JP2006172715A - Recording and reproducing head - Google Patents

Recording and reproducing head Download PDF

Info

Publication number
JP2006172715A
JP2006172715A JP2006027286A JP2006027286A JP2006172715A JP 2006172715 A JP2006172715 A JP 2006172715A JP 2006027286 A JP2006027286 A JP 2006027286A JP 2006027286 A JP2006027286 A JP 2006027286A JP 2006172715 A JP2006172715 A JP 2006172715A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recording
magnetic
layer
recording medium
head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006027286A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroki Takao
弘樹 鷹尾
Katsusuke Shimazaki
勝輔 島崎
Susumu Imai
奨 今井
Hiroyuki Awano
博之 粟野
Yuji Yamazaki
祐司 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Maxell Holdings Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Maxell Ltd filed Critical Hitachi Maxell Ltd
Priority to JP2006027286A priority Critical patent/JP2006172715A/en
Publication of JP2006172715A publication Critical patent/JP2006172715A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a recording and reproducing head in which minute magnetic particles successfully exist in a stable manner, and information subjected to fine recording can be reproduced at a high S/N ratio, even when a surface recording density is increased by using the minute magnetic particles to serve as a recording unit. <P>SOLUTION: The recording and reproducing head comprises a magnetic field-generating source for applying a recording magnetic field to a magnetic recording medium; a magnetic element for reading magnetization information on the magnetic recording medium, the magnetic element being selected from a group consisting of a magnetic resistance element, a magnetic element including a spin-valve film, and an induction type magnetic element; and an air slider which carries the magnetic field-generating source and the magnetic element. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、垂直磁化を有する磁性膜を記録層に用いた磁気記録媒体、その記録再生用ヘッド及び磁気記録再生方法に関し、更に詳細には、熱磁気緩和現象によるデータの消失を防止または抑制し、20Gbits/in以上の面記録密度で記録再生が可能な磁気記録媒体及びその記録再生に好適な記録再生用ヘッド並びにそれらを用いた新規な磁気記録再生方法に関する。 The present invention relates to a magnetic recording medium using a magnetic film having perpendicular magnetization as a recording layer, a recording / reproducing head thereof, and a magnetic recording / reproducing method, and more particularly, to prevent or suppress data loss due to a thermomagnetic relaxation phenomenon. The present invention relates to a magnetic recording medium capable of recording / reproducing at a surface recording density of 20 Gbits / in 2 or more, a recording / reproducing head suitable for recording / reproducing, and a novel magnetic recording / reproducing method using them.

コンピュータなどの外部記憶媒体としてハードディスク(磁気記録媒体)が広く使用されている。ハードディスクでは、通常、浮上型スライダに搭載されたリング状の磁気ヘッド(以下、リングヘッドという)などを用いて記録膜面に平行に情報を記録する長手磁気記録が採用されている。   Hard disks (magnetic recording media) are widely used as external storage media such as computers. A hard disk usually employs longitudinal magnetic recording in which information is recorded in parallel with the recording film surface using a ring-shaped magnetic head (hereinafter referred to as a ring head) mounted on a floating slider.

近年、グラフィックデータや動画像データ、文書データなどのようにデータの多種多様化が進み、取り扱う情報量は厖大なものになっている。このような厖大なデータを取り扱い可能にするため、ハードディスクの分野においては面記録密度を高めることが最も重要な技術課題の一つになっている。現時点において、ハードディスクは、4Gbits/inの面記録密度を達成している。 In recent years, the diversification of data such as graphic data, moving image data, and document data has progressed, and the amount of information handled has become enormous. In order to be able to handle such enormous data, increasing the surface recording density is one of the most important technical issues in the field of hard disks. At the present time, the hard disk achieves a surface recording density of 4 Gbits / in 2 .

ところで、高密度化の一つの手段として、例えば、IEEE Transactions on Magnetics,Vol.MAG-15,No.6,pp.1456-1458(1979)では、記録膜として垂直磁化を有するCo−Cr膜を用い、記録膜面に対して垂直方向に情報を記録する垂直磁気記録方式及び垂直磁気記録媒体が提案されている。   By the way, as one means for increasing the density, for example, in IEEE Transactions on Magnetics, Vol.MAG-15, No.6, pp.1456-1458 (1979), a Co—Cr film having perpendicular magnetization is used as a recording film. There have been proposed a perpendicular magnetic recording system and a perpendicular magnetic recording medium for recording information in a direction perpendicular to the recording film surface.

ハードディスクの面記録密度を更に高めるためには、記録層を構成する記録単位としての磁石(磁性粒子)を小さくすればよいことが知られている。しかしながら、磁性粒子を微小化して面記録密度を10〜20Gbits/in以上にすると、熱磁気緩和現象により磁性粒子が不安定になり、記録したデータが消失してしまうという問題があった。 In order to further increase the surface recording density of a hard disk, it is known that a magnet (magnetic particle) as a recording unit constituting the recording layer may be made smaller. However, if the magnetic particles are miniaturized to have a surface recording density of 10 to 20 Gbits / in 2 or more, there is a problem that the magnetic particles become unstable due to the thermomagnetic relaxation phenomenon and recorded data is lost.

本発明は、かかる従来技術の問題を解決するためになされたものであって、その目的は、記録単位としての磁性粒子を微小化して面記録密度を高めても微小粒子を安定に存在させることができ、微小記録された情報を高S/N比で再生することが可能な磁気記録媒体を提供することにある。   The present invention has been made to solve the problems of the prior art, and its purpose is to make the fine particles stably exist even if the magnetic particles as a recording unit are miniaturized to increase the surface recording density. It is an object of the present invention to provide a magnetic recording medium capable of reproducing minutely recorded information with a high S / N ratio.

また、本発明の別の目的は、かかる磁気記録媒体を用いて情報を記録再生するのに好適な記録再生用ヘッドを提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a recording / reproducing head suitable for recording / reproducing information using such a magnetic recording medium.

本発明の更に別の目的は、かかる磁気記録媒体及び記録再生用ヘッドを用いて情報を超高密度に記録し、記録された情報を高S/N比で再生することができる新規な磁気記録再生方法を提供することにある。   Still another object of the present invention is to provide a novel magnetic recording capable of recording information at an ultra-high density using such a magnetic recording medium and a recording / reproducing head and reproducing the recorded information at a high S / N ratio. It is to provide a reproduction method.

本発明の第1の態様に従えば、磁気記録媒体であって、
基板と;
磁性材料により構成される記録保持層と;
垂直磁化を有するフェリ磁性材料により構成される記録層と;を備え、
磁気記録媒体の所定の領域を加熱しつつ記録磁界を印加することによって記録層の記録磁区が反転されて情報が記録され、記録層の記録磁区からの磁界を検出することによって情報が再生されることを特徴とする磁気記録媒体が提供される。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a magnetic recording medium,
A substrate;
A record-holding layer composed of a magnetic material;
A recording layer made of a ferrimagnetic material having perpendicular magnetization;
Information is recorded by reversing the recording magnetic domain of the recording layer by applying a recording magnetic field while heating a predetermined area of the magnetic recording medium, and information is reproduced by detecting the magnetic field from the recording magnetic domain of the recording layer A magnetic recording medium is provided.

本発明の磁気記録媒体は、垂直磁化を有するフェリ磁性材料により形成される記録層と、磁性材料により形成される記録保持層とを備える。記録保持層は、例えば、フェリ磁性材料や反強磁性材料から構成することができ、基板と記録層との間に設けることが好ましい。特に、記録保持層は記録層と互いに接するように設けることが好ましい。このように設けることにより記録保持層は記録層の記録磁区と交換結合して記録磁区を垂直方向で安定な状態に保持させることができる。記録保持層に用い得るフェリ磁性材料としては、例えば、TbFeCo、GdTbFeCo、TbFeCoCr、TbFe、GdFeCo、GdTbFeまたはDyTbFeなどの希土類−遷移金属合金が好ましい。また、記録保持層に用い得る反強磁性材料としては、遷移金属(Cr、Mn、Fe、Co、Ni)合金や貴金属(Au、Pt、Rh、Pd)と遷移金属(Cr、Mn、Fe、Co、Ni)との合金、遷移金属酸化物などが好ましく、例えば、FeMnやNiO、NiMn、PtMn、FeNiMn、AuMn、ZnZr、FeRhなどが好ましい。   The magnetic recording medium of the present invention includes a recording layer formed of a ferrimagnetic material having perpendicular magnetization and a recording holding layer formed of a magnetic material. The recording holding layer can be made of, for example, a ferrimagnetic material or an antiferromagnetic material, and is preferably provided between the substrate and the recording layer. In particular, the recording holding layer is preferably provided so as to be in contact with the recording layer. By providing in this way, the recording holding layer can exchange-couple with the recording magnetic domain of the recording layer and can hold the recording magnetic domain in a stable state in the vertical direction. As the ferrimagnetic material that can be used for the recording holding layer, for example, rare earth-transition metal alloys such as TbFeCo, GdTbFeCo, TbFeCoCr, TbFe, GdFeCo, GdTbFe, or DyTbFe are preferable. Antiferromagnetic materials that can be used for the recording holding layer include transition metal (Cr, Mn, Fe, Co, Ni) alloys, noble metals (Au, Pt, Rh, Pd) and transition metals (Cr, Mn, Fe, Co, Ni), transition metal oxides, and the like are preferable. For example, FeMn, NiO, NiMn, PtMn, FeNiMn, AuMn, ZnZr, and FeRh are preferable.

本発明の磁気記録媒体において、記録層の記録磁区の熱安定性を確保するためには、媒体の保存温度である室温(約10℃)〜装置内温度(約100℃)程度の温度範囲内において、記録層が5kOe以上の保磁力を有することが必要である。したがって、記録層は、10℃〜150℃の温度範囲内で5kOe以上の保磁力を有することが好ましい。ただし、後述するような記録層からの磁界を増大させるための再生層を用いる場合はその限りではない。また、記録層に記録した情報を再生するとき、記録層の記録磁区から発生する磁界を検出するので、キュリー温度の高い記録層を用いるほうが有利である。したがって、再生時に、再生温度付近で記録磁区から十分な磁界強度を得るために、記録層は300℃以上のキュリー温度を有することが好ましい。   In the magnetic recording medium of the present invention, in order to ensure the thermal stability of the recording magnetic domain of the recording layer, the temperature is within the temperature range from room temperature (about 10 ° C.), which is the storage temperature of the medium, to the internal temperature (about 100 ° C.) The recording layer needs to have a coercive force of 5 kOe or more. Therefore, the recording layer preferably has a coercive force of 5 kOe or more within a temperature range of 10 ° C to 150 ° C. However, this is not the case when a reproducing layer for increasing the magnetic field from the recording layer as described later is used. Further, when reproducing information recorded on the recording layer, a magnetic field generated from the recording magnetic domain of the recording layer is detected, so it is advantageous to use a recording layer having a high Curie temperature. Therefore, the recording layer preferably has a Curie temperature of 300 ° C. or higher in order to obtain a sufficient magnetic field strength from the recording magnetic domain in the vicinity of the reproduction temperature during reproduction.

このように、10℃〜150℃の温度範囲内で大きな保磁力を有する記録層を用いることにより、記録層に微小な記録マークを形成しても、記録後に熱磁気緩和現象により記録マークが消失することが抑制される。また、記録時には、磁気記録媒体を200℃以上に加熱して記録層の保磁力を低下させることができるので、弱い印加磁界で容易に記録を行うことができる。記録された情報を再生するには、記録層の記録磁区からの磁界を、例えば磁気抵抗素子により直接検出して情報を再生する。すなわち、本発明の磁気記録媒体は、磁気光学効果(例えば、カー効果)を利用して磁化状態を検出するような光磁気記録媒体とは異なる。   As described above, by using a recording layer having a large coercive force within a temperature range of 10 ° C. to 150 ° C., even if a minute recording mark is formed on the recording layer, the recording mark disappears due to a thermomagnetic relaxation phenomenon after recording. Is suppressed. In recording, the magnetic recording medium can be heated to 200 ° C. or more to reduce the coercive force of the recording layer, so that recording can be easily performed with a weak applied magnetic field. In order to reproduce the recorded information, the magnetic field from the recording magnetic domain of the recording layer is directly detected by, for example, a magnetoresistive element to reproduce the information. That is, the magnetic recording medium of the present invention is different from a magneto-optical recording medium that detects a magnetization state using a magneto-optical effect (for example, the Kerr effect).

本発明の磁気記録媒体では、更に、記録層上に再生層を備えることができる。再生層は、室温以上、好ましくは20℃〜150℃の温度領域において、記録層の飽和磁化よりも大きい飽和磁化を有することが好ましい。すなわち、再生層は、記録層よりも大きな漏洩磁界を発生させることができるので、記録層の磁化を再生層に転写させて再生層の磁化状態を検出すれば、増幅された再生信号を得ることができる。再生層は、面内磁化膜であっても垂直磁化膜であってもよい。   In the magnetic recording medium of the present invention, a reproducing layer can be further provided on the recording layer. The reproducing layer preferably has a saturation magnetization larger than the saturation magnetization of the recording layer in a temperature range of room temperature or higher, preferably 20 ° C. to 150 ° C. That is, since the reproducing layer can generate a larger leakage magnetic field than the recording layer, an amplified reproduced signal can be obtained by detecting the magnetization state of the reproducing layer by transferring the magnetization of the recording layer to the reproducing layer. Can do. The reproducing layer may be an in-plane magnetization film or a perpendicular magnetization film.

