JP2006286654A - Substrate for organic electroluminescent display device, display device, and manufacturing method of the display device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置用基板、表示装置およびその製造方法に係り、特にそのパターン形成に関する。 The present invention relates to a substrate for an organic electroluminescence display device, a display device, and a manufacturing method thereof, and more particularly to pattern formation thereof.
エレクトロルミネッセンス素子は、種々の表示装置や光源あるいは液晶のバックライト、光通信機器における発光素子などに広く利用されている。エレクトロルミネッセンス素子は、固体蛍光性物質の電界発光を利用した発光デバイスであり、現在は無機系材料を発光物質として用いた、無機エレクトロルミネッセンス素子が実用化され、液晶ディスプレイのバックライトやフラットディスプレイなど、広範囲への応用が展開され始めている。しかしながら、無機エレクトロルミネッセンス素子は発光に必要な電圧が１００Ｖ以上と高く、しかも青色発光が困難であるため、ＲＧＢの三原色によるフルカラー化は困難であった。 Electroluminescent elements are widely used for various display devices, light sources, liquid crystal backlights, light emitting elements in optical communication devices, and the like. Electroluminescent elements are light-emitting devices that use electroluminescence of solid fluorescent materials. At present, inorganic electroluminescent elements using inorganic materials as luminescent materials have been put into practical use, such as backlights and flat displays for liquid crystal displays. A wide range of applications has begun to be deployed. However, since the inorganic electroluminescence element has a high voltage required for light emission of 100 V or more and is difficult to emit blue light, it has been difficult to achieve full color using RGB three primary colors.
一方、有機材料を用いたエレクトロルミネッセンス素子についても古くからさまざまな研究が重ねられてきたが、発光効率が悪いことから本格的な実用化には進展していなかった。しかしながら、近年になって、有機材料を正孔輸送層と発光の2層に分けた機能分離型の積層構造を有する有機エレクトロルミネッセンス素子が提案され、１０Ｖ以下の低電圧で高輝度を得ることができることが証明された。以降、有機エレクトロルミネッセンス素子が大きな注目を浴びるようになり、現在も機能分離型の積層構造を有する有機エレクトロルミネッセンス素子の研究が広く展開されている。 On the other hand, various studies have been made on electroluminescence elements using organic materials since long ago, but they have not been put into full-scale practical use due to their low luminous efficiency. However, in recent years, an organic electroluminescent device having a functionally separated laminated structure in which an organic material is divided into a hole transport layer and a light emitting layer has been proposed, and high luminance can be obtained at a low voltage of 10 V or less. Prove that you can. Since then, organic electroluminescence devices have attracted a great deal of attention, and research on organic electroluminescence devices having a function-separated stacked structure has been widely developed.
通常の有機エレクトロルミネッセンス素子について、説明する。有機エレクトロルミネッセンス素子は、通常、透光性のガラス基板表面に、スパッタリング法や抵抗加熱蒸着法などによって形成された酸化インジウム錫（ＩＴＯ）などの透明導電膜からなる第1の電極と、該第1の電極上に形成されたポリ（2-メトキシ−５−ドデシロキ−ｐ−フェニレンビニレン）（poly（2-metｈoky−５−dodecyloxy−ｐ−phenylene vinylene））（以下MDOPPVと略称する）からなる発光層と、発光層上に真空蒸着法などにより形成されたAlなどの金属製の第２の電極とを順次積層して構成されている。 A normal organic electroluminescence element will be described. The organic electroluminescence element is usually a first electrode made of a transparent conductive film such as indium tin oxide (ITO) formed on the surface of a light-transmitting glass substrate by sputtering or resistance heating vapor deposition, and the like. Light emission comprising poly (2-methoxy-5-dodecyloxy-p-phenylene vinylene) (hereinafter abbreviated as MDOPPV) formed on one electrode A layer and a second electrode made of a metal such as Al formed on the light emitting layer by vacuum deposition or the like are sequentially laminated.
かかる構成を有する有機エレクトロルミネッセンス素子に直流電圧を印加すると、第1の電極から発光層に正孔が注入され、第２の電極から発光層に電子が注入される。発光層では正孔と電子の再結合が生じ、これに伴って生成される励起子が励起状態から基底状態に移行する際に発光現象が起こる。この場合は、発光層にMDOPPVを用いることにより黄色の発光が得られる。また有機化合物の分子構造を変更することによって理論的には任意の発光色を得ることも可能である。 When a DC voltage is applied to the organic electroluminescence element having such a configuration, holes are injected from the first electrode into the light emitting layer, and electrons are injected from the second electrode into the light emitting layer. In the light emitting layer, recombination of holes and electrons occurs, and a light emission phenomenon occurs when excitons generated thereby shift from the excited state to the ground state. In this case, yellow light emission can be obtained by using MDOPPV in the light emitting layer. In addition, it is theoretically possible to obtain any emission color by changing the molecular structure of the organic compound.
ところで、この発光層に用いられているMDOPPVのようなポリマーは光酸化によりドラスティックな変化をすることが知られている。すなわち、有効π共役長の短縮化と分子量の低量化に起因するバンド間遷移に対応する光学吸収のブリーチングすなわち白色化が観察されている。このように、空気中での光照射によるフォトルミネッセンスの消光が研究されており、これらは、カルボニルグループのような欠陥によるものであり、これらの欠陥はエキシトンおよびまたはエキシトン−ポーラロンのような発光種に対して、消光中心として作用するものであるといわれている。 By the way, it is known that a polymer such as MDOPPV used in the light emitting layer changes drastically by photooxidation. That is, bleaching of optical absorption corresponding to interband transition caused by shortening of effective π conjugate length and lowering of molecular weight, that is, whitening, has been observed. Thus, quenching of photoluminescence by light irradiation in air has been studied, and these are due to defects such as carbonyl groups, which are luminescent species such as excitons and / or exciton-polarons. On the other hand, it is said to act as a quenching center.
この現象を利用して、有機エレクトロルミネッセンス素子のパターニングを行う例が報告されている。しかしながらこの方法は、発光層を形成した後、第２の電極の形成に先立ち、酸素雰囲気中で光照射を行い、パターン露光を行う方法であり、パターン形成後に第２の電極を形成しなければならず、真空蒸着工程で、基板が高温となると、素子領域の劣化が大きく、発光領域も良好に発光しなくなり、充分なコントラストを得ることができないという問題があった。 An example in which an organic electroluminescence element is patterned using this phenomenon has been reported. However, this method is a method in which, after forming the light emitting layer, prior to the formation of the second electrode, light irradiation is performed in an oxygen atmosphere, and pattern exposure is performed. In other words, when the temperature of the substrate becomes high in the vacuum deposition process, there is a problem that the element region is greatly deteriorated, the light emitting region does not emit light well, and sufficient contrast cannot be obtained.
また、真空蒸着工程における温度で、前述の消光中心が広がり、非発光領域が拡張され、像の輪郭が広がるというような現象がみられることがあった。 In addition, the temperature in the vacuum deposition process sometimes causes the phenomenon that the above-mentioned extinction center spreads, the non-light emitting region is expanded, and the contour of the image is widened.
さらにまた、パターニングは、イメージ形成のための光照射から、真空蒸着工程を経て、完成するものであるため、形成すべきイメージの決定から完成までに、多大な時間を要する、すなわち、TAT（Turn Around Time）が長いという問題があった、本発明は前記実状に鑑みてなされたもので、コントラストが大きく、信頼性の高い有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することを目的とする。 Furthermore, since patterning is completed from light irradiation for image formation through a vacuum deposition process, it takes a long time from determination of an image to be formed to completion, that is, TAT (Turn). The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide an organic electroluminescence device having a large contrast and high reliability.
また、発注から完成までに要する時間が短く、作業性よく形成することのできる有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供することを目的とする。 It is another object of the present invention to provide a method for manufacturing an organic electroluminescence element that can be formed with good workability with a short time required from ordering to completion.
