JP2006202662A - プラズマ発生装置及びその給電効率の最適化方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セラミックスからなる高耐熱性の絶縁体4の前方開口端4aからプラズマが出射される。先端が窄んだ略円筒形の金属製の外導体2は、同軸空洞Rの外殻部を形成している。外導体2、絶縁体4、及び金属製のプラズマ材料ガス導入管1は、何れも筒状に形成されて互いに同軸となる様に配置されている。外導体2とプラズマ材料ガス導入管1とは、可変機構6付近で電気的に接続されている。プラズマ材料ガス導入管1の導入口1aはプラズマ発生装置10の最後部に配置されており、一方、プラズマ材料ガス導入管1のガス吹き出し口1bはその反対側に配置されている。このガス吹き出し口1bの更に前部には、金属製の突起部材5が配設されて、電界が集中し易くなっている。
【選択図】図1−A
Description
これらの従来装置は、大型の磁気コイルや減圧機構などを用いて構成されている。
(1)真空若しくは低圧でプラズマを使用することを前提としているので、次の点で不利となることがある。
(a)磁気コイルや減圧機構が必要不可欠とされる。
(b)高温が必要な場合などでは、むしろ大気圧などの高圧下でのプロセス(スパッタリングやエッチングなど)の方が有利となることが多い。
(2)装置が大型となり易いので、次の点で不利である。
(a)設備コストが抑制し難い。
(b)運搬や取り扱いなどが必ずしも容易ではない。
また、本発明の更なる目的は、その大気圧プラズマ発生装置に対する給電効率の最適化を容易にすることである。
ただし、上記の個々の目的は、本発明の個々の手段の内の少なくとも何れか1つによって、個々に達成されれば十分であって、本願の個々の発明(下記の個々の手段)は、上記の全ての課題を同時に解決する具体的実施形態が存在することを必ずしも保証するものではない。
即ち、本発明の第1の手段は、マイクロ波を導波させる筒状の空洞を有するマイクロ波を用いたプラズマ発生装置において、空洞の外殻部を形成する中空の筒状の金属製の外導体と、略全体又は少なくとも一部が上記の外導体の内部に配置された、外導体と同軸の筒状の高耐熱性の絶縁体と、一部が上記の絶縁体の内部に配置され、外導体と導通された、外導体と同軸の筒状の金属製のプラズマ材料ガス導入管と、外導体の内部でかつ上記の絶縁体の外周に配置され、空洞へマイクロ波を放射する、外導体と同軸のループを有する同軸結合アンテナと、上記の絶縁体の内部でかつプラズマ材料ガス導入管のガス吹き出し口の前方に配置された金属製の放電アンテナとを備え、これにより、上記の絶縁体の前方開口端から大気圧プラズマを放出することである。
以下、本明細書においては、上記の大気圧プラズマが放出される側を本発明のプラズマ発生装置の前方とする。したがって、上記のプラズマ材料ガス導入管においてプラズマ材料ガスが導入される導入口は、本発明のプラズマ発生装置の後方に位置する。
また、本発明の第6の手段は、上記の第1乃至第5の何れか1つの手段において、放電アンテナは、トリウムが混合されたタングステンから成ることを特徴とする。
以上の本発明の手段により、前記の課題を効果的、或いは合理的に解決することができる。
即ち、本発明の第1の手段によれば、マイクロ波により上記の空洞内に高電界が発生し、上記の放電アンテナに電界が集中するので、プラズマ材料ガス導入管から導入されたプラズマ材料ガスは、効率よくプラズマ状態となる。この時、プラズマ材料ガス導入管や上記の絶縁体の管内は何れも略大気圧であるので、プラズマ材料ガスの注入流量を最適化することにより、本装置の前方に純度の良好なプラズマガスを放出することができる。同軸結合アンテナを用いたので、導波管を用いることなく、同軸ケーブルを用いて同軸結合アンテナに、マイクロ波を供給することができるので、装置を小型に構成することができる。
また、N型同軸コネクタなどを利用すれば、着脱操作も容易となり、更に、これらの部品は規格化されたり市販されたりしているので、装置の設計や製造も簡単になる。
通常、プラズマが発生している場合とそうでない場合とでは、空洞と同軸結合アンテナとの間のインピーダンスマッチングの最適条件は異なる。しかしながら、上記の可変機構を随時利用すれば、容易にインピーダンス整合の最適化を図ることができるため、常時、電力の使用効率の高いプラズマ発生装置を実現することも可能となる。
