JP2006213533A - Ozone generating device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ozone generating device which can prevent breakage of a substrate or the like at the time of assembling and generate uniform and high concentration ozone stably. <P>SOLUTION: The ozone generating device is equipped with a conductive plate 14, a discharge electrode 18 arranged on the conductive plate 14 through an insulative substrate 16; a frame body 20 arranged on the conductive plate 14 so as to surround the periphery of the discharge electrode 18; a cap body 24 formed of a transparent plate material, which is arranged on the frame body 20 and forms a discharge area 22 on a face of the discharge electrode 18; a gas feeding nozzle 28 which is arranged at the inner peripheral side of the frame body 20 and feeds oxygen into the discharge area 22; an exhaust nozzle 30 which is arranged at the inner peripheral side of the frame body 20 between the cap body 24 and the conductive plate 14 and discharges ozone from the discharge area 22 to a prescribed outside area; an electrode pin 42 arranged on the insulative substrate 16 in the discharge area 22; and a tightening member 50 for tightly fixing the conductive plate 14, the frame body 20 and the cap body 24. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えば、オゾン水生成装置等のオゾンガス生成源に使用されるオゾン生成装置に関する。   The present invention relates to an ozone generator used for an ozone gas generation source such as an ozone water generator.

従来から、殺菌装置、脱臭装置、漂白装置、浄水装置等にはオゾンガスが広く利用されている。
オゾンガスを生成するには、放電装置の放電電極を使用し、酸素ガスを、放電電極を備えた放電領域内の放電ビームの中を通過するように供給することにより、酸素をオゾン化させる方法がある(例えば、特許文献1参照)。このとき、適切な濃度の酸素ガスを放電ビーム中を一定時間かけて通過するように供給すると、酸素ガスを良好にオゾン化できる。
特開平8−283005号公報
Conventionally, ozone gas has been widely used in sterilizers, deodorizers, bleachers, water purifiers, and the like.
In order to generate ozone gas, there is a method in which oxygen is ozonized by using a discharge electrode of a discharge device and supplying oxygen gas so as to pass through a discharge beam in a discharge region provided with the discharge electrode. Yes (see, for example, Patent Document 1). At this time, if oxygen gas having an appropriate concentration is supplied so as to pass through the discharge beam over a certain period of time, the oxygen gas can be favorably ozonized.
JP-A-8-283005

ここで、従来のオゾン生成装置には、次のような解決すべき課題があった。
上記の装置で、酸素ガスの濃度や流速が過剰な場合には、十分にオゾン化しないガスが排出される。しかし、適切な濃度の酸素ガスを、放電ビーム中を一定時間かけて通過するように流量調整することは容易でない。
Here, the conventional ozone generator has the following problems to be solved.
In the above apparatus, when the concentration or flow rate of oxygen gas is excessive, gas that is not sufficiently ozonized is discharged. However, it is not easy to adjust the flow rate so that an oxygen gas having an appropriate concentration passes through the discharge beam over a certain period of time.

一方、本発明者は、セラミック製の絶縁基板の表面に編み目状に形成された平板電極に高電圧を印加すると、電極直上の広い領域に安定した放電ビームが形成され、その放電ビーム中を均一に酸素ガスが流れるよう制御すると、効率よくオゾンを生成できることを見い出した。   On the other hand, when applying a high voltage to a flat plate electrode formed in a knitted pattern on the surface of a ceramic insulating substrate, the inventor forms a stable discharge beam in a wide area immediately above the electrode, and the discharge beam is uniformly distributed in the discharge beam. It has been found that ozone can be efficiently generated by controlling the oxygen gas to flow through.

本発明は、上記の点に着目してなされたもので、均一で高濃度のオゾンを安定して生成することができるオゾン生成装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made by paying attention to the above points, and an object of the present invention is to provide an ozone generation apparatus capable of stably generating uniform and high-concentration ozone.

本発明の実施例においては、それぞれ次のような構成により上記の課題を解決する。
〈構成1〉
導体プレートと、上記導体プレート上に、絶縁基板を介して配置された扁平な放電電極と、上記放電電極の周囲を取り囲むように上記導体プレート上に配置された枠体と、上記枠体上に配置され、上記放電電極の一面上に扁平な放電領域を形成する、透明板材からなる蓋体と、上記蓋体と上記導体プレートとの間の、上記枠体の内周側に配設され、かつ酸素発生部に接続されて酸素を上記放電領域内に送り込む給気ノズルと、上記蓋体と上記導体プレートとの間の、上記枠体の内周側に配設され、かつ上記放電領域内で生成されたオゾンを上記放電領域内から所定の外部領域に向けて排出する排気ノズルと、上記放電領域内の上記放電電極に接触するように配設された電極ピンと、上記導体プレート、上記枠体及び上記蓋体を密着固定する締付け部材とを備えたことを特徴とするオゾン生成装置。
In the embodiments of the present invention, the above-described problems are solved by the following configurations.
<Configuration 1>
A conductor plate; a flat discharge electrode disposed on the conductor plate via an insulating substrate; a frame disposed on the conductor plate so as to surround the periphery of the discharge electrode; and Arranged on the inner peripheral side of the frame body between the lid body and the conductor plate, and a lid body made of a transparent plate material that forms a flat discharge region on one surface of the discharge electrode, And an air supply nozzle connected to the oxygen generator for sending oxygen into the discharge region, and disposed between the lid and the conductor plate on the inner peripheral side of the frame, and in the discharge region An exhaust nozzle that discharges ozone generated in the discharge region toward a predetermined external region, an electrode pin disposed so as to contact the discharge electrode in the discharge region, the conductor plate, and the frame Fastening the body and the lid tightly Only ozone generation apparatus characterized by comprising a member.

