JP2007064823A - Sensor device and fixing method by brazing - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an easily placeable sensor device, and a fixing method by brazing. <P>SOLUTION: A pipe is fixed by brazing to an adapter 133 on a joint part 130 of a pressure sensor 10. The joint part 130 is provided with a cooling part 132 for cooling the heat by brazing. Hereby, since the heat during brazing is cooled at the cooling part 132, a heat influence on a pressure sensor module 112 provided inside a housing 110 can be suppressed. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、流体の圧力を測定するセンサ装置およびロウ付け固定方法に関する。   The present invention relates to a sensor device for measuring the pressure of a fluid and a brazing fixing method.

従来、圧力を導入する導入部との接続箇所の気密性を高めた圧力センサが知られている。(例えば、特許文献1参照)。   2. Description of the Related Art Conventionally, a pressure sensor is known in which the airtightness of a connection portion with an introduction portion that introduces pressure is improved. (For example, refer to Patent Document 1).

この特許文献1に記載のものは、圧力センサ本体と、ロウ付け用銅チューブと、ジョイント用SUSコネクタとを備えている。そして、ロウ付け用銅チューブをジョイント用SUSコネクタの銅チューブ挿入部に差込み、挿入部とロウ付け用銅チューブとの隙間、および円環状の面取り部をリン青銅ろうで1050℃の炉中ロウ付けを行い、一端がロウ付け用銅チューブで他端がジョイント用SUSコネクタであるアダプタを作成する。そして、このアダプタのジョイント用SUSコネクタを圧力センサ本体の継手部に合わせ、3点以上の仮溶接をした後に圧力センサの面取り部およびジョイント用SUSコネクタの境界をレーザー溶接する。   The thing of this patent document 1 is provided with the pressure sensor main body, the copper tube for brazing, and the SUS connector for joints. Then, the copper tube for brazing is inserted into the copper tube insertion portion of the SUS connector for joint, and the gap between the insertion portion and the copper tube for brazing and the circular chamfered portion are brazed in a furnace at 1050 ° C. with phosphor bronze brazing. To create an adapter with one end being a brazing copper tube and the other end being a joint SUS connector. Then, the joint SUS connector of this adapter is aligned with the joint portion of the pressure sensor body, and after three or more temporary weldings, the chamfered portion of the pressure sensor and the boundary between the joint SUS connector are laser welded.

特開2004−245599号公報(第6頁および第7頁、図2および図3参照)JP-A-2004-245599 (refer to page 6 and page 7, FIG. 2 and FIG. 3)

ところで、特許文献1のような従来の圧力センサでは、ロウ付け用銅チューブおよびジョイント用SUSコネクタをロウ付けして作成したアダプタを圧力センサ本体にレーザ接合される。このため、特に圧力センサを配置する場所が狭かったりした場合、レーザ接合の際にロウ付け用銅チューブが邪魔になったり、高い接合技術が必要となったりする。したがって、上記特許文献1のように3点仮接合をした上でレーザ接合する必要があり、接合作業が煩雑となる虞があるという問題が一例として挙げられる。   By the way, in the conventional pressure sensor like patent document 1, the adapter created by brazing the copper tube for brazing and the SUS connector for joint is laser-joined to the pressure sensor main body. For this reason, especially when the place where the pressure sensor is disposed is narrow, the copper tube for brazing becomes an obstacle during laser bonding, or a high bonding technique is required. Therefore, it is necessary to perform laser bonding after three-point temporary bonding as in Patent Document 1, and there is a problem that the bonding work may be complicated.

本発明は、容易に設置可能なセンサ装置、およびロウ付け固定方法を提供することを1つの目的とする。   An object of the present invention is to provide a sensor device and a brazing fixing method that can be easily installed.

本発明のセンサ装置は、内部にセンサモジュールが収納されるセンサ本体と、前記センサ本体に被検査流体を導入する継手部と、前記継手部にロウ付けにより固定され、この継手部に被検査流体を導入する流体導入管と、を具備したセンサ装置であって、前記継手部は、前記流体導入管をロウ付けする際のロウ付け熱の前記センサ本体への伝達を阻止する冷却部を備えたことを特徴とする。   The sensor device of the present invention includes a sensor body in which a sensor module is housed, a joint part for introducing a fluid to be tested into the sensor body, and brazing to the joint part, and the fluid to be tested is fixed to the joint part. A fluid introduction pipe for introducing a fluid into the sensor body, wherein the joint part includes a cooling part for preventing transmission of brazing heat to the sensor body when brazing the fluid introduction pipe. It is characterized by that.