本発明の磁気記録媒体は、更に、軟磁性を示す記録補助層を備えることもできる。かかる記録補助層を構成する材料としては、例えば、パーマロイ(NiFe)やFe−(Al、Si)合金、NiFe−(Mo、Cr、Cu、Mn、Rh)、Co系アモルファス合金を用いることができる。また、記録補助層は、記録層を介して磁界が印加されるように形成されることが望ましい。すなわち、磁界を基板の側から印加する場合には、基板、記録層、記録補助層の順で備える構造にすることができ、磁界を基板と反対の側から印加する場合には、基板、記録補助層、記録層の順で備える構造にすることができる。また、記録層及び記録補助層が上記の順序で積層されるのであれば、それらの層の間に任意の層を介在させてもよい。   The magnetic recording medium of the present invention can further include a recording auxiliary layer exhibiting soft magnetism. As a material constituting the recording auxiliary layer, for example, permalloy (NiFe), Fe— (Al, Si) alloy, NiFe— (Mo, Cr, Cu, Mn, Rh), and Co-based amorphous alloy can be used. . The recording auxiliary layer is preferably formed so that a magnetic field is applied through the recording layer. That is, when a magnetic field is applied from the substrate side, a structure including a substrate, a recording layer, and a recording auxiliary layer can be provided in this order. When a magnetic field is applied from the side opposite to the substrate, the substrate, the recording layer A structure including an auxiliary layer and a recording layer in this order can be employed. Further, if the recording layer and the recording auxiliary layer are laminated in the above order, an arbitrary layer may be interposed between these layers.

更に本発明では、上記記録補助層及び記録保持層のほかに任意の層を設けることができる。例えば、記録時に記録層と記録保持層とが互いに交換結合していると記録データに対応した記録が困難となることから、記録時に媒体の所定の領域を加熱したときの温度(以下、記録温度と呼ぶ。後述する実施例では、記録層のキュリー温度近傍である。)で両層の交換結合を切断するための記録制御層を設けることが好ましい。記録温度で交換結合を切断するには、記録制御層のキュリー温度を記録層のキュリー温度以下に設定すればよい。また、磁気記録媒体の表面に、例えば、ホンブリン系やシリコン系の潤滑層を形成することも可能である。潤滑層を設けることにより、記録再生時に記録再生用ヘッドが磁気記録媒体と接触しても、記録再生用ヘッドを媒体表面上で滑らかに滑らせることができるため、媒体とヘッドとの間の摩擦を軽減することができる。   Furthermore, in the present invention, an arbitrary layer can be provided in addition to the recording auxiliary layer and the recording holding layer. For example, if the recording layer and the recording holding layer are exchange-coupled to each other at the time of recording, it becomes difficult to perform recording corresponding to the recording data. Therefore, the temperature when a predetermined area of the medium is heated at the time of recording (hereinafter referred to as the recording temperature) It is preferable to provide a recording control layer for cutting the exchange coupling between the two layers in the embodiment described later in the vicinity of the Curie temperature of the recording layer. In order to break the exchange coupling at the recording temperature, the Curie temperature of the recording control layer may be set below the Curie temperature of the recording layer. Moreover, it is also possible to form, for example, a homblin-based or silicon-based lubricating layer on the surface of the magnetic recording medium. By providing the lubricating layer, the recording / reproducing head can be smoothly slid on the surface of the medium even when the recording / reproducing head comes into contact with the magnetic recording medium at the time of recording / reproducing. Can be reduced.

また、本発明の磁気記録媒体は、基板の表面にテクスチャを設け得る。基板の表面にテクスチャを設けることにより、浮上型ヘッドを媒体上で浮上させたときの浮上型ヘッドの浮上量を一定に制御することができる。   The magnetic recording medium of the present invention can be provided with a texture on the surface of the substrate. By providing a texture on the surface of the substrate, the flying height of the flying head when the flying head is floated on the medium can be controlled to be constant.

本発明の第2の態様に従えば、基板上に記録層を有する磁気記録媒体に情報を記録する記録方法において、
磁気記録媒体の所定の領域に熱を加えつつ、磁気ヘッドを用いて、記録する情報に応じて強度及び向きの少なくとも一方を変調させた磁界を印加することによって情報の記録を行い、
前記記録層が、垂直磁化を有するフェリ磁性材料を用いて構成され、
前記磁気ヘッドの記録方向と垂直な方向における磁極の幅が1μm以下であることを特徴とする磁気記録媒体の記録方法が提供される。
According to a second aspect of the present invention, in a recording method for recording information on a magnetic recording medium having a recording layer on a substrate,
Information is recorded by applying a magnetic field in which at least one of intensity and direction is modulated according to information to be recorded, while applying heat to a predetermined area of the magnetic recording medium,
The recording layer is configured using a ferrimagnetic material having perpendicular magnetization,
A magnetic recording medium recording method is provided, wherein a magnetic pole width in a direction perpendicular to the recording direction of the magnetic head is 1 μm or less.

本発明の記録方法では、磁気記録媒体の所定の領域を加熱するために、例えばレーザー光を用いることができ、レーザー光を対物レンズで媒体の所定の領域に集光させて照射することにより加熱することができる。これにより、レーザー光が集光された所定の高温領域のみの記録層の保磁力を低下させ、その範囲のみの磁化を反転させることにより微小な記録磁区を形成することが可能となる。レーザー光を対物レンズに導くには、光ファイバーを用いることが好ましい。光ファイバーは、レーザー光源からのレーザー光をエネルギー的に効率よく対物レンズまで導くことができる。また、磁気記録媒体の所定の領域を加熱する別の方法として、コイル型ヒーターなどのヒーターを用いることができ、ヒーターからの輻射熱により磁気記録媒体の表面から1μm以下の位置の領域を加熱することができる。   In the recording method of the present invention, for example, laser light can be used to heat a predetermined area of the magnetic recording medium, and heating is performed by condensing the laser light onto a predetermined area of the medium with an objective lens and irradiating it. can do. Thereby, it is possible to form a minute recording magnetic domain by reducing the coercive force of the recording layer only in the predetermined high temperature region where the laser beam is condensed and reversing the magnetization only in that range. In order to guide the laser beam to the objective lens, it is preferable to use an optical fiber. The optical fiber can efficiently guide laser light from a laser light source to the objective lens in terms of energy. As another method of heating a predetermined area of the magnetic recording medium, a heater such as a coil type heater can be used, and the area at a position of 1 μm or less from the surface of the magnetic recording medium is heated by radiant heat from the heater. Can do.

また、本発明の記録方法では、例えば、複数の記録用磁気ヘッドを用いて、磁気記録媒体の複数の位置に一連の情報をそれぞれ分割して同時に記録することができる。これにより情報の転送速度を向上させることが可能となる。   In the recording method of the present invention, for example, a series of information can be divided and recorded simultaneously at a plurality of positions on a magnetic recording medium using a plurality of recording magnetic heads. As a result, the information transfer rate can be improved.

本発明の第3の態様に従えば、記録層を有する磁気記録媒体に記録された情報を再生する再生方法において、
前記記録層が、垂直磁化を有するフェリ磁性材料により構成され、
磁気抵抗素子、スピンバルブ膜を有する磁気素子及び誘導型磁気素子からなる群から選ばれた一種の磁気素子を用いて記録層に記録された情報を再生することを特徴とする磁気記録媒体の再生方法が提供される。
According to a third aspect of the present invention, in a reproducing method for reproducing information recorded on a magnetic recording medium having a recording layer,
The recording layer is made of a ferrimagnetic material having perpendicular magnetization,
Reproducing information recorded on a recording layer using a kind of magnetic element selected from the group consisting of a magnetoresistive element, a magnetic element having a spin valve film, and an inductive magnetic element A method is provided.

本発明の再生方法では、記録した情報を、磁気記録媒体の所定の領域に熱を加えながら、例えば磁気抵抗素子、スピンバルブ膜を備える磁気素子、または誘導型磁気素子(誘導型磁気ヘッド)を用いて再生する。情報再生時に磁気記録媒体を加熱してもよく、例えば、レーザー光を照射したり、ヒーターなどによる輻射熱を与えて加熱することができる。記録時には、磁気記録媒体の所定の領域に熱を加えつつ記録情報に応じて強度及び向きの少なくとも一方を変調させた磁界を印加することによって記録することができる。また、磁気記録媒体の複数の位置にそれぞれ記録されている一連の情報を、例えば、上述のいずれかの磁気素子を搭載した複数の磁気ヘッドを用いてそれぞれ同時に再生することができる。   In the reproducing method of the present invention, the recorded information is applied to, for example, a magnetoresistive element, a magnetic element having a spin valve film, or an induction type magnetic element (induction type magnetic head) while applying heat to a predetermined area of the magnetic recording medium. Use to play. The magnetic recording medium may be heated at the time of information reproduction. For example, the magnetic recording medium can be heated by irradiating laser light or applying radiant heat from a heater or the like. At the time of recording, recording can be performed by applying a magnetic field in which at least one of intensity and direction is modulated according to recording information while applying heat to a predetermined area of the magnetic recording medium. Further, a series of information respectively recorded at a plurality of positions on the magnetic recording medium can be simultaneously reproduced using, for example, a plurality of magnetic heads equipped with any of the magnetic elements described above.

本発明の第4の態様に従えば、基板上に垂直磁化を有する記録層を備えた情報記録媒体に情報を記録する方法において、
情報記録媒体を光スポットで照射しつつ、該光スポットの内側に位置し且つ光スポットよりも小さい領域にのみ磁界を印加することによって情報を記録することを特徴とする情報記録媒体の記録方法が提供される。
According to a fourth aspect of the present invention, in a method for recording information on an information recording medium comprising a recording layer having perpendicular magnetization on a substrate,
What is claimed is: 1. A recording method for an information recording medium, wherein information is recorded by irradiating the information recording medium with a light spot and applying a magnetic field only to a region located inside the light spot and smaller than the light spot. Provided.

本発明の記録方法では、情報記録媒体を光スポットで照射しながら、例えば、垂直磁気記録が可能な単磁極ヘッドを用いて磁界を印加することによって、光スポットの内側の領域に光スポットよりも小さい記録マークを形成する。これにより超高密度記録が可能となる。光スポットよりも小さい記録マークを形成するには、単磁極ヘッドの磁力線が発生する先端部を光スポット径よりも小さくなるように、例えば、FIB(focused ion beam)により加工すれば良い。   In the recording method of the present invention, while irradiating the information recording medium with a light spot, for example, by applying a magnetic field using a single magnetic pole head capable of perpendicular magnetic recording, the area inside the light spot is more than the light spot. A small recording mark is formed. This enables ultra-high density recording. In order to form a recording mark that is smaller than the light spot, the tip portion where the magnetic field lines of the single pole head are generated may be processed by, for example, FIB (focused ion beam) so as to be smaller than the light spot diameter.

本発明の第5の態様に従えば、磁気記録媒体の記録及び/または再生用のヘッドにおいて、
磁気記録媒体に記録磁界を印加するための磁界発生源と;
磁気記録媒体の磁化情報を読み出すための磁気素子であって、磁気抵抗素子、スピンバルブ膜を備える磁気素子及び誘導型磁気素子からなる群から選ばれた一種の磁気素子と;
前記磁界発生源及び磁気素子を搭載するエアスライダーと;を備えることを特徴とする記録及び/または再生用ヘッドが提供される。
According to the fifth aspect of the present invention, in a recording and / or reproducing head of a magnetic recording medium,
A magnetic field source for applying a recording magnetic field to the magnetic recording medium;
A magnetic element for reading magnetization information of a magnetic recording medium, and a kind of magnetic element selected from the group consisting of a magnetoresistive element, a magnetic element having a spin valve film, and an inductive magnetic element;
And a recording and / or reproducing head comprising: an air slider on which the magnetic field generation source and the magnetic element are mounted.

本発明のヘッドは、更に、磁気記録媒体を加熱するための熱源を備えることができる。熱源としては、例えば、レーザー光源を用いることができ、レーザー光源から出射するレーザー光を対物レンズなどにより媒体に集光させて照射することによって媒体の所定の領域を加熱させることができる。レーザー光を対物レンズに導くには、例えば、光ファイバーを用いることができる。また、熱源は、磁気記録媒体に対して相対的に移動する方向において、磁気素子よりも前方に配置されるように設けることが望ましい。本明細書においては、記録媒体の記録領域が対象物(例えば熱源やヘッド)に対して移動する方向(媒体移動方向)において、その対象物を基準としたときに、対象物が先に記録媒体の記録領域に到達する側のことを「媒体移動方向の前方側」と称し、後に記録媒体の記録領域に到達する側のことを「媒体移動方向の後方側」と称する。   The head of the present invention can further include a heat source for heating the magnetic recording medium. As the heat source, for example, a laser light source can be used, and a predetermined area of the medium can be heated by condensing and irradiating the laser light emitted from the laser light source onto the medium with an objective lens or the like. In order to guide the laser light to the objective lens, for example, an optical fiber can be used. In addition, it is desirable that the heat source is provided so as to be disposed in front of the magnetic element in the direction of movement relative to the magnetic recording medium. In the present specification, when a recording area of a recording medium moves in a direction (medium moving direction) with respect to an object (for example, a heat source or a head), the object is first recorded on the basis of the object. The side that reaches the recording area is referred to as “front side in the medium movement direction”, and the side that reaches the recording area of the recording medium later is referred to as “rear side in the medium movement direction”.

