JP2006224258A - Diesinking electric discharge machine - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To drive a tool electrode having a wide width size by a comparatively small-sized linear motor and drive the tool electrode even by a rotary servo motor as needed. <P>SOLUTION: The diesinking electric discharge machine is provided with a quill 3 mounting the tool electrode so as to relatively move by the linear motor in a Z axis direction with respect to a ram 1F, and to allow a slider 6 to move in the Z axis direction by rotating a ball screw by the rotary servo motor 5 fixed to the ram 1F. The connection and separation of the slider 6 and the quill 3 are made by a hydraulic cylinder 81 of a connection/separation device 8. The quill 3 is driven by the linear motor during separation, and driven by the rotary servo motor 5 during connection. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、テーブル上の被加工物を工具電極によって放電加工する形彫り放電加工機に関し、更に詳しくは、工具電極または被加工物を鉛直方向に移動させる制御軸を有し、工具電極または被加工物の重量または大きさに対応して、工具電極または被加工物が取り付けられる移動体を駆動する駆動方式を切り換えるようにした形彫放電加工機に関する。   The present invention relates to a die-sinking electric discharge machine that performs electric discharge machining of a workpiece on a table with a tool electrode. More specifically, the present invention has a control axis for moving the tool electrode or the workpiece in the vertical direction. The present invention relates to a die-sinking electric discharge machine in which a driving system for driving a moving body to which a tool electrode or a workpiece is attached is switched in accordance with the weight or size of the workpiece.

被加工物に対向する位置に工具電極を配置し、被加工物と工具電極との間に形成された加工間隙に所定の加工電圧を印加して断続的に放電を発生させて、被加工物を所望の穴形状に加工する、形彫放電加工機が広く用いられている。   A tool electrode is disposed at a position opposite to the workpiece, and a predetermined machining voltage is applied to the machining gap formed between the workpiece and the tool electrode to intermittently generate a discharge. A sculpture electric discharge machine is widely used for processing a slab into a desired hole shape.

形彫放電加工機は、一般的な工作機械における切削加工などとは異なり、加工間隙を所定の距離に維持するように、工具電極もしくは被加工物を相対的に移動させる、いわゆるサーボ動作を行う必要がある。また、加工間隙に滞留するチップを効率よく排出するために、工具電極を被加工物に対して少なくとも上下方向に予め定められた距離を往復移動させる、いわゆるジャンプ動作を行う必要がある。このサーボ動作やジャンプ動作は、より高速度かつ高い応答性で行われることが要求されている。   In contrast to cutting in general machine tools, a sculpture electric discharge machine performs a so-called servo operation that relatively moves a tool electrode or a workpiece so as to maintain a machining gap at a predetermined distance. There is a need. Further, in order to efficiently discharge the chips staying in the machining gap, it is necessary to perform a so-called jump operation in which the tool electrode is reciprocated at least a predetermined distance in the vertical direction with respect to the workpiece. The servo operation and jump operation are required to be performed at a higher speed and with higher responsiveness.

この要求を満たすため、特許文献1には主軸頭に加えて、主軸頭とは独立している小形主軸を設け、例えばリブ溝加工のように小さい工具電極を用いて放電加工するときは、慣性の小さい小形主軸で加工を行うようにした形彫放電加工機が開示されている。また、サーボ動作やジャンプ動作を高速、高応答、高加速度で行うには、回転型サーボモータとボールネジとナットの組合せによる駆動方式(回転型サーボモータ駆動方式)に比べてリニアモータによる駆動方式(リニアモータ駆動方式)が有利と考えられており、特許文献2には、リニアーモータ駆動方式を用いてサーボ動作及びジャンプ動作を行うことができるようにした形彫放電加工機が開示されている。   In order to satisfy this requirement, in Patent Document 1, a small spindle independent from the spindle head is provided in addition to the spindle head. For example, when electric discharge machining is performed using a small tool electrode such as rib groove machining, There is disclosed a die-sinking electric discharge machine that performs machining with a small spindle having a small diameter. Also, in order to perform servo operation and jump operation at high speed, high response, and high acceleration, the drive method using a linear motor compared to the drive method using a combination of a rotary servo motor, ball screw and nut (rotary servo motor drive method) ( Linear motor drive system) is considered advantageous, and Patent Document 2 discloses a die-sinking electric discharge machine capable of performing servo operation and jump operation using a linear motor drive system.

そして、特許文献3、4には、リニアモータ駆動方式にあっては、クイルがリニアモータの可動子である構成が有利であることが記載されている。   Patent Documents 3 and 4 describe that in the linear motor drive system, it is advantageous that the quill is a mover of the linear motor.

ところで、リニアモータ駆動方式では、工具電極の重量が大きくなると移動部位全体の質量が大きくなり、特に、鉛直方向に移動する移動体の場合はもともと下向きに滑り落ちるように重力が作用しているので、リニアモータの推力をより大きくする必要がある。しかし、リニアモータの推力を大きくしようとすればするほど可動子が大型化して移動部位全体をより重くするというジレンマが生じる。また、工具電極の大きさ(面積)が大きいと、加工液を加工媒体とする形彫放電加工では、例えば、ジャンプ運動のように工具電極を引き上げたり、元の位置に復帰させるように下げたりするときに、正圧や負圧が大きくなるために瞬間的あるいは継続的に推力不足に陥り移動不可の状態が発生する。そこで、特許文献5に開示されるように、基本的には工具電極または被加工物のサイズに関わらずリニアモータ駆動方式とする構成が提案されている。
特許第3427172号公報 特開平5ー104332号公報 特許第3542508号公報 特許第3315945号公報 特開2000−225527号公報
By the way, in the linear motor drive system, when the weight of the tool electrode is increased, the mass of the entire moving part is increased. It is necessary to increase the thrust of the linear motor. However, as the thrust of the linear motor is increased, a dilemma occurs in which the mover becomes larger and the entire moving part becomes heavier. In addition, when the size (area) of the tool electrode is large, for example, in EDM using the machining fluid as the processing medium, the tool electrode may be pulled up like a jump motion or lowered so as to return to the original position. In this case, the positive pressure and the negative pressure are increased, so that the state of impossibility of movement occurs due to momentary or continuous thrust shortage. Therefore, as disclosed in Patent Document 5, a configuration in which a linear motor drive system is basically used regardless of the size of the tool electrode or the workpiece has been proposed.
Japanese Patent No. 3427172 JP-A-5-104332 Japanese Patent No. 3542508 Japanese Patent No. 3315945 JP 2000-225527 A

