JP2007035191A - Master body, method for producing the same, and magnetic recording medium - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、対向する斜線から構成される斜線パターンが記録され、磁気記録媒体に接近させて磁界を与えることにより斜線パターンが磁気記録媒体に複製されるマスター体、マスター体の生産方法およびマスター体から斜線パターンが複製される磁気記録媒体に関し、特に、磁気記録媒体に複製される斜線パターンの精度劣化を防ぐことができるマスター体、マスター体の生産方法および磁気記録媒体に関するものである。 The present invention relates to a master body in which a diagonal pattern composed of opposing diagonal lines is recorded, and the diagonal pattern is replicated on the magnetic recording medium by applying a magnetic field close to the magnetic recording medium, a method for producing the master body, and a master body In particular, the present invention relates to a master body, a master body production method, and a magnetic recording medium that can prevent deterioration in accuracy of the oblique line pattern replicated on the magnetic recording medium.
磁気ディスク装置は大容量化のため年々記録密度が上昇し、ヘッドを位置決めするための位置決め情報を専用の装置を用いて高い精度で作成することが困難になってきている。また、製造コストを押さえるためにも、高精度の位置決め情報を簡単に作成する方法が必要となっている。 The recording density of magnetic disk devices increases year by year due to the increase in capacity, and it has become difficult to create positioning information for positioning the head with high accuracy using a dedicated device. Further, in order to reduce the manufacturing cost, a method for easily creating highly accurate positioning information is required.
そこで、磁性体部分がパターンニングされたマスター体を用いて、これを磁気記録媒体（スレーブ体）に密着・磁界印加することにより、位置決め情報のパターンをマスター体からスレーブ体に複製する方法が開発されている。 Therefore, a method has been developed to replicate the positioning information pattern from the master body to the slave body by using a master body with the magnetic body part patterned and applying it to a magnetic recording medium (slave body) and applying a magnetic field. Has been.
なお、マスター体の作成方法については、特許文献１などに記載されているが、フォトレジストが塗布された円板に所定のパターンを電子露光する工程、フォトレジストを現像処理してフォトレジストによる凹凸を有する原盤を得る工程、原盤にメッキ処理して凹凸パターンを有する金属盤を作成する工程、原盤から金属盤を剥離する工程などを経てマスター体が作成される。 The method for creating the master body is described in Patent Document 1 and the like. However, the step of electronic exposure of a predetermined pattern on a disk coated with photoresist, the unevenness caused by the photoresist by developing the photoresist, The master body is created through a process of obtaining a master having a pattern, a process of plating the master to create a metal disk having a concavo-convex pattern, a process of peeling the metal disk from the master.
位置決め情報のパターンの複製では、位相パターンを精度良く複製することが特に重要となる。ここで、位相パターンとは、位置決め情報のパターンのうち位置決め信号として利用されるパターンである。図５は、位置決め情報および位相パターンを示す図である。同図（ａ）に示すように、磁気記録媒体には、回転中心から半径方向に線状に延びる位置決め情報が磁気パターンとして記録される。 In duplicating the pattern of the positioning information, it is particularly important to duplicate the phase pattern with high accuracy. Here, the phase pattern is a pattern used as a positioning signal among patterns of positioning information. FIG. 5 is a diagram showing positioning information and a phase pattern. As shown in FIG. 5A, positioning information extending in a linear shape in the radial direction from the center of rotation is recorded as a magnetic pattern on the magnetic recording medium.
また、同図（ｂ）に示すように、各セクターの位置決め情報は、同期パターン、インデックス、アドレスおよび位相パターンから構成される。同期パターンは、クロックの同期をとるためのパターンであり、インデックスは、位置決め情報の先頭を特定するための情報である。アドレスは、シリンダー番号やセクター番号などを示す情報であり、位相パターンは、トラック内での位置決めに用いられるパターンである。なお、位相パターンは、対向する斜線から構成されるため斜線パターンとも呼ばれる。 Further, as shown in FIG. 5B, the positioning information of each sector is composed of a synchronization pattern, an index, an address, and a phase pattern. The synchronization pattern is a pattern for synchronizing clocks, and the index is information for specifying the head of positioning information. The address is information indicating a cylinder number, a sector number, and the like, and the phase pattern is a pattern used for positioning in a track. The phase pattern is also called a diagonal pattern because it is composed of opposing diagonal lines.
