JP2006227042A - Manufacturing method of optical connecting apparatus, and optical connecting apparatus - Google Patents

Manufacturing method of optical connecting apparatus, and optical connecting apparatus Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To make connection possible always stably and with a high coupling efficiency without being affected with the height of VCSEL wire mounted on a substrate, by further developing the technique of a self-forming waveguide for which reports are few on applications to an optical circuit at present. <P>SOLUTION: A light emitting element 10 is covered with a photosensitive medium 9 in a manner covering the entirety (S1); a hole array 20 is placed on the light emitting element 10 so as to enclose the photosensitive medium 9 inside (S2) and is then aligned (S3), wherein the hole array 20 is equipped with a spacer 27 having the ability of surrounding the light emitting element 10 and having a height giving no hindrance to the mounting, and is also equipped, on the upper face 21 of the spacer, with a hole part 23 having a prescribed size; the photosensitive medium 9 is formed with an optical waveguide 24 by irradiating the hole array 20 with ultraviolet rays from the above (S4); and thereafter, a cover member 30 is removed (S5). <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、光接続装置の製造方法及び光接続装置に関し、さらに詳しくは、基板上に実装される発光素子を光コネクタと光接続可能とするための光接続装置の製造方法及び光接続装置に関する。   The present invention relates to an optical connection device manufacturing method and an optical connection device, and more particularly to an optical connection device manufacturing method and an optical connection device for enabling a light emitting element mounted on a substrate to be optically connected to an optical connector. .

近年の情報化社会に伴いネットワーク上を流れる情報量は増加の一途をたどり、交換機などの電子機器はさらに情報処理能力の高速化が求められている。しかし、電気信号は、電子部品の基板への高密度実装化に伴う配線間でのクロストークや雑音、反射、配線距離が長尺することによる伝搬遅延等の問題が顕著になってきている。   Along with the information-oriented society in recent years, the amount of information flowing on the network has been steadily increasing, and electronic devices such as exchanges are required to further increase the information processing capability. However, electrical signals have become prominent problems such as crosstalk, noise, reflection, and propagation delay due to a long wiring distance due to high-density mounting of electronic components on a substrate.

この問題を解決する手段として、信号を光化することが注目されている。光は電気信号に比べ、信号伝搬時における雑音の問題がなく、並列実装が行えるため、高速大容量伝送・超高密度の配線技術として極めて有効である。そして、このような光回通信の光源として、現在、低コスト、アレイ化などに優れた特長をもつVCSELが注目されている。   As a means for solving this problem, attention has been focused on opticalizing signals. Compared to electrical signals, light has no problem of noise during signal propagation and can be mounted in parallel, so it is extremely effective as a high-speed, high-capacity transmission and ultra-high-density wiring technology. As a light source for such optical communication, VCSELs are currently attracting attention because of their low cost and excellent features such as arraying.

ところで、光接続の有効な方法として、自己形成光導波路が提案されている。この自己形成光導波路とは、例えば、紫外線硬化樹脂に紫外線を光ファイバ等を介して微細な光束として照射することによって、一般的には照射部分のみ屈折率が向上し導波路構造を製造するというものである(例えば、特開2003−131063号公報、特開2003−131064号公報)。また、紫外線以外にも感光性媒質の吸収ピークを色素により変化させ、他の波長帯にも適用した報告もある(例えば、“グリーンレーザー光によるGI−MMFとVCSEL間の”自己形成接続”渡辺則利他,電子情報通信学会論文誌C, VOL.J87-C No.5 pp.488-489(2004.5)。   By the way, a self-forming optical waveguide has been proposed as an effective method for optical connection. With this self-forming optical waveguide, for example, by irradiating an ultraviolet curable resin with ultraviolet rays as a fine light beam through an optical fiber or the like, generally, the refractive index is improved only at the irradiated part to produce a waveguide structure. (For example, JP2003-131063A, JP2003-131064A). In addition to ultraviolet rays, there are reports that the absorption peak of a photosensitive medium is changed by a dye and applied to other wavelength bands (for example, “Self-formed connection between GI-MMF and VCSEL by green laser light” Watanabe) Norito et al., IEICE Transactions C, VOL.J87-C No.5 pp.488-489 (2004.5).

自己形成光導波路は、また、出射端とは無調心で接続できるため、“光はんだ”として光接続装置への応用も期待されている(例えば、広瀬直宏、茨木修“自己形成光導波路を用いた光簡易接続技術”エレクトロニクス実装学会誌,Vol.5,pp44 9-453,2002)。   Since self-forming optical waveguides can be connected to the output end in an unaligned manner, they are also expected to be applied to optical connection devices as “optical solders” (for example, Naohiro Hirose, Osamu Ibaraki “Self-forming optical waveguides” Simple optical connection technology used "Journal of Japan Institute of Electronics Packaging, Vol.5, pp44 9-453, 2002).

しかしながら、現段階では光回路への応用例の報告は少なく、製造法は光ファイバや光導波路といった光配線側からの検討が主であった。   However, there are few reports of application examples to optical circuits at the present stage, and the manufacturing method has mainly been studied from the optical wiring side such as optical fiber and optical waveguide.