特許文献1に開示されている形彫放電加工機は、リニアモータ駆動方式で加工可能な工具電極とリニアモータ駆動方式で加工することが難しいサイズの工具電極とで別々の移動体を用いる平行2軸構造を採用しているため、小さい工具電極でしかリニアモータ駆動方式で加工することができない。仮に、リニアモータ駆動方式の小形の主軸頭を大きくしてそれに見合う推力のリニアモータを搭載し、通常のサイズの工具電極、例えば電極ホルダを含んで質量が5kg以上になる工具電極を取り付けることができるようにすると、機械全体のバランスをとりにくく、真直性や平行度を失いやすく、あるいは倒れやヨーイングが発生しやすい。その結果、要求される加工精度を得られない場合が生じることとなり、特に、大きい移動体の側面に小さい移動体を設ける構成の場合は著しく安定性が損なわれるという問題を有している。   The die-sinking electric discharge machine disclosed in Patent Document 1 is a parallel 2 that uses separate moving bodies for a tool electrode that can be machined by a linear motor drive system and a tool electrode that is difficult to machine by a linear motor drive system. Since the shaft structure is adopted, it can be processed by a linear motor drive method only with a small tool electrode. Temporarily, a linear motor drive type small spindle head is enlarged, and a linear motor with a thrust suitable for it is mounted, and a normal size tool electrode, for example, a tool electrode with a mass of 5 kg or more including an electrode holder is attached. If it is possible, it is difficult to balance the entire machine, and it is easy to lose straightness and parallelism, or to easily fall and yaw. As a result, the required processing accuracy may not be obtained. In particular, in the case of a configuration in which a small moving body is provided on the side surface of a large moving body, there is a problem that stability is significantly impaired.

また、特許文献1に開示されている平行2軸構造の場合、一軸の構造に対して剛性が弱くなるので、リニアモータで移動させることができる工具電極のサイズはより小さくしなければならない。大きいサイズの工具電極の使用に耐える剛性を得るため構造をより強固で丈夫なものにしようとすれば大型化するので、リニアモータもより推力の大きなものとしなければならなくなるという矛盾を生じることになるという問題も有している。   In addition, in the case of the parallel biaxial structure disclosed in Patent Document 1, the rigidity of the uniaxial structure is weakened, so the size of the tool electrode that can be moved by the linear motor must be made smaller. In order to obtain the rigidity that can withstand the use of a large size tool electrode, the structure will become larger if the structure is made stronger and more durable, which causes the contradiction that the linear motor must also have a larger thrust. It also has the problem of becoming.

さらに、相対的に大きい移動体の中に小さい移動体を内蔵する構造の場合、コイルなどリニアモータの部材を設置できるスペースや発熱するコイルを冷却するための冷却構造などの問題から、大きなリニアモータを設置する余裕がなく、構造上、比較的推力の小さいリニアモータしか搭載できない。この結果、極く小さい工具電極に対してしかリニアモータ駆動方式を採用できないという問題を有している。   Furthermore, in the case of a structure in which a small moving body is built in a relatively large moving body, a large linear motor is required due to problems such as a space where a linear motor member such as a coil can be installed and a cooling structure for cooling a heat generating coil. Can not be installed, and only a linear motor with relatively small thrust can be installed due to its structure. As a result, there is a problem that the linear motor driving method can be adopted only for extremely small tool electrodes.

本発明の目的は、従来技術における上述の問題点を解決することができる形彫放電加工機を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a die-sinking electric discharge machine capable of solving the above-mentioned problems in the prior art.

本発明は、また、幅広いサイズの工具電極を使用することができる、バランス性能が優れている安定した構造の形彫放電加工機を提供することを目的とする。   Another object of the present invention is to provide a sculpting electric discharge machine having a stable structure that can use a wide range of tool electrodes and has excellent balance performance.

本発明は、また、工具電極のサイズに対してリニアモータのサイズを小さくすることができる、構造体の剛性をできる限り犠牲にしない構造の形彫放電加工機を提供することを目的とする。   Another object of the present invention is to provide a die-sinking electric discharge machine having a structure that can reduce the size of the linear motor relative to the size of the tool electrode and that does not sacrifice the rigidity of the structure as much as possible.

本発明は、また、推力の大きなリニアモータの搭載が可能な構造を有する形彫放電加工機を提供することを目的とする。   Another object of the present invention is to provide a die-sinking electric discharge machine having a structure capable of mounting a linear motor having a large thrust.

上記課題を解決するため、本発明によれば、下端面に工具電極または被加工物を取り付けるための部材を有しラムまたはコラムに対して所与の一軸方向に運動可能なように設けられた移動体と、該移動体を前記一軸方向に運動させるためのリニアモータと、前記ラムまたはコラムに取り付けられた回転型サーボモータと、前記一軸方向に沿って配設され前記回転型サーボモータによって回転運動されるボールネジと、前記ボールネジの回転に応じて前記一軸方向に運動するスライダと、前記移動体と前記スライダとの結合、分離を行うための結合分離装置とを備えた形彫放電加工装置が提案される。   In order to solve the above problems, according to the present invention, a member for attaching a tool electrode or a workpiece to the lower end surface is provided so as to be movable in a given uniaxial direction with respect to a ram or a column. A movable body, a linear motor for moving the movable body in the uniaxial direction, a rotary servo motor attached to the ram or column, and a rotary servo motor disposed along the uniaxial direction and rotated by the rotary servo motor An electric discharge machining apparatus comprising: a ball screw to be moved; a slider that moves in the uniaxial direction in accordance with rotation of the ball screw; and a coupling / separating device for coupling and separating the movable body and the slider. Proposed.

