JP2007087497A - Fixing tool for magnetic head assembly, and floating height measuring method using fixing tool - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fixing tool by which a magnetic head assembly can correctly positioned and held, and the magnetic head assembly can be easily attached and detached, and also to provide a floating height measuring method which can highly precisely measure the floating height of a slider of the magnetic head assembly from a disk surface for measurement. <P>SOLUTION: The fixing tool comprises a base 2 with an installation flat surface 2a, a positioning part 3 for positioning a support plate 21 made to project from the installation flat surface 2a, and a pressure member 6 for fixing the support plate 21 from the installation flat surface 2a. When the support plate 21 is installed on the installation flat surface 2a, the positioning part 3 comes into a support hole 26 to position the support plate 21 from the inside of the support hole 26 in the two directions at right angles to each other along the installation flat surface 2a, and the pressure member 6 is energized on the installation flat surface 2a by force of a spring 13, and the supporting plate 21 positioned by the positioning part 3 is pressurized on the installation flat surface 2a by the pressure member 6. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、スライダが支持板の先部に取り付けられた磁気ヘッド組立体を位置決めして固定できる固定用冶具、および前記固定用冶具を使用して、測定用ディスクの表面からのスライダの浮上量を測定する浮上量測定方法に関する。   The present invention relates to a fixing jig capable of positioning and fixing a magnetic head assembly in which a slider is attached to the tip of a support plate, and a flying height of the slider from the surface of a measuring disk using the fixing jig. The present invention relates to a flying height measuring method.

以下に示す特許文献1には、スライダが搭載された磁気ヘッド組立体の浮上量を測定するための磁気ヘッドテスターが開示されている。   Patent Document 1 shown below discloses a magnetic head tester for measuring the flying height of a magnetic head assembly on which a slider is mounted.

図10は前記特許文献1に示す開示されている磁気ヘッド組立体の位置決め部を示す平面図である。   FIG. 10 is a plan view showing a positioning portion of the disclosed magnetic head assembly shown in Patent Document 1. In FIG.

図10に示す磁気ヘッドテスター500では、ホルダー501の上に、スライダ502が搭載された磁気ヘッド組立体503が設置される。ホルダー501の表面には、互いに直交する内側面504aおよび504bを有する固定部材504が設けられている。また、ホルダー501の表面には一対の位置決めピン506a,506bが突出している。前記磁気ヘッド組立体503は、基部に矩形部材505を有し、矩形部材505は、互いに直交する外側面505aおよび505bを有している。また矩形部材505には、穴505c,505dが開口している。   In the magnetic head tester 500 shown in FIG. 10, a magnetic head assembly 503 on which a slider 502 is mounted is installed on a holder 501. On the surface of the holder 501, a fixing member 504 having inner side surfaces 504a and 504b orthogonal to each other is provided. A pair of positioning pins 506 a and 506 b protrude from the surface of the holder 501. The magnetic head assembly 503 has a rectangular member 505 at the base, and the rectangular member 505 has outer surfaces 505a and 505b orthogonal to each other. The rectangular member 505 has holes 505c and 505d.

磁気ヘッド組立体503をホルダー501の表面に設置し、位置決めピン506a,506bを、矩形部材505の穴505c,505dに挿通させた状態で、固定部材504を内側面504aおよび504bに対して45度の方向(図10に示す矢印方向)へ移動させ、前記内側面504a、504bを矩形部材505の外側面505a、505bに当接させて、前記矩形部材505のX−Y方向への位置決めを行う。   The magnetic head assembly 503 is installed on the surface of the holder 501, and the fixing member 504 is 45 degrees with respect to the inner side surfaces 504a and 504b in a state where the positioning pins 506a and 506b are inserted into the holes 505c and 505d of the rectangular member 505. The inner side surfaces 504a and 504b are brought into contact with the outer side surfaces 505a and 505b of the rectangular member 505 to position the rectangular member 505 in the XY direction. .

磁気ヘッドテスター500は、ホルダー501に磁気ヘッド組立体503を位置決めして設置した状態で、スライダに測定ディスクを対向させ、測定ディスクの表面からのスライダの浮上量を測定するというものである。
特開平2−292710号公報
The magnetic head tester 500 measures the flying height of the slider from the surface of the measurement disk with the measurement disk opposed to the slider with the magnetic head assembly 503 positioned and installed on the holder 501.
JP-A-2-292710

図10に示す従来の磁気ヘッドテスター500に設けられたホルダー501は、矩形部材505の穴505c,505dを一対の位置決めピン506a,506bに挿通させた後に、固定部材504を45度の方向へ斜めに移動させて、磁気ヘッド組立体を位置決めするものであるため、磁気ヘッド組立体503の位置決め作業が煩雑である。また、矩形部材505の面をホルダー501に押圧する構造ではないため、スライダを三次元方向へ高精度に位置決めすることができない。   The holder 501 provided in the conventional magnetic head tester 500 shown in FIG. 10 has the holes 505c and 505d of the rectangular member 505 inserted into the pair of positioning pins 506a and 506b, and then the fixing member 504 is inclined in the direction of 45 degrees. Since the magnetic head assembly is positioned by moving the magnetic head assembly, the positioning operation of the magnetic head assembly 503 is complicated. Further, since the surface of the rectangular member 505 is not pressed against the holder 501, the slider cannot be positioned with high accuracy in the three-dimensional direction.

この磁気ヘッドテスター500では、矩形部材505の外側面505a,505bが押され、穴505c,505dが位置決めピン506a,506bに押し付けられることで、磁気ヘッド組立体503が位置決めされる。この場合に、磁気ヘッド組立体503のX−Y方向での位置決め基準が、矩形部材の外側面505a,505bとなるが、実際に磁気ヘッド組立体503がハードディスク装置に組みつけられるときの位置決め基準は、前記外側面505a,505bに設定されないため、磁気ヘッドテスター500を用いた浮上姿勢の測定では、測定用ディスクとスライダとの対向位置(ディスク内周での対向位置やディスク外周での対向位置)が、実際のハードディスク装置と相違するおそれがある。   In this magnetic head tester 500, the outer surfaces 505a and 505b of the rectangular member 505 are pressed, and the holes 505c and 505d are pressed against the positioning pins 506a and 506b, whereby the magnetic head assembly 503 is positioned. In this case, the positioning reference in the XY direction of the magnetic head assembly 503 is the outer side surfaces 505a and 505b of the rectangular member, but the positioning reference when the magnetic head assembly 503 is actually assembled to the hard disk device. Are not set on the outer surfaces 505a and 505b, so that in the measurement of the flying posture using the magnetic head tester 500, the facing position of the measuring disk and the slider (the facing position on the inner circumference of the disk or the facing position on the outer circumference of the disk) ) May be different from the actual hard disk drive.

本発明は、前記従来の課題を解決するものであり、前記磁気ヘッド組立体を正確に位置決めして保持でき、また磁気ヘッド組立体の取り付けおよび取り外しが簡単である固定用冶具を提供することを目的としている。   The present invention solves the above-described conventional problems, and provides a fixing jig that can accurately position and hold the magnetic head assembly and that is easy to mount and remove the magnetic head assembly. It is aimed.

また、測定用ディスクの面からの磁気ヘッド組立体のスライダの浮上距離を高精度に測定することが可能な浮上距離測定方法を提供することを目的とする。   It is another object of the present invention to provide a flying distance measuring method capable of measuring the flying distance of the slider of the magnetic head assembly from the surface of the measuring disk with high accuracy.