そこで本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、基板と、前記基板上に形成された第1の電極と、前記第１の電極上に形成された発光層と、前記発光層上に形成され、酸素分子を透過しうる程度の開口径をもつ開孔を有する導電膜からなる第２の電極とを備え、前記発光層の一部の領域が、光と、前記第2の電極を介して到達した酸素とを用いた光選択酸化により選択的に形成された酸化物層を形成しており、前記酸化物層の存在する領域は、非発光領域を構成していることを特徴とする。 Therefore, an organic electroluminescence display device of the present invention includes a substrate, a first electrode formed on the substrate, a light emitting layer formed on the first electrode, an oxygen layer formed on the light emitting layer, And a second electrode made of a conductive film having an opening having a diameter enough to transmit molecules, and a partial region of the light emitting layer reaches through the second electrode. An oxide layer selectively formed by photo-selective oxidation using oxygen is formed, and a region where the oxide layer exists constitutes a non-light-emitting region.
また、本発明は、上記有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、光透過性の基板、前記第1の電極は光透過性材料でそれぞれ構成されており、前記非発光領域は、前記第2の電極側からの酸素の侵入と、前記基板側からの光照射とによって生じる光酸化によって形成されたものであるものを含む。 In the organic electroluminescence display device according to the present invention, a light-transmitting substrate, the first electrode is made of a light-transmitting material, and the non-light-emitting region is formed from the second electrode side. And those formed by photo-oxidation caused by the intrusion of oxygen and light irradiation from the substrate side.
また、本発明は、上記有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記第2の電極は、光透過性膜で構成されており、前記非発光領域は前記第2の電極を透過した光を用いた光選択酸化によって形成されたものを含む。 Further, in the organic electroluminescence display device according to the present invention, the second electrode is formed of a light transmissive film, and the non-light-emitting region is light-selective using light transmitted through the second electrode. Includes those formed by oxidation.
また、本発明は、上記有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記第2の電極は、光透過性膜で構成されており、前記非発光領域は前記第2の電極を透過した光と、前記基板側からの光との両方を用いた光選択酸化によって形成されたものを含む。 In the organic electroluminescence display device according to the present invention, the second electrode is formed of a light-transmitting film, and the non-light-emitting region includes light transmitted through the second electrode, and the substrate side. And those formed by photoselective oxidation using both the light from
また、本発明は、上記有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記第2の電極は、多孔性のアルミニウムからなるものを含む。 In the organic electroluminescence display device according to the present invention, the second electrode includes one made of porous aluminum.
また、本発明は、上記有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記第2の電極は、可視光に対する光透過率が３０％以上であるものを含む。 Moreover, the present invention includes the organic electroluminescence display device, wherein the second electrode has a light transmittance of 30% or more for visible light.
また、本発明は、上記有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記第2の電極は、遮光性導電膜から構成されているものを含む。 In the organic electroluminescence display device according to the present invention, the second electrode includes a light-shielding conductive film.
また、本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法は、基板表面に、第1の電極を形成する工程と、前記第１の電極上に発光層を形成する工程と、前記発光層上に、酸素分子を透過しうる程度の開口径をもつ開孔を有する導電膜からなる第２の電極を形成し、発光層が前記第1および第2の電極で挟まれたサンドイッチ構造の素子を形成する工程と、前記サンドイッチ構造の素子に対し、第1または前記第2の電極側から選択的に光照射を行い、光選択酸化により酸化物層からなる非発光領域を形成するパターン露光工程とを含む。 In addition, the method for manufacturing an organic electroluminescence display device of the present invention includes a step of forming a first electrode on a substrate surface, a step of forming a light emitting layer on the first electrode, and the light emitting layer. A second electrode made of a conductive film having an opening having a diameter that can transmit oxygen molecules is formed, and an element having a sandwich structure in which a light emitting layer is sandwiched between the first and second electrodes is formed. And a pattern exposure step of selectively irradiating the sandwich-structured element from the first or second electrode side to form a non-light emitting region made of an oxide layer by photoselective oxidation. .
また、本発明は、上記有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、前記第２の電極は、酸素および光の透過を許す程度の光透過性の多孔性薄膜であり、前記パターン露光工程は、前記第2の電極側からの光照射によって光酸化を行う工程であるものを含む。 In the method for manufacturing an organic electroluminescence display device according to the present invention, the second electrode is a light-transmitting porous thin film that allows transmission of oxygen and light, and the pattern exposure step includes the step of This includes a step of performing photo-oxidation by light irradiation from the second electrode side.
また、本発明は、上記有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、前記第２の電極は、酸素の透過を許す程度の遮光性の多孔性薄膜であり、前記パターン露光工程は、前記第１の電極側からの光照射によって光酸化を行う工程であるものを含む。 In the method of manufacturing an organic electroluminescence display device according to the present invention, the second electrode is a light-blocking porous thin film that allows permeation of oxygen, and the pattern exposure step includes the first step. Including the step of performing photo-oxidation by light irradiation from the electrode side.
また、本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示装置用基板は、基板と、前記基板上に形成された第1の電極と、前記第１の電極上に形成された発光層と、前記発光層上に形成された第２の電極とを備え、前記第2の電極は、酸素分子を透過しうる程度の開口径をもつ開孔を有する導電膜で構成されており、前記発光層は、光照射と前記第2の電極を介して到達した酸素とを用いた光選択酸化により、選択的に酸化物層を形成することにより、非発光領域を構成しうるように構成される。 The organic electroluminescence display device substrate of the present invention is formed on a substrate, a first electrode formed on the substrate, a light emitting layer formed on the first electrode, and the light emitting layer. The second electrode is composed of a conductive film having an opening having a diameter that allows oxygen molecules to pass therethrough, and the light-emitting layer includes light irradiation and the second electrode. A non-light-emitting region can be formed by selectively forming an oxide layer by selective photooxidation using oxygen that has reached through the second electrode.
また、本発明は、上記有機エレクトロルミネッセンス表示装置用基板において、前記第2の電極は、酸素および光の透過を許す程度の光透過性の多孔性薄膜であり、前記発光層は、前記第2の電極側からの光照射と前記第2の電極を介して到達した酸素とによる、光選択酸化により選択的に酸化物層を形成することにより、非発光領域を構成しうるように構成されるものを含む。 In the organic electroluminescence display device substrate according to the present invention, the second electrode is a light-transmitting porous thin film that allows transmission of oxygen and light, and the light-emitting layer includes the second electrode. A non-light-emitting region can be configured by selectively forming an oxide layer by light selective oxidation by light irradiation from the electrode side and oxygen that has reached through the second electrode. Including things.
また、本発明は、上記有機エレクトロルミネッセンス表示装置用基板において、前記第2の電極は、酸素の透過を許す程度の遮光性の多孔性薄膜であり、前記基板は光透過性の基板、前記第1の電極は光透過性材料で構成されており、前記発光層は、前記第１の電極側からの光照射と前記第2の電極を介して到達した酸素とを用いた光選択酸化により選択的に酸化物層を形成することにより、非発光領域を構成しうるように構成されているものを含む。 Further, the present invention provides the organic electroluminescence display device substrate, wherein the second electrode is a light-shielding porous thin film that allows permeation of oxygen, the substrate is a light-transmissive substrate, The electrode of 1 is made of a light transmissive material, and the light emitting layer is selected by light selective oxidation using light irradiation from the first electrode side and oxygen reached through the second electrode. In particular, a structure in which a non-light emitting region can be formed by forming an oxide layer is included.
また、本発明の参考的構成を以下に示す。
本発明の有機エレクトロルミネッセント素子は、基板と、前記基板上に形成された第1の電極と、前記第１の電極上に形成された発光層と、前記発光層上に形成され、酸素透過性の材料からなる第２の電極とを備え、前記発光層の一部の領域が、光と、前記第2の電極を介して到達した酸素とを用いた光選択酸化により選択的に形成された酸化物層を形成しており、前記酸化物層の存在する領域は非発光領域を構成していることを特徴とする。
Moreover, the reference structure of this invention is shown below.
The organic electroluminescent device of the present invention includes a substrate, a first electrode formed on the substrate, a light emitting layer formed on the first electrode, an oxygen layer formed on the light emitting layer, A second electrode made of a transmissive material, and a part of the light emitting layer is selectively formed by light selective oxidation using light and oxygen that has reached through the second electrode The oxide layer is formed, and the region where the oxide layer is present constitutes a non-light emitting region.
