JP2006321565A - Bottom raising member for substrate transfer container - Google Patents

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JP2006321565A
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俊郎 藤原
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a bottom raising device for a transfer container to transfer a substrate or a substrate material such as a liquid crystal substrate safely. <P>SOLUTION: The bottom raising device is a foaming resin-made plate which is stored in a foaming resin-made container body to adjust the storing depth in the container body, and on the surface of the plate securing grooves 36 to secure substrates stored in the container body in cooperation with a wall surface resin sheet for securing substrates which is arranged forming a slight space on an opposing wall surface in the container body, is formed, and further favorably it is composed of the foaming resin-made plate 30 and a bottom resin sheet for securing substrates 28 which is formed in the almost same shape as the surface shape of the foaming resin-made plate, wherein the bottom resin sheet for securing substrates is arranged making a slight space on the surface of the plate. The liquid crystal substrate can be transferred safely with it and the bottom raising member acts as a member to prevent falling-down of the wall surface resin sheet for securing substrates arranged on the side face of the container. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、略矩形状の液晶用ガラス基板などの基板を多数収納して運搬するのに好適な基板搬送用容器およびこの基板搬送用容器に好適に使用される底上げ部材に関する。   The present invention relates to a substrate transport container suitable for storing and transporting a large number of substrates such as a substantially rectangular glass substrate for liquid crystal, and a bottom raising member suitably used for the substrate transport container.

一般に、液晶用ガラス基板などの基板を製造工程等の都合で他の場所に移す場合には、基板同士を互いに接触させないように、また汚染を防止し安全に運搬できるように、多数枚収容した状態で蓋が密に被嵌される基板搬送用容器が使用されている。   In general, when moving substrates such as glass substrates for liquid crystals to other locations for the sake of manufacturing processes, etc., a large number of sheets are accommodated so that the substrates do not come into contact with each other and can be transported safely while preventing contamination. A substrate transport container is used in which the lid is tightly fitted in the state.

このような基板搬送用容器の中には、略直方体形状の容器本体と、容器本体の開口部に装着される蓋体とが、ともに発泡合成樹脂から形成され、さらに、その内部に、樹脂シート製の中容器が介在されたものがある。例えば、特許文献1(特開平7−132986号公報)の請求項1には、「発泡倍率3〜45倍の発泡体でできたボックス(1)の内部に、
基板支持用の溝(2a)を有する箱上の溝付き内挿部材(2)を配置してなる基板搬送用ボック
ス。」の発明が開示されている。そして、この内挿部材(2)に関しては、例えば段落〔0
050〕に、「溝付き内挿部材(2)として、樹脂シート(ABS樹脂シート等)を金型にセットし、加熱下に真空吸引して一挙に箱状に成形した圧空成形体を用いる。」と記載されており、この溝付き内挿部材(2)は、特許文献1の図3に付番2で示されるように、発泡樹
脂製ボックス(1)の内装壁面および底面に対応する5面を有する一面が開口された6面体
(ボックス(2))である。このような一面が開口された6面体を発泡樹脂製ボックス(1)内に配置しようとしても、発泡樹脂製ボックス(1)と略同一の形状を有する箱体であり、内
挿部材(2)を発泡樹脂製ボックス(1)内へ挿入する作業が非常に煩雑になる。また、このように内挿部材(2)を箱状に形成してしまうと、基板支持用の溝(2a)溝が箱状内挿部材(2)の各面が当接して形成される辺によって固定されてしまい、このように固定された基板支持用の溝(2a)は、緩衝性は示さない。
In such a substrate transport container, a substantially rectangular parallelepiped container main body and a lid attached to the opening of the container main body are both formed of a foamed synthetic resin, and further, a resin sheet is provided in the inside thereof. Some of them are made of intermediate containers. For example, in claim 1 of Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 7-132986), “inside the box (1) made of a foam having a foaming ratio of 3 to 45 times,
A substrate carrying box comprising a grooved insertion member (2) on a box having a substrate supporting groove (2a). Is disclosed. And about this insertion member (2), for example, paragraph [0
050] “As a grooved insertion member (2), a compressed air molded body is used in which a resin sheet (ABS resin sheet or the like) is set in a mold and vacuum-sucked under heating and molded into a box shape all at once. The grooved insertion member (2) 5 corresponds to the interior wall surface and the bottom surface of the foamed resin box (1), as indicated by reference numeral 2 in FIG. It is a hexahedron (box (2)) in which one surface having a surface is opened. Even if such a hexahedron having an open surface is arranged in the foamed resin box (1), it is a box having substantially the same shape as the foamed resin box (1), and the insertion member (2). The operation of inserting the resin into the foamed resin box (1) becomes very complicated. If the insertion member (2) is formed in a box shape in this way, the substrate support groove (2a) groove is formed by contacting each surface of the box-shaped insertion member (2). The substrate supporting groove (2a) thus fixed does not exhibit buffering properties.

また、特許文献2(特開平7−257861号公報)の請求項1には、「発泡倍率3〜45倍の発泡体でできたボックス(1)の内面に、基板支持用の溝(2a)を有する板状または
箱状の溝付の内挿部材(2)を配置してなる基板搬送用ボックス。」の発明が開示されてい
る。この特許文献2において、内挿部材(2)は、発泡体でできた板状または箱状の発泡成
形体であるか、樹脂シートを圧空成形して得た板状または箱状の圧空成形体であるか、樹脂を溶融成形して得た板状または箱状の成形体であるか、板体を機械加工して得た板状または箱状の機械加工品であると記載されている。また、段落〔0022〕には、ボックス(1)の本体部(11)の相対する一対の面の内面側に係合用の凸条(11a)を形成し、板状の溝付き内挿部材(2),(2)の裏面側に上記凸条(11a)に係合する条溝(2b)を形成すると、ボックス(1)に対する板状の溝付け内挿部材(2)の取り付けおよび取り外しをより円滑に行うことができると記載されている。
Further, claim 1 of Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 7-257861) states that “a groove (2a) for supporting a substrate is formed on the inner surface of a box (1) made of a foam having a foaming ratio of 3 to 45 times. An invention of “a substrate transporting box in which a plate-like or box-like grooved insertion member (2) having an arrangement” is arranged is disclosed. In Patent Document 2, the insertion member (2) is a plate-like or box-like foamed molded body made of foam, or a plate-shaped or box-shaped compressed air molded body obtained by pressure molding a resin sheet. Or a plate-shaped or box-shaped molded body obtained by melt-molding a resin, or a plate-shaped or box-shaped machined product obtained by machining the plate body. Further, in the paragraph [0022], a protruding groove (11a) for engagement is formed on the inner surface side of a pair of opposed surfaces of the main body (11) of the box (1), and a plate-like grooved insertion member ( 2) When the groove (2b) that engages with the above protrusion (11a) is formed on the back side of (2), the plate-like grooved insertion member (2) is attached to and detached from the box (1). It is described that it can be performed more smoothly.

しかしながら、上記特許文献2に記載されている内挿部材(2)がボックス状である場合
には、このボックス状内挿部材(2)を発泡樹脂製ボックス(1)内に挿入する作業が非常に煩雑になり、また係合用の条溝を有するような厚さを有する内挿部材は、緩衝性を示さない。
However, when the insertion member (2) described in Patent Document 2 has a box shape, it is very difficult to insert the box-like insertion member (2) into the foamed resin box (1). In addition, the insertion member having such a thickness as to have a groove for engagement does not exhibit buffering properties.

従って、特許文献1および2に開示されている基板搬送用ボックスにおいては、外部からの衝撃は、発泡樹脂製のボックスによって吸収されるが、ボックス内に収容されている基板が振動することによって生ずる衝撃は、基板を支持する溝付き内挿部材が緩衝性に乏しいことから、このボックス内で吸収することはできない。   Therefore, in the board transport box disclosed in Patent Documents 1 and 2, external shocks are absorbed by the foamed resin box, but are caused by the vibration of the board housed in the box. The shock cannot be absorbed in this box because the grooved insertion member that supports the substrate has poor cushioning.

また、特許文献1および2に記載されている基板搬送用ボックスは、画一的な大きさであり、このような基板搬送用ボックスで安定に搬送可能な基板の大きさは一種類である。
なお、特許文献3(実開昭57-91272号公報)には、六面体の一面に開口を有し
、発泡性合成樹脂材料で形成された箱体と、該箱体の前記開口に隣り合う四側面のうち互いに対向する一対の側面のうち面に取り付けられ、前記一面から前記一面に対向する底面方向に延びる所定間隔で配列された複数の溝を有し、前記箱体より硬い合成樹脂材料で形成された内張部材とより成り、前記対向する溝に板状部材の両端部を挿着することを特徴とする板状部材の収納装置が開示されている。上記のような収納装置には、箱体の対向する一対の側面に溝が形成され、この溝は箱体に形成された溝の表面に合成樹脂製の内張部材を密着させた構造を有しており、この溝自体には緩衝性はない。
特開平7−132986号公報 特開平7−257861号公報 実開昭57-91272号公報
Moreover, the board | substrate conveyance box described in patent document 1 and 2 is a uniform size, and the magnitude | size of the board | substrate which can be conveyed stably with such a board | substrate conveyance box is one type.
In Patent Document 3 (Japanese Utility Model Publication No. 57-91272), there is a box having an opening on one side of a hexahedron and formed of a foamable synthetic resin material, and four adjacent to the opening of the box. A synthetic resin material that is attached to a surface of a pair of side surfaces facing each other out of the side surfaces and has a plurality of grooves arranged at predetermined intervals extending from the one surface toward the bottom surface facing the one surface, and is harder than the box There is disclosed a plate-shaped member storage device comprising a formed lining member, wherein both ends of the plate-shaped member are inserted into the opposed grooves. The storage device as described above has a structure in which a groove is formed on a pair of opposing side surfaces of the box body, and the groove has a structure in which a synthetic resin lining member is adhered to the surface of the groove formed in the box body. The groove itself is not buffered.
JP 7-132986 A Japanese Patent Laid-Open No. 7-257861 Japanese Utility Model Publication No.57-91272

本発明は、液晶基板のような基板あるいは基板材料を安全に搬送するための搬送用容器を提供することを目的としている。
また、本発明は、上記のような搬送用の容器に用いることにより、基板あるいは基板材料をより安全に搬送するための底上げ装置を提供することを目的としている。
An object of the present invention is to provide a transport container for safely transporting a substrate such as a liquid crystal substrate or a substrate material.
Moreover, this invention aims at providing the bottom raising apparatus for conveying a board | substrate or board | substrate material more safely by using for the above containers for conveyance.

本発明の基板搬送用容器の底上げ部材は、発泡樹脂製の容器本体部内に収納されて、該容器本体部内の収納深さを調製すると共に、該容器本体内の対峙する壁面に僅かな空隙を形成して配置される面壁面基板支持用樹脂シートと共同して、該容器本体部に収納される基板を保持する保持溝が表面に形成されている発泡樹脂製の板状体であることを特徴するものであり、この底上げ部材は、発泡樹脂製の板状体と、該発泡樹脂製の板状体の表面の形状と略同一の形状に賦形された底部基板支持用樹脂シートとからなり、板状体の表面に僅かな空隙して該底部基板支持用樹脂シートが配置されてなるものである。   The bottom raising member of the substrate transporting container according to the present invention is accommodated in a container body made of foamed resin to adjust the storage depth in the container body, and a slight gap is formed in the opposing wall surface in the container body. A plate-like body made of foamed resin having a holding groove for holding a substrate housed in the container main body portion in cooperation with the resin sheet for supporting the surface wall surface substrate formed and arranged. The bottom raising member includes a plate-like body made of foamed resin and a resin sheet for supporting the bottom substrate formed into a shape substantially the same as the shape of the surface of the plate-like body made of foamed resin. Thus, the bottom substrate supporting resin sheet is arranged with a slight gap on the surface of the plate-like body.

