JP2007047347A - Manufacturing method of electro-optical apparatus, manufacturing apparatus for the same, and manufacturing method of mounting structure - Google Patents

Manufacturing method of electro-optical apparatus, manufacturing apparatus for the same, and manufacturing method of mounting structure Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of an electro-optical apparatus, a manufacturing apparatus for the same, and the manufacturing method of a mounting structure, for improving reliability of connection by pressurizing each of a plurality of terminals of electronic components with almost same pressure. <P>SOLUTION: The manufacturing method comprises: a process (S3) for aligning a pressing head 42 so that the same pressure is applied to each of a plurality of driver side input-output terminals 12, 24 from substrate side input-output terminals 11a, 14a when pressurizing a pressurizing center C of a driver IC 17 by a pressing head 42; and a process (S4) for press-fixing the driver IC 17 to the substrate 4 by the pressing head 42. Consequently, the driver side input-output terminals 23, 24 can be press-fixed to the substrate 4 side by the pressing head 42 with almost one and the same pressure, and reliability of the connections can be improved by almost equally crushing the conductive particles 26, for example, preventing crushing unevenness of the conductive particles 26 sandwiched between the substrate side input-output terminals 11a, 14a and the driver side input-output terminals 23, 24. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、パーソナルコンピュータや携帯電話機等の電子機器に用いられる電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置及び実装構造体の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing an electro-optical device used in an electronic apparatus such as a personal computer or a cellular phone, a manufacturing apparatus for an electro-optical device, and a method for manufacturing a mounting structure.

従来、パーソナルコンピュータや携帯電話機等といった電子機器の表示装置として電気光学装置としての例えば液晶装置等が用いられている。この液晶装置等には、例えば、基板とICチップとの間にACF(anisotropic conductive film)等を介してフリップチップ方式でICチップが実装されているが、ICチップの入力バンプと出力バンプとの中心と、ICチップの外形の中心とが異なる場合には、加圧ヘッドによりICチップを押圧するときに入出力バンプを均一に押圧することが難しく入出力バンプの接続信頼性が低下する、という問題があった。   Conventionally, for example, a liquid crystal device or the like as an electro-optical device has been used as a display device of an electronic apparatus such as a personal computer or a mobile phone. In this liquid crystal device or the like, for example, an IC chip is mounted between a substrate and an IC chip by an ACF (an anisotropic conductive film) or the like in a flip chip method. If the center is different from the center of the outer shape of the IC chip, it is difficult to press the input / output bumps uniformly when the IC chip is pressed by the pressure head, and the connection reliability of the input / output bumps is reduced. There was a problem.

この問題を解決するために、例えば加圧ヘッドの中心が、入力バンプ列と出力バンプ列との中心線に略一致する状態で、加圧ヘッドによりICチップを押圧しようとする技術が開示されている。(例えば、特許文献1参照。)。
特開2000−340163号公報(段落[0028]、図2)。
In order to solve this problem, for example, a technique is disclosed in which the IC chip is pressed by the pressure head in a state where the center of the pressure head substantially coincides with the center line of the input bump row and the output bump row. Yes. (For example, refer to Patent Document 1).
JP 2000-340163 (paragraph [0028], FIG. 2).

しかしながら、上述した技術では、導電接続の信頼性を向上させることができるものの、例えば、出力バンプに比べて入力バンプの数が少なく、出力バンプが配置される領域に占める出力バンプの面積の割合が、入力バンプが配置される領域に占める入力バンプの面積の割合より大きくなっている、すなわち、入力バンプは疎に、出力バンプは密に設けられているため、実装時に出力バンプ1つ当たりにかかる圧力が、入力バンプ1つ当たりにかかる圧力より小さくなり、入出力バンプや導電粒子の潰れムラが生じ接続信頼性が低下する、という問題がある。   However, although the above-described technique can improve the reliability of the conductive connection, for example, the number of input bumps is smaller than the output bumps, and the ratio of the area of the output bumps to the area where the output bumps are arranged is The area of the input bump is larger than the ratio of the area of the input bump, that is, the input bump is sparse and the output bump is densely provided. There is a problem that the pressure becomes smaller than the pressure applied to each input bump, the input / output bumps and the conductive particles are crushed unevenly, and the connection reliability is lowered.

本発明は、上述の課題に鑑みてなされるもので、電子部品の複数の端子のそれぞれを略同じ圧力で押圧し接続信頼性を向上させることができる電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置及び実装構造体の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems. An electro-optical device manufacturing method and an electro-optical device capable of improving connection reliability by pressing each of a plurality of terminals of an electronic component with substantially the same pressure. An object is to provide a manufacturing apparatus and a manufacturing method of a mounting structure.

上記目的を達成するために、本発明の主たる観点に係る電気光学装置の製造方法は、複数の端子を有する電子部品を基板上に押圧部材により押圧して実装する電気光学装置の製造方法において、前記複数の端子のそれぞれで単位面積当りに等しい力が掛かるように、前記電子部品と前記押圧部材とをアライメントする工程と、前記アライメントする工程によりアライメントされた前記押圧部材により前記電子部品を前記基板に圧着する工程とを具備することを特徴とする。   In order to achieve the above object, a method for manufacturing an electro-optical device according to a main aspect of the present invention is a method for manufacturing an electro-optical device in which an electronic component having a plurality of terminals is mounted on a substrate by being pressed by a pressing member. The step of aligning the electronic component and the pressing member so that an equal force per unit area is applied to each of the plurality of terminals, and the electronic component by the pressing member aligned by the aligning step. And a step of pressure-bonding to the substrate.

本発明では、複数の端子のそれぞれで単位面積当りに等しい力が掛かるように、電子部品と押圧部材とをアライメントする工程と、アライメントする工程によりアライメントされた押圧部材により電子部品を基板に圧着する工程とを備えているので、例えば基板側と電子部品の複数の端子とを例えば導電粒子を含む接着材を介して圧着するときに、複数の端子の配設状態に依存せずに、複数の端子をそれぞれ略同じ圧力で押圧部材により基板側に押圧することができ、それぞれの導電粒子の潰れが略等しくして、例えば基板側と電子部品の複数の端子とに挟まれた導電粒子の潰れムラを防止することができ、潰れムラが大きいときに接触面積が小さくなり接続不良が生じたのに対して、確実に電子部品の複数の端子を基板側に接続することで、接続の信頼性を向上させることができる。   In the present invention, the step of aligning the electronic component and the pressing member so that an equal force per unit area is applied to each of the plurality of terminals, and the electronic component is pressure-bonded to the substrate by the pressing member aligned by the alignment step. For example, when crimping the substrate side and the plurality of terminals of the electronic component through, for example, an adhesive containing conductive particles, the plurality of terminals are not dependent on the arrangement state of the plurality of terminals. Each terminal can be pressed to the substrate side by a pressing member with substantially the same pressure, and the respective conductive particles are crushed approximately equally, for example, the conductive particles crushed between the substrate side and a plurality of terminals of the electronic component. Unevenness can be prevented, and when the unevenness of deformation is large, the contact area is reduced and connection failure occurs, but by securely connecting multiple terminals of electronic components to the board side It is possible to improve the reliability of the connection.

また、導電粒子を含まない接着材を介して電子部品を圧着するときにも、例えば複数の端子の配設状態に依存せずに、電子部品の複数の端子のそれぞれを略同じ圧力で押圧することができ、例えば各端子の潰れムラを防止して、各端子と基板側との接続の信頼性を向上させることができる。   Also, when an electronic component is crimped via an adhesive that does not contain conductive particles, for example, each of the plurality of terminals of the electronic component is pressed with substantially the same pressure without depending on the arrangement state of the plurality of terminals. For example, it is possible to prevent crushing unevenness of each terminal, and to improve the reliability of connection between each terminal and the substrate side.

本発明の主たる観点に係る電気光学装置の製造方法は、複数の端子を有する電子部品を基板上に押圧部材により押圧して実装する電気光学装置の製造方法において、前記電子部品と前記押圧部材とをアライメントする工程と、前記アライメントする工程によりアライメントされた前記押圧部材により前記電子部品を前記基板に圧着する工程とを具備し、前記アライメントする工程は、iを1〜nの自然数、nを前記電子部品の端子の個数、それぞれの前記端子の面積を面積Si、それぞれの前記面積の単位面積当りに掛かる等しい圧力を圧力Pとするときに、前記複数の端子に働くそれぞれの力Fi(=P・Si)のモーメントの合計が零になる点である中心点に、前記押圧部材の押圧中心を一致させることを特徴とする。なお、電子部品の端子の個数nには、実際に基板側の配線に接続される端子の他に、例えば実際に基板側の配線に接続されていないダミー端子を含んでいてもよい。ここで、押圧中心とは、例えば押圧部材により電子部品を押圧したときに、電子部品の複数箇所に押圧力が作用する場合に、これらの押圧力の合力の作用線の位置をいう。   An electro-optical device manufacturing method according to a main aspect of the present invention is an electro-optical device manufacturing method in which an electronic component having a plurality of terminals is mounted on a substrate by pressing the electronic component with the pressing member. And the step of pressure-bonding the electronic component to the substrate by the pressing member aligned by the aligning step, wherein the aligning step includes i as a natural number from 1 to n, and n as the When the number of terminals of the electronic component, the area of each of the terminals is area Si, and the pressure P is an equal pressure applied per unit area of each of the areas, each force Fi (= P The pressing center of the pressing member is made to coincide with the center point that is the point where the sum of moments of Si) becomes zero. Note that the number n of terminals of the electronic component may include, for example, dummy terminals that are not actually connected to the wiring on the substrate side in addition to the terminals that are actually connected to the wiring on the substrate side. Here, the pressing center refers to the position of the line of action of the resultant force of the pressing force when the pressing force is applied to a plurality of locations of the electronic component when the electronic component is pressed by a pressing member, for example.

本発明では、電子部品と押圧部材とをアライメントする工程と、アライメントする工程によりアライメントされた押圧部材により電子部品を基板に圧着する工程とを具備し、アライメントする工程は、iを1〜nの自然数、nを電子部品の端子の個数、それぞれの端子の面積を面積Si、それぞれの面積の単位面積当りに掛かる等しい圧力を圧力Pとするときに、複数の端子に働くそれぞれの力Fi(=P・Si)のモーメントの合計が零になる点である中心点に、押圧部材の押圧中心を一致させるので、例えば基板側と電子部品の複数の端子とを例えば導電粒子を含む接着材を介して圧着するときに、複数の端子に働くそれぞれの力Fi(=P・Si)の中心点に関するモーメントが釣り合う状態となり、複数の端子をそれぞれ確実に同じ圧力で押圧部材により基板側に押圧することができ、例えば導電粒子の潰れムラを防止して、確実に電子部品の複数の端子を基板側に接続することができる。   In this invention, it comprises the process of aligning an electronic component and a pressing member, and the process of crimping | bonding an electronic component to a board | substrate with the pressing member aligned by the process of aligning, and the process of aligning i is 1-n. When a natural number, n is the number of terminals of an electronic component, an area of each terminal is an area Si, and an equal pressure applied per unit area of each area is a pressure P, each force Fi (= Since the center of pressing of the pressing member coincides with the center point where the sum of the moments of P · Si) becomes zero, for example, the substrate side and the plurality of terminals of the electronic component are connected, for example, via an adhesive containing conductive particles. When the pressure is applied, the moments about the center points of the forces Fi (= P · Si) acting on the plurality of terminals are balanced, and the plurality of terminals are surely the same. It can be pressed against the substrate side by the pressing member with a force, for example, to prevent collapse unevenness of the conductive particles reliably a plurality of terminals of the electronic component can be connected to the substrate side.

本発明の一の形態によれば、前記中心点は、前記端子の面積の中心の位置が前記電子部品の前記複数の端子を有する能動面での任意の点に対する二方向の座標により位置xi及び位置yiで表されるときに、下記の式、xi=(F1・x1+F2・x2+・・・+Fn・xn)/(F1+F2+・・・+Fn)、 yi=(F1・y1+F2・y2+・・・+Fn・yn)/(F1+F2+・・・+Fn)により求められることを特徴とする。これにより、中心点は、端子の面積の中心の位置が電子部品の複数の端子を有する能動面での任意の点に対する二方向の座標により位置xi及び位置yiで表されるときに、下記の式、xi=(F1・x1+F2・x2+・・・+Fn・xn)/(F1+F2+・・・+Fn)、yi=(F1・y1+F2・y2+・・・+Fn・yn)/(F1+F2+・・・+Fn)により求められるので、電子部品が異なる位置xi、yiに異なる面積Siの端子を複数備えている場合に、上記式にxi、yi及びFi(=P・Si)の各値を代入することで容易かつ正確に、中心点を求めることができ、中心点を押圧部材により正確に押圧することで、電子部品の各端子をそれぞれ略同じ圧力で押圧でき接続の信頼性を向上させることができる。   According to an aspect of the present invention, the center point has a position xi and a position of the center of the area of the terminal by a coordinate in two directions with respect to an arbitrary point on the active surface having the plurality of terminals of the electronic component. When represented by the position yi, the following formula, xi = (F1 · x1 + F2 · x2 + ... + Fn · xn) / (F1 + F2 + ... + Fn), yi = (F1 · y1 + F2 · y2 + ... + Fn · yn) / (F1 + F2 +... + Fn). Thereby, when the center position of the area of the terminal is represented by the position xi and the position yi by the coordinates in two directions with respect to an arbitrary point on the active surface having a plurality of terminals of the electronic component, Xi = (F1 · x1 + F2 · x2 +... + Fn · xn) / (F1 + F2 +... + Fn), yi = (F1 · y1 + F2 · y2 +... + Fn · yn) / (F1 + F2 +... + Fn) Therefore, when the electronic component has a plurality of terminals having different areas Si at different positions xi and yi, it is easy to substitute each value of xi, yi and Fi (= P · Si) into the above formula and The center point can be accurately obtained, and by accurately pressing the center point by the pressing member, each terminal of the electronic component can be pressed with substantially the same pressure, and the connection reliability can be improved.

本発明の一の形態によれば、前記複数の端子は、前記電子部品の能動面側に設けられた第1の個数の入力端子と、前記能動面に設けられた前記第1の個数より多い第2の個数の出力端子とを有することを特徴とする。これにより、複数の端子は、電子部品の能動面側に設けられた第1の個数の入力端子と、能動面に設けられた第1の個数より多い第2の個数の出力端子とを有するので、押圧部材をアライメントする工程では、例えば入力端子と出力端子とが略平行に設けられている場合には、例えば入力端子の第1の個数に対する出力端子の第2の個数の比率が大きくなるにつれて、入力端子より出力端子により近い位置に中心点を移すようにすることで、複数の入出力端子をそれぞれ略同じ圧力で押圧部材により基板側に押圧することができ、出力端子側の接着材中の導電粒子の潰れが小さくなることを防止し、入力端子、出力端子と、基板側との接続信頼性を向上させることができる。   According to an aspect of the present invention, the plurality of terminals are greater than the first number of input terminals provided on the active surface side of the electronic component and the first number provided on the active surface. And a second number of output terminals. Thus, the plurality of terminals have a first number of input terminals provided on the active surface side of the electronic component and a second number of output terminals greater than the first number provided on the active surface. In the step of aligning the pressing member, for example, when the input terminal and the output terminal are provided substantially in parallel, for example, as the ratio of the second number of output terminals to the first number of input terminals increases. By moving the center point closer to the output terminal than the input terminal, each of the plurality of input / output terminals can be pressed to the substrate side by the pressing member with substantially the same pressure, and the adhesive on the output terminal side It is possible to prevent the conductive particles from being crushed, and to improve the connection reliability between the input terminal, the output terminal, and the substrate side.