このような構成の本発明では、継手部は、流体導入管をロウ付けする際にロウ付けの熱のセンサ本体への伝達を阻止する冷却部を備えている。これにより、継手部および流体導入管をロウ付けにより固定することで、継手部および流体導入管の密閉性が良好になり、例えば高圧流体を流体導入管に導入した際などの流体の漏れや圧力低下を防止できる。また、ロウ付けにより例えば溶融した金属ロウを接合箇所に注入する際、冷却部が溶融したロウの熱のセンサ本体への伝達を阻止するため、センサ本体の内部に設けられるセンサモジュールへの熱影響を抑えることができる。したがって、センサモジュールへの熱影響を緩和できるとともに、接合作業が簡単なセンサ装置を提供できる。   In the present invention having such a configuration, the joint portion includes a cooling portion that prevents transmission of brazing heat to the sensor body when brazing the fluid introduction pipe. As a result, the joint part and the fluid introduction pipe are fixed by brazing, so that the joint part and the fluid introduction pipe are hermetically sealed. For example, when a high pressure fluid is introduced into the fluid introduction pipe, fluid leakage or pressure Decrease can be prevented. Also, when, for example, molten metal brazing is injected into the joint by brazing, the cooling unit prevents the heat of the molten wax from being transmitted to the sensor body, so that the thermal effect on the sensor module provided inside the sensor body Can be suppressed. Therefore, it is possible to provide a sensor device that can alleviate the thermal influence on the sensor module and can be easily joined.

また、本発明のセンサ装置では、前記継手部は、前記センサ本体に接続される接続部と、前記流体導入管がロウ付けされる管取付部と、を備え、前記冷却部は、前記接続部および前記管取付部の間に設けられ、これらの前記接続部および前記管取付部を連結することが好ましい。   In the sensor device of the present invention, the joint portion includes a connection portion connected to the sensor main body, and a tube attachment portion to which the fluid introduction pipe is brazed, and the cooling portion includes the connection portion. It is preferable that the connecting part and the pipe attaching part are connected to each other.

この発明によると、前記冷却部は、センサ本体に接続される接続部および流体導入管がロウ付け固定される管取付部を連結している。これにより、管取付部に流体導入管をロウ付け固定した際に、ロウ付けによる熱を冷却して、接続部に熱が伝達されにくくする。したがって、ロウ付けの際のセンサ本体のセンサモジュールへの影響を減少させることができる。   According to the present invention, the cooling part connects the connecting part connected to the sensor body and the pipe attaching part to which the fluid introduction pipe is fixed by brazing. As a result, when the fluid introduction pipe is brazed and fixed to the pipe mounting portion, the heat due to brazing is cooled, and the heat is hardly transmitted to the connection portion. Therefore, the influence on the sensor module of the sensor body at the time of brazing can be reduced.

さらに、本発明のセンサ装置では、前記冷却部は、前記管取付部から前記接続部に向かう流体導入方向に略直交する断面の断面積が前記管取付部の断面積よりも小さくなるように形成されることが好ましい。   Furthermore, in the sensor device of the present invention, the cooling part is formed such that a cross-sectional area of a cross section substantially perpendicular to a fluid introduction direction from the pipe mounting part toward the connection part is smaller than a cross-sectional area of the pipe mounting part. It is preferred that

この発明では、冷却部は、断面積が管取付部の断面積よりも小さくなるように形成されている。一般に物体を伝達する熱量は、熱伝導率、温度差、および断面積の積で求められるが、本発明では、この断面積の値を小さくするので、管取付部から冷却部を通って接続部に伝達される熱量を減らすことができる。したがって、流体導入管を管取付部にロウ付けする際に、ロウ付けにより接続部へ伝達する熱量を減少させることができる。よって、ロウ付けの熱によるセンサモジュールへの熱影響を緩和することができる。   In the present invention, the cooling part is formed so that the cross-sectional area is smaller than the cross-sectional area of the tube mounting part. In general, the amount of heat transmitted through an object is determined by the product of thermal conductivity, temperature difference, and cross-sectional area. The amount of heat transferred to can be reduced. Therefore, when brazing the fluid introduction pipe to the pipe mounting portion, the amount of heat transferred to the connecting portion by brazing can be reduced. Therefore, the thermal influence on the sensor module due to the brazing heat can be reduced.

そして、本発明のセンサ装置では、前記冷却部は、冷却流体により外周面から冷却されることが好ましい。   And in the sensor apparatus of this invention, it is preferable that the said cooling part is cooled from an outer peripheral surface with a cooling fluid.

この発明によれば、冷却部が外周面から冷却流体により冷却される。すなわち、冷却部は、冷却エアーを吹き付けたり、冷却部を冷却水に浸したり、冷却水を外周面上に流したりされて冷却される。これにより、冷却部はより冷却されるため、流体導入管のロウ付け時における熱が接続部に伝達するのを防止でき、センサモジュールの熱影響を減らすことができる。   According to this invention, the cooling part is cooled from the outer peripheral surface by the cooling fluid. That is, the cooling unit is cooled by blowing cooling air, immersing the cooling unit in cooling water, or flowing cooling water on the outer peripheral surface. Thereby, since the cooling part is further cooled, it is possible to prevent the heat at the time of brazing the fluid introduction pipe from being transmitted to the connection part, and to reduce the thermal influence of the sensor module.

ここで、センサ装置は、前記接続部に設けられる底面部と、この底面部の周端部から立ち上がり、前記冷却部の径寸法より径大となる筒状部と、を有する皿部材を備え、前記冷却部は、前記皿部材に冷却流体を満たすことで冷却されることが好ましい。   Here, the sensor device includes a dish member having a bottom surface portion provided in the connection portion, and a cylindrical portion that rises from a peripheral end portion of the bottom surface portion and has a diameter larger than the diameter dimension of the cooling portion, The cooling unit is preferably cooled by filling the dish member with a cooling fluid.

