JP2006261653A - Light emitting element and light emitting device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light emitting element having low driving voltage, long life, and high production yield. <P>SOLUTION: A light emitting element has a layer containing an organic material and a nonorganic material, wherein activation energy of electric conductivity is 0.01 eV to 0.3 eV in the layer containing the organic material and the nonorganic material. Preferably, the activation energy of electric conductivity of the layer is 0.01 eV to 0.26 eV, and more preferably 0.01 eV to 0.20 eV. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は一対の電極間に複数の層が挟まれた構成を有する発光素子に関する。また、発光素子を有する発光装置に関する。   The present invention relates to a light emitting element having a configuration in which a plurality of layers are sandwiched between a pair of electrodes. Further, the present invention relates to a light emitting device having a light emitting element.

エレクトロルミネッセンス素子(発光素子)からの発光を利用した発光装置は、表示用または照明用の装置として注目されている。   A light-emitting device using light emitted from an electroluminescence element (light-emitting element) has attracted attention as a display or illumination device.

発光装置に用いられる発光素子としては、一対の電極間に発光性化合物を含む層が挟まれた構成を有するものがよく知られている。   As a light-emitting element used in a light-emitting device, one having a structure in which a layer containing a light-emitting compound is sandwiched between a pair of electrodes is well known.

このような発光素子では、一方の電極は陽極として、他方の電極は陰極としてそれぞれ機能し、陽極側から注入された正孔と、陰極側から注入された電子とが再結合して励起状態の分子を形成し、それが基底状態に戻るときに光を放出する。   In such a light-emitting element, one electrode functions as an anode and the other electrode functions as a cathode, and holes injected from the anode side and electrons injected from the cathode side are recombined to be in an excited state. It forms a molecule and emits light when it returns to the ground state.

ところで、近年急速に開発が進んだ各種情報処理機器に組み込むための表示用装置においては特に低消費電力化への要求が高く、これを達成するために発光素子の低駆動電圧化が試みられている。また、商品化を踏まえれば、低駆動電圧化のみならず発光素子の長寿命化もまた重要であり、これを達成するための発光素子の開発が進められている。   By the way, display devices to be incorporated into various information processing devices that have been rapidly developed in recent years have a particularly high demand for low power consumption. In order to achieve this, attempts have been made to reduce the driving voltage of light-emitting elements. Yes. In view of commercialization, it is important not only to lower the driving voltage but also to extend the life of the light emitting element, and the development of light emitting elements to achieve this is underway.

例えば特許文献1では、モリブデン酸化物等の仕事関数の高い金属酸化物を陽極に用いることで発光素子の低駆動電圧化を達成している(特許文献1参照)。   For example, in Patent Document 1, a low driving voltage of a light-emitting element is achieved by using a metal oxide having a high work function such as molybdenum oxide for an anode (see Patent Document 1).

しかし、特に長寿命化について述べれば、特許文献1に示された手段のみでは十分であるとは言えず、さらなる長寿命化を達成するための技術開発を必要としていた。   However, in particular, regarding the extension of the lifetime, it cannot be said that the means disclosed in Patent Document 1 alone is sufficient, and it is necessary to develop a technology for achieving a longer lifetime.

また、発光素子は例えば0.1μm程度の有機薄膜で形成されるため、上下の電極間で短絡しやすいという問題を抱えている。特に、発光素子の作製工程で発生するゴミによる歩留まりの低さが問題となっている。
特開平9−63771号公報
Further, since the light emitting element is formed of an organic thin film having a thickness of, for example, about 0.1 μm, there is a problem that a short circuit easily occurs between the upper and lower electrodes. In particular, low yield due to dust generated in the manufacturing process of the light-emitting element is a problem.
JP-A-9-63771

上記問題を鑑み、本発明では、駆動電圧が低い発光素子を提供する。また、素子寿命の長い発光素子を提供する。また、製造歩留まりの高い発光素子を提供する。また、該発光素子を有する発光装置を提供する。   In view of the above problems, the present invention provides a light-emitting element with low driving voltage. In addition, a light-emitting element having a long element lifetime is provided. In addition, a light-emitting element with high manufacturing yield is provided. In addition, a light-emitting device including the light-emitting element is provided.

本発明者らは、電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層を発光素子に用いることにより、上記課題を解決できることを見いだした。   The present inventors have found that the above-described problems can be solved by using a layer having a low activation energy of electrical conductivity for a light-emitting element.

よって、本発明の発光素子の一は、一対の電極間に、有機材料と無機材料とを含む層を有し、有機材料と無機材料とを含む層の電気伝導度の活性化エネルギーは0.01eV以上0.3eV未満であることを特徴とする。より好ましくは、有機材料と無機材料とを含む層の電気伝導度の活性化エネルギーは0.01eV以上0.26eV未満であることを特徴とする。さらに好ましくは、0.01eV以上0.20eV未満であることを特徴とする。   Therefore, one of the light-emitting elements of the present invention has a layer containing an organic material and an inorganic material between a pair of electrodes, and the activation energy of the electrical conductivity of the layer containing the organic material and the inorganic material is 0. It is 01 eV or more and less than 0.3 eV. More preferably, the activation energy of the electric conductivity of the layer containing the organic material and the inorganic material is 0.01 eV or more and less than 0.26 eV. More preferably, it is 0.01 eV or more and less than 0.20 eV.

また、本発明の発光素子の一は、一対の電極間に、有機材料と無機材料とを含む層を有し、上記構成において、有機材料と無機材料とを含む層は、可視光領域に吸収ピークがなく、無機材料の濃度が30〜95wt%であることを特徴とする。   One of the light-emitting elements of the present invention includes a layer containing an organic material and an inorganic material between a pair of electrodes. In the above structure, the layer containing an organic material and an inorganic material absorbs in the visible light region. There is no peak, and the concentration of the inorganic material is 30 to 95 wt%.

上記構成において、有機材料と無機材料とを含む層の電気伝導度の活性化エネルギーは0.01eV以上0.20eV未満であることを特徴とする。   In the above structure, the activation energy of the electric conductivity of the layer including the organic material and the inorganic material is 0.01 eV or more and less than 0.20 eV.

有機材料と無機材料とを含む層が可視光領域に吸収ピークがもたない場合の有機材料としては、4,4’−ビス(N−{4−[N,N’−ビス(3−メチルフェニル)アミノ]フェニル}−N−フェニルアミノ)ビフェニル(略称:DNTPD)、4,4’−ビス[N−(4−ジフェニルアミノフェニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:DPAB)などが挙げられる。   As the organic material in the case where the layer containing an organic material and an inorganic material does not have an absorption peak in the visible light region, 4,4′-bis (N- {4- [N, N′-bis (3-methyl) is used. Phenyl) amino] phenyl} -N-phenylamino) biphenyl (abbreviation: DNTPD), 4,4′-bis [N- (4-diphenylaminophenyl) -N-phenylamino] biphenyl (abbreviation: DPAB), and the like. It is done.

また、本発明の発光素子の一は、一対の電極間に、有機材料と無機材料とを含む層を有し、有機材料と無機材料とを含む層は、可視光領域に吸収ピークがあり、無機材料の濃度が5〜95wt%であることを特徴とする。   One of the light-emitting elements of the present invention has a layer containing an organic material and an inorganic material between a pair of electrodes, and the layer containing an organic material and an inorganic material has an absorption peak in the visible light region, The inorganic material has a concentration of 5 to 95 wt%.

上記構成において、有機材料と無機材料とを含む層の電気伝導度の活性化エネルギーは0.01eV以上0.3eV未満であることを特徴とする。より好ましくは、有機材料と無機材料とを含む層の電気伝導度の活性化エネルギーは0.01eV以上0.26eV未満であることを特徴とする。さらに好ましくは、0.01eV以上0.20eV未満であることを特徴とする。   In the above structure, the activation energy of the electric conductivity of the layer including the organic material and the inorganic material is 0.01 eV or more and less than 0.3 eV. More preferably, the activation energy of the electric conductivity of the layer containing the organic material and the inorganic material is 0.01 eV or more and less than 0.26 eV. More preferably, it is 0.01 eV or more and less than 0.20 eV.

有機材料と無機材料とを含む層が可視光領域に吸収ピークがもつ場合の有機材料としては、N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニル−[1,1’−ビフェニル]−4,4’−ジアミン(略称:TPD)、4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:α−NPD)、N,N’−ビス(スピロ−9,9’−ビフルオレン−2−イル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(略称:BSPB)、4,4’−ビス[N−(9,9−ジメチルフルオレン−2−イル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:DFLDPBi)、4,4’−ビス[N−(4−ビフェニリル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:BBPB)などが挙げられる。   As an organic material in a case where a layer containing an organic material and an inorganic material has an absorption peak in the visible light region, N, N′-bis (3-methylphenyl) -N, N′-diphenyl- [1,1 ′ -Biphenyl] -4,4'-diamine (abbreviation: TPD), 4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (abbreviation: α-NPD), N, N'- Bis (spiro-9,9′-bifluoren-2-yl) -N, N′-diphenylbenzidine (abbreviation: BSPB), 4,4′-bis [N- (9,9-dimethylfluoren-2-yl) -N-phenylamino] biphenyl (abbreviation: DFLDPBi), 4,4′-bis [N- (4-biphenylyl) -N-phenylamino] biphenyl (abbreviation: BBPB), and the like.

また、上記構成において、無機材料は、金属酸化物であることを特徴とする。具体的には、無機材料として、モリブデン酸化物、バナジウム酸化物、ルテニウム酸化物、タングステン酸化物のいずれか一種もしくは複数種であることを用いることができる。   In the above structure, the inorganic material is a metal oxide. Specifically, it is possible to use one or more of molybdenum oxide, vanadium oxide, ruthenium oxide, and tungsten oxide as the inorganic material.

また、上記構成において、有機材料と無機材料とを含む層は、一対の電極間の一方の電極と接するように設けられていることを特徴とする。   In the above structure, the layer including an organic material and an inorganic material is provided so as to be in contact with one electrode between the pair of electrodes.

また、本発明は、上述した発光素子を有する発光装置も範疇に含めるものである。なお、本明細書中における発光装置とは、画像表示デバイス、発光デバイス、もしくは光源(照明装置含む)を範疇に含むものとする。また、パネルにコネクター、例えばFPC(Flexible printed circuit)もしくはTAB(Tape Automated Bonding)テープもしくはTCP(Tape Carrier Package)が取り付けられたモジュール、TABテープやTCPの先にプリント配線板が設けられたモジュール、または発光素子にCOG(Chip On Glass)方式によりIC(集積回路)が直接実装されたモジュールも全て発光装置に含むものとする。   The present invention also includes a light emitting device having the above-described light emitting element. Note that a light-emitting device in this specification includes an image display device, a light-emitting device, or a light source (including a lighting device) in its category. In addition, a module in which a connector such as an FPC (Flexible Printed Circuit) or TAB (Tape Automated Bonding) tape or TCP (Tape Carrier Package) is attached to the panel, a TAB tape or a module having a printed wiring board at the end of TCP, Alternatively, a module in which an IC (integrated circuit) is directly mounted on a light emitting element by a COG (Chip On Glass) method is included in the light emitting device.

本発明の発光素子は、電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層が設けられていることにより、駆動電圧を低減することができる。また、素子寿命の長い発光素子を提供することが可能となる。   In the light-emitting element of the present invention, the driving voltage can be reduced by providing a layer with low activation energy of electrical conductivity. In addition, a light-emitting element having a long element lifetime can be provided.

また、活性化エネルギーが小さい層は、厚膜化しても駆動電圧の上昇を抑制することができるため、活性化エネルギーが小さい層を厚膜化して上下の電極間の短絡を抑制することができる。よって、製造工程で発生するゴミによる歩留まりの低下を抑制することができる。   In addition, since a layer having a small activation energy can suppress an increase in driving voltage even if it is thickened, a layer having a small activation energy can be thickened to suppress a short circuit between the upper and lower electrodes. . Therefore, it is possible to suppress a decrease in yield due to dust generated in the manufacturing process.

以下、本発明の実施の態様について図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following description, and it is easily understood by those skilled in the art that modes and details can be variously changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, the present invention should not be construed as being limited to the description of the embodiments below.

(実施の形態1)
本発明の発光素子は、一対の電極間に複数の層を有する。当該複数の層は、電極から離れたところに発光領域が形成されるように、つまり電極から離れた部位でキャリア(担体)の再結合が行われるように、キャリア注入性の高い物質やキャリア輸送性の高い物質からなる層を組み合わせて積層されたものである。
(Embodiment 1)
The light-emitting element of the present invention has a plurality of layers between a pair of electrodes. The plurality of layers have a high carrier injection property and carrier transport so that a light emitting region is formed at a position away from the electrode, that is, a carrier (carrier) is recombined at a position away from the electrode. The layers are formed by combining layers made of highly specific materials.

本発明の発光素子の一態様について図1(A)を用いて以下に説明する。   One embodiment of a light-emitting element of the present invention is described below with reference to FIG.

本形態において、発光素子は、第1の電極102と、第1の電極102の上に順に積層した第1の層103、第2の層104、第3の層105、第4の層106と、さらにその上に設けられた第2の電極107とから構成されている。なお、本形態では第1の電極102は陽極として機能し、第2の電極107は陰極として機能するものとして以下説明をする。   In this embodiment, the light-emitting element includes a first electrode 102, a first layer 103, a second layer 104, a third layer 105, and a fourth layer 106 that are sequentially stacked over the first electrode 102. And a second electrode 107 provided thereon. Note that in this embodiment mode, the first electrode 102 functions as an anode and the second electrode 107 functions as a cathode.

基板101上は発光素子の支持体として用いられる。基板101としては、例えばガラス、またはプラスチックなどを用いることができる。なお、発光素子を作製工程において支持体として機能するものであれば、これら以外のものでもよい。   The substrate 101 is used as a support for the light emitting element. As the substrate 101, for example, glass or plastic can be used. Note that other materials may be used as long as the light-emitting element functions as a support in the manufacturing process.

第1の電極102としては、さまざまな金属、合金、電気伝導性化合物を用いることができる。例えば、インジウム錫酸化物(ITO:Indium Tin Oxide)、珪素若しくは酸化珪素を含有したインジウム錫酸化物、酸化インジウム−酸化亜鉛(IZO:Indium Zinc Oxide)、酸化タングステン及び酸化亜鉛を含有した酸化インジウム−酸化スズ(IWZO)等が挙げられる。これらの導電性金属酸化物膜は、通常スパッタにより成膜される。例えば、酸化インジウム−酸化亜鉛(IZO)は、酸化インジウムに対し1〜20wt%の酸化亜鉛を加えたターゲットを用いてスパッタリング法により形成することができる。また、酸化タングステン及び酸化亜鉛を含有した酸化インジウム−酸化スズ(IWZO)は、酸化インジウムに対し酸化タングステンを0.5〜5wt%、酸化亜鉛を0.1〜1wt%含有したターゲットを用いてスパッタリング法により形成することができる。この他にも、金(Au)、白金(Pt)、ニッケル(Ni)、タングステン(W)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、チタン(Ti)、銅(Cu)、パラジウム(Pd)、アルミニウム(Al)、アルミニウム−シリコン(Al−Si)、アルミニウム−チタン(Al−Ti)、アルミニウム−シリコン−銅(Al−Si−Cu)または金属材料の窒化物(TiN)等、を用いることができるが、第1の電極を陽極として用いる場合には、その中でも、仕事関数の大きい(仕事関数4.0eV以上)材料で形成されていることが好ましい。   As the first electrode 102, various metals, alloys, and electrically conductive compounds can be used. For example, indium tin oxide (ITO), indium tin oxide containing silicon or silicon oxide, indium oxide-zinc oxide (IZO), indium oxide containing tungsten oxide and zinc oxide- A tin oxide (IWZO) etc. are mentioned. These conductive metal oxide films are usually formed by sputtering. For example, indium oxide-zinc oxide (IZO) can be formed by a sputtering method using a target in which 1 to 20 wt% of zinc oxide is added to indium oxide. Indium oxide-tin oxide (IWZO) containing tungsten oxide and zinc oxide is sputtered using a target containing 0.5 to 5 wt% tungsten oxide and 0.1 to 1 wt% zinc oxide with respect to indium oxide. It can be formed by the method. In addition, gold (Au), platinum (Pt), nickel (Ni), tungsten (W), chromium (Cr), molybdenum (Mo), iron (Fe), cobalt (Co), titanium (Ti), Copper (Cu), palladium (Pd), aluminum (Al), aluminum-silicon (Al-Si), aluminum-titanium (Al-Ti), aluminum-silicon-copper (Al-Si-Cu) or nitridation of metallic materials A material (TiN) or the like can be used, but when the first electrode is used as an anode, it is preferably formed of a material having a high work function (work function of 4.0 eV or more).

なお、本発明の発光素子において、第1の電極102は仕事関数の大きい材料に限定されず、仕事関数の小さい材料を用いることもできる。   Note that in the light-emitting element of the present invention, the first electrode 102 is not limited to a material having a high work function, and a material having a low work function can also be used.