本発明は、記録素子と再生素子の少なくとも一方を備えたスライダと、基部に円形の支持穴が形成され先部に前記スライダが取り付けられる少なくとも一部が弾性変形可能な支持板とを有する磁気ヘッド組立体が固定される固定用冶具において、
設置平面を有する台座と、前記設置平面から突出して前記支持板を位置決めする位置決め部と、前記支持板を前記設置平面に固定する押圧部材とを有し、
前記位置決め部は、前記支持板が設置平面に設置されたときに、前記支持穴内に入り込んで、設置平面に沿う互いに直交する2つの方向で、前記支持穴の内側から前記支持板を位置決めするものであり、
前記押圧部材は、付勢部材の力で前記設置平面に付勢されており、前記位置決め部で位置決めされた支持板が前記押圧部材によって設置平面に押圧されることを特徴とするものである。
The present invention provides a magnetic head having a slider having at least one of a recording element and a reproducing element, and a support plate in which a circular support hole is formed in a base portion and at least a part of which the slider is attached is elastically deformable in a tip portion. In the fixing jig to which the assembly is fixed,
A pedestal having an installation plane; a positioning portion that projects from the installation plane to position the support plate; and a pressing member that fixes the support plate to the installation plane.
The positioning portion enters the support hole when the support plate is installed on an installation plane, and positions the support plate from the inside of the support hole in two directions perpendicular to each other along the installation plane. And
The pressing member is biased to the installation plane by the force of the biasing member, and the support plate positioned by the positioning portion is pressed against the installation plane by the pressing member.

本発明の固定用冶具では、磁気ヘッド組立体は支持板の支持穴を基準として台座の前記設置平面に位置決めされる。磁気ヘッド組立体がハードディスク装置などに実装される際は、前記支持穴が取り付け基準となるため、固定冶具への位置決め基準とハードディスク装置などでの位置決め基準を同じ部分にでき、磁気ヘッド組立体を固定用冶具に位置決め固定した状態で、実際のハードディスク装置と同じ条件により各種測定を行うことが可能である。   In the fixing jig of the present invention, the magnetic head assembly is positioned on the installation plane of the base with reference to the support hole of the support plate. When the magnetic head assembly is mounted on a hard disk device or the like, the support hole serves as an attachment reference, so the positioning reference to the fixing jig and the positioning reference on the hard disk device or the like can be made the same part. Various measurements can be performed under the same conditions as those of an actual hard disk device while being positioned and fixed to a fixing jig.

また、磁気ヘッド組立体は、支持板の支持穴が位置決め部で内側から直交する2方向へ位置決めされ、さらに押圧部材で、支持穴の周縁部が設置平面に押圧されて位置決めされる構造であるため、磁気ヘッド組立体が支持穴を基準として位置決めされるのみならず、支持板に対して大きな変形力が作用しないため、磁気ヘッド組立体が設置平面に位置決めされたときに、設置平面とスライダとの相対位置を高精度に決めることができる。   The magnetic head assembly has a structure in which the support hole of the support plate is positioned in two directions orthogonal from the inside by the positioning portion, and the peripheral portion of the support hole is pressed and positioned by the pressing member by the pressing member. Therefore, since the magnetic head assembly is not only positioned with reference to the support hole, but also a large deformation force does not act on the support plate, when the magnetic head assembly is positioned on the installation plane, the installation plane and the slider Can be determined with high accuracy.

また、押圧部材を設置平面から離れる方向へ移動させて引っ張り力が生じた状態で、支持板の支持穴に位置決め部を入り込ませて挿通させ、その後に押圧部材の引っ張り力を解除することで、磁気ヘッド組立体を台座の前記設置平面に簡単に且つ高精度に取り付けることができる。また押圧部材を設置平面から離れる方向へ移動させるだけで、磁気ヘッド組立体を台座の前記設置平面から簡単に取り外すこともできる。   In addition, in the state where the pressing member is moved away from the installation plane and a tensile force is generated, the positioning member is inserted into the support hole of the support plate and inserted, and then the tensile force of the pressing member is released. The magnetic head assembly can be easily and accurately attached to the installation plane of the pedestal. Further, the magnetic head assembly can be easily removed from the installation plane of the pedestal only by moving the pressing member in the direction away from the installation plane.

また、本発明は、前記位置決め部は、少なくとも互いに直交する方向での外周面が、同じ曲率中心を有する円筒面であることが好ましい。   In the present invention, it is preferable that the positioning portion is a cylindrical surface in which at least outer peripheral surfaces in a direction orthogonal to each other have the same center of curvature.

円筒面はその半径を高精度に決めることができるため、位置決め部の外周面と磁気ヘッド組立体の支持穴の内径寸法との差を微小にでき、磁気ヘッド組立体を台座に高精度に位置決めすることが可能となる。   Since the radius of the cylindrical surface can be determined with high accuracy, the difference between the outer peripheral surface of the positioning part and the inner diameter of the support hole of the magnetic head assembly can be made minute, and the magnetic head assembly can be positioned on the base with high accuracy. It becomes possible to do.

好ましくは、前記位置決め部は、円柱状であり、前記押圧部材と一体の案内部が、前記位置決め部の中心に挿通され、設置平面から離れた位置に設けられた前記付勢部材により、案内部が付勢されているものである。   Preferably, the positioning portion has a cylindrical shape, and a guide portion integrated with the pressing member is inserted through the center of the positioning portion, and the guide portion is provided by the biasing member provided at a position away from the installation plane. Is energized.

押圧部材と一体に案内部が、円柱形状の位置決め部の軸中心上で摺動できるようにすると、押圧部材の両端部によって、支持板を均等な力で設置平面に押圧することができ、支持板に余分な曲げ変形力を与えるのを防止できる。   If the guide part can be slid on the axial center of the cylindrical positioning part integrally with the pressing member, the support plate can be pressed against the installation plane with equal force by both ends of the pressing member, It is possible to prevent an excessive bending deformation force from being applied to the plate.

なお、以下の実施の形態では、位置決め部が円柱状であるが、この位置決め部は、X方向の両端とY方向の両端に、共通の曲率中心の円柱面を持つ平面形状が十字型のものであってもよい。   In the following embodiments, the positioning portion is cylindrical, but this positioning portion has a cross-shaped planar shape having a common cylindrical center of curvature at both ends in the X direction and both ends in the Y direction. It may be.

また、本発明は、前記押圧部材は端部に傾斜面を有し、この傾斜面によって支持穴の周縁部が押圧されるものであってもよい。   In the present invention, the pressing member may have an inclined surface at an end, and the peripheral edge of the support hole may be pressed by the inclined surface.

傾斜面で支持穴の周縁部を押圧すると、この押圧力によって支持穴に対してセンタリング力を作用させることができ、磁気ヘッド組立体を高精度に位置決めして固定できるようになる。なお、本発明では、押圧部材の両端部の押圧面が設置平面と平行であり、この押圧面と設置平面との間で支持板が挟持されて固定されるものであってもよい。   When the peripheral portion of the support hole is pressed by the inclined surface, a centering force can be applied to the support hole by this pressing force, and the magnetic head assembly can be positioned and fixed with high accuracy. In the present invention, the pressing surfaces at both ends of the pressing member may be parallel to the installation plane, and the support plate may be sandwiched and fixed between the pressing surface and the installation plane.

さらに、本発明は、前記台座には、前記位置決め部を中心とする支持板の回転方向への動きを規制する回転位置決め部が設けられているものが好ましい。   Furthermore, in the present invention, it is preferable that the pedestal is provided with a rotation positioning portion that restricts the movement of the support plate in the rotation direction around the positioning portion.

例えば、前記回転位置決め部は、前記支持板に形成された貫通部と、設置平面から突出して前記貫通部に嵌合する突起とで構成されているものとすることができる。   For example, the rotation positioning portion may be configured by a through portion formed in the support plate and a projection that protrudes from an installation plane and fits into the through portion.

本発明の磁気ヘッド組立体の浮上量測定方法は、前記いずれかに記載の固定用冶具を使用し、ヘッド組立体を、前記スライダの記録媒体との対向面が、設置平面と逆を向くようにして前記台座に位置決めして固定し、測定用ディスクを前記スライダに対向させて回転させ、前記ディスク表面からのスライダの浮上量を測定することを特徴とするものである。   A method for measuring a flying height of a magnetic head assembly according to the present invention uses any one of the fixing jigs described above so that the surface of the head assembly facing the recording medium is opposite to the installation plane. Then, it is positioned and fixed on the pedestal, and the measuring disk is rotated so as to face the slider, and the flying height of the slider from the disk surface is measured.

