JP2006501448A - 低電力ガス漏れ検出器 - Google Patents
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Abstract
感度を最大化するために、サンプルの流れに同期して、位相をずらした形で分析対象物質を脱離する加熱器要素20、22、24、26、40、42、44、46、140、142、144、146のアレイからなる多段濃縮器124を有する漏れ検出器15。濃縮器の加熱器要素は、加熱器要素の双方の表面、すなわち、頂部および底部の面上が吸着剤材料でコーティングされ、かつ、電力放散を最小に抑えるために小さなアンカー・ポイントを有する。濃縮器124の濃縮されたガス混合物出力は、検出された分析対象物質流体の構成要素を分離し、かつ、分析対象物質の性質または発生源を認識するための分離器126に電子的に注入される。
Description
本発明はガスの検出、同定、および、分析に関する。
本発明は参照により本明細書に組み込まれている2002年9月27日に出願された「PHASED SENSOR」と題された米国仮出願第60/414211号明細書の優先権を主張する。
関連技術による燃料ガス漏れ検出器は、低コスト(かつ、一部には適度に高感度)とすることができるが、燃料漏出物の性質(天然ガス、沼沢ガス、プロパン、または、ガソリンの蒸気)を同定することができない一方、携帯用GC(ガス・クロマトグラフ)などの他の検出器は、程よく高感度でもあり、かつ、燃料を同定することもできるが、高価であり、動作が遅く(約10秒より長い応答時間)、かつ、大きな電力を消費する。
ガス検出器に関連した構造および工程の態様は、参照により本明細書に組み込まれている2002年5月28日に出願された「Gas Sensor with Phased Heaters for Increased Sensitivity」と題された米国特許第6393894号明細書、および、参照により本明細書に組み込まれている1990年7月24日に出願された「Measurement of Thermal Conductivity and Specific Heat」と題された米国特許第4944035号明細書に開示されているとすることができる。
ガス漏れの検出器および分析器は、検出および/または分析の結果を無線または他の媒体(例えば、有線もしくは光ファイバ)により人間のいる中央または他の基地に送信することができる手ごろな価格の、in situの超高感度、低電力、低メンテナンス、かつ、コンパクトな微小検出器および分析器を介して実現することができる。位相加熱器アレイ、濃縮器、および、分離器を組み込んだ高性能検出器としての微小ガス漏れ検出器は、ガス漏れ検出を提供するための低コスト多ガス分析器およびシステムの利用可能性に寄与している。
本ガス漏れ検出器は低電力、高速、コンパクト、低コスト、知的、無線または非無線、低メンテナンス、堅牢、かつ、高感度である。本ガス漏れ検出器は位相加熱器に基づいた漏れ検出器であり、約1秒で応答し、1ワット未満の電力を使用し、燃料の成分を介して燃料の性質を識別し、かつ、パームトップのサイズであり、したがって非常に携帯に適する。
電力の放散を低減し、かつ、入来する検出ガスの加熱をより効率的にするために、位相加熱器アレイの加熱器要素は両表面、すなわち、頂部面および底部面上を吸着剤材料でコーティングすることができる。加熱器要素は電力の放散を低減するために小さな幅を有することができる。加熱器要素からの熱伝導をほとんど無くすために、少数のアンカー・ポイントを有する加熱器膜がある。
設計により意図的に吸着剤材料でコーティングされた表面を除き、加熱器アレイの内部チャネルの表面は、非吸着性断熱層でコーティングすることができる。吸着剤のコーティングまたはフィルムの厚さは低減され、それにより、吸着および脱離のために必要な時間を短縮する。節約型ポンプは、どこかからの可能なガス漏れの検出のためにチェックされている流体のサンプルを引き込むために実装することができる。使用されていない時にスリープ・モードを有する低電力電子回路を利用することができる。したがって、本漏れ検出器は非常に小さな電力を使用する。
ガス漏れ検出器は従来の半導体プロセス技術または微小電子機械的に加工されたシステム(MEMS)技術を使用してチップ上に集積することができる。この種の作製は低電力消費、コンパクトさ、および、検出器のその場での設置をもたらす。検出器を介した空気またはガスのサンプルの流速は非常に小さい。さらに、サンプルのためのキャリヤ・ガスは必要なく、したがって、これがないことにより試験されているサンプルの希釈が低減し、その上、関連メンテナンスおよび大部分の加圧ガス・タンクの取り扱いがなくなる。この手法は、検出器が、いくつかの関連技術デバイスより恐らく少なくとも1桁速い即座の分析および迅速な結果を提供することを可能とする。この手法は労働集約的な実験室での分析の遅滞およびコストを回避する。検出器は、検出されたガスの分析および決定のための一体化された微小制御装置を有することができる点で知的であり、ならびに、精度を維持でき、問題なく動作でき、かつ、人間のいない遠隔地点において、かつ、同地点から情報を通信することができる。検出器は、「接続するだけで動作する」適合度および簡略さを備えたかなりの距離を介したホスト・システムへの完全な双方向通信の能力を使用して、補給ライン、または、光もしくは無線の媒体を介して検出器情報、分析、および、結果を通信することができる。検出器は、他のガス・サンプル状態調整デバイス(粒子フィルタ、弁、流量センサ、および、圧力センサ)、局所メンテナンス制御点と相互接続可能とすることができ、かつ、インターネットを介したガス漏れモニタリングを提供することができる。検出器は堅牢である。検出器は、非常に強い電場および磁場が存在する電力分配変電所の周辺などの高度の電磁干渉(EMI)環境においても精度を維持することができる。検出器は高感度を有する。検出器は、1と10ppm(百万分率)の間の範囲の感度を提供することができる従来のガス・クロマトグラフなどの関連技術よりも100から1万倍も優れているサブppmレベルの検出を提供する。検出器は、ガス・クロマトグラフの、中でもより低電力、より高速、かつ、よりコンパクト、より高感度、ならびに、手ごろな価格のバージョンである。検出器は、本検出器では回避することができる、多くの充電または再充電を必要とする重い電池を必要とする本種類の位相加熱器検出器の以前のバージョンよりも、低電力消費かつ高速にもすることができる。後者の検出器は構造的な完全性を有することができ、かつ、非常に大きな差分圧力範囲にわたり加圧流体サンプルを検出および分析する実用例における漏出のリスクを非常に低くするか、または、全く無くすことができる。