本発明の基板搬送用容器の底上げ部材を好適に使用することができる本発明の第1の基板搬送用容器は、一方向が開口した発泡樹脂製の有底角筒状体であり、該有底角筒状体の対峙する内周壁に基板支持溝が形成された容器本体部と、
上記容器本体部の開口を覆うように着脱自在に装着される発泡樹脂製の蓋体部と、
上記容器本体部の少なくとも該基板支持溝が形成された対峙する内周壁面に、該内周壁面に僅かな空隙を形成して配置された、該内周壁面と略同一の表面形状に賦形された壁面基板支持用樹脂シートとを有し、
該壁面基板支持用樹脂シートが、倒れ込み防止手段によって該内周壁面に保持されていることを特徴としている。
The first substrate transport container of the present invention, in which the bottom raising member of the substrate transport container of the present invention can be suitably used, is a bottomed rectangular cylindrical body made of foamed resin opened in one direction. A container body part in which a substrate support groove is formed on the inner peripheral wall facing the bottom rectangular tube;
A foamed resin lid that is detachably mounted to cover the opening of the container body,
Shaped in a surface shape substantially the same as the inner peripheral wall surface, which is arranged on the inner peripheral wall surface facing the substrate support groove of the container main body portion with a slight gap formed in the inner peripheral wall surface. A wall surface substrate supporting resin sheet,
The wall surface substrate supporting resin sheet is held on the inner peripheral wall surface by a fall-preventing means.

本発明の基板搬送用容器の底上げ部材を好適に使用することができる本発明の第2の基板搬送用容器は、一方向が開口した発泡樹脂製の有底角筒状体であり、該有底角筒状体の対峙する内周壁に基板支持溝が形成された容器本体部と、
上記容器本体部の開口を覆うように着脱自在に装着される発泡樹脂製の蓋体部と、
上記容器本体部の少なくとも該基板支持溝が形成された対峙する内周壁面に、該内周壁面に僅かな空隙を形成して配置された、該内周壁面と略同一の表面形状に賦形された壁面基板支持用樹脂シートと、
表面に基板支持溝が形成された発泡樹脂製の板状体であり、前記容器本体部に収容本体部の底部に収納されて、容器本体の配収壁に形成された基板支持溝と共同して基板を保持
すると共に、上記壁面基板支持用樹脂シートの倒れ込みを防止する底上げ部材とを有することを特徴としている。
The second substrate transport container of the present invention, which can suitably use the bottom raising member of the substrate transport container of the present invention, is a bottomed rectangular cylindrical body made of foamed resin having an opening in one direction. A container body part in which a substrate support groove is formed on the inner peripheral wall facing the bottom rectangular tube;
A foamed resin lid that is detachably mounted to cover the opening of the container body,
Shaped in a surface shape substantially the same as the inner peripheral wall surface, which is arranged on the inner peripheral wall surface facing the substrate support groove of the container main body portion with a slight gap formed in the inner peripheral wall surface. A wall surface substrate supporting resin sheet,
A plate-shaped body made of foamed resin having a substrate support groove formed on the surface, and is housed in the container main body at the bottom of the storage main body, and in cooperation with the substrate support groove formed on the distribution wall of the container main body. And a bottom raising member that prevents the wall surface substrate supporting resin sheet from falling down.

さらに、本発明の基板搬送用容器の底上げ部材は、上記のような第1の基板搬送用容器あるいは第2の基板搬送用容器と共に用いられる底上げ部材であって、発泡樹脂製の容器本体部内に収納されて、該容器本体部内の収納深さを調製すると共に、該容器本体内の対峙する壁面に僅かな空隙を形成して配置される壁面基板支持用樹脂シートと共同して、該容器本体部に収納される基板を保持する保持溝が表面に形成されている発泡樹脂製の板状体であることを特徴としている。   Furthermore, the bottom raising member of the substrate transport container according to the present invention is a bottom raising member used together with the first substrate transport container or the second substrate transport container as described above, and is disposed in the foam resin main body. The container body is combined with the resin sheet for supporting the wall surface substrate which is housed to adjust the storage depth in the container body part and is arranged with a slight gap formed on the opposing wall surface in the container body. It is characterized by being a foamed resin plate-like body in which a holding groove for holding a substrate housed in the part is formed on the surface.

本発明で使用するの基板搬送用容器には、発泡樹脂製から形成された容器本体部の対峙する一対の側壁面に、収納される基板を保持するための保持溝が形成されており、さらにこの側壁面の表面には、この側壁面の表面形状と略同一の表面形状に賦形された壁面基板支持用樹脂シートが、側壁面と僅かな空隙を形成して配置されている。このように壁面基板支持用樹脂シートを、側壁面に対して固定せずに僅かな空隙が形成されるように配置することにより、容器本体部と壁面基板支持用樹脂シートとの間に、格納された基板により生ずる振動を吸収する緩衝空間が形成される。   In the substrate transport container used in the present invention, a holding groove for holding the substrate to be stored is formed on a pair of opposing side wall surfaces of the container main body formed of foamed resin, and On the surface of the side wall surface, a wall surface substrate supporting resin sheet shaped in a surface shape substantially the same as the surface shape of the side wall surface is disposed so as to form a slight gap with the side wall surface. Thus, the wall surface substrate supporting resin sheet is placed between the container main body and the wall surface substrate supporting resin sheet by disposing the resin sheet for supporting the wall surface substrate so that a slight gap is formed without being fixed to the side wall surface. A buffer space that absorbs vibration generated by the formed substrate is formed.

一般に、発泡樹脂からなる筐体を有する基板搬送用容器を用いることにより、外部からの衝撃などは発泡樹脂からなる筐体部で吸収され、格納された基板は安全に保たれるが、このような基板搬送容器では、内部に格納された基板は、筐体内壁面に形成された保持溝によって固定されるために、収納されている基板自体によって生ずる振動に対しては緩和手段を有していない。   In general, by using a substrate transport container having a casing made of foamed resin, external impacts and the like are absorbed by the casing made of foamed resin, and the stored board is kept safe. In such a substrate transfer container, since the substrate stored inside is fixed by a holding groove formed on the inner wall surface of the housing, it does not have a mitigation means against vibration caused by the stored substrate itself. .

本発明で使用する基板搬送用容器では、発泡樹脂からなる容器本体部の基板を保持する保持溝が形成された内壁面に、この内周壁面の表面形状と略同一の形状に賦形された壁面基板支持用樹脂シートが配置されているので、外部からの衝撃は勿論、容器内に収納された基板によって生ずる振動は、この壁面基板支持用樹脂シートと保持溝が形成された内壁面との間に形成された緩衝空隙によって吸収され、隣接して格納された基板をより安定した状態で保管あるいは移動させることができる。即ち、例えば液晶用のガラス基板は非常に薄いものであり、非常に僅かな応力によっても撓むことがある。発泡樹脂から形成された基板搬送用の容器を用いることにより、外部から加えられる応力の大部分はこの発泡樹脂製の筐体部によって吸収されるが、格納された基板が撓むことなどによって生ずる内部応力を筐体の内壁面に形成された保持溝だけで吸収することは難しい。液晶基板などの基板材料あるいは基板を取り扱う際に、収納されている基板材料あるいは基板が破損しないように慎重に取り扱われており、基板材料あるいは基板の破損は、取り扱い不注意による破損よりも、基板材料あるいは基板に生ずる内部応力による破損の方が高い発生頻度で発生する。特に液晶が大型化するに従ってこうした傾向は高くなる。このような内部応力による基板材料あるいは基板の破損は、これらの自重が保持部分に係ることにより生ずることが多い。   In the substrate transport container used in the present invention, the inner wall surface in which the holding groove for holding the substrate of the container main body portion made of foamed resin is formed into a shape substantially the same as the surface shape of the inner peripheral wall surface. Since the wall surface substrate supporting resin sheet is arranged, not only the impact from the outside but also the vibration generated by the substrate stored in the container is caused between the wall surface substrate supporting resin sheet and the inner wall surface where the holding groove is formed. Substrates that are absorbed by the buffer gaps formed between them and stored adjacent to each other can be stored or moved in a more stable state. That is, for example, a glass substrate for liquid crystal is very thin and may be bent even by a very slight stress. By using a container for transporting a substrate formed of a foamed resin, most of the stress applied from the outside is absorbed by the casing made of the foamed resin. It is difficult to absorb internal stress only by the holding groove formed on the inner wall surface of the casing. When handling a substrate material such as a liquid crystal substrate or a substrate, the stored substrate material or the substrate is carefully handled so that the substrate material or the substrate is not damaged. Damage due to internal stress in the material or substrate occurs more frequently. In particular, this tendency increases as the liquid crystal becomes larger. In many cases, the substrate material or the substrate is damaged due to such internal stress because the weight of the substrate is related to the holding portion.

本発明で使用する基板搬送用容器においては、格納される基板材料あるいは基板を保持する部分である容器本体部の対峙する一対の側壁に形成された保持溝の表面に、僅かな空隙を形成して壁面基板支持用樹脂シートが配置されており、容器本体部に形成された保持溝に対して壁面基板支持用樹脂シートの保持溝は固定されておらず、しかしながら、壁面基板支持用樹脂シートの保持溝が過度に変形するのは容器本体部に形成された保持溝によって阻止されている。即ち、格納される基板材料あるいは基板は、ある程度の可撓性を有しており、この可撓性の範囲内で基板材料あるいは基板が動く分には、この基板材料あるいは基板は破損しない。基板材料あるいは基板を輸送する際には、基板材料あるいは基板を固定しなければならないが、基板を固定すると、この固定された部分(具体的には保持
溝によって挟持された基板材料あるいは基板の両端部)に応力が集中する。従って、搬送中における基板材料あるいは基板の破損は、落下などの取り扱い不注意による破損を除くと、この基板材料あるいは基板の破損は、上記のようにして挟持されている両端部に端を発したと思われる破損が多くなる。
In the container for transporting a substrate used in the present invention, a slight gap is formed on the surface of the holding groove formed on the pair of side walls facing each other of the container body part which is a part for holding the substrate material or the substrate to be stored. The wall surface substrate supporting resin sheet is disposed, and the holding groove of the wall surface substrate supporting resin sheet is not fixed to the holding groove formed in the container main body, however, the wall surface substrate supporting resin sheet is Excessive deformation of the holding groove is prevented by the holding groove formed in the container main body. That is, the substrate material or the substrate to be stored has a certain degree of flexibility, and the substrate material or the substrate does not break as much as the substrate material or the substrate moves within the flexibility range. When transporting the substrate material or the substrate, the substrate material or the substrate must be fixed, but when the substrate is fixed, this fixed portion (specifically, the substrate material or the both ends of the substrate sandwiched by the holding grooves) Stress). Therefore, the damage of the substrate material or the substrate during the transportation, excluding the damage due to careless handling such as dropping, originated at both ends sandwiched as described above. The damage that seems to be increased.

