JP2006252808A - Transfer method of film, and manufacturing method of film transfer device and plasma display panel - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、フィルムの転写方法、フィルム転写装置及びプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。 The present invention relates to a film transfer method, a film transfer apparatus, and a plasma display panel manufacturing method.
従来より、基板に対し転写される転写フィルムと、この転写フィルム上を覆う保護フィルムと、転写フィルムを支持する支持フィルムと、の3層構造のシート材を巻回してなるシート供給ロールからシート材を巻き戻して供給し、シート材の転写フィルムを基板上に転写する技術が知られている(例えば、特許文献1、2、3)。
Conventionally, a sheet material from a sheet supply roll formed by winding a sheet material having a three-layer structure of a transfer film transferred to a substrate, a protective film covering the transfer film, and a support film supporting the transfer film. Is known in which a sheet transfer film is transferred onto a substrate (for example,
特許文献1に開示されたフィルム転写装置は、図11に示すように、3層構造のシート材1000を巻回してなるシート供給ロール1001と、このシート供給ロール1001から巻き戻されたシート材1000をガイドする複数のガイドローラ1002と、搬送路上を一定間隔で搬送されてくる基板1005間(図11には1つの基板1005のみを図示)に相当する位置の前端及び後端位置にて保護フィルム及び転写フィルムを切断する切断装置1003と、切断装置1003による2つの切断位置を境として、基板に転写される部分の保護フィルムを剥離する保護フィルム除去装置1004と、基板1005とシート材1000とをまとめて通すことにより両者を圧着する一対の加熱圧着ローラ1006と、保護フィルム除去装置1004と加熱圧着ローラ1006との間のシート材搬送経路においてシート材1000に一定の張力を与える張力調整用ローラ1007と、保護フィルム除去装置1004と張力調整用ローラ1007との間に設置され、シート材1000の幅方向の位置ズレを検出する位置ずれ検出装置1008と、を備えて構成されている。
As shown in FIG. 11, the film transfer apparatus disclosed in
特許文献1のフィルム転写装置は、以下のように動作する。
The film transfer apparatus of
シート供給ロール1001から繰り出した3層構造のシートの保護フィルムと転写フィルムの、一定間隔で順次搬送されてくる基板1005間に相当する部分を切断し、基板1005間に相当する部分以外の保護フィルム(つまり後で基板1005に転写される部分を覆っている保護フィルム)を剥離した後、支持フィルムを切断しないまま基板とともに一対の圧着ローラ1006間を通すことにより、転写フィルムを基板1005に転写する。このとき、切断装置1003と圧着ローラ1006間でシートが一定の張力を保つように張力計測器で測定しながら張力調整用ローラ1007の位置調整を行う。なお、転写後の基板1005は、前に転写した基板1005と支持フィルムを介して連結されている。このため、基板1005間の支持フィルムを切断し前後の基板1005を相互に分離する。
A protective film other than the portion corresponding to the portion between the
また、特許文献2に開示されたフィルム転写装置は、構成、動作ともに特許文献1とほぼ同様であり、主な相違点は以下のとおりである。
The film transfer apparatus disclosed in
特許文献2の場合、保護フィルム及び転写フィルムを切断する工程において、ミシン目のカッターを用いる。すなわち、特許文献1に記載されたように支持フィルムのみを残して2層(保護フィルム及び転写フィルムの2層)のみ切断することは困難で実行不可能との判断から、特許文献2では3層ともミシン目を入れる工法を提案している。
In the case of
また、特許文献3に開示されたフィルム転写装置も、構成、動作ともに特許文献1と類似しており、主な相違点は以下のとおりである。
The film transfer apparatus disclosed in Patent Document 3 is also similar in structure and operation to
転写フィルムにおいて基板間に相当する不要部分を除去するに際して、予め保護フィルムを剥離してから不要部分の転写フィルムを切断する。また、転写フィルムの切断方法及び除去方法を具体的に挙げている。更に、多面取り基板を対象として、転写フィルム切断・除去ユニットを複数設けている。 In removing an unnecessary portion corresponding to the space between the substrates in the transfer film, the protective film is peeled in advance and then the transfer film of the unnecessary portion is cut. Moreover, the cutting method and removal method of a transfer film are specifically mentioned. Furthermore, a plurality of transfer film cutting / removing units are provided for a multi-sided substrate.
図12(A)及び図12(B)は、上記の第1乃至第3の特許文献に共通の転写態様の例を示す平面図であり、処理順序が前後する2つの基板1005に対する転写が終了した状態を示す。
FIGS. 12A and 12B are plan views showing examples of transfer modes common to the above first to third patent documents, and transfer to two
図12(A)の例の場合、1つの基板1005に対して複数個の転写パターン1100(転写フィルムのパターン)を形成している(転写パターンを多面取りしている)。 In the example of FIG. 12A, a plurality of transfer patterns 1100 (transfer film patterns) are formed on one substrate 1005 (multiple transfer patterns are taken).
図12(A)において、長さA1は転写パターン1100の長さ(送り方向における長さ)、長さBは転写パターン1100間の間隔(予め除去される転写フィルムの送り方向における間隔)、長さCは基板1005の長さ(送り方向における長さ)、長さDは基板1005間の間隔(送り方向における間隔)である。 In FIG. 12A, the length A1 is the length of the transfer pattern 1100 (length in the feeding direction), the length B is the interval between the transfer patterns 1100 (interval in the feeding direction of the transfer film to be removed in advance), the length The length C is the length of the substrate 1005 (length in the feeding direction), and the length D is the interval between the substrates 1005 (interval in the feeding direction).
また、図12(B)の例の場合、1つの基板1005に対して1つの転写パターン1100を形成している。
In the example of FIG. 12B, one
図12(B)において、長さA2は転写パターン1100の長さ、長さBは転写パターン1100間の間隔、長さCは基板1005の長さ、長さDは基板1005間の間隔である。
In FIG. 12B, the
なお、図12(A)に示す転写態様の場合(3面取りの場合)には、C=(A1×3)+(B×3)−Dという制約があり、図12(B)に示す転写態様の場合には、C=A2+B−Dという制約がある。 In the case of the transfer mode shown in FIG. 12A (in the case of three chamfering), there is a restriction of C = (A1 × 3) + (B × 3) −D, and the transfer shown in FIG. In the case of the aspect, there is a restriction of C = A2 + BD.
図12(A)及び図12(B)に示すように、処理順序が前後する2つの基板1005に対する転写が終了した段階では、2つの基板1005は、支持フィルムを介して相互に連結された状態である。
As shown in FIG. 12A and FIG. 12B, at the stage where the transfer to the two
このように、処理順序が前後する2つの基板1005を支持フィルムを介して連結したままで、処理順序が後の基板1005に対する転写を行うのは、転写フィルムの張力を維持するためである。
As described above, the transfer to the
図12(A)及び図12(B)に示す状態の後は、2つの基板1005間にまたがる支持フィルムを切断することにより、2つの基板1005を分離する。
After the state shown in FIGS. 12A and 12B, the two
更にその後で、基板1005上に圧着された転写フィルムから支持フィルムを剥離する。
しかしながら、上記の従来技術には、以下に説明する共通の問題があった。 However, the above prior art has the following common problems.
第1の問題は、転写工程の後に支持フィルムの剥離工程を行う必要があるため、処理に要する時間が長くなるという問題である。 The first problem is that it is necessary to perform a support film peeling step after the transfer step, and thus the time required for the treatment becomes long.
第1の問題を生じる理由は、直前に転写した基板上の支持フィルムを切断せず次の基板に転写するフィルムと連結させておくことにより、転写フィルムの張力維持を行っているためである。 The reason for causing the first problem is that the tension of the transfer film is maintained by connecting the support film on the substrate transferred immediately before to the film transferred to the next substrate without cutting.
第2の問題は、装置内に少なくとも1枚の基板を滞留させる必要があるため、装置規模が大きくなってしまうという問題である。 The second problem is that the scale of the apparatus becomes large because at least one substrate needs to be retained in the apparatus.
第2の問題を生じる理由は、転写フィルムの張力を維持するために、直前に転写した基板の支持フィルムを切断しないままの状態で、次基板の転写が完了するまで、前の基板を停止させておくためである。 The reason for causing the second problem is that the previous substrate is stopped until the transfer of the next substrate is completed without cutting the support film of the substrate transferred immediately before in order to maintain the tension of the transfer film. It is to keep.
第3の問題は、一度設備に投入された基板は、転写不要であっても転写を行わざるをえないという問題である。このため、例えば、多面取り時に不良パターン部(予め不良面と分かっている面)へも転写せざるを得ないため、材料の利用効率を悪化させていた。 The third problem is that a substrate once put into the facility must be transferred even if transfer is not required. For this reason, for example, since it has to be transferred to a defective pattern portion (a surface that is known to be a defective surface in advance) at the time of multi-surface processing, the utilization efficiency of the material is deteriorated.
第3の問題を生じる理由は、貼付け前予めフィルムの転写フィルムに切れ目(スジやミシン目)加工を施し、複数の基板間に亘って連続的に転写を行った後で基板間を切断(分離)する方式であり、転写を中断することが出来ないためである。 The reason for causing the third problem is that the transfer film of the film is preliminarily cut (streaks or perforations) before pasting, and the transfer is continuously performed across a plurality of substrates, and then the substrates are cut (separated). This is because the transfer cannot be interrupted.
第4の問題は、図12に示すように、転写パターン1100の長さA1(A2)、転写パターン1100間の間隔B、基板1005の長さC、及び、基板1005間の間隔Dの間に制約があり、ライン設計及び製品設計の自由度が奪われていたという問題である。すなわち、例えば、図12(A)に示す転写態様の場合(3面取りの場合)には、C=(A1×3)+(B×3)−Dという制約が生じ、図12(B)に示す転写態様の場合には、C=A2+B−Dという制約が生じる。
The fourth problem is that, as shown in FIG. 12, the length A1 (A2) of the
第4の問題を生じる理由は、各基板間の間隔を一定の寸法に設定し、かつ複数の基板に対し連続的に転写を行う方式であるため、基板内のパターン間隔も一定にしないとパターン転写位置がずれてしまうことから、上記のように制約された寸法でしか転写が出来ないためである。 The reason for the fourth problem is that the distance between the substrates is set to a constant size and the transfer is continuously performed on a plurality of substrates. This is because the transfer position is deviated, and transfer can be performed only with the dimensions restricted as described above.
本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、処理に要する時間を短縮し、装置規模を縮小し、材料の利用効率を向上し、ライン設計及び製品設計の自由度を向上することが可能なフィルムの転写方法、フィルム転写装置及びプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and shortens the time required for processing, reduces the scale of the apparatus, improves the material utilization efficiency, and increases the freedom of line design and product design. It is an object of the present invention to provide a film transfer method, a film transfer apparatus, and a plasma display panel manufacturing method capable of improving the above.
上記課題を解決するため、本発明のフィルムの転写方法は、基板に転写される転写フィルムと、前記転写フィルムを支持する支持フィルムと、の少なくとも2層を有するシート材における前記転写フィルムを前記基板に転写する転写方法において、前記シート材を送り方向に搬送するシート搬送工程と、前記シート材の前記転写フィルムの一部を、送り方向における所定間隔毎に、該転写フィルムの幅方向に亘って除去することにより、前記支持フィルム上に残された前記転写フィルムを所望の転写パターン形状に形成する転写フィルム除去工程と、前記転写パターン形状に形成された前記転写フィルムを前記基板に転写する転写工程と、前記基板に転写済みの前記転写フィルムから前記支持フィルムを剥離する支持フィルム剥離工程と、を備え、前記転写パターン形状に形成された一の転写フィルムの前記転写工程及び前記支持フィルム剥離工程を重複するタイミングで行うことを特徴としている。 In order to solve the above-mentioned problems, the film transfer method of the present invention is a method of transferring the transfer film in a sheet material having at least two layers of a transfer film transferred to a substrate and a support film supporting the transfer film to the substrate. In the transfer method for transferring to the sheet material, a sheet conveying step for conveying the sheet material in the feeding direction, and a part of the transfer film of the sheet material over the width direction of the transfer film at predetermined intervals in the feeding direction. A transfer film removing step for forming the transfer film left on the support film in a desired transfer pattern shape by removing, and a transfer step for transferring the transfer film formed in the transfer pattern shape to the substrate And a support film peeling step for peeling the support film from the transfer film that has been transferred to the substrate. For example, it is characterized by performing at a timing which overlaps the transfer step and the support film peeling step of one transfer film formed on the transfer pattern.