本発明の固定用冶具は、前述のように磁気ヘッド組立体を高精度に位置決めして固定することができるため、この固定用冶具で磁気ヘッド組立体を支持したときに、スライダと測定用ディスクとの対向位置を実際のハードディスク装置と同様の条件に設定でき、ディスク表面からのスライダの浮上量の測定を高精度に測定することが可能になる。   Since the fixing jig of the present invention can position and fix the magnetic head assembly with high accuracy as described above, when the magnetic head assembly is supported by this fixing jig, the slider and the measuring disk Can be set under the same conditions as in an actual hard disk device, and the flying height of the slider from the disk surface can be measured with high accuracy.

本発明の固定用冶具は、磁気ヘッド組立体の取付け基準である支持穴を高精度に位置決めして固定することができる。また弾性変形可能な支持板に不要な弾性変形力を与えることがなく、よって台座の設置平面とスライダとの相対位置を高精度に決めることができる。   The fixing jig of the present invention can position and fix a support hole, which is a reference for mounting the magnetic head assembly, with high accuracy. Further, unnecessary elastic deformation force is not applied to the elastically deformable support plate, and therefore the relative position between the mounting plane of the pedestal and the slider can be determined with high accuracy.

また本発明の浮上量測定装置は、磁気ヘッド組立体を固定用冶具に高精度に位置決めした状態で、スライダを測定用ディスクに対向させることができるため、精度の良い測定が可能である。   In addition, the flying height measuring apparatus of the present invention can measure with high accuracy because the slider can be opposed to the measuring disk in a state where the magnetic head assembly is positioned with high accuracy on the fixing jig.

図1は本発明の磁気ヘッド組立体の浮上量を測定する際に使用される固定用治具の第1実施形態を上方側から示す斜視図、図2は図1に示す固定用治具に係止される磁気ヘッド組立体を上方側から示す平面図、図3は図1に示す固定用治具に図2に示す磁気ヘッド組立体が固定された状態を示す平面図、図4は図3のIV−IV線で切断した切断断面図であり、使用時に用いられるガラスディスクおよびガラスディスクが固定されて回転駆動するスピンドルをも、前記IV−IV線の延長線上で切断して示した図である。   FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of a fixing jig used when measuring the flying height of the magnetic head assembly of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing the fixing jig shown in FIG. FIG. 3 is a plan view showing a state in which the magnetic head assembly shown in FIG. 2 is fixed to the fixing jig shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view cut along line IV-IV, and shows a glass disk used at the time of use and a spindle on which the glass disk is fixed and rotationally driven, cut along the extension line of the IV-IV line. It is.

図1に示す固定用治具1は、スライダ(スライダ)が搭載された磁気ヘッド組立体を固定し、スライダがガラスディスクに対向する状態となるように設置した後、このガラスディスクを回転させることによって、前記スライダを前記ガラスディスクから浮上させて浮上量を測定する際に使用されるものであり、この磁気ヘッド組立体が固定される固定用治具である。   The fixing jig 1 shown in FIG. 1 fixes a magnetic head assembly on which a slider (slider) is mounted, and is installed so that the slider faces the glass disk, and then rotates the glass disk. Thus, the slider is used to measure the flying height by floating the slider from the glass disk, and is a fixing jig to which the magnetic head assembly is fixed.

図1に示すように、磁気ヘッド組立体が固定される固定用治具1は、設置平面2aが平坦面として形成された台座2を有して形成されている。図1に示すように、前記設置平面2aには、互いに直交する2つの方向(図示X1−X2方向およびY1−Y2方向、すなわちXY方向)に位置決めされた状態で突出形成された位置決め部3が形成されている。   As shown in FIG. 1, a fixing jig 1 to which a magnetic head assembly is fixed has a pedestal 2 in which an installation plane 2a is formed as a flat surface. As shown in FIG. 1, a positioning portion 3 is formed on the installation plane 2a so as to protrude in a state of being positioned in two directions orthogonal to each other (X1-X2 direction and Y1-Y2 direction shown in the drawing, that is, the XY direction). Is formed.

図3に示すように、前記位置決め部3は、少なくとも互いに直交する方向であるX1−X2方向とY1−Y2方向での外周面が、同じ曲率中心Oを有する円筒面であるように形成されており、図1および図3に示す実施形態では、前記位置決め部3の外周縁3aの平面形状が、ほぼ円形に形成された円柱状で構成されている。
そして、この位置決め部3の中心には穴部3bが形成されている。
As shown in FIG. 3, the positioning portion 3 is formed such that at least the outer peripheral surfaces in the X1-X2 direction and the Y1-Y2 direction that are orthogonal to each other are cylindrical surfaces having the same center of curvature O. In the embodiment shown in FIGS. 1 and 3, the planar shape of the outer peripheral edge 3 a of the positioning portion 3 is a columnar shape formed in a substantially circular shape.
A hole 3 b is formed at the center of the positioning portion 3.

図1に示すように、前記位置決め部3の中央部で前後方向(図示Y1−Y2方向)に延びる押圧部材6が形成されている。図1に示す実施形態では、前記押圧部材6の平面形状は前後方向に延びる長方形で形成されている。   As shown in FIG. 1, a pressing member 6 extending in the front-rear direction (Y1-Y2 direction in the drawing) is formed at the center of the positioning portion 3. In the embodiment shown in FIG. 1, the planar shape of the pressing member 6 is a rectangle extending in the front-rear direction.

図4に示すように、前記位置決め部3は、前記台座2に形成された穴部2b内に挿入された状態で固定されている。図4のうち、前記位置決め部3の周辺を拡大して図示したものが図5である。また、前記位置決め部3のうち、前記設置平面2aから突出した部分と前記押圧部材6の周辺を示した斜視図が図6である。   As shown in FIG. 4, the positioning part 3 is fixed in a state of being inserted into a hole 2 b formed in the pedestal 2. FIG. 5 is an enlarged view of the periphery of the positioning portion 3 in FIG. FIG. 6 is a perspective view showing a portion of the positioning portion 3 protruding from the installation plane 2a and the periphery of the pressing member 6.

図5に示すように、前記位置決め部3の上面3cが、前記設置平面2aから上方(図示Z2方向)に突出するように形成されている。前記位置決め部3には、中央部で前後方向(図示Y1−Y2方向)に延びる溝部3dが形成されている。図5および図6に示すように、前記溝部3d内に前記押圧部材6が嵌合する状態となるように設けられている。   As shown in FIG. 5, the upper surface 3c of the positioning part 3 is formed so as to protrude upward (Z2 direction in the drawing) from the installation plane 2a. The positioning part 3 is formed with a groove part 3d extending in the front-rear direction (Y1-Y2 direction in the drawing) at the center part. As shown in FIG. 5 and FIG. 6, the pressing member 6 is provided in the groove 3 d so as to be fitted.

図5および図6に示すように、前記位置決め部3の中心に形成された前記穴部3bには、前記押圧部材6と一体に形成された案内部40が挿通されている。そして、図5に示すように、前記案内部40の下方には、前記案内部40の側方に広がる庇部41が形成されている。   As shown in FIGS. 5 and 6, a guide portion 40 formed integrally with the pressing member 6 is inserted into the hole portion 3 b formed at the center of the positioning portion 3. As shown in FIG. 5, a flange 41 that extends to the side of the guide 40 is formed below the guide 40.

前記穴部2b内には、前記庇部41と前記位置決め部3の下面3eとの間に、前記案内部40の外側を周回するように形成された付勢部材であるばね13が形成されている。前記ばね13は、前記庇部41の上面41aと、前記位置決め部3の下面3eに接しており、前記案内部40が前記設置平面2a側(図示Z1方向側)に付勢されている。ここで、前記したように、前記案内部40は前記押圧部材6と一体的に形成されているため、前記押圧部材6も前記設置平面2a側に付勢されている。なお、前記付勢部材としてばね13の他に、ゴムなどの他の公知の材料を使用することもできる。   A spring 13 that is an urging member formed so as to go around the outside of the guide portion 40 is formed in the hole 2b between the flange portion 41 and the lower surface 3e of the positioning portion 3. Yes. The spring 13 is in contact with the upper surface 41a of the flange portion 41 and the lower surface 3e of the positioning portion 3, and the guide portion 40 is biased toward the installation plane 2a (Z1 direction side in the drawing). Here, as described above, since the guide portion 40 is formed integrally with the pressing member 6, the pressing member 6 is also urged toward the installation plane 2a. In addition to the spring 13, other known materials such as rubber can be used as the urging member.

