JP2006343295A - Filter type monochromator - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光学干渉フィルターとその切替機構を設けた分光装置に関し、より詳しくは波長帯の異なる複数の光学干渉フィルターを円盤状の多重の同心円周にそって多数設けたターレットを用い、そのターレットを回転及び水平方向に移動させて、所望の光学干渉フィルターに逐次切換える切換機構を備えた分光装置に関する。 The present invention relates to a spectroscopic device provided with an optical interference filter and a switching mechanism thereof, and more specifically, using a turret provided with a plurality of optical interference filters having different wavelength bands along a plurality of disc-shaped concentric circles. The present invention relates to a spectroscopic device provided with a switching mechanism for sequentially switching to a desired optical interference filter by rotating and horizontally moving the lens.
従来、分光技術には(a)プリズム、(b)回析格子、(c)光学干渉フィルターを用いた装置がある。 Conventionally, the spectroscopic techniques include (a) a prism, (b) a diffraction grating, and (c) an apparatus using an optical interference filter.
(a)プリズム式は、回析格子を用いた分光装置より明るいが、波長分離が波長の逆数に比例し、従って長波長側での分離能力が低い欠点がある。 (A) The prism type is brighter than a spectroscopic device using a diffraction grating, but has a disadvantage that the wavelength separation is proportional to the reciprocal of the wavelength, and therefore the separation ability on the long wavelength side is low.
(b)回析格子による分光装置は、波長分離、波長走査時間についてはプリズム式より優れているが、回析の高次光に入射光線が分かれるため使おうとする光量が減る欠点がある。また、スリットと呼ばれる細い窓を通過させる構成となるので、明るい分光装置の製造が難しい問題があった。 (B) Although the spectroscopic device using a diffraction grating is superior to the prism type in wavelength separation and wavelength scanning time, it has a drawback in that the amount of light to be used is reduced because incident light is separated into higher-order light of diffraction. In addition, since a thin window called a slit is passed, there is a problem that it is difficult to manufacture a bright spectroscopic device.
(c)光学干渉フィルターは、従来のフィルター技術にあっては、構造上その波長(周波数特性)が使用環境によって時間経過と共に変化する「Aging」と呼ばれる現象が生じるため、高性能な分光装置に用いることが難しい問題があった。 (C) The optical interference filter has a structure called “Aging” in which the wavelength (frequency characteristics) of the conventional filter technology changes with the passage of time depending on the usage environment. There was a problem that was difficult to use.
以上のように、従来の(a)、(b)の分光装置では「明るさ」と「波長選別走査時間、迷光」が取り合って、両者の性能を同時に満足させることは難しかった。 As described above, in the conventional spectrometers (a) and (b), “brightness” and “wavelength selection scanning time, stray light” are in contact with each other, and it is difficult to satisfy both performances at the same time.
しかし、最近は(c)光学干渉フィルターの欠点が解消されて精度が高く安定したフィルターの製造が可能となった。従って(a)プリズム式より波長分離能力が高く、(b)回析格子式より数十倍の明るさを有するフィルター式分光装置ができるようになった。 However, recently, (c) the defect of the optical interference filter has been eliminated, and it has become possible to manufacture a highly accurate and stable filter. Therefore, a filter type spectroscopic device having higher wavelength separation capability than (a) prism type and (b) several tens times as bright as that of the diffraction grating type can be obtained.
一般に分光装置として求められている性能項目を以下に示す。
(1)分光した光をできるだけ多く集められる明るい系である。
(2)波長選別が多く出来る。
(3)波長選択(波長切換走査)が素早く出来る。
(4)迷光が少ない。
The performance items generally required for spectroscopic devices are shown below.
(1) A bright system that collects as much spectral light as possible.
(2) Many wavelength selections can be made.
(3) Wavelength selection (wavelength switching scanning) can be performed quickly.
(4) Little stray light.
そこで、フィルター式分光装置には、(2)項の波長選別性能の向上にはフィルター数を多くすることが求められる。しかし、波長選別性能は、フィルターの数に依存するが、装着するフィルター数を増やすことは容易ではなかった。しかし、フィルター式は、分光されて強い光を必要とする分野(拡散・光反射率の測定、蛍光測定、センサーなどの校正用分光光源など)での応用が望まれていた。 Therefore, the filter type spectroscope is required to increase the number of filters in order to improve the wavelength selection performance of the item (2). However, although the wavelength selection performance depends on the number of filters, it is not easy to increase the number of filters to be mounted. However, the filter type has been desired to be applied in fields requiring spectroscopic and intense light (diffuse / light reflectance measurement, fluorescence measurement, spectral light source for calibration of sensors, etc.).