特開2003−131063号公報JP 2003-131063 A 特開2003−131064号公報JP 2003-131064 A 「グリーンレーザー光によるGI−MMFとVCSEL間の”自己形成接続”渡辺則利他,電子情報通信学会論文誌C, VOL.J87-C No.5 pp.488-489(2004.5)"Green laser light" self-forming connection between GI-MMF and VCSEL "Norito Watanabe et al., IEICE Transactions C, VOL.J87-C No.5 pp.488-489 (2004.5) 広瀬直宏、茨木修“自己形成光導波路を用いた光簡易接続技術”エレクトロニクス実装学会誌,Vol.5,pp44 9-453,2002)Naohiro Hirose, Osamu Ibaraki “Easy Optical Connection Technology Using Self-Forming Optical Waveguide”, Journal of Japan Institute of Electronics Packaging, Vol.5, pp44 9-453,2002)

さて、上述したVCSELは、発光面側にワイヤボンディング実装されるのが一般的である。そして、図5に示すように、基板1上に実装されるVCSEL10のワイヤ10aの高さhは、その構成上、VCSEL10の発光面に対して約200〜300μm程度出っ張る。このため、多芯光コネクタ5(MTコネクタ等)と光結合しようとする際にワイヤ10aの高さhを考慮する必要がある。   The VCSEL described above is generally mounted on the light emitting surface side by wire bonding. As shown in FIG. 5, the height h of the wire 10 a of the VCSEL 10 mounted on the substrate 1 protrudes about 200 to 300 μm from the light emitting surface of the VCSEL 10 due to its configuration. For this reason, it is necessary to consider the height h of the wire 10a when attempting to optically couple with the multi-core optical connector 5 (MT connector or the like).

VCSELの発光面に対する光コネクタの端面間の距離が伸長すると、光結合効率の減少・実装精度の悪化などが生じる。光コネクタの光軸方向の位置ずれ許容度は光源の出射角と光コネクタ内に内装された光ファイバのコア径に依存する。通常、VCSELの出射角はMM(マルチモード)で7〜12度、シングルモードで12〜16度(半角,1/e)程度の幅をもつ。例をあげると、照射角7.5度(半角,1/e)のMM−VCSELとGI−MMF(コア50μm)との結合の場合、光ファイバの端面から200μm離した時の光結合効率は約−3.0dBとなる。この場合の解決策として例えばレンズによる結合方法が考えられるが、コストや位置合わせといった面でネックになる。つまり、VCSELと多芯光コネクタの結合が困難であった。 When the distance between the end faces of the optical connector with respect to the light emitting surface of the VCSEL is increased, the optical coupling efficiency is reduced and the mounting accuracy is deteriorated. The positional deviation tolerance in the optical axis direction of the optical connector depends on the emission angle of the light source and the core diameter of the optical fiber built in the optical connector. Normally, the emission angle of a VCSEL has a width of about 7 to 12 degrees in MM (multimode) and about 12 to 16 degrees (half angle, 1 / e 2 ) in single mode. For example, in the case of coupling of MM-VCSEL with an irradiation angle of 7.5 degrees (half angle, 1 / e 2 ) and GI-MMF (core 50 μm), the optical coupling efficiency is 200 μm away from the end face of the optical fiber. Is about -3.0 dB. As a solution in this case, for example, a coupling method using a lens is conceivable. That is, it is difficult to connect the VCSEL and the multi-core optical connector.

そこで、本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたもので、その目的は、基板に実装されたVCSELに光コネクタを接続させるための光接続装置の製造方法及び光接続装置であって、現段階では光回路への応用例の報告が少ない自己形成導波路の技術をさらに発展させることによって基板に実装されたVCSELのワイヤの高さに左右されず常に安定且つ高い結合効率で接続することが可能な光接続装置の製造方法及び光接続装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、安価かつ構造もシンプルな光接続装置の製造方法及び光接続装置を提供することを目的とする。
Therefore, the present invention has been made paying attention to such a conventional problem, and its object is to manufacture an optical connecting device and an optical connecting device for connecting an optical connector to a VCSEL mounted on a substrate. However, at the present stage, by further developing the self-formed waveguide technology, which has few reports on applications to optical circuits, it is always stable and high in coupling efficiency regardless of the height of the VCSEL wire mounted on the substrate. It is an object of the present invention to provide an optical connection device manufacturing method and an optical connection device that can be connected with each other.
It is another object of the present invention to provide an optical connection device manufacturing method and an optical connection device that are inexpensive and simple in structure.

上記課題を解決するために請求項1に記載の本発明は、基板上に実装される発光素子を光コネクタと光接続可能とするための光接続装置の製造方法において、発光素子の全体を覆うようにして感光性媒質を被覆する工程と、発光素子を包囲可能でその実装を阻害しない高さを有するスペーサを備えると共に、その上面側に所定のサイズのホール部を備えたホールアレイを感光性媒質がその内部に内包されるようにして発光素子の上部に載置する工程と、そして、ホールアレイの上方から感光性媒質を硬化させるのに必要な波長の光を含む光を照射することにより光感光性媒質に光導波路を形成する工程とを備えてなることを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problems, the present invention according to claim 1 covers the entire light emitting element in a method of manufacturing an optical connecting device for enabling a light emitting element mounted on a substrate to be optically connected to an optical connector. In this manner, the photosensitive medium is coated with a photosensitive medium, a spacer having a height that can surround the light emitting element and does not hinder its mounting, and a hole array having a predetermined size hole portion on the upper surface side is photosensitive. A step of placing the medium inside the light emitting element so that the medium is contained therein, and irradiating light including light having a wavelength necessary for curing the photosensitive medium from above the hole array And a step of forming an optical waveguide in the photosensitive medium.

