JP2006250876A - Method, device, and program for inspecting optical panel, and recording medium with program stored - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光学パネル検査方法、光学パネル検査装置、光学パネル検査プログラムおよびこのプログラムを記録した記録媒体に関する。例えば、光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査方法に関する。 The present invention relates to an optical panel inspection method, an optical panel inspection apparatus, an optical panel inspection program, and a recording medium on which the program is recorded. For example, the present invention relates to an optical panel inspection method for detecting a streak defect present in an image displayed by an optical panel and performing rank determination according to the state of the streak defect.
画像を表示する光学パネルとして、表示面上の各画素に配置された液晶セルを有し、液晶セルへの印加電圧によって表示制御が行われる液晶パネルが知られている。
このような液晶パネルにあっては、製造過程において液晶パネルに表示欠陥が生じていないか等を検査する画像表示検査が行われる。
従来、液晶パネルの画像表示検査にあっては、実際に人間が目視して欠陥の有無を判断していたが、近年では、生産量の増大や検査効率の向上のために人間の目によらない自動検査が行われるようになってきている。
As an optical panel for displaying an image, a liquid crystal panel having a liquid crystal cell arranged in each pixel on a display surface and in which display control is performed by a voltage applied to the liquid crystal cell is known.
In such a liquid crystal panel, an image display inspection is performed to inspect whether or not a display defect has occurred in the liquid crystal panel during the manufacturing process.
Conventionally, in an image display inspection of a liquid crystal panel, humans have actually visually checked the presence or absence of defects. However, in recent years, in order to increase the production amount and improve the inspection efficiency, the human eyes There is no automatic inspection going on.
ここで、検査の対象となる表示欠陥の一つとして、表示画面上に現れる細長いスジ状の欠陥があり、一般にスジ状欠陥と呼称されている。図21にスジ状欠陥の一例を示す。そして、このようなスジ状欠陥710、720を検出するスジ状欠陥検出方法が従来知られている(非特許文献1、特許文献1)。
例えば、液晶パネルの表示画像をCCDカメラで撮像し、この撮像データを所定のアルゴリズムで処理することによりスジ状欠陥の自動検出が行われる。
スジ状欠陥710、720が検出された場合には、スジ状欠陥710、720の長さ、太さ、コントラスト等の要素が総合的に判断されて、その液晶パネルの良/不良のランク判定、さらには良品のなかでもA〜Dのランク判定が行われる。
Here, as one of the display defects to be inspected, there is an elongated streak-like defect appearing on the display screen, which is generally called a streak-like defect. FIG. 21 shows an example of a streak defect. And the stripe defect detection method which detects such a stripe defect 710,720 is conventionally known (
For example, a display image of a liquid crystal panel is picked up by a CCD camera, and this picked-up data is processed by a predetermined algorithm, thereby automatically detecting streak-like defects.
When the streak-
このようなランク判定は実際のユーザーが表示画面を見たときの印象に近似した判断となることが必要である。
例えば、スジ状欠陥710、720のコントラストが低くてもスジ状欠陥710、720の長さが長ければ、ユーザーの見た目には長いスジ状欠陥710、720が目立つので、このような液晶パネルは不良品であり、その一方、スジ状欠陥710、720のコントラストが多少高くてもスジ状欠陥710、720の長さが短ければスジ状欠陥710、720が目立たないので良品と判断される。
Such rank determination needs to be a determination that approximates an impression when an actual user looks at the display screen.
For example, even if the contrast of the streak-
例えば、図22は、このような判断閾値としてスジ状欠陥の長さとコントラストとの関係から設定された閾値曲線の一例である。
スジ状欠陥検出方法により検出されたスジ状欠陥710、720の長さおよびコントラストはグラフ(図22)上にプロットされて検査対象である液晶パネルが良品範囲であるか、さらには、良品範囲である場合にAランクからDランクのどの領域に該当するかが判断される。
For example, FIG. 22 is an example of a threshold curve set based on the relationship between the length of the streak defect and the contrast as such a determination threshold.
The lengths and contrasts of the
ここで、一連のスジ状欠陥であるものの、途中で薄くなっていたり、途中で途切れていたりするスジ状欠陥がある。
従来のスジ状欠陥検出方法にあっては、個々のスジ状欠陥を検出できたとしても、スジ状欠陥が途中で途切れていたり、途中で薄くなっていた場合には当然のことながら別々の欠陥として検出していた。
Here, although it is a series of streak-like defects, there are streak-like defects that are thinned or interrupted in the middle.
In the conventional streak defect detection method, even if each streak defect can be detected, if the streak defect is interrupted or thinned in the middle, it is natural that separate defects are detected. It was detected as.
しかしながら、人間が実際に目視すれば、途中で途切れていたり薄くなっていたとしても一連のスジ状欠陥であれば一連に繋がった欠陥であると認識する。
このように、スジ状欠陥の長さの判断が人間の目視と自動検査による検出とで異なってくるので、検出したスジ状欠陥に基づく良/不良判定やランク付けにおいて人間の判断と自動検査の判断とでは全く異なってくるという問題が生じる。
However, if a human actually observes, even if it is interrupted or thinned in the middle, a series of streak-like defects are recognized as a series of defects.
In this way, the judgment of the length of the streak defect differs between human visual inspection and detection by automatic inspection. Therefore, human judgment and automatic inspection can be performed in good / bad judgment and ranking based on the detected streak defect. The problem arises that it is completely different from judgment.
例えば、図22に示す閾値曲線にあっても、スジ状欠陥の長さの違いでその判断は大きく変化し、同じコントラストでもスジ状欠陥の長さによっては不良品から良品のAランクまで判断が大きくことなってくる。その結果、人間が目視すれば当然に不良品であると判定される製品であっても、自動検査では良品のAランクに判定されるという事態も起こりうる。
その結果、自動検査によってスジ状欠陥を高精度に検出できたとしても、長さの検出が人間の目視判断とは異なるため、自動検査によって検出されたスジ状欠陥に基づく良/不良判定やランク付けに十分な信頼性がないという問題が生じていた。
For example, even in the threshold curve shown in FIG. 22, the judgment varies greatly depending on the length of the streak defect, and even from the same contrast, the judgment can be made from a defective product to a non-defective A rank depending on the length of the streak defect. It will be big. As a result, even if a product is determined to be a defective product when viewed by a human, it may be determined as a non-defective product by the automatic inspection.
As a result, even if streak-like defects can be detected with high accuracy by automatic inspection, the detection of length is different from human visual judgment. Therefore, good / bad judgment and rank based on streak-like defects detected by automatic inspection There was a problem that it was not reliable enough.
本発明の目的は、光学パネルの検査において人間の目視判断と近似したランク判定を行うことができる光学パネル検査方法、光学パネル検査装置、光学パネル検査プログラムおよびこのプログラムを記録した記録媒体を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an optical panel inspection method, an optical panel inspection apparatus, an optical panel inspection program, and a recording medium on which the program is recorded, which can perform rank determination approximate to human visual determination in optical panel inspection. There is.
本発明の光学パネル検査方法は、光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査方法において、前記光学パネルによる表示画像を撮像した撮像画像に対してスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出フィルタをかけてスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出工程と、前記スジ状欠陥検出工程にて検出された各スジ状欠陥についてスジ状欠陥同士が連続性を有するかを判定する連続性判定工程と、前記連続性判定工程にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて前記光学パネルのランク判定を行うランク判定工程と、を備えることを特徴とする。 The optical panel inspection method of the present invention is an optical panel inspection method for detecting a streak defect present in an image displayed by the optical panel and performing rank determination according to the state of the streak defect. A streak defect detection step for detecting a streak defect by applying a streak defect detection filter for detecting a streak defect to a captured image obtained by capturing an image, and each streak shape detected in the streak defect detection step A continuity determination step for determining whether or not the streak defects have continuity with respect to the defect, and the streak defects determined to have continuity in the continuity determination step are regarded as a series of streak defects and detected. And a rank determination step for determining the rank of the optical panel based on the quantitative evaluation value of the streak-like defect.
このような構成において、まず、スジ状欠陥検出工程では光学パネルの表示画像を撮像したうえでこの撮像画像にスジ状欠陥検出フィルタをかける。すると、光学パネルの表示画像に生じたスジ状欠陥が検出される。このとき、スジ状欠陥検出フィルタによる処理は機械的な処理であるので、当然のことながら、分離しているスジ状欠陥はそれぞれ別個に検出されることになる。 In such a configuration, first, in the streak defect detection step, a display image of the optical panel is picked up, and then a streak defect detection filter is applied to the picked-up image. Then, a streak defect generated in the display image of the optical panel is detected. At this time, since the process by the streak defect detection filter is a mechanical process, naturally, the separated streak defects are detected separately.
次に、連続性判定工程では、スジ状欠陥検出工程で別個に検出されたスジ状欠陥について、スジ状欠陥同士で連続性を有するかを判定する。例えば、途中で途切れていたり、薄くなったりしてはいるものの、途切れることなく延びていたと仮定した場合に自然とつながって人の目には一連のスジとして認識されるスジ状欠陥の組について連続性があると判定する。
そして、ランク判定工程において、連続性があると判定されたスジ状欠陥は連続した一連のスジ状欠陥とみなしたうえで、各スジ状欠陥の定量的評価値、例えば、長さ、幅、コントラストに基づいて光学パネルのランク判定を行う。ランク判定としては、良/不良のランク判定の他、必要に応じて良品の中におけるAランクからDランク等のランク判定を行う。
Next, in the continuity determination step, it is determined whether or not the streak defects detected separately in the streak defect detection step have continuity between the streak defects. For example, a series of streak defects that are connected to nature and are recognized as a series of streaks in the human eye when it is assumed that it has been interrupted or thinned, but extended without interruption. Judge that there is sex.
In the rank determination step, the streak-like defects determined to have continuity are regarded as a series of continuous streak-like defects, and a quantitative evaluation value of each streak-like defect, for example, length, width, contrast, etc. Based on the above, the rank of the optical panel is determined. As rank determination, in addition to good / bad rank determination, rank determination such as rank A to rank D in non-defective products is performed as necessary.
スジ状欠陥検出フィルタでは機械的にスジ状欠陥の検出処理を行うだけであるので、途中で途切れているスジ状欠陥は別個にしか検出できない。
しかしながら、人の目には途中で途切れてはいるものの一連に繋がって見えるスジ状欠陥がる。そのため、人が見て一連と認識されるスジ状欠陥を別々の短い欠陥とみなしたままランク判定処理をすると、人の見た目の印象と異なるランク判定結果になってしまうことになる。この点、本発明では、スジ状欠陥検出工程とランク判定工程との間に連続性判定工程を設けているので、検出されたスジ状欠陥のなかに連続性を有する組があるかを判定することができる。
したがって、ランク判定工程において、連続性を有するスジ状欠陥は一つの欠陥として取り扱ってランク判定を行うことができる。その結果、人が見た印象に合致するランク判定を行うことで、適切なランク判定結果を得ることができる。
Since the streak defect detection filter only mechanically performs a streak defect detection process, a streak defect interrupted in the middle can only be detected separately.
However, human eyes have streak-like defects that appear to be connected to a series of lines that are interrupted. For this reason, if the rank determination process is performed while the streak-like defects that are recognized as a series by human beings are regarded as separate short defects, a rank determination result that is different from the person's visual impression is obtained. In this regard, in the present invention, since a continuity determination step is provided between the streak defect detection step and the rank determination step, it is determined whether there is a set having continuity among the detected streak defects. be able to.