漏れ検出器において、Honeywell MesoPump(商標)などの小型ポンプは好ましくはサンプルをセンサ・システム内に吸引することができる一方、そのサンプルの一部のみが(Honeywell MesoValve(商標)またはHoerbiger PiezoValve(商標)とすることができる)弁により制御された速度で位相加熱器センサを介して流れることができる。このことは、長いサンプル採取ラインにもかかわらず高速のサンプル獲得を可能にし、さらに、調節済みの約1から3cm3/分の流量を漏れ検出器に対して供給する。漏れ検出器のポンプは、位相加熱器センサのための高速のサンプル獲得および同センサを介した調節済みの流れの双方を提供する形で、フィルタを介してサンプル・ガスを吸引するように構成することができる。
サンプル・ポンプが漏れ検出器を介してサンプル・ガスを吸引すると、ガスは膨張し、したがって、その体積を増加させ、かつ、線形速度を上昇させる。制御回路は、加熱器の「波」を検出器内の変化するガス速度に同期したままに保つために、この速度変化を補償するように設計されている。加熱器チャネルを介することを強いられている間のサンプル・ガスの体積の変化を補償するために、ポンプの電子回路は、内部のガス流量速度を加熱器の「波」と同期したままに保つために、流量制御および/または加熱器の「波」の速度のいずれかを調整する必要があるとすることができる。
漏れ調査の動作中、(より動作の遅い他のいずれのガス・クロマトグラフのようにも)本検出器の能力は、約330から700ppmのCO2、約1から2ppmのCH4、および、約0.5から2.5%のH2Oなどの空気の複数の微量成分を感知することができる。このことは、出力溶出時間のオンライン較正、ならびに、天然ガス、プロパン、または、他のガス・パイプラインの漏れを示唆するエタンなどのさらに多くのピークの存在のチェックを可能とすることができる。したがって、サンプル・ガスの成分のピークの高さの比は、自動車の排気ガスまたはガソリンの蒸気を含むことができる微量ガスの発生源についての手掛かりを明らかにする。
漏れ検出器は、輸送または分配用パイプライン・システムに沿った天然ガスまたはプロパン・ガスの漏れ、および、化学処理プラントにおけるガス漏れの安全性が託された定期的漏出調査に対して、漏れ検出器を特に十分に適したものにする感度、速度、携帯性、および、低消費電力を有することができる。
検出器は、漏出感知用実用例において、較正マーカ(溶出時間はガスの成分の性質を識別する)および/または漏出源の識別子として、いくつか、または、全てのサンプル・ガスの成分(および、それらのピーク比)を使用することができる。もし(約1から2ppmで山の空気に存在する)メタンなどの特定のピークの存在のみが知られるのであれば、その成分の発生源が沼地ガス、天然/パイプラインのガス、または、他の流体からであることを示唆するための十分な情報となることができない。
提案された漏れセンサは携帯用デバイスとして、または、固定位置に据え付けて使用することができる。相当する関連技術のセンサとは対照的に、漏れセンサは、水素タンクの大きな体積を必要としない、携帯用火炎電離検出器よりもコンパクトであり、熱フィラメントまたは金属酸化物可燃ガス・センサよりも高速かつ高感度であり、さらに、従来および/または携帯用のGCよりもはるかにより高速、よりコンパクト、かつ、より省電力である。
図1は低電力漏れ検出器システム11の例示的図を示す。雰囲気空間または体積41からの入力流体25は低電力漏れ検出器15の入力34に接続された導管またはチューブ19に進入することができる。流体15は検出器15により処理される。処理された流体37は検出器15の出力36を外出し、かつ、導管またはチューブ39を介して、指定されたどこにでも、体積に排気される。「流体」は実体として気体および液体を含む全般的な用語として使用することができる。結果または知見は分析のために微小制御装置またはプロセッサ29に送ることができる。微小制御装置またはプロセッサ29は、制御、調整、較正、または、他の目的のために検出器36に様々な信号を送ることができる。分析の計算、結果、または、他の情報は、回線、ファイバ、または、他の同様の媒体を介して基地31に送信するための信号への返還のためにモデム35に送ることができる。同様に、モデム35へのそのような出力は、特にもし携帯用デバイスとして使用されていれば、GPSを例えば介して得られた検出器の実際の位置に関する情報と共に、基地31に無線送信するために送信機33に代わりに、または、同時に送信することができる。同様に、基地31はモデム35および受信機33に様々な信号を送信することができ、この信号は制御、調整、較正、または、他の目的のために微小制御装置またはプロセッサ29に転送することができる。
図2は微小ガス漏れ検出器装置15を示す。可能な漏出からのガスを含むサンプルの流れ25はパイプまたはピックアップ・チューブ19から入力ポート34に進入することができる。装置15に進入することになる流体25の流れからゴミおよび他の粒子を除去するための粒子フィルタ43があってよい。この除去は装置の保護のためであり、濾過は流体25の組成を正確に分析する装置の能力を低下させるべきではない。(浮遊物質または液体不揮発性粒子で)汚れた流体は、適切なセンサ機能を可能に阻害する。流体25の一部45は熱伝導性検出器またはセンサ127を介して流れ、流体25の一部47はチューブ49を介して一方通行弁51に流れる。取入口45にすぐ隣接して「T字型」チューブを設置することにより、フィルタのパージ時間の短縮に役立つ比較的大きな流量47により時間遅延を最小にしたサンプル採取が達成される。ポンプ53は、流体47をチューブ49および弁51を介して粒子フィルタ43の出力から流す。