ホールアレイにはVCSELワイヤより高いスペーサを取り付けておく。ホールアレイを有する基板から自己形成光導波路を作製することで、VCSEL−ホールアレイ間を光損失無く結合する。VCSELからの光は拡散することなく導波路内を伝播する。これにより光コネクタと自己形成光導波路は直接結合することになるので、高結合効率が期待できる。自己形成光導波路長は数mmレベルで作製でき、またスペーサ厚は適宜調節できるのでVCSELのワイヤの高さは問題にならない。   A spacer higher than the VCSEL wire is attached to the hole array. By fabricating a self-forming optical waveguide from a substrate having a hole array, the VCSEL and the hole array are coupled without optical loss. Light from the VCSEL propagates in the waveguide without diffusing. As a result, since the optical connector and the self-forming optical waveguide are directly coupled, high coupling efficiency can be expected. The length of the self-forming optical waveguide can be manufactured at a level of several millimeters, and the spacer thickness can be adjusted as appropriate, so that the height of the VCSEL wire does not matter.

上記課題を解決するために請求項2に記載の本発明は、請求項1に記載の光接続装置の製造方法において、ホールアレイのホール径は、接続すべき光コネクタに内装された光ファイバのコアサイズと同じかそれよりも小さいことを特徴とする。
ホールアレイによって形成される光導波路のコア径が光コネクタに内装された光ファイバのコア径よりも同じかそれよりも小さいのでVCSELからの光を損失することなく光コネクタの備える光ファイバに伝播させる。
In order to solve the above-mentioned problem, the present invention according to claim 2 is the method of manufacturing an optical connection device according to claim 1, wherein the hole array has a hole diameter of an optical fiber built in the optical connector to be connected. It is characterized by being the same as or smaller than the core size.
Since the core diameter of the optical waveguide formed by the hole array is the same as or smaller than the core diameter of the optical fiber built in the optical connector, the light from the VCSEL is propagated to the optical fiber included in the optical connector without loss. .

上記課題を解決するために請求項3に記載の本発明は、請求項1又は2に記載の光接続装置の製造方法において、発光素子とホールアレイとの位置合わせは、発光素子の発光面をモニタリングすることにより行われることを特徴とする。
ホールアレイのホールとVCSELの発光部の位置を正確に合わせることによりホールとVCSELの発光部との間に光導波路を形成させる。
In order to solve the above-mentioned problem, the present invention described in claim 3 is the method of manufacturing an optical connection device according to claim 1 or 2, wherein the alignment of the light emitting element and the hole array is performed by adjusting the light emitting surface of the light emitting element. It is performed by monitoring.
An optical waveguide is formed between the hole and the light emitting portion of the VCSEL by accurately aligning the holes of the hole array and the light emitting portion of the VCSEL.

上記課題を解決するために請求項4に記載の本発明は、請求項1又は2に記載の光接続装置の製造方法において、発光素子とホールアレイとの位置合わせは、ガイドピンにより行われることを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problem, the present invention according to claim 4 is the method of manufacturing an optical connection device according to claim 1 or 2, wherein the alignment of the light emitting element and the hole array is performed by a guide pin. It is characterized by.

上記課題を解決するために請求項5に記載の本発明は、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光接続装置の製造方法において、ホールアレイの上面には透明なカバー部材が取り除き可能に配設され、感光性媒質を硬化させるのに必要な波長の光を含む光を照射して光の経路を形成した後、カバー部材を除去することを特徴とする。
感光性媒質の表面張力や液ダレを抑え、形成される光接続装置の端面をフラットにする。
In order to solve the above-mentioned problem, according to a fifth aspect of the present invention, in the method for manufacturing an optical connecting device according to any one of the first to fourth aspects, a transparent cover member is removed from the upper surface of the hole array. The cover member is removed after the light path is formed by irradiating light including light having a wavelength necessary for curing the photosensitive medium.
The surface tension and liquid sag of the photosensitive medium are suppressed, and the end face of the formed optical connecting device is flattened.

上記課題を解決するために請求項6に記載の本発明は、請求項1〜5のいずれか1項に記載の光接続装置の製造方法において、光導波路は、光コネクタとの接続端面側から発光素子側に向かってコア径が次第に広くなるように形成されていることを特徴とする。
発光素子の発光部と光導波路の位置ズレを許容して位置精度を広くすることにより光を損失することなく光導波路内に導き、そして、接続すべき光コネクタに伝播させる。
In order to solve the above-mentioned problem, the present invention described in claim 6 is the method for manufacturing an optical connection device according to any one of claims 1 to 5, wherein the optical waveguide is connected to the optical connector from the end face side. It is characterized in that the core diameter is gradually increased toward the light emitting element side.
By allowing the positional deviation between the light emitting portion of the light emitting element and the optical waveguide and widening the positional accuracy, the light is guided into the optical waveguide without loss and propagated to the optical connector to be connected.

