JP2007091537A - Near-infrared light absorbing glass material lot and method for manufacturing optical element by using the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a near-infrared light absorbing glass material lot which can realize high performance glass optical elements each having a near-infrared light absorbing function. <P>SOLUTION: In the near-infrared light absorbing glass material lot comprising near-infrared light absorbing glass blanks containing copper, each glass material constituting the lot is characterized in that the tolerance of refractive index (n<SB>e</SB>) at a wavelength of 546.07 nm is >-0.001 and <0.01. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体撮像素子の色補正に好適な近赤外光吸収ガラス材ロット、および該ガラス材ロットを用いる光学素子の製造方法に関する。   The present invention relates to a near-infrared light absorbing glass material lot suitable for color correction of a semiconductor imaging device, and an optical element manufacturing method using the glass material lot.

CCD、CMOSなどの半導体撮像素子に入射する近赤外光を遮断して色補正をするために、近赤外光を吸収する銅含有ガラスからなるフィルタが使用されている。このようなガラスは、例えば特許文献1に開示されている。
特開平10−194777号公報
In order to perform color correction by blocking near-infrared light incident on a semiconductor image sensor such as a CCD or CMOS, a filter made of copper-containing glass that absorbs near-infrared light is used. Such glass is disclosed in Patent Document 1, for example.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-194777

近年、カメラ付き携帯電話などの撮像装置を搭載したモバイル装置では、撮像光学系の小型化が要求されている。このような撮像光学系は撮像素子の受光面に被写体の像を結像させるためのレンズ系と、先に述べた色補正フィルタを備えている。ここで、レンズ系の一部を近赤外光吸収ガラスで形成すれば、一枚のレンズでレンズ機能と色補正機能を兼備させることができるので、部品点数が少なくなり、撮像光学系をより小型化できる。   2. Description of the Related Art In recent years, mobile devices equipped with an imaging device such as a camera-equipped mobile phone have been required to reduce the size of the imaging optical system. Such an imaging optical system includes a lens system for forming an image of a subject on the light receiving surface of the imaging element, and the color correction filter described above. Here, if a part of the lens system is formed of near-infrared light absorbing glass, the lens function and the color correction function can be combined with a single lens, so the number of parts is reduced, and the imaging optical system is further reduced. Can be downsized.

しかし、これまでの近赤外光吸収ガラスはレンズに成形して使用することを目的に製造されていたわけでなく、平板状に加工してフィルタとして使用することを想定していたので、ガラスの屈折率(nd)の精度が高々有効数字4桁(小数点以下3桁)の精度、すなわち、光学素子を作るためのガラス材同士の屈折率(nd)のバラツキを公差で示すと±0.001以上であった。しかし、レンズとしての用途では、レンズ形状をいかに精密にしようと屈折率の精度が高くなければ、レンズとしての性能は不十分にならざるを得ない。特に、光学系の高性能化および小型化に有効な非球面レンズを上記ガラスでさ作製しても非球面レンズとしての性能を活かすことができないという問題がある。   However, conventional near infrared light absorbing glass was not manufactured for the purpose of molding into a lens, but it was assumed that it was processed into a flat plate and used as a filter. The accuracy of the refractive index (nd) is at most 4 digits (3 digits after the decimal point), that is, ± 0.001 when the variation in the refractive index (nd) between the glass materials for making the optical element is shown by tolerance. That was all. However, in lens applications, if the accuracy of the refractive index is not high no matter how precise the lens shape is, the performance as a lens must be insufficient. In particular, there is a problem that even if an aspherical lens effective for high performance and miniaturization of the optical system is made of the glass, the performance as an aspherical lens cannot be utilized.

これまで、カメラ付き携帯電話のような小型撮像装置に対しては、小型化を優先するため、画質に対するユーザの要望は強くなかった。しかし、カメラ付き携帯電話の普及と、デジタルスチルカメラの画像の高精細化、デジタル信号の送信速度、処理速度の目覚しい向上により、カメラ付き携帯電話のようなモバイル装置に対してもユーザは高精細な画質を望むようになってきている。具体的には数十万画素から100万画素を超えるような高精細な撮像装置がモバイル装置に搭載されるようになってきている。   Until now, for small image pickup devices such as camera-equipped mobile phones, priority has been given to downsizing, and user demand for image quality has not been strong. However, due to the widespread use of camera-equipped mobile phones and the high-definition of digital still camera images, the digital signal transmission speed, and the remarkable improvement in processing speed, users can achieve high-definition even for mobile devices such as camera-equipped mobile phones. I want to have a good image quality. Specifically, a high-definition image pickup device having several hundred thousand to over one million pixels has been mounted on a mobile device.

このような高画素数の撮像素子を搭載する撮像装置は、撮像素子の性能に見合った撮像光学系を必要としている。   An image pickup apparatus equipped with such an image pickup device having a high number of pixels requires an image pickup optical system suitable for the performance of the image pickup device.

本発明は上記問題を解決することを目的とし、近赤外光吸収機能を有する高性能なガラス製光学素子の実現を可能にする近赤外光吸収ガラス材ロットおよび該ガラス材ロットから光学素子を量産する光学素子の製造方法を提供することを目的とするものである。   The present invention aims to solve the above-mentioned problems, and a near-infrared light absorbing glass material lot capable of realizing a high-performance glass optical element having a near-infrared light absorption function, and an optical element from the glass material lot. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing an optical element for mass production.

本発明は、上述の目的を達成するためになされたものであり、下記の(1)〜(12)を提供するものである。
(1)銅を含有する近赤外光吸収ガラス素材からなる近赤外光吸収ガラス材ロットにおいて、
波長546.07nmにおける屈折率(n)の公差が±0.001未満のガラス材によって構成されていることを特徴とする近赤外光吸収ガラス材ロット。
(2)屈折率(n)の公差は、ガラス材をガラス転移温度から30℃/時以下の所定の降温速度で25℃まで冷却した状態での屈折率(n)の公差である、上記(1)に記載の近赤外光吸収ガラス材ロット。
(3)ガラス素材がフッ素含有ガラスである、上記(1)または(2)に記載の近赤外光吸収ガラス材ロット。
(4)前記ガラス材がプレス成形用プリフォームである、上記(1)または(2)に記載の近赤外光吸収ガラス材ロット。
(5)前記ガラス材がガラス板またはガラス棒である、上記(1)または(2)に記載の近赤外光吸収ガラス材ロット。
(6)上記(1)〜(5)のいずれか1項に記載の近赤外光吸収ガラス材ロットを使用して光学素子を量産することを特徴とする光学素子の製造方法。
(7)レンズを量産する、上記(6)に記載の光学素子の製造方法。
(8)非球面レンズを量産する、上記(7)に記載の光学素子の製造方法。
(9)近赤外光吸収ガラス材ロットを加熱、プレス成形する、上記(6)〜(8)のいずれか1項に記載の光学素子の製造方法。
(10)プレス成形により作製したプレス成形品を機械加工する、上記(9)に記載の光学素子の製造方法。
(11)近赤外光吸収ガラス材ロットを加熱、精密プレス成形する、上記(6)〜(8)のいずれか1項に記載の光学素子の製造方法。
(12)近赤外光吸収ガラス材ロットを機械加工する、上記(6)〜(8)のいずれか1項に記載の光学素子の製造方法。
The present invention has been made in order to achieve the above-described object, and provides the following (1) to (12).
(1) In a near-infrared light absorbing glass material lot made of a near-infrared light absorbing glass material containing copper,
A near-infrared light-absorbing glass material lot, characterized by being composed of a glass material having a refractive index (n e ) tolerance of less than ± 0.001 at a wavelength of 546.07 nm.
(2) Tolerance of refractive index (n e) is a tolerance of refractive index of the glass material while cooling to 25 ° C. at 30 ° C. / hour or less in a predetermined temperature lowering rate from the glass transition temperature (n e), The near-infrared light absorbing glass material lot described in (1) above.
(3) The near-infrared light absorbing glass material lot according to (1) or (2) above, wherein the glass material is fluorine-containing glass.
(4) The near-infrared light absorbing glass material lot according to the above (1) or (2), wherein the glass material is a preform for press molding.
(5) The near-infrared light absorbing glass material lot according to (1) or (2), wherein the glass material is a glass plate or a glass rod.
(6) A method for producing an optical element, characterized in that the optical element is mass-produced using the near-infrared light absorbing glass material lot described in any one of (1) to (5) above.
(7) The method for manufacturing an optical element according to (6), wherein the lens is mass-produced.
(8) The method for manufacturing an optical element according to (7), wherein the aspherical lens is mass-produced.
(9) The method for producing an optical element according to any one of (6) to (8), wherein the near-infrared light absorbing glass material lot is heated and press-molded.
(10) The method for manufacturing an optical element according to (9), wherein a press-molded product produced by press molding is machined.
(11) The method for producing an optical element according to any one of (6) to (8), wherein the near-infrared light absorbing glass material lot is heated and precision press-molded.
(12) The method for manufacturing an optical element according to any one of (6) to (8), wherein a near-infrared light absorbing glass material lot is machined.

本発明は、高性能な近赤外光吸収機能を有するガラス製光学素子の量産を可能にする近赤外光吸収ガラス材ロットおよび該ガラス材ロットから光学素子を量産する光学素子の製造方法を提供することを可能にする。   The present invention relates to a near-infrared light absorbing glass material lot that enables mass production of a glass optical element having a high-performance near-infrared light absorption function, and a method for manufacturing an optical element that mass-produces optical elements from the glass material lot. Makes it possible to provide.

レンズなどのように光学機能面が曲面あるいは曲面を含む光学素子や、プリズムなどのように光学機能面同士が非平行である光学素子では、光学素子の形状、寸法、特に光学機能面の形状、寸法、光学機能面同士のなす角度を精密に作ってもガラスの屈折率の精度が不十分であると、光学素子を高性能化することができない。   In an optical element whose optical function surface is a curved surface or a curved surface such as a lens, or an optical element whose optical function surfaces are non-parallel such as a prism, the shape and dimensions of the optical element, particularly the shape of the optical function surface, Even if the dimensions and the angles formed by the optical functional surfaces are precisely made, if the accuracy of the refractive index of the glass is insufficient, the performance of the optical element cannot be improved.

上記銅含有の近赤外光吸収ガラスは、熔融状態で揮発しやすい物質(揮発性物質と呼ぶ)を含むため、熔融ガラスを流出して成形する際、時間とともに揮発により揮発性物質がガラスから失われるため、成形したガラスの屈折率が時間とともに変動し、量産ガラスとして屈折率を小数点以下4桁以上(有効数字5桁以上)の精度で保証することが難しかった。   The near-infrared light-absorbing glass containing copper contains a substance that is easily volatilized in a molten state (referred to as a volatile substance). Therefore, when the molten glass flows out and is molded, the volatile substance is removed from the glass by volatilization with time. Since it is lost, the refractive index of the molded glass fluctuates with time, and as a mass-produced glass, it is difficult to guarantee the refractive index with an accuracy of 4 digits or more (5 digits or more) after the decimal point.

このような問題のため、高性能な近赤外光吸収機能を有するレンズなどの光学素子を安定して量産することができなかった。   Due to such problems, it has been impossible to stably mass-produce optical elements such as lenses having a high-performance near-infrared light absorption function.

つまり、これまでは近赤外光吸収ガラスで100万画素以上の高精細な半導体撮像素子に被写体像を結像する必要性がなく、しかも、上記高精細な撮像素子に見合った近赤外光吸収ガラス製のレンズであって、性能のバラツキのない製品を量産しようとしても屈折率が高精度に揃ったガラス材を調達することも困難な状況であった。   In other words, until now, there has been no need to form a subject image on a high-definition semiconductor image sensor with a million pixels or more with near-infrared light absorbing glass, and near-infrared light suitable for the high-definition image sensor. It was difficult to procure a glass material having a refractive index with high accuracy even when trying to mass-produce a product made of an absorption glass and having no performance variation.

本発明は上記新規な課題を解決するため、屈折率が高精度に揃ったガラス材ロットおよび該ガラス材ロットを使用して光学素子を量産する方法を提供するものであるが、その詳細を以下に説明する。   In order to solve the above-mentioned novel problem, the present invention provides a glass material lot having a high refractive index and a method for mass-producing optical elements using the glass material lot, the details of which are described below. Explained.