調節弁51は、チューブ129におけるポンプ55の吸込み圧力を調整することにより、チューブ45を介したセンサを介して流量を制御する。したがって、上記の流れ構成は2つの利点を同時に達成することができる。これらの利点は最小サンプル採取遅延時間および流量制御を含むことができる。ポンプ55は、流体45を検出器127、濃縮器124、流量センサ125、分離器126、熱伝導性検出器またはセンサ128、および、チューブ129を介してフィルタ43の出力から流す。ポンプ55は流体をチューブ57を介してチューブ59に送り出し、流体はチューブ59で合流した流体61として流体47に加わる。ポンプ55は、ポンプ53の吸込み能力(10から300cm3/分)およびポンプ55の十分に低い流量能力(0.1から3cm3/分)によっては、システムに使用することができる。流体61はポンプ53により出力ポート36に送り出される。流体61は出口チューブまたはパイプ39を介して流れ37として流れ出ることができる。検出器127および128からのデータは制御器130に送ることができ、制御器130は今度はデータを処理のために微小制御装置および/またはプロセッサ29に中継する。結果として得られた情報は基地11に送信することができる。
図3は図2の濃縮器124または分離器126を表すセンサ装置10または15の一部の概略図である。センサ装置は基板12および制御装置14を含むことができる。制御装置14は基板12に組み込んでも組み込まなくてもよい。基盤12は、自身の上に定置された、いくつかの薄膜加熱器要素20、22、24、および、26を有することができる。4つのみの加熱器要素が示されている一方、いかなる数、例えば2と1000の間の加熱器要素も設けることができるが、典型的には20から100の範囲である。加熱器要素20、22、24、および、26は、いかなる適する電気伝導体、安定な金属、または、80%のニッケルおよび20%の鉄の組成を有するパーマロイと呼ばれることもあるニッケル−鉄合金などの合金フィルム、白金、白金珪化物、および、ポリシリコンでも製造することができる。加熱器要素20、22、24、および、26は、図4および5に示すように、薄い、低熱質量、低平面熱伝導の支持部材30上に設けることができる。支持部材はSi3N4または他の適切もしくは同様の材料で作成することができる。加熱器要素は白金または他の適切もしくは同様の材料で作成することができる。
図4および5はチャネル31および32を有する二重チャネル位相加熱器機構41を示す。基板12および部分またはウェハ65は流れているサンプル流体45を受け取るための規定されたチャネル31および32を有する。チャネルは、支持部材30の下のシリコン・チャネル・ウェハまたは基板12、および、支持部材の上方のチャネル・ウェハまたは部分65を選択的にエッチングすることにより作成することができる。チャネルは流れているサンプル流体45に対する入口ポート34および排気ポート36を含む。
センサ装置は、いくつかの相互作用可能要素が流れているサンプル流体45に露出されるように、チャネル31および32の内部にそれらの要素を含むこともできる。相互作用可能要素の各々は、対応する加熱器要素に隣接して、すなわち、最も近くの可能な接触のために定置することができる。例えば、図4にあるように、相互作用可能要素40、42、44、および、46はチャネル32内の支持部材30の下部表面上に、かつ、それぞれ加熱器要素20、22、24、および、26に隣接して設けることができる。加えて、相互作用可能要素140、142、144、および、146はチャネル31内の支持部材30の上部表面上に、かつ、それぞれ加熱器要素20、22、24、および、26に隣接して設けることができる。本例示的実施例においては示されていない追加の相互作用可能フィルム要素を備えた他のチャネルがあってもよい。相互作用可能要素はシリカ・ゲル、ポリメチルシロキサン、ポリジエチルシロキサン、ポリエチレングリコール、多孔性シリカ、Nanoglass(商標)、活性炭、他の同様のポリマー性物質などの液体またはガス・クロマトグラフィにおいて一般に使用されているいかなる数のフィルムからも形成することができる。さらに、上記の相互作用可能物質は、目標とされた分析対象物質の最適な吸着および/または分離を達成するために、極性および/または疎水性の程度の変化を達成するために、適するドーパントにより修正することができる。
図5は位相加熱器機構41の断面端面図を示す。支持部材30は頂部構造体65に装着されている。アンカー67はチャネル31を基準として適切な位置に支持部材30を保持している。より少ないアンカー67のポイントは支持部材30から構造体41の他の部分への熱伝導損失を最小に抑える。通常のアンカー設置方式とは対照的に、本実施例は残っている加熱器要素の入力電力の約1.5倍の節約をもたらす可能性のあるアンカー・ポイントの低減を有する。
相互作用可能なフィルム要素は、チャネル32を介して所望の吸着剤材料を搬送する材料の流れを通過させることにより形成することができる。このことは、チャネル全体を通じて相互作用可能な層を設ける。もし別個になった相互作用可能要素が所望されるなら、コーティングは、加熱器要素20、22、24、および、26を介してコーティングに温度変化を設けることにより選択的に「現像」することができる。コーティングが現像された後、コーティングがアセトンなどの適する溶媒を使用して現像またはポリマー化された部分を除き全ての場所のコーティングを除去するためにチャネル32を介して溶剤の流れが供給され、加熱器要素に隣接した吸着剤材料のみを残す。非吸着性断熱材料のコーティング65は、設計により相互作用可能要素などの吸着材料がコーティングされている表面の存在する部分を除いて、チャネル31および32の内壁に塗布することができる。このコーティングは必要な加熱器要素電力を約1.5倍低減することができる。材料はチャネルの壁に使用されている材料よりも実質的に小さな熱伝導を有さなければならない。後者はシリコンとすることができる。コーティング65に対する代案材料はSiO2または他の熱酸化物を含むことができる。コーティング65は支持部材30における加熱器要素のために使用される電力を低減することができる。移動相/固定相の体積の合理的な比を保持する一方での加熱器要素膜ならびに吸着剤フィルムのサイズ(幅、長さ、および、厚さ)の最小化または低減は、約4倍の電力低減をもたらす。最小化または低減された吸着剤フィルムの厚さは吸着−脱離のために必要な時間を短縮することができ、流体の分析当たりに必要なエネルギーを約1.5倍節約することができる。検出器システム11の濃縮器および/または測定サイクルの開始の約1秒以内前のみに運転できる特に節約型だが適切に機能するポンプ53および/または55ならびに120の使用、および、制御器130および/または(使用されていない時はスリープ・モードを使用する)微小制御装置/プロセッサのための低電力電子回路の使用は、その電力の約2倍の低減をもたらすことができる。
