JP2006323142A - Liquid crystal device, method for manufacturing same, and projection type display device - Google Patents

Liquid crystal device, method for manufacturing same, and projection type display device Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid crystal device whose excellent aligning property is combined with high reliability. <P>SOLUTION: The liquid crystal device is constructed with a pair of substrates 10, 20 having a liquid crystal 50 interposed in between. Out of the pair of substrates, at least one substrate 10 has an alignment layer 1 on the surface of the liquid crystal 50 side. The alignment layer 1 comprises a single layer containing an inorganic material component and an organic material component. The alignment layer 1 is constructed in such a way that a proportion of the organic material component in the alignment layer 1 increases as going from the substrate 10 side to the liquid crystal 50 side. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶装置、液晶装置の製造方法、投射型表示装置に関するものである。   The present invention relates to a liquid crystal device, a method for manufacturing the liquid crystal device, and a projection display device.

一般に、液晶プロジェクタ(投射型表示装置)のライトバルブや携帯電話等のディスプレイとして用いられる液晶装置には、その液晶層を挟持する基板の最表面に、液晶分子の配列を制御するための配向膜が形成されている。この配向膜としては、ポリイミド等の有機膜をラビング処理したもの(有機配向膜)が広く使用されている(例えば、特許文献1参照)。
特開平9−244029号公報
In general, a liquid crystal device used as a light valve of a liquid crystal projector (projection display device) or a display such as a mobile phone has an alignment film for controlling the alignment of liquid crystal molecules on the outermost surface of a substrate sandwiching the liquid crystal layer. Is formed. As this alignment film, a film obtained by rubbing an organic film such as polyimide (organic alignment film) is widely used (for example, see Patent Document 1).
Japanese Patent Laid-Open No. 9-244029

しかしながら、このような有機配向膜は、配向力に優れる反面、熱や光に弱く、長期間の使用によってその配向力が次第に低下してしまうという問題がある。例えば高強度の光が照射されるプロジェクタに搭載した場合、配向膜は光源からの光や熱によって次第に変性されてゆき、液晶分子を所望の配向方向に配列できなくなる場合がある。また、このような光劣化が生じると、その分解生成物によって液晶の性能等に悪影響を及ぼすことがある。   However, such an organic alignment film is excellent in the alignment force, but is weak against heat and light, and has a problem that the alignment force gradually decreases with long-term use. For example, when it is mounted on a projector that is irradiated with high-intensity light, the alignment film is gradually modified by light or heat from the light source, and liquid crystal molecules may not be aligned in a desired alignment direction. Further, when such light deterioration occurs, the decomposition product may adversely affect the performance of the liquid crystal.

この問題を解決するための手段として、前記配向膜に無機材料で形成された配向膜(無機配向膜)を用いる技術が提案されている。無機配向膜は、一般に、斜方蒸着法により形成される。しかしながら、無機配向膜は、有機材料で構成された有機配向膜に比べて、耐光性や耐熱性に優れるものの、液晶分子を配向させる能力が低いという問題がある。このため、無機配向膜を用いた液晶装置では、配向力の不足による配向むらやコントラストの低下等を招く虞があった。   As a means for solving this problem, a technique using an alignment film (inorganic alignment film) formed of an inorganic material for the alignment film has been proposed. The inorganic alignment film is generally formed by oblique deposition. However, although the inorganic alignment film is excellent in light resistance and heat resistance as compared with an organic alignment film composed of an organic material, there is a problem that the ability to align liquid crystal molecules is low. For this reason, in a liquid crystal device using an inorganic alignment film, there is a risk of causing uneven alignment due to insufficient alignment force, a decrease in contrast, and the like.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、良好な配向特性と高い信頼性とを兼ね備えた液晶装置及びその製造方法を提供することを目的とする。また、このような液晶装置を備えることにより、良好な表示特性と高い信頼性とを兼ね備えた投射型表示装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a liquid crystal device having both good alignment characteristics and high reliability, and a method for manufacturing the same. It is another object of the present invention to provide a projection type display device having both good display characteristics and high reliability by including such a liquid crystal device.

上記の課題を解決するため、本発明の液晶装置は、一対の基板間に液晶を挟持してなる液晶装置であって、前記一対の基板のうち、少なくとも一方の基板の前記液晶側の面に配向膜を有し、前記配向膜は、無機材料成分と有機材料成分とを含む単一の層からなり、前記配向膜中の前記有機材料成分の比率が、前記基板側から前記液晶側に向けて大きくなるように構成されていることを特徴とする。
この構成によれば、配向膜中の有機材料成分の比率が、基板側から前記液晶側に向けて大きくなるように構成されているため、配向膜全体の無機材料成分の比率を高めながら、液晶と接する部分だけは配向特性の良好な有機材料成分の比率の高い組成とすることができる。このため、良好な配向特性と高い信頼性を兼ね備えた液晶装置を提供することができる。一般に、配向特性と信頼性とはトレードオフの関係となるため、両方の特性を同じ配向膜で同時に実現することはできなかったが、本発明では、この2つの特性を配向膜中の別々の部分で実現させることで、両方の特性を同時に満たすことが可能となっている。
In order to solve the above problems, a liquid crystal device according to the present invention is a liquid crystal device in which a liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates, and the liquid crystal side surface of at least one of the pair of substrates is disposed on the surface on the liquid crystal side. The alignment film comprises a single layer containing an inorganic material component and an organic material component, and the ratio of the organic material component in the alignment film is directed from the substrate side to the liquid crystal side. It is configured to be large.
According to this configuration, since the ratio of the organic material component in the alignment film increases from the substrate side toward the liquid crystal side, the liquid crystal while increasing the ratio of the inorganic material component in the entire alignment film. Only the portion in contact with can be made a composition with a high ratio of organic material components having good orientation characteristics. Therefore, it is possible to provide a liquid crystal device having both good alignment characteristics and high reliability. In general, since alignment characteristics and reliability are in a trade-off relationship, both characteristics cannot be realized at the same time with the same alignment film. However, in the present invention, these two characteristics are separated from each other in the alignment film. By realizing this in part, it is possible to satisfy both characteristics simultaneously.

本発明においては、前記配向膜のうち、最も前記基板側に配置される部分が、無機材料成分を主体として構成され、最も前記液晶側に配置される部分が、有機材料成分を主体として構成されているものとすることができる。この場合、前記配向膜のうち、最も前記基板側に配置される部分が、前記基板の材料成分と同じ無機材料成分を主体として構成されていることが好ましい。
この構成によれば、より信頼性が高く、より配向特性の良好な液晶装置を提供することができる。また、配向膜の最も基板側に配置される部分を、基板の材料成分と同じ無機材料成分を主体として構成した場合には、配向膜と基板との密着性が良くなり、より信頼性の高い液晶装置を提供することができる。
ここで、「主体とする」とは、無機材料成分と有機材料成分とを比較して、一方が他方よりも多いことを意味する。例えば前記の構成において、配向膜の最も基板側に配置される部分では、無機材料成分の方が有機材料成分よりも多く含まれており、配向膜の最も液晶側に配置される部分では、有機材料成分の方が無機材料成分よりも多く含まれている。無機材料成分と有機材料成分との比率は、配向膜に入射される光の強度、必要とされる配向特性及び耐光性等の観点から適切な値に設定される。
In the present invention, the portion of the alignment film that is disposed closest to the substrate is mainly composed of an inorganic material component, and the portion that is closest to the liquid crystal is mainly composed of an organic material component. Can be. In this case, it is preferable that a portion of the alignment film that is disposed closest to the substrate is mainly composed of the same inorganic material component as the material component of the substrate.
According to this configuration, a liquid crystal device with higher reliability and better alignment characteristics can be provided. Further, when the portion of the alignment film that is disposed closest to the substrate is mainly composed of the same inorganic material component as the material component of the substrate, the adhesion between the alignment film and the substrate is improved, and the reliability is higher. A liquid crystal device can be provided.
Here, “mainly” means that an inorganic material component and an organic material component are compared, and one is more than the other. For example, in the above configuration, the portion of the alignment film that is disposed on the most substrate side contains more inorganic material components than the organic material component, and the portion of the alignment film that is disposed on the most liquid crystal side is organic. More material components are contained than inorganic material components. The ratio between the inorganic material component and the organic material component is set to an appropriate value from the viewpoint of the intensity of light incident on the alignment film, the required alignment characteristics, light resistance, and the like.

本発明においては、前記配向膜は、有機金属材料を含んでおり、前記有機金属材料は、その分子内に、前記液晶との親和性を向上させる親和性付与基と前記液晶の配向を制御する配向性付与基の少なくともいずれか一方を有するものとすることができる。
この構成によれば、耐光性に優れ、かつ、配向特性に優れた液晶装置を提供することができる。
In the present invention, the alignment film contains an organometallic material, and the organometallic material controls an affinity imparting group that improves the affinity with the liquid crystal in the molecule and the orientation of the liquid crystal. It may have at least one of orientation imparting groups.
According to this configuration, it is possible to provide a liquid crystal device having excellent light resistance and excellent alignment characteristics.

本発明においては、前記親和性付与基は、ビニル基、アルキレン基、シアノアルキル基のうち、少なくとも1種であることが好ましい。
この構成によれば、液晶との親和性をより効果的に向上させることができ、液晶をより安定した状態で配置することができる。
In the present invention, the affinity imparting group is preferably at least one of a vinyl group, an alkylene group, and a cyanoalkyl group.
According to this configuration, the affinity with the liquid crystal can be improved more effectively, and the liquid crystal can be arranged in a more stable state.

本発明においては、前記配向性付与基は、フェニル基、置換フェニル基、フェニルアルキル基、置換フェニルアルキル基、炭素数が3〜12の分岐アルキル基のうち、少なくとも1種であることが好ましい。
この構成によれば、液晶の配向方向及びプレチルト角をより効果的に所望のものとすることができ、より優れた配向特性を示すことができる。
In the present invention, the orientation-imparting group is preferably at least one of a phenyl group, a substituted phenyl group, a phenylalkyl group, a substituted phenylalkyl group, and a branched alkyl group having 3 to 12 carbon atoms.
According to this configuration, the alignment direction and the pretilt angle of the liquid crystal can be more effectively made desired, and more excellent alignment characteristics can be exhibited.

本発明においては、前記配向膜は、ゾル・ゲル法によって形成されているものとすることができる。
この構成によれば、配向膜が液相法であるゾル・ゲル法を用いて形成されるため、斜方蒸着法等の気相法を用いる従来の方法に比べて、プロセスを簡略化することができる。
In the present invention, the alignment film may be formed by a sol-gel method.
According to this configuration, since the alignment film is formed using a sol-gel method that is a liquid phase method, the process can be simplified as compared with a conventional method using a vapor phase method such as oblique deposition. Can do.

本発明の液晶装置の製造方法は、一対の基板間に液晶を挟持してなる液晶装置の製造方法であって、前記一対の基板のうち、少なくとも一方の基板の前記液晶側の面に配向膜を形成する工程を有し、前記配向膜の形成工程は、金属アルコキシドを縮重合させ、その分子内に、前記液晶の配向を制御する配向性付与基を有する配向膜形成用液体を調製する配向膜形成用液体調製工程と、前記配向膜形成用液体を前記基板上に塗布し、塗膜を形成する塗膜形成工程と、前記塗膜内に、その有機材料成分の比率が前記基板側から前記液晶側に向けて大きくなるような傾斜分布を形成し、該傾斜分布を有した状態で前記塗膜を硬化させる硬化工程とを含むことを特徴とする。   The method for manufacturing a liquid crystal device according to the present invention is a method for manufacturing a liquid crystal device in which a liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates, and an alignment film is formed on the liquid crystal side surface of at least one of the pair of substrates. The step of forming the alignment film includes the step of polycondensing a metal alkoxide and preparing an alignment film forming liquid having an orientation-imparting group for controlling the alignment of the liquid crystal in the molecule. The film forming liquid preparation step, the alignment film forming liquid is applied on the substrate to form a coating film, and the ratio of the organic material component in the coating film is from the substrate side. Forming a gradient distribution that increases toward the liquid crystal side, and curing the coating film in a state having the gradient distribution.