Therefore, in the rank determination step, the streak-like defects having continuity can be handled as one defect to perform rank determination. As a result, an appropriate rank determination result can be obtained by performing rank determination that matches the impression seen by a person.
本発明では、前記連続性判定工程は、前記スジ状欠陥検出工程によって検出されたスジ状欠陥同士の離間距離に基づいてスジ状欠陥同士の連続性を判定する離間距離判定工程と、連続性を判定される一方のスジ状欠陥と他方のスジ状欠陥とについて、一方のスジ状欠陥を延長した近似直線に対する他方のスジ状欠陥のずれ度に基づいて前記一方と他方のスジ状欠陥同士の連続性を判定するずれ度判定工程と、を備えることが好ましい。 In the present invention, the continuity determination step includes a separation distance determination step for determining continuity between the stripe defects based on a separation distance between the stripe defects detected by the stripe defect detection step, and a continuity. About one stripe-like defect to be judged and the other stripe-like defect, continuation of the one and the other stripe-like defects based on the degree of deviation of the other stripe-like defect with respect to the approximate straight line obtained by extending the one stripe-like defect It is preferable to include a deviation degree determination step for determining the property.
このような構成において、スジ状欠陥同士の連続性を判定するにあたって、スジ状欠陥同士がどの程度離間しているかを判断基準とする。
スジ状欠陥同士が大きく離間していては人の目にも連続性を見出すことはできないところ、離間距離が比較的小さければスジ状欠陥同士が連続性を有する可能性があると判断できる一方、スジ状欠陥同士の離間距離が大きければ明らかにスジ状欠陥同士に連続性は無いと判断できる。
In such a configuration, when determining the continuity between the streak defects, a determination criterion is how far the streak defects are separated.
While it is difficult to find continuity even in human eyes if the streak defects are greatly separated, it can be judged that the streaky defects may have continuity if the separation distance is relatively small, If the distance between the streak-like defects is large, it can be clearly judged that there is no continuity between the streak-like defects.
このようにスジ状欠陥同士の離間距離に基づいて連続性の有無の判定を行うことで、離間距離が大きすぎるスジ状欠陥同士に連続性がないと判断して、人の見た目の印象と同等の判定を行うことができる。さらには、連続性の判定についてさらなる詳細な判定を行う場合であっても、離間距離判定工程によって離間距離の大きい組合せについては連続性がないものとして予め排除しておくことで、後の処理を簡便にすることができる。 By determining whether there is continuity based on the separation distance between the streak defects in this way, it is determined that there is no continuity between the streak defects whose separation distance is too large, and is equivalent to the human impression Can be determined. Furthermore, even when a more detailed determination is made regarding the determination of continuity, a combination of large separation distances is excluded in advance in the separation distance determination step as having no continuity, thereby allowing subsequent processing. It can be simplified.
さらに、スジ状欠陥同士の連続性を判定するにあたって、連続性が判定される一方のスジ状欠陥と他方のスジ状欠陥とで、一方のスジ状欠陥を延長した近似直線に対して他方のスジ状欠陥がどの程度ずれているかを判断基準とする。スジ状欠陥が途切れることなく延びていたと仮定した場合に自然とつながる状態であればスジ状欠陥同士が連続しているように人の目に映るところ、一方のスジ状欠陥を延長した線が他方のスジ状欠陥から大きくずれていては人の目にも連続性を見出すことはない。この点、本発明では、一方のスジ状欠陥を延長した近似直線が他方のスジ状欠陥に対して有するずれ度が小さければスジ状欠陥同士に連続性があると判断でき、また、近似直線に対して他方のスジ状欠陥が大きくずれていれば連続性はないと判断する。例えば、一方のスジ状欠陥を延長した近似直線が他方のスジ状欠陥に向けて延びていれば、両者に連続性があると判断でき、逆に、一方のスジ状欠陥を延長した近似直線が他方のスジ状欠陥とは全く別の方向に延びていれば、二つのスジ状欠陥には明らかに連続性がないと判断できる。
このように、一方のスジ状欠陥を延長した近似直線と他方のスジ状欠陥とのずれ度に基づいてスジ状欠陥の連続性を判定することにより、人の見た目の印象と同等の判定を行うことができる。
Further, in determining the continuity between the streak-like defects, one streak-like defect whose continuity is judged and the other streak-like defect, the other streak with respect to the approximate straight line obtained by extending one streak-like defect. The degree of deviation of the defects is used as a criterion. If it is assumed that the streak-like defect has been extended without interruption, it appears to the human eye that the streak-like defect is continuous if it is in a state of being connected naturally, and the line extending from one streak-like defect is the other If there is a large deviation from the streak-like defects, no continuity will be found in the human eye. In this regard, in the present invention, if the degree of deviation of the approximate straight line obtained by extending one streak defect with respect to the other streak defect is small, it can be determined that there is continuity between the streak defects. On the other hand, if the other streak defect is greatly deviated, it is determined that there is no continuity. For example, if an approximate straight line extending one streak defect extends toward the other streak defect, it can be determined that both are continuous, and conversely, an approximate straight line extending one streak defect is If the other stripe-shaped defect extends in a completely different direction, it can be determined that the two stripe-shaped defects are clearly not continuous.
Thus, by determining the continuity of the streak defect based on the degree of deviation between the approximate straight line obtained by extending one streak defect and the other streak defect, a determination equivalent to a human impression is performed. be able to.
なお、本発明では、前記離間距離判定工程における連続性の判定により連続性の可能性が示唆されたスジ状欠陥の組にのみ前記ずれ度判定工程を行うことが好ましい。 In the present invention, it is preferable that the deviation degree determination step is performed only on a pair of streak defects whose possibility of continuity is suggested by the determination of continuity in the separation distance determination step.
このような構成によれば、離間距離判定工程とずれ度判定工程との二段階の判定を行うことでより適切な連続性の判定を行うことができる。そして、まず、離間距離判定工程により連続性が明らかに無いと判断されるスジ状欠陥の組合せを排除しておくことにより、ずれ度判定工程の処理時間を短縮して、光学パネルの検査効率を向上させることができる。 According to such a configuration, more appropriate continuity determination can be performed by performing a two-stage determination of the separation distance determination step and the deviation degree determination step. First, by eliminating the combination of streak defects that are determined not to have continuity clearly in the separation distance determination step, the processing time of the deviation degree determination step is shortened, and the inspection efficiency of the optical panel is increased. Can be improved.
本発明では、前記離間距離判定工程は、前記スジ状欠陥同士の離間距離を算出する距離算出工程と、算出された離間距離を所定閾値と比較して連続性を判定する距離比較工程と、を備えることが好ましい。 In the present invention, the separation distance determination step includes a distance calculation step of calculating a separation distance between the streak defects, and a distance comparison step of comparing the calculated separation distance with a predetermined threshold to determine continuity. It is preferable to provide.
このような構成において、スジ状欠陥同士の離間距離を算出し(距離算出工程)、続いて、算出された離間距離を所定閾値と比較して(距離比較工程)、スジ状欠陥同士の連続性を判定する。
スジ状欠陥同士が大きく離間していては人の目にも連続性を見出すことはできないところ、スジ状欠陥同士の離間距離を算出して、この離間距離を所定の閾値と比較することにより、離間距離が小さいスジ状欠陥同士は連続性を有する可能性があると判定できる一方、閾値を越えて大きく離間しているスジ状欠陥同士には連続性がないと判定できる。
すなわち、スジ状欠陥同士の連続性について判定するにあたって、離間距離を求める計算処理および閾値との比較処理という演算処理によって、人の見た目の印象と同等の判定を行うことができる。
In such a configuration, the distance between the streak-like defects is calculated (distance calculation step), and then the calculated distance is compared with a predetermined threshold (distance comparison step). Determine.
Where the streak-like defects are greatly separated from each other, continuity cannot be found even in the human eye, by calculating the separation distance between the streak-like defects and comparing this separation distance with a predetermined threshold, While it can be determined that the streak defects having a small separation distance may have continuity, it can be determined that the streak defects that are largely separated beyond the threshold do not have continuity.
That is, in determining the continuity between streak-like defects, it is possible to make a determination equivalent to the appearance of a person by a calculation process such as a calculation process for obtaining a separation distance and a comparison process with a threshold value.
本発明では、前記連続性判定工程は、検出された各スジ状欠陥を細線化する細線化工程と、前記細線化工程にて細線化されたスジ状欠陥の端点を検出する端点検出工程と、を備え、前記距離算出工程は、連続性を判定されるスジ状欠陥の互いの端点同士の距離を算出する端点間距離算出工程を備えることが好ましい。 In the present invention, the continuity determination step includes a thinning step for thinning each detected streak defect, an end point detection step for detecting an end point of the streak defect thinned in the thinning step, and It is preferable that the distance calculating step includes an end-to-end point distance calculating step of calculating a distance between the end points of the streak-like defects whose continuity is determined.
このような構成において、検出されたスジ状欠陥のそれぞれを細線化工程において細線化したうえで、細線化された各スジ状欠陥の端点を検出する(端点検出工程)。そして、連続性を判定される一方のスジ状欠陥と他方のスジ状欠陥とで互いの端点間距離を算出する(端点間距離算出工程)。その後、算出された端点間距離を所定閾値に比較するなどによりスジ状欠陥同士の連続性が判定される。 In such a configuration, each detected streak-like defect is thinned in a thinning step, and then the end point of each thinned streak defect is detected (endpoint detection step). Then, the distance between the end points is calculated for one streak-like defect whose continuity is determined and the other streak-like defect (inter-endpoint distance calculating step). Thereafter, the continuity between the stripe defects is determined by comparing the calculated distance between the end points with a predetermined threshold value.
このような構成によれば、細線化によってスジ状欠陥の端点が見出しやすくなり、これにより簡便に端点間距離を算出することができる。
また、連続性を判定するに際しては、途中で途切れたスジ状欠陥同士の間の間隔の大小に基づいて判定するのが望ましいと考えられるところ、端点間距離算出工程によってスジ状欠陥同士が途切れた間隔である端点間距離を求めることができる。そして、この端点間距離を所定閾値と比較することによってスジ状欠陥同士の連続性について適切な判定を行うことができる。
According to such a configuration, it becomes easy to find the end points of the streak-like defect by thinning, and the distance between the end points can be calculated easily.
Further, when determining continuity, it is considered desirable to determine based on the size of the interval between streak-like defects that were interrupted in the middle. The distance between end points, which is an interval, can be obtained. Then, by comparing the distance between the end points with a predetermined threshold value, it is possible to appropriately determine the continuity between the streak defects.
なお、連続性を判定する閾値としては、例えば、2画素から400画素分の長さに相当する距離に設定されることが例として挙げられる。 In addition, as a threshold value for determining continuity, for example, a distance corresponding to a length of 2 pixels to 400 pixels is set as an example.
本発明では、前記細線化工程は、端点を除く輪郭線上の点を検出する参照パターンをスジ状欠陥にかけた際にマッチングした点を輪郭線上の点として検出するパターンマッチング工程と、パターンマッチング工程にて検出された前記輪郭線上の点を順次削除する輪郭削除工程と、を備えることが好ましい。 In the present invention, the thinning process includes a pattern matching process for detecting a point matched when a reference pattern for detecting a point on a contour line excluding an end point is applied to a streak defect as a point on the contour line, and a pattern matching process. It is preferable to further include a contour deleting step of sequentially deleting the points on the contour line detected in this way.