本発明のヘッドにおいて、磁気記録媒体に記録磁界を印加させるための磁界発生源は、例えば、図20に示すような、単磁極ヘッド220を用いて構成することができる。単磁極ヘッド220は、コア(主磁極)225と、本体部221と、それらの連結部223の周囲に巻き付けられたコイル224とから主に構成される。コア225の内壁には保護膜を形成し得る。コア225は、複数のトラックを有する磁気記録媒体と対向させたときに、磁気記録媒体のトラック幅方向における芯の先端部の幅が1μm以下になるように、例えば、FIB(focused ion beam)により加工されていることが好ましい。これにより磁気記録媒体に超高密度に情報を記録することができる。また、単磁極ヘッドの磁界発生部分または全体を、例えば、CoNiFeやCoNiFe合金系のような飽和磁束密度(Bs)が2.0T以上の材料を用いて構成することにより、単磁極ヘッドから発生させる磁力を増大させることができ、保磁力の高い記録媒体への記録が可能となる。   In the head of the present invention, the magnetic field generating source for applying the recording magnetic field to the magnetic recording medium can be configured using a single magnetic pole head 220 as shown in FIG. 20, for example. The single magnetic pole head 220 is mainly composed of a core (main magnetic pole) 225, a main body part 221, and a coil 224 wound around the connecting part 223. A protective film may be formed on the inner wall of the core 225. The core 225 is formed by, for example, FIB (focused ion beam) so that the width of the tip of the core in the track width direction of the magnetic recording medium is 1 μm or less when facing the magnetic recording medium having a plurality of tracks. It is preferable that it is processed. As a result, information can be recorded on the magnetic recording medium at an extremely high density. In addition, the magnetic field generating part or the whole of the single magnetic pole head is generated from the single magnetic pole head by using a material having a saturation magnetic flux density (Bs) of 2.0 T or more, such as CoNiFe or CoNiFe alloy system. The magnetic force can be increased, and recording on a recording medium having a high coercive force is possible.

本発明のヘッドにおいて、磁気抵抗素子は、磁界の変化に応じて電気抵抗が変化する素子(MR素子:Magneto-Resistive Device)であり、記録層の垂直方向の磁化状態やその他の磁性層の垂直方向または面内方向の磁化状態を検出することができる。MR素子の材料としては、例えば、FeMn/CoNi/Cu/Coにし得る。また、スピンバルブ膜を備える磁気素子や、誘導型磁気ヘッドのような磁気素子を用い得る。スピンバルブ膜は、例えば、CoFe/Cu/CoFe/Ru/CoFe/MnPtから形成し得る。また、MR素子と比べて磁界変化に対する電気抵抗の変化率の大きいGMR(Giant Magneto-Resistive)素子を上記磁気抵抗素子の代わりに用いることも可能である。   In the head of the present invention, the magnetoresistive element is an element (MR element: Magneto-Resistive Device) whose electric resistance changes in accordance with the change of the magnetic field, and is perpendicular to the magnetization state of the recording layer and other magnetic layers. The magnetization state in the direction or in-plane direction can be detected. For example, the material of the MR element may be FeMn / CoNi / Cu / Co. Further, a magnetic element having a spin valve film or a magnetic element such as an induction type magnetic head can be used. The spin valve film can be formed of, for example, CoFe / Cu / CoFe / Ru / CoFe / MnPt. In addition, a GMR (Giant Magneto-Resistive) element having a larger rate of change in electrical resistance with respect to a change in magnetic field than an MR element can be used in place of the magnetoresistive element.

本発明において、エアスライダーは熱伝導率の異なる複数の材料を用いて構成されることが望ましい。特に、熱伝導率の異なる複数の材料のうち熱伝導率の最も低い材料を磁界発生源と磁気抵抗素子との間に用いることが望ましい。これにより磁界発生源で発生した熱で磁気抵抗素子が加熱されることが防止される。また、熱伝導率の異なる複数の材料のうち熱伝導率の最も高い材料を外気と接触する部分、例えばヘッドの上面に形成することにより磁界発生源で発生する熱をヘッドの外部に放熱させることができる。   In the present invention, the air slider is preferably configured using a plurality of materials having different thermal conductivities. In particular, it is desirable to use a material having the lowest thermal conductivity among a plurality of materials having different thermal conductivities between the magnetic field generation source and the magnetoresistive element. This prevents the magnetoresistive element from being heated by the heat generated by the magnetic field generation source. Also, heat generated in the magnetic field source can be dissipated to the outside of the head by forming the material with the highest thermal conductivity among a plurality of materials having different thermal conductivities on the portion that comes into contact with the outside air, for example, the upper surface of the head. Can do.

以下、本発明の磁気記録媒体、その記録再生用ヘッド及び磁気記録再生方法について図面を用いて具体的に説明する。   Hereinafter, a magnetic recording medium, a recording / reproducing head thereof, and a magnetic recording / reproducing method of the present invention will be specifically described with reference to the drawings.

実施例1
図1に、本発明に従う磁気記録媒体の一具体例の概略断面図を示す。磁気記録媒体100は、基板1上に記録補助層2、記録保持層3、記録制御層4、記録層5、保護層6及び潤滑剤層7を順次積層してなる。
Example 1
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a specific example of a magnetic recording medium according to the present invention. The magnetic recording medium 100 is formed by sequentially laminating a recording auxiliary layer 2, a recording holding layer 3, a recording control layer 4, a recording layer 5, a protective layer 6 and a lubricant layer 7 on a substrate 1.

図1において、基板1は、ガラスを用いて構成され、直径90mm、厚さ1.2mmである。基板1には、ヘッドの浮上量を安定化させるためのテクスチャを設けてもい。基板1上の記録補助層2は、軟磁性膜であり、高透磁率を有するNiFe(パーマロイ)を用いて構成される。NiFeのキュリー温度Tc6は500℃であり、室温からキュリー温度Tc6までの温度範囲内で保磁力Hc6は0.1Oe以下であった。   In FIG. 1, a substrate 1 is made of glass and has a diameter of 90 mm and a thickness of 1.2 mm. The substrate 1 may be provided with a texture for stabilizing the flying height of the head. The recording auxiliary layer 2 on the substrate 1 is a soft magnetic film and is made of NiFe (permalloy) having a high magnetic permeability. The Curie temperature Tc6 of NiFe was 500 ° C., and the coercive force Hc6 was 0.1 Oe or less within the temperature range from room temperature to the Curie temperature Tc6.

記録保持層3としては、垂直磁気異方性を示す反強磁性材料FeMnを用い、キュリー温度Tc3が450℃になるようにその組成を調整した。記録制御層4は垂直磁気異方性を示す非晶質フェリ磁性材料DyFeCoを用いて構成され、キュリー温度Tc2が200℃になるようにその組成を調整した。この記録制御層4を構成するDyFeCoは、室温からキュリー温度Tc2にかけて希土類優勢(RE−rich)の極性を示す。   As the recording retention layer 3, an antiferromagnetic material FeMn exhibiting perpendicular magnetic anisotropy was used, and its composition was adjusted so that the Curie temperature Tc3 was 450 ° C. The recording control layer 4 was formed using an amorphous ferrimagnetic material DyFeCo exhibiting perpendicular magnetic anisotropy, and its composition was adjusted so that the Curie temperature Tc2 was 200 ° C. DyFeCo constituting the recording control layer 4 exhibits a rare earth dominant (RE-rich) polarity from room temperature to the Curie temperature Tc2.

記録層5は、垂直磁気異方性を示す非晶質フェリ磁性材料TbFeCoを用いて構成され、図3の磁気特性のグラフに示したように、その保磁力Hcが、室温から100℃の温度範囲内で5kOe以上、200℃〜300℃の温度範囲内で2kOe以下になり、且つキュリー温度Tcが300℃、補償温度が室温付近になるように、その組成を調整した。保護層6は非磁性材料SiNを用いて構成される。   The recording layer 5 is made of an amorphous ferrimagnetic material TbFeCo exhibiting perpendicular magnetic anisotropy, and has a coercive force Hc of room temperature to 100 ° C. as shown in the magnetic characteristic graph of FIG. The composition was adjusted so that it was 5 kOe or more within the range, 2 kOe or less within the temperature range of 200 ° C. to 300 ° C., the Curie temperature Tc was 300 ° C., and the compensation temperature was around room temperature. The protective layer 6 is configured using a nonmagnetic material SiN.

これらの層2〜6を、スパッタ装置を用いてそれぞれスパッタリングすることによって順次成膜した。各層の膜厚は、記録補助層2:500nm、記録保持層3:30nm、記録制御層4:10nm、記録層5:100nm、保護層6:10nmとした。   These layers 2 to 6 were sequentially formed by sputtering using a sputtering apparatus. The film thicknesses of the respective layers were: recording auxiliary layer 2: 500 nm, recording holding layer 3: 30 nm, recording control layer 4: 10 nm, recording layer 5: 100 nm, and protective layer 6: 10 nm.

次いで、保護膜6の表面に、潤滑剤層7を膜厚2nmでスピンコーティングにより塗布した。潤滑剤層7には変性シリコーン及び脂肪酸を添加したジメチルシリコーンを主成分とするヘプタン溶液を用いた。こうして図1に示す構造を有する磁気記録媒体100を製造した。   Next, the lubricant layer 7 was applied to the surface of the protective film 6 by spin coating with a film thickness of 2 nm. For the lubricant layer 7, a heptane solution mainly composed of dimethyl silicone added with modified silicone and fatty acid was used. Thus, the magnetic recording medium 100 having the structure shown in FIG. 1 was manufactured.

図2に、本発明に従う記録再生用ヘッドの一具体例を示す。記録再生用ヘッド200は、ヘッド本体部20と、磁気記録媒体を加熱するための熱源31とからなる。ヘッド本体部20は、エアスライダー21と、エアスライダー21に搭載された記録用磁気ヘッド22及び再生用MRヘッド23とから構成される。エアスライダー21はセラミック材料を用いて構成される。エアスライダ21を用いることにより、ヘッド本体部20を媒体表面から所定の間隔で浮上させることができる。本実施例では、記録再生時にヘッド本体部20が磁気記録媒体100の表面から50nmの高さで浮上するように設計した。   FIG. 2 shows a specific example of a recording / reproducing head according to the present invention. The recording / reproducing head 200 includes a head body 20 and a heat source 31 for heating the magnetic recording medium. The head main body 20 includes an air slider 21, a recording magnetic head 22 and a reproducing MR head 23 mounted on the air slider 21. The air slider 21 is configured using a ceramic material. By using the air slider 21, the head main body 20 can be floated from the medium surface at a predetermined interval. In this embodiment, the head main body 20 is designed to float at a height of 50 nm from the surface of the magnetic recording medium 100 during recording and reproduction.

記録用磁気ヘッド22は、磁気記録媒体100の表面に対して垂直方向に磁界を印加することが可能な単磁極ヘッドであり、磁気コイル24と鉄心25とから構成される。鉄心25は、高周波透磁率の大きなNiFeを用いて構成され、ヘッド本体部20の垂直方向(図2における上下方向)に延在した円柱形状を有する。鉄心25の磁気記録媒体100と対向する側の先端部は、トラック方向と直交する方向(トラック幅方向)の幅が1μm以下になるようにFIB(focused ion beam)により加工されている。磁気コイル24は銅線からなり、鉄心25の外周を周回するように設けられている。かかる構造の記録用磁気ヘッド22を用いて記録データに応じて変調された磁界を発生させることにより磁気記録媒体100に微小な記録マークを形成することができる。記録用磁気ヘッド22は、最大で500Oeの磁界を発生させることができる。また、単磁極ヘッドの先端部を、例えば、CoNiFeやそれを含む合金系で飽和磁束密度(Bs)が2.0T以上の材料を用いて構成することにより、1000Oe以上の磁界を発生させることも可能となる。   The recording magnetic head 22 is a single-pole head that can apply a magnetic field in a direction perpendicular to the surface of the magnetic recording medium 100, and includes a magnetic coil 24 and an iron core 25. The iron core 25 is made of NiFe having a high high-frequency magnetic permeability, and has a cylindrical shape extending in the vertical direction (vertical direction in FIG. 2) of the head main body 20. The tip of the iron core 25 on the side facing the magnetic recording medium 100 is processed by FIB (focused ion beam) so that the width in the direction orthogonal to the track direction (track width direction) is 1 μm or less. The magnetic coil 24 is made of copper wire and is provided so as to go around the outer periphery of the iron core 25. By using the recording magnetic head 22 having such a structure to generate a magnetic field modulated in accordance with recording data, a minute recording mark can be formed on the magnetic recording medium 100. The recording magnetic head 22 can generate a magnetic field of up to 500 Oe. In addition, a magnetic field of 1000 Oe or more may be generated by configuring the tip of the single magnetic pole head using a material having a saturation magnetic flux density (Bs) of 2.0 T or more made of, for example, CoNiFe or an alloy system containing CoNiFe. It becomes possible.

再生用MRヘッド23は、垂直方向の磁化状態を検出することが可能な垂直磁化再生用のMRヘッドであり、MR素子の構成は、FeMn/CoNi/Cu/Coである。再生用MRヘッド23は、図2中矢印で示した磁気記録媒体100の進行方向において、記録用磁気ヘッド22よりも後方(図2中、左方向)に設けられており、磁気記録媒体の記録層に垂直磁気記録されたデータを読み出すことができる。また、MR素子の代わりに、CoFe/Cu/CoFe/Ru/CoFe/MnPtなどのスピンバルブ膜を有する磁気素子を用いることで更なる磁界感度の向上が可能となる。   The reproducing MR head 23 is an MR head for perpendicular magnetization reproduction capable of detecting the perpendicular magnetization state, and the configuration of the MR element is FeMn / CoNi / Cu / Co. The reproducing MR head 23 is provided behind (in the left direction in FIG. 2) the recording magnetic head 22 in the traveling direction of the magnetic recording medium 100 indicated by an arrow in FIG. Data perpendicularly recorded on the layer can be read out. Further, by using a magnetic element having a spin valve film such as CoFe / Cu / CoFe / Ru / CoFe / MnPt instead of the MR element, the magnetic field sensitivity can be further improved.

