JP2006189298A - Gas chromatograph mass spectrometer and reduction method of background using it - Google Patents

Gas chromatograph mass spectrometer and reduction method of background using it Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas chromatograph mass spectrometer capable of removing fundamentally He<SP>*</SP>which is a main cause of a background originated in He. <P>SOLUTION: An electron source 38 for He<SP>*</SP>ionization is provided between an ionization chamber 32 and QMF 36 disposed in a vacuum chamber 31 of an MS part 30, and He<SP>*</SP>emitted from the ionization chamber 32 is irradiated with electrons having proper energy, and thereby ionized into He<SP>+</SP>. Otherwise, a collision chamber is provided between the ionization chamber 32 and the QMF 36, and the collision chamber is filled with N<SB>2</SB>gas by a gas supply part, and He<SP>*</SP>emitted from the ionization chamber 32 is interacted with N<SB>2</SB>in the collision chamber, and thereby changed into He in the ground state. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ガスクロマトグラフ質量分析装置に関する。   The present invention relates to a gas chromatograph mass spectrometer.

ガスクロマトグラフ質量分析装置(以下、適宜GCMSと略す)は、図5に示すように、試料に混在する各成分を時間的に分離するためのガスクロマトグラフ部(以下、適宜GC部と略す)10と、GC部10で分離された成分を質量数(質量/電荷)に基づいて分離・検出するための質量分析部(以下、適宜MS部と略す)30をインターフェイス部20で連結した構成を有している。MS部30は試料を電離するためのイオン化用電子源33が配設されたイオン化室32と、イオン化した試料を質量に基づいて分離するQMF(Quadrupole-mass-filter、四重極マスフィルタ )などの質量分離器36と、該質量分離器36によって分離されたイオンを検出する検出器37を備えている。イオン化室32で発生したイオンはイオン化室32と引き出し電極34との間の電位差によってイオン化室32から引き出され、イオン輸送光学系35を介して質量分離器36に進入する。   As shown in FIG. 5, a gas chromatograph mass spectrometer (hereinafter abbreviated as GCMS) includes a gas chromatograph part (hereinafter abbreviated as GC part) 10 for temporally separating components mixed in a sample, The interface unit 20 has a configuration in which a mass analysis unit (hereinafter abbreviated as MS unit) 30 for separating and detecting components separated by the GC unit 10 based on the mass number (mass / charge) is connected. ing. The MS unit 30 includes an ionization chamber 32 in which an ionization electron source 33 for ionizing a sample is disposed, a QMF (Quadrupole-mass-filter) that separates the ionized sample based on mass, and the like. Mass separator 36 and a detector 37 for detecting ions separated by the mass separator 36. Ions generated in the ionization chamber 32 are extracted from the ionization chamber 32 due to a potential difference between the ionization chamber 32 and the extraction electrode 34 and enter the mass separator 36 through the ion transport optical system 35.

試料は、キャリアガスである希ガス(通常Heを用いる)と混合されてGC部10に導入され、該GC部10のカラム12で分離されてMS部30のイオン化室32に導入される。通常、イオン化室32では70 eVの電子ビームによって試料が電離されるが、この時、試料と共にイオン化室32に流入したHeガスも電離・励起される。Heが電離されるとHe+(電離エネルギー:24.6 eV)が生成されるが、Heが基底状態よりも高いエネルギー準位で寿命の長い準安定状態に励起されると、He*(メタステーブルヘリウム、21S He*の励起エネルギー:20.61 eV、23S He*の励起エネルギー:19.82 eV)が生成される。 The sample is mixed with a rare gas (usually using He) as a carrier gas, introduced into the GC unit 10, separated by the column 12 of the GC unit 10, and introduced into the ionization chamber 32 of the MS unit 30. Normally, the sample is ionized in the ionization chamber 32 by a 70 eV electron beam. At this time, the He gas flowing into the ionization chamber 32 together with the sample is also ionized and excited. When He is ionized, He + (ionization energy: 24.6 eV) is generated, but when He is excited to a metastable state with a higher energy level than the ground state and a long lifetime, He * (metastable helium , 2 1 S He * excitation energy: 20.61 eV, 2 3 S He * excitation energy: 19.82 eV).

キャリアガスHeから生成されるHe+やHe*は、高感度分析を行う場合に無視できないバックグラウンド成分となり、S/N比低下の要因となる。但し、He由来バックグラウンドのうち、He+に起因するものは、適当な電磁界を設けることにより、He+がイオン検出器37に到達する前に除去することが可能である。 He + or He * generated from the carrier gas He becomes a background component that cannot be ignored when performing high-sensitivity analysis, and causes a decrease in the S / N ratio. However, of He from the background, due to He +, by providing a suitable electromagnetic field, He + it is possible to remove before reaching the ion detector 37.