上記課題を解決するために請求項7に記載の本発明は、基板上に実装される発光素子を光コネクタと光接続可能とするための光接続装置において、発光素子を包囲可能でその実装を阻害しない高さを有するスペーサを備えると共に、その上面側にホールが形成されたホールアレイと、ホールアレイの内部に形成された光導波路であって、発光素子の発光部からホールに至る長さに形成された光導波路と、そして、接続される光コネクタとの位置合わせを行う位置決め手段とを備えてなることを特徴とする。   In order to solve the above problems, the present invention according to claim 7 is an optical connection device for enabling a light emitting element mounted on a substrate to be optically connected to an optical connector. A hole array having a height that does not hinder and having holes formed on the upper surface thereof, and an optical waveguide formed inside the hole array, the length extending from the light emitting portion of the light emitting element to the holes It is characterized by comprising positioning means for aligning the formed optical waveguide and the optical connector to be connected.

光導波路によってVCSEL−ホールアレイ間を光損失無く結合する。VCSELからの光は光導波路により拡散することなく導波路内を伝播する。これにより光コネクタと自己形成光導波路は直接結合することになるので、高結合効率が期待できる。また、光接続装置と光コネクタはガイドピンによって位置合わせされる。ホール径は光コネクタのコアサイズかそれより小さい径にする。光コネクタ部は既存のもので充分である。   The VCSEL and the hole array are coupled without optical loss by an optical waveguide. Light from the VCSEL propagates in the waveguide without being diffused by the optical waveguide. As a result, since the optical connector and the self-forming optical waveguide are directly coupled, high coupling efficiency can be expected. The optical connecting device and the optical connector are aligned by guide pins. The hole diameter should be smaller than the core size of the optical connector. An existing optical connector is sufficient.

本発明に係る光接続装置の製造方法及び光接続装置によれば、自己形成光導波路でVCSEL−光コネクタ間を結合するので、ワイヤの高さに左右されず常に安定した高結合効率を得ることができる。ホールアレイは既存の加工技術でμm〜数百μmの範囲で作製することができるので、POFやSMFなどや矩形形状のコア径をもつ光導波路なども用いることができる。   According to the method of manufacturing an optical connecting device and the optical connecting device according to the present invention, the VCSEL and the optical connector are coupled by the self-forming optical waveguide, so that a stable high coupling efficiency is always obtained regardless of the height of the wire. Can do. Since the hole array can be manufactured in the range of μm to several hundreds of μm by an existing processing technique, POF, SMF, or an optical waveguide having a rectangular core diameter can also be used.

また、本発明に係る光接続装置の製造方法及び光接続装置によれば、材料コストもレンズを使うより、非常に安価かつ構造もシンプルとなるとういう効果がある。また、結合効率の面から見ても、光学的にはコア径が同じ(もしくは自己形成光導波路側が小さい)、光配線同士を直接結合すると考えられるので、現在のガイドピン精度なら充分な許容幅を得ることができる。本発明に係る光接続装置とVCSELとの光結合は、VCSELの発光面が5μm程度であることから、位置精度上の問題は無い。さらに、自己形成光導波路にテーパー角を持たせればさらに位置精度を広げることができる。   In addition, according to the method for manufacturing an optical connecting device and the optical connecting device according to the present invention, there is an effect that the material cost is much lower and the structure is simpler than using a lens. Also, from the viewpoint of coupling efficiency, it is considered that optical cores are optically the same (or the self-forming optical waveguide side is small) and optical wires are directly coupled to each other. Can be obtained. In the optical coupling between the optical connection device according to the present invention and the VCSEL, there is no problem in positional accuracy because the light emitting surface of the VCSEL is about 5 μm. Furthermore, if the self-formed optical waveguide has a taper angle, the positional accuracy can be further increased.

本発明に係る光接続装置の製造方法及び光接続装置について図面を参照しながら以下詳細に説明する。図1は、本発明に係る光接続装置の製造方法の一実施形態におけるフローチャートである。   An optical connection device manufacturing method and an optical connection device according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a flowchart in an embodiment of a method for manufacturing an optical connecting device according to the present invention.