かかる構成によれば、第２の電極の形成後に、前記第2の電極を介して到達した酸素を用いた光選択酸化により、一部の領域の発光層の発光種を消失させているため、パターン形成後に第２の電極の形成のための、真空蒸着も不要であり、基板が高温となって、素子領域が劣化するようなこともなく、充分なコントラストを得ることが可能となる。また、真空蒸着工程における温度で、前述の消光中心が広がり、非発光領域が拡張され、像の輪郭が広がるというような現象もない。さらにまた、パターニングは、イメージ形成のための光照射から、真空蒸着工程を経て、完成するものであるため、形成すべきイメージの決定から完成まで短時間で製造することができる。なお、酸化物層は発光層の深さ全体にわたって形成されている必要はなく、深さ方向の一部であってもよい。 According to this configuration, after the formation of the second electrode, the light-emitting species in the light-emitting layer in a part of the region are eliminated by photoselective oxidation using oxygen that has reached through the second electrode. There is no need for vacuum deposition for forming the second electrode after pattern formation, and it is possible to obtain sufficient contrast without causing the substrate region to become high temperature and deteriorating the element region. Further, there is no phenomenon in which the above-mentioned extinction center spreads, the non-light emitting region is expanded, and the contour of the image is widened at the temperature in the vacuum deposition process. Furthermore, since the patterning is completed from light irradiation for image formation through a vacuum deposition process, it can be manufactured in a short time from determination of an image to be formed to completion. Note that the oxide layer does not need to be formed over the entire depth of the light emitting layer, and may be part of the depth direction.
上記有機エレクトロルミネッセンス素子において、前記基板は光透過性の基板、前記第1の電極は光透過性材料で構成されており、前記非発光領域は、前記第2の電極側からの酸素の侵入と、前記基板側からの光照射とによって生じる光酸化によって形成されたものであってもよい。 In the organic electroluminescence element, the substrate is made of a light transmissive substrate, the first electrode is made of a light transmissive material, and the non-light-emitting region is formed by oxygen intrusion from the second electrode side. Further, it may be formed by photo-oxidation generated by light irradiation from the substrate side.
かかる構成によれば、第２の電極側から発光層に酸素を供給し、光照射側を基板側とするようにしているため、取り扱いが容易であり、パターン形成後必要に応じて、第２の電極側を被覆し、酸素などの透過から保護することにより素子の長寿命化をはかることも可能である。 According to such a configuration, oxygen is supplied to the light emitting layer from the second electrode side, and the light irradiation side is set to the substrate side. Therefore, the handling is easy, and after the pattern formation, the second may be used as necessary. It is also possible to extend the life of the device by covering the electrode side of this and protecting it from permeation of oxygen or the like.
上記有機エレクトロルミネッセンス素子において、前記第2の電極は、光透過性材料で構成されており、前記非発光領域は前記第2の電極を透過した光を用いた光選択酸化によって形成されたものであってもよい。 In the organic electroluminescence element, the second electrode is made of a light-transmitting material, and the non-light emitting region is formed by light selective oxidation using light transmitted through the second electrode. There may be.
かかる構成によれば、第２の電極を光透過性材料で構成し、第２電極側から光照射を行うため、より近接してマスクを置くことが可能であり、パターン精度の向上を図ることが可能となる。 According to such a configuration, the second electrode is made of a light transmissive material, and light irradiation is performed from the second electrode side. Therefore, it is possible to place a mask closer to each other and improve pattern accuracy. Is possible.
上記有機エレクトロルミネッセンス素子において、前記第2の電極は、光透過性材料で構成されており、前記非発光領域は前記第2の電極を透過した光と、前記基板側からの光との両方を用いた光選択酸化によって形成されたものであってもよい。 In the organic electroluminescence element, the second electrode is made of a light-transmitting material, and the non-light emitting region transmits both the light transmitted through the second electrode and the light from the substrate side. It may be formed by the photoselective oxidation used.
かかる構成によれば、両面から光照射を行うことにより、パターニングがなされるため、高精度でパターン切れのよい（輪郭のはっきりした）イメージを得ることが可能となる。 According to such a configuration, since patterning is performed by irradiating light from both sides, it is possible to obtain an image with high accuracy and a good pattern cut (a clear outline).
上記有機エレクトロルミネッセンス素子において、前記第2の電極は、アルミニウム電極であってもよい。 In the organic electroluminescence element, the second electrode may be an aluminum electrode.
上記構成によれば、半透過性をもち、酸素の透過をも許容する膜であるため、極めて高度に第２の電極の機能を奏効する。 According to the above configuration, since the film has semi-permeability and also allows permeation of oxygen, the function of the second electrode is extremely highly effective.
上記有機エレクトロルミネッセンス素子において、前記第2の電極は、可視光に対する光透過率が３０％以上であることを特徴とする。 In the organic electroluminescence element, the second electrode has a light transmittance of 30% or more with respect to visible light.
上記構成によれば、半透過性をもち、酸素の透過をも許容する膜であるため、十分な酸素と光の供給を行うことができ極めて高度に第２の電極の機能を奏効する。 According to the above configuration, since the film has semi-permeability and allows oxygen to pass therethrough, sufficient oxygen and light can be supplied, and the function of the second electrode is extremely highly effective.
上記有機エレクトロルミネッセンス素子において、前記第2の電極は、酸素を透過しうる程度の開口径をもつ開孔の遮光性導電膜から構成されていることを特徴とする。 In the organic electroluminescence element, the second electrode is formed of a light-blocking light-shielding conductive film having an opening diameter enough to transmit oxygen.
上記構成によれば、十分な酸素の供給を行うことができ極めて高度に第２の電極の機能を奏効する。 According to the above configuration, sufficient oxygen can be supplied, and the function of the second electrode is extremely highly effective.
上記有機エレクトロルミネッセンス素子は、基板と、前記基板上に形成された第1の電極と、前記第１の電極上に形成された発光層と、前記発光層上に形成された第２の電極と、前記発光層内または前記発光層の近傍に形成され、前記発光層に酸素を供給し得る酸素供給層と備え、前記発光層の一部の領域が、光と前記酸素供給層からの酸素とを用いた光選択酸化により選択的に形成された酸化物層を形成しており、前記酸化物層の存在する領域は非発光領域を構成してもよい。 The organic electroluminescence element includes a substrate, a first electrode formed on the substrate, a light emitting layer formed on the first electrode, and a second electrode formed on the light emitting layer. An oxygen supply layer formed in or near the light emitting layer and capable of supplying oxygen to the light emitting layer, wherein a part of the light emitting layer includes light and oxygen from the oxygen supplying layer. An oxide layer that is selectively formed by photo-selective oxidation using an oxide may be formed, and a region where the oxide layer exists may constitute a non-light-emitting region.
上記構成によれば、あらかじめ酸素供給層を介在させておくようにしたもので、かかる構成によれば、外部からの酸素の供給なしに、光選択酸化を行うことができ、製造後に酸素の出入がなく、長寿命化を図ることが可能なる。 According to the above configuration, the oxygen supply layer is interposed in advance. According to such a configuration, photoselective oxidation can be performed without supplying oxygen from the outside. It is possible to extend the service life.
上記有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法では、基板表面に、第1の電極を形成する工程と、 前記第１の電極上に発光層を形成する工程と、前記発光層上に、第２の電極を形成し、発光層が前記第1および第2の電極で挟まれたサンドイッチ構造の素子を形成する工程と、前記サンドイッチ構造の素子に対し、第1または前記第2の電極側から選択的に光照射を行い、光選択酸化により酸化物層からなる非発光領域を形成するパターン露光工程とを含むようにしてもよい。 In the method for manufacturing an organic electroluminescent element, a step of forming a first electrode on a substrate surface, a step of forming a light emitting layer on the first electrode, and a second electrode on the light emitting layer Forming a sandwich structure element in which a light emitting layer is sandwiched between the first and second electrodes, and selectively emitting light from the first or second electrode side with respect to the sandwich structure element. A pattern exposure step of performing irradiation and forming a non-light-emitting region made of an oxide layer by selective photo-oxidation may be included.
上記有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、前記第２の電極は、酸素および光の透過を許す程度の光透過性の多孔性薄膜であり、前記パターン露光工程は、前記第2の電極側からの光照射によって光酸化を行う工程であってもよい。 In the method of manufacturing an organic electroluminescence element, the second electrode is a light-transmitting porous thin film that allows transmission of oxygen and light, and the pattern exposure step is performed from the second electrode side. It may be a step of performing photooxidation by light irradiation.