これに対し、He*は電気的に中性であるため電磁界によって除去することができない。真空チャンバ31内に残存するHe*はエネルギーを運ぶキャリアとして振る舞い、周囲の原子・分子と相互作用してイオン化現象を引き起こす。例えば、金属表面原子とHe*が相互作用すると、He*は金属表面原子に電子を与えてHe+となる。このような現象は共鳴イオン化と呼ばれる。また、装置内の残留ガス(X)のような絶縁物とHe*が相互作用すると、相手原子(分子)を電離してX+を生成する。このような現象はペニングイオン化と呼ばれる。すなわち、He*に起因するバックグラウンドには、He*自身が検出器37に到達することによって生じるものだけでなく、He*から二次的に生成されるHe+やX+が検出器37で検出されることによって生じるものもある。 On the other hand, since He * is electrically neutral, it cannot be removed by an electromagnetic field. He * remaining in the vacuum chamber 31 behaves as a carrier for carrying energy and interacts with surrounding atoms / molecules to cause an ionization phenomenon. For example, when a metal surface atom and He * interact, He * gives an electron to the metal surface atom and becomes He + . Such a phenomenon is called resonance ionization. Further, when an insulator such as residual gas (X) in the apparatus interacts with He * , the partner atom (molecule) is ionized to generate X + . Such a phenomenon is called Penning ionization. That is, the background due to the He *, not only caused by the He * itself reaches the detector 37, with He + or X + is a detector 37 that is generated from the He * secondarily Some are caused by being detected.

なお、He以外の希ガスにも準安定状態が存在し、これらをGCMSのキャリアガスとして使用する場合にも同様の問題が生じる。しかし、準安定希ガスの中でも、He*の内部エネルギーが最も大きく、他の原子・分子との相互作用によるイオン化が起こりやすい。 Note that metastable states also exist in rare gases other than He, and the same problem arises when these are used as a carrier gas for GCMS. However, among metastable rare gases, the internal energy of He * is the largest, and ionization is likely to occur due to interactions with other atoms and molecules.

そこで、このようなバックグラウンドを低減するためのものとして、装置を構成する光学要素の光軸を一部、同一直線上からずらしたオフアクシス(off-axis)方式のGCMSが開発されている(特許文献1)。これは、イオン化室と質量分離器の間、又は質量分離器と検出器の間で光軸をずらし、直進してくるHe*をイオン光軸上から逸脱させて質量分離器又は検出器への進入を阻止することにより、He*に起因するバックグラウンドの発生を抑えるものである。 In order to reduce such background, an off-axis GCMS in which the optical axes of the optical elements constituting the apparatus are partially offset from the same straight line has been developed ( Patent Document 1). This is because the optical axis is shifted between the ionization chamber and the mass separator or between the mass separator and the detector, and the straight traveling He * is deviated from the ion optical axis to the mass separator or detector. By preventing entry, the background caused by He * is suppressed.

米国特許第3410997号公報U.S. Pat.No. 3,410,997

上記のようなオフアクシス方式のGCMSにおいて、光軸が同一直線上に配置されていない光学要素間を連結するためには、図6に示すように、両者の間に曲線状光軸を有するイオン輸送光学系60を設ける必要がある。このようなイオン輸送光学系60は、一般的な直線状光軸を有するイオン輸送光学系に比べて、設計・製作上の難易度が高いため、装置の製造コストの増大を招くという問題がある。更に、このような曲線状光軸を有するイオン輸送光学系60では、信号イオンの損失が生じる可能性がある。   In the off-axis GCMS as described above, in order to connect optical elements whose optical axes are not arranged on the same straight line, as shown in FIG. 6, ions having a curved optical axis between them are used. It is necessary to provide the transport optical system 60. Such an ion transport optical system 60 has a problem that the manufacturing cost of the apparatus is increased because the degree of difficulty in design and manufacture is higher than that of a general ion transport optical system having a linear optical axis. . Further, in the ion transport optical system 60 having such a curved optical axis, signal ions may be lost.