前記リニアモータを構成する一次側部材及び二次側部材は、前記移動体と、前記ラムまたはコラムとに適宜に設けることができる。すなわち、一次側部材を移動体に設け、二次側部材と対向するように配設してもよいし、二次側部材を移動体に設け、一次側部材をラムまたはコラムのいずれかに一次側部材と対向するように配設してもよい。   The primary side member and the secondary side member constituting the linear motor can be appropriately provided on the moving body and the ram or column. That is, the primary side member may be provided on the moving body and disposed so as to face the secondary side member, or the secondary side member is provided on the moving body, and the primary side member is primary on either the ram or the column. You may arrange | position so that a side member may be opposed.

本発明によれば、幅広いサイズの工具電極を比較的小型のリニアモータで駆動でき、且つ必要に応じて工具電極を回転型サーボモータでも駆動できる。   According to the present invention, a wide range of tool electrodes can be driven by a relatively small linear motor, and if necessary, the tool electrodes can also be driven by a rotary servo motor.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態の一例につき詳細に説明する。   Hereinafter, an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、本発明による形彫放電加工機の実施の形態の一例の全体構成を示す概略構成図である。図1に示されている形彫放電加工機1において、1Aはベッド、1Bはベッド1Aの後側部または上面に立設されたコラム、1Cはコラム1B前面のベッド1A上に水平一軸(Y軸)方向に移動可能に設けたサドル、1Dはサドル1C上に他の水平一軸(X軸)方向に移動可能に設けたテーブル、1Eは「コラム1B」の「テーブル1D」前面側に設けた加工槽である。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an overall configuration of an example of an embodiment of an electric discharge machine according to the present invention. In the sculpture electric discharge machine 1 shown in FIG. 1, 1A is a bed, 1B is a column erected on the rear side or upper surface of the bed 1A, and 1C is a horizontal axis (Y 1D is a table provided on the saddle 1C so as to be movable in the direction of another horizontal axis (X axis), and 1E is provided on the front side of the “table 1D” of the “column 1B”. It is a processing tank.

加工槽1Eは、図示しない被加工物を取り付け加工液中浸漬状態で工具電極Eと相対向配置させるための定盤(図示せず)を備えている。そして、コラム1Bの上端部にはラム1Fが固定されており、ラム1Fの先端部1Faには加工へッド部2が設けられている。ここで、MXはX軸サーボモータ、MYはY軸サーボモータであり、加工槽1Eはこれらのサーボモータによってベッド1A上でX軸及びY軸の各方向に移動、位置決めされる公知の構成となっている。   The processing tank 1E is provided with a surface plate (not shown) for disposing a workpiece (not shown) in a state of being immersed in the processing liquid and facing the tool electrode E. And the ram 1F is being fixed to the upper end part of the column 1B, and the process head part 2 is provided in the front-end | tip part 1Fa of the ram 1F. Here, MX is an X-axis servo motor, MY is a Y-axis servo motor, and the processing tank 1E is moved and positioned in the X-axis and Y-axis directions on the bed 1A by these servo motors. It has become.

加工ヘッド部2はクイル3を備え、クイル3はラム1Fの先端部1Faに設けられたクイルベース21に形成されているガイドレール22に案内されて、ベッド1Aの上面に対して鉛直方向(Z軸方向)に移動可能なように設けられている。クイル3には複数の軸受ユニット4が取り付けられており、クイル3はこれらの軸受ユニット4によりガイドレール22に案内され、クイル3は後述するようにして加工ヘッド部2に設けられているリニアモータ9(図2参照)により駆動される。図3にはクイル3に軸受ユニット4が取り付けられている様子が詳細に示されている。   The processing head unit 2 includes a quill 3, and the quill 3 is guided by a guide rail 22 formed on a quill base 21 provided at the tip 1 </ b> Fa of the ram 1 </ b> F and is perpendicular to the upper surface of the bed 1 </ b> A (Z It is provided so as to be movable in the axial direction. A plurality of bearing units 4 are attached to the quill 3, and the quill 3 is guided to the guide rail 22 by these bearing units 4, and the quill 3 is a linear motor provided in the machining head portion 2 as described later. 9 (see FIG. 2). FIG. 3 shows in detail how the bearing unit 4 is attached to the quill 3.

符号5で示されるのはクイルベース21に固定された回転型サーボモータであり、回転型サーボモータ5によってもクイル3をガイドレール22の案内で駆動できるようにするため、スライダ6が設けられている。   Reference numeral 5 denotes a rotary servo motor fixed to the quill base 21. A slider 6 is provided so that the quill 3 can be driven by the guide of the guide rail 22 also by the rotary servo motor 5. Yes.

このように、加工ヘッド部2においては、結局、コラム1Bまたはラム1Fに対して所与の一軸方向(ここではZ軸方向)に運動可能なように移動体(クイル3)が設けられており、移動体をリニアモータ9又は回転型サーボモータ5によってZ軸方向に運動させることができる構成となっている。そして、加工ヘッド部2は、さらに、所与の一軸方向に沿って配設されており回転型サーボモータ5によって回転駆動されるボールネジ7を有している。ボールネジ7はスライダ6と協働し、ボールネジ7の回転に応じてスライダ6を一軸方向に運動させる構成となっている。   Thus, the machining head portion 2 is eventually provided with a moving body (quill 3) so as to be movable in a given uniaxial direction (here, the Z-axis direction) with respect to the column 1B or the ram 1F. The moving body can be moved in the Z-axis direction by the linear motor 9 or the rotary servo motor 5. The machining head unit 2 further includes a ball screw 7 that is disposed along a given uniaxial direction and is rotationally driven by a rotary servomotor 5. The ball screw 7 cooperates with the slider 6 and is configured to move the slider 6 in a uniaxial direction according to the rotation of the ball screw 7.