使用時に、透明蓋体を通じて、放電ビームによる熱線が放電領域全体から外部に放射される。故に、不透明な蓋を設けた場合に比べて著しく冷却効果が高まるという効果がある。また、放電状態が外部から透視観測でき、健全性のチェックが容易である。また、枠体や蓋体を導体プレート上に重ね合わせるときに、透明板材からなる蓋体を透視して導体プレート上の放電電極を目視しながら組立て作業ができるので、絶縁基板や放電電極その他の部品の衝突による破損を防止できるという、作業性改善の効果もある。また、放電領域内で結露が生じると放電が不安定になるが、蓋体が透明なので、内部で結露が生じているかを確認できる。ガスの流入流出口がコンパクトに確実に取付けられるから、全体として、十分に小型化ができる。   During use, heat rays from the discharge beam are radiated from the entire discharge region to the outside through the transparent lid. Therefore, there is an effect that the cooling effect is remarkably enhanced as compared with the case where an opaque lid is provided. Also, the discharge state can be seen through from the outside, and the soundness can be easily checked. Also, when overlaying the frame or lid on the conductor plate, the assembly work can be done while seeing the discharge electrode on the conductor plate through the lid made of a transparent plate material, so that the insulating substrate, the discharge electrode, etc. There is also an effect of improving workability that can prevent damage due to collision of parts. In addition, when condensation occurs in the discharge region, the discharge becomes unstable, but since the lid is transparent, it can be confirmed whether condensation has occurred inside. Since the gas inlet / outlet is securely attached in a compact manner, the overall size can be sufficiently reduced.

〈構成2〉
構成1に記載のオゾン生成装置において、上記蓋体を、透明ガラス板により構成したことを特徴とするオゾン生成装置。
<Configuration 2>
The ozone generator according to Configuration 1, wherein the lid is formed of a transparent glass plate.

蓋体全体を透明ガラス板にすると、放電電極が広く開放されて、熱放射による冷却効果が最大になる。また、蓋体として透明ガラス板を使用すると、枠体との密着性がよいので、気密な放電領域が容易に得られる。   When the entire lid is made of a transparent glass plate, the discharge electrode is widely opened, and the cooling effect by heat radiation is maximized. In addition, when a transparent glass plate is used as the lid, the airtight discharge area can be easily obtained because of good adhesion to the frame.

〈構成3〉
構成1又は2に記載のオゾン生成装置において、上記蓋体の上面の外縁部に保護板が配設され、上記保護板の上から上記締付け部材が取付けられていることを特徴とするオゾン生成装置。
<Configuration 3>
The ozone generator according to Configuration 1 or 2, wherein a protective plate is disposed on an outer edge portion of the upper surface of the lid body, and the fastening member is attached from above the protective plate. .

保護板を配設することにより、透明板材からなる蓋体が締付け部材による締付け力で破損することを防止できる。   By disposing the protective plate, it is possible to prevent the lid made of the transparent plate material from being damaged by the tightening force of the tightening member.

〈構成4〉
構成1ないし3のいずれかに記載のオゾン生成装置において、上記給気ノズル及び上記排気ノズルは、軸心に中心孔が設けられた小径円筒部と、この小径円筒部に連なり、かつ、外周面に、上記小径円筒部の中心孔に通じる複数の横孔が放射状に設けられた大径円筒部とから構成され、上記小径円筒部が上記蓋体を貫通して外部に露出するように取付けられていることを特徴とするオゾン生成装置。
<Configuration 4>
In the ozone generating device according to any one of the configurations 1 to 3, the air supply nozzle and the exhaust nozzle are connected to the small-diameter cylindrical portion having a central hole in the axial center, the small-diameter cylindrical portion, and an outer peripheral surface. And a large-diameter cylindrical portion in which a plurality of lateral holes communicating with the central hole of the small-diameter cylindrical portion are provided radially, and the small-diameter cylindrical portion is attached so as to penetrate the lid body and be exposed to the outside. An ozone generator characterized by comprising:

給気ノズルの大径円筒部の複数の横孔から放射方向に噴出した酸素ガスが放電領域内を乱流状態で複雑に流れ攪拌される。従って扁平な放電領域内を万遍なく酸素ガスが流れて、均一で高濃度のオゾンを効率よく生成することができる。
吸気ノズルと排気ノズルの各小径円筒部は、蓋体を貫通して外部に引き出されていることから、放電領域のサイズにかかわりなくガスの流量に応じて太さを自由に調節できる。
Oxygen gas ejected in a radial direction from a plurality of lateral holes of the large-diameter cylindrical portion of the air supply nozzle is complicatedly flowed and stirred in the discharge region in a turbulent state. Therefore, oxygen gas flows uniformly in the flat discharge region, and uniform and high-concentration ozone can be efficiently generated.
Since each small diameter cylindrical portion of the intake nozzle and the exhaust nozzle passes through the lid and is drawn to the outside, the thickness can be freely adjusted according to the gas flow rate regardless of the size of the discharge region.