また、オフアクシス方式によれば、指向性を持ってQMFへ進行してくるHe*を除去することはできるが、浮遊しながら流れていくHe*や、Heや残留ガスと衝突して直線と異なる軌道をとるHe*は、上記曲線状光軸を有するイオン輸送光学系60に沿って飛行してしまい、除去することができない場合がある。また、上記イオン輸送光学系60を逸脱したHe*が真空チャンバー内壁に衝突してHe+となったり、残留ガスXと相互作用してX+を生成したりして、これら二次的なイオンがイオン検出器に到達してしまう場合もある。 Further, according to the off-axis method, although it is possible to remove the He * coming proceeds to QMF with directivity, He * and which flows while floating, and the straight line collides with He or residual gas He * taking different trajectories may fly along the ion transport optical system 60 having the curved optical axis and cannot be removed. Further, He * deviating from the ion transport optical system 60 collides with the inner wall of the vacuum chamber to become He + , or interacts with the residual gas X to generate X + , so that these secondary ions are generated. May reach the ion detector.

そこで、本発明が解決しようとする課題は、単純な構造によってHe由来バックグラウンドの主原因であるHe*を根本的に除去することができるガスクロマトグラフ質量分析装置を提供することである。 Therefore, the problem to be solved by the present invention is to provide a gas chromatograph mass spectrometer capable of fundamentally removing He * , which is the main cause of the He-derived background, with a simple structure.

上記課題を解決するために成された本発明に係るガスクロマトグラフ質量分析装置の第1の態様のものは、試料を時間的に分離するカラムを備えたガスクロマトグラフ部と、ガスクロマトグラフ部から導入された試料をイオン化するイオン化室、該イオンを質量に基づいて分離する質量分離器、及び質量分離されたイオンを検出するイオン検出器を備えた質量分析部を備えたガスクロマトグラフ質量分析装置において、
前記イオン化室と質量分離器との間に、前記イオン化室内で発生した準安定希ガスを電離させるための電子照射手段又は光子照射手段を設けたことを特徴とする。
In order to solve the above problems, the first aspect of the gas chromatograph mass spectrometer according to the present invention is introduced from a gas chromatograph unit having a column for temporally separating a sample and a gas chromatograph unit. In a gas chromatograph mass spectrometer equipped with an ionization chamber for ionizing a sample, a mass separator for separating the ions based on mass, and a mass analyzer equipped with an ion detector for detecting mass-separated ions,
An electron irradiation means or a photon irradiation means for ionizing a metastable noble gas generated in the ionization chamber is provided between the ionization chamber and the mass separator.

なお、イオン化室から出てきた信号イオンをフラグメント化することなく、バックグラウンドの低減のみを目的とする場合には、上記電子照射手段(又は光子照射手段)によって照射される電子(又は光子)エネルギーを、キャリアガス由来の準安定希ガスを電離するために必要な最小限のエネルギーに設定する。また、電子(光子)照射により、イオン化室から出てきた信号イオンを積極的にフラグメント化させたい場合には、上記イオン化室で発生する準安定希ガスの電離及び信号イオンのフラグメント化が可能であって、かつ、準安定希ガスを新たに生成することがない程度のエネルギーに設定する。   When the purpose is to reduce the background without fragmenting the signal ions coming out of the ionization chamber, the electron (or photon) energy irradiated by the electron irradiation means (or photon irradiation means) is used. Is set to the minimum energy required to ionize the metastable noble gas derived from the carrier gas. In addition, when it is desired to actively fragment signal ions emitted from the ionization chamber by electron (photon) irradiation, ionization of metastable rare gas generated in the ionization chamber and fragmentation of signal ions are possible. In addition, the energy is set so as not to newly generate a metastable rare gas.

本発明に係るガスクロマトグラフ質量分析装置の第2の態様のものは、試料を時間的に分離するためのカラムを備えたガスクロマトグラフ部と、ガスクロマトグラフ部から導入された試料をイオン化するイオン化室、該イオンを質量に基づいて分離する質量分離器、及び質量分離されたイオンを検出するイオン検出器を備えた質量分析部を備えたガスクロマトグラフ質量分析装置において、
前記イオン化室と質量分離器の間の空間及び/又は前記質量分離器内部の空間に、中性のガス分子を導入するためのガス供給手段を設けたことを特徴とする。
A gas chromatograph mass spectrometer according to a second aspect of the present invention includes a gas chromatograph unit having a column for temporally separating a sample, an ionization chamber for ionizing a sample introduced from the gas chromatograph unit, In a gas chromatograph mass spectrometer equipped with a mass separator that separates the ions based on mass, and a mass analyzer equipped with an ion detector that detects the mass-separated ions,
Gas supply means for introducing neutral gas molecules is provided in the space between the ionization chamber and the mass separator and / or in the space inside the mass separator.