前記位置決め部3および前記押圧部材6では、前記案内部4の下方に形成された前記庇部41を上方(図示Z2方向)へ押し込むと、前記案内部40が前記穴部3b内を摺動し、前記押圧部材6が図示上方へ移動して押し上げられる。このとき、前記押圧部材6には、前記ばね13の弾性力によって前記設置平面2aに向かう引っ張り力が生じる。   In the positioning portion 3 and the pressing member 6, when the flange portion 41 formed below the guide portion 4 is pushed upward (in the Z2 direction in the drawing), the guide portion 40 slides in the hole portion 3b. The pressing member 6 moves upward in the figure and is pushed up. At this time, a tensile force toward the installation plane 2 a is generated in the pressing member 6 by the elastic force of the spring 13.

一方、前記庇部41の前記押し込みを解除すると、前記ばね13の弾性力に基づく前記引張り力によって、前記押圧部材6が下方(図示Z1方向)に戻る。   On the other hand, when the pushing-in of the flange 41 is released, the pressing member 6 returns downward (Z1 direction in the drawing) by the tensile force based on the elastic force of the spring 13.

図1、図3および図4に示すように、前記台座2の前方領域には、前記設置平面2aから段差部7を介して前記設置平面2aよりも下方(図示Z1方向)に形成された段差面8が形成されている。図1に示す実施形態では、前記設置平面2aと前記段差面8とが、高さ方向(図示Z1−Z2方向)に平行面となるような位置関係で形成されている。   As shown in FIGS. 1, 3, and 4, a step formed in the front region of the base 2 below the installation plane 2 a (step Z <b> 1 in the drawing) from the installation plane 2 a via the stepped portion 7. A surface 8 is formed. In the embodiment shown in FIG. 1, the installation plane 2a and the step surface 8 are formed in a positional relationship such that they are parallel to the height direction (Z1-Z2 direction in the drawing).

図1、図3および図4に示す実施形態では、前記段差面8には、前記位置決め部3を中心とする前記磁気ヘッド組立体20の回転方向(図3に示す矢印A方向)への動きを規制する回転位置決め部9が形成されている。図1および図5に示す実施形態では、前記回転位置決め部9は上方(図示Z2方向)に向かって延びる1本の円柱形状の突起で形成されている。図5に示すように、前記回転位置決め部9の上面9aは、前記設置平面2aよりも上方に形成されている。   In the embodiment shown in FIGS. 1, 3, and 4, the stepped surface 8 moves in the rotational direction (the direction of arrow A shown in FIG. 3) of the magnetic head assembly 20 around the positioning portion 3. A rotation positioning portion 9 is formed to restrict the movement. In the embodiment shown in FIGS. 1 and 5, the rotational positioning portion 9 is formed by a single cylindrical protrusion extending upward (in the Z2 direction in the drawing). As shown in FIG. 5, the upper surface 9a of the rotational positioning portion 9 is formed above the installation plane 2a.

図5に示すように、前記押圧部材6の前後方向(図示Y1−Y2方向)の端部には、内側に向かうに従って前記設置平面2a方向(下方、すなわち図示Z1方向)に傾斜する傾斜面6eが形成されている。   As shown in FIG. 5, at the end of the pressing member 6 in the front-rear direction (Y1-Y2 direction in the drawing), an inclined surface 6e that inclines in the installation plane 2a direction (downward, that is, the Z1 direction in the drawing) toward the inside. Is formed.

図1に示すように、前記固定用治具1には、前記設置平面2aに、取付穴14、15、16が形成されている。これらの取付穴14、15、16は、前記固定用治具1に後記する磁気ヘッド組立体20を固定した後、図示しない浮上量測定装置に取り付けて使用する際の取付用の穴として機能するものである。   As shown in FIG. 1, the fixing jig 1 has mounting holes 14, 15 and 16 formed in the installation plane 2a. These mounting holes 14, 15, 16 function as mounting holes when a magnetic head assembly 20 (described later) is fixed to the fixing jig 1 and then mounted on a flying height measuring device (not shown). Is.

図2は、前記固定用治具1に固定される磁気ヘッド組立体20を上方側(図1に示すZ2方向側)から示す平面図である。図2に示すように、前記磁気ヘッド組立体20は、支持板21と、前記支持板21の先部に搭載されるスライダ22とを有して構成されている。前記支持板21は、マウント部となる基部23と、弾性変形可能な弾性部24とを有している。前記弾性部24の先部25には、前記スライダ22が取り付けられている。前記支持板21は、例えば金属材料で形成されている。なお、図2に示す実施形態では、前記弾性部24が弾性変形可能に形成されており、前記支持板21の一部が弾性変形可能な構造とされているが、前記支持板21の全体が弾性変形可能として構成されていても良い。   FIG. 2 is a plan view showing the magnetic head assembly 20 fixed to the fixing jig 1 from the upper side (Z2 direction side shown in FIG. 1). As shown in FIG. 2, the magnetic head assembly 20 includes a support plate 21 and a slider 22 mounted on the tip of the support plate 21. The support plate 21 includes a base portion 23 serving as a mount portion and an elastic portion 24 that can be elastically deformed. The slider 22 is attached to the tip portion 25 of the elastic portion 24. The support plate 21 is made of, for example, a metal material. In the embodiment shown in FIG. 2, the elastic portion 24 is formed to be elastically deformable, and a part of the support plate 21 is elastically deformable. You may be comprised as elastically deformable.

前記基部23には、平面形状が円形で構成された支持穴26が開口しており、前記基部23は、この支持穴26を支持基準として、例えば図示しないハードディスク装置内の走査アクチュエータ機構に取り付けられる。   A support hole 26 having a circular planar shape is opened in the base 23, and the base 23 is attached to, for example, a scanning actuator mechanism in a hard disk device (not shown) using the support hole 26 as a support reference. .

前記弾性部24には、貫通部27が形成されている。前記貫通部27は、ハードディスク内に取り付ける際の位置合わせを確実に行なうための機能を有しており、図2に示す実施形態では、前記貫通部27の平面形状は長円形状として形成されている。   A penetration part 27 is formed in the elastic part 24. The penetrating portion 27 has a function to ensure alignment when mounted in the hard disk. In the embodiment shown in FIG. 2, the planar shape of the penetrating portion 27 is formed as an oval shape. Yes.

また図2に示す実施形態では、前記基部23や前記弾性部24にも複数の穴42が形成されている。前記支持板21には、前記スライダ22に備えられた磁気ヘッド(図示せず)に電力を供給し、あるいは磁気ヘッドからの電力を取り出すための導体が形成されているが、図4では構造を解かりやすくするために図示を省略している。   In the embodiment shown in FIG. 2, a plurality of holes 42 are also formed in the base portion 23 and the elastic portion 24. The support plate 21 is provided with a conductor for supplying electric power to a magnetic head (not shown) provided in the slider 22 or taking out electric power from the magnetic head. The illustration is omitted for easy understanding.

なお、前記スライダ22に備えられた磁気ヘッドとしては、記録素子と再生素子の少なくとも一方が備えられているものとして構成できる。   The magnetic head provided in the slider 22 can be configured to include at least one of a recording element and a reproducing element.

図3および図4は、前記固定用治具1に前記磁気ヘッド組立体20を固定した状態を示している。   3 and 4 show a state in which the magnetic head assembly 20 is fixed to the fixing jig 1.

図3および図4に示すように、前記磁気ヘッド組立体20は前記固定用治具1の前記設置平面2aに固定されている。   As shown in FIGS. 3 and 4, the magnetic head assembly 20 is fixed to the installation plane 2 a of the fixing jig 1.

