JP2007083354A - Work sucking and retaining device - Google Patents

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JP2007083354A JP2005276416A JP2005276416A JP2007083354A JP 2007083354 A JP2007083354 A JP 2007083354A JP 2005276416 A JP2005276416 A JP 2005276416A JP 2005276416 A JP2005276416 A JP 2005276416A JP 2007083354 A JP2007083354 A JP 2007083354A
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Seiji Kitagawa
誠司 北川
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a work sucking and retaining device with improved work sucking and retaining force. <P>SOLUTION: This work sucking and retaining device 1 is composed of: a seal material 8 annularly disposed at a suction surface 2 for sucking a work W and brought into close contact with the work W during suction of the work W; a suction port 9 formed in a range surrounded by the seal material 8 of the suction surface 2; a cylinder 7 communicated with the suction port 9 and a cylinder head 15 or near them; a piston 4 airtightly incorporated into the cylinder 7; a piston rod 5 of which one edge is jointed with the piston 4 and in which a male screw groove 22 is formed at an outer periphery; a female screw portion 32 fixedly provided at the cylinder on the cylinder 7 opening side and screwed in the piston rod; and an operation part 24 which operates rotation of the piston rod. The piston 4 is moved in the direction separating from the cylinder head 15, and a negative pressure is generated in the cylinder and in the range surrounded by the seal material of the suction surface, thus sucking and retaining the work W at the suction surface. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明はワークを吸着保持するワーク吸着保持装置に関するものである。   The present invention relates to a work suction holding device for sucking and holding a work.

従来、旋盤、フライス盤、マシニングセンタ、ボール盤、平面切削盤等の工作機械においては、ワークを保持するワーク保持装置で固定して加工している。ワーク保持装置としては、例えば、ワークを機械的にクランプして保持する機械式のワーク保持装置が知られている。   Conventionally, in machine tools such as a lathe, a milling machine, a machining center, a drilling machine, and a plane cutting machine, the work is fixed by a work holding device that holds the work. As a workpiece holding device, for example, a mechanical workpiece holding device that mechanically clamps and holds a workpiece is known.

また、ワークを治具の上に設置し、吸引ポンプなどを用いてワークと治具の吸着面との間で真空引きしてワークを治具に吸着保持する真空式のワーク吸着保持装置も知られている。また、吸引ポンプを用いない真空式のワーク吸着保持装置として、特開平11−129440号公報には、ピストンをシリンダヘッドから遠ざける方向に弾性反力を生じさせるスプリングを取付けたものが開示されている。このワーク吸着保持装置は、操作レバーを操作してピストンをピストンヘッド側へ移動させてから、ワークを吸着面に設置し、操作レバーを離した際に、スプリングの弾性反力によりピストンをシリンダヘッドから遠ざける方向に移動してシリンダ室に負圧を発生させ、この負圧でワークを吸着面に吸着保持するものである。
特開平11−129440号公報
Also known is a vacuum type workpiece holding device that places a workpiece on a jig and draws a vacuum between the workpiece and the chuck's suction surface using a suction pump, etc. It has been. Japanese Patent Laid-Open No. 11-129440 discloses a vacuum-type work suction / holding device that does not use a suction pump, which is provided with a spring that generates an elastic reaction force in the direction of moving the piston away from the cylinder head. . This work suction holding device moves the piston to the piston head side by operating the operation lever, and then when the work is placed on the suction surface and the operation lever is released, the piston is moved to the cylinder head by the elastic reaction force of the spring. The negative pressure is generated in the cylinder chamber by moving away from the workpiece, and the workpiece is sucked and held on the suction surface by this negative pressure.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-129440

上述した機械式のワーク保持装置は、クランプする部分がワークに傷を付けたり、歪みを生じさせたり、また作業上、邪魔になったりする場合がある。また、真空式のワーク保持装置は吸引ポンプを必要とするため、ワークの吸着保持を維持するのに、常に動力を必要とし、ランニングコストが嵩むものであった。また、ワークを吸着保持させる力も、吸引ポンプの出力によるので、限界がある。また、特開平11−129440号公報に開示されたワーク吸着保持装置は、スプリングの弾性反力でピストンを移動させて負圧を発生させているが、スプリングの弾性反力により負圧の大きさが決まる。このため、ワークを保持する吸着力に限界があり、ワークに大きな力が加わるような機械加工に使用する場合には、十分な保持力が得られないという問題があった。   In the above-described mechanical work holding device, the clamped portion may damage the work, cause distortion, or may interfere with work. Further, since the vacuum type work holding device requires a suction pump, power is always required to maintain the work suction and holding, and the running cost is increased. Further, the force for attracting and holding the work is also limited because it depends on the output of the suction pump. Further, in the workpiece suction and holding device disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-129440, the negative pressure is generated by moving the piston by the elastic reaction force of the spring, but the magnitude of the negative pressure is generated by the elastic reaction force of the spring. Is decided. For this reason, there is a limit to the adsorption force for holding the workpiece, and there has been a problem that a sufficient holding force cannot be obtained when used for machining such that a large force is applied to the workpiece.

本発明に係るワーク吸着保持装置は、ワークを吸着させる吸着面に形成した吸引口と、前記吸着面に前記吸引口を中心に囲むように形成した、大きさの異なる矩形状の複数の溝と、前記複数の溝に着脱自在に配設したシール材と、前記吸引口と、シリンダヘッド又は該シリンダヘッドの近傍で連通したシリンダと、前記シリンダ内に気密に装入したピストンと、前記ピストンに一端を連結し、外周に雄ねじ溝を形成したピストンロッドと、前記シリンダの開口側において、シリンダに固定的に設けられ、前記ピストンロッドに螺合する雌ねじ部と、前記ピストンロッドの回動を操作する操作部とを備えたものである。 A workpiece suction holding device according to the present invention includes a suction port formed on a suction surface for sucking a workpiece, and a plurality of rectangular grooves of different sizes formed on the suction surface so as to surround the suction port. , a seal member is disposed detachably on the plurality of grooves, and the suction port, a cylinder which communicates in the vicinity of the cylinder head or the cylinder head, a piston was charged in an air-tight in the cylinder, the piston operation is connected at one end, a piston rod to form a male screw groove on the outer circumference, at the opening side of the cylinder, fixedly provided in the cylinder, and the internal thread portion screwed to the piston rod, the rotation of the piston rod And an operation unit to perform.