また、上記第2の態様のガスクロマトグラフ質量分析装置においては、イオン化室と質量分離器との間に衝突室を設け、上記ガス供給手段によって該衝突室に中性のガス分子を導入する構成としてもよい。   In the gas chromatograph mass spectrometer of the second aspect, a collision chamber is provided between the ionization chamber and the mass separator, and neutral gas molecules are introduced into the collision chamber by the gas supply means. Also good.

なお、上記中性のガス分子としては、N2又はHeを使用することが望ましい。 Note that N 2 or He is preferably used as the neutral gas molecule.

上記本発明のガスクロマトグラフ質量分析装置の第1の態様のものにおいては、電子又は光子を照射することでHe*に適当なエネルギーを与えて電離させ、He+とすることにより質量分離器による除去を可能とし、He*やそれに由来する二次イオンが検出器で検出されるのを防いでバックグラウンドを低減させることができる。また、このときHe*に照射する電子又は光子のエネルギーを適当に設定することにより、信号イオンのフラグメント化を引き起こすことのないようにしたり、逆に信号イオンを積極的に発生させたりすることができる。 In the first aspect of the gas chromatograph mass spectrometer of the present invention described above, removal by a mass separator is performed by applying appropriate energy to He * by irradiating electrons or photons to ionize He * , and making it He +. The background can be reduced by preventing He * and secondary ions derived therefrom from being detected by the detector. In addition, by appropriately setting the energy of electrons or photons irradiated to He * at this time, it is possible to prevent fragmentation of signal ions or to actively generate signal ions. it can.

本発明のガスクロマトグラフ質量分析装置の第2の態様のものにおいては、予め上記ガス供給手段によって上記イオン化室と質量分離器の間の空間及び/又は上記質量分離器内部の空間に中性のガス分子を導入しておくことにより、He*に起因するバックグラウンドの発生を抑えることができる。これはおそらく、イオン化室から出てきたHe*がN2分子等と相互作用し、相手分子をイオン化させると同時に自身がHeに変わる(ペニングイオン化)ため、あるいはイオン化室から出てきたHe*がガス供給手段によって装置内に導入されたHe分子等と衝突することによって、内部エネルギーを失って基底状態のHeへと緩和されることなどによって、QMF下流に流入するHe*量が減少するためと考えられる。また、このようなガスは、信号イオンと衝突することによって、該信号イオンを光軸上に収束させる効果もあり、これにより、上記バックグラウンドの低減と同時に信号イオンの強度を高めることができ、よりS/N比の高い分析を実現することができる。 In the second aspect of the gas chromatograph mass spectrometer of the present invention, a neutral gas is previously introduced into the space between the ionization chamber and the mass separator and / or the space inside the mass separator by the gas supply means. By introducing molecules, the background caused by He * can be suppressed. This is probably because He * coming out of the ionization chamber interacts with N 2 molecules, etc., and ionizes the partner molecule, and at the same time changes itself to He (Penning ionization), or He * coming out of the ionization chamber By colliding with He molecules introduced into the device by the gas supply means, the amount of He * flowing downstream of the QMF decreases due to loss of internal energy and relaxation to the ground state He. Conceivable. In addition, such a gas also has an effect of converging the signal ion on the optical axis by colliding with the signal ion, and thereby, the intensity of the signal ion can be increased simultaneously with the reduction of the background, Analysis with a higher S / N ratio can be realized.

また、上記いずれの態様のクロマトグラフ質量分析装置においても、オフアクシス法を用いることなく、He*を根本的に除去することができるため、製造コストを抑えることができると共に、曲線光軸光学系を用いた場合に懸念される信号イオンの損失がなく、信号強度を維持したままバックグラウンドを低減することができる。 In any of the above-described chromatographic mass spectrometers, He * can be fundamentally removed without using an off-axis method, so that the manufacturing cost can be reduced and the curved optical axis optical system can be suppressed. There is no loss of signal ions, which is a concern when using, and the background can be reduced while maintaining the signal intensity.

以下、実施例を用いて本発明を実施するための最良の形態について説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described using embodiments.

[実施例1]
本実施例のガスクロマトグラフ質量分析装置は、図1に示すように、GC部10とMS部30をインターフェイス部20で連結した構成から成る。
[Example 1]
As shown in FIG. 1, the gas chromatograph mass spectrometer of the present embodiment has a configuration in which a GC unit 10 and an MS unit 30 are connected by an interface unit 20.