この構成では、冷却部は、皿部材に満たされる冷却流体により冷却される。これにより、冷却部をより簡単に効率的に冷却させることができる。   In this configuration, the cooling unit is cooled by the cooling fluid filled in the dish member. Thereby, a cooling part can be cooled more simply and efficiently.

そして、本発明のロウ付け固定方法は、センサ本体と、前記センサ本体に被検査流体を導入する継手部と、前記継手部にロウ付けにより固定され、この継手部に被検査流体を導入する流体導入管と、を具備したセンサ装置の前記継手部および前記流体導入管のロウ付け固定方法であって、前記継手部に設けられる冷却部を冷却流体により冷却させた状態で前記継手部および前記流体導入管をロウ付け固定することを特徴とする。   The brazing and fixing method of the present invention includes a sensor main body, a joint portion for introducing a fluid to be inspected into the sensor main body, a fluid that is fixed to the joint portion by brazing and introduces the fluid to be inspected into the joint portion. A brazing and fixing method for the joint part of the sensor device and the fluid introduction pipe, wherein the joint part and the fluid are cooled in a state where the cooling part provided in the joint part is cooled by a cooling fluid. The introduction tube is fixed by brazing.

このようなロウ付け固定法によれば、継手部および流体導入管をロウ付けする際に継手部に設けられる冷却部を冷却した状態でロウ付けする。これにより、ロウ付けにより溶融した金属ロウを接合箇所に注入する際、溶融したロウの熱は冷却部により冷却される。このため、センサ本体の内部に設けられるセンサモジュールへの熱影響を抑えることができる。   According to such a brazing and fixing method, when the joint portion and the fluid introduction pipe are brazed, the cooling portion provided in the joint portion is brazed in a cooled state. Thereby, when inject | pouring the metal brazing fuse | melted by brazing into a joining location, the heat | fever of the fuse | melted brazing is cooled by the cooling part. For this reason, the thermal influence on the sensor module provided inside the sensor body can be suppressed.

以下、本発明における一実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明に係る一実施の形態におけるセンサ装置の正面図である。図2は、本実施の形態における圧力センサのアダプタの断面を示す断面図である。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a front view of a sensor device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view showing a cross section of the adapter of the pressure sensor in the present embodiment.

〔圧力センサの構成〕
図1において、10はセンサ装置としての圧力センサであり、この圧力センサ10は、例えば高圧で流れる流体の圧力を測定するために利用される。そして、この圧力センサ10は、図1に示すように、圧力センサ本体100と、圧力センサ本体100に接続されるとともに、被検査流体が流れる配管などに接続される流体導入管としてのパイプ200と、などを備えている。
[Configuration of pressure sensor]
In FIG. 1, 10 is a pressure sensor as a sensor device, and this pressure sensor 10 is used for measuring the pressure of a fluid flowing at a high pressure, for example. As shown in FIG. 1, the pressure sensor 10 includes a pressure sensor main body 100, a pipe 200 as a fluid introduction pipe connected to the pressure sensor main body 100 and a pipe through which a fluid to be inspected flows. , Etc.

ハウジング110は、一端側が開口され、他端側が閉口される中空状に形成されている。このハウジング110の開口側は、六角部120に設けられるケーシング121にかしめられて固定されている。そして、ハウジング110の内部には、流体の圧力により変位可能なダイアフラム112Aを備えるとともに継手部130に固定される圧力センサモジュール112、およびこのダイアフラム112Aの変位を検出して電気信号に変換する回路基板111が収納されている。そして、回路基板111は、ダイアフラム112Aの変位を電気信号に変換して、ハウジング110の閉口部から外側に突出して形成されるタンシダイ111Cに出力する。タンシダイ111Cは、例えばパーソナルコンピュータなどの図示しない信号検出機に接続され、この信号検出機にて圧力センサ10が検出した圧力を認識する。   The housing 110 is formed in a hollow shape in which one end side is opened and the other end side is closed. The opening side of the housing 110 is caulked and fixed to a casing 121 provided on the hexagonal portion 120. The housing 110 includes a diaphragm 112A that can be displaced by the pressure of the fluid, a pressure sensor module 112 that is fixed to the joint 130, and a circuit board that detects the displacement of the diaphragm 112A and converts it into an electrical signal. 111 is stored. The circuit board 111 converts the displacement of the diaphragm 112 </ b> A into an electrical signal, and outputs the electrical signal to the tongue die 111 </ b> C formed to protrude outward from the closed portion of the housing 110. The tanshidai 111C is connected to a signal detector (not shown) such as a personal computer, for example, and recognizes the pressure detected by the pressure sensor 10 with this signal detector.

