JP2006268955A - Magnetic head positioning controller, magnetic head tester, and magnetic disk tester - Google Patents

Magnetic head positioning controller, magnetic head tester, and magnetic disk tester Download PDF

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JP2006268955A JP2005085291A JP2005085291A JP2006268955A JP 2006268955 A JP2006268955 A JP 2006268955A JP 2005085291 A JP2005085291 A JP 2005085291A JP 2005085291 A JP2005085291 A JP 2005085291A JP 2006268955 A JP2006268955 A JP 2006268955A
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善弘 桜井
Futoshi Kamimura
太志 上村
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  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To quickly, precisely and dynamically position a head substantially to the center of a track. <P>SOLUTION: A recording disk cartridge has a head cartridge 6 supporting the magnetic head through a suspension spring, a head carriage mounting this head cartridge, a first forward and back moving actuator 5 provided between the suspension spring and the head cartridge or an attaching base to attach the head cartridge to the head carriage, a second forward and back moving actuator 7 supported by the head carriage and to move the attaching base, and a control circuit to drive the first forward and back moving actuator through the first phase compensation filtering circuit 114 responding to the servo signals read by the magnetic head and to drive the second forward and back moving actuator through the second phase compensation filtering circuit 116 in order to maintain the magnetic head on the track. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

この発明は、磁気ヘッド位置決め制御装置、磁気ヘッドテスターおよび磁気ディスクテスターに関し、詳しくは、磁気ヘッドを実質的にトラックのセンタに高速に精度よくダイナミックに位置決めでき、高密度記録の磁気ディスク、磁気ヘッドの検査に適する磁気ヘッド位置決め制御装置、磁気ヘッドテスターおよび磁気ディスクテスターに関する。   The present invention relates to a magnetic head positioning control device, a magnetic head tester, and a magnetic disk tester. More specifically, the magnetic head can be dynamically positioned at a high speed and accurately at the center of a track with high accuracy. The present invention relates to a magnetic head positioning control device, a magnetic head tester, and a magnetic disk tester suitable for inspection of the above.

最近のハード磁気ディスク駆動装置(以下単にHDD)は、複数枚のディスクのうちの1枚のディスクの一面をサーボ信号(サーボ情報)専用にするサーボ面方式ではなく、各ディスクの表裏面に形成されたトラックにそれぞれサーボ信号を設定するデータ面方式(あるいはセクターサーボ方式)のディスクを搭載している。
磁気ヘッドテスターおよび磁気ディスクテスターでは、ディスク上に設定されたサーボ信号に従って所定のデータがトラックに書き込まれ、そのデータを読み出してディスクあるいは磁気ヘッドの性能のテストが行われる。
ハードディスク装置の磁気ヘッドとしては、近年、その読出側にMRヘッド、GMRヘッド,TMRヘッドなど(以下MRヘッドで代表する。)を組み込んだ複合磁気ヘッドが用いられている。その記録密度は、数十ギガ/インチと向上の一途を辿っている。しかも、トラック数は増加し、その幅は、狭くなる一方である。その上、ディスクの大きさは、3.3インチか、これ以下のものが主流となり、基板もガラスディスクが用いられ、ディスク1枚を搭載した単板型のHDDが増加してきている。
この種の高密度記録のディスクを使用する磁気ヘッドテスターおよび磁気ディスクテスターは、トラックに対するヘッドの高い位置決め精度が要求されるので、ピエゾステージを持つヘッドキャリッジが使用される。このヘッドキャリッジについては、出願人による特開平10−275434号「MRヘッドのオフセット補正方法および磁気ディスクサーティファイア」の図2にその詳細が記載されている(特許文献1)。
特開平10−275434号公報
A recent hard magnetic disk drive (hereinafter simply referred to as HDD) is formed on the front and back surfaces of each disk instead of a servo surface system that dedicates one surface of a plurality of disks to a servo signal (servo information). A data surface type (or sector servo type) disk for setting a servo signal for each track is mounted.
In the magnetic head tester and the magnetic disk tester, predetermined data is written on a track in accordance with a servo signal set on the disk, and the performance of the disk or magnetic head is tested by reading the data.
As a magnetic head of a hard disk device, a composite magnetic head in which an MR head, a GMR head, a TMR head or the like (hereinafter represented by an MR head) is incorporated on the reading side has been used in recent years. The recording density is steadily improving to several tens of giga / inch. Moreover, the number of tracks is increasing and the width is becoming narrower. In addition, the size of the disk is 3.3 inches or smaller, and a glass disk is used as a substrate, and a single-plate type HDD equipped with one disk is increasing.
A magnetic head tester and a magnetic disk tester that use this type of high-density recording disk require high positioning accuracy of the head with respect to the track, so a head carriage having a piezo stage is used. Details of this head carriage are described in FIG. 2 of Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-275434 “MR Head Offset Correction Method and Magnetic Disk Certifier” (Patent Document 1).
JP-A-10-275434

磁気ディスク装置における記録密度の向上に伴い、トラック幅が狭小化し、そのため、磁気ヘッドテスターあるいは磁気ディスクテスターでは、ヘッド位置決め精度の一層の向上が要求されている。しかも、ディスクの回転数は、5400rpmから7000rpm〜15000rpmとなり、現在ではそれ以上の高速回転のものが実用化されている。
そこで、サスペンションスプリングからヘッドキャリッジまでの間にピエゾアクチュエータを設けて、このピエゾアクチュエータをサーボ信号に応じて駆動する出願人による特開2003−272326号「磁気ヘッド位置決め制御装置、磁気ヘッドテスター、磁気ディスクテスターおよびこれら装置に使用されるヘッドカートリッジ」がある(特許文献2)。
特許文献2に記載された発明は、所定のトラックに位置決めされたヘッドに対して、このトラックをアクセスするときに、質量の軽いヘッドカートリッジをサーボ信号に応じてダイナミックに移動させ、あるいはヘッドカートリッジ内においてヘッドアッセンブリ(サスペンションスプリング+ヘッド)をサーボ信号に応じてダイナミックに移動させて、ヘッドのトラックの中心からのずれ量を補正する微小移動、例えば、数μmのヘッドの移動を高速に行い、高速かつ高精度に、トラック上の所定の位置、特にヘッドがONトラック状態になる位置にヘッドの位置を補正するサーボ制御をしている。
特開2003−272326号公報
As the recording density in the magnetic disk apparatus is improved, the track width is narrowed. For this reason, the magnetic head tester or the magnetic disk tester is required to further improve the head positioning accuracy. In addition, the rotational speed of the disk is changed from 5400 rpm to 7000 rpm to 15000 rpm, and a disk with a higher rotational speed is now in practical use.
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-272326, “Magnetic Head Positioning Control Device, Magnetic Head Tester, Magnetic Disk” by the applicant who provides a piezo actuator between the suspension spring and the head carriage and drives the piezo actuator in accordance with a servo signal. There are "testers and head cartridges used in these devices" (Patent Document 2).
In the invention described in Patent Document 2, when a head positioned on a predetermined track is accessed, the head cartridge having a low mass is dynamically moved according to a servo signal, or the head cartridge is moved inside the head cartridge. The head assembly (suspension spring + head) is moved dynamically according to the servo signal to correct the deviation of the head from the center of the track, for example, move the head of several μm at high speed. In addition, servo control for correcting the position of the head at a predetermined position on the track, particularly at a position where the head is in an ON track state, is performed with high accuracy.
JP 2003-272326 A

実際のHDDの磁気ヘッド(以下ヘッド)のONトラックの位置決め(ヘッドが実質的にトラック上に位置決めされること)はサーボ信号を読出すことで行われる。実際のHDDは、ボイスコイルモータによりヘッドを移動してヘッド位置を制御して目標トラックにONトラックの状態か、あるいはこれに近い状態に設定されるようにヘッドを位置決めしている。この関係で、この位置決め直後においてはその近傍のセクタに対して正確なデータの読出/書込ができない。そこで、ディスク1回転程度のヘッドのONトラック位置決めをした後に同じセクタのデータを読んで、あるいは書くことになる。
しかし、テスターではこのようなデータの読み/書きをすると、各セクタに対してデータの読み/書きをするごとにディスク1回転程度の時間待たなければならず、テスト効率が低下する。
特にディスクの回転数が高速化されると、ヘッド位置決め後にその近傍のセクタに対してデータの読み/書きをすることは無理であり、1回転以上かかることもある。しかも、実際のHDDの場合のようにボイスコイルモータによりヘッドのONトラック制御をすると、テスターでは、精度が出ないため、高精度かつ高速なテストができない。
The positioning of the ON track of the magnetic head (hereinafter referred to as the head) of the actual HDD (the head is substantially positioned on the track) is performed by reading a servo signal. In an actual HDD, the head is moved by a voice coil motor to control the head position, and the head is positioned so that the target track is set to an ON track state or a state close thereto. For this reason, data cannot be read / written accurately with respect to the neighboring sectors immediately after the positioning. Therefore, the data of the same sector is read or written after the ON track positioning of the head for about one rotation of the disk.
However, when reading / writing such data in the tester, it is necessary to wait for about one revolution of the disk every time data is read / written for each sector, and the test efficiency decreases.
In particular, when the rotational speed of the disk is increased, it is impossible to read / write data from / to a sector in the vicinity thereof after positioning the head, and it may take one or more revolutions. In addition, when the head ON track control is performed by a voice coil motor as in the case of an actual HDD, the tester cannot obtain a high accuracy and cannot perform a high-speed and high-speed test.