この方法は、一般にゾル・ゲル法と呼ばれるものである。ゾル・ゲル法は、セラミックスを作製する比較的新しい方法である。ゾル・ゲル法では、ゾルと呼ばれる溶液から出発し、加水分解・縮重合を経てゼリー状の固体であるゲルを作製する。そして、熱処理を行なうことによって、内部に残された溶媒を取り除き、更に緻密化を促進させることによってセラミックスを得る。このため、原料を溶融し、再固化させるような方法に比べて、プロセス温度を低く抑えることができ、また、斜方蒸着法等の気相法を用いる場合に比べて、製造装置の小型化及びプロセスの簡略化を図ることができる。また、ゾル・ゲル法は、液相からの作製法であることから、原子を分子レベルで均質に混合することが可能であり、組成の制御も容易である。
また、化学反応を利用して低温で作製することができることから、有機材料と無機材料との複合化が可能になる。有機・無機複合材料は、有機材料と無機材料の双方の特性を併せ持つ新規な材料であり、本発明においても、有機材料の特性である良好な配向性と、無機材料の特性である高い信頼性を併せ持つ新規な配向膜の形成が容易に可能となる。
また、本発明においては、配向膜内に、有機材料成分の比率が基板側から液晶側に向けて大きくなるような傾斜分布を生じさせているので、配向膜全体の無機材料成分の比率を高めながら、液晶と接する部分だけは配向特性の良好な有機材料成分の比率の高い組成とすることができる。このため、良好な配向特性と高い信頼性を兼ね備えた液晶装置を提供することができる。
This method is generally called a sol-gel method. The sol-gel method is a relatively new method for producing ceramics. In the sol-gel method, a gel, which is a jelly-like solid, is produced by starting from a solution called a sol and undergoing hydrolysis and condensation polymerization. And by performing heat processing, the solvent left inside is removed and further densification is promoted to obtain ceramics. For this reason, the process temperature can be kept low compared to a method in which the raw material is melted and re-solidified, and the manufacturing apparatus is downsized compared to the case where a vapor phase method such as oblique deposition is used. In addition, the process can be simplified. Further, since the sol-gel method is a production method from a liquid phase, atoms can be mixed homogeneously at a molecular level, and the composition can be easily controlled.
In addition, since it can be manufactured at a low temperature using a chemical reaction, it is possible to combine an organic material and an inorganic material. The organic / inorganic composite material is a novel material that combines the characteristics of both organic and inorganic materials. In the present invention, the organic material has good orientation, which is a characteristic of organic materials, and high reliability, which is a characteristic of inorganic materials. It is possible to easily form a novel alignment film having both.
Further, in the present invention, since an inclination distribution is generated in the alignment film so that the ratio of the organic material component increases from the substrate side toward the liquid crystal side, the ratio of the inorganic material component in the entire alignment film is increased. However, only the portion in contact with the liquid crystal can have a composition with a high ratio of organic material components having good alignment characteristics. Therefore, it is possible to provide a liquid crystal device having both good alignment characteristics and high reliability.

前記傾斜分布を形成する方法としては、例えば、(i)塗膜中の有機材料成分と無機材料成分の比重の違いを利用する方法、(ii)塗膜中の有機材料成分と無機材料成分の硬化反応速度の違いを利用する方法等がある。
(i)の例としては、前記塗膜に対して遠心分離を行なう方法がある。無機材料の比重は有機材料の比重よりも大きいので、基板を外側にして遠心分離を行なうと、前記基板側には、相対的に比重の大きい無機材料成分主体の組成が形成され、前記液晶側には、相対的に比重の小さい有機材料成分主体の組成が形成される。
(ii)の例としては、前記塗膜内に、前記基板側から前記液晶側に向けて温度が低くなるような温度勾配を形成し、該温度勾配を有した状態で前記塗膜を加熱硬化する方法がある。このように温度勾配を有した状態で塗膜を加熱硬化すると、前記基板側には、相対的に熱硬化速度の速い無機材料成分主体の組成が形成され、前記液晶側には、相対的に熱硬化速度の遅い有機材料成分主体の組成が形成される。
また、(ii)の例としては、前記塗膜内に、前記基板側から前記液晶側に向けて水素イオン濃度が大きくなるような濃度勾配を形成し、該濃度勾配を有した状態で前記塗膜を硬化する方法がある。硬化反応は、酸性の強い材料ほど遅く、アルカリ性の強い材料ほど速くなる傾向にあるので、このように濃度勾配を有した状態で塗膜を硬化すると、酸性の強い液晶側で有機材料成分の大きな組成が形成され、アルカリ性の強い基板側で無機材料成分の大きな組成が形成される。
Examples of the method of forming the gradient distribution include (i) a method using the difference in specific gravity between the organic material component and the inorganic material component in the coating film, and (ii) the organic material component and the inorganic material component in the coating film. There is a method using the difference in curing reaction rate.
An example of (i) is a method of centrifuging the coating film. Since the specific gravity of the inorganic material is larger than the specific gravity of the organic material, when the centrifugation is performed with the substrate facing outside, a composition mainly composed of the inorganic material component having a relatively large specific gravity is formed on the substrate side, and the liquid crystal side A composition mainly composed of organic material components having a relatively small specific gravity is formed.
As an example of (ii), in the coating film, a temperature gradient is formed such that the temperature decreases from the substrate side toward the liquid crystal side, and the coating film is heated and cured in a state having the temperature gradient. There is a way to do it. When the coating film is heated and cured in such a state having a temperature gradient, a composition composed mainly of an inorganic material component having a relatively high thermosetting speed is formed on the substrate side, and relatively on the liquid crystal side. A composition composed mainly of organic material components having a low thermosetting rate is formed.
As an example of (ii), a concentration gradient is formed in the coating film so that a hydrogen ion concentration increases from the substrate side toward the liquid crystal side, and the coating film is provided with the concentration gradient. There are methods for curing the film. The curing reaction tends to be slower for strongly acidic materials and faster for strongly alkaline materials. Therefore, when the coating film is cured in such a state having a concentration gradient, a large organic material component is present on the strongly acidic liquid crystal side. A composition is formed, and a large composition of inorganic material components is formed on the strongly alkaline substrate side.

本発明においては、前記配向膜形成用液体は、その分子内に、前記液晶との親和性を向上させる親和性付与基を有するものとすることができる。
この方法によれば、より配向特性の良好な液晶装置を提供することができる。
In the present invention, the alignment film-forming liquid may have an affinity imparting group in the molecule for improving the affinity with the liquid crystal.
According to this method, a liquid crystal device with better alignment characteristics can be provided.

本発明の投射型表示装置は、前述した本発明の液晶装置又は前述した本発明の製造方法により製造されてなる液晶装置を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、良好な表示特性と高い信頼性とを兼ね備えた投射型表示装置を提供することができる。
A projection display device according to the present invention includes the above-described liquid crystal device according to the present invention or the liquid crystal device manufactured by the above-described manufacturing method according to the present invention.
According to this configuration, it is possible to provide a projection display device that has both good display characteristics and high reliability.

以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。
以下の実施の形態では、薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor;TFT)を画素スイッチング素子として備えたアクティブマトリクス型の液晶装置を例に挙げて説明する。この液晶装置は、例えば投射型表示装置のライトバルブ(光変調手段)として好適に用いることができるものである。なお、以下の説明に用いた各図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならせてある。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
In the following embodiments, an active matrix liquid crystal device including a thin film transistor (TFT) as a pixel switching element will be described as an example. This liquid crystal device can be suitably used, for example, as a light valve (light modulation means) of a projection display device. In each drawing used in the following description, the scale is different for each layer and each member so that each layer and each member can be recognized on the drawing.

図1は、本実施形態の液晶装置100を各構成要素とともに対向基板の側から見た平面図であり、図2は、図1のH−H’線に沿う断面図である。図3は、液晶装置の画像表示領域においてマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路を示す図である。   FIG. 1 is a plan view of the liquid crystal device 100 according to the present embodiment as viewed from the counter substrate side together with each component, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line H-H ′ of FIG. 1. FIG. 3 is a diagram showing an equivalent circuit of various elements and wirings in a plurality of pixels formed in a matrix in the image display area of the liquid crystal device.

[液晶表示装置の全体構成]
図1および図2に示すように、本実施の形態の液晶表示装置100は、TFTアレイ基板10と対向基板20とがシール材52によって貼り合わされ、このシール材52によって区画された領域内に液晶層50が封入されている。シール材52の形成領域の内側の領域には、遮光性材料からなる遮光膜(周辺見切り)53が形成されている。シール材52の外側の領域には、データ線駆動回路201および外部回路実装端子202がTFTアレイ基板10の一辺に沿って形成されており、この一辺に隣接する2辺に沿って走査線駆動回路204が形成されている。TFTアレイ基板10の残る一辺には、画像表示領域の両側に設けられた走査線駆動回路204の間を接続するための複数の配線205が設けられている。また、対向基板20の角部においては、TFTアレイ基板10と対向基板20との間で電気的導通をとるための基板間導通材206が配設されている。
[Overall configuration of liquid crystal display]
As shown in FIGS. 1 and 2, in the liquid crystal display device 100 of the present embodiment, the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 are bonded together by a sealing material 52, and the liquid crystal is in a region partitioned by the sealing material 52. Layer 50 is encapsulated. A light shielding film (peripheral parting) 53 made of a light shielding material is formed in a region inside the region where the sealing material 52 is formed. A data line driving circuit 201 and an external circuit mounting terminal 202 are formed along one side of the TFT array substrate 10 in a region outside the sealing material 52, and a scanning line driving circuit is formed along two sides adjacent to the one side. 204 is formed. On the remaining side of the TFT array substrate 10, a plurality of wirings 205 are provided for connecting between the scanning line driving circuits 204 provided on both sides of the image display area. In addition, an inter-substrate conductive material 206 for providing electrical continuity between the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 is disposed at a corner portion of the counter substrate 20.

なお、データ線駆動回路201および走査線駆動回路204をTFTアレイ基板10の上に形成する代わりに、例えば、駆動用LSIが実装されたTAB(Tape Automated Bonding)基板とTFTアレイ基板10の周辺部に形成された端子群とを異方性導電膜を介して電気的および機械的に接続するようにしてもよい。
また、液晶表示装置100においては、使用する液晶モードの種類、すなわち、TN(Twisted Nematic)モード、VA(Vertical Alignment)モード、OCB(Optically Compensated Bend)モード、IPS(In Plain Switching)モード、STN(Super Twisted Nematic)モード等の動作モードや、ノーマリホワイトモード/ノーマリブラックモードの別に応じて、位相差板、偏光板等が所定の向きに配置されるが、ここでは図示を省略する。
Instead of forming the data line driving circuit 201 and the scanning line driving circuit 204 on the TFT array substrate 10, for example, a TAB (Tape Automated Bonding) substrate on which a driving LSI is mounted and a peripheral portion of the TFT array substrate 10 The terminal group formed in the above may be electrically and mechanically connected via an anisotropic conductive film.
In the liquid crystal display device 100, the type of liquid crystal mode to be used, that is, TN (Twisted Nematic) mode, VA (Vertical Alignment) mode, OCB (Optically Compensated Bend) mode, IPS (In Plain Switching) mode, STN (STN) Depending on the operation mode such as the Super Twisted Nematic mode and the normally white mode / normally black mode, a phase difference plate, a polarizing plate, and the like are arranged in a predetermined direction, but the illustration is omitted here.

