JP2006514265A - Pressure sensor housing and assembly - Google Patents

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Abstract

圧力センサハウジングおよびアセンブリが開示されている。圧力センサは、1つの一体型ハウジングを備えるマニホルドおよびヘッダを有してもよい。一体型ハウジングは、細長いチューブと連絡している圧力取入口を有する。一体型ハウジングはまた、圧力取入口を通って圧力入力信号を受けるために細長いチューブと結合された感知ダイを有してもよい。感知ダイは、加えられた圧力を検知し、加えられた圧力から電気信号を誘導してもよい。A pressure sensor housing and assembly are disclosed. The pressure sensor may have a manifold and header with one integral housing. The integral housing has a pressure inlet in communication with the elongated tube. The integral housing may also have a sensing die coupled with the elongated tube for receiving a pressure input signal through the pressure inlet. The sensing die may sense the applied pressure and derive an electrical signal from the applied pressure.

Description

本発明は、一般にセンサ、より具体的には圧力センサハウジングおよびアセンブリに関する。   The present invention relates generally to sensors, and more particularly to pressure sensor housings and assemblies.

圧力測定は、一般にプロセス制御産業(たとえば、製紙業、石油精製業、化学薬品製造業など)、車両(たとえば、エンジンの油圧系)、航空機製造、ユーティリティおよび暖房、およびその他の産業で行われる。圧力測定は通常、絶対測定、ゲージ測定、または示差測定として行われる。絶対圧力センサは、真空に対する圧力を測定し、ゲージセンサ測定は、大気圧に対する圧力を測定し、示差センサ測定は、2つの入力値間の圧力差を測定する。   Pressure measurements are typically made in the process control industry (eg, paper, oil refining, chemical manufacturing, etc.), vehicles (eg, engine hydraulics), aircraft manufacturing, utilities and heating, and other industries. Pressure measurements are usually made as absolute measurements, gauge measurements, or differential measurements. An absolute pressure sensor measures pressure against a vacuum, a gauge sensor measurement measures pressure against atmospheric pressure, and a differential sensor measurement measures a pressure difference between two input values.

圧力センサは、示差、ゲージおよび絶対圧力測定におそらく対処するための「チューブ上流(up-the-tube)」圧力取入口設計を組み込んでもよい。チューブ上流圧力センサは、センサの構成要素に損傷を与えることなく、圧力を測定することができる。たとえば、チューブ上流圧力測定は、流体が、感知ダイの電子部品と接触することを防止する。典型的なチューブ上流圧力センサは、マニホルドと(レーザー溶接点を介して)接続されたガラスヘッダを有する。また、プリント回路板が、可撓性のプリント回路板接合部(すなわち、フレックステープ)を使用してガラスヘッダに直立して接続されている。このようにして圧力センサを製造することは、レーザー溶接部およびフレックステープ接続部の両方が回路基板上を使用するため、ヘッダのレーザー溶接およびヘッダのフレックステープ接続による回路基板上の空間の量を低減させる。   The pressure sensor may incorporate an “up-the-tube” pressure inlet design to possibly deal with differential, gauge and absolute pressure measurements. The tube upstream pressure sensor can measure pressure without damaging the sensor components. For example, tube upstream pressure measurements prevent fluid from contacting the sensing die electronics. A typical tube upstream pressure sensor has a glass header connected to the manifold (via a laser weld). Also, the printed circuit board is connected upright to the glass header using a flexible printed circuit board joint (ie, flex tape). Manufacturing the pressure sensor in this way reduces the amount of space on the circuit board due to laser welding of the header and flex tape connection of the header, since both the laser weld and the flex tape connection are used on the circuit board. Reduce.

また、既存のチューブ上流圧力センサは、圧力入力および電気出力が反対方向に流れるように構成され、センサの入力と出力の間の干渉を生じさせる。   Existing tube upstream pressure sensors are also configured so that the pressure input and electrical output flow in opposite directions, causing interference between the sensor input and output.