そこで、現在の磁気ヘッドテスターあるいは磁気ディスクテスターでは、ヘッドの半径方向のトラックへの位置決めは、X方向に大きく可動して目標トラックにヘッドを移動させるXテーブルを持つヘッドキャリッジとヘッドの位置を目標トラックにおいて微調整する、ヘッドキャリッジ内Xテーブルの微小移動ステージとして設けられたピエゾステージとにより行われている。ピエゾステージは、ヘッド位置を微調整することで目標トラックにONトラック状態のヘッド位置決めを行う。このONトラック位置決めは、MPUが実行するプログラムにより行われるが、それは、通常、1トラックにサーボ信号を1箇所乃至複数箇所書込み、そのサーボ信号を読出してヘッドのずれ量を得て、このずれ量に応じてピエゾステージを駆動してヘッド位置を調整するものである。
このとき、ヘッドのONトラック位置決め制御をプログラム処理による理由は、ピエゾステージの応答速度が遅く、たとえハードウエアの制御回路を設けても読出されたサーボ信号に対応して得られるヘッドのずれ量に対してピエゾステージが高速に応答することができないからである。
Therefore, in the current magnetic head tester or magnetic disk tester, the head is positioned on the track in the radial direction by moving the head to the target track by moving the head to the target track by moving the head to the target track. This is performed by a piezo stage provided as a fine moving stage of the X table in the head carriage, which is finely adjusted in the track. The piezo stage performs head positioning in an ON track state on the target track by finely adjusting the head position. This ON track positioning is performed by a program executed by the MPU. Usually, one or more servo signals are written to one track, and the servo signal is read to obtain a head deviation amount. Accordingly, the piezo stage is driven to adjust the head position.
At this time, the reason why the ON track positioning control of the head is based on the program processing is that the response speed of the piezo stage is slow, and even if a hardware control circuit is provided, the head deviation amount obtained corresponding to the read servo signal This is because the piezo stage cannot respond at high speed.

前記した特開2003−272326号の発明では、ピエゾステージによるヘッドのONトラック設定において、このピエゾアクチュエータをサーボ信号に応じて駆動する。これにより、所定のトラックに位置決めされたヘッドに対して、このトラックをアクセスするときに、質量の軽いヘッドカートリッジをサーボ信号に応じてダイナミックに移動させ、あるいはヘッドカートリッジ内においてヘッドアッセンブリ(サスペンションスプリング+ヘッド)をサーボ信号に応じてダイナミックに移動させるものである。後者のピエゾアクチュエータは、ヘッドのトラックの中心からのずれ量を補正するような微小移動、例えば、数μmの移動をヘッドに対して行えばよいので、高速応答が可能である。
しかし、トラック数が数千本/インチ以上にもなると、Xステージにより各トラックにシークしてピエゾステージがヘッドをONトラック状態に制御するにはXステージに高精度な制御と移動とが要求される。しかも、ピエゾステージは、たとえハードウエアの制御回路を設けても読出されたサーボ信号に対応して得られるヘッドのずれ量に対して高速に応答することできない。その上、磁気ディスクが高速回転し、長時間駆動されることより発生する熱による温度ドリフトなどの影響によりヘッドの位置ずれが発生する。そうなると、ヘッドカートリッジあるいはヘッドアッセンブリを駆動するピエゾアクチュエータによるヘッド位置補正のダイナミックレンジが低下する問題が発生する。
それは、例えば、ピエゾアクチュエータにより±5μmの移動を磁気ヘッドに与えた場合に、ヘッドアッセンブリ等の熱膨張により一方向にその長さが変化して、その変化が2μm生じたとすると、ピエゾアクチュエータによる磁気ヘッドが追従できる範囲が−3μmから+7μmと変化してしまうからである。これにより、−側ヘッド位置補正のダイナミックレンジが低下し、高速応答における高精度な位置決めが難しくなってしまう。
In the above-mentioned invention of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-272326, in the head ON track setting by the piezo stage, the piezo actuator is driven in accordance with the servo signal. As a result, when accessing this track with respect to the head positioned on a predetermined track, the head cartridge having a low mass is dynamically moved in accordance with the servo signal, or the head assembly (suspension spring + The head) is dynamically moved in accordance with the servo signal. The latter piezo actuator is capable of high-speed response because it is sufficient to perform a minute movement that corrects the deviation of the head from the center of the track, for example, a movement of several μm, with respect to the head.
However, when the number of tracks exceeds several thousand / inch, the X stage requires high precision control and movement so that the X stage seeks to each track and the piezo stage controls the head to the ON track state. The In addition, the piezo stage cannot respond at high speed to the head displacement obtained in response to the read servo signal even if a hardware control circuit is provided. In addition, the head is displaced due to the effect of temperature drift caused by heat generated when the magnetic disk rotates at high speed and is driven for a long time. Then, there arises a problem that the dynamic range of the head position correction by the piezo actuator for driving the head cartridge or the head assembly is lowered.
For example, when a magnetic head is moved ± 5 μm by a piezo actuator, its length changes in one direction due to thermal expansion of the head assembly, etc., and the change occurs by 2 μm. This is because the range that the head can follow changes from −3 μm to +7 μm. As a result, the dynamic range of the negative side head position correction is reduced, and high-accuracy positioning with high-speed response becomes difficult.

この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、ヘッドを実質的にトラックのセンタに高速に精度よくダイナミックに位置決めでき、磁気ディスク、ヘッドの検査に適する磁気ヘッド位置決め制御装置を提供することにある。
この発明の他の目的は、ヘッドを実質的にトラックのセンタに高速に精度よくダイナミックに位置決めできる、前記の磁気ヘッド位置決め制御装置を用いる磁気ヘッドテスターおよび磁気ディスクテスターを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and it is possible to position the head substantially dynamically at high speed with high precision at the center of the track, and a magnetic head suitable for inspection of magnetic disks and heads. The object is to provide a positioning control device.
Another object of the present invention is to provide a magnetic head tester and a magnetic disk tester using the above-described magnetic head positioning control device, which can dynamically position a head substantially accurately at a center of a track at high speed.

このような目的を達成するこの発明のヘッド位置決め制御装置の特徴は、磁気ディスクの所定のトラックから読出したサーボ信号に応じてトラック上に磁気ヘッドを位置決めする磁気ヘッドサーボ位置決め制御装置において、
サスペンションスプリングを介して磁気ヘッドを支持するヘッドカートリッジと、このヘッドカートリッジが装着されるヘッドキャリッジと、サスペンションスプリングからヘッドカートリッジあるいはこのヘッドカートリッジをヘッドキャリッジに取付ける取付ベースまでの間に設けられた第1の進退アクチュエータと、ヘッドキャリッジに支持され前記取付ベースを移動させる第2の進退アクチュエータと、磁気ヘッドにより読出されたサーボ信号に応じて第1の位相補償フィルタ処理回路を介して第1の進退アクチュエータを駆動しかつ第2の位相補償フィルタ処理回路を介して第2の進退アクチュエータを駆動して磁気ヘッドがトラック上に保持されるように制御をする制御回路とを備えるものである。
A feature of the head positioning control device of the present invention that achieves such an object is a magnetic head servo positioning control device that positions a magnetic head on a track in accordance with a servo signal read from a predetermined track of a magnetic disk.
A head cartridge that supports the magnetic head via a suspension spring, a head carriage to which the head cartridge is mounted, and a first cartridge provided between the suspension spring and the head cartridge or a mounting base for mounting the head cartridge to the head carriage. Forward / backward actuator, a second forward / backward actuator that is supported by a head carriage and moves the mounting base, and a first forward / backward actuator via a first phase compensation filter processing circuit in accordance with a servo signal read by the magnetic head And a control circuit for controlling the magnetic head to be held on the track by driving the second advance / retreat actuator via the second phase compensation filter processing circuit.