〈構成5〉
構成4に記載のオゾン生成装置において、上記大径円筒部の上端面が上記蓋体に対して気密に当接していることを特徴とするオゾン生成装置。
<Configuration 5>
The ozone generator according to Configuration 4, wherein an upper end surface of the large-diameter cylindrical portion is in airtight contact with the lid.

前記大径円筒部の上端面が蓋体に対して気密に当接し放電領域内の気密性を保持できる。オゾン雰囲気では、接着剤を使用することができないが、絶縁基板が給気ノズル及び排気ノズルの大径円筒部によって気密に当接されるため、接着剤なしでも絶縁基板を導体プレートに固定できる。   The upper end surface of the large-diameter cylindrical portion is in airtight contact with the lid, and the airtightness in the discharge region can be maintained. In an ozone atmosphere, an adhesive cannot be used, but since the insulating substrate is hermetically abutted by the large-diameter cylindrical portions of the air supply nozzle and the exhaust nozzle, the insulating substrate can be fixed to the conductor plate without an adhesive.

〈構成6〉
構成1ないし5のいずれかに記載のオゾン生成装置において、上記電極ピンは、上記放電電極に導体コイルばねを介して当接され、耐オゾン性材料からなる保持体により保持され、上記保持体は、小径円筒部と、この小径円筒部に連なる大径円筒部とから構成され、かつ、上記大径円筒部の両端面が上記締付け部材の締付け力によって、それぞれ上記蓋体と上記絶縁基板に気密に当接したものであることを特徴とするオゾン生成装置。
<Configuration 6>
In the ozone generation device according to any one of configurations 1 to 5, the electrode pin is brought into contact with the discharge electrode through a conductor coil spring and is held by a holding body made of an ozone-resistant material. A small-diameter cylindrical portion and a large-diameter cylindrical portion connected to the small-diameter cylindrical portion, and both end surfaces of the large-diameter cylindrical portion are hermetically sealed to the lid and the insulating substrate by the tightening force of the tightening member, respectively. An ozone generator characterized by being in contact with the water.

電極ピンと導体コイルばねが保持体によってオゾンによる腐食から保護され、保持体の両端面がそれぞれ蓋体と絶縁基板に対して気密に当接していることから、放電領域内の気密性が保持される。   The electrode pin and the conductor coil spring are protected from corrosion by ozone by the holding body, and both end faces of the holding body are in airtight contact with the lid and the insulating substrate, respectively, so that the airtightness in the discharge region is maintained. .

〈構成7〉
構成1ないし6のいずれかに記載のオゾン生成装置において、上記導体プレートの下面にヒートシンクを配設したことを特徴とするオゾン生成装置。
<Configuration 7>
7. The ozone generator according to any one of configurations 1 to 6, wherein a heat sink is disposed on the lower surface of the conductor plate.

放熱効果が良好であり、全体構成を小型化できる。   The heat dissipation effect is good, and the overall configuration can be reduced in size.

〈構成8〉
構成1ないし7のいずれかに記載のオゾン生成装置において、上記蓋体はガラスにより構成され、上記導体プレートはステンレス鋼により構成され、上記絶縁基板はセラミックにより構成され、上記枠体、上記給気ノズル及び排気ノズルと上記保持体は、それぞれ耐オゾン性樹脂により構成されていることを特徴とするオゾン生成装置。
<Configuration 8>
In the ozone generator according to any one of configurations 1 to 7, the lid body is made of glass, the conductor plate is made of stainless steel, the insulating substrate is made of ceramic, the frame body, the air supply The ozone generator according to claim 1, wherein the nozzle, the exhaust nozzle, and the holder are each made of an ozone-resistant resin.

以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.

図1は実施例1のオゾン生成装置を示す斜視図である。図2は同装置を分解して示す展開図である。
図1及び図2において、実施例1のオゾン生成装置12は、導体プレート14と、導体プレート14上に絶縁基板16を介して配置された放電電極18と、導体プレート14上に、放電電極18の周囲を取り囲むように、配置された枠体20と、枠体20上に配置された、透明ガラス板からなる蓋体24と、蓋体24と導体プレート14との間の、枠体20の内周側に配設された給気ノズル28及び排気ノズル30と、放電領域22内の放電電極18に接触するように配設された電極ピン42と、導体プレート14、枠体20及び蓋体24を密着固定する締付ボルトのような締付け部材50とを備えている。
FIG. 1 is a perspective view showing an ozone generator of Example 1. FIG. FIG. 2 is an exploded view showing the apparatus.
1 and 2, the ozone generator 12 of Example 1 includes a conductor plate 14, a discharge electrode 18 disposed on the conductor plate 14 via an insulating substrate 16, and a discharge electrode 18 on the conductor plate 14. Of the frame body 20 between the lid body 24 and the conductor plate 14, the lid body 24 made of a transparent glass plate, and the lid body 24 disposed on the frame body 20. An air supply nozzle 28 and an exhaust nozzle 30 disposed on the inner peripheral side, an electrode pin 42 disposed so as to be in contact with the discharge electrode 18 in the discharge region 22, the conductor plate 14, the frame body 20, and the lid body And a tightening member 50 such as a tightening bolt for tightly fixing 24.