結果として、既存のチューブ上流圧力センサは、製造および性能要求を満たすことができず、したがって、このような既存の困難および問題点なしで製造される圧力センサが望まれる。   As a result, existing tube upstream pressure sensors cannot meet manufacturing and performance requirements, and therefore pressure sensors that are manufactured without such existing difficulties and problems are desired.

例示的な実施形態によると、一体型ハウジングの表面を通って画定された圧力取入口を備える一体型ハウジングが提供される。前記ハウジングはまた、前記一体型ハウジングの内部に配置された細長いチューブを有する。前記細長いチューブは、第1の端部と第2の端部を有する。前記第1の端部は、前記圧力取入口と圧力的に連絡している。前記ハウジングはまた、前記圧力取入口に存在する圧力が、感知ダイによって測定可能であるように、前記細長いチューブの前記第2の端部に取り付けられた感知ダイを有する。   According to an exemplary embodiment, an integral housing is provided that includes a pressure inlet defined through a surface of the integral housing. The housing also has an elongate tube disposed within the integral housing. The elongate tube has a first end and a second end. The first end is in pressure communication with the pressure inlet. The housing also has a sensing die attached to the second end of the elongated tube so that the pressure present at the pressure inlet can be measured by the sensing die.

別の実施形態では、第1の端部と第2の端部を有する圧力センサアセンブリが提供される。前記第1の端部は、細長いチューブを備える圧力取入口を備える表面を有する。前記アセンブリはまた、圧力感知表面を備える感知ダイを有する。前記感知ダイは、細長いチューブに結合され、圧力感知表面が前記圧力取入口を備える前記ハウジングの表面とほぼ垂直であるように装着されている。前記アセンブリはまた、前記圧力取入口を備える前記ハウジングの表面とほぼ垂直であるように前記一体型ハウジングの第2の端部に結合された回路基板を備える。   In another embodiment, a pressure sensor assembly having a first end and a second end is provided. The first end has a surface with a pressure inlet comprising an elongated tube. The assembly also has a sensing die with a pressure sensitive surface. The sensing die is coupled to an elongated tube and mounted such that a pressure sensing surface is substantially perpendicular to the surface of the housing with the pressure inlet. The assembly also includes a circuit board coupled to the second end of the integral housing so as to be substantially perpendicular to the surface of the housing with the pressure inlet.

さらに別の実施形態では、一体型ハウジングの表面を通って画定された圧力取入口を備える一体型ハウジングを有するチューブ上流センサが提供される。前記ハウジングはまた、前記一体型ハウジング内に配置された感知ダイを有する。前記感知ダイは、前記圧力取入口と圧力的に連絡している。前記ハウジングは、前記一体型ハウジング内に配置された細長いパイレックス(登録商標)チューブをさらに有する。前記細長いパイレックス(登録商標)チューブは、前記圧力取入口と圧力的に連絡している。   In yet another embodiment, a tube upstream sensor is provided having an integral housing with a pressure inlet defined through the surface of the integral housing. The housing also has a sensing die disposed within the integral housing. The sensing die is in pressure communication with the pressure inlet. The housing further includes an elongated Pyrex tube disposed within the integral housing. The elongated Pyrex tube is in pressure communication with the pressure inlet.

本発明のこれらならびにその他の特徴および利点は、添付の図面を適切に参照して以下の詳細な説明を読むことによって、当業者に明らかになるであろう。
同じ符号を有する要素が、全体を通して類似の要素を表す添付の図面を参照する。
These as well as other features and advantages of the present invention will become apparent to those of ordinary skill in the art by reading the following detailed description, with appropriate reference to the accompanying drawings.
Referring to the accompanying drawings, elements having the same reference numeral represent like elements throughout.

例示的な実施形態では、チューブ上流圧力センサアセンブリが示されている。アセンブリは、回路基板と接続されたマニホルドおよびヘッダを備える一体型ハウジングを有してもよい。一体型ハウジングは、既存の圧力センサアセンブリと比較して回路基板の空間を増加させるために、既存のチューブ上流圧力センサのようにフレックステープ接合部またはレーザー溶接点接合部がなくてもよい。チューブ上流センサはまた、プロセス流体入力信号から感知ダイの電子部品側を絶縁する。したがって、プロセス流体入力信号は、このような構成を使用する電気出力信号と干渉しない。   In the exemplary embodiment, a tube upstream pressure sensor assembly is shown. The assembly may have an integral housing with a manifold and header connected to the circuit board. The integral housing may be free of a flex tape joint or a laser weld joint, like an existing tube upstream pressure sensor, to increase circuit board space compared to an existing pressure sensor assembly. The tube upstream sensor also insulates the electronic side of the sensing die from the process fluid input signal. Thus, the process fluid input signal does not interfere with the electrical output signal using such a configuration.

