JP2007078748A - Focus actuator - Google Patents

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Yoshiji Fujita
佳児 藤田
Kentaro Adachi
健太朗 足立
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actuator excellent in response characteristic and restraining the tilt of a lens barrel in an optical axis direction associated with driving to be small. <P>SOLUTION: Provided is the actuator which supports one end of the lens barrel 4 in the optical axis direction by gas made to blow off the outer peripheral surface of the lens barrel 4 from a nozzle 12, and supports the other end of the lens barrel 4 in the optical axis direction by leaf springs 14a, 14b and 14c. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、光学式記録装置または再生装置に用いられている自動焦点調節装置のフォーカスアクチュエータに関するものである。   The present invention relates to a focus actuator of an automatic focus adjustment apparatus used in an optical recording apparatus or a reproduction apparatus.

この種のフォーカスアクチュエータは（特許文献１）のように構成されている。図５に示すこのフォーカスアクチュエータは、対物レンズ１を原盤２に対して光軸方向３に移動自在に支持する鏡筒４と、磁界発生部５と、磁界発生部５の磁束に交差するように鏡筒４のフランジ部４ａに取り付けられたボイスコイル６を有している。   This type of focus actuator is configured as in (Patent Document 1). The focus actuator shown in FIG. 5 crosses the magnetic column 4 that supports the objective lens 1 movably in the optical axis direction 3 with respect to the master 2, the magnetic field generator 5, and the magnetic flux of the magnetic field generator 5. A voice coil 6 attached to the flange portion 4a of the lens barrel 4 is provided.

磁界発生部５は、中央に鏡筒４が挿通される連通孔７ａが形成されるとともに、連通孔７ａの周りに鏡筒４に沿って伸びる筒状のセンターポール７ｂを有したバックプレート７と、バックプレート７に載置された環状のマグネット８と、マグネット８を介してバックプレート７に載置された環状のヨーク板９とで構成されており、ヨーク板９の内周面とセンターポール７ｂとの間にギャップ１０が形成されている。前記ボイスコイル６はギャップ１０に配置されている。   The magnetic field generator 5 includes a back plate 7 having a communication hole 7a through which the lens barrel 4 is inserted at the center and a cylindrical center pole 7b extending along the lens barrel 4 around the communication hole 7a. The annular magnet 8 is placed on the back plate 7 and the annular yoke plate 9 is placed on the back plate 7 via the magnet 8. The inner peripheral surface of the yoke plate 9 and the center pole A gap 10 is formed between 7b and 7b. The voice coil 6 is disposed in the gap 10.

鏡筒４の支持構造は次のように構成されている。
鏡筒４の上端部は、バックプレート７と鏡筒４との間に介装されたコイルスプリング１１で支持されている。鏡筒４の下端部は、ノズル１２から鏡筒４の外周面に向かって気体を吹き付けて支持する静圧気体軸受構造に構成されている。 The support structure of the lens barrel 4 is configured as follows.
The upper end portion of the lens barrel 4 is supported by a coil spring 11 interposed between the back plate 7 and the lens barrel 4. The lower end portion of the lens barrel 4 is configured to have a static pressure gas bearing structure that supports gas by blowing gas from the nozzle 12 toward the outer peripheral surface of the lens barrel 4.

このように構成されたフォーカスアクチュエータは、ギャップ１０の磁束とボイスコイル６に通電されて発生する磁束との磁気吸引反発作用によって、光軸方向３に駆動される。   The focus actuator configured as described above is driven in the optical axis direction 3 by a magnetic attraction repulsion action between the magnetic flux in the gap 10 and the magnetic flux generated by energizing the voice coil 6.

また、（特許文献１）の図５には、鏡筒４の上端部と下端部とを板ばねで支持した構造のフォーカスアクチュエータも示されている。
特開２００１−３１２８３２公報 FIG. 5 of (Patent Document 1) also shows a focus actuator having a structure in which the upper end portion and the lower end portion of the lens barrel 4 are supported by leaf springs.
JP 2001-312832 A