加工ヘッド部2は、クイル3とボールネジ7との結合、分離を行うための結合分離装置8を備えている。結合分離装置8によってクイル3がスライダ6から独立している分離状態にある場合には、回転型サーボモータ5が回転してもスライダ6のみが一軸方向に運動するだけである。一方、結合分離装置8によってクイル3とスライダ6とが一体化している結合状態にある場合には、回転型サーボモータ5が回転してスライダ6が一軸方向に運動すると、クイル3はスライダ6と一緒に運動し、クイル3を回転型サーボモータ5によって一軸方向に運動させることができる。   The processing head unit 2 includes a coupling / separating device 8 for coupling and separating the quill 3 and the ball screw 7. When the quill 3 is separated from the slider 6 by the coupling / separating device 8, only the slider 6 moves in one axial direction even when the rotary servo motor 5 rotates. On the other hand, when the quill 3 and the slider 6 are in an integrated state by the coupling / separating device 8, when the rotary servomotor 5 rotates and the slider 6 moves in the uniaxial direction, the quill 3 is separated from the slider 6. By moving together, the quill 3 can be moved in one axial direction by the rotary servomotor 5.

次に、図2〜図4を参照して、加工ヘッド部2の構成について詳しく説明する。   Next, the configuration of the machining head unit 2 will be described in detail with reference to FIGS.

先ず、リニアモータ9について説明する。既述のように、クイル3は軸受ユニット4によってガイドレール22に沿って案内されZ軸方向に運動できるように構成されている(図3参照)。クイル3をガイドレール22に沿ってZ軸方向に運動させるため、クイルベース21にはリニアモータ9の一次側固定子を構成する励磁コイル91が取付用枠体93を用いて設けられており(図4参照)、クイル3にはリニアモータ9の二次側可動子を構成する磁石板92が励磁コイル91に対向するようにして設けられており、これらの励磁コイル91と磁石板92を含んでリニアモータ9が構成されている。本実施の形態では、励磁コイル91をクイルベース21に取り付け、磁石板92をクイル3に取り付ける構成としたが、励磁コイル91をクイル3に取り付け、磁石板92をクイルベース21に取り付ける構成としてもよい。   First, the linear motor 9 will be described. As described above, the quill 3 is configured to be guided along the guide rail 22 by the bearing unit 4 and move in the Z-axis direction (see FIG. 3). In order to move the quill 3 along the guide rail 22 in the Z-axis direction, the quill base 21 is provided with an exciting coil 91 constituting a primary stator of the linear motor 9 using a mounting frame 93 ( 4), the quill 3 is provided with a magnet plate 92 that constitutes a secondary side mover of the linear motor 9 so as to face the excitation coil 91, and includes the excitation coil 91 and the magnet plate 92. A linear motor 9 is configured. In the present embodiment, the excitation coil 91 is attached to the quill base 21 and the magnet plate 92 is attached to the quill 3. However, the excitation coil 91 is attached to the quill 3 and the magnet plate 92 is attached to the quill base 21. Good.

リニアモータでは、一次側(コイル側)の発熱が問題となる。一次側の発熱の熱損失により効率が低下し定格推力を得ることができなくなる場合が生じる。そのため、機械に使用するような比較的大きなリニアモータの場合は、コイルを冷却する冷却機構が必要とされる場合が生じる。冷却は水等の冷却媒体を使用し、冷却配管が配設される。このように、一次側は、配線が必要であるとともに発熱の問題が生じ、冷却配管が必要になることから、本実施の形態のように、一次側固定子をクイルベース21に取り付ける構成の方が有利である。一次側固定子と二次側可動子の何れか一方は、移動体が移動するだけの長さ(いわゆる移動ストローク)が必要となる。コイルを移動ストローク分並べるのは不利なので、本実施の形態においては、永久磁石の方を並べている。なお、冷却配管は、特許文献3に開示されるような公知の構成を利用することができ、図示及び詳細な説明を省略する。   In the linear motor, heat generation on the primary side (coil side) becomes a problem. The efficiency may decrease due to the heat loss of the primary side heat generation, and the rated thrust cannot be obtained. Therefore, in the case of a relatively large linear motor used for a machine, a cooling mechanism for cooling the coil may be required. For cooling, a cooling medium such as water is used, and a cooling pipe is provided. As described above, since the primary side requires wiring and heat generation occurs, and cooling piping is required. Therefore, the primary side stator is attached to the quill base 21 as in the present embodiment. Is advantageous. One of the primary side stator and the secondary side mover needs to be long enough to move the moving body (so-called movement stroke). Since it is disadvantageous to arrange the coils for the moving stroke, the permanent magnets are arranged in this embodiment. The cooling pipe can use a known configuration as disclosed in Patent Document 3, and illustration and detailed description thereof are omitted.

したがって、図示しない駆動用電源ユニットから励磁コイル91に駆動用電流を供給することによりクイル3をZ軸方向に沿って運動させることができる。このとき、移動または停止しているクイル3の位置は、リニアスケール23(図3参照)で検出することができる。本発明の形彫放電加工機は駆動方式に関わらず、言い換えれば使用する工具電極のサイズに関わらず1つの位置検出器(リニアスケール)が設けられていればよい。   Therefore, the quill 3 can be moved along the Z-axis direction by supplying a driving current to the exciting coil 91 from a driving power supply unit (not shown). At this time, the position of the quill 3 that is moving or stopped can be detected by the linear scale 23 (see FIG. 3). Regardless of the drive system, in other words, the electric discharge machine of the present invention only needs to be provided with one position detector (linear scale) regardless of the size of the tool electrode used.

なお、符号31、32で示されるのは、スライダ6に固定された一対のエアシリンダであり、リニアモータ9を使用してクイル3を駆動する場合にバランサとして働くようになっている。また、クイルベース21にはブレーキ装置33が設けられており、リニアモータ9の使用時に所要のブレーキ作用をクイル3に与えるのに使用される。エアシリンダ31、32及びブレーキ装置33のより詳細な構成と動作については、特許文献4が参照される。   Reference numerals 31 and 32 denote a pair of air cylinders fixed to the slider 6, and serve as a balancer when the linear motor 9 is used to drive the quill 3. The quill base 21 is provided with a brake device 33, which is used to give a required braking action to the quill 3 when the linear motor 9 is used. For more detailed configurations and operations of the air cylinders 31 and 32 and the brake device 33, refer to Patent Document 4.