本発明のフィルムの転写方法においては、前記支持フィルム剥離工程において剥離された前記支持フィルムを巻き取って回収する支持フィルム巻取回収工程を更に備えることが好ましい。 In the film transfer method of the present invention, it is preferable to further include a support film winding and collecting step of winding and collecting the support film peeled off in the support film peeling step.
本発明のフィルムの転写方法においては、前記支持フィルム巻取回収工程では、支持フィルムを一定張力で巻き取ることが好ましい。 In the film transfer method of the present invention, it is preferable that the support film is wound at a constant tension in the support film winding and collecting step.
本発明のフィルムの転写方法においては、前記転写工程は、前記シート材を介して前記基板に対して接離可能なシート圧着ローラを、前記シート材を伴わせて移動させることにより該シート材を介して前記基板に接触させた状態で、該シート材を前記シート圧着ローラによって前記基板に対し圧着することにより行い、前記転写工程の前に前記シート圧着ローラを前記シート材を介して前記基板に接触させる動作の際に、前記シート材の張力を一定に維持する張力維持工程を備えることが好ましい。 In the film transfer method of the present invention, in the transfer step, the sheet material is moved by moving a sheet pressure roller, which can be brought into and out of contact with the substrate, with the sheet material. The sheet material is pressed against the substrate by the sheet pressure roller while being in contact with the substrate, and the sheet pressure roller is applied to the substrate via the sheet material before the transfer step. It is preferable to provide a tension maintaining step for maintaining the tension of the sheet material constant during the contact operation.
本発明のフィルムの転写方法においては、前記張力維持工程は、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向上流側で前記シート材に係合する第1のテンションローラと、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向下流側で前記シート材に係合する第2のテンションローラと、を移動ないしは回転させることによって行うことが好ましい。 In the film transfer method of the present invention, the tension maintaining step includes a first tension roller that engages with the sheet material in the vicinity of the sheet pressure roller and upstream of the sheet pressure roller in the feeding direction; and the sheet It is preferable to move or rotate a second tension roller that engages with the sheet material in the vicinity of the pressure roller and downstream of the sheet pressure roller in the feeding direction.
本発明のフィルムの転写方法においては、前記転写フィルム除去工程によって所望の転写パターン形状に形成された前記転写フィルムの前端を、前記基板に対する転写の開始位置に調節する前端位置調節工程を備えることが好ましい。 The film transfer method of the present invention may include a front end position adjusting step of adjusting a front end of the transfer film formed in a desired transfer pattern shape by the transfer film removing step to a transfer start position with respect to the substrate. preferable.
本発明のフィルムの転写方法においては、前記転写工程は、前記シート材をシート圧着ローラによって前記基板に対し圧着することにより行い、前記前端位置調節工程は、転写パターン形状に形成された前記転写フィルムの前端が前記シート圧着ローラの周面上における所定位置に達したことを検出する前端位置調節用位置検出工程と、前記前端位置調節用位置検出工程による検出のタイミングから、前記シート材を一定量だけ送り方向に送る一定量送り工程と、を備えることが好ましい。 In the film transfer method of the present invention, the transfer step is performed by pressing the sheet material against the substrate with a sheet pressing roller, and the front end position adjusting step is performed by transferring the transfer film formed in a transfer pattern shape. The front end of the sheet pressing roller has reached a predetermined position on the circumferential surface of the sheet pressing roller, and a predetermined amount of the sheet material is detected based on the detection timing of the front end position adjustment position detection step and the front end position adjustment position detection step. It is preferable to provide a constant amount feeding step for feeding only in the feeding direction.
本発明のフィルムの転写方法においては、前記一定量送り工程は、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向上流側で前記シート材に係合する第1のテンションローラと、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向下流側で前記シート材に係合する第2のテンションローラと、を移動ないしは回転させることによって行うことが好ましい。 In the film transfer method of the present invention, the constant amount feeding step includes a first tension roller that engages with the sheet material in the feeding direction upstream side of the sheet pressing roller in the vicinity of the sheet pressing roller; It is preferable to perform this by moving or rotating a second tension roller that engages with the sheet material in the vicinity of the sheet pressure roller and downstream of the sheet pressure roller in the feeding direction.
本発明のフィルムの転写方法においては、前記転写パターン形状に形成される前記転写フィルムの長さを調節するパターン長調節工程を備えることが好ましい。 The film transfer method of the present invention preferably includes a pattern length adjusting step for adjusting the length of the transfer film formed in the transfer pattern shape.
本発明のフィルムの転写方法においては、前記パターン長調節工程は、前記転写パターン形状に形成される前記転写フィルムの前端をセンサにより検出するパターン長調節用位置検出工程と、前記パターン長調節用位置検出工程での検出がなされてから前記転写フィルム除去工程による除去動作を行うまでの間の前記シート材の送り量Yを、該シート材をガイドするローラの回転量に基づいて算出する算出工程と、前記算出した送り量Yと、前記センサによる検出位置と前記転写フィルム除去工程にて除去動作を行う位置との距離Nと、の合計値が、所望の転写パターン長Lとなるように、前記転写フィルム除去工程にて除去動作を行う位置を調節する除去動作位置調節工程と、を備えることが好ましい。 In the film transfer method of the present invention, the pattern length adjusting step includes a pattern length adjusting position detecting step of detecting a front end of the transfer film formed in the transfer pattern shape by a sensor, and the pattern length adjusting position. A calculation step of calculating a feed amount Y of the sheet material between the detection in the detection step and the removal operation in the transfer film removal step based on the rotation amount of a roller that guides the sheet material; The total amount of the calculated feed amount Y and the distance N between the position detected by the sensor and the position where the removal operation is performed in the transfer film removal step is set to the desired transfer pattern length L. It is preferable to include a removal operation position adjustment step of adjusting a position where the removal operation is performed in the transfer film removal step.
本発明のフィルムの転写方法においては、前記除去動作位置調節工程では、前記シート材に加わる張力に起因する該シート材の伸び量を考慮した補正を施して、前記転写フィルム除去工程にて除去動作を行う位置を調節することが好ましい。 In the film transfer method of the present invention, in the removal operation position adjustment step, correction is performed in consideration of the amount of elongation of the sheet material due to the tension applied to the sheet material, and the removal operation is performed in the transfer film removal step. It is preferable to adjust the position to perform.
本発明のフィルムの転写方法においては、一の基板における複数の転写箇所に対してそれぞれ前記転写フィルムを転写する場合に、予め不良と分かっている転写箇所には転写せず、不良でない転写箇所にのみ選択的に転写することが好ましい。 In the film transfer method of the present invention, when the transfer film is transferred to each of a plurality of transfer locations on one substrate, the transfer film is not transferred to a transfer location that is known to be defective in advance, and is not transferred to a transfer location that is not defective. It is preferable to selectively transfer only.
本発明のフィルムの転写方法においては、前記転写工程は、送り方向における上流側に配置された第1のシート圧着ローラと、該第1のシート圧着ローラよりも下流側に配置された第2のシート圧着ローラと、によって前記シート材を前記基板に対し圧着することにより行うことが好ましい。 In the film transfer method of the present invention, the transfer step includes a first sheet pressing roller disposed on the upstream side in the feeding direction, and a second sheet disposed on the downstream side of the first sheet pressing roller. It is preferable that the sheet material is pressed against the substrate by a sheet pressing roller.
また、本発明のフィルム転写装置は、基板に転写される転写フィルムと、前記転写フィルムを支持する支持フィルムと、の少なくとも2層を有するシート材における前記転写フィルムを前記基板に転写するフィルム転写装置において、前記シート材を送り方向に搬送するシート搬送手段と、前記シート材の前記転写フィルムの一部を、送り方向における所定間隔毎に、該転写フィルムの幅方向に亘って除去することにより、前記支持フィルム上に残された前記転写フィルムを所望の転写パターン形状に形成する転写フィルム除去手段と、前記転写パターン形状に形成された前記転写フィルムを前記基板に転写する転写手段と、前記基板に転写済みの前記転写フィルムから前記支持フィルムを剥離する支持フィルム剥離手段と、を備え、前記転写パターン形状に形成された一の転写フィルムの転写動作と、当該転写フィルムからの前記支持フィルムの剥離動作と、を重複するタイミングで行うことを特徴としている。 The film transfer apparatus of the present invention is a film transfer apparatus for transferring the transfer film in a sheet material having at least two layers of a transfer film transferred to a substrate and a support film supporting the transfer film to the substrate. In the sheet conveying means for conveying the sheet material in the feeding direction, and removing a part of the transfer film of the sheet material at a predetermined interval in the feeding direction over the width direction of the transfer film, A transfer film removing means for forming the transfer film left on the support film into a desired transfer pattern shape; a transfer means for transferring the transfer film formed in the transfer pattern shape to the substrate; and Supporting film peeling means for peeling the support film from the transferred transfer film. And transferring operation of one of the transfer film formed in a pattern shape, it is characterized in that performed at the timing of overlapping the peeling operation of the supporting film from the transfer film, the.
本発明のフィルム転写装置においては、前記支持フィルム剥離手段により剥離された前記支持フィルムを巻き取って回収する支持フィルム巻取回収手段を更に備えていることが好ましい。 In the film transfer apparatus of the present invention, it is preferable that the film transfer apparatus further includes a support film take-up and collection unit that winds and collects the support film peeled off by the support film peeling unit.
本発明のフィルム転写装置においては、前記支持フィルム巻取回収手段は、前記支持フィルムを一定張力で巻き取ることが好ましい。 In the film transfer apparatus of the present invention, it is preferable that the support film take-up and recovery unit winds the support film with a constant tension.
本発明のフィルム転写装置においては、前記転写手段は、前記シート材を介して前記基板に対して接離可能に構成され、前記シート材を伴って移動することにより該シート材を介して前記基板に接触した状態で該シート材を前記基板に対し圧着するシート圧着ローラを備え、当該フィルム転写装置は、更に、転写動作の前に前記シート圧着ローラを前記シート材を介して前記基板に接触させる動作の際に、前記シート材の張力を一定に維持する張力維持手段を備えていることが好ましい。 In the film transfer apparatus of the present invention, the transfer unit is configured to be able to contact and separate from the substrate via the sheet material, and moves along with the sheet material to move the substrate via the sheet material. A sheet pressing roller that presses the sheet material against the substrate in contact with the substrate, and the film transfer device further causes the sheet pressing roller to contact the substrate via the sheet material before the transfer operation. It is preferable that a tension maintaining means for maintaining the tension of the sheet material constant during operation is provided.
本発明のフィルム転写装置においては、前記張力維持手段は、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向上流側で前記シート材に係合する第1のテンションローラと、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向下流側で前記シート材に係合する第2のテンションローラと、を備え、前記第1及び第2のテンションローラを移動ないしは回転させることによって、前記シート材の張力を一定に維持することが好ましい。 In the film transfer apparatus of the present invention, the tension maintaining means includes a first tension roller that engages with the sheet material in the vicinity of the sheet pressure roller and upstream of the sheet pressure roller, in the feeding direction; A second tension roller that engages with the sheet material on the downstream side in the feeding direction with respect to the sheet pressure roller in the vicinity of the roller, and by moving or rotating the first and second tension rollers, It is preferable to keep the tension of the sheet material constant.