図3および図4に示すように、前記磁気ヘッド組立体20が前記設置平面2aに固定された状態では、前記固定用治具1の前記位置決め部3が、前記磁気ヘッド組立体20に形成された前記支持穴26内に入り込んで挿通している。   As shown in FIGS. 3 and 4, in the state where the magnetic head assembly 20 is fixed to the installation plane 2 a, the positioning portion 3 of the fixing jig 1 is formed on the magnetic head assembly 20. The support hole 26 is inserted into the support hole 26.

このとき、前記したように、前記位置決め部3は、前記設置平面2aに沿う互いに直交する2つの方向であるXY方向で位置決めされているため、前記支持板21の前記支持穴26が前記位置決め部3に入り込んだ状態では、前記支持板21も、XY方向で位置決めされている。   At this time, as described above, the positioning portion 3 is positioned in the XY directions, which are two directions perpendicular to each other along the installation plane 2a, so that the support hole 26 of the support plate 21 is positioned in the positioning portion. 3, the support plate 21 is also positioned in the XY directions.

このように、前記位置決め部3が前記支持板21の前記指示穴26に入り込んだ状態で、前記押圧部材6が前記設置平面2a側に付勢されている。したがって、前記位置決め部3によって位置決めされた前記支持板21が、前記押圧部材6と前記設置平面2aとの間に挟まれた状態で、前記押圧部材6によって、前記設置平面2aに押圧されている。このようにして、前記支持板21が前記設置平面2aに固定されているのである。   In this way, the pressing member 6 is urged toward the installation plane 2 a in a state where the positioning portion 3 enters the instruction hole 26 of the support plate 21. Therefore, the support plate 21 positioned by the positioning portion 3 is pressed against the installation plane 2a by the pressing member 6 in a state of being sandwiched between the pressing member 6 and the installation plane 2a. . In this way, the support plate 21 is fixed to the installation plane 2a.

図3および図4に示すように、前記固定用治具1の前記設置平面2aに前記磁気ヘッド組立体20が固定された状態で、前記磁気ヘッド組立体20に形成されている前記貫通部27内に、前記固定用治具1の前記段差面8に形成された前記回転位置決め部9が挿入されている。図3および図4に示す実施形態では、前記貫通部27の幅寸法W1は、前記回転位置決め部9の直径D1とほぼ同じに形成されている。   As shown in FIGS. 3 and 4, the through portion 27 formed in the magnetic head assembly 20 in a state where the magnetic head assembly 20 is fixed to the installation plane 2 a of the fixing jig 1. The rotation positioning portion 9 formed on the step surface 8 of the fixing jig 1 is inserted therein. In the embodiment shown in FIGS. 3 and 4, the width dimension W <b> 1 of the through portion 27 is formed to be substantially the same as the diameter D <b> 1 of the rotational positioning portion 9.

前記固定用治具1の前記台座2に前記磁気ヘッド組立体20が係止された状態では、図4に示すように、磁気ヘッド組立体20の前記基部23の下面が、前記設置平面2aに接触している。   In a state where the magnetic head assembly 20 is locked to the pedestal 2 of the fixing jig 1, as shown in FIG. 4, the lower surface of the base 23 of the magnetic head assembly 20 is placed on the installation plane 2a. In contact.

一方、図4に示すように、前記設置平面2aに前記磁気ヘッド組立体20が固定された状態では、前記磁気ヘッド組立体20の前記弾性部24が前記段差面8に対して間隔を空けて位置するように形成されている。したがって、前記磁気ヘッド組立体20が前記設置平面2aに固定されたときに、前記弾性部24が自由状態とされ、効果的に前記弾性部24の弾性力を発揮することができるようになっている。また、前記弾性部24は弾性を発揮するため、上下方向(図示Z1−Z2方向)への移動が可能とされている。また図4に示すように、前記磁気ヘッド組立体20が前記設置平面2aに係止されたときに、前記先部25は前記固定用治具1の前方側(図示Y1方向側)に位置するように構成されている。したがって前記先部25に搭載された前記スライダ22も固定用治具1の前方側に位置するように構成されている。そのため、前記弾性部24の上下方向への移動にしたがって、前記スライダ22も上下方向に移動可能とされているため、後記するガラスディスク30の表面32から離れる方向へ移動(浮上)することが可能とされている。   On the other hand, as shown in FIG. 4, in a state where the magnetic head assembly 20 is fixed to the installation plane 2a, the elastic portion 24 of the magnetic head assembly 20 is spaced from the step surface 8. It is formed to be located. Therefore, when the magnetic head assembly 20 is fixed to the installation plane 2a, the elastic portion 24 is in a free state, and the elastic force of the elastic portion 24 can be effectively exhibited. Yes. Further, since the elastic portion 24 exhibits elasticity, it can be moved in the vertical direction (Z1-Z2 direction in the drawing). As shown in FIG. 4, when the magnetic head assembly 20 is locked to the installation plane 2a, the tip 25 is located on the front side (Y1 direction side in the drawing) of the fixing jig 1. It is configured as follows. Therefore, the slider 22 mounted on the tip portion 25 is also configured to be positioned on the front side of the fixing jig 1. Therefore, since the slider 22 can be moved in the vertical direction as the elastic portion 24 moves in the vertical direction, the slider 22 can move (float) in a direction away from the surface 32 of the glass disk 30 described later. It is said that.

前記固定用治具1は、前記したように磁気ヘッド組立体20が前記設置平面2aに固定された状態で、図示しない浮上量測定装置に固定される。そして図4に示すように、前記磁気ヘッド組立体20に搭載された前記スライダ22が、ガラスディスク30と対向する位置に設置される。   The fixing jig 1 is fixed to a flying height measuring device (not shown) in a state where the magnetic head assembly 20 is fixed to the installation plane 2a as described above. As shown in FIG. 4, the slider 22 mounted on the magnetic head assembly 20 is installed at a position facing the glass disk 30.

前記ガラスディスク30は、例えば記録ディスクと同様の形状および大きさで形成されており、その平面形状は、中央部に平面形状が円形の孔31が形成されたドーナツ形状に形成されている。前記ガラスディスク30の前記孔31内にはスピンドル33が挿通され、前記スピンドル33が中心線O−O線を回転中心として、図示矢印に示すように所定方向に回転駆動することにより、前記ガラスディスク30も回転する。   The glass disk 30 is formed, for example, in the same shape and size as a recording disk, and its planar shape is a donut shape in which a hole 31 having a circular planar shape is formed in the center. A spindle 33 is inserted into the hole 31 of the glass disk 30, and the spindle 33 is driven to rotate in a predetermined direction as indicated by an arrow with a center line OO line as a center of rotation. 30 also rotates.

図4に示す状態で、前記ガラスディスク30が回転すると、前記ガラスディスク30の回転によって生じた空気流によって、前記スライダ22の前記ガラスディスク30との対向面に正圧が発生し、前記磁気ヘッド組立体20が前記ガラスディスク30の前記表面32に対して離れる方向へ移動(浮上)する。   When the glass disk 30 rotates in the state shown in FIG. 4, an air flow generated by the rotation of the glass disk 30 generates a positive pressure on the surface of the slider 22 facing the glass disk 30, and the magnetic head The assembly 20 moves (floats) in a direction away from the surface 32 of the glass disk 30.

前記固定用治具1の前記設置平面2aに前記磁気ヘッド組立体20を固定するための操作方法を図5を用いて説明する。   An operation method for fixing the magnetic head assembly 20 to the installation plane 2a of the fixing jig 1 will be described with reference to FIG.

前記案内部40に形成された前記庇部41を、上方(図示Z2方向)へ押し込む。すると、前記案内部40と一体に形成された前記押圧部材6も上方(図示Z2方向)へ向かって移動する。このとき、前記押圧部材6の下面と前記設置平面2aとの間隔W2が生じる。この間隔W2内に、前記磁気ヘッド組立体20に形成された前記支持板21を挿入し、前記支持穴26を前記位置決め部3に嵌合させる。このように、前記押圧部材6が上方へ移動することによって前記間隔W2が生じ、前記位置決め部3が前記支持板21の前記支持穴26に入り込み易くすることができる。   The flange portion 41 formed on the guide portion 40 is pushed upward (in the Z2 direction in the drawing). Then, the pressing member 6 formed integrally with the guide portion 40 also moves upward (Z2 direction in the drawing). At this time, a gap W2 between the lower surface of the pressing member 6 and the installation plane 2a is generated. The support plate 21 formed in the magnetic head assembly 20 is inserted into the gap W2, and the support hole 26 is fitted into the positioning portion 3. As described above, the pressing member 6 moves upward to generate the interval W2, and the positioning portion 3 can easily enter the support hole 26 of the support plate 21.