クイル3の下端部には、電極ホルダに取り付けられた工具電極を位置決めして取り付けることができる自動クランプ用チャック34が設けられている。また、面板35は、自動クランプ用チャック34を覆うように設けられ比較的大きな工具電極を取り付けることができる。したがって、比較的小さい工具電極を用いて加工するときは、電極ホルダに工具電極を取り付け、面板35を取り外して電極ホルダを自動クランプ用チャック34に取り付ける。このようにして、リニアモータ9によってクイル3をZ軸方向に運動させることにより、クイル3の下端部に取り付けられた工具電極を被加工物に対して放電加工のために相対運動させることができる。   At the lower end of the quill 3, an automatic clamping chuck 34 that can position and attach the tool electrode attached to the electrode holder is provided. The face plate 35 is provided so as to cover the automatic clamping chuck 34, and a relatively large tool electrode can be attached thereto. Therefore, when processing using a relatively small tool electrode, the tool electrode is attached to the electrode holder, the face plate 35 is removed, and the electrode holder is attached to the automatic clamping chuck 34. Thus, by moving the quill 3 in the Z-axis direction by the linear motor 9, the tool electrode attached to the lower end of the quill 3 can be moved relative to the workpiece for electric discharge machining. .

次に、回転型サーボモータ5を用いてクイル3をZ軸方向に運動させるための構成について説明する。ボールネジ7は、回転型サーボモータ5側の一端部において回転型サーボモータ5の回転軸51とカップリング52によって連結されており、且つボールネジ7のネジ部71は、スライダ6に固定されているナット61と螺合している。   Next, a configuration for moving the quill 3 in the Z-axis direction using the rotary servomotor 5 will be described. The ball screw 7 is connected to the rotary shaft 51 of the rotary servomotor 5 at one end on the rotary servomotor 5 side by a coupling 52, and the screw portion 71 of the ball screw 7 is a nut fixed to the slider 6. 61 is screwed.

スライダ6にも、図5に示されるように、軸受ユニット4が取り付けられており、クイル3の場合と同様にして、スライダ6は軸受ユニット4によってガイドレール22に沿って案内される構成になっている。ここで、6Aはブレーキ装置33のブレーキ軸を貫通させるための貫通孔、6Bはナット61を装着するための装着用孔、6Cは後述する油圧シリンダ81を取り付けるための取付用板である。   As shown in FIG. 5, the bearing unit 4 is also attached to the slider 6, and the slider 6 is guided along the guide rail 22 by the bearing unit 4 in the same manner as in the case of the quill 3. ing. Here, 6A is a through hole for penetrating the brake shaft of the brake device 33, 6B is a mounting hole for mounting the nut 61, and 6C is a mounting plate for mounting a hydraulic cylinder 81 to be described later.

したがって、図示しない駆動用電源ユニットから電力の供給を受けて回転型サーボモータ5が作動し、その回転軸51が回転すると、これによりボールネジ7も回転し、軸受ユニット4によってガイドレール22に案内されるようになっているスライダ6は、回転軸51の回転方向に応じて上方又は下方に運動する。図3に示すスライダ6の位置は上限リミット位置であり、後述するように、ストッパ機構62によってスライダ6をこの上限リミット位置に固定することができる。   Therefore, when the rotary servo motor 5 is actuated by receiving electric power from a driving power supply unit (not shown) and the rotary shaft 51 rotates, the ball screw 7 also rotates and is guided to the guide rail 22 by the bearing unit 4. The slider 6 is configured to move upward or downward according to the rotation direction of the rotary shaft 51. The position of the slider 6 shown in FIG. 3 is an upper limit position, and the slider 6 can be fixed to the upper limit position by a stopper mechanism 62 as will be described later.

次に、結合分離装置8について説明する。結合分離装置8はスライダ6に固定された油圧シリンダ81を有し、油圧シリンダ81のピストン82のピストンロッド先端部82Aはクイル3の中空部3A内にまで延びている。該ピストンロッド先端部82Aにはクランプ部83が設けられており、クランプ部83はピストン82がクイル3の中空部3A内に挿通される孔3Bから抜け出ることができないようになっている。そして、基本的には油圧シリンダ81の油圧の力によってクランプするが、安全のために該孔3B近くには、ロック機構84が設けられている。   Next, the coupling / separating device 8 will be described. The coupling / separating device 8 includes a hydraulic cylinder 81 fixed to the slider 6, and a piston rod tip portion 82 </ b> A of the piston 82 of the hydraulic cylinder 81 extends into the hollow portion 3 </ b> A of the quill 3. The piston rod tip portion 82A is provided with a clamp portion 83 so that the piston 82 cannot escape from the hole 3B through which the piston 82 is inserted into the hollow portion 3A of the quill 3. Basically, clamping is performed by the hydraulic force of the hydraulic cylinder 81, but a lock mechanism 84 is provided near the hole 3B for safety.

図6及び図7を参照してロック機構84について詳しく説明する。ロック機構84は、主にクイル3の背部に固定されたエアシリンダでなるアクチュエータ84Aと、アクチュエータ84Aでスライドするロックピン84Bと、ロックピン84Aに設けられクランプ部83を下から支持するロック部材84Cとで構成される。回転型サーボモータ5を使用するときは、ピストン82を引き上げた状態でロックピン84Bを前進させ、ロック部材84Cがクランプ部83を下から支持することで、万一のときにも油圧シリンダ81によるクランプが外れないようにロックを行う構成となっている。   The lock mechanism 84 will be described in detail with reference to FIGS. The lock mechanism 84 includes an actuator 84A that is mainly an air cylinder fixed to the back of the quill 3, a lock pin 84B that slides with the actuator 84A, and a lock member 84C that is provided on the lock pin 84A and supports the clamp portion 83 from below. It consists of. When the rotary servomotor 5 is used, the lock pin 84B is moved forward with the piston 82 pulled up, and the lock member 84C supports the clamp portion 83 from below, so that the hydraulic cylinder 81 can be used in the event of an emergency. It is configured to lock so that the clamp does not come off.

