波発生装置の第４の実施の形態を示す図である。このマイクロ波発生装置は、マグネトロン１と、高圧直流安定化電源２と、方向性結合器３と、減衰器及び位相又は振幅調整器４と、位相又は振幅比較器５と、基準信号発生器６と、可変移相器７と、位相又は振幅比較器８と、分配器９と、サーキュレータ１０とを具える。   FIG. 4 is a diagram showing a fourth embodiment of the microwave generator according to the present invention. The microwave generator includes a magnetron 1, a high-voltage DC stabilized power supply 2, a directional coupler 3, an attenuator and phase or amplitude adjuster 4, a phase or amplitude comparator 5, and a reference signal generator 6. And a variable phase shifter 7, a phase or amplitude comparator 8, a distributor 9, and a circulator 10.

本実施の形態によれば、マイクロ波の周波数／位相と振幅とを同時に制御することができるようになり、かつ、安定性が更に向上する。   According to the present embodiment, the frequency / phase and amplitude of the microwave can be controlled simultaneously, and the stability is further improved.

図５は、従来のマイクロ波発生装置の実験結果を示す図であり、図６は、本発明によるマイクロ波発生装置の実験結果を示す図である。なお、従来のマイクロ波発生装置としては、図１のマイクロ波発生装置においてマグネトロン１のコイルの電流を変化させないものを使用し、本発明によるマイクロ波発生装置として、図３のマイクロ波発生装置を使用した。   FIG. 5 is a diagram showing experimental results of the conventional microwave generator, and FIG. 6 is a diagram showing experimental results of the microwave generator according to the present invention. As the conventional microwave generator, the one that does not change the coil current of the magnetron 1 in the microwave generator of FIG. 1 is used, and the microwave generator of FIG. 3 is used as the microwave generator according to the present invention. used.

従来のマイクロ波発生装置では、図５Ａに示すように５０秒間で位相差を１０°前後に収めたとしても、図５Ｂに示すように出力電力が約４０Ｗも変動していることがわかる。   In the conventional microwave generator, as shown in FIG. 5A, even if the phase difference is kept around 10 ° in 50 seconds, it can be seen that the output power fluctuates by about 40 W as shown in FIG. 5B.

それに対して、本発明によるマイクロ波発生装置では、１０〜１５秒の間に出力電力が４５０Ｗから６００Ｗまで増大する（図５Ｂ）ようにマグネトロン１のコイルの電流を増大し（図６Ｄ）、それに応じて陰極電流制御電圧が６．５Ｖから７Ｖまで増大した（図６Ｃ）としても、位相差が２５秒以降で零の状態で安定していることがわかる。   On the other hand, in the microwave generator according to the present invention, the coil current of the magnetron 1 is increased (FIG. 6D) so that the output power increases from 450 W to 600 W in 10 to 15 seconds (FIG. 5B). Accordingly, even when the cathode current control voltage increases from 6.5 V to 7 V (FIG. 6C), it can be seen that the phase difference is stable in a zero state after 25 seconds.

本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、幾多の変更及び変形が可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and many changes and modifications can be made.

例えば、上記実施の形態において、電源に対するＰＬＬフィードバックによって電場を変動させるとともに、コイルの電流を受動的又は能動的に変化させることによって磁場を変動させているが、電場の変動及び磁場の変動を、他の任意の手法によって行なうことができる。   For example, in the above embodiment, the electric field is changed by the PLL feedback to the power supply, and the magnetic field is changed by passively or actively changing the coil current. This can be done by any other method.

本発明は、マイクロ波の周波数／位相を安定化し又は制御しながら、マグネトロンのマイクロ波の振幅を同時に安定化し又は制御することができるため、加熱装置のみならず、マイクロ波の周波数／位相及び振幅を同時に安定化し又は制御することが必要とされる通信用途又はエネルギー伝送用途（例えば、プラズマ発生装置、通信装置、レーダ装置）のマイクロ波を利用する種々の装置を廉価に構成することができる。   Since the present invention can simultaneously stabilize or control the amplitude of the microwave of the magnetron while stabilizing or controlling the frequency / phase of the microwave, not only the heating device but also the frequency / phase and amplitude of the microwave Various devices using microwaves for communication applications or energy transmission applications (for example, plasma generation devices, communication devices, radar devices) that require simultaneous stabilization or control of the above can be configured at low cost.