図６は、斜線パターンとしての理想パターンを示す図である。斜線パターンをヘッドで書き込む方法では、図６に示すように、斜線パターン境界部１０ぎりぎりまでパターンを書き込むことが容易であった。 FIG. 6 is a diagram showing an ideal pattern as a hatched pattern. In the method of writing the oblique line pattern with the head, it is easy to write the pattern up to the edge of the oblique line pattern boundary 10 as shown in FIG.
しかし、パターンニングされたマスター体を用いる方法では、マスター体を作成する際に、斜線パターンをフォトレジストに電子露光する工程があり、電子露光ではビーム径等の制約によりパターン端部がある程度の大きさを持たざるをえないため、図６に示したような理想的な斜線パターンを描くことができず、また、斜線パターン境界部１０は信号が読まれることがないことから、斜線パターン境界部１０ではパターンを作成していなかった。 However, in the method using the patterned master body, there is a step of electronic exposure of the oblique line pattern to the photoresist when creating the master body, and in the electronic exposure, the pattern edge is somewhat large due to restrictions such as the beam diameter. Therefore, an ideal oblique line pattern as shown in FIG. 6 cannot be drawn, and the oblique line pattern boundary 10 does not read a signal. 10 did not create a pattern.
図７は、マスター体を用いる場合の従来の斜線パターンを示す図である。同図に示すように、マスター体を用いる場合には、従来は、斜線パターン境界部１０に不感帯領域となる隙間を設けていた。なお、同図に示す最大隙間幅は、磁気ヘッドのトラック内の位置決めに用いられる。 FIG. 7 is a diagram showing a conventional oblique line pattern when a master body is used. As shown in the figure, when a master body is used, conventionally, a gap serving as a dead zone is provided in the hatched pattern boundary 10. The maximum gap width shown in the figure is used for positioning in the track of the magnetic head.
しかしながら、斜線パターン境界部１０に不感帯領域となる隙間を設けると、この隙間の影響により、複製された斜線パターンの信号領域の精度が劣化するという問題があった。 However, if a gap serving as a dead zone is provided in the hatched pattern boundary 10, there is a problem that the accuracy of the signal area of the copied hatched pattern is deteriorated due to the influence of the gap.
この発明は、上述した従来技術による問題点を解消するためになされたものであり、磁気記録媒体に複製される斜線パターンの精度劣化を防ぐことができるマスター体、マスター体の生産方法および磁気記録媒体を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems caused by the prior art, and is capable of preventing deterioration in accuracy of a hatched pattern copied to a magnetic recording medium, a method for producing the master body, and magnetic recording. The purpose is to provide a medium.
上述した課題を解決し、目的を達成するため、請求項１の発明に係るマスター体は、対向する斜線から構成される斜線パターンが記録され、磁気記録媒体に接近させて磁界を与えることにより該斜線パターンが磁気記録媒体に複製されるマスター体であって、前記斜線パターンを露光する際に該斜線パターンの境界部分に生じる隙間に特定のパターンが埋められていることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the master body according to the invention of claim 1 records a diagonal pattern composed of opposing diagonal lines, and applies the magnetic field by bringing the magnetic body close to the magnetic recording medium. The oblique body pattern is a master body that is replicated on a magnetic recording medium, and a specific pattern is filled in a gap generated at a boundary portion of the oblique line pattern when the oblique line pattern is exposed.