第1の層103は、有機材料と無機材料とを含む層であり、電気伝導度の活性化エネルギーが0.01eV以上0.30eV未満である層である。より好ましくは0.01eV以上0.26eV未満である層である。さらに好ましくは、0.01eV以上0.20eV未満である層である。以下、本明細書では、電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層と記載する。   The first layer 103 is a layer that includes an organic material and an inorganic material, and has a conductivity activation energy of 0.01 eV or more and less than 0.30 eV. More preferably, the layer is 0.01 eV or more and less than 0.26 eV. More preferably, the layer is 0.01 eV or more and less than 0.20 eV. Hereinafter, in this specification, it describes as a layer with small activation energy of electrical conductivity.

本発明の発光素子は、電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層を有することにより、キャリア密度が高く、電極とオーム接触することができる。よって、発光素子の駆動電圧を低減することができる。また、キャリア密度が高いため、キャリア輸送性にも優れている。なお、十分なキャリア密度を得るためには、電気伝導度の活性化エネルギーが0.01eV以上0.30eV未満であることが好ましい。また、電気伝導度の活性化エネルギーが0.01eV以上0.26eV未満であると、より好ましい。また、発光素子に用いた場合、電気伝導度の活性化エネルギーが0.01eV以上0.20eV未満であると、高電圧側でも電流―電圧特性が変化しないので、より好ましい。   The light-emitting element of the present invention has a layer with low activation energy of electrical conductivity, and thus has a high carrier density and can make ohmic contact with the electrode. Therefore, the driving voltage of the light emitting element can be reduced. In addition, since the carrier density is high, the carrier transportability is also excellent. In order to obtain a sufficient carrier density, the activation energy of electrical conductivity is preferably 0.01 eV or more and less than 0.30 eV. Moreover, it is more preferable that the activation energy of electrical conductivity is 0.01 eV or more and less than 0.26 eV. Further, when used for a light-emitting element, it is more preferable that the activation energy of electrical conductivity is 0.01 eV or more and less than 0.20 eV because the current-voltage characteristics do not change even on the high voltage side.

電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層である第1の層103に含まれる無機材料としては、金属酸化物であることが好ましい。具体例としては、モリブデン酸化物(MoOx)、バナジウム酸化物(VOx)、ルテニウム酸化物(RuOx)、タングステン酸化物(WOx)等が挙げられる。この他、インジウム錫酸化物(ITO)や亜鉛酸化物(ZnO)を用いることができる。但し、ここに示したものに限らず、その他の物質を用いてもよい。また、有機材料としては、アリールアミン骨格を有する有機材料であることが好ましく、例えば4,4’−ビス(N−{4−[N,N’−ビス(3−メチルフェニル)アミノ]フェニル}−N−フェニルアミノ)ビフェニル(略称:DNTPD)、4,4’−ビス[N−(4−ジフェニルアミノフェニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:DPAB)、N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニル−[1,1’−ビフェニル]−4,4’−ジアミン(略称:TPD)、4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:α−NPD)、N,N’−ビス(スピロ−9,9’−ビフルオレン−2−イル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(略称:BSPB)、4,4’−ビス[N−(9,9−ジメチルフルオレン−2−イル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:DFLDPBi)、4,4’−ビス[N−(4−ビフェニリル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:BBPB)、1,5−ビス(ジフェニルアミノ)ナフタレン(略称:DPAN)、4,4’,4’’−トリス(N,N−ジフェニルアミノ)トリフェニルアミン(略称:TDATA)、4,4’,4’’−トリス[N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ]トリフェニルアミン(略称:MTDATA)、などの芳香族アミン系(即ち、ベンゼン環−窒素の結合を有する)の化合物を用いることができる。なお、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものを用いてもよい。   The inorganic material contained in the first layer 103 which is a layer having a small activation energy for electrical conductivity is preferably a metal oxide. Specific examples include molybdenum oxide (MoOx), vanadium oxide (VOx), ruthenium oxide (RuOx), tungsten oxide (WOx), and the like. In addition, indium tin oxide (ITO) or zinc oxide (ZnO) can be used. However, it is not limited to those shown here, and other substances may be used. The organic material is preferably an organic material having an arylamine skeleton, for example, 4,4′-bis (N- {4- [N, N′-bis (3-methylphenyl) amino] phenyl}. -N-phenylamino) biphenyl (abbreviation: DNTPD), 4,4'-bis [N- (4-diphenylaminophenyl) -N-phenylamino] biphenyl (abbreviation: DPAB), N, N'-bis (3 -Methylphenyl) -N, N'-diphenyl- [1,1'-biphenyl] -4,4'-diamine (abbreviation: TPD), 4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N- Phenylamino] biphenyl (abbreviation: α-NPD), N, N′-bis (spiro-9,9′-bifluoren-2-yl) -N, N′-diphenylbenzidine (abbreviation: BSPB), 4,4 ′ -Screw [N (9,9-dimethylfluoren-2-yl) -N-phenylamino] biphenyl (abbreviation: DFLDPBi), 4,4′-bis [N- (4-biphenylyl) -N-phenylamino] biphenyl (abbreviation: BBPB) ), 1,5-bis (diphenylamino) naphthalene (abbreviation: DPAN), 4,4 ′, 4 ″ -tris (N, N-diphenylamino) triphenylamine (abbreviation: TDATA), 4,4 ′, 4 ″ -tris [N- (3-methylphenyl) -N-phenylamino] triphenylamine (abbreviation: MTDATA), etc., an aromatic amine-based compound (that is, having a benzene ring-nitrogen bond) Can be used. Note that other than these substances, any substance that has a property of transporting more holes than electrons may be used.

なお、第1の層103は、上記のような単層のものだけでなく、二層以上積層した構造としてもよい。 Note that the first layer 103 is not limited to a single layer as described above, and may have a structure in which two or more layers are stacked.

第2の層104は、正孔輸送性の高い物質、例えばα−NPDやTPD、TDATA、MTDATA、BSPBなどの芳香族アミン系(即ち、ベンゼン環−窒素の結合を有する)の化合物からなる層である。ここに述べた物質は、主に10−6cm/Vs以上の正孔移動度を有する物質である。但し、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものを用いてもよい。なお、第2の層104は、単層のものだけでなく、上記物質からなる層が二層以上積層したものであってもよい。 The second layer 104 is a layer made of a substance having a high hole transporting property, for example, an aromatic amine-based compound such as α-NPD, TPD, TDATA, MTDATA, or BSPB (ie, having a benzene ring-nitrogen bond). It is. The substances described here are mainly substances having a hole mobility of 10 −6 cm 2 / Vs or higher. Note that other than these substances, any substance that has a property of transporting more holes than electrons may be used. Note that the second layer 104 is not limited to a single layer, and may be a stack of two or more layers including any of the above substances.

第3の層105は、発光性の高い物質を含む層である。例えば、N,N’−ジメチルキナクリドン(略称:DMQd)や3−(2−ベンゾチアゾイル)−7−ジエチルアミノクマリン(略称:クマリン6)等の発光性の高い物質とトリス(8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Alq)や9,10−ジ(2−ナフチル)アントラセン(略称:DNA)等のキャリア輸送性が高く成膜したときに膜質がよい(つまり結晶化しにくい)物質とを自由に組み合わせて構成される。但し、AlqやDNAは発光性も高い物質であるため、これらの物質を単独で用いた構成とし、第3の層105としても構わない。 The third layer 105 is a layer including a substance having a high light-emitting property. For example, a highly luminescent substance such as N, N′-dimethylquinacridone (abbreviation: DMQd) or 3- (2-benzothiazoyl) -7-diethylaminocoumarin (abbreviation: coumarin 6) and tris (8-quinolinolato) aluminum (Abbreviation: Alq 3 ) and 9,10-di (2-naphthyl) anthracene (abbreviation: DNA), etc., which can be freely combined with substances having high carrier transport properties and good film quality (that is, difficult to crystallize). Configured. However, since Alq 3 and DNA are highly luminescent materials, these materials may be used alone, and the third layer 105 may be used.

第4の層106は、電子輸送性の高い物質、例えばトリス(8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Alq)、トリス(5−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Almq)、ビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]−キノリナト)ベリリウム(略称:BeBq)、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)−4−フェニルフェノラト−アルミニウム(略称:BAlq)など、キノリン骨格またはベンゾキノリン骨格を有する金属錯体等からなる層である。また、この他ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)−ベンゾオキサゾラト]亜鉛(略称:Zn(BOX))、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)−ベンゾチアゾラト]亜鉛(略称:Zn(BTZ))などのオキサゾール系、チアゾール系配位子を有する金属錯体なども用いることができる。さらに、金属錯体以外にも、2−(4−ビフェニリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール(略称:PBD)や、1,3−ビス[5−(p−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール−2−イル]ベンゼン(略称:OXD−7)、3−(4−tert−ブチルフェニル)−4−フェニル−5−(4−ビフェニリル)−1,2,4−トリアゾール(略称:TAZ)、3−(4−tert−ブチルフェニル)−4−(4−エチルフェニル)−5−(4−ビフェニリル)−1,2,4−トリアゾール(略称:p−EtTAZ)、バソフェナントロリン(略称:BPhen)、バソキュプロイン(略称:BCP)なども用いることができる。ここに述べた物質は、主に10−6cm/Vs以上の電子移動度を有する物質である。なお、正孔よりも電子の輸送性の高い物質であれば、上記以外の物質を第4の層106として用いても構わない。また、第4の層106は、単層のものだけでなく、上記物質からなる層が二層以上積層したものとしてもよい。 The fourth layer 106 is formed using a substance having a high electron-transport property, such as tris (8-quinolinolato) aluminum (abbreviation: Alq 3 ), tris (5-methyl-8-quinolinolato) aluminum (abbreviation: Almq 3 ), bis (10 -Hydroxybenzo [h] -quinolinato) beryllium (abbreviation: BeBq 2 ), bis (2-methyl-8-quinolinolato) -4-phenylphenolato-aluminum (abbreviation: BAlq), etc., having a quinoline skeleton or a benzoquinoline skeleton It is a layer made of a metal complex or the like. In addition, bis [2- (2-hydroxyphenyl) -benzoxazolate] zinc (abbreviation: Zn (BOX) 2 ), bis [2- (2-hydroxyphenyl) -benzothiazolate] zinc (abbreviation: Zn ( A metal complex having an oxazole-based or thiazole-based ligand such as BTZ) 2 ) can also be used. In addition to metal complexes, 2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole (abbreviation: PBD), 1,3-bis [5 -(P-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazol-2-yl] benzene (abbreviation: OXD-7), 3- (4-tert-butylphenyl) -4-phenyl-5 (4-Biphenylyl) -1,2,4-triazole (abbreviation: TAZ), 3- (4-tert-butylphenyl) -4- (4-ethylphenyl) -5- (4-biphenylyl) -1,2 , 4-triazole (abbreviation: p-EtTAZ), bathophenanthroline (abbreviation: BPhen), bathocuproin (abbreviation: BCP), and the like can also be used. The substances mentioned here are mainly substances having an electron mobility of 10 −6 cm 2 / Vs or higher. Note that a substance other than the above substances may be used for the fourth layer 106 as long as it has a property of transporting more electrons than holes. The fourth layer 106 is not limited to a single layer, and may be a stack of two or more layers formed using the above substances.

第2の電極107を形成する物質としては、仕事関数の小さい(仕事関数3.8eV以下)金属、合金、電気伝導性化合物、およびこれらの混合物などを用いることができる。このような陰極材料の具体例としては、元素周期表の1族または2族に属する元素、すなわちリチウム(Li)やセシウム(Cs)等のアルカリ金属、およびマグネシウム(Mg)、カルシウム(Ca)、ストロンチウム(Sr)等のアルカリ土類金属、およびこれらを含む合金(Mg:Ag、Al:Li)が挙げられる。しかしながら、第2の電極107と発光層との間に、電子注入を促す機能を有する層を、当該第2の電極と積層して設けることにより、仕事関数の大小に関わらず、Al、Ag、ITO、珪素を含有したインジウム錫酸化物等様々な導電性材料を第2の電極107として用いることができる。   As a material for forming the second electrode 107, a metal, an alloy, an electrically conductive compound, a mixture thereof, or the like having a low work function (a work function of 3.8 eV or less) can be used. Specific examples of such a cathode material include elements belonging to Group 1 or Group 2 of the periodic table of elements, that is, alkali metals such as lithium (Li) and cesium (Cs), and magnesium (Mg), calcium (Ca), Examples thereof include alkaline earth metals such as strontium (Sr) and alloys containing them (Mg: Ag, Al: Li). However, by providing a layer having a function of accelerating electron injection between the second electrode 107 and the light-emitting layer by stacking with the second electrode, regardless of the work function, Al, Ag, Various conductive materials such as indium tin oxide containing ITO and silicon can be used for the second electrode 107.

なお、電子注入を促す機能を有する層としては、フッ化リチウム(LiF)、フッ化セシウム(CsF)、フッ化カルシウム(CaF)等のようなアルカリ金属又はアルカリ土類金属の化合物を用いることができる。また、この他、電子輸送性を有する物質からなる層中にアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含有させたもの、例えばAlq中にマグネシウム(Mg)を含有させたもの等を用いることができる。 Note that as a layer having a function of promoting electron injection, an alkali metal or alkaline earth metal compound such as lithium fluoride (LiF), cesium fluoride (CsF), calcium fluoride (CaF 2 ), or the like is used. Can do. In addition, a layer made of a substance having an electron transporting property containing an alkali metal or an alkaline earth metal, for example, a layer containing magnesium (Mg) in Alq 3 can be used.

また、第1の層103、第2の層104、第3の層105、第4の層106は蒸着法により形成されればよい。上記蒸着法以外にも、例えばインクジェット法またはスピンコート法など用いても構わない。また各電極または各層ごとに異なる成膜方法を用いて形成しても構わない。   In addition, the first layer 103, the second layer 104, the third layer 105, and the fourth layer 106 may be formed by an evaporation method. In addition to the above evaporation method, for example, an ink jet method or a spin coating method may be used. Moreover, you may form using the different film-forming method for each electrode or each layer.

以上のような構成を有する本発明の発光素子は、第1の電極102と第2の電極107との間に生じた電位差により電流が流れ、発光性の高い物質を含む層である第3の層105において正孔と電子とが再結合し、発光するものである。つまり第3の層105に発光領域が形成されるような構成となっている。但し、第3の層105の全てが発光領域として機能する必要はなく、例えば、第3の層105のうち第2の層104側または第4の層106側にのみ発光領域が形成されるようなものであってもよい。   The light-emitting element of the present invention having the above structure is a third layer that contains a highly light-emitting substance because a current flows due to a potential difference generated between the first electrode 102 and the second electrode 107. In the layer 105, holes and electrons recombine to emit light. That is, a light emitting region is formed in the third layer 105. However, it is not necessary that all of the third layer 105 functions as a light emitting region. For example, the light emitting region is formed only on the second layer 104 side or the fourth layer 106 side of the third layer 105. It may be anything.

発光は、第1の電極102または第2の電極107のいずれか一方または両方を通って外部に取り出される。従って、第1の電極102または第2の電極107のいずれか一方または両方は、透光性を有する物質で成る。第1の電極102のみが透光性を有する物質からなるものである場合、図1(A)に示すように、発光は第1の電極102を通って基板側から取り出される。また、第2の電極107のみが透光性を有する物質からなるものである場合、図1(B)に示すように、発光は第2の電極107を通って基板と逆側から取り出される。第1の電極102および第2の電極107がいずれも透光性を有する物質からなるものである場合、図1(C)に示すように、発光は第1の電極102および第2の電極107を通って、基板側および基板と逆側の両方から取り出される。   Light emission is extracted outside through one or both of the first electrode 102 and the second electrode 107. Therefore, one or both of the first electrode 102 and the second electrode 107 is formed using a light-transmitting substance. In the case where only the first electrode 102 is formed using a light-transmitting substance, light emission is extracted from the substrate side through the first electrode 102 as illustrated in FIG. In the case where only the second electrode 107 is formed using a light-transmitting substance, light emission is extracted from the side opposite to the substrate through the second electrode 107 as illustrated in FIG. In the case where both the first electrode 102 and the second electrode 107 are made of a light-transmitting substance, light is emitted from the first electrode 102 and the second electrode 107 as shown in FIG. And is taken out from both the substrate side and the opposite side of the substrate.

なお第1の電極102と第2の電極107との間に設けられる層の構成は、上記のものには限定されない。発光領域と金属とが近接することによって生じる消光が抑制されるように、第1の電極102および第2の電極107から離れた部位に正孔と電子とが再結合する領域を設けた構成であり、且つ、電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層を有するものであれば、上記以外のものでもよい。
つまり、層の積層構造については特に限定されず、電子輸送性の高い物質または正孔輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、正孔注入性の高い物質、バイポーラ性(電子及び正孔の輸送性の高い物質)の物質等から成る層を、電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層と自由に組み合わせて構成すればよい。また、第1の電極102上には、酸化珪素膜等からなる層を設けることによってキャリアの再結合部位を制御したものであってもよい。
Note that the structure of the layers provided between the first electrode 102 and the second electrode 107 is not limited to the above. A structure in which holes and electrons are recombined in a portion away from the first electrode 102 and the second electrode 107 so that quenching caused by the proximity of the light emitting region and the metal is suppressed. As long as it has a layer with a small activation energy of electrical conductivity, other than the above may be used.
In other words, the layered structure of the layers is not particularly limited, and a substance having a high electron transporting property or a substance having a high hole transporting property, a substance having a high electron injecting property, a substance having a high hole injecting property, or a bipolar property (electron and hole) A layer made of a material having a high transportability) may be freely combined with a layer having a low activation energy of electrical conductivity. Alternatively, a carrier recombination site may be controlled by providing a layer made of a silicon oxide film or the like over the first electrode 102.