GC部10に於いて、カラムオーブン13により適度の温度に加熱されたカラム(キャピラリカラム)12には、インジェクタ11の一部である試料気化室を介して所定流量のキャリアガス(Heガス)が供給され、マイクロシリンジ等により試料気化室に注入された液体試料は即座に気化してキャリアガス流に乗ってカラム12内に送られる。カラム12を通過する間に試料ガス中の各成分は時間的に分離されてその出口に到達し、インターフェイス部20を介して試料導入管21からMS部30のイオン化室32に導入される。   In the GC unit 10, a carrier gas (He gas) having a predetermined flow rate is supplied to a column (capillary column) 12 heated to an appropriate temperature by a column oven 13 through a sample vaporization chamber that is a part of the injector 11. The liquid sample supplied and injected into the sample vaporizing chamber by a microsyringe or the like is immediately vaporized and is carried in the carrier gas flow and sent into the column 12. While passing through the column 12, each component in the sample gas is temporally separated and reaches its outlet, and is introduced into the ionization chamber 32 of the MS unit 30 from the sample introduction tube 21 through the interface unit 20.

MS部30において、イオン化室32には電子ビームを発生するためのイオン化用電子源33が付設されており、イオン化室32に導入された試料分子は電子ビームによってイオン化される。発生したイオンは引き出し電極34が作る電界によってイオン化室32の外側に引き出され、直線状光軸を有するイオン輸送光学系35により収束されてQMF(又は他の質量分離器)36の長軸方向の空間に導入される。QMF36には直流電圧と高周波電圧とを重畳した電圧が印加され、該印加電圧に応じた質量数(質量m/電荷z)を有するイオンのみがその長軸方向の空間を通過し、検出器37に到達して検出される。イオン化室32、イオン輸送光学系35、QMF36及び検出器37は、図示しない真空ポンプにより真空吸引される真空チャンバ31内に配設されている。   In the MS unit 30, an ionization electron source 33 for generating an electron beam is attached to the ionization chamber 32, and sample molecules introduced into the ionization chamber 32 are ionized by the electron beam. The generated ions are extracted to the outside of the ionization chamber 32 by the electric field generated by the extraction electrode 34, converged by the ion transport optical system 35 having a linear optical axis, and in the long axis direction of the QMF (or other mass separator) 36. Introduced into space. A voltage obtained by superimposing a DC voltage and a high-frequency voltage is applied to the QMF 36, and only ions having a mass number (mass m / charge z) corresponding to the applied voltage pass through the space in the major axis direction, and the detector 37 Will be detected. The ionization chamber 32, the ion transport optical system 35, the QMF 36, and the detector 37 are disposed in a vacuum chamber 31 that is vacuumed by a vacuum pump (not shown).

上記イオン輸送光学系35領域には、図2に示すように、イオン化室32から出てきたHe*を電離するためのHe*電離用電子源38が設けられている。該電子源38から発生する電子ビームは、イオン輸送光学系35を構成する電極の間を通ってイオン化室32/QMF36間の光路上に照射され、該電子ビームによってイオン化室32から出てきたHe*が励起されてHe+に変えられる。なお、このようにしてイオン輸送光学系35領域で発生したHe+は、後段のQMF36の質量分離機能によって信号イオンと区別して除去することができる。 In the ion transport optical system 35 region, as shown in FIG. 2, a He * ionization electron source 38 for ionizing He * emitted from the ionization chamber 32 is provided. The electron beam generated from the electron source 38 is irradiated on the optical path between the ionization chamber 32 / QMF 36 through the electrodes constituting the ion transport optical system 35, and the He beam exiting the ionization chamber 32 by the electron beam. * Is excited and converted to He + . It should be noted that the He + generated in the ion transport optical system 35 region in this way can be removed separately from the signal ions by the mass separation function of the subsequent QMF 36.