六角部120は、圧力センサ10の軸心に略直交する断面が略六角形のナット状に形成され、一端側に筒状のケーシング121が形成されている。そして、前述したように、このケーシング121の内方に前記ハウジング110の開口部側端部をかしめることで、ハウジング110と六角部120とが固定されている。また、六角部120の軸心には、ハウジング110側から継手部側に貫通する貫通孔122が形成されている。そして、この貫通孔122には、継手部130に固定されるセンサモジュール112が挿通されている。   The hexagonal portion 120 is formed in a substantially hexagonal nut shape with a cross section substantially orthogonal to the axis of the pressure sensor 10, and a cylindrical casing 121 is formed on one end side. As described above, the housing 110 and the hexagonal portion 120 are fixed by caulking the opening side end of the housing 110 inside the casing 121. In addition, a through hole 122 that penetrates from the housing 110 side to the joint portion side is formed in the axial center of the hexagonal portion 120. And the sensor module 112 fixed to the joint part 130 is inserted in this through-hole 122.

継手部130は、六角部120に接続されて固定される接続部としての固定部131と、固定部に接続される冷却部132と、冷却部に接続される管取付部としてのアダプタ133と、などが一体形成されて構成される。また、継手部130は、略筒状に形成され、固定部131、冷却部132、およびアダプタ133を連通する状態に圧力導入孔134が設けられている。   The joint part 130 includes a fixing part 131 as a connection part connected and fixed to the hexagonal part 120, a cooling part 132 connected to the fixing part, an adapter 133 as a pipe mounting part connected to the cooling part, Etc. are integrally formed. Moreover, the joint part 130 is formed in a substantially cylindrical shape, and the pressure introduction hole 134 is provided in a state where the fixing part 131, the cooling part 132, and the adapter 133 are communicated.

固定部131は、六角部120のハウジング110とは反対側に、例えばレーザ溶接などにより接続され、固定されている。また、固定部131の端部には、前記したように、ダイアフラム112Aを保持する圧力センサモジュール112が溶接により固定されており、ダイアフラム112Aにより圧力導入孔134が閉塞されている。そして、継手部130は、前記したようにこの圧力センサモジュール112を六角部120の貫通孔122に挿通させた状態で、六角部120の端面に固定部131をレーザ溶接することで固定される。   The fixing portion 131 is connected and fixed to the opposite side of the hexagonal portion 120 from the housing 110 by, for example, laser welding. Further, as described above, the pressure sensor module 112 that holds the diaphragm 112A is fixed to the end portion of the fixed portion 131 by welding, and the pressure introduction hole 134 is closed by the diaphragm 112A. The joint portion 130 is fixed by laser welding the fixing portion 131 to the end face of the hexagonal portion 120 in a state where the pressure sensor module 112 is inserted through the through hole 122 of the hexagonal portion 120 as described above.

冷却部132は、固定部131およびアダプタ133に比べて圧力導入孔134の中心軸から径寸法が小さい凹状に形成されている。ここで、冷却部132は、固定部およびアダプタ133に対して径寸法が小さいため、冷却部132の熱伝達量は小さくなる。すなわち、一般に円筒を伝達する熱量は、次式で求められる。   The cooling part 132 is formed in a concave shape whose diameter is smaller from the central axis of the pressure introducing hole 134 than the fixing part 131 and the adapter 133. Here, since the cooling unit 132 has a small diameter with respect to the fixed unit and the adapter 133, the heat transfer amount of the cooling unit 132 is small. That is, generally, the amount of heat transmitted through the cylinder is obtained by the following equation.

熱量Q=熱伝導率H×温度差ΔT×断面積S …(1)
上記(1)式において、冷却部132は、固定部131およびアダプタ133に比べて中心軸からの径寸法が小さくなり、断面積Sが小さくなる。これにより、冷却部132を通過する熱量は小さくなり、例えばアダプタ133から固定部131までに伝達する熱量が小さくなる。
Quantity of heat Q = thermal conductivity H × temperature difference ΔT × cross-sectional area S (1)
In the above equation (1), the cooling unit 132 has a smaller diameter from the central axis and a smaller cross-sectional area S than the fixed unit 131 and the adapter 133. Thereby, the amount of heat passing through the cooling unit 132 is reduced, and for example, the amount of heat transmitted from the adapter 133 to the fixed unit 131 is reduced.

アダプタ133は、冷却部132よりも径大となる略円筒状に形成されている。また、アダプタ133に形成される圧力導入孔134には、固定部131および冷却部132よりも径大に形成された、後述するパイプ200が挿入可能なパイプ挿入孔135が設けられている。また、このパイプ挿入孔135のパイプ200を挿入する入り口側の一部には、入り口側が径大となるテーパ状となるテーパ部136が設けられている。   The adapter 133 is formed in a substantially cylindrical shape having a diameter larger than that of the cooling unit 132. In addition, the pressure introduction hole 134 formed in the adapter 133 is provided with a pipe insertion hole 135 that is formed to have a diameter larger than that of the fixing portion 131 and the cooling portion 132 and into which a later-described pipe 200 can be inserted. Further, a taper portion 136 having a tapered shape with a large diameter on the entrance side is provided on a part of the entrance side of the pipe insertion hole 135 into which the pipe 200 is inserted.