本発明によるマイクロ波発生装置の第１の実施の形態を示す図である。It is a figure showing a 1st embodiment of a microwave generator by the present invention. 本発明によるマイクロ波発生装置の第２の実施の形態を示す図である。It is a figure which shows 2nd Embodiment of the microwave generator by this invention. 本発明によるマイクロ波発生装置の第３の実施の形態を示す図である。It is a figure which shows 3rd Embodiment of the microwave generator by this invention. 本発明によるマイクロ波発生装置の第４の実施の形態を示す図である。It is a figure which shows 4th Embodiment of the microwave generator by this invention. 従来のマイクロ波発生装置の実験結果を示す図である。It is a figure which shows the experimental result of the conventional microwave generator. 本発明によるマイクロ波発生装置の実験結果を示す図である。It is a figure which shows the experimental result of the microwave generator by this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ マグネトロン
２ 高圧直流安定化電源
３，３' 方向性結合器
４ 減衰器及び位相又は振幅調整器
５，８ 位相又は振幅比較器
６ 基準信号発生器
７ 可変移相器
９ 分配器
１０ サーキュレータ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetron 2 High voltage direct current | flow stabilized power supply 3, 3 'Directional coupler 4 Attenuator and phase or amplitude regulator 5, 8 Phase or amplitude comparator 6 Reference signal generator 7 Variable phase shifter 9 Divider 10 Circulator

Claims (3)

アノード及びカソードを有し、そのアノードに供給される電流によって発振し、マイクロ波を発生するマグネトロンと、
前記マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちのいずれか一方を、電場を変動させることによって制御する電場制御手段と、
前記マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちの他方を、磁場を変動させることによって安定化する磁場変動手段とを具えることを特徴とするマイクロ波発生装置。 A magnetron that has an anode and a cathode, oscillates by a current supplied to the anode, and generates a microwave;
Electric field control means for controlling any one of the frequency / phase and amplitude of the microwave by varying the electric field;
A microwave generator comprising magnetic field fluctuation means for stabilizing the other of the frequency / phase and amplitude of the microwave by changing the magnetic field. アノード及びカソードを有し、そのアノードに供給される電流によって発振し、マイクロ波を発生するマグネトロンと、
前記マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちのいずれか一方を、電場を変動させることによって制御する電場制御手段と、
前記マイクロ波の周波数／位相と振幅のうちの他方を、磁場を変動させることによって制御する磁場制御手段とを具えることを特徴とするマイクロ波発生装置。 A magnetron that has an anode and a cathode, oscillates by a current supplied to the anode, and generates a microwave;
Electric field control means for controlling any one of the frequency / phase and amplitude of the microwave by varying the electric field;
A microwave generator comprising magnetic field control means for controlling the other of the frequency / phase and amplitude of the microwave by changing a magnetic field. 前記マグネトロンの固有発振周波数に近い固有周波数を有する基準信号を、前記マグネトロンに注入して、前記マグネトロンの発振周波数を前記基準信号の周波数に引き込んで同期をとることによって、前記マイクロ波の周波数／位相を制御する注入同期手段を更に具えることを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロ波発生装置。   By injecting a reference signal having a natural frequency close to the natural oscillation frequency of the magnetron into the magnetron and pulling the oscillation frequency of the magnetron into the frequency of the reference signal for synchronization, the frequency / phase of the microwave The microwave generator according to claim 1, further comprising injection locking means for controlling the frequency.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2012216461A (en) * 2011-04-01 2012-11-08 Netcomsec Co Ltd High-frequency circuit system

Cited By (1)

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JP2012216461A (en) * 2011-04-01 2012-11-08 Netcomsec Co Ltd High-frequency circuit system

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