上記有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、前記第２の電極は、酸素の透過を許す程度の遮光性の多孔性薄膜であり、前記パターン露光工程は、前記第１の電極側からの光照射によって光酸化を行う工程であってもよい。 In the method for manufacturing an organic electroluminescence element, the second electrode is a light-blocking porous thin film that allows permeation of oxygen, and the pattern exposure step is performed by light irradiation from the first electrode side. It may be a step of performing photooxidation.
上記有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、前記第1又は第2の電極、または発光層は、酸素を供給する酸素供給層を含み、前記パターン露光工程は、前記酸素供給層からの酸素供給により光酸化を行う工程であってもよい。 In the method of manufacturing an organic electroluminescence element, the first or second electrode or the light emitting layer includes an oxygen supply layer that supplies oxygen, and the pattern exposure step is performed by supplying oxygen from the oxygen supply layer. It may be a step of performing oxidation.
上記表示装置用基板では、基板と、前記基板上に形成された第1の電極と、前記第１の電極上に形成された発光層と、前記発光層上に形成された第２の電極とを備え、 前記第2の電極は、酸素の透過を許す程度の多孔性薄膜であり、前記発光層は、光照射と前記第2の電極を介して到達した酸素とを用いた光選択酸化により、選択的に酸化物層を形成することにより、非発光領域を構成しうるように構成されていてもよい。 In the display device substrate, a substrate, a first electrode formed on the substrate, a light emitting layer formed on the first electrode, and a second electrode formed on the light emitting layer, The second electrode is a porous thin film that allows permeation of oxygen, and the light-emitting layer is formed by light selective oxidation using light irradiation and oxygen that has reached through the second electrode. Alternatively, a non-light emitting region may be formed by selectively forming an oxide layer.
上記表示装置用基板において、前記第2の電極は、酸素および光の透過を許す程度の光透過性の多孔性薄膜であり、前記発光層は、前記第2の電極側からの光照射と前記第2の電極を介して到達した酸素とによる、光選択酸化により選択的に酸化物層を形成することにより、非発光領域を構成しうるように構成されていてもよい。 In the display device substrate, the second electrode is a light-transmitting porous thin film that allows oxygen and light to pass therethrough, and the light-emitting layer includes light irradiation from the second electrode side and the light-emitting layer. A non-light-emitting region may be configured by selectively forming an oxide layer by photoselective oxidation with oxygen that has reached through the second electrode.
上記表示装置用基板において、前記第2の電極は、酸素の透過を許す程度の遮光性の多孔性薄膜であり、前記基板は光透過性の基板、前記第1の電極は光透過性材料で構成されており、前記発光層は、前記第１の電極側からの光照射と前記第2の電極を介して到達した酸素とを用いた光選択酸化により選択的に酸化物層を形成することにより、非発光領域を構成しうるように構成されていてもよい。 In the display device substrate, the second electrode is a light-blocking porous thin film that allows permeation of oxygen, the substrate is a light-transmitting substrate, and the first electrode is a light-transmitting material. The light emitting layer is configured to selectively form an oxide layer by light selective oxidation using light irradiation from the first electrode side and oxygen reached through the second electrode. Thus, the non-light emitting region may be configured.
上記表示装置用基板では、前記基板上に形成された第1の電極と、前記第１の電極上に形成された発光層と、前記発光層上に形成された第２の電極と、前記発光層内または前記発光層の近傍に形成され、前記発光層に酸素を供給し得る酸素供給層とを備え、 前記発光層は、光照射と前記酸素供給層からの酸素とを用いた光選択酸化により選択的に酸化物層を形成することにより、非発光領域を構成しうるように構成されていてもよい。 In the display device substrate, the first electrode formed on the substrate, the light emitting layer formed on the first electrode, the second electrode formed on the light emitting layer, and the light emission An oxygen supply layer formed in the layer or in the vicinity of the light emitting layer and capable of supplying oxygen to the light emitting layer, the light emitting layer comprising light selective oxidation using light irradiation and oxygen from the oxygen supply layer Thus, the non-light emitting region may be formed by selectively forming the oxide layer.
上記表示装置用基板において、前記第2の電極は、アルミニウム電極であってもよい。 In the display device substrate, the second electrode may be an aluminum electrode.
上記表示装置用基板において、前記第2の電極は、可視光に対する光透過率が３０％以上であってもよい。 In the display device substrate, the second electrode may have a light transmittance of 30% or more with respect to visible light.
なお、本発明の基本的思想は、以下に示すとおりである。
( i ) 導電性ポリマー中で電気的に生成された発光種が、光酸化によって形成されるカルボニル基などの欠陥によって消失する。
( ii )光酸化による有効共役長の短縮によって導電性ポリマーの電気的導電性が減少する。
The basic idea of the present invention is as follows.
(i) Luminescent species electrically generated in the conductive polymer disappear due to defects such as carbonyl groups formed by photooxidation.
(ii) The electrical conductivity of the conductive polymer is reduced by shortening the effective conjugate length by photooxidation.
( iii )電極/ポリマインターフェイスにおける電荷注入効率が界面におけるポリマーの光酸化による電荷注入効果が低減する。 (iii) The charge injection efficiency at the electrode / polymer interface reduces the charge injection effect due to photo-oxidation of the polymer at the interface.
かかる構成によれば、極めて容易にイメージを有機エレクトロルミネッセンス素子に焼き付けることができるため、グリーティングカードなどを購入した消費者が日光写真のような原理で所望のパターンを形成して、プレゼントすることも可能である。また、表札などにも、適用可能であり、日曜大工センターのようなところで、即時に所望の文字を入れて販売することも可能である。また、自動車のナンバープレートなどにも適用可能であり、受注から引き渡しまでの時間を極めて短くすることが可能である。 According to such a configuration, an image can be printed onto an organic electroluminescence device very easily, so that a consumer who has purchased a greeting card or the like can form a desired pattern on the principle of a sunlight photograph and give it as a gift. Is possible. It can also be applied to nameplates, and it is also possible to immediately place desired characters for sale at a place such as a do-it-yourself center. It can also be applied to automobile license plates and the like, and the time from order receipt to delivery can be extremely shortened.
かかる構成により、発光効率が高く、コントラストの高い有機エレクトロルミネッセンス素子、表示装置用基板を得ることが可能となる。 With this configuration, it is possible to obtain an organic electroluminescence element and a display device substrate having high luminous efficiency and high contrast.
以上説明してきたように、本発明によれば、第２の電極の形成後に、第2の電極を介して到達した酸素などを利用した光選択酸化により、一部の領域の発光層の発光種を消失させ、発光パターンを囲む非発光領域を形成するようにしているため、パターン形成後に第２の電極の形成のための、真空蒸着も不要であり、コントラストが高く信頼性の高い有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することが可能となる。また、パターニングが極めて容易に実行可能であり、作業性が極めて良好である。 As described above, according to the present invention, after the second electrode is formed, the light-emitting species of the light-emitting layers in a part of the region are formed by photo-selective oxidation using oxygen or the like that has reached through the second electrode. And the non-light-emitting region surrounding the light-emitting pattern is formed, so that vacuum deposition for forming the second electrode is unnecessary after the pattern formation, and the organic electroluminescence has high contrast and high reliability. An element can be provided. Also, patterning can be performed very easily and workability is very good.