まず、図示された発明方法は、概略として以下の手順に沿って行われる。すなわち、発光素子であるVCSEL10の全体を覆うようにして感光性媒質である紫外線硬化樹脂9を被覆する(ステップS1)。そしてVCSEL10のワイヤ10aに接触することなくその実装を阻害しない高さのスペーサ27を備えるホールアレイ20を紫外線硬化樹脂9を内包するようにしてVCSEL10の上部に載置する(ステップS2)。そして、位置合わせを行った後(ステップS3)ホールアレイ20の上方から紫外線を照射することにより紫外線硬化樹脂9に光導波路を形成する(ステップS4)。最後に、ホールアレイ20の上面板21を取り除く(ステップS5)。これにより、VCSEL10と光コネクタ5とを光結合させるための光接続装置が形成される。ここで、ホール部23から照射する紫外光を斜めから照射させつつ首振り運動(みそすり運動)させるとホール部23から発光部10bに向かってコア径が次第に拡開した状態の光導波路を形成することができる。これにより、光コネクタ5との接続端面側からVCSEL10側に向かって自己形成光導波路24のコア径が次第に広くなるので光コネクタ5との光結合に際しての位置精度を広げることも可能となる。   First, the illustrated inventive method is generally performed according to the following procedure. That is, the UV curable resin 9 as the photosensitive medium is covered so as to cover the entire VCSEL 10 as the light emitting element (step S1). Then, the hole array 20 including the spacer 27 having a height that does not hinder the mounting without contacting the wire 10a of the VCSEL 10 is placed on the VCSEL 10 so as to enclose the ultraviolet curable resin 9 (step S2). Then, after alignment (step S3), an optical waveguide is formed in the ultraviolet curable resin 9 by irradiating ultraviolet rays from above the hole array 20 (step S4). Finally, the upper surface plate 21 of the hole array 20 is removed (step S5). Thereby, an optical connection device for optically coupling the VCSEL 10 and the optical connector 5 is formed. Here, when the head is swung (tilted) while obliquely irradiating the ultraviolet light irradiated from the hole portion 23, an optical waveguide in which the core diameter is gradually expanded from the hole portion 23 toward the light emitting portion 10b is formed. can do. Thereby, since the core diameter of the self-forming optical waveguide 24 gradually increases from the connection end face side to the optical connector 5 toward the VCSEL 10 side, it is possible to increase the positional accuracy in optical coupling with the optical connector 5.

さて、本発明方法に使用するホールアレイ20は、図2に示すように、概略として、所定のサイズのホール部23を備えた上面板21に所定の高さHを有するスペーサ27が取り付けられて形成されている。ホールアレイ20の少なくとも上面板21は、紫外線を通さない素材で形成されていればその材質の種類は問わない。例えば、不透明な合成樹脂や金属製素材によるものであってもかまわない。ホール部23は、上面板21にレーザやドリルで発光素子であるVCSEL10の発光部10b間のピッチに合わせて穴を穿設することによって形成されている。ホール部23は、そのほか、VCSEL10の発光部10b間のピッチに合わせて紫外線を通す穴が穿設されたフォトマスクを貼付することによっても形成することができる。但し、この場合における上面板21は、紫外線を透過させる素材で形成しておく必要がある。一方、上面板21の両側端部近傍には嵌合する光コネクタ5の位置決めピン5aが挿入される挿入孔25がそれぞれ設けられている。   Now, as shown in FIG. 2, the hole array 20 used in the method of the present invention is roughly obtained by attaching a spacer 27 having a predetermined height H to an upper surface plate 21 having a hole portion 23 of a predetermined size. Is formed. As long as at least the upper surface plate 21 of the hole array 20 is formed of a material that does not transmit ultraviolet rays, the type of the material is not limited. For example, it may be made of an opaque synthetic resin or a metal material. The hole portion 23 is formed by drilling holes in the upper surface plate 21 in accordance with the pitch between the light emitting portions 10b of the VCSEL 10 that is a light emitting element with a laser or a drill. In addition, the hole portion 23 can be formed by attaching a photomask having holes through which ultraviolet rays pass in accordance with the pitch between the light emitting portions 10b of the VCSEL 10. However, the upper surface plate 21 in this case needs to be formed of a material that transmits ultraviolet rays. On the other hand, insertion holes 25 into which the positioning pins 5a of the optical connector 5 to be fitted are inserted are provided in the vicinity of both end portions of the upper surface plate 21, respectively.

ここで、フォトマスクを用いて自己形成光導波路24を製造する場合、フォトマスクの孔の形状を適宜変化させることで様々な光導波路を形成することが可能となる。例えば、フォトマスクの孔の形状を四角形にすれば角柱状のコアを有する光導波路を、円形にすれば円柱状のコア形状を有する光導波路を作ることができる。同様にして、フォトマスクの開口径を変化させれば、従来のマルチモードに対応する光ファイバだけでなく、コア径の大きいPOF(プラスティック光ファイバ)やシングルモードの光ファイバにも対応することができる。従って、結合すべき光ファイバのコア形状に合わせて、フォトマスクの形状を変化させるだけで、所望の光導波路を製造することができるため汎用性や結合効率の向上にもつながる。   Here, when the self-forming optical waveguide 24 is manufactured using a photomask, various optical waveguides can be formed by appropriately changing the shape of the hole of the photomask. For example, an optical waveguide having a prismatic core can be made by making the shape of the hole of the photomask square, and an optical waveguide having a cylindrical core shape can be made by making it circular. Similarly, if the aperture diameter of the photomask is changed, not only conventional multimode optical fibers but also large core diameter POFs (plastic optical fibers) and single mode optical fibers can be supported. it can. Therefore, a desired optical waveguide can be manufactured simply by changing the shape of the photomask in accordance with the core shape of the optical fiber to be coupled, leading to improvement in versatility and coupling efficiency.