そして、前記磁気ヘッド組立体20の前記支持穴26に前記位置決め部3が入り込んだ状態で、前記庇部41の押し込みを解除すると、前記ばね13の弾性力によって、前記案内部40が下方(図示Z1方向)へ移動し、図5に示す一点鎖線から実線の位置へ戻る。このとき、前記押圧部材6は前記ばね13の弾性力によって、前記設置平面2aに付勢されているため、前記支持板21が前記押圧部材6によって前記設置平面2aに押圧されるため、前記磁気ヘッド組立体が前記設置平面2aに固定することができる。   When the pressing of the flange portion 41 is released in a state where the positioning portion 3 is inserted into the support hole 26 of the magnetic head assembly 20, the guide portion 40 is moved downward (illustrated) by the elastic force of the spring 13. Z1 direction) and returns to the position of the solid line from the one-dot chain line shown in FIG. At this time, since the pressing member 6 is urged to the installation plane 2a by the elastic force of the spring 13, the support plate 21 is pressed against the installation plane 2a by the pressing member 6, so that the magnetic A head assembly can be fixed to the installation plane 2a.

前記固定用治具1では、前記押圧部材6の端部に傾斜面6eが形成されているが、図5に示すように、前記支持板21が前記設置平面2aに固定された状態では、前記傾斜面6eに前記支持穴26の内側が当接し、前記支持板21の周縁部が、前記傾斜面6eによって押圧されている。   In the fixing jig 1, an inclined surface 6 e is formed at the end of the pressing member 6. However, as shown in FIG. 5, in the state where the support plate 21 is fixed to the installation plane 2 a, The inside of the support hole 26 abuts on the inclined surface 6e, and the peripheral edge of the support plate 21 is pressed by the inclined surface 6e.

図1ないし図5に示す固定用冶具1では、磁気ヘッド組立体20は支持板21の支持穴26を基準として台座2の前記設置平面2aに位置決めされる。磁気ヘッド組立体20がハードディスク装置などに実装される際は、前記支持穴26が取り付け基準となるため、固定用冶具1への位置決め基準とハードディスク装置などでの位置決め基準を同じ部分にでき、磁気ヘッド組立体20を固定用冶具1に位置決め固定した状態で、実際のハードディスク装置と同じ条件により各種測定を行うことが可能である。   In the fixing jig 1 shown in FIGS. 1 to 5, the magnetic head assembly 20 is positioned on the installation plane 2 a of the base 2 with reference to the support hole 26 of the support plate 21. When the magnetic head assembly 20 is mounted on a hard disk device or the like, the support hole 26 serves as an attachment reference. Therefore, the positioning reference for the fixing jig 1 and the positioning reference for the hard disk device or the like can be made the same part. With the head assembly 20 positioned and fixed to the fixing jig 1, various measurements can be performed under the same conditions as an actual hard disk device.

また、磁気ヘッド組立体20は、支持板21の支持穴26が位置決め部3で内側から直交する2方向(XY方向)へ位置決めされ、さらに押圧部材6で、支持穴26の周縁部が設置平面2aに押圧されて位置決めされる構造であるため、磁気ヘッド組立体20が支持穴26を基準として位置決めされるのみならず、支持板21に対して大きな変形力が作用しないため、磁気ヘッド組立体20が設置平面2aに位置決めされたときに、設置平面2aとスライダ22との相対位置を高精度に決めることができる。   Further, in the magnetic head assembly 20, the support hole 26 of the support plate 21 is positioned in two directions (XY directions) orthogonal from the inside by the positioning portion 3, and the peripheral portion of the support hole 26 is installed by the pressing member 6. Since the magnetic head assembly 20 is positioned by being pressed by 2a, not only the magnetic head assembly 20 is positioned with reference to the support hole 26, but also a large deformation force does not act on the support plate 21, so the magnetic head assembly When 20 is positioned on the installation plane 2a, the relative position between the installation plane 2a and the slider 22 can be determined with high accuracy.

また、押圧部材6を設置平面2aから離れる方向へ移動させて前記引っ張り力が生じた状態で、支持板21の支持穴26に位置決め部3を入り込ませて挿通させ、その後に押圧部材6に生じている引っ張り力を解除することで、磁気ヘッド組立体を台座2の前記設置平面2aに簡単に且つ高精度に取り付けることができる。また押圧部材6を設置平面2aから離れる方向へ移動させるだけで、磁気ヘッド組立体20を台座2の前記設置平面2aから簡単に取り外すこともできる。   Further, in a state where the pressing member 6 is moved away from the installation plane 2a and the pulling force is generated, the positioning portion 3 is inserted into the supporting hole 26 of the supporting plate 21 and inserted therethrough, and then the pressing member 6 is generated. By canceling the pulling force, the magnetic head assembly can be easily and accurately attached to the installation plane 2a of the base 2. Further, the magnetic head assembly 20 can be easily detached from the installation plane 2a of the base 2 only by moving the pressing member 6 away from the installation plane 2a.

また、前記位置決め部3は、少なくとも互いに直交する方向であるX1−X2方向とY1−Y2方向での外周面が、同じ曲率中心Oを有する円筒面であるように形成されており、図1および図3に示す実施形態では、前記位置決め部3の外周縁3aの平面形状が、ほぼ円形に形成された円柱状で構成されている。   Further, the positioning portion 3 is formed such that at least the outer peripheral surfaces in the X1-X2 direction and the Y1-Y2 direction that are orthogonal to each other are cylindrical surfaces having the same center of curvature O, and FIG. In the embodiment shown in FIG. 3, the planar shape of the outer peripheral edge 3 a of the positioning portion 3 is a columnar shape formed in a substantially circular shape.

円筒面はその半径を高精度に決めることができるため、位置決め部3の外周面と磁気ヘッド組立体20の支持穴26の内径寸法との差を微小にでき、磁気ヘッド組立体20を台座2の前記設置平面2aに高精度に位置決めすることが可能となる。   Since the radius of the cylindrical surface can be determined with high accuracy, the difference between the outer peripheral surface of the positioning portion 3 and the inner diameter of the support hole 26 of the magnetic head assembly 20 can be made minute, and the magnetic head assembly 20 can be mounted on the base 2. It becomes possible to position with high precision to the said installation plane 2a.

また、図1ないし図5に示す実施形態では、前記位置決め部3は、円柱状であり、前記押圧部材6と一体の案内部40が、前記位置決め部3の中心に挿通され、設置平面2aから離れた位置に設けられた前記ばね13により、案内部40が付勢されているものである。   Further, in the embodiment shown in FIGS. 1 to 5, the positioning portion 3 has a cylindrical shape, and a guide portion 40 integrated with the pressing member 6 is inserted into the center of the positioning portion 3 so that the positioning portion 3 can be removed from the installation plane 2a. The guide part 40 is urged by the spring 13 provided at a distant position.

このように押圧部材6と一体に案内部40が、円柱形状の位置決め部3の軸中心上で摺動できるようにすると、押圧部材6の両端部によって、支持板21を均等な力で設置平面2aに押圧することができ、支持板21に余分な曲げ変形力を与えるのを防止できる。   When the guide portion 40 can be slid on the axial center of the columnar positioning portion 3 integrally with the pressing member 6 in this way, the support plate 21 can be installed with equal force by both ends of the pressing member 6. 2a can be pressed and an excessive bending deformation force can be prevented from being applied to the support plate 21.