特許文献1は、顕微鏡に設けたバンドパスフィルターや偏光フィルターなどの光学要素の切り替えターレットに関するもので、偏光フィルターの回転方向の位置決め調整もあり、必要とする第1、第2の光学要素を切り替えターレットの4つの開口部に回転させながら、着脱自在に取り付け、取替える構成の発明である。 Patent Document 1 relates to a switching turret for optical elements such as a band-pass filter and a polarizing filter provided in a microscope. There is also a positioning adjustment in the rotation direction of the polarizing filter, and the required first and second optical elements are switched. It is an invention of a configuration in which it is detachably attached and replaced while rotating to the four openings of the turret.
特許文献2は、複数種類の励起フィルターを備えたターレットと、ダイクロイックミラーを備えたターレットと、吸収フィルターを備えたターレットとをそれぞれ独立して回転させて、種々の組み合わせの光路幅の一つを選択可能とした構成の発明である。 In Patent Document 2, a turret equipped with a plurality of types of excitation filters, a turret equipped with a dichroic mirror, and a turret equipped with an absorption filter are independently rotated to obtain one of various combinations of optical path widths. It is an invention of a configuration that can be selected.
特許文献3は、多角錘形状のターレットに光学要素(励起フィルターと吸収フィルター)を取り付け、ターレットを回転させて切換える構成の装置の発明である。以上いずれの発明にあっても、フィルター切換え、或は取替えの際に時間がかかる問題があった。 Patent Document 3 is an invention of an apparatus having a configuration in which an optical element (excitation filter and absorption filter) is attached to a polygonal turret and the turret is rotated to switch. In any of the above inventions, there has been a problem that it takes time to change or replace the filter.
このため、測定部のある位置から離れた場所へ置かれた多数のフィルター群のひとつを選別可能に、且つ切換え・セット時間の短い構造のフィルター式分光装置が望まれていた。 Therefore, there has been a demand for a filter-type spectroscopic device that can select one of a large number of filter groups placed away from a position where the measurement unit is located and has a short switching and setting time.
多数のフィルターを装着し、且つ短時間でフィルター切換えが可能な、フィルター式モノクロメータの提供。 Providing a filter-type monochromator equipped with a large number of filters and capable of changing filters in a short time.
前記課題を解決するため本発明のフィルター式モノクロメータは、波長帯の異なる複数の光学干渉フィルターとその切替機構を設けた分光装置であって、
前記光学干渉フィルターと、それらが多重の同心円にそって設けた複数の貫通孔にそれぞれ着脱自在に配設された円盤状のターレットと、
そのターレットを周方向に回転させるための第1のモータと、
その第1のモータの回転軸に接続された回転円板と、
その回転円板に前記ターレットを着脱自在に固定させる接続部材と、
前記ターレットを水平方向に移動させる並行する2本のガイドシャフトと、
それらのガイドシャフトを水平に支持するため、該分光装置架台上に2ヶ所で固定され、そのガイドシャフトの両端をそれぞれ支持するガイドシャフト支持部材と、
前記2本のガイドシャフトの上に跨って、且つ囲むように設けられ、それぞれのガイドシャフトとの対向面はリニアベアリングを介して接触させ、シャフト軸方向移動自在の水平移動部材と、
その水平移動部材に前記第1のモータを連結させるために水平移動部材の上に載せて固定すると共に、前記第1のモータ外囲器の周縁部の把持部材を結合固定する連結部材と、
前記水平移動部材を水平方向へ移動させるため、その水平移動部材を接続部材で接続したテープ状のベルトと、
そのベルトを回転させる第1及び第2の滑車と、
その第1の滑車を回転させる回転軸に接続する第2のモータと、を具備し、
光源ランプユニットから集光レンズを介して照射する光路の位置を固定して、その光路の位置を基準にして、前記第1及び第2のモータを駆動して前記ターレットを周方向に移動させ、所望の光学干渉フィルターに逐次切換えることを特徴とする。
In order to solve the above problems, the filter monochromator of the present invention is a spectroscopic device provided with a plurality of optical interference filters having different wavelength bands and a switching mechanism thereof,
The optical interference filters, and disk-shaped turrets that are detachably disposed in a plurality of through holes provided along a plurality of concentric circles;
A first motor for rotating the turret in the circumferential direction;
A rotating disk connected to the rotating shaft of the first motor;
A connecting member for removably fixing the turret to the rotating disk;
Two parallel guide shafts for moving the turret in the horizontal direction;
In order to support the guide shafts horizontally, the guide shaft support members that are fixed at two places on the spectroscopic frame and support both ends of the guide shafts,
A horizontal moving member that is provided so as to straddle and surround the two guide shafts, and that faces the respective guide shafts through linear bearings, and is movable in the axial direction of the shaft,
A connecting member for connecting and fixing a gripping member on a peripheral edge of the first motor envelope, and mounting and fixing on the horizontal moving member to connect the first motor to the horizontal moving member;
In order to move the horizontal movement member in the horizontal direction, a tape-like belt in which the horizontal movement member is connected by a connection member;
First and second pulleys for rotating the belt;
A second motor connected to a rotating shaft for rotating the first pulley,
Fixing the position of the optical path irradiated from the light source lamp unit via the condenser lens, and using the position of the optical path as a reference, the first and second motors are driven to move the turret in the circumferential direction. It is characterized by sequentially switching to a desired optical interference filter.