図13の表は同様のシステムに対して漏れ検出器システム11を運転するための全体的電力が、3秒毎に1つの分析サイクルを運転するシステムの本明細書に述べられている設計特長を備えて、特徴約100ミリワット(mW)以下であることを示す。表に示すように、システム11に関するエネルギー保全対策は(3秒毎に1回開始される)分析当たりに必要なエネルギーを約1.7ジュールおよび約1280mWのピーク電力から、220mWのピーク電力で約0.4ジュールへと低減することができる。
制御装置14または130は、図3に示すように、加熱器要素20、22、24、26、および、検出器50の各々に電気的に接続することができる。制御装置14または103は、対応する相互作用可能要素40、42、44、および、46の各々が加熱状態となり、かつ、1つまたは複数の上流相互作用可能要素により生成された上流濃度パルスがその相互作用可能要素に到達する時点の付近で、上流サンプル流体45中に選択された成分を脱離するように、時間位相シーケンスにおいて加熱器要素20、22、24、および、26に電力を供給することができる(図6の最下段を参照されたい)。いかなる数の相互作用可能要素も、濃度パルスにおける成分ガスの所望の濃度を達成するために使用することができる。結果として得られた濃度パルスは検出および分析のために検出器50、128、164に供給することができる。検出器50、127、128、または、164は、熱伝導検出器、放電電離検出器、または、ガスもしくは流体クロマトグラフィにおいて典型的に使用されるものなどのいかなる他のタイプの検出器とすることもできる。
図6は、例示的加熱器温度を、各加熱器要素において生成される対応する濃度パルスと共に示すグラフである。上記に示したように、制御装置14または130は時間位相シーケンスにおいて加熱器要素20、22、24、および、26に電力を供給することができる。加熱器要素20、22、24、および、26に対する例示的時間位相加熱器温度は、それぞれ温度プロファイルまたは線60、62、64、および、66により示されている。
示す実施例において、制御装置14、130(図3)は、第1の加熱器要素20を、図6の線60において示す同要素20の温度を上昇させるために電力を供給することができる。第1の加熱器要素20が第1の相互作用可能要素40と熱的に結合されているため、もしいずれの他の加熱器要素もパルスを送られなければ、第1の相互作用可能要素は、検出器128または50もしくは164において第1の濃度パルス70を生成するために、流れているサンプル流体45中に選択された成分を脱離する。流れているサンプル流体は、矢印72により示すように、第1の濃度パルス70を第2の加熱器要素22に向けて下流に搬送する。
次に、制御装置14(または130)は、要素20に対するエネルギー・パルスが停止された時点またはその後に開始して、線62において示すように第2の加熱器要素の温度を上昇させるために同要素22に電力を供給することができる。第2の加熱器要素22が第2の相互作用可能要素42に熱的に結合されているため、第2の相互作用可能要素も、第2の濃度パルスを生成するために、選択された成分を流れているサンプル流体45中に脱離する。制御装置14、130は、図6に示すように、より高い濃度パルス74を生成するために第2の濃度パルスが第1の濃度パルス70と実質的に重なるように、第2の加熱器要素22に電力を供給することができる。流れているサンプル流体は、矢印76により示すように、第3の加熱器要素24に向けてより大きな濃度パルス74を下流に搬送する。
続いて、制御装置14、130は、図6の線64において示すように、第3の加熱器要素24に、同要素24の温度を上昇させるために電力を供給することができる。第3の加熱器要素24が第3の相互作用可能要素44に熱的に結合されているため、第3の相互作用可能要素44は、第3の濃度パルスを生成するために、選択された成分を流れているサンプル流体中に脱離することができる。制御装置14、130は、さらにより大きい濃度パルス78を生成するために第3の濃度パルスが第1および第2の加熱器要素20および22により供給されたより大きい濃度パルス74と実質的に重なるように、第3の加熱器要素24に電力を供給することができる。流れているサンプル流体は、矢印80により示すように、「第N」の加熱器要素26に向けてこのより大きな濃度パルス78を下流に搬送する。
続いて、制御装置14、130は、線66において示すように、「第N」の加熱器要素26に、同要素26の温度を上昇させるために電力を供給することができる。「第N」の加熱器要素26が「第N」の相互作用可能要素46に熱的に結合されているため、「第N」の相互作用可能要素46は、「第N」の濃度パルスを生成するために、選択された成分を流れているサンプル流体45中に脱離することができる。制御装置14、130は、「第N」の濃度パルスが、その前のN−1個の相互作用可能要素により生成されたより大きな濃度パルス78と実質的に重なるように、「第N」の加熱器要素26に電力を供給することができる。流れているサンプル流体は、以下に説明するように、分離器126または検出器50、128、もしくは164のいずれかに、「第N」の濃度パルス82を搬送する。