油圧シリンダ81が作動してピストン82が引き上げられた状態(図6に示す状態)では、孔3Bから抜け出ることができないクランプ部83によってクイル3がスライダ6に押し付けられて、クイル3とスライダ6とが一体化された状態(結合状態)となっている。したがって、この場合には、回転型サーボモータ5によってスライダ6が駆動されると、スライダ6と一緒にクイル3はZ軸方向に運動することになる。このとき、ストッパ機構62は、油圧または圧縮空気で作動するシリンダからなるアクチュエータ62Aを作動しストッパピン62Bを後退させ、スライダ6の背面に設けられている留穴62Cからストッパピン62Bを引き抜いて、スライダ6が移動できるようにしている。   In a state where the hydraulic cylinder 81 is operated and the piston 82 is pulled up (the state shown in FIG. 6), the quill 3 is pressed against the slider 6 by the clamp portion 83 that cannot come out of the hole 3B. Are integrated (combined state). Therefore, in this case, when the slider 6 is driven by the rotary servo motor 5, the quill 3 moves in the Z-axis direction together with the slider 6. At this time, the stopper mechanism 62 operates an actuator 62A composed of a cylinder operated by hydraulic pressure or compressed air to retract the stopper pin 62B, and pulls out the stopper pin 62B from a retaining hole 62C provided on the back surface of the slider 6. The slider 6 can be moved.

なお、スライダ6とクイル3が一体で動くときは、エアシリンダ31、32も動くためバランサとして作動させることができないが、スライダ6に重錘型のカウンタウエイトバランス63が備えられており、重量物であっても十分なカウンタウエイトが付与される(図2参照)。   When the slider 6 and the quill 3 move together, the air cylinders 31 and 32 also move and cannot be operated as a balancer. However, the slider 6 is provided with a counterweight balance 63 of a weight type, Even so, a sufficient counterweight is given (see FIG. 2).

一方、油圧シリンダ81が作動してピストン82が下げられた状態(図7に示す状態)では、クランプ部83がクイル3に対して自由状態となっており、クイル3とスライダ6との間の一体化は確立されず、クイル3とスライダ6とは分離状態となっている。具体的には、アクチュエータ84Aを作動してロックピン84Bを後退させロックを解除するとともに、油圧シリンダ81を作動してクランプ部83をクイル3の中空部3A内の奥まで下げておく。また、スライダ6を上限リミット位置まで上昇させ、ストッパ機構62のアクチュエータ62Aを作動してストッパピン62Bを前進させ、スライダ6の留穴62Cにストッパピン62Bを挿嵌し、スライダ6が上限リミット位置で確実に固定されるようにする。   On the other hand, in a state where the hydraulic cylinder 81 is operated and the piston 82 is lowered (the state shown in FIG. 7), the clamp portion 83 is in a free state with respect to the quill 3, and between the quill 3 and the slider 6. Integration is not established and the quill 3 and the slider 6 are in a separated state. Specifically, the actuator 84A is operated to retract the lock pin 84B to release the lock, and the hydraulic cylinder 81 is operated to lower the clamp portion 83 to the back of the hollow portion 3A of the quill 3. Further, the slider 6 is raised to the upper limit position, the actuator 62A of the stopper mechanism 62 is operated to advance the stopper pin 62B, the stopper pin 62B is inserted into the retaining hole 62C of the slider 6, and the slider 6 is inserted into the upper limit position. To ensure that it is fixed securely.

よって、この場合には、スライダ6とスライダ6に設けられた油圧シリンダ81のシリンダ部分が動かない状態にあっても、クイル3は、スライダ6と油圧シリンダ81に対して拘束されることなくリニアモータ9によってスライダ6とは独立して運動することができる。以上の説明から判るように、結合分離装置8とスライダ6とで、クイル3の動力を切り換える動力切換手段、言い換えれば、リニアモータ9と回転型サーボモータ5とを切り換える手段を構成している。   Therefore, in this case, even if the slider 6 and the cylinder portion of the hydraulic cylinder 81 provided on the slider 6 are not moved, the quill 3 is linearly restrained with respect to the slider 6 and the hydraulic cylinder 81. The motor 9 can move independently of the slider 6. As can be seen from the above description, the coupling / separating device 8 and the slider 6 constitute power switching means for switching the power of the quill 3, in other words, means for switching between the linear motor 9 and the rotary servo motor 5.

図8は、形彫放電加工機1の動作状態を説明するための図である。図8の(A)に示されるように、結合分離装置8の油圧シリンダ81のピストン82が下方に押しやられているときは、クイル3がスライダ6とは独立して運動できる状態となっている(分離状態)。したがって、この場合には、スライダ6を図示の上限リミット位置に保持しておけば、リニアモータ9によってクイル3をスライダ6から独立して駆動することができる。この駆動モードは通常の工具電極を用いた放電加工に適している。実施の形態の形彫放電加工機の場合、リニアモータ駆動方式で加工可能な工具電極の最大質量は、50kgである。   FIG. 8 is a diagram for explaining the operating state of the sculpting electric discharge machine 1. As shown in FIG. 8A, when the piston 82 of the hydraulic cylinder 81 of the coupling / separating device 8 is pushed downward, the quill 3 can move independently of the slider 6. (Separated state). Therefore, in this case, the quill 3 can be driven independently from the slider 6 by the linear motor 9 if the slider 6 is held at the upper limit position shown in the figure. This drive mode is suitable for electric discharge machining using a normal tool electrode. In the case of the electric discharge machine of the embodiment, the maximum mass of the tool electrode that can be machined by the linear motor drive system is 50 kg.

一方、図8の(B)、(C)に示されるように、結合分離装置8の油圧シリンダ81のピストン82が上昇してクイル3がスライダ6に押しつけられて両者が一体化した結合状態にあると、回転型サーボモータ5によりボールネジ7を介してスライダ6を駆動したときに、クイル3がスライダ6と一緒に運動することになる。したがって、この場合には、リニアモータ9への電力供給をオフにしておけば、クイル3を回転型サーボモータ5によって駆動することができる。この駆動モードは比較的大きな工具電極を用いた放電加工に適している。なお、既に述べられているが、何れの駆動モードにおいてもクイル3の位置はスケール23によって検出される。また、励磁コイル取付用枠体93は、クイルベース21に固定されている。   On the other hand, as shown in FIGS. 8B and 8C, the piston 82 of the hydraulic cylinder 81 of the coupling / separating device 8 is lifted and the quill 3 is pressed against the slider 6 so that both are integrated. If there is, the quill 3 moves together with the slider 6 when the slider 6 is driven via the ball screw 7 by the rotary servo motor 5. Therefore, in this case, the quill 3 can be driven by the rotary servomotor 5 if the power supply to the linear motor 9 is turned off. This drive mode is suitable for electric discharge machining using a relatively large tool electrode. As already described, the position of the quill 3 is detected by the scale 23 in any drive mode. The exciting coil mounting frame 93 is fixed to the quill base 21.