このように、この発明では、サスペンションスプリングからヘッドカートリッジ取付ベースまでの間に第1の進退アクチュエータ、例えば、ピエゾアクチュエータを設ける。そして、このピエゾアクチュエータをサーボ信号に応じて駆動する。これにより、所定のトラックに位置決めされたヘッドに対して、このトラックをアクセスするときに、質量の軽いヘッドカートリッジをサーボ信号に応じてダイナミックに移動させ、あるいはヘッドカートリッジ内においてヘッドアッセンブリ(サスペンションスプリング+ヘッド)をサーボ信号に応じてダイナミックに移動させることができる。これと同時にヘッドカートリッジ取付ベースを移動させる第2の進退アクチュエータを設けて、これを同時駆動する。
各ピエゾアクチュエータは、ヘッドのトラックの中心からのずれ量を補正するような微小移動、例えば、数μmの移動をヘッドに対して行えばよいので、高速応答が可能である。しかも、ピエゾステージは低速応答動作であるが、常時サーボ信号に応じて駆動されることになるので、サスペンションスプリングあるいはヘッドカートリッジを移動させるピエゾアクチュエータの高速応答のダイナミックレンジを保証する。しかも、磁気ディスクが高速回転し、長時間駆動されることにより発生する熱による温度ドリフトなどの影響を排除できる。
Thus, in the present invention, the first advance / retreat actuator, for example, a piezo actuator is provided between the suspension spring and the head cartridge mounting base. The piezo actuator is driven in accordance with the servo signal. As a result, when accessing this track with respect to the head positioned on a predetermined track, the head cartridge having a low mass is dynamically moved in accordance with the servo signal, or the head assembly (suspension spring + The head) can be moved dynamically according to the servo signal. At the same time, a second advance / retreat actuator for moving the head cartridge mounting base is provided and simultaneously driven.
Each piezo actuator can perform a high-speed response because it is sufficient to perform a minute movement that corrects the amount of deviation of the head from the center of the track, for example, a movement of several μm with respect to the head. Moreover, although the piezo stage has a low-speed response operation, it is always driven according to the servo signal, so that the dynamic range of the high-speed response of the piezo actuator that moves the suspension spring or the head cartridge is ensured. In addition, it is possible to eliminate the influence of temperature drift and the like due to heat generated when the magnetic disk rotates at high speed and is driven for a long time.

なお、各セクタ対応に書込まれたサーボ信号あるいはトラックの多数箇所に設定されたサーボ信号は、トラック1周で何回も読出すことができるので、サーボ信号の読出に対応してトラックに対するヘッドのずれ量がトラック1周でいくつも得られる。そこで、サーボ信号の読出しとともにダイナミックにヘッドのずれ量に応じてヘッドを質量の軽いヘッドカートリッジあるいはヘッドアッセンブリを介して高速かつ高精度に、トラック上の所定の位置、特にONトラック状態になるような位置にヘッドの位置の補正を高精度ですることができる。
その結果、温度ドリフトなどの影響を排除でき、高速かつ高精度にディスクのトラックに対してデータの読出/書込をすることができる磁気ヘッドテスターおよび磁気ディスクテスターを実現できる。
なお、この発明では、ヘッドのONトラック状態に対して所定のヘッドの位置にオフセットを持たせることで、前記のオフセットに応じたトラック上の所定の位置にヘッドを維持する制御をすることができる。このようなオフセット設定は、ヘッド検査やディスク検査のときの条件設定において使用される。
The servo signal written in correspondence with each sector or the servo signal set in many places on the track can be read many times in one track, so that the head corresponding to the servo signal is read. A number of deviations can be obtained in one track. Thus, the servo is read and the head is dynamically moved to a predetermined position on the track, particularly an ON track state, at high speed and with high accuracy via a head cartridge or head assembly having a light mass in accordance with the amount of head deviation. The position of the head can be corrected with high accuracy.
As a result, it is possible to realize a magnetic head tester and a magnetic disk tester that can eliminate the influence of temperature drift and the like and can read / write data from / to the tracks of the disk at high speed and with high accuracy.
In the present invention, it is possible to control to maintain the head at a predetermined position on the track according to the offset by giving an offset to the predetermined head position with respect to the ON track state of the head. . Such an offset setting is used in setting conditions for head inspection and disk inspection.

図1は、この発明のヘッド位置決め制御装置を適用した一実施例の説明図、図2は、磁気ディスクテスターにおける全体的な構成図、図3(a)は、トラックに設定されるサーボ信号の説明図、図3(b)は、その読出サーボ信号とトラックとの関係の説明図、図4は、サーボ電圧復調・位置電圧演算回路で演算されるサーボ復調電圧と目標トラックとの関係の説明図、そして図5は、ヘッドカートリッジの平面図である。
磁気ディスクテスターの全体的な構成を示す図2において、10は、磁気ディスクテスターであり、1は、検査対象となるディスクであって、スピンドル2に着脱可能に挿着されている。スピンドル2に隣接してヘッドキャリッジとしてXYステージ3が設けられ、XYステージ3は、Xステージ3aとYステージ3bからなる。
Xステージ3aは、ヘッド9を含めてピエゾステージ4をディスク1の半径方向に移動させる半径方向の移動ステージになっている。Yステージ3bは、このXステージ3a上に搭載され、ヘッド9に対してスキュー調整のための移動を行うものである。このYステージ3b上には、X方向の位置を微調整するピエゾステージ4が搭載されている。
ピエゾステージ4は、移動ベース4aとカートリッジ取付ベース4b、そしてピエゾアクチュエータ5とからなり、移動ベース4aの先端側にはヘッドカートリッジ取付ベース4bが結合されている。移動ベース4aは、Yステージ3bにピエゾアクチュエータ5を介して搭載され、カートリッジ取付ベース4bをX軸に沿って移動させる。
これにより、ピエゾアクチュエータ5が駆動されることでカートリッジ取付ベース4bがX方向に移動してディスク1の半径R方向のヘッド位置の微調整がヘッドカートリッジ6を介して行われる。なお、X方向は、ディスク1の中心を通る半径R方向に一致している。
FIG. 1 is an explanatory diagram of an embodiment to which the head positioning control device of the present invention is applied, FIG. 2 is an overall configuration diagram of a magnetic disk tester, and FIG. 3A is a diagram of servo signals set on a track. FIG. 3B is an explanatory diagram of the relationship between the read servo signal and the track, and FIG. 4 is an explanatory diagram of the relationship between the servo demodulated voltage calculated by the servo voltage demodulation / position voltage calculation circuit and the target track. FIG. 5 is a plan view of the head cartridge.
In FIG. 2 showing the overall configuration of the magnetic disk tester, 10 is a magnetic disk tester, 1 is a disk to be inspected, and is detachably attached to the spindle 2. An XY stage 3 is provided as a head carriage adjacent to the spindle 2, and the XY stage 3 includes an X stage 3a and a Y stage 3b.
The X stage 3 a is a radial moving stage that moves the piezo stage 4 including the head 9 in the radial direction of the disk 1. The Y stage 3b is mounted on the X stage 3a and moves for skew adjustment with respect to the head 9. A piezo stage 4 for finely adjusting the position in the X direction is mounted on the Y stage 3b.
The piezo stage 4 includes a moving base 4a, a cartridge mounting base 4b, and a piezo actuator 5. A head cartridge mounting base 4b is coupled to the distal end side of the moving base 4a. The moving base 4a is mounted on the Y stage 3b via the piezoelectric actuator 5, and moves the cartridge mounting base 4b along the X axis.
As a result, when the piezo actuator 5 is driven, the cartridge mounting base 4 b moves in the X direction, and fine adjustment of the head position in the radius R direction of the disk 1 is performed via the head cartridge 6. The X direction coincides with the radius R direction passing through the center of the disk 1.

ヘッドカートリッジ6は、カートリッジ取付ベース4bにピエゾアクチュエータ7を介して搭載され、ヘッドカートリッジ6には、サスペンションスプリング8が固定されている。サスペンションスプリング8の先端側にはヘッド9(磁気ヘッド9)が搭載され、これに支持されている。ヘッド9は、ディスク1のX軸方向に対応する半径R方向に移動してディスク1のトラックをシークしてそのトラックに位置決めされ、データをそのトラックから読出し、あるいはそのトラックにデータを書込む、いわゆるアクセス動作をする。
ヘッドカートリッジ6は、ヘッド9をヘッドキャリッジに装着するものであって、ヘッド9を着脱可能に搭載し、図1に示されるように、内部には読出アンプ6aと書込アンプ6b等が設けられている。読出アンプ6aは、MRヘッド9Aからの信号を受けてそれを増幅してデータ読出回路15に出力するとともにサーボ位置決め制御回路11に送出する。
サーボ位置決め制御回路11は、図1に示すように、目標位置電圧発生回路111と、サーボ電圧復調・位置電圧演算回路112、誤差電圧発生回路113、カートリッジ側のピエゾアクチュエータ7用の位相補償フィルタ処理回路114,ピエゾアクチュエータドライバ115、ピエゾステージ側のピエゾアクチュエータ5用の位相補償フィルタ処理回路116、そしてピエゾアクチュエータドライバ117とからなる。
The head cartridge 6 is mounted on the cartridge mounting base 4 b via a piezo actuator 7, and a suspension spring 8 is fixed to the head cartridge 6. A head 9 (magnetic head 9) is mounted on and supported by the distal end side of the suspension spring 8. The head 9 moves in the radius R direction corresponding to the X-axis direction of the disk 1, seeks the track of the disk 1 and is positioned on the track, reads data from the track, or writes data to the track. A so-called access operation is performed.
The head cartridge 6 mounts the head 9 on the head carriage. The head 9 is detachably mounted, and as shown in FIG. 1, a read amplifier 6a, a write amplifier 6b, and the like are provided therein. ing. The read amplifier 6a receives the signal from the MR head 9A, amplifies it, outputs it to the data read circuit 15, and sends it to the servo positioning control circuit 11.
As shown in FIG. 1, the servo positioning control circuit 11 includes a target position voltage generation circuit 111, a servo voltage demodulation / position voltage calculation circuit 112, an error voltage generation circuit 113, and phase compensation filter processing for the piezoelectric actuator 7 on the cartridge side. The circuit 114, the piezo actuator driver 115, the phase compensation filter processing circuit 116 for the piezo actuator 5 on the piezo stage side, and the piezo actuator driver 117.