また、前記固定用治具1では、前記押圧部材6は端部に傾斜面6eを有していることから、図5に示すように、前記傾斜面6eによって支持穴26の周縁部が押圧される。   Further, in the fixing jig 1, since the pressing member 6 has the inclined surface 6e at the end, the peripheral portion of the support hole 26 is pressed by the inclined surface 6e as shown in FIG. The

このように、前記傾斜面6eで前記支持穴26の周縁部を押圧すると、この押圧力によって支持穴26に対してセンタリング力を作用させることができ、磁気ヘッド組立体20を高精度に位置決めして固定できるようになる。   As described above, when the peripheral portion of the support hole 26 is pressed by the inclined surface 6e, a centering force can be applied to the support hole 26 by this pressing force, and the magnetic head assembly 20 is positioned with high accuracy. Can be fixed.

さらに、前記固定用治具1では、前記台座2の前方に形成された前記段差面8に、前記位置決め部3を中心とする支持板21の回転方向(図3に示す矢印A方向)への動きを規制する回転位置決め部9が設けられている。   Further, in the fixing jig 1, the step surface 8 formed in front of the pedestal 2 is moved to the rotation direction of the support plate 21 around the positioning portion 3 (the direction of arrow A shown in FIG. 3). A rotational positioning unit 9 that restricts movement is provided.

前記位置決め部3と前記支持穴26との挿通のみによって、前記磁気ヘッド組立体20を前記台座2の前記設置平面2aに固定するのみでは、図3の矢印Aで示すように、前記磁気ヘッド組立体20が、前記位置決め部3を回転中心として、図示矢印A方向へ回転移動してしまうため、回転方向(図示矢印A方向)への位置決めを正確に行うことができない。これを解決するために、前記固定用治具1では、前記段差面8に回転位置決め部9を設け、これによって前記回転方向に対する正確な位置決めを行なっているのである。   Only by fixing the magnetic head assembly 20 to the installation plane 2a of the pedestal 2 by only inserting the positioning portion 3 and the support hole 26, as shown by an arrow A in FIG. Since the solid 20 rotates and moves in the direction of the arrow A with the positioning portion 3 as the rotation center, the positioning in the direction of rotation (the direction of the arrow A in the figure) cannot be performed accurately. In order to solve this problem, the fixing jig 1 is provided with a rotation positioning portion 9 on the stepped surface 8 to thereby perform accurate positioning in the rotation direction.

図3に示す実施形態では、前記回転位置決め部9の前記直径D1は、前記磁気ヘッド組立体20の前記貫通部27の前記幅寸法W1とがほぼ同じ寸法で形成されている。したがって、前記回転位置決め部9を前記貫通部27に嵌合することで、前記磁気ヘッド組立体20の前記回転方向への位置決めを確実に行なうことが可能となる。このとき、前記したように、前記回転位置決め部9の上面9aは、前記設置平面2aよりも上方(図示Z2方向側)に形成されているため、前記回転位置決め部9が前記貫通部27から外れてしまって、前記磁気ヘッド組立体20の前記回転方向の位置ずれが発生してしまうことを防止することができる。   In the embodiment shown in FIG. 3, the diameter D <b> 1 of the rotational positioning portion 9 is formed so as to be substantially the same as the width dimension W <b> 1 of the through portion 27 of the magnetic head assembly 20. Therefore, the magnetic head assembly 20 can be reliably positioned in the rotational direction by fitting the rotational positioning portion 9 into the through portion 27. At this time, as described above, the upper surface 9a of the rotational positioning portion 9 is formed above the installation plane 2a (Z2 direction side in the drawing), so that the rotational positioning portion 9 is disengaged from the penetrating portion 27. Thus, it is possible to prevent the positional deviation of the magnetic head assembly 20 in the rotational direction.

このようにして容易に且つ精度良く、位置決めを行なった前記磁気ヘッド組立体20を、前記押圧部材6の付勢力によって前記台座2の前記設置平面2aへ押圧することで、前記支持板21を位置決めした状態で、前記設置平面2aに確実に固定することが可能となる。   The support plate 21 is positioned by pressing the magnetic head assembly 20 positioned easily and accurately in this way against the installation plane 2a of the base 2 by the urging force of the pressing member 6. In this state, it can be securely fixed to the installation plane 2a.

このように、前記固定用治具1は、磁気ヘッド組立体20を高精度に位置決めして固定することができるため、この固定用冶具1で磁気ヘッド組立体20を支持したときに、スライダ22と測定用のガラスディスク30との対向位置を、実際のハードディスク装置と同様の条件に設定でき、ガラスディスク30の表面32からのスライダ22の浮上量の測定を高精度に測定することが可能になる。   Thus, since the fixing jig 1 can position and fix the magnetic head assembly 20 with high accuracy, the slider 22 is supported when the fixing jig 1 supports the magnetic head assembly 20. And the glass disk 30 for measurement can be set to the same conditions as in an actual hard disk device, and the flying height of the slider 22 from the surface 32 of the glass disk 30 can be measured with high accuracy. Become.

なお、本発明では図7に示すように、押圧部材6の両端部の押圧面6aが前記設置平面2aと平行であり、この押圧面6aと前記設置平面2aとの間で支持板21が挟持されて固定されるものであっても良い。   In the present invention, as shown in FIG. 7, the pressing surfaces 6a at both ends of the pressing member 6 are parallel to the installation plane 2a, and the support plate 21 is sandwiched between the pressing surface 6a and the installation plane 2a. And may be fixed.

また、図1ないし図6に示した実施形態では、位置決め部3が円柱状であるが、この位置決め部3を、図8に示すように、X1−X2方向の両端と、Y1−Y2方向の両端に、共通の曲率中心Oを有する円柱面103aを持つ平面形状が十字型の位置決め部103ものであってもよい。このように構成しても、円柱面103aはその半径を高精度に決めることができるため、位置決め部103の円柱面103aと磁気ヘッド組立体20の支持穴26の内径寸法との差を微小にでき、磁気ヘッド組立体20を台座2の前記設置平面2aに高精度に位置決めすることが可能となる。   Further, in the embodiment shown in FIGS. 1 to 6, the positioning portion 3 has a cylindrical shape. However, as shown in FIG. 8, the positioning portion 3 has both ends in the X1-X2 direction and Y1-Y2 direction. A planar shape having a cylindrical surface 103 a having a common center of curvature O at both ends may be the cross-shaped positioning portion 103. Even with this configuration, the radius of the cylindrical surface 103a can be determined with high accuracy, so that the difference between the cylindrical surface 103a of the positioning portion 103 and the inner diameter dimension of the support hole 26 of the magnetic head assembly 20 is very small. In addition, the magnetic head assembly 20 can be positioned on the installation plane 2a of the base 2 with high accuracy.

なお、前記固定用治具1では、前記回転位置決め部9が1本の円柱形状の突起として構成され、この回転位置決め部9が前記磁気ヘッド組立体20に形成された前記貫通部27に嵌合されて、前記磁気ヘッド組立体20の回転位置決めを行なっているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば図9に示すように、前記固定用治具1の前記段差面8に、2本の円柱形状の回転位置決め部109と110とが、幅方向に間隔を空けて対向する位置関係で配置されており、前記磁気ヘッド組立体20の前記支持板21の側縁21a、21bが前記回転位置決め部209、210に当接した状態で、2本の前記回転位置決め部209と210との間に挟まれるようにして、回転方向(図示矢印A方向)位置の規制を行なうものとして構成しても良い。このようにしても、前記磁気ヘッド組立体20
の回転方向の位置決めを確実に行なうことが可能となる。また、前記回転位置決め部209、210のうち一方のみが形成され、前記支持板21の前記側縁21a、21bの一方が、前記回転位置決め部209、210によって位置規制されていても良い。ただし、2本の前記回転位置決め部209、210の間に前記支持板21が挟まれるように構成したほうが、位置決め精度が向上するため好ましい。
In the fixing jig 1, the rotational positioning portion 9 is configured as one cylindrical protrusion, and the rotational positioning portion 9 is fitted into the through-hole 27 formed in the magnetic head assembly 20. The magnetic head assembly 20 is rotationally positioned, but the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 9, the magnetic head assembly 20 is formed on the stepped surface 8 of the fixing jig 1. Two columnar rotational positioning portions 109 and 110 are arranged in a positional relationship facing each other at an interval in the width direction, and side edges 21a and 21b of the support plate 21 of the magnetic head assembly 20 are arranged. In this state, the position of the rotation direction (direction of arrow A in the figure) is regulated so as to be sandwiched between the two rotation positioning portions 209 and 210 while in contact with the rotation positioning portions 209 and 210. Configure It may be. In this way, the magnetic head assembly 20
It is possible to reliably perform positioning in the rotational direction. Further, only one of the rotational positioning portions 209 and 210 may be formed, and the position of one of the side edges 21a and 21b of the support plate 21 may be regulated by the rotational positioning portions 209 and 210. However, it is preferable that the support plate 21 is sandwiched between the two rotational positioning portions 209 and 210 because positioning accuracy is improved.