給気ノズル28には酸素発生部54が接続されている。排気ノズル30にはオゾン水生成部56が接続されている。導体プレート14の下部には、放熱効果を良好にするヒートシンク52が配設されている。ヒートシンク52、導体プレート14、枠体20、蓋体22及び保護板26の各周縁に、それぞれ締付ボルト50を通す多数の貫通孔27A、27B、27C、27D、27Eが設けられている。これらの貫通孔27A、27B、27C、27D、27Eは、各部品に上下に対応して設けられている。   An oxygen generator 54 is connected to the air supply nozzle 28. An ozone water generator 56 is connected to the exhaust nozzle 30. A heat sink 52 is disposed below the conductor plate 14 to improve the heat dissipation effect. A large number of through holes 27A, 27B, 27C, 27D, and 27E through which the fastening bolts 50 are passed are provided on the peripheral edges of the heat sink 52, the conductor plate 14, the frame body 20, the lid body 22, and the protection plate 26, respectively. These through holes 27A, 27B, 27C, 27D, and 27E are provided corresponding to the upper and lower portions of each component.

導体プレート14は、耐オゾン性材料であるステンレス鋼により、肉厚が10mm程度の平板に形成されたものである。絶縁基板16は、肉厚が1mm程度のセラミック板からなる。枠体20は、耐オゾン性のPTFA(ポリテトラフルオロエチレン)により、高さが4mm程度で、放電電極18の周囲を取り囲む四辺形に形成されている。   The conductor plate 14 is formed of a stainless steel, which is an ozone resistant material, on a flat plate having a thickness of about 10 mm. The insulating substrate 16 is made of a ceramic plate having a thickness of about 1 mm. The frame 20 is made of ozone-resistant PTFA (polytetrafluoroethylene) and has a height of about 4 mm and is formed in a quadrangular shape surrounding the discharge electrode 18.

蓋体24は、肉厚が5mm程度のガラス板あるいは耐オゾン性の透明樹脂板からなり、放電電極18全体を外部から透視できる面積を有している。また、蓋体24は、放電電極18の発生する放電ビームの、最大高さ以下の位置に配置されている。蓋体24の所定位置に、給気ノズル28、排気ノズル30を取付けるための貫通孔32A、32Bと電極ピン42を取付けるための貫通孔32Cが設けられている。放電電極18全体を外部から透視できる面積を有しているから、放電電極18面上で発生した熱線が、蓋体24で反射することなく外部へ放出される。放熱の効果を考慮すると、蓋体24の透明部分の面積は、少なくとも放電電極18面の面積以上であることが好ましい。   The lid 24 is made of a glass plate having a thickness of about 5 mm or an ozone-resistant transparent resin plate, and has an area where the entire discharge electrode 18 can be seen through from the outside. The lid 24 is disposed at a position below the maximum height of the discharge beam generated by the discharge electrode 18. Through holes 32 A and 32 B for attaching the air supply nozzle 28 and the exhaust nozzle 30 and through holes 32 C for attaching the electrode pins 42 are provided at predetermined positions of the lid 24. Since the entire discharge electrode 18 has an area that can be seen through from the outside, the heat rays generated on the surface of the discharge electrode 18 are emitted to the outside without being reflected by the lid 24. Considering the effect of heat dissipation, the area of the transparent portion of the lid body 24 is preferably at least the area of the surface of the discharge electrode 18.

放電電極18は、エッチングやスパッタリングで形成された網状の電気良導体からなり、セラミック製の絶縁基板16に嵌め込んで形成されている。導体プレート14の上面に絶縁基板16を介して配置された放電電極18の上方には、約1〜2mmの高さの扁平空間をなす放電領域22が形成されている。放電領域22は、放電電極18を支持する絶縁基板16と、放電電極18の周囲を包囲する枠体20と、枠体20上面を閉塞する蓋体24とから形成されている。枠体20の高さは放電領域22の高さを形成することになる。保護板26は、肉厚1mm程度のステンレス板からなり、コ字型に形成されている。2枚のコ字型部片が対向配置されて使用される。   The discharge electrode 18 is made of a mesh-like electric good conductor formed by etching or sputtering, and is formed by being fitted into a ceramic insulating substrate 16. A discharge region 22 forming a flat space having a height of about 1 to 2 mm is formed above the discharge electrode 18 disposed on the upper surface of the conductor plate 14 via the insulating substrate 16. The discharge region 22 is formed of an insulating substrate 16 that supports the discharge electrode 18, a frame body 20 that surrounds the periphery of the discharge electrode 18, and a lid body 24 that closes the upper surface of the frame body 20. The height of the frame 20 forms the height of the discharge region 22. The protection plate 26 is made of a stainless steel plate having a thickness of about 1 mm and is formed in a U shape. Two U-shaped pieces are used in an opposed arrangement.

