JP2007075919A - Method for adjusting retention time in retention time control type polishing machine - Google Patents

Method for adjusting retention time in retention time control type polishing machine Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for adjusting a retention time in a retention time control type polishing machine with an added function to visually and easily recognize retention time different for every polishing position, the reference retention time, amount to be adjusted or adjusting amount, etc. <P>SOLUTION: In this method, polishing is performed, while controlling relative moving speed of a surface to be polished of a workpiece and a polishing member as the retention time by mutually rotating the surface to be polished and polishing member and relatively moving the surface and member in the radial direction. The method includes a stage for displaying the retention times of a polishing tool at a plurality of positions in the radial direction of the surface to be polished by making the retention times into a prescribed graph, a stage for converting all the retention times at the plurality of positions into the same value on the graph, and a stage for displaying the graph of the value converted into the same value. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、非球面レンズ、非球面金型などの非球面の研磨に適した滞留時間制御型研磨機における滞留時間の調整方法に関する。   The present invention relates to a dwell time adjusting method in a dwell time control type polishing machine suitable for polishing aspheric surfaces such as aspheric lenses and aspheric molds.

従来、滞留時間制御型研磨機における円形ワークの均等研磨、または修正研磨は、回転する円形ワークの被研磨面に回転する小径の研磨工具を当接させ、さらに研磨工具を非研磨面の径方向に走査させて行っている。このとき、ワークの被研磨面の直径方向各点での研磨量の調整は、研磨工具の滞留時間を制御することで行っている。滞留時間は、円形ワークの被研磨面と研磨工具の相対速度によって決まる量であって、円形ワークの回転数、研磨工具の走査速度、さらに研磨工具を回転させている場合は研磨工具の回転速度によって決まる。   Conventionally, uniform polishing or correction polishing of a circular workpiece in a dwell time control type polishing machine is performed by bringing a rotating tool having a small diameter into contact with a surface to be polished of a rotating circular workpiece, and further bringing the polishing tool in the radial direction of the non-polishing surface To scan. At this time, the amount of polishing at each point in the diameter direction of the surface to be polished of the workpiece is adjusted by controlling the residence time of the polishing tool. The dwell time is an amount determined by the relative speed between the surface to be polished of the circular workpiece and the polishing tool. The rotation speed of the circular workpiece, the scanning speed of the polishing tool, and the rotation speed of the polishing tool when the polishing tool is rotated. It depends on.

従来、滞留時間は、制御装置、例えばパーソナルコンピュータで制御していて、設定された、複数の研磨位置毎の滞留時間をディスプレイ上に折れ線グラフで表示していた。このとき、基準となる滞留時間を100パーセントとして表示していた。そうして作業者は、ディスプレイに表示された100パーセントの折れ線グラフを基準として、その折れ線グラフの各点の縦軸方向の位置を見ながら滞留時間を調整することで、研磨量を調整していた。均等研磨の場合は、設計上はこのグラフが均一となる。なお、図5に示した折れ線グラフにおいて、縦軸は滞留時間、横軸は研磨工具の、直径方向中心からの距離を示している。   Conventionally, the residence time is controlled by a control device such as a personal computer, and the set residence time for each of a plurality of polishing positions is displayed on the display as a line graph. At this time, the reference residence time was displayed as 100 percent. Then, the operator adjusts the polishing amount by adjusting the residence time while viewing the position of each point of the line graph in the vertical axis direction based on the 100% line graph displayed on the display. It was. In the case of uniform polishing, this graph is uniform in design. In the line graph shown in FIG. 5, the vertical axis represents the residence time, and the horizontal axis represents the distance from the center of the diameter direction of the polishing tool.