本発明のフィルム転写装置においては、前記転写フィルム除去手段によって所望の転写パターン形状に形成された前記転写フィルムの前端を、前記基板に対する転写の開始位置に調節する前端位置調節手段を備えることが好ましい。 In the film transfer apparatus of the present invention, it is preferable that the film transfer apparatus further includes a front end position adjusting unit that adjusts a front end of the transfer film formed in a desired transfer pattern shape by the transfer film removing unit to a transfer start position with respect to the substrate. .
本発明のフィルム転写装置においては、前記転写手段は、前記シート材を基板に対し圧着するシート圧着ローラを備え、前記前端位置調節手段は、前記転写パターン形状に形成された前記転写フィルムの前端が前記シート圧着ローラの周面上における所定位置に達したことを検出する前端位置調節用位置検出センサと、前記前端位置調節用位置検出センサによる検出のタイミングから、前記シート材を一定量だけ送り方向に送る一定量送り手段と、を備えることが好ましい。 In the film transfer apparatus of the present invention, the transfer unit includes a sheet press roller that presses the sheet material against the substrate, and the front end position adjusting unit includes a front end of the transfer film formed in the transfer pattern shape. The sheet material is fed by a predetermined amount from the front end position adjusting position detection sensor that detects that the predetermined position on the circumferential surface of the sheet pressing roller has been reached, and the detection timing of the front end position adjusting position detection sensor. It is preferable to include a fixed amount feeding means for feeding to the head.
本発明のフィルム転写装置においては、前記一定量送り手段は、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向上流側で前記シート材に係合する第1のテンションローラと、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向下流側で前記シート材に係合する第2のテンションローラと、を備え、前記第1及び第2のテンションローラを移動ないしは回転させることによって、前記シート材を一定量だけ送り方向に送ることが好ましい。 In the film transfer apparatus of the present invention, the fixed amount feeding means includes a first tension roller that engages with the sheet material in the vicinity of the sheet pressing roller and upstream of the sheet pressing roller in the feeding direction, and the sheet A second tension roller that engages with the sheet material on the downstream side of the sheet pressure roller in the feeding direction in the vicinity of the pressure roller, and by moving or rotating the first and second tension rollers, It is preferable to feed the sheet material in a feeding direction by a certain amount.
これらの場合、前記前端位置調節用位置検出センサは、光反射式センサ又はレーザー反射式センサであることが好ましい。 In these cases, the position detection sensor for adjusting the front end position is preferably a light reflection sensor or a laser reflection sensor.
この場合、前記圧着ローラの半径をRとし、前記転写フィルム除去工程によって除去される部分の送り方向における長さをBとし、円周率をπとし、前記圧着ローラの中心から前回の転写が終了した転写フィルムの後端位置とを結ぶ線と、前記前端位置調節用位置検出センサの光軸とのなす角度をθとすると、前記前端位置調節用位置検出センサは、前記角度θが、θ<(B/πR)×180°を満たすような位置に配置されている必要がある。 In this case, the radius of the pressure roller is R, the length of the portion removed in the transfer film removal process is B, the circumference is π, and the previous transfer is completed from the center of the pressure roller. When the angle formed between the line connecting the rear end position of the transfer film and the optical axis of the front end position adjusting position detection sensor is θ, the front end position adjusting position detection sensor is configured such that the angle θ is θ < It is necessary to arrange at a position satisfying (B / πR) × 180 °.
本発明のフィルム転写装置においては、前記転写パターン形状に形成される前記転写フィルムの長さを調節するパターン長調節手段を備えることが好ましい。 In the film transfer apparatus of this invention, it is preferable to provide the pattern length adjustment means which adjusts the length of the said transfer film formed in the said transfer pattern shape.
本発明のフィルム転写装置においては、前記パターン長調節手段は、前記転写パターン形状に形成される前記転写フィルムの前端を検出するパターン長調節用位置検出センサと、前記パターン長調節用位置検出センサによる検出がなされてから前記転写フィルム除去手段による除去動作を行うまでの間の前記シート材の送り量Yを、該シート材をガイドするローラの回転量に基づいて算出する算出手段と、前記転写フィルム除去手段の位置を前記シート材の送り方向において調節する除去手段位置調節手段と、を備え、前記除去手段位置調節手段は、前記算出した送り量Yと、前記パターン長調節用位置検出センサによる検出位置と前記転写フィルム除去手段により除去動作を行う位置との距離Nと、の合計値が、所望の転写パターン長Lとなるように、前記転写フィルム除去手段の位置を調節し、前記転写フィルム除去手段は、該調節された位置にて転写フィルムの除去動作を行うことが好ましい。 In the film transfer apparatus of the present invention, the pattern length adjustment means includes a pattern length adjustment position detection sensor for detecting a front end of the transfer film formed in the transfer pattern shape, and the pattern length adjustment position detection sensor. A calculating means for calculating a feed amount Y of the sheet material after detection is performed until a removal operation is performed by the transfer film removing means, based on a rotation amount of a roller for guiding the sheet material; and the transfer film Removing means position adjusting means for adjusting the position of the removing means in the feeding direction of the sheet material, the removing means position adjusting means being detected by the calculated feed amount Y and the pattern length adjusting position detection sensor. The total value of the distance N between the position and the position where the removal operation is performed by the transfer film removing means is a desired transfer pattern length L. In so that, by adjusting the position of the transfer film removing means, said transfer film removing means, it is preferable to carry out the removal operation of the transfer film in the adjusted position.
本発明のフィルム転写装置においては、前記除去手段位置調節手段は、前記シート材に加わる張力に起因する該シート材の伸び量を考慮した補正を施して、前記転写フィルム除去手段の位置を調節することが好ましい。 In the film transfer apparatus of the present invention, the removal means position adjustment means adjusts the position of the transfer film removal means by performing correction in consideration of the elongation amount of the sheet material due to the tension applied to the sheet material. It is preferable.
本発明のフィルム転写装置においては、前記転写手段は、送り方向における上流側に配置されたシート圧着ローラと、前記シート圧着ローラよりも下流側に配置された複数の冷却ローラと、を備え、前記シート圧着ローラ及び前記複数の冷却ローラによって前記シート材を前記基板に対し圧着することにより転写動作を行うことが好ましい。 In the film transfer apparatus of the present invention, the transfer unit includes a sheet pressure roller disposed on the upstream side in the feeding direction, and a plurality of cooling rollers disposed on the downstream side of the sheet pressure roller, It is preferable that the transfer operation is performed by pressing the sheet material against the substrate by a sheet pressing roller and the plurality of cooling rollers.
本発明のフィルム転写装置においては、前記転写手段は、前記シート材を前記基板に対し圧着するシート圧着ローラと、前記基板及び前記シート材を挟んで前記シート圧着ローラと対向する位置に配置された基板側圧着ローラと、を備えて構成されていることが好ましい。 In the film transfer apparatus of the present invention, the transfer means is disposed at a position facing the sheet pressing roller with the sheet and the sheet material sandwiched between the sheet pressing roller for pressing the sheet material to the substrate. And a substrate-side pressure roller.
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、第1及び第2の基板を備えるプラズマディスプレイパネルを製造する方法であって、前記第1及び第2の基板のうちの少なくとも一方に対して、本発明のフィルムの転写方法により転写フィルムを転写する工程を備えることを特徴としている。 The method for manufacturing a plasma display panel according to the present invention is a method for manufacturing a plasma display panel including first and second substrates, wherein at least one of the first and second substrates is provided. It is characterized by comprising a step of transferring a transfer film by the film transfer method of the present invention.
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法においては、前記転写フィルムによって、前記プラズマディスプレイパネルの前記誘電体層を形成することを好ましい一例としている。 In the method for manufacturing a plasma display panel according to the present invention, the dielectric layer of the plasma display panel is preferably formed by the transfer film.
本発明によれば、基板(例えばガラス基板や樹脂基板など)に対して転写フィルムを転写するに際し、転写パターン形状に形成された一の転写フィルムの転写動作と、当該転写フィルムからの支持フィルムの剥離動作と、を重複するタイミングで行うので、転写フィルムの転写動作と該転写フィルムから支持フィルムを剥離する動作とを完全に別個のタイミングで行う従来技術(特許文献1〜3など)と比べて、処理に要する時間を短縮することができる。
According to the present invention, when transferring a transfer film to a substrate (for example, a glass substrate or a resin substrate), the transfer operation of one transfer film formed in a transfer pattern shape, and the support film from the transfer film are transferred. Since the peeling operation is performed at the overlapping timing, the transfer operation of the transfer film and the operation of peeling the support film from the transfer film are completely compared with the prior art (
また、保護フィルム剥離後のシート材の転写フィルムの一部(すなわち、転写パターンの間隔に相当する部分)を予め転写フィルム除去手段によって除去した後で、一の転写フィルムの転写動作と、当該転写フィルムからの支持フィルムの剥離動作と、を重複するタイミングで行うので、転写済みの基板を装置内に滞留させずに1基板毎に転写処理を実行できる。よって、装置規模を縮小することができる。 Further, after removing a part of the transfer film of the sheet material after the protective film is peeled off (that is, a part corresponding to the interval between the transfer patterns) by the transfer film removing means in advance, the transfer operation of one transfer film and the transfer Since the peeling operation of the support film from the film is performed at an overlapping timing, the transfer process can be executed for each substrate without retaining the transferred substrate in the apparatus. Therefore, the apparatus scale can be reduced.
更に、本発明の場合、シート材を構成する3層のうちの転写フィルムのみを基板上に転写する方式であるため、転写パターン毎に個別に転写処理を行うことができる。よって、転写不要な箇所(例えば、多面取り時における不良パターン部)には転写しないようにでき、転写材料の利用効率を向上することができる。 Furthermore, in the case of the present invention, since only the transfer film of the three layers constituting the sheet material is transferred onto the substrate, the transfer process can be performed individually for each transfer pattern. Therefore, it is possible not to transfer to a portion where transfer is not required (for example, a defective pattern portion in multi-surface drawing), and it is possible to improve the utilization efficiency of the transfer material.
加えて、転写パターン毎に基板に対する転写位置を調節することができるので、ライン設計及び製品設計の自由度を向上することができる。 In addition, since the transfer position with respect to the substrate can be adjusted for each transfer pattern, the degree of freedom in line design and product design can be improved.
なお、従来技術においては、複数の基板に対して連続的に転写を行うことによって、転写フィルムの張力の安定性を維持していたのに対し、本発明においては、支持フィルムを一定張力で巻き取ることにより、転写フィルムの張力の安定性を維持することができる。 In the prior art, the transfer film is continuously transferred to a plurality of substrates to maintain the stability of the tension of the transfer film, whereas in the present invention, the support film is wound at a constant tension. By taking it, the stability of the tension of the transfer film can be maintained.
更に、転写フィルムの長さを調節するパターン長調節手段を備えるので、転写フィルム毎に所望のパターン長に設定することができる。よって、例えば、1つの基板内で多面取りする(複数のパターンを形成する)場合に、各パターン毎にパターン長をそれぞれ設定することができる。 Furthermore, since the pattern length adjusting means for adjusting the length of the transfer film is provided, a desired pattern length can be set for each transfer film. Therefore, for example, when multiple patterns are formed in one substrate (a plurality of patterns are formed), the pattern length can be set for each pattern.