図2に示す発光素子は、陰極として機能する第1の電極302の上に電子輸送性の高い物質からなる第1の層303、発光性の高い物質を含む第2の層304、正孔輸送性の高い物質からなる第3の層305、電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層である第4の層306、陽極として機能する第2の電極307とが順に積層された構成となっている。なお、301は基板である。   A light-emitting element illustrated in FIG. 2 includes a first layer 303 formed using a substance having a high electron-transport property, a second layer 304 containing a substance having a high light-emitting property, and a hole transport over the first electrode 302 functioning as a cathode. A third layer 305 made of a highly conductive material, a fourth layer 306 that is a layer with low activation energy of electrical conductivity, and a second electrode 307 that functions as an anode are sequentially stacked. . Reference numeral 301 denotes a substrate.

本実施の形態においては、ガラス、プラスチックなどからなる基板上に発光素子を作製している。一基板上にこのような発光素子を複数作製することで、パッシブ型の発光装置を作製することができる。また、ガラス、プラスチックなどからなる基板以外に、例えば薄膜トランジスタ(TFT)アレイ基板上に発光素子を作製してもよい。これにより、TFTによって発光素子の駆動を制御するアクティブマトリクス型の発光装置を作製できる。なお、TFTの構造は、特に限定されない。スタガ型のTFTでもよいし逆スタガ型のTFTでもよい。また、TFTアレイ基板に形成される駆動用回路についても、N型およびP型のTFTからなるものでもよいし、若しくはN型またはP型のいずれか一方からのみなるものであってもよい。   In this embodiment mode, a light-emitting element is manufactured over a substrate made of glass, plastic, or the like. A passive light-emitting device can be manufactured by manufacturing a plurality of such light-emitting elements over one substrate. In addition to a substrate made of glass, plastic, or the like, a light emitting element may be manufactured on a thin film transistor (TFT) array substrate, for example. Thus, an active matrix light-emitting device in which driving of the light-emitting element is controlled by the TFT can be manufactured. Note that the structure of the TFT is not particularly limited. A staggered TFT or an inverted staggered TFT may be used. Also, the driving circuit formed on the TFT array substrate may be composed of N-type and P-type TFTs, or may be composed of only one of N-type and P-type.

本発明の発光素子は、電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層を有することにより、低駆動電圧化が実現する。つまり、本発明の電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層は、キャリア密度が高いため、電極とオーム接触することができる。よって、発光素子の駆動電圧を低減することができる。また、キャリア密度が高いため、キャリア輸送性にも優れている。なお、十分なキャリア密度を得るためには、電気伝導度の活性化エネルギーが0.01eV以上0.30eV未満であることが好ましい。また、電気伝導度の活性化エネルギーが0.01eV以上0.26eV未満であると、より好ましい。また、発光素子に用いた場合、電気伝導度の活性化エネルギーが0.01eV以上0.20eV未満であると、電流―電圧特性が変化しないので、より好ましい。   The light-emitting element of the present invention has a layer with a small activation energy of electrical conductivity, thereby realizing a low driving voltage. That is, the layer with low activation energy of the electrical conductivity of the present invention has high carrier density, and can make ohmic contact with the electrode. Therefore, the driving voltage of the light emitting element can be reduced. In addition, since the carrier density is high, the carrier transportability is also excellent. In order to obtain a sufficient carrier density, the activation energy of electrical conductivity is preferably 0.01 eV or more and less than 0.30 eV. Moreover, it is more preferable that the activation energy of electrical conductivity is 0.01 eV or more and less than 0.26 eV. Further, when used for a light-emitting element, it is more preferable that the activation energy of electrical conductivity is 0.01 eV or more and less than 0.20 eV because current-voltage characteristics do not change.

また、電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層は、キャリア密度が高いため、厚膜化しても駆動電圧の上昇を抑制することができるため、電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層を厚膜化して上下の電極間の短絡を抑制することができる。よって、製造工程で発生するゴミによる欠陥を抑制し、歩留まりを向上させることができる。   In addition, since the layer with low activation energy of electric conductivity has a high carrier density, the increase in driving voltage can be suppressed even if the film thickness is increased. Therefore, the layer with low activation energy of electric conductivity is thick. And short circuit between the upper and lower electrodes can be suppressed. Therefore, defects due to dust generated in the manufacturing process can be suppressed and yield can be improved.

また、電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層を厚膜化することにより、衝撃等による短絡を防止することができるため、信頼性の高い発光素子を得ることができる。例えば、通常の発光素子の電極間の膜厚が100nm〜150nmであるのに対し、電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層を用いた発光素子の電極間の膜厚は、100〜500nm、好ましくは、200〜500nmとすることができる。   Further, by increasing the thickness of the layer having a low activation energy for electrical conductivity, a short circuit due to impact or the like can be prevented, so that a highly reliable light-emitting element can be obtained. For example, while the film thickness between the electrodes of a normal light emitting element is 100 nm to 150 nm, the film thickness between the electrodes of the light emitting element using a layer with low activation energy of electrical conductivity is preferably 100 to 500 nm. Can be 200-500 nm.

また、本発明の発光素子に用いる電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層は、キャリア密度が高いため、電極とオーム接触することが可能である。つまり、電極との接触抵抗が小さい。そのため、仕事関数等を考慮することなく、電極材料を選ぶことができる。つまり、電極材料の選択肢が広がる。   In addition, since the layer with low activation energy for electrical conductivity used in the light-emitting element of the present invention has high carrier density, it can be in ohmic contact with the electrode. That is, the contact resistance with the electrode is small. Therefore, the electrode material can be selected without considering the work function or the like. That is, the choice of electrode material is expanded.

また、本発明の電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層は、真空蒸着で形成することができるため、発光物質を含む層を真空蒸着で形成する場合は、いずれの層も同一の真空装置内で成膜することが可能であり、大気解放する必要がない。つまり、真空一貫で成膜することができる。よって、製造工程におけるゴミの付着を防ぐことができ、歩留まりを向上させることができる。   In addition, since the layer having a small activation energy for electrical conductivity according to the present invention can be formed by vacuum deposition, when a layer containing a light emitting material is formed by vacuum deposition, both layers are in the same vacuum apparatus. It is possible to form a film without using the atmosphere. That is, the film can be formed in a consistent vacuum. Therefore, it is possible to prevent dust from adhering in the manufacturing process and improve yield.

また、本発明の電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層は、有機材料と無機材料とを含んでいるため、電極と、発光物質を含む層との間に生じる応力を緩和させることができる。   In addition, since the layer with low activation energy of electrical conductivity according to the present invention includes an organic material and an inorganic material, stress generated between the electrode and the layer including a light-emitting substance can be reduced.

(実施の形態2)
本実施の形態では、実施の形態1で示した電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層(有機材料と無機材料とを含む層であり、電気伝導度の活性化エネルギーが0.01eV以上0.30eV未満である層、より好ましくは0.01eV以上0.26eV未満である層、さらに好ましくは、0.01eV以上0.20eV未満である層)についてより詳しく説明する。
(Embodiment 2)
In this embodiment mode, the layer having a small electrical conductivity activation energy shown in Embodiment Mode 1 is a layer containing an organic material and an inorganic material, and the electrical conductivity activation energy is 0.01 eV or more and 0.0. A layer that is less than 30 eV, more preferably a layer that is 0.01 eV or more and less than 0.26 eV, and still more preferably a layer that is 0.01 eV or more and less than 0.20 eV) will be described in more detail.

本実施の形態では、有機材料と無機材料とを含む層が、可視光領域に吸収ピークをもたない場合について説明する。本実施の形態では、可視光領域に吸収ピークをもたない、DNTPDと酸化モリブデンとを含む層を用いて説明する。DNTPDと酸化モリブデンとを重量比が1:1となるよう共蒸着で成膜した層の吸収スペクトルを図11に示す。図11より、DNTPDと酸化モリブデンとを含む層は、可視光領域に吸収ピークがないことがわかる。DNTPD以外にも、DPAB等の有機材料と酸化モリブデンとを含む層は、可視光領域に吸収ピークをもたない。なお、本明細書中において、可視光領域とは400nm〜800nmの波長領域のことを示す。   In this embodiment, the case where a layer including an organic material and an inorganic material does not have an absorption peak in the visible light region will be described. In this embodiment, description is made using a layer containing DNTPD and molybdenum oxide which does not have an absorption peak in the visible light region. FIG. 11 shows an absorption spectrum of a layer formed by co-evaporation of DNTPD and molybdenum oxide so that the weight ratio is 1: 1. FIG. 11 shows that the layer containing DNTPD and molybdenum oxide has no absorption peak in the visible light region. In addition to DNTPD, a layer containing an organic material such as DPAB and molybdenum oxide does not have an absorption peak in the visible light region. Note that, in this specification, the visible light region indicates a wavelength region of 400 nm to 800 nm.

第一のガラス基板上にITOを膜厚110nmとなるように成膜し、面積4mmの陽極を作製した。ITO陽極を有する第一のガラス基板を水洗し、乾燥させた後、蒸着機の中に第一のガラス基板をセットして、圧力が1×10−3Pa以下となるまで真空チャンバーを排気した。 An ITO film having a thickness of 110 nm was formed on the first glass substrate to produce an anode having an area of 4 mm 2 . After the first glass substrate having the ITO anode was washed with water and dried, the first glass substrate was set in a vapor deposition machine, and the vacuum chamber was evacuated until the pressure became 1 × 10 −3 Pa or less. .

次に、有機材料であるDNTPDと無機材料である酸化モリブデンを共蒸着により成膜した。ここで、酸化モリブデン濃度は、表1の水準となるよう共蒸着を制御した。なお、膜厚は200nmとなるように成膜を行った。なお、素子1はDNTPDのみで蒸着により膜厚が200nmとなるように成膜した。 Next, DNTPD as an organic material and molybdenum oxide as an inorganic material were formed by co-evaporation. Here, the co-evaporation was controlled so that the molybdenum oxide concentration became the level shown in Table 1. The film was formed so that the film thickness was 200 nm. The element 1 was formed only by DNTPD so as to have a film thickness of 200 nm by vapor deposition.

Figure 2006261653
Figure 2006261653

その後、陰極としてAlを200nm蒸着し、N雰囲気下で、乾燥剤を貼付してある第二のガラス基板をエポキシ系の接着剤で第一のガラス基板に貼り合わせて、素子1〜9を得た。 Thereafter, Al was deposited as a cathode in a thickness of 200 nm, and the second glass substrate on which the desiccant was pasted was bonded to the first glass substrate with an epoxy-based adhesive in an N 2 atmosphere, and elements 1 to 9 were formed. Obtained.

素子1〜9における25℃での電流−電圧特性を図13に示す。酸化モリブデンが含まれている素子2〜9は、酸化モリブデンが含まれていない素子1より低抵抗となっていることがわかる。なお、酸化モリブデン濃度が増加するにつれて、低抵抗化しているが、酸化モリブデン濃度が80wt%を超えると、抵抗が高くなっていくことがわかる。   FIG. 13 shows current-voltage characteristics of the elements 1 to 9 at 25 ° C. It can be seen that the elements 2 to 9 containing molybdenum oxide have a lower resistance than the element 1 not containing molybdenum oxide. Note that, as the molybdenum oxide concentration increases, the resistance decreases, but it can be seen that when the molybdenum oxide concentration exceeds 80 wt%, the resistance increases.

次に、電流−電圧特性を対数表示にしたグラフを図14に示す。素子2〜9の低電圧領域における電流―電圧特性は、電圧の一乗から二乗の間で比例していることがわかる。一方、素子1は、それより大きなべき乗で電圧に比例していることがわかる。これは、素子1において、ITO陽極との接触がショットキー接触であるのに対し、素子2〜9においては、オーム接触であることに起因するものである。そのため、素子2〜9ではオーム電流が支配的であると考えられる。   Next, FIG. 14 shows a graph in which current-voltage characteristics are displayed in logarithm. It can be seen that the current-voltage characteristics in the low voltage region of the elements 2 to 9 are proportional to the square of the voltage. On the other hand, it can be seen that the element 1 is proportional to the voltage with a larger power. This is because the contact with the ITO anode in the element 1 is a Schottky contact, while the contact in the elements 2 to 9 is an ohmic contact. Therefore, it is considered that the ohm current is dominant in the elements 2 to 9.

そこで、低電圧領域における素子2〜9で流れている電流をオーム電流とし、DNTPDと酸化モリブデンを含む層が半導体であるとすると、アレニウスの式で表される。   Therefore, assuming that the current flowing in the elements 2 to 9 in the low voltage region is an ohmic current and the layer containing DNTPD and molybdenum oxide is a semiconductor, it is expressed by the Arrhenius equation.

Figure 2006261653
Figure 2006261653

この式から、ある一定の電圧の場合には、下式を導くことができる。   From this equation, the following equation can be derived in the case of a certain voltage.

Figure 2006261653
Figure 2006261653

そのため、ln(I)と1/Tをプロットしたアレニウスプロットより、活性化エネルギーを求めることができる。   Therefore, activation energy can be obtained from an Arrhenius plot in which ln (I) and 1 / T are plotted.

素子2〜9における1Vでのアレニウスプロットを図15に示す。いずれの素子も、ほぼ直線上に乗っていることがわかる。この直線の傾きより、活性化エネルギーを求め、酸化モリブデン濃度に対する活性化エネルギーの変化を図16に示す。下に凸のグラフとなっていることがわかる。なお、ITO陽極上に酸化モリブデンのみを50nm蒸着し、Al陰極とした素子(以下、素子10とする)において、同様の解析を行ったところ、活性化エネルギーは0.26eVと求められた。素子2は素子10より活性化エネルギーが大きくなっている。これは、酸化モリブデン濃度が低すぎるためと考えられる。一方、素子3〜9は素子10の活性化エネルギーの値より低くなっており、一定量の酸化モリブデンを含有することで、酸化モリブデン単膜では得られない活性化エネルギーを得ることができた。   An Arrhenius plot at 1V for elements 2-9 is shown in FIG. It can be seen that all the elements are on a substantially straight line. The activation energy is obtained from the slope of this straight line, and the change in activation energy with respect to the molybdenum oxide concentration is shown in FIG. It can be seen that the graph is convex downward. In addition, when the same analysis was performed in the element (henceforth the element 10) which vapor-deposited only 50 nm of molybdenum oxide on the ITO anode, and was made into Al cathode, activation energy was calculated | required with 0.26 eV. The activation energy of the element 2 is larger than that of the element 10. This is probably because the molybdenum oxide concentration is too low. On the other hand, the elements 3 to 9 are lower than the activation energy value of the element 10, and by containing a certain amount of molybdenum oxide, activation energy that cannot be obtained by a molybdenum oxide single film can be obtained.

なお、本実施の形態で示した可視光領域に吸収ピークをもたない層を発光素子に用いる場合には、活性化エネルギーが0.01eV以上0.30eV未満となるようにすることが好ましい。より好ましくは、0.01eV以上0.26eV未満であることが好ましい。さらに好ましくは0.20eV未満であることが好ましい。また、酸化モリブデンの濃度が30wt%以上95wt%以下である層を用いることが好ましい。   Note that in the case where a layer having no absorption peak in the visible light region described in this embodiment is used for a light-emitting element, it is preferable that the activation energy be 0.01 eV or more and less than 0.30 eV. More preferably, it is preferably 0.01 eV or more and less than 0.26 eV. More preferably, it is less than 0.20 eV. Further, it is preferable to use a layer having a molybdenum oxide concentration of 30 wt% or more and 95 wt% or less.

(実施の形態3)
本実施の形態では、実施の形態2とは異なり、有機材料と無機材料とを含む層が、可視光領域に吸収ピークをもつ場合について説明する。本実施の形態では、可視光領域に吸収ピークをもつ、BSPBと酸化モリブデンとを含む層を用いて説明する。BSPBと酸化モリブデンとを重量比が1:1となるよう共蒸着で成膜した層の吸収スペクトルを図12に示す。図12より、BSPBと酸化モリブデンとを含む層は、可視光領域に吸収ピークがあることがわかる。また、BSPB以外にも、TPD、α−NPD、DFLDPBi、BBPB等の有機材料と酸化モリブデンとを含む層は可視光領域に吸収ピークをもつ。
(Embodiment 3)
In this embodiment, unlike Embodiment 2, a case where a layer containing an organic material and an inorganic material has an absorption peak in the visible light region will be described. In this embodiment, a layer containing an absorption peak in the visible light region and including BSPB and molybdenum oxide is described. FIG. 12 shows an absorption spectrum of a layer formed by co-evaporation so that the weight ratio of BSPB and molybdenum oxide is 1: 1. FIG. 12 shows that the layer containing BSPB and molybdenum oxide has an absorption peak in the visible light region. In addition to BSPB, a layer containing an organic material such as TPD, α-NPD, DFLDPBi, or BBPB and molybdenum oxide has an absorption peak in the visible light region.

第一のガラス基板上にITOを膜厚110nmとなるように成膜し、面積4mmの陽極を作製した。前記ITO陽極を有する第一のガラス基板を水洗し、乾燥させた後、蒸着機の中に第一のガラス基板をセットして、圧力が1×10−3Pa以下となるまで真空チャンバーを排気した。 An ITO film having a thickness of 110 nm was formed on the first glass substrate to produce an anode having an area of 4 mm 2 . The first glass substrate having the ITO anode is washed with water and dried, then the first glass substrate is set in a vapor deposition machine, and the vacuum chamber is evacuated until the pressure becomes 1 × 10 −3 Pa or less. did.