なお、前記固定用治具1では、前記支持穴26が前記位置決め部3に入り込む構造を例として説明したが、前記支持穴26以外の穴が、前記位置決め部3と嵌合するものとして構成しても良い。この場合、図2に示す磁気ヘッド組立体20に形成された前記穴42が、前記位置決め部3に入り込む構成としても良く、あるいは図4に示されていない穴を形成して、この穴が前記位置決め部3に入り込むように構成しても良い。   In the fixing jig 1, the structure in which the support hole 26 enters the positioning portion 3 has been described as an example. However, holes other than the support hole 26 are configured to be fitted with the positioning portion 3. May be. In this case, the hole 42 formed in the magnetic head assembly 20 shown in FIG. 2 may be configured to enter the positioning portion 3, or a hole not shown in FIG. You may comprise so that it may enter in the positioning part 3. FIG.

本発明の磁気ヘッド組立体の固定用治具の第1実施形態を上方側から示す斜視図、The perspective view which shows 1st Embodiment of the fixing jig of the magnetic head assembly of this invention from upper side, 図1に示す固定用治具に固定される磁気ヘッド組立体を上側から示す平面図、FIG. 2 is a plan view showing the magnetic head assembly fixed to the fixing jig shown in FIG. 図1に示す固定用治具に図2示す磁気ヘッド組立体が係止された状態を上方側から示す平面図、FIG. 2 is a plan view showing the state in which the magnetic head assembly shown in FIG. 2 is locked to the fixing jig shown in FIG. 図3に示す磁気ヘッド組立体と固定用治具をIV−IV線で切断した断面図であり、使用時に係止されるガラスディスクおよびガラスディスクが固定されて回転駆動するスピンドルを、前記IV−IV線の延長線上で切断して示した図、FIG. 4 is a cross-sectional view of the magnetic head assembly and the fixing jig shown in FIG. 3 cut along line IV-IV. The glass disk that is locked during use and the spindle on which the glass disk is fixed and rotationally driven are fixed to the IV- The figure cut and shown on the extended line of the IV line, 図4に示す位置決め部および押圧部の部分拡大断面図、The partial expanded sectional view of the positioning part and press part shown in FIG. 図1に示す位置決め部3および押圧部材の部分拡大斜視図、The partial expansion perspective view of the positioning part 3 shown in FIG. 1 and a press member, 図5に示す位置決め部の他の形態を示す部分拡大断面図、The partial expanded sectional view which shows the other form of the positioning part shown in FIG. 位置決め部の他の形態を示す平面図、The top view which shows the other form of the positioning part, 回転位置決め部の他の形態を示す平面図、The top view which shows the other form of a rotation positioning part, 従来の磁気ヘッドテスターを示す平面図、A plan view showing a conventional magnetic head tester,

符号の説明Explanation of symbols

1 固定用治具
2 台座
2a 設置平面
3 位置決め部
6 押圧部材
6e 傾斜面
9 回転位置決め部
20 磁気ヘッド組立体
21 支持板
22 スライダ
26 支持穴
27 貫通部
30 ガラスディスク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fixing jig 2 Base 2a Installation plane 3 Positioning part 6 Pressing member 6e Inclined surface 9 Rotating positioning part 20 Magnetic head assembly 21 Support plate 22 Slider 26 Support hole 27 Through part 30 Glass disk

Claims (7)

記録素子と再生素子の少なくとも一方を備えたスライダと、基部に円形の支持穴が形成され先部に前記スライダが取り付けられる少なくとも一部が弾性変形可能な支持板とを有する磁気ヘッド組立体が固定される固定用冶具において、
設置平面を有する台座と、前記設置平面から突出して前記支持板を位置決めする位置決め部と、前記支持板を前記設置平面に固定する押圧部材とを有し、
前記位置決め部は、前記支持板が設置平面に設置されたときに、前記支持穴内に入り込んで、設置平面に沿う互いに直交する2つの方向で、前記支持穴の内側から前記支持板を位置決めするものであり、
前記押圧部材は、付勢部材の力で前記設置平面に付勢されており、前記位置決め部で位置決めされた支持板が前記押圧部材によって設置平面に押圧されることを特徴とする固定用冶具。
A magnetic head assembly having a slider having at least one of a recording element and a reproducing element, and a support plate in which a circular support hole is formed in the base and the slider is attached to the tip is elastically deformable. In the fixing jig,
A pedestal having an installation plane; a positioning portion that projects from the installation plane to position the support plate; and a pressing member that fixes the support plate to the installation plane.
The positioning portion enters the support hole when the support plate is installed on an installation plane, and positions the support plate from the inside of the support hole in two directions perpendicular to each other along the installation plane. And
The fixing member, wherein the pressing member is urged against the installation plane by the force of an urging member, and the support plate positioned by the positioning portion is pressed against the installation plane by the pressing member.
前記位置決め部は、少なくとも互いに直交する方向での外周面が、同じ曲率中心を有する円筒面である請求項1記載の固定用冶具。   2. The fixing jig according to claim 1, wherein the positioning portion is a cylindrical surface having outer peripheral surfaces at least in directions orthogonal to each other and having the same center of curvature. 前記位置決め部は、円柱状であり、前記押圧部材と一体の案内部が、前記位置決め部の中心に挿通され、設置平面から離れた位置に設けられた前記付勢部材により、案内部が付勢されている請求項1または2記載の固定用冶具。   The positioning portion is cylindrical, and a guide portion integrated with the pressing member is inserted through the center of the positioning portion, and the guide portion is biased by the biasing member provided at a position away from the installation plane. The fixing jig according to claim 1 or 2. 前記押圧部材は端部に傾斜面を有し、この傾斜面によって支持穴の周縁部が押圧される請求項1ないし3のいずれかに記載の固定用冶具。   The fixing jig according to claim 1, wherein the pressing member has an inclined surface at an end portion, and the peripheral portion of the support hole is pressed by the inclined surface. 前記台座には、前記位置決め部を中心とする支持板の回転方向への動きを規制する回転位置決め部が設けられている請求項1ないし4のいずれかに記載の固定用冶具。   The fixing jig according to any one of claims 1 to 4, wherein the pedestal is provided with a rotation positioning portion that restricts movement of the support plate in the rotation direction around the positioning portion. 前記回転位置決め部は、前記支持板に形成された貫通部と、設置平面から突出して前記貫通部に嵌合する突起とで構成されている請求項5記載の固定用冶具。   The fixing jig according to claim 5, wherein the rotation positioning portion includes a through portion formed in the support plate and a protrusion that protrudes from an installation plane and fits into the through portion. 請求項1ないし6に記載の固定用冶具を使用し、ヘッド組立体を、前記スライダの記録媒体との対向面が、設置平面と逆を向くようにして前記台座に位置決めして固定し、測定用ディスクを前記スライダに対向させて回転させ、前記ディスク表面からのスライダの浮上量を測定することを特徴とする磁気ヘッド組立体の浮上量測定方法。   A fixing jig according to claim 1 is used, and the head assembly is positioned and fixed on the pedestal so that the surface of the slider facing the recording medium faces away from the installation plane, and measurement is performed. A method for measuring a flying height of a magnetic head assembly, comprising: measuring a flying height of the slider from the disk surface by rotating a disk for use against the slider.
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