スペーサ27は、内部に空間部が形成された角筒状の部材であり、上述した上面板21の下部に取り付けられている。スペーサ27は、基板1上にワイヤボンディングされたVCSEL10のワイヤ10aの高さよりも高い高さを有して形成されている。これにより、VCSEL10を覆うようにしてホールアレイ20を載置したときにワイヤ10aに接することがなく、VCSEL10の実装状態を阻害しないようになっている。具体的には約500μmの高さを有している。尚、スペーサ27の高さは、取り付けられたVCSEL10のワイヤ10aの高に応じて適宜調整すればよい。また、スペーサ27を形成する素材は特に限定されるものではないが、上面板21と同様に紫外線を通さない素材で形成することが好ましい。一方、スペーサ27の底面には、基板1に設けられた取付穴1aに挿入されるガイドピン27aを備えている。   The spacer 27 is a rectangular tube-like member having a space formed therein, and is attached to the lower portion of the upper surface plate 21 described above. The spacer 27 is formed to have a height higher than the height of the wire 10 a of the VCSEL 10 wire-bonded on the substrate 1. Thus, when the hole array 20 is placed so as to cover the VCSEL 10, the wire 10a is not contacted, and the mounting state of the VCSEL 10 is not hindered. Specifically, it has a height of about 500 μm. The height of the spacer 27 may be adjusted as appropriate according to the height of the wire 10a of the attached VCSEL 10. Further, the material for forming the spacer 27 is not particularly limited, but it is preferable to form the spacer 27 using a material that does not transmit ultraviolet rays, like the top plate 21. On the other hand, on the bottom surface of the spacer 27, a guide pin 27a to be inserted into the mounting hole 1a provided in the substrate 1 is provided.

上面板21の上には、カバー部材30が取り除き可能に配設されている。カバー部材30は、ホールアレイ20内に内包された紫外線硬化樹脂9に紫外線を照射して光の経路を形成した後、除去するようになっている。これにより、紫外線硬化樹脂9の表面張力や液ダレが抑えられると共に、端面をフラットに作製するためである。その結果、光コネクタ5との接続を高精度に行うことが可能となる。   A cover member 30 is detachably disposed on the upper surface plate 21. The cover member 30 is removed after irradiating the ultraviolet curable resin 9 contained in the hole array 20 with ultraviolet rays to form a light path. Thereby, the surface tension and liquid dripping of the ultraviolet curable resin 9 are suppressed, and the end face is made flat. As a result, the connection with the optical connector 5 can be performed with high accuracy.

上述のホールアレイ20を使用して光接続装置を製造する本発明方法について図を参照しつつ具体的に説明する。
初めに、図4(a)に示すように、基板1に実装されたVCSEL10の全体を覆うようにして紫外線硬化樹脂9を被覆する(ステップS1)。紫外線硬化樹脂9は、紫外線を照射することにより硬化するようになっており、紫外線硬化樹脂9によっては紫外線の照射時間を変化させることによって屈折率を調整することが可能となる場合もある。
The method of the present invention for manufacturing an optical connecting device using the above-described hole array 20 will be specifically described with reference to the drawings.
First, as shown in FIG. 4A, the ultraviolet curable resin 9 is coated so as to cover the entire VCSEL 10 mounted on the substrate 1 (step S1). The ultraviolet curable resin 9 is cured by irradiating ultraviolet rays, and depending on the ultraviolet curable resin 9, the refractive index may be adjusted by changing the irradiation time of the ultraviolet rays.

次に、ホールアレイ20をVCSEL10の発光部10bに合わせて取り付ける(ステップS2)。このときのホールアレイ20とVCSEL10との位置合わせは、カメラでホールからVCSEL10の発光部10bをモニタリングしながらホール部23が発光部10bの真上に位置するように位置合わせを行う(ステップS3)。また、ホールアレイ20とVCSEL10との位置合わせは、これ以外にも、例えば、ガイドピンを用いて行うこともできる。すなわち、VCSEL10の実装された基板1の所定位置に取付穴1aを設けておき、その取付穴1aにホールアレイ20のガイドピン27aを挿入したときにホール部23が発光部10bの真上に位置するように予め形成しておくことにより行うこともできる。尚、スペーサ27の一部に孔を設けておくことによりVCSEL10上にホールアレイ20を載置した際、スペーサ27内に内包された余分な紫外線硬化樹脂9を排出させることができる。そして、そのような余分な紫外線硬化樹脂9は適宜取り除くようにする。   Next, the hole array 20 is attached according to the light emitting part 10b of the VCSEL 10 (step S2). The alignment between the hole array 20 and the VCSEL 10 at this time is performed so that the hole portion 23 is positioned directly above the light emitting portion 10b while monitoring the light emitting portion 10b of the VCSEL 10 from the hole with a camera (step S3). . In addition, the alignment of the hole array 20 and the VCSEL 10 can be performed using, for example, a guide pin. That is, a mounting hole 1a is provided at a predetermined position of the substrate 1 on which the VCSEL 10 is mounted, and the hole portion 23 is positioned directly above the light emitting portion 10b when the guide pins 27a of the hole array 20 are inserted into the mounting hole 1a. It can also be performed by forming in advance. In addition, when the hole array 20 is placed on the VCSEL 10 by providing a hole in a part of the spacer 27, the extra ultraviolet curable resin 9 contained in the spacer 27 can be discharged. Then, such extra UV curable resin 9 is appropriately removed.