パイプ200は、例えば銅などの金属により形成されている。また、このパイプ200の一端側は、前記アダプタ133のパイプ挿入孔135に挿入されて固定される。この時、パイプ200は、アダプタ133のテーパ部136に高温で溶融状態である青銅リンロウなどの金属ロウを流し込むことでロウ付け固定されている。また、パイプ200の他端部は、例えば高圧流体が流れる配管などに例えばロウ付けなどにより固定されて接続され、この配管からパイプ200内に高圧流体が流動する。   The pipe 200 is made of a metal such as copper, for example. Further, one end of the pipe 200 is inserted into the pipe insertion hole 135 of the adapter 133 and fixed. At this time, the pipe 200 is fixed by brazing by pouring a metal brazing material such as bronze phosphorous wax that is in a molten state at a high temperature into the tapered portion 136 of the adapter 133. The other end of the pipe 200 is fixedly connected to, for example, a pipe through which high-pressure fluid flows, for example, by brazing, and the high-pressure fluid flows into the pipe 200 from this pipe.

〔圧力センサのロウ付け固定方法〕
次に、上記圧力センサ10の設置法として、アダプタ133にパイプ200を固定する固定方法について、図3に基づいて説明する。図3は、アダプタ133にパイプ200を固定する際の冷却部132近傍の断面図である。
[Pressure sensor brazing and fixing method]
Next, as a method for installing the pressure sensor 10, a fixing method for fixing the pipe 200 to the adapter 133 will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of the vicinity of the cooling unit 132 when the pipe 200 is fixed to the adapter 133.

圧力センサ10を設置する際には、予め組み立てられた圧力センサ本体100に、パイプ200を接続する。この時、まず、圧力センサ本体100を、タンシダイ111Cが鉛直下向きとなる姿勢に固定する。そして、継手部130の固定部131の上部に、図3に示すような皿部材としての冷却皿300をシール部材であるOリング310を介して設置する。   When installing the pressure sensor 10, the pipe 200 is connected to the pressure sensor main body 100 assembled in advance. At this time, first, the pressure sensor body 100 is fixed in a posture in which the tongue die 111C is vertically downward. Then, a cooling dish 300 as a dish member as shown in FIG. 3 is installed on the upper part of the fixing part 131 of the joint part 130 via an O-ring 310 that is a seal member.

この冷却皿300は例えば金属で形成されていてもよく、合成樹脂などにより形成されていてもよい。そして、冷却皿300は、継手部130の軸心に略直交する径方向に広がる底面部301と、この底面部の周端部からアダプタ133側に立ち上がる筒状部としてのフランジ部302とが一体形成されたものである。なお、冷却皿300の底面部301にフックが設けられ、このフックを例えば六角部120に引掛けるなどして冷却皿300が固定される構成であってもよい。このような構成にすることで冷却皿300の安定性を良好にすることが可能となる。   This cooling dish 300 may be formed, for example with the metal, and may be formed with the synthetic resin etc. In the cooling dish 300, a bottom surface portion 301 that extends in a radial direction substantially orthogonal to the axis of the joint portion 130 and a flange portion 302 as a cylindrical portion that rises from the peripheral end portion of the bottom surface portion toward the adapter 133 are integrated. It is formed. In addition, the hook may be provided in the bottom face part 301 of the cooling dish 300, and the structure which the cooling dish 300 is fixed by hooking this hook on the hexagonal part 120 etc. may be sufficient. With such a configuration, the stability of the cooling dish 300 can be improved.

そして、アダプタ133にパイプ200をロウ付けする際には、図3に示すように、アダプタ133が上方、固定部131が下方に位置するように姿勢を変更し、冷却皿300に冷却流体としての冷却水320を満たす。なお冷却水320としては、冷水、冷却オイルなどの他、ゼリー状冷却物質などをも利用でき、冷却部132を冷却するものであればいかなるものを用いてもよい。冷却皿300に冷却水320が満たされると、この冷却水320により冷却部132は外周面から冷却される。この状態で、継手部130のアダプタ133のパイプ挿入孔135にパイプ200を挿入し、テーパ部136に高温溶融状態である青銅リンロウを流し込み、ロウ付け固定する。この時、ロウ付け時のロウの温度は、約1050℃になるが、冷却部132が冷却されているため、固定部131側へのロウの熱量の伝達が小さくなる。   Then, when brazing the pipe 200 to the adapter 133, as shown in FIG. 3, the posture is changed so that the adapter 133 is positioned above and the fixing portion 131 is positioned below, and the cooling dish 300 is used as a cooling fluid. Fill the cooling water 320. As the cooling water 320, in addition to cold water, cooling oil, etc., a jelly-like cooling substance can be used, and any cooling water can be used as long as it cools the cooling unit 132. When the cooling water 320 is filled in the cooling plate 300, the cooling unit 132 is cooled from the outer peripheral surface by the cooling water 320. In this state, the pipe 200 is inserted into the pipe insertion hole 135 of the adapter 133 of the joint portion 130, and bronze phosphorous wax that is in a high-temperature molten state is poured into the tapered portion 136 to be fixed by brazing. At this time, the temperature of the brazing at the time of brazing is about 1050 ° C., but since the cooling unit 132 is cooled, the transmission of the heat amount of the brazing to the fixed unit 131 side becomes small.