また、ピストンとピストンロッドを、ピストンに対してピストンロッドが相対的に回動するのを許容する連結構造で連結し、ピストンロッドを回動操作したときに、ピストンがシリンダ内でピストンロッドと一緒に回動せずに、摺動するようにしてもよい。   Also, the piston and the piston rod are connected with a connecting structure that allows the piston rod to rotate relative to the piston, and when the piston rod is operated to rotate, the piston moves together with the piston rod in the cylinder. You may make it slide without rotating.

このワーク吸着保持装置は、ワークを吸着保持させる際は、ピストンをシリンダヘッド側に移動させた状態で、ワークを吸着面に設置し、シール材に密着させ、ピストンロッドを回動操作して、ピストンをシリンダヘッドから離れる方向に移動させる。これにより、シリンダ内および吸着面のシール材で囲まれた領域に負圧を発生させることができ、ワークを吸着面に吸着保持することができる。この際、ピストンロッドの外周に形成した雄ねじ溝と、シリンダの開口側においてシリンダに雌ねじ部とが螺合しており、ピストンロッドを回動操作することによりピストンをシリンダに対して進退させる構造になっている。これにより、シリンダ内の許容される範囲内でピストンを移動させることができ、ピストンをシリンダヘッドから離れる方向へ移動させればさせるだけ、ワークを吸着保持する吸着保持力を向上させることができ、機械加工に耐え得る程度に強力な吸着保持力でワークを保持することができる。また、ピストンロッドとシリンダの開口側に設けた雌ねじ部との螺合によりピストンの移動が規制されるので、ワークを吸着保持した状態をそのまま維持する場合でも、吸引ポンプなど他に動力が要らず経済的である。   This workpiece suction holding device, when sucking and holding the workpiece, with the piston moved to the cylinder head side, the workpiece is placed on the suction surface, closely contacted with the sealing material, and the piston rod is rotated, Move the piston away from the cylinder head. Thereby, a negative pressure can be generated in the area surrounded by the sealing material in the cylinder and the suction surface, and the work can be sucked and held on the suction surface. At this time, the male thread groove formed on the outer periphery of the piston rod and the female thread portion are screwed into the cylinder on the opening side of the cylinder, and the piston is moved forward and backward by rotating the piston rod. It has become. Thereby, the piston can be moved within the allowable range in the cylinder, and the suction holding force for sucking and holding the workpiece can be improved only by moving the piston away from the cylinder head. The workpiece can be held with a strong suction holding force enough to withstand machining. In addition, since the movement of the piston is restricted by the threaded engagement between the piston rod and the female thread provided on the cylinder opening side, no other power is required, such as a suction pump, even if the workpiece is held by suction. Economical.

また、ピストンロッドを回動操作したときに、ピストンがシリンダ内で回転せずに、摺動するようにすれば、ピストンとシリンダの摩耗を防ぐことができる。   Further, when the piston rod is rotated, the piston and the cylinder can be prevented from being worn by sliding the piston without rotating in the cylinder.

以下、本発明の実施形態に係るワーク吸着保持装置を図に基づいて説明する。なお、同一の作用を奏する部材、部位には同一の符号を付して説明する。   Hereinafter, a workpiece suction holding device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected and demonstrated to the member and site | part which show | plays the same effect | action.

ワーク吸着保持装置1は、図1に示すように、一側面にワークWを吸着保持する吸着面2を有したシリンダ本体3と、ピストン4と、ピストンロッド5と、雌ねじ部としてのナット6とから構成されている。   As shown in FIG. 1, the workpiece suction and holding device 1 includes a cylinder body 3 having a suction surface 2 that holds and holds a workpiece W on one side surface, a piston 4, a piston rod 5, and a nut 6 as a female screw portion. It is composed of

シリンダ本体3は、この実施形態では、図3に示すように、長さ方向にシリンダ7となる筒状の空洞を形成した直方体形状のブロック状の部材で、その上面にワークWを吸着させる吸着面2を備えている。シリンダ本体3は、内部に形成されるシリンダ7内を負圧にしたときに大気圧で変形されない程度の強度が必要であり、この実施形態では、強度と軽量化を考慮して、アルミ合金(例えば、A−7075)で形成している。   In this embodiment, as shown in FIG. 3, the cylinder main body 3 is a rectangular parallelepiped block-like member in which a cylindrical cavity that becomes the cylinder 7 is formed in the length direction. Surface 2 is provided. The cylinder body 3 needs to be strong enough not to be deformed by atmospheric pressure when the inside of the cylinder 7 formed inside is made negative pressure. In this embodiment, in consideration of strength and weight reduction, an aluminum alloy ( For example, it is formed by A-7075).

吸着面2は、ワークWを吸着させる際にワークWに密着する環状のシール材8が配設され、シール材8で囲まれた内側の領域に空気を吸引する吸引口9を形成している。この実施形態では、シール材8はOリングで構成され、吸着面2に形成した装着溝10に装着されている。装着溝10は、図2に示すように、吸着面2の中央に形成した吸引口9を中心に囲むように、大きさの異なる矩形状の3つの装着溝10a、10b、10cを3重に形成している。シール材8は、吸着するワークWの被吸着面W1の大きさに合わせて、この3つの装着溝10a,10b,10cのいずれかの装着溝を選択して装着している。図示例では、ワークWの被吸着面W1に合わせて真ん中の第2装着溝10bにシール材8を嵌め込んでいる。また、装着溝10a,10b,10cは、シール材8としてのOリングを嵌め込んだときに、シール材8が吸着面2よりも少し突出するように、幅と深さを設定するとよい。なお、この実施形態では、図2に示すように、吸着面2の吸引口9を通り、内側の装着溝10c,10bを横断し、外側の装着溝10aまで延在した溝11を形成している。この溝11は、ワークWとシール材8で囲まれた領域の空気を吸引口9から吸引するときに空気をスムーズに吸引するものである。なお、この実施形態では、装着溝10a,10b,10cを3重に形成して、ワークWの被吸着面W1に合わせて何れかの装着溝にシール材8を装着する構造にしているが、吸着面に形成する装着溝の数や形状は、上記の実施形態に限定されないThe suction surface 2 is provided with an annular sealing material 8 that comes into close contact with the workpiece W when the workpiece W is sucked, and forms a suction port 9 that sucks air in an inner region surrounded by the sealing material 8. . In this embodiment, the sealing material 8 is composed of an O-ring and is mounted in a mounting groove 10 formed on the suction surface 2. As shown in FIG. 2, the mounting groove 10 has three rectangular mounting grooves 10 a, 10 b, and 10 c having different sizes so as to surround the suction port 9 formed at the center of the suction surface 2. Forming. The sealing material 8 is mounted by selecting one of the three mounting grooves 10a, 10b, and 10c in accordance with the size of the attracted surface W1 of the workpiece W to be attracted. In the illustrated example, the sealing material 8 is fitted into the second mounting groove 10b in the middle according to the attracted surface W1 of the workpiece W. The mounting grooves 10 a, 10 b, and 10 c may be set to have a width and a depth so that the sealing material 8 protrudes slightly from the suction surface 2 when an O-ring as the sealing material 8 is fitted. In this embodiment, as shown in FIG. 2, a groove 11 is formed which passes through the suction port 9 of the suction surface 2 and crosses the inner mounting grooves 10c and 10b and extends to the outer mounting groove 10a. Yes. The groove 11 smoothly sucks air when sucking air from a suction port 9 in a region surrounded by the workpiece W and the sealing material 8. In this embodiment, the mounting grooves 10a, 10b, and 10c are formed in triplicate, and the seal material 8 is mounted in any of the mounting grooves according to the attracted surface W1 of the workpiece W. The number and shape of the mounting grooves formed on the suction surface are not limited to the above embodiment.