本発明の一の形態によれば、前記複数の端子は、前記電子部品の能動面で第1の面積を占める入力端子と、前記能動面で前記第1の面積より大きい第2の面積を占める出力端子とを有することを特徴とする。これにより、複数の端子は、電子部品の能動面で第1の面積を占める入力端子と、能動面で第1の面積より大きい第2の面積を占める出力端子とを有するので、複数の入出力端子をそれぞれ略同じ圧力で押圧部材により基板側に押圧することができるようにして、出力端子側の接着材中の導電粒子の潰れが小さくなることを防止し、入力端子、出力端子と、基板側との接続信頼性を向上させることができる。   According to an aspect of the present invention, the plurality of terminals occupy a first area on the active surface of the electronic component and a second area larger than the first area on the active surface. And an output terminal. Accordingly, the plurality of terminals include an input terminal occupying the first area on the active surface of the electronic component and an output terminal occupying a second area larger than the first area on the active surface. Each of the terminals can be pressed to the substrate side by a pressing member with substantially the same pressure to prevent the conductive particles in the adhesive on the output terminal side from being crushed, the input terminal, the output terminal, and the substrate The connection reliability with the side can be improved.

本発明の一の形態によれば、前記端子は、前記電子部品の能動面上に設けられた弾性部材からなる突状部と、前記突状部の突出側を覆う導電部材とを有することを特徴とする。これにより、端子は、電子部品の能動面上に設けられた弾性部材からなる突状部と、突状部の突出側を覆う導電部材とを有するので、圧着する工程で突状部を弾性変形させることができ、例えば導電部材と基板側とを確実に接続することができる。また、圧着後に、例えば外力等により電子部品と基板との距離が大きくなっても突状部が弾性変形することで追従し端子と基板側との接続を確保することができる。   According to one form of this invention, the said terminal has a protrusion part which consists of an elastic member provided on the active surface of the said electronic component, and a conductive member which covers the protrusion side of the said protrusion part. Features. Thereby, since the terminal has a protruding portion made of an elastic member provided on the active surface of the electronic component and a conductive member that covers the protruding side of the protruding portion, the protruding portion is elastically deformed in the step of pressure bonding. For example, the conductive member and the substrate side can be reliably connected. Further, after the crimping, for example, even if the distance between the electronic component and the substrate is increased by an external force or the like, the protruding portion can be elastically deformed to follow and secure the connection between the terminal and the substrate side.

本発明の一の形態によれば、前記端子は、前記電子部品の能動面上に設けられた導電性の突状部を有することを特徴とする。これにより、端子は、電子部品の能動面上に設けられた導電性の突状部を有するので、基板側と電子部品の複数の導電性の突状部とを例えば導電粒子を含む接着材を介して圧着するときに、複数の導電性の突状部をそれぞれ略同じ圧力で押圧部材により基板側に押圧することができ、それぞれの突状部の潰れを略等しくして、例えば基板側と電子部品の複数の導電性の突状部とに挟まれた導電粒子の潰れムラを防止することができ、潰れムラが大きいときに接触面積が小さくなり接続不良が生じたのに対して、確実に電子部品の複数の端子を基板側に接続することで、接続の信頼性を向上させることができる。   According to an aspect of the present invention, the terminal includes a conductive protrusion provided on the active surface of the electronic component. Thereby, since the terminal has conductive protrusions provided on the active surface of the electronic component, the substrate side and the plurality of conductive protrusions of the electronic component are, for example, made of an adhesive containing conductive particles. The plurality of conductive protrusions can be pressed to the substrate side by a pressing member at substantially the same pressure, and the protrusions can be substantially crushed, for example, It is possible to prevent crushing unevenness of the conductive particles sandwiched between the plurality of conductive protrusions of the electronic component, and when the crushing unevenness is large, the contact area is reduced, resulting in poor connection. Further, the connection reliability can be improved by connecting a plurality of terminals of the electronic component to the substrate side.

本発明の他の観点に係る実装構造体の製造方法は、複数の端子を有する被接続部材を基板上に押圧部材により押圧して実装する実装構造体の製造方法において、前記複数の端子のそれぞれで単位面積当りに等しい力が掛かるように前記押圧部材をアライメントする工程と、前記アライメントする工程によりアライメントされた前記押圧部材により前記被接続部材を前記基板に圧着する工程とを具備することを特徴とする。   A mounting structure manufacturing method according to another aspect of the present invention is a mounting structure manufacturing method in which a connected member having a plurality of terminals is mounted on a substrate by pressing with a pressing member. And the step of aligning the pressing member so that an equal force per unit area is applied, and the step of pressing the member to be connected to the substrate by the pressing member aligned in the aligning step. And

ここで、「基板」とは、例えばガラス基板、フレキシブル基板等を含む。   Here, the “substrate” includes, for example, a glass substrate, a flexible substrate, and the like.

本発明では、複数の端子のそれぞれで単位面積当りに等しい力が掛かるように押圧部材をアライメントする工程と、アライメントする工程によりアライメントされた押圧部材により被接続部材を基板に圧着する工程とを備えているので、例えば基板側と被接続部材の複数の端子とを例えば導電粒子を含む接着材を介して圧着するときに、複数の端子の配設状態に依存せずに、複数の端子をそれぞれ略同じ圧力で押圧部材により基板側に押圧することができ、それぞれの導電粒子の潰れを略同じにして、例えば基板側と被接続部材の複数の端子とに挟まれた導電粒子の潰れムラを防止することができ、潰れムラが大きいときに接触面積が小さくなって接続不良が生じたのに対して、確実に被接続部材の複数の端子を基板側に接続することで、接続の信頼性を向上させることができる。   The present invention includes a step of aligning the pressing member so that an equal force per unit area is applied to each of the plurality of terminals, and a step of crimping the connected member to the substrate by the pressing member aligned by the aligning step. Therefore, for example, when crimping the substrate side and the plurality of terminals of the connected member via, for example, an adhesive containing conductive particles, the plurality of terminals are respectively independent of the arrangement state of the plurality of terminals. The pressing member can be pressed to the substrate side with substantially the same pressure, and the crushing of each conductive particle is made substantially the same, for example, the crushing unevenness of the conductive particles sandwiched between the substrate side and the plurality of terminals of the connected member is reduced. When the unevenness of crushing is large, the contact area is reduced and connection failure occurs.On the other hand, it is possible to securely connect the plurality of terminals of the connected member to the board side. Thereby improving the reliability.

また、導電粒子を含まない接着材を介して被接続部材を圧着するときにも、例えば複数の端子の配設状態に依存せずに、被接続部材の複数の端子のそれぞれを略同じ圧力で押圧することができ、例えば各端子の潰れムラを防止することができ、各端子と基板側との接続の信頼性を向上させることができる。従って、被接着部材が例えば可撓性基板である場合には、可撓性基板の端子と基板側との接続信頼性を向上させることができる。   Also, when crimping the connected member via an adhesive that does not contain conductive particles, for example, without depending on the arrangement state of the plurality of terminals, each of the plurality of terminals of the connected member is applied at substantially the same pressure. For example, it is possible to prevent crushing unevenness of each terminal, and to improve the reliability of connection between each terminal and the substrate side. Therefore, when the adherend is a flexible substrate, for example, the connection reliability between the terminals of the flexible substrate and the substrate side can be improved.

本発明の他の観点に係る電気光学装置の製造装置は、複数の端子を有する電子部品が基板上に押圧部材により押圧されて実装された電気光学装置の製造装置において、前記複数の端子のそれぞれで単位面積当りに等しい力が掛かるように前記押圧部材をアライメントする位置制御部と、前記位置制御部によりアラインメトされ前記電子部品を前記基板に圧着する押圧部材とを具備することを特徴とする。   An electro-optical device manufacturing apparatus according to another aspect of the present invention is an electro-optical device manufacturing apparatus in which an electronic component having a plurality of terminals is mounted on a substrate by being pressed by a pressing member. And a position control unit that aligns the pressing member so that an equal force per unit area is applied, and a pressing member that is aligned by the position control unit and press-bonds the electronic component to the substrate.

本発明では、複数の端子のそれぞれで単位面積当りに等しい力が掛かるように押圧部材をアライメントする位置制御部と、位置制御部によりアラインメトされ電子部品を基板に圧着する押圧部材とを備えているので、例えば基板側と電子部品の複数の端子とを例えば導電粒子を含む接着材を介して圧着するときに、複数の端子の配設状態に依存せずに、複数の端子をそれぞれ略同じ圧力で押圧部材により基板側に押圧することができ、それぞれの導電粒子の潰れを略同じにして、例えば基板側と電子部品の複数の端子とに挟まれた導電粒子の潰れムラを防止することができ、潰れムラが大きいときに接触面積が小さくなって接続不良が生じたのに対して、確実に電子部品の複数の端子を基板側に接続することで、接続の信頼性に優れた電気光学装置を製造することができる。   The present invention includes a position control unit that aligns the pressing member so that an equal force per unit area is applied to each of the plurality of terminals, and a pressing member that is aligned by the position control unit and presses the electronic component to the substrate. Therefore, for example, when crimping the substrate side and the plurality of terminals of the electronic component via, for example, an adhesive containing conductive particles, the plurality of terminals are substantially at the same pressure without depending on the arrangement state of the plurality of terminals. Can be pressed to the substrate side by the pressing member, and the crushing of the respective conductive particles can be made substantially the same, for example, to prevent uneven crushing of the conductive particles sandwiched between the substrate side and the plurality of terminals of the electronic component. The contact area is reduced and the connection failure occurs when the unevenness of deformation is large, but by connecting multiple terminals of the electronic component to the board side reliably, electric light with excellent connection reliability It is possible to manufacture the equipment.

また、導電粒子を含まない接着材を介して電子部品を圧着するときにも、例えば複数の端子の配設状態に依存せずに、電子部品の複数の端子のそれぞれを略同じ圧力で押圧することができ、例えば各端子の潰れムラを防止することができ、各端子と基板側との接続の信頼性に優れた電気光学装置を製造することができる。   Also, when an electronic component is crimped via an adhesive that does not contain conductive particles, for example, each of the plurality of terminals of the electronic component is pressed with substantially the same pressure without depending on the arrangement state of the plurality of terminals. For example, it is possible to prevent crushing unevenness of each terminal, and it is possible to manufacture an electro-optical device having excellent connection reliability between each terminal and the substrate side.

以下、本発明に係る実施形態を図面に基づき説明する。なお、以下実施形態を説明するにあたっては、電気光学装置としての液晶装置、具体的には反射半透過型のTFT(Thin Film Transistor)アクティブマトリックス方式の液晶装置、また、その液晶装置を用いた電子機器、及び液晶装置の製造装置のドライバIC実装装置について説明するが、これに限られるものではない。また、以下の図面においては各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。   Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following description of the embodiments, a liquid crystal device as an electro-optical device, specifically, a reflective transflective TFT (Thin Film Transistor) active matrix liquid crystal device, and an electronic device using the liquid crystal device The device and the driver IC mounting device of the liquid crystal device manufacturing apparatus will be described, but the present invention is not limited to this. Moreover, in the following drawings, in order to make each structure easy to understand, the actual structure and the scale and number of each structure are different.

(第1の実施形態)   (First embodiment)

図1は本発明に係る第1の実施形態の液晶装置の概略斜視図、図2は図1の液晶装置のA−A断面図、図3は図1の液晶装置のドライバICの平面図である。   1 is a schematic perspective view of a liquid crystal device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA of the liquid crystal device of FIG. 1, and FIG. 3 is a plan view of a driver IC of the liquid crystal device of FIG. is there.

(液晶装置の構成)   (Configuration of liquid crystal device)

液晶装置1は、液晶パネル2と、液晶パネル2に接続された回路基板3とを備えている。なお、液晶装置1は、液晶パネル2を支持する図示を省略したフレーム等のその他の付帯機構が必要に応じて付設される。   The liquid crystal device 1 includes a liquid crystal panel 2 and a circuit board 3 connected to the liquid crystal panel 2. The liquid crystal device 1 is provided with other auxiliary mechanisms such as a frame (not shown) that supports the liquid crystal panel 2 as necessary.

液晶パネル2は、基板4と、基板4に対向するように設けられた基板5と、基板4、5の間に設けられたシール材6及び基板4、5により封止された図示しない液晶とを備えている。液晶には、例えばTN(Twisted Nematic)が用いられている。   The liquid crystal panel 2 includes a substrate 4, a substrate 5 provided to face the substrate 4, a sealing material 6 provided between the substrates 4 and 5, and a liquid crystal (not shown) sealed by the substrates 4 and 5. It has. For example, TN (Twisted Nematic) is used for the liquid crystal.

基板4及び基板5は、例えばガラスや合成樹脂といった透光性を有する材料からなる板状部材である。基板4の液晶側には、ゲート電極7、ソース電極8、薄膜トランジスタ素子T及び画素電極9が形成されており、基板5の液晶側には、共通電極5aが形成されている。   The substrate 4 and the substrate 5 are plate-shaped members made of a light-transmitting material such as glass or synthetic resin. A gate electrode 7, a source electrode 8, a thin film transistor element T and a pixel electrode 9 are formed on the liquid crystal side of the substrate 4, and a common electrode 5 a is formed on the liquid crystal side of the substrate 5.

ゲート電極7はX方向に、ソース電極8はY方向に、それぞれ例えばアルミニウム等の金属材料等によって形成されている。ソース電極8は、例えば図1に示すように上半分が左側に、下半分が右側に引き回されて形成されている。なお、ゲート電極7及びソース電極8の本数は、液晶装置1の解像度や表示領域の大きさに応じて適宜変更可能である。   The gate electrode 7 is formed in the X direction, and the source electrode 8 is formed in the Y direction, for example, by a metal material such as aluminum. The source electrode 8 is formed, for example, as shown in FIG. 1, with the upper half routed to the left side and the lower half routed to the right side. Note that the number of the gate electrodes 7 and the source electrodes 8 can be appropriately changed according to the resolution of the liquid crystal device 1 and the size of the display area.

薄膜トランジスタ素子Tは、ゲート電極7、ソース電極8及び画素電極9にそれぞれ電気的に接続される3つの端子を備えている。薄膜トランジスタ素子Tは画素電極9、ゲート電極7、ソース電極8に電気的に接続されている。これにより、ゲート電極7に電圧を印加したときにソース電極8から画素電極9に又はその逆に電流が流れるように構成されている。   The thin film transistor element T includes three terminals that are electrically connected to the gate electrode 7, the source electrode 8, and the pixel electrode 9, respectively. The thin film transistor element T is electrically connected to the pixel electrode 9, the gate electrode 7, and the source electrode 8. Thus, a current flows from the source electrode 8 to the pixel electrode 9 or vice versa when a voltage is applied to the gate electrode 7.

また、基板4は、基板5の外縁から張り出した領域(以下、「張り出し部」と表記する)4aを備えている。張り出し部4aの面上には、入力配線11〜13、出力配線14〜16が付設されていると共に、例えば液晶を駆動するためのドライバIC17、18及び19が実装されている。   In addition, the substrate 4 includes a region (hereinafter referred to as “projected portion”) 4 a that projects from the outer edge of the substrate 5. On the surface of the overhanging portion 4a, input wirings 11 to 13 and output wirings 14 to 16 are attached, and driver ICs 17, 18 and 19 for driving liquid crystal, for example, are mounted.