次に本発明の実施例について図面を参照しつつ詳細に説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
本発明実施例の有機エレクトロルミネッセンス素子は、図１に示すように、この有機エレクトロルミネッセンス素子は、ガラス基板１表面に形成された酸化インジウム錫（ＩＴＯ）からなる第1の電極２、膜厚２００ｎｍのMDOPPVからなる発光層３と、膜厚６０ｎｍのAl層からなる第２の電極４とを順次積層してなる表示用基板に、光選択酸化により、所望のパターンを露光し、パターンに応じた非発光領域を選択的に形成し、表示画面上に所望の発光パターンをもつようにしたことを特徴とする。
As shown in FIG. 1, the organic electroluminescence element of the embodiment of the present invention is composed of a
製造に際しては、図２Ａ乃至図２Ｄに製造工程図を示すように、まず、１０Ω／□のＩＴＯ薄膜２を形成してなるガラス基板１を用意し、これをエタノール、アセトン及びクロロホルム中で順次超音波洗浄し、乾燥圧縮空気により乾燥させた後、このガラス基板1（図２（Ａ））上に、５mg/mlのクロロホルム溶液を用いて、MDOPPV薄膜３（膜厚200nm）をスピンコート法により形成する（図２（Ｂ））。この時、回転速度は2000rpmとした。
In manufacturing, as shown in FIGS. 2A to 2D, a
この後、このガラス基板１を、真空蒸着装置に装着し、4-6×10-6Torrの真空度となるように排気する。
Thereafter, the
そして、蒸発源としてのアルミニウムを加熱し、抵抗加熱蒸着法によって、膜厚６０ｎｍのAlからなる第２電極３を全面に形成する（図２（Ｃ））。この時、成膜速度は０．１−３ｎｍ/secとした。これは、アルミニウム層が酸素を透過し得る程度の多孔質となるようにしたものである。
Then, aluminum as an evaporation source is heated, and a
このようにして、表示装置用基板が完成する。 In this way, the display device substrate is completed.
この後、所望のマスクパターンを介してタングステンランプからの白色光（λ）を用いて露光を行い、光選択酸化を起こすことにより、図２（D）に示すように、酸化領域Oxを形成する。 Thereafter, exposure is performed using white light (λ) from a tungsten lamp through a desired mask pattern to cause photo-selective oxidation, thereby forming an oxidized region Ox as shown in FIG. .
このようにして形成された有機エレクトロルミネッセンス素子は、光酸化の生じた領域は非発光領域となり、図３および４に示すように基板上にイメージが良好に浮かびあがるようなパターン形成が可能となる。 In the organic electroluminescence device formed in this way, the photo-oxidized region becomes a non-light emitting region, and a pattern can be formed so that an image can be satisfactorily floated on the substrate as shown in FIGS. .
次に、この露光工程において、照射時間を０、１、２、３、５、７分と次第に変化させたときの、選択酸化領域の駆動電圧と発光強度との関係を測定した結果を図５に示す。この図から明らかなように、光照射時間を長くしたとき、発光はほとんどなくなっていることがわかる。これは光選択酸化により、発光層が発光機能を失ったものと考えられる。 Next, in this exposure step, the results of measuring the relationship between the drive voltage of the selective oxidation region and the emission intensity when the irradiation time is gradually changed to 0, 1, 2, 3, 5, 7 minutes are shown in FIG. Shown in As is clear from this figure, it can be seen that when the light irradiation time is increased, light emission is almost lost. This is presumably because the light emitting layer lost its light emitting function due to photoselective oxidation.
また、アルミニウム電極を形成したときとしないときとでの、光照射時間と光照射領域における光吸収強度との関係を測定した結果を図６に示す。この図から明らかなように、アルミニウム電極形成後に光照射を行った場合も、アルミニウム電極を形成するに先立ち光照射を行った場合も、光酸化の程度に大きな差はないことが分かる。 Further, FIG. 6 shows the results of measuring the relationship between the light irradiation time and the light absorption intensity in the light irradiation region with and without forming the aluminum electrode. As is apparent from this figure, it can be seen that there is no significant difference in the degree of photooxidation when light irradiation is performed after forming the aluminum electrode and when light irradiation is performed prior to forming the aluminum electrode.
また、アルミニウム電極を約2倍程度に厚くし、光透過率を７．８％程度にしたときに、同様に光照射を行い、光吸収強度との関係を測定した結果を図７に示す。この結果から、アルミニウム電極の酸素透過率が低下した分、発光強度の低下度が小さく、パターニングした場合はコントラストが低下することがわかる。 FIG. 7 shows the result of measuring the relationship between the light absorption intensity and the light absorption intensity when the aluminum electrode is about twice as thick and the light transmittance is about 7.8%. From this result, it can be seen that the degree of decrease in the emission intensity is small because the oxygen permeability of the aluminum electrode is reduced, and the contrast is lowered when patterning is performed.
次に本発明の第２の実施例について説明する。 Next, a second embodiment of the present invention will be described.
前記第１の実施例では、第２の電極を光透過性材料で構成し、パターニングのための光照射を第２の電極側から行うようにしたが、この例では、図８に示すように、第２の電極を遮光性でありかつ多孔性の導電膜である膜厚数百オングストロームのイリジウム層１４で構成し、前記第2の電極側からの酸素の侵入と、記基板側からの光照射とによって生じる光酸化によって非発光領域を形成するようにしたものである。他の部分については前記第１の実施例と同様に形成する。なおこの酸化イリジウム層は、開口率５０％μｍ程度であった。
In the first embodiment, the second electrode is made of a light transmissive material, and light irradiation for patterning is performed from the second electrode side. In this example, as shown in FIG. The second electrode is composed of an
前記第１の実施例の有機エレクトロルミネッセンス素子と同様の効果を奏効するが、さらに、第２の電極が遮光性材料で構成されているため、背面からの光をすべて前面に送出することができ、輝度の更なる向上を図ることが可能となる。また、イリジウム層は柱状の結晶構造をとるため、ポーラスであり、酸素を透過しやすい構造を有しており、かつ導電性も良好であるため、電極としても有効である。さらにまたイリジウムは酸化されて酸化イリジウムとなり、この柱状結晶の周りに酸化イリジウム層が析出し、酸素非透過性構造となるため、イメージ画像形成後に、酸素の透過による劣化が生じることもない。 Although the same effect as the organic electroluminescence element of the first embodiment is achieved, the second electrode is made of a light-shielding material, so that all the light from the back surface can be sent to the front surface. Further, the luminance can be further improved. In addition, the iridium layer has a columnar crystal structure, is porous, has a structure that easily transmits oxygen, and has good conductivity. Therefore, the iridium layer is also effective as an electrode. Furthermore, iridium is oxidized to iridium oxide, and an iridium oxide layer is deposited around this columnar crystal to form an oxygen non-permeable structure. Therefore, deterioration due to oxygen permeation does not occur after image formation.
なお、イリジウム自体は柱状の結晶構造をとるため、ポーラスであり、酸素を透過しやすい構造を有している。したがって、露光前にはイリジウム層の酸化を防ぐために、酸化防止膜を貼着しておき、使用直前にこの酸化防止膜を剥離し、光照射を行うようにすることにより、さらに良好なイメージ形成が可能となる。 Since iridium itself has a columnar crystal structure, it is porous and has a structure that allows oxygen to easily pass therethrough. Therefore, in order to prevent oxidation of the iridium layer before exposure, an anti-oxidation film is attached, and this anti-oxidation film is peeled off immediately before use, and light irradiation is performed, thereby further improving image formation. Is possible.
また、このように電極構成材料としては、イリジウムのように、その材料自体はポーラスな結晶構造をとるものを使用し、酸化されるとポーラス度が低下し、酸素を通さなくなるような材料を用いることにより、パターン形成後、発光層の劣化を生じるのを防ぐことができ、寿命を長くすることが可能となる。 In addition, as the electrode constituent material, a material that has a porous crystal structure, such as iridium, is used, and a material that reduces the degree of porosity when oxidized and impedes oxygen is used. Thus, after the pattern is formed, the light emitting layer can be prevented from being deteriorated, and the lifetime can be extended.
次に本発明の第３の実施例について説明する。 Next, a third embodiment of the present invention will be described.
前記第１の実施例では、第２の電極を光透過性材料で構成し、パターニングのための光照射を第２の電極側から行うようにしたが、この例では、図９に示すように、同様に透過率３０％のアルミニウム電極４を第２電極として用い、表裏両面からの露光により、パターニングするようにしたことを特徴とするものである。
In the first embodiment, the second electrode is made of a light transmissive material, and light irradiation for patterning is performed from the second electrode side. In this example, as shown in FIG. Similarly, the
かかる構成によれば、両面からの露光によって非発光領域が形成されるため、パターンの増大もなくマスクパターンに対して高精度のパターン形成が可能となる。 According to such a configuration, since the non-light-emitting region is formed by exposure from both sides, it is possible to form a highly accurate pattern with respect to the mask pattern without increasing the pattern.
次に本発明の第４の実施例について説明する。 Next, a fourth embodiment of the present invention will be described.