本発明で使用する基板搬送用容器では、容器本体部に形成された保持溝と壁面基板支持用樹脂シートの保持溝との間に僅かな空隙が形成されており、壁面基板支持用樹脂シートは、容器本体部の壁面には固定されておらず、この空隙が、格納されている基板材料あるいは基板の有する可撓性の範囲内における変形を容認する緩衝空間として作用する。従って、本発明の基板搬送用容器を用いることにより、格納されている基板材料あるいは基板の両端部からの破損を防止することができる。ところが、このような壁面基板支持用樹脂シートを、容器本体部の側壁に配置しても、この壁面基板支持用樹脂シートは容器本体の側壁に固定されていないので、基板材料あるいは基板を格納する前に、この壁面基板支持用樹脂シートが容器内に倒れてしまうことがある。この基板搬送用容器は、基板材料あるいは基板を取り扱う基板メーカー等が使用するものであり、この基板搬送用容器の製造者から基板メーカー等に到達する過程で壁面基板支持用樹脂シートが容器内に倒れ込んでしまったのでは、上記のように優れた特性を有する基板搬送用容器を安定して供給することができない。殊に、基板メーカー等においては、自動装置などにより、基板材料あるいは基板を、この基板搬送用容器に格納して搬送することが多く、本発明の基板搬送用容器のように、基板材料あるいは基板を保持する保持溝が形成された発泡樹脂製の筐体の側壁形状と、この表面に配置する壁面基板支持用樹脂シートの表面形状とが略同一である場合には、機械的に壁面基板支持用樹脂シートの有無を認識しにくいことがある。   In the substrate transport container used in the present invention, a slight gap is formed between the holding groove formed in the container main body and the holding groove of the wall surface substrate supporting resin sheet. The gap is not fixed to the wall surface of the container main body, and this gap acts as a buffer space that allows deformation within the range of flexibility of the stored substrate material or substrate. Therefore, by using the substrate transport container of the present invention, it is possible to prevent damage from the stored substrate material or both ends of the substrate. However, even if such a wall surface substrate supporting resin sheet is disposed on the side wall of the container main body, the wall surface substrate supporting resin sheet is not fixed to the side wall of the container main body. Before, the wall surface substrate supporting resin sheet may fall into the container. This substrate transfer container is used by a substrate manufacturer or the like that handles substrate materials or substrates. In the process of reaching the substrate manufacturer from the substrate transfer container manufacturer, the wall surface substrate supporting resin sheet is placed in the container. If it falls down, it is not possible to stably supply a substrate transport container having excellent characteristics as described above. In particular, a substrate manufacturer or the like often stores and transports a substrate material or a substrate in the substrate transport container by an automatic apparatus or the like, and the substrate material or the substrate as in the substrate transport container of the present invention. When the shape of the side wall of the foam resin housing in which the holding groove for holding the resin is formed is substantially the same as the surface shape of the resin sheet for supporting the wall surface substrate disposed on the surface, the wall surface substrate support is mechanically supported. It may be difficult to recognize the presence or absence of a resin sheet.

そこで、この基板搬送用容器においては、容器本体部の保持溝が形成された側面に配置される壁面基板支持用樹脂シートが倒れ込まないように、この壁面基板支持用樹脂シートの倒れ込み防止手段が形成されている。   Therefore, in this substrate transporting container, the wall surface substrate supporting resin sheet is provided with a means for preventing the wall surface substrate supporting resin sheet from falling down so that the wall surface substrate supporting resin sheet disposed on the side surface where the holding groove of the container body portion is formed does not fall down. Is formed.

このように壁面基板支持用樹脂シートの倒れ込み防止手段を形成することにより、本発明の基板搬送用容器の有する優れた破損防止機能を有効に活用することができるのである。   Thus, by forming the fall prevention means for the resin sheet for supporting the wall surface substrate, the excellent damage prevention function of the substrate transport container of the present invention can be effectively utilized.

また、上記のように格納された基板材料あるいは基板は、容器本体部の底部において、必然的に容器本体部の底部と接触するが、本発明においては、基板搬送用容器の容器本体部に底上げ部材を配置する。この底上げ部材に表面には、容器本体部の内側面に形成された保持溝と共同して格納される基板材料あるいは基板を保持する保持溝が形成されている。そして、この底上げ部材の表面形状と略同一の形状を有する底部基板支持用樹脂シートを配置することが好ましく、この底部基板支持用樹脂シートは、発泡樹脂性の底面基板支持用樹脂シートが僅かな空隙を形成して配置されていることが好ましく、このように形成された空隙は、格納される基板材料あるいは基板の底部と接触し、しかも底面基板支持用樹脂シートは、発泡樹脂を用いて形成されている底上げ部材には固定されていないので、格納される基材材料および基板をタイトに保持することがなく、従って、この底面基板支持用樹脂シートに保持される基板材料および基板は、この基板材料あるいは基板の有する可撓性の範囲内において変形してもその応力が基板等の底部に集中しないようにすることができる。そして、このような底上げ部材は、壁面基材支持用樹脂シートに対する非常に良好な倒れ込み防止手段ともなる。また、この底上げ部材は、種々の厚さの底上げ部材を形成しておくことにより、この基板搬送用容器に格納深さを調整することができ、底上げ部材の厚さを適宜選定することにより、あるいは、複数の異なる底上げ部材を適宜組み合わせて使用することにより、一種類の容器で底上げ部材により深さを調整することができるので異なるサイズの基板材料あるいは基板を安定に搬送することができる。このように基板材料および基板の保持部分が対向する一対の側壁および低部に配置された底上げ部材
(あるいは、底部基板支持用樹脂シートの保持溝)の三箇所になり、より安全に基板材料あるいは基板を保持、搬送することができる。
In addition, the substrate material or the substrate stored as described above inevitably comes into contact with the bottom of the container main body at the bottom of the container main body. Arrange the members. A holding groove for holding the substrate material or the substrate stored together with the holding groove formed on the inner surface of the container main body is formed on the surface of the bottom raising member. And it is preferable to arrange a bottom substrate supporting resin sheet having a shape substantially the same as the surface shape of the bottom raising member, and this bottom substrate supporting resin sheet has a slight amount of foamed resin bottom substrate supporting resin sheet. It is preferable that the voids are arranged so that the voids thus formed are in contact with the substrate material to be stored or the bottom of the substrate, and the resin sheet for supporting the bottom substrate is formed using a foamed resin. Since the base material and the substrate to be stored are not tightly held, the substrate material and the substrate held on the bottom substrate supporting resin sheet are not fixed to the bottom raising member. Even if the substrate material is deformed within the flexibility range of the substrate, the stress can be prevented from concentrating on the bottom of the substrate or the like. And such a bottom raising member also becomes a very good fall prevention means with respect to the resin sheet for wall surface base material support. In addition, the bottom raising member can adjust the storage depth in the substrate transport container by forming the bottom raising member of various thicknesses, and by appropriately selecting the thickness of the bottom raising member, Alternatively, by using a combination of a plurality of different bottom raising members as appropriate, the depth can be adjusted by the bottom raising member in one type of container, so that substrate materials or substrates of different sizes can be stably conveyed. As described above, the substrate material and the substrate holding portion are provided at three locations of the pair of side walls and the bottom raising member (or the holding groove of the resin sheet for supporting the bottom substrate) facing each other. The substrate can be held and transported.

本発明で使用する基板搬送用容器は、基板を保持する容器本体部の壁面に、この壁面の表面形状と略同一の形状を有する壁面基板支持用樹脂シートが、この壁面に対して僅かな空隙を形成して配置されており、且つこの壁面基板支持用樹脂シートが容器内に倒れ込むのを防止する手段が講じられている。このように壁面基板支持用樹脂シートを僅かな空隙を介して壁面に配置することにより、この容器内に格納される基板自体によって生ずる応力をこの空隙によって吸収することができ、格納基板の保持部に端を発する基板の損傷を発生を著しく低減することができる。即ち、容器の側面と壁面基板支持用樹脂シートとの間に形成される僅かな空隙が、格納される基板自体の撓みなどによって生ずる内部応力の緩衝空間として機能する。   The substrate transport container used in the present invention has a wall surface substrate supporting resin sheet having a shape substantially the same as the surface shape of the wall surface on the wall surface of the container main body holding the substrate. And a means for preventing the wall surface substrate supporting resin sheet from falling into the container is provided. By arranging the wall surface substrate supporting resin sheet on the wall surface through a slight gap in this way, stress generated by the substrate itself stored in the container can be absorbed by the gap, and the holding portion of the storage substrate can be absorbed. It is possible to significantly reduce the occurrence of damage to the substrate that starts at the end. That is, a slight gap formed between the side surface of the container and the resin sheet for supporting the wall surface substrate functions as a buffer space for internal stress generated by bending of the substrate itself to be stored.

このように本発明で使用する基板搬送用容器では、基板の保持溝が形成された容器の側面に、この表面に配置される壁面基板支持用樹脂シートが密着していないにも拘わらず、この壁面基板支持用樹脂シートの倒れ込み防止手段が講じられているので、壁面基板支持用樹脂シートを壁面に対して一定の空隙を形成して安定に保持することができる。   Thus, in the substrate transport container used in the present invention, the wall surface substrate supporting resin sheet disposed on this surface is not in close contact with the side surface of the container in which the substrate holding groove is formed. Since the means for preventing the wall surface substrate supporting resin sheet from falling is provided, the wall surface substrate supporting resin sheet can be stably held by forming a certain gap with respect to the wall surface.

さらに、本発明で使用する基板搬送用容器の第2の態様においては、格納される基板と常に接触する底部に、基板の保持溝が形成された底上げ部材が配置されており、好適には、この底上げ部材の表面形状と略同一の形状を有する底部基板支持用樹脂シートが、底上げ部材の表面に僅かな空隙を形成して配置されているので、格納された基板に生ずる撓みなどの変形の発生を低減することができると共に、この底上げ部材と底部基板支持用樹脂シートとの間に形成されている僅かな空隙を、基板自体に生ずる内部応力の緩衝空間として作用させることができ、格納基板の破損の発生を著しく低減することができる。   Furthermore, in the second aspect of the substrate transport container used in the present invention, a bottom raising member in which a holding groove for the substrate is formed is disposed on the bottom portion that is always in contact with the substrate to be stored. Since the bottom substrate supporting resin sheet having a shape substantially the same as the surface shape of the bottom raising member is disposed with a slight gap formed on the surface of the bottom raising member, deformation such as bending that occurs in the stored substrate is prevented. The generation space can be reduced, and a slight gap formed between the bottom raising member and the bottom substrate supporting resin sheet can act as a buffer space for internal stress generated in the substrate itself. The occurrence of breakage can be significantly reduced.

さらに、本発明の基板搬送用容器の底上げ部材を使用することにより、格納する基板にあわせて容器内の格納空間の深さを調整することができ、さらに蓋部の内部にも、上記と同様にして緩衝空隙を有する支持溝を形成することにより、より安全に基板を格納することができる。   Further, by using the bottom raising member of the substrate transporting container of the present invention, the depth of the storage space in the container can be adjusted according to the substrate to be stored, and the inside of the lid is the same as described above. Thus, by forming the support groove having the buffer gap, the substrate can be stored more safely.