[近赤外光吸収ガラス材ロット]
本発明は、銅を含有する近赤外光吸収ガラス素材からなる近赤外光吸収ガラス材ロットにおいて、
波長546.07nmにおける屈折率(n)の公差が±0.001未満のガラス材によって構成されていることを特徴とするものである。
[Near infrared light absorbing glass material lot]
The present invention is a near-infrared light absorbing glass material lot comprising a near-infrared light absorbing glass material containing copper.
It is characterized in that the tolerances of the refractive index at a wavelength of 546.07 nm (n e) are constituted by a glass material of less than ± 0.001.

ここでガラス材とは、ガラス製品を作るための材料となるガラスを意味する。ロットとは、一般に、同一仕様の製品をまとめたものとされるが、ここでは、特定の仕様、例えば同一の光透過特性あるいは近赤外光吸収特性を示す複数個のガラス製品の集合、あるいは銅含有量が所定量の複数個のガラス製品の集合など、所要の近赤外光吸収ガラスとして使用する上で重要な仕様を意味する。   Here, the glass material means glass which is a material for making a glass product. A lot is generally a collection of products of the same specification. Here, a specific specification, for example, a collection of a plurality of glass products exhibiting the same light transmission characteristics or near-infrared light absorption characteristics, or This means an important specification for use as a required near-infrared light absorbing glass, such as a collection of a plurality of glass products having a predetermined copper content.

屈折率(n)は、波長546.07nmにおける屈折率である。光学ガラスの屈折率は一般に波長587.56nmにおける屈折率(nd)により示されるが、銅含有の近赤外光吸収ガラスでは、波長587.56nmにおける透過率が波長546.07nmにおける透過率よりも低くなるため、屈折率を高精度に測定し、管理するには、屈折率(n)で屈折率を特定、指定することが望ましい。そのため、本発明では屈折率としてnを用い、以下、特記しない限り、屈折率というときは屈折率(n)を意味するものとする。 The refractive index (n e ) is a refractive index at a wavelength of 546.07 nm. The refractive index of optical glass is generally indicated by the refractive index (nd) at a wavelength of 587.56 nm, but in the near-infrared light absorbing glass containing copper, the transmittance at a wavelength of 587.56 nm is higher than the transmittance at a wavelength of 546.07 nm. In order to measure and manage the refractive index with high accuracy, it is desirable to specify and specify the refractive index by the refractive index (n e ). Therefore, in the present invention, ne is used as the refractive index, and hereinafter, the refractive index means the refractive index ( ne ) unless otherwise specified.

ガラス中の銅は近赤外光吸収特性の担い手であり、Cu2+として存在する。銅の導入により良好な近赤外光吸収特性を示すガラスとしては、フツリン酸ガラス、リン酸ガラスがある。銅含有のフツリン酸ガラスは同じく銅含有のリン酸ガラスよりも耐候性に優れているという特長を有する。 Copper in the glass is responsible for near-infrared light absorption characteristics and exists as Cu 2+ . Examples of the glass exhibiting good near-infrared light absorption characteristics by introducing copper include fluorophosphate glass and phosphate glass. Similarly, copper-containing fluorophosphate glass has a feature that it has better weather resistance than copper-containing phosphate glass.

ここで、屈折率公差が±0.001未満のガラス材ロットとは、ロットを構成するガラス材の中で屈折率が最大のものと最小のものの屈折率差が0.002未満であるガラス材の集合を意味する。ロットの屈折率の公差が±0.001以上であると、このロットを使用して寸法精度、形状精度の極めて高い光学素子を量産しても、素子の光学的性能のバラツキが大きく、性能が安定した撮像装置を提供することが困難になる。安定した性能を有する撮像装置を提供するには、ロットの屈折率の公差を±0.001未満、好ましくは±0.0009以内、より好ましくは±0.0008以内、さらに好ましくは±0.0005以内、より一層好ましくは±0.0004以内、なお一層好ましくは±0.0003以内とする。   Here, a glass material lot having a refractive index tolerance of less than ± 0.001 is a glass material having a refractive index difference of less than 0.002 between the largest and the smallest of the glass materials constituting the lot. Means a set of If the tolerance of the refractive index of the lot is ± 0.001 or more, even if mass production of optical elements with extremely high dimensional accuracy and shape accuracy is performed using this lot, the optical performance of the elements will vary greatly, and the performance will It becomes difficult to provide a stable imaging device. In order to provide an imaging apparatus having stable performance, a lot refractive index tolerance is less than ± 0.001, preferably within ± 0.0009, more preferably within ± 0.0008, and even more preferably ± 0.0005. , More preferably within ± 0.0004, still more preferably within ± 0.0003.

ガラス材ロットは複数個のガラス材から構成され、その数は、2個以上であるが、光学素子を量産する場合は、10個以上、あるいは100個以上、さらには1000個以上であってもよい。上記ロットからガラス材を選び、選んだガラス材の屈折率を測定する。ロットから屈折率を測定すべきガラス材を何個選ぶかは、次のようにして決めればよい。   The glass material lot is composed of a plurality of glass materials, and the number thereof is 2 or more. However, when mass-producing optical elements, 10 or more, or 100 or more, and even 1000 or more may be used. Good. Select a glass material from the lot and measure the refractive index of the selected glass material. The number of glass materials whose refractive index should be measured from a lot can be determined as follows.

熔融容器に蓄積した熔融ガラスが僅かに不均質であって、その熔融ガラスを連続的に流出することにより、流出するガラスの屈折率が時間とともに変動することがある。また、成形したガラスを冷却する際の冷却速度にバラツキがあると、屈折率にバラツキが生じる。一般的な着色のない、屈折率が高精度に定まった光学ガラスを熔融、成形する技術を用いて、流出するガラスの屈折率変動を抑えるとともに、成形したガラスの冷却速度を一定にする。この状態で屈折率変動の主な要因は流出するガラスの時間的な屈折率変動となるから、個々のガラス原料、ガラス熔融、成形設備において、どのくらいの時間であれば所望の屈折率公差内のガラス材を得ることができるか、サンプリングの個数を多くして、上記製造条件における屈折率公差を把握する。このようにして把握したデータに基づき、ロット内から屈折率を測定するガラス材の個数を設定すればよい。   The molten glass accumulated in the melting vessel is slightly inhomogeneous, and when the molten glass flows out continuously, the refractive index of the flowing out glass may vary with time. Further, if the cooling rate at the time of cooling the molded glass varies, the refractive index varies. A technique for melting and molding optical glass with a refractive index determined with high accuracy, which is not colored in general, suppresses the refractive index fluctuation of the flowing out glass and makes the cooling rate of the molded glass constant. In this state, the main factor of the refractive index fluctuation is the temporal refractive index fluctuation of the outflowing glass. Therefore, in the individual glass raw materials, glass melting and molding equipment, how long it takes within the desired refractive index tolerance. Whether the glass material can be obtained or the number of samplings is increased, and the refractive index tolerance in the manufacturing conditions is grasped. Based on the data thus obtained, the number of glass materials whose refractive index is to be measured from the lot may be set.

レンズなどのように光学機能面が曲面あるいは曲面を含む光学素子や、プリズムなどのように光学機能面同士が非平行である光学素子では、光学素子の形状、寸法、特に光学機能面の形状、寸法、光学機能面同士のなす角度を精密に作るとともに、上記屈折率精度のガラスを使用することにより、所要の光学性能を実現することができる。   In an optical element whose optical function surface is a curved surface or a curved surface such as a lens, or an optical element whose optical function surfaces are non-parallel such as a prism, the shape and dimensions of the optical element, particularly the shape of the optical function surface, The required optical performance can be achieved by precisely making the dimensions and the angle formed by the optical functional surfaces and using the glass having the above refractive index accuracy.

前述のようにカメラ付き携帯電話のような撮像装置搭載のモバイル装置は、50万画素以上、さらには100万画素以上の高精細な撮像素子を搭載するようになってきている。このような機器に対応するには、レンズ機能と撮像素子の色感度補正機能を一つの光学素子に集約するだけでは不十分であり、レンズとしての結像性能を高める必要がある。前記性能を高めるには、レンズの形状精度や寸法精度を高めるだけでは不十分であり、ガラス材ロットからどのガラス材を選んでも屈折率が高精度に規定されている必要がある。しかし、近赤外光吸収ガラスは、従来、平板形状のフィルタ用途に生産されており、屈折率(nd)の精度は高々小数点以下3桁(有効桁数4桁)であった。このような状況がこれまで屈折率の精度が高い近赤外光吸収ガラスの必要性を認識させなかった原因の一つである。   As described above, a mobile device equipped with an imaging device such as a camera-equipped mobile phone has come to be equipped with a high-definition image sensor having 500,000 pixels or more, or even 1 million pixels or more. In order to cope with such a device, it is not sufficient to combine the lens function and the color sensitivity correction function of the image sensor into one optical element, and it is necessary to improve the imaging performance as a lens. In order to improve the performance, it is not sufficient to increase the shape accuracy and dimensional accuracy of the lens, and it is necessary that the refractive index be defined with high accuracy regardless of which glass material is selected from the glass material lot. However, near-infrared light absorbing glass has been conventionally produced for flat filter applications, and the accuracy of the refractive index (nd) was at most 3 digits after the decimal point (4 significant digits). Such a situation is one of the reasons why the necessity of near-infrared light absorbing glass with high refractive index accuracy has not been recognized so far.

近赤外光吸収ガラスは、フツリン酸ガラスあるいはリン酸ガラスをベースに所要の銅を添加して作製されるが、フツリン酸ガラスにしてもリン酸ガラスにしても、熔融状態のガラス表面からの揮発により一部のガラス成分が時間とともに減少するため、屈折率が変動してしまう。   Near-infrared light absorbing glass is prepared by adding the required copper based on fluorophosphate glass or phosphate glass, but it can be obtained from the molten glass surface, whether fluorophosphate glass or phosphate glass. Since some glass components decrease with time due to volatilization, the refractive index fluctuates.

近赤外光吸収ガラスでは、熔融温度を高温にするとCu2+がCuに還元され、ガラスが青色から緑色に変わってしまう。そうすると、可視透過率を高めつつ、近赤外光の吸収を大きくするという半導体撮像素子の色感度補正に必要な特性が損なわれてしまう。したがって、ガラスを長い時間、高温状態に置かないことがよいとされてきた。しかし、このような条件で熔融ガラスを作製する工程を行うと、揮発性物質が多量に含まれる熔融ガラスを流出、成形することになり、ガラスの流出開始から終了まで、ガラス組成を一定に保つことが難しくなり、屈折率も変動してしまう。 In the near-infrared light absorbing glass, when the melting temperature is raised, Cu 2+ is reduced to Cu + and the glass changes from blue to green. If it does so, the characteristic required for the color-sensitivity correction | amendment of a semiconductor image pick-up element which enlarges absorption of near-infrared light, improving visible transmittance will be impaired. Therefore, it has been recommended not to leave the glass in a high temperature state for a long time. However, if a process for producing molten glass under such conditions is performed, molten glass containing a large amount of volatile substances will flow out and be molded, and the glass composition will be kept constant from the beginning to the end of the outflow of glass. And the refractive index fluctuates.

このような揮発による組成変動を低減するには、ガラスを蓄積する密閉容器内に乾燥ガス、好ましくは乾燥不活性ガスを流しながら少なくとも清澄工程を行い、この工程で揮発性物質を十分揮発させてしまえばよい。密閉容器には排気口を設け、容器内を流れたガスを容器外へと排気する。排気したガスは浄化装置で浄化した後、外部へ排出する。   In order to reduce such composition fluctuations due to volatilization, at least a clarification step is performed while flowing a dry gas, preferably a dry inert gas, in a closed container that accumulates glass, and in this step, volatile substances are sufficiently volatilized. Just do it. The closed container is provided with an exhaust port to exhaust the gas flowing in the container to the outside of the container. The exhausted gas is purified by a purification device and then discharged to the outside.