このように鏡筒４の上端部をコイルスプリング１１で支持し、鏡筒４の下端部を静圧軸受構造にすることによって、鏡筒４の上端部と下端部とを板ばねで支持した一般的な構造に比べて、応答特性を改善できるとともに、光軸方向３の駆動に伴う鏡筒４の歳差運動（対物レンズの中心を通る光軸に対して、鏡筒４とノズル１２との吹き出しまでの距離が、静圧気体軸受の上部と下部とで、同じ周波数ながら互いに位相が１８０°ずれたままで振動を繰り返す、鏡筒４が「擂り粉木」のように動作する運動）の振幅を低減することができたが、高密度記録やその再生に際して、鏡筒４の光軸方向３の傾きをさらに小さくすることが要求されている。   In this way, the upper end portion of the lens barrel 4 is supported by the coil spring 11 and the lower end portion of the lens barrel 4 is supported by a static pressure bearing structure, whereby the upper end portion and the lower end portion of the lens barrel 4 are supported by a leaf spring. The response characteristics can be improved compared to a typical structure, and the precession of the lens barrel 4 due to the driving in the optical axis direction 3 (with respect to the optical axis passing through the center of the objective lens, The distance to the blowout is the amplitude of the movement of the lens barrel 4 that operates like a “grinding powder” with the same frequency and repeated vibrations with the same frequency at the top and bottom of the static pressure gas bearing. However, it is required to further reduce the inclination of the lens barrel 4 in the optical axis direction 3 during high-density recording and reproduction.

本発明は、鏡筒４の上端部と下端部とを板ばねで支持した構造のアクチュエータに比べて応答特性が良好で、しかも、鏡筒の上端部をコイルスプリングで支持し鏡筒の下端部を静圧軸受で支持したアクチュエータに比べて、駆動に伴う鏡筒の光軸方向の傾きが小さいアクチュエータを提供することを目的とする。   The present invention has better response characteristics than an actuator having a structure in which the upper end and lower end of the lens barrel 4 are supported by leaf springs, and the upper end of the lens barrel is supported by a coil spring. It is an object of the present invention to provide an actuator in which the inclination of the lens barrel in the optical axis direction during driving is smaller than that of an actuator that is supported by a hydrostatic bearing.

本発明の請求項１記載のアクチュエータは、固定側に設けた磁界発生部と可動側に設けたボイスコイルに通電して発生した磁束との磁気吸引反発作用によって、前記可動側に設けられた対物レンズの光軸方向に駆動されるフォーカスアクチュエータであって、前記可動側の光軸方向の一端を静圧気体軸受で支持し、前記可動側の光軸方向の他端を板ばねで支持したことを特徴とする。   According to a first aspect of the present invention, there is provided an actuator provided on the movable side by a magnetic attraction repulsive action between a magnetic field generating portion provided on the fixed side and a magnetic flux generated by energizing a voice coil provided on the movable side. A focus actuator driven in the optical axis direction of the lens, wherein one end in the optical axis direction on the movable side is supported by a static pressure gas bearing, and the other end in the optical axis direction on the movable side is supported by a leaf spring. It is characterized by.

本発明の請求項２記載のアクチュエータは、請求項１において、動側の光軸方向の他端を、固定側との間に配置された複数の板ばねで支持したことを特徴とする。
本発明の請求項３記載のアクチュエータは、請求項１において、可動側の光軸方向の他端と固定側との間に、光軸部分に貫通孔が形成された円盤状の板ばねを配置して支持したことを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the other end in the optical axis direction on the moving side is supported by a plurality of leaf springs arranged between the fixed side and the actuator.
The actuator according to claim 3 of the present invention is the actuator according to claim 1, wherein a disc-shaped leaf spring having a through-hole formed in the optical axis portion is disposed between the other end in the optical axis direction on the movable side and the fixed side. It is characterized by being supported.

本発明のアクチュエータは、可動側の光軸方向の一端を静圧気体軸受で支持し、前記可動側の光軸方向の他端を板ばねで支持したので、可動側の上端部と下端部とを板ばねで支持した構造のアクチュエータに比べて応答特性が良好で、しかも、可動側の上端部をコイルスプリングで支持し下端部を静圧軸受で支持したアクチュエータに比べて、駆動に伴う鏡筒の光軸方向の傾きを小さくできる。   In the actuator of the present invention, one end in the optical axis direction on the movable side is supported by a static pressure gas bearing, and the other end in the optical axis direction on the movable side is supported by a leaf spring. Compared to an actuator with a structure that supports a leaf spring, the response characteristics are good, and the lens barrel that accompanies the drive is greater than an actuator that supports the upper end of the movable side with a coil spring and the lower end with a hydrostatic bearing. The inclination in the optical axis direction can be reduced.

本発明を各実施の形態に基づいて説明する。
（実施の形態１）
図１〜図３は本発明の（実施の形態１）を示す。 The present invention will be described based on each embodiment.
(Embodiment 1)
1 to 3 show (Embodiment 1) of the present invention.