シリンダ本体3は、図3に示すように、長さ方向の一側面12からシリンダ7となる有底円筒状の穴を形成し、他方の側面13にはピストンロッド5を挿通させるばか穴14を形成している。ばか穴14は、シリンダ7となる穴と同心円状に、ピストンロッド5の外径形状よりも少し大きなばか穴を貫通形成している。シリンダ7となる穴を開けた側面12に、シリンダヘッド15を取付けて封口している。   As shown in FIG. 3, the cylinder body 3 forms a bottomed cylindrical hole that becomes the cylinder 7 from one side surface 12 in the length direction, and a hollow hole 14 through which the piston rod 5 is inserted on the other side surface 13. Forming. The fool hole 14 is formed concentrically with the hole to be the cylinder 7 and penetrates a flaw hole that is slightly larger than the outer diameter shape of the piston rod 5. A cylinder head 15 is attached and sealed to a side surface 12 having a hole to become the cylinder 7.

この実施形態では、図1に示すように、シリンダ本体3に吸引口9をシリンダ7のシリンダヘッド15の近傍に連通させる連通路16を形成している。連通路16は、吸引口9から所定深さまで形成した第1通路16aと、シリンダ本体3のシリンダヘッド15を取付ける側の側面12から第1通路16aに連通するようにシリンダ7の軸線方向と平行に形成した第2通路16bと、シリンダ7のシリンダヘッド15側の内側面から第2通路16bに連通するように斜めに形成した第3通路16cを順に形成して連通させたものである。シリンダ本体3の側面12には、第2通路16bが開口した部位に封口材17を埋め込んで第2通路16bを封口している。   In this embodiment, as shown in FIG. 1, a communication passage 16 is formed in the cylinder body 3 for communicating the suction port 9 in the vicinity of the cylinder head 15 of the cylinder 7. The communication passage 16 is parallel to the axial direction of the cylinder 7 so as to communicate with the first passage 16a formed from the suction port 9 to a predetermined depth and the first passage 16a from the side surface 12 on the side of the cylinder body 3 where the cylinder head 15 is attached. The second passage 16b formed in the above and the third passage 16c formed obliquely so as to communicate with the second passage 16b from the inner surface on the cylinder head 15 side of the cylinder 7 are sequentially formed and communicated. On the side surface 12 of the cylinder body 3, a sealing material 17 is embedded in a portion where the second passage 16b is opened to seal the second passage 16b.

シリンダヘッド15は、図3に示すように、シリンダ本体3の一側面12に装着されるものであり、内側面にシリンダ7に挿入される突起18を備えている。突起18の外周面にはOリング19を装着しており、シリンダ7の気密性を確保している。シリンダヘッド15は、図1に示すように、突起18をシリンダ7に挿入した状態でボルト20によりシリンダ本体3の側面12に固定している。   As shown in FIG. 3, the cylinder head 15 is attached to one side surface 12 of the cylinder body 3, and includes a protrusion 18 inserted into the cylinder 7 on the inner side surface. An O-ring 19 is attached to the outer peripheral surface of the protrusion 18 to ensure the airtightness of the cylinder 7. As shown in FIG. 1, the cylinder head 15 is fixed to the side surface 12 of the cylinder body 3 with bolts 20 with the protrusions 18 inserted into the cylinder 7.

ピストン4は上記シリンダ本体3のシリンダ7内に気密に装入したものであり、この実施形態では、図1または、図3に示すように、シリンダ7の内周面に応じた略円筒状部材で、その外周にシリンダ7の内周壁7aに気密に接するシール材21を装着したものである。   The piston 4 is hermetically inserted into the cylinder 7 of the cylinder body 3. In this embodiment, as shown in FIG. 1 or FIG. 3, the substantially cylindrical member corresponding to the inner peripheral surface of the cylinder 7. Thus, the sealing material 21 that is in airtight contact with the inner peripheral wall 7a of the cylinder 7 is mounted on the outer periphery thereof.

ピストンロッド5は、ピストン4に一端を連結し、外周に雄ねじ溝22を形成している。この実施形態では、ピストンロッド5は、図1または、図3に示すように、丸棒で形成され、外周面の略全周に雄ねじ溝22を形成している。ピストンロッド5の一端には、ピストン4に連結する連結部23を設け、他端にはピストンロッド5の回動を操作する操作部24を設けている。この実施形態では、操作部24として、市販のトルクレンチ26を係合させる多角形の係合構造25をピストンロッド5の他端に形成し、図4に示すように、トルクレンチ26をハンドルとしてピストンロッド5に適宜に取付けて、ピストンロッド5の回動を操作する構造にしている。   The piston rod 5 has one end connected to the piston 4 and a male thread groove 22 formed on the outer periphery. In this embodiment, as shown in FIG. 1 or FIG. 3, the piston rod 5 is formed of a round bar, and has a male thread groove 22 on substantially the entire circumference of the outer peripheral surface. One end of the piston rod 5 is provided with a connecting portion 23 connected to the piston 4, and the other end is provided with an operation portion 24 for operating the rotation of the piston rod 5. In this embodiment, a polygonal engagement structure 25 for engaging a commercially available torque wrench 26 is formed at the other end of the piston rod 5 as the operation portion 24, and the torque wrench 26 is used as a handle as shown in FIG. The piston rod 5 is appropriately attached so that the piston rod 5 can be rotated.