前記第１乃至３の実施例では、第２の電極を、酸素を透過し得る材料で構成し、パターニングのための酸素を第２の電極を介して外部から供給するようにしていたが、この例では、図１０に示すように、第２の電極の形成に先立ち、前記発光層３の表面に酸素供給層として膜厚１０ｎｍ程度の酸化イリジウム層１０を形成したことを特徴とするものである。他の部分は図１に示した前記第１の実施例と全く同様に形成されているが、この例ではパターニングに際して、赤外線（IR）露光あるいは紫外線（UV）露光を行い、発光層３の表面近傍の酸化イリジウム層１０を励起し、加熱することにより、この酸素が遊離せしめられるとともに、光エネルギーにより発光層を酸化し、酸化領域と化すことにより、非発光領域が形成されるようにしたものである。
In the first to third embodiments, the second electrode is made of a material that can transmit oxygen, and oxygen for patterning is supplied from the outside through the second electrode. In the example, as shown in FIG. 10, prior to the formation of the second electrode, an
図１１は、パターニング後の有機エレクトロルミネッセンス素子を示す図である。かかる構成によれば、外部から酸素を供給するのではなく、酸素供給層をあらかじめ介在させるようにしておき、光ビームによりこの層を励起し、酸素を発生させるようにしたものである。 FIG. 11 is a diagram showing the organic electroluminescence element after patterning. According to such a configuration, oxygen is not supplied from the outside, but an oxygen supply layer is interposed in advance, and this layer is excited by a light beam to generate oxygen.
このようにして、容易に電子ビーム露光工程によってのみ発光パターンの形成を行うことが可能となる。 In this way, it is possible to easily form a light emission pattern only by an electron beam exposure process.
なお、パターニング後に、この酸素供給層からの酸素の放出が問題となるような場合には、図１２に示すように、酸素吸着材２０を、カプセル状にして、埋め込んでおくようにし、最後にこのカプセルを外部からエネルギーを供給することにより、非接触で破壊し、脱酸素効果を奏効し得るようにすることも可能である。
If oxygen release from this oxygen supply layer becomes a problem after patterning, as shown in FIG. 12, the
なお、第２の電極の表面はそのままでもよいが、後で保護膜を形成するようにしてもよいことは言うまでもない。 The surface of the second electrode may be left as it is, but it goes without saying that a protective film may be formed later.
また、発光層を形成する材料としては、前記実施例に限定されることなく、適用可能であり、上記MDOPPVのほか、ポリ(ｐ−フェニレンビニレン）（Poly(p-phenylene vinylene：PPV)とその誘導体（ポリ(２−メトキシ−５−ドデシロキシ−ｐ−フェニレンビニレン）（Poly(2-methoxy-5-(2'-ethylhexyloxy)-p-phenylene vinylene) ）、ポリ(２，５−ジオクチロキシ−ｐ−フェニレンビニレン）（Poly(2,5-dioctyloxy-p-phenylene vinylene)）、ポリ(２，５−ジノニロキシ−ｐ−フェニレンビニレン）（Poly(2,5-dinonyloxy-p-phenylene vinylene)）、ポリ(２，５−ジデシロキシ−ｐ−フェニレンビニレン）（Poly(2,5-didecyloxy-p-phenylene vinylene)））をはじめ、ポリチオフェン（Polythiophene）とその誘導体（ポリ（３−ヘキシルチオフェン）（Poly(3-hexylthiophene)、ポリ（３−ヘプチルチオフェン）（Poly(3-heptylthiophene) ）、ポリ（３−オクチルチオフェン）（Poly(3-ocylthiophene)）、ポリ（３−ノニルチオフェン）（Poly(3-nonylthiophene)）、ポリ（３−デシルチオフェン）（Poly(3-decylthiophene)）、ポリ（３−ウンデシルチオフェン）（Poly(3-undecylthiophene)）、ポリ（３−ドデシルチオフェン）（Poly(3-dodecylthiophene)）、ポリ［３−（ｐ−ドデシルフェニル）チオフェン］（Poly[3-(p-dodecylphenyl) thiophene)]）等）、ポリフルオレン（Polyfluorene）とその誘導体（ポリ（９，９−ジヘキシルフルオレン）（Poly(9,9-dihexylfluorene)）、ポリ（９，９−ジヘプチルフルオレン）（Poly(9,9-diheptylfluorene)）、ポリ（９，９−ジオクチルフルオレン）（Poly(9,9-dioctylfluorene)）、ポリ（９，９−ジデシルフルオレン）（Poly(9,9-didecylfluorene)）、ポリ［９，９−ビス（ｐ−ヘキシルフェニル）フルオレン］（Poly[9,9-bis(p-hexylphenyl)fluorene]）、ポリ［９，９−ビス（ｐ−ヘプチルフェニル）フルオレン］（Poly[9,9-bis(p-heptylphenyl)fluorene]）、ポリ［９，９−ビス（ｐ−オクチルフェニル）フルオレン］（Poly[9,9-bis(p-octylphenyl)fluorene]）等）、ポリアセチレン（Polyacetylene）誘導体(ポリ（１，２−ジフェニルアセチレン）（Poly(1,2-diphenylacetylene)）、ポリ［１−フェニルー２−（ｐ−ブチルフェニル）アセチレン］（ Poly[1-phenyl-2-(p-butylphenyl)acetylene]）、ポリ（１−フェニル−２−メチルアセチレン）（ Poly(1-methyl-2-phenylacetylene)）、ポリ（１−フェニル−２−エチルアセチレン）（Poly(1-ethyl-2-phenylacetylene)）、ポリ（１−フェニル−２−ヘキシルアセチレン）（Poly(1-hexyl-2-phenylacetylene)）、ポリ（フェニルアセチレン）（Poly(phenylacetylene)）等、ポリピリジン（Polypyridine）、ポリ（ピリジルビニレン） Poly(pyridyl vinylene)、ポリフェニレン（Polyphenylene）、ポリフラン（ Polyfurane）、ポリ（セレノフェン）（ Polyselenophene）、ポリ（フェニレン−ｃｏ−チエニレン）（Poly(phenylene-co-thienylene)）、ポリ［１，４−ビス（２−チエニル）フェニレン］（Poly[1,4-bis(2-thienyl)phenylene]）、ポリ（フェニレンエチニレン）（Poly (phenyleneethynylene)）とこれらの誘導体等の、主鎖が炭素同士の飽和（１重）結合と不飽和（２重または３重）結合の連続した繰り返し構造を持つ、いわゆる共役系高分子はもちろんのこと、トリス（８−ハイドロキシキノリン）アルミニウム（Tris(8-hydroxyquinoline)aluminum）(Alq)、クマリン６（Coumarin6, 3-(2-Benzothiazolyl)-7-(diethylamino)coumarin)、クマリン7（Coumarin7, 3-(2-Benzoimidazolyl)-7-(diethylamino)coumarin)）、４−（ジシアノメチレン）−２−メチル−６−（４−ジメチルアミノスチリル）−４Ｈ−ピラン（4-(Dicyanomethylene)-2-methyl-6-(4-dimethylaminostyryl)-4H-pyran）(DCM)、ナイルレッド（Nile Red）、１，１，４，４−テトラフェニル−１，３−ブタジエン（1,1,4,4-Tetraphenyl-1,3-butadiene）、Ｎ，Ｎ’−ジメチルキナクリドン（ N,N-Dimethylquinacrydone） (DMQA)、１，２，３，４，５−ペンタフェニルシクロペンタジエン（1,2,3,4,5-Pentaphenylcyclopentadiene） (PPCP)、Ｎ．Ｎ’−ジフェニルーＮ，Ｎ’−ビス（３−メチルフェニル）−１，１’−ビフェニルー４，４’−ジアミン（N, N'-Diphenyl-N,N'-bis(3-methylphenyl)-1,1'-biphenyl-4,4'-diamine） (TPD)、２−４−（ビフェニルー５−（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−１，３，４−オキシジアゾール（2-(4-Biphenyl)-5-(4-tert-butylphenyl)-1,3,4-oxidiazole） (PBD)、ｐ−ターフェニル（p-Terphenyl）、ｐ−クォーターフェニル（ p-Quaterphenyl）、２,２’−ビチオフェン（ 2,2'-Bithiophene）、２,２’：５,５’−ターチオフェン（ 2,2':5',2''-Terthiophene）、αーヘキサチオフェン（a-Hexathiophene）、アントラセン（ anthracene）、テトラセン（ tetracene）、フタロシアニン（ phthalocyanene）、ポルフィリン（ porphyrin）等の蛍光色素及びこれらの蛍光色素を分子構造中に含む高分子、さらに上記の高分子及び蛍光色素をポリ（Ｎ−ビニルカルバゾール）（Poly(N-vinylcarbazole)） (PVK)、ポリ（メチルメタクリレート）（Poly(methylmethacrylate)）(PMMA)、ポリカーボネート（ Polycarbonate）、ポリスチレン（ Polystyrene）、ポリ（メチルフェニルシラン）（Poly(methylphenylsilane)）、 ポリ（ジフェニルシラン）（Poly(diphenylsilane)）等の絶縁性高分子中に分散した材料等の、光酸化されうる有機電界発光材料全般に適用可能である。 