図3は、導体プレート14上における給気ノズル28、排気ノズル30及び電極ピン42の配置状況を示す斜視図である。
図3に示すように、絶縁基板16及び放電電極18は導体プレート14のほぼ中央部に配置されている。給気ノズル28と排気ノズル30は、絶縁基板16上の放電電極18の両側に配置され上方に突出している。電極ピン42は、放電電極18のコーナ部に配置され上方に突出している。
FIG. 3 is a perspective view showing an arrangement state of the air supply nozzle 28, the exhaust nozzle 30, and the electrode pin 42 on the conductor plate 14.
As shown in FIG. 3, the insulating substrate 16 and the discharge electrode 18 are disposed at substantially the center of the conductor plate 14. The supply nozzle 28 and the exhaust nozzle 30 are arranged on both sides of the discharge electrode 18 on the insulating substrate 16 and protrude upward. The electrode pin 42 is disposed at a corner portion of the discharge electrode 18 and protrudes upward.

図4は給気ノズル28又は排気ノズル30を示す斜視図、図5は同ノズルの取付け状況を示す縦断面図である。
給気ノズル28と排気ノズル30とは、同一の構成をなしている。すなわち、給気ノズル28又は排気ノズル30は、図4に示すように、PTFAにより、小径円筒部36Aと、この小径円筒部36Aに連なる大径円筒部36Bとを形成したものである。小径円筒部36Aの軸心には、中心孔34が設けられている。大径円筒部36Bの外周面には、小径円筒部36Aの中心孔34に通じる複数の横孔40が放射状に設けられている。なお、この横穴は、必ずしも全周方向に等間隔で配置される必要は無い。放射状に、適当な数だけ設けられていればよい。
FIG. 4 is a perspective view showing the air supply nozzle 28 or the exhaust nozzle 30, and FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing how the nozzle is attached.
The supply nozzle 28 and the exhaust nozzle 30 have the same configuration. That is, as shown in FIG. 4, the air supply nozzle 28 or the exhaust nozzle 30 is formed by forming a small-diameter cylindrical portion 36A and a large-diameter cylindrical portion 36B connected to the small-diameter cylindrical portion 36A by PTFA. A central hole 34 is provided in the axial center of the small diameter cylindrical portion 36A. A plurality of lateral holes 40 communicating with the center hole 34 of the small diameter cylindrical portion 36A are provided radially on the outer peripheral surface of the large diameter cylindrical portion 36B. The lateral holes are not necessarily arranged at equal intervals in the entire circumferential direction. It suffices that an appropriate number is provided radially.

給気ノズル28及び排気ノズル30は、図5に示すようにして取付けられている。
すなわち、給気ノズル28は、その大径円筒部36Bが放電領域22内の絶縁基板16上に配置され、小径円筒部36Aが蓋体24の貫通孔32A(図2)に嵌入されている。排気ノズル30は、その大径円筒部36Bが放電領域22内の絶縁基板16上に配置され、小径円筒部36Aが蓋体24の貫通孔32B(図2)に嵌入されている。
The supply nozzle 28 and the exhaust nozzle 30 are attached as shown in FIG.
That is, the air supply nozzle 28 has a large-diameter cylindrical portion 36 </ b> B disposed on the insulating substrate 16 in the discharge region 22, and a small-diameter cylindrical portion 36 </ b> A fitted in the through hole 32 </ b> A (FIG. 2) of the lid body 24. The exhaust nozzle 30 has a large-diameter cylindrical portion 36 </ b> B disposed on the insulating substrate 16 in the discharge region 22, and a small-diameter cylindrical portion 36 </ b> A is fitted in the through hole 32 </ b> B (FIG. 2) of the lid body 24.

給気ノズル28又は排気ノズル30の各大径円筒部36A又は36Bの上端面は、締付け部材50の締付け力によって蓋体24に対して気密に当接している。
オゾン雰囲気では、接着剤を使用することができないが、絶縁基板16が給気ノズル28又は排気ノズル30の各大径円筒部36A又は36Bによって気密に当接されるため、接着剤なしでも導体プレート14に固着されている。これにより、給気ノズル28や排気ノズル30周りを十分に気密に保持することができる。しかも、組み立て工程が非常に簡単になるという効果もある。
The upper end surface of each large-diameter cylindrical portion 36 </ b> A or 36 </ b> B of the air supply nozzle 28 or the exhaust nozzle 30 is in airtight contact with the lid body 24 by the tightening force of the tightening member 50.
In an ozone atmosphere, an adhesive cannot be used. However, since the insulating substrate 16 is hermetically abutted by the large-diameter cylindrical portions 36A or 36B of the air supply nozzle 28 or the exhaust nozzle 30, the conductor plate can be used without an adhesive. 14 is fixed. Thereby, the surroundings of the air supply nozzle 28 and the exhaust nozzle 30 can be kept sufficiently airtight. In addition, there is an effect that the assembly process becomes very simple.

図6は電極ピン42を示す斜視図、図7は同電極ピン42の取付け状況を示す縦断面図である。
電極ピン42は、図6、図7に示すように、T型の導体棒43と導体コイルばね48を連結したものをPTFAからなる保持体44で包覆したものである。導体コイルばね48の一端は、放電電極18に接触し、他端は、導体棒43の下端部43Aを、保持体44に対して常時ばね力で押し当てている。保持体44は、小径円筒部44Aと、この小径円筒部に連なる大径円筒部44Bとから構成されている。
FIG. 6 is a perspective view showing the electrode pin 42, and FIG. 7 is a longitudinal sectional view showing a state of attachment of the electrode pin 42.
As shown in FIGS. 6 and 7, the electrode pin 42 is formed by connecting a T-shaped conductor rod 43 and a conductor coil spring 48 with a holder 44 made of PTFA. One end of the conductor coil spring 48 is in contact with the discharge electrode 18, and the other end constantly presses the lower end portion 43 </ b> A of the conductor rod 43 against the holding body 44 with a spring force. The holding body 44 includes a small diameter cylindrical portion 44A and a large diameter cylindrical portion 44B connected to the small diameter cylindrical portion.