このような構造を有する液晶表示装置100の画像表示領域においては、図3に示すように、複数のドット100aがマトリクス状に構成されているとともに、これらのドット100aの各々には、画素スイッチング用のTFT30が形成されており、画素信号S1、S2、…、Snを供給するデータ線6aがTFT30のソースに電気的に接続されている。データ線6aに書き込む画素信号S1、S2、…、Snは、この順に線順次で供給してもよく、相隣接する複数のデータ線6a同士に対して、グループ毎に供給するようにしてもよい。また、TFT30のゲートには走査線3aが電気的に接続されており、所定のタイミングで、走査線3aにパルス的に走査信号G1、G2、…、Gmをこの順に線順次で印加するように構成されている。画素電極9は、TFT30のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるTFT30を一定期間だけオン状態とすることにより、データ線6aから供給される画素信号S1、S2、…、Snを各画素に所定のタイミングで書き込む。このようにして画素電極9を介して液晶に書き込まれた所定レベルの画素信号S1、S2、…、Snは、図2に示す対向基板20の対向電極21との間で一定期間保持される。また、保持された画素信号S1、S2、…、Snがリークするのを防ぐために、画素電極9と対向電極21との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量60が付加されている。符号3bは蓄積容量60を構成する容量線である。   In the image display area of the liquid crystal display device 100 having such a structure, as shown in FIG. 3, a plurality of dots 100a are arranged in a matrix, and each of these dots 100a has a pixel switching area. TFT 30 is formed, and a data line 6 a for supplying pixel signals S 1, S 2,..., Sn is electrically connected to the source of the TFT 30. Pixel signals S1, S2,..., Sn to be written to the data lines 6a may be supplied line-sequentially in this order, or may be supplied for each group to a plurality of adjacent data lines 6a. . Further, the scanning line 3a is electrically connected to the gate of the TFT 30, and the scanning signals G1, G2,..., Gm are applied to the scanning line 3a in a pulse-sequential manner in this order at a predetermined timing. It is configured. The pixel electrode 9 is electrically connected to the drain of the TFT 30, and the pixel signal S1, S2,..., Sn supplied from the data line 6a is obtained by turning on the TFT 30 as a switching element for a certain period. Write to each pixel at a predetermined timing. The pixel signals S1, S2,..., Sn written in the liquid crystal via the pixel electrode 9 in this way are held for a certain period with the counter electrode 21 of the counter substrate 20 shown in FIG. Further, in order to prevent the held pixel signals S1, S2,..., Sn from leaking, a storage capacitor 60 is added in parallel with the liquid crystal capacitor formed between the pixel electrode 9 and the counter electrode 21. Reference numeral 3 b denotes a capacity line constituting the storage capacity 60.

次に、図4に基づいて、液晶装置100の構造を説明する。図4(a)は、液晶装置100の断面構造を示す模式図、図4(b)は、その配向膜の構造を示す模式図である。
本実施の形態の液晶表示装置100は、図4(a)に示すように、上下に対向配置された透明のガラス等からなるTFTアレイ基板10及び対向基板20の間に液晶層50が挟持された基本構造を具備している。
Next, the structure of the liquid crystal device 100 will be described with reference to FIG. 4A is a schematic diagram illustrating a cross-sectional structure of the liquid crystal device 100, and FIG. 4B is a schematic diagram illustrating a structure of the alignment film.
In the liquid crystal display device 100 of the present embodiment, as shown in FIG. 4A, a liquid crystal layer 50 is sandwiched between a TFT array substrate 10 and a counter substrate 20 made of transparent glass or the like that are opposed to each other up and down. It has a basic structure.

TFTアレイ基板10の内面には、マトリクス状に配置されたそれぞれの画素100aに対して、TFT30及びITO等の透明導電膜からなる画素電極9が設けられている。実際には、データ線6a、走査線3a等の配線が形成されているが、図4(a)ではこれらの図示を省略している。また、TFTアレイ基板10の内面には、これらTFT30や画素電極9を覆うように、配向膜1が画像表示領域全体に設けられている。   On the inner surface of the TFT array substrate 10, a pixel electrode 9 made of a transparent conductive film such as TFT 30 and ITO is provided for each pixel 100a arranged in a matrix. Actually, wiring lines such as the data line 6a and the scanning line 3a are formed, but these are not shown in FIG. 4A. An alignment film 1 is provided on the entire inner surface of the TFT array substrate 10 so as to cover the TFTs 30 and the pixel electrodes 9.

対向基板20の内面には、遮光膜23が設けられている。遮光膜23は、TFT30や配線等(データ線6a、走査線3a等)が形成される各画素100aの縁に沿って、格子状に設けられている。遮光膜23によって照明光が遮られる領域が非照明領域であり、遮光膜23の開口部を通して照明光が透過する領域が照明領域である。照明領域のみが表示に寄与する。対向基板20の内面には、ITO等の透明導電膜からなる対向電極21が遮光膜23を覆うように全面に設けられており、さらに対向電極21を覆うように、画像表示領域全体に配向膜2が設けられている。   A light shielding film 23 is provided on the inner surface of the counter substrate 20. The light-shielding film 23 is provided in a lattice shape along the edge of each pixel 100a where the TFT 30, wiring, etc. (data line 6a, scanning line 3a, etc.) are formed. A region where the illumination light is blocked by the light shielding film 23 is a non-illumination region, and a region where the illumination light is transmitted through the opening of the light shielding film 23 is an illumination region. Only the illumination area contributes to the display. On the inner surface of the counter substrate 20, a counter electrode 21 made of a transparent conductive film such as ITO is provided on the entire surface so as to cover the light shielding film 23, and further, an alignment film is formed on the entire image display region so as to cover the counter electrode 21. 2 is provided.

これらの基板10,20の間には、液晶層50が保持されている。液晶層50を構成する液晶材料としては、ネマチック液晶、スメクチック液晶など配向し得るものであればいかなる液晶材料を用いても構わないが、ネマティック液晶を用いたTN型液晶パネルの場合、例えば、フェニルシクロヘキサン誘導体液晶、ビフェニル誘導体液晶、ビフェニルシクロヘキサン誘導体液晶、テルフェニル誘導体液晶、フェニルエーテル誘導体液晶、フェニルエステル誘導体液晶、ビシクロヘキサン誘導体液晶、フェニルシクロヘキシルシクロヘキサン誘導体液晶等が挙げられる。さらに、これらネマチック液晶分子にモノフルオロ基、ジフルオロ基、トリフルオロ基、トリフルオロメチル基、トリフルオロメトキシ基、ジフルオロメトキシ基などのフッ素系置換基を導入した液晶分子も含まれる。   A liquid crystal layer 50 is held between the substrates 10 and 20. As the liquid crystal material constituting the liquid crystal layer 50, any liquid crystal material that can be aligned such as nematic liquid crystal and smectic liquid crystal may be used. In the case of a TN liquid crystal panel using nematic liquid crystal, for example, phenyl Examples include cyclohexane derivative liquid crystal, biphenyl derivative liquid crystal, biphenyl cyclohexane derivative liquid crystal, terphenyl derivative liquid crystal, phenyl ether derivative liquid crystal, phenyl ester derivative liquid crystal, bicyclohexane derivative liquid crystal, and phenylcyclohexylcyclohexane derivative liquid crystal. Furthermore, liquid crystal molecules in which a fluorine-based substituent such as a monofluoro group, a difluoro group, a trifluoro group, a trifluoromethyl group, a trifluoromethoxy group, or a difluoromethoxy group is introduced into these nematic liquid crystal molecules are also included.

配向膜1,2は、それぞれ母材中の有機材料成分が基板側から液晶側に向けて大きくなるような傾斜分布構造を有する単一の層からなる膜として構成されている。
図4(b)は、配向膜の断面構造を示す模式図である。図4(b)では、配向膜1の構造のみを示すが、配向膜2の構造もこれと同様の構造となっている。
The alignment films 1 and 2 are each configured as a single layer having a gradient distribution structure in which the organic material component in the base material increases from the substrate side toward the liquid crystal side.
FIG. 4B is a schematic diagram showing a cross-sectional structure of the alignment film. In FIG. 4B, only the structure of the alignment film 1 is shown, but the structure of the alignment film 2 is similar to this.

配向膜1は、有機材料と無機材料とを複合化した有機・無機複合材料によって構成されている。この配向膜1は、後述の配向膜形成用液体を用いて、ゾル・ゲル法によって形成されたものである。配向膜1の母材には、基板10の材料成分と同じSiO等の無機材料が用いられている。配向膜1には、母材中に占める有機材料成分の比率が、基板10側から液晶50側に向けて大きくなるような傾斜分布が形成されている。このような傾斜分布は、配向膜形成用液体の塗膜に対して、遠心分離等の分布形成処理を施すことによって形成されている。本実施形態の場合、最も基板側の部分1Aは、無機材料成分を主体とする無機リッチな配向膜(以下、無機配向膜という)として構成されており、最も液晶側の部分1Cは、有機材料成分を主体とする有機リッチな配向膜(以下、有機配向膜という)として構成されている。また、配向膜1の中央部1Bは、有機材料成分の比率が連続的に変化するような組成となっている。このように、配向膜1中の有機材料成分の比率を基板10側から液晶50側に向けて大きくすることで、配向膜表面の配向特性を良好にしながら、配向膜全体の無機材料成分の比率も高めることができる。また、基板10側の部分1Aを無機材料主体の組成としているので、配向膜1と基板10との密着性も良好なものとなる。 The alignment film 1 is composed of an organic / inorganic composite material in which an organic material and an inorganic material are combined. This alignment film 1 is formed by a sol-gel method using an alignment film forming liquid described later. For the base material of the alignment film 1, an inorganic material such as SiO 2 that is the same as the material component of the substrate 10 is used. In the alignment film 1, an inclination distribution is formed such that the ratio of the organic material component in the base material increases from the substrate 10 side toward the liquid crystal 50 side. Such a gradient distribution is formed by performing a distribution forming process such as centrifugation on the coating film of the alignment film forming liquid. In the present embodiment, the most substrate-side portion 1A is configured as an inorganic-rich alignment film (hereinafter referred to as an inorganic alignment film) mainly composed of inorganic material components, and the most liquid-crystal-side portion 1C is an organic material. It is configured as an organic rich alignment film (hereinafter referred to as an organic alignment film) mainly composed of components. Further, the central portion 1B of the alignment film 1 has a composition in which the ratio of the organic material component continuously changes. Thus, by increasing the ratio of the organic material component in the alignment film 1 from the substrate 10 side toward the liquid crystal 50 side, the ratio of the inorganic material component in the entire alignment film is improved while improving the alignment characteristics of the alignment film surface. Can also be increased. Further, since the portion 1A on the substrate 10 side is mainly composed of an inorganic material, the adhesion between the alignment film 1 and the substrate 10 is also good.

ここで、「主体とする」とは、無機材料成分と有機材料成分とを比較して、一方が他方よりも多いことを意味する。例えば、無機配向膜では、無機材料成分の方が有機材料成分よりも多く含まれており、有機配向膜では、有機材料成分の方が無機材料成分よりも多く含まれている。無機材料成分と有機材料成分との比率は、それぞれの配向膜に入射される光の強度、必要とされる配向特性及び耐光性等の観点から適切な値に設定される。   Here, “mainly” means that an inorganic material component and an organic material component are compared, and one is more than the other. For example, an inorganic alignment film contains more inorganic material components than an organic material component, and an organic alignment film contains more organic material components than an inorganic material component. The ratio of the inorganic material component to the organic material component is set to an appropriate value from the viewpoint of the intensity of light incident on each alignment film, the required alignment characteristics, light resistance, and the like.

配向膜1は、主として有機金属材料によって構成されている。本実施形態では、配向膜1をゾル・ゲル法で形成することを想定しており、従って、前記有機金属材料としては、一般式:M(OR)(M:金属、R:アルキル基)で表される金属アルコキシドを念頭においているが、他の有機金属材料を用いても構わない。 The alignment film 1 is mainly composed of an organometallic material. In this embodiment, it is assumed that the alignment film 1 is formed by a sol-gel method. Therefore, the organometallic material has a general formula: M (OR) n (M: metal, R: alkyl group) However, other organometallic materials may be used.

金属Mとしては、Si,Al,Ti,In,Zn,Sn,V,Sr,La等の種々の材料を用いることができる。また、アルキル基Rとしては、C1〜C5のアルキル基を代表例として挙げることができる。
本実施形態では、金属MをSiとし、前記有機金属材料として有機ケイ素材料を用いている。
As the metal M, various materials such as Si, Al, Ti, In, Zn, Sn, V, Sr, and La can be used. Moreover, as the alkyl group R, a C1-C5 alkyl group can be mentioned as a representative example.
In this embodiment, the metal M is Si, and an organosilicon material is used as the organometallic material.