図1を参照すると、圧力センサアセンブリ100の一実施形態が示されている。圧力センサアセンブリ100は、プリント回路板102と、マニホルド104と、ヘッダ106とを有する。マニホルド104およびヘッダ106は、1つの一体型圧力センサハウジング108を備えてもよい。別の実施形態では、マニホルド104およびヘッダ106は、一体型ハウジング108を形成するために互いに装着または溶接された別個の部片であってもよい。プリント回路板102は、ねじ110(a〜b)またはそれと等価なものを使用して一体型ハウジング108に装着されてもよい。一体型ハウジング108は、その表面114が、圧力信号が測定されることを許す開口部を有する基部112を有する(開口部は、例示を簡単にするために図1に示されていない)。一体型ハウジング108はまた、プリント回路板102を通過するリード線(図1では図示せず)を有する。はんだ接点116が、リード線をプリント回路板102と導電可能に結合する。プリント回路板102は、それが、基部112の表面114と垂直であるように(すなわち、一体型ハウジング108に対して直立した位置で)一体型ハウジング108に装着されてもよい。   Referring to FIG. 1, one embodiment of a pressure sensor assembly 100 is shown. The pressure sensor assembly 100 includes a printed circuit board 102, a manifold 104, and a header 106. Manifold 104 and header 106 may include a single integrated pressure sensor housing 108. In another embodiment, the manifold 104 and the header 106 may be separate pieces that are attached or welded together to form an integral housing 108. The printed circuit board 102 may be mounted to the integrated housing 108 using screws 110 (ab) or equivalent. The integral housing 108 has a base 112 whose surface 114 has an opening that allows a pressure signal to be measured (the opening is not shown in FIG. 1 for ease of illustration). The integral housing 108 also has leads (not shown in FIG. 1) that pass through the printed circuit board 102. Solder contacts 116 conductively couple the leads to the printed circuit board 102. The printed circuit board 102 may be mounted to the integrated housing 108 such that it is perpendicular to the surface 114 of the base 112 (ie, in an upright position relative to the integrated housing 108).

一体型ハウジング108の基部112は、一体型ハウジング108がいかなるほぼ平面状の表面とも装着されることを可能にするほぼ平面状の装着表面であってもよい。一体型ハウジング108は、ステンレス鋼材料を備えてもよいが、他の材料も可能である。   The base 112 of the integral housing 108 may be a generally planar mounting surface that allows the integral housing 108 to be mounted with any generally planar surface. The integral housing 108 may comprise a stainless steel material, but other materials are possible.

圧力センサアセンブリ100は、マニホルド104とほぼ垂直に配置されたヘッダ106を備える。ヘッダ106およびマニホルド104を1つの一体型ハウジング108に一体化させて、ヘッダ106をマニホルド104から約90°回転させることによって、アセンブリおよび部品のいくつかの利点が、実現されることができる。たとえば、ヘッダ106およびマニホルド104を一体化させることは、ヘッダ106およびマニホルド104を互いに装着することをなくし、このことは、製造ステップ、およびレーザー溶接接合部などの追加の部品をなくす。また、ヘッダ106をマニホルド104とほぼ垂直になるように回転させることは、プリント回路板102がヘッダ106に直接はんだ付けされることを可能にし、このことは、別個のフレックステープ接続部または相補的なコネクタなどの追加の製造および処理ステップを除去する。また、プリント回路板102の面積の増加が、圧力センサアセンブリ100の形状のため使用可能である。   The pressure sensor assembly 100 includes a header 106 that is disposed substantially perpendicular to the manifold 104. By integrating the header 106 and manifold 104 into one integral housing 108 and rotating the header 106 about 90 ° from the manifold 104, several advantages of the assembly and components can be realized. For example, integrating header 106 and manifold 104 eliminates mounting header 106 and manifold 104 to each other, which eliminates manufacturing steps and additional components such as laser weld joints. Also, rotating the header 106 to be approximately perpendicular to the manifold 104 allows the printed circuit board 102 to be soldered directly to the header 106, which can be a separate flex tape connection or complementary. Eliminates additional manufacturing and processing steps such as complex connectors. Also, the increased area of the printed circuit board 102 can be used due to the shape of the pressure sensor assembly 100.