このような構成において、パターンマッチング工程によってスジ状欠陥の輪郭線上の点を検出し、さらに、検出された輪郭線上の点を削除していく(輪郭削除工程)。すると、輪郭線が順次削られていき、スジ状欠陥の端点と端点とを結ぶ細線が得られる。このように輪郭上の点を順次削除していくことにより、スジ状欠陥の長さおよび方向性の情報はそのままにしてスジ状欠陥の細線化を行うことができる。 In such a configuration, a point on the contour line of the streak defect is detected by the pattern matching step, and further, the detected point on the contour line is deleted (contour deletion step). As a result, the contour line is sequentially cut, and a thin line connecting the end points of the streak defect is obtained. By sequentially deleting the points on the contour in this way, it is possible to thin the streak defect while maintaining the length and direction information of the streak defect.
本発明では、前記連続性判定工程は、検出された各スジ状欠陥を細線化する細線化工程と、前記細線化工程にて細線化されたスジ状欠陥の端点を検出する端点検出工程と、を備え、前記ずれ度判定工程は、スジ状欠陥の端点から数画素以内の傾向を反映した近似直線を算出する近似直線算出工程と、連続性を判定されるスジ状欠陥の前記端点同士を結ぶ端点連結線と前記近似直線とで挟まれる挟持角を算出する挟持角算出工程と、前記挟持角を所定閾値と比較して連続性を判定する挟持角比較工程と、を備えることが好ましい。 In the present invention, the continuity determination step includes a thinning step for thinning each detected streak defect, an end point detection step for detecting an end point of the streak defect thinned in the thinning step, and The deviation degree determination step connects the end points of the streak-like defects whose continuity is determined with an approximate straight line calculation step for calculating an approximate straight line reflecting a tendency within several pixels from the end points of the streak-like defects. It is preferable to include a sandwiching angle calculation step of calculating a sandwiching angle sandwiched between the end point connection line and the approximate straight line, and a sandwiching angle comparison step of comparing the sandwiching angle with a predetermined threshold to determine continuity.
このような構成において、まず、細線化工程によってスジ状欠陥を細線化したうえで、細線化されたスジ状欠陥の端点を検出する(端点検出工程)。
次に、一方のスジ状欠陥について端点から数画素以内の傾向を反映した近似直線を求める(近似直線算出工程)。
近似直線を求めるにあたって、端点から数画素以内の傾向を反映した直線とするので、この近似直線によりスジ状欠陥が端点からさらに伸長していたと仮定した場合の方向性が推測される。さらに、スジ状欠陥の端点同士を結ぶ端点連結線と前記近似直線とで挟持される挟持角を算出する(挟持角算出工程)。そして、この挟持角を所定の閾値と比較してスジ状欠陥同士の連続性を判定する。
In such a configuration, first, after the streak defect is thinned by the thinning process, the end point of the thinned streak defect is detected (endpoint detection process).
Next, an approximate straight line reflecting a tendency within several pixels from the end point is obtained for one streak-like defect (approximate straight line calculating step).
In obtaining the approximate straight line, since it is a straight line reflecting a tendency within several pixels from the end point, the directivity when the streaky defect is further extended from the end point is estimated by this approximate line. Further, a sandwiching angle between the end point connecting line connecting the end points of the streak defect and the approximate straight line is calculated (a sandwiching angle calculating step). Then, the continuity between the stripe defects is determined by comparing the sandwich angle with a predetermined threshold value.
ここで、二つのスジ状欠陥の間で端点同士を結ぶ端点連結線は、一方のスジ状欠陥から他方のスジ状欠陥を繋ぐ線であるので、仮に二つのスジ状欠陥に連続性があるとするならば、端点連結線と近似直線とは同じ方向に伸びていき、近似直線と端点連結線とはあまり離れることなく近接した位置関係になると考えられる。
そこで、近似直線と端点連結線との挟持角を所定閾値と比較して、挟持角が所定閾値以下であって近似直線と連結線との開きが大きくなければ、スジ状欠陥がそのまま伸長していた場合に自然と繋がる連続性を有すると判断できる。
その一方、挟持角が所定閾値を越えて近似直線と端点連結線との開きが大きければ、スジ状欠陥同士に連続性は無いと判断できる。閾値としては、例えば、+30度〜−30度に設定されることが例として挙げられる。
スジ状欠陥同士の連続性について判定するにあたって、近似直線と端点連結線との挟持角を所定閾値と比較するという演算処理により、人の見た目の印象と同等の判定を行うことができる。
Here, since the end point connecting line connecting the end points between two streak defects is a line connecting one streak defect to the other streak defect, if the two streak defects are continuous, If so, the end point connection line and the approximate line extend in the same direction, and it is considered that the approximate line and the end point connection line are close to each other without being far apart.
Therefore, when the clamping angle between the approximate straight line and the end point connection line is compared with a predetermined threshold value, and the opening angle between the approximate straight line and the connection line is not large and the opening between the approximate straight line and the connection line is not large, the streak-like defect is stretched as it is. It can be determined that the continuity is connected to nature.
On the other hand, if the sandwich angle exceeds the predetermined threshold and the opening between the approximate straight line and the end point connection line is large, it can be determined that there is no continuity between the streak defects. For example, the threshold value is set to +30 degrees to -30 degrees.
In determining the continuity between streak-like defects, it is possible to make a determination equivalent to a human impression by a calculation process of comparing the holding angle between the approximate straight line and the end point connection line with a predetermined threshold.
なお、近似直線を算出するにあたっては、細線化されたスジ状欠陥において、端点から数画素戻った点を始点として端点を通る直線を求めてもよく、あるいは、端点から数画素以内の範囲で例えば最小二乗法による回帰直線を求めてもよい。ここで、近似直線を算出するにあたって、「端点から数画素以内」の範囲としては、スジ状欠陥の伸長方向を推測するために、例えば、端点から20画素以内としてもよく、端点から10画素以内としてもよく、スジ状欠陥の端点近傍の傾向を反映した近似直線を算出できる程度の所定範囲を適宜設定すればよい。 In calculating the approximate straight line, in a thin line-like defect, a straight line passing through the end point starting from a point returned several pixels from the end point may be obtained, or, for example, within a range within several pixels from the end point You may obtain | require the regression line by the least squares method. Here, in calculating the approximate straight line, the range of “within several pixels from the end point” may be, for example, within 20 pixels from the end point or within 10 pixels from the end point in order to estimate the extension direction of the streak-like defect. A predetermined range that can calculate an approximate straight line reflecting the tendency of the vicinity of the end point of the streak-like defect may be set as appropriate.
本発明では、前記近似直線算出工程は、連続性を判定される一方のスジ状欠陥と他方のスジ状欠陥とのそれぞれについて前記近似直線を算出し、前記挟持角算出工程は、前記端点連結線と前記一方のスジ状欠陥の前記近似直線とがなす第1挟持角と、前記端点連結線と前記他方のスジ状欠陥の前記近似直線とがなす第2挟持角と、をそれぞれ算出し、前記挟持角比較工程は、前記第1挟持角および前記第2挟持角を所定閾値と比較することが好ましい。 In the present invention, the approximate straight line calculating step calculates the approximate straight line for each of the one streak-like defect and the other streak-like defect whose continuity is determined, and the holding angle calculating step includes the endpoint connecting line. And a first sandwiching angle formed by the approximate straight line of the one streak-shaped defect and a second sandwiching angle formed by the end point connection line and the approximate straight line of the other streak-shaped defect, respectively, In the sandwiching angle comparison step, it is preferable to compare the first sandwiching angle and the second sandwiching angle with a predetermined threshold value.
このような構成において、連続性が判定されるスジ状欠陥の組の両方についてそれぞれ端点連結線と近似直線との挟持角を算出したうえで(挟持角算出工程)、挟持角比較工程においては、算出された両方の挟持角を所定閾値と比較する。
このような構成によれば、両方について挟持角の開きを調べるので、例えば連続性を有さないスジ状欠陥の組において、一方のスジ状欠陥から他方のスジ状欠陥を見たときに偶然にも挟持角が小さかったという場合を排除できる。
すなわち、両方の挟持角が揃って閾値以内の場合にのみ連続性があると判断するので、より適切に連続性を判定できる。
In such a configuration, after calculating the sandwich angle between the end point connection line and the approximate straight line for both of the sets of streak defects whose continuity is determined (a sandwich angle calculation step), in the sandwich angle comparison step, Both calculated sandwiching angles are compared with a predetermined threshold value.
According to such a configuration, since the opening of the sandwiching angle is checked for both, for example, in a set of streak-like defects that do not have continuity, when one streak-like defect is seen from the other streak-like defect, it happens by chance Even if the clamping angle was small, it can be eliminated.
That is, since it is determined that there is continuity only when both the sandwiching angles are within the threshold, the continuity can be determined more appropriately.
なお、ずれ度判定工程において一方のスジ状欠陥と他方のスジ状欠陥とのずれ度を判定するにあたっては、近似直線と端点連結線とによる挟持角を閾値と比較してもよく、あるいは、一方のスジ状欠陥を延長した近似直線と他方のスジ状欠陥との最短距離を閾値と比較するなどでもよい。 In determining the degree of deviation between one streak defect and the other streak defect in the deviation degree determination step, the sandwich angle between the approximate straight line and the end point connection line may be compared with a threshold value, For example, the shortest distance between the approximate straight line obtained by extending the streak defect and the other streak defect may be compared with a threshold value.
本発明では、前記連続性判定工程は、前記スジ状欠陥検出工程によって検出されたそれぞれのスジ状欠陥に異なる識別番号を付与する識別番号付与工程と、連続性を有すると判定されたスジ状欠陥の組の前記識別番号を同一番号に書き換える識別番号書換工程と、を備えることが好ましい。 In the present invention, the continuity determination step includes an identification number giving step for assigning different identification numbers to the respective streak defects detected by the streak defect detection step, and a streak defect determined to have continuity. It is preferable to include an identification number rewriting step of rewriting the identification numbers of the set to the same number.
このような構成において、識別番号付与工程では、スジ状欠陥検出工程で検出されたスジ状欠陥の個々に異なる識別番号を付与しておき、そして、連続性を有するスジ状欠陥については識別番号書換工程において改めて同一の識別番号に書き換える。
これにより、同じ識別番号のスジ状欠陥については連続性を有するスジ状欠陥であることがすぐに分かるので、例えば、ランク判定工程において識別番号を参照し、同一識別番号については一連のスジ状欠陥であるとして取り扱うのが容易となる。
In such a configuration, in the identification number assigning step, a different identification number is assigned to each of the streak defects detected in the streak defect detection step, and the identification number rewrite is performed for the streak defects having continuity. In the process, the same identification number is rewritten.
As a result, it can be immediately understood that the streak-like defects having the same identification number are continuous streak-like defects. For example, the identification number is referred to in the rank determination process, and a series of streak-like defects are identified for the same identification number. This makes it easy to handle.