以下、図面を参照して、本発明に係る実施形態について説明する。 Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
〔第1の実施形態〕
図1は第1の実施形態に係るフィルム転写装置110を示す側面図、図2はフィルム転写装置110の平面図、図3(A)は転写フィルム162を有するシート材160を巻回してなるシート供給ロール170を示す斜視図、図3(B)はシート材160の層構造を示す断面図、図4(A)及び図4(B)は基板に対するフィルムの転写態様の例を示す平面図、図5はフィルム転写装置110の第1の転写フィルム検出センサ40及び転写フィルム除去ユニット20の近傍を示す側面図であり、図5(A)は転写フィルム除去ユニット20が基準位置に位置している状態を、図5(B)は転写フィルム除去ユニット20が基準位置から移動した状態を、それぞれ示す。図6はフィルム転写装置110の第2の転写フィルム検出センサ50の近傍を示す側面図である。図7はフィルム転写装置110による転写動作を説明するための一連の工程図であり、それぞれフィルム転写装置110の圧着ローラ117A、117Bの近傍を示す側面図である。
[First Embodiment]
1 is a side view showing a
図3(B)に示すように、シート材160は、転写フィルム162を支持する支持フィルム163と、フィルム転写装置110によって基板上に転写される転写フィルム162と、転写フィルム162上を覆う保護フィルム161と、をこの順に積層してなる3層構造をなしている。
As shown in FIG. 3B, the
図3(A)に示すように、シート供給ロール170は、シート材160をロール状に巻回することにより構成され、シート材160が巻き戻されることにより該シート材160を供給する。
As shown in FIG. 3A, the
図4(A)及び図4(B)に示すように、基板1には、該基板1の姿勢を検出するためのアライメントマーク1Aが、例えば、基板1の対角2箇所もしくは4隅(4箇所)に形成されている。
As shown in FIGS. 4A and 4B, the
このような基板1に対して、必要に応じて、例えば、図4(A)に示すように1つの転写パターン(転写フィルム162)を転写したり、或いは、図4(B)に示すように複数(例えば、3つ)の転写パターン(転写フィルム162)を転写したりする。
For example, as shown in FIG. 4A, one transfer pattern (transfer film 162) is transferred to such a
図1に示すように、フィルム転写装置110は、転写フィルム162を転写する対象である基板1を搬送する基板搬送部100Aと、基板1に対して転写フィルム162を転写するフィルム転写部100Bと、を備えて構成されている。
As shown in FIG. 1, the
フィルム転写部100Bは、シート供給ロール170からシート材160を巻き戻して供給する動作と、巻き戻されたシート材160から保護フィルム161を剥離する動作と、該剥離後のシート材160(支持フィルム163及び該支持フィルム163上の転写フィルム162からなる)の転写フィルム162を所望のパターン形状に形成する動作と、所望のパターン形状に形成された転写フィルム162を基板1上に転写する動作と、基板1上に転写された転写フィルム162から支持フィルム163を剥離する動作と、該剥離後の支持フィルム163を巻き取って回収する動作と、を行う。特に、転写フィルム162を基板1上に転写する動作と、該動作により基板1上に転写された転写フィルム162から支持フィルム163を剥離する動作と、は重複するタイミングで行う(並行して行う)。
The
これらの動作を行うために、フィルム転写部100Bは、図1に示すように、シート供給ロール170を回動可能に保持するシート供給ロール保持部111と、このシート供給ロール保持部111に保持されたシート供給ロール170より供給された(巻き戻された)シート材160を挟持するようにしてガイドする一対のガイドローラ112、113と、ガイドローラ113の位置にてシート材160から剥離された保護フィルム161を巻き取る保護フィルム巻き取りローラ114と、保護フィルム161が剥離された残りのシート材160(支持フィルム163及び該支持フィルム163上の転写フィルム162からなる)の転写フィルム162の一部(転写パターン間に相当する部分)を除去することにより該転写フィルム162を所望の転写パターン形状に形成する転写フィルム除去ユニット20と、この転写フィルム除去ユニット20を移動させることにより転写パターン形状の調節やシート材160の伸び分の補正を行う除去ユニット移動機構30と、転写パターン形状に形成された転写フィルム162を有するシート材160をガイドするとともに、該シート材160の引き回し方向を例えば水平方向から鉛直方向に変化させるガイドローラ115と、転写パターン形状に形成された転写フィルムの前端位置を検出するために、転写フィルム除去ユニット20よりも送り方向下流側において複数箇所に設置された転写フィルム検出センサ(例えば、後述する第1及び第2の転写フィルム検出センサ40,50)と、シート材160をガイドすると共に該シート材160のテンション(張力)の調節などを行う第1のテンションローラ116と、シート材160をガイドすると共に該シート材160が有する転写フィルム162を下方に位置する基板1に対して圧着することにより転写する上圧着ローラ117Aと、この上圧着ローラ117Aとはシート材160及び基板1を介して対向配置され、基板1をシート材160に対して押し付ける下圧着ローラ117Bと、基板1に転写された(転写済みの)転写フィルム162から剥離された支持フィルム163をガイドすると共に該支持フィルム163のテンションの調節などを行う第2のテンションローラ118と、支持フィルム163を一定の巻き取りトルクで巻き取ることにより回収する支持フィルム巻き取りローラ119と、を備えて構成されている。
In order to perform these operations, the
ここで、シート材160は、予め、図1に示すようにフィルム転写部100Bにおいて所定の経路で引き回されている。
Here, as shown in FIG. 1, the
すなわち、シート供給ロール170から巻き戻されたシート材160は、一対のガイドローラ113,112間の間隔を通過し、ガイドローラ115、第1のテンションローラ116、上圧着ローラ117A、及び、第2のテンションローラ118に対してこの順に架け渡され、一端が支持フィルム巻き取りローラ119に固定されている。
That is, the
なお、シート供給ロール170から巻き戻されてからガイドローラ115に達するまでの位置では、支持フィルム163が下側に位置し、その上側に転写フィルム162が位置するように、シート材160が引き回されている。
Note that the
また、シート供給ロール170を構成する3層のフィルムのうち、保護フィルム161だけは、一対のガイドローラ113,112を通過する際に剥離され、残りの2層(支持フィルム163及び転写フィルム162)とは別のルートで回収される。すなわち、保護フィルム161は、ガイドローラ113の周面に沿って折り返されて、保護フィルム巻き取りローラ114側に向かい、該保護フィルム巻き取りローラ114に巻き取られる。
Of the three layers of the film constituting the
保護フィルム巻き取りローラ114は、シート供給ロール170からのシート材160の供給動作と同期して、保護フィルム161を巻き取って回収する。これにより、シート供給ロール170から供給される分だけ、シート材160の保護フィルム161が剥離される。
The protective film take-up
従って、一対のガイドローラ113,112から先は、保護フィルム161を除く2層のフィルム(支持フィルム163及び転写フィルム162)のみが引き回されている。
Therefore, only the two-layer film (the
また、シート材160は、ガイドローラ115の周面に沿うようにして、その引き回し方向が(例えば、水平方向から鉛直方向へと)変更され、上圧着ローラ117Aに至る。
Further, the
更に、シート材160の転写フィルム162は上下の圧着ローラ117A、117Bによる転写動作によって基板1上に転写されるので、上圧着ローラ117Aから先は支持フィルム163のみが引き回されている。
Furthermore, since the
転写フィルム除去ユニット20は、図1に示すように、一対のガイドローラ113,112とガイドローラ115との間に位置するシート材160に沿って配置されている。
As shown in FIG. 1, the transfer
この転写フィルム除去ユニット20は、図1の奥行き方向に長尺で、相互に平行に配置された一対のカッター21などを備えて構成され、保護フィルム161を剥離後の2層になったシート材160における転写フィルム162の一部を、送り方向における所定間隔毎に、該転写フィルム162の幅方向に亘ってカッター21により切断し、このカッター21間に位置する部分の転写フィルム162をシート材160から除去することにより、支持フィルム163上の転写フィルム162を転写パターン形状に形成する。
This transfer
つまり、転写フィルム除去ユニット20によって、送り方向における前後の転写フィルム162を相互に分断することを、送り方向における所望の間隔毎に行う結果、シート材160の支持フィルム163上に残された転写フィルム162が所望の転写パターン形状に形成される。
That is, the transfer
従って、転写フィルム除去ユニット20によって除去された部分のシート材160は、支持フィルム163のみになる。
Therefore, the
なお、一対のカッター21間の距離は一定であり、従って、転写フィルム除去ユニット20により除去される部分の送り方向における長さ(寸法)も常に一定である。
The distance between the pair of
このように転写フィルム162を一定の送り方向寸法で切断除去するのは、(1)転写パターンの前端及び後端部分の直線性を維持する目的と、(2)転写パターンの前端位置を明確にする目的と、(3)1つの基板1に対する転写動作中に、次に処理すべき基板1に対しても転写フィルム162が転写されてしまうことを防止する目的で行う。なお、切断除去する部分の寸法(送り方向寸法)は、これら(1)〜(3)の目的を達成できるような最小限の寸法とする。
In this way, the
除去ユニット移動機構30は、転写フィルム除去ユニット20を送り方向(転写フィルム除去ユニット20の位置では図1の左右方向)における任意の位置に移動させて位置決めする。
The removal
除去ユニット移動機構30により転写フィルム除去ユニット20の位置を調節した状態で、該転写フィルム除去ユニット20により転写フィルム162を上記のように切断除去することによって、転写パターンとなる転写フィルム162の送り方向寸法(転写パターン長)を調節することができ、支持フィルム163上の転写フィルム162を所望の転写パターン形状に形成することができる。
In the state where the position of the transfer
つまり、除去ユニット移動機構30による転写フィルム除去ユニット20の位置を調節することにより、転写フィルム除去ユニット20によって時間的に前後して除去される転写フィルム162の2つの部分の間隔を調節することにより、転写パターン長を調節できる。
That is, by adjusting the position of the transfer
除去ユニット移動機構30は、例えば、図5に示すように、転写フィルム除去ユニット20を保持した保持部31と、この保持部31ごと転写フィルム除去ユニット20を移動方向にガイドするガイド部32と、ガイド部32に沿って保持部31を移動させる駆動機構(図示略)と、を備えて構成されている。
For example, as shown in FIG. 5, the removal
また、第1の転写フィルム検出センサ40は、図1に示すように、転写フィルム除去ユニット20よりも下流側において、一対のガイドローラ113,112とガイドローラ115との間に位置するシート材160に沿って配置されている。
Further, as shown in FIG. 1, the first transfer
この第1の転写フィルム検出センサ40は、例えば、光反射式センサ或いはレーザー反射式センサからなり、転写パターン形状に形成される転写フィルム162の前端位置を、例えばガイドローラ115の手前で検出する。すなわち、第1の転写フィルム検出センサ40は、転写フィルム162が除去されて支持フィルム163の一層のみになった1層部分と、転写パターン形状に形成された転写フィルム162が残留している2層部分との境界を光学的に検出する。
The first transfer
なお、転写フィルム除去ユニット20は、第1の転写フィルム検出センサ40により転写フィルム162の前端位置が検出されてから、該検出位置よりも転写パターン長だけ送り方向の上流側の位置にて転写フィルム162の除去動作を行う。
Note that the transfer
ここで、図5を参照して、転写パターン長の調節動作を説明する。 Here, the operation of adjusting the transfer pattern length will be described with reference to FIG.