図2において、15は、データ読出回路であって、読出アンプ6aからの信号を受けて、読出データを二値化してデータ処理・制御装置20に送出する。16は、ヘッドアクセス制御回路であって、データ処理・制御装置20からの制御信号を受けてXYステージ3とピエゾアクチュエータドライブ回路14とを駆動してヘッド9を目標となる所定のトラックに位置決めする。17はデータ書込回路、18はテストデータ生成回路であって、テストデータ生成回路18は、データ処理・制御装置20により制御されて所定のテストデータを作成してそれをデータ書込回路17に送出する。データ書込回路17は、受けたテストデータに従って書込信号を生成して、ヘッドカートリッジ6の書込アンプ6b(図2参照)を駆動し、ヘッド9のインダクティブヘッド9Bを介して所定のトラックTRにデータを書込む。   In FIG. 2, reference numeral 15 denotes a data read circuit which receives a signal from the read amplifier 6a, binarizes the read data, and sends it to the data processing / control device 20. A head access control circuit 16 receives a control signal from the data processing / control device 20 and drives the XY stage 3 and the piezo actuator drive circuit 14 to position the head 9 on a predetermined target track. . Reference numeral 17 is a data writing circuit, and 18 is a test data generating circuit. The test data generating circuit 18 is controlled by the data processing / control device 20 to create predetermined test data and transfer it to the data writing circuit 17. Send it out. The data write circuit 17 generates a write signal according to the received test data, drives the write amplifier 6b (see FIG. 2) of the head cartridge 6, and drives a predetermined track TR via the inductive head 9B of the head 9. Write data to.

ところで、図2におけるピエゾアクチュエータ7は、図示の都合上、質量の軽いヘッドカートリッジ6に先端側が結合されている。しかし、ピエゾアクチュエータ7の先端側をヘッドカートリッジ6の内部にあるヘッドアッセンブリ(サスペンションスプリング8)に結合してもよい。その理由は、ピエゾアクチュエータ7によりヘッドアッセンブリ(サスペンションスプリング8)を駆動した方がさらに質量が軽い駆動となるからである。それにより、ヘッド位置決めに対してより高速な応答性を確保できる。
図5は、ピエゾアクチュエータ7とヘッドカートリッジ6とを一体的に構成し、ヘッドアッセンブリ(サスペンションスプリング8)を駆動してヘッド9を位置決め制御するヘッドカートリッジ6の説明図であり、その平面図である。
図5に示すヘッドカートリッジ6は、ヘッド9をヒンジで支持して回動させてヘッドを実質的に半径方向に微小移動させる構造のものである。
ヘッドカートリッジ6は、ヘッドアッセンブリ(サスペンションスプリング8)61が円筒状のヒンジ機構62を介して7角形の板の台座(取付ブロック)63に取付られている。台座63は、カートリッジ取付ベース4bに装着固定される。ヒンジ機構62は、台座63をベース部材としてこれに軸ピン64により軸支され、軸ピン64を中心にして回動する円筒構造をしている。これによりヘッド9がディスク1に設定されたトラックを横断する方向にヘッドアッセンブリ(サスペンションスプリング8)61を回動させる。
By the way, the piezo actuator 7 in FIG. 2 is connected to the head cartridge 6 having a light mass for the convenience of illustration. However, the tip end side of the piezo actuator 7 may be coupled to a head assembly (suspension spring 8) inside the head cartridge 6. The reason is that driving the head assembly (suspension spring 8) by the piezo actuator 7 results in lighter driving. Thereby, it is possible to ensure faster response to head positioning.
FIG. 5 is an explanatory view of the head cartridge 6 in which the piezo actuator 7 and the head cartridge 6 are integrally configured, and the head assembly (suspension spring 8) is driven to control the positioning of the head 9. FIG. .
The head cartridge 6 shown in FIG. 5 has a structure in which the head 9 is supported by a hinge and rotated to move the head substantially in the radial direction.
In the head cartridge 6, a head assembly (suspension spring 8) 61 is attached to a base (attachment block) 63 of a heptagonal plate via a cylindrical hinge mechanism 62. The pedestal 63 is mounted and fixed to the cartridge mounting base 4b. The hinge mechanism 62 has a cylindrical structure in which a pedestal 63 is used as a base member and is pivotally supported by a shaft pin 64 and rotates around the shaft pin 64. As a result, the head assembly (suspension spring 8) 61 is rotated in a direction in which the head 9 crosses the track set on the disk 1.

ヒンジ機構62の円筒には、実質的に120度の角度で側面から外側に直線状に延びた板ばねの羽66が2枚設けられている。2枚の羽66の先端は、台座63にある突起壁67に設けられた溝68,68にそれぞれ落ち込み、この溝68に嵌合している。
ピエゾアクチュエータ7は、台座63に取付板69を介して固定されていて、その頭部が1枚の羽66の側面に外側から当接している。そこで、板ばねの羽66の作用で伸張したピエゾアクチュエータ7を収縮する方向に付勢力が発生する。ヒンジ機構62は、台座63に固定されたピエゾアクチュエータ7の伸張によりヘッド9を反時計方向に回転させる。また、ヒンジ機構62は、ピエゾアクチュエータ7の圧縮により羽66の作用でヘッド9を時計方向に回転させる。これにより、ヘッド9は、実質的にディスク1の半径方向に沿って進退する。
The cylinder of the hinge mechanism 62 is provided with two leaf spring wings 66 extending linearly outward from the side surface at an angle of 120 degrees. The tips of the two wings 66 fall into grooves 68 and 68 provided in the protruding wall 67 of the pedestal 63, respectively, and are fitted into the grooves 68.
The piezo actuator 7 is fixed to the pedestal 63 via a mounting plate 69, and its head abuts against the side surface of one wing 66 from the outside. Therefore, an urging force is generated in a direction in which the piezo actuator 7 extended by the action of the leaf spring wings 66 is contracted. The hinge mechanism 62 rotates the head 9 counterclockwise by the extension of the piezo actuator 7 fixed to the pedestal 63. Further, the hinge mechanism 62 rotates the head 9 in the clockwise direction by the action of the wing 66 by the compression of the piezo actuator 7. As a result, the head 9 moves back and forth substantially along the radial direction of the disk 1.

ピエゾアクチュエータ5と、ピエゾアクチュエータ7とは、図1に示すサーボ位置決め制御回路11により制御され、トラックから読出されたサーボ信号(サーボ情報)に応じてヘッドの位置を微調整してダイナミックにヘッドをトラック上に載せる、ヘッドのONトラックのサーボ位置決めをする。
いずれのピエゾアクチュエータによるヘッドのONトラックのサーボ位置決めにおいても、位置決めトラックに所定間隔で設定された多数のサーボ信号を順次読出して、サーボ信号に応じて位置決めトラックに対応するヘッドずれ量(トラックのセンタからのずれ量)を補正するものである。補正のためにピエゾアクチュエータ5,7が進退する距離は、例えば、数μmオーダか、それ以下の範囲の微小なものである。設定されたサーボ信号は、スピンドルの芯ぶれなどに応答してその位置が振れるので、これにより、微小な駆動電圧でヘッド9は、スピンドルの芯ぶれなどに応答して、半径方向に高速な進退動作が可能である。さらに、同時に駆動されるピエゾアクチュエータ5による伸張により温度ドリフトなどの影響によるヘッドの位置ずれが定常的に補正され、かつ、ピエゾアクチュエータ7のヘッド位置決めに対してダイナミックレンジが確保される。
The piezo actuator 5 and the piezo actuator 7 are controlled by the servo positioning control circuit 11 shown in FIG. 1, and adjust the head position dynamically according to the servo signal (servo information) read from the track. Servo positioning of the head ON track to be placed on the track.
In servo positioning of the head ON track by any of the piezoelectric actuators, a number of servo signals set at predetermined intervals are sequentially read out to the positioning track, and the head deviation amount (track center) corresponding to the positioning track is determined according to the servo signal. The amount of deviation from () is corrected. The distance by which the piezo actuators 5 and 7 are moved forward / backward for correction is, for example, a small one in the order of several μm or less. The position of the set servo signal fluctuates in response to spindle run-out, etc., so that the head 9 can advance and retreat at high speed in the radial direction in response to spindle run-out with a small drive voltage. Operation is possible. Furthermore, the positional displacement of the head due to the influence of temperature drift or the like is steadily corrected by the expansion by the piezo actuator 5 that is driven simultaneously, and a dynamic range is secured for the head positioning of the piezo actuator 7.