〔圧力センサの作用効果〕
上述したように、上記一実施の形態の圧力センサ10では、パイプ200が継手部130のアダプタ133にロウ付け固定されている。そして、継手部130には、ロウ付けの熱のハウジング110への伝達を阻止する冷却部132が設けられている。このため、継手部130のアダプタ133およびパイプ200をロウ付けにより固定することで、アダプタ133およびパイプ200の密閉性が良好になり、例えばパイプ200に高圧流体が流れた場合でも流体の漏れや圧力低下を防止できる。また、冷却部132にてロウ付け時のロウ付け熱がハウジング110に伝達するのを阻止でき、ハウジング110の内部に収納される圧力センサモジュール112および回路基板111へのロウ付け時の熱の影響を抑えることができる。
[Operation effect of pressure sensor]
As described above, in the pressure sensor 10 according to the embodiment, the pipe 200 is fixed to the adapter 133 of the joint portion 130 by brazing. The joint portion 130 is provided with a cooling portion 132 that prevents transmission of brazing heat to the housing 110. For this reason, by fixing the adapter 133 and the pipe 200 of the joint part 130 by brazing, the sealing property of the adapter 133 and the pipe 200 is improved. For example, even when a high-pressure fluid flows through the pipe 200, fluid leakage and pressure Decline can be prevented. In addition, it is possible to prevent the heat of brazing from being transmitted to the housing 110 by the cooling unit 132, and the influence of the heat at the time of brazing on the pressure sensor module 112 and the circuit board 111 housed in the housing 110. Can be suppressed.

また、冷却部132は、固定部131およびパイプ200がロウ付け固定されるアダプタ133を連結している。このため、アダプタ133にパイプ200をロウ付け固定した際に、冷却部132にてロウ付けの熱が冷却されて、固定部131に熱が伝達されにくくなる。したがって、ロウ付けの際のハウジング110の圧力センサモジュール112への熱影響を減少させることができる。   The cooling unit 132 connects the fixing unit 131 and the adapter 133 to which the pipe 200 is fixed by brazing. For this reason, when the pipe 200 is brazed and fixed to the adapter 133, the heat of brazing is cooled by the cooling unit 132, and the heat is hardly transmitted to the fixing unit 131. Therefore, the thermal effect on the pressure sensor module 112 of the housing 110 during brazing can be reduced.

さらに、冷却部132は、断面積がアダプタ133の断面積よりも小さくなるように形成されている。このため、アダプタ133から冷却部132を通って固定部131に伝達される熱量を減少させることができる。したがって、パイプ200をアダプタ133にロウ付けする際に、このロウ付けによる熱の固定部131への伝達量を減少させることができる。よって、ロウ付けの熱による圧力センサモジュール112への熱影響を緩和することができる。   Furthermore, the cooling unit 132 is formed so that the cross-sectional area is smaller than the cross-sectional area of the adapter 133. For this reason, the amount of heat transferred from the adapter 133 to the fixed part 131 through the cooling part 132 can be reduced. Therefore, when the pipe 200 is brazed to the adapter 133, the amount of heat transferred to the fixing portion 131 by this brazing can be reduced. Therefore, the thermal effect on the pressure sensor module 112 due to the brazing heat can be reduced.

そして、パイプ200をアダプタ133に取り付ける際に、冷却部132は、冷却水320により外周面から冷却される。このため、冷却部132は、冷却水320により一層冷却され、パイプ200のロウ付け時における熱が固定部131に伝達するのをさらに防止でき、圧力センサモジュール112への熱影響を減らすことができる。   When the pipe 200 is attached to the adapter 133, the cooling unit 132 is cooled from the outer peripheral surface by the cooling water 320. For this reason, the cooling unit 132 is further cooled by the cooling water 320, and can further prevent the heat at the time of brazing of the pipe 200 from being transmitted to the fixing unit 131, thereby reducing the thermal influence on the pressure sensor module 112. .

また、冷却部132は、図3に示すように冷却皿300に満たされる冷却水320により冷却される。このため、固定部131側に固定された冷却皿300に冷却水320を満たすだけで容易に冷却部132を冷却することができ、冷却部132を冷却するための特別な作業が不要であるためパイプ200のロウ付け固定作業も容易に実施できる。   Moreover, the cooling part 132 is cooled by the cooling water 320 with which the cooling tray 300 is filled, as shown in FIG. For this reason, the cooling part 132 can be easily cooled simply by filling the cooling dish 300 fixed to the fixing part 131 side with the cooling water 320, and a special operation for cooling the cooling part 132 is unnecessary. The brazing and fixing work of the pipe 200 can be easily performed.

〔実施形態の変形〕
なお、本発明は、上述した一実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
[Modification of Embodiment]
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and includes the following modifications as long as the object of the present invention can be achieved.