この請求項１の発明によれば、斜線パターンを露光する際に斜線パターンの境界部分に生じる隙間に特定のパターンが埋められているよう構成したので、斜線パターンを複製する際に隙間が与える悪影響をなくすことができる。 According to the first aspect of the invention, since the specific pattern is buried in the gap generated at the boundary portion of the oblique line pattern when the oblique line pattern is exposed, the adverse effect of the gap when the oblique line pattern is duplicated. Can be eliminated.
また、請求項２の発明に係るマスター体は、請求項１の発明において、前記特定のパターンは、前記隙間を埋める垂直線であることを特徴とする。 The master body according to the invention of claim 2 is characterized in that, in the invention of claim 1, the specific pattern is a vertical line filling the gap.
この請求項２の発明によれば、特定のパターンは、隙間を埋める垂直線であるよう構成したので、特定のパターンの先端の形状に幅を持たせることができる。 According to the second aspect of the present invention, the specific pattern is configured to be a vertical line filling the gap, so that the shape of the tip of the specific pattern can have a width.
また、請求項３の発明に係るマスター体は、請求項１の発明において、前記特定のパターンは、前記斜線パターンを構成する斜線を前記境界部分の中央まで延長することによって形成されるパターンであることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, there is provided the master body according to the first aspect of the present invention, wherein the specific pattern is a pattern formed by extending a diagonal line constituting the diagonal line pattern to the center of the boundary portion. It is characterized by that.
この請求項３の発明によれば、特定のパターンは、斜線パターンを構成する斜線を境界部分の中央まで延長することによって形成されるパターンであるよう構成したので、特定のパターンの先端の形状に幅を持たせるとともに、斜線同士が重なることを防ぐことができる。 According to the third aspect of the present invention, the specific pattern is formed by extending the oblique line constituting the oblique line pattern to the center of the boundary portion. The width can be increased and the diagonal lines can be prevented from overlapping.
また、請求項４の発明に係るマスター体の生産方法は、対向する斜線から構成される斜線パターンが記録され、磁気記録媒体に接近させて磁界を与えることにより該斜線パターンが磁気記録媒体に複製されるマスター体の生産方法であって、前記斜線パターンを露光するとともに、露光によって該斜線パターンの境界部分に生じる隙間に特定のパターンを露光して該隙間を埋める露光工程を含んだことを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a master body production method in which a diagonal pattern composed of opposing diagonal lines is recorded, and the diagonal pattern is replicated on the magnetic recording medium by applying a magnetic field close to the magnetic recording medium. A method for producing a master body, comprising: exposing an oblique line pattern; and exposing the specific pattern to a gap generated at a boundary portion of the oblique line pattern by exposure to fill the gap. And
この請求項４の発明によれば、斜線パターンを露光するとともに、露光によって斜線パターンの境界部分に生じる隙間に特定のパターンを露光して隙間を埋めるよう構成したので、斜線パターンを複製する際に隙間が与える悪影響をなくすことができる。 According to the fourth aspect of the present invention, the oblique line pattern is exposed, and a specific pattern is exposed to fill the gap generated at the boundary portion of the oblique line pattern by exposure, so that the gap is filled. The adverse effect of the gap can be eliminated.
また、請求項５の発明に係る磁気記録媒体は、対向する斜線から構成される斜線パターンが記録されたマスター体に接近させて磁界を与えることにより該斜線パターンが複製される磁気記録媒体であって、前記斜線パターンを露光する際に該斜線パターンの境界部分に生じる隙間に特定のパターンが埋められたマスター体から複製され、複製された斜線パターンの境界部分の隙間に特定のパターンが埋められていることを特徴とする。 The magnetic recording medium according to the invention of claim 5 is a magnetic recording medium in which the oblique line pattern is duplicated by applying a magnetic field by approaching the master body on which the oblique line pattern composed of opposed oblique lines is recorded. Thus, when exposing the oblique line pattern, the master body is copied from the master body in which the specific pattern is buried in the gap generated in the boundary part of the oblique line pattern, and the specific pattern is filled in the gap in the boundary part of the copied oblique line pattern. It is characterized by.