揮発性物質をガラスから低減することにより、一部の成分、例えばフッ素、アルカリなどの含有量が減少するが、前記減少分を補うように予めガラス原料を秤量、調合すればよい。このような組成の補正は、テスト熔解を行い、目的とする屈折率にテストサンプルの屈折率が近づくように行えばよい。   By reducing the volatile substances from the glass, the content of some components, such as fluorine and alkali, decreases, but the glass raw material may be weighed and prepared in advance to compensate for the decrease. Such composition correction may be performed by performing test melting so that the refractive index of the test sample approaches the target refractive index.

屈折率の公差の上限は前述のとおりであるが、どこまで公差を小さくするべきかは、目的とする光学素子の仕様を勘案して決めればよい。屈折率の公差だけを小さくしても、光学素子の性能は形状精度、寸法精度などを含めた総合的な条件で決まり、さらには、近赤外光吸収ガラスからなる光学素子のみの性能をよくしても、他の光学素子の性能がそれに見合うだけのものでなければ、過剰の仕様になってしまう。このような点や製造コストなどを考慮すると、前記屈折率の精度を小数点以下5桁とすれば十分である。   The upper limit of the refractive index tolerance is as described above, but the extent to which the tolerance should be reduced may be determined in consideration of the specifications of the target optical element. Even if only the tolerance of the refractive index is reduced, the performance of the optical element is determined by comprehensive conditions including shape accuracy and dimensional accuracy, and the performance of only the optical element made of near-infrared light absorbing glass is improved. Even so, if the performance of other optical elements does not match that, it will result in excessive specifications. Considering such points and manufacturing costs, it is sufficient that the accuracy of the refractive index is five digits after the decimal point.

このようなガラス材ロットであれば、小数点以下5桁で示された屈折率をラベリングし、光学素子製造工程に送れば、性能が揃った光学素子を量産することができる。あるいは、ガラス材ロットを販売する場合でも、所定の製品名、品番などでガラス材を指定し、この製品名、品番の屈折率を小数点以下4桁以上、好ましくは5桁以上で表示することができる。ロットを購入した者は、ロット中のどのガラス材を使用しても目的とする性能を有する光学素子を作製することができる。   If it is such a glass material lot, if the refractive index indicated by five digits after the decimal point is labeled and sent to the optical element manufacturing process, optical elements with uniform performance can be mass-produced. Alternatively, even when a glass material lot is sold, a glass material is designated by a predetermined product name, product number, etc., and the refractive index of the product name, product number can be displayed with 4 digits or more, preferably 5 digits or more after the decimal point. it can. A person who has purchased a lot can produce an optical element having the desired performance regardless of the glass material in the lot.

なお、熔融ガラスから成形したガラスは、十分な徐冷を行わないと歪みが残留し、その影響によって、ガラス本来の屈折率は高精度に定まっているものの、見かけ上の屈折率にバラツキが生じることがある。例えば、プレス成形用プリフォーム(精密プレス成形用プリフォームを含む)を熔融ガラスから直接、成形すると、急冷して成形したプリフォーム内に応力が発生し、時間をかけてアニールすることにより前記応力を緩和した後でないと、屈折率の公差を正確に評価することは困難である。このような場合、ガラス材をガラス転移温度から30℃/時以下のゆっくりとしたスピードで、かつ定められたスピードで25℃まで冷却した後の屈折率を測定すれば、ガラス材中の歪みによる影響が低減されたガラス材固有の屈折率ならびにロットにおける屈折率の公差を評価することができる。   In addition, the glass formed from the molten glass remains strained unless it is sufficiently cooled, and due to the influence, the original refractive index of the glass is determined with high accuracy, but the apparent refractive index varies. Sometimes. For example, when a preform for press molding (including a precision press-molding preform) is molded directly from molten glass, stress is generated in the preform that has been quenched and molded, and the stress is generated by annealing over time. It is difficult to accurately evaluate the tolerance of the refractive index without relaxing the above. In such a case, if the refractive index after the glass material is cooled to 25 ° C. at a slow speed of 30 ° C./hour or less from the glass transition temperature and measured at a predetermined speed, it is due to strain in the glass material. It is possible to evaluate the refractive index inherent in the glass material with reduced influence as well as the tolerance of the refractive index in the lot.

本発明の好ましい態様は、ガラス材をガラス転移温度から30℃/時以下の所定の降温速度で25℃まで冷却した状態での屈折率の公差が±0.001未満のガラス材によって構成されていることを特徴とする近赤外光吸収ガラス材ロットである。ここで、体積の小さいガラス材あるいは薄いシート状のガラス材の場合、雰囲気温度にガラスがなじみながら冷却が進むが、体積の大きいガラス材や肉厚のガラス材の場合は、ガラス材内部の冷却が遅れるため、歪みの除去が不十分になることがあるので、その場合は降温速度をより小さくする(よりゆっくり冷却する)。ここで同一ロットでは降温速度を一定にして各ガラス材の屈折率を測定する。同一ロットのガラス材間で降温速度にバラツキがあると、屈折率のバラツキ原因になるので、上記の点には十分留意すべきである。なお、屈折率の好ましい公差の範囲については上述のとおりである。   A preferred embodiment of the present invention is composed of a glass material having a refractive index tolerance of less than ± 0.001 in a state in which the glass material is cooled to 25 ° C. at a predetermined temperature decrease rate of 30 ° C./hour or less from the glass transition temperature. It is a near-infrared light absorbing glass material lot characterized by being. Here, in the case of a glass material with a small volume or a thin sheet-like glass material, cooling proceeds while the glass is adapted to the ambient temperature, but in the case of a glass material with a large volume or a thick glass material, cooling inside the glass material In this case, the rate of temperature decrease is made smaller (cooled more slowly). Here, in the same lot, the refractive index of each glass material is measured at a constant temperature drop rate. If the temperature drop rate varies between glass materials of the same lot, it will cause a variation in refractive index, so the above points should be fully noted. The preferable tolerance range of the refractive index is as described above.

近赤外光吸収ガラスとしては、銅含有フツリン酸ガラス、銅含有リン酸ガラスなどがあるが、銅含有フツリン酸ガラスは耐候性に優れるという特質を有するため、利用価値が高い。その一方、揮発性が極めて高いフッ素を含むため、屈折率変動が大きいという問題がある。しかし、本発明によれば屈折率の公差を100万画素以上の高精細撮像素子に対応できる程度に小さくできるので、耐候性の優れた高性能の光学素子を安定して量産することができる。   As the near-infrared light absorbing glass, there are copper-containing fluorophosphate glass, copper-containing phosphate glass, and the like. However, since copper-containing fluorophosphate glass has the property of being excellent in weather resistance, its utility value is high. On the other hand, there is a problem that the refractive index variation is large because fluorine containing extremely high volatility is contained. However, according to the present invention, the tolerance of the refractive index can be made small enough to be compatible with a high-definition image sensor having one million pixels or more, so that a high-performance optical element having excellent weather resistance can be stably mass-produced.

ガラス材としては、前述のように精密プレス成形用プリフォームなどのプレス成形用プリフォームのほか、ガラス板、ガラス棒などの形態を例示できる。ガラス板、ガラス棒を適当な寸法に切断し、表面を研削、研磨して上記プリフォームに仕上げることもできるし、前記切断したガラス片を研削、研磨して光学素子に仕上げることもできる。   Examples of the glass material include forms such as a glass plate and a glass rod in addition to a press molding preform such as a precision press molding preform as described above. A glass plate or a glass rod can be cut to an appropriate size, and the surface can be ground and polished to finish the preform, or the cut glass piece can be ground and polished to finish an optical element.

次に本発明のガラスの好ましい態様について詳説する。
第1の態様は、Cu2+の含有量が0.5〜13カチオン%のガラスである。以下、特記しない限り、カチオン成分の含有量、合計含有量をカチオン%表示とし、アニオン成分の含有量をアニオン%表示とする。Cu2+の量が0.5%未満では所望の近赤外光吸収特性を得ることが難しく、逆に13%よりも多いとガラスの耐失透性が低下する。
Next, the preferable aspect of the glass of this invention is explained in full detail.
The first aspect is a glass having a Cu 2+ content of 0.5 to 13 cation%. Hereinafter, unless otherwise specified, the cation component content and the total content are expressed as cation%, and the anion component content is expressed as anion%. If the amount of Cu 2+ is less than 0.5%, it is difficult to obtain desired near infrared light absorption characteristics. Conversely, if it exceeds 13%, the devitrification resistance of the glass decreases.

このような態様のガラスにおいて、より好ましい態様のガラスは、
5+ 11〜45%、
Al3+ 0〜29%、
Li、NaおよびKを合計で0〜43%、
Ba2+、Sr2+、Ca2+、Mg2+およびZn2+を合計で14〜50%、
Cu2+ 0.5〜13%、
を含み、さらにアニオニック%表示で、
17〜80%、
を含むものである。
In the glass of such an embodiment, the glass of a more preferred embodiment is
P 5+ 11-45%,
Al 3+ 0-29%,
Li + , Na + and K + in total 0 to 43%,
Ba 2+ , Sr 2+ , Ca 2+ , Mg 2+ and Zn 2+ in total 14 to 50%,
Cu 2+ 0.5-13%,
In addition, in anionic% display,
F - 17-80%,
Is included.

上記組成のアニオン成分の残量すべてをO2−とすることが好ましい。 It is preferable that all the remaining amount of the anionic component having the above composition is O 2− .

上記組成において、P5+はフツリン酸ガラスの基本成分であり、Cu2+の赤外域の吸収をもたらす重要な成分である。P5+の含有量は11%未満では色が悪化して緑色を帯び、逆に45%を超えると耐候性、耐失透性が悪化する。したがって、P5+の含有量は11〜45%とすることが好ましく、20〜45%とすることがより好ましく、23〜40%とすることがさらに好ましい。 In the above composition, P 5+ is a basic component of fluorophosphate glass and an important component that brings about absorption of Cu 2+ in the infrared region. If the content of P 5+ is less than 11%, the color deteriorates and becomes greenish. Conversely, if it exceeds 45%, the weather resistance and devitrification resistance deteriorate. Therefore, the content of P 5+ is preferably 11 to 45%, more preferably 20 to 45%, and still more preferably 23 to 40%.

Al3+はフツリン酸ガラスの耐失透性と耐熱性、耐熱衝撃性、機械的強度、化学的耐久性を向上させる成分である。ただし、Alは含有量は29%を超えると近赤外吸収特性が悪化する。したがって、Al3+の含有量を0〜29%とすることが好ましく、1〜29%とすることがより好ましく1〜25%とすることがさらに好ましく、2〜23%とすることがより一層好ましい。 Al 3+ is a component that improves the devitrification resistance, heat resistance, thermal shock resistance, mechanical strength, and chemical durability of fluorophosphate glass. However, when the content of Al 3 exceeds 29%, the near infrared absorption characteristics deteriorate. Therefore, the content of Al 3+ is preferably 0 to 29%, more preferably 1 to 29%, still more preferably 1 to 25%, and even more preferably 2 to 23%. .

Li、NaおよびKはガラスの熔融性、耐失透性を改善させ、可視光域の透過率を向上する成分であるが、合計量で43%を超えると、ガラスの耐久性、加工性が悪化する。したがって、Li、NaおよびKの合計含有量を0〜43%とすることが好ましく、0〜40%とすることがより好ましく、0〜36%とすることがさらに好ましい。 Li + , Na + and K + are components that improve the meltability and devitrification resistance of the glass and improve the transmittance in the visible light region, but if the total amount exceeds 43%, the durability of the glass, Workability deteriorates. Therefore, the total content of Li + , Na + and K + is preferably 0 to 43%, more preferably 0 to 40%, and still more preferably 0 to 36%.

アルカリ成分の中でもLiは上記作用に優れており、Liの量を15〜30%とすることがより好ましく、20〜30%とすることがさらに好ましい。 Among the alkali components, Li + is excellent in the above action, and the amount of Li + is preferably 15 to 30%, more preferably 20 to 30%.

Mg2+、Ca2+、Sr2+、Ba2+およびZn2+はガラスの耐失透性、耐久性、加工性を向上させる有用な成分であるが、過剰導入により耐失透性が低下するので、Mg2+、Ca2+、Sr2+、Ba2+およびZn2+の合計量を14〜50%にすることが好ましく、20〜40%にすることがより好ましい。 Mg 2+ , Ca 2+ , Sr 2+ , Ba 2+, and Zn 2+ are useful components that improve the devitrification resistance, durability, and workability of the glass. However, since the devitrification resistance decreases due to excessive introduction, Mg The total amount of 2+ , Ca 2+ , Sr 2+ , Ba 2+ and Zn 2+ is preferably 14 to 50%, more preferably 20 to 40%.