また、この実施形態では、ピストン4に対してピストンロッド5が相対的に回動するのを許容する連結構造でピストン4とピストンロッド5を連結している。   Further, in this embodiment, the piston 4 and the piston rod 5 are coupled with a coupling structure that allows the piston rod 5 to rotate relative to the piston 4.

図3に示すように、ピストン4には、ピストンロッド5を取付ける側に軸方向に突出した突部27を形成し、その中心に、ピストンロッド5の一端が挿入される挿入穴28を形成している。突部27にはピン31を取付けるねじ穴29を形成している。他方、ピストンロッド5にはピストン4に連結する側の端部の外周面に、周方向に連続した溝30を形成している。そして、ピストン4の挿入孔28にピストンロッド5を挿入し、ねじ穴29をピストンロッド5の外周面に形成した溝30に合わせて、溝30に係合するようにピストン4のねじ穴29にピン31を取付けている。斯かる連結構造により、ピストン4はピン31を介してピストンロッド5と軸方向に係合し、かつ、ピストン4がピストンロッド5に対して相対的に回動するのを許容している。これにより、ピストン4はピストンロッド5を回動操作しても、シリンダ7内でピストンロッド5と一緒に回動しないようにしている。   As shown in FIG. 3, the piston 4 is formed with a protrusion 27 protruding in the axial direction on the side where the piston rod 5 is attached, and an insertion hole 28 into which one end of the piston rod 5 is inserted is formed at the center. ing. A screw hole 29 for attaching the pin 31 is formed in the protrusion 27. On the other hand, the piston rod 5 is formed with a circumferentially continuous groove 30 on the outer peripheral surface of the end connected to the piston 4. Then, the piston rod 5 is inserted into the insertion hole 28 of the piston 4, and the screw hole 29 is aligned with the groove 30 formed on the outer peripheral surface of the piston rod 5, and the screw hole 29 of the piston 4 is engaged with the groove 30. A pin 31 is attached. With such a connection structure, the piston 4 is engaged with the piston rod 5 in the axial direction via the pin 31, and the piston 4 is allowed to rotate relative to the piston rod 5. Thus, the piston 4 is prevented from rotating together with the piston rod 5 in the cylinder 7 even if the piston rod 5 is rotated.

ピストン4とピストンロッド5は、図3に示すように、連結された状態で、ピストンロッド5からシリンダ本体3のシリンダ7内に挿入し、ピストンロッド5をシリンダ本体3の側面13のばか穴14に挿通させて、ピストン4をシリンダ7内へ装着する。そして、図1に示すように、ピストン4をシリンダ7内に移動させて、シリンダ本体3にシリンダヘッド15を装着してシリンダ7を封口する。   As shown in FIG. 3, the piston 4 and the piston rod 5 are connected to each other and inserted into the cylinder 7 of the cylinder body 3 from the piston rod 5, and the piston rod 5 is inserted into the hole 14 on the side surface 13 of the cylinder body 3. And the piston 4 is mounted in the cylinder 7. Then, as shown in FIG. 1, the piston 4 is moved into the cylinder 7, the cylinder head 15 is attached to the cylinder body 3, and the cylinder 7 is sealed.

シリンダ7の開口側(ばか穴14が形成された側)には、シリンダ本体3にピストンロッド5と螺合する雌ねじ部32を固定的に設けている。この実施形態では、図1に示すように、シリンダ本体3に形成したばか穴14がシリンダ7の開口となり、ばか穴14を形成した側面13に雌ねじ部32としてのナット6を固定している。ナット6は、ピストン4およびピストンロッド5をシリンダ7に装入した後で、ピストンロッド5に螺合させればよく、シリンダ本体3のばか穴14を形成した側面13まで螺合させていき、シリンダ本体3の側面13にビスなどで固定するとよい。   On the opening side of the cylinder 7 (the side where the hollow hole 14 is formed), a female screw portion 32 that is screwed into the cylinder body 3 and the piston rod 5 is fixedly provided. In this embodiment, as shown in FIG. 1, the hollow hole 14 formed in the cylinder body 3 becomes the opening of the cylinder 7, and the nut 6 as the female screw portion 32 is fixed to the side surface 13 where the hollow hole 14 is formed. The nut 6 may be screwed into the piston rod 5 after inserting the piston 4 and the piston rod 5 into the cylinder 7, and is screwed to the side surface 13 where the hollow hole 14 of the cylinder body 3 is formed, It may be fixed to the side surface 13 of the cylinder body 3 with a screw or the like.

この状態でピストンロッド5を回動操作すると、ピストンロッド5と、シリンダ本体3に固定的に配設したナット6との螺合により、ピストンロッド5の一端に連結されたピストン4がシリンダ7内を進退移動する。この際、ピストン4に対してピストンロッド5が相対的に回動するのを許容する連結構造で、ピストン4とピストンロッド5を連結しているから、ピストン4はシリンダ7内でピストンロッド5と一緒に回動せずに摺動する。これにより、ピストン4とシリンダ7の摩耗を防ぐことができる。   When the piston rod 5 is rotated in this state, the piston 4 connected to one end of the piston rod 5 is brought into the cylinder 7 by screwing between the piston rod 5 and a nut 6 fixedly disposed on the cylinder body 3. Move forward and backward. At this time, since the piston 4 is connected to the piston 4 with a connecting structure that allows the piston rod 5 to rotate relative to the piston 4, the piston 4 is connected to the piston rod 5 in the cylinder 7. Slide without rotating together. Thereby, abrasion of piston 4 and cylinder 7 can be prevented.

また、ピストン4よりもシリンダ7の開口側の空間は遮蔽されておらず、ばか穴14、および、ナット6とピストンロッド5のクリアランスを通じて外部と連通している。このため、ピストン4がシリンダ7内を進退移動する際に、シリンダ7の、ピストン4よりもばか穴14側の空間と外部との間で空気が速やかに流通し、ピストン4をスムーズにシリンダ7内で進退移動させることができる。   The space on the opening side of the cylinder 7 relative to the piston 4 is not shielded and communicates with the outside through the hollow hole 14 and the clearance between the nut 6 and the piston rod 5. For this reason, when the piston 4 moves back and forth in the cylinder 7, air quickly circulates between the space of the cylinder 7 on the side of the hollow hole 14 with respect to the piston 4 and the outside, so that the piston 4 smoothly flows into the cylinder 7. It can be moved forward and backward within.