上記に示したように、加熱器要素20、22、24、および、26は共通の長さを有することができる。そのため、制御装置14、130は各加熱器要素に等しい電圧、電流、または、電力のパルスを供給することにより各加熱器要素の等しい温度を達成することができる。電圧、電流、または、電力のパルスは、三角形、四角形、鐘形、または、他のいかなる形状も含むいかなる所望の形状も有することができる。1つのほぼ四角形の電圧、電流、または、電力のパルスは図6に示す温度プロファイル60、62、64、および、66を達成するために使用される。
図7は、第一に、濃度が、後に続く各要素の脱離が流れているサンプル流体の速度と適切に同期する間に段階的な形でどのように上昇するかを、および、第二に、個々の要素の長さが、濃度のレベルおよび勾配が上昇する間に、質量拡散束の予想上昇速度にどのように適合されているかを、示すためにいくつかの加熱器要素を示すグラフである。ここで、図7に示す要素に先立って、要素100(H1)として示す要素よりF倍長い長さを持つ最初の要素にパルスを印加することにより、または、代わりに、要素1、2、...、Fに同時にパルスを印加し、要素100(H1)にパルスを印加する前にまだ冷たい要素100(H1)を使用して全ての脱離した分析対象物質を収集することにより、分析対象物質の濃度が係数Fで既に増倍しておくことができることを指摘すべきであろう。濃度パルスの各々は、チャネル32を走行すると、拡散により、振幅が減少し、かつ、長さが増大する可能性のあることが理解されよう。この増大した長さを収容するためには、並んでいる各加熱器要素の長さを流れているサンプル流体に沿って増大してもよいことが考えられる。例えば、第2の加熱器要素102は第1の加熱器要素100の長さW1より大きい長さW2を有することができる。同様に、第3の加熱器要素104は第2の加熱器要素102の長さW2より大きい長さW3を有することができる。したがって、各加熱器要素100、102、および、104の長さは、隣接する上流側の加熱器要素と比較して、拡散による上流側の加熱器要素の濃度パルスの予想された増大した長さに対応する分だけ、増大させることができると考えられる。
加熱器要素の制御を簡略化するために、並んでいる各加熱器要素の長さは、加熱器要素間に同じ全体的加熱器抵抗を生成するために一定に保つことができ、これにより、等しい電圧、電流、または、電力のパルスが、同じ温度プロファイルを生成するために使用されることを可能にする。別法として、各加熱器要素は異なった長さを有することができ、制御装置は、同じ温度プロファイルを生成するために各加熱器要素に異なった電圧、電流、または、電力のパルス振幅を供給することができる。
図8は、100%の濃度レベルを達成する濃度パルス110を示すグラフである。たとえ濃度パルス110が100%などの所定の濃度閾値を達成したとしても、対応する成分の濃度は、それでも決定できることが理解されよう。これを行なうために、検出器50、128、164は濃度パルス110を検出することができ、制御装置14、130は、流れ45の本来のサンプルにおける対応成分の濃度を決定するために、時間にわたって検出器の出力信号を積分することができる。
加熱器要素20、22、24、および、26は、加熱器要素表面の幅および電力放散が約2倍となるように頂部および底部の双方の面にフィルムをコーティングしたGCとすることができる。これらの加熱器要素の組立は2つのコーティング工程を含み、第2の工程は第2のウェハの内部の第1のコーティングを保護して第1のウェハを溶解した後に、ウェハ対ウェハのボンディングおよびコーティングを必要とする。
図9は図3のセンサ組立体に類似する他の例示的センサ組立体15の概略図である。センサ組立体はより単純なソレノイド・ポンプ120、流れているサンプル流体122、濃縮器124、分離器126、検出器128、および、制御装置14または130を含むことができる。制御装置14、130の要求により、ソレノイド・ポンプ120は一方通行弁134を介して排気筒ガスの流れ132からサンプル45を吸引することができる。続いて、制御装置14、130は、ソレノイド・ポンプ120に、流れているサンプル流体45を所望の圧力で濃縮器124に供給するよう命令することができる。
濃縮器124は流れているサンプル流体45と連絡している2つ以上の相互作用可能要素を含むことができる。濃縮器124は相互作用可能要素と熱的に連絡している2つ以上の加熱器要素も含むことができる。通電されると、各加熱器要素は対応する相互作用可能要素を加熱し、相互作用可能要素に選択された成分を流れているサンプル流体中に脱離させる。上記に説明したように、制御装置14、130は、上昇された濃度のパルスを供給するために時間位相がずらされたシーケンスにおいて加熱器要素に通電することができる。
流れているサンプル流体45は濃度パルスを分離器126に搬送することができる。分離器126は濃度パルスの選択された成分を分離することができ、かつ、分離された成分を検出器50、128、164に供給することができる。この検出器は、各成分の濃度レベルを示す信号を制御装置14、130に供給することができる。制御装置14、130は、各相互作用可能要素の吸着剤材料により供給された濃度増幅、および、位相加熱器要素の配列により供給された増倍効果により、感知された濃度レベルを分割することにより、本来のガス・サンプルにおける各成分の実際の濃度レベルを決定することができる。
図10は他の例示的センサ組立体15の概略図である。図11は図10のセンサ組立体15の動作を示すタイミング・チャートである。センサ組立体15はポンプ152、ガス予熱器154、および、微小架橋型集積回路チップ156を含むことができる。微小架橋型集積回路はチャネル158、32、いくつかの加熱器要素160a、160b、160c、および、160d、分離加熱器162、ならびに、検出器164、128、50を含む。加熱器要素160a、160b、160c、および、160d、ならびに、分離加熱器162、ならびに、検出器164の各々は、チャネル158、32を覆って延長する支持部材30上に設けられている(例えば、図5b)。(明らかには示さない)相互作用可能要素はチャネル158、32内に定置され、加熱器要素160a、160b、160c、および、160dの各々と熱的に連絡している。