有機ケイ素材料は、ポリシロキサンと有機化合物との複合材料からなる。この有機ケイ素材料は、優れた化学的安定性を有しており、従来のような有機材料のみで構成された配向膜に比べて、優れた耐光性を有するものとなる。また、このような有機ケイ素材料のうち、本実施形態では特に、その分子内に、官能基として液晶との親和性を向上させる親和性付与基と、液晶の配向状態を制御する配向性付与基とを有するものを用いている。   The organosilicon material is composed of a composite material of polysiloxane and an organic compound. This organosilicon material has excellent chemical stability, and has excellent light resistance as compared to an alignment film composed only of a conventional organic material. Among such organosilicon materials, in the present embodiment, in particular, in the molecule, an affinity imparting group that improves the affinity with liquid crystal as a functional group, and an orientation imparting group that controls the alignment state of the liquid crystal. Are used.

親和性付与基としては、例えば、ビニル基、アルキレン基、シアノアルキル基、フェニル基、置換フェニル基、アルキリデン基等が挙げられる。特に、ビニル基、アルキレン基、アルキリデン基、シアノアルキル基のうち、少なくとも1種または2種以上を有しているものが好ましい。これにより、高い親和性が得られる。   Examples of the affinity imparting group include a vinyl group, an alkylene group, a cyanoalkyl group, a phenyl group, a substituted phenyl group, and an alkylidene group. In particular, those having at least one or more of vinyl, alkylene, alkylidene and cyanoalkyl groups are preferred. Thereby, high affinity is obtained.

配向性付与基としては、例えば、フェニル基、置換フェニル基、フェニルアルキル基、置換フェニルアルキル基、炭素数が3〜12の分岐アルキル基等が挙げられる。特に、フェニル基、置換フェニル基、フェニルアルキル基、置換フェニルアルキル基、炭素数が3〜12の分岐アルキル基のうち、少なくとも1種または2種以上を有しているものが好ましい。これにより、液晶分子の配向方向がより揃ったものとなり、より優れた配向特性を示すことができる。さらに、上述した配向性付与基の中でも、フェニル基、置換フェニル基、フェニルアルキル基、置換フェニルアルキル基を有する有機ケイ素材料を用いた場合、液晶分子との親和性も向上するため、液晶分子が安定した状態で配置され、より優れた配向特性を有するものとなる。   Examples of the orientation-imparting group include a phenyl group, a substituted phenyl group, a phenylalkyl group, a substituted phenylalkyl group, and a branched alkyl group having 3 to 12 carbon atoms. In particular, those having at least one or more of a phenyl group, a substituted phenyl group, a phenylalkyl group, a substituted phenylalkyl group, and a branched alkyl group having 3 to 12 carbon atoms are preferred. Thereby, the alignment direction of liquid crystal molecules becomes more uniform, and more excellent alignment characteristics can be exhibited. Further, among the above-described orientation-imparting groups, when an organosilicon material having a phenyl group, a substituted phenyl group, a phenylalkyl group, or a substituted phenylalkyl group is used, the affinity with the liquid crystal molecules is also improved. They are arranged in a stable state and have more excellent orientation characteristics.

上述したような有機ケイ素材料として、籠形構造または部分開裂籠形構造を有するオルガノポリシルセスキオキサンを用いるのが好ましい。これにより、任意に、親和性、配向性の比率を変化させることができ、かつ、耐熱性が高く、可視光透過特性の高い配向膜を得ることができる。   As the organosilicon material as described above, it is preferable to use an organopolysilsesquioxane having a cage structure or a partially cleaved cage structure. Thereby, the ratio of affinity and orientation can be arbitrarily changed, and an alignment film having high heat resistance and high visible light transmission characteristics can be obtained.

このような有機ケイ素材料の重量平均分子量は、500〜50000であるのが好ましく、700〜50000であるのがより好ましい。これにより、光学的にも物理的にも安定な配向膜とすることができる。
上記のような配向膜1,2は、その平均厚さが、0.01〜10μmであるのが好ましく、0.01〜0.1μmであるのがより好ましく、0.02〜0.05μmであるのがさらに好ましい。平均厚さが前記下限値未満であると、有機ケイ素材料の組成等によっては、配向膜としての機能が十分に発揮されない場合がある。一方、平均厚さが前記上限値を超えると、駆動電圧が高くなり、TFTにより駆動できなくなる可能性がある。
The weight average molecular weight of such an organosilicon material is preferably 500 to 50000, and more preferably 700 to 50000. Thereby, it can be set as the orientation film | membrane stable optically and physically.
The alignment films 1 and 2 as described above preferably have an average thickness of 0.01 to 10 μm, more preferably 0.01 to 0.1 μm, and 0.02 to 0.05 μm. More preferably. If the average thickness is less than the lower limit, the function as an alignment film may not be sufficiently exhibited depending on the composition of the organosilicon material. On the other hand, if the average thickness exceeds the above upper limit value, the drive voltage becomes high and there is a possibility that the TFT cannot be driven.

[液晶装置の製造方法]
次に、配向膜の形成方法に着目しながら、液晶装置100の製造方法について説明する。図5は、配向膜の形成方法を示す工程フローである。
なお、配向膜1と配向膜2の形成工程は、基本的に同じ工程である。このため、ここでは主に配向膜1を形成する場合について説明する。また、以下の説明では、代表的に、籠形構造または部分開裂籠形構造を有するオルガノポリシルセスキオキサンで構成される配向膜の形成方法について説明する。
[Method of manufacturing liquid crystal device]
Next, a method for manufacturing the liquid crystal device 100 will be described while paying attention to a method for forming an alignment film. FIG. 5 is a process flow showing a method for forming an alignment film.
In addition, the formation process of the alignment film 1 and the alignment film 2 is basically the same process. For this reason, the case where the alignment film 1 is mainly formed will be described here. In the following description, a method for forming an alignment film composed of an organopolysilsesquioxane having a cage structure or a partially cleaved cage structure will be described.

図5に示すように、本実施形態の配向膜の形成方法は、配向膜形成用液体を調製する配向膜形成用液体調製工程(工程S1)と、得られた前記配向膜形成用液体を基板に塗布し、塗膜を形成する塗膜形成工程(工程S2)と、形成された前記塗膜内に、その有機材料成分が基板側から液晶側に向けて大きくなるような傾斜分布を形成し、該傾斜分布を有した状態で前記塗膜を硬化させる硬化工程(工程S3)とを有している。   As shown in FIG. 5, the alignment film forming method of this embodiment includes an alignment film forming liquid preparation step (step S1) for preparing an alignment film forming liquid, and the obtained alignment film forming liquid is used as a substrate. A coating film forming step (step S2) for forming a coating film, and a gradient distribution in which the organic material component increases from the substrate side toward the liquid crystal side in the formed coating film. And a curing step (step S3) for curing the coating film in a state having the inclination distribution.

<配向膜形成用液体調製工程(S1)>
配向膜形成用液体調製工程S1は、組成の異なる複数種のアルコキシシランを縮重合させ、ポリシルセスキオキサン材料(ポリシロキサン材料)を調製するポリシルセスキオキサン材料調製工程を含む。そして、ここで得られた前記ポリシルセスキオキサン材料を含む配向膜形成用液体を調製する。
<Liquid preparation step for alignment film formation (S1)>
The alignment film-forming liquid preparation step S1 includes a polysilsesquioxane material preparation step of preparing a polysilsesquioxane material (polysiloxane material) by polycondensation of a plurality of types of alkoxysilanes having different compositions. And the liquid for alignment film formation containing the said polysilsesquioxane material obtained here is prepared.

<ポリシルセスキオキサン材料調製工程>
まず、最終的に得られる配向膜(配向膜1及び配向層1A〜1C)内での親和性付与基、配向性付与基等の官能基を有する有機材料成分と有機基を持たない無機材料成分の存在比率が所定のものとなるように、それに対応する比率で、親和性付与基を有するアルコキシシラン、配向性付与基を有するアルコキシシラン、有機基を持たないアルコキシシラン、後述する成膜する際の硬化反応に寄与する硬化反応基を有するアルコキシシランの複数種のアルコキシシランを用意する。
<Polysilsesquioxane material preparation process>
First, an organic material component having a functional group such as an affinity imparting group and an orientation imparting group in the finally obtained alignment film (alignment film 1 and alignment layers 1A to 1C) and an inorganic material component having no organic group When the film is formed as described below, the alkoxysilane having an affinity-imparting group, the alkoxysilane having an orientation-imparting group, the alkoxysilane having no organic group at a ratio corresponding to the abundance ratio of A plurality of types of alkoxysilanes having a curing reactive group that contributes to the curing reaction are prepared.

親和性付与基を有するアルコキシシランとしては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、3−シアノプロピルトリエトキシシラン、アリルトリメトキシシラン、アリルトリエトキシシラン、アリルトリイソプロポキシシラン、ブテニルトリメトキシシラン、ブテニルトリエトキシシラン、ブテニルイソプロポキシシラン、2−シアノエチルトリメトキシシラン、2−シアノエチルトリエトキシシラン、2−シアノエチルトリイソプロポキシシラン、3−シアノプロピルトリエトキシシラン、3−シアノプロピルトリイソプロポキシシラン、(3−シアノブチル)メチルトリメトキシシラン、(3−シアノブチル)エチルトリメトキシシラン、(3−シアノブチル)メチルトリイソプロポキシシラン等が挙げられる。   Examples of the alkoxysilane having an affinity-imparting group include vinyltrimethoxysilane, 3-cyanopropyltriethoxysilane, allyltrimethoxysilane, allyltriethoxysilane, allyltriisopropoxysilane, butenyltrimethoxysilane, and butenyl. Triethoxysilane, butenylisopropoxysilane, 2-cyanoethyltrimethoxysilane, 2-cyanoethyltriethoxysilane, 2-cyanoethyltriisopropoxysilane, 3-cyanopropyltriethoxysilane, 3-cyanopropyltriisopropoxysilane, ( Examples include 3-cyanobutyl) methyltrimethoxysilane, (3-cyanobutyl) ethyltrimethoxysilane, and (3-cyanobutyl) methyltriisopropoxysilane.

配向性付与基を有するアルコキシシランとしては、例えば、フェニルトリメトキシシラン、イソブチルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリイソプロポキシシラン、イソブチルトリエトキシシラン、イソブチルトリイソプロポキシシラン、イソプロピルトリメトキシシラン、イソプロピルトリエトキシシラン、イソプロピルトリイソプロポキシシラン、フェネチルトリメトキシシラン、フェネチルトリエトキシシラン、フェネチルトリイソプロポキシシラン等が挙げられる。
有機基を持たないアルコキシシランとしては、テトラアルコキシシランを用い、テトラアルコキシシランとしては例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラブトキシシラン等が挙げられる。
Examples of the alkoxysilane having an orientation-imparting group include phenyltrimethoxysilane, isobutyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, phenyltriisopropoxysilane, isobutyltriethoxysilane, isobutyltriisopropoxysilane, isopropyltrimethoxysilane, Examples thereof include isopropyltriethoxysilane, isopropyltriisopropoxysilane, phenethyltrimethoxysilane, phenethyltriethoxysilane, and phenethyltriisopropoxysilane.
Tetraalkoxysilane is used as the alkoxysilane having no organic group, and examples of the tetraalkoxysilane include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, and tetrabutoxysilane.

硬化反応基は、所定の条件下で硬化反応基同士を反応させることにより、塗膜を硬化させる機能を有する官能基である。このような硬化反応基を有するアルコキシシランを用いることにより、配向膜形成用液体の成膜性(成型性)を向上させることができる。その結果、物理的に安定な配向膜を効果的に形成することができる。
このような硬化反応基としては、例えば、グリシドキシアルキル基、脂環式エポキシアルキル基、アクリロイルアルキル基、メタクリロイルアルキル基、ビニル基、アルキレン基、アルキリデン基、スチリル基、スチリルアルキル基等が挙げられる。
The curing reactive group is a functional group having a function of curing the coating film by reacting the curing reactive groups with each other under predetermined conditions. By using an alkoxysilane having such a curing reactive group, the film formability (moldability) of the alignment film forming liquid can be improved. As a result, a physically stable alignment film can be effectively formed.
Examples of such curing reactive groups include glycidoxyalkyl groups, alicyclic epoxyalkyl groups, acryloylalkyl groups, methacryloylalkyl groups, vinyl groups, alkylene groups, alkylidene groups, styryl groups, and styrylalkyl groups. It is done.