なお、雌ねじ部32としては、上述するようにシリンダ本体3にナット6を取付けた構造を例示したが、これには限定されず、例えば、シリンダ本体3のばか穴14を形成した部分に、ばか穴14に代えてピストンロッド5が螺合する雌ねじ溝を、シリンダ本体3に直接形成してもよい。   In addition, although the structure which attached the nut 6 to the cylinder main body 3 as mentioned above was illustrated as the internal thread part 32, it is not limited to this, For example, in the part which formed the hollow hole 14 of the cylinder main body 3, Instead of the hole 14, a female thread groove into which the piston rod 5 is screwed may be formed directly in the cylinder body 3.

なお、シリンダ本体3に直接雌ねじ溝を形成する場合には、ばか穴14に雌ねじを形成できるだけの肉厚を確保する必要があるので、シリンダ本体3に高価なアルミ合金を用いると製造コストが掛かる。ピストンロッド5を雌ねじ部32に螺合させながら、ピストン4をシリンダ7に装入する必要があり、装入作業が面倒になる。これに対して、図1に示す実施形態のように、雌ねじ部32をシリンダ本体3とは別体のナット6とすることにより、製造コストを低く抑えることができ、ピストン4およびピストンロッド5をシリンダ7内に装入する作業を容易にできる。   In the case where the female thread groove is directly formed in the cylinder body 3, it is necessary to secure a thickness sufficient to form the female thread in the flaw hole 14, and therefore, if an expensive aluminum alloy is used for the cylinder body 3, a manufacturing cost is required. . It is necessary to insert the piston 4 into the cylinder 7 while screwing the piston rod 5 into the female thread portion 32, and the loading operation becomes troublesome. On the other hand, as in the embodiment shown in FIG. 1, the manufacturing cost can be kept low by making the female thread portion 32 a nut 6 that is separate from the cylinder body 3, and the piston 4 and the piston rod 5 can be reduced. The operation | work inserted in the cylinder 7 can be made easy.

このワーク吸着保持装置1は、ワークWを吸着保持する際、まず、ワークWを吸着面2に載置する前に、ピストン4をシリンダヘッド15側に移動させる。そして、図1に示すように、ピストン4をシリンダヘッド15側へ位置させた状態で、ワークWを吸着面2の上に載せてシール材8の全周をワークWの被吸着面に密着させる。そして、図4に示すように、ピストンロッド5をトルクレンチ26で回動操作して、ピストン4をシリンダヘッド15から離れる方向に移動させる。これにより、吸引口9から連通路16を通して吸着面2のシール材8で囲まれた領域の空気を吸引でき、吸着面2のシール材8で囲まれた領域を負圧にして、ワークWを吸引保持することができる。   When the work suction / holding device 1 sucks and holds the work W, first, the piston 4 is moved to the cylinder head 15 side before the work W is placed on the suction surface 2. As shown in FIG. 1, with the piston 4 positioned toward the cylinder head 15, the work W is placed on the suction surface 2 and the entire circumference of the sealing material 8 is brought into close contact with the surface to be sucked of the work W. . Then, as shown in FIG. 4, the piston rod 5 is rotated by a torque wrench 26 to move the piston 4 in a direction away from the cylinder head 15. As a result, the air in the area surrounded by the sealing material 8 on the suction surface 2 can be sucked from the suction port 9 through the communication path 16, and the area surrounded by the sealing material 8 on the suction surface 2 is set to a negative pressure. It can be sucked and held.

このワーク吸着保持装置1は、操作部24でピストンロッド5を回動させ、ピストン4をシリンダヘッド15から離れた方向へ移動させればさせるほど、大きな吸着保持力を生じさせることができる。ピストンロッド5の回動操作は手動でも十分に行え、機械加工に耐え得る程度に強力な吸着保持力でワークWを保持することができる。また、このワーク吸着保持装置1は、ワークWを吸引保持するのに、吸引ポンプなどの装置が不要で、経済的であり、また、吸引ポンプなどを用いることができない場所でも、ワークWを吸着保持させることができる。また、このワーク吸着保持装置1は、ピストンロッド5がナット6と螺合しているので、ピストンロッド5の回動を操作しない限り、ピストンロッド5の回動が規制され、ピストン4の位置を固定することができる。このため、ワークWの負圧による吸着保持状態をそのまま維持することができ、この際も吸引ポンプなどの装置が不要で経済的である。   The workpiece suction holding device 1 can generate a larger suction holding force as the piston rod 5 is rotated by the operation unit 24 and the piston 4 is moved away from the cylinder head 15. The rotating operation of the piston rod 5 can be sufficiently performed manually, and the workpiece W can be held with a strong suction holding force that can withstand machining. In addition, the work suction holding device 1 does not require a device such as a suction pump to suck and hold the work W, is economical, and sucks the work W even in a place where a suction pump or the like cannot be used. Can be retained. In addition, since the piston rod 5 is screwed with the nut 6 in the work suction / holding device 1, the rotation of the piston rod 5 is restricted unless the rotation of the piston rod 5 is operated. Can be fixed. For this reason, the suction holding state by the negative pressure of the workpiece | work W can be maintained as it is, and also in this case, apparatuses, such as a suction pump, are unnecessary and it is economical.

そして、ワークWの吸着保持状態を解除する場合は、ピストンロッド5を回動操作して、図1に示すように、ピストン4をシリンダヘッド15側へ移動させ、シリンダ7内を大気圧と略同じ状態に戻すとよい。これにより、吸着面2のシール材8で囲まれた領域の吸着状態を解除でき、ワークWを吸着面2から簡単に取外すことができる。   When releasing the suction holding state of the workpiece W, the piston rod 5 is rotated to move the piston 4 toward the cylinder head 15 as shown in FIG. Return to the same state. Thereby, the suction state of the area surrounded by the sealing material 8 on the suction surface 2 can be released, and the workpiece W can be easily detached from the suction surface 2.

以上、本発明の一実施形態に係るワーク吸着保持装置を説明したが、本発明に係るワーク吸着保持装置は、上記した実施形態に限定されるものでなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えることができる。   The work suction holding device according to one embodiment of the present invention has been described above. However, the work suction holding device according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and does not depart from the gist of the present invention. Various changes can be made in.