本発明の光学パネル検査装置は、光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査装置において、前記光学パネルによる表示画像を撮像した撮像画像に対してスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出フィルタをかけてスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出手段と、前記スジ状欠陥検出手段にて検出された各スジ状欠陥についてスジ状欠陥同士が連続性を有するかを判定する連続性判定手段と、前記連続性判定手段にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて前記光学パネルのランク判定を行うランク判定手段と、を備えることを特徴とする。 The optical panel inspection apparatus of the present invention is an optical panel inspection apparatus that detects a streak-like defect present in an image displayed by the optical panel and performs rank determination according to the state of the streak-like defect. A streak defect detection means for detecting a streak defect by applying a streak defect detection filter for detecting a streak defect to a captured image obtained by capturing an image, and each streak shape detected by the streak defect detection means Continuity determination means for determining whether or not the streak defects have continuity with respect to the defect, and the streak defects determined to have continuity by the continuity determination means are regarded as a series of streak defects and detected. And rank determining means for determining the rank of the optical panel based on a quantitative evaluation value of the streak-like defect.
このような構成によれば、上記発明と同様の作用効果を奏することができる。
すなわち、連続性判定手段を設けているので、検出されたスジ状欠陥のなかに連続性を有する組があるか判定して、連続性を有するスジ状欠陥は一つの欠陥として取り扱ってランク判定を行うことができる。その結果、人が見た印象に合致するランク判定を行うことで、より適切なランク判定結果を得ることができる。
According to such a configuration, the same effects as those of the above-described invention can be achieved.
That is, since a continuity determination means is provided, it is determined whether there is a set having continuity among the detected streak defects, and the continuity streak defect is handled as one defect to determine the rank. It can be carried out. As a result, a more appropriate rank determination result can be obtained by performing rank determination that matches the impression seen by a person.
本発明の光学パネル検査プログラムは、光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査装置にコンピュータを組み込んで、このコンピュータを、前記光学パネルによる表示画像を撮像した撮像画像に対してスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出フィルタをかけてスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出手段と、前記スジ状欠陥検出手段にて検出された各スジ状欠陥についてスジ状欠陥同士が連続性を有するかを判定する連続性判定手段と、前記連続性判定手段にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて前記光学パネルのランク判定を行うランク判定手段と、して機能させることを特徴とする。 The optical panel inspection program of the present invention incorporates a computer into an optical panel inspection apparatus that detects streak defects existing in an image displayed by the optical panel and performs rank determination according to the state of the streak defects. A streak defect detecting unit that detects a streak defect by applying a streak defect detection filter that detects a streak defect to a captured image obtained by capturing a display image by the optical panel, and the streak defect detecting unit A series of continuity determining means for determining whether or not the stripe-like defects have continuity for each of the stripe-like defects detected in Steps, and a series of the line-like defects determined to have continuity by the continuity determining means. Rank determining means for determining the rank of the optical panel based on a quantitative evaluation value of the detected streak defect while considering it as a streak defect It characterized in that to ability.
本発明の記録媒体は、光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査装置にコンピュータを組み込んで、このコンピュータを、前記光学パネルによる表示画像を撮像した撮像画像に対してスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出フィルタをかけてスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出手段と、前記スジ状欠陥検出手段にて検出された各スジ状欠陥についてスジ状欠陥同士が連続性を有するかを判定する連続性判定手段と、前記連続性判定手段にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて前記光学パネルのランク判定を行うランク判定手段と、して機能させる光学パネル検査プログラムをコンピュータ読取可能に記録したことを特徴とする。 The recording medium of the present invention incorporates a computer into an optical panel inspection apparatus that detects streak defects present in an image displayed by the optical panel and performs rank determination according to the state of the streak defects. A streak defect detecting means for detecting a streak defect by applying a streak defect detection filter for detecting a streak defect to a captured image obtained by capturing a display image by the optical panel, and the streak defect detecting means A continuity determining means for determining whether or not the streak defects have continuity for each detected streak defect, and a series of streak defects determined as having continuity by the continuity determining means. An optical pattern that functions as rank determining means that determines the rank of the optical panel based on a quantitative evaluation value of the streak-like defects detected as defects. And characterized by recording a Le test program readable computer.
このような構成によれば、上記発明と同様の作用効果を奏することができる。
すなわち、連続性判定手段を設けているので、検出されたスジ状欠陥のなかに連続性を有する組があるか判定することができ、連続性を有するスジ状欠陥は一つの欠陥として取り扱ってランク判定を行うことができる。その結果、人が見た印象に合致するランク判定を行うことで、より適切なランク判定結果を得ることができる。
According to such a configuration, the same effects as those of the above-described invention can be achieved.
In other words, since the continuity determination means is provided, it is possible to determine whether there is a set having continuity among the detected streak defects, and the streak defects having continuity are treated as one defect and ranked. Judgment can be made. As a result, a more appropriate rank determination result can be obtained by performing rank determination that matches the impression seen by a person.
なお、光学パネル検査装置にCPU(中央処理装置)およびメモリ(記憶装置)を備えたコンピュータを設け、このコンピュータに各工程を実行させるように検査プログラムをインストールしてもよい。
また、検査プログラムをインストールするには、メモリカードやCD−ROM等を検査装置に直接差し込んで行ってもよいし、これらの記憶媒体を読み取る機器を外付けで検査装置に接続してもよい。さらには、LANケーブル、電話線等を電子機器に接続して通信によってプログラムを供給しインストールしてもよいし、無線によってプログラムを供給してインストールしてもよい。
このように検査プログラムで各手段の機能を実現させるようにすれば、各種のパラメータの変更等を簡便に行うことができる。
Note that a computer having a CPU (Central Processing Unit) and a memory (storage device) may be provided in the optical panel inspection device, and an inspection program may be installed so that the computer can execute each process.
In order to install the inspection program, a memory card, CD-ROM, or the like may be directly inserted into the inspection apparatus, or a device that reads these storage media may be externally connected to the inspection apparatus. Further, a LAN cable, a telephone line, or the like may be connected to an electronic device and the program may be supplied and installed by communication, or the program may be supplied and installed wirelessly.
Thus, if the function of each means is realized by the inspection program, various parameters can be easily changed.
以下、本発明の実施の形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
(第1実施形態)
本発明の光学パネル検査装置に係る第1実施形態について説明する。
図1は、光学パネル検査装置100の全体構成図である。なお、以下の説明において、検査対象を液晶ライトバルブ112とする例について説明する。
光学パネル検査装置100は、検査対象となる液晶ライトバルブ112を内蔵して画像を投影する画像投影手段110と、液晶ライトバルブ112を駆動するパターンジェネレータ120と、画像投影手段110から投射される画像を映写するスクリーン134を有する映写部130と、スクリーン134に映写された画像を撮像するCCDカメラ(撮像手段)140と、CCDカメラ140で撮像された画像データを画像処理するとともに液晶ライトバルブ112のランク判定を行う演算処理部200と、を備えている。
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be illustrated and described with reference to reference numerals attached to respective elements in the drawings.
(First embodiment)
A first embodiment according to the optical panel inspection apparatus of the present invention will be described.
FIG. 1 is an overall configuration diagram of an optical
The optical
画像投影手段110は、光源111と、パターンジェネレータ120により駆動され光源111からの光を変調する液晶ライトバルブ(光学パネル)112と、液晶ライトバルブ112からの光を集光して投射する投射レンズ113と、投射レンズ113からの光をスクリーン134に向けて反射するミラー114と、を備えている。
液晶ライトバルブ112は、画素ごとに液晶セルを備える液晶パネルであり、液晶ライトバルブ112に不良があった場合、映写された画像にスジ状欠陥等の表示不良が生じることになる。
なお、この画像投影手段110は、例えば、プロジェクタ等の投射型画像表示デバイスを模したものである。
The
The liquid crystal
The
パターンジェネレータ120は、液晶ライトバルブ112の各液晶セルを駆動する各スイッチング素子に駆動信号を印加して液晶ライトバルブ112を所定パターンで駆動する。
ここで、画像表示検査を行うにあたっては、総ての表示画素が同じ入力レベルで同じ輝度を示すかを検査するところ、パターンジェネレータ120は、総ての液晶セルを同じ入力レベルで駆動する。
The
Here, in performing the image display inspection, it is inspected whether all the display pixels exhibit the same luminance at the same input level, and the
映写部130は、暗ボックス131と、この暗ボックス131内に設けられたスクリーン134と、を備える。そして、暗ボックス131は、画像投影手段110からの光が入射される開口部132と、CCDカメラ140でスクリーン134上の画像を撮像するための開口部133と、を有する。
The
CCDカメラ140は、スクリーン134上の映写された画像を撮像して、撮像した画像データを演算処理部200に出力する。
ここで、CCDカメラ140にて撮像された画像データに基づいてスジ状欠陥を検出するので、CCDカメラ140は液晶ライトバルブ112の階調数を超える階調数で画像を撮像する機能を有する必要がある。
例えば、液晶ライトバルブ112で256階調が表現されるとき、CCDカメラ140の画像データは、黒を“0”、白を“4095”とする12ビットデータの階調数を有する。
The
Here, since the streak defect is detected based on the image data captured by the
For example, when 256 gradations are expressed by the liquid crystal
図2は、演算処理部の構成を示すブロック図である。
演算処理部200は、CPU(中央処理装置)と所定のメモリ(記憶装置)とで構成され、光学パネル検査プログラムが組み込まれることにより、図2に示されるように、スジ状欠陥検出手段300と、連続性判定手段400と、ランク判定手段500と、しての各機能を実現する。
ここで、連続性判定手段400は、細線化手段410と、識別番号付与手段420と、端点検出手段430、離間距離判定手段440と、ずれ度判定手段450と、識別番号書換手段460と、を備える。そして、離間距離判定手段440は、端点間距離算出手段441と、距離比較手段442と、を備え、ずれ度判定手段450は、近似直線算出手段451と、挟持角算出手段452と、挟持角比較手段453と、を備えている。
なお、これら各手段の動作については、図3、図6、図14、図16のフローチャートを参照して説明する。
FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration of the arithmetic processing unit.
The
Here, the
The operation of each means will be described with reference to the flowcharts in FIGS. 3, 6, 14, and 16.
次に、第1実施形態に係る光学パネル検査方法について、図3、図6、図14、図16のフローチャートを参照して説明する。
図3は、光学パネル検査方法の手順を示すフローチャートである。
光学パネル検査方法は、液晶ライトバルブ112による表示画像に存在するスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出工程(ST100)と、スジ状欠陥検出工程(ST100)にて検出されたスジ状欠陥同士で連続性を有するかを判定する連続性判定工程(ST200)と、連続性判定工程(ST200)にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて液晶ライトバルブ112のランク判定を行うランク判定工程(ST300)と、を備えている。
Next, the optical panel inspection method according to the first embodiment will be described with reference to the flowcharts of FIGS. 3, 6, 14, and 16.
FIG. 3 is a flowchart showing the procedure of the optical panel inspection method.
The optical panel inspection method includes a streak defect detection step (ST100) for detecting a streak defect present in a display image by the liquid crystal
まず、スジ状欠陥検出工程(ST100)について簡単に説明する。
ここで、スジ状欠陥とは、表示画面上に現れる細長いスジ状の欠陥であり(図5参照)、周囲よりもスジの部分の輝度が低い黒スジ欠陥と、周囲よりもスジの部分の輝度が高い白スジ欠陥と、がある。本第1実施形態の光学パネル検査方法では、黒スジ欠陥に対しても白スジ欠陥に対しても同様に適用できるので、以下の説明においては特に必要がある場合を除いて区別しない。
First, the streak defect detection step (ST100) will be briefly described.
