JP2006200955A - Instrument for measuring magnetic field distribution - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、磁界分布測定装置に関し、特に、被測定機器から放射される雑音電波の強度を測定するために用いられる磁界分布測定装置に関する。 The present invention relates to a magnetic field distribution measuring apparatus, and more particularly to a magnetic field distribution measuring apparatus used for measuring the intensity of noise radio waves radiated from a device under measurement.
従来、電子機器から放射された雑音電波が他の電子機器の動作に障害を与えることを防止するため、各国において電子機器から放射される雑音電波の強度を規制している。この電子機器から放射される雑音電波の強度を測定するにあたって、例えば、特許文献1に記載の2次元電磁界強度測定装置は、上記雑音電波の電界又は磁界を電磁界プローブによって検出する。
しかし、上記特許文献1に記載の測定装置では、磁界プローブが所定の高さに固定されているため、被測定機器の表面と磁界プローブとが離間し、磁界強度は発生源から測定点までの距離に依存するため、測定感度が悪いという問題があった。また、同測定装置では、1本の磁界プローブを用いて2次元走査をするため、測定に長時間を要するという問題があった。
However, since the magnetic field probe is fixed at a predetermined height in the measurement apparatus described in
そこで、本発明は、上記従来の測定装置における問題点に鑑みてなされたものであって、測定感度が良好で、かつ、短時間で測定を行うことのできる磁界分布測定装置を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made in view of the problems in the above-described conventional measuring apparatus, and provides a magnetic field distribution measuring apparatus having good measurement sensitivity and capable of performing measurement in a short time. Objective.
上記目的を達成するため、本発明は、被測定機器から放射される雑音電波の磁界を測定する磁界分布測定装置であって、本体と、該本体から突出する複数の磁界プローブとを備えることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention provides a magnetic field distribution measuring apparatus for measuring a magnetic field of noise radio waves radiated from a device under test, comprising a main body and a plurality of magnetic field probes protruding from the main body. Features.
そして、本発明によれば、本体から突出する複数の磁界プローブによって磁界分布を測定するため、測定時間を短縮することができるとともに、このような磁界分布測定装置を組み合わせることによって、様々な形状の被測定機器に対応することができる。 According to the present invention, since the magnetic field distribution is measured by the plurality of magnetic field probes protruding from the main body, the measurement time can be shortened, and by combining such a magnetic field distribution measuring apparatus, various shapes can be obtained. It can correspond to the device under test.
前記磁界分布測定装置において、前記複数の磁界プローブの各々を、該磁界プローブの各々の軸線方向に伸縮可能とすることができる。これによって、被測定機器の表面と磁界プローブの先端部との間の距離を密着状態で一定に維持することができ、測定感度が向上する。すなわち、被測定機器に磁界分布測定装置を押し当てることにより、各磁界プローブが被測定機器表面の凹凸に沿って伸縮し、磁界強度測定は、磁界の発生源から測定点までの距離に依存するため、測定感度が向上する。 In the magnetic field distribution measuring apparatus, each of the plurality of magnetic field probes can be expanded and contracted in the axial direction of each of the magnetic field probes. As a result, the distance between the surface of the device under test and the tip of the magnetic field probe can be kept constant in a close contact state, and the measurement sensitivity is improved. That is, by pressing the magnetic field distribution measuring device against the device under measurement, each magnetic field probe expands and contracts along the unevenness of the surface of the device under measurement, and the magnetic field strength measurement depends on the distance from the magnetic field source to the measurement point. Therefore, measurement sensitivity is improved.
前記磁界分布測定装置において、前記複数の磁界プローブの各々を、弾性的伸縮手段によって、該磁界プローブの各々の軸線方向に伸縮可能とすることができる。弾性的伸縮手段には、ばね、ダンパー等を用いることができる。 In the magnetic field distribution measuring apparatus, each of the plurality of magnetic field probes can be expanded and contracted in the axial direction of each of the magnetic field probes by elastic expansion and contraction means. A spring, a damper, or the like can be used as the elastic expansion / contraction means.
前記複数の磁界プローブは、前記本体の該磁界プローブの取付面において、縦横に複数配列することができる。これによって、一度に基板等の全体の測定を行うことが可能となり、測定時の2次元走査の動作を省略することができ、測定時間を短縮することができる。 The plurality of magnetic field probes can be arranged vertically and horizontally on the mounting surface of the main body of the magnetic field probe. As a result, it is possible to measure the entire substrate or the like at a time, omitting the two-dimensional scanning operation during measurement, and shortening the measurement time.
前記磁界分布測定装置において、前記複数の磁界プローブの各々は、各々の磁界プローブの本体内部に磁気遮断手段を有するとともに、各々の磁界プローブの先端部が伸縮し、磁界分布測定時に、各々の磁界プローブの先端部が該磁界プローブの本体内部において、前記磁気遮断手段によって囲繞されるように構成することができる。これによって、隣接する磁界プローブ間での磁気の影響を回避することができ、狭ピッチの磁界測定にも対応することができる。 In the magnetic field distribution measuring apparatus, each of the plurality of magnetic field probes has a magnetic shielding means inside the main body of each magnetic field probe, and the tip of each magnetic field probe expands and contracts. The tip of the probe can be configured to be surrounded by the magnetic shielding means inside the main body of the magnetic field probe. As a result, the influence of magnetism between adjacent magnetic field probes can be avoided, and a narrow pitch magnetic field measurement can also be handled.