形彫放電加工機1は以上のように構成されているので以下の利点を有している。   Since the die-sinking electric discharge machine 1 is configured as described above, it has the following advantages.

リニアモータ駆動方式と回転型サーボモータ駆動方式を切り換えてクイル3を駆動できるので広いサイズの工具電極を使用することができる。しかも、駆動方式が切り換えられたときでも鉛直方向に移動する移動体は必ずクイル3であるので、加工ヘッド部2をクイル3を中心にしてバランスの取れた構造にすることができ、安定した放電加工が実現できる。本実施の形態では、エアシリンダ31、32は油圧シリンダ81があるためにクイル3の中心軸に同軸上に配置できないが、油圧シリンダ81を挟んで2基対で設けているのでバランスがとれた構造となっている。したがって、従来の平行2軸の構造に比べて、機械全体のバランスに優れ、要求される加工精度を得ることができる。   Since the quill 3 can be driven by switching between the linear motor driving method and the rotary servo motor driving method, a wide-sized tool electrode can be used. In addition, since the moving body that moves in the vertical direction is always the quill 3 even when the driving method is switched, the machining head portion 2 can have a balanced structure with the quill 3 as the center, and stable discharge can be achieved. Processing can be realized. In the present embodiment, the air cylinders 31 and 32 cannot be arranged coaxially with the central axis of the quill 3 because of the hydraulic cylinder 81, but are balanced because they are provided in two pairs with the hydraulic cylinder 81 interposed therebetween. It has a structure. Therefore, compared with the conventional parallel biaxial structure, the balance of the whole machine is excellent and the required processing accuracy can be obtained.

駆動方式を切り換えても、鉛直方向に移動する移動体はいずれの場合でもクイル3であるので、基本的には、加工ヘッド部2の全体の構造をリニアモータ駆動方式1軸の構造と同じにできる。したがって、従来のリニアモータ駆動方式1軸の構造と比べて剛性が弱くなることはない。そして、従来の平行2軸の構造に比べると剛性を高くすることができる。このことから、リニアモータ駆動方式と回転型サーボモータ駆動方式を切り換える方式であっても、構造体の剛性が犠牲にされることがない。特に、高速で高加速度で重量のある工具電極を往復移動させる形彫放電加工装置において有利な構造であり、精度に対する悪影響を最小限に抑えることができ、加工精度を確保することができる。   Even if the drive system is switched, the moving body that moves in the vertical direction is the quill 3 in any case, so basically the entire structure of the machining head unit 2 is the same as the linear motor drive system single-axis structure. it can. Therefore, the rigidity does not become weaker than that of the conventional linear motor drive system single shaft structure. And rigidity can be made high compared with the conventional parallel biaxial structure. For this reason, the rigidity of the structure is not sacrificed even if the system switches between the linear motor driving system and the rotary servo motor driving system. In particular, this is an advantageous structure in a die-sinking electric discharge machining apparatus that reciprocates a heavy tool electrode at a high speed and a high acceleration, and it is possible to minimize an adverse effect on accuracy and to secure machining accuracy.

加工ヘッド部2の移動体(クイル3)は、上述の説明から明かなように、相対的に大きい移動体の中に小さい移動体を内蔵した構造ではないので、従来の1軸リニアモータ駆動方式の構造と同じ程度のリニアモータの設置スペースが確保できる。したがって、十分大きな推力を有するリニアモータを設置することができ、平行2軸方式、特に小さい移動体を内蔵した従来の構造に比べると推力がより大きなリニアモータを設置することができる。   As is apparent from the above description, the moving body (quill 3) of the machining head unit 2 is not a structure in which a small moving body is built in a relatively large moving body. The installation space of the linear motor can be secured to the same extent as the structure. Therefore, it is possible to install a linear motor having a sufficiently large thrust, and it is possible to install a linear motor having a larger thrust as compared with a conventional structure including a parallel two-axis system, particularly a small moving body.

本実施の形態では、クイル3とスライダ6を結合する結合分離装置8は、油圧シリンダ81を用いて構成した。しかし、結合分離装置8は油圧シリンダを用いることなしに手動で強力にクランプしてクイル3とスライダ6とを結合する機構を別に設けた構成としてもよい。この場合には、クイル3とスライダ6とをより強固且つ確実に結合することができる。ただし、このことは、結合分離装置として油圧シリンダを用いた構成の優位性が失われるものではなく、実施の形態の構成で最大300kgの工具電極で加工することができ、工具電極が数百kgの範囲内では、自動的に駆動方式の切換えが可能である油圧シリンダを用いた結合分離装置は利便性に優れている。   In the present embodiment, the coupling / separation device 8 that couples the quill 3 and the slider 6 is configured using the hydraulic cylinder 81. However, the coupling / separation device 8 may have a configuration in which a mechanism for coupling the quill 3 and the slider 6 is separately provided by strongly clamping manually without using a hydraulic cylinder. In this case, the quill 3 and the slider 6 can be more firmly and reliably coupled. However, this does not lose the advantage of the configuration using the hydraulic cylinder as the coupling / separating device, and the configuration of the embodiment can be processed with a maximum of 300 kg of tool electrode, and the tool electrode has several hundred kg. In this range, the coupling / separation apparatus using the hydraulic cylinder capable of automatically switching the driving method is excellent in convenience.

本発明による形彫放電加工機1においては、リニアモータ駆動方式と回転型サーボモータ駆動方式の何れの駆動方式であっても、同じクイル3が移動するため、リニアモーションガイドとスケール(位置検出器)とを共通にすることができる。スライダ6とクイル3とで別々のガイドレールを設けても本発明の効果を得ることができる。この点は、実施の形態の形彫放電加工機1の有利な点の1つであるが、このことは必須ではない。   In the sculpture electric discharge machine 1 according to the present invention, the same quill 3 moves in any of the linear motor drive system and the rotary servo motor drive system. ). Even if separate guide rails are provided for the slider 6 and the quill 3, the effects of the present invention can be obtained. This is one of the advantages of the electric discharge machine 1 according to the embodiment, but this is not essential.