例えば、上記実施の形態において、圧力センサモジュール112は、ダイアフラム112Aの変位を回路基板111にて検出して圧力を検出および測定するダイアフラム式圧力センサモジュールを用いたが、これに限定されない。例えば、圧力により移動するシリンダの移動量を検出するものなど、いずれのセンサモジュールであってもよい。また、上記実施の形態では、センサモジュールとして圧力を測定する圧力センサモジュール112を利用した圧力センサ10を例示したがこれに限らない。例えば、センサモジュールとして温度を検出する温度センサモジュールを用いた温度センサなどに本発明を適用してもよい。   For example, in the above-described embodiment, the pressure sensor module 112 uses a diaphragm type pressure sensor module that detects and measures the pressure by detecting the displacement of the diaphragm 112A by the circuit board 111, but is not limited thereto. For example, any sensor module such as one that detects the amount of movement of a cylinder that moves due to pressure may be used. Moreover, in the said embodiment, although the pressure sensor 10 using the pressure sensor module 112 which measures a pressure as a sensor module was illustrated, it is not restricted to this. For example, the present invention may be applied to a temperature sensor using a temperature sensor module that detects temperature as a sensor module.

そして、上記実施の形態では、継手部130を予め六角部120にレーザ溶接する構成を示したが、六角部120と継手部130とが一体形成されて製造されるものであってもよい。このような構成では、ハウジング110に圧力センサモジュールを設置した上で六角部120をハウジング110に取り付ける。この後、パイプ200を継手部130のアダプタ133にロウ付け固定する。このような構成では、六角部120および継手部130のレーザ溶接の必要がなく、生産性を良好にできる。   In the above embodiment, the configuration in which the joint portion 130 is laser-welded to the hexagonal portion 120 in advance has been described. However, the hexagonal portion 120 and the joint portion 130 may be integrally formed and manufactured. In such a configuration, the hexagonal portion 120 is attached to the housing 110 after the pressure sensor module is installed in the housing 110. Thereafter, the pipe 200 is brazed and fixed to the adapter 133 of the joint portion 130. In such a configuration, there is no need for laser welding of the hexagonal portion 120 and the joint portion 130, and productivity can be improved.

さらに、六角部120が設けられない構成としてもよい。すなわち、ハウジング110に直接継手部130が設けられる構成としてもよい。この場合、六角部120が不要となるので、部品点数を減少させることができ、さらに生産性も良好にできる。   Furthermore, it is good also as a structure in which the hexagonal part 120 is not provided. In other words, the joint portion 130 may be provided directly on the housing 110. In this case, since the hexagonal portion 120 is not necessary, the number of parts can be reduced, and the productivity can be improved.

また、上記実施の形態では、パイプ200をアダプタ133にロウ付け固定する際に、冷却皿300を取り付けて、この冷却皿300に冷却水320を満たして冷却部132を冷却するとしたが、これに限定されない。例えば、冷却部132に直接冷却エアーを吹き付けて、パイプ200をロウ付け固定する作業を実施してもよい。このような場合でも効果的に冷却部132を冷却することができ、ロウ付けの際の熱の圧力センサモジュール112および回路基板111の伝達を防止できる。   In the above embodiment, when the pipe 200 is brazed and fixed to the adapter 133, the cooling tray 300 is attached, and the cooling tray 300 is filled with the cooling water 320 to cool the cooling unit 132. It is not limited. For example, the operation of fixing the pipe 200 by brazing by directly blowing cooling air to the cooling unit 132 may be performed. Even in such a case, the cooling unit 132 can be effectively cooled, and transmission of the heat pressure sensor module 112 and the circuit board 111 during brazing can be prevented.

さらに、上記実施の形態では、冷却部132の断面積をアダプタ133の断面積よりも小さくして、冷却部132を通ってハウジング110に伝達する熱量を減少させる例を示したが、冷却部132の長さ寸法を長くする構成としてもよい。この構成では、冷却部132の長さ寸法を長くすることで、冷却部132における熱損失が大きくなり、さらに固定部131への熱伝達量を減少させることができる。   Furthermore, in the above-described embodiment, an example in which the cross-sectional area of the cooling unit 132 is made smaller than the cross-sectional area of the adapter 133 to reduce the amount of heat transmitted to the housing 110 through the cooling unit 132 has been described. It is good also as a structure which lengthens the length dimension. In this configuration, by increasing the length of the cooling unit 132, heat loss in the cooling unit 132 increases, and the amount of heat transfer to the fixed unit 131 can be reduced.

また、上記実施の形態では、冷却部132をアダプタ133の径寸法より径小に形成することで、固定部131に熱が伝達することを阻止したが、これに限らない。例えば、冷却部132に熱を伝達しにくい素材、例えばセラミックなどにて形成する構成としてもよい。このような構成であっても、効果的にロウ付け熱の固定部131への伝達を阻止することができる。   Moreover, in the said embodiment, although the cooling part 132 was formed in diameter smaller than the diameter dimension of the adapter 133, it prevented that heat was transmitted to the fixing | fixed part 131, However, It is not restricted to this. For example, the cooling unit 132 may be formed of a material that is difficult to transfer heat, such as ceramic. Even with such a configuration, it is possible to effectively prevent the brazing heat from being transmitted to the fixing portion 131.