図１（ｂ）はアクチュエータの断面図を示し、図１（ａ）は環状の押さえプレート１８を仮想線で表した平面図、図２は鏡筒４の支持構造を示している。
対物レンズ１を光軸方向３に移動自在に支持する可動側としての鏡筒４と、磁界発生部５と、磁界発生部５の磁束に交差するように鏡筒４のフランジ部４ａに取り付けられたボイスコイル６を有している。 FIG. 1B is a sectional view of the actuator, FIG. 1A is a plan view showing an annular pressing plate 18 in phantom lines, and FIG. 2 shows a support structure of the lens barrel 4.
A lens barrel 4 as a movable side that supports the objective lens 1 movably in the optical axis direction 3, a magnetic field generator 5, and a flange portion 4 a of the lens barrel 4 so as to intersect the magnetic flux of the magnetic field generator 5. The voice coil 6 is provided.

磁界発生部５は、中央に鏡筒４が挿通される連通孔７ａが形成されるとともに、連通孔７ａの周りに鏡筒４に沿って伸びる筒状のセンターポール７ｂを有したバックプレート７と、バックプレート７に載置された環状のマグネット８と、マグネット８を介してバックプレート７に載置された環状のヨーク板９とで構成されており、ヨーク板９の内周面とセンターポール７ｂとの間にギャップ１０が形成されている。前記ボイスコイル６はギャップ１０に配置されている。   The magnetic field generator 5 includes a back plate 7 having a communication hole 7a through which the lens barrel 4 is inserted at the center and a cylindrical center pole 7b extending along the lens barrel 4 around the communication hole 7a. The annular magnet 8 is placed on the back plate 7 and the annular yoke plate 9 is placed on the back plate 7 via the magnet 8. The inner peripheral surface of the yoke plate 9 and the center pole A gap 10 is formed between 7b and 7b. The voice coil 6 is disposed in the gap 10.

鏡筒４の支持構造は次のように構成されている。
鏡筒４の下端部は、ノズル１２から鏡筒４の外周面に向かって気体を吹き付けて支持する静圧軸受構造に構成されている。 The support structure of the lens barrel 4 is configured as follows.
The lower end portion of the lens barrel 4 is configured to have a hydrostatic bearing structure that supports by blowing gas from the nozzle 12 toward the outer peripheral surface of the lens barrel 4.

鏡筒４の上端部の支持には図３に示す板ばね１４ａ，１４ｂ，１４ｃが使用されている。図３では、厚さ０．１ｍｍのステンレス板に溝１３ａ，１３ｂ，１３ｃを形成して内周部で互いに連結された３枚の板ばね１４ａ，１４ｂ，１４ｃが形成されている。内周部の中央には光軸用の孔１５が穿設されている。   The leaf springs 14a, 14b, and 14c shown in FIG. 3 are used for supporting the upper end portion of the lens barrel 4. In FIG. 3, three plate springs 14 a, 14 b, and 14 c are formed by forming grooves 13 a, 13 b, and 13 c on a stainless steel plate having a thickness of 0.1 mm and being connected to each other at the inner periphery. An optical axis hole 15 is formed in the center of the inner peripheral portion.

板ばね１４ａ，１４ｂ，１４ｃの外周端１６ａ，１６ｂ，１６ｃは、ヨーク板９の上に配置された環状のスペーサ１７と環状の押さえプレート１８との間に挟持されてボルト１９によってスペーサ１７と共にヨーク板９に共締めされている。   The outer peripheral ends 16 a, 16 b, 16 c of the leaf springs 14 a, 14 b, 14 c are sandwiched between an annular spacer 17 disposed on the yoke plate 9 and an annular pressing plate 18, and are yoked together with the spacer 17 by bolts 19. The plate 9 is fastened together.

板ばね１４ａ，１４ｂ，１４ｃの内周端２０は、鏡筒４にセットされた対物レンズ押さえ２１と環状の押さえ板２２との間に挟持されて周方向の複数個所がボルト２３によって対物レンズ押さえ２１と共に鏡筒４に共締めされている。   The inner peripheral ends 20 of the leaf springs 14 a, 14 b, 14 c are sandwiched between an objective lens holder 21 set on the lens barrel 4 and an annular retainer plate 22, and a plurality of positions in the circumferential direction are clamped by bolts 23. 21 and the lens barrel 4 are fastened together.