本発明のフィルター式モノクロメータによれば、ターレットに多重にフィルターを配設しているので、回転するターレットの円盤面の単位面積当たりのフィルターを従来と比較して増加させ、さらに、その円盤面の一つのフィルターを通過する光路の位置を固定して、その光路位置を基準としてその円盤面の径方向X及び周方向θをそれぞれモータを駆動して移動させ、所望のフィルターに短時間で切換え可能な分光装置となる。 According to the filter type monochromator of the present invention, since multiple filters are arranged on the turret, the number of filters per unit area of the disk surface of the rotating turret is increased compared to the conventional one, and the disk surface The position of the optical path that passes through one of the filters is fixed, and the radial direction X and circumferential direction θ of the disk surface are moved by driving the motor based on the optical path position to switch to the desired filter in a short time. A possible spectroscopic device.
ターレットが多重円周形ターレットであることにより、多くのフィルターを集中して配置することができ、多くの波長選別性能を備えた分光装置とすることができる。 Since the turret is a multicircular turret, many filters can be concentrated and a spectroscopic device having many wavelength selection performances can be obtained.
コンピュータ制御を利用して、各フィルターのそれぞれの位置座標(X、θ)を予め記憶装置にメモリーし、表示部で必要なフィルターをクリックすれば、直ちにそのフィルターを計測光路位置へ自動的にセットさせることが可能な装置とすることができる。 Using computer control, the position coordinates (X, θ) of each filter are stored in advance in the storage device, and when the required filter is clicked on the display unit, the filter is automatically set to the measurement optical path position immediately. It can be set as the apparatus which can be made to do.
本発明の最良の実施の形態を、図に基づいて詳細に説明する。図1は本発明のフィルター式モノクロメータを示す斜視図である。図2は図1に示した本発明のフィルター式モノクロメータの構造を示し、(a)は平面図、(b)は正面図である。図3は、図2に示したフィルター式モノクロメータの構造を示し、(a)は左側面図、(b)は右側面図である。以下図1、図2、図3を参照して説明する。 The best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a filter type monochromator of the present invention. 2 shows the structure of the filter type monochromator of the present invention shown in FIG. 1, wherein (a) is a plan view and (b) is a front view. FIG. 3 shows the structure of the filter type monochromator shown in FIG. 2, wherein (a) is a left side view and (b) is a right side view. Hereinafter, description will be made with reference to FIGS. 1, 2, and 3.
