JP2006194714A - フィードバック制御可能な位置決め台 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 中空状のベース内に複数組の連結機構で位置決め台が架設され、該連結機構は板バネで製造されたヒンジ式の機構とされ、ベースと位置決め台間の各軸方向位置にアクチュエータが取り付けられ、アクチュエータの作動時に、位置決め台がベース内で各軸方向の微幅の移動可能で、並びに連結機構を押圧して変形させ、別に連結機構にひずみゲージが取り付けられて連結機構の弾性変形量を検出し、ひずみゲージが電子信号をコントローラにフィードバックし、コントローラの演算により制御信号を修正してアクチュエータを正確に作動させ、位置決め台を正確な位置に移動させる。
【選択図】 図3
Description
ベースと、
該ベース内に設けられた少なくとも一つの位置決め台と、
該位置決め台を接続架設する複数組の連結機構と、
該位置決め台に接続され、並びに位置決め台を軸方向に駆動して移動させる少なくとも一つのアクチュエータと、
該連結機構に設けられて連結機構の変形量を測定するひずみゲージと、
を具えたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台としている。
請求項2の発明は、請求項1記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、ひずみゲージの出力信号がコントローラに接続され、コントローラの演算により、制御信号がアクチュエータに出力されてアクチュエータの作動信号が修正されることを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台としている。
請求項3の発明は、請求項1記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、位置決め台が多軸方向に移動可能な位置決め台とされたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台としている。
請求項4の発明は、請求項1記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、位置決め台が一組の積層式の位置決め台構造とされ、各層の位置決め台が単一軸方向或いは多軸方向に移動可能とされたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台としている。
請求項5の発明は、請求項1記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、連結機構の少なくとも一組が撓み性機構とされ、その他の連結機構が撓み性機構、レボリュート対(Revolute Pair)、プリスマティック対(Prismatic Pair)或いは球面対(Spherical Pair)とされたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台としている。
請求項6の発明は、請求項5記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、撓み性機構とされた連結機構が板バネで構成された撓み性機構とされたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台としている。
請求項7の発明は、請求項1記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、アクチュエータが圧電材料、線形モータ、或いは回転モータとされたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台としている。
請求項8の発明は、請求項7記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、圧電材料とされたアクチュエータが撓み性ヒンジ対で位置決め台に接続されたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台としている。
請求項9の発明は、請求項1記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、アクチュエータが位置決め台の移動方向により、一つ或いは一つ以上の軸方向に分布するよう配置されて位置決め台を一つ或いは一つ以上の軸方向に移動させることを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台としている。
請求項10の発明は、請求項1記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、ひずみゲージがアクチュエータの反対側の連結機構に設けられたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台としている。
12 板バネ 13 板バネ
14 板バネ 15 位置センサ
20 圧電式アクチュエータ 21 板バネ
22 板バネ 23 板バネ
24 板バネ 25 位置センサ
30 コントローラ
40 ベース 41 位置決め台
42 溝 43 連結機構
431 板バネ 44 アクチュエータ
441 撓み性ヒンジ対 45 アクチュエータ
451 撓み性ヒンジ対 46 連結機構
461 板バネ 47 アクチュエータ
471 撓み性ヒンジ対 48 アクチュエータ
481 撓み性ヒンジ対 49 連結機構
491 板バネ 50 ひずみゲージ
51 ひずみゲージ 52 コントローラ
60 ベース 61 メイン位置決め台
62 連結機構 621 板バネ
63 アクチュエータ 64 サブ位置決め台
65 連結機構 651 板バネ
66 アクチュエータ 67 ひずみゲージ
68 ひずみゲージ
Claims (10)
- フィードバック制御可能な位置決め台において、
ベースと、
該ベース内に設けられた少なくとも一つの位置決め台と、
該位置決め台を接続架設する複数組の連結機構と、
該位置決め台に接続され、並びに位置決め台を軸方向に駆動して移動させる少なくとも一つのアクチュエータと、
該連結機構に設けられて連結機構の変形量を測定するひずみゲージと、
を具えたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台。 - 請求項1記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、ひずみゲージの出力信号がコントローラに接続され、コントローラの演算により、制御信号がアクチュエータに出力されてアクチュエータの作動信号が修正されることを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台。
- 請求項1記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、位置決め台が多軸方向に移動可能な位置決め台とされたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台。
- 請求項1記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、位置決め台が一組の積層式の位置決め台構造とされ、各層の位置決め台が単一軸方向或いは多軸方向に移動可能とされたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台。
- 請求項1記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、連結機構の少なくとも一組が撓み性機構とされ、その他の連結機構が撓み性機構、レボリュート対(Revolute Pair)、プリスマティック対(Prismatic Pair)或いは球面対(Spherical Pair)とされたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台。
- 請求項5記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、撓み性機構とされた連結機構が板バネで構成された撓み性機構とされたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台。
- 請求項1記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、アクチュエータが圧電材料、線形モータ、或いは回転モータとされたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台。
- 請求項7記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、圧電材料とされたアクチュエータが撓み性ヒンジ対で位置決め台に接続されたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台。
- 請求項1記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、アクチュエータが位置決め台の移動方向により、一つ或いは一つ以上の軸方向に分布するよう配置されて位置決め台を一つ或いは一つ以上の軸方向に移動させることを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台。
- 請求項1記載のフィードバック制御可能な位置決め台において、ひずみゲージがアクチュエータの反対側の連結機構に設けられたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005005983A JP2006194714A (ja) | 2005-01-13 | 2005-01-13 | フィードバック制御可能な位置決め台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005005983A JP2006194714A (ja) | 2005-01-13 | 2005-01-13 | フィードバック制御可能な位置決め台 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006194714A true JP2006194714A (ja) | 2006-07-27 |
Family
ID=36800914
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005005983A Pending JP2006194714A (ja) | 2005-01-13 | 2005-01-13 | フィードバック制御可能な位置決め台 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006194714A (ja) |
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2005
- 2005-01-13 JP JP2005005983A patent/JP2006194714A/ja active Pending
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