微小架橋型集積回路チップ156は加熱器制御ブロック166およびいくつかの電力供給トランジスタ168a、168b、168c、168d、および、170も含む。加熱器制御ブロック166は加熱器要素160a、160b、160c、および、160dの各々を、対応する電力供給トランジスタ168a、168b、168c、および、168dをそれぞれ活性化することにより個別に通電することができる。同様に、加熱器制御ブロック166はトランジスタ170をオンにすることにより分離加熱器162に通電することができる。(図10の)加熱または冷却のブロック169はセンサ組立体15の動作のために最適な平均または全体的な温度を維持する上で、予熱器154を補佐する。
センサ組立体制御ブロック180はセンサ組立体15の全体的な動作を指令する。センサ組立体制御ブロック180は、先ず、流量制御信号190をポンプ152に出す。流量制御信号190は図11に示す。これに応じて、ポンプ152は排気筒182からサンプルを吸引し、かつ、サンプルを所望の圧力で予熱器154に、かつ、最終的にチャネル158、32に供給する。予熱器154は予熱し、加熱器はサンプル・ガスを動作中の要素の最適温度に維持し、したがって、結露によるサンプルの損失の防止および相互作用可能要素の各々に蓄積することができる成分の量の増大に役立つ。
流れているサンプル流体は、相互作用可能要素が、流れているサンプル流体からの1つまたは複数の成分の吸着の実質的な飽和の状態に到達し、平衡に到達するまで、所定の時間192にわたりチャネル158、32を通過する。その後、センサ組立体制御ブロック180は、時間位相をずらしたシーケンスで加熱器要素を加熱することを開始するように加熱器制御ブロック166に通知する。加熱器制御ブロック166は、図11に示すように、先ず、第1の加熱器可能信号194および分離加熱器可能信号196を供給する。第1の加熱器可能信号194はトランジスタ168aをオンにし、分離加熱器可能信号196はトランジスタ170をオンにする。トランジスタ168aは第1の加熱器要素160aに電流を供給し、第1の加熱器要素160aの温度を上昇させる。このことは、対応する相互作用可能要素を加熱し、同要素は流れているサンプル流体中に1つまたは複数の成分を第1の濃度パルスの形で脱離する。第1の濃度パルスは、流れているサンプル流体により第2の加熱器要素160bに向かって下流に搬送される。この工程は第3、第4、および、第Nの要素に対して繰り返される。
続いて、加熱器制御ブロック166は第2の加熱器可能信号198を供給し、同信号198はトランジスタ168bをオンにする。トランジスタ168bは第2の加熱器要素160bに電流を供給し、第2の加熱器要素160bの温度を上昇させる。このことは、対応する相互作用可能要素を加熱し、同要素は流れているサンプル流体中に1つまたは複数の成分を第2の濃度パルスの形で脱離する。加熱器制御ブロック166は、第2の濃度パルスが第1の濃度パルスに実質的に重なるように、第2の加熱器可能信号198の時刻を定めることができる。第1および第2の濃度パルスの双方は、第3の加熱器要素160cに向かって下流に搬送される。
第1の加熱器可能信号194を基準とした第2の加熱器可能信号198のタイミングは事前の較正により確率することができる。しかし、加熱器制御ブロック166は第2の加熱器要素160bの抵抗を感知することができる。第1の濃度パルスが流れているサンプル流体より典型的に優れているために、第2の加熱器要素160bの抵抗は、第1の濃度パルスが第2の加熱器要素160bに到着した時に変化を開始することが理解されよう。一旦所定の抵抗変化が第2の加熱器要素160bにおいて感知されれば、加熱器制御ブロック166はトランジスタ168bを介して第2の加熱器要素160bに通電することができる。残りの加熱器可能信号も同様に制御することができる。
続いて、加熱器制御ブロック166は第3の加熱器可能信号200を供給することができ、同信号200はトランジスタ168cをオンする。トランジスタ168cは第3の加熱器要素160cに電流を供給し、第3の加熱器要素160cの温度を上昇させる。このことは、対応する相互作用可能要素を加熱し、同要素は流れているサンプル流体中に1つまたは複数の成分を第1の濃度パルスの前で脱離する。加熱器制御ブロック166は、第3の濃度パルスが第2の濃度パルスに実質的に重なるように、第3の加熱器可能信号200の時刻を定めることができる。第1、第2、および、第3の実質的に重なっている濃度パルスは「第N」の加熱器要素160dに向かって下流に搬送される。
続いて、加熱器制御ブロック166は「第N」の加熱器可能信号202を供給することができ、同信号202はトランジスタ168cをオンする。トランジスタ168cは「第N」の加熱器要素160dに電流を供給し、「第N」の加熱器要素160dの温度を上昇させる。このことは、対応する相互作用可能要素を加熱し、同要素は流れているサンプル流体中に1つまたは複数の成分を「第N」の濃度パルスの前で脱離する。加熱器制御ブロック166は、「第N」の濃度パルスがその前に発生された濃度パルスに実質的に重なるように、「第N」の加熱器可能信号202の時刻を定めることができる。結果として得られる濃度パルスは分離器加熱器162に下流に搬送される。分離器加熱器162は、チャネル158と共働して、濃度パルス中の選択された成分を個別の構成成分に分離することができる。分離器の温度の急上昇は第Nの濃縮器要素に対する第Nのパルスの終了の前に開始するべきではない。したがって、パルス196は、図11に示すように、パルス202の後に開始する。個別の構成成分は、供給されたサンプル・ガスを含むいくつかの要素によっては、1つまたは複数の化合物を含むことができる。
続いて、トランジスタ170は図11のパルス196の開始において分離加熱器162に通電し、結果として、パルス196の長さの最大約半分の時間に対して加熱器162の温度が室温から約200度(または、設計の他の温度)にまでの振幅の増大を有し、続いて、パルス196の残りの時間にわたりその温度に留まる。上記に説明したように、加熱器162は様々な構成要素を個々の成分に分離する。分離された構成要素は流れているサンプル流体により検出器164に下流に搬送される。検出器164は熱伝導検出器、放電電離検出器、または、ガス・クロマトグラフィにおいて一般に使用されている検出器などのいかなる他のタイプの検出器とすることができる。検出器164は各個別の構成要素成分の濃度レベルを感知することができ、かつ、対応する信号を増幅器210に供給することができる。増幅器210は検出器出力信号を増幅することができ、かつ、検出器出力信号を分析のためにデータ処理部に供給することができる。加熱器制御ブロック166は、個別の構成要素成分が存在する時にのみ、検出器を可能にするための検出器可能信号212を供給することができる。