入力配線11は、図2に示す一端部の基板側入力端子11aがドライバIC17の図2に示す入力端子23に接続され、他端部11bが回路基板3の可撓性基材31に付設された配線36に図示しないACF等を介して接続されている。なお、入力配線12、13は、それぞれ一端部の図示しない入力端子がドライバIC18、19の図示しない入力端子に接続される等している。   In the input wiring 11, the board side input terminal 11 a at one end shown in FIG. 2 is connected to the input terminal 23 shown in FIG. 2 of the driver IC 17, and the other end 11 b is attached to the flexible base 31 of the circuit board 3. The wiring 36 is connected via an ACF or the like (not shown). The input wirings 12 and 13 have input terminals (not shown) at one ends connected to input terminals (not shown) of the driver ICs 18 and 19, respectively.

出力配線14は、図2に示す一端部の出力端子14aがドライバIC17の図2に示す出力端子24に接続されており、他端部が図1に示すゲート電極7に繋がっている。なお、出力配線15、16は、一端部の図示しない出力端子がそれぞれドライバIC18、19の図示しない出力端子に接続される等している。   The output wiring 14 has an output terminal 14a at one end shown in FIG. 2 connected to the output terminal 24 shown in FIG. 2 of the driver IC 17, and the other end connected to the gate electrode 7 shown in FIG. The output wirings 15 and 16 have output terminals (not shown) at one end connected to output terminals (not shown) of the driver ICs 18 and 19, respectively.

ドライバIC17は、図2に示すように、ドライバIC17と、基板4との間に設けられた例えばACF25等の接着材により基板4に接着されている。ACF25は、例えば樹脂製の弾性粒子が金属膜により被覆された導電粒子26を含んでいる。   As shown in FIG. 2, the driver IC 17 is bonded to the substrate 4 with an adhesive such as ACF 25 provided between the driver IC 17 and the substrate 4. The ACF 25 includes conductive particles 26 in which, for example, resin-made elastic particles are covered with a metal film.

ドライバIC17は、図2に示すように、シリコンチップ20と、シリコンチップ20の基板4と対向する能動面20a側に設けられた例えばアルミニウム製の電極パッド21、電極パッド22と、電極パッド21、22にそれぞれ接続されドライバIC17の能動面20a側に突設された複数のドライバ側入力端子23、複数のドライバ側出力端子24とを備えている。   As shown in FIG. 2, the driver IC 17 includes, for example, an aluminum electrode pad 21, an electrode pad 22, an electrode pad 21, and an electrode pad 21 provided on the active surface 20 a side facing the substrate 4 of the silicon chip 20. 22 are provided with a plurality of driver side input terminals 23 and a plurality of driver side output terminals 24 which are respectively connected to the active surface 20a side of the driver IC 17 and are projected.

シリコンチップ20は、図2に示すように例えば略矩形状のチップであり、電極パッド21、22に接続された図示を省略した配線等を備えている。この配線は、例えばシリコンチップ20内に設けられたトランジスタ等の電子部品に接続されている。   As shown in FIG. 2, the silicon chip 20 is a substantially rectangular chip, for example, and includes wiring and the like that are connected to the electrode pads 21 and 22 and are not shown. This wiring is connected to an electronic component such as a transistor provided in the silicon chip 20, for example.

電極パッド21、22は、シリコンチップ20の能動面20a側にY方向に配列して設けられている。   The electrode pads 21 and 22 are arranged in the Y direction on the active surface 20 a side of the silicon chip 20.

ドライバ側入力端子23、ドライバ側出力端子24は、それぞれ図2に示す電極パッド21、22に接続されて図3に示すようにそれぞれY方向に配列して設けられている。   The driver side input terminal 23 and the driver side output terminal 24 are respectively connected to the electrode pads 21 and 22 shown in FIG. 2 and arranged in the Y direction as shown in FIG.

ドライバ側出力端子24の個数は、ドライバ側入力端子23の個数より多くなっている。本実施形態では、説明を簡略化するために、ドライバ側入力端子23の個数が例えば8個、ドライバ側出力端子24の個数が例えば20個の例を示すが、これらの個数は限定されず、例えば、ドライバ側入力端子23の個数が約200個、ドライバ側出力端子24の個数が約1040個等の場合であってもよい。   The number of driver side output terminals 24 is larger than the number of driver side input terminals 23. In the present embodiment, in order to simplify the description, an example in which the number of driver-side input terminals 23 is, for example, 8 and the number of driver-side output terminals 24 is, for example, 20 is shown, but the number is not limited. For example, the number of driver side input terminals 23 may be about 200, and the number of driver side output terminals 24 may be about 1040.

ドライバ側入力端子23と、基板側入力端子11aとが接続された面積Si(i=1〜8)は、図3に示すように、例えば、ドライバ側出力端子24と、基板側出力端子14aとが接続された面積Si(i=9〜28)より大きくなるように設定されている。例えば、本実施形態では、説明を簡略化するために、面積Si(i=1〜8)が、面積Si(i=9〜28)の例えば2倍に設定されている場合について説明する。なお、この面積の比(倍率)についても特に限定されるものではない。この面積Siは、例えばACF25の複数の導電粒子26と各ドライバ側入力端子23とが接続されているそれぞれの面積やACF25の複数の導電粒子26と各ドライバ側出力端子24とが接続されているそれぞれの面積である。   As shown in FIG. 3, the area Si (i = 1 to 8) where the driver side input terminal 23 and the board side input terminal 11a are connected is, for example, the driver side output terminal 24 and the board side output terminal 14a. Is set to be larger than the connected area Si (i = 9 to 28). For example, in the present embodiment, in order to simplify the description, a case where the area Si (i = 1 to 8) is set to, for example, twice the area Si (i = 9 to 28) will be described. The area ratio (magnification) is not particularly limited. The area Si is, for example, the area where the plurality of conductive particles 26 of the ACF 25 are connected to each driver-side input terminal 23, or the area where the plurality of conductive particles 26 of the ACF 25 are connected to each driver-side output terminal 24. Each area.

ドライバ側入力端子23の位置Ri(xi,yi)(i=1〜8)は、例えばドライバIC17の外径の図3に示す左下角を原点としたときに、面積Siの中心の位置Ri(xi,yi)で表される。ドライバ側出力端子24の位置Ri(xi,yi)(i=9〜28)は、例えば面積Si(i=9〜28)の中心の位置で表される。   The position Ri (xi, yi) (i = 1 to 8) of the driver side input terminal 23 is, for example, the position Ri (the center of the area Si when the origin is the lower left corner of the outer diameter of the driver IC 17 shown in FIG. xi, yi). The position Ri (xi, yi) (i = 9 to 28) of the driver side output terminal 24 is represented by the center position of the area Si (i = 9 to 28), for example.

このように、入力配線11からドライバIC17に入力された信号をドライバIC17を介して出力配線14に出力し液晶を駆動することができるように構成されている。なお、ドライバ側入力端子23、ドライバ側出力端子24のY方向の幅が、それぞれ基板側入力端子11a、基板側出力端子14aの幅と略等しい例を示したが大きくても小さくてもよい。   As described above, the liquid crystal can be driven by outputting a signal input from the input wiring 11 to the driver IC 17 to the output wiring 14 via the driver IC 17. In addition, although the width in the Y direction of the driver side input terminal 23 and the driver side output terminal 24 is substantially equal to the width of the board side input terminal 11a and the board side output terminal 14a, it may be larger or smaller.

回路基板3は、図1に示すように、張り出し部4aに例えば接着材等を介して接続されている。回路基板3は、可撓性基材31と、可撓性基材31に設けられた出力配線32、入力配線33と、例えばドライバIC17等を制御するために可撓性基材31に実装された半導体IC34とを備えている。可撓性基材31には、例えばこの他にも図示を省略した電源供給用の半導体IC等が実装されている。   As shown in FIG. 1, the circuit board 3 is connected to the overhanging portion 4a through an adhesive or the like, for example. The circuit board 3 is mounted on the flexible base material 31 in order to control the flexible base material 31, the output wiring 32 provided on the flexible base material 31, the input wiring 33, and the driver IC 17, for example. And a semiconductor IC 34. In addition to this, for example, a semiconductor IC for power supply (not shown) is mounted on the flexible base 31.

出力配線32は、図1に示すように、例えばX方向に引き回されており、その一端が、可撓性基材31に形成された図2に示すスルーホール内に設けられた接続部材37を介して可撓性基材31に付設された配線36の端部に接続されている。出力配線32の他端は、ACF等を介して半導体IC34の図示を省略した出力端子に接続されている。   As shown in FIG. 1, the output wiring 32 is routed in the X direction, for example, and one end of the output wiring 32 is provided in the through hole shown in FIG. 2 formed in the flexible base 31. Is connected to the end of the wiring 36 attached to the flexible base 31. The other end of the output wiring 32 is connected to an output terminal (not shown) of the semiconductor IC 34 via an ACF or the like.

入力配線33は、図1に示すように、例えばX方向に引き回されている。入力配線33の一端は、図1に示すように例えば半導体IC34の図示しない入力端子にACF等を介して接続されている。入力配線33の他端は、例えば図示しない外部装置に接続されている。   As shown in FIG. 1, the input wiring 33 is routed, for example, in the X direction. As shown in FIG. 1, one end of the input wiring 33 is connected to, for example, an input terminal (not shown) of the semiconductor IC 34 via an ACF or the like. The other end of the input wiring 33 is connected to an external device (not shown), for example.

次に、本実施形態の液晶装置1の製造時に用いられる液晶装置1の製造装置(ドライバIC実装装置を含む)について図面を参照して説明する。   Next, an apparatus for manufacturing the liquid crystal device 1 (including a driver IC mounting device) used when manufacturing the liquid crystal device 1 of the present embodiment will be described with reference to the drawings.

図4はドライバIC実装装置の概略断面図である。   FIG. 4 is a schematic sectional view of the driver IC mounting apparatus.

(液晶装置1の製造装置の構成)   (Configuration of manufacturing apparatus of liquid crystal device 1)

液晶装置1の製造装置は、ドライバIC17を実装する前の液晶パネルを製造するための図示を省略した液晶パネル製造装置、ドライバIC17等を実装するためのドライバIC実装装置40等を備えている。なお、ドライバIC17を実装する前の液晶パネル製造装置等については公知技術と同様なのでその説明を省略する。   The manufacturing apparatus for the liquid crystal device 1 includes a liquid crystal panel manufacturing apparatus (not shown) for manufacturing a liquid crystal panel before mounting the driver IC 17, a driver IC mounting apparatus 40 for mounting the driver IC 17, and the like. The liquid crystal panel manufacturing apparatus and the like before mounting the driver IC 17 are the same as those in the publicly known technology, and thus description thereof is omitted.

<ドライバIC実装装置40>   <Driver IC mounting device 40>

ドライバIC実装装置40は、図4に示すように、例えば基板側入出力端子11a、14aにACF25が貼り付けられた液晶パネル2を支持、固定可能なステージ41と、ドライバIC17等を圧着するための押圧部材としての圧着ヘッド42と、圧着ヘッド42を上下動させたり所定位置に位置合わせさせたりするための搬送部43とを備えている。   As shown in FIG. 4, the driver IC mounting apparatus 40 is used to press and bond the stage 41, the driver IC 17, and the like that can support and fix the liquid crystal panel 2 with the ACF 25 attached to the substrate side input / output terminals 11 a and 14 a, for example. A pressing head 42 as a pressing member, and a conveying portion 43 for moving the pressing head 42 up and down or aligning the pressing head 42 with a predetermined position.

ステージ41は、例えば液晶パネル2を下方から支持したり、固定したりすることができるように設けられている。   The stage 41 is provided, for example, so that the liquid crystal panel 2 can be supported or fixed from below.

圧着ヘッド42は、ドライバIC17を液晶パネル2に圧着することができるように、例えばステージ41に対して上下動可能に設けられている。圧着ヘッド42は、例えばドライバIC17等を押圧する側の面の中心に押圧中心Hが位置するように構成されている。押圧中心Hは、例えば圧着ヘッド42によりドライバIC17を押圧したときに、ドライバIC17の複数箇所に押圧力が作用する場合に、これらの押圧力の合力の作用線の位置である。   The crimping head 42 is provided so as to be movable up and down, for example, with respect to the stage 41 so that the driver IC 17 can be crimped to the liquid crystal panel 2. The crimping head 42 is configured such that the pressing center H is positioned at the center of the surface that presses the driver IC 17 or the like, for example. When the driver IC 17 is pressed by the crimping head 42, for example, when the pressing force is applied to a plurality of locations of the driver IC 17, the pressing center H is the position of the action line of the resultant force of these pressing forces.

搬送部43は、例えばステージ41に対して圧着ヘッド42の位置をXY方向に制御可能な搬送機構を備えている。   The transport unit 43 includes, for example, a transport mechanism that can control the position of the crimping head 42 in the XY directions with respect to the stage 41.

(液晶装置1の製造方法)   (Manufacturing method of the liquid crystal device 1)

次に、液晶装置1の製造装置を用いた液晶装置1の製造方法について図面を参照しながら説明する。   Next, a manufacturing method of the liquid crystal device 1 using the manufacturing apparatus of the liquid crystal device 1 will be described with reference to the drawings.

図5は第1の実施形態の液晶装置1の製造装置を用いた液晶装置1の製造工程を示すフローチャートである。なお、本実施形態では、ドライバIC17等を実装するための接着材を貼り付けるまでの液晶パネル2の製造工程については公知技術と同様なのでその説明を省略し、ドライバIC17の実装工程等(S1〜S4)について中心的に説明する。   FIG. 5 is a flowchart showing a manufacturing process of the liquid crystal device 1 using the manufacturing apparatus of the liquid crystal device 1 of the first embodiment. In the present embodiment, the manufacturing process of the liquid crystal panel 2 until the adhesive material for mounting the driver IC 17 and the like is attached is the same as that of the known technique, so that the description thereof is omitted, and the mounting process of the driver IC 17 and the like (S1 to S1). S4) will be mainly described.

まず、基板側入出力端子11a、14aを覆うようにACF25を貼り付けたドライバIC17実装前の液晶パネル2を、ドライバIC実装装置40のステージ41上にセットする(S1)。   First, the liquid crystal panel 2 before mounting the driver IC 17 with the ACF 25 attached so as to cover the substrate side input / output terminals 11a and 14a is set on the stage 41 of the driver IC mounting apparatus 40 (S1).

続いて、例えば手動等によりドライバIC17を張り出し部4aにセットする(S2)。すなわち、基板側入出力端子11a、14aと、ドライバ側入出力端子23、24とが対応するようにする。   Subsequently, the driver IC 17 is set on the overhanging portion 4a, for example, manually (S2). That is, the board side input / output terminals 11a and 14a correspond to the driver side input / output terminals 23 and 24.

次に、例えば、搬送部43により、図4に示すように圧着ヘッド42の重心である押圧中心Hを予め後述するように求めた押圧中心点C(xc、yc)にアライメントする(S3)。本実施形態の場合には、押圧中心点C(xc、yc)は、図6に示すように、例えばドライバIC17の外径の中心Qに対して右上にずれた位置である。   Next, for example, as shown in FIG. 4, the pressing center H, which is the center of gravity of the crimping head 42, is aligned with the pressing center point C (xc, yc) obtained in advance as described later (S 3). In the case of the present embodiment, the pressing center point C (xc, yc) is a position shifted to the upper right with respect to the center Q of the outer diameter of the driver IC 17, for example, as shown in FIG.