この請求項５の発明によれば、斜線パターンを露光する際に斜線パターンの境界部分に生じる隙間に特定のパターンが埋められたマスター体から複製され、複製された斜線パターンの境界部分の隙間に特定のパターンが埋められているよう構成したので、斜線パターンを複製する際に隙間が与える悪影響をなくすことができる。 According to the fifth aspect of the present invention, when exposing a hatched pattern, the master body is copied from the master body in which a specific pattern is buried in the gap generated in the boundary portion of the hatched pattern, and the gap in the boundary portion of the copied hatched pattern is displayed. Since the configuration is such that the specific pattern is filled, it is possible to eliminate the adverse effect of the gap when duplicating the hatched pattern.
請求項１、４および５の発明によれば、斜線パターンを複製する際に隙間が与える悪影響をなくすので、磁気記録媒体に複製される斜線パターンの精度劣化を防ぐことができるという効果を奏する。 According to the first, fourth, and fifth aspects of the invention, since the adverse effect of the gap when the oblique line pattern is duplicated is eliminated, it is possible to prevent the deterioration of the accuracy of the oblique line pattern reproduced on the magnetic recording medium.
また、請求項２の発明によれば、特定のパターンの先端の形状に幅を持たせるので、ビーム径等の制約を受けることなく容易に電子露光することができるという効果を奏する。 According to the invention of claim 2, since the width of the shape of the tip of the specific pattern is widened, there is an effect that the electron exposure can be easily performed without being restricted by the beam diameter or the like.
また、請求項３の発明によれば、特定のパターンの先端の形状に幅を持たせるとともに、斜線同士が重なることを防ぐので、ビーム径等の制約を受けることなく、また露光量の調整が不要であり、容易に電子露光することができるという効果を奏する。 Further, according to the invention of claim 3, the shape of the tip of the specific pattern is given a width and the diagonal lines are prevented from overlapping with each other, so that the exposure amount can be adjusted without being restricted by the beam diameter or the like. There is an effect that it is unnecessary and can be easily electronically exposed.
以下に添付図面を参照して、この発明に係るマスター体、マスター体の生産方法および磁気記録媒体の好適な実施例を詳細に説明する。 Exemplary embodiments of a master body, a master body production method, and a magnetic recording medium according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.
本実施例では、マスター体の斜線パターン境界部１０の隙間に特定の特殊パターンを埋めることによって、パターン複製時に隙間が与える悪影響を防ぐこととしている。そこで、本実施例に係るマスター体において斜線パターン境界部１０の隙間に埋められる特殊パターンについて説明する。図１は、本実施例に係るマスター体において斜線パターン境界部１０の隙間に埋められる特殊パターンを示す図である。 In this embodiment, a specific special pattern is filled in the gap between the oblique pattern boundary portions 10 of the master body to prevent the adverse effect of the gap during pattern duplication. Therefore, a special pattern that is filled in the gap of the oblique line pattern boundary 10 in the master body according to the present embodiment will be described. FIG. 1 is a diagram illustrating a special pattern that is filled in a gap of the oblique line pattern boundary portion 10 in the master body according to the present embodiment.
同図に示すように、このマスター体では、斜線パターン境界部１０の中央に斜線２０に重ならないように垂直線３０を特殊パターンとして入れる。すなわち、本実施例では、マスター体を作成する際の露光工程において、斜線パターンを露光するとともに、斜線パターン境界部１０の隙間に斜線２０に重ならないような垂直線３０を露光する。 As shown in the figure, in this master body, a vertical line 30 is provided as a special pattern in the center of the oblique line pattern boundary portion 10 so as not to overlap the oblique line 20. That is, in this embodiment, in the exposure process when creating the master body, the oblique line pattern is exposed, and the vertical line 30 that does not overlap the oblique line 20 is exposed in the gap of the oblique line pattern boundary portion 10.