その他、本発明の実施の際の具体的な構造および手順は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造などに適宜変更できる。   In addition, the specific structure and procedure for carrying out the present invention can be appropriately changed to other structures and the like within a range in which the object of the present invention can be achieved.

本発明に係る一実施の形態における圧力センサの正面図である。It is a front view of the pressure sensor in one embodiment concerning the present invention. 本実施の形態における圧力センサの断面図である。It is sectional drawing of the pressure sensor in this Embodiment. パイプ取付部にパイプを固定する際の冷却部近傍の断面図である。It is sectional drawing of the cooling part vicinity at the time of fixing a pipe to a pipe attaching part.

符号の説明Explanation of symbols

10…圧力センサ
100…圧力センサ本体
112…圧力センサモジュール
130…継手部
131…接続部としての固定部
132…冷却部
133…管取付部としてのアダプタ
200…流体導入管としてのパイプ
300…皿部材としての冷却皿
301…底面部
302…筒状部としてのフランジ部
320…冷却流体としての冷却水
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Pressure sensor 100 ... Pressure sensor main body 112 ... Pressure sensor module 130 ... Joint part 131 ... Fixing part as a connection part 132 ... Cooling part 133 ... Adapter as a pipe attachment part 200 ... Pipe as a fluid introduction pipe 300 ... Dish member As a cooling plate 301 ... bottom surface portion 302 ... flange portion as a cylindrical portion 320 ... cooling water as cooling fluid

Claims (6)

内部にセンサモジュールが収納されるセンサ本体と、
前記センサ本体に被検査流体を導入する継手部と、
前記継手部にロウ付けにより固定され、この継手部に被検査流体を導入する流体導入管と、
を具備したセンサ装置であって、
前記継手部は、前記流体導入管をロウ付けする際のロウ付け熱の前記センサ本体への伝達を阻止する冷却部を備えた
ことを特徴としたセンサ装置。
A sensor body in which a sensor module is housed;
A joint for introducing a fluid to be inspected into the sensor body;
A fluid introduction pipe fixed to the joint by brazing, and introducing a fluid to be inspected into the joint;
A sensor device comprising:
The joint unit includes a cooling unit that prevents transmission of brazing heat to the sensor body when brazing the fluid introduction pipe.
請求項1に記載のセンサ装置であって、
前記継手部は、前記センサ本体に接続される接続部と、前記流体導入管がロウ付けされる管取付部と、を備え、
前記冷却部は、前記接続部および前記管取付部の間に設けられ、これらの前記接続部および前記管取付部を連結する
ことを特徴としたセンサ装置。
The sensor device according to claim 1,
The joint portion includes a connection portion connected to the sensor body, and a tube attachment portion to which the fluid introduction tube is brazed,
The said cooling part is provided between the said connection part and the said pipe attachment part, These these connection parts and the said pipe attachment part are connected. The sensor apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項2に記載のセンサ装置であって、
前記冷却部は、前記管取付部から前記接続部に向かう流体導入方向に略直交する断面の断面積が前記管取付部の断面積よりも小さくなるように形成された
ことを特徴としたセンサ装置。
The sensor device according to claim 2,
The cooling unit is formed such that a cross-sectional area of a cross section substantially perpendicular to a fluid introduction direction from the pipe mounting part toward the connection part is smaller than a cross-sectional area of the pipe mounting part. .
請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のセンサ装置であって、
前記冷却部は、冷却流体により外周面から冷却される
ことを特徴としたセンサ装置。
The sensor device according to any one of claims 1 to 3,
The said cooling part is cooled from an outer peripheral surface with a cooling fluid. The sensor apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項2ないし請求項4のいずれかに記載のセンサ装置であって、
前記接続部に設けられる底面部と、この底面部の周端部から立ち上がり、前記冷却部の径寸法より径大となる筒状部と、を有する皿部材を備え、
前記冷却部は、前記皿部材に冷却流体を満たすことで冷却される
ことを特徴としたセンサ装置。
A sensor device according to any one of claims 2 to 4,
Comprising a dish member having a bottom surface portion provided in the connection portion, and a cylindrical portion that rises from a peripheral end portion of the bottom surface portion and has a diameter larger than the diameter of the cooling portion;
The cooling unit is cooled by filling the dish member with a cooling fluid.
センサ本体と、前記センサ本体に被検査流体を導入する継手部と、前記継手部にロウ付けにより固定され、この継手部に被検査流体を導入する流体導入管と、を具備したセンサ装置の前記継手部および前記流体導入管のロウ付け固定方法であって、
前記継手部に設けられる冷却部を冷却流体により冷却させた状態で前記継手部および前記流体導入管をロウ付け固定する
ことを特徴とするロウ付け固定方法。
The sensor device comprising: a sensor main body; a joint portion that introduces a fluid to be tested into the sensor main body; and a fluid introduction pipe that is fixed to the joint portion by brazing and introduces the fluid to be tested into the joint portion. A method for brazing and fixing a joint portion and the fluid introduction pipe,
A brazing and fixing method comprising brazing and fixing the joint and the fluid introduction pipe in a state where a cooling part provided in the joint is cooled by a cooling fluid.
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