Mg2+含有量の好ましい範囲は0.1〜10%、より好ましい範囲は1〜8%である。Ca2+含有量の好ましい範囲は0.1〜20%、より好ましい範囲は3〜15である。Sr2+含有量の好ましい範囲は0.1〜20%、より好ましい範囲は1〜15%である。Ba2+含有量の好ましい範囲は0.1〜20%、より好ましい範囲は1〜15%、さらに好ましい範囲は1〜10である。 A preferable range of the Mg 2+ content is 0.1 to 10%, and a more preferable range is 1 to 8%. A preferable range of the Ca 2+ content is 0.1 to 20%, and a more preferable range is 3 to 15. A preferable range of the Sr 2+ content is 0.1 to 20%, and a more preferable range is 1 to 15%. Ba 2+ content preferably falls within a range of 0.1 to 20%, more preferably in the range of 1% to 15%, still more preferably in the range of 1 to 10.

Cu2+は近赤外光吸収特性の担い手である。その量が0.5%未満では近赤外吸収が小さく、逆に13%を越えると耐失透性が悪化する。したがって、Cu2+の含有量は0.5〜13%が好ましく、0.5〜10%がより好ましく、0.5〜5%がさらに好ましく、1〜5%がより一層好ましい。 Cu 2+ is a bearer of near-infrared light absorption characteristics. If the amount is less than 0.5%, the near-infrared absorption is small. Conversely, if it exceeds 13%, the devitrification resistance deteriorates. Therefore, the content of Cu 2+ is preferably 0.5 to 13%, more preferably 0.5 to 10%, still more preferably 0.5 to 5%, and even more preferably 1 to 5%.

はガラスの融点を下げ、耐候性を向上させる重要なアニオン成分である。本態様のガラスはFを含有することによって、ガラスの熔融温度を下げ、Cu2+の還元を抑え、所要の光学特性を得ることができる。Fの含有量は、17%未満では耐候性が悪化し、逆に80%を超えるとO2−の含有量が減少するため1価のCu+による400nm付近の着色を生じる。従ってFの含有量を17〜80とすることが好ましい。上記特性を一層向上させる上から、Fの量を25〜55%にすることがより好ましく、30〜50%にすることがさらに好ましい。 F is an important anion component that lowers the melting point of the glass and improves the weather resistance. When the glass of this embodiment contains F , the melting temperature of the glass can be lowered, the reduction of Cu 2+ can be suppressed, and the required optical characteristics can be obtained. When the content of F is less than 17%, the weather resistance deteriorates. On the other hand, when the content of F exceeds 80%, the content of O 2− decreases, so that coloring near 400 nm is caused by monovalent Cu +. Therefore, the content of F is preferably 17 to 80. In order to further improve the above characteristics, the amount of F is more preferably 25 to 55%, and further preferably 30 to 50%.

2−は本態様のガラスにおいて重要なアニオン成分であり、全アニオン成分のFを除く残部全量をO2−成分で構成することが好ましい。したがって、O2−の好ましい量は上記F−の好ましい量を100%から差し引いた範囲となる。O2−が少な過ぎると2価のCu2+が還元され1価のCuとなるため短波長域、特に400nm付近の吸収が大きくなってしまい、緑色を呈するようになる。逆に過剰になるとガラスの粘度が高く、熔融温度が高くなるため透過率が悪化する。 O 2− is an important anion component in the glass of this embodiment, and it is preferable that the entire remaining amount excluding F − of the total anion component is composed of the O 2− component. Therefore, the preferable amount of O 2− is a range obtained by subtracting the preferable amount of F− from 100%. If the amount of O 2− is too small, divalent Cu 2+ is reduced to monovalent Cu + , so that the absorption in the short wavelength region, particularly near 400 nm, becomes large, and the color becomes green. On the other hand, if the amount is excessive, the viscosity of the glass is high and the melting temperature is high, so that the transmittance is deteriorated.

なお、Pb、Asは有害性が強いから、使用しないことが望ましい。   Note that Pb and As are not harmful because they are highly harmful.

本態様において、ガラスの屈折率を1.4700〜1.5500の範囲、好ましくは1.5000〜1.5400で小数点以下4桁以上(有効桁数5桁以上)、好ましくは5桁(有効桁数6桁)で設定することができる。   In this embodiment, the refractive index of the glass is in the range of 1.4700 to 1.5500, preferably 1.5000 to 1.5400, 4 digits after the decimal point (5 significant digits or more), preferably 5 digits (effective digits). It can be set in several 6 digits).

本発明のガラスの好ましい透過率特性は以下のとおりである。
波長500〜700nmの分光透過率において透過率50%を示す波長が615nmである厚さに換算し、波長400〜1200nmの分光透過率が下記のような特性を示すものである。
Preferred transmittance characteristics of the glass of the present invention are as follows.
The spectral transmittance at a wavelength of 500 to 700 nm is converted into a thickness at which the wavelength showing a transmittance of 50% is 615 nm, and the spectral transmittance at a wavelength of 400 to 1200 nm exhibits the following characteristics.

波長400nmにおいて78%以上、好ましくは80%以上、より好ましくは83%以上、さらに好ましくは85%以上、
波長500nmにおいて85%以上、好ましくは88%以上、より好ましくは89%以上、
波長600nmにおいて51%以上、好ましくは55%以上、より好ましくは56%以上、
波長700nmにおいて12%以下、好ましくは11%以下、より好ましくは10%以下、
波長800nmにおいて5%以下、好ましくは3%以下、より好ましくは2.5%以下、さらに好ましくは2.2%以下、より一層好ましくは2%以下、
波長900nmにおいて5%以下、好ましくは3%以下、より好ましくは2.5%以下、さらに好ましくは2.2%以下、より一層好ましくは2%以下、
波長1000nmにおいて7%以下、好ましくは6%以下、より好ましくは5.5%以下、さらに好ましくは5%以下、より一層好ましくは4.8%以下、
波長1100nmにおいて12%以下、好ましくは11%以下、より好ましくは10.5%以下、さらに好ましくは10%以下、
波長1200nmにおいて23%以下、好ましくは22%以下、より好ましくは21%以下、さらに好ましくは20%以下である。
78% or more at a wavelength of 400 nm, preferably 80% or more, more preferably 83% or more, still more preferably 85% or more,
85% or more at a wavelength of 500 nm, preferably 88% or more, more preferably 89% or more,
51% or more at a wavelength of 600 nm, preferably 55% or more, more preferably 56% or more,
12% or less at a wavelength of 700 nm, preferably 11% or less, more preferably 10% or less,
5% or less, preferably 3% or less, more preferably 2.5% or less, even more preferably 2.2% or less, even more preferably 2% or less at a wavelength of 800 nm,
5% or less, preferably 3% or less, more preferably 2.5% or less, even more preferably 2.2% or less, even more preferably 2% or less at a wavelength of 900 nm,
7% or less, preferably 6% or less, more preferably 5.5% or less, still more preferably 5% or less, and even more preferably 4.8% or less at a wavelength of 1000 nm.
12% or less at a wavelength of 1100 nm, preferably 11% or less, more preferably 10.5% or less, still more preferably 10% or less,
It is 23% or less, preferably 22% or less, more preferably 21% or less, and further preferably 20% or less at a wavelength of 1200 nm.

即ち、波長700〜1200nmの近赤外線の吸収は大きく、波長400〜600nmの可視光線の吸収は小さい。ここで、透過率とは互いに平行かつ光学研磨した2つの平面を有するガラス試料を想定し、前記平面の一方に垂直に光を入射したとき、前記平面の他方から出射した光の強度を、前記入射光の試料入射前における強度で割った値であり、外部透過率とも呼ばれる。   That is, absorption of near-infrared light having a wavelength of 700 to 1200 nm is large, and absorption of visible light having a wavelength of 400 to 600 nm is small. Here, the transmittance is assumed to be a glass sample having two planes that are parallel to each other and optically polished, and when light is incident on one of the planes perpendicularly, the intensity of the light emitted from the other of the planes is expressed as follows. It is a value divided by the intensity of the incident light before entering the sample, and is also called external transmittance.

このような特性によりCCDやCMOSなどの半導体撮像素子の色補正を良好に行うことができる。   With such characteristics, color correction of a semiconductor image sensor such as a CCD or CMOS can be performed satisfactorily.

本発明の近赤外光吸収ガラスによれば、所要の近赤外光吸収特性を有するとともに、高精度に定まった屈折率を有するため、その屈折率に応じた光学設計が可能になる。例えば、レンズの形状、寸法などの設計、プリズムの光学機能面のなす角度や寸法の設計などを所定の屈折率の値に対して行えば、諸収差が小さく、結像性能の優れたレンズや、光学的に精度の高いプリズムを実現することができる。   According to the near-infrared light absorbing glass of the present invention, it has a required near-infrared light absorption characteristic and has a refractive index determined with high accuracy, so that an optical design corresponding to the refractive index becomes possible. For example, if the design of the lens shape, dimensions, etc., and the design of the angle and dimensions made by the optical functional surface of the prism are performed for a given refractive index value, various aberrations are small and lenses with excellent imaging performance An optically accurate prism can be realized.

なお、熔融ガラスを成形するにあたり、ガラスの流出雰囲気を乾燥雰囲気中で行うか、パイプ下端のガラス流出口近傍ならびに流出したガラス表面に乾燥ガスを流しながら行うことが好ましい。その理由は、熔融雰囲気も同様であるが、成形雰囲気に水蒸気が含まれていると熔融ガラスとの反応が起き、屈折率の変動やガラスの変質の原因になるためである。また、ガラスを流出する場合には、流出パイプ下端の外周への熔融ガラスの濡れ上がりが顕著になるためである。濡れ上がったガラスは変質し、変質したガラスがガラス中に取り込まれることにより脈理が発生してしまう。   In forming the molten glass, it is preferable to perform the glass outflow atmosphere in a dry atmosphere, or while flowing a dry gas in the vicinity of the glass outlet at the lower end of the pipe and the outflowed glass surface. The reason is that the melting atmosphere is the same, but if water vapor is contained in the molding atmosphere, a reaction with the molten glass occurs, which causes a change in refractive index and a deterioration of the glass. Moreover, when glass flows out, it is because the wetting of the molten glass to the outer periphery of the lower end of an outflow pipe becomes remarkable. The wet glass is altered, and the altered glass is taken into the glass, causing striae.

雰囲気あるいは乾燥ガスの好ましい乾燥度は、露点−10℃以下が好ましく、−20℃以下がより好ましく、−30℃以下がさらに好ましく、−40℃以下がより一層好ましく、−50℃がなお一層好ましい。ガスの種類としては、窒素などの不活性ガス、窒素などの不活性ガスと酸素の混合ガスなどを例示することができる。   The preferable dryness of the atmosphere or the dry gas is preferably a dew point of −10 ° C. or lower, more preferably −20 ° C. or lower, still more preferably −30 ° C. or lower, still more preferably −40 ° C. or lower, and even more preferably −50 ° C. . Examples of the type of gas include an inert gas such as nitrogen, a mixed gas of an inert gas such as nitrogen and oxygen, and the like.

なお、化合物原料としては、リン酸塩原料、フッ化物原料、銅酸化物原料などを使用すればよい。   As the compound raw material, a phosphate raw material, a fluoride raw material, a copper oxide raw material, or the like may be used.

このようにして用意された熔融ガラスを容器に接続したパイプから連続して流出し、鋳型内に流し込み、成形し、徐冷して所望形状のガラス成形体を得る。鋳型の形状は目的とするガラス成形体の形状に応じて適宜選択する。   The molten glass thus prepared continuously flows out from the pipe connected to the container, is poured into a mold, is molded, and is slowly cooled to obtain a glass molded body having a desired shape. The shape of the mold is appropriately selected according to the shape of the target glass molded body.