図2を参照すると、図1の圧力センサアセンブリ100のためのカバー200が示されている。カバー200は、鋼、金属、セラミックなどから成り、圧力センサアセンブリ100を厳しい環境から保護することができる。カバー200は、プリント回路板102および一体型ハウジング108を閉じて保護するためにそれらを覆って滑動してもよい。カバー200は、摩擦嵌め、スナップ嵌め、ねじまたはその他の手段によって一体型ハウジング108の基部112で圧力センサアセンブリ100に取り付けられてもよい。カバー200を使用する圧力センサアセンブリ100の閉鎖は、圧力センサアセンブリ100のための密封パッケージを提供する。密封パッケージは、圧力センサアセンブリ100のプリント回路板102またはその他の電子部品への湿気または湿り気の影響を低減させてもよい。   Referring to FIG. 2, a cover 200 for the pressure sensor assembly 100 of FIG. 1 is shown. The cover 200 is made of steel, metal, ceramic, etc., and can protect the pressure sensor assembly 100 from harsh environments. Cover 200 may slide over printed circuit board 102 and integral housing 108 to close and protect them. The cover 200 may be attached to the pressure sensor assembly 100 at the base 112 of the integral housing 108 by a friction fit, snap fit, screw or other means. Closing the pressure sensor assembly 100 using the cover 200 provides a sealed package for the pressure sensor assembly 100. The sealed package may reduce the effect of moisture or moisture on the printed circuit board 102 or other electronic components of the pressure sensor assembly 100.

図3Aは、一体型ハウジング108の前部等角図を示している。図3Bは、一体型ハウジング108の後部等角図を示している。図3Bに示すように、ヘッダ106は、プリント回路板102に取り付けるためのピン300を備える。ピン300は、プリント回路板102の対応する開口部内に配置されており、プリント回路板102にはんだ付けされてもよい。ピン300は、小さな電線であってもよい。図示を簡単にするために7本だけのピン300が図3Bに示されているが、いかなる所望の数のピンが使用されてもよい。また、ピン300は、プリント回路板102の所望の装着に応じてヘッダ106上の異なる位置に構成または配置されてもよい。   FIG. 3A shows a front isometric view of the integrated housing 108. FIG. 3B shows a rear isometric view of the integrated housing 108. As shown in FIG. 3B, the header 106 includes pins 300 for attachment to the printed circuit board 102. The pins 300 are disposed in corresponding openings in the printed circuit board 102 and may be soldered to the printed circuit board 102. The pin 300 may be a small electric wire. Although only seven pins 300 are shown in FIG. 3B for ease of illustration, any desired number of pins may be used. Also, the pins 300 may be configured or arranged at different positions on the header 106 depending on the desired mounting of the printed circuit board 102.