ヘッド本体部20において、再生用MRヘッド23と記録用磁気ヘッド22との間及びヘッド本体部の上面にはそれぞれ放熱材26a、26bが設けられている。放熱材26a及び26bは、ともに熱伝導率の高いAlを用いて構成される。これらの放熱材26a及び26bは、磁気コイル24で発生する熱をヘッド本体外部に放熱させて、再生用MRヘッド23が加熱されることを防止することができる。   In the head main body 20, heat radiation materials 26a and 26b are provided between the reproducing MR head 23 and the recording magnetic head 22 and on the upper surface of the head main body, respectively. Both the heat dissipating materials 26a and 26b are made of Al having high thermal conductivity. These heat dissipating materials 26a and 26b can dissipate the heat generated in the magnetic coil 24 to the outside of the head main body, thereby preventing the reproducing MR head 23 from being heated.

熱源31は、主に、レーザー光源27、対物レンズ28及び光ファイバー29とから構成され、磁気記録媒体を挟んでヘッド本体部20と対向する位置に設けられている。レーザー光源27は、発振波長640nmの半導体レーザーである。対物レンズ28のNA(Numerical Aperture)は0.6である。レーザー光源27から射出したレーザー光は、光ファイバー29により対物レンズ28に導かれ、磁気記録媒体に基板側から入射して記録層の所定の領域に集光される。   The heat source 31 mainly includes a laser light source 27, an objective lens 28, and an optical fiber 29, and is provided at a position facing the head main body 20 with the magnetic recording medium interposed therebetween. The laser light source 27 is a semiconductor laser having an oscillation wavelength of 640 nm. The NA (Numerical Aperture) of the objective lens 28 is 0.6. The laser light emitted from the laser light source 27 is guided to the objective lens 28 by the optical fiber 29, is incident on the magnetic recording medium from the substrate side, and is condensed on a predetermined region of the recording layer.

記録再生実験
上記磁気記録媒体100及び記録再生用ヘッド200を用いて記録再生実験を行なった。図4(a)に、記録再生実験における磁気記録媒体と記録再生用ヘッドの配置の概念図を示し、図4(b)にその断面図を示す。記録再生実験では、図4(a)に示したように、磁気記録媒体100は、不図示の中央開口部にスピンドル102が挿入されて設置される。記録再生用ヘッド200は、磁気記録媒体100の潤滑剤層側(基板と反対側)に配置される。また、磁気記録媒体100にレーザー光を集光させるための対物レンズは、図には示していないが、磁気記録媒体100を挟んで記録再生用ヘッド200と対向する位置に配置され、レーザー光が磁気記録媒体の基板側から集光されて入射される。
Recording / Reproducing Experiment Using the magnetic recording medium 100 and the recording / reproducing head 200, a recording / reproducing experiment was performed. FIG. 4A shows a conceptual diagram of the arrangement of a magnetic recording medium and a recording / reproducing head in a recording / reproducing experiment, and FIG. 4B shows a cross-sectional view thereof. In the recording / reproducing experiment, as shown in FIG. 4A, the magnetic recording medium 100 is installed with a spindle 102 inserted into a central opening (not shown). The recording / reproducing head 200 is disposed on the lubricant layer side (the side opposite to the substrate) of the magnetic recording medium 100. Although not shown in the drawing, an objective lens for condensing the laser beam on the magnetic recording medium 100 is disposed at a position facing the recording / reproducing head 200 with the magnetic recording medium 100 interposed therebetween, so that the laser beam is emitted from the objective lens. The light is collected and incident from the substrate side of the magnetic recording medium.

ここで、上記磁気記録媒体100にデータを記録する場合の記録原理について説明する。まず、磁気記録媒体100を所定の線速で回転させながら、磁気記録媒体100の所定の領域にレーザー光を基板側から集光させて照射する。図5(a)に、磁気記録媒体100に、レーザー光を基板側(図中、下側)から集光させて照射した様子を示す。図5(a)中、左方向に磁気記録媒体100が移動するものとする。レーザー光のパワーは、図5(a)の温度分布のグラフに示したように、光スポット41で照射された領域の最高温度Tmax(ガウス分布を示す温度の最大値)が、記録保持層3のキュリー温度Tc3(450℃)以下で、且つ光スポット41で照射された領域のうち、外部磁界が印加された領域(以下、磁界印加領域と称する)42を含む領域の温度が記録層5のキュリー温度Tc(300℃)以上になるように調整する。レーザー光の照射と同時に、記録用磁気ヘッド22(単磁極ヘッド)を用いて磁気記録媒体の表面に対して垂直上向きに外部磁界Hexを印加する。このとき、記録層の磁界印加領域42は、光スポット41に比べて小さい。   Here, a recording principle when data is recorded on the magnetic recording medium 100 will be described. First, while rotating the magnetic recording medium 100 at a predetermined linear velocity, a laser beam is focused and irradiated on a predetermined area of the magnetic recording medium 100 from the substrate side. FIG. 5A shows a state in which the magnetic recording medium 100 is irradiated with a laser beam condensed from the substrate side (lower side in the drawing). In FIG. 5A, it is assumed that the magnetic recording medium 100 moves to the left. As shown in the temperature distribution graph of FIG. 5A, the power of the laser light is such that the maximum temperature Tmax (maximum value of the temperature showing the Gaussian distribution) of the region irradiated with the light spot 41 is the recording holding layer 3. Among the regions irradiated with the light spot 41 and below the Curie temperature Tc3 (450 ° C.), the temperature of the region including the region 42 to which the external magnetic field is applied (hereinafter referred to as the magnetic field application region) is The temperature is adjusted to be equal to or higher than the Curie temperature Tc (300 ° C.). Simultaneously with the laser light irradiation, an external magnetic field Hex is applied vertically upward with respect to the surface of the magnetic recording medium using the recording magnetic head 22 (single pole head). At this time, the magnetic field application region 42 of the recording layer is smaller than the light spot 41.

図5(a)において磁気記録媒体100が、光スポットに対して左側に移動すると、磁界印加領域42は光スポットから外れて冷却される。図5(b)に、磁界印加領域42の冷却過程において各磁性層の磁化が変化する様子を示す。冷却過程において、磁界印加領域42の温度Tが、(1)Tc2(記録制御層のキュリー温度:200℃)<T<Tc(300℃)になると、記録層の磁界印加領域の磁化が外部磁界Hexの向き(図中、上向き)にTM−rich(遷移金属優勢)で出現する。そして、(2)室温<T<Tc2(200℃)になると、記録制御層の磁化が交換結合により記録層の磁化と同じ向きに出現し、同時に記録保持層の磁化との交換結合で記録層の磁化状態が垂直方向でしっかりと固定される。また、軟磁性を示す記録補助層により、記録用磁気ヘッド22(単磁極ヘッド)の芯の先端部から発生する磁束(外部磁界)は収束されたまま記録層内を通過する。こうして記録層に情報が超高密度に記録される。   In FIG. 5A, when the magnetic recording medium 100 moves to the left with respect to the light spot, the magnetic field application region 42 is separated from the light spot and cooled. FIG. 5B shows how the magnetization of each magnetic layer changes during the cooling process of the magnetic field application region 42. In the cooling process, when the temperature T of the magnetic field application region 42 is (1) Tc2 (Curie temperature of the recording control layer: 200 ° C.) <T <Tc (300 ° C.), the magnetization of the magnetic field application region of the recording layer is an external magnetic field. Appears in the Hex direction (upward in the figure) as TM-rich (transition metal dominant). (2) When room temperature <T <Tc2 (200 ° C.), the magnetization of the recording control layer appears in the same direction as the magnetization of the recording layer by exchange coupling, and at the same time, the recording layer by exchange coupling with the magnetization of the recording holding layer Is firmly fixed in the vertical direction. Also, the recording auxiliary layer exhibiting soft magnetism allows the magnetic flux (external magnetic field) generated from the tip of the core of the recording magnetic head 22 (single pole head) to pass through the recording layer while being converged. In this way, information is recorded on the recording layer at an extremely high density.

以上が、図1に示す積層構造を有する磁気記録媒体100の記録原理である。磁気記録媒体100に次の条件にてデータを記録した。磁気記録媒体100を線速1.0m/sで回転させながら、記録再生用ヘッド200を用いて外部磁界を磁気記録媒体100に磁界強度300Oeで6.25MHzで変調させて印加し、同時にレーザーパワー8mWのレーザー光を基板側から照射した。こうして、トラックピッチ(TP)0.4μm、ビットピッチ(BP)0.08μmで記録を行った。これは面記録密度20.1Gbits/in、データ転送レート12.5Mbits/sに相当する。 The above is the recording principle of the magnetic recording medium 100 having the laminated structure shown in FIG. Data was recorded on the magnetic recording medium 100 under the following conditions. While rotating the magnetic recording medium 100 at a linear velocity of 1.0 m / s, an external magnetic field is applied to the magnetic recording medium 100 with a magnetic field intensity of 300 Oe modulated at 6.25 MHz using the recording / reproducing head 200, and at the same time, laser power An 8 mW laser beam was irradiated from the substrate side. Thus, recording was performed with a track pitch (TP) of 0.4 μm and a bit pitch (BP) of 0.08 μm. This corresponds to a surface recording density of 20.1 Gbits / in 2 and a data transfer rate of 12.5 Mbits / s.

上記のようにして記録を行った磁気記録媒体100について、記録再生用ヘッド200を用いて記録層の磁化状態(記録データ)を検出し、S/N比の測定を行った。次いで、磁気記録媒体の環境耐久性を調べるために、記録データを保持したまま、次の3つの条件の環境下に磁気記録媒体を所定時間放置した後、再びS/N比を測定した。ここで、環境(1)60℃・90%RH、環境(2)70℃・90%RH、環境(3)80℃・90%RHとした。それぞれの環境下における磁気記録媒体のS/N比の変化の様子を図6のグラフに示す。図6のグラフにおいて縦軸は、上記環境下に放置した後に測定したS/N比を、放置前に測定したS/N比で規格化した相対値としてのS/N比(相対S/N比)を示している。図6のグラフから、最も過酷な環境(3)でさえ、10000時間後においても、95%以上の相対S/N比を保持していることがわかる。   For the magnetic recording medium 100 on which recording was performed as described above, the magnetization state (recording data) of the recording layer was detected using the recording / reproducing head 200, and the S / N ratio was measured. Next, in order to examine the environmental durability of the magnetic recording medium, the magnetic recording medium was left for a predetermined time in the environment of the following three conditions while maintaining the recording data, and then the S / N ratio was measured again. Here, environment (1) 60 ° C./90% RH, environment (2) 70 ° C./90% RH, environment (3) 80 ° C./90% RH. The graph of FIG. 6 shows how the S / N ratio of the magnetic recording medium changes in each environment. In the graph of FIG. 6, the vertical axis indicates the S / N ratio (relative S / N) as a relative value obtained by normalizing the S / N ratio measured after being left in the above-described environment by the S / N ratio measured before leaving. Ratio). From the graph of FIG. 6, it can be seen that even the harshest environment (3) retains a relative S / N ratio of 95% or more even after 10,000 hours.

次いで、記録層として垂直磁化を示すCoCr系の磁性材料を用いた従来の磁気記録媒体と本発明の磁気記録媒体について、80℃・90%RHの環境下におけるS/N比の耐久性を調べた。まず、従来の磁気記録媒体に、従来のリングヘッドを用いてTP=1.6μm、BP=0.2μm(2Gbits/in)で磁気記録を行ない(長手記録)、MRヘッドを用いて記録した情報を再生してS/N比を測定した。次いで、上記環境(80℃・90%RH)下に所定の時間放置した後、再度MRヘッドを用いてS/N比を測定した。つぎに、本発明の磁気記録媒体100に本発明の記録再生用ヘッド200を用いてTP=1.6μm、BP=0.2μm(2Gbits/in)で記録を行ない、記録した情報を本発明の記録再生用ヘッド200を用いて再生してS/N比を測定した。次いで、上記環境(80℃90%RH)下に所定の時間放置した後、本発明の記録再生用ヘッド200を用いて再度S/N比を測定した。図7のグラフに、従来の磁気記録媒体及び本発明の磁気記録媒体のS/N比の変化の様子を示す。なお、図7のグラフにおいて縦軸は、上記環境下に放置した後に測定したS/N比を、放置前に測定したS/N比で規格化した相対値としてのS/N比(相対S/N比)を示している。図7のグラフからわかるように、従来の磁気記録媒体は、80℃90%RHの環境下では、相対S/N比の低下は著しく、1時間後には相対S/N比は0.4以下にまで低下していた。一方、本発明の磁気記録媒体は、5時間経過しても高い相対S/N比を維持している。このことから、本発明の磁気記録媒体は、従来の磁気記録媒体と比べて高い環境耐久性を有していることがわかる。 Next, the durability of the S / N ratio in an environment of 80 ° C. and 90% RH was investigated for a conventional magnetic recording medium using a CoCr-based magnetic material exhibiting perpendicular magnetization as the recording layer and the magnetic recording medium of the present invention. It was. First, magnetic recording was performed on a conventional magnetic recording medium using a conventional ring head at TP = 1.6 μm and BP = 0.2 μm ( 2 Gbits / in 2 ) (longitudinal recording), and recording was performed using the MR head. The information was reproduced and the S / N ratio was measured. Next, after leaving for a predetermined time in the above environment (80 ° C., 90% RH), the S / N ratio was measured again using the MR head. Next, recording is performed on the magnetic recording medium 100 of the present invention using the recording / reproducing head 200 of the present invention at TP = 1.6 μm and BP = 0.2 μm ( 2 Gbits / in 2 ). The recording / reproducing head 200 was used for reproduction and the S / N ratio was measured. Subsequently, after being left for a predetermined time in the above environment (80 ° C. and 90% RH), the S / N ratio was measured again using the recording / reproducing head 200 of the present invention. The graph of FIG. 7 shows changes in the S / N ratio of the conventional magnetic recording medium and the magnetic recording medium of the present invention. In the graph of FIG. 7, the vertical axis indicates the S / N ratio (relative S) as a relative value obtained by normalizing the S / N ratio measured after leaving in the above environment by the S / N ratio measured before leaving. / N ratio). As can be seen from the graph of FIG. 7, in the conventional magnetic recording medium, the relative S / N ratio is remarkably reduced in an environment of 80 ° C. and 90% RH after 1 hour. It had fallen to. On the other hand, the magnetic recording medium of the present invention maintains a high relative S / N ratio even after 5 hours. From this, it can be seen that the magnetic recording medium of the present invention has higher environmental durability than the conventional magnetic recording medium.