大径円筒部44Bの高さは、給気ノズル28の大径円筒部36Bの高さとほぼ同一とされ、放電領域22高さを構成する。また保持体44の大径円筒部44Bの両端面は、締付け部材50の締付け力によって、それぞれ蓋体24と放電電極18に対して気密に当接している。従って、放電領域内の気密性が保持されると共に、電極ピン42の導体棒43と導体コイルばね48が保持体44によってオゾンによる腐食から保護される。   The height of the large diameter cylindrical portion 44B is substantially the same as the height of the large diameter cylindrical portion 36B of the air supply nozzle 28, and constitutes the height of the discharge region 22. Further, both end surfaces of the large-diameter cylindrical portion 44B of the holding body 44 are in airtight contact with the lid body 24 and the discharge electrode 18 by the tightening force of the tightening member 50, respectively. Accordingly, airtightness in the discharge region is maintained, and the conductor rod 43 and the conductor coil spring 48 of the electrode pin 42 are protected from corrosion by ozone by the holding body 44.

ヒートシンク52、導体プレート14、絶縁基板16、放電電極18、枠体20、蓋体22及び保護板26は、各部の周縁にそれぞれ設けられた多数の貫通孔27A、27B、27C、27D、27Eに締付ボルト50を通して締付けることにより、一体的に固定されている。この締付け力によって、各部品の接触面がシールされて放電領域22内の気密も保持されている。蓋体24がガラス製の場合は、保護板26を介して締付けられることによってガラス破損を防止できる。
締付け部材50としては、締付ボルトを使用することが望ましいが、各部品を密着固定するものであれば、締付ボルトに限定されるものではない。
The heat sink 52, the conductor plate 14, the insulating substrate 16, the discharge electrode 18, the frame body 20, the lid body 22, and the protection plate 26 are provided in a large number of through holes 27 </ b> A, 27 </ b> B, 27 </ b> C, 27 </ b> D, 27 </ b> E provided on the periphery of each part. It is fixed integrally by tightening it through the tightening bolt 50. By this tightening force, the contact surface of each component is sealed and the airtightness in the discharge region 22 is also maintained. When the lid body 24 is made of glass, the glass breakage can be prevented by being tightened via the protective plate 26.
As the tightening member 50, it is desirable to use a tightening bolt. However, the tightening member 50 is not limited to the tightening bolt as long as it can fix and fix each component.

電極ピン42は、高圧電源の正極に接続されたターミナル(図示せず)の下端と電気的に接触する。導体プレート14は高圧電源の負極に接続する。こうして、放電電極18の上方の空間にコロナ放電を発生させる。導体プレート14の下面には取付けたヒートシンク52により放電による温度上昇を抑える。水冷でも空冷でもよい。   The electrode pin 42 is in electrical contact with the lower end of a terminal (not shown) connected to the positive electrode of the high voltage power source. The conductor plate 14 is connected to the negative electrode of the high voltage power source. Thus, corona discharge is generated in the space above the discharge electrode 18. A heat sink 52 attached to the lower surface of the conductor plate 14 suppresses temperature rise due to discharge. Water cooling or air cooling may be used.

給気ノズル28から供給された酸素は、横孔40を通じて放電領域22に進入し、絶縁基板16の上を通過して排気ノズル30に達する。このとき、放電領域22のほぼ全体にわたって、絶縁基板16上の放電電極18によるコロナ放電が生じていると、放電領域22を通過する酸素は効率よくオゾン化される。   Oxygen supplied from the air supply nozzle 28 enters the discharge region 22 through the lateral hole 40, passes over the insulating substrate 16, and reaches the exhaust nozzle 30. At this time, if corona discharge is generated by the discharge electrode 18 on the insulating substrate 16 over almost the entire discharge region 22, oxygen passing through the discharge region 22 is efficiently ozonized.

図8は既存のオゾン生成装置の放電領域内におけるガスの流れを示す説明図、図9は本発明による装置の放電領域内におけるガスの流れを示す説明図である。
図8に示すように、放電領域22に対して給気ノズル58と排気ノズル60とを直線的に対向させて配置した場合は、給気ノズル58から送出された酸素ガスの流れ62は、排気ノズル60に向って層流となる。この流れ62は十分な広がりがなく、放電領域22内の放電ビーム中を通過する時間が短くなる。このため、放電領域22内で、酸素ガスの濃い部分と薄い部分とができる。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing the gas flow in the discharge region of the existing ozone generator, and FIG. 9 is an explanatory diagram showing the gas flow in the discharge region of the device according to the present invention.
As shown in FIG. 8, when the air supply nozzle 58 and the exhaust nozzle 60 are arranged linearly opposite to the discharge region 22, the flow 62 of oxygen gas delivered from the air supply nozzle 58 is exhausted. It becomes a laminar flow toward the nozzle 60. This flow 62 does not spread sufficiently and the time for passing through the discharge beam in the discharge region 22 is shortened. For this reason, in the discharge region 22, a thick portion and a thin portion of oxygen gas are formed.