成形時、高温のガラスは雰囲気中の水分と反応しやすく、この反応によりガラスの品質が低下するので、熔融ガラスの流出、成形は乾燥雰囲気中で行うことが好ましい。乾燥雰囲気中の水分量は露点−30℃以下相当が望ましい。ガスの種類は窒素、アルゴンなどの不活性ガス、前記不活性ガスに酸素を混合したガスなどを使用すればよい。   At the time of molding, high-temperature glass easily reacts with moisture in the atmosphere, and the quality of the glass is lowered by this reaction. Therefore, it is preferable that the molten glass is discharged and molded in a dry atmosphere. The amount of water in the dry atmosphere is preferably equivalent to a dew point of −30 ° C. or lower. As the type of gas, an inert gas such as nitrogen or argon, a gas obtained by mixing oxygen with the inert gas, or the like may be used.

このようにして成形したガラス成形体に切断、研削、研磨などの機械加工を施し、プレス成形用ガラス素材や以下で詳説する精密プレス成形用プリフォームにしたり、レンズ、プリズム、フィルタなどの光学素子にすることができる。   The glass molded body thus formed is subjected to mechanical processing such as cutting, grinding and polishing to form a glass material for press molding and a precision press molding preform described in detail below, and optical elements such as lenses, prisms and filters. Can be.

本発明のガラスを精密プレス成形する場合、上記ガラスからなる精密プレス成形用プリフォームを作製する。ここで精密プレス成形用プリフォームとは、プレス成形品の重量と等しい重量のガラスを、精密プレス成形に適した形状に予め成形したものである。   When the glass of the present invention is precision press-molded, a precision press-molding preform made of the glass is prepared. Here, the precision press-molding preform is obtained by pre-molding glass having a weight equal to the weight of the press-molded product into a shape suitable for precision press-molding.

精密プレス成形用プリフォームとして使用する際は、精密プレス成形時にガラスがプレス成形型内に十分広がるようにするための機能を有する公知の各種膜や離型性を高めるための公知の各種膜をプリフォーム全表面に形成してもよい。   When used as a precision press-molding preform, various known films having a function for allowing the glass to sufficiently spread in the press mold during precision press molding and various known films for improving mold release properties are used. It may be formed on the entire surface of the preform.

銅含有フツリン酸ガラスは、他の一般的な光学ガラスと比較し、磨耗度が大きく、熱膨張係数も大きいという性質を有する。このような性質は、研磨加工にとって好ましくない。磨耗度が大きいと、加工精度が低下したり、研磨時の傷がガラス表面に残留しやすい。また、研磨は切削液をガラスにかけながら行うが、研磨によって温度上昇したガラスに切削液をかけたり、超音波洗浄時に温度上昇した洗浄液に表面に研磨による傷が存在するガラスを投入すると、ガラスが大きな温度変化に晒され、熱膨張係数が大きいフツリン酸ガラスでは熱衝撃によってガラスが破損するという問題がおきやすい。したがって、精密プレス成形用プリフォームにしても、光学素子にしても研磨によらない方法で製造することが望ましい。このような観点から精密プレス成形用プリフォームは全表面が熔融状態のガラスを固化して形成された面とすることが望ましく、光学素子としては、精密プレス成形により作製されたものが望ましい。   Copper-containing fluorophosphate glass has properties of a high degree of wear and a large thermal expansion coefficient compared to other general optical glasses. Such a property is not preferable for polishing. When the degree of wear is large, processing accuracy is lowered, and scratches during polishing are likely to remain on the glass surface. Polishing is performed while the cutting fluid is applied to the glass. However, if the cutting fluid is applied to the glass whose temperature has been increased by polishing, or if glass having scratches due to polishing on the surface is added to the cleaning liquid whose temperature has increased during ultrasonic cleaning, A fluorophosphate glass that is exposed to a large temperature change and has a large coefficient of thermal expansion is likely to break the glass due to thermal shock. Therefore, it is desirable to manufacture by a method that does not depend on polishing, whether it is a preform for precision press molding or an optical element. From this point of view, the precision press-molding preform is desirably a surface formed by solidifying glass whose entire surface is melted, and the optical element is desirably produced by precision press-molding.

プリフォームの全表面を熔融状態のガラスを固化して形成される面とすることにより、プリフォームを洗浄したり、精密プレス成形に先立って加熱する際のプリフォームの破損を防止、低減することができる。   Preventing and reducing damage to the preform when it is cleaned or heated prior to precision press molding by making the entire surface of the preform a surface formed by solidifying glass in the molten state Can do.

次にプレス成形用プリフォームの製造方法について説明する。
プレス成形用プリフォームの製造法の一例は、パイプから熔融ガラスを流出させて、所望重量の熔融ガラス塊を分離し、該ガラス塊をガラスが冷却する過程で上記ガラスからなるプリフォームに成形する。
Next, a method for producing a press-molding preform will be described.
One example of a method for producing a press-molding preform is to let molten glass flow out of a pipe, separate a molten glass lump of a desired weight, and form the glass lump into a preform made of the glass in the process of cooling the glass. .

この方法では、通電加熱方式あるいは高周波誘導加熱方式、またはこれら2つの加熱方式を組合わせた加熱法で、所定温度に加熱した白金合金製あるいは白金製のパイプから一定流量で連続して熔融ガラスを流出させる。流出した熔融ガラスからプリフォーム1個分の重量、あるいはプリフォーム1個分の重量に後述する除去分の重量を加えた重量の熔融ガラス塊を分離する。熔融ガラス塊の分離にあたっては、切断痕が残らないように、切断刃の使用を避けることが望ましく、例えば、パイプの流出口から熔融ガラスを滴下させたり、流出する熔融ガラス流先端を支持体により支持し、目的重量の熔融ガラス塊が分離できるタイミングで支持体を急降下して熔融ガラスの表面張力を利用して熔融ガラス流先端から熔融ガラス塊を分離する方法を用いることが好ましい。   In this method, the molten glass is continuously applied at a constant flow rate from a platinum alloy or platinum pipe heated to a predetermined temperature by an electric heating method, a high-frequency induction heating method, or a heating method combining these two heating methods. Spill. The molten glass lump having a weight obtained by adding the weight of one preform or the weight of one preform to the weight of the removal portion described later is separated from the molten glass that has flowed out. When separating the molten glass lump, it is desirable to avoid the use of a cutting blade so as not to leave a cut mark. For example, the molten glass is dropped from the outlet of the pipe, or the molten glass flow tip flowing out is supported by the support. It is preferable to use a method in which the molten glass lump is separated from the front end of the molten glass flow by using the surface tension of the molten glass by suddenly dropping the support at a timing at which the molten glass lump of the target weight can be separated.

分離した熔融ガラス塊はプリフォーム成形型の凹部上においてガラスが冷却する過程で所望形状に成形する。その際、プリフォーム表面にシワができたり、カン割れと呼ばれるガラスの冷却過程における破損を防止するため、凹部上でガラス塊に上向きの風圧を加え浮上させた状態で成形することが好ましい。その際、ガラス塊表面にガスを吹き付けて前記表面の冷却を促進することは、脈理を低減、防止する上から好ましい。   The separated molten glass lump is formed into a desired shape in the process of cooling the glass on the recess of the preform mold. At that time, in order to prevent wrinkles on the preform surface or breakage in the glass cooling process called can cracking, it is preferable to mold the glass lump in a state of being lifted by applying upward wind pressure to the glass block. In that case, it is preferable from the viewpoint of reducing and preventing striae to spray the gas on the surface of the glass lump to promote the cooling of the surface.

プリフォームに外力を加えても変形しない温度域にまでガラスの温度が低下してから、プリフォームをプリフォーム成形型から取り出して、徐冷する。   After the temperature of the glass is lowered to a temperature range that does not deform even when an external force is applied to the preform, the preform is taken out from the preform mold and gradually cooled.

なお、ガラス表面からのフッ素の揮発を低減するため、ガラス流出、プリフォーム成形を前述のとおり、乾燥雰囲気中(乾燥窒素雰囲気、乾燥空気雰囲気、窒素と酸素の乾燥混合ガス雰囲気など)で行うことが好ましい。   In order to reduce the volatilization of fluorine from the glass surface, glass outflow and preform molding should be performed in a dry atmosphere (dry nitrogen atmosphere, dry air atmosphere, nitrogen and oxygen dry mixed gas atmosphere, etc.) as described above. Is preferred.

プレス成形用プリフォームの製法の別の例は、熔融ガラスを成形してガラス成形体を作製し、該ガラス成形体を機械加工して上記ガラスからなるプリフォームを作製する方法である。   Another example of a method for producing a press-molding preform is a method in which molten glass is molded to produce a glass molded body, and the glass molded body is machined to produce a preform made of the glass.

この方法では、まず、熔融ガラスを連続してパイプから流出させ、パイプ下方に配置した鋳型に流し込む。鋳型には、平坦な底部と底部を三方から囲む側壁を備え、一方の側面が開口したものを使用する。開口側面および底部を両側から挟む側壁部は互いに平行に対向し、底面の中央がパイプの鉛直下方に位置するように、また底面が水平になるように鋳型を配置、固定して鋳型内に流し込まれる熔融ガラスを側壁で囲まれた領域内に均一な厚みになるように広げ、冷却後に鋳型側面の開口部から一定の速度で水平方向にガラスを引き出す。引き出したガラス成形体はアニール炉内へと送られ、アニールされる。このようにして一定の幅と厚みを有する一定の屈折率を有する近赤外吸収ガラスからなる板状ガラス成形体を得る。このようにして得られたガラス成形体は、表面の脈理が低減、抑制されている。   In this method, first, molten glass is continuously discharged from a pipe and poured into a mold disposed below the pipe. As the mold, a flat bottom and a side wall that surrounds the bottom from three sides and one side of which is open are used. The side walls that sandwich the opening side and bottom from both sides face each other in parallel, and the mold is placed, fixed, and poured into the mold so that the center of the bottom is positioned vertically below the pipe and the bottom is horizontal. The molten glass is spread so as to have a uniform thickness in the region surrounded by the side walls, and after cooling, the glass is drawn out horizontally from the opening on the side surface of the mold at a constant speed. The drawn glass molded body is sent into an annealing furnace and annealed. In this way, a plate-like glass molded body made of near-infrared absorbing glass having a certain refractive index having a certain width and thickness is obtained. The glass molded body thus obtained has reduced and suppressed surface striae.

次に、板状ガラス成形体を切断あるいは割断してカットピースと呼ばれる複数のガラス片に分割し、これらガラス片を研削、研磨して目的重量のプレス成形用プリフォームに仕上げる。   Next, the plate-like glass molded body is cut or cleaved and divided into a plurality of glass pieces called cut pieces, and these glass pieces are ground and polished to finish a preform for press molding with a target weight.

また別の方法としては、円柱状の貫通孔を有する鋳型を貫通孔の中心軸が鉛直方向を向くようにパイプの鉛直下方に配置、固定する。このとき、貫通孔の中心軸がパイプの鉛直下方に位置するよう鋳型を配置することが好ましい。そして、パイプから鋳型貫通孔内に熔融ガラスを一定流量にて流し込んで貫通孔内にガラスを充填し、固化したガラスを貫通孔の下端開口部から一定速度で鉛直下方に引き出し、徐冷して、円柱棒状のガラス成形体を得る。このようにして得られたガラス成形体をアニールした後、円柱棒状の中心軸に対して垂直な方向から切断あるいは割断して複数のガラス片を得る。次にガラス片を研削、研磨して所望重量のプレス成形用プリフォームに仕上げる。これらの方法においても、熔融ガラスの流出、成形を前述同様、乾燥雰囲気中で行うことが好ましい。さらにこれらの方法においても、ガスを成形中のガラス表面に吹き付けて冷却を促進することが脈理の低減、防止を行う上で効果的である。   As another method, a mold having a cylindrical through-hole is disposed and fixed vertically below the pipe so that the central axis of the through-hole faces the vertical direction. At this time, it is preferable to arrange | position a casting_mold | template so that the central axis of a through-hole may be located in the vertically downward direction of a pipe. Then, molten glass is poured from the pipe into the mold through hole at a constant flow rate, the glass is filled into the through hole, and the solidified glass is drawn vertically downward from the lower end opening of the through hole at a constant speed and gradually cooled. A cylindrical rod-shaped glass molded body is obtained. After annealing the glass molded body thus obtained, a plurality of glass pieces are obtained by cutting or cleaving from a direction perpendicular to the central axis of the cylindrical bar. Next, the glass piece is ground and polished to finish a preform for press molding with a desired weight. Also in these methods, it is preferable to perform the outflow and shaping of the molten glass in a dry atmosphere as described above. Furthermore, also in these methods, it is effective to reduce and prevent striae by accelerating cooling by blowing a gas onto the glass surface during molding.