図5のヘッドカートリッジ6は、ヘッド9をヘッドキャリッジに装着するものであって、ヘッド9を着脱可能に搭載し、図1に示されるように、内部には読出アンプ6aと書込アンプ6b等が設けられている。読出アンプ6aは、MRヘッド9Aからの信号を受けてそれを増幅してデータ読出回路15に出力するとともにサーボ位置決め制御回路11に送出する(図1参照)。
目標位置電圧発生回路111は、レジスタ111aとD/A変換回路(D/A)111bとを内蔵してデータ処理・制御装置20から目標値データがレジスタ111aに設定される。それをD/A111bにより変換して、目標トラックに対応する電圧値がアナログ変換電圧値として発生する。この目標位置電圧は、目標位置電圧発生回路111から誤差電圧発生回路113に出力される。
The head cartridge 6 shown in FIG. 5 mounts the head 9 on the head carriage, and the head 9 is detachably mounted. As shown in FIG. 1, a read amplifier 6a, a write amplifier 6b, and the like are included therein. Is provided. The read amplifier 6a receives the signal from the MR head 9A, amplifies it, outputs it to the data read circuit 15, and sends it to the servo positioning control circuit 11 (see FIG. 1).
The target position voltage generation circuit 111 includes a register 111a and a D / A conversion circuit (D / A) 111b, and target value data is set in the register 111a from the data processing / control device 20. This is converted by the D / A 111b, and a voltage value corresponding to the target track is generated as an analog conversion voltage value. This target position voltage is output from the target position voltage generation circuit 111 to the error voltage generation circuit 113.

サーボ電圧復調・位置電圧演算回路112は、DSP(デジタルシ・グナル・プロセッサ)で構成され、ヘッドカートリッジ6の読出アンプ6aから読出されたサーボ信号からトラック位置に対応する位置電圧を演算して発生する。
一般的には、1024/n(ただし、nは1以上の整数)程度のセクタに対して5,000本/インチ以上のトラックがある。ここでは、説明を簡単にするためにXステージにおいてトラック数10本置きに粗位置決めして、粗位置決めされたトラックを中心にして、前後トラック5本について高精度な位置決めをする例について説明する。
説明の都合上、最初のトラックがゼロの場合を例としてトラック10本+1本について1セクタのサーボ信号とそれによる電圧発生についてまず説明する。
サーボ信号から位置電圧を算出する演算式は、位置電圧PVとし、トラックを図3(a)に示す10本としてサーボ信号をA〜Jの10本であるとした場合には、
PV={(Va-Vj)+0.75*(Vb-Vh)+0.5*(Vc-Vg)+0.25*(Vd-Vf)}/(Va+ Vb+Vc+Vd+Ve+Vf+Vg+Vh+Vi+Vj) ……(1)
による。
すなわち、図3(a)に示すように、トラック0からトラック10に所定の周波数で所定の間隔D(1μsec)だけずれてかつ前後のトラックの中心に接触する幅を持ち、かつ、その半分幅が前後に重なるようにサーボパターン信号(サーボバースト信号)A〜Jが各トラックに対応して記録されているとする。
The servo voltage demodulation / position voltage calculation circuit 112 is composed of a DSP (digital signal processor) and generates a position voltage corresponding to the track position from the servo signal read from the read amplifier 6a of the head cartridge 6. To do.
Generally, there are 5,000 / inch or more tracks for a sector of about 1024 / n (where n is an integer of 1 or more). Here, in order to simplify the description, an example will be described in which coarse positioning is performed every 10 tracks on the X stage, and high-precision positioning is performed on the front and rear tracks with the coarsely positioned track as the center.
For convenience of explanation, a servo signal of one sector and generation of voltage by 10 sectors + 1 track will be described first by taking the case where the first track is zero as an example.
If the calculation formula for calculating the position voltage from the servo signal is the position voltage PV, 10 tracks shown in FIG. 3A and 10 servo signals A to J,
PV = {(Va−Vj) + 0.75 * (Vb−Vh) + 0.5 * (Vc−Vg) + 0.25 * (Vd−Vf)} / (Va + Vb + Vc + Vd + Ve + Vf + Vg + Vh + Vi + Vj) ...... (1)
by.
That is, as shown in FIG. 3A, the track 0 is shifted from the track 10 to the track 10 by a predetermined interval D (1 μsec) at a predetermined frequency and has a width that contacts the center of the preceding and following tracks, and a half width thereof. Suppose that servo pattern signals (servo burst signals) A to J are recorded corresponding to each track so as to overlap each other.

このサーボバースト信号A〜JをMRヘッド9Aが読出アンプ6aを介してディスク1を回転させて読出すと、理論的には、図3(b)に示すように、トラック0では、読出アンプ6aから得られるサーボバースト信号Aの検出電圧信号は、トラック0に対応する振幅が半分幅に対応する電圧信号となる。そして、トラック1では、読出アンプ6aから得られる検出電圧信号は、トラック1に対応する1個分の振幅レベルの検出電圧信号とその後にトラック2に対応するサーボバースト信号の振幅レベルが半分の検出電圧信号が少しずれた位置に得られる。
トラック2では、読出アンプ6aから得られる検出電圧信号は、トラック1の振幅レベルが半分幅に対応する検出電圧信号の後に、トラック2に対応する1個分の振幅レベルの検出電圧信号、そしてその後にトラック3の振幅レベルが半分幅に対応する検出電圧信号が少しずれて得られる。
以下、それぞれに連続する3つのトラックに対応して振幅レベルが半分幅と振幅レベルが1、そして振幅レベルが半分の3つの検出電圧信号がサーボバースト信号についての電圧信号が順次得られる。その状態を示したのが図3(b)である。
When the MR head 9A reads the servo burst signals A to J by rotating the disk 1 via the read amplifier 6a, theoretically, as shown in FIG. The detection voltage signal of the servo burst signal A obtained from the above is a voltage signal whose amplitude corresponding to the track 0 corresponds to a half width. In the track 1, the detection voltage signal obtained from the read amplifier 6a is detected by detecting that the detection voltage signal of the amplitude level corresponding to one track 1 and the servo burst signal corresponding to the track 2 is half the amplitude level thereafter. The voltage signal is obtained at a slightly shifted position.
In the track 2, the detection voltage signal obtained from the read amplifier 6a is a detection voltage signal having an amplitude level corresponding to the track 2 after the detection voltage signal corresponding to the half width of the amplitude level of the track 1, and thereafter In addition, the detection voltage signal corresponding to the half amplitude of the amplitude level of the track 3 is obtained with a slight deviation.
In the following, three detection voltage signals with half the amplitude level and one amplitude level and half the amplitude level corresponding to three consecutive tracks are sequentially obtained as voltage signals for the servo burst signal. This state is shown in FIG.

そこで、読出アンプ6aから得られる各トラック位置でのサーボバースト信号についてトラック0の位置の検出電圧信号を基準として振幅レベルを電圧値Vi(i=a〜j)として得て、(1)式を持つDSPにより入力して(1)式に代入すると、図4に示すような関係のグラフGがトラック位置に対応する正規化POS電圧(検出電圧)として得ることができる。なお、縦軸は、正規化POS電圧であり、横軸はトラック番号である。
この図4の特性グラフGに従って、Xステージで粗位置決めされた位置から前後5本のトラックについて高精度な微小位置決めをサーボ位置決め制御回路11が行う。
なお、実際上は、直線性がよい範囲(図4における1.5トラック〜8.5トラック)が実用範囲である。そこで、図4の特性グラフGを使用する場合には2トラックから8トラックまでの範囲で位置決めをする。通常の磁気ヘッドテストや磁気ディスクのテストでは、特性のトラックへ位置決めしてテストすればよいので、一部のトラック範囲でサーボ制御ができれば十分である。一方、全トラックをアクセスする場合には、後述するXステージ3aによるヘッド9の粗位置決めとの関係で10本以上で直線性のよい特性を得る必要がある。その場合には、粗位置決めの方を7本置き程度のものとするか、前記(1)式ではない関係式で処理して10本かそれ以上で直線性のよい位置決めをすることになる。
また、図3(a)に示すサーボ信号は、ディスク1にすでに書込まれていて、サーボ信号と図4に示す関係のグラフに対応する目標トラック位置決めのグラフデータGがデータ処理・制御装置20のメモリ22に正規化POS電圧テーブル22cとして記憶されているものとする。
ところで、図3(a)に示すサーボ信号がディスク1に書き込まれていない場合には、別途サーボトラックライタ(図示せず)を起動してはサーボ信号をディスクに各セクタに対応して書込むことになる。
Therefore, the servo burst signal at each track position obtained from the read amplifier 6a is obtained with the amplitude level as a voltage value Vi (i = a to j) with reference to the detection voltage signal at the track 0 position, and the equation (1) is obtained. When the signal is input by the DSP having the function and substituted into the equation (1), a graph G having a relationship as shown in FIG. 4 can be obtained as a normalized POS voltage (detection voltage) corresponding to the track position. The vertical axis is the normalized POS voltage, and the horizontal axis is the track number.
In accordance with the characteristic graph G in FIG. 4, the servo positioning control circuit 11 performs high-precision minute positioning for the five tracks before and after the position roughly positioned by the X stage.
In practice, the practical range is a range with good linearity (1.5 tracks to 8.5 tracks in FIG. 4). Therefore, when the characteristic graph G of FIG. 4 is used, positioning is performed in the range from 2 tracks to 8 tracks. In a normal magnetic head test or magnetic disk test, it is sufficient to position and test on a characteristic track, so it is sufficient if servo control can be performed in a part of the track range. On the other hand, when all tracks are accessed, it is necessary to obtain a characteristic with good linearity with 10 or more in relation to the rough positioning of the head 9 by the X stage 3a described later. In such a case, the coarse positioning is set to be about every 7 or processing is performed with a relational expression other than the expression (1), and positioning with good linearity is performed with 10 or more.
The servo signal shown in FIG. 3 (a) has already been written on the disk 1, and the target track positioning graph data G corresponding to the graph of the relationship shown in FIG. Is stored in the memory 22 as a normalized POS voltage table 22c.
When the servo signal shown in FIG. 3A is not written on the disk 1, a servo track writer (not shown) is activated separately and the servo signal is written on the disk corresponding to each sector. It will be.