図3Cは、一体型ハウジング108の断面図である。一体型ハウジング108は、感知ダイ302と、細長いチューブ304と、基部112内の圧力取入口306と、複数の接続リード線308とを有してもよい。細長いチューブ304は、一体型ハウジング108の空洞310内に配置されている。細長いチューブ304は、両端に開口部を備える円筒形のチューブであってもよいが、他の形状も可能である。細長いチューブ304は、圧力取入口306を備える一体型ハウジング108に対して斜めに装着されてもよい。たとえば、図3Cに示すように、細長いチューブ304の円筒形の部分は、一体型ハウジング108の基部112に対して平行に配置される。しかし、細長いチューブ304は、同じように他の配置で装着されてもよい。細長いチューブ304は、空洞310内にエポキシ樹脂で接着されてもよい、またはその位置にはんだ付けされてもよい。   FIG. 3C is a cross-sectional view of the integrated housing 108. The integral housing 108 may include a sensing die 302, an elongated tube 304, a pressure inlet 306 in the base 112, and a plurality of connecting leads 308. The elongate tube 304 is disposed within the cavity 310 of the integral housing 108. The elongate tube 304 may be a cylindrical tube with openings at both ends, but other shapes are possible. The elongate tube 304 may be mounted obliquely relative to the integral housing 108 that includes the pressure intake 306. For example, as shown in FIG. 3C, the cylindrical portion of the elongated tube 304 is disposed parallel to the base 112 of the unitary housing 108. However, the elongate tube 304 may be mounted in other arrangements as well. The elongated tube 304 may be glued with epoxy resin in the cavity 310 or soldered in place.

細長いチューブ304の一方の端部312は、圧力取入口306と連絡している。感知ダイ302が、細長いチューブ304の他方の端部314に接続されている。感知ダイ302は、表面316で圧力を感知し、圧力に比例する電気信号を作成する。感知ダイ302に加えられた入力圧力が、圧力取入口306を通って、および細長いチューブ304を通って送信され、そこで、感知ダイ302の表面316に到達する。入力圧力は、液体または気体によって加えられてもよい。   One end 312 of the elongated tube 304 is in communication with the pressure inlet 306. A sensing die 302 is connected to the other end 314 of the elongated tube 304. Sensing die 302 senses pressure at surface 316 and creates an electrical signal proportional to the pressure. Input pressure applied to the sensing die 302 is transmitted through the pressure inlet 306 and through the elongated tube 304 where it reaches the surface 316 of the sensing die 302. The input pressure may be applied by liquid or gas.

感知ダイ302は、ダイヤフラムに接合された、またはダイヤフラム内に分散された歪ゲージを備える、抵抗要素として機能する可撓性のダイヤフラムを備えてもよい。圧力に誘導された歪の下で、歪ゲージの抵抗値は変化し、この抵抗値の変化が、適切な回路を使用して、入力圧力に比例する電気出力に変換されることができる。感知ダイ302はまた、圧力ダイヤフラムがコンデンサの1つの板であり、その値が圧力に誘導される偏移のために変化する容量型センサを備えてもよい。感知ダイ302はまた、圧電抵抗型圧力センサ、またはシリコンセルであってもよい。圧電抵抗型圧力センサは、感知ダイ上に分散された圧電抵抗型歪ゲージを備えるダイヤフラムを有する。圧電抵抗型歪ゲージ上で電圧を測定することによって、ダイヤフラムに加えられる圧力が決定される。感知ダイの他の変形形態も同様に可能である。   The sensing die 302 may comprise a flexible diaphragm that functions as a resistive element, with strain gauges joined to the diaphragm or distributed within the diaphragm. Under pressure induced strain, the resistance value of the strain gauge changes and this change in resistance value can be converted to an electrical output proportional to the input pressure using an appropriate circuit. The sensing die 302 may also comprise a capacitive sensor whose pressure diaphragm is one plate of a capacitor whose value changes due to a pressure induced shift. Sensing die 302 may also be a piezoresistive pressure sensor or a silicon cell. A piezoresistive pressure sensor has a diaphragm with a piezoresistive strain gauge dispersed on a sensing die. By measuring the voltage on a piezoresistive strain gauge, the pressure applied to the diaphragm is determined. Other variations of the sensing die are possible as well.

感知ダイ302は、ダイヤフラムの2つの側面の間の圧力差を全体として測定する。感知ダイ302は、必要に応じて、絶対圧力、示差圧力またはゲージ圧力を測定することができる。   The sensing die 302 measures the pressure difference between the two sides of the diaphragm as a whole. The sensing die 302 can measure absolute pressure, differential pressure or gauge pressure as required.