例えば、吸引口9とシリンダ7は、シリンダヘッド又はその近傍で連通させるとよく、吸引口9とシリンダ7を連通する連通路16は上記実施形態には限定されない。具体的には、図5に示すように、シリンダ本体3の側面12に取付けたシリンダヘッド15の内側面に、シリンダ7と第2通路16bに連通する溝51を形成して、吸引口9とシリンダ7を、第1通路16a、第2通路16b及びシリンダヘッド15の内側面に形成した溝51で連通してもよい。また、図6に示すように、シリンダ本体3の側面12に溝52を形成し、吸引口9とシリンダ7を、第1通路16a、第2通路16b及びシリンダ本体3の側面に形成した溝52で連通してもよい。   For example, the suction port 9 and the cylinder 7 may be communicated with each other at or near the cylinder head, and the communication path 16 that communicates the suction port 9 and the cylinder 7 is not limited to the above embodiment. Specifically, as shown in FIG. 5, a groove 51 communicating with the cylinder 7 and the second passage 16b is formed on the inner surface of the cylinder head 15 attached to the side surface 12 of the cylinder body 3, and the suction port 9 The cylinder 7 may be communicated with a groove 51 formed on the inner surface of the first passage 16a, the second passage 16b, and the cylinder head 15. Further, as shown in FIG. 6, a groove 52 is formed on the side surface 12 of the cylinder body 3, and the suction port 9 and the cylinder 7 are formed on the first passage 16 a, the second passage 16 b, and the side surface of the cylinder body 3. You may communicate with.

図5に示すようにシリンダ7の内側面に溝51を設けて吸引口9とシリンダ7を連通する実施形態、および、図6に示すようにシリンダ本体3の側面12に52を設けて吸引口9とシリンダ7を連通する実施形態では、図1に示す実施形態でシリンダヘッド15に形成していた突起18、および、シリンダ本体3に斜めに形成していた第3通路16cも廃止される。   An embodiment in which a groove 51 is provided on the inner side surface of the cylinder 7 as shown in FIG. 5 to allow the suction port 9 and the cylinder 7 to communicate with each other, and a side 52 in the side surface 12 of the cylinder body 3 is provided as shown in FIG. In the embodiment in which the cylinder 9 and the cylinder 7 are communicated, the projection 18 formed in the cylinder head 15 in the embodiment shown in FIG. 1 and the third passage 16c formed obliquely in the cylinder body 3 are also eliminated.

また、吸着面2に配設したシール材は、ワークの被吸着面の形状に合わせて種々の形状に配設するとよい。例えば、図7に示すように、それぞれ重ならないように複数のシール材61を環状に配設し、シール材61で囲まれたそれぞれの領域62に吸引口63を設けてもよい。この場合、図8に示すように、各吸引口63をそれぞれシリンダ7のシリンダヘッド又はその近傍に連通させ、各シール材61で囲まれた領域でワークWを吸着できるようにしてもよい。この実施形態では、各シール材61で囲まれた部分に、それぞれ一つのワークW(図8の実線で示す)を吸着保持させたり、各シール材61に一のワークW(図8の一点鎖線で示す)の被吸着面W1を密着させて、各シール材61で囲まれた領域を協同で一のワークWを吸着保持させたりすることができる。例えば、被吸着面W1が離散して分布しているワークWを吸着保持する場合に有効であり、シール材61で囲まれた領域は、ワークWの被吸着面W1の形状に合わせて設定するとよい。   Further, the sealing material disposed on the suction surface 2 may be disposed in various shapes according to the shape of the surface to be attracted of the workpiece. For example, as shown in FIG. 7, a plurality of sealing materials 61 may be arranged in an annular shape so as not to overlap each other, and suction ports 63 may be provided in the respective regions 62 surrounded by the sealing materials 61. In this case, as shown in FIG. 8, each suction port 63 may be communicated with the cylinder head of the cylinder 7 or the vicinity thereof so that the work W can be adsorbed in a region surrounded by each sealing material 61. In this embodiment, one work W (shown by a solid line in FIG. 8) is sucked and held in a portion surrounded by each seal material 61, or one work W (one-dot chain line in FIG. 8) is placed on each seal material 61. The surface W1 to be attracted) can be brought into close contact with each other, and the area surrounded by the respective seal members 61 can be cooperatively held by suction. For example, it is effective when sucking and holding the workpiece W in which the attracted surface W1 is dispersed and distributed, and the region surrounded by the sealing material 61 is set according to the shape of the attracted surface W1 of the workpiece W. Good.

また、図1に示す実施形態では、吸着面2は、シリンダ本体3の上面に形成したが、吸着面2はシリンダ本体3と別体で設けても良い。例えば、図9に示すように、シリンダ本体71とは別体とした吸着体72の一側面にシール材としてのOリング73を環状に配設し、Oリング73で囲まれた領域に吸引口74となる穴を形成してワークWの吸着面75を形成する。そして、斯かる吸着体72とは別体のシリンダ本体71にはシリンダ7のシリンダヘッド15又はその近傍の空間に開口させた吸気口76を形成し、吸着体72の吸引口74とシリンダ本体71の吸気口74を連通管77で連通させるとよい。   In the embodiment shown in FIG. 1, the suction surface 2 is formed on the upper surface of the cylinder body 3, but the suction surface 2 may be provided separately from the cylinder body 3. For example, as shown in FIG. 9, an O-ring 73 as a sealing material is annularly arranged on one side surface of an adsorbent 72 that is separate from the cylinder body 71, and a suction port is formed in a region surrounded by the O-ring 73. A hole to be 74 is formed to form the suction surface 75 of the workpiece W. The cylinder body 71 separate from the adsorbing body 72 is formed with an intake port 76 opened in the cylinder head 15 of the cylinder 7 or a space in the vicinity thereof, and the suction port 74 of the adsorbing body 72 and the cylinder body 71. The intake port 74 may be communicated with a communication pipe 77.