なお、本実施例のガスクロマトグラフ質量分析装置において、信号イオンをフラグメント化させることなく、He*を除去したい場合には、He*電離用電子源38を、He*の電離に必要な最小限のエネルギーを有する電子を照射するように設定し、逆に、信号イオンを積極的にフラグメント化させたい場合には、比較的大きなエネルギーを持つ電子を照射するように設定する。但し、このとき新たなHe*の生成を避けるために、照射する電子のエネルギーは、He*の励起エネルギーよりも低くなるようにする。ここで、基底状態のHeを電離してHe+にするためのエネルギーは24.6 eVであり、基底状態のHeを準安定状態のHe*に励起するのに必要なエネルギーは21S He*で20.61 eV, 23S He*では19.82 eVである。従って、具体的には、4.78 eV以上のエネルギーを有する電子又は光子をHe*に照射することにより、He*をHe+に電離させることが可能であり、信号イオンのフラグメント化を抑えたい場合は、4.78 eVより極端に大きくないエネルギーを持つ電子(光子)を照射し、信号イオンのフラグメント化を意図的に起こす場合には、19.82 eV以下でより大きめのエネルギーを有する電子(光子)を照射する。 In the gas chromatograph mass spectrometer of the present embodiment, when it is desired to remove He * without fragmenting signal ions, the He * ionization electron source 38 is set to the minimum necessary for ionization of He * . Setting is made so that electrons having energy are irradiated, and conversely, when it is desired to actively fragment signal ions, setting is made so that electrons having relatively large energy are irradiated. However, at this time, in order to avoid generation of new He * , the energy of the irradiated electrons is made lower than the excitation energy of He * . Here, the energy required to ionize the ground state He to He + is 24.6 eV, and the energy required to excite the ground state He to the metastable He * is 2 1 S He * . In 20.61 eV, 2 3 S He * , it is 19.82 eV. Therefore, specifically, by irradiating He * with electrons or photons having energy of 4.78 eV or more, it is possible to ionize He * to He + , and when fragmentation of signal ions is to be suppressed. , When irradiating electrons (photons) with energy not significantly greater than 4.78 eV and intentionally causing fragmentation of signal ions, irradiate electrons (photons) with higher energy below 19.82 eV .

このように、本実施例のガスクロマトグラフ質量分析装置は、オフアクシス方式のようにHe*を光路から逸脱させるのではなく、電子ビームの照射によってHe*を電離させて根本的に除去するものであり、二次的なバックグラウンドイオンの発生もなく、効率的にバックグラウンドの低減を行うことができる。 Thus, the gas chromatograph mass spectrometer of this example does not deviate He * from the optical path as in the off-axis method, but fundamentally removes He * by ionizing by irradiation with an electron beam. There is no generation of secondary background ions, and the background can be reduced efficiently.

なお、上記実施例のガスクロマトグラフ質量分析装置は、更に、上記のようなHe*電離用電子(又は光子)源を複数設けたものとしてもよい。このような構成とすることにより、He*電離領域を大きくし、He*除去量を容易に増大させることができる。 The gas chromatograph mass spectrometer of the above embodiment may further include a plurality of He * ionization electron (or photon) sources as described above. With such a configuration, the He * ionization region can be increased and the amount of He * removal can be easily increased.

[実施例2]
本実施例のガスクロマトグラフ質量分析装置の構成を図3及び図4に示す。なお、上記実施例1と同様の構成については同一符号を付し、説明を省略する。
[Example 2]
The configuration of the gas chromatograph mass spectrometer of this example is shown in FIGS. In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the structure similar to the said Example 1, and description is abbreviate | omitted.

本実施例のガスクロマトグラフ質量分析装置においては、イオン化室32とQMF36の間にガス分子を保持するための衝突室39が設けられおり、衝突室39内部の空間にはガス供給部40によってN2ガス分子が導入される。衝突室39はイオン輸送光学系35を兼ねており、内部に複数の電極を有し、これらの電極には信号イオンの輸送のために適当なRF電圧・DC電圧が印加される。 In the gas chromatograph mass spectrometer of this embodiment, a collision chamber 39 for holding gas molecules is provided between the ionization chamber 32 and the QMF 36, and N 2 is provided in the space inside the collision chamber 39 by a gas supply unit 40. Gas molecules are introduced. The collision chamber 39 also serves as the ion transport optical system 35, and has a plurality of electrodes therein, and an appropriate RF voltage / DC voltage is applied to these electrodes for transport of signal ions.

イオン化室32から流入してきたHe*は衝突室39内でN2と相互作用し、N2をイオン化して、自身は基底状態のHeとなる(ペニングイオン化)。この結果、QMF36に流入するHe*量を減少させると共に、He*に起因する二次的なバックグラウンドイオンの発生を抑えることができる。なお、ペニングイオン化により発生したN2 +は信号イオンと共にQMF36に流入し、そこでQMF36の質量分離機能によって信号イオンと区別されて除去される。その結果、He由来バックグラウンドが問題となるような高感度分析において、S/N比を向上させることが可能になる。 He * flowing in from the ionization chamber 32 interacts with N 2 in the collision chamber 39 to ionize N 2 and itself becomes ground state He (Penning ionization). As a result, the amount of He * flowing into the QMF 36 can be reduced, and generation of secondary background ions due to He * can be suppressed. Note that N 2 + generated by Penning ionization flows into the QMF 36 together with the signal ions, where they are distinguished from the signal ions by the mass separation function of the QMF 36 and removed. As a result, it is possible to improve the S / N ratio in high sensitivity analysis in which the He-derived background becomes a problem.