こうして得られた正規化POS電圧を指令電圧として、この電圧値と目標位置電圧発生回路111から出力された位置決め対象となる目標のトラック位置に対応する電圧値とを誤差電圧発生回路113で合成する。誤差電圧発生回路113は、目標電圧値とサーボ電圧復調・位置電圧演算回路112から得られる現在位置と目標のトラック位置に対応する電圧値との差の電圧信号を発生する。
なお、図4のグラフでは正規化されているので、1から−1までの電圧値となるが、実際の差電圧信号は、これに対して制御に必要な増幅をした電圧値が誤差電圧値として誤差電圧発生回路113から出力されることになる。
誤差電圧発生回路113の誤差電圧信号は、位相補償フィルタ処理回路114と位相補償フィルタ処理回路116とに入力される。位相補償フィルタ処理回路114と位相補償フィルタ処理回路116は、ヘッド位置エラーに対して安定したサーボ制御で高速にヘッドをONトラック状態に設定しかつONトラックサーボ制御のヘッド位置補正のダイナミックレンジを確保するためのサーボフィルタ処理回路である。これもDSP(デジタルシ・グナル・プロセッサ)で構成され、それぞれフィルタ処理の帯域周波数が相違している。
Using the normalized POS voltage thus obtained as a command voltage, this voltage value and the voltage value corresponding to the target track position to be positioned output from the target position voltage generation circuit 111 are combined by the error voltage generation circuit 113. . The error voltage generation circuit 113 generates a voltage signal that is the difference between the target voltage value and the current position obtained from the servo voltage demodulation / position voltage calculation circuit 112 and the voltage value corresponding to the target track position.
In addition, since it is normalized in the graph of FIG. 4, a voltage value from 1 to −1 is obtained. However, an actual voltage difference signal has an error voltage value obtained by amplifying a voltage value necessary for control. Is output from the error voltage generation circuit 113.
The error voltage signal from the error voltage generation circuit 113 is input to the phase compensation filter processing circuit 114 and the phase compensation filter processing circuit 116. The phase compensation filter processing circuit 114 and the phase compensation filter processing circuit 116 set the head to the ON track state at high speed with servo control stable against head position error, and secure the dynamic range of the head position correction of the ON track servo control. This is a servo filter processing circuit. This is also constituted by a DSP (Digital Signal Processor), and the band frequency of the filter processing is different.

位相補償フィルタ処理回路116は、そのパワー・バンド幅特性がボード線図上においてゼロdBのクロス点の周波数を30Hzとして−20dB/Decの傾斜特性を持ち、そのオープンゲインは100dB以上のものである。この特性は、ヘッドカートリッジ6がヘッド9を含めてヘッドアッセンブリ61を微小移動させるときの機械共振周波数による駆動電流の振動あるいは発振が500Hz近辺にあるので、それより低い周波数として余裕を持って100Hz以下とし、前記のゼロdBのクロス点の周波数がこの実施例では30Hzとされている。
なお、このゼロdBのクロス点の周波数は、機械共振周波数による駆動電流の振動あるいは発振以下において選択されればよい。
この特性で誤差電圧信号が位相補償されて、ゲインが100dB以上のピエゾアクチュエータドライバ117に入力される。ピエゾアクチュエータドライバ117は、ハイゲインのアンプであって、位相補償フィルタ処理回路116により位相補償されて機械共振周波数の近傍での駆動電流の振動あるいは発振、さらにはピークゲイン特性による誤差発生が抑えられる。
ピエゾアクチュエータドライバ117は、ピエゾアクチュエータ5に接続され、これを出力電圧で駆動する。これによりヘッドカートリッジ6が移動してヘッド9が低速応答速度でトラックの中心に位置決めされるように制御される。
The phase compensation filter processing circuit 116 has a slope characteristic of −20 dB / Dec with a power bandwidth characteristic of −20 dB / Dec with a frequency of the crossing point of zero dB as 30 Hz on the Bode diagram, and an open gain of 100 dB or more. . This characteristic is that the vibration or oscillation of the drive current due to the mechanical resonance frequency when the head cartridge 6 moves the head assembly 61 including the head 9 minutely is in the vicinity of 500 Hz. In this embodiment, the frequency of the zero dB cross point is 30 Hz.
The frequency of the zero dB cross point may be selected below the vibration or oscillation of the drive current due to the mechanical resonance frequency.
With this characteristic, the error voltage signal is phase compensated and input to the piezo actuator driver 117 having a gain of 100 dB or more. The piezo actuator driver 117 is a high gain amplifier and is phase compensated by the phase compensation filter processing circuit 116 to suppress vibration or oscillation of the drive current in the vicinity of the mechanical resonance frequency, and further to suppress occurrence of an error due to the peak gain characteristic.
The piezo actuator driver 117 is connected to the piezo actuator 5 and drives it with an output voltage. Thus, the head cartridge 6 is moved and the head 9 is controlled to be positioned at the center of the track at a low response speed.

位相補償フィルタ処理回路114もDSPで構成され、そのパワー・バンド幅特性がボード線図上においてゼロdBのクロス点の周波数を1kHzとして−20dB/Decの傾斜特性を持ち、そのオープンゲインは100dB以上のものである。この特性は、ヘッドカートリッジ6を搭載するピエゾステージを微小移動させるときの機械共振周波数による駆動電流の振動あるいは発振が6kHz近辺にあるので、それより低い周波数として余裕を持って前記のゼロdBのクロス点の周波数が1kHzとされている。
なお、このゼロdBのクロス点の周波数も機械共振周波数による駆動電流の振動あるいは発振以下で選択されればよい。
この特性で誤差電圧信号が位相補償されて、ゲインが100dB以上のピエゾアクチュエータドライバ115に入力される。ピエゾアクチュエータドライバ115もハイゲインのアンプであって、前記したように、通常、OPアンプが数段接続されて構成されるので、前記と同様に、位相補償フィルタ処理回路116により位相補償されて機械共振周波数の近傍での駆動電流の振動あるいは発振、さらにはピークゲイン特性による誤差発生が抑えられかつ高速移動が可能になる。
ピエゾアクチュエータドライバ115は、ピエゾアクチュエータ7に接続され、これを出力電圧で駆動する。これによりヘッドアッセンブリ61が移動してヘッド9が高速応答でダイナミックにONトラック状態に制御される。
The phase compensation filter processing circuit 114 is also composed of a DSP, and its power bandwidth characteristic has a slope characteristic of −20 dB / Dec with a zero dB cross point frequency of 1 kHz on the Bode diagram, and its open gain is 100 dB or more. belongs to. This characteristic is because the vibration or oscillation of the drive current due to the mechanical resonance frequency when the piezo stage on which the head cartridge 6 is mounted is moved slightly is in the vicinity of 6 kHz. The frequency of the point is 1 kHz.
Note that the frequency at the zero dB cross point may be selected to be less than or equal to the vibration or oscillation of the drive current due to the mechanical resonance frequency.
With this characteristic, the error voltage signal is phase-compensated and input to the piezo actuator driver 115 having a gain of 100 dB or more. The piezo actuator driver 115 is also a high gain amplifier and, as described above, is usually configured by connecting several stages of OP amplifiers. As described above, phase compensation is performed by the phase compensation filter processing circuit 116 and mechanical resonance is performed. Oscillation or oscillation of the drive current in the vicinity of the frequency, and further generation of errors due to peak gain characteristics are suppressed, and high-speed movement becomes possible.
The piezo actuator driver 115 is connected to the piezo actuator 7 and drives it with an output voltage. As a result, the head assembly 61 moves and the head 9 is dynamically controlled to the ON track state with a high-speed response.