次に、有機材料であるBSPBと無機材料である酸化モリブデンを共蒸着により成膜した。ここで、酸化モリブデン濃度は、下表の水準となるよう共蒸着を制御した。なお、膜厚は200nmとなるように成膜を行った。なお、素子11はBSPBのみで膜厚が200nmとなるように蒸着で成膜した。 Next, BSPB as an organic material and molybdenum oxide as an inorganic material were formed by co-evaporation. Here, the co-evaporation was controlled so that the molybdenum oxide concentration was at the level shown in the table below. The film was formed so that the film thickness was 200 nm. The element 11 was formed by vapor deposition so that the film thickness was 200 nm only with BSPB.

Figure 2006261653
Figure 2006261653

その後、陰極としてAlを200nm蒸着し、N雰囲気下で、乾燥剤を貼付してある第二のガラス基板をエポキシ系の接着剤で第一のガラス基板に貼り合わせて、素子11〜15を得た。 Thereafter, Al was deposited as a cathode at a thickness of 200 nm, and the second glass substrate on which the desiccant was pasted was bonded to the first glass substrate with an epoxy-based adhesive in an N 2 atmosphere, and the elements 11 to 15 were assembled. Obtained.

素子11〜15における25℃での電流−電圧特性を図17に示す。酸化モリブデンが含まれている素子12〜15は、酸化モリブデンが含まれていない素子11より低抵抗となっていることがわかる。   FIG. 17 shows current-voltage characteristics at 25 ° C. in the elements 11 to 15. It can be seen that the elements 12 to 15 containing molybdenum oxide have a lower resistance than the element 11 not containing molybdenum oxide.

次に、電流−電圧特性を対数表示にしたグラフを図18に示す。素子12〜15の低電圧領域における電流―電圧特性は、電圧の一乗から二乗の間で比例していることがわかる。一方、素子11は、それより大きなべき乗で電圧に比例していることがわかる。これは、素子11において、ITO陽極との接触がショットキー接触であるのに対し、素子12〜15においては、オーム接触であることに起因するものである。そのため、素子12〜15ではオーム電流が支配的であると考えられる。   Next, a graph in which the current-voltage characteristics are displayed in logarithm is shown in FIG. It can be seen that the current-voltage characteristics in the low voltage region of the elements 12 to 15 are proportional to the voltage between the first power and the second power. On the other hand, it can be seen that the element 11 is proportional to the voltage with a larger power. This is because the contact with the ITO anode in the element 11 is a Schottky contact, whereas the contact in the elements 12 to 15 is an ohmic contact. Therefore, it is considered that the ohm current is dominant in the elements 12 to 15.

そこで、実施の形態2と同様に、低電圧領域における素子12〜15で流れている電流がオーム電流とし、BSPBと酸化モリブデンを含む層が半導体であるとして、アレニウスプロットから、活性化エネルギーを求めた。素子12〜15における1Vでのアレニウスプロットを図19に示す。いずれの素子も、ほぼ直線上に乗っていることがわかる。この直線の傾きより、活性化エネルギーを求め、酸化モリブデン濃度に対する活性化エネルギーの変化を図20に示す。なお、酸化モリブデンのみを蒸着した素子10の活性化エネルギー0.26eVであることを考慮すると、図20は下に凸のグラフとなっているといえる。また、素子12は素子10より活性化エネルギーが大きくなっている。これは、酸化モリブデン濃度が低すぎるためと考えられる。一方、素子13〜15は素子10の活性化エネルギーの値より低くなっており、一定量の酸化モリブデンを含有することで、酸化モリブデン単膜では得られない活性化エネルギーを得ることができた。   Therefore, similarly to the second embodiment, assuming that the current flowing in the elements 12 to 15 in the low voltage region is an ohmic current and the layer containing BSPB and molybdenum oxide is a semiconductor, the activation energy is obtained from the Arrhenius plot. It was. FIG. 19 shows an Arrhenius plot at 1 V for elements 12-15. It can be seen that all the elements are on a substantially straight line. The activation energy is obtained from the slope of this straight line, and the change in activation energy with respect to the molybdenum oxide concentration is shown in FIG. In addition, considering that the activation energy of the element 10 on which only molybdenum oxide is deposited is 0.26 eV, it can be said that FIG. 20 is a downwardly convex graph. Further, the activation energy of the element 12 is larger than that of the element 10. This is probably because the molybdenum oxide concentration is too low. On the other hand, the elements 13 to 15 were lower than the activation energy value of the element 10, and by containing a certain amount of molybdenum oxide, activation energy that could not be obtained with a molybdenum oxide single film could be obtained.

なお、本実施の形態で示した可視光領域に吸収ピークをもつ層を発光素子に用いる場合には、活性化エネルギーが0.01eV以上0.30eV未満となるようにすることが好ましい。より好ましくは、0.01eV以上0.26eV未満であることが好ましい。さらに好ましくは0.20eV未満であることが好ましい。また、酸化モリブデンの濃度が5wt%以上95wt%以下である層を用いることが好ましい。   Note that in the case where the layer having an absorption peak in the visible light region described in this embodiment is used for a light-emitting element, the activation energy is preferably 0.01 eV or more and less than 0.30 eV. More preferably, it is preferably 0.01 eV or more and less than 0.26 eV. More preferably, it is less than 0.20 eV. It is preferable to use a layer having a molybdenum oxide concentration of 5 wt% or more and 95 wt% or less.

(実施の形態4)
本実施の形態では、実施の形態1に示した構成とは異なる構成を有する発光素子について、図3および図4を用いて説明する。
(Embodiment 4)
In this embodiment, a light-emitting element having a structure different from that described in Embodiment 1 will be described with reference to FIGS.

図3(a)に本発明の発光素子の構造の一例を示す。第1の電極201と、第2の電極202との間に、第1の層211、第2の層212、第3の層213、第4の層214が積層された構成となっている。本実施の形態では、第1の電極201が陽極として機能し、第2の電極202が陰極として機能する場合について説明する。   FIG. 3A shows an example of the structure of the light-emitting element of the present invention. A first layer 211, a second layer 212, a third layer 213, and a fourth layer 214 are stacked between the first electrode 201 and the second electrode 202. In this embodiment, the case where the first electrode 201 functions as an anode and the second electrode 202 functions as a cathode is described.

第1の電極201、第2の電極202は、実施の形態1と同じ構成を適用することができる。また、第1の層211は実施の形態2および実施の形態3で示した活性化エネルギーが小さい層であり、第2の層212は発光性の高い物質を含む層である。第3の層213は金属酸化物の中から選ばれた一の化合物と電子輸送性の高い化合物とを含む層であり、第4の層214は実施の形態2および実施の形態3で示した活性化エネルギーが小さい層である。第3の層213に含まれる金属酸化物としては、アルカリ金属酸化物またはアルカリ土類金属酸化物であることが好ましい。具体的には、リチウム酸化物、カルシウム酸化物、バリウム酸化物等が挙げられる。   The first electrode 201 and the second electrode 202 can have the same structure as that in Embodiment 1. In addition, the first layer 211 is a layer with low activation energy described in Embodiments 2 and 3, and the second layer 212 is a layer containing a substance having a high light-emitting property. The third layer 213 includes one compound selected from metal oxides and a compound having a high electron-transport property, and the fourth layer 214 is described in Embodiment Modes 2 and 3. It is a layer with a small activation energy. The metal oxide contained in the third layer 213 is preferably an alkali metal oxide or an alkaline earth metal oxide. Specific examples include lithium oxide, calcium oxide, and barium oxide.

このような構成とすることにより、図3(a)に示した通り、発光素子に電圧を印加することにより第3の層213および第4の層214の界面近傍にて電子の授受が行われ、電子と正孔が発生し、第3の層213は電子を第2の層212に輸送すると同時に、第4の層214は正孔を第2の電極202に輸送する。すなわち、第3の層213と第4の層214とを合わせて、キャリア発生層としての役割を果たしている。また、第4の層214は、正孔を第2の電極202に輸送する機能を担っていると言える。なお、第4の層214と第2の電極202との間に、さらに第2の層および第3の層を再び積層することで、タンデム型の発光素子とすることも可能である。   With such a configuration, as shown in FIG. 3A, by applying a voltage to the light-emitting element, electrons are exchanged near the interface between the third layer 213 and the fourth layer 214. Electrons and holes are generated, and the third layer 213 transports electrons to the second layer 212, and the fourth layer 214 transports holes to the second electrode 202. That is, the third layer 213 and the fourth layer 214 together serve as a carrier generation layer. In addition, it can be said that the fourth layer 214 has a function of transporting holes to the second electrode 202. Note that a tandem light-emitting element can be obtained by stacking the second layer and the third layer again between the fourth layer 214 and the second electrode 202.

また、第1の層211や第4の層214は、極めて高い正孔注入性、正孔輸送性を示す。したがって、本実施の形態の発光素子は、発光機能を担う第2の層の両側を非常に厚くすることが可能となり、さらに発光素子の短絡を効果的に防止できる。また、図3(a)を例に取ると、第2の電極202をスパッタリングにより成膜する場合などは、発光性の物質が存在する第2の層212へのダメージを低減することもできる。さらに、第1の層211と第4の層214を同じ材料で構成することにより、発光物質を含む層203の第1の電極側および発光物質を含む層203の第2の電極側が同じ材料で構成されることになるため、応力歪みを抑制する効果も期待できる。   In addition, the first layer 211 and the fourth layer 214 exhibit extremely high hole injecting property and hole transporting property. Therefore, the light emitting element of this embodiment can make the both sides of the second layer responsible for the light emitting function very thick, and can effectively prevent a short circuit of the light emitting element. Further, taking FIG. 3A as an example, when the second electrode 202 is formed by sputtering, damage to the second layer 212 containing a light-emitting substance can be reduced. Further, by forming the first layer 211 and the fourth layer 214 with the same material, the first electrode side of the layer 203 containing a light-emitting substance and the second electrode side of the layer 203 containing a light-emitting substance are made of the same material. Since it is comprised, the effect which suppresses stress distortion can also be anticipated.

なお、本実施の形態の発光素子においても、第1の電極201や第2の電極202の種類を変えることで、様々なバリエーションを有する。その模式図を図3(b)、図3(c)および図4に示す。なお、図3(b)、図3(c)および図4では、図3(a)の符号を引用する。また、200は、本発明の発光素子を担持する基板である。   Note that the light-emitting element of this embodiment also has various variations by changing the types of the first electrode 201 and the second electrode 202. The schematic diagram is shown in FIG. 3 (b), FIG. 3 (c) and FIG. In FIGS. 3B, 3C, and 4, the reference numerals in FIG. 3A are cited. Reference numeral 200 denotes a substrate carrying the light emitting element of the present invention.

図3は、基板200側から第1の層211、第2の層212、第3の層213、第4の層214の順で構成されている場合の例である。この時、第1の電極201を光透過性とし、第2の電極202を遮光性(特に反射性)とすることで、図3(a)のように基板200側から光を射出する構成となる。また、第1の電極201を遮光性(特に反射性)とし、第2の電極202を光透過性とすることで、図3(b)のように基板200の逆側から光を射出する構成となる。さらに、第1の電極201、第2の電極202の両方を光透過性とすることで、図3(c)に示すように、基板200側と基板200の逆側の両方に光を射出する構成も可能となる。   FIG. 3 shows an example in which the first layer 211, the second layer 212, the third layer 213, and the fourth layer 214 are configured in this order from the substrate 200 side. At this time, the first electrode 201 is light-transmitting and the second electrode 202 is light-shielding (particularly reflective) so that light is emitted from the substrate 200 side as shown in FIG. Become. Further, the first electrode 201 is made light-shielding (particularly reflective), and the second electrode 202 is made light-transmissive so that light is emitted from the opposite side of the substrate 200 as shown in FIG. It becomes. Further, by making both the first electrode 201 and the second electrode 202 light transmissive, light is emitted to both the substrate 200 side and the opposite side of the substrate 200 as shown in FIG. Configuration is also possible.

図4は、基板200側から第4の層214、第3の層213、第2の層212、第1の層211の順で構成されている場合の例である。この時、第1の電極201を遮光性(特に反射性)とし、第2の電極202を光透過性とすることで、図4(a)のように基板200側から光を取り出す構成となる。また、第1の電極201を光透過性とし、第2の電極202を遮光性(特に反射性)とすることで、図4(b)のように基板200と逆側から光を取り出す構成となる。さらに、第1の電極201、第2の電極202の両方を光透過性とすることで、図4(c)に示すように、基板200側と基板200の逆側の両方に光を射出する構成も可能となる。   FIG. 4 shows an example in which the fourth layer 214, the third layer 213, the second layer 212, and the first layer 211 are configured in this order from the substrate 200 side. At this time, the first electrode 201 is made light-shielding (particularly reflective), and the second electrode 202 is made light-transmissive so that light is extracted from the substrate 200 side as shown in FIG. . Further, the first electrode 201 is made light-transmitting and the second electrode 202 is made light-shielding (particularly reflective), whereby light is extracted from the opposite side of the substrate 200 as shown in FIG. Become. Furthermore, by making both the first electrode 201 and the second electrode 202 light transmissive, light is emitted to both the substrate 200 side and the opposite side of the substrate 200 as shown in FIG. Configuration is also possible.

なお、第1の層211が、金属酸化物の中から選ばれた一の化合物と電子輸送性の高い化合物とを含み、第2の層212は発光性の物質を含み、第3の層213が実施の形態2および実施の形態3で示した活性化エネルギーが小さい層であり、第4の層214が、金属酸化物の中から選ばれた一の化合物と電子輸送性の高い化合物とを含む構成にすることも可能である。   Note that the first layer 211 includes one compound selected from metal oxides and a compound having a high electron-transport property, the second layer 212 includes a light-emitting substance, and the third layer 213. Is a layer with a small activation energy shown in Embodiment Mode 2 and Embodiment Mode 3, and the fourth layer 214 includes one compound selected from metal oxides and a compound having a high electron-transport property. It is also possible to have a configuration including this.

なお、本実施の形態における発光素子を作製する場合には、湿式法、乾式法を問わず、公知の方法を用いることができる。   Note that in the case of manufacturing the light-emitting element in this embodiment, a known method can be used regardless of a wet method or a dry method.

また、第1の電極201を形成した後、第1の層211、第2の層212、第3の層213、第4の層214を順次積層し、第2の電極202を形成してもよいし、第2の電極202を形成した後、第4の層214、第3の層213、第2の層212、第1の層211を順次積層し、第1の電極を形成してもよい。   Alternatively, after the first electrode 201 is formed, the first layer 211, the second layer 212, the third layer 213, and the fourth layer 214 are sequentially stacked to form the second electrode 202. Alternatively, after the second electrode 202 is formed, the fourth layer 214, the third layer 213, the second layer 212, and the first layer 211 may be sequentially stacked to form the first electrode. Good.

(実施の形態5)
本形態では、表示機能を有する発光装置の回路構成および駆動方法について図5〜8を用いて説明する。
(Embodiment 5)
In this embodiment, a circuit configuration and a driving method of a light-emitting device having a display function will be described with reference to FIGS.

図5は本発明を適用した発光装置を上面からみた模式図である。図5において、基板6500上には、画素部6511と、ソース信号線駆動回路6512と、書込用ゲート信号線駆動回路6513と、消去用ゲート信号線駆動回路6514とが設けられている。ソース信号線駆動回路6512と、書込用ゲート信号線駆動回路6513と、消去用ゲート信号線駆動回路6514とは、それぞれ、配線群を介して、外部入力端子であるFPC(フレキシブルプリントサーキット)6503と接続している。そして、ソース信号線駆動回路6512と、書込用ゲート信号線駆動回路6513と、消去用ゲート信号線駆動回路6514とは、それぞれ、FPC6503からビデオ信号、クロック信号、スタート信号、リセット信号等を受け取る。またFPC6503にはプリント配線基盤(PWB)6504が取り付けられている。なお、駆動回路部は、上記のように必ずしも画素部6511と同一基板上に設けられている必要はなく、例えば、配線パターンが形成されたFPC上にICチップを実装したもの(TCP)等を利用し、基板外部に設けられていてもよい。   FIG. 5 is a schematic view of a light emitting device to which the present invention is applied as viewed from above. In FIG. 5, a pixel portion 6511, a source signal line driver circuit 6512, a write gate signal line driver circuit 6513, and an erase gate signal line driver circuit 6514 are provided over a substrate 6500. The source signal line driver circuit 6512, the writing gate signal line driver circuit 6513, and the erasing gate signal line driver circuit 6514 are respectively FPC (flexible printed circuit) 6503 which is an external input terminal through a wiring group. Connected. The source signal line driver circuit 6512, the writing gate signal line driver circuit 6513, and the erasing gate signal line driver circuit 6514 receive a video signal, a clock signal, a start signal, a reset signal, and the like from the FPC 6503, respectively. . A printed wiring board (PWB) 6504 is attached to the FPC 6503. Note that the driver circuit portion is not necessarily provided over the same substrate as the pixel portion 6511 as described above. For example, an IC chip mounted on an FPC on which a wiring pattern is formed (TCP) or the like is used. It may be used and provided outside the substrate.