このように構成したため、鏡筒４の上端部は板ばね１４ａ，１４ｂ，１４ｃを介して固定側としてのスペーサ１７から光軸方向３に移動可能に支持され、また、鏡筒４の下端部は静圧軸受構造で支持されている。ノズル１２から鏡筒４の外周面に向かって吹き付けられた気体の一部は、鏡筒４に作用した後に前記バックプレート７の連通孔７ａを通過して鏡筒４のフランジ部４ａの底部とボイスコイル６の内周面と前記バックプレート７のセンターポール７ｂの端面とで形成される空間２４に流れ込み、鏡筒４のフランジ部４ａに穿設された排気口２５（図１（ａ）参照）から放出されている。また、センターポール７ｂとボイスコイル６との隙間、ボイスコイル６とヨーク板９との隙間を通過して放出されている。ノズル１２から鏡筒４の外周面に向かって吹き付けられた気体の残りは、鏡筒４と底板２６との間の隙間を通過して放出されている。   With this configuration, the upper end portion of the lens barrel 4 is supported so as to be movable in the optical axis direction 3 from the spacer 17 as the fixed side via the leaf springs 14a, 14b, and 14c, and the lower end portion of the lens barrel 4 is It is supported by a hydrostatic bearing structure. A part of the gas blown from the nozzle 12 toward the outer peripheral surface of the lens barrel 4 passes through the communication hole 7a of the back plate 7 after acting on the lens barrel 4, and the bottom of the flange portion 4a of the lens barrel 4 An exhaust port 25 (see FIG. 1A) flows into a space 24 formed by the inner peripheral surface of the voice coil 6 and the end surface of the center pole 7b of the back plate 7, and is formed in the flange portion 4a of the lens barrel 4. ). Further, it is discharged through a gap between the center pole 7 b and the voice coil 6 and a gap between the voice coil 6 and the yoke plate 9. The remainder of the gas blown from the nozzle 12 toward the outer peripheral surface of the lens barrel 4 is discharged through a gap between the lens barrel 4 and the bottom plate 26.

鏡筒４は上端部だけが板ばね１４ａ，１４ｂ，１４ｃによって支持されているため、鏡筒４の上端部と下端部とを板ばねで支持した構造のアクチュエータに比べて応答特性が良好である。   Since only the upper end portion of the lens barrel 4 is supported by the leaf springs 14a, 14b, and 14c, the response characteristics are better than those of the actuator having a structure in which the upper end portion and the lower end portion of the lens barrel 4 are supported by the leaf springs. .

さらに、鏡筒４の下端部を静圧軸受で支持しているにもかかわらず、駆動に伴う鏡筒４の歳差運動を前記板ばね１４ａ，１４ｂ，１４ｃによって確実に低減することができるとともに、可動側の上端部をコイルスプリングで支持し下端部を静圧軸受で支持したアクチュエータ、ならびに鏡筒４の上端部と下端部とを板ばねで支持した構造のアクチュエータに比べて、駆動に伴う鏡筒４の光軸方向３の傾きを小さくすることができ、高密度記録やその再生に有効である。   Furthermore, despite the fact that the lower end portion of the lens barrel 4 is supported by a hydrostatic bearing, the precession of the lens barrel 4 accompanying driving can be reliably reduced by the leaf springs 14a, 14b, 14c. Compared with the actuator in which the upper end of the movable side is supported by a coil spring and the lower end is supported by a hydrostatic bearing, and the actuator having a structure in which the upper end and lower end of the lens barrel 4 are supported by a leaf spring, The inclination of the lens barrel 4 in the optical axis direction 3 can be reduced, which is effective for high-density recording and reproduction.