なお、以下に説明する転写パターン長の調節動作は、一連のシート材160の転写フィルム162に対して行う転写フィルム除去ユニット20による2回目以降の切断除去動作の際に行うものであり、一連のシート材160に対する1回目の除去切断動作は、シート材160の任意の位置に対して行えば良い。
The transfer pattern length adjustment operation described below is performed in the second and subsequent cut and removal operations by the transfer
図5(B)に示すように、転写パターン長をLとし、第1の転写フィルム検出センサ40(による検出位置)から転写フィルム除去ユニット20の基準位置(図5(A)の位置)までの距離をNとし、基準位置からの転写フィルム除去ユニット20の移動距離をΔNとし、第1の転写フィルム検出センサ40による転写フィルム162の前端位置の検出がなされてから転写フィルム除去ユニット20による除去動作を行うまでの間のシート材160の送り量をYとすると、転写パターンの長さLは、N+ΔN+Yとなる。
As shown in FIG. 5B, the transfer pattern length is L, and the distance from the first transfer film detection sensor 40 (detection position by the transfer film) to the reference position of the transfer film removal unit 20 (position of FIG. 5A). The distance is N, the moving distance of the transfer
このうち距離N(第1の転写フィルム検出センサ40から転写フィルム除去ユニット20の基準位置までの距離)は、予め計測により求め、フィルム転写装置110に記憶しておくものとする。従って、距離Nは、転写パターン長を調節するたびに算出する必要はない。
Of these, the distance N (the distance from the first transfer
また、移動距離ΔNは、除去ユニット移動機構30による転写フィルム除去ユニット20の移動距離であるため、正確に認識することができる。
Further, since the moving distance ΔN is the moving distance of the transfer
また、送り量Yは、例えば、第1の転写フィルム検出センサ40による転写フィルム162の前端位置の検出がなされてから転写フィルム除去ユニット20による除去動作を行うまでの間のガイドローラ115の回転量(回転角度)に基づいて算出される。この演算を行う算出手段については図示を省略する。
Further, the feed amount Y is, for example, the amount of rotation of the
除去ユニット移動機構30は、算出した送り量Yと、既知の値である距離Nと、移動距離ΔN(転写パターン長Lに応じて変化する)と、の合計値を算出し、該算出した合計値が、所望の転写パターン長Lとなるように、転写フィルム除去ユニット20の位置を送り方向において調節し、該転写フィルム除去ユニット20は、このように調節された位置にて転写フィルム162の除去動作を行う。なお、送り量Y、距離N及び移動距離ΔNの合計値の算出手段についても図示を省略する。
The removal
従来は、転写パターン長Lの全長に亘って、ガイドローラの回転量に基づいて長さの計測を行っていたが、この方式だと誤差が大きくなってしまうという問題があった。これに対し、本実施形態の場合、転写パターン長Lの全長の極一部である距離Yの分だけ、ガイドローラ115の回転量(回転角度)に基づいて算出するので、転写パターン長を高精度に調節することが可能となる。
Conventionally, the length is measured based on the rotation amount of the guide roller over the entire length of the transfer pattern length L, but this method has a problem that the error becomes large. On the other hand, in the case of this embodiment, since the calculation is performed based on the rotation amount (rotation angle) of the
また、フィルム転写部100Bにおいて搬送されるシート材160には張力が付与されているため、搬送中の転写フィルム162は実際の長さよりも長くなっている。
Further, since tension is applied to the
そのため、除去ユニット移動機構30は、シート材160に加わる張力に起因するシート材160の伸び量を考慮した補正を施して、転写フィルム除去ユニット20の位置を調節する。つまり、図5に示す転写パターン長Lは、基板1上に転写されたときの実際の転写フィルム162の転写パターン長よりも、張力に起因する伸び量だけ大きい。なお、この補正量は、転写パターン長Lが長いほど大きくなる。
Therefore, the removal
このような補正を行うことにより、基板1上に実際に転写される転写フィルム162の転写パターン長を正確に制御することができる。
By performing such correction, the transfer pattern length of the
圧着ローラ117A、117Bは、例えば、昇降機能及び加圧力調整機能を備えた上下一対のローラとして構成されている。なお、これら圧着ローラ117A、117Bは、具体的には、例えば、金属製ローラに一定厚さのゴムコーティングを施したものであることが挙げられる。
The
これら圧着ローラ117A、117Bにより基板1及びシート材160をまとめて挟み込んだままで、該圧着ローラ117A、117Bの間隔を等速で基板1が通過することにより、転写フィルム162が基板1に圧着転写される。
While the
これら圧着ローラ117A、117Bは、例えば、加熱圧着により転写フィルム162を基板1に転写する。
These
また、第1のテンションローラ116はシート材160の送り方向において上圧着ローラ117Aの上流側に配置され、第2のテンションローラ118はシート材160の送り方向において上圧着ローラ117Aの下流側に配置されている。
Further, the
より具体的には、第1のテンションローラ116はガイドローラ115と上圧着ローラ117Aとの間においてシート材160に係合し、第2のテンションローラ118は上圧着ローラ117Aと支持フィルム巻き取りローラ119との間でシート材160に係合し、それぞれシート材160に張力を付与している。
More specifically, the
これら第1及び第2のテンションローラ116,118は、上圧着ローラ117Aが昇降する際のシート材160の張力を一定に維持させる機能と、図1における左右方向又は上下方向に両ローラ116,118が移動することによりシート材160の微少送り(微少距離だけ送ることにより転写フィルム162の前端位置を微調整する動作)を行う機能と、を有している。
The first and
具体的には、第1のテンションローラ116は図1の左右方向への移動機能と、図1の反時計回りへの回動機能と、を備え、第2のテンションローラ118は図1の上下方向への移動機能と、図1の時計回りへの回動機能と、を備えている。
Specifically, the
第1のテンションローラ116は、図1の左側に移動することによりシート材160の張力を高める一方で、右側に移動することによりシート材160の張力を緩める。
The
他方、第2のテンションローラ118は、図1の上側に移動することによりシート材160の張力を高める一方で、下側に移動することによりシート材160の張力を緩める。
On the other hand, the
また、フィルム転写装置110は、所望の転写パターン形状に形成された転写フィルム162の前端を、基板1に対する転写の開始位置に調節する先端出し動作(前端位置調節動作)を以下のようにして行うように構成されている。
Further, the
基板1に対する転写フィルム162の転写位置のずれ量を最小限とするためには、転写フィルム162の前端を転写開始位置に最も近い場所で認識する必要がある。
In order to minimize the shift amount of the transfer position of the
そのため、図6に示すように、転写パターン形状に形成された転写フィルム162の前端が上圧着ローラ117Aの周面上における所定位置(検出位置S)に達したことを検出できるような位置に、第2の転写フィルム検出センサ50を設置している。
Therefore, as shown in FIG. 6, at a position where it can be detected that the front end of the
なお、第2の転写フィルム検出センサ50も、第1の転写フィルム検出センサ40と同様に、例えば、光反射式センサ或いはレーザー反射式センサからなる。
In addition, the 2nd transfer
ここで、基板1に対する転写フィルム162(転写パターン)の転写動作の終了時に、既に次の転写パターンが第2の転写フィルム検出センサ50により検出されていると不都合であるため、第2の転写フィルム検出センサ50の設置位置は、詳細には次のように規定している。
Here, since it is inconvenient if the next transfer pattern is already detected by the second transfer
すなわち、図6に示すように、前回の転写が終了した転写フィルム162の後端位置Tと上圧着ローラ117Aの中心Eとを結ぶ線Fと、第2の転写フィルム検出センサ50の光軸Gとのなす角度θが、以下の(1)式を満たすような位置に第2の転写フィルム検出センサ50を設置している。
That is, as shown in FIG. 6, a line F connecting the rear end position T of the
以下の(1)式において、Rは上圧着ローラ117Aの半径であり、Bは転写フィルム162において、転写フィルム除去ユニット20によって切断除去される部分の送り方向寸法であり、πは円周率である。
In the following equation (1), R is a radius of the
θ<(B/πR)×180°・・・・・・(1)
基板1に対する転写フィルム162の転写動作の終了後、次の転写パターンを構成する転写フィルム162を、第2の転写フィルム検出センサ50による検出位置Sに移動させるには、第1のテンションローラ116を図1における右方向に移動させる一方で第2のテンションローラ118を図1における上方向に移動させながら上圧着ローラ117Aを図1における反時計回りに回動させることにより、シート材160を徐々に送る。やがて、転写フィルム162の前端は、第2の転写フィルム検出センサ50により検出される。
θ <(B / πR) × 180 ° (1)
In order to move the
転写フィルム162の前端が第2の転写フィルム検出センサ50により検出された後は、上記検出位置Sから転写開始位置P(図7(C))の上方位置までのシート材160の長さM(図示略)だけ送り方向に送る。
After the front end of the
これにより、転写フィルム162の前端位置を転写開始位置Pの上方位置に正確に位置合わせすることができる。
Thereby, the front end position of the
ここで、検出位置Sから転写開始位置Pの上方位置までのシート長さMは常に一定であるため、予め測定し、フィルム転写装置110に記憶させておくものとする。
Here, since the sheet length M from the detection position S to the position above the transfer start position P is always constant, it is assumed that the sheet length M is measured in advance and stored in the
なお、転写パターン形状に形成された転写フィルム162の前端位置出しと、転写フィルム除去ユニット20による転写フィルム162の切断除去動作とは、相互に独立に(並行して)実行することができる(転写動作中以外のとき)。
Note that the front end positioning of the
また、基板搬送部100Aは、基板1を前工程の設備から受け入れて所定位置に位置合わせする動作と、熱圧着によって転写フィルム162を基板1上に転写する動作に同期して基板1を前進させる動作と、転写フィルム162が転写済みの基板1を後工程の設備へと搬出する動作と、を行う。
The
これらの動作を行うために、基板搬送部100Aは、図1ないしは図2に示すように、基板1の支持及び搬送を行う搬送ローラ60を多数備えて構成された搬送装置(全体図示略:図2においては、一部の搬送ローラ60に対してのみ符号を付している)と、基板1上に付されたアライメントマーク1Aを認識する複数のアライメントカメラ70と、位置合わせのために基板1の姿勢を変化させる駆動機構80と、アライメントカメラ70による認識結果に基づいて、前工程から搬送されてきた基板1の所定位置からのずれ量を演算し、このずれ量を補正する動作を駆動機構80に行わせる制御部(図示略)と、を備えて構成されている。
In order to perform these operations, the
ここで、基板1上のアライメントマーク1Aは、図2及び図4に示すように、例えば、基板1の対角2箇所もしくは4隅(4箇所)に形成されており、これらアライメントマーク1Aを認識するために、各アライメントカメラ70もその位置に配置されている。
Here, as shown in FIGS. 2 and 4, the alignment marks 1A on the
駆動機構80は、制御部の制御下で、アライメントカメラ70による認識結果に基づき基板1の姿勢を変化させるものであり、図2に示すように、例えば、基板1の左右両脇に1つずつ設けられている。
The
各駆動機構80は、例えば、基板1の左右方向(図2の上下方向)における一端側を搬送方向(図2の矢印A方向)及びその反対方向に移動させる第1駆動部81と、基板1の前部(搬送方向における前部)を左右方向(図2の上下方向)に移動させる第2駆動部82と、基板1の後部(搬送方向における後部)を左右方向(図2の上下方向)に移動させる第3駆動部83と、を備えて構成されている。
Each
アライメントカメラ70による認識結果に応じて、各駆動部81〜83による駆動量を適宜に調節することにより、基板1の姿勢を補正することができる。
The posture of the
また、上記のように転写フィルム162の前端位置が転写開始位置Pの上位方位置に位置合わせ(先端出し)されるとともに、基板1が転写開始位置に搬送された後は、上圧着ローラ117Aを下降させる一方で、下圧着ローラ117Bを上昇させる。
Further, as described above, the front end position of the
これにより、転写フィルム162の前端位置が転写開始位置Pに位置合わせされるとともに、両圧着ローラ117A、117Bにより基板1及びシート材160がまとめて挟持される。
As a result, the front end position of the
この状態で、基板1及びシート材160を両圧着ローラ117A、117Bの間を図1及び図2の右方向に通過させることにより、転写フィルム162が基板1上に転写される。
In this state, the
ここで、上圧着ローラ117Aの後段に位置する第2のテンションローラ118は、このような転写動作中も基板1から離間して該基板1の上方に位置にしている。
Here, the
このため、転写動作によって基板1上に転写済みの転写フィルム162からは、支持フィルム163が、転写動作に連動して、連続的に剥離される。
For this reason, the
つまり、転写フィルム162を基板1上に転写する動作と、該動作により基板1上に転写された転写フィルム162から支持フィルム163を剥離する動作と、が重複するタイミングで行われる(並行して行われる)。
That is, the operation of transferring the
また、このように剥離される支持フィルム163は、第2のテンションローラ118を介して、支持フィルム巻き取りローラ119によって巻き取られる。
Further, the
ここで、支持フィルム巻き取りローラ119は、シート材160及び基板1の搬送と同期して、該搬送と同一量だけ支持フィルム163の巻き取り動作を行う。また、この巻き取り動作は、常に一定の張力を以て行う。
Here, the support film take-up
更に、基板搬送部100Aは、転写フィルム162の転写が終了した基板1を後工程の設備へと搬出する。
Furthermore, the
次に、図7を参照して、一連の転写動作を説明する。 Next, a series of transfer operations will be described with reference to FIG.