また、操作部24としてトルクレンチ26を係合させる係合構造25をピストンロッド5の他端に形成したものを例示したが、ピストンロッド5の回動を操作する操作部24はこれには限定されない。例えば、操作部には、単にハンドルを取付けてもよい。また、図示は省略するが、ピストンロッド5の他端に電動ドリルドライバを係合させる係合構造を形成し、電動ドリルドライバを用いて、ピストンロッド5の回動を操作するようにしてもよい。この場合、電動ドリルドライバは、トルク調整が可能なものもあるので、斯かるトルク調整可能な電動ドリルドライバを用いることにより、吸着力を自動調整することができるとともに、ピストンロッド5を過度に廻し過ぎることがなく、ワーク吸着保持装置の各部材の損傷を防止できる。なお、電動ドリルドライバとしては、特に、コード類が作業の邪魔にならないことを考慮すると、充電式で、コードレスのものを用いるとよい。   Moreover, although the thing which formed the engagement structure 25 which engages the torque wrench 26 as the operation part 24 in the other end of the piston rod 5 was illustrated, the operation part 24 which operates rotation of the piston rod 5 is limited to this. Not. For example, a handle may be simply attached to the operation unit. Moreover, although illustration is abbreviate | omitted, the engagement structure which engages an electric drill driver with the other end of piston rod 5 may be formed, and you may make it operate rotation of piston rod 5 using an electric drill driver. . In this case, some electric drill drivers can adjust the torque. By using such an electric drill driver capable of adjusting the torque, the suction force can be automatically adjusted and the piston rod 5 can be rotated excessively. Without being too much, damage to each member of the workpiece suction holding device can be prevented. In addition, as an electric drill driver, it is good to use a rechargeable and cordless thing especially considering that cords do not interfere with work.

また、平面切削盤や研磨装置等の工作機械においては、鉄製のワークを保持するのに、磁力でワークを保持する磁石チャックを備えたものがある。本発明のワーク吸着保持装置を用いる場合において、ワーク吸着保持装置にワークを吸着保持させた上で、工作機械に備え付けられた磁石チャックにワーク吸着保持装置を取付けて使用したい場合もある。この場合、図1に示すワーク吸着保持装置でシリンダ本体3をアルミ合金で形成してたものは、そのままでは磁石チャックで固定することができない。そこで、図10に示すように、シリンダ本体3の底面に磁性体を取付けるとよい。例えば、図10に示すものは、シリンダ本体3の底面に4隅にねじ穴82を切り、ボルト83で磁性体として鉄製のプレート81を取付けている。これにより、例えば、アルミや銅など磁性を有しないワークの加工においても、図10に示すように、工作機械に備え付けられた磁石チャック84に固定したワーク吸着保持装置1に、これらのワークを吸着保持させるとよいから、磁性を有しないワークの設置が容易になる。   In addition, some machine tools such as a plane cutting machine and a polishing apparatus are provided with a magnet chuck that holds a workpiece by magnetic force in order to hold an iron workpiece. In the case of using the workpiece suction and holding device of the present invention, there is a case where the workpiece suction and holding device is attached to a magnet chuck provided in a machine tool after the workpiece is sucked and held by the workpiece suction and holding device. In this case, the cylinder main body 3 made of an aluminum alloy in the work suction / holding device shown in FIG. 1 cannot be fixed with a magnet chuck as it is. Therefore, as shown in FIG. 10, a magnetic body may be attached to the bottom surface of the cylinder body 3. For example, as shown in FIG. 10, screw holes 82 are cut at four corners on the bottom surface of the cylinder body 3, and an iron plate 81 is attached as a magnetic body with bolts 83. As a result, for example, even in the processing of non-magnetic workpieces such as aluminum and copper, these workpieces are attracted to the workpiece adsorption holding device 1 fixed to the magnet chuck 84 provided in the machine tool, as shown in FIG. Since it is good to hold | maintain, the installation of the workpiece | work which does not have magnetism becomes easy.

本発明の実施形態を示すワークを載置状態のワーク吸着保持装置の断面図である。It is sectional drawing of the workpiece | work adsorption | suction holding | maintenance apparatus of the mounting state of the workpiece | work which shows embodiment of this invention. 図1の相当のワーク吸着保持装置の上面図である。It is a top view of the workpiece | work adsorption | suction holding | maintenance apparatus equivalent to FIG. ワーク吸着保持装置の分解断面図である。It is an exploded sectional view of a work adsorption holding device. ワークの吸着保持状態を示す図1相当の断面図である。It is sectional drawing equivalent to FIG. 1 which shows the adsorption | suction holding | maintenance state of a workpiece | work. 図1の相当の変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the considerable modification of FIG. 図1相当の他の変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other modification equivalent to FIG. 図2相当のシール材の変形例を示すワーク吸着保持装置の平面図である。It is a top view of the workpiece | work adsorption | suction holding apparatus which shows the modification of the sealing material equivalent to FIG. 図7のワークを載置した状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which mounted the workpiece | work of FIG. ワーク吸着保持装置の変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the modification of a workpiece | work adsorption | suction holding device. ワーク吸着保持装置に磁性体を取付けた一部切り欠け側面図である。It is a partially cutaway side view in which a magnetic body is attached to a workpiece adsorption holding device.

符号の説明Explanation of symbols

1 ワーク吸着保持装置
2 吸着面
3 シリンダ本体
4 ピストン
5 ピストンロッド
6 ナット
7 シリンダ
7a 内周壁
8 シール材
9 吸引口
10 装着溝
10a,10b,10c 装着溝
11 溝
12,13 側面
14 ばか穴
15 シリンダヘッド
16 連通路
16a 第1通路
16b 第2通路
16c 第3通路
16a 通路
17 封口材
18 突起
22 雄ねじ溝
23 連結部
24 操作部
25 係合構造
26 トルクレンチ
27 突部
28 挿入穴
29 ねじ穴
30 溝
31 ピン
32 雌ねじ部
W 各ワーク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Workpiece suction holding device 2 Suction surface 3 Cylinder body 4 Piston 5 Piston rod 6 Nut 7 Cylinder 7a Inner peripheral wall 8 Sealing material 9 Suction port 10 Mounting groove 10a, 10b, 10c Mounting groove 11 Groove 12, 13 Side surface 14 Buff hole 15 Cylinder Head 16 Communicating passage 16a First passage 16b Second passage 16c Third passage 16a Passage 17 Sealing material 18 Protrusion 22 Male screw groove 23 Connecting portion 24 Operating portion 25 Engaging structure 26 Torque wrench 27 Protruding portion 28 Insertion hole 29 Screw hole 30 Groove 31 Pin 32 Female thread W Each workpiece

Claims (2)