なお、部品の加工誤差がなく、外部からの振動、および追随しようとしている光ディスクの原盤の起伏が非常に小さいものであるなら、先の（特許文献１）の図５に記載されているコイルスプリング１１と静圧気体軸受構造にあるように、確かに常に、コイルスプリング１１により支持する方向と、静圧気体軸受により支持する方向とが独立することになり、鏡筒４の傾きは発生しない。しかしながら、実際には部品加工精度の影響と外部からの振動が存在するために、鏡筒４が傾く場合が存在している。さらに、この（特許文献１）の構造であると、傾きが発生し、歳差運動となってしまうと、この運動を抑制する力がないために、微少な振動が続くことになる。これに対してこの（実施の形態１）のように、コイルスプリング１１の代わりに板ばね１４ａ，１４ｂ，１４ｃを装着すると、静圧気体軸受の内部の圧力バランスが周方向に一様とはならず、板ばね１４ａ，１４ｂ，１４ｃから反力を受けるために、板ばねと静圧気体軸受とが釣り合う点で鏡筒４が保持される。また、鏡筒４と垂直で、かつ板ばねが装着されている平面においては、鏡筒４の位置が一意的に決まることと、鏡筒４の傾きが発生したとしても、板ばねと静圧気体軸受とが釣り合う点への復元力が常に作用するため、歳差運動とはなり得ない。   If there is no processing error of the parts, vibration from the outside, and undulation of the master of the optical disk to be followed are very small, the coil spring described in FIG. 5 of the above (Patent Document 1). 11 and the static pressure gas bearing structure, the direction supported by the coil spring 11 and the direction supported by the static pressure gas bearing are always independent, and the tilt of the lens barrel 4 does not occur. However, in reality, there is a case where the lens barrel 4 is tilted due to the influence of component processing accuracy and external vibration. Furthermore, in the structure of this (Patent Document 1), if a tilt occurs and precession occurs, there is no force to suppress this movement, so minute vibrations continue. On the other hand, when the leaf springs 14a, 14b, and 14c are attached instead of the coil spring 11 as in this (Embodiment 1), the pressure balance inside the static pressure gas bearing does not become uniform in the circumferential direction. First, since the reaction force is received from the leaf springs 14a, 14b, and 14c, the lens barrel 4 is held at a point where the leaf spring and the static pressure gas bearing are balanced. Further, in the plane perpendicular to the lens barrel 4 and where the leaf spring is mounted, even if the position of the lens barrel 4 is uniquely determined and the tilt of the lens barrel 4 occurs, the leaf spring and the static pressure are determined. Since restoring force to the point that balances with the gas bearing always acts, it cannot become precession.

（実施の形態２）
図４（ａ）は本発明の（実施の形態２）の平面図を示し、鏡筒４の上端部を支持する板ばねの形状が明らかになるように環状の押さえプレート１８が仮想線で表されている。アクチュエータの断面図は図１（ｂ）と同じである。図４（ｂ）は板ばねの平面図を示している。 (Embodiment 2)
FIG. 4A is a plan view of (Embodiment 2) of the present invention, and the annular pressing plate 18 is represented by an imaginary line so that the shape of the leaf spring that supports the upper end of the lens barrel 4 becomes clear. Has been. The sectional view of the actuator is the same as FIG. FIG. 4B shows a plan view of the leaf spring.

（実施の形態１）では、板ばね１４ａ，１４ｂ，１４ｃはステンレス板に溝１３ａ，１３ｂ，１３ｃを形成して内周部で互いに連結された状態に形成したため、板厚が同じステンレス板を使用しても、溝１３ａ，１３ｂ，１３ｃの形状を変更することで板ばね１４ａ，１４ｂ，１４ｃの幅と長さを設定して、目的の弾性係数を得ていたが、加工板材の材質や板厚を調製できる場合には、図４（ａ）に示すように、光軸部分に貫通孔１５が形成された円盤状の板ばね１４を配置して、板ばね１４の外周部を押さえプレート１８とスペーサ１７で挟持し、板ばね１４の内周部を対物レンズ押さえ２１と環状の押さえ板２２とで挟持することによって、板ばね１４のスペーサ１７と対物レンズ押さえ２１との間に位置する環状部分の全部が弾性係数として作用する。図４（ｂ）において、２７はボルト１９の挿通孔、２８はボルト２３の挿通孔、２９は排気口２５に対応する孔である。   In (Embodiment 1), the plate springs 14a, 14b, 14c are formed in a state in which grooves 13a, 13b, 13c are formed in a stainless steel plate and are connected to each other at the inner peripheral portion. Even so, the widths and lengths of the leaf springs 14a, 14b, and 14c are set by changing the shapes of the grooves 13a, 13b, and 13c to obtain the desired elastic modulus. When the thickness can be adjusted, as shown in FIG. 4A, a disc-shaped leaf spring 14 having a through hole 15 formed in the optical axis portion is disposed, and the outer peripheral portion of the leaf spring 14 is pressed against the pressing plate 18. And the spacer 17, and the inner periphery of the leaf spring 14 is sandwiched between the objective lens retainer 21 and the annular retainer plate 22, so that the annular shape located between the spacer 17 of the leaf spring 14 and the objective lens retainer 21. All the parts are elastic modulus Acting in. In FIG. 4B, 27 is an insertion hole for the bolt 19, 28 is an insertion hole for the bolt 23, and 29 is a hole corresponding to the exhaust port 25.