上記従来の研磨方法で均等研磨を行う場合、滞留時間の大きさを示す折れ線グラフの点の位置(縦軸方向)が全ての点で等しくなるように設計されている。理論上はその設定で均等に研磨されるが、現実的には、ワーク形状によってはモータが理論値を追従することが難しい場合や、前加工形状の粗さが不均一であったり、荷重の掛かり方がワークの研磨場所によって微妙に変化するなどの理由から、非研磨面の形状が設計上の形状から微小に崩れてしまうことが少なくない。このような場合は、予め作業者がディスプレイ上の折れ線グラフ(滞留時間)の点の縦軸方向の位置を変わるように調整することで微調整することができるが、均等研磨時において折れ線グラフの各点の縦軸方向の位置が異なる、凹凸を生じることになる(図6)。さらに、この微調整状態で研磨しても設計上の曲面形状が得られなかった場合は修正研磨することになるが、修正研磨するときに図6に示した凹凸のあるグラフを見ながらの調整は、調整量の設定が非常に難しくなるという問題があった。   When uniform polishing is performed by the above-described conventional polishing method, the positions (vertical axis directions) of the points on the line graph indicating the magnitude of the residence time are designed to be equal at all points. Theoretically, it is evenly ground at that setting, but in reality, depending on the workpiece shape, it may be difficult for the motor to follow the theoretical value, the roughness of the pre-processed shape is uneven, In many cases, the shape of the non-polished surface slightly collapses from the designed shape because the method of application slightly changes depending on the polishing location of the workpiece. In such a case, the operator can finely adjust the position of the line graph (residence time) on the display so as to change the position in the vertical axis direction in advance. The unevenness | corrugation from which the position of the vertical direction of each point differs will be produced (FIG. 6). Further, if the designed curved surface shape is not obtained even after polishing in this fine adjustment state, correction polishing will be performed, but adjustment while looking at the uneven graph shown in FIG. However, there was a problem that setting the adjustment amount was very difficult.

本発明は、かかる従来の問題に鑑みてなされたものであって、研磨位置毎に異なる滞留時間、その基準となる滞留時間、調整すべき量または調整量等が視覚的に分かりやすい機能を追加した滞留時間制御型研磨機における滞留時間の調整方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such conventional problems, and adds a function that makes it easy to visually understand a residence time that differs for each polishing position, a residence time that serves as a reference, an amount to be adjusted, or an adjustment amount. It is an object of the present invention to provide a method for adjusting a residence time in a residence time control type polishing machine.

かかる目的を達成する本発明は、ワークの被研磨面と研磨部材とを互いに回転させ、かつ相対的に径方向に移動させて、被研磨面と研磨部材の相対移動速度を滞留時間として制御しながら研磨する滞留時間制御型研磨機における滞留時間の調整方法であって、上記被研磨面の径方向の複数位置における研磨工具の滞留時間を所定のグラフ化して表示する段階と、上記複数位置における滞留時間を全て、上記グラフ上で同一の値に変換する段階と、上記同一の値に変換した値のグラフを表示する段階を含むことに特徴を有する。   The present invention that achieves this object is to control the relative moving speed of the surface to be polished and the polishing member as the residence time by rotating the surface to be polished and the polishing member relative to each other and moving them relatively in the radial direction. A method for adjusting a residence time in a residence time control type polishing machine that polishes while polishing, wherein the residence time of the polishing tool at a plurality of positions in the radial direction of the surface to be polished is displayed in a predetermined graph, and at the plurality of positions It is characterized by including the step of converting all the residence times into the same value on the graph and the step of displaying the graph of the value converted into the same value.

好ましい実施形態では、上記変換段階は、変換時の滞留時間を100パーセントとしたパーセント表示の値に変換する。上記変換段階は、各位置における滞留時間の設計値を100パーセントとしたパーセント表示の値に変換してもよい。   In a preferred embodiment, the conversion step converts to a percentage value with the residence time during conversion being 100 percent. The conversion step may be converted into a percentage display value where the design value of the residence time at each position is 100%.