このように、本実施例に係るマスター体では、斜線パターン境界部１０の中央に垂直線３０を入れることによって、斜線パターン境界部１０の隙間による悪影響をなくし、マスター体の斜線パターンを高精度にスレーブ体に複製することができる。 As described above, in the master body according to the present embodiment, the vertical line 30 is put in the center of the oblique line pattern boundary portion 10 to eliminate the adverse effect due to the gap in the oblique line pattern boundary portion 10, and the oblique line pattern of the master body can be made with high accuracy. Can be replicated to slave bodies.
また、斜線パターン境界部１０の隙間を埋める特殊パターンの形状を直線とすることによって、ビーム径等に制約されることなく容易に電子露光を行うことができる。さらに、垂直線３０を斜線２０と重ならないようにすることによって、露光量の調整を不要とし、電子露光を容易にすることができる。 Further, by making the shape of the special pattern filling the gap of the oblique line pattern boundary portion 10 a straight line, the electronic exposure can be easily performed without being restricted by the beam diameter or the like. Furthermore, by making the vertical line 30 not overlap the oblique line 20, it is not necessary to adjust the exposure amount, and electronic exposure can be facilitated.
次に、斜線パターン境界部１０の隙間を埋める垂直線以外の特殊パターンについて図２〜図４を用いて説明する。図２は、斜線２０を斜線パターン境界部１０の中央まで延長することによって形成される特殊パターンを示す図である。同図に示すように、この特殊パターンは、斜線２０が斜線パターン境界部１０の中央まで延長されて形成される。 Next, a special pattern other than a vertical line that fills the gap in the oblique line pattern boundary 10 will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a diagram showing a special pattern formed by extending the oblique line 20 to the center of the oblique line boundary 10. As shown in the drawing, this special pattern is formed by extending the oblique line 20 to the center of the oblique line boundary 10.
このように、斜線２０を斜線パターン境界部１０の中央まで延長することによって、斜線パターン境界部１０の隙間による悪影響をなくし、マスター体の斜線パターンを高精度にスレーブ体に複製することができる。 In this way, by extending the oblique line 20 to the center of the oblique line pattern boundary portion 10, the adverse effect due to the gap of the oblique line pattern boundary portion 10 can be eliminated, and the oblique line pattern of the master body can be replicated to the slave body with high accuracy.
また、延長した部分の先端の形状に幅を持たせることによって、ビーム径等に制約されることなく容易に電子露光を行うことができる。さらに、斜線２０同士が重ならない範囲で延長することによって、露光量の調整を不要とし、電子露光を容易にすることができる。 Further, by giving a width to the shape of the tip of the extended portion, it is possible to easily perform electron exposure without being restricted by the beam diameter or the like. Furthermore, by extending within the range in which the oblique lines 20 do not overlap, it is not necessary to adjust the exposure amount, and electronic exposure can be facilitated.
図３は、斜線２０を斜線パターン境界部１０の中央を越えて対向する斜線と接する直前まで延長することによって形成される特殊パターンを示す図である。同図に示すように、この特殊パターンは、斜線２０が斜線パターン境界部１０の中央を越えて対向する斜線と接する直前まで延長されて形成される。 FIG. 3 is a diagram showing a special pattern formed by extending the oblique line 20 to just before contacting the opposite oblique line beyond the center of the oblique line pattern boundary 10. As shown in the figure, the special pattern is formed by extending the oblique line 20 to just before the oblique line bordering the opposite oblique line beyond the center of the oblique line pattern boundary 10.
このように、斜線２０を斜線パターン境界部１０の中央を越えて対向する斜線と接する直前まで延長することによって、斜線パターン境界部１０の隙間による悪影響をなくし、マスター体の斜線パターンを高精度にスレーブ体に複製することができる。 In this way, by extending the oblique line 20 to just before contacting the opposite oblique line beyond the center of the oblique line pattern boundary part 10, the adverse effect due to the gap of the oblique line pattern boundary part 10 is eliminated, and the oblique line pattern of the master body is made highly accurate. Can be replicated to slave bodies.