先ず、図7(A)に示すように、前工程から搬入された基板1を基板搬送部100Aによって所定位置に位置合わせ(アライメント)する。
First, as shown in FIG. 7A, the
次に、図7(B)に示すように、転写フィルム162の前端が第2の転写フィルム検出センサ50の光軸Gを横切るまで(検出位置Sに達するまで)シート材160を送る一方で、基板1を前進させる。
Next, as shown in FIG. 7B, while feeding the
次に、図7(C)に示すように、転写フィルム162の前端が検出位置Sに達したタイミングから、上記所定の送り量M(図示略)だけ送ることにより、転写フィルム162の前端位置が転写開始位置Pの上方に位置するように位置合わせ(先端出し)する。この先端出しは、第1及び第2のテンションローラ116,118をシート材160のテンションを緩める方向に移動させるとともに、上圧着ローラ117Aを図7(C)反時計回りに僅かに回動させることにより、すなわち、第1のテンションローラ116は図7(C)の右方向に移動させる一方で、第2のテンションローラ118は図7(C)の上方向に移動させるとともに、上圧着ローラ117Aを図7(C)反時計回りに僅かに回動させることにより行う。一方で、基板1も更に前進させ、転写開始位置(図7(C)の基板1の位置)にセットする。
Next, as shown in FIG. 7C, the front end position of the
次に、図7(D)に示すように、上圧着ローラ117Aを下降させる一方で、下圧着ローラ117Bを上昇させることにより、両圧着ローラ117A、117Bにより基板1及びシート材160をまとめて挟持する。
Next, as shown in FIG. 7D, the
ここでの上下の圧着ローラ117A、117Bの昇降動作の際に、第1のテンションローラ116はシート材160のテンションを緩める方向に移動させる一方で、第2のテンションローラ118はシート材160のテンションを高める方向に移動させる。すなわち、第1のテンションローラ116は図7(D)の右方向に移動させる一方で、第2のテンションローラ118は図7(D)の下方向に移動させる。これにより、図7(D)の動作の前後でのシート材の張力を一定に維持させることができるとともに、上圧着ローラ117Aの周面における転写フィルム162の先端位置を動かさないようにすることができる。よって、転写フィルム162の先端位置が転写開始位置Pからずれてしまうことを防止し、該転写開始位置Pに対して転写フィルム162の前端位置を極めて正確に位置合わせすることができる。
Here, when the upper and lower pressure-
続いて、図7(D)から図7(E)に示すように、転写動作を行う。 Subsequently, as shown in FIGS. 7D to 7E, a transfer operation is performed.
この際には、シート材160及び基板1が相互に同期して同一量だけ搬送される。また、第1のテンションローラ116及び上圧着ローラ117Aは反時計回りに、第2のテンションローラ118及び下圧着ローラ117Bは時計回りに、それぞれ転動する。
At this time, the
これにより、基板1上に転写フィルム162が転写され、基板1上に転写パターンが形成される。
As a result, the
転写動作が終了すると、図7(F)に示すように、上圧着ローラ117Aを上昇させる一方で、下圧着ローラ117Bを下降させることにより、両圧着ローラ117A、117Bによる基板1及びシート材160の挟持状態を解除する。
When the transfer operation is completed, as shown in FIG. 7 (F), the
この際にも、シート材160を一定のテンションに維持するために、第1及び第2のテンションローラ116,118を移動させる。すなわち、第1のテンションローラ116は左方向に、第2のテンションローラ118は上方向に、それぞれ移動させる。
Also at this time, the first and
以後は、図7(A)の動作から繰り返し行うことにより、複数の基板1に対して、順次、個別に転写フィルム162を転写することができる。
Thereafter, the
なお、1つの基板1の複数箇所に対してそれぞれ転写パターンを形成する場合にも、同様に、上記図7(A)〜図7(F)の動作を繰り返し行う。
In addition, when forming a transfer pattern with respect to each of a plurality of locations on one
ここで、転写フィルムとしては、例えば、誘電体フィルムやレジストフィルム(感光性フィルム)などが挙げられる。 Here, examples of the transfer film include a dielectric film and a resist film (photosensitive film).
このうち誘電体フィルムを転写する場合、基板上に転写した後、焼成する。 Of these, when the dielectric film is transferred, it is baked after being transferred onto the substrate.
レジストフィルムの場合、基板上に転写した後、露光及び現像をこの順に行う。更に、レジストフィルムを膜として基板1上に残留させる場合は、現像の後で焼成を行う。他方、レジストフィルムをマスクとしてエッチング処理などを行う場合、現像の後でエッチング処理を行い、更にその後でレジストフィルムを剥離し、焼成する。
In the case of a resist film, after transferring on a substrate, exposure and development are performed in this order. Furthermore, when the resist film is left as a film on the
次に、プラズマディスプレイパネルの製造工程にフィルム転写装置110を用いる例について説明する。
Next, an example in which the
本実施形態では、例えば、プラズマディスプレイパネルの誘電体層をフィルム転写装置110による転写によって形成する例を説明する。
In the present embodiment, for example, an example in which a dielectric layer of a plasma display panel is formed by transfer by a
図8はプラズマディスプレイパネル(以下、PDP)の構造を示す分解斜視図である。 FIG. 8 is an exploded perspective view showing the structure of a plasma display panel (hereinafter referred to as PDP).
図8に示すように、PDP150は、相互に平行に配置された前面基板10及び背面基板11の2枚の基板を備えている。
As shown in FIG. 8, the
前面基板10における背面基板11との対向面側には、透明な走査電極14及び透明な維持電極15を、それぞれPDP150の行方向(図8では左右方向)に延在するように形成する。
更に、前面基板10には、走査電極14及び維持電極15を覆う誘電体層19A並びにこの誘電体層19Aを放電から保護する酸化マグネシウムなどからなる保護層18を形成する。
Further, the
このうち誘電体層19Aは、本実施形態に係るフィルム転写装置110によって前面基板10上に転写する。
Among these, the
背面基板11における前面基板10との対向面側には、PDP150の面方向に対し垂直な方向から見て、走査電極14及び維持電極15と直交する列方向(図8では手前側から右斜め奥に向かう方向)に延在するようにデータ電極16を形成する。
On the side of the
更に、背面基板11には、データ電極16を覆う誘電体層19Bと、この誘電体層19B上において列方向に延在し、表示セルを行方向において区切る隔壁12を、該誘電体層19Bより垂直に起立する起立壁状に形成する。
Further, on the
このうち誘電体層19Bは、本実施形態に係るフィルム転写装置110によって背面基板11上に転写する。
Among these, the
加えて、隔壁12の側面及び誘電体層19Bの表面上には、放電ガスの放電により発生する紫外線を可視光に変換する蛍光体層17を形成する。
In addition, a
こうして、前面基板10と背面基板11との間の空間には、隔壁12により区画された放電空間13が形成される。
Thus, a
この放電空間13内には、放電ガスを充填する。
The
PDP150においては、走査電極14とデータ電極16との最近接点及び維持電極15とデータ電極16との最近接点を夫々1つずつ含むように、表示セルが行列状に配置されている。従って、PDP150は(n×m)個の表示セルを備えている。
In
以上のような製造方法により製造されるPDP150は、本実施形態に係るフィルム転写装置110によって高精度に転写された誘電体層19A、19Bを備えるため、高品質なものとなる。
The
次に、図9を参照して、以上において説明したPDP150を備えて構成されるプラズマ表示装置の好適な一例について説明する。
Next, with reference to FIG. 9, a preferred example of a plasma display device configured to include the
図9は、本実施形態に係るプラズマ表示装置の好適な一例を示す概略的なブロック図である。 FIG. 9 is a schematic block diagram showing a preferred example of the plasma display device according to the present embodiment.
図9に示すプラズマ表示装置100は、アナログインタフェース120と、PDPモジュール130とを備えて概略構成されている。 The plasma display device 100 shown in FIG. 9 is schematically configured to include an analog interface 120 and a PDP module 130.
PDPモジュール130は、上記のようにして製造されたプラズマディスプレイパネル150(以下、PDP150)を備えている。
The PDP module 130 includes a plasma display panel 150 (hereinafter referred to as “
アナログインタフェース120は、クロマ・デコーダを備えたY/C分離回路121と、A/D変換回路122と、PLL回路を備えた同期信号制御回路123と、画像フォーマット変換回路124と、逆γ(ガンマ)変換回路125と、システム・コントロール回路126と、PLE制御回路127とを備えて構成されている。
The analog interface 120 includes a Y /
アナログインタフェース120は、概略的には、受信したアナログ映像信号をディジタル信号に変換したのち、これをPDPモジュール130に供給する機能を有している。 In general, the analog interface 120 has a function of converting a received analog video signal into a digital signal and supplying the digital signal to the PDP module 130.