図4(b)に示すように、VCSEL10を覆うようにしてホールアレイ20を載置したら、上面板21の上から一様な紫外光を入射して紫外線硬化樹脂9に自己形成光導波路24を形成させる(ステップS4)。これにより、VCSEL−光コネクタ間を結ぶ光接続装置を配設することができる。紫外光の照射は、伝播する光の種類にもよるが、数秒から数十秒である。尚、紫外光の照射によって自己形成光導波路24が形成されても、自己形成光導波路24以外は未硬化なので紫外線硬化樹脂9取り除いてもよく、また、未硬化の部位をそのまま硬化させてクラッドとしてもよい。但し、強度補強のためにはクラッド部を固体化することが好ましい。クラッドの作製法はその方法を問わない。
最後に、図4(c)に示すように、自己形成光導波路24が形成されたらカバー部材30を取り除く(ステップS5)。
As shown in FIG. 4B, when the hole array 20 is placed so as to cover the VCSEL 10, uniform ultraviolet light is incident on the upper surface plate 21 and the self-formed optical waveguide 24 is formed on the ultraviolet curable resin 9. Form (step S4). Thereby, it is possible to dispose an optical connection device that connects the VCSEL and the optical connector. Irradiation with ultraviolet light takes several seconds to several tens of seconds, depending on the type of propagating light. Even if the self-forming optical waveguide 24 is formed by irradiation with ultraviolet light, the UV-curing resin 9 may be removed because the parts other than the self-forming optical waveguide 24 are uncured, and the uncured portion is cured as it is to form a clad. Also good. However, it is preferable to solidify the clad portion for strength reinforcement. The method for producing the clad does not matter.
Finally, as shown in FIG. 4C, when the self-forming optical waveguide 24 is formed, the cover member 30 is removed (step S5).

一方、光導波路24の形成は、紫外光によるものの外、レーザビームで直接導波路を形成する方法もある。例えば、特定の微細なレーザビームをホール部23から照射することにより紫外線硬化樹脂9の替わりに使用された感光性媒質内に連続的な自己形成光導波路24を形成する。この成形はレーザビームにて一つ一つ形成するものである。コヒーレントな光でも自己形成光導波路24の形成は可能である。この方法を用いることで局所的に導波路を製造することができる。これらは部品数の削減や共通化、製造プロセスの共有が見込まれるので、低コスト化にもつなげることができる。   On the other hand, the optical waveguide 24 may be formed directly by a laser beam in addition to the ultraviolet light. For example, a continuous self-forming optical waveguide 24 is formed in a photosensitive medium used instead of the ultraviolet curable resin 9 by irradiating a specific fine laser beam from the hole portion 23. This molding is performed one by one with a laser beam. The self-formed optical waveguide 24 can be formed even with coherent light. By using this method, the waveguide can be locally manufactured. These are expected to reduce the number of parts, share them, and share the manufacturing process.

以上のようにして製造された光接続装置は、図3に示すように、スペーサ27は基板1上に実装されたVCSEL10のワイヤ10aよりも高くなるように形成されているのでVCSEL10を包囲するように取付けてもその実装を阻害しない。そして、ホールアレイ20の上面板21に形成されたホール部23とVCSEL10の発光部10bとを結ぶようにして自己形成光導波路24が形成されている。また、上面板21の両側端部近傍には、光コネクタ5の接続面から突出する位置決めピン5aが挿入される挿入孔25が設けられているので光コネクタ5を嵌合させると自己形成光導波路24と光コネクタ5の光ファイバ7のコア7aとが位置決めされた状態で光学的に光結合されるようになっている。これにより光の損失を発生することなく光結合を行うことができる。尚、光接続装置と光コネクタ5の嵌合状態の保持は、例えば、クリップや係合手段を適宜設けることにより行うことができる。   In the optical connecting device manufactured as described above, as shown in FIG. 3, the spacer 27 is formed so as to be higher than the wire 10a of the VCSEL 10 mounted on the substrate 1, so that the VCSEL 10 is surrounded. Even if it is attached to, it will not hinder its mounting. A self-forming optical waveguide 24 is formed so as to connect the hole portion 23 formed in the upper surface plate 21 of the hole array 20 and the light emitting portion 10b of the VCSEL 10. Further, in the vicinity of both end portions of the upper surface plate 21, there are provided insertion holes 25 into which positioning pins 5a protruding from the connection surface of the optical connector 5 are inserted. Therefore, when the optical connector 5 is fitted, a self-forming optical waveguide is formed. 24 and the core 7a of the optical fiber 7 of the optical connector 5 are optically optically coupled while being positioned. Thereby, optical coupling can be performed without causing loss of light. Note that the fitting state of the optical connecting device and the optical connector 5 can be maintained, for example, by appropriately providing clips and engaging means.

本発明に係る光接続装置の製造方法の一実施形態におけるフローチャートである。It is a flowchart in one Embodiment of the manufacturing method of the optical connection apparatus which concerns on this invention. ホールアレイの概略斜視図である。It is a schematic perspective view of a hole array. 光接続装置と光コネクタとの結合状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the coupling | bonding state of an optical connection apparatus and an optical connector. (a)〜(c)は本発明に係る光接続装置の製造方法を説明するための説明図である。(A)-(c) is explanatory drawing for demonstrating the manufacturing method of the optical connection apparatus which concerns on this invention. 発光素子と光コネクタと関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between a light emitting element and an optical connector.