図４は、斜線２０を斜線パターン境界部１０の中央まで延長し、その後、隣接する斜線２０に接する直前まで短垂線で延長することによって形成される特殊パターンを示す図である。同図に示すように、この特殊パターンは、斜線２０が斜線パターン境界部１０の中央まで延長され、その後、隣接する斜線２０に接する直前まで短垂線で延長されて形成される。 FIG. 4 is a diagram showing a special pattern formed by extending the oblique line 20 to the center of the oblique line boundary 10 and then extending it with a short perpendicular until just before contacting the adjacent oblique line 20. As shown in the figure, this special pattern is formed by extending the oblique line 20 to the center of the oblique line boundary 10 and then extending it with a short perpendicular until just before contacting the adjacent oblique line 20.
このように、斜線２０を斜線パターン境界部１０の中央まで延長し、その後、隣接する斜線２０に接する直前まで短垂線で延長することによって、斜線パターン境界部１０の隙間による悪影響をなくし、マスター体の斜線パターンを高精度にスレーブ体に複製することができる。 In this way, by extending the oblique line 20 to the center of the oblique line pattern boundary 10 and then extending with a short perpendicular until just before contacting the adjacent oblique line 20, the adverse effect due to the gap of the oblique line pattern boundary part 10 is eliminated, and the master body The hatched pattern can be copied to the slave body with high accuracy.
上述してきたように、本実施例では、マスター体の斜線パターン境界部１０の隙間に特殊パターンを埋めることとしたので、複製される磁気パターンの精度劣化を防ぎ、高精度なパターン複製を行うことができる。 As described above, in this embodiment, since the special pattern is buried in the gap between the oblique pattern boundary portions 10 of the master body, it is possible to prevent the deterioration of the accuracy of the magnetic pattern to be duplicated and perform the high-precision pattern duplication. Can do.
また、特殊パターンの先端の形状に幅を持たせることによって、ビーム径等に制約されることなく容易に電子露光を行うことができる。さらに、特殊パターンが斜線２０と重ならないようにすることによって、露光量の調整を不要とし、電子露光を容易にすることができる。 Further, by providing a width at the tip of the special pattern, electronic exposure can be easily performed without being restricted by the beam diameter or the like. Furthermore, by making the special pattern not overlap the oblique line 20, it is not necessary to adjust the exposure amount, and electronic exposure can be facilitated.
なお、本実施例では、マスター体の斜線パターン境界部１０の隙間を埋める四つの特殊パターンについて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、斜線２０と重なることなく、先端の形状に幅を持たせる任意のパターンを特殊パターンとして用いることができる。 In the present embodiment, the four special patterns that fill the gaps in the oblique line pattern boundary portion 10 of the master body have been described. However, the present invention is not limited to this, and the shape of the tip does not overlap with the oblique line 20. Any pattern that gives a width to can be used as the special pattern.
また、本実施例では、位置決め情報を構成する斜線パターンを複製する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、対向する斜線から構成される任意の斜線パターンを複製する場合にも同様に適用することができる。 Further, in the present embodiment, the case where the oblique line pattern constituting the positioning information is duplicated has been described. However, the present invention is not limited to this, and the case where an arbitrary oblique line pattern constituted by opposing oblique lines is duplicated. It can be similarly applied to.
また、本実施例では、特殊パターンを斜線パターンとともに露光する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、マスター体を作成する任意の工程で斜線パターン境界部１０の隙間に特殊パターンを埋める場合にも同様に適用することができる。 In the present embodiment, the case where the special pattern is exposed together with the oblique line pattern has been described. However, the present invention is not limited to this, and the gap between the oblique line pattern boundary portions 10 is formed in an arbitrary process of creating the master body. The same can be applied to the case of filling a special pattern.