つぎに、上記の本発明に従う磁気記録媒体100及び従来の磁気記録媒体について再生出力の記録マーク長依存性を調べた。記録マーク依存性は、本発明の磁気記録媒体100については、上記本発明に従うヘッドを用いて種々の記録マーク長で記録を行い、巨大磁気抵抗(GMR:Giant Magneto-Resistive)ヘッドを用いて再生を行なった。一方、従来の磁気記録媒体については、従来のリングヘッドを用いて記録を行ない(長手記録)、GMRヘッドを用いて再生を行なった。なお、本発明の磁気記録媒体及び従来の磁気記録媒体のどちらの場合も、トラックピッチは1.6μmであり、GMRヘッドはシールド間隔が0.2μmのものを用いた。本発明の磁気記録媒体及び従来の磁気記録媒体の記録マーク長に対する再生出力の変化の様子を図8のグラフに示す。図8のグラフにおいて縦軸は、従来の磁気記録媒体において記録マーク長が1.0μmの記録マークを再生したときの再生信号振幅で規格化した再生出力を示す。図8のグラフからわかるように、本発明の磁気記録媒体は、記録マーク長が0.2μm以下に狭くなった場合に、従来の磁気記録媒体よりも高い再生出力を得ている。   Next, the dependency of the reproduction output on the recording mark length was examined for the magnetic recording medium 100 according to the present invention and the conventional magnetic recording medium. Regarding the recording mark dependency, the magnetic recording medium 100 of the present invention is recorded with various recording mark lengths using the head according to the present invention, and is reproduced using a giant magnetoresistive (GMR) head. Was done. On the other hand, with respect to a conventional magnetic recording medium, recording was performed using a conventional ring head (longitudinal recording), and reproduction was performed using a GMR head. In both the magnetic recording medium of the present invention and the conventional magnetic recording medium, the track pitch was 1.6 μm, and the GMR head having a shield interval of 0.2 μm was used. The graph of FIG. 8 shows how the reproduction output changes with respect to the recording mark length of the magnetic recording medium of the present invention and the conventional magnetic recording medium. In the graph of FIG. 8, the vertical axis indicates the reproduction output normalized by the reproduction signal amplitude when a recording mark having a recording mark length of 1.0 μm is reproduced on a conventional magnetic recording medium. As can be seen from the graph of FIG. 8, the magnetic recording medium of the present invention obtains a higher reproduction output than the conventional magnetic recording medium when the recording mark length is narrowed to 0.2 μm or less.

実施例2
図9に、実施例1とは別の本発明に従う磁気記録媒体の具体例の概略断面図を示す。磁気記録媒体300は、図1に示す磁気記録媒体100の記録層5と保護層6との間に再生層8を設けた磁気記録媒体であり、基板1上に、記録補助層2、記録保持層3、記録制御層4、記録層5、再生層8、保護層6及び潤滑剤層7を順次積層してなる。かかる構造の磁気記録媒体300は、記録制御層4を構成する材料を非晶質フェリ磁性TbFeCoに変更し、記録層5の膜厚を50nmに変更し、記録層5上に再生層8を20nmの膜厚で成膜した以外は、実施例1と同様にして製造した。
Example 2
FIG. 9 shows a schematic cross-sectional view of a specific example of a magnetic recording medium according to the present invention, which is different from the first embodiment. The magnetic recording medium 300 is a magnetic recording medium in which a reproducing layer 8 is provided between the recording layer 5 and the protective layer 6 of the magnetic recording medium 100 shown in FIG. The layer 3, the recording control layer 4, the recording layer 5, the reproducing layer 8, the protective layer 6, and the lubricant layer 7 are sequentially laminated. In the magnetic recording medium 300 having such a structure, the material constituting the recording control layer 4 is changed to amorphous ferrimagnetic TbFeCo, the thickness of the recording layer 5 is changed to 50 nm, and the reproducing layer 8 is 20 nm on the recording layer 5. The film was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the film was formed with a thickness of.

図9において、記録制御層4は、垂直磁気異方性を示す非晶質フェリ磁性膜TbFeCoにより構成され、そのキュリー温度Tc2が200℃になるように組成を調整した。記録制御層4は、室温からキュリー温度Tc2にかけて希土類優勢(RE−rich)の極性を示す。   In FIG. 9, the recording control layer 4 is composed of an amorphous ferrimagnetic film TbFeCo exhibiting perpendicular magnetic anisotropy, and the composition is adjusted so that its Curie temperature Tc2 becomes 200.degree. The recording control layer 4 exhibits a rare earth dominant (RE-rich) polarity from room temperature to the Curie temperature Tc2.

再生層8は、非晶質フェリ磁性膜GdFeCoにより構成され、そのキュリー温度Tc4は350℃で補償温度Tcomp4は室温以下にある。室温からキュリー温度までは遷移金属優性(TM−rich)の垂直磁気異方性を示し、保磁力Hc4は500
Oe以下である。また、再生層8の飽和磁化Msは、図10に示したように室温以上で記録層5の飽和磁化Msよりも大きい。
The reproducing layer 8 is composed of an amorphous ferrimagnetic film GdFeCo, and its Curie temperature Tc4 is 350 ° C. and the compensation temperature Tcomp4 is below room temperature. From room temperature to the Curie temperature, transition metal dominant (TM-rich) perpendicular magnetic anisotropy is exhibited, and the coercive force Hc4 is 500.
Oe or less. Further, the saturation magnetization Ms of the reproducing layer 8 is larger than the saturation magnetization Ms of the recording layer 5 at room temperature or higher as shown in FIG.

記録再生実験
実施例1で説明した記録再生実験において磁気記録媒体100を本実施例で製造した磁気記録媒体300に変更した以外は、実施例1と同様にして記録再生実験を行なった。
Recording / Reproducing Experiment A recording / reproducing experiment was performed in the same manner as in Example 1 except that the magnetic recording medium 100 was changed to the magnetic recording medium 300 manufactured in the present example in the recording / reproducing experiment described in Example 1.

ここで、上記磁気記録媒体300の記録原理について説明する。まず、磁気記録媒体300を所定の線速で回転させながら、磁気記録媒体300の所定の領域にレーザー光を基板側から集光させて照射する。図11(a)に、磁気記録媒体300に、レーザー光を基板側(図中、下側)から集光させて照射した様子を示す。図11(a)中、左方向に磁気記録媒体300が移動するものとする。レーザーパワーは、図11(a)の温度分布のグラフに示したように、光スポット41で照射された領域の最高温度Tmax(ガウス分布を示す温度の最大値)が、記録保持層3のキュリー温度Tc3(450℃)以下で、且つ光スポット41で照射された領域のうち、磁界印加領域42を含む領域の温度が再生層8のキュリー温度Tc4(350℃)以上になるように調整した。レーザー光の照射と同時に、記録用磁気ヘッド22(単磁極ヘッド)を用いて磁気記録媒体300の表面に対して垂直上向きに外部磁界Hexを印加する。このとき、磁界印加領域42は、光スポット41に比べて小さい。   Here, the recording principle of the magnetic recording medium 300 will be described. First, while rotating the magnetic recording medium 300 at a predetermined linear velocity, a laser beam is focused and irradiated on a predetermined area of the magnetic recording medium 300 from the substrate side. FIG. 11A shows a state in which laser light is condensed and irradiated on the magnetic recording medium 300 from the substrate side (lower side in the figure). In FIG. 11A, it is assumed that the magnetic recording medium 300 moves to the left. As shown in the temperature distribution graph of FIG. 11A, the laser power is such that the maximum temperature Tmax (maximum value of the temperature showing the Gaussian distribution) of the region irradiated with the light spot 41 is the Curie of the recording holding layer 3. Of the region irradiated with the light spot 41 at a temperature Tc3 (450 ° C.) or lower, the temperature of the region including the magnetic field application region 42 was adjusted to be equal to or higher than the Curie temperature Tc4 (350 ° C.) of the reproducing layer 8. Simultaneously with the laser light irradiation, an external magnetic field Hex is applied vertically upward with respect to the surface of the magnetic recording medium 300 using the recording magnetic head 22 (single pole head). At this time, the magnetic field application region 42 is smaller than the light spot 41.

図11(a)において、磁気記録媒体300は、光スポットに対して左側に移動するので、磁界印加領域42は光スポットから外れて冷却される。図11(b)に、磁界印加領域42の冷却過程において各磁性層の磁化が変化する様子を示す。磁界印加領域42の冷却過程において、磁界印加領域42の温度Tが、(1)Tc(300℃)<T<Tc4(350℃)になると、再生層の磁界印加領域の磁化が外部磁界Hexの向き(図11中、上向き)にTM−richで出現する。(2)Tc2(200℃)<T<Tc(300℃)になると、再生層の磁界印加領域の直下に位置する記録層の磁化が外部磁界Hexの向き(図11(b)中、上向き)にTM−richで出現する。(3)室温<T<Tc2(200℃)になると、記録層の直下に位置する記録制御層の磁化が、記録層と交換結合することにより記録層の磁化と同じ向きに出現し、同時に記録保持層の磁化との交換結合で記録層の磁化状態がしっかりと固定される。かかる記録原理により記録層に情報が超高密度に記録される。なお、上記記録過程においては、軟磁性を示す記録補助層により、記録用磁気ヘッド22(単磁極ヘッド)の芯の先端部から発生する磁束(外部磁界)は収束されたまま記録層内を通過する。   In FIG. 11A, since the magnetic recording medium 300 moves to the left with respect to the light spot, the magnetic field application region 42 is separated from the light spot and cooled. FIG. 11B shows how the magnetization of each magnetic layer changes during the cooling process of the magnetic field application region 42. In the cooling process of the magnetic field application region 42, when the temperature T of the magnetic field application region 42 becomes (1) Tc (300 ° C.) <T <Tc 4 (350 ° C.), the magnetization of the magnetic field application region of the reproduction layer becomes the external magnetic field Hex. Appears TM-rich in the direction (upward in FIG. 11). (2) When Tc2 (200 ° C.) <T <Tc (300 ° C.), the magnetization of the recording layer located immediately below the magnetic field application region of the reproducing layer is the direction of the external magnetic field Hex (upward in FIG. 11B). Appears in TM-rich. (3) When room temperature <T <Tc2 (200 ° C.), the magnetization of the recording control layer located immediately below the recording layer appears in the same direction as the magnetization of the recording layer by exchange coupling with the recording layer, and at the same time recording The magnetization state of the recording layer is firmly fixed by exchange coupling with the magnetization of the holding layer. According to such a recording principle, information is recorded on the recording layer at an extremely high density. In the above recording process, the magnetic flux (external magnetic field) generated from the tip of the core of the recording magnetic head 22 (single pole head) passes through the recording layer while being converged by the recording auxiliary layer showing soft magnetism. To do.

超高密度に記録された情報を再生するには、記録再生用ヘッド200に搭載された再生用MRヘッド23を用いて再生層の磁化状態を検出する。前述したように、室温において再生層の飽和磁化は記録層の飽和磁化よりも大きいので、再生用MRヘッド23への漏洩磁界は大きくなる。したがって、実施例1のように記録層の磁化状態を直接再生用MRヘッド23を用いて再生したときよりも感度がよくなり、再生波形の振幅も大きくなる。更に、図10のグラフに示したように再生層の飽和磁化は室温から温度が上昇するに従い大きくなるので、再生時に低いレーザーパワーで磁気記録媒体を加熱することで再生波形振幅をさらに大きくすることができる。以上が、図9に示す積層構造を有する磁気記録媒体300の再生原理である。   In order to reproduce information recorded at an extremely high density, the magnetization state of the reproducing layer is detected using the reproducing MR head 23 mounted on the recording / reproducing head 200. As described above, since the saturation magnetization of the reproducing layer is larger than the saturation magnetization of the recording layer at room temperature, the leakage magnetic field to the reproducing MR head 23 becomes large. Therefore, the sensitivity is improved and the amplitude of the reproduction waveform is increased as compared with the case where the magnetization state of the recording layer is reproduced directly using the reproducing MR head 23 as in the first embodiment. Furthermore, as shown in the graph of FIG. 10, since the saturation magnetization of the reproducing layer increases as the temperature rises from room temperature, the reproducing waveform amplitude can be further increased by heating the magnetic recording medium with low laser power during reproduction. Can do. The above is the reproduction principle of the magnetic recording medium 300 having the laminated structure shown in FIG.

つぎに、磁気記録媒体300に次の条件にてデータを記録した。磁気記録媒体300を線速1.0m/sで回転させ、記録用磁気ヘッドを300Oeの強度で6.25MHzで変調させ、同時に8mWのレーザー光を照射して、トラックピッチ(TP)0.4μm、ビットピッチ(BP)0.08μmで記録を行った。これは面記録密度20.1Gbits/in、データ転送レート12.5Mbits/sに相当する。 Next, data was recorded on the magnetic recording medium 300 under the following conditions. The magnetic recording medium 300 is rotated at a linear velocity of 1.0 m / s, the recording magnetic head is modulated at an intensity of 300 Oe at 6.25 MHz, and at the same time, an 8 mW laser beam is irradiated to a track pitch (TP) of 0.4 μm. Recording was performed at a bit pitch (BP) of 0.08 μm. This corresponds to a surface recording density of 20.1 Gbits / in 2 and a data transfer rate of 12.5 Mbits / s.