細長いチューブ304は、感知ダイ302の熱膨張係数とおよそ同じである熱膨張係数を有するパイレックス(登録商標)またはその他の材料から成ってもよい。このことは、異なる熱膨張係数を有する感知ダイ302と細長いチューブ304のための材料を使用することによって生じる信号出力での温度に誘導される変動を減少および/または防止する。たとえば、感知ダイ302は、細長いチューブ304に堅固に取り付けられてもよく、圧力測定での温度に誘導される誤差が、熱膨張係数の不均衡のため生じるかもしれない。   The elongate tube 304 may be made of Pyrex or other material having a thermal expansion coefficient that is approximately the same as the thermal expansion coefficient of the sensing die 302. This reduces and / or prevents temperature-induced variations in signal output caused by using materials for sensing die 302 and elongated tube 304 having different coefficients of thermal expansion. For example, the sensing die 302 may be rigidly attached to the elongate tube 304, and temperature induced errors in pressure measurements may occur due to thermal expansion coefficient imbalances.

接続リード線308が、感知ダイ302からピン300へ延びている。接続リード線308は、感知ダイ302にワイヤ接合されている、または他の手段を通して接続されている、またはピン300にはんだ付けされている。   A connecting lead 308 extends from the sensing die 302 to the pin 300. Connection lead 308 is wire bonded to sensing die 302 or connected through other means or soldered to pin 300.

図4は、カバー200が取り付けられている図1の圧力センサアセンブリ100の断面図である。一体型ハウジング108の表面114およびカバー200が、密封部400を形成している。図示のように、感知ダイ302の表面316は、プリント回路板102とほぼ平行であり、また、一体型ハウジング108の表面114とほぼ垂直である。また、表面114は、プリント回路板102の表面402にほぼ垂直である。ここに記載した要素間の垂直または平行な関係は、本発明のすべての実施形態に対しては重要ではないが、他の構成が、本発明の利点を達成してもよい。   4 is a cross-sectional view of the pressure sensor assembly 100 of FIG. 1 with the cover 200 attached. The surface 114 of the integral housing 108 and the cover 200 form a seal 400. As shown, the surface 316 of the sensing die 302 is substantially parallel to the printed circuit board 102 and is substantially perpendicular to the surface 114 of the integrated housing 108. Also, the surface 114 is substantially perpendicular to the surface 402 of the printed circuit board 102. Although the vertical or parallel relationship between the elements described herein is not important for all embodiments of the invention, other configurations may achieve the advantages of the invention.

図4はまた、プリント回路板102の出力ポート404を示している。出力ポート404は、一体型ハウジング108の反対側のプリント回路板102の端部406と導電的に結合されている。しかし、出力ポート404は、圧力センサアセンブリ100上のいずれの場所にあってもよい。   FIG. 4 also shows the output port 404 of the printed circuit board 102. The output port 404 is conductively coupled to the end 406 of the printed circuit board 102 opposite the integral housing 108. However, the output port 404 may be anywhere on the pressure sensor assembly 100.

図1〜4に示した圧力センサアセンブリ100および本明細書に記載したその他の構成は、ただ例の目的で述べられており、他の構成および要素が代わりに使用されることができ、いくつかの要素は完全に省略されてもよいことを理解されたい。たとえば、圧力センサアセンブリ100で使用するための材料の選択は、高圧力、高温またはその他の環境条件に耐えるように選択される。   The pressure sensor assembly 100 shown in FIGS. 1-4 and other configurations described herein are set forth for purposes of example only, and other configurations and elements may be used instead, It should be understood that these elements may be omitted entirely. For example, the selection of materials for use in the pressure sensor assembly 100 is selected to withstand high pressures, high temperatures or other environmental conditions.

図1〜4に示した圧力センサアセンブリ100は、チューブ上流圧力センサアセンブリとして採用されることができる。しかし、圧力センサアセンブリ100が、他の圧力センサ技術に従って使用されてもよいことは、当業者なら理解されよう。   The pressure sensor assembly 100 shown in FIGS. 1-4 can be employed as a tube upstream pressure sensor assembly. However, those skilled in the art will appreciate that the pressure sensor assembly 100 may be used in accordance with other pressure sensor technologies.