押圧中心点C(xc、yc)は、それぞれのドライバ側入出力端子23、24と基板側入出力端子11a、14aとが接続する面積Siと、面積Siの中心の位置Ri(xi,yi)とで定められる点である。   The pressing center point C (xc, yc) includes the area Si where the driver side input / output terminals 23 and 24 and the board side input / output terminals 11a and 14a are connected, and the center position Ri (xi, yi) of the area Si. It is a point determined by.

押圧中心点C(xc、yc)は、例えば圧着ヘッド42によりドライバIC17をその押圧中心点C(xc、yc)で押圧したときに基板側入出力端子11a、14aから複数のドライバ側入出力端子23、24に働くそれぞれの力Fiの押圧中心点C(xc、yc)に関するモーメントの合計が零になる位置である。   The pressing center point C (xc, yc) is a plurality of driver side input / output terminals from the board side input / output terminals 11a and 14a when the driver IC 17 is pressed by the pressing head 42 at the pressing center point C (xc, yc), for example. This is the position at which the sum of moments related to the pressing center point C (xc, yc) of each force Fi acting on 23 and 24 becomes zero.

すなわち、位置Ri(xi,yi)、面積Si、圧着ヘッド42による押圧時に基板4側から位置Ri(xi,yi)のドライバ側入出力端子23、24に働く力を力Fi(=Pi・Si)のときに、xy座標表示した押圧中心点C(xc、yc)は、   In other words, the position Fi (xi, yi), the area Si, and the force Fi (= Pi · Si) acting on the driver side input / output terminals 23 and 24 at the position Ri (xi, yi) from the substrate 4 side when pressed by the crimping head 42. ), The pressing center point C (xc, yc) displayed in the xy coordinates is

(xc,yc)={(F1・x1+F2・x2+・・・+Fn・xn)/(F1+F2+・・・+Fn),(F1・y1+F2・y2+・・・+Fn・yn)/(F1+F2+・・・+Fn)} ここで、iは1〜nの自然数、nはドライバ側入出力端子23、24の個数)により求められる。   (Xc, yc) = {(F1 · x1 + F2 · x2 + ... + Fn · xn) / (F1 + F2 + ... + Fn), (F1 · y1 + F2 · y2 + ... + Fn · yn) / (F1 + F2 + ... + Fn) Where i is a natural number of 1 to n, and n is the number of driver-side input / output terminals 23 and 24).

ここで、ドライバIC17を圧着ヘッド42により押圧するときに複数のドライバ側入出力端子23、24にかかる圧力Pi(i=1〜28)がそれぞれ略同じ圧力Pとなり(例えばFi=P・Si)、押圧中心点C(xc、yc)は、   Here, when the driver IC 17 is pressed by the crimping head 42, the pressure Pi (i = 1 to 28) applied to the plurality of driver side input / output terminals 23 and 24 becomes substantially the same pressure P (for example, Fi = P · Si). The pressing center point C (xc, yc) is

(xc,yc)={(S1・x1+S2・x2+・・・+Sn・xn)/(S1+S2+・・・+Sn),(S1・y1+S2・y2+・・・+Sn・yn)/(S1+S2+・・・+Sn)} ここで、iは1〜nの自然数、nはドライバ側入出力端子23、24の個数)により求められる。このとき、面積Siは、図6に示すドライバ側入出力端子23、24と、基板側入出力端子11a、14aとが対向する面積に略比例するので、この式中に面積Siを代入する代わりにこの対向する面積を代入するようにすればよい。   (Xc, yc) = {(S1 · x1 + S2 · x2 + ... + Sn · xn) / (S1 + S2 + ... + Sn), (S1 · y1 + S2 · y2 + ... + Sn · yn) / (S1 + S2 + ... + Sn) Where i is a natural number of 1 to n, and n is the number of driver-side input / output terminals 23 and 24). At this time, the area Si is approximately proportional to the area where the driver side input / output terminals 23 and 24 and the board side input / output terminals 11a and 14a shown in FIG. 6 are opposed to each other. This opposing area may be substituted for.

具体的には、(xc,yc)={(8(2・0.5)+20・(1・3.5))/(2+2+2+2+2+2+2+2+1・(20)),(2・1+2・3+2・6+2・12+2・14+2・16+2・18+2・20+1・1+1・2+…+1・20)/(2+2+2+2+2+2+2+2+1・(20))}=(83/36,390/36)、すなわち、押圧中心点C(xc,yc)は略(2.3,10.8)となる。   Specifically, (xc, yc) = {(8 (2 · 0.5) + 20 · (1 · 3.5)) / (2 + 2 + 2 + 2 + 2 + 2 + 2 + 2 + 2 + 1 · (20)), (2 · 1 + 2 · 3 + 2 · 6 + 2 · 12 + 2 14 + 2 · 16 + 2 · 18 + 2 · 20 + 1 · 1 + 1 · 2 + ... + 1 · 20) / (2 + 2 + 2 + 2 + 2 + 2 + 2 + 1 · (20))} = (83/36, 390/36), that is, the pressing center point C (xc, yc) is approximately (2.3, 10.8).

次に、搬送部43により圧着ヘッド42を下降させ、ドライバIC17を圧着する(S4)。このとき、図7に示すように、圧着ヘッド42により押圧するときに例えば基板側入力端子11aからドライバ側入力端子23に働く力F1は、基板側出力端子14aからドライバ側出力端子24に働く図2に示す力F9の2倍になるが(他の力F2等についても同様)、単位面積当たりの力である圧力Pはそれぞれ同じとなり、図4に示すようにACF25中の導電粒子26の潰れ状態に潰れムラが生ずることが防止される。なお、図7では、圧着ヘッド42以外のドライバIC実装装置40の各構成部の図示を省略した。   Next, the crimping head 42 is lowered by the transport unit 43, and the driver IC 17 is crimped (S4). At this time, as shown in FIG. 7, for example, a force F <b> 1 that acts on the driver side input terminal 23 from the board side input terminal 11 a when pressed by the crimping head 42 acts on the driver side output terminal 24 from the board side output terminal 14 a. 2 is the same as the force F9 shown in FIG. 2 (the same applies to other forces F2 and the like), but the pressure P, which is a force per unit area, is the same, and the conductive particles 26 in the ACF 25 are crushed as shown in FIG. It is possible to prevent the occurrence of crushing unevenness in the state. In FIG. 7, illustration of each component of the driver IC mounting device 40 other than the pressure bonding head 42 is omitted.

そして、液晶パネル2と、半導体IC34が実装された回路基板3とを図示を省略した導電性の接着剤等を介して電気的に接続し(S5)、バックライトや反射シート等を設けるなどして液晶装置1を製造する(S6)。   Then, the liquid crystal panel 2 and the circuit board 3 on which the semiconductor IC 34 is mounted are electrically connected via a conductive adhesive or the like (not shown) (S5), and a backlight, a reflection sheet, or the like is provided. Thus, the liquid crystal device 1 is manufactured (S6).

以上で液晶装置1の製造方法についての説明を終了する。   This is the end of the description of the method for manufacturing the liquid crystal device 1.

このように本実施形態によれば、ドライバIC17の押圧中心点Cを圧着ヘッド42により押圧するときに、基板側入出力端子11a、14a側から複数のドライバ側入出力端子23、24にそれぞれ同じ圧力が掛かるように、圧着ヘッド42をアライメントする工程(S3)と、アライメントされた圧着ヘッド42によりドライバIC17を基板4に圧着する工程(S4)とを備えているので、ACF25を介して圧着するときに、ドライバ側入出力端子23、24の配設状態に依存せずに、ドライバ側入出力端子23、24をそれぞれ略同じ圧力Pで圧着ヘッド42により基板4側に圧着することができ、導電粒子26の潰れを略同じにして、例えば基板側入出力端子11a、14aとドライバ側入出力端子23、24とに挟まれた導電粒子26の潰れムラを防止することができ、潰れムラが大きいときに接触面積が減少し接続不良が生じたのに対して、確実にドライバIC17のドライバ側入出力端子23、24を基板側入出力端子11a、14aに接続することで、接続の信頼性を向上させることができる。   As described above, according to the present embodiment, when the pressing center point C of the driver IC 17 is pressed by the crimping head 42, the same is applied to the plurality of driver side input / output terminals 23, 24 from the board side input / output terminals 11a, 14a side. Since there is a step (S3) of aligning the crimping head 42 so that pressure is applied and a step (S4) of crimping the driver IC 17 to the substrate 4 by the aligned crimping head 42, the crimping is performed via the ACF 25. Sometimes, the driver-side input / output terminals 23, 24 can be crimped to the substrate 4 side by the crimping head 42 at substantially the same pressure P, without depending on the arrangement state of the driver-side input / output terminals 23, 24. The conductive particles 26 are crushed substantially in the same manner, for example, a conductive material sandwiched between the substrate side input / output terminals 11a, 14a and the driver side input / output terminals 23, 24. The chip 26 can be prevented from being crushed unevenly, and when the crushed unevenness is large, the contact area is reduced to cause a connection failure, while the driver side input / output terminals 23 and 24 of the driver IC 17 are securely inserted into the board side. By connecting to the output terminals 11a and 14a, connection reliability can be improved.

また、アライメントする工程(S3)は、それぞれの面積Si、圧着ヘッド42により押圧中心点Cを押圧したときに基板側入出力端子11a、14aからドライバ側入出力端子23、24に働くそれぞれの圧力Piを用いて、ドライバ側入出力端子23、24に働くそれぞれの力Fi(=Pi・Si)の押圧中心点Cに関するモーメントの合計が零になるように、圧着ヘッド42をアライメントするので、例えばACF25を介して圧着するときに、ドライバ側入出力端子23、24に働くそれぞれの力Fi(=Pi・Si)の押圧中心点Cに関するモーメントが釣り合う状態となり、ドライバ側入出力端子23、24をそれぞれ確実に同じ圧力で圧着ヘッド42により基板4側に圧着することができ、例えば導電粒子26の潰れムラを防止して、確実にドライバ側入出力端子23、24を基板側入出力端子11a、14aに接続することができる。   Further, in the alignment step (S3), each pressure applied to the driver side input / output terminals 23 and 24 from the board side input / output terminals 11a and 14a when the pressing center point C is pressed by the area Si and the pressure bonding head 42 is used. Since the pressure bonding head 42 is aligned using Pi so that the sum of the moments about the pressing center point C of each force Fi (= Pi · Si) acting on the driver side input / output terminals 23 and 24 becomes zero. When crimping via the ACF 25, the moments relating to the pressing center point C of the respective forces Fi (= Pi · Si) acting on the driver side input / output terminals 23, 24 are balanced, and the driver side input / output terminals 23, 24 are connected to each other. Each of them can be reliably crimped to the substrate 4 side by the crimping head 42 with the same pressure, and for example, the collapse of the conductive particles 26 can be prevented. , It is possible to reliably connect the driver-side output terminal 23, 24 substrate-side output terminal 11a, to 14a.

このとき、例えばFi=P・Si(圧力Pは一定)となるときには、(xc,yc)={(S1・x1+S2・x2+・・・+Sn・xn)/(S1+S2+・・・+Sn),(S1・y1+S2・y2+・・・+Sn・yn)/(S1+S2+・・・+Sn)}により求められるので、ドライバIC17が異なる位置Ri(xi,yi)に異なる面積Siのドライバ側入出力端子23、24を複数備えている場合に、上記式に(xi,yi)、Siの各値を代入することで容易かつ正確に押圧中心点Cを求めることができ、押圧中心点C(xc,yc)を圧着ヘッド42により正確に押圧することで、ドライバIC17の各ドライバ側入出力端子23、24をそれぞれ略同じ圧力Pで押圧することができ、接続の信頼性を向上させることができる。   At this time, for example, when Fi = P · Si (pressure P is constant), (xc, yc) = {(S1 · x1 + S2 · x2 +... + Sn · xn) / (S1 + S2 +... + Sn), (S1 Since y1 + S2 · y2 +... + Sn.yn) / (S1 + S2 +... + Sn)}, the driver IC 17 has driver-side input / output terminals 23 and 24 having different areas Si at different positions Ri (xi, ii). In the case of providing a plurality, it is possible to easily and accurately obtain the pressing center point C by substituting each value of Si into (xi, yi) and the above formula, and the pressing center point C (xc, yc) is crimped. By pressing accurately with the head 42, the driver side input / output terminals 23 and 24 of the driver IC 17 can be pressed with substantially the same pressure P, and the connection reliability can be improved. Kill.

更に、ドライバIC17は、ドライバIC17の能動面20a側に設けられた例えば8個のドライバ側入力端子23と、能動面20aに設けられた20個のドライバ側出力端子24とを有するので、圧着ヘッド42をアライメントする工程(S3)では、例えば図6に示すようにX方向でドライバ側入力端子23よりドライバ側出力端子24により近い位置に押圧中心点C(xc,yc)を移すことで、ドライバ側入出力端子23、24をそれぞれ略同じ圧力Pで圧着ヘッド42により基板4側に圧着することができ、ドライバ側出力端子24と基板側出力端子14aとの間の導電粒子26の潰れが小さくなることを防止し、ドライバ側入出力端子23、24と、基板側入出力端子11a、14aとの接続信頼性を向上させることができる。   Further, the driver IC 17 has, for example, eight driver side input terminals 23 provided on the active surface 20a side of the driver IC 17 and 20 driver side output terminals 24 provided on the active surface 20a. In the step of aligning 42 (S3), for example, as shown in FIG. 6, by moving the pressing center point C (xc, yc) to a position closer to the driver side output terminal 24 than to the driver side input terminal 23 in the X direction, The side input / output terminals 23 and 24 can be crimped to the substrate 4 side by the crimping head 42 at substantially the same pressure P, respectively, and the collapse of the conductive particles 26 between the driver side output terminal 24 and the substrate side output terminal 14a is small. Therefore, the connection reliability between the driver side input / output terminals 23 and 24 and the board side input / output terminals 11a and 14a can be improved.

また、ドライバIC17の能動面20aで例えばそれぞれ面積が面積S1〜S8のドライバ側入力端子23と、能動面20aで例えばそれぞれ面積が面積S1〜S8より小さい面積S9〜S28のドライバ側出力端子24とを備えているので、複数のドライバ側入出力端子23、24をそれぞれ略同じ圧力Pで圧着ヘッド42により基板側入出力端子11a、14aに押圧することができるようにして、ドライバ側出力端子24に接触する導電粒子26の潰れが小さくなることを防止し接続信頼性を向上させることができる。   Further, for example, the driver-side input terminal 23 having an area S1 to S8 on the active surface 20a of the driver IC 17 and the driver-side output terminal 24 having an area S9 to S28 smaller than the areas S1 to S8 on the active surface 20a, respectively. Therefore, the driver side output terminals 24 can be pressed against the board side input / output terminals 11a and 14a by the crimping head 42 with substantially the same pressure P, respectively. It is possible to prevent the conductive particles 26 coming into contact with the metal from being crushed and to improve the connection reliability.