例えばテレビチューナーから入力されるアナログ映像信号は、Y/C分離回路121において、R(赤),G(緑)、B(青)の各色の輝度信号に分解されたのち、A/D変換回路122においてディジタル信号に変換される。
For example, an analog video signal input from a TV tuner is decomposed into luminance signals of R (red), G (green), and B (blue) in the Y /
その後、PDPモジュール130の画素構成と映像信号の画素構成とが相互に異なる場合には、画像フォーマット変換回路124において、必要な画像フォーマットの変換処理が行われる。
Thereafter, when the pixel configuration of the PDP module 130 and the pixel configuration of the video signal are different from each other, the image
A/D変換回路122において、映像信号のA/D(アナログ/ディジタル)変換を行ったのち、逆γ変換回路125において、映像信号に対して逆γ変換を施して、線形特性に復元されたディジタル映像信号を生成する。このようにして生成されたディジタル映像信号は、RGB映像信号として、PDPモジュール130に出力される。
The A /
同期信号制御回路123に内蔵されているPLL(位相同期ループ)回路は、アナログ映像信号と同時に供給される水平同期信号を基準として、サンプリングクロック信号およびデータクロック信号を生成して、PDPモジュール130に出力する。
A PLL (phase-locked loop) circuit built in the synchronization
アナログインタフェース120のPLE制御回路127は、PDPの輝度制御を行う。具体的には、平均輝度レベルが所定値以下である場合には表示輝度を上昇させ、平均輝度レベルが所定値を超える場合には、表示輝度を低下させるように制御する。
The
システム・コントロール回路126は、PDPモジュール130に対して、各種制御信号を出力する。
The
PDPモジュール130は、ディジタル信号処理・制御回路131と、パネル部132と、DC/DCコンバータを内蔵するモジュール内電源回路133とから構成されている。ディジタル信号処理・制御回路131は、入力インタフェース信号処理回路134と、フレームメモリ135と、メモリ制御回路136と、ドライバ制御回路137とを含んでいる。
The PDP module 130 includes a digital signal processing / control circuit 131, a panel unit 132, and an in-module
入力インタフェース信号処理回路134は、システム・コントロール回路126から発信される各種制御信号、逆γ変換回路125から発信されるRGB映像信号、同期信号制御回路123から発信される同期信号、PLL回路から発信されるデータクロック信号を受信する。
The input interface signal processing circuit 134 includes various control signals transmitted from the
入力インタフェース信号処理回路134に入力された映像信号の平均輝度レベルは、入力インタフェース信号処理回路134内の入力信号平均輝度レベル演算回路(図示略)によって計算されて、例えば5ビットデータとして出力される。また、PLE制御回路127は、平均輝度レベルに応じてPLE制御データを設定して、入力インタフェース信号処理回路134内の輝度レベル制御回路(図示略)に供給する。
The average luminance level of the video signal input to the input interface signal processing circuit 134 is calculated by an input signal average luminance level calculation circuit (not shown) in the input interface signal processing circuit 134 and is output as, for example, 5-bit data. . Further, the
ディジタル信号処理・制御回路131では、入力インタフェース信号処理回路134において、これらの各種信号の処理を行ったのち、制御信号をパネル部132に送信する。これと同時に、メモリ制御回路136はメモリ制御信号を、ドライバ制御回路137はドライバ制御信号を、それぞれパネル部132に送信する。
In the digital signal processing / control circuit 131, these various signals are processed in the input interface signal processing circuit 134 and then a control signal is transmitted to the panel unit 132. At the same time, the
パネル部132は、PDP150と、PDP150の走査電極を駆動する走査ドライバ138と、PDP150のデータ電極を駆動するデータドライバ139と、PDP150および走査ドライバ138にパルス電圧を供給する高圧パルス回路140と、高圧パルス回路140からの余剰電力を回収する電力回収回路141とを備えて構成されている。
The panel unit 132 includes a
PDP150は、例えば1365個×768個に配列された画素を有するものとして構成されている。PDP150においては、走査ドライバ138が走査電極を制御し、データドライバ139がデータ電極(アドレス電極)を制御することによって、これらの画素のうちの所定の画素の点灯または非点灯が制御されて、所望の画像表示が行われる。
The
このようなプラズマ表示装置100は、PDP150を備えているため、高品質のプラズマ表示装置とすることができる。
Since such a plasma display device 100 includes the
以上のような実施形態によれば、基板(例えばガラス基板や樹脂基板など)1に対して転写フィルム162からなる薄膜パターンを転写するに際し、転写パターン形状に形成された一の転写フィルム162の転写動作と、当該転写フィルム162からの支持フィルム163の剥離動作と、を重複するタイミングで行うので、転写フィルム162の転写動作と該転写フィルム162から支持フィルム163を剥離する動作とを完全に別個のタイミングで行う従来技術(特許文献1〜3など)と比べて、処理に要する時間を短縮することができる。
According to the embodiment as described above, when transferring a thin film pattern made of the
また、保護フィルム161を剥離した後のシート材160の転写フィルム162の一部(すなわち、転写パターンの間隔に相当する部分)を予め転写フィルム除去ユニット20によって除去した後で、一の転写フィルム162の転写動作と、当該転写フィルム162からの支持フィルム163の剥離動作と、を重複するタイミングで行うので、転写済みの基板1をフィルム転写装置110内に滞留させずに1枚の基板1毎に転写処理を実行できる。よって、フィルム転写装置110の規模を縮小することができる。
In addition, after the
更に、本実施形態の場合、シート材160を構成する3層のうちの転写フィルム162のみを基板1上に転写する方式であるため、転写パターン162毎に個別に転写処理を行うことができる。よって、転写不要な箇所(例えば、多面取り時における不良パターン部)には転写しないようにでき、転写材料の利用効率を向上することができる。つまり、複数の転写箇所のうち、不良でない箇所に対してのみ選択的に転写を行うことが好ましい。
Further, in the present embodiment, since only the
加えて、転写パターン162毎に基板1に対する転写位置を調節することができるので、ライン設計及び製品設計の自由度を向上することができる。
In addition, since the transfer position with respect to the
なお、従来技術においては、複数の基板1に対して連続的に転写を行うことによって、転写フィルムの張力の安定性を維持していたのに対し、本実施形態の場合、支持フィルム163を一定張力で巻き取ることにより、転写フィルム162の張力の安定性を維持することができる。
In the prior art, the transfer film is continuously transferred to the plurality of
更に、転写フィルム162の長さを調節することができるので、転写フィルム162毎に所望のパターン長に設定することができる。よって、例えば、1つの基板1内で多面取りする(複数のパターンを形成する)場合に、各パターン毎にパターン長をそれぞれ設定することができる。
Furthermore, since the length of the
〔第2の実施形態〕
次に、図10を参照して、第2の実施形態に係るフィルム転写装置200について説明する。
[Second Embodiment]
Next, a
図10は第2の実施形態に係るフィルム転写装置200を示す側面図である。
FIG. 10 is a side view showing a
フィルム転写装置200は、以下に説明する点でのみ上記の第1の実施形態に係るフィルム転写装置100と異なり、その他の点ではフィルム転写装置100と同様に構成されているため、フィルム転写装置200の各構成要素のうち、フィルム転写装置100と同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
The
上記の第1の実施形態の場合、転写フィルム162が上圧着ローラ117Aにより基板1に対して転写された後、即座に、該転写済みの転写フィルム162から支持フィルム163が剥離されるように構成されているが、この場合、転写フィルム162が基板1上で十分に冷却されない段階で該転写フィルム162から支持フィルム163が剥離されるなどの理由により、基板1に対する転写フィルム162の定着が悪くなる可能性がある。
In the case of the first embodiment, the
そこで、第2の実施形態に係るフィルム転写装置200は、図10に示すように、第1の実施形態に係るフィルム転写装置100の各構成に加えて、上圧着ローラ117Aの後段(シート材160の送り方向下流側)に配置した複数(例えば、2つ)の上冷却ローラ201と、シート材160及び基板1を挟んで各上冷却ローラ201と各々対向配置された下冷却ローラ202と、を備えている。
Therefore, the
上冷却ローラ201及び下冷却ローラ202は、上圧着ローラ117A及び下圧着ローラ117Bとは異なり、転写フィルム162(及び基板1)を冷却する冷却機構を備えることが好ましい。この場合、複数設置された上冷却ローラ201及び下冷却ローラ202のうち、圧着ローラ117A、117Bから遠い位置に設置されたものほど温度を低く設定することにより、段階的、且つ、効率的に冷却を行うことができる。なお、上冷却ローラ201及び下冷却ローラ202は、冷却機構は備えず、単に、非加熱で基板1に対して転写フィルム162を圧着するものであっても良い。
Unlike the
上冷却ローラ201は、上圧着ローラ117Aに同期して、該上圧着ローラ117Aと同様の動作を行う。また、下冷却ローラ202は、下圧着ローラ117Bに同期して、該下圧着ローラ117Bと同様の動作を行う。
The
従って、転写フィルム162は、上圧着ローラ117A及び下圧着ローラ117Bにより基板1に対して転写された後で、更に、複数個ずつの上冷却ローラ201及び下冷却ローラ202によって、基板1に対して確実に圧着される。
Therefore, after the
また、上冷却ローラ201及び下冷却ローラ202による圧着動作の際には、両圧着ローラ201、202が冷却機構を備えていない場合であっても、転写フィルム162が冷却されるので、該転写フィルム162の基板1に対する定着が良好となる。
Further, during the pressure-bonding operation by the
以上のような第2の実施形態によれば、上記の第1の実施形態の場合よりも基板1に対する転写フィルム162の定着が良くなる。
According to the second embodiment as described above, the fixing of the
なお、上記の第2の実施形態では、上冷却ローラ201及び下冷却ローラ202をそれぞれ2個ずつ備える例を説明したが、この例に限らず、上冷却ローラ201及び下冷却ローラ202をそれぞれ3個以上備えるようにしても良い。
In the second embodiment described above, an example in which two
110 フィルム転写装置
112 ガイドローラ(シート搬送手段)
113 ガイドローラ(シート搬送手段)
115 ガイドローラ(シート搬送手段)
114 保護フィルム巻き取りローラ(保護フィルム剥離手段、保護フィルム巻取回収手段)
20 転写フィルム除去ユニット(転写フィルム除去手段)
117A 上圧着ローラ(転写手段、シート圧着ローラ、第1のシート圧着ローラ)
117B 下圧着ローラ(転写手段、基板側圧着ローラ)
119 支持フィルム巻き取りローラ(支持フィルム剥離手段、支持フィルム巻取回収手段)
116 第1のテンションローラ(張力維持手段、前端位置調節手段、一定量送り手段)
118 第2のテンションローラ(支持フィルム剥離手段、張力維持手段、前端位置調節手段、一定量送り手段)
50 第2の転写フィルム検出センサ(前端位置調節手段、前端位置調節用位置検出センサ)
30 除去ユニット移動機構(パターン長調節手段、除去手段位置調節手段)
40 第2の転写フィルム検出センサ(パターン長調節手段、パターン長調節用位置検出センサ)
10 前面基板(基板)
11 背面基板(基板)
150 プラズマディスプレイパネル
19 誘電体層
200 フィルム転写装置
201 第2の上圧着ローラ(第2のシート圧着ローラ)
202 第2の下圧着ローラ
110
113 Guide roller (sheet conveying means)
115 Guide roller (sheet conveying means)
114 Protective film take-up roller (protective film peeling means, protective film take-up collecting means)
20 Transfer film removal unit (transfer film removal means)
117A Upper pressure roller (transfer means, sheet pressure roller, first sheet pressure roller)
117B Lower pressure roller (transfer means, substrate pressure roller)
119 Support film take-up roller (support film peeling means, support film take-up recovery means)
116 First tension roller (tension maintaining means, front end position adjusting means, fixed amount feeding means)
118 Second tension roller (support film peeling means, tension maintaining means, front end position adjusting means, fixed amount feeding means)
50 Second transfer film detection sensor (front end position adjusting means, front end position adjusting position detection sensor)
30 Removal unit moving mechanism (pattern length adjusting means, removing means position adjusting means)
40 Second transfer film detection sensor (pattern length adjustment means, position detection sensor for pattern length adjustment)
10 Front substrate (substrate)
11 Back substrate (substrate)
150 Plasma display panel 19
202 Second lower pressure roller
Claims (29)
前記シート材を送り方向に搬送するシート搬送工程と、
前記シート材の前記転写フィルムの一部を、送り方向における所定間隔毎に、該転写フィルムの幅方向に亘って除去することにより、前記支持フィルム上に残された前記転写フィルムを所望の転写パターン形状に形成する転写フィルム除去工程と、
前記転写パターン形状に形成された前記転写フィルムを前記基板に転写する転写工程と、
前記基板に転写済みの前記転写フィルムから前記支持フィルムを剥離する支持フィルム剥離工程と、
を備え、
前記転写パターン形状に形成された一の転写フィルムの前記転写工程及び前記支持フィルム剥離工程を重複するタイミングで行うことを特徴とするフィルムの転写方法。 In a transfer method of transferring the transfer film in a sheet material having at least two layers of a transfer film transferred to a substrate and a support film supporting the transfer film to the substrate,
A sheet conveying step for conveying the sheet material in the feeding direction;
A part of the transfer film of the sheet material is removed at predetermined intervals in the feeding direction over the width direction of the transfer film, so that the transfer film left on the support film can be transferred to a desired transfer pattern. A transfer film removing step to be formed into a shape;
A transfer step of transferring the transfer film formed in the transfer pattern shape to the substrate;
A support film peeling step of peeling the support film from the transfer film transferred to the substrate;
With
A transfer method for a film, wherein the transfer step and the support film peeling step of one transfer film formed in the transfer pattern shape are performed at an overlapping timing.