本発明に関係する当業者は、本発明の精神および特徴を逸脱せずに本発明の原理を採用する他の実施形態の結果となる修正を行ってもよい。したがって、ここに記載した実施形態は、すべての点で例示的なものに過ぎず、限定されるものではない、また、したがって本発明の範囲は、以下の説明によってではなく、頭記の特許請求の範囲によって示される。したがって、本発明は、特定の実施形態に関して説明され、当業者に明らかな修正は、本発明の範囲内にある。他の実施例も同様に可能である。   Those skilled in the art to which the present invention pertains may make modifications resulting in other embodiments employing the principles of the present invention without departing from the spirit and features of the invention. Accordingly, the embodiments described herein are illustrative in all respects and are not intended to be limiting, and the scope of the invention is thus not limited by the following description, but by the appended claims. Indicated by a range of. Thus, the present invention has been described with respect to particular embodiments and modifications obvious to those skilled in the art are within the scope of the present invention. Other embodiments are possible as well.

圧力センサアセンブリの一実施形態の背面図である。FIG. 6 is a rear view of one embodiment of a pressure sensor assembly. 図1の圧力センサアセンブリのためのカバーを示す図である。FIG. 2 shows a cover for the pressure sensor assembly of FIG. 1. 図1の圧力センサアセンブリの一部の前部等角図である。FIG. 2 is a front isometric view of a portion of the pressure sensor assembly of FIG. 1. 図1の圧力センサアセンブリの一部の後部等角図である。FIG. 2 is a rear isometric view of a portion of the pressure sensor assembly of FIG. 1. 図1の圧力センサアセンブリの一部の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a portion of the pressure sensor assembly of FIG. 図1の圧力センサアセンブリ、および図2のカバーの一部の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the pressure sensor assembly of FIG. 1 and a portion of the cover of FIG.

Claims (20)