更に、ドライバIC17は、ドライバIC17の能動面20a上に設けられた導電性の突状部であるドライバ側入出力端子23、24を備えているので、基板側入出力端子11a、14aとドライバ側入出力端子23、24とを例えば導電粒子26を介して圧着するときに、ドライバ側入出力端子23、24をそれぞれ略同じ圧力で圧着ヘッド42により基板4側に圧着することができ、導電粒子26の潰れを略同じにして、例えば基板側入出力端子11a、14aとドライバ側入出力端子23、24とに挟まれた導電粒子26の潰れムラを防止することができ、潰れムラが大きいときに接触面積が減少して接続不良が生じたのに対して、確実に基板側入出力端子11a、14aとドライバ側入出力端子23、24とを接続することで、接続の信頼性を向上させることができる。   Furthermore, since the driver IC 17 includes driver side input / output terminals 23 and 24 which are conductive protrusions provided on the active surface 20a of the driver IC 17, the board side input / output terminals 11a and 14a and the driver side For example, when the input / output terminals 23 and 24 are crimped via the conductive particles 26, the driver side input / output terminals 23 and 24 can be crimped to the substrate 4 side by the crimping head 42 with substantially the same pressure. When the crushing of the conductive particles 26 sandwiched between the substrate-side input / output terminals 11a and 14a and the driver-side input / output terminals 23 and 24 can be prevented, for example, the crushing unevenness is large. The contact area is reduced to cause a connection failure, but the board side input / output terminals 11a, 14a and the driver side input / output terminals 23, 24 are securely connected to each other. Thereby improving the reliability.

また、ドライバIC実装装置40は、ドライバIC17の複数のドライバ側入出力端子23、24に働くそれぞれの圧力が同じになるように、圧着ヘッド42の押圧中心HをドライバIC17の押圧中心点Cにアライメントする位置制御部としての搬送部43と、アライメントされた圧着ヘッド42によりドライバIC17を基板4に圧着する圧着ヘッド42とを備えているので、例えば基板側入出力端子11a、14aとドライバ側入出力端子23、24とを例えば導電粒子26を含むACF25を介して圧着するときに、ドライバ側入出力端子23、24の配設状態に依存せずに、ドライバ側入出力端子23、24をそれぞれ略同じ圧力Pで圧着ヘッド42により基板4側に圧着することができ、導電粒子26の潰れを略同じにして、例えば基板側入出力端子11a、14aとドライバ側入出力端子23、24とに挟まれた導電粒子26の潰れムラを防止することができ、潰れムラが大きいときに接触面積が小さくなり接続不良が生じたのに対して、確実に基板側入出力端子11a、14aとドライバ側入出力端子23、24とを接続することで、接続の信頼性に優れた品質のよい液晶装置1を製造することができる。また、ドライバIC実装装置40を用いて液晶装置1を製造することで、確実に基板側入出力端子11a、14aとドライバ側入出力端子23、24とを接続し安定した歩留まりを確保することができる。   Further, the driver IC mounting device 40 sets the pressing center H of the crimping head 42 to the pressing center point C of the driver IC 17 so that the respective pressures acting on the plurality of driver-side input / output terminals 23 and 24 of the driver IC 17 are the same. Since the conveyance unit 43 as a position control unit for alignment and the crimping head 42 for crimping the driver IC 17 to the substrate 4 by the aligned crimping head 42 are provided, for example, the board side input / output terminals 11a and 14a and the driver side input For example, when the output terminals 23 and 24 are pressure-bonded via the ACF 25 including the conductive particles 26, the driver-side input / output terminals 23 and 24 are not dependent on the arrangement state of the driver-side input / output terminals 23 and 24, respectively. The crimping head 42 can be crimped to the substrate 4 side with substantially the same pressure P, and the crushing of the conductive particles 26 is substantially the same. For example, the conductive particles 26 sandwiched between the board-side input / output terminals 11a and 14a and the driver-side input / output terminals 23 and 24 can be prevented from being crushed, and when the crushed unevenness is large, the contact area is reduced, resulting in poor connection. In contrast to this, the substrate side input / output terminals 11a, 14a and the driver side input / output terminals 23, 24 are securely connected to manufacture the liquid crystal device 1 with excellent connection reliability and quality. Can do. Further, by manufacturing the liquid crystal device 1 using the driver IC mounting device 40, the substrate side input / output terminals 11a, 14a and the driver side input / output terminals 23, 24 can be reliably connected to ensure a stable yield. it can.

(第2の実施の形態)   (Second Embodiment)

次に、本発明に係る第2の実施の形態の液晶装置、液晶装置の製造方法について説明する。なお、本実施形態以降においては、上記実施形態と同一の構成部材等には同一の符号を付しその説明を省略し、異なる箇所を中心に説明する。また、ドライバIC実装装置40については第1の実施の形態と同様のものを用いるのでその説明を省略する。   Next, a liquid crystal device according to a second embodiment of the present invention and a method for manufacturing the liquid crystal device will be described. In the following description of the present embodiment, the same components and the like as those of the above-described embodiment will be denoted by the same reference numerals, description thereof will be omitted, and different portions will be mainly described. Since the driver IC mounting apparatus 40 is the same as that of the first embodiment, the description thereof is omitted.

図8は本発明に係る第2の実施の形態の液晶装置の部分断面図である。   FIG. 8 is a partial cross-sectional view of the liquid crystal device according to the second embodiment of the present invention.

(液晶装置の構成)   (Configuration of liquid crystal device)

本実施形態の液晶装置50は、ドライバIC17等に代えて例えば樹脂コアバンプ51、52を備えたドライバIC53等が実装されている。   In the liquid crystal device 50 according to the present embodiment, for example, a driver IC 53 including resin core bumps 51 and 52 is mounted instead of the driver IC 17 and the like.

ドライバIC53は、ドライバIC53の能動面20a側に突設された樹脂コアバンプ51、52を備えている。樹脂コアバンプ51、52は、例えば第1の実施の形態のドライバ側入出力端子23、24に対応するようにY方向に配列して設けられ、基板側入出力端子11a、14aにそれぞれ接続されている。   The driver IC 53 includes resin core bumps 51 and 52 that protrude from the active surface 20 a side of the driver IC 53. The resin core bumps 51 and 52 are arranged in the Y direction so as to correspond to the driver side input / output terminals 23 and 24 of the first embodiment, for example, and are connected to the substrate side input / output terminals 11a and 14a, respectively. Yes.

出力側の樹脂コアバンプ52の個数は、入力側の樹脂コアバンプ51の個数より多くなっている。本実施形態では、説明を簡略化するために、樹脂コアバンプ51の個数が例えば8個、樹脂コアバンプ52の個数が例えば20個の例を示すが、これらの個数は限定されず、例えば、樹脂コアバンプ51の個数が約200個、樹脂コアバンプ52の個数が約1040個の場合であってもよい。   The number of resin core bumps 52 on the output side is larger than the number of resin core bumps 51 on the input side. In the present embodiment, in order to simplify the description, an example in which the number of the resin core bumps 51 is, for example, 8 and the number of the resin core bumps 52 is, for example, 20 is shown, but the number is not limited. The number of 51 may be about 200, and the number of resin core bumps 52 may be about 1040.

樹脂コアバンプ51、52は、それぞれ能動面20aに突設された突状部としての樹脂コア54、56と、樹脂コア54、56を被覆するように設けられた導電部材としての金属配線55、57とを備えている。これにより、ドライバIC53の実装時に、樹脂コアバンプ51の樹脂コア54、56が弾性変形することで、基板側入出力端子11a、14aと、金属配線55、57との接触する面積Siが確保される。   The resin core bumps 51 and 52 are respectively resin cores 54 and 56 as projecting portions protruding from the active surface 20a, and metal wirings 55 and 57 as conductive members provided so as to cover the resin cores 54 and 56. And. As a result, when the driver IC 53 is mounted, the resin cores 54 and 56 of the resin core bump 51 are elastically deformed, so that the area Si where the board-side input / output terminals 11a and 14a and the metal wiring 55 and 57 are in contact with each other is secured. .

樹脂コアバンプ51と、基板側入力端子11aとが接続された面積Si(i=1〜8)は、例えば、樹脂コアバンプ52と、基板側出力端子14aとが接続された面積Si(i=9〜28)より大きくなるように設定されている。例えば、本実施形態では、説明を簡略化するために、面積Si(i=1〜8)が、面積Si(i=9〜28)の例えば2倍に設定されている場合について説明する。ここで、面積Siとは、それぞれの基板側入力端子11aと金属配線55とが接触するそれぞれの面積やそれぞれの基板側出力端子14aと金属配線57とが接触するそれぞれの面積である。   The area Si (i = 1 to 8) where the resin core bump 51 and the substrate side input terminal 11a are connected is, for example, the area Si (i = 9 to 8) where the resin core bump 52 and the substrate side output terminal 14a are connected. 28) It is set to be larger. For example, in the present embodiment, in order to simplify the description, a case where the area Si (i = 1 to 8) is set to, for example, twice the area Si (i = 9 to 28) will be described. Here, the area Si is an area where each substrate-side input terminal 11a and the metal wiring 55 are in contact with each other, or an area where each substrate-side output terminal 14a and the metal wiring 57 are in contact with each other.

樹脂コアバンプ51、52の位置Ri(xi,yi)(i=1〜28)は、例えばドライバIC17の外径の一つの角を原点としたときに、面積Siの中心の位置で表される。   The position Ri (xi, yi) (i = 1 to 28) of the resin core bumps 51 and 52 is represented by the position of the center of the area Si when, for example, one corner of the outer diameter of the driver IC 17 is the origin.

これにより、入力配線11からドライバIC53に入力された信号をドライバIC53を介して出力配線14に出力し液晶を駆動することができるように構成されている。   Thus, the liquid crystal can be driven by outputting a signal input from the input wiring 11 to the driver IC 53 to the output wiring 14 via the driver IC 53.

ドライバIC53は、ドライバIC53と、基板4との間等に設けられた例えばNCF58等の接着材により基板4に接着されている。なお、他の構成については、第1の実施の形態と同様なので説明を省略する。   The driver IC 53 is bonded to the substrate 4 with an adhesive such as NCF 58 provided between the driver IC 53 and the substrate 4. Since other configurations are the same as those in the first embodiment, description thereof is omitted.

(液晶装置50の製造方法)   (Manufacturing method of the liquid crystal device 50)

次に、上記第1の実施の形態で用いた液晶装置の製造装置を用いた液晶装置50の製造方法について図面を参照しながら説明する。なお、本実施形態では、ドライバIC53等を実装するためのNCF58を貼り付ける前の液晶パネル2の製造工程については第1の実施形態と同様なのでその説明を省略し、ドライバIC53実装のためのNCF58を貼り付ける工程以降について中心的に説明する。   Next, a manufacturing method of the liquid crystal device 50 using the liquid crystal device manufacturing apparatus used in the first embodiment will be described with reference to the drawings. In the present embodiment, the manufacturing process of the liquid crystal panel 2 before attaching the NCF 58 for mounting the driver IC 53 and the like is the same as that of the first embodiment, so the description thereof is omitted, and the NCF 58 for mounting the driver IC 53 is omitted. The process after the step of attaching is mainly described.

まず、基板側入出力端子11a、14aを覆うようにNCF58を貼り付け、液晶パネル2(ドライバIC53等の実装前)を、ドライバIC実装装置40のステージ41上にセットする。   First, the NCF 58 is pasted so as to cover the substrate-side input / output terminals 11a and 14a, and the liquid crystal panel 2 (before mounting the driver IC 53 and the like) is set on the stage 41 of the driver IC mounting apparatus 40.

続いて、例えば手動等によりドライバIC53を張り出し部4aにセットする。すなわち、基板側入出力端子11a、14aと、ドライバ側入出力端子23、24とが対応するようにする。   Subsequently, the driver IC 53 is set on the overhanging portion 4a, for example, manually. That is, the board side input / output terminals 11a and 14a correspond to the driver side input / output terminals 23 and 24.

次に、例えば、ドライバIC実装装置40の搬送部43により圧着ヘッド42の押圧中心Hを押圧中心点C(xc、yc)にアライメントする。本実施形態の場合には、押圧中心点C(xc、yc)は、例えばドライバIC53に対して右上にずれた位置である。   Next, for example, the pressing center H of the crimping head 42 is aligned with the pressing center point C (xc, yc) by the transport unit 43 of the driver IC mounting device 40. In the case of this embodiment, the pressing center point C (xc, yc) is a position shifted to the upper right with respect to the driver IC 53, for example.

押圧中心点C(xc、yc)は、それぞれの樹脂コアバンプ51、52と基板側入出力端子11a、14aとが接続する面積Siと、面積Siの中心の位置Ri(xi,yi)とで定められる点である。   The pressing center point C (xc, yc) is determined by an area Si where the resin core bumps 51 and 52 and the substrate side input / output terminals 11a and 14a are connected, and a position Ri (xi, yi) of the center of the area Si. It is a point.

また、押圧中心点C(xc、yc)は、圧着ヘッド42によりドライバIC53をその押圧中心点C(xc、yc)で押圧したときに基板側入出力端子11a、14aから複数の樹脂コアバンプ51、52に働くそれぞれの力Fi(=Pi・Si)の押圧中心点C(xc、yc)に関するモーメントの合計が零になる位置である。   The pressing center point C (xc, yc) is a plurality of resin core bumps 51 from the substrate side input / output terminals 11a, 14a when the driver IC 53 is pressed by the pressing head 42 at the pressing center point C (xc, yc). This is the position at which the sum of moments related to the pressing center point C (xc, yc) of each force Fi (= Pi · Si) acting on 52 becomes zero.

すなわち、複数の樹脂コアバンプ51、52の位置Ri(xi,yi)、位置Ri(xi,yi)の樹脂コアバンプ51、52が基板側入出力端子11a、14aに接触する面積Si、基板側入出力端子11a、14aから位置Ri(xi,yi)の樹脂コアバンプ51、52に働く力を力Fi(=Pi・Si)、を用いて、xy座標表示した押圧中心点C(xc、yc)は、   That is, the position Ri (xi, yi) of the plurality of resin core bumps 51, 52, the area Si where the resin core bumps 51, 52 at the position Ri (xi, yi) contact the substrate side input / output terminals 11a, 14a, the substrate side input / output The pressing center point C (xc, yc) displayed in xy coordinates using the force Fi (= Pi · Si) acting on the resin core bumps 51, 52 from the terminals 11a, 14a at the position Ri (xi, yi)

(xc,yc)={(F1・x1+F2・x2+・・・+Fn・xn)/(F1+F2+・・・+Fn),(F1・y1+F2・y2+・・・+Fn・yn)/(F1+F2+・・・+Fn)} (ここで、iは1〜nの自然数、nは樹脂コアバンプ51、52の個数)により求められる。   (Xc, yc) = {(F1 · x1 + F2 · x2 + ... + Fn · xn) / (F1 + F2 + ... + Fn), (F1 · y1 + F2 · y2 + ... + Fn · yn) / (F1 + F2 + ... + Fn) } (Where i is a natural number from 1 to n, and n is the number of resin core bumps 51 and 52).