画素部6511には、列方向に延びた複数のソース信号線が行方向に並んで配列している。また、電流供給線が行方向に並んで配列している。また、画素部6511には、行方向に延びた複数のゲート信号線が列方向に並んで配列している。また画素部6511には、発光素子を含む一組の回路が複数配列している。   In the pixel portion 6511, a plurality of source signal lines extending in the column direction are arranged side by side in the row direction. In addition, current supply lines are arranged side by side in the row direction. In the pixel portion 6511, a plurality of gate signal lines extending in the row direction are arranged side by side in the column direction. In the pixel portion 6511, a plurality of sets of circuits including light-emitting elements are arranged.

図6は、一画素を動作するための回路を表した図である。図6に示す回路には、第1のトランジスタ901と第2のトランジスタ902と発光素子903とが含まれている。   FIG. 6 is a diagram illustrating a circuit for operating one pixel. The circuit illustrated in FIG. 6 includes a first transistor 901, a second transistor 902, and a light-emitting element 903.

第1のトランジスタ901と、第2のトランジスタ902とは、それぞれ、ゲート電極と、ドレイン領域と、ソース領域とを含む三端子の素子であり、ドレイン領域とソース領域の間にチャネル領域を有する。ここで、ソース領域とドレイン領域とは、トランジスタの構造や動作条件等によって変わるため、いずれがソース領域またはドレイン領域であるかを限定することが困難である。そこで、本形態においては、ソースまたはドレインとして機能する領域を、それぞれトランジスタの第1電極、トランジスタの第2電極と表記する。   Each of the first transistor 901 and the second transistor 902 is a three-terminal element including a gate electrode, a drain region, and a source region, and has a channel region between the drain region and the source region. Here, since the source region and the drain region vary depending on the structure and operating conditions of the transistor, it is difficult to limit which is the source region or the drain region. Therefore, in this embodiment, regions functioning as a source or a drain are referred to as a first electrode of a transistor and a second electrode of the transistor, respectively.

ゲート信号線911と、書込用ゲート信号線駆動回路913とはスイッチ918によって電気的に接続または非接続の状態になるように設けられている。また、ゲート信号線911と、消去用ゲート信号線駆動回路914とはスイッチ919によって電気的に接続または非接続の状態になるように設けられている。また、ソース信号線912は、スイッチ920によってソース信号線駆動回路915または電源916のいずれかに電気的に接続するように設けられている。そして、第1のトランジスタ901のゲートはゲート信号線911に電気的に接続している。また、第1のトランジスタの第1電極はソース信号線912に電気的に接続し、第1のトランジスタの第2電極は第2のトランジスタ902のゲート電極と電気的に接続している。第2のトランジスタ902の第1電極は電流供給線917と電気的に接続し、第2のトランジスタの第2電極は発光素子903に含まれる一の電極と電気的に接続している。なお、スイッチ918は、書込用ゲート信号線駆動回路913に含まれていてもよい。またスイッチ919についても消去用ゲート信号線駆動回路914の中に含まれていてもよい。また、スイッチ920についてもソース信号線駆動回路915の中に含まれていてもよい。   The gate signal line 911 and the writing gate signal line driving circuit 913 are provided so as to be electrically connected or disconnected by a switch 918. The gate signal line 911 and the erasing gate signal line driver circuit 914 are provided so as to be electrically connected or disconnected by a switch 919. The source signal line 912 is provided so as to be electrically connected to either the source signal line driver circuit 915 or the power source 916 by the switch 920. The gate of the first transistor 901 is electrically connected to the gate signal line 911. The first electrode of the first transistor is electrically connected to the source signal line 912, and the second electrode of the first transistor is electrically connected to the gate electrode of the second transistor 902. A first electrode of the second transistor 902 is electrically connected to the current supply line 917, and a second electrode of the second transistor is electrically connected to one electrode included in the light-emitting element 903. Note that the switch 918 may be included in the write gate signal line driver circuit 913. The switch 919 may also be included in the erase gate signal line driver circuit 914. Further, the switch 920 may also be included in the source signal line driver circuit 915.

また画素部におけるトランジスタや発光素子等の配置について特に限定はないが、例えば図7の上面図に表すように配置することができる。図7において、第1のトランジスタ1001の第1電極はソース信号線1004に接続し、第1のトランジスタの第2の電極は第2のトランジスタ1002のゲート電極に接続している。また第2トランジスタの第1電極は電流供給線1005に接続し、第2トランジスタの第2電極は発光素子の電極1006に接続している。ゲート信号線1003の一部は第1のトランジスタ1001のゲート電極として機能する。   There is no particular limitation on the arrangement of transistors, light-emitting elements, and the like in the pixel portion, but they can be arranged as shown in the top view of FIG. In FIG. 7, the first electrode of the first transistor 1001 is connected to the source signal line 1004, and the second electrode of the first transistor is connected to the gate electrode of the second transistor 1002. The first electrode of the second transistor is connected to the current supply line 1005, and the second electrode of the second transistor is connected to the electrode 1006 of the light emitting element. Part of the gate signal line 1003 functions as a gate electrode of the first transistor 1001.

次に、駆動方法について説明する。図8は時間経過に伴った1フレームにおける動作について説明する図である。図8において、横方向は時間経過を表し、縦方向はゲート信号線の走査段数を表している。   Next, a driving method will be described. FIG. 8 is a diagram for explaining an operation in one frame as time elapses. In FIG. 8, the horizontal direction represents the passage of time, and the vertical direction represents the number of scanning stages of the gate signal line.

本発明の発光装置を用いて画像表示を行うとき、表示期間においては、画面の書き換え動作と表示動作とが繰り返し行われる。この書き換え回数について特に限定はないが、画像をみる人がちらつき(フリッカ)を感じないように少なくとも1秒間に60回程度とすることが好ましい。ここで、一画面(1フレーム)の書き換え動作と表示動作を行う期間を1フレーム期間という。   When image display is performed using the light emitting device of the present invention, the screen rewriting operation and the display operation are repeatedly performed during the display period. The number of rewrites is not particularly limited, but is preferably at least about 60 times per second so that a person viewing the image does not feel flicker. Here, a period during which one screen (one frame) is rewritten and displayed is referred to as one frame period.

1フレームは、図8に示すように、書き込み期間501a、502a、503a、504aと保持期間501b、502b、503b、504bとを含む4つのサブフレーム501、502、503、504に時分割されている。発光するための信号を与えられた発光素子は、保持期間において発光状態となっている。各々のサブフレームにおける保持期間の長さの比は、第1のサブフレーム501:第2のサブフレーム502:第3のサブフレーム503:第4のサブフレーム504=2:2:2:2=8:4:2:1となっている。これによって4ビット階調を表現することができる。但し、ビット数及び階調数はここに記すものに限定されず、例えば8つのサブフレームを設け8ビット階調を行えるようにしてもよい。 As shown in FIG. 8, one frame is time-divided into four subframes 501, 502, 503, and 504 including a writing period 501a, 502a, 503a, and 504a and a holding period 501b, 502b, 503b, and 504b. . A light emitting element to which a signal for emitting light is given is in a light emitting state in the holding period. The ratio of the length of the holding period in each subframe is as follows: first subframe 501: second subframe 502: third subframe 503: fourth subframe 504 = 2 3 : 2 2 : 2 1 : 2 0 = 8: 4: 2: 1. As a result, 4-bit gradation can be expressed. However, the number of bits and the number of gradations are not limited to those described here. For example, eight subframes may be provided so that 8-bit gradation can be performed.

1フレームにおける動作について説明する。まず、サブフレーム501において、1行目から最終行まで順に書き込み動作が行われる。従って、行によって書き込み期間の開始時間が異なる。書き込み期間501aが終了した行から順に保持期間501bへと移る。当該保持期間において、発光するための信号を与えられている発光素子は発光状態となっている。また、保持期間501bが終了した行から順に次のサブフレーム502へ移り、サブフレーム501の場合と同様に1行目から最終行まで順に書き込み動作が行われる。以上のような動作を繰り返し、サブフレーム504の保持期間504b迄終了する。サブフレーム504における動作を終了したら次のフレームへ移る。このように、各サブフレームにおいて発光した時間の積算時間が、1フレームにおける各々の発光素子の発光時間となる。この発光時間を発光素子ごとに変えて画素部内で様々に組み合わせることによって、明度および色度の異なる様々な表示色を形成することができる。   An operation in one frame will be described. First, in the subframe 501, the write operation is performed in order from the first row to the last row. Therefore, the start time of the writing period differs depending on the row. From the row in which the writing period 501a ends, the storage period 501b is started in order. In the holding period, the light-emitting element to which a signal for emitting light is given is in a light-emitting state. Further, the processing proceeds to the next subframe 502 in order from the row in which the holding period 501b ends, and the writing operation is performed in order from the first row to the last row as in the case of the subframe 501. The operation as described above is repeated until the holding period 504b of the subframe 504 ends. When the operation in the subframe 504 is completed, the process proceeds to the next frame. Thus, the accumulated time of the light emission in each subframe is the light emission time of each light emitting element in one frame. Various display colors having different brightness and chromaticity can be formed by changing the light emission time for each light emitting element and combining them in the pixel portion.

サブフレーム504のように、最終行目までの書込が終了する前に、既に書込を終え、保持期間に移行した行における保持期間を強制的に終了させたいときは、保持期間504bの後に消去期間504cを設け、強制的に非発光の状態となるように制御することが好ましい。そして、強制的に非発光状態にした行については、一定期間、非発光の状態を保つ(この期間を非発光期間504dとする。)。そして、最終行目の書込期間が終了したら直ちに、一行目から順に次のサブフレーム(または次のフレーム)の書込期間に移行する。これによって、サブフレーム504の書き込み期間と、その次のサブフレームの書き込み期間とが重畳することを防ぐことができる。   When it is desired to forcibly end the holding period in the row that has already finished writing and has shifted to the holding period before the writing up to the last row is completed as in the subframe 504, after the holding period 504b. It is preferable to provide an erasing period 504c and control to forcibly enter a non-light emitting state. Then, the row that is forcibly set to the non-light emitting state is kept in the non-light emitting state for a certain period (this period is referred to as a non-light emitting period 504d). Then, immediately after the writing period of the last row is completed, the writing period of the next subframe (or the next frame) is started in order from the first row. Accordingly, it is possible to prevent the writing period of the subframe 504 and the writing period of the next subframe from overlapping.

なお、本形態では、サブフレーム501乃至504は保持期間の長いものから順に並んでいるが、必ずしも本実施例のような並びにする必要はなく、例えば保持期間の短いものから順に並べられていてもよいし、または保持期間の長いものと短いものとがランダムに並んでいてもよい。また、サブフレームは、さらに複数のフレームに分割されていてもよい。つまり、同じ映像信号を与えている期間、ゲート信号線の走査を複数回行ってもよい。   In this embodiment, the subframes 501 to 504 are arranged in order from the longest holding period. However, the subframes 501 to 504 are not necessarily arranged as in the present embodiment. For example, the subframes 501 to 504 may be arranged in order from the shortest holding period. Alternatively, a long holding period and a short holding period may be arranged at random. In addition, the subframe may be further divided into a plurality of frames. That is, the gate signal line may be scanned a plurality of times during the period when the same video signal is applied.

ここで、書込期間および消去期間における、図6で示す回路の動作について説明する。   Here, the operation of the circuit shown in FIG. 6 in the writing period and the erasing period will be described.

まず書込期間における動作について説明する。書込期間において、n行目(nは自然数)のゲート信号線911は、スイッチ918を介して書込用ゲート信号線駆動回路913と電気的に接続し、消去用ゲート信号線駆動回路914とは非接続である。また、ソース信号線912はスイッチ920を介してソース信号線駆動回路と電気的に接続している。ここで、n行目(nは自然数)のゲート信号線911に接続した第1のトランジスタ901のゲートに信号が入力され、第1のトランジスタ901はオンとなる。そして、この時、1列目から最終列目迄のソース信号線に同時に映像信号が入力される。なお、各列のソース信号線912から入力される映像信号は互いに独立したものである。ソース信号線912から入力された映像信号は、各々のソース信号線に接続した第1のトランジスタ901を介して第2のトランジスタ902のゲート電極に入力される。この時第2のトランジスタ902に入力された信号によって、電流供給線917と発光素子903との導通又は非導通が決まり、発光素子903は発光または非発光が決まる。例えば、第2のトランジスタ902がPチャネル型である場合は、第2のトランジスタ902のゲート電極にLow Levelの信号が入力されることによって発光素子903が発光する。一方、第2のトランジスタ902がNチャネル型である場合は、第2のトランジスタ902のゲート電極にHigh Levelの信号が入力されることによって発光素子903が発光する。   First, the operation in the writing period will be described. In the writing period, the gate signal line 911 in the n-th row (n is a natural number) is electrically connected to the writing gate signal line driving circuit 913 via the switch 918 and is connected to the erasing gate signal line driving circuit 914. Is disconnected. The source signal line 912 is electrically connected to the source signal line driver circuit through the switch 920. Here, a signal is input to the gate of the first transistor 901 connected to the gate signal line 911 in the n-th row (n is a natural number), and the first transistor 901 is turned on. At this time, video signals are simultaneously input to the source signal lines from the first column to the last column. Note that the video signals input from the source signal lines 912 in each column are independent from each other. The video signal input from the source signal line 912 is input to the gate electrode of the second transistor 902 through the first transistor 901 connected to each source signal line. At this time, conduction or non-conduction between the current supply line 917 and the light-emitting element 903 is determined by a signal input to the second transistor 902, and the light-emitting element 903 determines light emission or non-light emission. For example, in the case where the second transistor 902 is a p-channel transistor, the light-emitting element 903 emits light by inputting a low level signal to the gate electrode of the second transistor 902. On the other hand, when the second transistor 902 is an n-channel transistor, the light emitting element 903 emits light when a high level signal is input to the gate electrode of the second transistor 902.

次に消去期間における動作について説明する。消去期間において、n行目(nは自然数)のゲート信号線911は、スイッチ919を介して消去用ゲート信号線駆動回路914と電気的に接続し、書込用ゲート信号線駆動回路913とは非接続である。また、ソース信号線912はスイッチ920を介して電源916と電気的に接続している。ここで、n行目のゲート信号線911に接続した第1のトランジスタ901のゲートに信号が入力され、第1のトランジスタ901はオンとなる。そして、この時、1列目から最終列目迄のソース信号線に同時に消去信号が入力される。ソース信号線912から入力された消去信号は、各々のソース信号線に接続した第1のトランジスタ901を介して第2のトランジスタ902のゲート電極に入力される。この時第2のトランジスタ902に入力された信号によって、電流供給線917と発光素子903とが非導通状態になる。そして、発光素子903は強制的に非発光となる。例えば、第2のトランジスタ902がPチャネル型である場合は、第2のトランジスタ902のゲート電極にHigh Levelの信号が入力されることによって発光素子903は非発光となる。一方、第2のトランジスタ902がNチャネル型である場合は、第2のトランジスタ902のゲート電極にLow Levelの信号が入力されることによって発光素子903は非発光となる。   Next, the operation in the erasing period will be described. In the erasing period, the gate signal line 911 in the n-th row (n is a natural number) is electrically connected to the erasing gate signal line driving circuit 914 via the switch 919, and is connected to the writing gate signal line driving circuit 913. Not connected. The source signal line 912 is electrically connected to the power source 916 through the switch 920. Here, a signal is input to the gate of the first transistor 901 connected to the gate signal line 911 in the n-th row, and the first transistor 901 is turned on. At this time, the erase signal is simultaneously input to the source signal lines from the first column to the last column. The erase signal input from the source signal line 912 is input to the gate electrode of the second transistor 902 through the first transistor 901 connected to each source signal line. At this time, the current supply line 917 and the light-emitting element 903 are turned off by a signal input to the second transistor 902. Then, the light emitting element 903 is forced to emit no light. For example, in the case where the second transistor 902 is a p-channel transistor, the light-emitting element 903 does not emit light when a high level signal is input to the gate electrode of the second transistor 902. On the other hand, in the case where the second transistor 902 is an n-channel transistor, the light emitting element 903 does not emit light by inputting a low level signal to the gate electrode of the second transistor 902.

なお、消去期間では、n行目(nは自然数)については、以上に説明したような動作によって消去する為の信号を入力する。しかし、前述のように、n行目が消去期間であると共に、他の行(m行目(mは自然数)とする。)については書込期間となる場合がある。このような場合、同じ列のソース信号線を利用してn行目には消去の為の信号を、m行目には書込の為の信号を入力する必要があるため、以下に説明するような動作させることが好ましい。   In the erasing period, for the nth row (n is a natural number), a signal for erasing is input by the operation as described above. However, as described above, the nth row may be an erasing period and the other row (mth row (m is a natural number)) may be a writing period. In such a case, it is necessary to input a signal for erasure to the n-th row and a signal for writing to the m-th row using the source signal line in the same column. It is preferable to operate as described above.