このような構成を有する基板搬送用容器によれば、発泡樹脂で形成されていることから外部からの衝撃に対して格納基板を保護することは勿論、格納されている基板の自重あるいはこれらの撓みなどにより生ずる基板内部の応力をも吸収して基板の破損を防止することができる。   According to the substrate transport container having such a configuration, since the storage substrate is protected from an external impact since it is formed of the foamed resin, the weight of the stored substrate or the deflection of the storage substrate can be obtained. It is also possible to prevent damage to the substrate by absorbing stress inside the substrate caused by the above.

また、上記のように壁面基板支持用樹脂シートなどは、開口部が形成された六面体(ボックス状)のような形状で発泡樹脂製の容器本体部に挿入したのでは、支持溝の可撓性が損なわれ、壁面と壁面基板支持用樹脂シートとの間に空隙を形成したとしても、この空隙が格納基板に対する緩衝空隙としては機能しない。さらに、ボックス状にして容器本体部に挿入しようとすると、ボックスの挿入が著しく困難であり、非常に作業効率が悪くなる。そこで、本発明では、基本的には、容器本体部の壁面に形成された支持溝と略同一の形状に賦形された壁面基板支持用樹脂シートの支持溝の可撓性が保持されるように(即ち、蛇腹状に形成された多数の支持溝が伸縮可能なように)、例えば各壁面ごとに独立した複数の壁面基板支持用樹脂シートを壁面に配置することにより、発泡樹脂製の容器本体部内部の壁面に壁面基板支持用樹脂シートを容易に配置することができる。しかも、この基板搬送用容器は、倒れ込み防止手段を備えているので、配置された壁面基板支持用樹脂シートを各側面に安定した状態で配置することができる。   Further, as described above, the resin sheet for supporting the wall surface substrate is inserted into the container body made of foamed resin in the shape of a hexahedron (box shape) in which an opening is formed. Even if a gap is formed between the wall surface and the resin sheet for supporting the wall surface substrate, the gap does not function as a buffer gap for the storage substrate. Furthermore, when trying to insert into a container main-body part in a box shape, insertion of a box is remarkably difficult and work efficiency becomes very bad. Therefore, in the present invention, basically, the flexibility of the support groove of the resin sheet for supporting a wall surface substrate formed in substantially the same shape as the support groove formed on the wall surface of the container main body is maintained. For example, by arranging a plurality of independent resin sheets for supporting the wall surface on each wall surface on the wall surface (that is, so that a large number of support grooves formed in a bellows shape can be expanded and contracted), a container made of foamed resin The resin sheet for supporting the wall surface substrate can be easily arranged on the wall surface inside the main body. In addition, since the substrate transport container includes the fall-preventing means, the disposed wall surface substrate supporting resin sheet can be stably disposed on each side surface.

さらに、本発明の基板搬送用容器の底上げ部材を用いることにより、格納基板を側面だけではなく底面でも保持することができ、しかもこの底上げ部材が基板の内部応力の緩衝性を有しているので、より安全に基板を搬送することができる。また、容器の格納深さを調整することができるので、単一の基板搬送用容器を多種類の基板の搬送に適用することが可能となる。さらに、この底上げ部材は、容器本体部の側壁に配置された側壁基板保持用樹脂シートに対して大変良好な倒れ込み防止手段となる。またさらに、容器内の余剰空間を少なくすることで、基板の搬送安全性も高くなる。   Furthermore, by using the bottom raising member of the substrate transport container of the present invention, the storage substrate can be held not only on the side surface but also on the bottom surface, and this bottom raising member has a buffering property against the internal stress of the substrate. The substrate can be transported more safely. In addition, since the storage depth of the container can be adjusted, a single substrate transfer container can be applied to transfer various types of substrates. Furthermore, this bottom raising member is a very good fall prevention means for the side wall substrate holding resin sheet disposed on the side wall of the container body. Furthermore, by reducing the excess space in the container, the substrate transport safety is also increased.

なお、本発明で使用する基板搬送用容器は、発泡樹脂製であり、外部からの衝撃に対して格納基板を保護することができ、また外部との温度差などにより発生することがある結露などを防止することができるのは勿論である。   The substrate transport container used in the present invention is made of foamed resin, can protect the storage substrate against external impacts, and may cause condensation due to a temperature difference from the outside. Of course, this can be prevented.

次の本発明の基板搬送用容器および底上げ部材について図面を参照しながら具体的に説明する。
図1は、本発明で使用する第1の基板搬送用容器の分解斜視図であり、図2は第2の基
板搬送用容器の分解斜視図であり、図3は本発明の底上げ部材の一例を示す分解斜視図である。なお、以下に示す説明および図面においては、同一の部材には同一の付番を賦してある。
Next, the substrate transfer container and the bottom raising member of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is an exploded perspective view of a first substrate transport container used in the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of a second substrate transport container, and FIG. 3 is an example of a bottom raising member of the present invention. FIG. In the following description and drawings, the same number is assigned to the same member.

本発明で使用する第1の基板搬送用容器10は、発泡樹脂製の容器本体部12と、この容器
本体部12の開口部14に開閉自在に装着される発泡合成樹脂製の蓋体45とを有している。
発泡樹脂製の容器本体部12は、基板材料あるいは基板(以下本発明では「基板」と記載する)60を格納できるように、一方向が開口した有低筒状の形態を有している。そして、この容器本体部12の内周壁面の対峙する一対の壁面13a,13bには、基板60を保持するため
の基板支持溝16が形成されている。この基板支持溝16は、容器本体部12の開口部14から底部17方向に向かって形成されたが溝である。この両壁面に形成された基板支持溝16,16に、基板60の両端部を挿入することにより、基板60を起立させて格納することができる。この基板支持溝16は、一の基板搬送用容器10に1〜45枚、好ましくは2〜20枚程度格納できるように形成されている。従って、容器本体部12の対峙する一対の壁面13a,13bには、それぞれ、1〜45本、好ましくは2〜20本の基板支持溝16が形成されている。
The first substrate transport container 10 used in the present invention includes a foam resin container body 12 and a foam synthetic resin lid 45 that is openably and detachably attached to the opening 14 of the container body 12. have.
The container body 12 made of foamed resin has a low-cylindrical shape that opens in one direction so that a substrate material or a substrate (hereinafter referred to as “substrate” in the present invention) 60 can be stored. A substrate support groove 16 for holding the substrate 60 is formed on the pair of wall surfaces 13a, 13b facing each other on the inner peripheral wall surface of the container body portion 12. The substrate support groove 16 is a groove formed from the opening 14 of the container body 12 toward the bottom 17. By inserting both end portions of the substrate 60 into the substrate support grooves 16 and 16 formed on both wall surfaces, the substrate 60 can be stood and stored. The substrate support grooves 16 are formed so that 1 to 45 sheets, preferably 2 to 20 sheets, can be stored in one substrate transport container 10. Accordingly, 1 to 45, preferably 2 to 20, substrate support grooves 16 are formed on the pair of wall surfaces 13a and 13b facing each other of the container main body portion 12, respectively.

図4に拡大して示すように、この基板支持溝16の形成ピッチ、即ち、ある基板支持溝16の中心線から隣接する基板支持溝16の中心線までの距離は、適宜設定することができるが、格納される複数の基材60が接触しないように、通常は3〜20mm程度、好ましくは5〜15mm程度にする。このピッチを3mmよりも狭く形成することも可能であるが、この容器本体部12は、金型を用いた発泡樹脂成形により製造されることから、ピッチ幅が狭くなると、基板支持溝16を画成する支持凸条16aの形状安定性が低くなることがある。
また、この基板支持溝16の深さは、格納される基板60を安定に保持できる深さであればよく、通常は5〜45mm程度、好ましくは7〜25mm程度である。
4, the formation pitch of the substrate support grooves 16, that is, the distance from the center line of a certain substrate support groove 16 to the center line of the adjacent substrate support groove 16 can be set as appropriate. However, the thickness is usually about 3 to 20 mm, preferably about 5 to 15 mm so that the plurality of base materials 60 to be stored do not come into contact. Although it is possible to form the pitch narrower than 3 mm, since the container body 12 is manufactured by foamed resin molding using a mold, the substrate support groove 16 is defined when the pitch width is narrowed. The shape stability of the support ridge 16a formed may be lowered.
The depth of the substrate support groove 16 may be any depth that can stably hold the substrate 60 to be stored, and is usually about 5 to 45 mm, preferably about 7 to 25 mm.

このような基板支持溝16および支持凸条16aは、それぞれ、壁面13aあるいは壁面13bに
対して直角に形成することもできるし、また、基板支持溝16の先端部が基端部よりも広くなるようにテーパーをつけて形成することもできる。
Such substrate support grooves 16 and support protrusions 16a can be formed at right angles to the wall surface 13a or the wall surface 13b, respectively, and the front end portion of the substrate support groove 16 is wider than the base end portion. It can also be formed with a taper.

上記のような基板支持体溝16は、容器本体部12と一体にして形成することもできるし、また、この基板支持体溝16を有する発泡樹脂発泡樹脂板を、容器本体部12とは別に形成し、この基板支持体溝付き発泡樹脂板を容器本体部12の該当壁面に嵌め込むことにより形成することもできる。この場合に、基板支持溝付き発泡樹脂板の両側端部と容器本体部との間に、後述するシート挟み込みスリット18を形成するように樹脂板を嵌め込むことが望ま
しい。
The substrate support groove 16 as described above can be formed integrally with the container main body 12, and the foamed resin foam resin plate having the substrate support groove 16 is separated from the container main body 12. It is also possible to form the foamed resin plate with the substrate support groove by fitting it into the corresponding wall surface of the container main body 12. In this case, it is desirable to fit the resin plate so as to form a sheet sandwiching slit 18 to be described later between the both side ends of the foamed resin plate with the substrate support groove and the container main body.

このように基板支持溝付き発泡樹脂板を、容器本体部とは別体として成形することにより、容器本体部の内周面の構造が単純化されるので、容器本体部12を成形した後、型抜き作業が容易になるとの利点がある。   In this way, by forming the foamed resin plate with the substrate support groove as a separate body from the container body, the structure of the inner peripheral surface of the container body is simplified, so after molding the container body 12, There is an advantage that the die cutting work becomes easy.

本発明で使用する第1の基板搬送用容器10の上記のような基材支持溝16が形成された対
峙する一対の壁面13a,13bの、隣接する他の一対の壁面23a,23bとの当接部分には、樹脂
シートを挟み込むためのシート挟み込みスリット18が形成されていることが好ましい。
In the first substrate transport container 10 used in the present invention, the pair of opposing wall surfaces 13a, 13b in which the base material support grooves 16 as described above are formed are matched with the other pair of adjacent wall surfaces 23a, 23b. It is preferable that a sheet sandwiching slit 18 for sandwiching the resin sheet is formed in the contact portion.