また、イオン化室32で生成された信号イオンが上記イオン輸送光学系35の電極が作る電界によってQMF36へと輸送される際に、衝突室39内のN2と適当な頻度で衝突すると、信号イオンが光軸上に集まってQMF36へのイオンの導入率が高まる。従って、衝突室39内のガス種及び圧力を最適化することで、He*をHeに緩和すると同時に、信号イオン強度を増大させることができ、よりS/N比の高い分析を実現することができる。 Further, when the signal ions generated in the ionization chamber 32 are transported to the QMF 36 by the electric field generated by the electrode of the ion transport optical system 35, the signal ions collide with the N 2 in the collision chamber 39 at an appropriate frequency. Are collected on the optical axis, and the rate of introduction of ions into the QMF 36 is increased. Therefore, by optimizing the gas type and pressure in the collision chamber 39, He * can be relaxed to He, and at the same time, the signal ion intensity can be increased, and an analysis with a higher S / N ratio can be realized. it can.

また、上記のように衝突室を設けず、真空チャンバ内に直接Heガス分子等を導入することによって、He*由来のバックグラウンドを低減させることもできる。この場合には、イオン化室から出てきたHe*がイオン輸送光学系領域又はQMF領域を通過する間に上記Heガス分子と衝突し、内部エネルギーを失ってHeへと緩和されることにより、He*由来のバックグラウンドが低減されるものと考えられる。 In addition, the background derived from He * can be reduced by introducing He gas molecules directly into the vacuum chamber without providing a collision chamber as described above. In this case, He * exiting from the ionization chamber collides with the He gas molecules while passing through the ion transport optical system region or the QMF region, loses internal energy, and is relaxed to He. * It is thought that the background derived from is reduced.

以上、実施例を用いて本発明のガスクロマトグラフ質量分析装置を実施するための最良の形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲で種々の変更が許容されるものである。例えば、本発明のガスクロマトグラフ質量分析装置は上記のようにHeをキャリアガスとして使用する場合に限らず、他の希ガスをキャリアガスとして使用する場合においても同様に適用することができる。   As described above, the best mode for carrying out the gas chromatograph mass spectrometer of the present invention has been described using examples, but the present invention is not limited to this, and various modifications can be made within the scope of the present invention. Is acceptable. For example, the gas chromatograph mass spectrometer of the present invention is not limited to the case where He is used as a carrier gas as described above, but can be similarly applied to the case where other rare gas is used as a carrier gas.

本発明の第一の実施例であるガスクロマトグラフ質量分析装置の概略構成を示す断面図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Sectional drawing which shows schematic structure of the gas chromatograph mass spectrometer which is a 1st Example of this invention. 同実施例のガスクロマトグラフ質量分析装置のイオン化室及びイオン輸送光学系周辺の構成を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of the ionization chamber and ion transport optical system periphery of the gas chromatograph mass spectrometer of the Example. 本発明の第二の実施例であるガスクロマトグラフ質量分析装置の概略構成を示す断面図。Sectional drawing which shows schematic structure of the gas chromatograph mass spectrometer which is the 2nd Example of this invention. 同実施例のガスクロマトグラフ質量分析装置のイオン化室及びイオン輸送光学系周辺の構成を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of the ionization chamber and ion transport optical system periphery of the gas chromatograph mass spectrometer of the Example. 従来のガスクロマトグラフ質量分析装置の概略構成を示す断面図。Sectional drawing which shows schematic structure of the conventional gas chromatograph mass spectrometer. 曲線状光軸を有するイオン輸送光学系を示す図。The figure which shows the ion transport optical system which has a curvilinear optical axis.