[光学素子とその製造方法]
本発明の光学素子は、本発明の光学ガラスからなることを特徴とするものである。本発明の光学素子は、上記のように近赤外光吸収特性を有し、高精度に定まる屈折率を備えているので、CCDやCMOSなどの半導体撮像素子の色感度補正機能を備えるとともに、高性能な光学的機能、例えば諸収差の小さい結像性能に優れた光学素子を提供することができる。
[Optical element and manufacturing method thereof]
The optical element of the present invention is characterized by comprising the optical glass of the present invention. Since the optical element of the present invention has a near-infrared light absorption characteristic as described above and has a refractive index determined with high accuracy, it has a color sensitivity correction function of a semiconductor imaging element such as a CCD or CMOS, An optical element excellent in high-performance optical function, for example, imaging performance with small aberrations can be provided.

例えば、レンズを例にとると、レンズを構成するガラスの屈折率が有効桁数6桁以上、好ましくは7桁の精度を備えているため、光学機能面の形状精度を高精度に作り、ティルトやディセンターを小さくすれば、優れた結像性能を示す光学系を構成するレンズとなる。   For example, taking a lens as an example, the refractive index of the glass constituting the lens has an accuracy of 6 or more effective digits, preferably 7 digits. If the decenter is reduced, a lens constituting an optical system exhibiting excellent imaging performance is obtained.

このように屈折率精度の高いガラスからなることを活かし、非球面レンズを本発明のガラスを用いて作製することにより、近赤外光吸収特性を有する優れた光学的性能を有するレンズを実現することができる。   Taking advantage of such a high refractive index glass, an aspherical lens is produced using the glass of the present invention, thereby realizing a lens having excellent optical performance having near-infrared light absorption characteristics. be able to.

近赤外光吸収ガラスからなる光学素子では、光学素子中の光路長によって近赤外光の吸収量が変わる。そこで、レンズの場合には光軸上を進む光線に対しても光軸から離れた軌跡を通過する光線に対しても、レンズ中の光路長をなるべく近づけることが望まれる。このような要求が本発明のレンズをレンズ系のどの位置に配置するかによっても満たすことができるし、レンズの形状をメニスカス形状にすることによっても満たすことができる。   In an optical element made of near-infrared light absorbing glass, the amount of absorption of near-infrared light varies depending on the optical path length in the optical element. Therefore, in the case of a lens, it is desirable to make the optical path length in the lens as close as possible to the light beam traveling on the optical axis and the light beam passing through the locus away from the optical axis. Such a requirement can be satisfied depending on where in the lens system the lens of the present invention is arranged, and can also be satisfied by making the shape of the lens a meniscus shape.

メニスカスレンズは両凸レンズ、平凸レンズ、両凹レンズあるいは平凹レンズと比べると、光軸上における厚みと光軸から離れた部分の厚みが近い値になる。したがって、両凸レンズ、平凸レンズ、両凹レンズあるいは平凹レンズと比べ、メニスカスレンズは上記要求に合致したレンズと言うことができる。   Compared with a biconvex lens, a plano-convex lens, a biconcave lens, or a plano-concave lens, the meniscus lens has a value close to the thickness on the optical axis and the thickness away from the optical axis. Therefore, compared with a biconvex lens, a plano-convex lens, a biconcave lens, or a plano-concave lens, the meniscus lens can be said to be a lens that meets the above requirements.

特にレンズの第1面の有効光学径上の一点と、第2面の有効光学径上の一点を結んだ最短距離とレンズの光軸上における厚みの比を0.7〜1.3の範囲にすることにより、レンズを透過する光の近赤外光吸収量を光軸からの距離が変わってもほぼ一定にすることができ、その結果、色ムラの少ない画像を得ることができる。   In particular, the ratio of the shortest distance connecting one point on the effective optical diameter of the first surface of the lens and one point on the effective optical diameter of the second surface to the thickness on the optical axis of the lens is in the range of 0.7 to 1.3. By doing so, the near-infrared light absorption amount of the light transmitted through the lens can be made substantially constant even if the distance from the optical axis is changed, and as a result, an image with little color unevenness can be obtained.

光学素子を構成するガラスを銅含有フツリン酸ガラスにすることにより、リン酸ガラスに比べ、耐候性の高い光学素子を実現することができる。その結果、長期にわたる使用によっても表面が曇るなどの不具合が生じない光学素子を提供することができる。   By using copper-containing fluorophosphate glass as the glass constituting the optical element, it is possible to realize an optical element having higher weather resistance than phosphate glass. As a result, it is possible to provide an optical element that does not cause problems such as clouding of the surface even after long-term use.

光学素子の種類、形状などについては特に限定はないが、非球面レンズ、球面レンズ、マイクロレンズ、レンズアレイ、プリズム、回折格子、レンズ付きプリズム、回折格子付きレンズなどに好適である。   The type and shape of the optical element are not particularly limited, but are suitable for aspherical lenses, spherical lenses, microlenses, lens arrays, prisms, diffraction gratings, prisms with lenses, lenses with diffraction gratings, and the like.

用途の面からは、近赤外光吸収機能を有する撮像系を構成する光学素子、例えば、デジタルカメラのレンズやカメラ付き携帯電話のカメラ用レンズなどに好適である。   From the viewpoint of application, it is suitable for an optical element constituting an imaging system having a near-infrared light absorption function, such as a digital camera lens or a camera lens of a camera-equipped mobile phone.

光学素子の表面には回折格子を形成し、光ローパスフィルタ機能を付与してもよい。光ローパスフィルタは空間周波数の高い光が半導体撮像素子の単一画素に入射することにより起こる擬色やモアレ色の発生を防止する機能を果たす。   A diffraction grating may be formed on the surface of the optical element to provide an optical low-pass filter function. The optical low-pass filter functions to prevent the generation of false colors and moire colors that occur when light having a high spatial frequency is incident on a single pixel of a semiconductor imaging device.

その他、光学素子の表面には必要に応じて反射防止膜などの光学薄膜を形成してもよい。   In addition, an optical thin film such as an antireflection film may be formed on the surface of the optical element as necessary.

このように非球面レンズや回折格子付きレンズを製造する場合、ガラスを研磨して作るよりも精密プレス成形してなる光学素子を提供するほうが手間もコストもかからずに済む。   Thus, when manufacturing an aspherical lens or a lens with a diffraction grating, it is less time-consuming and costly to provide an optical element formed by precision press-molding than by polishing glass.

以下、精密プレス成形による方法も含め、本発明の光学素子の製造方法について説明する。   Hereinafter, the manufacturing method of the optical element of the present invention including the method by precision press molding will be described.

本発明の第1の光学素子の製造方法は、上記ガラスまたは上記製法で作製したガラスを精密プレス成形する方法である。   The manufacturing method of the 1st optical element of this invention is a method of carrying out precision press molding of the said glass or the glass produced with the said manufacturing method.

精密プレス成形はモールドオプティクス成形とも呼ばれ、当該技術分野において周知の方法である。光学素子において、光線を透過したり、屈折させたり、回折させたり、反射させたりする面を光学機能面(レンズを例にとると非球面レンズの非球面や球面レンズの球面などのレンズ面が光学機能面に相当する)というが、精密プレス成形によればプレス成形型の成形面を精密にガラスに転写することにより、プレス成形によって光学機能面を形成することができ、光学機能面を仕上げるために研削や研磨などの機械加工を加える必要がない。   Precision press molding is also called mold optics molding, and is a well-known method in the art. In an optical element, a surface that transmits, refracts, diffracts, or reflects light is an optical functional surface (a lens surface such as an aspherical surface of an aspherical lens or a spherical surface of a spherical lens is taken as an example of a lens). It corresponds to the optical function surface), but according to precision press molding, the optical function surface can be formed by press molding by precisely transferring the molding surface of the press mold to glass, and the optical function surface is finished. Therefore, it is not necessary to add machining such as grinding and polishing.

したがって、本態様は、レンズ、レンズアレイ、回折格子、回折格子付きレンズ、プリズム、レンズ付きプリズム、回折格子およびレンズ付きプリズムなどの光学素子の製造に好適であり、特に非球面レンズを高い生産性のもとに製造する方法として適している。   Therefore, this aspect is suitable for manufacturing optical elements such as lenses, lens arrays, diffraction gratings, lenses with diffraction gratings, prisms, prisms with lenses, diffraction gratings and prisms with lenses, and particularly high productivity of aspherical lenses. It is suitable as a manufacturing method based on

本態様の方法によれば、いずれも上記光学特性を有する光学素子を作製できるとともに、ガラスの転移温度(Tg)が低いために、プレス成形温度を低くすることができるので、プレス成形型の成形面へのダメージが軽減され、成形型の寿命を延ばすことができる。またプリフォームを構成するガラスが高い安定性を有するので、再加熱、プレス工程においてもガラスの失透を効果的に防止することができる。さらに、ガラス熔解から最終製品を得る一連の工程を高い生産性のもとに行うことができる。   According to the method of this aspect, any of the optical elements having the above optical characteristics can be produced, and since the glass transition temperature (Tg) is low, the press molding temperature can be lowered. Damage to the surface is reduced, and the life of the mold can be extended. Further, since the glass constituting the preform has high stability, devitrification of the glass can be effectively prevented even in the reheating and pressing steps. Furthermore, a series of steps for obtaining a final product from glass melting can be performed with high productivity.

精密プレス成形に使用するプレス成形型としては公知のもの、例えば炭化珪素、ジルコニア、アルミナなどの耐熱性セラミックスの型材の成形面に離型膜を設けたものを使用することができるが、中でも炭化珪素製のプレス成形型が好ましく、離型膜としては炭素含有膜などを使用することができる。耐久性、コストの面から特にカーボン膜が好ましい。   As a press mold used for precision press molding, known molds such as silicon carbide, zirconia, alumina and other heat-resistant ceramic molds provided with a release film can be used. A silicon press mold is preferable, and a carbon-containing film or the like can be used as the release film. In view of durability and cost, a carbon film is particularly preferable.

精密プレス成形では、プレス成形型の成形面を良好な状態に保つため成形時の雰囲気を非酸化性ガスにすることが望ましい。非酸化性ガスとしては窒素、窒素と水素の混合ガスなどが好ましい。   In precision press molding, it is desirable that the molding atmosphere be a non-oxidizing gas in order to keep the molding surface of the press mold in a good state. The non-oxidizing gas is preferably nitrogen or a mixed gas of nitrogen and hydrogen.

本態様の方法で用いられる精密プレス成形の方法として、以下に示す精密プレス成形1と2の2つの方法を示すことができる。
(精密プレス成形1)
精密プレス成形1は、プレス成形型に前記プリフォームを導入し、前記プレス成形型とプリフォームを一緒に加熱し、精密プレス成形するものである。
As the method of precision press molding used in the method of this embodiment, the following two methods of precision press molding 1 and 2 can be shown.
(Precision press molding 1)
The precision press molding 1 is one in which the preform is introduced into a press mold, the press mold and the preform are heated together, and precision press molding is performed.

この精密プレス成形1において、プレス成形型と前記プリフォームの温度をともに、プリフォームを構成するガラスが10〜1012dPa・sの粘度を示す温度に加熱して精密プレス成形を行うことが好ましい。 In this precision press molding 1, the temperature of the press mold and the preform may be heated to a temperature at which the glass constituting the preform exhibits a viscosity of 10 6 to 10 12 dPa · s. preferable.

また前記ガラスが、好ましくは1012dPa・s以上、より好ましくは1014dPa・s以上、さらに好ましくは1016dPa・s以上の粘度を示す温度にまで冷却してから精密プレス成形品をプレス成形型から取り出すことが望ましい。 The glass is preferably cooled to a temperature showing a viscosity of 10 12 dPa · s or more, more preferably 10 14 dPa · s or more, and even more preferably 10 16 dPa · s or more. It is desirable to remove from the mold.

上記の条件により、プレス成形型成形面の形状をガラスにより精密に転写することができるとともに、精密プレス成形品を変形することなく取り出すこともできる。   Under the above conditions, the shape of the molding surface of the press mold can be accurately transferred with glass, and the precision press molded product can be taken out without being deformed.