本発明で使用する第1の基板搬送用容器10において、上記のような基板支持溝16が形成された対峙する一対の壁面13a,13bの表面には、壁面基板支持用樹脂シート22a,22bが配置されている。この壁面基板支持用樹脂シート22a、22bは、上記容器本体部12の対峙
する一対の壁面13a,13bの表面の形状と略同一の形状に賦形されている。即ち、この壁面基板支持用樹脂シート22a,22bには、対峙する一対の壁面13a,13bに形成されている基板
支持溝16に対応するシート面支持溝26およびシート面支持凸条26aが形成されており、こ
のシート面支持溝26およびシート面支持凸条26aは、対峙する一対の壁面13a,13bに形成
された基板支持溝16および支持凸条16aと略同一の形状を有している。このような壁面基
板支持用樹脂シート22a,22bを、壁面13a,13bの表面に配置すると、壁面基板支持用樹脂シート22a,22bと壁面13a,13bとの間に僅かな空隙19が形成される。即ち、この、壁面基板支持用樹脂シート22a,22bの端部を、例えば壁面13a,13bと隣接する他の一対の壁面23a,23bとの当接部分に形成されたシート挟み込みスリット18に挟持させることにより、
壁面13a,13bの表面に配置すると、壁面13a,13bに形成された基板支持溝16付近では、この壁面基板支持用樹脂シート22a,22bは、基板支持溝16の形態に追随して配置されるが、壁
面13a,13bには固定されずに、両者の間には、僅かな空隙19が形成される。
In the first substrate transport container 10 used in the present invention, the wall surface substrate supporting resin sheets 22a and 22b are formed on the surfaces of the opposing wall surfaces 13a and 13b where the substrate supporting grooves 16 are formed as described above. Has been placed. The wall surface substrate supporting resin sheets 22a and 22b are formed in a shape substantially the same as the shape of the surface of the pair of wall surfaces 13a and 13b facing each other of the container main body 12. That is, on the wall surface substrate supporting resin sheets 22a and 22b, the sheet surface supporting grooves 26 and the sheet surface supporting ridges 26a corresponding to the substrate supporting grooves 16 formed on the pair of facing wall surfaces 13a and 13b are formed. The sheet surface support groove 26 and the sheet surface support protrusion 26a have substantially the same shape as the substrate support groove 16 and the support protrusion 16a formed on the pair of opposing wall surfaces 13a and 13b. When such wall surface substrate supporting resin sheets 22a and 22b are arranged on the surfaces of the wall surfaces 13a and 13b, a slight gap 19 is formed between the wall surface substrate supporting resin sheets 22a and 22b and the wall surfaces 13a and 13b. . That is, the end portions of the wall surface substrate supporting resin sheets 22a and 22b are sandwiched between, for example, sheet sandwiching slits 18 formed at contact portions between the wall surfaces 13a and 13b and another pair of wall surfaces 23a and 23b. By
When arranged on the surfaces of the wall surfaces 13a and 13b, in the vicinity of the substrate support groove 16 formed on the wall surfaces 13a and 13b, the wall surface substrate supporting resin sheets 22a and 22b are arranged following the form of the substrate support groove 16. However, it is not fixed to the wall surfaces 13a and 13b, and a slight gap 19 is formed between them.

本発明で使用する基板搬送用容器10において、この壁面13a,13bと、壁面基板支持用樹脂シート22a、22bとの間に形成される僅かな空隙19は、基板60自体に生じた内部応
力などによる基板60の変形などを吸収する緩衝空間として作用して格納基板60の破損を有効に防止することができる。この空隙19は、非常に僅かであればよく、例えば基板60を格納したときに、壁面とシートとが通常は0.01〜1mm程度、好ましくは0.01〜0.7mm程度、特に好ましくは0.01〜0.5mm程度の範囲内で離間可能に配置されている。即ち、壁面13a,13bに形成されている基板支持溝16とシート面支持溝26とで基板60を保
持したときに、この基板60に生ずる歪あるいは撓みなどによる基板60の変動がこの空隙19によって吸収されればよく、僅かな空隙19の幅は、基板60は通常はガラスなどで形成されていることから、これら基板の撓み量に対応する変動幅と略同等にすればよい。
In the substrate transport container 10 used in the present invention, a slight gap 19 formed between the wall surfaces 13a and 13b and the wall surface substrate supporting resin sheets 22a and 22b is caused by internal stress generated in the substrate 60 itself. Therefore, the storage substrate 60 can be effectively prevented from being damaged by acting as a buffer space for absorbing the deformation of the substrate 60 due to the above. The gap 19 may be very small. For example, when the substrate 60 is stored, the wall and the sheet are usually about 0.01 to 1 mm, preferably about 0.01 to 0.7 mm, particularly preferably. It is arranged so as to be separated within a range of about 0.01 to 0.5 mm. That is, when the substrate 60 is held by the substrate support groove 16 and the sheet surface support groove 26 formed on the wall surfaces 13a and 13b, the variation of the substrate 60 due to strain or deflection generated in the substrate 60 is caused by the gap 19. The width of the slight gap 19 may be substantially equal to the fluctuation width corresponding to the amount of bending of the substrate, since the substrate 60 is usually formed of glass or the like.

このように壁面基板支持用樹脂シート22a,22bを、基板支持溝16が形成された対峙する一対の壁面13a,13bの表面に、上述のように僅かな空隙が形成されるように配置すること
により、基板60自体に生じた撓みあるいは歪などによる応力に起因する基板60の損傷を有効に防止することができるが、このような壁面基板支持用樹脂シート22a,22bは、基板60を収納する前には容器内に倒れ込んでしまうことが多い。殊に、本発明では壁面基板支持用樹脂シート22a,22bは、他の壁面を覆う樹脂シートとは連接されていない独立したシートとして容器本体部10に配置することにより、非常に効率よく配置することができるが、この壁面基板支持用樹脂シート22a,22bの配置が容易であるほど、シートの倒れ込みが発生し易い。
In this way, the wall surface substrate supporting resin sheets 22a and 22b are arranged so that a slight gap is formed as described above on the surface of the pair of opposing wall surfaces 13a and 13b where the substrate supporting grooves 16 are formed. This can effectively prevent damage to the substrate 60 due to stress caused by bending or distortion generated in the substrate 60 itself, but such wall surface substrate supporting resin sheets 22a and 22b accommodate the substrate 60. It often falls into the container before. In particular, in the present invention, the wall surface substrate supporting resin sheets 22a and 22b are arranged very efficiently by arranging them on the container body 10 as independent sheets not connected to the resin sheets covering the other wall surfaces. However, the easier the arrangement of the wall surface substrate supporting resin sheets 22a and 22b, the more likely the sheet will fall.

本発明で使用する基板搬送用容器10には、上記のような壁面基板支持用樹脂シート22a,22bの倒れ込みを防止するために、倒れ込み防止手段が形成されている。上記のように基材支持溝16が形成された対峙する一対の壁面13a,13bと隣接する他の一対の壁面23a,23b
との当接部分に形成されたシート挟み込みスリット18も倒れ込み防止手段として機能するが、本発明ではさらに基材支持溝16が形成された対峙する一対の壁面13a,13bと隣接す
る他の一対の壁面23a,23bに倒れ込み防止手段を形成することが望ましい。
In the substrate transport container 10 used in the present invention, in order to prevent the wall surface substrate supporting resin sheets 22a, 22b from falling down, a falling prevention means is formed. As described above, the pair of opposing wall surfaces 13a and 13b in which the base material support groove 16 is formed and the other pair of adjacent wall surfaces 23a and 23b.
The sheet sandwiching slit 18 formed at the abutting portion also functions as a fall-preventing means. However, in the present invention, another pair of adjacent wall surfaces 13a, 13b on which the base material support grooves 16 are formed are adjacent to each other. It is desirable to form a fall prevention means on the wall surfaces 23a, 23b.

この倒れ込み防止手段としては、図5に示すように、容器本体部12の基板支持溝16が形成されていない対峙する一対の他の壁面23a,23bに形成した突起25aを挙げることができる。このように形成された突起25aは、壁面基板支持用樹脂シート22a,22bの倒れ込みが、両端部が突起29によって引っ掛かって止まるように形成されている。図5には、突起25aと
して、対峙する一対の他の壁面23a,23bに渕部を残して台形状の凸部が形成され態様が示
されている。さらに、本発明では、この突起25aは、上記のような台形状の凸部とし、こ
の凸部内を格子状にして後述する表面保護用樹脂シートとの間に空隙を形成するようにすることもできる。また、このような倒れ込み防止手段は、対峙する一対の他の壁面23a、23bの表面に配置される表面保護用樹脂シート24a,24bの表面に形成されていてもよい。図
5には、表面保護用樹脂シート24a,24bの表面の両側縁部近傍に、容器本体部12の内側に
突出して縦方向に凸条25bの倒れ込み防止手段が形成された態様が示されている。
As the fall-down preventing means, as shown in FIG. 5, there can be mentioned protrusions 25a formed on a pair of opposing wall surfaces 23a, 23b where the substrate support groove 16 of the container body 12 is not formed. The protrusions 25a formed in this way are formed such that the wall surface substrate supporting resin sheets 22a and 22b are stopped by being caught by the protrusions 29 at both ends. FIG. 5 shows a mode in which trapezoidal convex portions are formed as the protrusions 25a while leaving the flange portions on a pair of other wall surfaces 23a, 23b facing each other. Further, in the present invention, the protrusion 25a is a trapezoidal convex portion as described above, and the inside of the convex portion is formed in a lattice shape so as to form a gap between the surface protective resin sheet described later. it can. Further, such a fall prevention means may be formed on the surfaces of the surface protecting resin sheets 24a and 24b disposed on the surfaces of the pair of other wall surfaces 23a and 23b facing each other. FIG. 5 shows a mode in which a means for preventing the protrusion 25b from falling down is formed in the longitudinal direction in the vicinity of both side edges of the surface protecting resin sheets 24a and 24b. Yes.

このような基板支持溝基板支持溝16が形成されていない他の一対の壁面23a、23bあ
るいは壁面に配置される表面保護用樹脂シート24a,24bに倒れ込み防止のための突起25aあるいは凸条25bは、表面から通常は2〜10mm、好ましくは3〜8mm程度突出していれば
よい。
Projection 25a or ridge 25b for preventing falling into the other pair of wall surfaces 23a, 23b in which the substrate support groove 16 is not formed or the surface protecting resin sheets 24a, 24b arranged on the wall surface is provided. The protrusion should normally protrude from the surface by about 2 to 10 mm, preferably about 3 to 8 mm.