符号1は、光学干渉フィルター、10はそれらの光学干渉フィルター1を配設した円盤状のターレットを示す。10aはその光学干渉フィルター1を着脱自在に設置できる貫通孔である。
Reference numeral 1 denotes an optical interference filter, and
それら貫通孔10aは、多重の円周上にそってそれぞれ配設されている。図1、図2、図3の例では4重の円周上にそって複数設けられている。
The through
最外周の貫通孔列は、11−1、11−2、11−3・・・・・11−AのA個の貫通孔10aからなる。
The outermost through hole row is composed of A through
次の一つ内側の貫通孔列は、12−1、12−2、12−3・・・・、12−BのB個の貫通孔10aからなる。図1の実施例では、最内周の貫通孔列は14−1、14−2、14−3・・・、14−DのD個の貫通孔10aからなる。
The next inner through-hole row is composed of B through-
すなわち、この実施の形態の多重円周形のターレット10には、A+B+C+D個の貫通孔10aがあり、それらの総数A+B+C+D個の光学干渉フィルター1をセットすることができる。
That is, the
30は、そのターレット10を回転駆動させる第1のモータであり、31は、第1のモータ30の回転軸に接続されている回転円板である。
ターレット10は、その回転円板31に複数のネジ留め等の接続部材30aで着脱自在に固定されている。
The
40は、ターレット10を水平方向に移動させる並行する2本のガイドシャフトを示す。
それらのガイドシャフト40を水平に支持するため、この分光装置を設置する架台80の上にガイドシャフト支持部材41がある。
In order to support the
ガイドシャフト支持部材41は、所定の間隔を保ち、架台80上に固定され、そのガイドシャフト支持部材41、41の間には前記ガイドシャフト40が2本並行して、且つそのガイドシャフト40の両端はそれらガイドシャフト支持部材41のそれぞれの内側に設けた挿入口へ挿入された状態で水平方向を維持するように固定されている。
The guide
42は、水平移動部材であり、2本のガイドシャフト40の上に跨って、且つ、それを囲むように設けられている。
それぞれのガイドシャフト40との対向面はリニアベアリング等を介して接触させシャフト軸方向への水平移動をスムーズにしている。
The surfaces facing the
50は、その水平移動部材42にターレット10が接続されている第1のモータ30を連結させる連結部材である。
連結部材50は、水平移動部材42の上に載せられ固定させると共に、第1のモータ30の外囲器の周縁部を把持する左右2枚の把持部材51、51の下端を結合固定する固定部材51aを介して連結させる。なお、連結部材50と把持部材51を一体として製造してもよい。
The connecting
水平移動部材42を水平方向へ(シャフト40の軸方向・X方向)へ直線運動させるため、水平移動部材42をネジ留などの接続部材で接続したエンドレス状のベルト60と、そのベルト60を回転させる第1及び第2の滑車61と、第1の滑車を回転させる回転軸に接続する第2のモータ70とから水平移動機構を構成している。
In order to linearly move the horizontal moving
ここで、第1の滑車61は第2のモータ70を収納固定する第2のモータ把持部材71の上側にあり、第2のモータ70の回転中心軸と第1の滑車61の回転中心軸はギアで回転数を低減させて接続されている。
Here, the
90aは光源ランプユニットを示し、90bはその集光レンズ系を示す。90は前述した光路を示し、その光路位置は固定しておく。その光路90位置を基準として前記第1のモータ30及び第2のモータ70を駆動してターレット10を回転方向(円周方向)θ及び水平方向(径方向)Xに回転及び水平移動させ、所望の光学干渉フィルタに逐次短時間に切換える。
この様な構造としたことにより、この実施例においては、従来のモノクロメータに比べおおよそ10倍の高性能干渉フィルターが装着可能となり、さらにそれらを短時間で切換えることにより波長選別性能の高いモノクロメータを得ることができる。 By adopting such a structure, in this embodiment, it is possible to mount a high-performance interference filter approximately 10 times that of a conventional monochromator, and a monochromator with high wavelength selection performance by switching them in a short time. Can be obtained.
尚、本発明のフィルター式モノクロメータは、マイクロコンピュータ制御部と組み合わせれば容易に電子制御分光器とすることができる。 The filter monochromator of the present invention can be easily made into an electronically controlled spectrometer when combined with a microcomputer control unit.