上記のようにしてTP=0.4μm、BP=0.08μmで記録を行った磁気記録媒体300について再生用MRヘッド22を用いて、つぎの2つの再生条件(a)レーザー光を照射しない場合と、(b)レーザーパワー1.4mWのレーザー光を照射した場合で情報をそれぞれ再生してS/N比の測定を行なった。その結果、再生条件(b)の場合のほうが再生条件(a)の場合に比べてS/N比が大きいという結果を得た。   Using the reproducing MR head 22 for the magnetic recording medium 300 recorded with TP = 0.4 μm and BP = 0.08 μm as described above, the following two reproduction conditions (a) When laser light is not irradiated (B) When the laser beam with a laser power of 1.4 mW was irradiated, information was reproduced and the S / N ratio was measured. As a result, the S / N ratio was larger in the reproduction condition (b) than in the reproduction condition (a).

実施例3
図12に、本発明に従う磁気記録媒体の別の具体例の概略断面図を示す。磁気記録媒体400は、基板1上に、記録保持層3、記録制御層4、記録層5、再生層50、保護層6及び潤滑剤層7を順次積層してなる。かかる構造の磁気記録媒体400は、実施例1において基板1上に記録補助層2を成膜しないで、記録層5上に後述する特性を有する再生層50を20nmの膜厚で成膜し、記録制御層4を後述する磁気特性を有する非晶質フェリ磁性TbFeCoを用いて構成し、記録保持層3の膜厚を50nmに変更した以外は、実施例1と同様にして製造した。
Example 3
FIG. 12 shows a schematic cross-sectional view of another specific example of the magnetic recording medium according to the present invention. The magnetic recording medium 400 is formed by sequentially laminating a recording holding layer 3, a recording control layer 4, a recording layer 5, a reproducing layer 50, a protective layer 6 and a lubricant layer 7 on a substrate 1. The magnetic recording medium 400 having such a structure does not form the recording auxiliary layer 2 on the substrate 1 in Example 1, but forms a reproducing layer 50 having the characteristics described later on the recording layer 5 with a film thickness of 20 nm. The recording control layer 4 was manufactured using amorphous ferrimagnetic TbFeCo having magnetic characteristics described later, and was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the film thickness of the recording holding layer 3 was changed to 50 nm.

図12において記録制御層4は、垂直磁気異方性を示す非晶質フェリ磁性膜TbFeCoを用いて構成され、キュリー温度Tc2が200℃になるようにその組成を調整した。記録制御層4は、室温からキュリー温度にかけて希土類優勢(RE−rich)の極性を示す。再生層50は、キュリー温度Tc4が280℃の非晶質フェリ磁性膜GdFeCoを用いて構成され、室温から150℃までは面内磁化を示し、150℃以上で垂直磁化を示すようにその組成を調整した。安定な磁化方向が面内から垂直へ変化する臨界温度を垂直化温度と呼び、Tcr4で表す。   In FIG. 12, the recording control layer 4 is composed of an amorphous ferrimagnetic film TbFeCo exhibiting perpendicular magnetic anisotropy, and its composition is adjusted so that the Curie temperature Tc2 is 200 ° C. The recording control layer 4 exhibits a rare earth dominant (RE-rich) polarity from room temperature to the Curie temperature. The reproducing layer 50 is configured using an amorphous ferrimagnetic film GdFeCo having a Curie temperature Tc4 of 280 ° C., and has a composition such that in-plane magnetization is exhibited from room temperature to 150 ° C., and perpendicular magnetization is exhibited at 150 ° C. or more. It was adjusted. The critical temperature at which the stable magnetization direction changes from in-plane to perpendicular is called the perpendicularization temperature and is represented by Tcr4.

図13に、実施例1とは別の本発明に従う記録再生用ヘッドの一具体例の概略図を示す。記録再生用ヘッド210は、ヘッド本体部120と、媒体を加熱するためのレーザー光源127とからなる。レーザー光源127は、発振波長640nmの半導体レーザーである。ヘッド本体部120は、エアスライダー121と、エアスライダー121に搭載された記録用磁気ヘッド(磁気コイル)122及び再生用MRヘッド123とから構成される。エアスライダー121はセラミック材料(または透明ガラス)を用いて構成されている。エアスライダ121を用いることにより、ヘッド本体部120を媒体表面から所定の間隔で浮上させることができる。本実施例では、記録再生時にヘッド本体部120が媒体の表面から50nmの高さで浮上するように設計した。   FIG. 13 shows a schematic diagram of a specific example of a recording / reproducing head according to the present invention, which is different from the first embodiment. The recording / reproducing head 210 includes a head main body 120 and a laser light source 127 for heating the medium. The laser light source 127 is a semiconductor laser having an oscillation wavelength of 640 nm. The head main body 120 includes an air slider 121, a recording magnetic head (magnetic coil) 122 mounted on the air slider 121, and a reproducing MR head 123. The air slider 121 is configured using a ceramic material (or transparent glass). By using the air slider 121, the head main body 120 can be floated from the medium surface at a predetermined interval. In this embodiment, the head main body 120 is designed to float at a height of 50 nm from the surface of the medium during recording and reproduction.

図13において記録用磁気ヘッド122は、媒体表面に対して垂直方向に磁界を印加することが可能な単磁極ヘッドであり、磁気コイル108と環状の芯部105とから構成される。芯部105は、高周波透磁率の大きな強磁性材料NiFeを用いて構成されている。図13に示したように、芯部105の外周は、スライダーの上面から下面に向かって形成されている貫通穴130の内周に接合するするように嵌合されている。磁気コイル108は銅線から構成され、芯部105の下方に、芯部105の外周を周回するように設けられている。かかる記録用磁気ヘッド122を用い、記録データに応じて変調された外部磁界を発生させることにより媒体上にデータを記録することができる。記録用磁気ヘッド122は、最大で500Oeの磁界を発生させることができる。   In FIG. 13, a recording magnetic head 122 is a single-pole head that can apply a magnetic field in a direction perpendicular to the medium surface, and includes a magnetic coil 108 and an annular core portion 105. The core portion 105 is configured using a ferromagnetic material NiFe having a high frequency magnetic permeability. As shown in FIG. 13, the outer periphery of the core portion 105 is fitted so as to be joined to the inner periphery of the through hole 130 formed from the upper surface to the lower surface of the slider. The magnetic coil 108 is made of a copper wire, and is provided below the core portion 105 so as to go around the outer periphery of the core portion 105. Using such a recording magnetic head 122, data can be recorded on the medium by generating an external magnetic field modulated in accordance with the recording data. The recording magnetic head 122 can generate a magnetic field of 500 Oe at the maximum.

また、図13において、環状の芯部105の内側には媒体にレーザー光を集光するための対物レンズ109が挿入されている。対物レンズ109のNA(Numerical Aperture)は0.85である。対物レンズ109は、芯105の上開口部105aから入射したレーザー光を集光して芯105の下開口部105bから媒体に向かって照射する。   In FIG. 13, an objective lens 109 for condensing laser light on the medium is inserted inside the annular core portion 105. The NA (Numerical Aperture) of the objective lens 109 is 0.85. The objective lens 109 collects the laser light incident from the upper opening 105a of the core 105 and irradiates the medium from the lower opening 105b of the core 105 toward the medium.

再生用MRヘッド123は、垂直方向の磁化状態を検出することが可能な垂直磁化再生用のMRヘッドであり、MR素子の構成はFeMn/CoNi/Cu/Coである。再生用MRヘッドは、磁気記録媒体に対して相対的に移動する方向において、記録用磁気ヘッドよりも後方(図13中、左方向)に設けられており、磁気記録媒体の記録層に垂直磁気記録されたデータを読み出すことができる。   The reproducing MR head 123 is an MR head for perpendicular magnetization reproduction capable of detecting the perpendicular magnetization state, and the configuration of the MR element is FeMn / CoNi / Cu / Co. The reproducing MR head is provided behind (in the left direction in FIG. 13) the recording magnetic head in the direction of movement relative to the magnetic recording medium, and is perpendicular to the recording layer of the magnetic recording medium. The recorded data can be read out.

ヘッド本体部120において、再生用MRヘッド123と記録用磁気ヘッド122との間には熱遮断層126aが形成されている。熱遮断層126aは熱伝導率の低いセラミックを用いて構成されており、再生用MRヘッド123への磁気コイル108の発熱による影響を低減している。また、ヘッド本体部の上面には熱伝導率の高いAlからなる放熱材126bが形成されており、磁気コイル108から発生する熱をヘッド外部に放熱することができる。   In the head main body 120, a heat blocking layer 126 a is formed between the reproducing MR head 123 and the recording magnetic head 122. The heat blocking layer 126 a is configured using a ceramic having low thermal conductivity, and reduces the influence of heat generated by the magnetic coil 108 on the reproducing MR head 123. Further, a heat dissipating material 126b made of Al having high thermal conductivity is formed on the upper surface of the head main body, and heat generated from the magnetic coil 108 can be dissipated outside the head.

情報の記録及び再生
上記磁気記録媒体400及び記録再生用ヘッド210を用いて記録及び再生を行なうことができる。記録及び再生は、磁気記録媒体400を評価装置(ドライブ)に装填して、記録再生用ヘッド210を磁気記録媒体400の潤滑剤層側(基板と反対側)に配置して行う。
Recording and Reproduction of Information Recording and reproduction can be performed using the magnetic recording medium 400 and the recording / reproducing head 210. Recording and reproduction are performed by loading the magnetic recording medium 400 in an evaluation device (drive) and placing the recording / reproducing head 210 on the lubricant layer side (opposite side of the substrate) of the magnetic recording medium 400.

ここで、上記磁気記録媒体400の記録及び再生原理について図14及び図15を参照しながら説明する。図14(a)に、磁気記録媒体400の所定の領域に、レーザー光を潤滑剤層側(図中、上側)から集光させて照射した様子を示す。磁気記録媒体400は所定の線速で回転しており、図14(a)の左方向に磁気記録媒体が移動するものとする。レーザー光のパワーは、図14(a)の温度分布のグラフに示したように、光スポット41で照射された領域の最高温度Tmax(ガウス分布を示す温度の最大値)が、記録保持層3のキュリー温度Tc3(450℃)以下で、且つ光スポット41で照射された領域の一部の温度が再生層8のキュリー温度Tc4(280℃)以上になるように調整しておく。レーザー光を磁気記録媒体400に照射すると同時に、記録用磁気ヘッド122(単磁極ヘッド)を用いて磁気記録媒体400の表面に対して垂直上向きに外部磁界Hexを印加する。   Here, the recording and reproducing principles of the magnetic recording medium 400 will be described with reference to FIGS. FIG. 14A shows a state in which a predetermined region of the magnetic recording medium 400 is irradiated with a laser beam condensed from the lubricant layer side (the upper side in the drawing). The magnetic recording medium 400 is rotated at a predetermined linear velocity, and the magnetic recording medium is moved in the left direction in FIG. As shown in the temperature distribution graph of FIG. 14A, the laser beam power is such that the maximum temperature Tmax (maximum value of the temperature showing the Gaussian distribution) of the region irradiated with the light spot 41 is The Curie temperature Tc3 (450 ° C.) or less is adjusted so that the temperature of a part of the region irradiated with the light spot 41 is equal to or higher than the Curie temperature Tc4 (280 ° C.) of the reproducing layer 8. At the same time as irradiating the magnetic recording medium 400 with laser light, an external magnetic field Hex is applied vertically upward with respect to the surface of the magnetic recording medium 400 using the recording magnetic head 122 (single pole head).

図14(a)において、磁気記録媒体400が光スポットに対して左側に移動すると、光スポットの照射により加熱された領域(以下、高温領域という)は光スポットから外れて冷却される。図14(b)に、高温領域の冷却過程において各磁性層の磁化が変化する様子を示す。高温領域の温度をTで表したとき、図14(b)に示すように、(1)Tc4(再生層のキュリー温度:280℃)<T<Tc(記録層のキュリー温度:300℃)になると記録層の高温領域の磁化が外部磁界Hexの向き(上向き)にTM−richで出現する。(2)Tc2(200℃)<T<Tc4(280℃)になると、記録層の直上に位置する再生層の磁化が記録層の磁化との交換結合によりRE−richで下向き(遷移金属の副格子磁化が上向き)で出現する。(3)Tcr4(150℃)<T<Tc2(200℃)になると、記録制御層の磁化が、記録層の高温領域の磁化と交換結合して記録層の記録領域の磁化と同じ向きに出現し、同時に記録保持層の磁化と交換結合することにより記録層の磁化状態がしっかりと固定される。(4)室温<T<Tcr4(150℃)で再生層の磁化が垂直方向から面内方向に向く。こうして記録層に情報が記録される。以上が記録の原理である。   In FIG. 14A, when the magnetic recording medium 400 moves to the left with respect to the light spot, a region heated by the light spot irradiation (hereinafter referred to as a high temperature region) is removed from the light spot and cooled. FIG. 14B shows how the magnetization of each magnetic layer changes during the cooling process in the high temperature region. When the temperature in the high temperature region is represented by T, as shown in FIG. 14B, (1) Tc4 (Curie temperature of the reproduction layer: 280 ° C.) <T <Tc (Curie temperature of the recording layer: 300 ° C.) Then, the magnetization in the high temperature region of the recording layer appears TM-rich in the direction of the external magnetic field Hex (upward). (2) When Tc2 (200 ° C.) <T <Tc4 (280 ° C.), the magnetization of the reproducing layer located immediately above the recording layer is downward in RE-rich due to exchange coupling with the magnetization of the recording layer. Lattice magnetization appears upward). (3) When Tcr4 (150 ° C.) <T <Tc 2 (200 ° C.), the magnetization of the recording control layer appears in the same direction as the magnetization of the recording region of the recording layer by exchange coupling with the magnetization of the high temperature region of the recording layer. At the same time, the magnetization state of the recording layer is firmly fixed by exchange coupling with the magnetization of the recording holding layer. (4) At room temperature <T <Tcr4 (150 ° C.), the magnetization of the reproducing layer is directed from the perpendicular direction to the in-plane direction. Information is thus recorded on the recording layer. The above is the principle of recording.