Here, the streak defect is an elongated streak defect appearing on the display screen (see FIG. 5). The black streak defect in which the brightness of the streak portion is lower than the surroundings, and the brightness of the streak portion than the surroundings. There are high white streak defects. The optical panel inspection method according to the first embodiment can be applied to black streak defects and white streak defects in the same manner. Therefore, the following description does not distinguish unless particularly necessary.
スジ状欠陥検出工程(ST100)行うにあたって、まず、スジ状欠陥の検出を行う対象となる検査画像を取得する。この際、検査対象となる液晶ライトバルブ112を画像投影手段110にセットして光源111により液晶ライトバルブ112を照明する。そして、パターンジェネレータ120から所定の駆動電圧を液晶ライトバルブ112に印加する。すると、液晶ライトバルブ112の各液晶セルが駆動されて照明の透過率が制御される。液晶ライトバルブ112からの光が投射レンズ113およびミラー114を介してスクリーン134に投影されると、スクリーン134に画像が映写される。このスクリーン134に映写された画像がCCDカメラ140で撮像され、検査対象の画像データが取得される。CCDカメラ140からの画像は演算処理部200に送られる。取得された画像データに対し、演算処理部200のスジ状欠陥検出手段300においてスジ状欠陥の検出が行われる。
In performing the streak defect detection step (ST100), first, an inspection image to be a target for detecting streak defects is acquired. At this time, the liquid crystal
取得された画像データに対して、まず、前処理として、CCDカメラ140の出力値から各画素の輝度値が求められ、さらに、背景差分やエリア抽出などが行われる。続いて、スジ状欠陥検出フィルタ600によるスジ状欠陥の検出が行われる。
For the acquired image data, first, as preprocessing, the luminance value of each pixel is obtained from the output value of the
図4にスジ状欠陥検出フィルタ600の一例を示す。
なお、ここでは、画面内で縦方向に延びるスジ状欠陥を検出する例について説明する。
スジ状欠陥検出フィルタ600は、着目画素の周囲において数画素×数画素(例えば7×7)の領域を有し、さらに、左側、中央部、右側で3分割されたうえで、左側の2列だけに重み付けされた左側強調フィルタ610と、中央部の3列だけに重みづけされた中央強調フィルタ620と、右側の2列だけに重み付けされた右側強調フィルタ630と、を備えて構成される。そして、中央強調フィルタ620は、左側強調フィルタ610および右側強調フィルタ630に対して2倍の重み付けがされている。
FIG. 4 shows an example of the streak
Here, an example of detecting a streak-like defect extending in the vertical direction in the screen will be described.
The streak
このようなスジ状欠陥検出フィルタ600(左側強調フィルタ610、中央強調フィルタ620、右側強調フィルタ630)を画像データの7×7画素サイズにかけて、それぞれのフィルタ610、620、630において畳み込み演算を行う。そして、それぞれのフィルタ610、620、630による畳み込み演算結果が次の条件式に照合されることによりスジ状欠陥が検出される。
Such a streak defect detection filter 600 (left
ここで、左側強調フィルタ610による畳み込み演算の結果をFVAとし、中央強調フィルタ620による畳み込み演算の結果をFVBとし、右側強調フィルタ630による畳み込み演算の結果をFVCとする。
Here, the result of the convolution by the
上記の条件式において、フィルタ処理の結果が条件1を満たす場合には、中央部の画素の輝度値が左右の画素の輝度値よりも高いことになるので、中央部に白スジ欠陥が存在していることになる。また、フィルタ処理結果が条件2を満たす場合には、中央部の画素の輝度値が左右の画素の輝度値よりも低いことになるので、中央部に黒スジ欠陥が存在していることになる。
In the above conditional expression, when the result of the filtering process satisfies the
さらに、このスジ状欠陥検出フィルタを上段、中段、下段に分割してそれぞれ重み付けしたフィルタを用いれば、横方向に延びるスジ状欠陥が検出され、また、中央強調フィルタは、左側強調フィルタおよび右側強調フィルタをそれぞれ45度回転させたフィルタを用意すれば、斜め方向に伸びるスジ状欠陥が検出される。 Furthermore, if this streak-like defect detection filter is divided into an upper stage, a middle stage, and a lower stage, and weighted filters are used, laterally extending streak-like defects are detected, and the center enhancement filter includes a left enhancement filter and a right enhancement. If a filter obtained by rotating the filter by 45 degrees is prepared, a streak-like defect extending in an oblique direction is detected.
このようなスジ状欠陥検出フィルタ処理を画像全体に行うことによって、例えば、図5に示されるスジ状欠陥710、720が検出される。欠陥部分の線幅およびコントラストを算出したうえで、欠陥部分の各画素を“1”とし、それ以外の部分の画素を“0”とする2値化処理を行い、2値化画像を得る。
By performing such a streak defect detection filter process on the entire image, for example,
なお、このようなスジ状欠陥検出フィルタ600によるスジ状欠陥の検出では、図5に示される欠陥のように途中で途切れているスジ状欠陥はそれぞれ異なる欠陥710、720として検出される。
In the detection of the streak defect by the streak
このようにスジ状欠陥710、720が検出されたところで、引き続いて、検出されたスジ状欠陥同士710、720で連続性を有しているか判定される(連続性判定工程ST200)。
連続性判定工程(ST200)の手順について図6のフローチャートを参照して説明する。
When the
The procedure of the continuity determination step (ST200) will be described with reference to the flowchart of FIG.
まず、ST210において、検出された各スジ状欠陥710、720を細線化する細線化工程が細線化手段410により行われる。
細線化の工程としては、端点を除く輪郭線上の点を検出する参照パターンをスジ状欠陥にかけてマッチングした点を輪郭点として検出するパターンマッチング工程と、パターンマッチング工程にて検出された輪郭線上の点を順次削除する輪郭削除工程と、を備える。
画像データがすでに2値化されており、スジ状欠陥の部分の画素に対して“1”の値が付与されているので、図7に示される各参照パターンを順次画像データ(2値化画像)にかけることによってスジ状欠陥710、720の輪郭線上の点が検出される(パターンマッチング工程)。
検出された輪郭線の点を削除していくことによって(輪郭削除工程)、スジ状欠陥710、720が細線化される。このとき、線幅が一画素になるまで細線化は実行される。
細線化されたスジ状欠陥710、720の例を図8に示す。
First, in ST210, the thinning
The thinning process includes a pattern matching process that detects a point that matches a reference pattern that detects points on the contour line excluding the end points by applying a streak defect as a contour point, and a point on the contour line that is detected in the pattern matching process. And a contour deleting step of sequentially deleting.
Since the image data has already been binarized and a value of “1” is assigned to the pixel of the streak defect portion, each reference pattern shown in FIG. ) To detect points on the outline of the streak-
By deleting the detected points of the contour line (contour deletion step), the
An example of the thin line-shaped
なお、図7中の各参照パターンにおいて、「*」は1でも0でもよいという意味である。 In each reference pattern in FIG. 7, “*” means 1 or 0.
スジ状欠陥710、720が細線化されたところで(ST210)、次に、ST220において、それぞれのスジ状欠陥710、720に識別番号を付与する識別番号付与工程が識別番号付与手段420により行われる。すなわち、スジ状欠陥検出工程(ST100)では、複数のスジ状欠陥710、720が検出されるところ、検出されたスジ状欠陥710、720にそれぞれ異なる識別番号を付与して区別する。
When the streak-
図9は、スジ状欠陥に識別番号を付与していく過程を説明するための図である。
識別番号付与工程(ST220)にあたって、まず、画像データ(2値化画像)に直接に識別番号を記録できないので、画像サイズと同等サイズの配列空間を識別番号付与用に用意する(図10参照)。
このように用意された配列空間を識別番号付与空間と称する。
FIG. 9 is a diagram for explaining the process of assigning the identification number to the stripe defect.
In the identification number assigning step (ST220), since an identification number cannot be directly recorded in the image data (binarized image), an array space having the same size as the image size is prepared for assigning the identification number (see FIG. 10). .
The array space prepared in this way is referred to as an identification number assignment space.
2値化画像(図9)に対して着目画素を中心とする3×3のフィルタ800を左上から順にかけていく(図9参照)。
フィルタ800を左上から順に走査していくと、着目画素がスジ状欠陥の画素にあたる(図9中のA)。
ここで、着目画素を囲む8つの画素をみて、識別番号が付与された画素がないときは未だ識別番号がないスジ状欠陥にあたったということになる。
この場合、現在着目画素が位置している画素に対して新しい番号の付与が行われる。すなわち、識別番号付与空間(図10)において、着目画素がある画素に対応する配列座標に識別番号“1”を付与する。
A 3 × 3
When the
Here, looking at the eight pixels surrounding the pixel of interest, if there is no pixel assigned with an identification number, it means that it has hit a streak-like defect without an identification number.
In this case, a new number is assigned to the pixel where the pixel of interest is currently located. That is, in the identification number assignment space (FIG. 10), the identification number “1” is assigned to the array coordinates corresponding to the pixel of interest.
続いてフィルタ800による走査を継続して行うと、スジ状欠陥のなかで先ほどとは別の画素に着目画素がスジ状欠陥の画素にあたる(図9中のB)。
ここで、着目画素を含む8つの画素をみて、すでに識別番号が付与された画素があるかを確認する。すなわち、識別番号付与空間の対応座標を調べる。
識別番号が付与された画素が周囲にあるとき、すでに識別番号が付与されたスジ状欠陥であるので、現在着目画素が位置している画素にも同じ番号を付与する。すなわち、識別番号付与空間(図10)において対応する配列座標に同じ識別番号として“1”を付与する。
Subsequently, when scanning by the
Here, looking at the eight pixels including the pixel of interest, it is confirmed whether there is a pixel already assigned with an identification number. That is, the corresponding coordinates of the identification number assignment space are examined.
When a pixel to which an identification number is assigned is in the vicinity, since it is a streak-like defect that has already been assigned an identification number, the same number is also assigned to the pixel in which the pixel of interest is currently located. That is, “1” is assigned as the same identification number to the corresponding array coordinates in the identification number assignment space (FIG. 10).
このようにフィルタ800を順にかけるとともに着目画素の周囲の画素を参照し、一つのスジ状欠陥に含まれる画素については同じ番号を付与していく。
フィルタ800の走査を継続して、着目画素がスジ状欠陥の画素にあたったときに、周囲の画素に識別番号が無ければ、新しいスジ状欠陥にあたったことになる(図9中のC)。そこで、現在着目画素が位置している画素に新たな識別番号を付与することになるが、このとき、先に識別番号“1”を別のスジ状欠陥に付与しているので、区別するために別の番号として例えば識別番号“2”を付与する。
このようにして順にフィルタ走査を行ってスジ状欠陥の画素に識別番号を付与していく。
すると、図10に示されるように、識別番号付与空間内でスジ状欠陥に対応する座標に識別番号が付与される。
In this way, the
When the scanning of the
In this way, filter scanning is performed in order, and identification numbers are assigned to pixels with streak-like defects.
Then, as shown in FIG. 10, an identification number is assigned to the coordinates corresponding to the streak defect in the identification number assignment space.