以上のように、本発明によれば、測定感度が良好で、かつ、短時間で測定を行うことのできる磁界分布測定装置を提供することが可能となる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a magnetic field distribution measuring apparatus that has good measurement sensitivity and can perform measurement in a short time.
図1は、本発明にかかる磁界分布測定装置の一実施の形態を示し、この磁界分布測定装置は、大別して、本体1と、本体1の内部に縦横に高精度に配列され、各々軸線方向に伸縮可能な複数の磁界プローブ2と、外部接続コネクタ3と、磁界プローブ2と外部接続コネクタ3とを接続するケーブル4とで構成される。
FIG. 1 shows an embodiment of a magnetic field distribution measuring apparatus according to the present invention. This magnetic field distribution measuring apparatus is roughly divided into a
次に、上記構成を有する磁界分布測定装置による被測定機器から放射される雑音電波の磁界測定時の動作について、図2を参照しながら説明する。 Next, the operation at the time of magnetic field measurement of noise radio waves radiated from the device under test by the magnetic field distribution measuring apparatus having the above configuration will be described with reference to FIG.
図2(a)に示すように、被測定機器6の表面には、種々の実装部品によって凹凸が存在する。そこで、磁界分布測定装置の本体1を被測定機器6へ押し当てると、図2(bに示すように、被測定機器6表面の凹凸に沿って各磁界プローブ2が伸縮する。これによって、被測定機器6の表面と磁界プローブ2の先端部が密着状態になり、被測定機器6から放射される雑音電波の磁界測定時に、被測定機器6の表面と磁界プローブ2の先端部との間の距離を一定に維持することができる。
As shown to Fig.2 (a), the unevenness | corrugation exists in the surface of the to-
図3は、上記磁界プローブ2の伸縮動作の一実施例を示し、本実施例では、磁界プローブ2をエアダンパー7又はオイルダンパー8によって伸縮させている。すなわち、本体1に設置された磁界プローブ2の上部にエアダンパー7又はオイルダンパー8を設け、被測定機器6に本体1を押し当てると、エアダンパー7(又はオイルダンパー8)の弾性により、磁界プローブ2が伸縮動作する。尚、2点鎖線は、被測定機器6に本体1を押し当てた時の磁界プローブ2及びエアダンパー7(又はオイルダンパー8)を示す。
FIG. 3 shows an embodiment of the expansion and contraction operation of the
図4は、上記磁界プローブ2の伸縮動作のもう一つの実施例を示し、本実施例では、板ばね9を用いて磁界プローブ2を伸縮させている。すなわち、本体1に設置された磁界プローブ2の上部に板ばね9を設け、被測定機器6に本体1を押し当てると、板ばね9の弾性により、磁界プローブ2が伸縮動作する。板ばね9の材質は、金属、プラスチック等である。尚、2点鎖線は、被測定機器6に本体1を押し当てた時の磁界プローブ2及び板ばね9を示す。
FIG. 4 shows another embodiment of the expansion and contraction operation of the
次に、上記磁界分布測定装置を用いた磁界分布の測定要領について、図5を参照しながらより具体的に説明する。 Next, the magnetic field distribution measuring procedure using the magnetic field distribution measuring apparatus will be described more specifically with reference to FIG.
図5(a)に示すように1台の磁界分布測定装置の本体1によって被測定機器6の狭い範囲への磁界測定を基本形とし、図5(b)に示すように、n台の本体1を平面状に接続して広範囲の磁界測定へも対応することができる。また、図5(c)に示すように、n個の本体1を磁界測定の対象とする所望の範囲に合わせて、様々な形状に組み合わせることもできる。
As shown in FIG. 5 (a), the
上記磁界プローブ2は、図6に示すように、本体内側にシールド(磁気遮断手段)2aが形成され、本体内部のばね2bにより先端部2cが伸縮する。このように構成することにより、被測定機器6に磁界分布測定装置の本体1を押し当てると、図6(b)に示すように、磁界プローブ2の先端部2cがばね2bにより収縮して上方に移動し、磁界プローブ2の本体内部へ収納される。これにより、磁界プローブ2を狭ピッチに設置しても、各測定ポイントにおいて、隣接するポイントからの磁界の影響を受けることがない。
As shown in FIG. 6, the
1 (磁界分布測定装置)本体
2 磁界プローブ
2a シールド
2b ばね
2c 先端部
3 外部接続コネクタ
4 ケーブル
5 コイルばね
6 被測定機器
7 エアダンパー
8 オイルダンパー
9 板ばね
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 (Magnetic field distribution measuring apparatus)
Claims (5)
本体と、
該本体から突出する複数の磁界プローブとを備えることを特徴とする磁界分布測定装置。 A magnetic field distribution measuring device for measuring a magnetic field of noise radio waves radiated from a device under test,
The body,
A magnetic field distribution measuring apparatus comprising: a plurality of magnetic field probes protruding from the main body.
Priority Applications (1)
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JP2005011014A JP2006200955A (en) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | Instrument for measuring magnetic field distribution |
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2005
- 2005-01-19 JP JP2005011014A patent/JP2006200955A/en active Pending
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