つぎに再生原理について説明する。上述した記録原理により記録した情報を再生するには、磁気記録媒体400を所定の線速で回転させながらレーザーパワーの低い再生用のレーザー光を照射して磁気記録媒体400を加熱する。図15に、磁気記録媒体400の所定の領域に再生用レーザー光150を照射した様子を示す。再生用レーザー光150を磁気記録媒体400に照射することにより、磁気記録媒体400の表面は、図15の下方のグラフに示したような温度分布で加熱される。再生層の垂直化温度Tcr4以上の領域では、磁化は面内方向から垂直方向に変化する。このとき交換結合力により再生層の直下に位置する記録層の磁化状態が再生層に転写される。図15に示すように、再生用MRヘッド123は、再生層の磁化が面内磁化から垂直磁化に変化する境界の直上に位置している。また、再生用MRヘッド123の寸法は、再生層の磁区の寸法よりも大きいので、再生用MRヘッド123の直下の領域に複数の再生層の磁化151、152が存在することになる。しかしながら、再生用MRヘッド123の左側に位置する再生層の磁化152は面内方向を向いているため再生用MRヘッド123で検出されることはなく、一方の垂直方向の磁化151、すなわち、再生層の磁化の直下に存在する記録層の磁化情報だけが独立に抽出される。また、再生層の面内磁化152によりその直下に位置する記録層の磁化状態の影響を受けることもない。また、再生層の飽和磁化は、図10に示したように記録層の飽和磁化よりも大きく、しかも温度が高くなるに従って大きくなっているので、上述のように再生用レーザー光を照射して磁気記録媒体を加熱することにより再生用MRヘッド123は再生層から大きな漏洩磁界を検出することができる。以上が磁気記録媒体400の再生の原理である。   Next, the principle of reproduction will be described. In order to reproduce the information recorded according to the recording principle described above, the magnetic recording medium 400 is heated by irradiating a reproducing laser beam having a low laser power while rotating the magnetic recording medium 400 at a predetermined linear velocity. FIG. 15 shows a state in which the reproduction laser beam 150 is irradiated to a predetermined area of the magnetic recording medium 400. By irradiating the reproducing laser beam 150 to the magnetic recording medium 400, the surface of the magnetic recording medium 400 is heated with a temperature distribution as shown in the lower graph of FIG. In the region above the perpendicularization temperature Tcr4 of the reproducing layer, the magnetization changes from the in-plane direction to the vertical direction. At this time, the magnetization state of the recording layer located immediately below the reproducing layer is transferred to the reproducing layer by the exchange coupling force. As shown in FIG. 15, the reproducing MR head 123 is located immediately above the boundary where the magnetization of the reproducing layer changes from in-plane magnetization to perpendicular magnetization. Further, since the size of the reproducing MR head 123 is larger than the size of the magnetic domain of the reproducing layer, a plurality of reproducing layer magnetizations 151 and 152 exist in the region immediately below the reproducing MR head 123. However, since the magnetization 152 of the reproducing layer located on the left side of the reproducing MR head 123 is directed in the in-plane direction, it is not detected by the reproducing MR head 123, and one vertical magnetization 151, ie, reproducing Only the magnetization information of the recording layer existing immediately below the magnetization of the layer is extracted independently. Further, the in-plane magnetization 152 of the reproducing layer is not affected by the magnetization state of the recording layer located immediately below it. Further, since the saturation magnetization of the reproducing layer is larger than the saturation magnetization of the recording layer as shown in FIG. 10 and increases as the temperature rises, the reproducing laser beam is irradiated as described above to generate a magnetic field. By heating the recording medium, the reproducing MR head 123 can detect a large leakage magnetic field from the reproducing layer. The above is the principle of reproduction of the magnetic recording medium 400.

実施例4
図16に、上記実施例1〜3とは異なる本発明の磁気記録媒体の具体例の概略断面図を示す。磁気記録媒体500は、基板1上に記録保持層3、記録制御層4、記録層5、マスク層52、磁気転写層54、保護層6及び潤滑層7を順次積層してなる。
Example 4
FIG. 16 shows a schematic cross-sectional view of a specific example of the magnetic recording medium of the present invention, which is different from the first to third embodiments. The magnetic recording medium 500 is formed by sequentially laminating a recording holding layer 3, a recording control layer 4, a recording layer 5, a mask layer 52, a magnetic transfer layer 54, a protective layer 6 and a lubricating layer 7 on a substrate 1.

記録保持層3は、垂直磁気異方性を示す反強磁性膜NiOを用いて構成され、キュリー温度Tc3が450℃になるようにその組成を調整した。記録制御層4は、垂直磁気異方性を示す磁性膜DyFeCoを用いて構成され、キュリー温度Tc2が200℃になるようにその組成を調整した。組成を調整したDyFeCoは、室温からキュリー温度にかけて希土類優勢(RE−rich)の極性を示す。   The recording holding layer 3 is composed of an antiferromagnetic film NiO exhibiting perpendicular magnetic anisotropy, and its composition is adjusted so that the Curie temperature Tc3 is 450 ° C. The recording control layer 4 was formed using a magnetic film DyFeCo exhibiting perpendicular magnetic anisotropy, and its composition was adjusted so that the Curie temperature Tc2 was 200 ° C. DyFeCo whose composition has been adjusted exhibits a rare earth dominant (RE-rich) polarity from room temperature to Curie temperature.

マスク層52は、非晶質フェリ磁性膜GdFeCoを用いて構成され、そのキュリー温度Tc4は300℃で、且つ室温から150℃までは面内磁化を示し、且つ150℃以上で垂直磁化を示すように組成を調整した。安定な磁化方向が面内から垂直へ変化する臨界温度を垂直化温度と呼び、Tcr4で表す。磁気転写層54は、非晶質フェリ磁性膜GdFeCoを用いて構成され、そのキュリー温度Tc5は300℃で、室温から110℃までは垂直磁化を示し、110℃から150℃までは面内磁化を示し、150℃から300℃までは垂直磁化を示すように組成を調整した。ここで、安定な磁化方向が垂直から面内へ変化する臨界温度(110℃)を面内化温度と呼び、Tcr'5で表す。また、磁気転写層54の磁性材料は、高温になると面内方向の交換結合力が強まる性質を有する。   The mask layer 52 is formed using an amorphous ferrimagnetic film GdFeCo, and its Curie temperature Tc4 is 300 ° C., shows in-plane magnetization from room temperature to 150 ° C., and shows perpendicular magnetization at 150 ° C. or more. The composition was adjusted. The critical temperature at which the stable magnetization direction changes from in-plane to perpendicular is called the perpendicularization temperature and is represented by Tcr4. The magnetic transfer layer 54 is composed of an amorphous ferrimagnetic film GdFeCo, and has a Curie temperature Tc5 of 300 ° C., showing perpendicular magnetization from room temperature to 110 ° C., and in-plane magnetization from 110 ° C. to 150 ° C. The composition was adjusted to show perpendicular magnetization from 150 ° C. to 300 ° C. Here, the critical temperature (110 ° C.) at which the stable magnetization direction changes from perpendicular to in-plane is called the in-plane temperature and is represented by Tcr′5. Further, the magnetic material of the magnetic transfer layer 54 has a property that the exchange coupling force in the in-plane direction becomes stronger at a high temperature.

記録層5、保護層6及び潤滑層7を構成する材料については実施例1で製造した磁気記録媒体と同様の材料を用いた。これら記録保持層3、記録制御層4、記録層5、マスク層52、磁気転写層54及び保護層6は、それぞれスパッタリングにより順次成膜され、各層の膜厚は順に、50nm、10nm、100nm、5nm、15nm、10nmであった。次いで、潤滑層7を、スピンコーティングにより膜厚2nmで保護層6上に形成した。こうして図16に示す構造を有する磁気記録媒体500を製造した。   As the materials constituting the recording layer 5, the protective layer 6, and the lubricating layer 7, the same materials as those of the magnetic recording medium manufactured in Example 1 were used. The recording holding layer 3, the recording control layer 4, the recording layer 5, the mask layer 52, the magnetic transfer layer 54, and the protective layer 6 are sequentially formed by sputtering, and the thickness of each layer is 50 nm, 10 nm, 100 nm, They were 5 nm, 15 nm, and 10 nm. Next, the lubricating layer 7 was formed on the protective layer 6 with a film thickness of 2 nm by spin coating. Thus, the magnetic recording medium 500 having the structure shown in FIG. 16 was manufactured.

情報の記録及び再生
上記磁気記録媒体500は、垂直磁化を検出する再生用MRヘッド123の代わりに面内磁化を検出する再生用MRヘッド123’を用いた以外は、実施例3と同様の記録再生用ヘッドを用いて記録及び再生を行なうことができる。記録及び再生は、磁気記録媒体500を評価装置(ドライブ)に装填して、記録再生用ヘッド210を磁気記録媒体500の潤滑剤層側(基板と反対側)に配置して行う。
Recording and Reproduction of Information The above magnetic recording medium 500 is the same recording as that of Example 3 except that a reproducing MR head 123 ′ that detects in-plane magnetization is used instead of the reproducing MR head 123 that detects perpendicular magnetization. Recording and reproduction can be performed using a reproduction head. Recording and reproduction are performed by loading the magnetic recording medium 500 in an evaluation device (drive) and disposing the recording / reproducing head 210 on the lubricant layer side (opposite side of the substrate) of the magnetic recording medium 500.

ここで、上記磁気記録媒体500の記録及び再生原理について図17〜図19を参照しながら説明する。図17(a)に、磁気記録媒体500の所定の領域に、レーザー光を基板1と反対側(図中、上側)から集光させて照射した様子を示す。磁気記録媒体500は所定の線速で回転しており、図17(a)の左方向に磁気記録媒体が移動するものとする。レーザー光のパワーは、図17(a)の温度分布のグラフに示したように、光スポット41で照射された領域の最高温度Tmax(ガウス分布を示す温度の最大値)が、記録保持層3のキュリー温度Tc3(450℃)以下で、且つ光スポット41で照射された領域の一部の温度が記録層5のキュリー温度Tc(300℃)以上になるように調整しておく。レーザー光を磁気記録媒体500に照射すると同時に、記録用磁気ヘッド122(単磁極ヘッド)を用いて磁気記録媒体500の表面に対して垂直上向きに外部磁界Hexを印加する。   Here, the recording and reproducing principles of the magnetic recording medium 500 will be described with reference to FIGS. FIG. 17A shows a state in which a predetermined region of the magnetic recording medium 500 is irradiated with a laser beam condensed from the side opposite to the substrate 1 (upper side in the drawing). The magnetic recording medium 500 rotates at a predetermined linear velocity, and the magnetic recording medium is moved in the left direction in FIG. As shown in the temperature distribution graph of FIG. 17A, the laser beam power is such that the maximum temperature Tmax (maximum value indicating the Gaussian distribution) of the region irradiated with the light spot 41 is the recording holding layer 3. The Curie temperature Tc3 (450 ° C.) of the recording layer 5 is adjusted to be equal to or lower than the Curie temperature Tc (300 ° C.) of the recording layer 5. At the same time as irradiating the magnetic recording medium 500 with laser light, an external magnetic field Hex is applied vertically upward to the surface of the magnetic recording medium 500 using the recording magnetic head 122 (single pole head).

図17(a)において、磁気記録媒体500が光スポット41に対して左側に移動すると、光スポット41の照射により加熱された領域45(高温領域)は光スポット41から外れて冷却される。図17(b)に、高温領域45の冷却過程において各磁性層の磁化が変化する様子を示す。図17(b)において、高温領域45の温度をTで表したとき、(1)Tc4<T<Tcになると記録層の磁化が外部磁界Hexの向き(図中、上向き)にTM−richで出現する。(2)Tc2<T<Tc4になるとマスク層および磁気転写層の磁化が記録層の磁化との交換結合によりRE−richで図中下向き(ただし、図17(b)には、遷移金属の副格子磁化(上向き)として表す)で出現する。(3)Tcr4<T<Tc2になると記録制御層の磁化が交換結合により記録層の磁化と同じ向きに出現し、同時に記録保持層の磁化との交換結合で記録層の磁化状態がしっかりと固定される。(4)Tcr'5<T<Tcr4で、マスク層24aの磁化が垂直方向から面内方向へ向く。(5)室温<T<Tcr'5で、磁気転写層24bの磁化が面内方向から垂直方向へ向く。こうして情報が記録層に記録される。以上が、磁気記録媒体500の記録の原理である。   In FIG. 17A, when the magnetic recording medium 500 moves to the left with respect to the light spot 41, the region 45 (high temperature region) heated by the irradiation of the light spot 41 is separated from the light spot 41 and cooled. FIG. 17B shows how the magnetization of each magnetic layer changes during the cooling process of the high temperature region 45. In FIG. 17B, when the temperature of the high temperature region 45 is represented by T, (1) When Tc4 <T <Tc, the magnetization of the recording layer is TM-rich in the direction of the external magnetic field Hex (upward in the figure). Appear. (2) When Tc2 <T <Tc4, the magnetization of the mask layer and the magnetic transfer layer faces downward in the figure by RE-rich due to exchange coupling with the magnetization of the recording layer (however, in FIG. Appears as lattice magnetization (upward). (3) When Tcr4 <T <Tc2, the magnetization of the recording control layer appears in the same direction as the magnetization of the recording layer due to exchange coupling, and at the same time, the magnetization state of the recording layer is firmly fixed by exchange coupling with the magnetization of the recording holding layer. Is done. (4) When Tcr′5 <T <Tcr4, the magnetization of the mask layer 24a is directed from the vertical direction to the in-plane direction. (5) At room temperature <T <Tcr′5, the magnetization of the magnetic transfer layer 24b is directed from the in-plane direction to the vertical direction. Information is thus recorded on the recording layer. The above is the principle of recording on the magnetic recording medium 500.