ワークを吸着させる吸着面に環状に配設され、ワークを吸着させる際にワークに密着するシール材と、
前記吸着面のシール材で囲まれた領域に形成した吸引口と、
前記吸引口と、シリンダヘッド又はその近傍で連通したシリンダと、
前記シリンダ内に気密に装入したピストンと、
前記ピストンに一端を連結し、外周に雄ねじ溝を形成したピストンロッドと、
前記シリンダの開口側において、シリンダに固定的に設けられた、前記ピストンロッドに螺合する雌ねじ部と、
前記ピストンロッドの回動を操作する操作部とを備えたことを特徴とするワーク吸着保持装置。
A sealing material that is annularly arranged on the suction surface that attracts the workpiece and adheres to the workpiece when the workpiece is attracted;
A suction port formed in a region surrounded by the sealing material of the suction surface;
The suction port, and a cylinder communicating with or near the cylinder head;
A piston hermetically charged in the cylinder;
A piston rod having one end connected to the piston and having an external thread groove formed on the outer periphery;
On the opening side of the cylinder, a female screw portion fixedly provided on the cylinder and screwed into the piston rod;
An apparatus for holding and holding a workpiece, comprising: an operation unit for operating rotation of the piston rod.
前記ピストンとピストンロッドは、ピストンに対してピストンロッドが相対的に回動するのを許容する連結構造で連結し、ピストンロッドを回動操作したときに、ピストンがシリンダ内でピストンロッドと一緒に回動せずに、摺動するようにしたことを特徴とする請求項1に記載のワーク吸着保持装置。   The piston and the piston rod are connected by a connecting structure that allows the piston rod to rotate relative to the piston, and when the piston rod is operated to rotate, the piston moves together with the piston rod in the cylinder. The workpiece suction holding device according to claim 1, wherein the workpiece suction holding device is slid without rotating.
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009001889A1 (en) * 2007-06-26 2008-12-31 Yoshioka Seiko Co., Ltd. Chuck table and work inspecting apparatus
JP2009265265A (en) * 2008-04-23 2009-11-12 Dainippon Printing Co Ltd Chamber device and alignment lamination device using the same
JP2009279721A (en) * 2008-05-23 2009-12-03 Shin Etsu Handotai Co Ltd Cylinder grinding method for ingot and fixed adaptor used in the method
CN102581658A (en) * 2012-03-16 2012-07-18 江苏大学 Vacuum fixture
CN102837211A (en) * 2012-09-04 2012-12-26 大连职业技术学院 Vacuum clamp for machining thin-plate type part
KR101311012B1 (en) 2013-06-25 2013-09-24 영 진 이 A worktable having suction device
KR101312051B1 (en) * 2012-03-30 2013-09-25 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 Apparatus for adjusting vacuum section in vacuum suction plate according to glass size change
KR20140036760A (en) * 2012-09-18 2014-03-26 삼성디스플레이 주식회사 Substrate fixing device using air pressue
KR101855367B1 (en) * 2016-05-31 2018-05-09 주식회사 윌템스 Lens processing jig
CN109159018A (en) * 2018-08-24 2019-01-08 张增标 A kind of domestic ceramics bowl vibropolish equipment attached based on negative pressure
CN114131503A (en) * 2021-11-17 2022-03-04 大连理工大学 Unpowered vacuum adsorption device for sheet polishing

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0584682A (en) * 1991-03-29 1993-04-06 Hitachi Ltd Vacuum chuck device
JPH0641143U (en) * 1992-10-29 1994-05-31 株式会社エンヤシステム Spin chuck
JPH07171214A (en) * 1993-12-17 1995-07-11 Adtec:Kk Syringe apparatus for liquid injection
JPH09507400A (en) * 1993-11-19 1997-07-29 ニコメド イマギング アクスイェ セルスカプ Portable handheld electric injector
JPH10175136A (en) * 1996-12-13 1998-06-30 New Sutorongu Hanbai Kk Vacuum chuck
JPH11129440A (en) * 1997-10-28 1999-05-18 Meisho Kk Exhausting mechanism for vacuum rod for vacuum chuck in manual type screen printing device
WO2000047894A1 (en) * 1999-02-15 2000-08-17 Kazutomi Yokota Trace liquid suction and discharge device

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0584682A (en) * 1991-03-29 1993-04-06 Hitachi Ltd Vacuum chuck device
JPH0641143U (en) * 1992-10-29 1994-05-31 株式会社エンヤシステム Spin chuck
JPH09507400A (en) * 1993-11-19 1997-07-29 ニコメド イマギング アクスイェ セルスカプ Portable handheld electric injector
JPH07171214A (en) * 1993-12-17 1995-07-11 Adtec:Kk Syringe apparatus for liquid injection
JPH10175136A (en) * 1996-12-13 1998-06-30 New Sutorongu Hanbai Kk Vacuum chuck
JPH11129440A (en) * 1997-10-28 1999-05-18 Meisho Kk Exhausting mechanism for vacuum rod for vacuum chuck in manual type screen printing device
WO2000047894A1 (en) * 1999-02-15 2000-08-17 Kazutomi Yokota Trace liquid suction and discharge device

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009001889A1 (en) * 2007-06-26 2008-12-31 Yoshioka Seiko Co., Ltd. Chuck table and work inspecting apparatus
JP2009265265A (en) * 2008-04-23 2009-11-12 Dainippon Printing Co Ltd Chamber device and alignment lamination device using the same
JP2009279721A (en) * 2008-05-23 2009-12-03 Shin Etsu Handotai Co Ltd Cylinder grinding method for ingot and fixed adaptor used in the method
CN102581658A (en) * 2012-03-16 2012-07-18 江苏大学 Vacuum fixture
CN102581658B (en) * 2012-03-16 2015-02-18 江苏大学 Vacuum fixture
KR101312051B1 (en) * 2012-03-30 2013-09-25 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 Apparatus for adjusting vacuum section in vacuum suction plate according to glass size change
CN102837211A (en) * 2012-09-04 2012-12-26 大连职业技术学院 Vacuum clamp for machining thin-plate type part
KR20140036760A (en) * 2012-09-18 2014-03-26 삼성디스플레이 주식회사 Substrate fixing device using air pressue
KR102034754B1 (en) * 2012-09-18 2019-10-22 삼성디스플레이 주식회사 Substrate fixing device using air pressue
KR101311012B1 (en) 2013-06-25 2013-09-24 영 진 이 A worktable having suction device
KR101855367B1 (en) * 2016-05-31 2018-05-09 주식회사 윌템스 Lens processing jig
CN109159018A (en) * 2018-08-24 2019-01-08 张增标 A kind of domestic ceramics bowl vibropolish equipment attached based on negative pressure
CN109159018B (en) * 2018-08-24 2020-08-21 梅州恒辉陶瓷实业有限公司 Daily ceramic bowl vibration polishing equipment based on negative pressure is attached
CN114131503A (en) * 2021-11-17 2022-03-04 大连理工大学 Unpowered vacuum adsorption device for sheet polishing

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