この実施例では、ヘッド9は、ピエゾアクチュエータ5による低速応答系のサーボ制御のヘッドのONトラック位置決めとピエゾアクチュエータ7による高速応答系のサーボ制御のヘッドのONトラック位置決めとの2系統でヘッド9の位置決め制御が同時に行われる。
これにより、トラックの中心に対して高速でトラックからのずれに応じてヘッド9の位置補正がなされるとともに、低速でヘッドカートリッジ6の位置がピエゾステージ4により所定のトラックの中心にヘッド9が位置決めされるように移動する。
その結果、ヘッド9がピエゾステージ4による微小移動でトラックの中心を基準としてサーボ制御がかかるような位置にヘッド9のONトラック位置が設定された状態で、ピエゾアクチュエータ7による高速応答系のサーボ制御がトラックの中心を基準として行われるようになり、トラックの中心を基準として前後に大きな補正範囲を確保することができ、ヘッド位置補正のダイナミックレンジが向上する。
例えば、トラックの中心からのずれ量が−5μmあったとすると、ピエゾアクチュエータ7による高速応答系のサーボ制御の位置決め範囲が±5μmとした場合に、最初は、ピエゾアクチュエータ7による高速応答でヘッド9は、中心位置決めされるので、そのヘッド位置補正のダイナミックレンジは、−0μm〜+5μmとなるが、低速応答でピエゾステージ4のピエゾアクチュエータ5による低速応答でヘッド9は、+5μm移動して中心位置決めされる。これにより、そのヘッド位置補正のダイナミックレンジは、−5μm〜+5μmとなり、ピエゾアクチュエータ7本来の位置決め制御範囲の範囲のヘッド位置補正のダイナミックレンジが確保される。
In this embodiment, the head 9 is composed of two systems, ie, a low-response servo control head ON track positioning by the piezoelectric actuator 5 and a high-speed response servo control head ON track positioning by the piezoelectric actuator 7. Positioning control is performed simultaneously.
As a result, the position of the head 9 is corrected at high speed according to the deviation from the track with respect to the center of the track, and the head 9 is positioned at the center of the predetermined track by the piezo stage 4 at low speed. Move to be.
As a result, the high-speed response servo control by the piezo actuator 7 is performed in a state where the ON track position of the head 9 is set at a position where the servo control is performed with reference to the center of the track by the minute movement of the piezo stage 4. Is performed on the basis of the center of the track, a large correction range can be secured before and after the center of the track, and the dynamic range of head position correction is improved.
For example, assuming that the deviation from the center of the track is −5 μm, when the positioning range of the servo control of the high-speed response system by the piezoelectric actuator 7 is ± 5 μm, the head 9 is initially responded by the high-speed response by the piezoelectric actuator 7. Since the center positioning is performed, the dynamic range of the head position correction is −0 μm to +5 μm. However, the head 9 is moved to the center by +5 μm by the low speed response by the piezoelectric actuator 5 of the piezo stage 4 with the low speed response. . As a result, the dynamic range of the head position correction becomes −5 μm to +5 μm, and the dynamic range of the head position correction within the range of the original positioning control range of the piezo actuator 7 is ensured.

データ処理・制御装置20は、図2に示すように、MPU21とメモリ22、インタフェース23、CRTディスプレイ、そしてキーボード等により構成され、これらがバスにより相互に接続されている。
そして、メモリ22には、ヘッドアクセスプログラム22a、データ読出/書込制御プログラム22b、正規化POS電圧テーブル22c等が記憶されている。
MPU21は、ヘッドアクセスプログラム22aを実行してインタフェース23を介して目標トラック位置決めのグラフデータGから目標となる正規化値を目標位置電圧発生回路111のレジスタ111bにセットしてヘッドアクセス制御回路16にR方向の移動距離r[mm]を設定してヘッドアクセス制御回路16を起動し、所定のタイミングでサーボ位置決め制御回路11を起動する。
R方向の移動距離r[mm]の設定により、Xステージ3aが所定のトラック位置(基準点)からr[mm]移動する。これにより、図4に示す関係のグラフに対応する目標トラック位置決めのグラフデータGの正規値“0”の位置にあたるトラック位置にヘッド9が移動してヘッドアクセス制御回路16によりXステージ3aによるヘッド9の粗位置決めがなされる。なお、mm単位で粗位置決めする場合でかつ5000本/インチのトラックがあって、全トラックをアクセスする必要がある場合などでは、グラフデータGの特性は、前記したように10本以上のトラックに対して直線性のよい特性のものが必要になる。
サーボ位置決め制御回路11は、MPU21から正規化POS電圧テーブル22cを参照して設定された正規値の位置にピエゾアクチュエータ5,7とを駆動してピエゾステージ4により微小位置決めをするとともにヘッド9をダイナミックに目的のトラックへ位置決めする。それは、グラフデータGの正規値“0”の位置を基準として図3(a)に示すサーボ信号においては、グラフデータGの正規値の位置に対応する誤差電圧に応じて相対的にヘッド9を移動させて目標となる正規化値に対応したトラック位置に高精度な位置決めになる。
ところで、R方向の移動距離r[mm]の設定により、グラフデータGの正規値“0”の位置にあたるヘッド9は、図3(a)に示す関係のトラック0より前にトラックがあることになるが、R方向の移動距離r[mm]の設定との正規値“0”との相対的な位置決めにより全トラックが高精度に位置決めされるように割り振らればよい。例えば、トラックの位置決め範囲を−1より大きく、+1より小さい範囲と考えれば図3(a)に示す関係のトラック0の振幅レベルは関係なくなるので問題はない。
As shown in FIG. 2, the data processing / control device 20 includes an MPU 21, a memory 22, an interface 23, a CRT display, a keyboard, and the like, which are connected to each other via a bus.
The memory 22 stores a head access program 22a, a data read / write control program 22b, a normalized POS voltage table 22c, and the like.
The MPU 21 executes the head access program 22a, sets the target normalized value from the target track positioning graph data G via the interface 23 in the register 111b of the target position voltage generation circuit 111, and sends it to the head access control circuit 16. The head access control circuit 16 is activated by setting the movement distance r [mm] in the R direction, and the servo positioning control circuit 11 is activated at a predetermined timing.
By setting the movement distance r [mm] in the R direction, the X stage 3a moves r [mm] from a predetermined track position (reference point). As a result, the head 9 is moved to the track position corresponding to the position of the normal value “0” of the target track positioning graph data G corresponding to the relationship graph shown in FIG. 4, and the head 9 by the X stage 3 a is moved by the head access control circuit 16. The coarse positioning is performed. When coarse positioning is performed in mm units and there are 5000 tracks / inch and all tracks need to be accessed, the characteristics of the graph data G are as follows. On the other hand, a product with good linearity is required.
The servo positioning control circuit 11 drives the piezo actuators 5 and 7 to the positions of the normal values set by referring to the normalized POS voltage table 22c from the MPU 21 to perform micropositioning by the piezo stage 4 and dynamically move the head 9 Position to the target track. In the servo signal shown in FIG. 3A with respect to the position of the normal value “0” of the graph data G, the head 9 is relatively moved according to the error voltage corresponding to the position of the normal value of the graph data G. By moving, the position of the track corresponding to the target normalized value is highly accurate.
By the way, by setting the moving distance r [mm] in the R direction, the head 9 corresponding to the position of the normal value “0” of the graph data G has a track before the track 0 having the relationship shown in FIG. However, all tracks may be allocated so as to be positioned with high accuracy by relative positioning with the normal value “0” with respect to the setting of the movement distance r [mm] in the R direction. For example, assuming that the track positioning range is larger than -1 and smaller than +1, there is no problem because the amplitude level of the track 0 in the relationship shown in FIG.

ところで、ここでのディスク1のセクタ分割としては、前記したように、例えば、セクタを1024分割として、それぞれのセクタ位置に対応して図3(a)のようなサーボ信号が書き込まれている。このように多数のセクタに分割してそれぞれのセクタ位置に対応して多数のサーボ信号(サーボ情報)を設定することにより、ディスク1が7000rpm〜10000rpmあるいはこれを越える高速回転となっても、ディスク1/4回転程度で位置ずれしたヘッド9を目的のトラックにONトラックさせることができ、その後は、ダイナミックに目的のトラックへのヘッド9のONトラックを維持することができる。
また、実施例では、ヘッドのONトラック状態に対応する正規値をレジスタ111bに設定した制御について説明しているが、ONトラック状態に対して所定のオフセットを持たせる正規値をレジスタ111bに設定することで、オフセットに応じたトラック上の所定の位置にヘッドを維持する制御をすることができることはもちろんである。
By the way, as sector division of the disk 1 here, as described above, for example, the sector is divided into 1024, and servo signals as shown in FIG. 3A are written corresponding to the respective sector positions. Thus, by dividing into a large number of sectors and setting a large number of servo signals (servo information) corresponding to the respective sector positions, even if the disk 1 is rotated at a high speed exceeding 7000 rpm to 10,000 rpm, the disk 1 The head 9 shifted in position by about 1/4 rotation can be turned on the target track, and thereafter, the ON track of the head 9 to the target track can be dynamically maintained.
In the embodiment, the control is described in which the normal value corresponding to the ON track state of the head is set in the register 111b. However, the normal value that gives a predetermined offset to the ON track state is set in the register 111b. Of course, it is possible to control to maintain the head at a predetermined position on the track according to the offset.