（付記１）対向する斜線から構成される斜線パターンが記録され、磁気記録媒体に接近させて磁界を与えることにより該斜線パターンが磁気記録媒体に複製されるマスター体であって、
前記斜線パターンを露光する際に該斜線パターンの境界部分に生じる隙間に特定のパターンが埋められていることを特徴とするマスター体。
(Supplementary note 1) A master body in which a diagonal pattern composed of opposing diagonal lines is recorded, and the diagonal pattern is replicated on the magnetic recording medium by applying a magnetic field close to the magnetic recording medium,
A master body, wherein a specific pattern is filled in a gap generated at a boundary portion of the oblique line pattern when the oblique line pattern is exposed.
（付記２）前記特定のパターンは、前記隙間を埋める垂直線であることを特徴とする付記１に記載のマスター体。 (Supplementary note 2) The master body according to supplementary note 1, wherein the specific pattern is a vertical line filling the gap.
（付記３）前記特定のパターンは、前記斜線パターンを構成する斜線を前記境界部分の中央まで延長することによって形成されるパターンであることを特徴とする付記１に記載のマスター体。 (Additional remark 3) The said specific pattern is a pattern formed by extending the oblique line which comprises the said oblique line pattern to the center of the said boundary part, The master body of Additional remark 1 characterized by the above-mentioned.
（付記４）前記特定のパターンは、前記斜線パターンを構成する斜線を対向する斜線に接する直前まで延長することによって形成されるパターンであることを特徴とする付記１に記載のマスター体。 (Supplementary note 4) The master body according to Supplementary note 1, wherein the specific pattern is a pattern formed by extending a diagonal line constituting the diagonal line pattern until just before contacting the opposite diagonal line.
（付記５）前記特定のパターンは、前記斜線パターンを構成する斜線を前記境界部分の中央まで延長した後、垂直線を隣接斜線に接する直前まで延長することによって形成されるパターンであることを特徴とする付記１に記載のマスター体。 (Additional remark 5) The said specific pattern is a pattern formed by extending the oblique line which comprises the said oblique line pattern to the center of the said boundary part, and extending to a just before the perpendicular line touches an adjacent oblique line. The master body according to Supplementary Note 1.
（付記６）対向する斜線から構成される斜線パターンが記録され、磁気記録媒体に接近させて磁界を与えることにより該斜線パターンが磁気記録媒体に複製されるマスター体の生産方法であって、
前記斜線パターンを露光するとともに、露光によって該斜線パターンの境界部分に生じる隙間に特定のパターンを露光して該隙間を埋める露光工程
を含んだことを特徴とするマスター体の生産方法。
(Supplementary note 6) A method of producing a master body in which a diagonal pattern composed of opposing diagonal lines is recorded, and the diagonal pattern is replicated on the magnetic recording medium by applying a magnetic field close to the magnetic recording medium,
A method of producing a master body, comprising: exposing the oblique line pattern, and exposing the specific pattern to a gap generated at a boundary portion of the oblique line pattern by exposure to fill the gap.
（付記７）前記露光工程により露光される特定のパターンは、前記隙間を埋める垂直線であることを特徴とする付記６に記載のマスター体の生産方法。 (Additional remark 7) The specific pattern exposed by the said exposure process is a perpendicular line which fills the said clearance gap, The production method of the master body of Additional remark 6 characterized by the above-mentioned.
（付記８）前記露光工程により露光される特定のパターンは、前記斜線パターンを構成する斜線を前記境界部分の中央まで延長することによって形成されるパターンであることを特徴とする付記６に記載のマスター体の生産方法。 (Additional remark 8) The specific pattern exposed by the said exposure process is a pattern formed by extending the oblique line which comprises the said oblique line pattern to the center of the said boundary part, It is characterized by the above-mentioned Master body production method.
（付記９）前記露光工程により露光される特定のパターンは、前記斜線パターンを構成する斜線を対向する斜線に接する直前まで延長することによって形成されるパターンであることを特徴とする付記６に記載のマスター体の生産方法。 (Additional remark 9) The specific pattern exposed by the said exposure process is a pattern formed by extending the oblique line which comprises the said oblique line pattern to just before touching the opposite oblique line, It is characterized by the above-mentioned. Master body production method.