先に説明した消去期間における動作によって、n行目の発光素子903が非発光となった後、直ちに、ゲート信号線と消去用ゲート信号線駆動回路914とを非接続の状態とすると共に、スイッチ920を切り替えてソース信号線とソース信号線駆動回路915と接続させる。そして、ソース信号線とソース信号線駆動回路915とを接続させる共に、ゲート信号線と書込用ゲート信号線駆動回路913とを接続させる。そして、書込用ゲート信号線駆動回路913からm行目の信号線に選択的に信号が入力され、第1のトランジスタがオンすると共に、ソース信号線駆動回路915からは、1列目から最終列目迄のソース信号線に書込の為の信号が入力される。この信号によって、m行目の発光素子は、発光または非発光となる。   Immediately after the light emitting element 903 in the n-th row does not emit light by the operation in the erasing period described above, the gate signal line and the erasing gate signal line driving circuit 914 are immediately disconnected, and the switch The source signal line and the source signal line driver circuit 915 are connected by switching 920. Then, the source signal line and the source signal line driver circuit 915 are connected, and the gate signal line and the writing gate signal line driver circuit 913 are connected. Then, a signal is selectively input from the writing gate signal line driving circuit 913 to the m-th signal line, the first transistor is turned on, and the source signal line driving circuit 915 receives the final signal from the first column. A signal for writing is input to the source signal lines up to the column. By this signal, the m-th row light emitting element emits light or does not emit light.

以上のようにしてm行目について書込期間を終えたら、直ちに、n+1行目の消去期間に移行する。その為に、ゲート信号線と書込用ゲート信号線駆動回路913を非接続とすると共に、スイッチ920を切り替えてソース信号線を電源916と接続する。また、ゲート信号線と書込用ゲート信号線駆動回路913を非接続とすると共に、ゲート信号線については、消去用ゲート信号線駆動回路914と接続状態にする。そして、消去用ゲート信号線駆動回路914からn+1行目のゲート信号線に選択的に信号を入力して第1のトランジスタに信号をオンする共に、電源916から消去信号が入力される。このようにして、n+1行目の消去期間を終えたら、直ちに、m行目の書込期間に移行する。以下、同様に、消去期間と書込期間とを繰り返し、最終行目の消去期間まで動作させればよい。   Immediately after the writing period for the m-th row is completed as described above, the erasing period for the (n + 1) -th row is started. For this purpose, the gate signal line and the writing gate signal line driving circuit 913 are disconnected, and the switch 920 is switched to connect the source signal line to the power source 916. Further, the gate signal line and the writing gate signal line driving circuit 913 are disconnected, and the gate signal line is connected to the erasing gate signal line driving circuit 914. Then, a signal is selectively input from the erasing gate signal line driving circuit 914 to the gate signal line of the (n + 1) th row to turn on the signal to the first transistor, and an erasing signal is input from the power supply 916. In this way, when the erasing period of the (n + 1) th row is finished, the writing period immediately proceeds to the mth row. Thereafter, similarly, the erasing period and the writing period may be repeated until the erasing period of the last row is operated.

なお、本形態では、n行目の消去期間とn+1行目の消去期間との間にm行目の書込期間を設ける態様について説明したが、これに限らず、n−1行目の消去期間とn行目の消去期間との間にm行目の書込期間を設けてもよい。   In this embodiment, the mode in which the m-th writing period is provided between the n-th erasing period and the (n + 1) -th erasing period has been described. An m-th writing period may be provided between the period and the n-th erasing period.

また、本形態では、サブフレーム504のように非発光期間504dを設けるときおいて、消去用ゲート信号線駆動回路914と或る一のゲート信号線とを非接続状態にすると共に、書込用ゲート信号線駆動回路913と他のゲート信号線とを接続状態にする動作を繰り返している。このような動作は、特に非発光期間を設けないフレームにおいて行っても構わない。   Further, in this embodiment, when the non-light emission period 504d is provided as in the subframe 504, the erasing gate signal line driver circuit 914 and a certain gate signal line are brought into a non-connected state, and writing is performed. The operation of connecting the gate signal line driving circuit 913 and the other gate signal lines is repeated. Such an operation may be performed particularly in a frame in which a non-light emitting period is not provided.

(実施の形態6)
本発明の発光素子を含む発光装置の断面図の一態様について、図9を用いて説明する。
(Embodiment 6)
One mode of a cross-sectional view of a light-emitting device including the light-emitting element of the present invention is described with reference to FIGS.

図9において、点線で囲まれているのは、本発明の発光素子12を駆動するために設けられているトランジスタ11である。発光素子12は、第1の電極13と第2の電極14との間に発光物質を含む層と電気伝導度の活性化エネルギーが小さい層が積層された層15を有する本発明の発光素子である。トランジスタ11のドレインと第1の電極13とは、第1層間絶縁層16(16a、16b、16c)を貫通している配線17によって電気的に接続されている。また、発光素子12は、隔壁層18によって、隣接して設けられている別の発光素子と分離されている。このような構成を有する本発明の発光装置は、本形態において、基板10上に設けられている。   In FIG. 9, the transistor 11 provided for driving the light emitting element 12 of the present invention is surrounded by a dotted line. The light-emitting element 12 is a light-emitting element of the present invention having a layer 15 in which a layer containing a light-emitting substance and a layer having low activation energy of electrical conductivity are stacked between a first electrode 13 and a second electrode 14. is there. The drain of the transistor 11 and the first electrode 13 are electrically connected by a wiring 17 penetrating the first interlayer insulating layer 16 (16a, 16b, 16c). The light emitting element 12 is separated from another light emitting element provided adjacent thereto by a partition wall layer 18. The light-emitting device of the present invention having such a structure is provided over the substrate 10 in this embodiment.

なお、図9に示されたトランジスタ11は、半導体層を中心として基板と逆側にゲート電極が設けられたトップゲート型のものである。但し、トランジスタ11の構造については、特に限定はなく、例えばボトムゲート型のものでもよい。またボトムゲートの場合には、チャネルを形成する半導体層の上に保護膜が形成されたもの(チャネル保護型)でもよいし、或いはチャネルを形成する半導体層の一部が凹状になったもの(チャネルエッチ型)でもよい。   Note that the transistor 11 illustrated in FIG. 9 is a top-gate transistor in which a gate electrode is provided on the side opposite to a substrate with a semiconductor layer as a center. However, the structure of the transistor 11 is not particularly limited, and may be, for example, a bottom gate type. In the case of a bottom gate, the semiconductor layer forming a channel may be formed with a protective film (channel protection type), or the semiconductor layer forming the channel may be partially concave ( Channel etch type).

また、トランジスタ11を構成する半導体層は、結晶性、非結晶性のいずれのものでもよい。また、セミアモルファス等でもよい。   Further, the semiconductor layer included in the transistor 11 may be either crystalline or non-crystalline. Moreover, a semi-amorphous etc. may be sufficient.

なお、セミアモルファスな半導体とは、次のようなものである。非晶質と結晶構造(単結晶、多結晶を含む)の中間的な構造を有し、自由エネルギー的に安定な第3の状態を有する半導体であって、短距離秩序を持ち格子歪みを有する結晶質な領域を含んでいるものである。また少なくとも膜中の一部の領域には、0.5〜20nmの結晶粒を含んでいる。ラマンスペクトルが520cm−1よりも低波数側にシフトしている。X線回折ではSi結晶格子に由来するとされる(111)、(220)の回折ピークが観測される。未結合手(ダングリングボンド)を終端化するために水素またはハロゲンを少なくとも1原子%またはそれ以上含ませている。所謂微結晶半導体(マイクロクリスタル半導体)とも言われている。珪素を含む気体をグロー放電分解(プラズマCVD)して形成する。珪素を含む気体としては、SiH、その他にもSi、SiHCl、SiHCl、SiCl、SiFなどを用いることが可能である。この珪素を含む気体をH、又は、HとHe、Ar、Kr、Neから選ばれた一種または複数種の希ガス元素で希釈しても良い。希釈率は2〜1000倍の範囲。圧力は概略0.1Pa〜133Paの範囲、電源周波数は1MHz〜120MHz、好ましくは13MHz〜60MHz。基板加熱温度は300℃以下でよく、好ましくは100〜250℃。膜中の不純物元素として、酸素、窒素、炭素などの大気成分の不純物は1×1020/cm以下とすることが望ましく、特に、酸素濃度は5×1019/cm以下、好ましくは1×1019/cm以下とする。なお、セミアモルファスなものを有する半導体を用いたTFT(薄膜トランジスタ)の移動度はおよそ1〜10m/Vsecとなる。 The semi-amorphous semiconductor is as follows. A semiconductor having an intermediate structure between amorphous and crystalline (including single crystal and polycrystal) and having a third state that is stable in terms of free energy, has a short-range order, and has a lattice distortion. It contains a crystalline region. Further, at least a part of the region in the film contains crystal grains of 0.5 to 20 nm. The Raman spectrum is shifted to the lower wavenumber side than 520 cm −1 . In X-ray diffraction, diffraction peaks of (111) and (220) that are derived from the Si crystal lattice are observed. In order to terminate dangling bonds (dangling bonds), hydrogen or halogen is contained at least 1 atomic% or more. It is also called a so-called microcrystalline semiconductor (microcrystal semiconductor). A gas containing silicon is formed by glow discharge decomposition (plasma CVD). As a gas containing silicon, SiH 4 , Si 2 H 6 , SiH 2 Cl 2 , SiHCl 3 , SiCl 4 , SiF 4, or the like can be used. The gas containing silicon may be diluted with H 2 , or H 2 and one or more kinds of rare gas elements selected from He, Ar, Kr, and Ne. The dilution rate is in the range of 2 to 1000 times. The pressure is generally in the range of 0.1 Pa to 133 Pa, and the power supply frequency is 1 MHz to 120 MHz, preferably 13 MHz to 60 MHz. The substrate heating temperature may be 300 ° C. or less, preferably 100 to 250 ° C. As an impurity element in the film, impurities of atmospheric components such as oxygen, nitrogen, and carbon are desirably 1 × 10 20 / cm 3 or less, and in particular, the oxygen concentration is 5 × 10 19 / cm 3 or less, preferably 1 × 10 19 / cm 3 or less. Note that the mobility of a TFT (thin film transistor) using a semi-amorphous semiconductor is approximately 1 to 10 m 2 / Vsec.

また、半導体層が結晶性のものの具体例としては、単結晶または多結晶性の珪素、或いはシリコンゲルマニウム等から成るものが挙げられる。これらはレーザー結晶化によって形成されたものでもよいし、例えばニッケル等を用いた固相成長法による結晶化によって形成されたものでもよい。   Further, specific examples of the crystalline semiconductor layer include those made of single crystal or polycrystalline silicon, silicon germanium, or the like. These may be formed by laser crystallization, or may be formed by crystallization by a solid phase growth method using nickel or the like, for example.

なお、半導体層が非晶質の物質、例えばアモルファスシリコンで形成される場合には、トランジスタ11およびその他のトランジスタ(発光素子を駆動するための回路を構成するトランジスタ)は全てNチャネル型トランジスタで構成された回路を有する発光装置であることが好ましい。それ以外については、Nチャネル型またはPチャネル型のいずれか一のトランジスタで構成された回路を有する発光装置でもよいし、両方のトランジスタで構成された回路を有する発光装置でもよい。   Note that in the case where the semiconductor layer is formed of an amorphous material, for example, amorphous silicon, the transistor 11 and other transistors (transistors constituting a circuit for driving a light emitting element) are all configured by N-channel transistors. It is preferable that the light-emitting device have a structured circuit. Other than that, a light-emitting device having a circuit including any one of an N-channel transistor and a P-channel transistor, or a light-emitting device including a circuit including both transistors may be used.

さらに、第1層間絶縁膜16は、図9(A)、(B)、(C)に示すように多層でもよいし、または単層でもよい。なお、第1層間絶縁層16aは酸化珪素や窒化珪素のような無機物から成り、第1層間絶縁膜16bはアクリルやシロキサン(シリコン(Si)と酸素(O)との結合で骨格構造が構成され、置換基に少なくとも水素を含む物質)、塗布成膜可能な酸化珪素等の自己平坦性を有する物質から成る。さらに、第1層間絶縁膜16cはアルゴン(Ar)を含む窒化珪素膜から成る。なお、各層を構成する物質については、特に限定はなく、ここに述べたもの以外のものを用いてもよい。また、これら以外の物質から成る層をさらに組み合わせてもよい。このように、第1層間絶縁膜16は、無機物または有機物の両方を用いて形成されたものでもよいし、または無機膜と有機膜のいずれか一で形成されたものでもよい。   Further, the first interlayer insulating film 16 may be a multilayer as shown in FIGS. 9A, 9B, or 9C, or may be a single layer. The first interlayer insulating layer 16a is made of an inorganic material such as silicon oxide or silicon nitride, and the first interlayer insulating film 16b has a skeleton structure formed of a bond of acrylic or siloxane (silicon (Si) and oxygen (O). , A substance containing at least hydrogen as a substituent), and a self-flattening substance such as silicon oxide that can be coated and formed. Further, the first interlayer insulating film 16c is made of a silicon nitride film containing argon (Ar). In addition, there is no limitation in particular about the substance which comprises each layer, You may use things other than what was described here. Moreover, you may further combine the layer which consists of substances other than these. As described above, the first interlayer insulating film 16 may be formed using both an inorganic material and an organic material, or may be formed of any one of an inorganic film and an organic film.

隔壁層18は、エッジ部において、曲率半径が連続的に変化する形状であることが好ましい。また隔壁層18は、アクリルやシロキサン、レジスト、酸化珪素等を用いて形成される。なお隔壁層18は、無機膜と有機膜のいずれか一で形成されたものでもよいし、または両方を用いて形成されたものでもよい。   The partition layer 18 preferably has a shape in which the radius of curvature continuously changes at the edge portion. The partition layer 18 is formed using acrylic, siloxane, resist, silicon oxide, or the like. The partition wall layer 18 may be formed of any one of an inorganic film and an organic film, or may be formed using both.

なお、図9(A)、(C)では、第1層間絶縁膜16のみがトランジスタ11と発光素子12の間に設けられた構成であるが、図9(B)のように、第1層間絶縁膜16(第1層間絶縁膜16a、16b)の他、第2層間絶縁膜19(第2層間絶縁膜19a、19b)が設けられた構成のものであってもよい。図9(B)に示す発光装置においては、第1の電極13は第2層間絶縁膜19を貫通し、配線17と接続している。   In FIGS. 9A and 9C, only the first interlayer insulating film 16 is provided between the transistor 11 and the light emitting element 12. However, as shown in FIG. 9B, the first interlayer insulating film 16 is provided. In addition to the insulating film 16 (first interlayer insulating films 16a and 16b), a structure in which a second interlayer insulating film 19 (second interlayer insulating films 19a and 19b) is provided may be used. In the light emitting device shown in FIG. 9B, the first electrode 13 penetrates through the second interlayer insulating film 19 and is connected to the wiring 17.

第2層間絶縁膜19は、第1層間絶縁膜16と同様に、多層でもよいし、または単層でもよい。19aはアクリルやシロキサン(シリコン(Si)と酸素(O)との結合で骨格構造が構成され、置換基に少なくとも水素を含む物質)、塗布成膜可能な酸化珪素等の自己平坦性を有する物質から成る。さらに、19bはアルゴン(Ar)を含む窒化珪素膜から成る。なお、各層を構成する物質については、特に限定はなく、ここに述べたもの以外のものを用いてもよい。また、これら以外の物質から成る層をさらに組み合わせてもよい。このように、第2層間絶縁膜19は、無機物または有機物の両方を用いて形成されたものでもよいし、または無機膜と有機膜のいずれか一で形成されたものでもよい。   Similar to the first interlayer insulating film 16, the second interlayer insulating film 19 may be a multilayer or a single layer. 19a is a substance having self-flatness such as acrylic or siloxane (a substance having a skeletal structure composed of a bond of silicon (Si) and oxygen (O) and having at least hydrogen as a substituent), silicon oxide capable of being coated and formed. Consists of. Further, 19b is made of a silicon nitride film containing argon (Ar). In addition, there is no limitation in particular about the substance which comprises each layer, You may use things other than what was described here. Moreover, you may further combine the layer which consists of substances other than these. As described above, the second interlayer insulating film 19 may be formed using both an inorganic material and an organic material, or may be formed of any one of an inorganic film and an organic film.

発光素子12において、第1の電極および第2の電極がいずれも透光性を有する物質で構成されている場合、図9(A)の白抜きの矢印で表されるように、第1の電極13側と第2の電極14側の両方から発光を取り出すことができる。また、第2の電極14のみが透光性を有する物質で構成されている場合、図9(B)の白抜きの矢印で表されるように、第2の電極14側のみから発光を取り出すことができる。この場合、第1の電極13は反射率の高い材料で構成されているか、または反射率の高い材料から成る膜(反射膜)が第1の電極13の下方に設けられていることが好ましい。また、第1の電極13のみが透光性を有する物質で構成されている場合、図9(C)の白抜きの矢印で表されるように、第1の電極13側のみから発光を取り出すことができる。この場合、第2の電極14は反射率の高い材料で構成されているか、または反射膜が第2の電極14の上方に設けられていることが好ましい。   In the light-emitting element 12, when both the first electrode and the second electrode are formed using a light-transmitting substance, the first electrode and the second electrode are represented by white arrows in FIG. Light emission can be extracted from both the electrode 13 side and the second electrode 14 side. In addition, in the case where only the second electrode 14 is formed using a light-transmitting substance, light emission is extracted only from the second electrode 14 side as represented by a white arrow in FIG. 9B. be able to. In this case, it is preferable that the first electrode 13 is made of a material having a high reflectivity, or a film (reflective film) made of a material having a high reflectivity is provided below the first electrode 13. In addition, in the case where only the first electrode 13 is formed using a light-transmitting substance, light emission is extracted only from the first electrode 13 side as represented by a white arrow in FIG. 9C. be able to. In this case, it is preferable that the second electrode 14 is made of a highly reflective material, or a reflective film is provided above the second electrode 14.