ただし、本発明の実施形態は、以下に示す個々の実施例に限定されるものではない。
同軸結合アンテナ3は、その正面図を図1−Cに示す様に、先端がループ状になっている。このループの中を絶縁体4が貫通し、同時にプラズマ材料ガス導入管1もこのループの中を貫通している。
外導体2の外径Dやプラズマ材料ガス導入管1の外径dは、例えばそれぞれ、D=30mm,d=3.2mm程度で良い。
プラズマ材料ガスとしては、例えば、アルゴン(Ar),酸素(O2 )、水素(H2 )などの一般に用いられている周知のガスを用いることができる。ガス流量は、本プラズマ発生装置10の場合、0.1〜10リットル/分程度が適当である。
また、同軸結合アンテナ3に対する給電電力は、概ね100W程度で良い。
通常、プラズマが発生している場合とそうでない場合とでは、空洞と同軸結合アンテナとの間のインピーダンスマッチングの最適条件は異なるが、上記の可変機構6を利用すれば、容易にインピーダンス整合の最適化を図ることができる。
1 : プラズマ材料ガス導入管
1a: 導入口
1b: ガス吹き出し口
2 : 外導体
2a: 略円錐台形の側壁部(外導体2の前部)
3 : 同軸結合アンテナ
4 : 高耐熱性の絶縁体
4a: 絶縁体4の前方開口端
5 : 放電アンテナ
6 : プラズマ材料ガス導入管1の位置を調整する可変機構
7 : N型同軸コネクタ
R : 同軸空洞
51: 突起
52: 放電アンテナ
Claims (9)
- マイクロ波を導波させる筒状の空洞を有するマイクロ波を用いたプラズマ発生装置において、
前記空洞の外殻部を形成する中空の筒状の金属製の外導体と、
略全体又は少なくとも一部が前記外導体の内部に配置された、前記外導体と同軸の筒状の高耐熱性の絶縁体と、
一部が前記絶縁体の内部に配置され、前記外導体と導通された、前記外導体と同軸の筒状の金属製のプラズマ材料ガス導入管と、
前記外導体の内部でかつ前記絶縁体の外周に配置され、前記空洞へ前記マイクロ波を放射する、前記外導体と同軸のループを有する同軸結合アンテナと、
前記絶縁体の内部でかつ前記プラズマ材料ガス導入管のガス吹き出し口の前方に配置された金属製の放電アンテナと
を有し、
前記絶縁体の前方開口端から大気圧プラズマを放出する
ことを特徴とするプラズマ発生装置。 - 前記外導体の前部は、
前記絶縁体を貫通させる貫通口を軸上に有する略円錐台形の側壁部から形成されていることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ発生装置。 - 前記同軸結合アンテナの前記ループは、
前記空洞の軸方向の全長の3等分点上に配置されている
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプラズマ発生装置。 - 前記放電アンテナは、
前記大気圧プラズマを放出する向きに突き出した突起を有し、
前記突起は、
前記絶縁体の軸上に配置されている
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載のプラズマ発生装置。 - 前記放電アンテナは、螺旋状のフィラメントであることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載のプラズマ発生装置。
- 前記放電アンテナは、トリウムが混合されたタングステンから成ることを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載のプラズマ発生装置。
- 前記同軸結合アンテナは、
同軸ケーブルによって給電されている
ことを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れか1項に記載のプラズマ発生装置。 - 前記プラズマ材料ガス導入管は、
軸方向の位置が調節可能な可変機構を有する
ことを特徴とする請求項1乃至請求項7の何れか1項に記載のプラズマ発生装置。 - 請求項8に記載のプラズマ発生装置に対する給電効率を最適化する方法であって、
前記可変機構により、前記同軸結合アンテナにおける前記マイクロ波の反射率を最小に設定する
ことを特徴とする給電効率の最適化方法。
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