より実際的には、さらに、上記複数位置における滞留時間を変更する段階と、該変更段階によって滞留時間が変更された場合は、該変更後の滞留時間を、上記100パーセントの値を基準としたパーセント表示の値に変換する段階と、変換したパーセント表示の値をグラフで表示する段階を含む。
この滞留時間を変更する段階は、滞留時間を数値で入力する段階を含み、上記変換する段階は、該入力された数値を上記パーセント表示の値に変換する異が好ましい。
More practically, further, the stage of changing the residence time at the plurality of positions, and when the residence time is changed by the change stage, the residence time after the change is based on the value of 100%. The method includes a step of converting to a percentage display value and a step of displaying the converted percentage display value in a graph.
The step of changing the dwell time includes a step of inputting the dwell time as a numerical value, and the converting step is preferably different from converting the inputted numerical value into the value in percentage display.

上記グラフは、各位置における滞留時間を折れ線グラフの各点の縦軸方向の位置で表すことが好ましい。   In the graph, the residence time at each position is preferably represented by the position in the vertical axis direction of each point of the line graph.

以上の通り本発明の滞留時間制御型研磨機における滞留時間の調整方法によれば、研磨位置毎の滞留時間を、同一の値を示すグラフ化して表示できるので、滞留時間を調整する際の基準が分かりやすく、調整が容易になる。   As described above, according to the method for adjusting the residence time in the residence time control type polishing machine of the present invention, the residence time for each polishing position can be displayed in a graph showing the same value. Is easy to understand and easy to adjust.

本発明の実施形態について図を参照して説明する。図1は、本発明を適用した、滞留時間制御型研磨機としての横型非球面研磨装置の実施形態を示す側面図である。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a side view showing an embodiment of a horizontal aspherical polishing apparatus as a residence time control type polishing machine to which the present invention is applied.

非球面研磨装置は、対向するワークユニット10およびポリシャー(研磨)ユニット20を備えている。ワークユニット10は、ワーク40を保持して回転させるワークスピンドルモータ部11を、ポリシャーユニット20はポリシャー50を保持して回転させるポリシャースピンドルモータ部21を備え、ポリシャーユニット20はポリシャー50を保持して回転させるポリシャースピンドル22とポリシャースピンドルモータ部21を備え、それぞれのユニット10、20が、互いの先端部を対向させた状態で水平方向に配置されている。   The aspherical polishing apparatus includes a work unit 10 and a polisher (polishing) unit 20 that face each other. The work unit 10 includes a work spindle motor unit 11 that holds and rotates the work 40, the polisher unit 20 includes a polisher spindle motor unit 21 that holds and rotates the polisher 50, and the polisher unit 20 holds the polisher 50. A polisher spindle 22 to be rotated and a polisher spindle motor unit 21 are provided, and the units 10 and 20 are arranged in the horizontal direction with their tip portions facing each other.

ワークスピンドルモータ部11は、ポリシャースピンドルモータ部21に対向する側の面から突出したワークスピンドル12を備え、このワークスピンドル12の先端部にワークチャック13が装着されている。ワークチャック13は、ワーク40を軸合わせした状態で着脱自在に嵌合保持する公知の構成である。これらワークスピンドルモータ部11およびワークチャック13がワーク保持部を構成している。ワークスピンドル12は、ワークスピンドルモータ部11に内蔵されたスピンドルモータM1(図3参照)によって回転駆動される。   The work spindle motor unit 11 includes a work spindle 12 projecting from a surface facing the polisher spindle motor unit 21, and a work chuck 13 is attached to the tip of the work spindle 12. The work chuck 13 has a known configuration in which the work 40 is detachably fitted and held in a state where the work 40 is aligned. The workpiece spindle motor unit 11 and the workpiece chuck 13 constitute a workpiece holding unit. The work spindle 12 is rotationally driven by a spindle motor M1 (see FIG. 3) built in the work spindle motor unit 11.

ワークユニット10は、スライドテーブル14上に固定されている。スライドテーブル14は、スライドガイド15に、ワークスピンドル12の軸心O1と平行に移動自在に支持されている。スライドテーブル14およびスライドガイド15がスライドガイド機構を構成している。なお、スライドテーブル14は、ワークスピンドル12の軸心O1が水平になるように、かつ初期状態では直線移動方向がポリシャースピンドル22の軸心O2と平行かつ交わるように設定されている。   The work unit 10 is fixed on the slide table 14. The slide table 14 is supported by the slide guide 15 so as to be movable in parallel with the axis O1 of the work spindle 12. The slide table 14 and the slide guide 15 constitute a slide guide mechanism. The slide table 14 is set so that the axis O1 of the work spindle 12 is horizontal and the linear movement direction is parallel to and intersects with the axis O2 of the polisher spindle 22 in the initial state.