本発明はＤＶＤ，次世代ＤＶＤのブルーレイ（Blu-ray）ディスクやＨＤ−ＤＶＤ（High Definition DVD）などの高密度記録やその再生に寄与できる。   The present invention can contribute to high-density recording and reproduction of DVDs, Blu-ray discs of next-generation DVDs, and HD-DVDs (High Definition DVDs).

本発明の（実施の形態１）のアクチュエータの平面図と断面図Plan view and sectional view of actuator according to (Embodiment 1) of the present invention 同実施の形態の部分断面斜視図Partial sectional perspective view of the same embodiment 同実施の形態の板ばねの平面図Plan view of leaf spring of the same embodiment 本発明の（実施の形態２）のアクチュエータの平面図と板ばねの平面図Plan view of actuator of (Embodiment 2) of the present invention and plan view of leaf spring 従来のアクチュエータの断面図Cross section of conventional actuator

符号の説明Explanation of symbols

１ 対物レンズ
３ 光軸方向
４ 鏡筒（可動側）
５ 磁界発生部
４ａ 鏡筒４のフランジ部
６ ボイスコイル
７ａ 連通孔
７ｂ センターポール
７ バックプレート
８ マグネット
９ ヨーク板
１０ ギャップ
１２ ノズル
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ 板ばね
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ 溝
１５ 光軸用の孔
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ 板ばね１４ａ，１４ｂ，１４ｃの外周端
１７ スペーサ
１８ 押さえプレート
１９ ボルト
２０ 板ばね１４ａ，１４ｂ，１４ｃの内周端
２１ 対物レンズ押さえ
２２ 環状の押さえ板
２３ ボルト
２４ 空間
２６ 底板
１４ 円盤状の板ばね
２７ ボルト１９の挿通孔
２８ ボルト２３の挿通孔
２９ 排気口２５に対応する孔 1 Objective lens 3 Optical axis direction 4 Lens barrel (movable side)
5 Magnetic field generating portion 4a Flange portion of lens barrel 4 6 Voice coil 7a Communication hole 7b Center pole 7 Back plate 8 Magnet 9 Yoke plate 10 Gap 12 Nozzles 14a, 14b, 14c Plate springs 13a, 13b, 13c Groove 15 For optical axis Holes 16a, 16b, 16c Peripheral ends 17 of leaf springs 14a, 14b, 14c Spacer 18 Presser plate 19 Bolt 20 Inner peripheral ends 21 of leaf springs 14a, 14b, 14c Objective lens retainer 22 Annular retainer plate 23 Bolt 24 Space 26 Bottom plate 14 Disc-shaped leaf spring 27 Insertion hole 28 of bolt 19 Insertion hole 29 of bolt 23 Hole corresponding to exhaust port 25

Claims (3)

固定側に設けた磁界発生部と可動側に設けたボイスコイルに通電して発生した磁束との磁気吸引反発作用によって、前記可動側に設けられた対物レンズの光軸方向に駆動されるフォーカスアクチュエータであって、
前記可動側の光軸方向の一端を静圧気体軸受で支持し、前記可動側の光軸方向の他端を板ばねで支持したフォーカスアクチュエータ。 A focus actuator driven in the direction of the optical axis of the objective lens provided on the movable side by a magnetic attraction repulsive action between a magnetic field generator provided on the fixed side and a magnetic flux generated by energizing a voice coil provided on the movable side Because
A focus actuator in which one end in the optical axis direction on the movable side is supported by a static pressure gas bearing and the other end in the optical axis direction on the movable side is supported by a leaf spring. 可動側の光軸方向の他端を、固定側との間に配置された複数の板ばねで支持した請求項１記載のフォーカスアクチュエータ。   The focus actuator according to claim 1, wherein the other end of the movable side in the optical axis direction is supported by a plurality of leaf springs arranged between the movable side and the fixed side. 可動側の光軸方向の他端と固定側との間に、光軸部分に貫通孔が形成された円盤状の板ばねを配置して支持した請求項１記載のフォーカスアクチュエータ。   2. The focus actuator according to claim 1, wherein a disc-shaped leaf spring having a through hole formed in the optical axis portion is disposed and supported between the other end in the optical axis direction on the movable side and the fixed side.
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