また、発光素子12は、第1の電極13の電位よりも第2の電極14の電位が高くなるように電圧を印加したときに動作するように層15が積層されたものであってもよいし、或いは、第1の電極13の電位よりも第2の電極14の電位が低くなるように電圧を印加したときに動作するように層15が積層されたものであってもよい。前者の場合、トランジスタ11はNチャネル型トランジスタであり、後者の場合、トランジスタ11はPチャネル型トランジスタである。   In addition, the light emitting element 12 may be one in which the layer 15 is stacked so as to operate when a voltage is applied so that the potential of the second electrode 14 is higher than the potential of the first electrode 13. Alternatively, the layer 15 may be stacked so as to operate when a voltage is applied so that the potential of the second electrode 14 is lower than the potential of the first electrode 13. In the former case, the transistor 11 is an N-channel transistor, and in the latter case, the transistor 11 is a P-channel transistor.

以上のように、本実施の形態では、トランジスタによって発光素子の駆動を制御するアクティブ型の発光装置について説明したが、この他、トランジスタ等の駆動用の素子を特に設けずに発光素子を駆動させるパッシブ型の発光装置であってもよい。パッシブ型の発光装置においても、低駆動電圧で動作する本発明の発光素子を含むことによって、低消費電力で駆動させることができる。   As described above, in this embodiment mode, an active light-emitting device that controls driving of a light-emitting element using a transistor has been described. In addition to this, a light-emitting element is driven without particularly providing a driving element such as a transistor. A passive light emitting device may be used. A passive light-emitting device can also be driven with low power consumption by including the light-emitting element of the present invention that operates at a low drive voltage.

(実施の形態7)
本発明の発光素子を含む発光装置は良好な画像を表示することができるため、本発明の発光装置を電子機器の表示部に適用することによって、優れた映像を提供できる電子機器を得ることができる。また、本発明の発光素子を含む発光装置は低消費電力で駆動するため、本発明の発光装置を電子機器の表示部に適用することによって、消費電力の少ない電子機器を得ることができ、例えば、待受時間等の長い電話機等を得ることができる。
(Embodiment 7)
Since a light-emitting device including the light-emitting element of the present invention can display a good image, an electronic device that can provide excellent images can be obtained by applying the light-emitting device of the present invention to a display portion of an electronic device. it can. In addition, since a light-emitting device including a light-emitting element of the present invention is driven with low power consumption, an electronic device with low power consumption can be obtained by applying the light-emitting device of the present invention to a display portion of an electronic device. A telephone with a long standby time can be obtained.

本発明を適用した発光装置を実装した電子機器の一実施例を図10に示す。   One embodiment of an electronic device mounted with a light emitting device to which the present invention is applied is shown in FIG.

図10(A)は、本発明を適用して作製したコンピュータであり、本体5521、筐体5522、表示部5523、キーボード5524などによって構成されている。本発明の発光素子を有する発光装置を表示部として組み込むことでコンピュータを完成できる。   FIG. 10A illustrates a computer manufactured by applying the present invention, which includes a main body 5521, a housing 5522, a display portion 5523, a keyboard 5524, and the like. A computer can be completed by incorporating a light-emitting device having the light-emitting element of the present invention as a display portion.

図10(B)は、本発明を適用して作製した電話機であり、本体5552には表示部5551と、音声出力部5554、音声入力部5555、操作スイッチ5556、5557、アンテナ5553等によって構成されている。本発明の発光素子を有する発光装置を表示部として組み込むことで電話機を完成できる。   FIG. 10B illustrates a telephone manufactured by applying the present invention. The main body 5552 includes a display portion 5551, a sound output portion 5554, a sound input portion 5555, operation switches 5556 and 5557, an antenna 5553, and the like. ing. A telephone can be completed by incorporating a light-emitting device having the light-emitting element of the present invention as a display portion.

図10(C)は、本発明を適用して作製したテレビ受像機であり、表示部5531、筐体5532、スピーカー5533などによって構成されている。本発明の発光素子を有する発光装置を表示部として組み込むことでテレビ受像機を完成できる。   FIG. 10C illustrates a television set manufactured by applying the present invention, which includes a display portion 5531, a housing 5532, a speaker 5533, and the like. A television receiver can be completed by incorporating a light-emitting device having the light-emitting element of the present invention as a display portion.

以上のように本発明の発光装置は、各種電子機器の表示部として用いるのに非常に適している。   As described above, the light-emitting device of the present invention is very suitable for use as a display portion of various electronic devices.

なお、本形態では、コンピュータ、電話機、及びテレビ受像機について述べているが、この他に電話機、ナビゲイション装置、或いは照明機器等に本発明の発光素子を有する発光装置を実装しても構わない。   Note that although a computer, a telephone set, and a television receiver are described in this embodiment mode, a light-emitting device having the light-emitting element of the present invention may be mounted on a telephone, a navigation device, a lighting device, or the like. Absent.

(合成例)
本実施例では、実施の形態3で用いた構造式(1)で表されるN,N’−ビス(スピロ−9,9’−ビフルオレン−2−イル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(略称:BSPB)の合成方法について説明する。
(Synthesis example)
In this example, N, N′-bis (spiro-9,9′-bifluoren-2-yl) -N, N′-diphenylbenzidine represented by the structural formula (1) used in Embodiment 3 ( A method for synthesizing (abbreviation: BSPB) will be described.

Figure 2006261653
Figure 2006261653

[ステップ1]
2−ブロモ−スピロ−9,9’−ビフルオレンの合成方法について説明する。
[Step 1]
A method for synthesizing 2-bromo-spiro-9,9′-bifluorene will be described.

100mlの三口フラスコに、マグネシウム1.26g(0.052mol)を入れ、系内を真空下にし、30分加熱撹拌し、活性化した。室温にさましてから系内を窒素気流下にし、ジエチルエーテル5ml、ジブロモエタン数滴を加え、ジエチルエーテル15ml中に溶かした2−ブロモビフェニル11.65g(0.050mol)をゆっくり滴下し、滴下終了後3時間還流してグリニヤール試薬とした。200ml三口フラスコに2−ブロモフルオレノン11.7g(0.045mol)、ジエチルエーテル40mlを入れた。この反応溶液に合成したグリニヤール試薬をゆっくり滴下し、滴下終了後2時間還流し、さらに室温で一晩撹拌した。反応終了後、反応溶液を飽和塩化アンモニア水溶液で2回洗浄し、水層を酢酸エチルで2回抽出し、有機層とあわせて飽和食塩水で洗浄した。硫酸マグネシウムにより乾燥後、吸引濾過、濃縮し、固体状の9−(2−ビフェニリル)−2−ブロモ−9−フルオレノールを18.76g、収率90%で得た。   Into a 100 ml three-necked flask, 1.26 g (0.052 mol) of magnesium was put, the inside of the system was put under vacuum, and the mixture was heated and stirred for 30 minutes to activate. After cooling to room temperature, the system is placed under a nitrogen stream, 5 ml of diethyl ether and a few drops of dibromoethane are added, and 11.65 g (0.050 mol) of 2-bromobiphenyl dissolved in 15 ml of diethyl ether is slowly added dropwise to complete the addition. Thereafter, the mixture was refluxed for 3 hours to obtain a Grignard reagent. In a 200 ml three-necked flask, 11.7 g (0.045 mol) of 2-bromofluorenone and 40 ml of diethyl ether were placed. The synthesized Grignard reagent was slowly added dropwise to the reaction solution, refluxed for 2 hours after completion of the addition, and further stirred overnight at room temperature. After completion of the reaction, the reaction solution was washed twice with a saturated aqueous ammonium chloride solution, the aqueous layer was extracted twice with ethyl acetate, and the organic layer was washed with saturated brine. After drying with magnesium sulfate, suction filtration and concentration were performed to obtain 18.76 g of solid 9- (2-biphenylyl) -2-bromo-9-fluorenol in a yield of 90%.

次に、200mlの三口フラスコに、合成した9−(2−ビフェニリル)−2−ブロモ−9−フルオレノール18.76g(0.045mol)、氷酢酸100mlを入れ、濃塩酸数滴を加え2時間還流した。反応終了後、吸引濾過により析出物を回収し、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液および水で濾過洗浄した。得られた褐色固体をエタノールで再結晶したところ淡褐色粉末状固体を10.24g、収率57%で得た。核磁気共鳴法(H−NMR)によって、この淡褐色粉末状固体が2−ブロモ−スピロ−9,9’−ビフルオレンであることを確認した。この化合物のH−NMRは次のようであった。 Next, the synthesized 9- (2-biphenylyl) -2-bromo-9-fluorenol (18.76 g, 0.045 mol) and glacial acetic acid (100 ml) were placed in a 200 ml three-necked flask, and a few drops of concentrated hydrochloric acid were added and refluxed for 2 hours. did. After completion of the reaction, the precipitate was collected by suction filtration, and washed by filtration with a saturated aqueous sodium hydrogen carbonate solution and water. The obtained brown solid was recrystallized with ethanol to obtain 10.24 g of a light brown powdery solid in a yield of 57%. This light brown powdery solid was confirmed to be 2-bromo-spiro-9,9′-bifluorene by nuclear magnetic resonance ( 1 H-NMR). 1 H-NMR of this compound was as follows.

この化合物のH−NMRを次に示す。
H−NMR(300MHz,CDCl)δppm:7.86−7.79(m,3H),7.70(d,1H,J=8.4 Hz),7.47−7.50(m,1H),7.41−7.34(m,3H),7.12(t,3H,J=7.7Hz),6.85(d,1H,J=2.1Hz),6.74−6.70(m,3H)
1 H-NMR of this compound is shown below.
1 H-NMR (300 MHz, CDCl 3 ) δ ppm: 7.86-7.79 (m, 3H), 7.70 (d, 1H, J = 8.4 Hz), 7.47-7.50 (m , 1H), 7.41-7.34 (m, 3H), 7.12 (t, 3H, J = 7.7 Hz), 6.85 (d, 1H, J = 2.1 Hz), 6.74. -6.70 (m, 3H)

また、以上に説明した合成方法の合成スキーム(b−1)を次に示す。   Moreover, the synthesis scheme (b-1) of the synthesis method described above is shown below.

Figure 2006261653
Figure 2006261653

[ステップ2]
N,N’−ビス(スピロ−9,9’−ビフルオレン−2−イル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(略称:BSPB)の合成方法について説明する。
[Step 2]
A method for synthesizing N, N′-bis (spiro-9,9′-bifluoren-2-yl) -N, N′-diphenylbenzidine (abbreviation: BSPB) will be described.

100mlの三口フラスコに、N,N’−ジフェニルベンジジン1.00g (0.0030mol)、ステップ1の合成方法によって合成した2−ブロモ−スピロ−9,9’−ビフルオレン2.49g(0.0062mol)、ビス(ジベンジリデンアセトン)パラジウム170mg(0.30mmol)、tert−ブトキシナトリウム 1.08g(0.011mol)を入れ、系内を窒素気流下にした後、脱水トルエン20mlと、トリ−tert−ブチルホスフィン10%ヘキサン溶液0.6mlを加え、80℃で6時間攪拌した。反応終了後、反応溶液を室温まで冷ましてから水を加え、析出した固体を吸引ろ過により回収し、ジクロロメタンで洗浄した。得られた白色固体をアルミナカラムクロマトグラフィー(クロロホルム)により精製し、ジクロロメタンで再結晶したところ、白色粉末状固体を2.66g、収率93%得た。   In a 100 ml three-necked flask, 1.00 g (0.0030 mol) of N, N′-diphenylbenzidine, 2.49 g (0.0062 mol) of 2-bromo-spiro-9,9′-bifluorene synthesized by the synthesis method of Step 1 , 170 mg (0.30 mmol) of bis (dibenzylideneacetone) palladium and 1.08 g (0.011 mol) of tert-butoxy sodium were added, and the system was purged with nitrogen, and then 20 ml of dehydrated toluene and tri-tert-butyl were added. 0.6 ml of 10% phosphine hexane solution was added and stirred at 80 ° C. for 6 hours. After completion of the reaction, the reaction solution was cooled to room temperature, water was added, and the precipitated solid was collected by suction filtration and washed with dichloromethane. The obtained white solid was purified by alumina column chromatography (chloroform) and recrystallized with dichloromethane. As a result, 2.66 g of white powdery solid was obtained in a yield of 93%.

以上に説明した合成方法の合成スキーム(b−2)を次に示す。このように、本発明の化合物は、N,N’−ジフェニルベンジジンと2−ブロモ−スピロ−9,9’−ビフルオレンのカップリング反応によって合成することができる。   A synthesis scheme (b-2) of the synthesis method described above is shown below. Thus, the compound of the present invention can be synthesized by a coupling reaction of N, N'-diphenylbenzidine and 2-bromo-spiro-9,9'-bifluorene.

Figure 2006261653
Figure 2006261653

また、得られた化合物のガラス転移温度、結晶化温度、融点について、示差走査熱量分析装置(DSC:Differential Scanning Calorimetry、パーキンエルマー製、型番:Pyris1 DSC)を用いて調べた。ここでDSCによる測定は、次のような手順で行った。先ず、40℃/分の昇温速度で450℃まで試料(得られた化合物)を加熱した後、40℃/分の降温速度で試料を冷却して試料ををガラス状態にした。そして、ガラス状態になった試料を、10℃/分の昇温速度で加熱し、図21に示すような測定結果を得た。図21において、横軸は温度(℃)、縦軸は熱流(上向が吸熱)(mW)を表す。測定結果から、得られた化合物のガラス転移温度は172℃、結晶化温度は268℃であることが分かった。また、312℃における接線と、327℃〜328℃における接線との交点から、融点は323℃〜324℃であることが分かった。すなわち、本実施例で合成したBSPBは、ガラス転移温度が150℃以上、好ましくは160℃〜300℃の範囲を満たし、融点が180℃〜400℃の範囲にあるので高い耐熱性を有しており、好ましい。   Further, the glass transition temperature, crystallization temperature, and melting point of the obtained compound were examined using a differential scanning calorimeter (DSC: Differential Scanning Calorimetry, manufactured by PerkinElmer, model number: Pyris1 DSC). Here, the measurement by DSC was performed according to the following procedure. First, after heating the sample (the obtained compound) to 450 ° C. at a temperature rising rate of 40 ° C./min, the sample was cooled to a glass state by cooling at a temperature decreasing rate of 40 ° C./min. And the sample which became a glass state was heated at the temperature increase rate of 10 degree-C / min, and the measurement result as shown in FIG. 21 was obtained. In FIG. 21, the horizontal axis represents temperature (° C.), and the vertical axis represents heat flow (upward is endothermic) (mW). From the measurement results, it was found that the obtained compound had a glass transition temperature of 172 ° C. and a crystallization temperature of 268 ° C. Moreover, it turned out that melting | fusing point is 323 to 324 degreeC from the intersection of the tangent line at 312 degreeC and the tangent line at 327 to 328 degreeC. That is, the BSPB synthesized in this example has high heat resistance because it has a glass transition temperature of 150 ° C. or higher, preferably 160 ° C. to 300 ° C. and a melting point of 180 ° C. to 400 ° C. It is preferable.

このように、得られた化合物は、172℃という高いガラス転移温度を示し、良好な耐熱性を有するものである。また、図21において、得られた化合物の結晶化を表すピークはブロードなものであり、得られた化合物は結晶化し難い物質であることがわかった。 Thus, the obtained compound has a high glass transition temperature of 172 ° C. and has good heat resistance. Further, in FIG. 21, the peak representing crystallization of the obtained compound is broad, and it was found that the obtained compound is a substance that is difficult to crystallize.

本実施例では、本発明の活性化エネルギーの小さい層を有する発光素子について説明する。   In this example, a light-emitting element having a layer with low activation energy according to the present invention will be described.

まず、第1の電極として珪素を含有したインジウム錫酸化物を形成する。その上に、本発明の活性化エネルギーの小さい層を形成した。本実施例では、DNTPDと、酸化モリブデンと、ルブレンとを共蒸着することにより成膜した。ここで、酸化モリブデン濃度は、表3の水準となるよう共蒸着を制御した。なお、膜厚は120nmとなるように成膜を行った。   First, indium tin oxide containing silicon is formed as the first electrode. On top of that, a layer having a small activation energy of the present invention was formed. In this example, the film was formed by co-evaporating DNTPD, molybdenum oxide, and rubrene. Here, the co-evaporation was controlled so that the molybdenum oxide concentration became the level shown in Table 3. The film formation was performed so that the film thickness was 120 nm.

Figure 2006261653
Figure 2006261653

この活性化エネルギーの小さい層の上に、正孔輸送層として4,4´―ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:α―NPD)を10nmの膜厚で真空蒸着法によって成膜した。   On this low activation energy layer, 4,4′-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (abbreviation: α-NPD) is formed to a thickness of 10 nm as a hole transport layer. A film was formed by vacuum evaporation.