（付記１０）前記露光工程により露光される特定のパターンは、前記斜線パターンを構成する斜線を前記境界部分の中央まで延長した後、垂直線を隣接斜線に接する直前まで延長することによって形成されるパターンであることを特徴とする付記６に記載のマスター体の生産方法。 (Supplementary Note 10) The specific pattern exposed by the exposure step is formed by extending the oblique line constituting the oblique line pattern to the center of the boundary portion and then extending the vertical line to just before contacting the adjacent oblique line. The method for producing a master body according to appendix 6, wherein the master body is a pattern.
（付記１１）対向する斜線から構成される斜線パターンが記録されたマスター体に接近させて磁界を与えることにより該斜線パターンが複製される磁気記録媒体であって、
前記斜線パターンを露光する際に該斜線パターンの境界部分に生じる隙間に特定のパターンが埋められたマスター体から複製され、複製された斜線パターンの境界部分の隙間に特定のパターンが埋められていることを特徴とする磁気記録媒体。
(Supplementary Note 11) A magnetic recording medium in which a diagonal pattern composed of opposing diagonal lines is copied to the master body by recording the diagonal pattern by applying a magnetic field to the master body,
When exposing the hatched pattern, the master body is copied from the master body in which the specific pattern is buried in the gap generated in the boundary portion of the hatched pattern, and the particular pattern is buried in the gap in the boundary portion of the duplicated hatched pattern. A magnetic recording medium characterized by the above.
以上のように、本発明に係るマスター体、マスター体の生産方法および磁気記録媒体は、磁気ディスク装置などの磁気記録装置に有用であり、特に、記録密度が高い磁気記録装置に適している。 As described above, the master body, the master body production method, and the magnetic recording medium according to the present invention are useful for a magnetic recording apparatus such as a magnetic disk apparatus, and are particularly suitable for a magnetic recording apparatus having a high recording density.
１０ 斜線パターン境界部
２０ 斜線
３０ 垂直線
10 Diagonal line pattern boundary 20 Diagonal line 30 Vertical line
Claims (5)
前記斜線パターンを露光する際に該斜線パターンの境界部分に生じる隙間に特定のパターンが埋められていることを特徴とするマスター体。 A master body in which a diagonal pattern composed of opposing diagonal lines is recorded, and the diagonal pattern is replicated on the magnetic recording medium by applying a magnetic field close to the magnetic recording medium,
A master body, wherein a specific pattern is filled in a gap generated at a boundary portion of the oblique line pattern when the oblique line pattern is exposed.
前記斜線パターンを露光するとともに、露光によって該斜線パターンの境界部分に生じる隙間に特定のパターンを露光して該隙間を埋める露光工程
を含んだことを特徴とするマスター体の生産方法。 A production method of a master body in which a diagonal pattern composed of opposing diagonal lines is recorded and the oblique pattern is replicated on the magnetic recording medium by applying a magnetic field close to the magnetic recording medium,
A method of producing a master body, comprising: exposing the oblique line pattern, and exposing the specific pattern to a gap generated at a boundary portion of the oblique line pattern by exposure to fill the gap.
前記斜線パターンを露光する際に該斜線パターンの境界部分に生じる隙間に特定のパターンが埋められたマスター体から複製され、複製された斜線パターンの境界部分の隙間に特定のパターンが埋められていることを特徴とする磁気記録媒体。 A magnetic recording medium in which the oblique line pattern is duplicated by applying a magnetic field by approaching the master body on which the oblique line pattern composed of opposing oblique lines is recorded,
When exposing the hatched pattern, the master body is copied from the master body in which the specific pattern is buried in the gap generated in the boundary portion of the hatched pattern, and the particular pattern is buried in the gap in the boundary portion of the duplicated hatched pattern. A magnetic recording medium characterized by the above.
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