本発明による形彫放電加工機の全体構成を示す概略構成図。The schematic block diagram which shows the whole structure of the die-sinking electric discharge machine by this invention. 図1に示した形彫放電加工機の加工ヘッド部を一部断面して示す正面図。FIG. 2 is a front view showing a part of a machining head portion of the electric discharge machine shown in FIG. 図2のAーA線断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 2. 図1に示した形彫放電加工機の加工ヘッド部の上面図。FIG. 2 is a top view of a machining head portion of the electric discharge machine shown in FIG. 1. 図2に示すスライダ付近の要部を示す斜視図。The perspective view which shows the principal part of the slider vicinity shown in FIG. ロック機構の詳細構成を説明するための図でクイルとスライダとが一体化された状態を示す図。The figure for demonstrating the detailed structure of a locking mechanism, and the figure which shows the state in which the quill and the slider were integrated. ロック機構の詳細構成を説明するための図でクイルとスライダとが分離された状態を示す図。The figure for demonstrating the detailed structure of a locking mechanism, and the figure which shows the state by which the quill and the slider were isolate | separated. 図1に示した形彫放電加工機の加工ヘッド部の動作を説明するための図。The figure for demonstrating operation | movement of the process head part of the die-sinking electric discharge machine shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

2 加工ヘッド部
3 クイル
4 軸受ユニット
5 回転型サーボモータ
6 スライダ
7 ボールネジ
8 結合分離装置
9 リニアモータ
21 クイルベース
22 ガイドレール
33 ブレーキ装置
34 自動クランプ用チャック
35 面板
51 回転軸
52 カップリング
61 ナット
71 ネジ部
81 油圧シリンダ
82 ピストン
83 クランプ部
84 ロック機構
91 励磁コイル
92 磁石板
93 取付用枠体
2 Processing Head 3 Quill 4 Bearing Unit 5 Rotary Servo Motor 6 Slider 7 Ball Screw 8 Coupling and Separating Device 9 Linear Motor 21 Quill Base 22 Guide Rail 33 Brake Device 34 Automatic Clamping Chuck 35 Face Plate 51 Rotating Shaft 52 Coupling 61 Nut 71 Screw part 81 Hydraulic cylinder 82 Piston 83 Clamp part 84 Lock mechanism 91 Excitation coil 92 Magnet plate 93 Mounting frame

Claims (3)

下端面に工具電極または被加工物を取り付けるための部材を有しラムまたはコラムに対して所与の一軸方向に運動可能なように設けられた移動体と、
該移動体を前記一軸方向に運動させるためのリニアモータと、
前記ラムまたはコラムに取り付けられた回転型サーボモータと、
前記一軸方向に沿って配設され前記回転型サーボモータによって回転運動されるボールネジと、
前記ボールネジの回転に応じて前記一軸方向に運動するスライダと、
前記移動体と前記スライダとの結合、分離を行うための結合分離装置と
を備えた形彫放電加工装置。
A movable body having a member for attaching a tool electrode or a workpiece to a lower end surface and provided so as to be movable in a given uniaxial direction with respect to a ram or a column;
A linear motor for moving the movable body in the uniaxial direction;
A rotary servo motor attached to the ram or column;
A ball screw disposed along the uniaxial direction and rotated by the rotary servomotor;
A slider that moves in the uniaxial direction according to the rotation of the ball screw;
A die-sinking electrical discharge machining apparatus comprising a coupling / separating device for coupling and separating the movable body and the slider.
前記結合分離装置は、油圧シリンダとクランプ部材を含んでなる請求項1に記載の形彫放電加工装置。   The EDM apparatus according to claim 1, wherein the coupling / separating device includes a hydraulic cylinder and a clamp member. 前記移動体は、前記リニアモータの可動子である請求項1に記載の形彫放電加工装置。   The electric discharge machining apparatus according to claim 1, wherein the movable body is a mover of the linear motor.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103624346A (en) * 2013-11-08 2014-03-12 吴中区木渎蒯斌模具加工厂 Abnormal-shaped electro-corrosion clamp
CN107335875A (en) * 2017-06-01 2017-11-10 苏州新火花机床有限公司 Multiaxis polycrystalline diamond processing unit (plant)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5531528A (en) * 1978-08-21 1980-03-05 Mitsubishi Electric Corp Spark machining device
JPS5758251B2 (en) * 1979-03-09 1982-12-08 Charmilles Sa Ateliers
JPS6420932A (en) * 1987-07-15 1989-01-24 Mitsubishi Electric Corp Storage magazine of electrode for electric discharge machining
JPH06252026A (en) * 1993-02-22 1994-09-09 Canon Inc Stage device and system using same
JP2000190131A (en) * 1998-10-12 2000-07-11 Makino Milling Mach Co Ltd Engraving electric discharge machine
JP2000225527A (en) * 1998-12-02 2000-08-15 Sodick Co Ltd Diesinking electric discharge machine

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5531528A (en) * 1978-08-21 1980-03-05 Mitsubishi Electric Corp Spark machining device
JPS5758251B2 (en) * 1979-03-09 1982-12-08 Charmilles Sa Ateliers
JPS6420932A (en) * 1987-07-15 1989-01-24 Mitsubishi Electric Corp Storage magazine of electrode for electric discharge machining
JPH06252026A (en) * 1993-02-22 1994-09-09 Canon Inc Stage device and system using same
JP2000190131A (en) * 1998-10-12 2000-07-11 Makino Milling Mach Co Ltd Engraving electric discharge machine
JP2000225527A (en) * 1998-12-02 2000-08-15 Sodick Co Ltd Diesinking electric discharge machine

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103624346A (en) * 2013-11-08 2014-03-12 吴中区木渎蒯斌模具加工厂 Abnormal-shaped electro-corrosion clamp
CN107335875A (en) * 2017-06-01 2017-11-10 苏州新火花机床有限公司 Multiaxis polycrystalline diamond processing unit (plant)

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