一体型ハウジングと、
前記一体型ハウジングの表面を通って画定された圧力取入口と、
前記一体型ハウジングの内部に配置され、第1の端部と第2の端部を有し、前記第1の端部が、前記圧力取入口と圧力的に連絡している細長いチューブと、
前記圧力取入口に存在する圧力が感知ダイによって測定可能である前記細長いチューブの前記第2の端部に取り付けられた感知ダイとを備える圧力センサ。
An integral housing;
A pressure inlet defined through a surface of the integral housing;
An elongate tube disposed within the integral housing, having a first end and a second end, the first end being in pressure communication with the pressure inlet;
A pressure sensor comprising a sensing die attached to the second end of the elongated tube, wherein the pressure present at the pressure inlet is measurable by the sensing die.
前記一体型ハウジングが、マニホルドおよびヘッダを備える請求項1に記載の圧力センサ。   The pressure sensor of claim 1, wherein the integral housing comprises a manifold and a header. 前記細長いチューブが、感知ダイとほぼ同じ熱膨張係数を有する材料を備える請求項1に記載の圧力センサ。   The pressure sensor of claim 1, wherein the elongated tube comprises a material having approximately the same coefficient of thermal expansion as the sensing die. 前記感知ダイが圧力感受性の表面を有し、前記感知ダイが、前記圧力感受性の表面が、前記圧力取入口がそれを通って画定されている表面に対して垂直であるように前記細長いチューブの第2の端部に取り付けられている請求項1に記載の圧力センサ。   The sensing die has a pressure sensitive surface, the sensing die of the elongated tube such that the pressure sensitive surface is perpendicular to the surface through which the pressure inlet is defined. The pressure sensor according to claim 1, which is attached to the second end. 前記一体型ハウジングに密封取り付けされているカバーをさらに備える請求項1に記載の圧力センサ。   The pressure sensor of claim 1, further comprising a cover hermetically attached to the integral housing. 前記細長いチューブが、低い熱膨張係数を有する請求項1に記載の圧力センサ。   The pressure sensor of claim 1, wherein the elongated tube has a low coefficient of thermal expansion. 前記細長いチューブが、前記一体型ハウジング内に斜めに配置されている請求項1に記載の圧力センサ。   The pressure sensor according to claim 1, wherein the elongated tube is disposed obliquely in the integrated housing. 前記細長いチューブが、円筒形である請求項1に記載の圧力センサ。   The pressure sensor according to claim 1, wherein the elongated tube has a cylindrical shape. 前記細長いチューブが、パイレックスチューブである請求項1に記載の圧力センサ。   The pressure sensor according to claim 1, wherein the elongated tube is a Pyrex tube. 前記圧力取入口がそれを通って画定されている前記一体型ハウジングの表面が、ほぼ平らな装着表面である請求項1に記載の圧力センサ。   The pressure sensor of claim 1, wherein the surface of the integral housing through which the pressure inlet is defined is a substantially flat mounting surface. 前記細長いチューブが、前記平らな装着表面とほぼ平行に配置されている請求項10に記載の圧力センサ。   The pressure sensor of claim 10, wherein the elongated tube is disposed substantially parallel to the flat mounting surface. 第1の端部と第2の端部を有し、前記第1の端部が圧力取入口を備える表面を有し、前記圧力取入口が細長いチューブを備える一体型ハウジングと、
細長いチューブに結合され、圧力感知表面が前記圧力取入口を備える前記ハウジングの表面とほぼ垂直であるように装着されている圧力感知表面を有する感知ダイと
回路基板が、前記圧力取入口を備える前記ハウジングの表面とほぼ垂直であるように前記一体型ハウジングの第2の端部に結合された回路基板とを備える、圧力センサアセンブリ。
An integral housing having a first end and a second end, the first end having a surface with a pressure inlet, the pressure inlet having an elongated tube;
A sensing die having a pressure sensing surface coupled to an elongated tube and mounted such that a pressure sensing surface is substantially perpendicular to a surface of the housing comprising the pressure inlet, and a circuit board comprises the pressure inlet. And a circuit board coupled to the second end of the unitary housing to be substantially perpendicular to the surface of the housing.
前記感知ダイが、前記細長いチューブとほぼ同じ熱膨張係数を有する請求項12に記載の圧力センサアセンブリ。   The pressure sensor assembly of claim 12, wherein the sensing die has approximately the same coefficient of thermal expansion as the elongated tube. 前記感知ダイが、前記圧力取入口を通って圧力を検知する請求項12に記載の圧力センサアセンブリ。   The pressure sensor assembly of claim 12, wherein the sensing die senses pressure through the pressure inlet. 前記細長いチューブが、パイレックスチューブである請求項12に記載の圧力センサアセンブリ。   The pressure sensor assembly of claim 12, wherein the elongated tube is a Pyrex tube. 前記回路基板を前記感知ダイと電気的に結合する複数のリード線をさらに備える請求項12に記載の圧力センサアセンブリ。   The pressure sensor assembly of claim 12, further comprising a plurality of leads that electrically couple the circuit board with the sensing die. 前記一体型ハウジングに密封取り付けされているカバーをさらに備える請求項12に記載の圧力センサアセンブリ。   The pressure sensor assembly of claim 12, further comprising a cover hermetically attached to the integral housing. 一体型ハウジングの表面を通って画定された圧力取入口と、
前記一体型ハウジング内に配置され、前記圧力取入口と圧力的に連絡している感知ダイと、
前記一体型ハウジング内に配置され、前記圧力取入口と圧力的に連絡している細長いパイレックスチューブとを
有する一体型ハウジングを備える、チューブ上流圧力センサ。
A pressure inlet defined through the surface of the integral housing;
A sensing die disposed within the integral housing and in pressure communication with the pressure inlet;
A tube upstream pressure sensor comprising an integral housing having an elongated Pyrex tube disposed in the integral housing and in pressure communication with the pressure inlet.
前記感知ダイが、前記細長いパイレックスチューブとほぼ同じ熱膨張係数を有する材料を備える請求項18に記載のチューブ上流圧力センサ。   The tube upstream pressure sensor of claim 18, wherein the sensing die comprises a material having substantially the same coefficient of thermal expansion as the elongated pyrex tube. 前記一体型ハウジングが、ヘッダおよびマニホルドを備える請求項18に記載のチューブ上流圧力センサ。   The tube upstream pressure sensor of claim 18, wherein the integral housing comprises a header and a manifold.
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