図12は微小ガス装置15の濃縮器、分離器、および、検出器を含む集積回路の基本的なレイアウトである。集積回路は、図12に示すように、チップを横切って前後に横断するチャネル250を含むことができる。チャネル250の第1の部分は、検出器263、および、上記に説明したような支持部材30と同様の支持部材を覆って延長するいくつかの加熱器要素252を有する。(明らかには示さない)相互作用可能要素は、加熱器要素の各々に隣接してチャネル250内に設置されている。加熱器要素252の1つのカラムのみを示す一方、チャネル枝部254aからhの各々が加熱器要素252のカラムを有することができることが考えられる。チャネル250に沿って間隔を空けられた2と1000の間の加熱器要素があってよい。
チャネル250の第2の下流部分はこれを覆って延長する分離加熱器260を有する。分離加熱器は加熱器要素252により供給された濃度パルスにおける様々な構成要素の分離に役立つ。最後に、検出器264は分離加熱器260の下流にチャネル250を覆って設けられている。検出器は分離器により供給された分離済みの構成要素成分の各々の濃度を感知することができる。
濃縮器、分離器、および、検出器が集積回路上に設けられているため、他の従来の電子回路はそれらと共に容易に集積することができる。位相加熱器制御ブロック270および増幅器272は同じ基板上に作成することができる。化学センサ、特に説明したような化学微小センサは、低コスト、高感度、堅牢性、および、非常に小さなサイズなどの多くの魅力的な長所を潜在的にもたらす。
本発明は少なくとも1つの実施形態に関して説明されたが、本明細書を読むと、当業者には多くの改変および修正が明らかとなろう。したがって、冒頭の特許請求の範囲は、全てのそのような改変および修正を含むように従来技術の視点から可能な限り広く解釈されることが意図されている。
Claims (10)
- 第1のチャネル(32)内にて該第1のチャネル(32)に沿って互いに間隔を空けて設けられ且つ前記第1のチャネル(32)内の流体に露出された2つ以上の相互作用可能要素(40、42、44、46)であって、該相互作用可能要素(40、42、44、46)の各々が前記相互作用可能要素の温度に依存して前記流体の選択された構成要素を吸着し且つ脱離させる相互作用可能物質を有し、また、該相互作用可能要素(40、42、44、46)の少なくとも2つが同じ相互作用可能物質を含む、第1のチャネル内の相互作用可能要素と、
第2のチャネル(31)内にて該第2のチャネル(31)に沿って互いに間隔を空けて設けられ且つ前記第2のチャネル(31)内の流体に露出された2つ以上の相互作用可能要素(140、142、144、146)であって、該相互作用可能要素の各々が前記相互作用可能要素の温度に依存して前記流体の選択された構成要素を吸着し且つ脱離させる相互作用可能物質を有し、また、該相互作用可能要素(140、142、144、146)の少なくとも2つが同じ相互作用可能物質を含む、第2のチャネル内の相互作用可能要素と、
2つ以上の加熱器要素(20、22、24、26)であって、各加熱器要素が前記第1のチャネル(32)内の対応する相互作用可能要素および前記第2のチャネル(31)内の対応する相互作用可能要素と熱的に連絡している、2つ以上の加熱器要素(20、22、24、26)と、
前記第1のチャネル(31)内および前記第2のチャネル(32)内の前記2つ以上の相互作用可能要素(40、42、44、46、140、142、144、146)が、時間位相をずらしたシーケンスで加熱器要素(20、22、24、26)に通電する前に前記第1のチャネル(32)および第2のチャネル(31)内の前記流体に露出された状態になることを可能にすべく、前記2つ以上の加熱器要素(20、22、24、26)に結合されている制御装置手段(14、130)と、を含む、流体の1つまたは複数の構成要素を濃縮するための濃縮器。 - 前記第1のチャネル(32)内の前記2つ以上の相互作用可能要素(40、42、44、46)は、前記流体の少なくとも一部に露出され且つ該一部に沿って延びる、前記第1のチャネル(32)の互いに異なった部分を含み、
前記第2のチャネル(31)内の前記2つ以上の相互作用可能要素(140、142、144、146)は、前記流体の少なくとも一部に露出され且つ該一部に沿って延びる、前記第2のチャネル(31)の互いに異なった部分を含む、請求項1に記載の濃縮器。 - 前記2つ以上の加熱器要素(20,22、24、26)の各々は前記第1(32)および第2(31)のチャネルの対応する部分と熱的に連絡している、請求項2に記載の濃縮器。
- 複数のチャネル(32、31)内にて該複数のチャネルに沿って互いに間隔を空けて設けられ且つ流体に露出された2つ以上の相互作用可能要素(40、42、44、46、140、142、144、146)であって、該相互作用可能要素の各々が、該相互作用可能要素の温度に依存して前記流体の選択された構成要素を吸着し且つ脱離させる相互作用可能物質を有し、また、該相互作用可能要素(40、42、44、46、140、142、144、146)の各々が、前記流体のさらに上流にまで至る、各相互作用可能要素の長さよりも大きな長さを有する、相互作用可能要素と、
2つ以上の加熱器要素(20、22、24、26)であって、各加熱器要素が、対応する相互作用可能要素と熱的に連絡している、2つ以上の加熱器要素(20、22、24、26)と、
時間位相をずらしたシーケンスで前記2つ以上の加熱器要素(20、22、24、26)に通電すべく前記加熱器要素に結合されている制御装置手段(14、130)と、を含む、流体の1つまたは複数の構成要素を濃縮するための濃縮器。 - 流体中の1つまたは複数の構成要素の高められた濃度を感知するためのセンサ組立体であって、