スライドガイド15は、ワーク揺動テーブル16上に固定されている。ワーク揺動テーブル16は、ポリシャーユニット20側の端部近傍において軸心O1と直交する鉛直方向に設置された揺動軸(図示せず)を介してワークモータ部17に揺動自在に枢支されている。ワーク揺動テーブル16の後端部は、揺動軸の揺動軸心Aを中心とした円弧ローラ18に摺動自在に支持されている。図示しないが、ワークモータ部17内には、ワーク揺動テーブル16を揺動駆動する揺動モータが内蔵されている。そうしてワークモータ部17、円弧ローラ18は、基台30上に固定されている。   The slide guide 15 is fixed on the workpiece swing table 16. The work rocking table 16 is pivotally supported by the work motor unit 17 via a rocking shaft (not shown) installed in the vertical direction orthogonal to the axis O1 in the vicinity of the end on the polisher unit 20 side. Has been. The rear end portion of the workpiece swing table 16 is slidably supported by an arc roller 18 centering on the swing axis A of the swing shaft. Although not shown, a swing motor that swings and drives the workpiece swing table 16 is built in the work motor unit 17. Thus, the work motor unit 17 and the arc roller 18 are fixed on the base 30.

ポリシャースピンドルモータ部21は、ワークスピンドルモータ部11に対向する側の端面から突出したポリシャースピンドル22を備え、このポリシャースピンドル22の先端部に、ポリシャー50が、その軸部51を介して軸合わせされた状態で着脱自在に装着されている。ポリシャー50は、軸部の先端に球形部が固定され、この球形部を研磨布で包んだ公知の構成である。   The polisher spindle motor unit 21 includes a polisher spindle 22 that protrudes from an end surface facing the work spindle motor unit 11, and a polisher 50 is axially aligned with a tip portion of the polisher spindle 22 via a shaft portion 51. It is detachably mounted in the state. The polisher 50 has a known configuration in which a spherical portion is fixed to the tip of a shaft portion, and the spherical portion is wrapped with an abrasive cloth.

このポリシャースピンドルモータ部21は、ポリシャースライドテーブル23に、ポリシャースピンドル22の軸心O2方向に平行移動自在に装着され、さらにポリシャースライドテーブル23がスライドガイド24に、揺動軸心Aおよび軸心O2と直交する方向に平行移動自在に支持されている。つまりポリシャースピンドルモータ部21は、軸心O2と平行な方向かつ直交する方向に移動自在に支持されている。そうしてスライドガイド24は、軸心O2が水平となり、ポリシャースピンドルモータ部21が軸心O2と直交方向かつ水平方向に移動するようにポリシャー台25を介して基台30に固定されている。ポリシャースピンドルモータ部21には、ポリシャースピンドル22を備えたスピンドルモータM3が内蔵されている。   This polisher spindle motor unit 21 is mounted on a polisher slide table 23 so as to be movable in parallel with the direction of the axis O2 of the polisher spindle 22, and further, the polisher slide table 23 is attached to a slide guide 24 with a swing axis A and an axis O2. Is supported so as to be movable in a direction perpendicular to the axis. That is, the polisher spindle motor unit 21 is supported so as to be movable in a direction parallel to and perpendicular to the axis O2. Thus, the slide guide 24 is fixed to the base 30 via the polisher base 25 so that the axis O2 is horizontal and the polisher spindle motor unit 21 moves in a direction perpendicular to the axis O2 and in the horizontal direction. The polisher spindle motor unit 21 incorporates a spindle motor M3 having a polisher spindle 22.