(精密プレス成形2)
精密プレス成形方法2は、予熱したプレス成形型に、加熱したプリフォームを導入して精密プレス成形するものである。
(Precision press molding 2)
In the precision press molding method 2, a heated preform is introduced into a preheated press mold and precision press molding is performed.

この精密プレス成形2によれば、前記プリフォームをプレス成形型に導入する前に予め加熱するので、サイクルタイムを短縮化しつつ、表面欠陥のない良好な面精度を有する光学素子を製造することができる。   According to this precision press molding 2, since the preform is preheated before being introduced into the press mold, it is possible to manufacture an optical element having a good surface accuracy without surface defects while shortening the cycle time. it can.

なおプレス成形型の予熱温度は、プリフォームの予熱温度よりも低く設定することが好ましい。このようにプレス成形型の予熱温度を低くすることにより、プレス成形型の消耗を低減することができる。   The preheating temperature of the press mold is preferably set lower than the preheating temperature of the preform. Thus, by lowering the preheating temperature of the press mold, it is possible to reduce the wear of the press mold.

精密プレス成形2において、前記プリフォームを構成するガラスが10dPa・s以下、より好ましくは10dPa・sの粘度を示す温度に予熱することが好ましい。 In the precision press molding 2, it is preferable that the glass constituting the preform is preheated to a temperature exhibiting a viscosity of 10 9 dPa · s or less, more preferably 10 9 dPa · s.

また、前記プリフォームを浮上しながら予熱することが好ましく、さらに前記プリフォームを構成するガラスが105.5〜10dPa・sの粘度を示す温度に予熱することがより好ましく、105.5dPa・s以上10dPa・s未満の粘度を示す温度に予熱することがさらに好ましい。 The preform is preferably preheated while floating, more preferably preheated to a temperature at which the glass constituting the preform exhibits a viscosity of 10 5.5 to 10 9 dPa · s . It is more preferable to preheat to a temperature showing a viscosity of 5 dPa · s or more and less than 10 9 dPa · s.

またプレス開始と同時又はプレスの途中からガラスの冷却を開始することが好ましい。   Moreover, it is preferable to start cooling the glass simultaneously with the start of pressing or in the middle of pressing.

なお、プレス成形型の温度は、前記プリフォームの予熱温度よりも低い温度に調温するが、前記ガラスが10〜1012dPa・sの粘度を示す温度を目安にすればよい。 The temperature of the press mold is adjusted to a temperature lower than the preheating temperature of the preform, and the temperature at which the glass exhibits a viscosity of 10 9 to 10 12 dPa · s may be used as a guide.

この方法において、プレス成形後、前記ガラスの粘度が1012dPa・s以上にまで冷却してから離型することが好ましい。 In this method, it is preferable that after the press molding, the glass is cooled to a viscosity of 10 12 dPa · s or more and then released.

精密プレス成形された光学素子はプレス成形型より取り出され、必要に応じて徐冷される。成形品がレンズなどの光学素子の場合には、必要に応じて表面に光学薄膜をコートしてもよい。   The precision press-molded optical element is taken out from the press mold and gradually cooled as necessary. When the molded product is an optical element such as a lens, an optical thin film may be coated on the surface as necessary.

以上が第1の光学素子の製造方法であるが、前述した方法以外でも、例えば、ガラスを研削、研磨してレンズに加工する第2の光学素子の製造方法もある。この方法は、熔融ガラスを流出させてガラス成形体を成形し、アニールした後に機械加工を施して本発明の光学素子を製造するものである。例えば、上述した円柱棒状のガラス成形体を円柱軸に対して垂直方向からスライス加工し、得られた円柱状のガラスに研削、研磨加工を施して各種レンズなどの光学素子を作ることができる。   Although the above is the manufacturing method of the first optical element, there is also a manufacturing method of the second optical element in which, for example, glass is ground and polished to be processed into a lens other than the method described above. In this method, molten glass is flowed out to form a glass molded body, annealed and then machined to produce the optical element of the present invention. For example, the cylindrical rod-shaped glass molded body described above can be sliced from a direction perpendicular to the cylinder axis, and the obtained cylindrical glass can be ground and polished to produce optical elements such as various lenses.

以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明は、これらの例によってなんら限定されるものではない。
実施例1(近赤外吸収ガラス材ロットの製造例)
まず、ガラス原料として、フッ化物、メタリン酸化合物、酸化物などを使用して、表1に示す組成を有するNo.1およびNo.2のガラスとなるように前記原料を秤量し、十分混合した後、蓋により密閉された白金ルツボに投入して電気炉で790〜850℃で攪拌しながら乾燥窒素雰囲気中で加熱熔解した。白金ルツボ内には常時、露点−30℃以下の乾燥窒素ガスを流し込むとともに、一定時間ルツボ内に滞在したガスがルツボ外に排出されるようにし、雰囲気の置換を連続して行った。なお、排気したガスはフィルターを通して清浄化し、外部に排出した。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited at all by these examples.
Example 1 (Example of production of a near-infrared absorbing glass material lot)
First, No. 1 having the composition shown in Table 1 using a fluoride, a metaphosphate compound, an oxide, or the like as a glass raw material. 1 and no. The raw materials were weighed so as to be glass No. 2 and mixed well, and then put into a platinum crucible sealed with a lid, and heated and melted in a dry nitrogen atmosphere while stirring at 790 to 850 ° C. in an electric furnace. A dry nitrogen gas having a dew point of −30 ° C. or lower was constantly flowed into the platinum crucible, and the gas staying in the crucible for a certain period of time was discharged outside the crucible to continuously replace the atmosphere. The exhausted gas was purified through a filter and discharged outside.

このような状態で熔融したガラスを上記雰囲気置換を行いながら、清澄、均質化し、得られた熔融ガラスを温度制御したパイプから一定流量で連続して流出させ、乾燥窒素雰囲気中で鋳型に流し込んで、丸棒状のガラスに成形した。成形したガラスを転移温度付近で保持し、ガラスの内部と表面の温度差を低減し、転移温度付近で1時間アニールし、アニール炉内で徐冷降温速度を30℃/時で室温まで徐冷して、表1に示すガラスを得た。なお、乾燥窒素雰囲気に替えて乾燥空気雰囲気としてもよい。また、流出した高温のガラス表面に乾燥窒素や乾燥空気などの乾燥ガスを吹き付けてガラス表面の冷却を促進することにより、ガラス表面からの僅かな揮発を抑制することができる。   The glass melted in such a state is clarified and homogenized while performing the atmosphere substitution described above, and the obtained molten glass is continuously flowed out from the temperature-controlled pipe at a constant flow rate and poured into a mold in a dry nitrogen atmosphere. The glass was formed into a round bar-shaped glass. Holding the molded glass near the transition temperature, reducing the temperature difference between the inside and the surface of the glass, annealing for 1 hour near the transition temperature, and gradually cooling to room temperature at a slow cooling rate of 30 ° C / hour in the annealing furnace Thus, the glass shown in Table 1 was obtained. Note that a dry air atmosphere may be used instead of the dry nitrogen atmosphere. Moreover, slight volatilization from the glass surface can be suppressed by spraying a dry gas such as dry nitrogen or dry air on the outflowed high-temperature glass surface to promote cooling of the glass surface.

得られた各ガラスを顕微鏡によって拡大観察したところ、結晶の析出や原料の熔け残りは認められなかった。   When each obtained glass was magnified and observed with a microscope, no precipitation of crystals or unmelted raw material was observed.

得られた光学ガラスについて、波長546.07nmにおける屈折率(ne)、波長587.56nmにおける屈折率(nd)、ガラス転移温度(Tg)を以下のようにして測定した。その結果を表1に示す。
(1)屈折率(ne)、屈折率(nd)
日本光学硝子工業会規格 JOGIS 01−1994「光学ガラスの屈折率の測定方法」に基づき、屈折率(ne)、屈折率(nd)を測定した。
(2)ガラス転移温度(Tg)
理学電機株式会社の熱機械分析装置により昇温速度を4℃/分にして測定した。
About the obtained optical glass, the refractive index (ne) in wavelength 546.07nm, the refractive index (nd) in wavelength 587.56nm, and glass transition temperature (Tg) were measured as follows. The results are shown in Table 1.
(1) Refractive index (ne), Refractive index (nd)
The refractive index (ne) and refractive index (nd) were measured based on Japan Optical Glass Industry Association Standard JOGIS 01-1994 “Measurement Method of Refractive Index of Optical Glass”.
(2) Glass transition temperature (Tg)
The temperature was increased at a rate of 4 ° C./min with a thermomechanical analyzer from Rigaku Corporation.

このようにして、No.1およびNo.2の各ガラスについて、5本の丸棒を成形し、各丸棒から切り出した屈折率測定用試料の屈折率を測定したところ、屈折率(ne)、屈折率(nd)とも表1に示す値になっていた。   In this way, no. 1 and no. For each glass of No. 2, five round bars were molded and the refractive index of the sample for refractive index measurement cut out from each round bar was measured. The refractive index (ne) and refractive index (nd) are shown in Table 1. It was value.

Figure 2007091537
Figure 2007091537

次に、No.1およびNo.2の各ガラスを平板形状に加工するとともに、対向する両面を光学研磨して透過率測定用の試料を作った。そして分光透過率測定装置を用いて各試料の分光透過率を測定した。得られた測定結果から、波長615nmにおいて透過率が50%になる板厚を求め、前記板厚における各資料の代表的な波長における透過率を測定結果から求めた。なお、上記板厚の試料を作製して透過率測定を行っても上記換算結果と同様の数値となることから、各試料の光学的な均質性を確認することができた。   Next, no. 1 and no. Each glass of No. 2 was processed into a flat plate shape, and both facing surfaces were optically polished to make a sample for transmittance measurement. And the spectral transmittance of each sample was measured using the spectral transmittance measuring apparatus. From the obtained measurement results, the plate thickness at which the transmittance was 50% at a wavelength of 615 nm was determined, and the transmittances at typical wavelengths of the respective materials at the plate thickness were determined from the measurement results. In addition, even if the sample of the said plate | board thickness was produced and the transmittance | permeability measurement was performed, since it became a numerical value similar to the said conversion result, the optical homogeneity of each sample was able to be confirmed.

表2にNo.1およびNo.2のガラスについて、波長615nmにおいて透過率が50%になる厚さ、前記厚さでの代表的な波長における透過率を示す。   In Table 2, no. 1 and no. For glass No. 2, the thickness is such that the transmittance is 50% at a wavelength of 615 nm, and the transmittance at a representative wavelength at the thickness is shown.

このように、No.1およびNo.2のガラスとも半導体撮像素子の色感度補正用のガラスとして良好な性能を有することを確認した。   Thus, no. 1 and no. It was confirmed that the glass No. 2 had good performance as glass for color sensitivity correction of the semiconductor image sensor.

Figure 2007091537
Figure 2007091537

実施例2(光学素子の製造例)
次に、実施例1で得られた丸棒状のガラスを長手方向に垂直に切断し、研削、研磨して球面レンズやプリズムを作製した。
Example 2 (Example of optical element production)
Next, the round bar-shaped glass obtained in Example 1 was cut perpendicularly to the longitudinal direction, ground and polished to produce spherical lenses and prisms.

次いで、実施例1で得られた丸棒状のガラスを長手方向に垂直に切断し、研削、研磨して精密プレス成形用プリフォームを作製した。   Next, the round bar-like glass obtained in Example 1 was cut perpendicularly to the longitudinal direction, ground and polished to produce a precision press-molding preform.

次に、鋳型を替えて、熔融ガラスから板状ガラスを成形した。次いで板状ガラスを徐冷し、切断、研削、研磨して球面レンズやプリズムなどの光学素子を作った。また、板状ガラスを切断、研削、研磨して精密プレス成形用プリフォームを作製した。   Next, the mold was changed to form a sheet glass from the molten glass. Next, the glass sheet was slowly cooled, cut, ground and polished to produce optical elements such as spherical lenses and prisms. Further, the plate glass was cut, ground and polished to produce a precision press-molding preform.