ここで、押圧中心点C(xc、yc)は、ドライバIC53を圧着ヘッド42により押圧するときに複数の樹脂コアバンプ51、52にかかる圧力Pi(i=1〜28)がそれぞれ略同じ圧力Pとなるとき(Fi=P・Si(圧力Pは一定))、押圧中心点C(xc、yc)は、   Here, the pressing center point C (xc, yc) indicates that the pressure Pi (i = 1 to 28) applied to the plurality of resin core bumps 51 and 52 when the driver IC 53 is pressed by the crimping head 42 is substantially the same as the pressure P. (Fi = P · Si (pressure P is constant)), the pressing center point C (xc, yc) is

(xc,yc)={(S1・x1+S2・x2+・・・+Sn・xn)/(S1+S2+・・・+Sn),(S1・y1+S2・y2+・・・+Sn・yn)/(S1+S2+・・・+Sn)} (ここで、iは1〜nの自然数、nは樹脂コアバンプ51、52の個数)により求められる。   (Xc, yc) = {(S1 · x1 + S2 · x2 + ... + Sn · xn) / (S1 + S2 + ... + Sn), (S1 · y1 + S2 · y2 + ... + Sn · yn) / (S1 + S2 + ... + Sn) } (Where i is a natural number from 1 to n, and n is the number of resin core bumps 51 and 52).

具体的には、本実施形態では、第1の実施形態のドライバ側入出力端子23、24と同じ位置に樹脂コアバンプ51、52が配設されているため、押圧中心点C(xc,yc)は、図9に示すドライバIC53の外径の中心Qから例えばX、Y方向にそれぞれプラス向きにずれている。   Specifically, in this embodiment, since the resin core bumps 51 and 52 are disposed at the same position as the driver-side input / output terminals 23 and 24 of the first embodiment, the pressing center point C (xc, yc) Is shifted in the positive direction from the center Q of the outer diameter of the driver IC 53 shown in FIG.

次に、搬送部43により圧着ヘッド42を下降させ、ドライバIC53を圧着する。このとき、例えばX方向について見ると、圧着ヘッド42により押圧するときに例えば基板側入力端子11aから樹脂コアバンプ51に働く力F1は、基板側入力端子14aから樹脂コアバンプ52に働く力F9の2倍になる(他の樹脂コアバンプ51、52についても同様)が、単位面積当たりの力である圧力Pはそれぞれ同じとなり、図9に示すように樹脂コアバンプ51、52の潰れムラが防止される。   Next, the crimping head 42 is lowered by the transport unit 43 and the driver IC 53 is crimped. At this time, for example, when viewed in the X direction, for example, the force F1 that acts on the resin core bump 51 from the substrate side input terminal 11a when pressed by the crimping head 42 is twice the force F9 that acts on the resin core bump 52 from the substrate side input terminal 14a. (The same applies to the other resin core bumps 51 and 52), but the pressure P, which is the force per unit area, is the same, and the uneven deformation of the resin core bumps 51 and 52 is prevented as shown in FIG.

そして、液晶パネル2と、半導体IC34が実装された回路基板3とを図示を省略した導電性の接着剤等を介して電気的に接続し、バックライトや反射シート等を設けるなどして液晶装置50を製造する。   Then, the liquid crystal panel 2 and the circuit board 3 on which the semiconductor IC 34 is mounted are electrically connected through a conductive adhesive or the like (not shown), and a liquid crystal device is provided by providing a backlight, a reflective sheet, or the like. 50 is manufactured.

以上で液晶装置50の製造方法についての説明を終了する。   This is the end of the description of the method for manufacturing the liquid crystal device 50.

このように本実施形態によれば、ドライバIC53の押圧中心点Cを圧着ヘッド42により押圧するときに、基板側入出力端子11a、14a側から複数の樹脂コアバンプ51、52にそれぞれ同じ圧力Pが掛かるように、圧着ヘッド42をアライメントする工程と、アライメントされた圧着ヘッド42によりドライバIC53を基板4に圧着する工程とを備えているので、NCF58を介して圧着するときに、樹脂コアバンプ51、52の配設状態に依存せずに、樹脂コアバンプ51、52をそれぞれ略同じ圧力Pで圧着ヘッド42により基板4側に圧着することができ、樹脂コアバンプ51、52の潰れを同じにして、樹脂コアバンプ51、52の潰れムラの発生を防止して、確実に樹脂コアバンプ51、52を基板側入出力端子11a、14aに接続することで、接続の信頼性を向上させることができる。   Thus, according to the present embodiment, when the pressing center point C of the driver IC 53 is pressed by the crimping head 42, the same pressure P is applied to the plurality of resin core bumps 51, 52 from the substrate side input / output terminals 11a, 14a side. Since it includes the step of aligning the crimping head 42 and the step of crimping the driver IC 53 to the substrate 4 by the aligned crimping head 42 so as to be applied, the resin core bumps 51, 52 are used when crimping via the NCF 58. The resin core bumps 51 and 52 can be crimped to the substrate 4 side by the crimping head 42 with substantially the same pressure P, and the resin core bumps 51 and 52 are crushed in the same manner. The occurrence of uneven crushing of 51 and 52 is prevented, and the resin core bumps 51 and 52 are securely connected to the substrate side input / output terminals 11a. By connecting to 14a, it is possible to improve the reliability of the connection.

また、アライメントする工程は、圧着ヘッド42によりドライバIC53の押圧中心点C(xc,yc)を押圧したときに基板側入出力端子11a、14aから複数の樹脂コアバンプ51、52に働くそれぞれの力Fi(=P・Si)の押圧中心点C(xc,yc)に関するモーメントの合計が零になるように、圧着ヘッド42をアライメントするので、樹脂コアバンプ51、52に働くそれぞれの力Fi(=P・Si)の押圧中心点Cに関するモーメントが釣り合う状態となり、樹脂コアバンプ51、52をそれぞれ確実に同じ圧力Pで圧着ヘッド42により基板4側に圧着することができ、樹脂コアバンプ51、52の潰れを同じにして、確実に樹脂コアバンプ51、52を基板側入出力端子11a、14aに接続することができる。   In the alignment step, each force Fi acting on the plurality of resin core bumps 51 and 52 from the substrate-side input / output terminals 11a and 14a when the pressing center point C (xc, yc) of the driver IC 53 is pressed by the crimping head 42. Since the crimping head 42 is aligned so that the sum of the moments about the pressing center point C (xc, yc) of (= P · Si) becomes zero, each force Fi (= P · Si) moment about the pressing center point C is balanced, and the resin core bumps 51 and 52 can be reliably pressed to the substrate 4 side by the pressure-bonding head 42 with the same pressure P, respectively, and the crushing of the resin core bumps 51 and 52 is the same. Thus, the resin core bumps 51 and 52 can be reliably connected to the substrate side input / output terminals 11a and 14a.

更に、ドライバIC53は、能動面20a上に設けられた弾性部材からなる突状部である樹脂コア54、56と、樹脂コア54、56の突出側を覆う導電部材としての金属配線55、57とを備えているので、ドライバIC53を圧着する工程で樹脂コア54、56を弾性変形させることができ、例えば樹脂コアバンプ51、52と基板側入出力端子11a、14aとを確実に接続することができる。また、圧着後に、外力等によりドライバIC53と基板4との距離が大きくなっても樹脂コアバンプ51、52が弾性変形することで追従し樹脂コアバンプ51、52と基板側入出力端子11a、14aとの接続を確保することができる。   Further, the driver IC 53 includes resin cores 54 and 56 that are protrusions made of an elastic member provided on the active surface 20a, and metal wirings 55 and 57 as conductive members that cover the protruding sides of the resin cores 54 and 56. Therefore, the resin cores 54 and 56 can be elastically deformed in the step of crimping the driver IC 53, and for example, the resin core bumps 51 and 52 and the board-side input / output terminals 11a and 14a can be reliably connected. . Further, after the crimping, even if the distance between the driver IC 53 and the substrate 4 is increased due to external force or the like, the resin core bumps 51 and 52 are elastically deformed to follow and the resin core bumps 51 and 52 and the substrate side input / output terminals 11a and 14a are followed. Connection can be secured.

また更に、ドライバIC実装装置40は、基板側入出力端子11a、14aからドライバIC53の複数の樹脂コアバンプ51、52に働くそれぞれの圧力Pが同じになるように、圧着ヘッド42の押圧中心をドライバIC53の押圧中心点Cにアライメントする位置制御部としての搬送部43と、アライメントされた圧着ヘッド42によりドライバIC53を基板4に圧着する圧着ヘッド42とを備えているので、導電粒子を含まない接着材としてのNCF58を介してドライバIC53を圧着するときにも、例えば樹脂コアバンプ51、52の配設状態に依存せずに、樹脂コアバンプ51、52のそれぞれを略同じ圧力Pで押圧することができ、樹脂コアバンプ51、52の潰れを同じにして、接続の信頼性に優れた液晶装置50を製造することができる。   Furthermore, the driver IC mounting apparatus 40 is configured so that the pressure center of the pressure-bonding head 42 is adjusted so that the pressures P applied to the plurality of resin core bumps 51 and 52 of the driver IC 53 from the board-side input / output terminals 11a and 14a are the same. Since the conveyance unit 43 serving as a position control unit that aligns with the pressing center point C of the IC 53 and the crimping head 42 that crimps the driver IC 53 to the substrate 4 by the aligned crimping head 42, adhesion without containing conductive particles is provided. Even when the driver IC 53 is pressure-bonded via the NCF 58 as a material, the resin core bumps 51 and 52 can be pressed with substantially the same pressure P without depending on the arrangement state of the resin core bumps 51 and 52, for example. The liquid crystal device 50 with excellent connection reliability is manufactured by making the crushing of the resin core bumps 51 and 52 the same. Rukoto can.

(第3の実施の形態)   (Third embodiment)

次に、本発明に係る第3の実施の形態の液晶装置、液晶装置の製造方法について説明する。なお、ドライバIC実装装置40については第1の実施の形態と同様のものを用いるのでその説明を省略する。   Next, a liquid crystal device according to a third embodiment of the present invention and a method for manufacturing the liquid crystal device will be described. Since the driver IC mounting device 40 is the same as that of the first embodiment, the description thereof is omitted.

図10は第3の実施形態の液晶装置の部分平面図、図11は図10の液晶装置のB−B断面図である。   FIG. 10 is a partial plan view of the liquid crystal device of the third embodiment, and FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the line BB of the liquid crystal device of FIG.

(液晶装置の構成)   (Configuration of liquid crystal device)

本実施形態の液晶装置70は、図10に示すように、COF(Chip on Film)の液晶装置であり、液晶パネル2’の張り出し部4a’に回路基板71が接続されている。   As shown in FIG. 10, the liquid crystal device 70 of this embodiment is a COF (Chip on Film) liquid crystal device, and a circuit board 71 is connected to the projecting portion 4a 'of the liquid crystal panel 2'.

液晶パネル2’は、上記実施形態の張り出し部4aよりX方向の張り出し長さが短い張り出し部4a’を備えている。張り出し部4a’上には、図1に示す出力配線14に繋がる図10に示す配線14’が付設されている。配線14’の端部には、接続端子14a’が形成されている。   The liquid crystal panel 2 ′ includes an overhanging portion 4 a ′ that is shorter in the X direction than the overhanging portion 4 a of the above embodiment. A wiring 14 'shown in FIG. 10 connected to the output wiring 14 shown in FIG. 1 is provided on the overhanging portion 4a'. A connection terminal 14a 'is formed at the end of the wiring 14'.

一方、回路基板71は、図10に示すように可撓性基材72と、可撓性基材72に実装されたドライバIC73とを備えている。   On the other hand, the circuit board 71 includes a flexible base 72 and a driver IC 73 mounted on the flexible base 72 as shown in FIG.

可撓性基材72上には、図10、11に示すように例えば基板側入出力端子76a、77aに繋がる入出力配線76、77が付設されている。出力配線77は、図10に示すように、可撓性基材72の張り出し部4a’に対向する面側に付設された配線79に、図示を省略したスルーホールを介して接続されている。配線79は、図10に示すように接続端子14a’に例えばACF78を介して接続されている。   On the flexible base material 72, as shown in FIGS. 10 and 11, for example, input / output wirings 76 and 77 connected to the substrate side input / output terminals 76a and 77a are attached. As shown in FIG. 10, the output wiring 77 is connected to a wiring 79 provided on the side of the flexible base material 72 facing the protruding portion 4 a ′ through a through hole (not shown). As shown in FIG. 10, the wiring 79 is connected to the connection terminal 14a 'via an ACF 78, for example.

ドライバIC73は、図11に示すようにドライバIC73の能動面20a側に突設されたドライバ側入出力端子74、75を備えている。ドライバ側入出力端子74、75は、図10に示すように例えば基板側入出力端子76a、77aに対応するようにY方向に配列して設けられ、図11に示すように基板側入出力端子76a、77aにそれぞれACF80の導電粒子81を介して接続されている。   As shown in FIG. 11, the driver IC 73 includes driver-side input / output terminals 74 and 75 protruding from the active surface 20 a side of the driver IC 73. The driver side input / output terminals 74 and 75 are arranged in the Y direction so as to correspond to, for example, the board side input / output terminals 76a and 77a as shown in FIG. 10, and the board side input / output terminals as shown in FIG. 76a and 77a are connected through conductive particles 81 of ACF80, respectively.

ドライバ側出力端子75の個数は、ドライバ側入力端子74の個数より多くなっている。本実施形態では、説明を簡略化するために、ドライバ側入力端子74の個数が例えば3個、ドライバ側出力端子75の個数が例えば8個の例を示すが、これらの個数は限定されない。   The number of driver side output terminals 75 is larger than the number of driver side input terminals 74. In this embodiment, in order to simplify the description, an example in which the number of driver-side input terminals 74 is three and the number of driver-side output terminals 75 is eight, for example, is not limited.

ドライバ側入力端子74と、基板側入力端子76aとが接続された面積Si(i=1〜3)は、図10に示すように、例えば、ドライバ側出力端子75と、基板側出力端子77aとが接続された面積Si(i=4〜11)より大きくなるように設定されている。例えば、本実施形態では、説明を簡略化するために、面積Si(i=1〜3)が、面積Si(i=4〜11)の例えば2倍に設定されている場合について説明する。この面積Siは、例えばACF80の複数の導電粒子81と各ドライバ側入力端子74とが接続されているそれぞれの面積やACF80の複数の導電粒子81と各ドライバ側出力端子75とが接続されているそれぞれの面積である。   As shown in FIG. 10, the area Si (i = 1 to 3) where the driver side input terminal 74 and the board side input terminal 76a are connected is, for example, the driver side output terminal 75 and the board side output terminal 77a. Is set to be larger than the connected area Si (i = 4 to 11). For example, in this embodiment, in order to simplify the description, a case where the area Si (i = 1 to 3) is set to, for example, twice the area Si (i = 4 to 11) will be described. The area Si is, for example, the area where the plurality of conductive particles 81 of the ACF 80 are connected to the driver side input terminals 74, or the area where the plurality of conductive particles 81 of the ACF 80 are connected to the driver side output terminals 75. Each area.

ドライバ側入出力端子74、75の位置Ri(xi,yi)(i=1〜11)は、ドライバIC73の外径の一つの角を原点Oとしたときに、それぞれ面積Siの中心の位置で表される。   The positions Ri (xi, yi) (i = 1 to 11) of the driver side input / output terminals 74 and 75 are respectively positions at the center of the area Si when one corner of the outer diameter of the driver IC 73 is the origin O. expressed.

これにより、入力配線76からドライバIC73に入力された信号をドライバIC73を介して出力配線77に出力し液晶を駆動することができるように構成されている。なお、他の構成については、第1の実施の形態と同様なので説明を省略する。   Thus, the liquid crystal can be driven by outputting a signal input from the input wiring 76 to the driver IC 73 to the output wiring 77 via the driver IC 73. Since other configurations are the same as those in the first embodiment, description thereof is omitted.