以上説明してきたが、実施例の図3(a)に示すグラフデータGの正規値の位置へのヘッド9のサーボ位置決め形態は一例である。サーボ信号の設定には種々の形態がある。これは、例えば、特開2003−272326号公報に記載されるように、サーボ信号は、データトラックTRの中心線CからW×1/4トラック幅分(ただしWはリードトラック幅)上下方向にずれたサーボバースト信号Aとサーボバースト信号Bとからなるものであってもよい。このような場合には、Xステージの位置決め精度あるいはこれに加えてピエゾステージの位置決めにより特定のトラックに位置決めし、同時にそのトラックに対してONトラックするようにヘッドが制御されることになる。
したがって、この発明は、サーボ信号の設定形態に関係なく、ヘッドのONトラック位置決めのためにヘッドから得られるサーボ信号の振幅に応じて得られる誤差信号に応じてサーボ制御を行うものであればどのようなものであって適用できる。
As described above, the servo positioning mode of the head 9 to the position of the normal value of the graph data G shown in FIG. 3A of the embodiment is an example. There are various forms of setting the servo signal. For example, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-272326, the servo signal is W × 1/4 track width from the center line C of the data track TR (W is the read track width) in the vertical direction. The servo burst signal A and the servo burst signal B may be misaligned. In such a case, the head is controlled so that positioning is performed on a specific track by positioning accuracy of the X stage or in addition to positioning of the piezo stage, and at the same time ON track is performed with respect to that track.
Therefore, in the present invention, any servo control can be performed according to the error signal obtained according to the amplitude of the servo signal obtained from the head for the ON track positioning of the head regardless of the servo signal setting form. It can be applied.

実施例では、磁気ディスクテスターを例を中心に説明しているが、この発明は、磁気ヘッドテスターにおいても適用できることはもちろんである。   In the embodiment, a magnetic disk tester is mainly described as an example, but the present invention can be applied to a magnetic head tester.

図1は、この発明のヘッド位置決め制御装置を適用した一実施例の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of one embodiment to which the head positioning control device of the present invention is applied. 図2は、磁気ディスクテスターにおける全体的な構成図である。FIG. 2 is an overall configuration diagram of the magnetic disk tester. 図3(a)は、トラックに設定されるサーボ信号の説明図、図3(b)は、その読出サーボ信号とトラックとの関係の説明図である。FIG. 3A is an explanatory diagram of a servo signal set to a track, and FIG. 3B is an explanatory diagram of a relationship between the read servo signal and the track. 図4は、サーボ電圧復調・位置電圧演算回路で演算されるサーボ復調電圧と目標トラックとの関係の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of the relationship between the servo demodulated voltage calculated by the servo voltage demodulating / position voltage calculating circuit and the target track. 図5は、ヘッドカートリッジの平面図である。FIG. 5 is a plan view of the head cartridge.

符号の説明Explanation of symbols

1…ディスク、2…スピンドル、
3…XYステージ、3a…Xステージ、3b…Yステージ、
4…ピエゾステージ、4b…カートリッジ取付ベース、
5,7…ピエゾアクチュエータ、
6…ヘッドカートリッジ、6a…読出アンプ、6b…書込アンプ、
8…サスペンションプリング、9…磁気ヘッド、
9a…MRヘッド、9b…インダクティブヘッド、
10…磁気ディスクテスター、
11…サーボ位置決め制御回路、
16…ヘッドアクセス制御回路、
17…データ書込回路、
18…テストデータ生成回路、
20…データ処理・制御装置、
21…MPU、22…メモリ、
22a…ヘッドアクセスプログラム、
22b…データ読出/書込制御プログラム、
23…インタフェース、
111…目標位置電圧発生回路、
111a…レジスタ、111b…D/A変換回路(D/A)、
112…サーボ電圧復調・位置電圧演算回路、113…誤差電圧発生回路、
114,116…位相補償フィルタ処理回路、
115,117…ピエゾアクチュエータドライバ。
1 ... disk, 2 ... spindle,
3 ... XY stage, 3a ... X stage, 3b ... Y stage,
4 ... Piezo stage, 4b ... Cartridge mounting base,
5, 7 ... Piezo actuator,
6 ... head cartridge, 6a ... read amplifier, 6b ... write amplifier,
8 ... Suspension pulling, 9 ... Magnetic head,
9a ... MR head, 9b ... inductive head,
10 ... Magnetic disk tester,
11 ... Servo positioning control circuit,
16: Head access control circuit,
17 Data write circuit,
18 ... Test data generation circuit,
20: Data processing / control device,
21 ... MPU, 22 ... memory,
22a ... Head access program,
22b ... Data read / write control program,
23 ... Interface,
111 ... Target position voltage generation circuit,
111a ... registers, 111b ... D / A conversion circuit (D / A),
112 ... Servo voltage demodulation / position voltage calculation circuit, 113 ... Error voltage generation circuit,
114, 116 ... Phase compensation filter processing circuit,
115, 117 ... Piezo actuator driver.

Claims (6)

磁気ディスクの所定のトラックから読出したサーボ信号に応じて前記トラック上に磁気ヘッドを位置決めする磁気ヘッドサーボ位置決め制御装置において、
サスペンションスプリングを介して前記磁気ヘッドを支持するヘッドカートリッジと、
このヘッドカートリッジが装着されるヘッドキャリッジと、
前記サスペンションスプリングから前記ヘッドカートリッジあるいはこのヘッドカートリッジをヘッドキャリッジに取付ける取付ベースまでの間に設けられた第1の進退アクチュエータと、
前記ヘッドキャリッジに支持され前記取付ベースを移動させる第2の進退アクチュエータと、
前記磁気ヘッドにより読出された前記サーボ信号に応じて第1の位相補償フィルタ処理回路を介して前記第1の進退アクチュエータを駆動しかつ第2の位相補償フィルタ処理回路を介して前記第2の進退アクチュエータを駆動して前記磁気ヘッドが前記トラック上に保持されるように制御をする制御回路とを備える磁気ヘッド位置決め制御装置。
In a magnetic head servo positioning control device for positioning a magnetic head on the track according to a servo signal read from a predetermined track of a magnetic disk,
A head cartridge that supports the magnetic head via a suspension spring;
A head carriage to which the head cartridge is mounted;
A first forward / backward actuator provided between the suspension spring and the head cartridge or an attachment base for attaching the head cartridge to a head carriage;
A second forward / backward actuator supported by the head carriage and moving the mounting base;
In response to the servo signal read by the magnetic head, the first advance / retreat actuator is driven through a first phase compensation filter processing circuit and the second advance / retreat is carried out through a second phase compensation filter processing circuit. And a control circuit for controlling the magnetic head so that the magnetic head is held on the track by driving an actuator.
前記第1および第2の進退アクチュエータは、それぞれピエゾアクチュエータであって、前記第1の位相補償フィルタ処理回路は、前記第1のピエゾアクチュエータの機械的な第1の共振周波数よりも低い第1の周波数帯域で駆動信号を発生させるために設けられ、前記第2の位相補償フィルタ処理回路は、前記第1の共振周波数より低くかつ前記第2のピエゾアクチュエータの機械的な第2の共振周波数よりも低い第2の周波数帯域で駆動信号を発生させるために設けられている請求項1記載の磁気ヘッド位置決め制御装置。   Each of the first and second advance / retreat actuators is a piezo actuator, and the first phase compensation filter processing circuit includes a first lower than a mechanical first resonance frequency of the first piezo actuator. Provided to generate a drive signal in a frequency band, wherein the second phase compensation filter processing circuit is lower than the first resonance frequency and lower than a mechanical second resonance frequency of the second piezoelectric actuator. 2. The magnetic head positioning control device according to claim 1, wherein the magnetic head positioning control device is provided for generating a drive signal in a low second frequency band. 前記ヘッドカートリッジは、前記第2のピエゾアクチュエータを介してヘッドキャリッジに支持され、前記第1の周波数帯域は、ボード線図上においてゼロdBのクロス周波数が3kHz以下であり、前記第2の周波数帯域は、ボード線図上においてゼロdBのクロス周波数が100Hz以下であり、前記制御回路は、前記第1および第2のピエゾアクチュエータに対応してドライブ回路をそれぞれ有し、前記第1および第2の位相補償フィルタ処理回路は、各前記ドライブ回路による前記磁気ヘッドの駆動位置決め誤差と回路の発振とを抑圧するために各前記ドライブ回路にそれぞれ直列に接続されている請求項3記載の磁気ヘッド位置決め制御装置。   The head cartridge is supported by a head carriage via the second piezo actuator, and the first frequency band has a zero-dB cross frequency of 3 kHz or less on the Bode diagram, and the second frequency band Has a zero-dB cross frequency of 100 Hz or less on the Bode diagram, and the control circuit has drive circuits corresponding to the first and second piezoelectric actuators, respectively. 4. The magnetic head positioning control according to claim 3, wherein the phase compensation filter processing circuit is connected in series to each of the drive circuits in order to suppress a drive positioning error of the magnetic head by each of the drive circuits and oscillation of the circuit. apparatus. 前記第2の周波数帯域はゼロクロス周波数が30Hz以下である請求項3記載の磁気ヘッド位置決め制御装置。   4. The magnetic head positioning control device according to claim 3, wherein the second frequency band has a zero cross frequency of 30 Hz or less. 請求項1〜4項のうちのいずれか1項記載の磁気ヘッド位置決め制御装置を有する磁気ヘッドテスター。   A magnetic head tester comprising the magnetic head positioning control device according to claim 1. 請求項1〜4項のうちのいずれか1項記載の磁気ヘッド位置決め制御装置を有する磁気ディスクテスター。   A magnetic disk tester comprising the magnetic head positioning control device according to claim 1.
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