次に、ST230において、細線化工程(ST210)にて細線化されたスジ状欠陥710、720の端点を検出する端点検出工程が端点検出手段430により行われる。
端点検出工程(ST230)おいて、図11に示される参照パターンを細線化された2値化画像に順番にかけていく。
すると、線の端点については、図11に示されるいずれかのパターンになるので、参照パターンに合致した点は総てスジ状欠陥710、720の端点である。
検出された端点(PA,PB、PC、PD)をすべてピックアップし(図12参照)、端点の座標(PA,PB、PC、PD)と、その端点を有するスジ状欠陥の識別番号(“1”or“2”)とを記憶する(図13参照)。
Next, in ST230, an end
In the end point detection step (ST230), the reference pattern shown in FIG. 11 is sequentially applied to the thinned binarized image.
Then, since the end points of the line are in any of the patterns shown in FIG. 11, the points that match the reference pattern are all the end points of the
All the detected end points (P A , P B , P C , P D ) are picked up (see FIG. 12), the coordinates of the end points (P A , P B , P C , P D ) and the streak having the end points are collected. The identification number (“1” or “2”) of the defect is stored (see FIG. 13).
次に、ST240において、スジ状欠陥同士の離間距離に基づいてスジ状欠陥同士の連続性を判定する離間距離判定工程が離間距離判定手段440によって行われる。
離間距離判定工程(ST240)について、図14のフローチャートを参照して説明する。
離間距離判定工程(ST240)は、スジ状欠陥710、720同士の離間距離に基づいてスジ状欠陥710、720の連続性を判定する工程であり、連続性を判定されるスジ状欠陥710、720の互いの端点同士の距離を算出する端点間距離算出工程ST241と、算出された端点間距離を距離閾値と比較して連続性を判定する距離比較工程ST242と、を備える。
Next, in ST240, the separation
The separation distance determination step (ST240) will be described with reference to the flowchart of FIG.
The separation distance determination step (ST240) is a step of determining the continuity of the
まず、ST241において、端点間距離算出工程が端点間距離算出手段441によって行われる。
例えば、図15に示されるように、識別番号が“1”と“2”で異なるスジ状欠陥710、720について端点間距離を算出する。端点検出工程(ST230)において、端点(例えば、PA、PC)の座標値は検出されているので、例えば、識別番号“1”のスジ状欠陥の端点PAの座標が(xA、yA)で、識別番号“2”のスジ状欠陥の端点PCの座標が(xC、yC)であるとき、端点間距離PAPCは、次の式で算出される。
First, in ST241, the end point distance calculation step is performed by the end point distance calculation means 441.
For example, as shown in FIG. 15, the distance between the end points is calculated for the
なお、計算処理上は、端点同士(PA,PB、PC、PD)の総ての組合せについて端点間距離を算出していく。 In the calculation process, the distance between the end points is calculated for all combinations of the end points (P A , P B , P C , P D ).
次に、ST242において、距離比較工程が距離比較手段442によって行われる。
距離比較手段442には、予め、連続性を判断するための距離閾値が設定されており、端点間距離算出工程(ST241)で算出された端点間距離(PAPC)をこの距離閾値と比較する。
ここで、連続性を有するスジ状欠陥同士では、途中で途切れていたとしても離間距離は狭いと考えられるところ、距離閾値としては、連続性を有すると考えられるスジ状欠陥の組合せを選別できる程度の長さに設定し、遠く離れすぎたスジ状欠陥の組合せは除外できるようにする。距離閾値としては、例えば、2画素から400画素分の長さに相当する距離に設定されることが例として挙げられる。
Next, in ST242, a distance comparison step is performed by the distance comparison unit 442.
A distance threshold for determining continuity is set in advance in the distance comparison unit 442, and the distance between end points (P A P C ) calculated in the end point distance calculation step (ST241) is set as this distance threshold. Compare.
Here, between the streak-like defects having continuity, the separation distance is considered to be narrow even if they are interrupted in the middle, and as the distance threshold, a combination of streak-like defects considered to have continuity can be selected. So that combinations of streak-like defects that are too far apart can be excluded. For example, the distance threshold is set to a distance corresponding to a length of 2 pixels to 400 pixels.
そして、算出された端点間距離PAPCを距離閾値と比較して(ST242)、距離閾値内となる端点間距離があるとき(ST243:YES)、その端点間距離PAPCであるスジ状欠陥の組(710、720)については離間距離が狭いことから連続性を有する可能性があることになる。そこで、さらに次の連続性判定の工程(ずれ度判定工程ST250)に進む。
その一方、算出された端点間距離の総てが距離閾値を超えていた場合(ST243:NO)、連続性を有するスジ状欠陥の組合せはないと判断され、次の連続性判定の工程(ずれ度判定工程ST250)に進むことなく連続性判定工程(ST200)を終了して、ST300のランク判定工程に進む。
Then, the calculated end point distance P A P C as compared to the distance threshold value (ST242), when there is a terminal point distance to be within the distance threshold value (ST243: YES), is the endpoint-to-endpoint distance P A P C The set of streak defects (710, 720) is likely to have continuity because the separation distance is narrow. Therefore, the process further proceeds to the next continuity determination step (deviation degree determination step ST250).
On the other hand, when all the calculated end-point distances exceed the distance threshold (ST243: NO), it is determined that there is no combination of streak defects having continuity, and the next continuity determination process (deviation) The continuity determination process (ST200) is terminated without proceeding to the degree determination process ST250), and the process proceeds to the rank determination process of ST300.
離間距離判定工程(ST240)において端点間距離PAPCが距離閾値以内となる組があった場合(ST243:YES)、続いてその組(710、720)に対し、ずれ度判定工程(ST250)がずれ度判定手段450により行われる。
ずれ度判定工程について図16のフローチャートを参照して説明する。
ずれ度判定工程(ST250)は、一方のスジ状欠陥(720)を延長した近似直線L2に対する他方のスジ状欠陥(710)のずれ度に基づいてスジ状欠陥同士(710、720)の連続性を判定する工程であり、近似直線算出工程(ST251)と、挟持角算出工程(ST252)と、挟持角比較工程(ST253)と、を備える。
Distance determination step (ST240) if the end point distance P A P C there was a set of within the distance threshold value in (ST243: YES), subsequently to the set (710, 720), deviation determination step (ST250 ) Is performed by the deviation degree determination means 450.
The deviation degree determination step will be described with reference to the flowchart of FIG.
Deviation determination step (ST250), the continuous stripe-like defect together based on the deviation of the other streaky defects for the approximate straight line L 2 formed by extending one of the streak defect (720) (710) (710) This is a step of determining the characteristics, and includes an approximate straight line calculating step (ST251), a sandwiching angle calculating step (ST252), and a sandwiching angle comparing step (ST253).
まず、ST251において、スジ状欠陥720の端点PCから数画素の傾向を反映した近似直線L2を算出する近似直線算出工程が近似直線算出手段451によって行われる。
この工程(ST251)において、離間距離判定工程(ST240)で端点間距離PAPCが距離閾値以内であった(ST243:YES)端点(PA、PC)を有し連続性が判定されるスジ状欠陥について、端点PC近傍の傾向を反映する近似直線L2を算出するとともに、この近似直線L2を連続性が判定される相手側に向けて延長した延長線を求める(図17参照)。
First, in ST251, the approximate straight line calculating step of calculating an approximate straight line L 2 which reflects the tendency of several pixels from the end point P C
In this step (ST251), the distance determination step (ST240) endpoint-to-endpoint distance P A P C was within distance threshold (ST243: YES) end point (P A, P C) continuity has is determined that the streak-like defects, and calculates an approximate straight line L 2 which reflects the tendency of the end point P C near, seek extension that extends toward the approximate straight line L 2 to the other side of continuity is determined (Fig. 17 reference).
例えば、図17において、識別番号“2”の端点近傍の傾向を反映した近似直線を算出するにあたって、端点検出工程(ST230)で検出された端点PCと、この端点PCから数画素(例えば5〜10画素)分だけスジ状欠陥720に沿って戻った点(始点)PSと、を結ぶ線を算出し、この直線を近似直線L2とする。
この近似直線L2は、スジ状欠陥720が途切れることなく延びていると仮定した場合の伸長方向を示すと考えられる。
For example, in FIG. 17, when calculating the approximate straight line which reflects the tendency of the end points near the identification number "2", and the end point P C detected by the endpoint detection process (ST230), the number of pixels from the end point P C (e.g. 5-10 pixels) only in that back along the streak-
The approximate straight line L 2 is considered to indicate the extension direction of assuming extends without
次に、ST252において、端点同士(PA、PC)を結ぶ端点連結線LACと近似直線L2とで挟まれる第2挟持角θ2を算出する挟持角算出工程が挟持角算出手段452により行われる。
第2挟持角θ2の算出にあたっては、次のように行う。
まず、識別番号“1”のスジ状欠陥の端点PAから近似直線L2に向けて垂線を下ろす(図18参照)。この垂線の足を点PHとする。そして、PAPHの距離を算出する。例えば、近似直線L2が次の式で表されたとする。
Next, in ST252, end points (P A, P C) sandwiching angle calculating step of the second to calculate a clamping angle theta 2 which is sandwiched between the end point connecting line L AC an approximate straight line L 2 connecting the the clamping angle calculating means 452 Is done.
The calculation of the second clamping angle θ 2 is performed as follows.
First, down a perpendicular direction from the end point P A streaky defect identification number "1" to the approximate line L 2 (see FIG. 18). Let this perpendicular foot be a point PH. Then, it calculates the distance P A P H. For example, the approximate straight line L 2 is assumed to be expressed by the following.
ax+by+c=0 ax + by + c = 0
このとき、識別番号“1”のスジ状欠陥の端点PA(xA,yA)から近似直線L2におろした垂線PAPHの長さは、次のように求められる。 At this time, the length of the perpendicular line P A P H grated end point P A (x A, y A ) of the streak-like defects from the approximate line L 2 of the identification number "1" is determined as follows.
このとき、第2挟持角θ2は、次の式で求められる。 At this time, the second clamping angle θ 2 is obtained by the following equation.
同様にして、識別番号“1”のスジ状欠陥710についても近似直線L1を算出したうえで、端点同士を連結する端点連結線LACと近似直線L1とで挟持される第1挟持角θ1を算出する(図19参照)
Similarly, for the streak-
そして、次に、ST253において、挟持角θ1、θ2を角度閾値と比較して連続性を判定する挟持角比較工程が挟持角比較手段453によって行われる。
挟持角比較手段453には、連続性を判断するための角度閾値が予め設定されており、挟持角算出工程(ST252)において算出された挟持角θ1、θ2をこの角度閾値と比較する。
ここで、連続性を有するスジ状欠陥同士では、端点連結線LACと近似直線L1、L2とのひらきが小さいと考えられるところ、角度閾値としては、連続性を有するスジ状欠陥の組合せを判断できる角度に設定され、挟持角θ1、θ2が大きくて近似直線L1、L2と端点PA、PCとの距離(例えばPAPC間距離)が離れすぎたスジ状欠陥の組合せは除外できるようにする。角度閾値としては、例えば、+30度〜−30度に設定されることが例として挙げられる。
And then, in ST253, nipping angle theta 1, nipping angle comparing step determines continuity of theta 2 as compared to the threshold angle is performed by nipping
An angle threshold for determining continuity is set in advance in the sandwich angle comparing means 453, and the sandwich angles θ 1 and θ 2 calculated in the sandwich angle calculating step (ST252) are compared with this angle threshold.