即ち、上記のように本発明の容器本体部12の基板支持溝16が形成されていない対峙する一対の他の壁面23a,23bは、格納される基板60と接触することはないが、この他の壁面23a,23bに、たとえば図5に示すように、表面を突出させることにより、壁面基板支持用樹脂シート22a,22bの倒れ込みを防止することができ、また、この他の壁面23a,23bの表面に表面保護用樹脂シート24a,24bを配置する場合には、この表面保護用樹脂シート24a,24bの両側端部近傍に、倒れ込み防止手段として凸条25aを形成することにより、基板60を収納
する前における壁面基板支持用樹脂シート22a,22bの倒れ込みを有効に防止することがで
きる。さらに、このように配置される表面保護用樹脂シート24a,24bは、通常は、このシ
ートが配置される他の側面23a,23bの表面形状と略同一の形状に賦形されている。さらに
、この表面保護用樹脂シート24a,24bは、側面23a,23bの表面に僅かな空隙を形成して配置されていることが好ましい。この表面保護用樹脂シート24a,24bは、基板60と直接接触す
ることはないが、この表面保護用樹脂シート24a,24bを配置することにより、容器本体部
12を形成する毛羽立ち易い発泡樹脂と格納基板60とが直接接触することがなく、また、表面保護用樹脂シート24a,24bを、側面23a,23bの表面に僅かな空隙を形成して配置することにより、この僅かな空隙が外部からの衝撃に対して衝撃吸収帯となることもあり、また、断熱性も高くなる。
That is, as described above, the pair of other wall surfaces 23a and 23b facing each other where the substrate support groove 16 of the container main body 12 of the present invention is not formed do not come into contact with the substrate 60 to be stored. For example, as shown in FIG. 5, the wall surface supporting resin sheets 22a and 22b can be prevented from falling down, and the other wall surfaces 23a and 23b can be prevented from falling. When the surface protecting resin sheets 24a and 24b are arranged on the surface, the substrate 60 is accommodated by forming the ridges 25a as means for preventing the collapse in the vicinity of both end portions of the surface protecting resin sheets 24a and 24b. This makes it possible to effectively prevent the wall surface substrate supporting resin sheets 22a and 22b from falling down. Furthermore, the surface protecting resin sheets 24a and 24b arranged in this way are usually shaped in substantially the same shape as the surface shapes of the other side surfaces 23a and 23b on which the sheets are arranged. Further, it is preferable that the surface protecting resin sheets 24a and 24b are arranged with a slight gap formed on the surfaces of the side surfaces 23a and 23b. The surface protecting resin sheets 24a and 24b do not come into direct contact with the substrate 60. However, by placing the surface protecting resin sheets 24a and 24b, the foam protecting resin that forms the container main body portion 12 is stored. There is no direct contact with the substrate 60, and the surface protection resin sheets 24a and 24b are arranged with a slight gap formed on the surfaces of the side surfaces 23a and 23b, so that the slight gap is not generated from the outside. In some cases, it becomes a shock-absorbing band with respect to the impact, and the heat insulation is also improved.

このような表面保護用樹脂シート24a,24bは、他の側面23a,23bに貼着することもできるが、例えば表面保護用樹脂シート24a,24bのそれぞれの両端部を、シート挟みこみスリッ
トに挿入することにより、他の側面23a,23bの表面に配置することができる。
Such surface protecting resin sheets 24a and 24b can be attached to the other side surfaces 23a and 23b. For example, both end portions of the surface protecting resin sheets 24a and 24b are inserted into the sheet sandwiching slits. By doing so, it can arrange | position to the surface of the other side surfaces 23a and 23b.

本発明で使用する基板搬送用容器10の基板60を格納するための空間の底部27は、発泡樹脂で形成することもできるが、底部基板支持用樹脂シート28を配置することが好ましい。
本発明で使用する第1の基板搬送用容器10は、上記のような構成を有しているが、第2の基板搬送用容器11は、図2に示すように、上記のような構成を有する第1の基板搬送用容
器10の底部に底上げ部材30を配置してなる。この底上げ部材30は、発泡樹脂から形成されており、その表面には、容器本体部12の対峙する一対の壁面13a,13bに形成された基板支
持溝16と共同して格納基板60を保持するための底部支持溝36が形成されている。この底部支持溝36の深さは、格納される基板60を安定に保持できる深さであればよく、通常は5〜
45mm程度、好ましくは7〜25mm程度である。
The bottom 27 of the space for storing the substrate 60 of the substrate transport container 10 used in the present invention can be formed of foamed resin, but it is preferable to dispose the bottom substrate supporting resin sheet 28.
The first substrate transport container 10 used in the present invention has the above-described configuration, but the second substrate transport container 11 has the above-described configuration as shown in FIG. A bottom raising member 30 is arranged at the bottom of the first substrate carrying container 10 having the same. The bottom raising member 30 is formed of a foamed resin, and holds the storage substrate 60 on the surface in cooperation with the substrate support grooves 16 formed in the pair of opposing wall surfaces 13a and 13b of the container main body 12. A bottom support groove 36 is formed. The depth of the bottom support groove 36 may be any depth as long as it can stably hold the substrate 60 to be stored.
It is about 45 mm, preferably about 7 to 25 mm.

この底上げ部材30の表面に配置される底部基板支持用樹脂シート28は、図2および図3に示すように、底上げ部材30の表面形状と略同一の形状に賦形されている。このような形状に賦形された底部基板支持用樹脂シート28を、発泡樹脂からなる底上げ部材30の表面に配置する。この底部基板支持用樹脂シート28と底上げ部材30との間には、僅かな空隙31が形成されており、この僅かな空隙31を形成することにより、格納させている基板60の振動などによる内部応力を吸収することができ、基板60の破損が著しく低減される。   As shown in FIGS. 2 and 3, the bottom substrate supporting resin sheet 28 disposed on the surface of the bottom raising member 30 is shaped in substantially the same shape as the surface shape of the bottom raising member 30. The bottom substrate supporting resin sheet 28 shaped in such a shape is disposed on the surface of the bottom raising member 30 made of foamed resin. A slight gap 31 is formed between the bottom substrate supporting resin sheet 28 and the bottom raising member 30. By forming this slight gap 31, the inside of the housed substrate 60 due to vibration or the like is formed. The stress can be absorbed, and the breakage of the substrate 60 is significantly reduced.

図2に示すように、上記のような形態を有する底上げ部材30を本発明の基板搬送用容器10の底部17に配置することにより、この底上げ部材30に形成された底部支持溝36が、壁面13a,13bに形成された基板支持溝16と共同して、格納される基板60を安定に保管すること
ができると共に、この底上げ部材30は、壁面基板支持用樹脂シート22a,22bに対して、非
常に良好な倒れ込み防止手段となる。このような底上げ部材30は、また、本発明の基板搬送用容器10,11に形成される基板60の収容深さを好適な深さに変更することができる。こ
の底上げ部材30は、容器本体部12内に複数配置してもよい。即ち、この容器に格納される基板のサイズには、多種多様なものがあり、この容器に格納可能なサイズであれば、容器の深さに拘わりなく収納することができる。しかしながら、収納される基板60に対して容器が深すぎると、容器内における基板60の安定性が悪くなる。従って、基板60を収納する容器の深さは、格納しようとする基板に対応した深さであることが望ましい。本発明の基板搬送用容器においては、底上げ部材30を配置して容器の底上げを行うことにより容器内の余剰の空間を減少させて、格納される基板60をより安定に保管・輸送することができる。
As shown in FIG. 2, by arranging the bottom raising member 30 having the above-described form in the bottom portion 17 of the substrate transport container 10 of the present invention, the bottom support groove 36 formed in the bottom raising member 30 has a wall surface. Together with the substrate support grooves 16 formed in 13a and 13b, the substrate 60 to be stored can be stably stored, and the bottom-up member 30 is provided on the wall surface substrate support resin sheets 22a and 22b. This is a very good means for preventing falling. Such a bottom raising member 30 can also change the accommodation depth of the substrate 60 formed in the substrate transport containers 10 and 11 of the present invention to a suitable depth. A plurality of the bottom raising members 30 may be arranged in the container body 12. In other words, there are a wide variety of substrate sizes stored in the container, and any size that can be stored in the container can be stored regardless of the depth of the container. However, if the container is too deep with respect to the substrate 60 to be stored, the stability of the substrate 60 in the container deteriorates. Therefore, the depth of the container for storing the substrate 60 is preferably a depth corresponding to the substrate to be stored. In the substrate transport container of the present invention, the bottom raising member 30 is disposed to raise the bottom of the container, thereby reducing the excess space in the container and storing and transporting the stored substrate 60 more stably. it can.

本発明において、複数の底上げ材を使用する場合、少なくとも最も上面に位置する底上げ部材30の表面に位置する底上げ部材の表面に底部支持溝36が形成されていればよく、さらに少なくとも最も上面に位置する底上げ部座30の表面に低部支持体溝36に対応する表面形状を有する底部基板支持用樹脂シート28が配置されていればよい。即ち、このように複数の底上げ部材を配置する場合に、下部に配置する底上げ部材30には、底部支持溝36が形成されていてもよいし、このような底上げ部材30の表面に底部基板支持用樹脂シート28が配置されていてもよいし、また樹脂シートが配位されていない発泡樹脂製の板状体であってもよい。上記のように底上げ部材は、基板60の収容する深さを調整するものであり、種々の厚さの発泡樹脂製の板を用意しておいて、格納される基板60に対応して使用する底上げ部材30の種類を適宜選定して使用することができる。   In the present invention, when a plurality of bottom raising materials are used, it is only necessary that the bottom support groove 36 is formed on the surface of the bottom raising member 30 located on the top surface of the bottom raising member 30 that is located on the top surface. The bottom substrate supporting resin sheet 28 having a surface shape corresponding to the lower support groove 36 may be disposed on the surface of the bottom raised portion seat 30 to be provided. That is, when a plurality of bottom raising members are arranged in this way, the bottom raising member 30 arranged in the lower portion may be provided with a bottom support groove 36, and the bottom substrate support is provided on the surface of the bottom raising member 30. The resin sheet 28 may be disposed, or may be a plate-like body made of foamed resin in which the resin sheet is not coordinated. As described above, the bottom raising member is for adjusting the depth of accommodation of the substrate 60, and is prepared corresponding to the substrate 60 to be stored by preparing plates made of foamed resin of various thicknesses. The kind of the bottom raising member 30 can be appropriately selected and used.

特に格納される基板60の上端部が蓋体45の内側に配置される蓋体基板支持用樹脂シート47に形成されている蓋体支持溝48によって、基板60の上端部が保持されるような深さを調整されていることが好ましい。   In particular, the upper end portion of the substrate 60 is held by the lid support groove 48 formed in the lid substrate support resin sheet 47 arranged at the inner side of the lid body 45. It is preferable that the depth is adjusted.

上記のような第1および第2の基板搬送用容器10,11の容器本体部12に形成されている開口部14を覆うように発泡樹脂製の蓋体45が形成されており、この蓋体45を容器本体部12に嵌合して開口部14に塞ぐことにより、本発明の基板搬送用容器を密閉状態に保つことができる。   A foamed resin lid 45 is formed so as to cover the opening 14 formed in the container main body 12 of the first and second substrate transfer containers 10 and 11 as described above. By fitting 45 into the container body 12 and closing the opening 14, the substrate transfer container of the present invention can be kept in a sealed state.

即ち、上記のような第1および第2の基板搬送用容器10,11の容器本体部12の開口部14が形成されている上端部と、蓋体45の下端部とは、相互に嵌合して、基板60を格納する内部空間を気密状態に保持できるようにされている。例えば容器本体部12の嵌合部に凸部15を形成し、蓋部45の嵌合部に凹部を形成して両者が嵌合するように嵌合部を形成することにより、より高い気密状態を形成することができる。   That is, the upper end where the opening 14 of the container body 12 of the first and second substrate transfer containers 10 and 11 is formed and the lower end of the lid 45 are fitted to each other. Thus, the internal space for storing the substrate 60 can be kept airtight. For example, a convex portion 15 is formed in the fitting portion of the container main body portion 12, a concave portion is formed in the fitting portion of the lid portion 45, and the fitting portion is formed so that both are fitted, thereby achieving a higher airtight state. Can be formed.

上記のような蓋部45の内側には蓋体基板支持用樹脂シート47が配置されておりには、好適には、格納される基板60の上端部がこの蓋体基板支持用樹脂シート47に形成された蓋体支持溝48によって保持されるようにされている。   The lid substrate supporting resin sheet 47 is disposed inside the lid portion 45 as described above. Preferably, the upper end portion of the substrate 60 to be stored is attached to the lid substrate supporting resin sheet 47. It is configured to be held by the formed lid support groove 48.