このα―NPD膜上に、Alqとクマリン6とを共蒸着によって成膜した。この膜は発光層であり、膜厚は40nmである。また、Alqとクマリン6とは、重量比で1:0.015となるよう共蒸着を制御した。 On this α-NPD film, Alq 3 and coumarin 6 were formed by co-evaporation. This film is a light emitting layer, and the film thickness is 40 nm. Further, the co-evaporation was controlled so that Alq 3 and coumarin 6 were in a weight ratio of 1: 0.015.

この発光層上に電子輸送層としてAlqを15nm、さらに電子注入層としてフッ化リチウムを1nmの膜厚で成膜し、最後に第2の電極として機能するAlを200nm成膜して発光素子を作製した。 On this light-emitting layer, Alq 3 is formed to a thickness of 15 nm as an electron transport layer, and lithium fluoride is formed to a thickness of 1 nm as an electron injection layer, and finally, 200 nm of Al functioning as a second electrode is formed. Was made.

作製した素子21〜24の電流―電圧特性を図22に示す。図22に示すように、酸化モリブデンの濃度が高くなるとともに、電流が流れやすくなっていることがわかる。   The current-voltage characteristics of the fabricated elements 21 to 24 are shown in FIG. As shown in FIG. 22, it can be seen that the concentration of molybdenum oxide increases and current easily flows.

また、素子21〜24の輝度―電圧特性を図23に示す。図23からも酸化モリブデンの濃度が高くなるとともに、高い輝度が得られていることがわかる。つまり、各素子の電流効率が一定の場合、電流が流れやすくなっていることがわかる。   The luminance-voltage characteristics of the elements 21 to 24 are shown in FIG. From FIG. 23, it can be seen that the molybdenum oxide concentration increases and high luminance is obtained. That is, it can be seen that when the current efficiency of each element is constant, the current flows easily.

本実施例では、本発明の活性化エネルギーの小さい層を有する発光素子について説明する。   In this example, a light-emitting element having a layer with low activation energy according to the present invention will be described.

まず、第1の電極として珪素を含有したインジウム錫酸化物を形成する。その上に、本発明の活性化エネルギーの小さい層を形成した。本実施例では、DNTPDと、酸化モリブデンと、ルブレンとを共蒸着することにより成膜した。ここで、酸化モリブデン濃度は、表3の水準となるよう共蒸着を制御した。なお、膜厚は120nmとなるように成膜を行った。   First, indium tin oxide containing silicon is formed as the first electrode. On top of that, a layer having a small activation energy of the present invention was formed. In this example, the film was formed by co-evaporating DNTPD, molybdenum oxide, and rubrene. Here, the co-evaporation was controlled so that the molybdenum oxide concentration became the level shown in Table 3. The film formation was performed so that the film thickness was 120 nm.

Figure 2006261653
Figure 2006261653

この活性化エネルギーの小さい層の上に、正孔輸送層としてα―NPDを10nmの膜厚で真空蒸着法によって成膜した。   On this low activation energy layer, α-NPD was deposited as a hole transport layer with a thickness of 10 nm by vacuum deposition.

このα―NPD膜上に、Alqとクマリン6とを共蒸着によって成膜した。この膜は発光層であり、膜厚は37.5nmである。また、Alqとクマリン6とは、重量比で1:0.005となるよう共蒸着を制御した。 On this α-NPD film, Alq 3 and coumarin 6 were formed by co-evaporation. This film is a light emitting layer, and the film thickness is 37.5 nm. Further, the co-evaporation was controlled so that Alq 3 and coumarin 6 were 1: 0.005 in weight ratio.

この発光層上に電子輸送層としてAlqを37.5nm、さらに電子注入層としてフッ化リチウムを1nmの膜厚で成膜し、最後に第2の電極として機能するAlを成膜して発光素子を作製した。 On this light-emitting layer, Alq 3 is formed with a thickness of 37.5 nm as an electron transport layer, and lithium fluoride is formed with a thickness of 1 nm as an electron injection layer, and finally, Al that functions as a second electrode is formed to emit light. An element was produced.

作製した素子31〜34の電流―電圧特性を図24に示す。図24より、酸化モリブデンの濃度が高くなると、電流が流れやすくなる傾向にあるが、素子32の酸化モリブデン濃度が40wt%以上では、電流−電圧特性にほとんど変化を生じていないことがわかる。そのため、活性化エネルギーの小さい層として、DNTPDを用いる場合には、酸化モリブデン濃度が40wt%であれば、発光素子の低電圧化として十分効果的であることがわかる。   The current-voltage characteristics of the fabricated elements 31 to 34 are shown in FIG. FIG. 24 shows that the current tends to flow as the concentration of molybdenum oxide increases, but the current-voltage characteristics hardly change when the molybdenum oxide concentration of the element 32 is 40 wt% or more. Therefore, it can be seen that when DNTPD is used as a layer having a small activation energy, a molybdenum oxide concentration of 40 wt% is sufficiently effective for lowering the voltage of the light-emitting element.

また、素子31〜34の輝度−電圧特性を図25に示す。図25より、いずれの素子においても輝度−電圧特性にほとんど差はないが、素子31は若干高電圧側にシフトしていることがわかる。   In addition, FIG. 25 shows luminance-voltage characteristics of the elements 31 to 34. From FIG. 25, it can be seen that although there is almost no difference in luminance-voltage characteristics in any of the elements, the element 31 is slightly shifted to the high voltage side.

本発明の発光素子を説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting element of the present invention. 本発明の発光素子を説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting element of the present invention. 本発明の発光素子を説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting element of the present invention. 本発明の発光素子を説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting element of the present invention. 本発明を適用した発光装置について説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting device to which the present invention is applied. 本発明を適用した発光装置に含まれる回路について説明する図。6A and 6B illustrate a circuit included in a light-emitting device to which the present invention is applied. 本発明を適用した発光装置の上面図。The top view of the light-emitting device to which this invention is applied. 本発明を適用した発光装置の1フレームにおける動作について説明する図。4A and 4B illustrate an operation in one frame of a light-emitting device to which the present invention is applied. 本発明を適用した発光装置の断面図。Sectional drawing of the light-emitting device to which this invention is applied. 本発明を適用した電子機器の図。The figure of the electronic device to which this invention is applied. DNTPDと酸化モリブデンとを含む層の吸収スペクトルを示す図。The figure which shows the absorption spectrum of the layer containing DNTPD and molybdenum oxide. BSPBと酸化モリブデンとを含む層の吸収スペクトルを示す図。The figure which shows the absorption spectrum of the layer containing BSPB and molybdenum oxide. DNTPDと酸化モリブデンとを含む層の電流―電圧特性を示す図。The figure which shows the current-voltage characteristic of the layer containing DNTPD and molybdenum oxide. DNTPDと酸化モリブデンとを含む層の電流―電圧特性の対数表示を示す図。The figure which shows the logarithm display of the electric current-voltage characteristic of the layer containing DNTPD and molybdenum oxide. DNTPDと酸化モリブデンとを含む層の1Vでのアレニウスプロットを示す図。The figure which shows the Arrhenius plot in 1V of the layer containing DNTPD and molybdenum oxide. DNTPDと酸化モリブデンとを含む層の活性化エネルギーを示す図。The figure which shows the activation energy of the layer containing DNTPD and molybdenum oxide. BSPBと酸化モリブデンとを含む層の電流―電圧特性を示す図。The figure which shows the current-voltage characteristic of the layer containing BSPB and molybdenum oxide. BSPBと酸化モリブデンとを含む層の電流―電圧特性の対数表示を示す図。The figure which shows the logarithm display of the electric current-voltage characteristic of the layer containing BSPB and molybdenum oxide. BSPBと酸化モリブデンとを含む層の1Vでのアレニウスプロットを示す図。The figure which shows the Arrhenius plot in 1V of the layer containing BSPB and molybdenum oxide. BSPBと酸化モリブデンとを含む層の活性化エネルギーを示す図。The figure which shows the activation energy of the layer containing BSPB and molybdenum oxide. N,N’−ビス(スピロ−9,9’−ビフルオレン−2−イル)−N,N’−ジフェニルベンジジンを示差走査熱量分析した測定結果の図。The figure of the measurement result which carried out the differential scanning calorimetry analysis of N, N'-bis (spiro-9,9'-bifluoren-2-yl) -N, N'-diphenylbenzidine. DNTPDと酸化モリブデンとを含む層を有する発光素子電流―電圧特性を示す図。FIG. 13 shows current-voltage characteristics of a light-emitting element having a layer containing DNTPD and molybdenum oxide. DNTPDと酸化モリブデンとを含む層を有する発光素子輝度―電圧特性を示す図The figure which shows the luminance-voltage characteristic of the light emitting element which has a layer containing DNTPD and molybdenum oxide DNTPDと酸化モリブデンとを含む層を有する発光素子電流―電圧特性を示す図。FIG. 13 shows current-voltage characteristics of a light-emitting element having a layer containing DNTPD and molybdenum oxide. DNTPDと酸化モリブデンとを含む層を有する発光素子輝度―電圧特性を示す図。FIG. 11 shows luminance-voltage characteristics of a light-emitting element having a layer containing DNTPD and molybdenum oxide.

符号の説明Explanation of symbols

101 基板
102 第1の電極
103 第1の層
104 第2の層
105 第3の層
106 第4の層
107 第2の電極
200 基板
201 第1の電極
202 第2の電極
203 発光物質を含む層
211 第1の層
212 第2の層
213 第3の層
214 第4の層
302 第1の電極
303 第1の層
304 第2の層
305 第3の層
306 第4の層
307 第2の電極
501 サブフレーム
502 サブフレーム
503 サブフレーム
504 サブフレーム
901 第1のトランジスタ
902 第2のトランジスタ
903 発光素子
911 ゲート信号線
912 ソース信号線
913 書込用ゲート信号線駆動回路
914 消去用ゲート信号線駆動回路
915 ソース信号線駆動回路
916 電源
917 電流供給線
918 スイッチ
919 スイッチ
920 スイッチ
1001 第1のトランジスタ
1002 第2のトランジスタ
1003 ゲート信号線
1004 ソース信号線
1005 電流供給線
1006 電極
501a 期間
501b 保持期間
504b 保持期間
504c 消去期間
504d 非発光期間
5521 本体
5522 筐体
5523 表示部
5524 キーボード
5531 表示部
5532 筐体
5533 スピーカー
5551 表示部
5552 本体
5553 アンテナ
5554 音声出力部
5555 音声入力部
5556 操作スイッチ
6500 基板
6503 FPC(フレキシブルプリントサーキット)
6504 プリント配線基盤(PWB)
6511 画素部
6512 ソース信号線駆動回路
6513 書込用ゲート信号線駆動回路
6514 消去用ゲート信号線駆動回路
10 基板
11 トランジスタ
12 発光素子
13 第1の電極
14 第2の電極
15 層
16a 第1層間絶縁膜
16b 第1層間絶縁膜
16c 第1層間絶縁膜
17 配線
18 隔壁層
19a 第2層間絶縁膜
19b 第2層間絶縁膜
101 Substrate 102 First Electrode 103 First Layer 104 Second Layer 105 Third Layer 106 Fourth Layer 107 Second Electrode 200 Substrate 201 First Electrode 202 Second Electrode 203 A Layer Containing a Luminescent Material 211 1st layer 212 2nd layer 213 3rd layer 214 4th layer 302 1st electrode 303 1st layer 304 2nd layer 305 3rd layer 306 4th layer 307 2nd electrode 501 subframe 502 subframe 503 subframe 504 subframe 901 first transistor 902 second transistor 903 light emitting element 911 gate signal line 912 source signal line 913 writing gate signal line driving circuit 914 erasing gate signal line driving circuit 915 Source signal line drive circuit 916 Power supply 917 Current supply line 918 Switch 919 Switch 920 Switch 100 1st transistor 1002 2nd transistor 1003 Gate signal line 1004 Source signal line 1005 Current supply line 1006 Electrode 501a Period 501b Retention period 504b Retention period 504c Erase period 504d Non-light emission period 5521 Body 5522 Housing 5523 Display portion 5524 Keyboard 5531 Display Unit 5532 Housing 5533 Speaker 5551 Display unit 5552 Main body 5553 Antenna 5554 Audio output unit 5555 Audio input unit 5556 Operation switch 6500 Substrate 6503 FPC (flexible printed circuit)
6504 Printed Wiring Board (PWB)
6511 Pixel portion 6512 Source signal line drive circuit 6513 Write gate signal line drive circuit 6514 Erase gate signal line drive circuit 10 Substrate 11 Transistor 12 Light emitting element 13 First electrode 14 Second electrode 15 Layer 16a First interlayer insulation Film 16b First interlayer insulating film 16c First interlayer insulating film 17 Wiring 18 Partition layer 19a Second interlayer insulating film 19b Second interlayer insulating film

Claims (11)

一対の電極間に、有機材料と無機材料とを含む層を有し、
前記有機材料と無機材料とを含む層の電気伝導度の活性化エネルギーは0.01eV以上0.3eV未満であることを特徴とする発光素子。
Having a layer containing an organic material and an inorganic material between a pair of electrodes;
An activation energy of electric conductivity of the layer containing the organic material and the inorganic material is 0.01 eV or more and less than 0.3 eV.
一対の電極間に、有機材料と無機材料とを含む層を有し、
前記有機材料と無機材料とを含む層の電気伝導度の活性化エネルギーは0.01eV以上0.26eV未満であることを特徴とする発光素子。
Having a layer containing an organic material and an inorganic material between a pair of electrodes;
An activation energy of electric conductivity of the layer including the organic material and the inorganic material is 0.01 eV or more and less than 0.26 eV.
一対の電極間に、有機材料と無機材料とを含む層を有し、
前記有機材料と無機材料とを含む層の電気伝導度の活性化エネルギーは0.01eV以上0.20eV未満であることを特徴とする発光素子。
Having a layer containing an organic material and an inorganic material between a pair of electrodes;
An activation energy of electric conductivity of the layer containing the organic material and the inorganic material is 0.01 eV or more and less than 0.20 eV.
請求項1乃至請求項3のいずれか一項において、前記有機材料と無機材料とを含む層は、可視光領域に吸収ピークがなく、無機材料の濃度が30〜95wt%であることを特徴とする発光素子。 The layer containing the organic material and the inorganic material according to any one of claims 1 to 3, wherein the layer containing no organic material has no absorption peak in a visible light region, and the concentration of the inorganic material is 30 to 95 wt%. Light emitting element. 請求項4において、前記有機材料は、4,4’−ビス(N−{4−[N,N’−ビス(3−メチルフェニル)アミノ]フェニル}−N−フェニルアミノ)ビフェニル、4,4’−ビス[N−(4−ジフェニルアミノフェニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニルのいずれかであることを特徴とする発光素子。 5. The organic material according to claim 4, wherein the organic material is 4,4′-bis (N- {4- [N, N′-bis (3-methylphenyl) amino] phenyl} -N-phenylamino) biphenyl, 4,4 A light-emitting element which is any one of '-bis [N- (4-diphenylaminophenyl) -N-phenylamino] biphenyl. 請求項1乃至請求項3のいずれか一項において、前記有機材料と無機材料とを含む層は、可視光領域に吸収ピークがあり、無機材料の濃度が5〜95wt%であることを特徴とする発光素子。 The layer containing the organic material and the inorganic material according to any one of claims 1 to 3, has an absorption peak in a visible light region, and a concentration of the inorganic material is 5 to 95 wt%. Light emitting element. 請求項6において、前記有機材料は、N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニル−[1,1’−ビフェニル]−4,4’−ジアミン、4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル、N,N’−ビス(スピロ−9,9’−ビフルオレン−2−イル)−N,N’−ジフェニルベンジジン、4,4’−ビス[N−(9,9−ジメチルフルオレン−2−イル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル、4,4’−ビス[N−(4−ビフェニリル)−N−フェニルアミノ]ビフェニルのいずれかであることを特徴とする発光素子。 7. The organic material according to claim 6, wherein the organic material is N, N′-bis (3-methylphenyl) -N, N′-diphenyl- [1,1′-biphenyl] -4,4′-diamine, 4,4 ′. -Bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl, N, N'-bis (spiro-9,9'-bifluoren-2-yl) -N, N'-diphenylbenzidine, 4,4 One of '-bis [N- (9,9-dimethylfluoren-2-yl) -N-phenylamino] biphenyl and 4,4'-bis [N- (4-biphenylyl) -N-phenylamino] biphenyl A light emitting element characterized by the above. 請求項1乃至請求項7のいずれか一項において、前記無機材料は、金属酸化物であることを特徴とする発光素子。 8. The light-emitting element according to claim 1, wherein the inorganic material is a metal oxide. 請求項1乃至請求項7のいずれか一項において、前記無機材料は、モリブデン酸化物、バナジウム酸化物、ルテニウム酸化物、タングステン酸化物のいずれか一種もしくは複数種であることを特徴とする発光素子。 8. The light-emitting element according to claim 1, wherein the inorganic material is one or more of molybdenum oxide, vanadium oxide, ruthenium oxide, and tungsten oxide. . 請求項1乃至請求項9のいずれか一項において、前記有機材料と無機材料とを含む層は、前記一対の電極の一方の電極と接するように設けられていることを特徴とする発光素子。 10. The light-emitting element according to claim 1, wherein the layer including the organic material and the inorganic material is provided in contact with one electrode of the pair of electrodes. 請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の発光素子を有する発光装置。 The light-emitting device which has a light emitting element as described in any one of Claims 1 thru | or 10.
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