なお、図示しないが、ポリシャーユニット20は、常時ワークスピンドルモータ部11に接近する方向に所定の付勢力で付勢されて進退動し、かつ水平横方向には自由状態とされている。   Although not shown, the polisher unit 20 is always urged by a predetermined urging force in a direction approaching the work spindle motor unit 11 to move forward and backward, and is in a free state in the horizontal and lateral directions.

ワークユニット10およびポリシャースピンドルユニット20が、それぞれの軸O1、O2が軸合わせした状態で対向配置される。すると、ポリシャー50は、付勢手段によって非球面41に向かって移動付勢された状態になり、常に一定の圧力で非球面41に接触する。   The work unit 10 and the polisher spindle unit 20 are opposed to each other with their axes O1 and O2 aligned. Then, the polisher 50 is moved and urged toward the aspherical surface 41 by the urging means, and always contacts the aspherical surface 41 with a constant pressure.

この状態で、パーソナルコンピュータ60は、予め記憶されている研磨プログラムに従って、スピンドルモータM1、M2を駆動制御してワーク40およびポリシャー50を回転させ、さらにワーク台17内蔵の揺動モータM3を駆動して、ポリシャー50をワーク40の被研磨面41を半径方向に走査して、被研磨面41の各位置を所定の滞留時間で研磨する。ワーク40およびポリシャー50の相対回転および揺動モータM3によるワーク40の水平方向の揺動による合成運動により、ポリシャー50は非球面41上を所定の軌跡で移動して研磨する。   In this state, the personal computer 60 drives and controls the spindle motors M1 and M2 to rotate the workpiece 40 and the polisher 50 in accordance with a polishing program stored in advance, and further drives the swing motor M3 built in the workpiece table 17. Then, the polisher 50 is scanned in the radial direction on the polished surface 41 of the workpiece 40, and each position of the polished surface 41 is polished for a predetermined residence time. Due to the relative rotation of the workpiece 40 and the polisher 50 and the combined movement of the workpiece 40 in the horizontal direction by the swing motor M3, the polisher 50 moves on the aspherical surface 41 along a predetermined locus and is polished.

図3には、この非球面研磨装置の制御系の構成を示した。各モータM1、M2、M3は、それぞれドライバ61、62、63を介して、マイコンを内蔵した制御装置、例えばパーソナルコンピュータ60によって制御される。パーソナルコンピュータ60は公知の通り、予め設定された、非球面研磨プログラムを読み込んで、ドライバ61、62、63を介して各モータM1、M2、M3を駆動制御する機能を有する。   FIG. 3 shows the configuration of the control system of this aspherical polishing apparatus. The motors M1, M2, and M3 are controlled by a control device such as a personal computer 60 that incorporates a microcomputer via drivers 61, 62, and 63, respectively. As is well known, the personal computer 60 has a function of reading a preset aspherical polishing program and drivingly controlling the motors M1, M2, and M3 via the drivers 61, 62, and 63.

パーソナルコンピュータ60に接続されたディスプレイ64には、非球面研磨プログラムに従って所定の情報が表示される。図5に表示例を示した。各点で所定の滞留時間を付与することにより均等に研磨する場合の実施例である。この実施形態では、設計上の滞留時間が各点で同一であると設定し、各滞留時間を、基準値を100パーセントとする折れ線グラフとして示し、さらに、その座標値、滞留時間(パーセント)、リセット、終了等に関する釦が表示されている。これら画面に表示されるデータ、釦等は、作業者により入力手段65を介して操作される。入力手段65には、例えばキーボード、マウス等が含まれる。   The display 64 connected to the personal computer 60 displays predetermined information according to the aspheric polishing program. A display example is shown in FIG. This is an example in the case of polishing uniformly by giving a predetermined residence time at each point. In this embodiment, the design residence time is set to be the same at each point, each residence time is shown as a line graph with a reference value of 100 percent, and the coordinate value, residence time (percent), Buttons relating to reset, end, etc. are displayed. Data, buttons, etc. displayed on these screens are operated by the operator via the input means 65. The input means 65 includes, for example, a keyboard and a mouse.