符号の説明Explanation of symbols

10…GC部
11…インジェクタ
12…カラム
13…カラムオーブン
20…インターフェイス部
21…試料導入管
30…MS部
31…真空チャンバ
32…イオン化室
33…イオン化用電子源
34…引き出し電極
35、60…イオン輸送光学系
36…質量分離器(QMF)
37…イオン検出器
38…He*電離用電子源
39…衝突室
40…ガス供給部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... GC part 11 ... Injector 12 ... Column 13 ... Column oven 20 ... Interface part 21 ... Sample introduction tube 30 ... MS part 31 ... Vacuum chamber 32 ... Ionization chamber 33 ... Electron source 34 for ionization ... Extraction electrodes 35, 60 ... Ion Transport optics 36 ... Mass separator (QMF)
37 ... Ion detector 38 ... He * Electron source for ionization 39 ... Collision chamber 40 ... Gas supply section

Claims (6)

試料を時間的に分離するカラムを備えたガスクロマトグラフ部と、ガスクロマトグラフ部から導入された試料をイオン化するイオン化室、該イオンを質量に基づいて分離する質量分離器、及び質量分離されたイオンを検出するイオン検出器を備えた質量分析部を備えたガスクロマトグラフ質量分析装置において、
前記イオン化室と質量分離器との間に、前記イオン化室内で発生した準安定希ガスを電離させるための電子照射手段又は光子照射手段を設けたことを特徴とするガスクロマトグラフ質量分析装置。
A gas chromatograph unit having a column for temporally separating a sample, an ionization chamber for ionizing a sample introduced from the gas chromatograph unit, a mass separator for separating the ions based on mass, and a mass separated ion In a gas chromatograph mass spectrometer equipped with a mass spectrometer equipped with an ion detector for detection,
A gas chromatograph mass spectrometer comprising an electron irradiation means or a photon irradiation means for ionizing a metastable noble gas generated in the ionization chamber between the ionization chamber and a mass separator.
上記電子照射手段又は光子照射手段によって、上記イオン化室で発生する準安定希ガスを電離させるために必要な最小限のエネルギーを有する電子又は光子を照射することを特徴とする請求項1に記載のガスクロマトグラフ質量分析装置におけるバックグラウンドの低減方法。   The electron or photon having a minimum energy necessary for ionizing the metastable rare gas generated in the ionization chamber is irradiated by the electron irradiation unit or the photon irradiation unit. A method for reducing background in a gas chromatograph mass spectrometer. 上記電子照射手段又は光子照射手段により、上記イオン化室で発生する準安定希ガスの電離及び信号イオンのフラグメント化が可能であって、かつ、準安定希ガスを新たに生成することがない程度のエネルギーを有する電子又は光子を照射することを特徴とする請求項1に記載のガスクロマトグラフ質量分析装置におけるバックグラウンドの低減方法。   By the electron irradiation means or the photon irradiation means, ionization of metastable rare gas generated in the ionization chamber and fragmentation of signal ions are possible, and no metastable noble gas is newly generated. 2. The method for reducing background in a gas chromatograph mass spectrometer according to claim 1, wherein electrons or photons having energy are irradiated. 試料を時間的に分離するためのカラムを備えたガスクロマトグラフ部と、ガスクロマトグラフ部から導入された試料をイオン化するイオン化室、該イオンを質量に基づいて分離する質量分離器、及び質量分離されたイオンを検出するイオン検出器を備えた質量分析部を備えたガスクロマトグラフ質量分析装置において、
前記イオン化室と質量分離器の間の空間及び/又は前記質量分離器内部の空間に、中性のガス分子を導入するためのガス供給手段を設けたことを特徴とするガスクロマトグラフ質量分析装置。
A gas chromatograph unit having a column for temporally separating a sample, an ionization chamber for ionizing a sample introduced from the gas chromatograph unit, a mass separator for separating the ions based on mass, and mass separation In a gas chromatograph mass spectrometer equipped with a mass spectrometer equipped with an ion detector for detecting ions,
A gas chromatograph mass spectrometer comprising gas supply means for introducing neutral gas molecules into a space between the ionization chamber and a mass separator and / or a space inside the mass separator.
上記イオン化室と質量分離器との間に衝突室を有し、上記ガス供給手段が該衝突室に中性のガス分子を導入することを特徴とする請求項4に記載のガスクロマトグラフ質量分析装置。   5. The gas chromatograph mass spectrometer according to claim 4, further comprising a collision chamber between the ionization chamber and the mass separator, wherein the gas supply means introduces neutral gas molecules into the collision chamber. . 上記中性のガス分子が、N2又はHeであることを特徴とする請求項4又は5に記載のガスクロマトグラフ質量分析装置。
The gas chromatograph mass spectrometer according to claim 4 or 5, wherein the neutral gas molecule is N 2 or He.
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