In addition, the material for forming the light emitting layer is not limited to the above-described embodiment, and can be applied. In addition to the above MDOPPV, poly (p-phenylene vinylene: PPV) and its Derivatives (Poly (2-methoxy-5- (2'-ethylhexyloxy) -p-phenylene vinylene)), poly (2,5-dioctyloxy-p- Phenylene vinylene) (Poly (2,5-dioctyloxy-p-phenylene vinylene)), poly (2,5-dinonyloxy-p-phenylene vinylene) (Poly (2,5-dinonyloxy-p-phenylene vinylene)), poly ( In addition to 2,5-didecyloxy-p-phenylene vinylene (Poly (2,5-didecyloxy-p-phenylene vinylene)), polythiophene and its derivatives (poly (3-hexylthiophene) (Poly (3- hexylthiophene), poly (3-heptylthiophene) (Poly (3-heptylth) iophene)), poly (3-octylthiophene) (Poly (3-nonylthiophene)), poly (3-decylthiophene) (Poly (3-decylthiophene)) ), Poly (3-undecylthiophene) (Poly (3-undecylthiophene)), poly (3-dodecylthiophene), poly [3- (p-dodecylphenyl) thiophene] (Poly [ 3- (p-dodecylphenyl) thiophene)])), polyfluorene and its derivatives (Poly (9,9-dihexylfluorene)), Poly (9,9-di) Heptylfluorene) (Poly (9,9-diheptylfluorene)), poly (9,9-dioctylfluorene) (Poly (9,9-dioctylfluorene)), poly (9,9-didecylfluorene) (Poly (9,9 -didecylfluorene)), poly [9,9-bis (p-hexylphenyl) fluore Poly [9,9-bis (p-heptylphenyl) fluorene]), Poly [9,9-bis (p-heptylphenyl) fluorene] Poly [9,9-bis (p-octylphenyl) fluorene] (Poly [9,9-bis (p-octylphenyl) fluorene]), etc.), polyacetylene derivative (poly (1,2-diphenylacetylene)) (Poly (1,2-diphenylacetylene)), poly [1-phenyl-2- (p-butylphenyl) acetylene] (poly [1-phenyl-2- (p-butylphenyl) acetylene]), poly (1-phenyl-) 2-methylacetylene) (Poly (1-methyl-2-phenylacetylene)), poly (1-ethyl-2-phenylacetylene), poly (1-phenyl-2-phenyl) Hexylacetylene (Poly (1-hexyl-2-phenylacetylene)), poly (phenylacetylene), etc., polypyridine (Polyp yridine), poly (pyridyl vinylene), polyphenylene (Polyphenylene), polyfurane (Polyfurane), poly (selenophene) (Polyselenophene), poly (phenylene-co-thienylene) (Poly (phenylene-co-thienylene)) , Poly [1,4-bis (2-thienyl) phenylene] (Poly [1,4-bis (2-thienyl) phenylene]), poly (phenyleneethynylene) and their derivatives, etc. , Tris (8-hydroxyquinoline) aluminum as well as so-called conjugated polymers whose main chain has a continuous repeating structure of saturated (single) bonds and unsaturated (double or triple) bonds between carbons (Tris (8-hydroxyquinoline) aluminum) (Alq), Coumarin6, 3- (2-Benzothiazolyl) -7- (diethylamino) coumarin), Coumarin7 (Coumarin7, 3- (2-Benzoimidazolyl) -7- ( diethylamino) coumarin)), 4- (di Anomethylene) -2-methyl-6- (4-dimethylaminostyryl) -4H-pyran (4- (Dicyanomethylene) -2-methyl-6- (4-dimethylaminostyryl) -4H-pyran) (DCM), Nile Red ( Nile Red), 1,1,4,4-tetraphenyl-1,3-butadiene (1,1,4,4-Tetraphenyl-1,3-butadiene), N, N′-dimethylquinacridone (N, N— Dimethylquinacrydone) (DMQA), 1,2,3,4,5-pentaphenylcyclopentadiene (PPCP), N.I. N'-Diphenyl-N, N'-bis (3-methylphenyl) -1,1'-biphenyl-4,4'-diamine (N, N'-Diphenyl-N, N'-bis (3-methylphenyl) -1 , 1'-biphenyl-4,4'-diamine) (TPD), 2--4- (biphenyl-5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxydiazole (2- (4-Biphenyl) ) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxidiazole) (PBD), p-Terphenyl, p-Quaterphenyl, 2,2'-bithiophene (2,2'-Bithiophene), 2,2 ': 5,5'-Terthiophene (2,2': 5 ', 2' '-Terthiophene), α-Hexathiophene, anthracene ), Tetracene, phthalocyanine, porphyrin, and the like, polymers containing these fluorescent dyes in the molecular structure, and the above polymers and fluorescent colors Poly (N-vinylcarbazole) (PVK), Poly (methylmethacrylate) (PMMA), Polycarbonate, Polystyrene, Poly (methylphenylsilane) ) (Poly (methylphenylsilane)), poly (diphenylsilane) (Poly (diphenylsilane)), and other organic electroluminescent materials that can be photooxidized, such as materials dispersed in an insulating polymer.
また、発光層を適宜選択することにより、単層構造あるいは、多層構造とし、カラー画像を形成するようにすることも可能である。 Further, by appropriately selecting the light emitting layer, it is possible to form a color image with a single layer structure or a multilayer structure.
第１乃至第３の実施例では、第１の電極として、ITOの他、導電性酸化物（アンチモンドープ酸化スズ(Sn02:Sb) (NESA)、フッ素ドープ酸化スズ(Sn02:F)、カドミウムインジウム酸化物(CdIn2O4) (CIO)、カドミウムスズ酸化物 (CdSnO4) (CTO)、酸化亜鉛 (ZnO)、酸化ルテニウム(RuO2)、酸化レニウム(ReO2)、酸化イリジウム(IrO2)等）や導電性高分子（ポリピロール（polypyrrole）、ポリアニリン（polyaniline）、ポリチオフェン（polythiophene）、ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）（ poly(3,4-ethylene dioxithiophene)）(PEDOT)、ポリイソチアナフテン（ polyisothianaphthene）等)等を用いた透明導電薄膜は勿論のこと、アルミニウム（Al）、マグネシウム（ Mg）、カルシウム（Ca）、金（Au）、銀（ Ag）、白金（ Pt）、インジウム（In）、銅（Cu）、ネオジウム（Nd）、ニッケル（Ni）、スズ（ Sn）等全ての半透明金属薄膜が利用可能である。 In the first to third embodiments, as the first electrode, in addition to ITO, conductive oxide (antimony-doped tin oxide (Sn02: Sb) (NESA), fluorine-doped tin oxide (Sn02: F), cadmium indium Oxide (CdIn2O4) (CIO), cadmium tin oxide (CdSnO4) (CTO), zinc oxide (ZnO), ruthenium oxide (RuO2), rhenium oxide (ReO2), iridium oxide (IrO2), etc.) and conductive polymers (Polypyrrole, polyaniline, polythiophene, poly (3,4-ethylenedioxithiophene) (PEDOT), polyisothianaphthene, etc. ) And other transparent conductive thin films, as well as aluminum (Al), magnesium (Mg), calcium (Ca), gold (Au), silver (Ag), platinum (Pt), indium (In), copper ( Cu), neodymium (Nd), nickel (Ni) All semi-transparent metal thin films such as tin (Sn) can be used.