しかしながら、図6に示したように、設計上の滞留時間が各点において異なる場合、あるいは各滞留時間を一定として研磨した結果、さらに修正研磨が必要となった場合は、グラフに凹凸が現れる。本発明の実施形態は、このようにグラフに凹凸が現れた場合の問題を解決する制御方法および制御装置である。本実施形態について、さらに図4に示したフローチャートおよび図7乃至図9を参照して説明する。   However, as shown in FIG. 6, when the design residence time is different at each point, or when further polishing is required as a result of polishing with each residence time being constant, irregularities appear in the graph. The embodiment of the present invention is a control method and a control apparatus that solve the problem in the case where irregularities appear in the graph as described above. The present embodiment will be further described with reference to the flowchart shown in FIG. 4 and FIGS. 7 to 9.

本実施の形態の滞留時間調整方法は、パーソナルコンピュータ60にインストールされたプログラムによりそのパーソナルコンピュータ60の制御下で実行される。先ず、各位置の滞留時間を入力する(S11)。入力は、予めデータとして設定され、記憶媒体に記憶されたものを読み込むか、作業者が入力手段65により入力する。   The residence time adjusting method of the present embodiment is executed under the control of the personal computer 60 by a program installed in the personal computer 60. First, the dwell time at each position is input (S11). The input is set as data in advance, and the data stored in the storage medium is read or input by the operator using the input means 65.

入力された各位置における滞留時間を、基準値を100パーセントするパーセント表示値に変換し(S12)、変換したパーセント表示値をディスプレイ62に表示する(S13)。ここでは、図6に示したように凹凸のある折れ線グラフとして表示されたものとする。   The inputted residence time at each position is converted into a percentage display value that makes the reference value 100 percent (S12), and the converted percentage display value is displayed on the display 62 (S13). Here, it is assumed that it is displayed as a line graph with unevenness as shown in FIG.

使用者が、変換指示をパーソナルコンピュータ60に与える。この実施形態では、使用者が、ディスプレイ62に表示された初期化釦を、入力手段65を使用して押す。この選択操作を受けたパーソナルコンピュータ60は、「滞留時間をフラットにしますか?」というメッセージを選択釦付きでディスプレイ62に表示する(図7)。そうして使用者が、ディスプレイ62に表示された「はい」選択釦を入力手段65を介して選択操作したときに、変換指示有りが確定する(S14;YES)。   The user gives a conversion instruction to the personal computer 60. In this embodiment, the user presses the initialization button displayed on the display 62 using the input means 65. Upon receiving this selection operation, the personal computer 60 displays a message “Do you want to flatten the residence time?” On the display 62 with a selection button (FIG. 7). Then, when the user selects and operates the “Yes” selection button displayed on the display 62 via the input means 65, it is determined that there is a conversion instruction (S14; YES).

パーソナルコンピュータ60は、現在の各位置の滞留時間を100パーセントの表示値に変換し(S15)、変換した100パーセントの表示値をディスプレイ64に表示する(S16、図8)。   The personal computer 60 converts the dwell time at each current position into a display value of 100 percent (S15), and displays the converted display value of 100 percent on the display 64 (S16, FIG. 8).

図9には、非球面の形状誤差を折れ線グラフで示した。同グラフにおいて、横軸は中心からの距離、縦軸は設計値からの誤差量を示している。この折れ線グラフは、設計上は、フラット、つまり中心からの距離にかかわらず誤差は一定となるが、図9に示したように、中心からの距離によって誤差量が相違する場合がある。かかる場合に、本発明の実施形態によって滞留時間をフラットにしておけば、各位置における滞留時間を、誤差の折れ線グラフに基づいて容易に設定することができる(図10)。   In FIG. 9, the shape error of the aspherical surface is shown by a line graph. In the graph, the horizontal axis indicates the distance from the center, and the vertical axis indicates the error amount from the design value. The line graph is flat in design, that is, the error is constant regardless of the distance from the center, but as shown in FIG. 9, the error amount may differ depending on the distance from the center. In such a case, if the dwell time is made flat according to the embodiment of the present invention, the dwell time at each position can be easily set based on the error line graph (FIG. 10).