符号の説明Explanation of symbols

1 基板
1a 取付穴
5 光コネクタ
5a 位置決めピン
7 光ファイバ
7a コア
7b クラッド
9 紫外線硬化樹脂
10 VCSEL
10a ワイヤ
10b 発光部
20 ホールアレイ
21 上面板
23 ホール部
24 自己形成光導波路
25 挿入孔
27 スペーサ
27a ガイドピン
30 カバー部材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Board | substrate 1a Mounting hole 5 Optical connector 5a Locating pin 7 Optical fiber 7a Core 7b Clad 9 UV curable resin 10 VCSEL
10a wire 10b light emitting portion 20 hole array 21 upper surface plate 23 hole portion 24 self-forming optical waveguide 25 insertion hole 27 spacer 27a guide pin 30 cover member

Claims (7)

基板上に実装される発光素子を光コネクタと光接続可能とするための光接続装置の製造方法において、
前記発光素子の全体を覆うようにして感光性媒質を被覆する工程と、
前記発光素子を包囲可能でその実装を阻害しない高さを有するスペーサを備えると共に、その上面側に所定のサイズのホール部を備えたホールアレイを前記感光性媒質がその内部に内包されるようにして当該発光素子の上部に載置する工程と、そして、
前記ホールアレイの上方から前記感光性媒質を硬化させるのに必要な波長の光を含む光を照射することにより前記光感光性媒質に光導波路を形成する工程と、
を備えてなることを特徴とする光接続装置の製造方法。
In a method for manufacturing an optical connection device for enabling optical connection of a light emitting element mounted on a substrate with an optical connector,
Coating the photosensitive medium so as to cover the entire light emitting element;
A spacer having a height capable of enclosing the light emitting element and not hindering the mounting is provided, and a hole array having a hole portion of a predetermined size on the upper surface side is included in the photosensitive medium. Placing the light emitting element on the light emitting element, and
Forming an optical waveguide in the photosensitive medium by irradiating light including light having a wavelength necessary for curing the photosensitive medium from above the hole array;
A method for manufacturing an optical connecting device, comprising:
請求項1に記載の光接続装置の製造方法において、
前記ホールアレイのホール径は、接続すべき光コネクタに内装された光ファイバのコアサイズと同じかそれよりも小さいことを特徴とする光接続装置の製造方法。
In the manufacturing method of the optical connection device according to claim 1,
The method of manufacturing an optical connection device, wherein a hole diameter of the hole array is equal to or smaller than a core size of an optical fiber built in an optical connector to be connected.
請求項1又は2に記載の光接続装置の製造方法において、
前記発光素子と前記ホールアレイとの位置合わせは、発光素子の発光面をモニタリングすることにより行われることを特徴とする光接続装置の製造方法。
In the manufacturing method of the optical connection device according to claim 1 or 2,
The method of manufacturing an optical connection device, wherein the alignment of the light emitting element and the hole array is performed by monitoring a light emitting surface of the light emitting element.
請求項1又は2に記載の光接続装置の製造方法において、
前記発光素子と前記ホールアレイとの位置合わせは、ガイドピンにより行われることを特徴とする光接続装置の製造方法。
In the manufacturing method of the optical connection device according to claim 1 or 2,
The method of manufacturing an optical connection device, wherein the alignment of the light emitting element and the hole array is performed by a guide pin.
請求項1〜4のいずれか1項に記載の光接続装置の製造方法において、
前記ホールアレイの上面には透明なカバー部材が取り除き可能に配設され、前記感光性媒質を硬化させるのに必要な波長の光を含む光を照射して光の経路を形成した後、前記カバー部材を除去することを特徴とする光接続装置の製造方法。
In the manufacturing method of the optical connection device given in any 1 paragraph of Claims 1-4,
A transparent cover member is detachably disposed on the upper surface of the hole array, and a light path is formed by irradiating light containing light having a wavelength necessary for curing the photosensitive medium. A method for manufacturing an optical connection device, comprising: removing a member.
請求項1〜5のいずれか1項に記載の光接続装置の製造方法において、
前記光導波路は、前記光コネクタとの接続端面側から前記発光素子側に向かってコア径が次第に広くなるように形成されていることを特徴とする光接続装置の製造方法。
In the manufacturing method of the optical connection device according to any one of claims 1 to 5,
The method of manufacturing an optical connection device, wherein the optical waveguide is formed so that a core diameter gradually increases from a connection end face side to the optical connector toward the light emitting element side.
基板上に実装される発光素子を光コネクタと光接続可能とするための光接続装置において、
前記発光素子を包囲可能でその実装を阻害しない高さを有するスペーサを備えると共に、その上面側にホールが形成されたホールアレイと、
前記ホールアレイの内部に形成された光導波路であって、前記発光素子の発光部から前記ホールに至る長さに形成された光導波路と、そして、
接続される光コネクタとの位置合わせを行う位置決め手段と、
を備えてなることを特徴とする光接続装置。
In the optical connection device for enabling the light emitting element mounted on the substrate to be optically connected to the optical connector,
A hole array that includes a spacer that can surround the light emitting element and has a height that does not hinder its mounting, and has holes formed on its upper surface side;
An optical waveguide formed inside the hole array, the optical waveguide formed in a length from the light emitting portion of the light emitting element to the hole; and
Positioning means for aligning with the optical connector to be connected;
An optical connection device comprising:
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