第２の電極としても、アルミニウム（Al）に限定されることなく、カルシウム（Ca）、金（Au）、銀（ Ag）、白金（ Pt）、インジウム（In）、銅（Cu）、ネオジウム（ Nd）などを用いた多孔質金属薄膜の他、酸化イリジウム(IrO2)、ポリピロール（polypyrrole）、ポリアニリン（polyaniline）、ポリ（チオフェン）（polythiophene）、ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）（ poly(3,4-ethylene dioxithiophene)）(PEDOT)、ポリイソチアナフテン（ polyisothianaphthene）等が製膜条件により酸素を透過する多孔質膜とすることができ、利用可能である。 The second electrode is not limited to aluminum (Al), but calcium (Ca), gold (Au), silver (Ag), platinum (Pt), indium (In), copper (Cu), neodymium ( In addition to porous metal thin films using Nd), iridium oxide (IrO2), polypyrrole, polyaniline, poly (thiophene), poly (3,4-ethylenedioxythiophene) (poly (3,4-ethylene dioxithiophene)) (PEDOT), polyisothianaphthene, and the like can be used as porous membranes that transmit oxygen depending on the film forming conditions.
第４の実施例では、電極として、導電性薄膜であればいかなる材料でも利用可能である。一方、酸素供給源として、酸化イリジウム(IrO2)に限らず、比較的小さなエネルギーによる励起で酸素を放出する物質、例えば酸化銀(Ag2O)、酸化クロム(CrO2)、酸化ルテニウム(RuO2)等が利用可能である。 In the fourth embodiment, any material can be used as the electrode as long as it is a conductive thin film. On the other hand, oxygen supply sources are not limited to iridium oxide (IrO2), but materials that release oxygen by excitation with relatively small energy, such as silver oxide (Ag2O), chromium oxide (CrO2), ruthenium oxide (RuO2), etc. Is possible.
また、前記実施例では、発光層を第１および第２の電極で挟んだ構造について説明したが、電子注入層あるいは正孔注入層をこれらの電極と発光層との間に介在させた構造も有効である。またこの構造において、発光層自体は酸化領域を形成することなくそのまま残し、電子注入層あるいは正孔注入層に光選択酸化による非発光領域を形成するようにしてもよい。 In the above embodiment, the structure in which the light emitting layer is sandwiched between the first and second electrodes has been described. However, a structure in which an electron injection layer or a hole injection layer is interposed between these electrodes and the light emitting layer is also possible. It is valid. In this structure, the light emitting layer itself may be left as it is without forming an oxidized region, and a non-light emitting region may be formed in the electron injection layer or the hole injection layer by light selective oxidation.
さらにまた、基板と第１の電極層にバッファ層などの他の層が介在していてもよく、あるいは各層相互間にも、バッファ層など他の層が介在していてもよいことはいうまでもない。 Furthermore, it goes without saying that another layer such as a buffer layer may be interposed between the substrate and the first electrode layer, or that another layer such as a buffer layer may be interposed between the layers. Nor.
以上説明してきたように、本発明によれば、ＴＡＴが短く、製造が容易であることから、通常の有機エレクトロルミネッセンス表示装置だけでなく、購入した消費者が日光写真のような原理で所望のパターンを形成できるグリーティングカード、日曜大工センターのようなところで、即時に所望の文字を入れて販売する表札、自動車のナンバープレートなど、特にＴＡＴの短縮化の必要な種々の物品に有用である。 As described above, according to the present invention, since the TAT is short and the manufacture is easy, not only a normal organic electroluminescence display device but also a purchased consumer is desired by a principle such as a sunlight photograph. It is useful for various articles that require TAT shortening, such as greeting cards that can form patterns, nameplates that immediately sell desired characters for sale, such as do-it-yourself centers, and car license plates.
１ガラス基板
２第１の電極
３発光層
４第２の電極（アルミニウム）
１４第２の電極（イリジウム）
１０酸素供給層
２０酸素吸着剤
1
14 Second electrode (Iridium)
10
Claims (13)
前記発光層の一部の領域が、光と、前記第2の電極を介して到達した酸素とを用いた光選択酸化により選択的に形成された酸化物層を形成しており、前記酸化物層の存在する領域は、非発光領域を構成していることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 A substrate, a first electrode formed on the substrate, a light emitting layer formed on the first electrode, and an opening diameter formed on the light emitting layer and capable of transmitting oxygen molecules. A second electrode made of a conductive film having an opening,
A partial region of the light emitting layer forms an oxide layer that is selectively formed by light selective oxidation using light and oxygen that has reached through the second electrode, and the oxide An organic electroluminescence display device, wherein a region in which a layer exists constitutes a non-light-emitting region.
前記第１の電極上に発光層を形成する工程と、
前記発光層上に、酸素分子を透過しうる程度の開口径をもつ開孔を有する導電膜からなる第２の電極を形成し、発光層が前記第1および第2の電極で挟まれたサンドイッチ構造の素子を形成する工程と、
前記サンドイッチ構造の素子に対し、第1または前記第2の電極側から選択的に光照射を行い、光選択酸化により酸化物層からなる非発光領域を形成するパターン露光工程とを含む有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。 Forming a first electrode on the surface of the substrate;
Forming a light emitting layer on the first electrode;
On the light emitting layer, a second electrode made of a conductive film having an opening having a diameter enough to transmit oxygen molecules is formed, and the light emitting layer is sandwiched between the first and second electrodes. Forming an element of structure;
Organic electroluminescence including a pattern exposure step of selectively irradiating light from the first or second electrode side to the sandwich structure element and forming a non-light emitting region made of an oxide layer by photoselective oxidation Manufacturing method of display device.
前記パターン露光工程は、前記第2の電極側からの光照射によって光酸化を行う工程である請求項８に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。 The second electrode is a light-transmitting porous thin film that allows oxygen and light to pass therethrough,
The method of manufacturing an organic electroluminescence display device according to claim 8, wherein the pattern exposure step is a step of performing photo-oxidation by light irradiation from the second electrode side.
前記パターン露光工程は、前記第１の電極側からの光照射によって光酸化を行う工程である請求項８に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。 The second electrode is a light-shielding porous thin film that allows oxygen to pass therethrough,
The method of manufacturing an organic electroluminescence display device according to claim 8, wherein the pattern exposure step is a step of performing photo-oxidation by light irradiation from the first electrode side.
前記第2の電極は、酸素分子を透過しうる程度の開口径をもつ開孔を有する導電膜で構成されており、
前記発光層は、光照射と前記第2の電極を介して到達した酸素とを用いた光選択酸化により、選択的に酸化物層を形成することにより、非発光領域を構成しうるように構成されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置用基板。 A substrate, a first electrode formed on the substrate, a light emitting layer formed on the first electrode, and a second electrode formed on the light emitting layer,
The second electrode is composed of a conductive film having an opening having an opening diameter enough to transmit oxygen molecules,
The light emitting layer is configured so that a non-light emitting region can be formed by selectively forming an oxide layer by light selective oxidation using light irradiation and oxygen reached through the second electrode. A substrate for an organic electroluminescence display device.
前記発光層は、前記第2の電極側からの光照射と前記第2の電極を介して到達した酸素とによる、光選択酸化により選択的に酸化物層を形成することにより、非発光領域を構成しうるように構成されている請求項1１に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置用基板。 The second electrode is a light-transmitting porous thin film that allows oxygen and light to pass therethrough,
The light emitting layer forms a non-light emitting region by selectively forming an oxide layer by light selective oxidation by light irradiation from the second electrode side and oxygen reached through the second electrode. 12. The organic electroluminescence display device substrate according to claim 11, wherein the substrate is configured to be configured.
前記発光層は、前記第１の電極側からの光照射と前記第2の電極を介して到達した酸素とを用いた光選択酸化により選択的に酸化物層を形成することにより、非発光領域を構成しうるように構成されている請求項1１に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置用基板。 The second electrode is a light-blocking porous thin film that allows oxygen to pass therethrough, the substrate is a light-transmitting substrate, and the first electrode is formed of a light-transmitting material,
The light emitting layer is formed in a non-light emitting region by selectively forming an oxide layer by light selective oxidation using light irradiation from the first electrode side and oxygen reached through the second electrode. The substrate for an organic electroluminescence display device according to claim 11, wherein the substrate is configured to be capable of forming
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