上述した中でも、特に、グリシドキシアルキル基、脂環式エポキシアルキル基、メタクリロイルアルキル基を用いるのが好ましい。このような官能基を有することにより、安定な配向膜をより効果的に形成することができる。
このような硬化反応基を有するアルコキシシランとしては、例えば、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシルロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。
Among the above-mentioned, it is particularly preferable to use a glycidoxyalkyl group, an alicyclic epoxyalkyl group, or a methacryloylalkyl group. By having such a functional group, a stable alignment film can be formed more effectively.
Examples of the alkoxysilane having such a curing reaction group include 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 2- (3,4-epoxysiloxyhexyl) ethyltrimethoxysilane, and 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane. Etc.

次に、前述したような複数種のアルコキシシランと、水および必要に応じて、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール等のアルコール類、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン(THF)等のエーテル類、アセトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、トルエンなどの炭化水素類にそれぞれ代表される希釈溶剤とを所定の割合で混合し、混合液を得る。   Next, a plurality of types of alkoxysilanes as described above, water and alcohols such as methanol, ethanol and isopropyl alcohol as necessary, ethers such as diethyl ether and tetrahydrofuran (THF), acetone, methyl isobutyl ketone, etc. A dilute solvent typified by hydrocarbons such as ketones and toluene is mixed at a predetermined ratio to obtain a mixed solution.

次に、得られた混合液に、撹拌しつつ、酸触媒、塩基触媒等の加水分解および重縮合触媒を添加する。なお、これらの触媒は、予め反応に用いる溶剤もしくは水に加えておいても良い。   Next, a hydrolysis and polycondensation catalyst such as an acid catalyst and a base catalyst is added to the obtained mixed solution while stirring. These catalysts may be added in advance to the solvent or water used for the reaction.

酸触媒(固体酸触媒を含む)としては、例えば、硫酸、硝酸、リン酸などの無機酸、有機スルホン酸(例えば、ベンゼンスルホン酸、p−トルエンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸等)等の有機酸等が挙げられ、塩基触媒としては、例えば、アンモニア、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の無機塩基、第三アミン(トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリブチルアミン、トリエタノールアミン、ピリジン等)、水酸化テトラメチルアンモニウム、コリン等の有機塩基等が挙げられる。このうち塩基としての活性が高くかつ後処理の際に除去しやすい水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化テトラアルキルアンモニウムが好ましい。   Examples of the acid catalyst (including a solid acid catalyst) include inorganic acids such as sulfuric acid, nitric acid, phosphoric acid, and organic sulfonic acids (for example, benzenesulfonic acid, p-toluenesulfonic acid, naphthalenesulfonic acid, methanesulfonic acid, ethane). Organic acids such as sulfonic acid, etc., and examples of the base catalyst include inorganic bases such as ammonia, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, tertiary amines (trimethylamine, triethylamine, tributylamine) , Triethanolamine, pyridine and the like), organic bases such as tetramethylammonium hydroxide, choline and the like. Of these, sodium hydroxide, potassium hydroxide, and tetraalkylammonium hydroxide, which have a high activity as a base and are easily removed during post-treatment, are preferred.

加水分解触媒を添加した後、撹拌しつつ、所定の温度で加温し、アルコキシシランを縮重合させる。
上記所定の温度(反応温度)は、5〜140℃であるのが好ましく、特に30〜60℃であるのがより好ましい。反応温度が高すぎると、硬化反応基の反応が起こる恐れがあり、逆に低すぎると反応の進行が著しく遅くなる。
また、反応時間は、1〜48時間であるのが好ましく、特に3〜18時間であるのがより好ましい。反応時間が長すぎると、硬化反応基の反応が起こる恐れがあり、逆に短すぎると反応が完結しない。
After adding the hydrolysis catalyst, the alkoxysilane is polycondensed by heating at a predetermined temperature while stirring.
The predetermined temperature (reaction temperature) is preferably 5 to 140 ° C, and more preferably 30 to 60 ° C. If the reaction temperature is too high, the reaction of the curing reactive group may occur. Conversely, if the reaction temperature is too low, the progress of the reaction is remarkably slowed.
The reaction time is preferably 1 to 48 hours, and more preferably 3 to 18 hours. If the reaction time is too long, the reaction of the curing reactive group may occur. Conversely, if the reaction time is too short, the reaction is not completed.

次に、必要に応じて、中和、希釈溶剤の除去、乾燥等の処理を施す。
上記のような方法を用いることにより、籠形構造もしくは部分開裂籠形構造を有するポリシルセスキオキサン材料(ポリシロキサン材料)を得ることができる。
Next, treatments such as neutralization, removal of diluted solvent, and drying are performed as necessary.
By using the method as described above, a polysilsesquioxane material (polysiloxane material) having a cage structure or a partially cleaved cage structure can be obtained.

<配向膜形成用液体調製工程>
次に、上記工程で得られたポリシルセスキオキサン材料を含む配向膜形成用液体を調製する。
なお、上記工程で得られたポリシルセスキオキサン材料をそのまま配向膜形成用液体として用いてもよいし、必要に応じて溶剤等添加してもよい。
また、配向膜形成用液体には、必要に応じて、硬化剤(重合開始剤)を添加してもよい。これにより、後述するような塗膜の硬化を容易に行うことができる。
<Liquid preparation step for alignment film formation>
Next, an alignment film forming liquid containing the polysilsesquioxane material obtained in the above step is prepared.
In addition, you may use the polysilsesquioxane material obtained at the said process as a liquid for alignment film formation as it is, and you may add a solvent etc. as needed.
Moreover, you may add a hardening | curing agent (polymerization initiator) to the alignment film formation liquid as needed. Thereby, hardening of a coating film which is mentioned later can be performed easily.

このような硬化剤としては、例えば、ベンゾフェノン、1−ヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン、(チオフェノキシフェニル)ジフェニルサルフォニウムヘキサフルオロホスフェイト、ビス(ジフェニルサルフォニウム)ジフェニルチオエーテルヘキサフルオロホスフェイト等の光重合開始剤、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビスメチルブチロニトリル等の熱重合開始剤等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
また、配向膜形成用液体に対して、必要に応じてろ過処理を施してもよい。これにより、配向膜形成用液体中に含まれる不純物を取り除くことができ、均一な膜厚の配向膜を効率良く形成することができる。
Examples of such a curing agent include benzophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, (thiophenoxyphenyl) diphenylsulfonium hexafluorophosphate, bis (diphenylsulfonium) diphenylthioether hexafluorophosphate, and the like. Examples include photopolymerization initiators, thermal polymerization initiators such as azobisisobutyronitrile, azobismethylbutyronitrile, and the like, and one or more of these can be used in combination.
Moreover, you may perform a filtration process with respect to the liquid for alignment film formation as needed. Thereby, impurities contained in the alignment film forming liquid can be removed, and an alignment film having a uniform thickness can be efficiently formed.

<塗膜形成工程(S2)>
次に、上記工程で得られた配向膜形成用液体を基板10上に塗布し、配向膜形成用液体で構成された塗膜を形成する。
配向膜形成用液体を塗布する方法としては、例えば、グラビアコート法、バーコート法、スプレーコート法、スピンコート法、ナイフコート法、ロールコート法、ダイコート法、インクジェット法等が挙げられる。これらの方法は、必要に応じて、選択して又は組み合わせて用いることができる。
<Coating film formation process (S2)>
Next, the alignment film forming liquid obtained in the above step is applied onto the substrate 10 to form a coating film composed of the alignment film forming liquid.
Examples of the method for applying the alignment film forming liquid include a gravure coating method, a bar coating method, a spray coating method, a spin coating method, a knife coating method, a roll coating method, a die coating method, and an ink jet method. These methods can be selected or used in combination as required.

<硬化工程(S3)>
次に、形成された塗膜内に、その有機材料成分の比率が基板10側から液晶50側に向けて大きくなるような傾斜分布を形成し、これを硬化して、基板10の全面に、このような傾斜分布構造を有する配向膜1を形成する。
<Curing step (S3)>
Next, in the formed coating film, a gradient distribution is formed such that the ratio of the organic material component increases from the substrate 10 side toward the liquid crystal 50 side, and this is cured to be applied to the entire surface of the substrate 10. The alignment film 1 having such a gradient distribution structure is formed.

傾斜分布を形成する方法としては、例えば、(i)塗膜中の有機材料成分と無機材料成分の比重の違いを利用する方法、(ii)塗膜中の有機材料成分と無機材料成分の硬化反応速度の違いを利用する方法等が挙げられる。
(i)の例としては、塗膜に対して遠心分離を行なう方法がある。この方法では、まず、塗膜内の重合が少し進行した時点で、基板10を外側にして遠心分離を行なう。流動性が残っている状態で遠心分離を行なうと、相対的に比重の大きい無機材料成分は基板10側へ、相対的に比重の小さい有機材料成分は液晶50側に移動する。これにより、基板10側は、相対的に比重の大きい無機材料成分主体の組成となり、液晶50側は、相対的に比重の小さい有機材料成分主体の組成となる。そして、このような傾斜分布を付与した状態で塗膜を硬化することで、前述したような傾斜分布構造を有する配向膜1が形成される。
For example, (i) a method using the difference in specific gravity between the organic material component and the inorganic material component in the coating film, and (ii) curing of the organic material component and the inorganic material component in the coating film. For example, a method using the difference in reaction rate may be used.
As an example of (i), there is a method of centrifuging the coating film. In this method, first, when the polymerization in the coating film slightly progresses, the substrate 10 is turned outside and the centrifugation is performed. When centrifugation is performed in a state where fluidity remains, the inorganic material component having a relatively high specific gravity moves to the substrate 10 side, and the organic material component having a relatively low specific gravity moves to the liquid crystal 50 side. Thereby, the substrate 10 side has a composition mainly composed of an inorganic material component having a relatively large specific gravity, and the liquid crystal 50 side has a composition mainly composed of an organic material component having a relatively small specific gravity. Then, the alignment film 1 having the gradient distribution structure as described above is formed by curing the coating film with such a gradient distribution.

(ii)の例としては、塗膜内に温度勾配を付与した状態で塗膜を加熱硬化する方法がある。この方法では、塗膜を基板10側から加熱し、その熱によって塗膜内に重合反応を生じさせる。この場合、塗膜は、基板10側が液晶50側に比べて強く加熱されるため、塗膜内には、基板10側から液晶50側に向けて徐々に温度が低下するような温度勾配が生じる。この状態で塗膜を加熱硬化すると、無機材料の方が有機材料に比べて熱硬化反応が速いので、相対的に温度の高い基板10側は無機材料成分主体の組成となり、相対的に温度の低い液晶50側は有機材料成分主体の組成となる。
なお、加熱処理としては、ヒータ等で基板10を直接加熱する方法でもよいし、エネルギー線照射(可視光線、紫外線、放射線、赤外線等)によって加熱する方法でもよい。後者の場合、照射されたエネルギー線が基板10や電極9等によって吸収されることで、基板10の温度が上昇する。このような処理を施すことにより、塗膜中において、前述したような硬化反応基同士が、ラジカル重合、カチオン重合、重縮合等し、塗膜が硬化して、配向膜が形成される。
As an example of (ii), there is a method in which a coating film is heated and cured in a state where a temperature gradient is applied in the coating film. In this method, the coating film is heated from the substrate 10 side, and a polymerization reaction is caused in the coating film by the heat. In this case, since the coating film is heated more strongly on the substrate 10 side than on the liquid crystal 50 side, a temperature gradient is generated in the coating film so that the temperature gradually decreases from the substrate 10 side toward the liquid crystal 50 side. . When the coating film is heated and cured in this state, since the inorganic material has a faster thermosetting reaction than the organic material, the relatively high temperature substrate 10 side has a composition mainly composed of the inorganic material component, and the temperature is relatively high. The lower liquid crystal 50 side has a composition mainly composed of organic material components.
In addition, as a heat processing, the method of heating the board | substrate 10 directly with a heater etc. may be sufficient, and the method of heating by energy ray irradiation (visible light, an ultraviolet-ray, a radiation, infrared rays, etc.) may be sufficient. In the latter case, the irradiated energy rays are absorbed by the substrate 10, the electrode 9, etc., so that the temperature of the substrate 10 rises. By performing such a treatment, the curing reactive groups as described above are radically polymerized, cationically polymerized, polycondensed, etc. in the coating film, and the coating film is cured to form an alignment film.