上記のようにして得た、プリフォームを、図1に示すプレス装置を用いて精密プレス成形して非球面レンズを得た。具体的にはプリフォーム4を、上型1、下型2および胴型3からなるプレス成形型の下型2と上型1の間に設置した後、石英管11内を窒素雰囲気としてヒーター12に通電して石英管11内を加熱した。プレス成形型内部の温度を、成形されるガラスが10〜1010dPa・sの粘度を示す温度に設定し、同温度を維持しつつ、押し棒13を降下させて上型1を押して成形型内にセットされたプリフォームをプレスした。プレスの圧力は8MPa、プレス時間は30秒とした。プレスの後、プレスの圧力を解除し、プレス成形されたガラス成形品を下型2及び上型1と接触させたままの状態で前記ガラスの粘度が1012dPa・s以上になる温度まで徐冷し、次いで室温まで急冷してガラス成形品を成形型から取り出し非球面レンズを得た。得られた非球面レンズは、極めて高い面精度を有するものであった。 The preform obtained as described above was precision press-molded using the press apparatus shown in FIG. 1 to obtain an aspheric lens. Specifically, after the preform 4 is placed between the lower mold 2 and the upper mold 1 of the press mold composed of the upper mold 1, the lower mold 2 and the body mold 3, the inside of the quartz tube 11 is placed in a nitrogen atmosphere to form a heater 12. Was energized to heat the inside of the quartz tube 11. The temperature inside the press mold is set to a temperature at which the glass to be molded exhibits a viscosity of 10 8 to 10 10 dPa · s, and while maintaining the same temperature, the push bar 13 is lowered and the upper mold 1 is pressed to form. The preform set in the mold was pressed. The press pressure was 8 MPa, and the press time was 30 seconds. After pressing, the pressure of the press is released, and the glass molded product that has been press-molded is kept in contact with the lower mold 2 and the upper mold 1 until the viscosity of the glass reaches 10 12 dPa · s or more. It was cooled and then rapidly cooled to room temperature, and the glass molded product was taken out of the mold and an aspherical lens was obtained. The obtained aspherical lens had extremely high surface accuracy.

なお、図1において、参照数字9は支持棒、参照数字10は下型、胴型ホルダー、参照数字14は熱電対である。   In FIG. 1, reference numeral 9 is a support rod, reference numeral 10 is a lower mold, a barrel holder, and reference numeral 14 is a thermocouple.

精密プレス成形により得られた非球面レンズには、必要に応じて反射防止膜を設けた。   An aspherical lens obtained by precision press molding was provided with an antireflection film as required.

次に上記各プリフォームと同じプリフォームを上記の方法とは別の方法で精密プレス成形した。この方法では、先ず、プリフォームを浮上しながら、プリフォームを構成するガラスの粘度が10dPa・sになる温度にプリフォームを予熱した。一方で上型、下型、胴型を備えるプレス成形型を加熱して、前記プリフォームを構成するガラスが10〜1012dPa・sの粘度を示す温度にし、上記予熱したプリフォームをプレス成形型のキャビティ内に導入して、10MPaで精密プレス成形した。プレス開始とともにガラスとプレス成形型の冷却を開始し、成形されたガラスの粘度が1012dPa・s以上となるまで冷却した後、成形品を離型して非球面レンズを得た。得られた非球面レンズは、極めて高い面精度を有するものであった。 Next, the same preform as each of the above preforms was precision press-molded by a method different from the above method. In this method, first, the preform was preheated to a temperature at which the viscosity of the glass constituting the preform was 10 8 dPa · s while the preform floated. On the other hand, a press mold having an upper mold, a lower mold, and a body mold is heated to a temperature at which the glass constituting the preform exhibits a viscosity of 10 9 to 10 12 dPa · s, and the preheated preform is pressed. It was introduced into the mold cavity and precision press-molded at 10 MPa. Cooling of the glass and the press mold was started at the start of pressing, and the glass was cooled until the viscosity of the molded glass reached 10 12 dPa · s or more, and then the molded product was released to obtain an aspheric lens. The obtained aspherical lens had extremely high surface accuracy.

精密プレス成形により得られた非球面レンズには必要に応じて反射防止膜を設けた。このようにして、内部品質の高いガラス製光学素子を生産性よく、しかも高精度に得ることができた。   An aspherical lens obtained by precision press molding was provided with an antireflection film as required. In this way, a glass optical element with high internal quality could be obtained with high productivity and high accuracy.

次に上記熔融ガラスをパイプから連続して鋳型に流し込み、乾燥窒素雰囲気中で板状ガラスに成形し、徐冷した。次いでガラス内部を観察したところ、脈理は認められなかった。
この板状ガラスを切断、研削、研磨して球面レンズを作製した。
Next, the molten glass was continuously poured into a mold from a pipe, formed into a sheet glass in a dry nitrogen atmosphere, and slowly cooled. Next, when the inside of the glass was observed, no striae was observed.
This plate glass was cut, ground and polished to produce a spherical lens.

次に上記板状ガラスを切断、研削、研磨してプレス成形用素材とし、この素材を加熱、軟化、プレス成形して光学素子ブランクを作製した。このブランクを徐冷してから研削、研磨して球面レンズを得た。
これらの光学素子には必要に応じて反射防止膜や近赤外光反射膜をコートしてもよい。
Next, the plate glass was cut, ground, and polished to obtain a material for press molding, and this material was heated, softened, and press molded to produce an optical element blank. The blank was annealed and then ground and polished to obtain a spherical lens.
These optical elements may be coated with an antireflection film or a near infrared light reflection film as necessary.

次に、上記熔融ガラスをパイプから滴下して金型上の設けられた凹部で受け、凹部からガスを噴出してガラス滴を浮上、回転させながら球状のガラス成形体に成形した。このガラス成形体をプリフォームとし、精密プレス成形して近赤外光吸収ガラスからなる非球面レンズを得た。なお、球状のガラス成形体を徐冷してから研磨して、所定の直径を有するガラス球とし、このガラス球をプリフォームとして精密プレス成形し、非球面レンズを得た。   Next, the molten glass was dropped from a pipe and received by a concave portion provided on a mold, and a gas was ejected from the concave portion to float and rotate the glass droplet to form a spherical glass molded body. This glass molded body was used as a preform and precision press-molded to obtain an aspheric lens made of near-infrared light absorbing glass. The spherical glass molded body was gradually cooled and then polished to obtain a glass sphere having a predetermined diameter, and this glass sphere was precision press molded as a preform to obtain an aspherical lens.

いずれの光学素子も屈折率が小数点以下5桁(有効桁数6桁)の精度で定まっているので、高性能な光学性能を実現することができる。   In any of the optical elements, the refractive index is determined with an accuracy of 5 digits after the decimal point (6 effective digits), so that high-performance optical performance can be realized.

そして、他の光学ガラスを使用したレンズと組合せて結像光学系を構成し、近赤外光吸収ガラスからなる非球面メニスカスレンズが半導体撮像素子側にくるよう上記光学系と撮像素子の位置を固定した。撮像素子は画素数200万画素のCCDを用い、撮影したところ、鮮明かつカラーバランスのよい画像を得ることができた。上記光学系の近赤外光吸収ガラス製レンズを、同種の近赤外光吸収ガラス製レンズに置き換えたところ、屈折率が高精度に一致しているので、レンズ置き換え後も良好な画質を得ることができた。このようにして任意に選んだ近赤外光吸収ガラス製レンズに置き換えても、置き換え前と同様、良好な画質を得ることができた。   Then, an imaging optical system is configured in combination with a lens using another optical glass, and the positions of the optical system and the imaging element are set so that the aspherical meniscus lens made of near-infrared light absorbing glass comes to the semiconductor imaging element side. Fixed. When the image pickup device used was a CCD having 2 million pixels and was photographed, it was possible to obtain a clear and well-balanced image. When the near-infrared light absorbing glass lens of the above optical system is replaced with the same kind of near-infrared light absorbing glass lens, the refractive index matches with high accuracy, so that good image quality is obtained even after lens replacement. I was able to. Even when the lens was replaced with an arbitrarily selected near-infrared light absorbing glass lens, good image quality could be obtained as before the replacement.

本発明によれば、高性能な近赤外光吸収機能を有するガラス製光学素子の量産を可能にする近赤外光吸収ガラス材ロットを得ることができ、該ガラス材ロットから上記の特性を有する光学素子を得ることができる。   According to the present invention, it is possible to obtain a near-infrared light-absorbing glass material lot that enables mass production of a glass optical element having a high-performance near-infrared light absorption function. The optical element which has can be obtained.

本発明の実施例で用いた精密プレス成形装置の概略図である。It is the schematic of the precision press molding apparatus used in the Example of this invention.

1…上型
2…下型
3…胴型
4…プリフォーム
9…支持棒
10…下型、胴型ホルダー
11…石英管
12…ヒーター
13…押し棒
14…熱電対
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Upper type | mold 2 ... Lower type | mold 3 ... Body type | mold 4 ... Preform 9 ... Support rod 10 ... Lower type | mold, barrel type holder 11 ... Quartz tube 12 ... Heater 13 ... Push rod 14 ... Thermocouple

Claims (12)

銅を含有する近赤外光吸収ガラス素材からなる近赤外光吸収ガラス材ロットにおいて、
波長546.07nmにおける屈折率(n)の公差が±0.001未満のガラス材によって構成されていることを特徴とする近赤外光吸収ガラス材ロット。
In a near-infrared light absorbing glass material lot consisting of a near-infrared light absorbing glass material containing copper,
A near-infrared light-absorbing glass material lot, characterized by being composed of a glass material having a refractive index (n e ) tolerance of less than ± 0.001 at a wavelength of 546.07 nm.
屈折率(n)の公差は、ガラス材をガラス転移温度から30℃/時以下の所定の降温速度で25℃まで冷却した状態での屈折率(n)の公差である、請求項1に記載の近赤外光吸収ガラス材ロット。 Tolerance of refractive index (n e) is a tolerance of refractive index of the glass material while cooling to 25 ° C. at 30 ° C. / hour or less in a predetermined temperature lowering rate from the glass transition temperature (n e), claim 1 The near infrared light absorbing glass material lot described in 1. ガラス素材がフッ素含有ガラスである、請求項1または2に記載の近赤外光吸収ガラス材ロット。   The near-infrared light absorbing glass material lot according to claim 1 or 2, wherein the glass material is a fluorine-containing glass. 前記ガラス材がプレス成形用プリフォームである、請求項1または2に記載の近赤外光吸収ガラス材ロット。   The near-infrared light absorbing glass material lot according to claim 1 or 2, wherein the glass material is a preform for press molding. 前記ガラス材がガラス板またはガラス棒である、請求項1または2に記載の近赤外光吸収ガラス材ロット。   The near-infrared light absorbing glass material lot according to claim 1 or 2, wherein the glass material is a glass plate or a glass rod. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の近赤外光吸収ガラス材ロットを使用して光学素子を量産することを特徴とする光学素子の製造方法。   A method for producing an optical element, comprising mass-producing an optical element using the near-infrared light absorbing glass material lot according to any one of claims 1 to 5. レンズを量産する、請求項6に記載の光学素子の製造方法。   The method for manufacturing an optical element according to claim 6, wherein the lens is mass-produced. 非球面レンズを量産する、請求項7に記載の光学素子の製造方法。   The method for manufacturing an optical element according to claim 7, wherein aspherical lenses are mass-produced. 近赤外光吸収ガラス材ロットを加熱、プレス成形する、請求項6〜8のいずれか1項に記載の光学素子の製造方法。   The manufacturing method of the optical element of any one of Claims 6-8 which heats and press-molds a near-infrared-light absorption glass material lot. プレス成形により作製したプレス成形品を機械加工する、請求項9に記載の光学素子の製造方法。   The method for manufacturing an optical element according to claim 9, wherein a press-formed product produced by press molding is machined. 近赤外光吸収ガラス材ロットを加熱、精密プレス成形する、請求項6〜8のいずれか1項に記載の光学素子の製造方法。   The method for producing an optical element according to any one of claims 6 to 8, wherein the near-infrared light absorbing glass material lot is heated and precision press-molded. 近赤外光吸収ガラス材ロットを機械加工する、請求項6〜8のいずれか1項に記載の光学素子の製造方法。   The method for manufacturing an optical element according to claim 6, wherein the near-infrared light absorbing glass material lot is machined.
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