前記転写工程の前に前記シート圧着ローラを前記シート材を介して前記基板に接触させる動作の際に、前記シート材の張力を一定に維持する張力維持工程を備えることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のフィルムの転写方法。 In the transfer step, the sheet pressing roller that can be brought into contact with and separated from the substrate through the sheet material is moved along with the sheet material to be in contact with the substrate through the sheet material. , By pressing the sheet material against the substrate by the sheet pressing roller,
2. A tension maintaining step of maintaining a constant tension of the sheet material in an operation of bringing the sheet pressing roller into contact with the substrate through the sheet material before the transfer step. 4. The method for transferring a film according to any one of items 1 to 3.
前記前端位置調節工程は、
転写パターン形状に形成された前記転写フィルムの前端が前記シート圧着ローラの周面上における所定位置に達したことを検出する前端位置調節用位置検出工程と、
前記前端位置調節用位置検出工程による検出のタイミングから、前記シート材を一定量だけ送り方向に送る一定量送り工程と、
を備えることを特徴とする請求項6に記載のフィルムの転写方法。 The transfer step is performed by pressing the sheet material against the substrate with a sheet pressing roller,
The front end position adjusting step includes:
A front end position adjusting position detecting step for detecting that the front end of the transfer film formed in a transfer pattern shape has reached a predetermined position on the peripheral surface of the sheet pressing roller;
From the timing of detection by the front end position adjustment position detection step, a constant amount feeding step of feeding the sheet material in a feeding direction by a certain amount;
The film transfer method according to claim 6, further comprising:
前記転写パターン形状に形成される前記転写フィルムの前端をセンサにより検出するパターン長調節用位置検出工程と、
前記パターン長調節用位置検出工程での検出がなされてから前記転写フィルム除去工程による除去動作を行うまでの間の前記シート材の送り量Yを、該シート材をガイドするローラの回転量に基づいて算出する算出工程と、
前記算出した送り量Yと、前記センサによる検出位置と前記転写フィルム除去工程にて除去動作を行う位置との距離Nと、の合計値が、所望の転写パターン長Lとなるように、前記転写フィルム除去工程にて除去動作を行う位置を調節する除去動作位置調節工程と、
を備えることを特徴とする請求項9に記載のフィルムの転写方法。 The pattern length adjusting step includes
A pattern length adjustment position detection step of detecting the front end of the transfer film formed in the transfer pattern shape by a sensor;
The feed amount Y of the sheet material from the detection in the pattern length adjustment position detection step to the removal operation in the transfer film removal step is based on the rotation amount of the roller that guides the sheet material A calculation step to calculate
The transfer amount is calculated so that a total value of the calculated feed amount Y and the distance N between the position detected by the sensor and the position where the removal operation is performed in the transfer film removal step becomes a desired transfer pattern length L. A removal operation position adjustment step for adjusting the position of the removal operation in the film removal step;
The film transfer method according to claim 9, further comprising:
前記シート材を送り方向に搬送するシート搬送手段と、
前記シート材の前記転写フィルムの一部を、送り方向における所定間隔毎に、該転写フィルムの幅方向に亘って除去することにより、前記支持フィルム上に残された前記転写フィルムを所望の転写パターン形状に形成する転写フィルム除去手段と、
前記転写パターン形状に形成された前記転写フィルムを前記基板に転写する転写手段と、
前記基板に転写済みの前記転写フィルムから前記支持フィルムを剥離する支持フィルム剥離手段と、
を備え、前記転写パターン形状に形成された一の転写フィルムの転写動作と、当該転写フィルムからの前記支持フィルムの剥離動作と、を重複するタイミングで行うことを特徴とするフィルム転写装置。 In a film transfer apparatus for transferring the transfer film in a sheet material having at least two layers of a transfer film transferred to a substrate and a support film supporting the transfer film to the substrate,
Sheet conveying means for conveying the sheet material in the feeding direction;
A part of the transfer film of the sheet material is removed at predetermined intervals in the feeding direction over the width direction of the transfer film, so that the transfer film left on the support film can be transferred to a desired transfer pattern. A transfer film removing means to be formed into a shape;
Transfer means for transferring the transfer film formed in the transfer pattern shape to the substrate;
A support film peeling means for peeling the support film from the transfer film that has been transferred to the substrate;
And a transfer operation of one transfer film formed in the shape of the transfer pattern and a peeling operation of the support film from the transfer film are performed at an overlapping timing.
当該フィルム転写装置は、更に、
転写動作の前に前記シート圧着ローラを前記シート材を介して前記基板に接触させる動作の際に、前記シート材の張力を一定に維持する張力維持手段を備えていることを特徴とする請求項14乃至16の何れか一項に記載のフィルム転写装置。 The transfer means is configured to be able to contact with and separate from the substrate via the sheet material, and moves the sheet material along with the sheet material while being in contact with the substrate via the sheet material. A sheet pressing roller for pressing the substrate;
The film transfer device further includes:
2. A tension maintaining means for maintaining a constant tension of the sheet material during an operation of bringing the sheet pressing roller into contact with the substrate through the sheet material before a transfer operation. The film transfer apparatus according to any one of 14 to 16.
前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向上流側で前記シート材に係合する第1のテンションローラと、
前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向下流側で前記シート材に係合する第2のテンションローラと、
を備え、
前記第1及び第2のテンションローラを移動ないしは回転させることによって、前記シート材の張力を一定に維持することを特徴とする請求項17に記載のフィルム転写装置。 The tension maintaining means includes
A first tension roller that engages with the sheet material on the upstream side of the sheet pressure roller in the feeding direction in the vicinity of the sheet pressure roller;
A second tension roller that engages with the sheet material at a position downstream of the sheet pressure roller in the feeding direction in the vicinity of the sheet pressure roller;
With
18. The film transfer apparatus according to claim 17, wherein the tension of the sheet material is maintained constant by moving or rotating the first and second tension rollers.
前記前端位置調節手段は、
前記転写パターン形状に形成された前記転写フィルムの前端が前記シート圧着ローラの周面上における所定位置に達したことを検出する前端位置調節用位置検出センサと、
前記前端位置調節用位置検出センサによる検出のタイミングから、前記シート材を一定量だけ送り方向に送る一定量送り手段と、
を備えることを特徴とする請求項19に記載のフィルム転写装置。 The transfer means includes a sheet pressing roller for pressing the sheet material to the substrate,
The front end position adjusting means includes
A front end position adjusting position detection sensor for detecting that the front end of the transfer film formed in the transfer pattern shape has reached a predetermined position on the peripheral surface of the sheet pressing roller;
From the timing of detection by the front end position adjustment position detection sensor, a constant amount feeding means for feeding the sheet material in the feeding direction by a certain amount;
The film transfer apparatus according to claim 19, comprising:
前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向上流側で前記シート材に係合する第1のテンションローラと、
前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向下流側で前記シート材に係合する第2のテンションローラと、
を備え、
前記第1及び第2のテンションローラを移動ないしは回転させることによって、前記シート材を一定量だけ送り方向に送ることを特徴とする請求項20に記載のフィルム転写装置。 The fixed amount feeding means is
A first tension roller that engages with the sheet material on the upstream side of the sheet pressure roller in the feeding direction in the vicinity of the sheet pressure roller;
A second tension roller that engages with the sheet material at a position downstream of the sheet pressure roller in the feeding direction in the vicinity of the sheet pressure roller;
With
21. The film transfer apparatus according to claim 20, wherein the sheet material is fed in a feeding direction by a predetermined amount by moving or rotating the first and second tension rollers.
前記圧着ローラの半径をRとし、
前記転写フィルム除去工程によって除去される部分の送り方向における長さをBとし、
円周率をπとし、
前記圧着ローラの中心から前回の転写が終了した転写フィルムの後端位置とを結ぶ線と、前記前端位置調節用位置検出センサの光軸とのなす角度をθとすると、
前記前端位置調節用位置検出センサは、前記角度θが、θ<(B/πR)×180°を満たすような位置に配置されていることを特徴とする請求項20又は21に記載のフィルム転写装置。 The front end position adjusting position detection sensor is a light reflection sensor or a laser reflection sensor,
Let R be the radius of the pressure roller,
The length in the feeding direction of the portion removed by the transfer film removal step is B,
Let pi be π,
When the angle between the line connecting the center of the pressure roller and the rear end position of the transfer film for which the previous transfer has been completed and the optical axis of the front end position adjusting position detection sensor is θ,
The film transfer according to claim 20 or 21, wherein the position detection sensor for front end position adjustment is arranged at a position where the angle θ satisfies θ <(B / πR) × 180 °. apparatus.
前記転写パターン形状に形成される前記転写フィルムの前端を検出するパターン長調節用位置検出センサと、
前記パターン長調節用位置検出センサによる検出がなされてから前記転写フィルム除去手段による除去動作を行うまでの間の前記シート材の送り量Yを、該シート材をガイドするローラの回転量に基づいて算出する算出手段と、
前記転写フィルム除去手段の位置を前記シート材の送り方向において調節する除去手段位置調節手段と、
を備え、
前記除去手段位置調節手段は、前記算出した送り量Yと、前記パターン長調節用位置検出センサによる検出位置と前記転写フィルム除去手段により除去動作を行う位置との距離Nと、の合計値が、所望の転写パターン長Lとなるように、前記転写フィルム除去手段の位置を調節し、前記転写フィルム除去手段は、該調節された位置にて転写フィルムの除去動作を行うことを特徴とする請求項23に記載のフィルム転写装置。 The pattern length adjusting means is
A pattern length adjusting position detection sensor for detecting a front end of the transfer film formed in the transfer pattern shape;
The sheet material feed amount Y from the detection by the pattern length adjusting position detection sensor to the time when the transfer film removing means performs the removal operation is based on the rotation amount of the roller for guiding the sheet material. A calculating means for calculating;
Removing means position adjusting means for adjusting the position of the transfer film removing means in the feeding direction of the sheet material;
With
The removal means position adjustment means has a total value of the calculated feed amount Y, the distance N between the position detected by the pattern length adjustment position detection sensor and the position where the transfer film removal means performs the removal operation, The position of the transfer film removing unit is adjusted so that a desired transfer pattern length L is obtained, and the transfer film removing unit performs a transfer film removing operation at the adjusted position. 24. The film transfer apparatus according to 23.
送り方向における上流側に配置されたシート圧着ローラと、
前記シート圧着ローラよりも下流側に配置された複数の冷却ローラと、
を備え、
前記シート圧着ローラ及び前記複数の冷却ローラによって前記シート材を前記基板に対し圧着することにより転写動作を行うことを特徴とする請求項14乃至25の何れか一項に記載のフィルム転写装置。 The transfer means includes
A sheet pressure roller disposed on the upstream side in the feed direction;
A plurality of cooling rollers disposed downstream of the sheet pressing roller;
With
26. The film transfer apparatus according to claim 14, wherein a transfer operation is performed by pressing the sheet material against the substrate by the sheet pressing roller and the plurality of cooling rollers.
前記第1及び第2の基板のうちの少なくとも一方に対して、請求項1乃至13の何れか一項に記載のフィルムの転写方法により転写フィルムを転写する工程を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。 A method for manufacturing a plasma display panel comprising first and second substrates, comprising:
14. A plasma display comprising a step of transferring a transfer film to at least one of the first and second substrates by the film transfer method according to any one of claims 1 to 13. Panel manufacturing method.
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