第1のチャネル(32)内にて該第1のチャネル(32)に沿って互いに間隔を空けて設けられ且つ前記流体に露出された2つ以上の相互作用可能要素(40、42、44、46)であって、該相互作用可能要素の各々が、前記相互作用可能要素の温度に依存して前記流体の選択された構成要素を吸着かつ脱離させる相互作用可能物質を有する相互作用可能要素と、
第2のチャネル(31)内にて該第2のチャネル(31)に沿って互いに間隔を空けて設けられ且つ流体に露出された2つ以上の相互作用可能要素(140、142、144、146)であって、相互作用可能要素の各々が、前記相互作用可能要素の温度に依存して前記流体の選択された構成要素を吸着し且つ脱離させる相互作用可能物質を有する、相互作用可能要素と、
2つ以上の加熱器要素(20、22、24、26)であって、各加熱器要素が、前記第1のチャネル(32)の対応する相互作用可能要素および前記第2のチャネル(31)の対応する相互作用可能要素と熱的に連絡している、2つ以上の加熱器要素(20、22、24、26)と、
1つまたは複数の上流の相互作用可能要素により生成された濃度パルスが下流相互作用可能要素に到達する実質的な時点で、前記相互作用可能要素の各々が加熱状態になり、かつ、選択された構成要素を前記流体中に脱離させるようにすべく、各チャネル内の2つ以上の相互作用可能要素が、時間位相をずらしたシーケンスで前記加熱器要素(20、22、24、26)に通電する前に前記流体に露出された状態になるよう、前記2つ以上の加熱器要素(20、22、24、26)に結合されている、制御装置手段(14、130)と、
1つまたは複数の相互作用可能要素により供給された濃度パルスの1つの選択された構成要素を個別の構成要素成分に分離するための分離器手段(126)と、
前記個別の構成要素成分の1つまたは複数における濃度を感知するための検出器手段(127、128)と、を含むセンサ組立体。 - 前記検出器手段(127、128)は熱伝導検出器を含む、請求項5に記載のセンサ組立体。
- 前記制御装置手段(14、130)は前記加熱器要素に通電していない時に不活性なスリープ・モードにある、請求項5に記載のセンサ組立体。
- 1組の2つ以上の相互作用可能要素(40、42、44、46、140、142、144、146)であって、各組の相互作用可能要素が、複数のチャネル(32、31)のそれぞれチャネル内にて該複数のチャネルに沿って互いに間隔を空けて設けられ且つ流体に露出されており、前記相互作用可能要素の各々が、前記相互作用可能要素の温度に依存して前記流体の選択された構成要素を吸着し且つ脱離させる相互作用可能物質を有し、前記相互作用可能要素(40、42、44、46、140、142、144、146)の少なくとも2つは同じ相互作用可能物質を含んでいる、1組の2つ以上の相互作用可能要素(40、42、44、46、140、142、144、146)を提供する工程と、
前記相互作用可能物質が前記流体から1つまたは複数の構成要素を吸着するのを待つ工程と、
時間位相をずらしたシーケンスで1組の前記2つ以上の相互作用可能要素(40、42、44、46、140、142、144、146)を加熱する工程と、を含む流体の1つまたは複数の構成要素を濃縮するための方法。 - M個のチャネル(32、31)の各々に対してN個の相互作用可能要素(40、42、44、46、140、142、144、146)を提供する工程であって、NおよびMは1より大きく、前記N個の相互作用可能要素の各々はそれぞれ各チャネル内にこれに沿って間隔を空けられ、かつ、流体に露出されており、前記N個の相互作用可能要素の各々は、前記N個の相互作用可能要素の各々が、下流の相互作用可能要素に向かって下流に前記流体により搬送される対応する濃度パルスを生成するために、加熱されると、選択された構成要素を前記流体中に脱離させるように、前記相互作用可能要素の温度に依存して前記流体の選択された構成要素を吸着し且つ脱離させるようになされている、相互作用可能物質を提供する工程と、
前記流体に各チャネルの前記N個の相互作用可能要素を露出させる工程と、
各チャネルの前記N個の相互作用可能要素が前記流体から1つまたは複数の構成要素を吸着するのを待つ工程と、
時間位相をずらしたシーケンスで各チャネル(32、31)の前記N個の相互作用可能要素(40、42、44、46、140、142、144、146)を加熱する工程であって、これにより、前記下流相互作用可能要素の各々が、前記上流相互作用可能要素の1つまたは複数により供給された前記個々のチャネルの前記濃度パルスが下流相互作用可能要素に到達した時に加熱されるようになされた、N個の相互作用可能要素(40、42、44、46、140、142、144、146)を加熱する工程と、を含む流体の1つまたは複数の構成要素を濃縮するための方法。 - 複数のチャネル(32、31)にして、該複数のチャネルの各々が、該チャネルに沿って互いに間隔を空けて設けられ且つ流体に露出されている2つ以上の相互作用可能要素(40、42、44、46、140、142、144、146)を有している、複数のチャネル(32、31)であって、前記相互作用可能要素の各々が、該相互作用可能要素の温度に依存して前記流体の選択された構成要素を吸着し且つ脱離させる相互作用可能物質を含み、また、前記相互作用可能要素(40、42、44、46、140、142、144、146)の少なくとも2つが、前記サンプル流体が第1の相互作用可能要素を、続いて、第2の相互作用可能要素を通過しなければならないように、前記流体中に配置されている、複数のチャネルと、
2つ以上の加熱器要素(20、22、24、26)であって、各加熱器要素が各チャネル内の対応する相互作用可能要素と熱的に連絡している、2つ以上の加熱器要素(20、22、24、26)と、
各チャネルの前記2つ以上の相互作用可能要素(40、42、44、46、140、142、144、146)が、時間位相をずらしたシーケンスで前記加熱器要素に通電する前に前記流体に露出されることを可能にすべく、前記2つ以上の加熱器要素に結合された制御装置手段(14、130)と、を含む、流体の1つまたは複数の構成要素を濃縮するための濃縮器。
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