このように、均等研磨できるように設定した滞留時間に関する折れ線グラフの点を、全て均一の位置(縦軸方向)に変換できるので、修正研磨するときにその均一な、フラットな折れ線グラフを基準に考えることが可能になる。したがって、作業者は、現状の誤差グラフを見て、単純に研磨量が不足している部分はグラフの点の位置を上方向に移動させ、研磨量を少なくする部分はグラフの点の位置を下方向に移動させることで、容易に設計形状に近づけることができる。   In this way, all the points on the line graph related to the residence time set so that uniform polishing can be performed can be converted to a uniform position (vertical axis direction), so when performing correction polishing, the uniform, flat line graph is used as a reference. It becomes possible to think. Therefore, the operator looks at the current error graph, and simply moves the position of the graph point upward in the portion where the polishing amount is insufficient, and the portion where the polishing amount decreases reduces the position of the graph point. By moving downward, it is possible to easily approximate the design shape.

本発明の実施形態では、滞留時間を折れ線グラフ化して示したがこれに限定されず、棒グラフなど、変化を視認しやすいグラフで示すことが好ましい。本発明を適用できる滞留時間制御型研磨機も図示の非球面研磨装置に限定されず、公知の滞留時間制御型研磨機に適用できる。   In the embodiment of the present invention, the residence time is shown as a line graph, but the present invention is not limited to this, and it is preferable to show a change graph such as a bar graph that is easy to visually recognize. The residence time control type polishing machine to which the present invention can be applied is not limited to the illustrated aspherical polishing apparatus, and can be applied to a known residence time control type polishing machine.

本発明の実施形態を適用した非球面研磨装置の側面図である。1 is a side view of an aspheric polishing apparatus to which an embodiment of the present invention is applied. 同非球面研磨装置の動作状態を示す平面図である。It is a top view which shows the operation state of the aspherical surface polishing apparatus. 同非球面研磨装置の制御系の主要部の概略をブロックで示す図である。It is a figure which shows the outline of the principal part of the control system of the aspherical surface polishing apparatus with a block. 同実施形態の動作概要をフローチャートで示す図である。It is a figure which shows the operation | movement outline | summary of the embodiment with a flowchart. 同実施形態の処理過程において、滞留時間と研磨位置との関係を折れ線グラフ化した表示態様の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the display mode which made the line graph the relationship between residence time and a grinding | polishing position in the process of the embodiment. 同実施形態の処理過程において、滞留時間と研磨位置との関係を折れ線グラフ化した表示態様の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the display mode which made the line graph the relationship between residence time and a grinding | polishing position in the process of the embodiment. 同実施形態の処理過程において、滞留時間と研磨位置との関係を折れ線グラフ化した表示態様の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the display mode which made the line graph the relationship between residence time and a grinding | polishing position in the process of the embodiment. 同実施形態の処理過程において、滞留時間と研磨位置との関係を折れ線グラフ化した表示態様の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the display mode which made the line graph the relationship between residence time and a grinding | polishing position in the process of the embodiment. 被研磨面の誤差を折れ線グラフ化して示す図である。It is a figure which shows the error of a to-be-polished surface in a line graph. 被研磨面を修正研磨する場合に作業者によって設定された滞留時間を折れ線グラフ化した表示態様の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the display mode which made the line time the dwell time set by the operator in the case of carrying out correction polishing of the to-be-polished surface.