Here, it is considered that between the streak-like defects having continuity is small in opening between the end point connection line LAC and the approximate straight lines L 1 and L 2 , the angle threshold is a combination of the streak-like defects having continuity. is set to an angle that can determine, clamping angle theta 1, theta 2 is
そして、求められた挟持角θ1、θ2を角度閾値と比較して、両方の挟持角θ1、θ2がともに角度閾値以内である場合(ST254:YES)、その組については、挟持角θ1、θ2の開きがともに小さいことから連続性を有すると判断される。
その一方、求められた挟持角θ1、θ2が角度閾値を超えていた場合、二つのスジ状欠陥710、720には連続性はなく(ST255)、別個の独立したスジ状欠陥710、720であると判断されるので、連続性判定工程(ST200)を終了してST300のランク判定に進む。
Then, when the obtained sandwiching angles θ 1 and θ 2 are compared with the angle threshold value and both the sandwiching angles θ 1 and θ 2 are both within the angle threshold value (ST254: YES), the sandwiching angle is determined for the set. Since the opening of θ 1 and θ 2 are both small, it is determined to have continuity.
On the other hand, when the obtained sandwiching angles θ 1 and θ 2 exceed the angle threshold, the two
ずれ度判定工程(ST250)において、挟持角θ1、θ2が角度閾値以内となった場合(ST254:YES)、二つのスジ状欠陥710、720は連続性を有すると判断されることから、その組に対し、ST260において識別番号書換工程が識別番号書換手段460により行われる。
In the deviation degree determination step (ST250), when the sandwiching angles θ 1 and θ 2 are within the angle threshold value (ST254: YES), it is determined that the two
識別番号書換工程(ST250)は、連続性を有すると判定されたスジ状欠陥710、720の識別番号を同一番号に書き換える(図20参照)。
すなわち、識別番号付与工程(ST210)では、スジ状欠陥検出フィルタ600によって検出されたスジ状欠陥710、720のそれぞれに異なる識別番号(“1”or“2”)を付与していたところ、離間距離判定工程ST240およびずれ度判定工程(ST250)によって連続性を有すると判断されたスジ状欠陥については識別番号書換工程(ST250)において同一の識別番号に書き換えて、同じ識別番号のスジ状欠陥を連続した一つのスジ状欠陥であるとみなす。
In the identification number rewriting step (ST250), the identification numbers of the
That is, in the identification number assigning step (ST210), different identification numbers ("1" or "2") are assigned to the
このように連続性判定工程(ST200)において連続性を有するスジ状欠陥710、720の組については同一の識別番号(“1”)として、各スジ状欠陥710、720にそれぞれ識別番号を付与した後、ST300において、ランク判定工程がランク判定手段500により行われる。
In this way, in the continuity determination step (ST200), for the set of stripe-
ランク判定工程(ST300)にあたっては、識別番号(“1”or“2”)に基づいて同じ識別番号のスジ状欠陥710、720は一連のスジ状欠陥として認識したうえで、スジ状欠陥検出フィルタ600で検出されたスジ状欠陥710、720について(図5参照)、識別番号ごとにスジ状欠陥710、720のコントラスト、欠陥幅、長さを算出する。すなわち、連続性を有するスジ状欠陥については、細線化された画像上(図8あるいは図20参照)で各々の画素数を足した総画素数を一連のスジ状欠陥の長さとする。
そして、スジ状欠陥710、720のコントラスト、欠陥幅およびスジ状欠陥の長さに基づいて、例えば図22に示した閾値曲線により液晶ライトバルブ112のランク判定として、良/不良判定および良品の中におけるAランクからDランクのランク判定を行う。
In the rank determination step (ST300), the line-shaped
Based on the contrast of the
ランク判定工程(ST300)の終了により液晶ライトバルブ112の検査は終了し、ランク判定に応じて液晶ライトバルブ112は製品として出荷される。
The inspection of the liquid crystal
このような第1実施形態によれば次の効果を奏する。
(1)スジ状欠陥検出工程(ST100)におけるスジ状欠陥検出フィルタ600では途中で途切れているスジ状欠陥710、720は別個にしか検出できないが、本実施形態では、スジ状欠陥検出工程(ST100)とランク判定工程(ST300)との間に連続性判定工程(ST200)を設けているので、検出されたスジ状欠陥710、720のなかに連続性を有する組があるか判定することができる。したがって、ランク判定工程(ST300)において、連続性を有するスジ状欠陥710、720は一つの欠陥として取り扱ってランク判定を行うことができ、人が見た印象に合致するランク判定を行うことで、適切なランク判定結果を得ることができる。
According to such 1st Embodiment, there exists the following effect.
(1) The streak
(2)連続性判定工程(ST200)において、スジ状欠陥同士の離間距離に基づいて連続性の有無の判定を行う(離間距離判定工程ST240)ことで、離間距離が大きすぎるスジ状欠陥同士に連続性がないと判定することができる。すなわち、スジ状欠陥同士が大きく離間していては人の目にも連続性を見出すことはできないところ、スジ状欠陥同士の離間距離PAPCを算出して(端点間距離算出工程ST241)、この離間距離PAPCを距離閾値と比較することにより(距離比較工程)、距離閾値を越えて大きく離間しているスジ状欠陥同士には連続性がないと判定できる。つまり、スジ状欠陥同士の連続性について判定するにあたって、端点間距離算出工程ST241と距離比較工程ST242という演算処理によって、人の見た目の印象と同等の判定を行うことができる。 (2) In the continuity determination step (ST200), the presence / absence of continuity is determined based on the separation distance between the streak defects (separation distance determination step ST240). It can be determined that there is no continuity. That is, where neither able to find continuity in the human eye have spaced between streaky defect is large, and calculates the distance P A P C between the line defect (end point distance calculating step ST241) (distance comparison step) by comparing the distance P a P C the distance threshold, the streak-like defects each other over a distance threshold are greatly separated can be determined that there is no continuity. That is, in determining the continuity between streak-like defects, it is possible to make a determination equivalent to the appearance of a person by the arithmetic processing of the end point distance calculation step ST241 and the distance comparison step ST242.
(3)連続性判定工程ST200を行うにあたって、まず、細線化工程(ST210)によってスジ状欠陥710、720を細線化するので、スジ状欠陥710、720の端点(PA、PB、PC、PD)を端点検出工程(ST230)において簡便なパターンマッチング(図11)により検出することができる。そして、細線化にあたっては、パターンマッチング(図7)によりスジ状欠陥710、720の輪郭線上の点を検出し、さらに、検出された輪郭線上の点を削除していくので、スジ状欠陥710、720の長さおよび方向性の情報はそのままにしてスジ状欠陥710、720の細線化を行うことができる。
(3) In performing the continuity determination step ST200, first, the
(4)ずれ度判定工程(ST250)において、一方のスジ状欠陥720を延長した近似直線L2と他方のスジ状欠陥710とのずれ度としての挟持角θ2に基づいてスジ状欠陥710、720の連続性を判定することにより(ST253)、人の見た目の印象を同等の判定を行うことができる。すなわち、スジ状欠陥710、720が途切れることなく延びていたと仮定した場合に自然とつながる状態であればスジ状欠陥同士が連続しているように人の目に映るところ、一方のスジ状欠陥720を延長した近似直線L2が他方のスジ状欠陥710に対して有するずれ度が小さい場合にスジ状欠陥同士に連続性があると判断して(ST253、ST254)、人の見た目の印象を同等の判定を行うことができる。
(4) deviation determination in step (ST250), one streak approximate the
(5)離間距離判定工程ST240とずれ度判定工程ST250との二段階の判定を行うので、より適切な連続性の判定を行うことができる。そして、まず、離間距離判定工程ST240により連続性が明らかに無いと判断されるスジ状欠陥の組合せを排除しておくことにより(ST242、ST243)、ずれ度判定工程ST250の処理時間を短縮して、光学パネルの検査効率を向上させることができる。 (5) Since the two-stage determination of the separation distance determination step ST240 and the deviation degree determination step ST250 is performed, more appropriate continuity determination can be performed. First, by eliminating the combination of streak defects that are determined not to have continuity in the separation distance determination step ST240 (ST242, ST243), the processing time of the deviation degree determination step ST250 is shortened. The inspection efficiency of the optical panel can be improved.
(6)ずれ度判定工程ST250において、一方だけでなく両方について挟持角θ1、θ2を算出し(ST252)、両方の挟持角θ1、θ2を角度閾値と比較する(ST253)ので、例えば一方のスジ状欠陥720から他方のスジ状欠陥710を見たときに偶然にも挟持角θ2が小さかったという場合を排除できる。すなわち、両方の挟持角θ1、θ2が揃って角度閾値以内である場合(ST254)にのみ、連続性があると判断するので適切に連続性を判定できる。
(6) In the misalignment degree determination step ST250, the sandwiching angles θ 1 and θ 2 are calculated for not only one but both (ST252), and both sandwiching angles θ 1 and θ 2 are compared with the angle threshold (ST253). for example can be eliminated if that is pinched angle theta 2 was less chance when from one
(7)識別番号付与工程ST220において、スジ状欠陥検出工程(ST100)で検出されたスジ状欠陥710、720の個々に異なる識別番号(“1”、“2”)を付与しておき、続いて、離間距離判定工程(ST240)およびずれ度判定工程(ST250)により連続性を有すると判定されたスジ状欠陥710、720については同一の識別番号(“1”)に書き換えるので、この識別番号(”1”)を参照して同じ識別番号のスジ状欠陥710、720は連続性を有するスジ状欠陥であることがすぐに分かる。その結果、ランク判定工程(ST300)において、識別番号を参照して同一識別番号(“1”)については一連のスジ状欠陥であるとして取り扱うのが容易となる。
(7) In the identification number assigning step ST220, different identification numbers (“1”, “2”) are individually assigned to the
なお、本発明は前述の実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
検査対象としての光学パネルは、液晶ライトバルブ(液晶パネル)のみならず、プラズマディスプレイパネル、有機ELパネル、ダイレクトミラーデバイス(DMD)などの画像表示を行う光学パネルであれば、本発明を適用してスジ状欠陥についての検査を行うことができるのはもちろんである。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and modifications, improvements, and the like within the scope that can achieve the object of the present invention are included in the present invention.
The present invention is applied to an optical panel as an inspection target as long as it is an optical panel that displays an image such as a plasma display panel, an organic EL panel, and a direct mirror device (DMD) as well as a liquid crystal light valve (liquid crystal panel). Of course, it is possible to inspect for streak-like defects.
挟持角θ1、θ2の算出にあたっては、上記に説明した方法(サイン関数の利用)に限らず、挟持角を算出できれば算出方法は限定されない。
ずれ度判定工程においては、挟持角θ1、θ2の大きさを閾値と比較する場合を例に説明したが、例えば、図18においてPAPCの長さに基づいてずれ度を判定してもよい。
The calculation of the holding angles θ 1 and θ 2 is not limited to the method described above (use of a sine function), and the calculation method is not limited as long as the holding angle can be calculated.