(ii)の例としては、塗膜内に水素イオン濃度(PH)の濃度勾配を付与した状態で塗膜を重合させる方法もある。この方法では、まず、塗膜の表面(液晶側の面)にイオン交換膜(例えばナフィオン膜)を載せ、塗膜の表面のPH値を酸性側に調節する。そして、この状態で、塗膜内に重合反応を生じさせる。この場合、塗膜は、イオン交換膜と接触する液晶側のみが酸性に調節されるので、塗膜内には、基板10側から液晶50側に向けて、徐々にPH値が小さくなるようなPH勾配が生じる。この状態で塗膜を硬化すると、硬化反応は、酸性の強い材料ほど遅く、アルカリ性の強い材料ほど速く進む傾向にあるため、相対的にPH値の大きい基板10側は無機材料成分主体の組成となり、相対的にPH値の小さい液晶50側は有機材料成分主体の組成となる。   As an example of (ii), there is also a method of polymerizing a coating film in a state where a concentration gradient of hydrogen ion concentration (PH) is given in the coating film. In this method, first, an ion exchange membrane (for example, a Nafion membrane) is placed on the surface of the coating film (surface on the liquid crystal side), and the pH value of the coating film surface is adjusted to the acidic side. In this state, a polymerization reaction is caused in the coating film. In this case, since only the liquid crystal side in contact with the ion exchange membrane is adjusted to be acidic, the pH value gradually decreases in the coating film from the substrate 10 side toward the liquid crystal 50 side. A PH gradient occurs. When the coating film is cured in this state, the curing reaction tends to be slower as the material is more acidic and faster as the material is more alkaline, so the substrate 10 side having a relatively high PH value has a composition mainly composed of inorganic material components. The liquid crystal 50 side having a relatively small PH value has a composition mainly composed of organic material components.

塗膜の硬化は、特に、塗膜を構成する配向膜形成用液体中に含まれる水分や溶媒等を除去した後(塗膜に対して乾燥処理を施した後)に行うのが好ましい。これにより、膜厚の安定した配向膜を効率良く形成することができる。
また、塗膜の硬化は、例えば、エネルギー線を照射して塗膜を仮硬化させた後に、加熱処理により本硬化することにより行ってもよい。すなわち、塗膜の硬化は、塗膜を、一旦、比較的低いエネルギーで仮硬化させた後に、完全に硬化させるものであってもよい。これにより、膜厚の安定した配向膜をより効率良く形成することができる。
The coating film is particularly preferably cured after removing moisture, solvent, and the like contained in the alignment film forming liquid constituting the coating film (after drying the coating film). Thereby, an alignment film having a stable film thickness can be efficiently formed.
Moreover, you may perform hardening of a coating film, for example, after irradiating an energy beam and pre-hardening a coating film, and carrying out the main hardening by heat processing. That is, the coating film may be cured by temporarily curing the coating film with a relatively low energy once and then completely curing it. Thereby, an alignment film having a stable film thickness can be formed more efficiently.

以上により、傾斜分布構造を有する配向膜1を備えたTFTアレイ基板10が形成される。配向膜1には、必要に応じてラビング等の配向処理を施すことができる。これにより、得られる配向膜の配向特性をより優れたものとすることができる。   As described above, the TFT array substrate 10 including the alignment film 1 having the gradient distribution structure is formed. The alignment film 1 can be subjected to an alignment treatment such as rubbing as necessary. Thereby, the alignment characteristic of the alignment film obtained can be made more excellent.

次に、同様の方法を用いて、対向基板20の表面に、同様の傾斜分布構造を有する配向膜2を形成する。そして、これらの基板10,20を枠状に設けたシール材52を介して貼り合わせ、そのシール材52の枠内に液晶を充填する。その後、基板10,20の外面側に必要に応じて偏光板等を貼着する。
以上により、液晶装置100が完成する。
Next, using the same method, the alignment film 2 having the same gradient distribution structure is formed on the surface of the counter substrate 20. Then, these substrates 10 and 20 are bonded together via a sealing material 52 provided in a frame shape, and the frame of the sealing material 52 is filled with liquid crystal. Thereafter, a polarizing plate or the like is attached to the outer surface side of the substrates 10 and 20 as necessary.
Thus, the liquid crystal device 100 is completed.

以上説明したように、本実施形態の液晶装置100においては、配向膜中の有機材料成分の比率が基板側から液晶側に向けて大きくなるように構成されている。このため、配向膜全体の無機材料成分の比率を高めながら、液晶50と接する部分だけは配向特性の良好な有機材料成分の比率の高い組成とすることができ、これにより、良好な配向特性と高い信頼性を兼ね備えた液晶装置の提供が可能となる。一般に、配向特性と信頼性とはトレードオフの関係となるため、両方の特性を同じ配向膜で同時に実現することはできなかったが、本発明では、この2つの特性を配向膜中の別々の部分1A,1Cで実現させることで、両方の特性を同時に満たすことが可能となっている。   As described above, the liquid crystal device 100 of this embodiment is configured such that the ratio of the organic material component in the alignment film increases from the substrate side toward the liquid crystal side. For this reason, while increasing the ratio of the inorganic material component of the entire alignment film, only the portion in contact with the liquid crystal 50 can have a composition with a high ratio of the organic material component having a good alignment characteristic. A liquid crystal device having high reliability can be provided. In general, since alignment characteristics and reliability are in a trade-off relationship, both characteristics cannot be realized at the same time with the same alignment film. However, in the present invention, these two characteristics are separated from each other in the alignment film. By realizing the portions 1A and 1C, both characteristics can be satisfied simultaneously.

また、配向膜1,2が、液相法であるゾル・ゲル法によって形成されているので、斜方蒸着法等の気相法を用いる従来の方法に比べて、プロセスを簡略化することができる。また、化学反応を利用して低温で作製することができることから、有機材料と無機材料との複合化も可能になる。有機・無機複合材料は、有機材料と無機材料の双方の特性を併せ持つ新規な材料であり、本実施形態においても、有機材料(液晶性物質)の特性である良好な配向性と、無機材料の特性である高い信頼性を併せ持つ新規な配向膜1,2の形成が容易に可能となる。
さらに、配向膜1,2に、液晶との親和性を向上させる親和性付与基と、液晶の配向を制御する配向性付与基とが含まれているので、耐光性に優れ、かつ、配向特性に優れた液晶装置を提供することができる。
In addition, since the alignment films 1 and 2 are formed by a sol-gel method that is a liquid phase method, the process can be simplified as compared with a conventional method using a vapor phase method such as oblique deposition. it can. In addition, since it can be produced at a low temperature using a chemical reaction, it is possible to combine an organic material and an inorganic material. The organic / inorganic composite material is a novel material having both the characteristics of an organic material and an inorganic material. In this embodiment, the organic material (liquid crystalline substance) has a good orientation and an inorganic material. It becomes possible to easily form novel alignment films 1 and 2 having high reliability that is a characteristic.
Furthermore, since the alignment films 1 and 2 include an affinity imparting group that improves the affinity with the liquid crystal and an orientation imparting group that controls the alignment of the liquid crystal, the alignment films 1 and 2 are excellent in light resistance and have orientation characteristics. An excellent liquid crystal device can be provided.

[第2の実施形態]
本実施形態の液晶装置の基本構造は、第1実施形態の液晶装置と同じであり、異なるのは、配向膜1,2の有機材料成分を含む配向層の材料のみである。
本実施形態のおける配向膜1,2の前記有機材料成分を含む配向層として、有機基を有するシラン化合物の加水分解物と、テトラアルコキシシランの加水分解物とを含む配向膜形成用液体を用いて配向膜を形成することもできる。有機基を有するシラン化合物としては主として、ケイ素原子と酸素原子とが結合した構造を有しており、ケイ素原子の一部に、有機基が炭素原子で直接結合してなるものである。
[Second Embodiment]
The basic structure of the liquid crystal device of this embodiment is the same as that of the liquid crystal device of the first embodiment, and the only difference is the material of the alignment layer including the organic material components of the alignment films 1 and 2.
As the alignment layer containing the organic material component of the alignment films 1 and 2 in this embodiment, an alignment film forming liquid containing a hydrolyzate of a silane compound having an organic group and a hydrolyzate of tetraalkoxysilane is used. Thus, an alignment film can be formed. The silane compound having an organic group mainly has a structure in which a silicon atom and an oxygen atom are bonded, and the organic group is directly bonded to a part of the silicon atom with a carbon atom.

この有機基としては、例えば、メチル基、エチル基等のアルキル基、フェニル基、ベンジル基、ビフェニル基、ナフチル基等の芳香環を有する官能基等が挙げられる。有機基として芳香環を含む官能基を有しているものを用いた場合、液晶分子への規制力を向上させるとともに、液晶分子の配向方向をより確実に揃えることができるので好ましい。有機基として芳香環を含む官能基を有している場合、芳香環が炭素原子を介してケイ素原子に結合しているものを用いるのが好ましい。   Examples of the organic group include alkyl groups such as a methyl group and an ethyl group, and functional groups having an aromatic ring such as a phenyl group, a benzyl group, a biphenyl group, and a naphthyl group. The use of an organic group having a functional group containing an aromatic ring is preferable because it can improve the regulating force on the liquid crystal molecules and can more reliably align the alignment direction of the liquid crystal molecules. When the organic group has a functional group containing an aromatic ring, it is preferable to use one in which the aromatic ring is bonded to a silicon atom via a carbon atom.

本実施形態での<配向膜形成用液体調整工程(S1)>では、シラン化合物の加水分解物と、テトラアルコキシシランの加水分解物とを別々に調製し、混合することにより、配向膜形成用液体を調製する。別々に各加水分解物を調製することにより、それぞれの加水分解の程度をより適度なものに調節することができる。また、シラン化合物の加水分解物とテトラアルコキシシランの加水分解物との混合比を変えることによって、有機材料成分の比率を自由に調節することができる。本実施形態では、配向膜1,2に無機配向膜と有機配向膜が含まれており、この無機配向膜及び有機配向膜に含まれる有機材料成分の比率は、前記の混合比によって調節される。   In the <alignment film forming liquid adjustment step (S1)> in this embodiment, a hydrolyzate of a silane compound and a hydrolyzate of tetraalkoxysilane are separately prepared and mixed to form an alignment film. Prepare a liquid. By preparing each hydrolyzate separately, the degree of hydrolysis can be adjusted to a more appropriate level. Moreover, the ratio of the organic material component can be freely adjusted by changing the mixing ratio of the hydrolyzate of the silane compound and the hydrolyzate of tetraalkoxysilane. In this embodiment, the alignment films 1 and 2 include an inorganic alignment film and an organic alignment film, and the ratio of the organic material components included in the inorganic alignment film and the organic alignment film is adjusted by the mixing ratio. .

<シラン化合物の加水分解物の調製>
まず、本実施形態で用いるシラン化合物の加水分解物の調製方法について説明する。
まず、加水分解に供されるシラン化合物を用意する。
このようなシラン化合物としては、有機基を構成する炭素原子が直接ケイ素に結合してなるものを用いる。これにより、加水分解時等において、有機基が離脱するのを防止し、配向膜内に、有機基を確実に残すことができる。
また、シラン化合物は、前述した有機基以外に、加水分解可能な置換基であれば、いかなる置換基を有していてもよく、例えば、アルコキシル基、ハロゲン基等を有していてもよい。
<Preparation of hydrolyzate of silane compound>
First, the preparation method of the hydrolyzate of the silane compound used by this embodiment is demonstrated.
First, a silane compound to be subjected to hydrolysis is prepared.
As such a silane compound, a compound in which a carbon atom constituting an organic group is directly bonded to silicon is used. Thereby, it is possible to prevent the organic group from being detached during hydrolysis or the like, and to reliably leave the organic group in the alignment film.
In addition to the organic group described above, the silane compound may have any substituent as long as it is a hydrolyzable substituent. For example, the silane compound may have an alkoxyl group, a halogen group, or the like.