符号の説明Explanation of symbols

10 ワークユニット
11 ワークスピンドルモータ部
12 ワークスピンドル
13 ワークチャック
14 スライドテーブル
14a マイクロメータ
14b ハンドル
15 スライドガイド
16 ワーク揺動テーブル
17 ワーク台
20 ポリシャーユニット
21 ポリシャースピンドルモータ部
22 ポリシャースピンドル
23 ポリシャースライドテーブル
24 スライドガイド
25 ポリシャー台
30 基台
40 ワーク
41 非球面
50 ポリシャー
60 パーソナルコンピュータ
64 ディスプレイ
65 入力手段

DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Work unit 11 Work spindle motor part 12 Work spindle 13 Work chuck 14 Slide table 14a Micrometer 14b Handle 15 Slide guide 16 Work swing table 17 Work table 20 Polisher unit 21 Polisher spindle motor part 22 Polisher spindle 23 Polisher slide table 24 Slide Guide 25 Polisher base 30 Base 40 Work 41 Aspherical surface 50 Polisher 60 Personal computer 64 Display 65 Input means

Claims (6)

ワークの被研磨面と研磨部材とを互いに回転させ、かつ相対的に径方向に移動させて、被研磨面と研磨部材の相対移動速度を滞留時間として制御しながら研磨する滞留時間制御型研磨機における滞留時間の調整方法であって、
上記被研磨面の径方向の複数位置における研磨工具の滞留時間を所定のグラフ化して表示する段階と、
上記複数位置における滞留時間を全て、上記グラフ上で同一の値に変換する段階と、
上記同一の値に変換した値のグラフを表示する段階を含むことを特徴とする滞留時間制御型研磨機における滞留時間の調整方法。
A dwell time control type polishing machine that performs polishing while rotating the surface to be polished and the polishing member relative to each other and moving them in the radial direction, and controlling the relative moving speed of the surface to be polished and the polishing member as the dwell time. A method for adjusting the residence time in
A step of displaying a predetermined graph of the residence time of the polishing tool at a plurality of positions in the radial direction of the surface to be polished;
Converting all the residence times at the plurality of positions to the same value on the graph;
A method for adjusting a residence time in a residence time control type polishing machine, comprising a step of displaying a graph of values converted into the same value.
上記変換段階は、変換時の滞留時間を100パーセントとしたパーセント表示の値に変換する請求項1記載の滞留時間制御型研磨機における滞留時間の調整方法。 The method for adjusting a residence time in a residence time control type polishing machine according to claim 1, wherein the conversion step converts the residence time at the time of conversion into a value expressed as a percentage with 100 percent. 上記変換段階は、各位置における滞留時間の設計値を100パーセントとしたパーセント表示の値に変換する請求項1記載の滞留時間制御型研磨機における滞留時間の調整方法。 2. The method for adjusting a residence time in a residence time control type polishing machine according to claim 1, wherein the conversion step converts the design value of the residence time at each position to a value expressed as a percentage with 100%. さらに、上記複数位置における滞留時間を変更する段階と、該変更段階によって滞留時間が変更された場合は、該変更後の滞留時間を、上記100パーセントの値を基準としたパーセント表示の値に変換する段階と、変換したパーセント表示の値をグラフで表示する段階を含む請求項2または3記載の滞留時間制御型研磨機における滞留時間の調整方法。 Furthermore, when the residence time is changed at the plurality of positions and when the residence time is changed by the change step, the residence time after the change is converted into a percentage display value based on the value of 100 percent. 4. The method for adjusting a residence time in a residence time control type polishing machine according to claim 2, further comprising a step of displaying the converted percentage display value in a graph. 上記グラフは、各位置における滞留時間を折れ線グラフで表す請求項1乃至4のいずれか一項記載の滞留時間制御型研磨機における滞留時間の調整方法。 The said graph is the adjustment method of the residence time in the residence time control type | mold polishing machine as described in any one of Claims 1 thru | or 4 which represents the residence time in each position with a line graph. 上記滞留時間を変更する段階は、滞留時間を数値で入力する段階を含み、上記変換する段階は、該入力された数値を上記パーセント表示の値に変換する請求項4記載の滞留時間制御型研磨機における滞留時間の調整方法。

5. The dwell time control type polishing according to claim 4, wherein the step of changing the dwell time includes a step of inputting a dwell time as a numerical value, and the step of converting converts the inputted numerical value into the value of the percentage display. Of adjusting the residence time in the machine.

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