これに対して本発明では図9に示すように、給気ノズル28の大径円筒部の複数の横孔から酸素ガスが放射方向に噴出することにより、扁平な放電領域22中で酸素ガスの流れ62に乱流が発生する。酸素ガスは、乱流発生により、放電領域22内部を複雑に流れ、全体として攪拌される。すなわち、酸素ガスは、吸気ノズル28から排気ノズル30に向って扁平空間を万遍なく流れる。従って扁平な放電領域22内を万遍なく酸素ガスが流れて、効率よくオゾンを生成できる。   In contrast, in the present invention, as shown in FIG. 9, oxygen gas is ejected in a radial direction from a plurality of lateral holes of the large-diameter cylindrical portion of the air supply nozzle 28, so that oxygen gas is Turbulence is generated in the flow 62. Oxygen gas flows in a complicated manner inside the discharge region 22 due to the generation of turbulent flow, and is agitated as a whole. That is, oxygen gas flows uniformly in the flat space from the intake nozzle 28 toward the exhaust nozzle 30. Therefore, oxygen gas flows uniformly in the flat discharge region 22, and ozone can be generated efficiently.

また本発明の構成とすることによって、透明ガラスの蓋体24を通じて、放電領域22内の放電ビームによる熱線が外部に放射されて冷却効果が高まる。不透明な蓋体24を使用した場合に比べて効率が向上する。また、蓋体24が透明であれば、蓋体24を所定位置に配置するときに枠体20を目視しながらセラミック製の絶縁基板16の上に組立て作業ができるので、絶縁基板16等の破損を防止できるという作業性改善の効果がある。   Moreover, by setting it as the structure of this invention, the heat ray by the discharge beam in the discharge area 22 is radiated | emitted outside through the cover body 24 of transparent glass, and a cooling effect increases. The efficiency is improved as compared with the case where the opaque lid 24 is used. Further, if the lid body 24 is transparent, the assembly work can be performed on the ceramic insulating substrate 16 while visually observing the frame body 20 when the lid body 24 is disposed at a predetermined position. It is possible to prevent the problem and improve workability.

実験によれば、不透明な蓋体24を使用し、かつ、図8に示すように酸素ガスを側壁から対向する側壁に向って供給する既存のオゾン生成装置に比べて、本発明によるオゾン生成装置ではオゾン収率が17ポイントアップしたことが判明した。   According to the experiment, the ozone generator according to the present invention is used in comparison with the existing ozone generator using the opaque lid 24 and supplying oxygen gas from the side wall toward the opposite side wall as shown in FIG. Then, it turned out that the ozone yield increased by 17 points.

実施例1のオゾン生成装置を示す斜視図。1 is a perspective view showing an ozone generator of Example 1. FIG. 同装置の展開図。FIG. 同装置の給気ノズル、排気ノズル及び電極ピンの配置状況を示す斜視図。The perspective view which shows the arrangement | positioning condition of the supply nozzle of this apparatus, an exhaust nozzle, and an electrode pin. 同装置の給気ノズル又は排気ノズルを示す斜視図。The perspective view which shows the air supply nozzle or exhaust nozzle of the apparatus. 同ノズルの取付け状況を示す縦断面図。The longitudinal cross-sectional view which shows the attachment condition of the nozzle. 同装置の電極ピンを示す斜視図。The perspective view which shows the electrode pin of the apparatus. 同電極ピンの取付け状況を示す縦断面図。The longitudinal cross-sectional view which shows the attachment condition of the electrode pin. 既存のオゾン生成装置の放電領域内におけるガスの流れを示す説明図。Explanatory drawing which shows the flow of the gas in the discharge area | region of the existing ozone production | generation apparatus. 本発明による装置の放電領域内におけるガスの流れを示す説明図。Explanatory drawing which shows the flow of the gas in the discharge region of the apparatus by this invention.

符号の説明Explanation of symbols

14 導体プレート
16 絶縁基板
18 放電電極
20 枠体
22 放電領域
24 蓋体
26 保護板
27Aないし27E 貫通孔
28 給気ノズル
30 排気ノズル
32Aないし32C 貫通孔
34 中心孔
36A 小径円筒部
36B 大径円筒部
40 横孔
42 電極ピン
50 締付け部材
52 ヒートシンク
54 酸素発生部
56 オゾン水生成部
14 Conductor plate 16 Insulating substrate 18 Discharge electrode 20 Frame 22 Discharge area 24 Lid 26 Protection plate 27A thru 27E Through hole 28 Air supply nozzle 30 Exhaust nozzle 32A thru 32C Through hole 34 Center hole 36A Small diameter cylindrical part 36B Large diameter cylindrical part 40 Horizontal hole 42 Electrode pin 50 Tightening member 52 Heat sink 54 Oxygen generator 56 Ozone water generator

Claims (8)