すなわち多重円周形のターレットの各フィルターのそれぞれの位置座標(X、θ)を予めコンピュータ制御部の記憶装置にフィルターと座標位置の関係を記録する座標ファイルを備え、その表示部で座標一覧表を表示させ、その表の中から所望するフィルターをクリックすれば、自動的に第1及び第2のモータ30、70が駆動されて、前記光路位置90にクリックしたフィルターがセットされる。
That is, a coordinate file for storing the relationship between the filter and the coordinate position is stored in advance in the storage device of the computer control unit for each position coordinate (X, θ) of each filter of the multicircular turret. When the desired filter is clicked from the table, the first and
尚、ターレット10の貫通孔10aへ光学干渉フィルター1を挿入する際、嵌合する構成でもよく或は貫通孔10aの内側に雌ネジを切、フィルター1の外側は雄ネジとしてセットするようにしてもよい。後者の場合は、干渉フィルターの角度を容易に調整することもできる。
It should be noted that when the optical interference filter 1 is inserted into the through
X 水平方向
θ 周方向
1 光学干渉フィルター
10 ターレット
10a 貫通孔
11−1,11−2・・・・最外周の貫通孔列
12−1、12−2・・・・次の外周の貫通孔列
30 第1のモータ
31 回転円板
31a 接続部材
40 ガイドシャフト
41 ガイドシャフト支持部材
42 水平移動部材
42a リニアベアリング
50 連結部材
50a 接続部材
51 モータ外囲器把持部材
51a 固定部材
60 ベルト
61 第1及び第2の滑車
70 第2のモータ
71 第2のモータ把持部材
80 架台(分光装置設置架台)
90 光路
100 フィルター式モノクロメータ
X horizontal direction θ circumferential direction 1
90 Optical path 100 Filter monochromator
Claims (1)
前記光学干渉フィルターと、それらが多重の同心円にそって設けた複数の貫通孔にそれぞれ着脱自在に配設された円盤状のターレットと、
そのターレットを周方向に回転させるための第1のモータと、
その第1のモータの回転軸に接続された回転円板と、
その回転円板に前記ターレットを着脱自在に固定させる接続部材と、
前記ターレットを水平方向に移動させる並行する2本のガイドシャフトと、
それらのガイドシャフトを水平に支持するため、該分光装置架台上に2ヶ所で固定され、そのガイドシャフトの両端をそれぞれ支持するガイドシャフト支持部材と、
前記2本のガイドシャフトの上に跨って、且つ囲むように設けられ、それぞれのガイドシャフトとの対向面はリニアベアリングを介して接触させ、シャフト軸方向移動自在の水平移動部材と、
その水平移動部材に前記第1のモータを連結させるために水平移動部材の上に載せて固定すると共に、前記第1のモータ外囲器の周縁部の把持部材を結合固定する連結部材と、
前記水平移動部材を水平方向へ移動させるため、その水平移動部材を接続部材で接続したテープ状のベルトと、
そのベルトを回転させる第1及び第2の滑車と、
その第1の滑車を回転させる回転軸に接続する第2のモータと、を具備し、
光源ランプユニットから集光レンズを介して照射する光路の位置を固定して、その光路の位置を基準にして、前記第1及び第2のモータを駆動して前記ターレットを周方向に移動させ、所望の光学干渉フィルターに逐次切換えることを特徴とするフィルター式モノクロメータ。 A spectroscopic device provided with a plurality of optical interference filters having different wavelength bands and a switching mechanism thereof,
The optical interference filters, and disk-shaped turrets that are detachably disposed in a plurality of through holes provided along a plurality of concentric circles;
A first motor for rotating the turret in the circumferential direction;
A rotating disk connected to the rotating shaft of the first motor;
A connecting member for removably fixing the turret to the rotating disk;
Two parallel guide shafts for moving the turret in the horizontal direction;
In order to support the guide shafts horizontally, the guide shaft support members that are fixed at two places on the spectroscopic frame and support both ends of the guide shafts,
A horizontal moving member that is provided so as to straddle and surround the two guide shafts, and that faces the respective guide shafts through linear bearings, and is movable in the axial direction of the shaft,
A connecting member for connecting and fixing a gripping member on a peripheral edge of the first motor envelope, and mounting and fixing on the horizontal moving member to connect the first motor to the horizontal moving member;
In order to move the horizontal movement member in the horizontal direction, a tape-like belt in which the horizontal movement member is connected by a connection member;
First and second pulleys for rotating the belt;
A second motor connected to a rotating shaft for rotating the first pulley,
Fixing the position of the optical path irradiated from the light source lamp unit via the condenser lens, and using the position of the optical path as a reference, the first and second motors are driven to move the turret in the circumferential direction. A filter type monochromator characterized by sequentially switching to a desired optical interference filter.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005171705A JP2006343295A (en) | 2005-06-10 | 2005-06-10 | Filter type monochromator |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100582835C (en) * | 2008-01-17 | 2010-01-20 | 中国科学院光电技术研究所 | Electric filter light modulation device |
CN101581943B (en) * | 2009-06-03 | 2011-04-20 | 中国科学院光电技术研究所 | Control circuit of electric filter dimming device |
-
2005
- 2005-06-10 JP JP2005171705A patent/JP2006343295A/en active Pending
Cited By (2)
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CN100582835C (en) * | 2008-01-17 | 2010-01-20 | 中国科学院光电技术研究所 | Electric filter light modulation device |
CN101581943B (en) * | 2009-06-03 | 2011-04-20 | 中国科学院光电技术研究所 | Control circuit of electric filter dimming device |
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