(液晶装置70の製造方法)   (Manufacturing method of the liquid crystal device 70)

次に、液晶装置の製造装置を用いた液晶装置70の製造方法について図面を参照しながら説明する。なお、本実施形態では、液晶パネル2’の製造工程(図12のステップ1)については上記第1の実施形態と同様なのでその説明を省略し、ドライバIC73の実装工程等について中心的に説明する。   Next, a manufacturing method of the liquid crystal device 70 using the liquid crystal device manufacturing apparatus will be described with reference to the drawings. In this embodiment, the manufacturing process of the liquid crystal panel 2 ′ (step 1 in FIG. 12) is the same as that in the first embodiment, so that the description thereof will be omitted, and the mounting process of the driver IC 73 will be mainly described. .

図12は、本実施形態の液晶装置の製造方法のフローチャートである。   FIG. 12 is a flowchart of the manufacturing method of the liquid crystal device of this embodiment.

まず、可撓性基材72上の基板側入出力端子76a、77aを覆うようにACF80を貼り付け、ドライバIC73実装前の可撓性基材72を、例えばドライバIC実装装置40のステージ41上にセットする(S2)。   First, the ACF 80 is attached so as to cover the substrate side input / output terminals 76a and 77a on the flexible base 72, and the flexible base 72 before the driver IC 73 is mounted is placed on the stage 41 of the driver IC mounting device 40, for example. (S2).

続いて、例えば手動等によりドライバIC73を可撓性基材72に対してセットする(S3)。すなわち、基板側入出力端子76a、77aと、ドライバ側入出力端子74、75とが対応するようにする。   Subsequently, the driver IC 73 is set on the flexible base material 72, for example, manually (S3). That is, the board side input / output terminals 76a and 77a correspond to the driver side input / output terminals 74 and 75.

次に、例えば、ドライバIC実装装置40の搬送部43により圧着ヘッド42の押圧中心Hを押圧中心点C(xc、yc)にアライメントする(S4)。   Next, for example, the pressing center H of the crimping head 42 is aligned with the pressing center point C (xc, yc) by the transport unit 43 of the driver IC mounting device 40 (S4).

押圧中心点C(xc、yc)は、それぞれのドライバ側入出力端子74、75と基板側入出力端子76a、77aとが接続する面積Siと、面積Siの中心の位置Ri(xi,yi)とで定められる点である。   The pressing center point C (xc, yc) includes the area Si where the driver side input / output terminals 74 and 75 and the board side input / output terminals 76a and 77a are connected, and the center position Ri (xi, yi) of the area Si. It is a point determined by.

また、押圧中心点C(xc、yc)は、圧着ヘッド42によりドライバIC73をその押圧中心点C(xc、yc)で押圧したときに基板4の基板側入出力端子76a、77aから複数のドライバ側入出力端子74、75に働くそれぞれの力Fi(=Pi・Si)の押圧中心点C(xc、yc)に関するモーメントの合計が零になる位置である。   The pressing center point C (xc, yc) is a plurality of drivers from the board-side input / output terminals 76a, 77a of the board 4 when the driver IC 73 is pressed by the pressing head 42 at the pressing center point C (xc, yc). This is a position where the sum of moments related to the pressing center point C (xc, yc) of each force Fi (= Pi · Si) acting on the side input / output terminals 74 and 75 becomes zero.

位置Ri(xi,yi)、面積Si、力Fi(=Pi・Si)を用いて、xy座標表示した押圧中心点C(xc、yc)は、   Using the position Ri (xi, yi), the area Si, and the force Fi (= Pi · Si), the pressing center point C (xc, yc) displayed in the xy coordinates is

(xc,yc)={(F1・x1+F2・x2+・・・+Fn・xn)/(F1+F2+・・・+Fn),(F1・y1+F2・y2+・・・+Fn・yn)/(F1+F2+・・・+Fn)} ここで、iは1〜nの自然数、nはドライバ側入出力端子74、75の個数)により求められる。   (Xc, yc) = {(F1 · x1 + F2 · x2 + ... + Fn · xn) / (F1 + F2 + ... + Fn), (F1 · y1 + F2 · y2 + ... + Fn · yn) / (F1 + F2 + ... + Fn) } Where i is a natural number of 1 to n, and n is the number of driver-side input / output terminals 74 and 75).

ここで、押圧中心点C(xc、yc)は、ドライバIC73を圧着ヘッド42により押圧するときにドライバ側入出力端子74、75にかかる圧力Pi(i=1〜11)がそれぞれ略同じになる位置である。すなわち、押圧中心点C(xc,yc)は、   Here, at the pressing center point C (xc, yc), the pressure Pi (i = 1 to 11) applied to the driver side input / output terminals 74 and 75 when the driver IC 73 is pressed by the crimping head 42 is substantially the same. Position. That is, the pressing center point C (xc, yc) is

(xc,yc)={(S1・x1+S2・x2+・・・+Sn・xn)/(S1+S2+・・・+Sn),(S1・y1+S2・y2+・・・+Sn・yn)/(S1+S2+・・・+Sn)}により求められる。このとき、面積Siは、ドライバ側入出力端子74、75と、基板側入出力端子76a、77aとが対向する面積に略比例するので、この式中の面積Siを代入する代わりにこの対向する面積を代入するようにすればよい。   (Xc, yc) = {(S1 · x1 + S2 · x2 + ... + Sn · xn) / (S1 + S2 + ... + Sn), (S1 · y1 + S2 · y2 + ... + Sn · yn) / (S1 + S2 + ... + Sn) }. At this time, the area Si is approximately proportional to the area where the driver side input / output terminals 74 and 75 and the board side input / output terminals 76a and 77a face each other. What is necessary is just to substitute an area.

具体的には、本実施形態では、図10に示すようにドライバ側入出力端子74、75がそれぞれ3、9個ずつ配設されると共に例えばX、Y方向に偏って設けられているため、押圧中心点C(xc,yc)={(3(2・0.5)+8・(1・3.5))/(2+2+2+1・(8)),(2・3+2・4+2・6+1・1+1・2+…+1・8)/(2+2+2+1・(8))}=(31/14,62/14)=(2.2,4.4)、すなわち、図13に示すように、例えばドライバIC53の外径の中心Qから例えばX方向、Y方向にずれている。   Specifically, in the present embodiment, as shown in FIG. 10, the driver side input / output terminals 74 and 75 are arranged in three and nine, respectively, and are provided, for example, biased in the X and Y directions. Pressing center point C (xc, yc) = {(3 (2 · 0.5) + 8 · (1 · 3.5)) / (2 + 2 + 2 + 1 · (8)), (2 · 3 + 2 · 4 + 2 · 6 + 1 · 1 + 1 · 2 + ... + 1 · 8) / (2 + 2 + 2 + 1 · (8))} = (31/14, 62/14) = (2.2, 4.4), that is, as shown in FIG. 13, for example, outside the driver IC 53 It deviates from the center Q of the diameter, for example, in the X direction and the Y direction.

次に、搬送部43により圧着ヘッド42を下降させ、ドライバIC73を圧着する(S5)。このとき、図13に示すように、圧着ヘッド42により押圧するときに例えば基板側入力端子76aからドライバ側入力端子74に働く力F1は、基板側出力端子77aからドライバ側出力端子75に働く力F6の2倍になるが、単位面積当たりの力である圧力Pi(i=1〜11)はそれぞれ同じとなり、図13に示すようにACF80潰れムラが防止される。   Next, the crimping head 42 is lowered by the transport unit 43 and the driver IC 73 is crimped (S5). At this time, as shown in FIG. 13, for example, the force F1 that acts on the driver side input terminal 74 from the board side input terminal 76a when pressed by the crimping head 42 is the force that acts on the driver side output terminal 75 from the board side output terminal 77a. The pressure Pi (i = 1 to 11), which is a force per unit area, is the same as F6, but the ACF80 crushing unevenness is prevented as shown in FIG.

そして、液晶パネル2’と、ドライバIC73が実装された回路基板71とをACF78等を介して電気的に接続し(S6)、バックライトや反射シート等を設けるなどして液晶装置70を製造する(S7)。   Then, the liquid crystal panel 2 ′ and the circuit board 71 on which the driver IC 73 is mounted are electrically connected via the ACF 78 or the like (S6), and the liquid crystal device 70 is manufactured by providing a backlight, a reflection sheet, or the like. (S7).

以上で液晶装置70の製造方法についての説明を終了する。   This is the end of the description of the method for manufacturing the liquid crystal device 70.

このように本実施形態によれば、ドライバIC73の押圧中心点Cを圧着ヘッド42により押圧するときに、基板側入出力端子76a、77a側から複数のドライバ側入出力端子74、75にそれぞれ同じ圧力が掛かるように、圧着ヘッド42をアライメントする工程(S4)と、アライメントされた圧着ヘッド42によりドライバIC73を可撓性基材72に圧着する工程(S4)とを備えているので、ACF80を介して圧着するときに、ドライバ側入出力端子74、75の配設状態に依存せずに、ドライバ側入出力端子74、75をそれぞれ略同じ圧力Pで圧着ヘッド42により可撓性基材72側に圧着することができ、導電粒子81の潰れを同じにして、例えば基板側入出力端子76a、77aとドライバ側入出力端子74、75とに挟まれた導電粒子81の潰れムラを防止することができ、潰れムラが大きいときに接触面積が低下して接続不良が生じたのに対して、確実にドライバIC73のドライバ側入出力端子74、75を基板側入出力端子76a、77aに接続することで、接続の信頼性を向上させることができる。   As described above, according to the present embodiment, when the pressing center point C of the driver IC 73 is pressed by the crimping head 42, the same is applied to the plurality of driver side input / output terminals 74, 75 from the board side input / output terminals 76a, 77a side. Since there is a step (S4) of aligning the crimping head 42 so that pressure is applied and a step (S4) of crimping the driver IC 73 to the flexible substrate 72 by the aligned crimping head 42, the ACF 80 is provided. When crimping via the crimping head 42, the flexible base material 72 is applied to the driver side input / output terminals 74 and 75 at substantially the same pressure P, without depending on the arrangement state of the driver side input / output terminals 74 and 75. For example, the substrate-side input / output terminals 76a and 77a and the driver-side input / output terminals 74 and 75 It is possible to prevent crushing unevenness of the sandwiched conductive particles 81, and when the crushing unevenness is large, the contact area is reduced and connection failure occurs. Connection reliability can be improved by connecting 75 to the board side input / output terminals 76a and 77a.

また、アライメントする工程(S4)は、圧着ヘッド42によりドライバIC73を押圧中心点C(xc,yc)で押圧したときに基板側入出力端子76a、77aから複数のドライバ側入出力端子74、75に働くそれぞれの力Fi(=P・Si)の図13に示す押圧中心点C(xc,yc)に関するモーメントの合計が零になるように、圧着ヘッド42をアライメントするので、例えば可撓性基材72の基板側入出力端子76a、77aとドライバ側入出力端子74、75とを例えばACF80を介して圧着するときに、複数のドライバ側入出力端子74、75に働くそれぞれの力F(=P・Si)の押圧中心点Cに関するモーメントが釣り合う状態となり、ドライバ側入出力端子74、75の配設状態に依存せずに、ドライバ側入出力端子74、75をそれぞれ略同じ圧力Pで圧着ヘッド42により可撓性基材72側に押圧することができ、ドライバ側入出力端子74、75の潰れを略同じにして、確実にドライバIC73のドライバ側入出力端子74、75を基板側入出力端子76a、77aに接続することで、接続の信頼性を向上させることができる。   In the alignment step (S4), when the driver IC 73 is pressed at the pressing center point C (xc, yc) by the pressure-bonding head 42, a plurality of driver-side input / output terminals 74, 75 are formed from the board-side input / output terminals 76a, 77a. Since the pressure bonding head 42 is aligned so that the sum of moments of the forces Fi (= P · Si) acting on the pressure center point C (xc, yc) shown in FIG. 13 becomes zero, for example, the flexible base When the board-side input / output terminals 76a and 77a and the driver-side input / output terminals 74 and 75 of the material 72 are pressure-bonded via the ACF 80, for example, each force F (= (P · Si) The moment about the pressing center point C is balanced, and the driver side input / output is independent of the arrangement of the driver side input / output terminals 74 and 75. The sub-elements 74 and 75 can be pressed to the flexible substrate 72 side by the pressure-bonding head 42 with substantially the same pressure P, respectively, and the crushing of the driver-side input / output terminals 74 and 75 is made substantially the same so Connection reliability can be improved by connecting the driver side input / output terminals 74 and 75 to the board side input / output terminals 76a and 77a.

なお、本実施形態において、例えば液晶パネル2’と、回路基板71とを接続するときにも、例えば各接続端子14a’の位置Riと、各接続端子14a’に接続される配線79の接続端子の面積Siとを用いて押圧中心点Cを求め、液晶パネル2’と回路基板71とを押圧して接続するようにしてもよい。これにより、液晶パネル2’と、回路基板71との接続の信頼性を向上させることができる。   In the present embodiment, for example, when connecting the liquid crystal panel 2 ′ and the circuit board 71, for example, the position Ri of each connection terminal 14a ′ and the connection terminal of the wiring 79 connected to each connection terminal 14a ′. The pressing center point C may be obtained using the area Si, and the liquid crystal panel 2 ′ and the circuit board 71 may be pressed and connected. Thereby, the reliability of the connection between the liquid crystal panel 2 ′ and the circuit board 71 can be improved.

(第4の実施形態・電子機器)   (Fourth Embodiment / Electronic Device)

次に、上述した液晶装置1を備えた本発明の第4の実施形態に係る電子機器について説明する。   Next, an electronic apparatus according to the fourth embodiment of the present invention including the above-described liquid crystal device 1 will be described.

図14は本発明の第4の実施形態に係る電子機器の表示制御系の全体構成の概略構成図である。   FIG. 14 is a schematic configuration diagram of an overall configuration of a display control system of an electronic apparatus according to the fourth embodiment of the present invention.

電子機器300は、表示制御系として例えば図14に示すように液晶パネル2及び表示制御回路390などを備え、その表示制御回路390は表示情報出力源391、表示情報処理回路392、電源回路393及びタイミングジェネレータ394などを有する。   The electronic device 300 includes a liquid crystal panel 2 and a display control circuit 390 as shown in FIG. 14 as a display control system, for example. The display control circuit 390 includes a display information output source 391, a display information processing circuit 392, a power supply circuit 393, and the like. A timing generator 394 and the like are included.

また、液晶パネル2には表示領域Iを駆動するドライバIC17等を含む駆動回路361を有する。   Further, the liquid crystal panel 2 has a drive circuit 361 including a driver IC 17 for driving the display area I and the like.

表示情報出力源391は、ROM(Read Only Memory)やRAM(Random Access Memory)などからなるメモリと、磁気記録ディスクや光記録ディスクなどからなるストレージユニットと、デジタル画像信号を同調出力する同調回路とを備えている。更に表示情報出力源391は、タイミングジェネレータ394によって生成された各種のクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号などの形で表示情報を表示情報処理回路392に供給するように構成されている。   The display information output source 391 includes a memory such as a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Random Access Memory), a storage unit such as a magnetic recording disk or an optical recording disk, and a tuning circuit that tunes and outputs a digital image signal. It has. Further, the display information output source 391 is configured to supply display information to the display information processing circuit 392 in the form of a predetermined format image signal or the like based on various clock signals generated by the timing generator 394.