導体プレートと、
前記導体プレート上に、絶縁基板を介して配置された扁平な放電電極と、
前記放電電極の周囲を取り囲むように前記導体プレート上に配置された枠体と、
前記枠体上に配置され、前記放電電極の一面上に扁平な放電領域を形成する、透明板材からなる蓋体と、
前記蓋体と前記導体プレートとの間の、前記枠体の内周側に配設され、かつ酸素発生部に接続されて酸素を前記放電領域内に送り込む給気ノズルと、
前記蓋体と前記導体プレートとの間の、前記枠体の内周側に配設され、かつ前記放電領域内で生成されたオゾンを前記放電領域内から所定の外部領域に向けて排出する排気ノズルと、
前記放電領域内の前記放電電極に接触するように配設された電極ピンと、
前記導体プレート、前記枠体及び前記蓋体を密着固定する締付け部材とを備えたことを特徴とするオゾン生成装置。
A conductor plate;
On the conductor plate, a flat discharge electrode disposed via an insulating substrate,
A frame disposed on the conductor plate so as to surround the discharge electrode;
A lid made of a transparent plate, which is disposed on the frame and forms a flat discharge region on one surface of the discharge electrode;
An air supply nozzle disposed between the lid and the conductor plate on the inner peripheral side of the frame and connected to an oxygen generator to send oxygen into the discharge region;
Exhaust gas that is disposed on the inner peripheral side of the frame body between the lid and the conductor plate and that discharges ozone generated in the discharge region from the discharge region toward a predetermined external region. A nozzle,
An electrode pin arranged to contact the discharge electrode in the discharge region;
An ozone generating apparatus comprising: a tightening member that tightly fixes the conductor plate, the frame, and the lid.
請求項1に記載のオゾン生成装置において、
前記蓋体を、透明ガラス板により構成したことを特徴とするオゾン生成装置。
The ozone generator according to claim 1,
An ozone generating apparatus, wherein the lid is made of a transparent glass plate.
請求項1又は2に記載のオゾン生成装置において、
前記蓋体の上面の外縁部に保護板が配設され、前記保護板の上から前記締付け部材が取付けられていることを特徴とするオゾン生成装置。
The ozone generator according to claim 1 or 2,
An ozone generating device, wherein a protective plate is disposed on an outer edge portion of the upper surface of the lid, and the fastening member is mounted on the protective plate.
請求項1ないし3のいずれかに記載のオゾン生成装置において、
前記給気ノズル及び前記排気ノズルは、軸心に中心孔が設けられた小径円筒部と、この小径円筒部に連なり、かつ、外周面に、前記小径円筒部の中心孔に通じる複数の横孔が放射状に設けられた大径円筒部とから構成され、前記小径円筒部が前記蓋体を貫通して外部に露出するように取付けられていることを特徴とするオゾン生成装置。
The ozone generator according to any one of claims 1 to 3,
The air supply nozzle and the exhaust nozzle have a small-diameter cylindrical portion having a central hole provided in the center, and a plurality of horizontal holes that are continuous with the small-diameter cylindrical portion and communicate with the central hole of the small-diameter cylindrical portion on the outer peripheral surface. The ozone generator is characterized by comprising a large-diameter cylindrical portion provided radially, and the small-diameter cylindrical portion is attached so as to penetrate the lid and be exposed to the outside.
請求項4に記載のオゾン生成装置において、
前記大径円筒部の上端面が前記蓋体に対して気密に当接していることを特徴とするオゾン生成装置。
The ozone generator of Claim 4 WHEREIN:
An ozone generating apparatus, wherein an upper end surface of the large-diameter cylindrical portion is in airtight contact with the lid.
請求項1ないし5のいずれかに記載のオゾン生成装置において、
前記電極ピンは、前記放電電極に導体コイルばねを介して当接され、耐オゾン性材料からなる保持体により保持され、
前記保持体は、小径円筒部と、この小径円筒部に連なる大径円筒部とから構成され、かつ、前記大径円筒部の両端面が前記締付け部材の締付け力によって、それぞれ前記蓋体と前記絶縁基板に気密に当接したものであることを特徴とするオゾン生成装置。
The ozone generator according to any one of claims 1 to 5,
The electrode pin is brought into contact with the discharge electrode via a conductor coil spring and is held by a holder made of an ozone-resistant material,
The holding body includes a small-diameter cylindrical portion and a large-diameter cylindrical portion connected to the small-diameter cylindrical portion, and both end surfaces of the large-diameter cylindrical portion are respectively attached to the lid body and the fastening member by the tightening force of the tightening member. An ozone generator characterized by being in airtight contact with an insulating substrate.
請求項1ないし6のいずれかに記載のオゾン生成装置において、
前記導体プレートの下面にヒートシンクを配設したことを特徴とするオゾン生成装置。
The ozone generator according to any one of claims 1 to 6,
An ozone generator, wherein a heat sink is disposed on the lower surface of the conductor plate.
請求項1ないし7のいずれかに記載のオゾン生成装置において、
前記蓋体はガラスにより構成され、
前記導体プレートはステンレス鋼により構成され、
前記絶縁基板はセラミックにより構成され、
前記枠体、前記給気ノズル及び排気ノズルと前記保持体は、それぞれ耐オゾン性樹脂により構成されていることを特徴とするオゾン生成装置。
The ozone generator according to any one of claims 1 to 7,
The lid is made of glass,
The conductor plate is made of stainless steel,
The insulating substrate is made of ceramic,
The frame body, the air supply nozzle, the exhaust nozzle, and the holding body are each made of an ozone-resistant resin.
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