なお、この蓋体基板支持用樹脂シート47は、蓋体45に対して僅かな空隙を形成して蓋体45の表面に配置されていることが好ましい。
上記のような本発明の容器本体部12および蓋体45、さらには底上げ部材30は、発泡樹脂から形成されており、このような発泡樹脂に特に制限はないが、ポリスチレン:ポリオレフィン:ポリウレタンなど、通常樹脂発泡体として使用されている発泡性樹脂を用いて形成することができる。また、これらの樹脂発泡体を形成する原料は、単独の発泡性樹脂原料である必要はなく、例えば耐衝撃性を向上させるために、発泡性のポリスチレンにゴム成分が配合された樹脂組成物などの複数の樹脂を含有する組成物を使用することができる。上記のようなポリスチレンにゴム成分を配合した組成物は、ハイインパクトポリスチレンなどとして供給されている。このような樹脂発泡体原料を使用して、例えば、10〜60倍、好ましくは、20倍〜50倍程度の発泡倍率になるように、例えば型内発泡することにより、得られる発泡体は、良好な耐衝撃性、断熱性など、基板搬送用の容器として必要な特性が発現する。即ち、上記のような発泡樹脂からなる容器本体をおよび蓋体を形成することにより、この基板保持用容器は0.26kcal/m・hr・℃程度あるいはそれ以下に
なり、外部の温度変化によっても基板搬送用容器内の温度が急速に変化することを防止することができる。さらに、このような発泡倍率で樹脂発泡体を形成することにより、形成される発泡体の表面にはスキン層が形成され、このようなスキン層は、発泡樹脂の厚さ方向の中止部近傍にある発泡体よりも緻密な層を形成する。このようなスキン層を形成することにより、発泡樹脂表面から塵埃などが発生しにくくなると共に、発泡体の強度が向上し、耐水性、耐透湿性にも優れ、さらに耐磨耗性が向上する。このようなスキン層は発泡体の表面から1mm程度の深さで形成される。このようなスキン層は、発泡樹脂を形成する際に金型と発泡樹脂とが接触することにより形成することができる。
The lid substrate supporting resin sheet 47 is preferably disposed on the surface of the lid 45 so as to form a slight gap with respect to the lid 45.
The container body 12 and the lid body 45 of the present invention as described above, and the bottom raising member 30 are made of foamed resin, and there is no particular limitation on such foamed resin, such as polystyrene: polyolefin: polyurethane, It can form using the foamable resin normally used as a resin foam. Further, the raw material for forming these resin foams does not need to be a single foamable resin raw material, for example, a resin composition in which a rubber component is blended with foamable polystyrene in order to improve impact resistance, etc. A composition containing a plurality of resins can be used. A composition in which a rubber component is blended with polystyrene as described above is supplied as high impact polystyrene or the like. Using such a resin foam raw material, for example, the foam obtained by in-mold foaming, for example, to have an expansion ratio of about 10 to 60 times, preferably about 20 to 50 times, Properties necessary as a container for transporting a substrate such as good impact resistance and heat insulation are exhibited. That is, by forming the container body made of the above-mentioned foamed resin and the lid body, the substrate holding container becomes about 0.26 kcal / m · hr · ° C. or less, and it can be changed by an external temperature change. It is possible to prevent the temperature in the substrate transport container from changing rapidly. Furthermore, by forming the resin foam with such a foaming ratio, a skin layer is formed on the surface of the foam to be formed, and such a skin layer is in the vicinity of the stop portion in the thickness direction of the foamed resin. It forms a denser layer than some foams. By forming such a skin layer, dust and the like are less likely to be generated from the surface of the foamed resin, the strength of the foam is improved, water resistance and moisture permeability resistance are improved, and wear resistance is further improved. . Such a skin layer is formed at a depth of about 1 mm from the surface of the foam. Such a skin layer can be formed by contacting the mold and the foamed resin when the foamed resin is formed.

また、本発明で、壁面基板支持用樹脂シート22a,22b、表面保護用樹脂シート24a,24b、底部基板支持用樹脂シート28、蓋体基板支持用樹脂シート47などは、合成樹脂シートから形成することができる。ここで使用する合成樹脂シートの例としては、ポリエチレン、LLDPE、ポリプロピレン、ポリブチレンなどのα-オレフィンからなるシート、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリアミドのような熱可塑性樹脂からなるシートなどを挙げることができる。本発明において上記のような所定の形態が賦与された樹脂シートは、真空成形、圧縮成形、押し出し成形などの種々の成形方法で製造することが好ましく、このような成形方法を採用して本発明で使用する特定の形状に賦形された樹脂シートを製造する場合には、熱溶融製樹脂を用いることが好ましい。また、このような樹脂シートには、各種の添加剤を配合されて入れもよい。このような添加剤の例としては、帯電防止剤、導電性充填剤、着色剤、酸化防止剤などを挙げることができる。特に本発明では帯電防止剤および/または導電性充填剤を配合することが好ましい。即ち、この基板搬送用容器には、半導体が組み込まれた基板を格納することがあり、このような場合には、摩擦などによって生ずる電位を速やかに放電除去させる必要があり、従って、帯電防止剤および/または導電性充填剤を配合することが好ましい。このような帯電防止剤および導電性充填剤の例としては、導電性カーボン、導電性金属、導電性界面活性剤などを挙げることができる。このような帯電防止剤および/または導電性充填剤を配合する場合には、これらの成分が樹脂シート表面から離脱して格納される基板を汚染しないような量で使用され、通常は樹脂シートを形成する樹脂成分100重量部に対して0.1〜100重量部の範囲内の量で使用される。このように帯電防止剤および/または導電性充填剤を配合することにより、この樹脂シートは通常は103〜1012Ω・cm程度の体積固有抵抗値を有するようにな
り、電子部品が実装された基板であっても静電気などによって、その電気的特性が損なわ
れることがなくなる。
In the present invention, the wall surface substrate supporting resin sheets 22a and 22b, the surface protecting resin sheets 24a and 24b, the bottom substrate supporting resin sheet 28, the lid substrate supporting resin sheet 47, and the like are formed from a synthetic resin sheet. be able to. Examples of synthetic resin sheets used here include sheets made of α-olefin such as polyethylene, LLDPE, polypropylene, and polybutylene, heat such as polystyrene, polyvinyl chloride, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polycarbonate, polyester, and polyamide. Examples thereof include a sheet made of a plastic resin. In the present invention, the resin sheet provided with the predetermined form as described above is preferably produced by various molding methods such as vacuum molding, compression molding, and extrusion molding. In the case of producing a resin sheet shaped into a specific shape used in the above, it is preferable to use a hot-melt resin. Such a resin sheet may contain various additives. Examples of such additives include antistatic agents, conductive fillers, colorants, antioxidants and the like. Particularly in the present invention, it is preferable to blend an antistatic agent and / or a conductive filler. That is, the substrate transport container may store a substrate in which a semiconductor is incorporated. In such a case, it is necessary to quickly discharge and remove the potential generated by friction or the like. It is preferable to add a conductive filler. Examples of such antistatic agents and conductive fillers include conductive carbon, conductive metal, and conductive surfactant. When such an antistatic agent and / or conductive filler is blended, these components are used in such an amount that they are detached from the surface of the resin sheet and do not contaminate the stored substrate. It is used in an amount in the range of 0.1 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the resin component to be formed. By blending the antistatic agent and / or the conductive filler in this way, the resin sheet usually has a volume resistivity of about 10 3 to 10 12 Ω · cm, and the electronic component is mounted. Even if a substrate is used, its electrical characteristics are not impaired by static electricity.

このような樹脂からなる樹脂シートは、上述のように例えば真空成形などによって形成することができ、通常の場合、この樹脂シートが配置される容器本体部の壁面の表面形状と略同一の形状に賦形される。このように容器本体部の配置壁面ごとに樹脂シートを形成することにより、形成される樹脂シートの可撓性が損なわれることなく、格納される基板60内部に生ずる内部応力を非常に効率よく吸収することができる。従って、本発明で使用される樹脂シートは、各配置壁面ごとに製造することが望ましいが、例えばシート面支持溝26が形成されたシートと、これに隣接する支持溝が形成されていないシートとを一体に形成したL字型シートを用いても、シート面支持溝26が形成された壁面基板支持用樹脂シート22a,22bの蛇腹状のシート面支持溝26の可撓性は損なわれることがないので、上記の
ようなL字型に形成した樹脂シートを用いることもできる。また、同様に底部が形成されていない筒状の樹脂シートにおいても蛇腹状のシート面支持溝26の可撓性は損なわれることがないので、このように樹脂シートを角筒状にしてもよい。このように角筒状に樹脂シートを形成しても、底部がないので容器本体部へのシートの挿入が特に困難になるということはない。
The resin sheet made of such a resin can be formed by, for example, vacuum forming as described above. In a normal case, the resin sheet has substantially the same shape as the surface shape of the wall surface of the container main body on which the resin sheet is disposed. Shaped. By forming a resin sheet for each wall surface of the container body in this manner, the internal stress generated inside the stored substrate 60 can be absorbed very efficiently without impairing the flexibility of the formed resin sheet. can do. Therefore, the resin sheet used in the present invention is preferably manufactured for each arrangement wall surface, for example, a sheet in which the sheet surface support groove 26 is formed, and a sheet in which the support groove adjacent thereto is not formed. Even if an L-shaped sheet integrally formed is used, the flexibility of the bellows-like sheet surface support groove 26 of the resin sheet 22a, 22b for supporting the wall surface substrate on which the sheet surface support groove 26 is formed may be impaired. Since there is no, the resin sheet formed in the above L shape can also be used. Similarly, the flexibility of the bellows-like sheet surface support groove 26 is not impaired even in a cylindrical resin sheet in which the bottom portion is not formed, and thus the resin sheet may be formed in a rectangular tube shape in this way. . Thus, even if the resin sheet is formed in a rectangular tube shape, there is no bottom portion, so that it is not particularly difficult to insert the sheet into the container main body.

しかしながら、角筒状のシートに底部をつけてしまうと、この有低角筒状のシート複合ボックスは、容器本体部への挿入が著しく困難になると共に、収納基板の応力を吸収する蛇腹状の支持溝が底部の縁部で固定されてしまい、その可撓性が損なわれるので、本発明の基板搬送用容器におけるような、基板自体に生ずる内部応力に起因する基板の損傷の発生を低減することができない。   However, if the bottom portion is attached to the rectangular tube-shaped sheet, this low-angle tube-shaped sheet composite box becomes extremely difficult to insert into the container main body and has a bellows shape that absorbs the stress of the storage substrate. Since the support groove is fixed at the edge of the bottom portion and its flexibility is impaired, the occurrence of damage to the substrate due to internal stress generated in the substrate itself as in the substrate transport container of the present invention is reduced. I can't.