上述した中でも、有機基以外の置換基として、アルコキシル基および/またはハロゲン基を有するシラン化合物を用いるのが好ましい。これにより、シラン化合物の加水分解を容易に行うことができる。
アルコキシル基としては、例えば、メトキシ基(OMe)、エトキシ基(OEt)、プロポキシ基(OPr)、ブトキシ基(OBu)等が挙げられる。
また、ハロゲン基としては、例えば、フッ素基(F)、塩素基(Cl)、臭素基(Br)等が挙げられる。
Among the above-mentioned, it is preferable to use a silane compound having an alkoxyl group and / or a halogen group as a substituent other than an organic group. Thereby, hydrolysis of a silane compound can be performed easily.
Examples of the alkoxyl group include a methoxy group (OMe), an ethoxy group (OEt), a propoxy group (OPr), and a butoxy group (OBu).
Examples of the halogen group include a fluorine group (F), a chlorine group (Cl), and a bromine group (Br).

このようなシラン化合物は、一般式RSiX(4−m)(3≧m≧1、Rはメチル基(Me)、エチル基(Et)、フェニル基(Ph)、ベンジル基(Bz)等の有機基、Xは、アルコキシル基、ハロゲン基等)で表される。 Such a silane compound has a general formula R m SiX (4-m) (3 ≧ m ≧ 1, R is a methyl group (Me), an ethyl group (Et), a phenyl group (Ph), a benzyl group (Bz), etc. And X represents an alkoxyl group, a halogen group, or the like.

このようなシラン化合物としては、例えば、ベンジルトリエトキシシラン(BzSi(OEt))、ベンジルトリエメトキシシラン(BzSi(OMe))、ベンジルメチルジエトキシシラン(BzMeSi(OEt))、ベンジルジメチルエトキシシラン(BzMeSiOEt)、フェニルトリエトキシシラン(PhSi(OEt))、フェニルトリメトキシシラン(PhSi(OMe))、フェニルメチルジエトキシシラン(PhMeSi(OEt))、フェニルトリクロロシラン(PhSiCl)、フェニルメチルジクロロシラン(PhMeSiCl)、フェニルエチルトリクロロシラン(PhCHCHSiCl)、4−フェニルブチルトリクロロシラン(Ph(CHSiCl)、4−フェニルブチルメチルジクロロシラン(Ph(CHMeSiCl)、4−フェニルブチルジメチルクロロシラン(Ph(CHMeSiCl)等が挙げられる。シラン化合物の選定は、使用される液晶組成などとの組合せにより選定される。 Examples of such silane compounds include benzyltriethoxysilane (BzSi (OEt) 3 ), benzyltriemethoxysilane (BzSi (OMe) 3 ), benzylmethyldiethoxysilane (BzMeSi (OEt) 2 ), benzyldimethylethoxy. Silane (BzMe 2 SiOEt), phenyltriethoxysilane (PhSi (OEt) 3 ), phenyltrimethoxysilane (PhSi (OMe) 3 ), phenylmethyldiethoxysilane (PhMeSi (OEt) 2 ), phenyltrichlorosilane (PhSiCl 3) ), phenylmethyl dichlorosilane (PhMeSiCl 2), phenylethyl trichlorosilane (PhCH 2 CH 2 SiCl 3) , 4- phenylbutyl trichlorosilane (Ph (CH 2) 4 SiCl 3 , 4-phenylbutyl methyldichlorosilane (Ph (CH 2) 4 MeSiCl 2), 4- phenyl-butyldimethylchlorosilane (Ph (CH 2) 4 Me 2 SiCl) , and the like. The silane compound is selected depending on the combination with the liquid crystal composition used.

次に、上述したようなシラン化合物と、希釈溶剤とを所定の割合で混合し、混合液を得る。希釈溶剤としては、シラン化合物およびその加水分解物が可溶であれば特に限定されず、例えば、メタノール、エタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、1−ブタノール、2−ブタノール、t−ブタノール、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、1−メトキシ−2−プロパノールなどのアルコール類、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン類、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピルなどのエステル類、テトラヒドロキシフラン(THF)、ジオキサンなどの環状エーテル類、ヘキサン、シクロヘキサンなどの炭化水素類、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族類が用いられる。   Next, the silane compound as described above and the dilution solvent are mixed at a predetermined ratio to obtain a mixed solution. The diluting solvent is not particularly limited as long as the silane compound and its hydrolyzate are soluble. For example, methanol, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, 1-butanol, 2-butanol, t-butanol, 2 Alcohols such as methoxyethanol, 2-ethoxyethanol and 1-methoxy-2-propanol, ketones such as acetone and methyl ethyl ketone, esters such as methyl acetate, ethyl acetate and isopropyl acetate, tetrahydroxyfuran (THF), dioxane And the like, hydrocarbons such as hexane and cyclohexane, and aromatics such as benzene, toluene and xylene.

次に、得られた混合液に、撹拌しつつ、水を添加する。この時、酸触媒、塩基触媒等の加水分解触媒を同時に添加してもよい。
酸触媒(固体酸触媒を含む)としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸などの無機酸、有機スルホン酸(例えば、ベンゼンスルホン酸、p−トルエンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸等)等の有機酸等が挙げられ、塩基触媒としては、例えば、アンモニア、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の無機塩基、第三アミン(トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリブチルアミン、トリエタノールアミン、ピリジン等)等の有機塩基等が挙げられる。
その後、0℃〜80℃程度の温度で1分〜2日程度撹拌することにより、シラン化合物の加水分解物が得られる。
Next, water is added to the obtained mixed liquid while stirring. At this time, a hydrolysis catalyst such as an acid catalyst or a base catalyst may be added simultaneously.
Examples of acid catalysts (including solid acid catalysts) include inorganic acids such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, and phosphoric acid, and organic sulfonic acids (eg, benzenesulfonic acid, p-toluenesulfonic acid, naphthalenesulfonic acid, methanesulfonic acid). And organic acids such as ethanesulfonic acid, etc., and examples of the base catalyst include inorganic bases such as ammonia, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, tertiary amines (trimethylamine, triethylamine, And organic bases such as tributylamine, triethanolamine, pyridine).
Then, the hydrolyzate of a silane compound is obtained by stirring about 1 minute-2 days at the temperature of about 0 degreeC-80 degreeC.

<テトラアルコキシシランの加水分解物の調製>
次に、テトラアルコキシシランの加水分解物の調製方法について説明する。
まず、加水分解に供されるテトラアルコキシシランを用意する。
テトラアルコキシシランとしては、例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシ
ラン、テトラブトキシシラン等が挙げられる。
<Preparation of tetraalkoxysilane hydrolyzate>
Next, a method for preparing a hydrolyzate of tetraalkoxysilane will be described.
First, tetraalkoxysilane to be subjected to hydrolysis is prepared.
Examples of the tetraalkoxysilane include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, and tetrabutoxysilane.

次に、上述したようなテトラアルコキシシランと、希釈溶剤とを所定の割合で混合し、混合液を得る。希釈溶剤としては、シラン化合物及びその加水分解物が可溶であれば特に限定されないが、例えば、メタノール、エタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、1−ブタノール、2−ブタノール、t−ブタノール、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、1−メトキシ−2−プロパノールなどのアルコール類、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン類、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピルなどのエステル類、テトラヒドロキシフラン(THF)、ジオキサンなどの環状エーテル類、ヘキサン、シクロヘキサンなどの炭化水素類、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族類が用いられる。
次に得られた混合液を、上記シラン化合物と同様にして加水分解し、テトラアルコキシシランの加水分解物が得られる。
Next, tetraalkoxysilane as described above and a diluting solvent are mixed at a predetermined ratio to obtain a mixed solution. The diluting solvent is not particularly limited as long as the silane compound and its hydrolyzate are soluble. For example, methanol, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, 1-butanol, 2-butanol, t-butanol, 2 Alcohols such as methoxyethanol, 2-ethoxyethanol and 1-methoxy-2-propanol, ketones such as acetone and methyl ethyl ketone, esters such as methyl acetate, ethyl acetate and isopropyl acetate, tetrahydroxyfuran (THF), dioxane And the like, hydrocarbons such as hexane and cyclohexane, and aromatics such as benzene, toluene and xylene.
Next, the obtained mixed liquid is hydrolyzed in the same manner as the above silane compound to obtain a hydrolyzate of tetraalkoxysilane.

<配向膜形成用液体の調製>
次に、上述のようにして得られたシラン化合物の加水分解物と、テトラアルコキシシランの加水分解物とを、最終的に得られる配向膜中における有機基の割合が所望のものとなるように、所定割合で混合し、所定温度で所定時間撹拌することにより、配向膜形成用液体が得られる。
<Preparation of alignment film forming liquid>
Next, the hydrolyzate of the silane compound obtained as described above and the hydrolyzate of tetraalkoxysilane so that the ratio of the organic group in the finally obtained alignment film becomes a desired one. The liquid for forming an alignment film is obtained by mixing at a predetermined ratio and stirring at a predetermined temperature for a predetermined time.

混合温度は、0℃〜80℃程度であるのが好ましく、10℃〜50℃程度であるのがより好ましい。
また、混合時間は、1分〜2日程度であるのが好ましく、1分〜5時間程度であるのがより好ましい。
なお、必要に応じて、水や追加溶剤を添加してもよい。
配向膜形成用液体中における、シラン化合物の加水分解物と、テトラアルコキシシランの加水分解物とのモル比は、5:95〜95:5であるのが好ましい。これにより、得られる配向膜の配向特性を所望のものとしつつ、光学的により安定な配向膜を形成することができる。
このようにして得られた配向膜形成用液体は第1の実施形態と同様な<塗布形成工程(S2)>及び<硬化工程(S3)>により配向膜1,2を形成できる。
The mixing temperature is preferably about 0 ° C. to 80 ° C., more preferably about 10 ° C. to 50 ° C.
Further, the mixing time is preferably about 1 minute to 2 days, and more preferably about 1 minute to 5 hours.
In addition, you may add water and an additional solvent as needed.
The molar ratio of the hydrolyzate of the silane compound to the hydrolyzate of tetraalkoxysilane in the alignment film forming liquid is preferably 5:95 to 95: 5. Thereby, an optically more stable alignment film can be formed while making the alignment characteristics of the obtained alignment film desired.
The alignment film-forming liquid thus obtained can form the alignment films 1 and 2 by the same <application forming step (S2)> and <curing step (S3)> as in the first embodiment.

以上のように、本実施形態においても前記配向膜形成用液体を用いて配向膜中の有機材料成分の比率が基板側から液晶側に向けて大きくなるように構成されているので、良好な配向特性と高い信頼性を兼ね備えた液晶装置を提供することができる。
また、本実施形態では、配向膜形成用液体の調製をシラン化合物の加水分解物とテトラアルコキシシランの加水分解物との混合によって行なっているため、この混合比を変えることによって、容易に有機材料成分の比率を調節することができる。
As described above, also in the present embodiment, since the ratio of the organic material component in the alignment film is increased from the substrate side to the liquid crystal side using the alignment film forming liquid, the alignment is excellent. A liquid crystal device having characteristics and high reliability can be provided.
In this embodiment, since the alignment film forming liquid is prepared by mixing a hydrolyzate of a silane compound and a hydrolyzate of tetraalkoxysilane, the organic material can be easily changed by changing the mixing ratio. The ratio of the components can be adjusted.

[投射型表示装置]
次に、本発明の電子機器の具体例である投射型表示装置につき、図6を用いて説明する。図6は、投射型表示装置の要部を示す概略構成図である。この投射型表示装置は、上述した各実施形態に係る液晶装置を、光変調手段として備えたものである。
[Projection type display device]
Next, a projection type display device which is a specific example of the electronic apparatus of the invention will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a schematic configuration diagram showing a main part of the projection display device. This projection type display device includes the liquid crystal device according to each of the above-described embodiments as light modulation means.