In deviation determination step, nipping angle theta 1, it has been described as an example when comparing to a threshold magnitude of theta 2, for example, to determine the deviation degree on the basis of a length of P A P C 18 May be.
本発明は、光学パネルの検査に利用できる。 The present invention can be used for inspection of optical panels.
100…光学パネル検査装置、110…画像投影手段、111…光源、112…液晶ライトバルブ、113…投射レンズ、114…ミラー、120…パターンジェネレータ、130…映写部、131…暗ボックス、132…開口部、133…開口部、134…スクリーン、140…CCDカメラ、200…演算処理部、300…スジ状欠陥検出手段、400…連続性判定手段、410…細線化手段、420…識別番号付与手段、430…端点検出手段、440…離間距離判定手段、441…端点間距離算出手段、442…距離比較手段、450…度判定手段、451…近似直線算出手段、452…挟持角算出手段、453…挟持角比較手段、460…識別番号書換手段、500…ランク判定手段、600…スジ状欠陥検出フィルタ、610…左側強調フィルタ、620…中央強調フィルタ、630…右側強調フィルタ、710…スジ状欠陥、720…スジ状欠陥、800…フィルタ。
DESCRIPTION OF
Claims (11)
前記光学パネルによる表示画像を撮像した撮像画像に対してスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出フィルタをかけてスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出工程と、
前記スジ状欠陥検出工程にて検出された各スジ状欠陥についてスジ状欠陥同士が連続性を有するかを判定する連続性判定工程と、
前記連続性判定工程にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて前記光学パネルのランク判定を行うランク判定工程と、を備える
ことを特徴とする光学パネル検査方法。 In an optical panel inspection method for detecting a streak defect present in an image displayed by an optical panel and performing rank determination according to the state of the streak defect,
A streak defect detecting step of detecting a streak defect by applying a streak defect detection filter for detecting a streak defect to a captured image obtained by capturing a display image by the optical panel;
A continuity determination step for determining whether or not the streak defects have continuity for each streak defect detected in the streak defect detection step;
A rank in which the streak-like defects determined to have continuity in the continuity determination step are regarded as a series of streak-like defects and the rank of the optical panel is determined based on a quantitative evaluation value of the detected streak-like defects. An optical panel inspection method comprising: a determination step.
前記連続性判定工程は、
前記スジ状欠陥検出工程によって検出されたスジ状欠陥同士の離間距離に基づいてスジ状欠陥同士の連続性を判定する離間距離判定工程と、
連続性を判定される一方のスジ状欠陥と他方のスジ状欠陥とについて、一方のスジ状欠陥を延長した近似直線に対する他方のスジ状欠陥のずれ度に基づいて前記一方と他方のスジ状欠陥同士の連続性を判定するずれ度判定工程と、を備えている
ことを特徴とする光学パネル検査方法。 The optical panel inspection method according to claim 1,
The continuity determination step includes
A separation distance determination step for determining the continuity between the stripe defects based on the separation distance between the stripe defects detected by the stripe defect detection step;
For one streak defect and the other streak defect to be judged for continuity, the one and other streak defects are based on the degree of deviation of the other streak defect with respect to an approximate straight line extending one streak defect. An optical panel inspection method comprising: a deviation degree determination step for determining continuity between each other.
前記離間距離判定工程は、
前記スジ状欠陥同士の離間距離を算出する距離算出工程と、
算出された離間距離を所定閾値と比較して連続性を判定する距離比較工程と、を備える
ことを特徴とする光学パネル検査方法。 The optical panel inspection method according to claim 2,
The separation distance determination step includes
A distance calculating step of calculating a separation distance between the streak defects;
A distance comparison step of comparing the calculated separation distance with a predetermined threshold to determine continuity. An optical panel inspection method, comprising:
前記連続性判定工程は、
検出された各スジ状欠陥を細線化する細線化工程と、
前記細線化工程にて細線化されたスジ状欠陥の端点を検出する端点検出工程と、を備え、
前記距離算出工程は、
連続性を判定されるスジ状欠陥の互いの端点同士の距離を算出する端点間距離算出工程を備える
ことを特徴とする光学パネル検査方法。 In the optical panel inspection method according to claim 3,
The continuity determination step includes
A thinning process for thinning each detected streak defect;
An end point detection step for detecting an end point of the line-shaped defect thinned in the thinning step,
The distance calculating step includes
An optical panel inspection method comprising: an end-point distance calculation step of calculating a distance between end points of a streak-like defect whose continuity is determined.
前記細線化工程は、端点を除く輪郭線上の点を検出する参照パターンをスジ状欠陥にかけた際にマッチングした点を輪郭線上の点として検出するパターンマッチング工程と、
パターンマッチング工程にて検出された前記輪郭線上の点を順次削除する輪郭削除工程と、を備える
ことを特徴とする光学パネル検査方法。 The optical panel inspection method according to claim 4,
The thinning step is a pattern matching step of detecting a point matched when a reference pattern for detecting a point on a contour line excluding an end point is applied to a streak defect as a point on the contour line;
An optical panel inspection method comprising: a contour deletion step of sequentially deleting points on the contour line detected in a pattern matching step.
前記連続性判定工程は、
検出された各スジ状欠陥を細線化する細線化工程と、
前記細線化工程にて細線化されたスジ状欠陥の端点を検出する端点検出工程と、を備え、
前記ずれ度判定工程は、
スジ状欠陥の端点から数画素以内の傾向を反映した近似直線を算出する近似直線算出工程と、
連続性を判定されるスジ状欠陥の前記端点同士を結ぶ端点連結線と前記近似直線とで挟まれる挟持角を算出する挟持角算出工程と、
前記挟持角を所定閾値と比較して連続性を判定する挟持角比較工程と、を備える
ことを特徴とする光学パネル検査方法。 In the optical panel inspection method according to any one of claims 2 to 5,
The continuity determination step includes
A thinning process for thinning each detected streak defect;
An end point detection step for detecting an end point of the line-shaped defect thinned in the thinning step,
The deviation degree determination step includes
An approximate straight line calculating step for calculating an approximate straight line reflecting a tendency within several pixels from the end point of the streak defect;
A sandwiching angle calculating step of calculating a sandwiching angle between the end point connecting line connecting the end points of the streak-like defect whose continuity is determined and the approximate straight line;
And a sandwiching angle comparing step of determining continuity by comparing the sandwiching angle with a predetermined threshold. An optical panel inspection method comprising:
前記近似直線算出工程は、連続性を判定される一方のスジ状欠陥と他方のスジ状欠陥とのそれぞれについて前記近似直線を算出し、
前記挟持角算出工程は、前記端点連結線と前記一方のスジ状欠陥の前記近似直線とがなす第1挟持角と、前記端点連結線と前記他方のスジ状欠陥の前記近似直線とがなす第2挟持角と、をそれぞれ算出し、
前記挟持角比較工程は、前記第1挟持角および前記第2挟持角を所定閾値と比較する
ことを特徴とする光学パネル検査方法。 The optical panel inspection method according to claim 6,
The approximate straight line calculating step calculates the approximate straight line for each of one streak-like defect and the other streak-like defect whose continuity is determined,
The sandwiching angle calculation step includes a first sandwiching angle formed by the end point connection line and the approximate straight line of the one streak defect, and a first sandwich angle formed by the end point connection line and the approximate straight line of the other streak defect. 2 respectively calculate the sandwich angle and
In the sandwiching angle comparison step, the first sandwiching angle and the second sandwiching angle are compared with a predetermined threshold value.
前記連続性判定工程は、
前記スジ状欠陥検出工程によって検出されたそれぞれのスジ状欠陥に異なる識別番号を付与する識別番号付与工程と、
連続性を有すると判定されたスジ状欠陥の組の前記識別番号を同一番号に書き換える識別番号書換工程と、を備える
ことを特徴とする光学パネル検査方法。 In the optical panel inspection method according to any one of claims 1 to 7,
The continuity determination step includes
An identification number assigning step for assigning different identification numbers to the respective streak defects detected by the streak defect detection step;
An optical panel inspection method comprising: an identification number rewriting step of rewriting the identification number of a set of streak-like defects determined to have continuity to the same number.
前記光学パネルによる表示画像を撮像した撮像画像に対してスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出フィルタをかけてスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出手段と、
前記スジ状欠陥検出手段にて検出された各スジ状欠陥についてスジ状欠陥同士が連続性を有するかを判定する連続性判定手段と、
前記連続性判定手段にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて前記光学パネルのランク判定を行うランク判定手段と、を備える
ことを特徴とする光学パネル検査装置。 In an optical panel inspection apparatus that detects a streak-like defect present in an image displayed by an optical panel and performs rank determination according to the state of the streak-like defect,
A streak defect detecting means for detecting a streak defect by applying a streak defect detection filter for detecting a streak defect to a captured image obtained by capturing a display image by the optical panel;
Continuity determining means for determining whether or not the streak defects have continuity for each streak defect detected by the streak defect detecting means;
Rank in which the streak-like defects determined to have continuity by the continuity determining means are regarded as a series of streak-like defects and the rank of the optical panel is determined based on a quantitative evaluation value of the detected streak-like defects An optical panel inspection apparatus comprising: a determination unit.
前記光学パネルによる表示画像を撮像した撮像画像に対してスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出フィルタをかけてスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出手段と、
前記スジ状欠陥検出手段にて検出された各スジ状欠陥についてスジ状欠陥同士が連続性を有するかを判定する連続性判定手段と、
前記連続性判定手段にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて前記光学パネルのランク判定を行うランク判定手段と、して機能させる
ことを特徴とするコンピュータ読取可能な光学パネル検査プログラム。 A computer is incorporated in an optical panel inspection apparatus that detects streak defects present in an image displayed by the optical panel and performs rank determination according to the state of the streak defects.
A streak defect detecting means for detecting a streak defect by applying a streak defect detection filter for detecting a streak defect to a captured image obtained by capturing a display image by the optical panel;
Continuity determining means for determining whether or not the streak defects have continuity for each streak defect detected by the streak defect detecting means;
Rank in which the streak-like defects determined to have continuity by the continuity determining means are regarded as a series of streak-like defects and the rank of the optical panel is determined based on a quantitative evaluation value of the detected streak-like defects A computer-readable optical panel inspection program that functions as a determination means.
前記光学パネルによる表示画像を撮像した撮像画像に対してスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出フィルタをかけてスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出手段と、
前記スジ状欠陥検出手段にて検出された各スジ状欠陥についてスジ状欠陥同士が連続性を有するかを判定する連続性判定手段と、
前記連続性判定手段にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて前記光学パネルのランク判定を行うランク判定手段と、して機能させる
光学パネル検査プログラムをコンピュータ読取可能に記録したことを特徴とする記録媒体。 A computer is incorporated in an optical panel inspection apparatus that detects streak defects present in an image displayed by the optical panel and performs rank determination according to the state of the streak defects.
A streak defect detecting means for detecting a streak defect by applying a streak defect detection filter for detecting a streak defect to a captured image obtained by capturing a display image by the optical panel;
Continuity determining means for determining whether or not the streak defects have continuity for each streak defect detected by the streak defect detecting means;
Rank in which the streak-like defects determined to have continuity by the continuity determining means are regarded as a series of streak-like defects and the rank of the optical panel is determined based on a quantitative evaluation value of the detected streak-like defects An optical panel inspection program that functions as a determination unit is recorded in a computer-readable manner.
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