また、表示情報処理回路392はシリアル−パラレル変換回路、増幅・反転回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路、クランプ回路などの周知の各種回路を備え、入力した表示情報の処理を実行して、その画像情報をクロック信号CLKと共に駆動回路361へ供給する。また、電源回路393は、上述した各構成要素に夫々所定の電圧を供給する。   The display information processing circuit 392 includes various well-known circuits such as a serial-parallel conversion circuit, an amplification / inversion circuit, a rotation circuit, a gamma correction circuit, and a clamp circuit, and executes processing of input display information to display the image. Information is supplied to the drive circuit 361 together with the clock signal CLK. The power supply circuit 393 supplies a predetermined voltage to each component described above.

このように本実施形態によれば、ドライバIC17のドライバ側入出力端子23、24と液晶パネル2の張り出し部4aの基板側入出力端子11a、14aとの接続信頼性に優れた液晶装置1を備えているので、表示品位に優れた電子機器を得ることができる。   As described above, according to the present embodiment, the liquid crystal device 1 having excellent connection reliability between the driver side input / output terminals 23 and 24 of the driver IC 17 and the substrate side input / output terminals 11a and 14a of the projecting portion 4a of the liquid crystal panel 2 is provided. Since it is provided, an electronic device with excellent display quality can be obtained.

具体的な電子機器としては、携帯電話機やパーソナルコンピュータなどの他に液晶装置が搭載されたタッチパネル、プロジェクタ、液晶テレビやビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末等が挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部として、上述した例えば液晶装置1等が適用可能なのは言うまでもない。   Specific electronic devices include touch panels equipped with liquid crystal devices in addition to mobile phones and personal computers, projectors, liquid crystal televisions and viewfinder types, video tape recorders with direct view of monitors, car navigation systems, pagers, electronic notebooks, A calculator, a word processor, a workstation, a video phone, a POS terminal, etc. are mentioned. Needless to say, for example, the above-described liquid crystal device 1 or the like can be applied as a display unit of these various electronic devices.

なお、本発明の電子機器は、上述した例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を加え得ることは勿論である。   Note that the electronic apparatus of the present invention is not limited to the above-described example, and it is needless to say that various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

例えば、上述の実施形態ではTFT型の液晶装置1等について説明したがこれに限られるものではなく、例えばTFD(Thin Film Diode)型アクティブマトリックス型、パッシブマトリクス型の液晶装置であってもよい。また、プラズマディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置、電子放出素子を用いた装置(Field Emission Display及びSurface‐Conduction Electron‐Emitter Display等)などの各種電気光学装置に本発明を適用してもよい。   For example, in the above-described embodiment, the TFT type liquid crystal device 1 and the like have been described. However, the present invention is not limited to this. For example, a TFD (Thin Film Diode) type active matrix type or passive matrix type liquid crystal device may be used. Further, the present invention may be applied to various electro-optical devices such as a plasma display device, an electrophoretic display device, and a device using an electron-emitting device (Field Emission Display, Surface-Condition Electron-Emitter Display, etc.).

また、上記第1の実施の形態等では、ドライバIC17のドライバ側入出力端子23、24のみが能動面20aに設けられている例を示したが、これに限定されず、例えばドライバ側入出力端子23、24の他に、例えば基板4に設けられたダミー配線に接続されるダミー端子がドライバIC17の能動面20a側に設けられていてもよい。この場合にも、基板側入出力端子11a、14a及びダミー配線から複数のドライバ側入出力端子23、24及びダミー端子に働くそれぞれの力の押圧中心点Cに関するモーメントの合計が零になるように、圧着ヘッド42をアライメントするようにすればよい。この場合の押圧中心点Cは、例えば(xc,yc)={(S1・x1+S2・x2+・・・+Sn・xn)/(S1+S2+・・・+Sn),(S1・y1+S2・y2+・・・+Sn・yn)/(S1+S2+・・・+Sn)} (ここで、nはドライバ側入出力端子23、24とダミー端子との総数、xi、yiはドライバ側入出力端子23、24とダミー端子)により求めるようにすればよい。)   In the first embodiment and the like, the example in which only the driver side input / output terminals 23 and 24 of the driver IC 17 are provided on the active surface 20a has been described. However, the present invention is not limited to this. In addition to the terminals 23 and 24, for example, dummy terminals connected to dummy wirings provided on the substrate 4 may be provided on the active surface 20 a side of the driver IC 17. Also in this case, the sum of moments related to the pressing center point C of each force acting on the driver-side input / output terminals 23, 24 and the dummy terminals from the board-side input / output terminals 11a, 14a and the dummy wirings becomes zero. The crimping head 42 may be aligned. The pressing center point C in this case is, for example, (xc, yc) = {(S1 · x1 + S2 · x2 + ... + Sn · xn) / (S1 + S2 + ... + Sn), (S1 · y1 + S2 · y2 + ... + Sn · yn) / (S1 + S2 +... + Sn)} (where n is the total number of driver-side input / output terminals 23 and 24 and dummy terminals, and xi and yi are driver-side input / output terminals 23 and 24 and dummy terminals). What should I do? )

本発明に係る第1の実施形態の液晶装置の概略斜視図である。1 is a schematic perspective view of a liquid crystal device according to a first embodiment of the present invention. 図1の液晶装置のA−A断面図である。It is AA sectional drawing of the liquid crystal device of FIG. 図1の液晶装置のドライバICの平面図である。FIG. 2 is a plan view of a driver IC of the liquid crystal device in FIG. 1. ドライバIC実装装置の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of a driver IC mounting apparatus. 第1の実施形態の液晶装置の製造工程を示すフローチャートである。4 is a flowchart illustrating a manufacturing process of the liquid crystal device according to the first embodiment. ドライバICに対して圧着ヘッドをアライメントした状態の平面図である。It is a top view in the state where the crimping head was aligned to the driver IC. ドライバIC圧着時のドライバ側入力端子に掛かる力の説明図である。It is explanatory drawing of the force applied to the driver side input terminal at the time of driver IC crimping | compression-bonding. 本発明に係る第2の実施の形態の液晶装置の部分断面図である。It is a fragmentary sectional view of the liquid crystal device of a 2nd embodiment concerning the present invention. 第2の実施の形態の圧着ヘッドによるドライバIC圧着時の断面図である。It is sectional drawing at the time of driver IC crimping | compression-bonding by the crimping head of 2nd Embodiment. 第3の実施形態の液晶装置の部分平面図である。It is a partial top view of the liquid crystal device of 3rd Embodiment. 図10の液晶装置のB−B断面図である。It is BB sectional drawing of the liquid crystal device of FIG. 第3の実施形態の液晶装置の製造工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing process of the liquid crystal device of 3rd Embodiment. 圧着ヘッドによるドライバIC圧着時の断面図である。It is sectional drawing at the time of driver IC crimping | compression-bonding by a crimping head. 本発明に係る第4の実施形態の電子機器の表示制御系の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the display control system of the electronic device of 4th Embodiment which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

Ri…位置、P、Pi…圧力、 Si…面積、 C…押圧中心点、H…押圧中心、Q…中心、 T…薄膜トランジスタ素子、 Fi…力、 O…原点、 I…表示領域、 1、50、70…液晶装置、 2…液晶パネル、 3、71…回路基板、 4、5…基板、 4a…張り出し部、 5a…共通電極、 6…シール材、 7…ゲート電極、 8…ソース電極、 9…画素電極、 11〜13、33、76…入力配線、 11a、76a…基板側入力端子、 11b…他端部、 14〜16、32、77…出力配線、 14a、77a…基板側出力端子、 14’、36、79…配線、 14a’…接続端子、 17、18、19、53、73…ドライバIC、 20…シリコンチップ、 20a…能動面、 21、22…電極パッド、 23、74…ドライバ側入力端子、 24、75…ドライバ側出力端子、 25、78、80…ACF、 26、81…導電粒子、 31、72…可撓性基材、 34…半導体IC、 37…接続部材、 40…ドライバIC実装装置、 41…ステージ、 42…圧着ヘッド、 43…搬送部、 51、52…樹脂コアバンプ、 54、56…樹脂コア、 55、57…金属配線、 58…NCF、 300…電子機器、 361…駆動回路、 390…表示制御回路   Ri: Position, P, Pi ... Pressure, Si: Area, C: Pressing center point, H ... Pressing center, Q ... Center, T ... Thin film transistor element, Fi ... Force, O ... Origin, I ... Display area 1, 50 , 70 ... Liquid crystal device, 2 ... Liquid crystal panel, 3, 71 ... Circuit board, 4, 5 ... Substrate, 4a ... Overhang part, 5a ... Common electrode, 6 ... Sealing material, 7 ... Gate electrode, 8 ... Source electrode, 9 ... Pixel electrode, 11-13, 33,76 ... Input wiring, 11a, 76a ... Substrate side input terminal, 11b ... Other end, 14-16,32,77 ... Output wiring, 14a, 77a ... Substrate side output terminal, 14 ', 36, 79 ... wiring, 14a' ... connection terminal, 17, 18, 19, 53, 73 ... driver IC, 20 ... silicon chip, 20a ... active surface, 21, 22 ... electrode pad, 23, 74 ... dry Side input terminal, 24, 75 ... Driver side output terminal, 25, 78, 80 ... ACF, 26, 81 ... Conductive particles, 31, 72 ... Flexible substrate, 34 ... Semiconductor IC, 37 ... Connection member, 40 ... Driver IC mounting apparatus, 41 ... stage, 42 ... crimping head, 43 ... conveying unit, 51,52 ... resin core bump, 54,56 ... resin core, 55,57 ... metal wiring, 58 ... NCF, 300 ... electronic device, 361 ... Drive circuit, 390 ... Display control circuit

Claims (9)

複数の端子を有する電子部品を基板上に押圧部材により押圧して実装する電気光学装置の製造方法において、
前記複数の端子のそれぞれで単位面積当りに等しい力が掛かるように、前記電子部品と前記押圧部材とをアライメントする工程と、
前記アライメントする工程によりアライメントされた前記押圧部材により前記電子部品を前記基板に圧着する工程と
を具備することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
In a method for manufacturing an electro-optical device in which an electronic component having a plurality of terminals is pressed and mounted on a substrate by a pressing member,
Aligning the electronic component and the pressing member so that an equal force per unit area is applied to each of the plurality of terminals;
And a step of pressure-bonding the electronic component to the substrate by the pressing member aligned in the alignment step.
複数の端子を有する電子部品を基板上に押圧部材により押圧して実装する電気光学装置の製造方法において、
前記電子部品と前記押圧部材とをアライメントする工程と、
前記アライメントする工程によりアライメントされた前記押圧部材により前記電子部品を前記基板に圧着する工程と
を具備し、
前記アライメントする工程は、iを1〜nの自然数、nを前記電子部品の端子の個数、それぞれの前記端子の面積を面積Si、それぞれの前記面積の単位面積当りに掛かる等しい圧力を圧力Pとするときに、前記複数の端子に働くそれぞれの力Fi(=P・Si)のモーメントの合計が零になる点である中心点に、前記押圧部材の押圧中心を一致させることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
In a method for manufacturing an electro-optical device in which an electronic component having a plurality of terminals is pressed and mounted on a substrate by a pressing member,
Aligning the electronic component and the pressing member;
A step of pressure-bonding the electronic component to the substrate by the pressing member aligned by the alignment step,
In the alignment step, i is a natural number of 1 to n, n is the number of terminals of the electronic component, the area of each terminal is area Si, and an equal pressure applied per unit area of each area is pressure P. The pressing center of the pressing member is made to coincide with a center point where the sum of moments of the forces Fi (= P · Si) acting on the plurality of terminals is zero. Manufacturing method of optical device.
前記中心点は、前記端子の面積の中心の位置が前記電子部品の前記複数の端子を有する能動面での任意の点に対する二方向の座標により位置xi及び位置yiで表されるときに、下記の式、
xi=(F1・x1+F2・x2+・・・+Fn・xn)/(F1+F2+・・・+Fn)
yi=(F1・y1+F2・y2+・・・+Fn・yn)/(F1+F2+・・・+Fn)
により求められることを特徴とする請求項2に記載の電気光学装置の製造方法。
When the center position of the area of the terminal is represented by a position xi and a position yi by coordinates in two directions with respect to an arbitrary point on the active surface having the plurality of terminals of the electronic component, The formula,
xi = (F1 · x1 + F2 · x2 + ... + Fn · xn) / (F1 + F2 + ... + Fn)
yi = (F1 · y1 + F2 · y2 +... + Fn · yn) / (F1 + F2 +... + Fn)
The method of manufacturing an electro-optical device according to claim 2, wherein the method is obtained by:
前記複数の端子は、前記電子部品の能動面側に設けられた第1の個数の入力端子と、前記能動面に設けられた前記第1の個数より多い第2の個数の出力端子とを有することを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。   The plurality of terminals include a first number of input terminals provided on the active surface side of the electronic component and a second number of output terminals greater than the first number provided on the active surface. The method of manufacturing an electro-optical device according to claim 1, wherein the electro-optical device is a manufacturing method. 前記複数の端子は、前記電子部品の能動面で第1の面積を占める入力端子と、前記能動面で前記第1の面積より大きい第2の面積を占める出力端子とを有することを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。   The plurality of terminals include an input terminal that occupies a first area on an active surface of the electronic component, and an output terminal that occupies a second area larger than the first area on the active surface. The method for manufacturing an electro-optical device according to claim 1. 前記端子は、前記電子部品の能動面上に設けられた弾性部材からなる突状部と、前記突状部の突出側を覆う導電部材とを有することを特徴とする請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。   The said terminal has the protrusion part which consists of an elastic member provided on the active surface of the said electronic component, and the electrically-conductive member which covers the protrusion side of the said protrusion part, The Claim 1 to Claim 5 characterized by the above-mentioned. The method for manufacturing the electro-optical device according to any one of the above. 前記端子は、前記電子部品の能動面上に設けられた導電性の突状部を有することを特徴とする請求項1から請求項5のうちのいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。   The electro-optical device manufacturing method according to claim 1, wherein the terminal includes a conductive protrusion provided on an active surface of the electronic component. Method. 複数の端子を有する被接続部材を基板上に押圧部材により押圧して実装する実装構造体の製造方法において、
前記複数の端子のそれぞれで単位面積当りに等しい力が掛かるように前記押圧部材をアライメントする工程と、
前記アライメントする工程によりアライメントされた前記押圧部材により前記被接続部材を前記基板に圧着する工程と
を具備することを特徴とする実装構造体の製造方法。
In the manufacturing method of the mounting structure in which the connected member having a plurality of terminals is mounted on the substrate by being pressed by the pressing member.
Aligning the pressing member so that an equal force per unit area is applied to each of the plurality of terminals;
And a step of pressure-bonding the member to be connected to the substrate by the pressing member aligned in the step of aligning.
複数の端子を有する電子部品が基板上に押圧部材により押圧されて実装された電気光学装置の製造装置において、
前記複数の端子のそれぞれで単位面積当りに等しい力が掛かるように前記押圧部材をアライメントする位置制御部と、
前記位置制御部によりアラインメトされ前記電子部品を前記基板に圧着する押圧部材と
を具備することを特徴とする電気光学装置の製造装置。
In an electro-optical device manufacturing apparatus in which an electronic component having a plurality of terminals is mounted on a substrate by being pressed by a pressing member,
A position control unit that aligns the pressing member so that an equal force per unit area is applied to each of the plurality of terminals;
An electro-optical device manufacturing apparatus comprising: a pressing member that is aligned by the position control unit and press-bonds the electronic component to the substrate.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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