図6において、810は光源、813、814はダイクロイックミラー、815、816、817は反射ミラー、818は入射レンズ、819はリレーレンズ、820は出射レンズ、822、823、824は本発明の液晶装置からなる光変調手段、825はクロスダイクロイックプリズム、826は投射レンズである。光源810は、メタルハライド等のランプ811とランプの光を反射するリフレクタ812とからなる。   6, 810 is a light source, 813 and 814 are dichroic mirrors, 815, 816 and 817 are reflection mirrors, 818 is an incident lens, 819 is a relay lens, 820 is an exit lens, and 822, 823 and 824 are liquid crystal devices of the present invention. 825 is a cross dichroic prism, and 826 is a projection lens. The light source 810 includes a lamp 811 such as a metal halide and a reflector 812 that reflects the light of the lamp.

ダイクロイックミラー813は、光源810からの白色光に含まれる赤色光を透過させるとともに、青色光と緑色光とを反射する。透過した赤色光は反射ミラー817で反射されて、赤色光用光変調手段822に入射される。また、ダイクロイックミラー813で反射された緑色光は、ダイクロイックミラー814によって反射され、緑色光用光変調手段823に入射される。さらに、ダイクロイックミラー813で反射された青色光は、ダイクロイックミラー814を透過する。青色光に対しては、長い光路による光損失を防ぐため、入射レンズ818、リレーレンズ819および出射レンズ820を含むリレーレンズ系からなる導光手段821が設けられている。この導光手段821を介して、青色光が青色光用光変調手段824に入射される。なお、上記各光変調手段822,823,824には、上記各実施形態の液晶装置が採用されている。   The dichroic mirror 813 transmits red light contained in white light from the light source 810 and reflects blue light and green light. The transmitted red light is reflected by the reflection mirror 817 and is incident on the light modulation means 822 for red light. The green light reflected by the dichroic mirror 813 is reflected by the dichroic mirror 814 and is incident on the light modulating means 823 for green light. Further, the blue light reflected by the dichroic mirror 813 passes through the dichroic mirror 814. For blue light, in order to prevent light loss due to a long optical path, a light guide means 821 comprising a relay lens system including an incident lens 818, a relay lens 819, and an exit lens 820 is provided. Blue light is incident on the light modulating means 824 for blue light through the light guiding means 821. Note that the liquid crystal devices of the above-described embodiments are employed for the respective light modulation means 822, 823, and 824.

各光変調手段により変調された3つの色光は、クロスダイクロイックプリズム825に入射する。このクロスダイクロイックプリズム825は4つの直角プリズムを貼り合わせたものであり、その界面には赤光を反射する誘電体多層膜と青光を反射する誘電体多層膜とがX字状に形成されている。これらの誘電体多層膜により3つの色光が合成されて、カラー画像を表す光が形成される。合成された光は、投射光学系である投射レンズ826によってスクリーン827上に投影され、画像が拡大されて表示される。   The three color lights modulated by the respective light modulation means are incident on the cross dichroic prism 825. The cross dichroic prism 825 is formed by bonding four right-angle prisms. A dielectric multilayer film that reflects red light and a dielectric multilayer film that reflects blue light are formed in an X shape at the interface. Yes. These dielectric multilayer films combine the three color lights to form light representing a color image. The synthesized light is projected onto the screen 827 by the projection lens 826 which is a projection optical system, and the image is enlarged and displayed.

係る投射型表示装置には、上記各実施形態の液晶装置が採用されているので、高強度の光照射を行なっても配向膜の光劣化は従来ほど大きくは進行しない。したがって、長期間にわたって安定した表示を行なうことができる。   Since the projection type display device employs the liquid crystal device of each of the above-described embodiments, even when high-intensity light irradiation is performed, the photodegradation of the alignment film does not progress as much as in the past. Therefore, stable display can be performed over a long period of time.

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
また、本発明の液晶装置は、投射型表示装置の光変調手段に限らず、電子ブック、パーソナルコンピュータ、ディジタルスチルカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型あるいはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた機器等々の画像表示手段として好適に用いることができ、いずれにおいても信頼性が高く表示品質に優れた電子機器を提供することができる。
The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but it goes without saying that the present invention is not limited to such examples. Various shapes, combinations, and the like of the constituent members shown in the above-described examples are examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention.
The liquid crystal device of the present invention is not limited to the light modulation means of the projection display device, but is an electronic book, a personal computer, a digital still camera, a liquid crystal television, a viewfinder type or a monitor direct view type video tape recorder, a car navigation device, Electronic devices that can be suitably used as image display means for devices such as pagers, electronic notebooks, calculators, word processors, workstations, videophones, POS terminals, touch panels, etc., all of which are highly reliable and excellent in display quality Can be provided.

実施形態の液晶装置を示す平面図である。It is a top view which shows the liquid crystal device of embodiment. 図1のH−H’線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the H-H 'line | wire of FIG. 同、液晶装置の画像表示領域においてマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路図である。3 is an equivalent circuit diagram of various elements, wirings, and the like in a plurality of pixels formed in a matrix in the image display region of the liquid crystal device. FIG. 同、液晶装置の断面構造を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing a cross-sectional structure of the liquid crystal device. 同、液晶装置の製造方法を示す工程フローである。4 is a process flow illustrating a method for manufacturing a liquid crystal device. 電子機器の一例である投射型表示装置を示す図である。It is a figure which shows the projection type display apparatus which is an example of an electronic device.

符号の説明Explanation of symbols

1,2…配向膜、1A…無機材料成分を主体とする部分、1C…有機材料成分を主体とする部分、10…TFTアレイ基板、20…対向基板、50…液晶、100…液晶装置

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 2 ... Alignment film, 1A ... Portion mainly composed of inorganic material component, 1C: Portion mainly composed of organic material component, 10 ... TFT array substrate, 20 ... Counter substrate, 50 ... Liquid crystal, 100 ... Liquid crystal device

Claims (13)

一対の基板間に液晶を挟持してなる液晶装置であって、
前記一対の基板のうち、少なくとも一方の基板の前記液晶側の面に配向膜を有し、
前記配向膜は、無機材料成分と有機材料成分とを含む単一の層からなり、
前記配向膜中の前記有機材料成分の比率が、前記基板側から前記液晶側に向けて大きくなるように構成されていることを特徴とする、液晶装置。
A liquid crystal device having a liquid crystal sandwiched between a pair of substrates,
Of the pair of substrates, at least one substrate has an alignment film on the liquid crystal side surface,
The alignment film comprises a single layer containing an inorganic material component and an organic material component,
The liquid crystal device, wherein the ratio of the organic material component in the alignment film increases from the substrate side toward the liquid crystal side.
前記配向膜のうち、最も前記基板側に配置される部分が、無機材料成分を主体として構成され、最も前記液晶側に配置される部分が、有機材料成分を主体として構成されていることを特徴とする、請求項1記載の液晶装置。   Of the alignment film, a portion disposed closest to the substrate is mainly composed of an inorganic material component, and a portion disposed closest to the liquid crystal is mainly composed of an organic material component. The liquid crystal device according to claim 1. 前記配向膜のうち、最も前記基板側に配置される部分が、前記基板の材料成分と同じ無機材料成分を主体として構成されていることを特徴とする、請求項2記載の液晶装置。   The liquid crystal device according to claim 2, wherein a portion of the alignment film that is disposed closest to the substrate is mainly composed of an inorganic material component that is the same as a material component of the substrate. 前記配向膜は、有機金属材料を含んでおり、
前記有機金属材料は、その分子内に、前記液晶との親和性を向上させる親和性付与基と前記液晶の配向を制御する配向性付与基の少なくともいずれか一方を有することを特徴とする、請求項2又は3記載の液晶装置。
The alignment film contains an organometallic material,
The organometallic material has, in its molecule, at least one of an affinity imparting group that improves affinity with the liquid crystal and an orientation imparting group that controls the orientation of the liquid crystal. Item 4. The liquid crystal device according to Item 2 or 3.
前記親和性付与基は、ビニル基、アルキレン基、シアノアルキル基のうち、少なくとも1種であることを特徴とする、請求項4に記載の液晶装置。   The liquid crystal device according to claim 4, wherein the affinity imparting group is at least one of a vinyl group, an alkylene group, and a cyanoalkyl group. 前記配向性付与基は、フェニル基、置換フェニル基、フェニルアルキル基、置換フェニルアルキル基、炭素数が3〜12の分岐アルキル基のうち、少なくとも1種であることを特徴とする、請求項4又は5記載の液晶装置。   The orientation-imparting group is at least one of a phenyl group, a substituted phenyl group, a phenylalkyl group, a substituted phenylalkyl group, and a branched alkyl group having 3 to 12 carbon atoms. Or 5. The liquid crystal device according to 5. 前記配向膜は、ゾル・ゲル法によって形成されていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかの項に記載の液晶装置。   The liquid crystal device according to claim 1, wherein the alignment film is formed by a sol-gel method. 一対の基板間に液晶を挟持してなる液晶装置の製造方法であって、
前記一対の基板のうち、少なくとも一方の基板の前記液晶側の面に配向膜を形成する工程を有し、
前記配向膜の形成工程は、
金属アルコキシドを縮重合させ、その分子内に、前記液晶の配向を制御する配向性付与基を有する配向膜形成用液体を調製する配向膜形成用液体調製工程と、
前記配向膜形成用液体を前記基板上に塗布し、塗膜を形成する塗膜形成工程と、
前記塗膜内に、その有機材料成分の比率が前記基板側から前記液晶側に向けて大きくなるような傾斜分布を形成し、該傾斜分布を有した状態で前記塗膜を硬化させる硬化工程とを含むことを特徴とする、液晶装置の製造方法。
A method of manufacturing a liquid crystal device in which a liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates,
A step of forming an alignment film on the liquid crystal side surface of at least one of the pair of substrates;
The step of forming the alignment film includes
A liquid preparation step for forming an alignment film, in which a metal alkoxide is subjected to polycondensation, and an alignment film forming liquid having an alignment property imparting group for controlling the alignment of the liquid crystal is prepared in the molecule;
A coating film forming step of applying the alignment film forming liquid on the substrate and forming a coating film;
In the coating film, forming a gradient distribution such that the ratio of the organic material component increases from the substrate side toward the liquid crystal side, and curing the coating film in a state having the gradient distribution; A method for manufacturing a liquid crystal device, comprising:
前記傾斜分布は、前記塗膜に対して遠心分離を行なうことによって形成されることを特徴とする、請求項8記載の液晶装置の製造方法。   9. The method of manufacturing a liquid crystal device according to claim 8, wherein the inclination distribution is formed by performing centrifugation on the coating film. 前記傾斜分布は、前記塗膜内に、前記基板側から前記液晶側に向けて温度が低くなるような温度勾配を形成することによって形成されることを特徴とする、請求項8記載の液晶装置の製造方法。   9. The liquid crystal device according to claim 8, wherein the inclination distribution is formed by forming a temperature gradient in the coating film such that the temperature decreases from the substrate side toward the liquid crystal side. Manufacturing method. 前記傾斜分布は、前記塗膜内に、前記基板側から前記液晶側に向けて水素イオン濃度が大きくなるような濃度勾配を形成することによって形成されることを特徴とする、請求項8記載の液晶装置の製造方法。   9. The gradient distribution is formed by forming a concentration gradient in the coating film so that a hydrogen ion concentration increases from the substrate side toward the liquid crystal side. A method for manufacturing a liquid crystal device. 前記配向膜形成用液体は、その分子内に、前記液晶との親和性を向上させる親和性付与基を有することを特徴とする、請求項8〜11のいずれかの項に記載の液晶装置の製造方法。   12. The liquid crystal device according to claim 8, wherein the alignment film-forming liquid has an affinity imparting group that improves affinity with the liquid crystal in the molecule. Production method. 請求項1〜7のいずれかの項に記載の液晶装置又は請求項8〜12のいずれかの項に記載の製造方法により製造されてなる液晶装置を備えたことを特徴とする、投射型表示装置。

A projection type display comprising the liquid crystal device according to any one of claims 1 to 7 or the liquid crystal device manufactured by the manufacturing method according to any one of claims 8 to 12. apparatus.

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