本発明で使用する基板搬送用容器は、上記のような構成を有しており、この容器内に基板を格納して安全に基板を搬送することができる。即ち、本発明で使用する基板搬送用容器は、耐衝撃性および断熱性に優れた発泡樹脂で容器本体部および蓋体が形成されているので、外部からの衝撃および外部の温度変化などから基板を保護することができるのは勿論、格納された基板によって生ずる内部応力(主として基板の自重によって生ずる応力)に対しても、容器内の該当壁面などに僅かな空隙を形成して配置された樹脂シートの可撓性によって吸収することができ、格納基板をより安全に搬送あるいは保管することができる。さらに、本発明の基板搬送用容器内部に配置されている樹脂シートは、該当壁面に固定されておらず、僅かな空隙を形成して配置されているが、この樹脂シートが容器内に倒れ込むのを防止する手段が形成されており、この樹脂シートは所定に位置に確実に配置されているので、この基板搬送用容器を実際に使用する基板メーカー等において、樹脂シートが所定の位置に正確に配置されているかどうかを確認する必要はない。さらに、本発明のように基本的には樹脂シートを、壁面に対して個別独立に配置することにより、樹脂シートの装着が非常に簡単になる。   The substrate transport container used in the present invention has the above-described configuration, and the substrate can be safely transported by storing the substrate in the container. That is, the substrate transport container used in the present invention is formed from a foamed resin excellent in impact resistance and heat insulation, and the container body and the lid are formed. Of course, it is possible to protect the resin from the internal stress generated by the stored substrate (mainly stress caused by the weight of the substrate), and the resin is arranged with a slight gap on the corresponding wall surface in the container. The sheet can be absorbed by the flexibility of the sheet, and the storage substrate can be transported or stored more safely. Furthermore, the resin sheet disposed inside the substrate transporting container of the present invention is not fixed to the corresponding wall surface and is disposed with a slight gap, but the resin sheet falls into the container. Since the resin sheet is securely arranged at a predetermined position, the resin sheet is accurately placed at a predetermined position in a substrate manufacturer that actually uses the substrate transport container. There is no need to check if it is deployed. Further, basically, the resin sheet is arranged individually and independently with respect to the wall surface as in the present invention, so that the mounting of the resin sheet becomes very simple.

また、底上げ部材を用いることにより、搬送しようとする基板に対応させて容器の深さを調整することができ、容器内に余分な空間が形成されないようにすることができるので、より安全に基板を搬送することができる。   Further, by using the bottom raising member, the depth of the container can be adjusted corresponding to the substrate to be transported, and an extra space can be prevented from being formed in the container. Can be transported.

本発明は、上記のような構成を有するが、本発明の目的を損なわない範囲内で種々改変することができる。
例えば、基板搬送用容器に気体交換口を形成して、この基板搬送用容器内の空気を、窒素ガス、アルゴンガスなどの不活性ガスで置換することもできる。
The present invention has the above-described configuration, but can be variously modified within a range that does not impair the object of the present invention.
For example, a gas exchange port may be formed in the substrate transport container, and the air in the substrate transport container may be replaced with an inert gas such as nitrogen gas or argon gas.

また、この基板搬送用容器の外周部にバンドかけ凹部を形成して、この基板搬送用容器の密閉性を向上させ、さらに不注意などによる蓋体の脱落を防止するためのバンドかけを容易に行えるようにすることができる。   In addition, a banding recess is formed on the outer periphery of the substrate transporting container to improve the sealing performance of the substrate transporting container and to facilitate banding to prevent the lid from falling off due to carelessness. Can be done.

このような基板搬送用容器は、通常の場合、格納されている基板が起立するように使用されるが、このような基板搬送用容器の積み込み方向を明確にするために、容器に積み込み方向を明示する印を賦すこともできる。   Such a substrate transfer container is usually used so that a stored substrate stands up. In order to clarify the loading direction of such a substrate transfer container, the loading direction of the container is set. You can also mark it clearly.

このような基板搬送用容器は、基板の移動の際に好適に使用することができるが、移動時だけに限らず、保管時などにも使用することができるのは勿論である。   Such a substrate transport container can be suitably used when the substrate is moved, but it is needless to say that it can be used not only when the substrate is moved but also during storage.

本発明で使用する基板搬送用容器を構成する容器本体部および蓋体、さらには底上げ部材は、耐衝撃性および断熱性に優れた樹脂発泡体で形成されているので、外部からの衝撃および外部の環境の変化に対しても非常に良好に格納基板を保護することができることは勿論、収納されている基板自体の自重などによって基板自体に生ずる内部応力も、容器本体などの壁面に形成された基板の保持溝と略同一形状に賦形された樹脂シートを、壁面に対して固定せずに、僅かな空隙を形成して配置することにより、この僅かな空隙によって吸収され、格納基板の破損を防止することができる。   Since the container main body and the lid, and the bottom raising member constituting the substrate transport container used in the present invention are formed of a resin foam excellent in impact resistance and heat insulation, external impact and external In addition to being able to protect the storage board very well against environmental changes, internal stresses generated on the board itself due to its own weight are also formed on the wall surface of the container body and the like. The resin sheet formed in the same shape as the holding groove of the board is not fixed to the wall surface, and is formed by forming a slight gap so that it is absorbed by the slight gap and the storage board is damaged. Can be prevented.

このように樹脂シートは、該当する壁面に固定されずに配置されているだけであるけれども、これらの樹脂フィルムの倒れ込みが有効に防止されているので、本発明の基板搬送用容器を安定した状態で供給することができる。   Thus, although the resin sheet is arranged without being fixed to the corresponding wall surface, since the falling of these resin films is effectively prevented, the substrate transfer container of the present invention is in a stable state. Can be supplied at.

さらに、従来のように内張り材をボックスのような形態で容器本体部に挿入しておらす、基本的にはシートの状態で当接壁面等の表面に配置しているので、本発明の基板搬送用容器は、非常に容易に製造することができる。   Further, the lining material is inserted into the container main body in the form of a box as in the prior art, and is basically disposed on the surface of the abutting wall surface in the form of a sheet, so the substrate of the present invention The transport container can be manufactured very easily.

しかも、本発明の基板搬送用容器の底上げ部材を使用することにより、基板搬送用容器内に余剰に空間をなくすることができると共に、この底上げ部材が、壁面に配置した樹脂シートに対する非常に良好な倒れ込み防止手段となり、底上げ部材を用いることにより、この基板搬送用容器は、非常に安定した状態を維持することができる。   In addition, by using the bottom raising member of the substrate transporting container of the present invention, it is possible to eliminate excessive space in the substrate transporting container, and this bottom raising member is very good for the resin sheet disposed on the wall surface. By using the bottom raising member, the substrate carrying container can be kept in a very stable state.

さらに、樹脂シートに帯電防止剤などを配合することにより、基板などに生ずる電位を効率的に除去することができるので、この基板にICなどの電子部品が実装されている場合であっても、実装されている電子部品が帯電電圧によって損傷を受けることを防止することができる。   Furthermore, by adding an antistatic agent or the like to the resin sheet, the potential generated in the substrate can be efficiently removed, so even when an electronic component such as an IC is mounted on this substrate, It is possible to prevent the mounted electronic component from being damaged by the charging voltage.

このように上記のような構成を有する基板搬送用容器を用いることにより、搬送時あるいは保管時などにおいて、基板を損傷させずに保持することができる。
このような基板搬送用容器は、液晶基板、液晶用ガラス基板、配線基板、回路基板などの基板を安全に移送、保管することができる。
Thus, by using the substrate transport container having the above-described configuration, the substrate can be held without being damaged during transport or storage.
Such a substrate transport container can safely transport and store a substrate such as a liquid crystal substrate, a glass substrate for liquid crystal, a wiring substrate, and a circuit substrate.

図1は、本発明で使用する第1の基板搬送用容器の分解斜視図である。FIG. 1 is an exploded perspective view of a first substrate transport container used in the present invention. 図2は、本発明で使用する第2の基板搬送用容器の分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of the second substrate transport container used in the present invention. 図3は、本発明の底上げ部材の一例を示す分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view showing an example of the bottom raising member of the present invention. 図4は、この基板支持溝の状態を拡大して示す拡大説明図である。FIG. 4 is an enlarged explanatory view showing the state of the substrate support groove in an enlarged manner. 図5は、他の壁面23a,23bの表面を突出させて、壁面基板支持用樹脂シート22a,22bの倒れ込みを防止する態様の例を示す図である。FIG. 5 is a view showing an example of a mode in which the wall surfaces 23a and 23b are protruded to prevent the wall surface substrate supporting resin sheets 22a and 22b from falling down.

符号の説明Explanation of symbols

10・・・(第1の)基板搬送用容器
11・・・(第2の)基板搬送用容器
12・・・容器本体部
13a,13b・・・対峙する一対の壁面
14・・・開口部
15・・・凸部
16・・・基板支持溝
16a・・・支持凸条
17・・・底部
18・・・シート挟みこみスリット
19・・・僅かな空隙
22a,22b・・・壁面基板支持用樹脂シート
23a,23b・・・他の一対の壁面
24a,24b・・・表面保護用樹脂シート
25a・・・凸条
25b・・・突起
26・・・シート面支持溝
26a・・・シート面凸条
27・・・底部
28・・・底部基板支持用樹脂シート
30・・・底上げ部材
31・・・僅かな空隙
36・・・低部支持体溝
45・・・蓋体
47・・・蓋体基板支持用樹脂シート
48・・・蓋体支持溝
60・・・基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... (1st) board | substrate conveyance container 11 ... (2nd) board | substrate conveyance container 12 ... Container body part 13a, 13b ... A pair of wall surface 14 ... opening part which opposes 15 ... convex portion 16 ... substrate support groove 16a ... support projection 17 ... bottom 18 ... sheet nipping slit 19 ... slight gaps 22a, 22b ... for wall surface substrate support Resin sheets 23a, 23b ... the other pair of wall surfaces 24a, 24b ... surface protecting resin sheet 25a ... ridges 25b ... projections 26 ... sheet surface support grooves 26a ... sheet surface convex Strip 27 ... Bottom 28 ... Bottom substrate supporting resin sheet 30 ... Bottom raising member 31 ... Slight gap 36 ... Lower part support groove 45 ... Lid 47 ... Lid Substrate support resin sheet 48 ... Lid support groove 60 ... Substrate

Claims (2)

発泡樹脂製の容器本体部内に収納されて、該容器本体部内の収納深さを調製すると共に、該容器本体内の対峙する壁面に僅かな空隙を形成して配置される面壁面基板支持用樹脂シートと共同して、該容器本体部に収納される基板を保持する保持溝が表面に形成されている発泡樹脂製の板状体であることを特徴とする基板搬送用容器の底上げ部材。   A resin for supporting a wall surface substrate that is accommodated in a container body made of foamed resin, adjusts the storage depth in the container body, and is arranged with a slight gap formed on the opposing wall surface in the container body. A bottom-up member for a container for transporting a substrate, which is a foamed resin plate-like body having a holding groove for holding a substrate housed in the container main body in cooperation with the sheet. 上記底上げ部材が、発泡樹脂製の板状体と、該発泡樹脂製の板状体の表面の形状と略同一の形状に賦形された底部基板支持用樹脂シートとからなり、板状体の表面に僅かな空隙して該底部基板支持用樹脂シートが配置されてなることを特徴とする請求項第1項記載の底上げ部材。   The bottom raising member comprises a plate-like body made of foamed resin, and a resin sheet for supporting the bottom substrate formed into a shape substantially the same as the shape of the surface of the plate-like body made of foamed resin. 2. The bottom raising member according to claim 1, wherein the bottom substrate supporting resin sheet is disposed with a slight gap on the surface.
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