つぎに上述の記録原理により記録された情報の再生原理について説明する。まず、図18に示したように、再生しようとする記録層の記録磁区が下向きに形成されている場合について説明する。磁気記録媒体500を所定の線速で回転させながらレーザーパワーの低い再生用のレーザー光を照射して磁気記録媒体500を加熱する。再生用レーザー光を磁気記録媒体500に照射することにより、磁気記録媒体の表面は図18の下方に示したような温度分布で加熱される。このとき、マスク層52の垂直化温度Tcr4(150℃)以上の温度領域の磁化180だけが面内方向から垂直方向へ変化する。記録層に下向きの磁化181が形成されている場合、マスク層52の磁化180は、マスク層52の直下に位置する記録層の下向きの磁化181と交換結合して記録層の磁化状態を反映した方向、すなわち図18中、下方向に向く。   Next, the principle of reproducing information recorded by the above-described recording principle will be described. First, as shown in FIG. 18, a case where the recording magnetic domain of the recording layer to be reproduced is formed downward will be described. While the magnetic recording medium 500 is rotated at a predetermined linear velocity, the magnetic recording medium 500 is heated by irradiating a reproducing laser beam having a low laser power. By irradiating the magnetic recording medium 500 with the reproducing laser beam, the surface of the magnetic recording medium is heated with a temperature distribution as shown in the lower part of FIG. At this time, only the magnetization 180 in the temperature region of the mask layer 52 not lower than the verticalizing temperature Tcr4 (150 ° C.) changes from the in-plane direction to the vertical direction. When the downward magnetization 181 is formed in the recording layer, the magnetization 180 of the mask layer 52 exchange-couples with the downward magnetization 181 of the recording layer located immediately below the mask layer 52 to reflect the magnetization state of the recording layer. The direction, that is, the downward direction in FIG.

磁気転写層54の150℃以上の温度領域の磁化182は、面内方向から垂直方向に変化し、マスク層52の磁化180と交換結合して記録層5の磁化状態を反映した方向、すなわち図18の下方向に向く。磁気転写層54の面内化温度Tcr'5(110℃)以上150℃未満の温度領域の磁化183は、垂直方向から面内方向に変化する。このとき、磁気転写層54の磁化183は、記録層5の磁化181及び記録制御層の磁化184からの磁界により、図18に示すように右斜め下向きの磁化となる。この磁気転写層54の右斜め下向きの磁化の面内成分を面内磁化検出用のMRヘッド123’により検出する。このように記録層の下向きの磁化を、磁気転写層に転写させると共に、磁気転写層の面内化温度Tcr'5(110℃)以上の温度領域程度にまで拡大させて情報を再生する。   The magnetization 182 in the temperature region of 150 ° C. or more of the magnetic transfer layer 54 changes from the in-plane direction to the perpendicular direction, and is exchange-coupled with the magnetization 180 of the mask layer 52 to reflect the magnetization state of the recording layer 5, that is, 18 downwards. The magnetization 183 in the temperature region of the in-plane temperature Tcr′5 (110 ° C.) or higher and lower than 150 ° C. of the magnetic transfer layer 54 changes from the vertical direction to the in-plane direction. At this time, the magnetization 183 of the magnetic transfer layer 54 becomes a magnetization directed diagonally downward to the right as shown in FIG. 18 due to the magnetic field from the magnetization 181 of the recording layer 5 and the magnetization 184 of the recording control layer. The in-plane component of the rightward downward magnetization of the magnetic transfer layer 54 is detected by the MR head 123 'for detecting in-plane magnetization. In this way, the downward magnetization of the recording layer is transferred to the magnetic transfer layer, and the information is reproduced by expanding it to a temperature region of the in-plane temperature Tcr′5 (110 ° C.) or higher of the magnetic transfer layer.

以上が、再生しようとする記録磁区が下向きである場合についての再生原理である。つぎに、記録磁区が上向きの場合について図19を用いて説明する。上記と同様に、再生用レーザー光を磁気記録媒体500に照射すると、磁気記録媒体の表面は図19の下方に示したような温度分布で加熱される。このとき、マスク層52の垂直化温度Tcr4(150℃)以上の温度領域の磁化190だけが面内方向から垂直方向へ変化し、マスク層52の直下に位置する記録層の上向きの磁化191と交換結合して記録層の磁化状態を反映した方向、すなわち図19中、上方向に向く。   The above is the reproduction principle when the recording magnetic domain to be reproduced is downward. Next, the case where the recording magnetic domain faces upward will be described with reference to FIG. Similarly to the above, when the reproducing laser beam is irradiated onto the magnetic recording medium 500, the surface of the magnetic recording medium is heated with a temperature distribution as shown in the lower part of FIG. At this time, only the magnetization 190 in the temperature region equal to or higher than the perpendicularization temperature Tcr4 (150 ° C.) of the mask layer 52 changes from the in-plane direction to the vertical direction, and the upward magnetization 191 of the recording layer located immediately below the mask layer 52 The direction is exchange-coupled to reflect the magnetization state of the recording layer, that is, upward in FIG.

そして、磁気転写層54の150℃以上の温度領域の磁化192は、面内方向から垂直方向に変化し、マスク層52の磁化190と交換結合して記録層5の磁化状態を反映した方向、すなわち図18の上方向に向く。磁気転写層54の面内化温度Tcr’5(110℃)以上150℃未満の温度領域の磁化193は、垂直方向から面内方向に変化し、記録層5の磁化191及び記録制御層の磁化194からの磁界により、図19に示すように左斜め上向きの磁化となる。この磁気転写層54の左斜め上向きの磁化の面内成分を面内磁化検出用のMRヘッド123’により検出する。こうして、記録層に形成された上向きと下向きの磁化をそれぞれ区別して再生する。以上が、磁気記録媒体500の再生の原理である。   Then, the magnetization 192 in the temperature region of 150 ° C. or more of the magnetic transfer layer 54 changes from the in-plane direction to the perpendicular direction, exchange-coupled with the magnetization 190 of the mask layer 52, and reflects the magnetization state of the recording layer 5. That is, it faces upward in FIG. The magnetization 193 in the temperature region of the magnetic transfer layer 54 in the in-plane temperature Tcr′5 (110 ° C.) or more and less than 150 ° C. changes from the vertical direction to the in-plane direction, and the magnetization 191 of the recording layer 5 and the magnetization of the recording control layer. Due to the magnetic field from 194, the magnetization becomes diagonally upward to the left as shown in FIG. The in-plane component of the leftward upward magnetization of the magnetic transfer layer 54 is detected by the MR head 123 'for detecting in-plane magnetization. Thus, the upward and downward magnetizations formed in the recording layer are distinguished and reproduced. The above is the principle of reproduction of the magnetic recording medium 500.

以上説明してきたように、本実施例においては、記録層5の記録磁区を独立にマスク層52を介して磁気転写層54に拡大して転写し、拡大して転写された磁気転写層54からの再生信号を検出するので、記録層5から検出される再生信号よりも大きな振幅の再生信号を得ることができる。さらに、安価な面内磁化検出用のMRヘッドを用いて情報を再生することが可能なため、ドライブ製造のコスト低減が可能となる。   As described above, in this embodiment, the recording magnetic domains of the recording layer 5 are independently transferred to the magnetic transfer layer 54 via the mask layer 52 and transferred from the enlarged magnetic transfer layer 54. Therefore, a reproduction signal having a larger amplitude than the reproduction signal detected from the recording layer 5 can be obtained. Furthermore, since information can be reproduced using an inexpensive MR head for detecting in-plane magnetization, the cost for manufacturing the drive can be reduced.

実施例5
つぎに、磁気抵抗素子の代わりに誘導型磁気ヘッドを用いて情報を再生する実施例について説明する。
Example 5
Next, an embodiment in which information is reproduced using an inductive magnetic head instead of the magnetoresistive element will be described.

本実施例では、光磁気記録媒体として、DWDD(Domain Wall Displacement Detection;磁壁移動検出方式)に従う光磁気記録媒体(以下DWDD媒体と称する)を使用する。図21に、DWDDに従う光磁気記録媒体230の断面構造を示す。DWDD媒体230は、図21に示したように、基板231上に、保護層232、メモリ層(記録層)233、スイッチング層234、移動層(再生層)235、保護層236及び潤滑剤層237を順次積層した構造を有する。   In the present embodiment, a magneto-optical recording medium (hereinafter referred to as a DWDD medium) according to DWDD (Domain Wall Displacement Detection) is used as the magneto-optical recording medium. FIG. 21 shows a cross-sectional structure of a magneto-optical recording medium 230 according to DWDD. As shown in FIG. 21, the DWDD medium 230 includes a protective layer 232, a memory layer (recording layer) 233, a switching layer 234, a moving layer (reproducing layer) 235, a protective layer 236, and a lubricant layer 237 on a substrate 231. Are sequentially stacked.

基板231は、射出成形法により製造されるポリカーボネート基板であり、0.6μm幅のランド及びグルーブを有するランド・グルーブ型基板である。基板231上に設けられた保護層232は、SiNから構成され、60nmの膜厚を有する。メモリ層233は情報が記録される層であり、TbFeCoCrから構成され、80nmの膜厚を有する。メモリ層233は、補償温度が約80℃、キュリー温度が約230℃となるようにTbFeCoCrの組成を調整した。   The substrate 231 is a polycarbonate substrate manufactured by an injection molding method, and is a land / groove type substrate having lands and grooves having a width of 0.6 μm. The protective layer 232 provided on the substrate 231 is made of SiN and has a thickness of 60 nm. The memory layer 233 is a layer on which information is recorded, is made of TbFeCoCr, and has a thickness of 80 nm. In the memory layer 233, the composition of TbFeCoCr was adjusted so that the compensation temperature was about 80 ° C. and the Curie temperature was about 230 ° C.

スイッチング層234はTbFeCrから構成され、その組成は、補償温度が約50℃、キュリー温度が約110℃になるように調整されている。スイッチング層234の膜厚は10nmである。移動層235はGdFeCrから構成され、その組成は、補償温度が室温以下、キュリー温度が約240℃になるように調整されている。移動層235の膜厚は30nmである。保護層236は、SiNから構成され、50nmの膜厚を有する。これらの層232〜236は、スパッタ装置を用いて順次成膜される。保護層236上に形成される潤滑剤層237は、ホンブリン系の潤滑剤であり、膜厚2nmでスピンコート法により塗布される。   The switching layer 234 is made of TbFeCr, and its composition is adjusted so that the compensation temperature is about 50 ° C. and the Curie temperature is about 110 ° C. The film thickness of the switching layer 234 is 10 nm. The moving layer 235 is made of GdFeCr, and its composition is adjusted so that the compensation temperature is not more than room temperature and the Curie temperature is about 240 ° C. The thickness of the moving layer 235 is 30 nm. The protective layer 236 is made of SiN and has a thickness of 50 nm. These layers 232 to 236 are sequentially formed using a sputtering apparatus. The lubricant layer 237 formed on the protective layer 236 is a homblin lubricant and is applied by spin coating with a film thickness of 2 nm.

ここで、DWDD媒体の従来の再生方法における原理について簡単に説明する。再生原理の詳細については、例えば、「Proceedings of Magneto-Optical Recording International Symposium '97, J.Magn.Soc.Jpn., Vol.22 Supplement No.S2(1998), PP.47-50」に記載されているので、これを参照することができる。   Here, the principle in the conventional reproducing method of the DWDD medium will be briefly described. Details of the playback principle are described in, for example, “Proceedings of Magneto-Optical Recording International Symposium '97, J.Magn.Soc.Jpn., Vol.22 Supplement No.S2 (1998), PP.47-50”. So you can refer to this.

図22に示すように、DWDD媒体にレーザー光241を照射すると、レーザー光241の温度分布に従ってDWDD媒体が加熱される。スイッチング層234のキュリー温度Ts以上に加熱された領域242では磁化が消失し、その上下にそれぞれ位置する移動層235とメモリ層233との交換結合が解ける。このスイッチング層234の磁化が消失した領域242を、以下の説明では結合切断領域と称する。DWDD媒体を光スポットで走査すると、磁壁243(上向き磁区と下向き磁区との境界部分)が結合切断領域242の前方境界部245に進入する。一般に、磁壁に加わる力は磁壁エネルギー密度に依存し、磁壁エネルギー密度は温度の関数であるため、磁壁に加わる力は磁壁周辺の温度勾配により発生する。それゆえ、磁壁243には、図22の下方のグラフに示すように、右方向をプラス方向としてトラック方向における低温側から高温側に向かって力F(x)が発生している。したがって、交換結合力によるトラック方向への束縛を失った移動層235の磁壁243は、力F(x)により光スポット内の温度分布のピーク温度の位置246まで移動する。磁壁243の移動速度は、媒体の移動速度に比べて速いので、結合切断領域242の上層の移動層235の磁区はトラック方向に拡大する。これにより、移動層235から磁気光学効果(カー効果)で読み出される再生信号振幅は、メモリ層233に記録されている磁区を直接読み出した場合の再生信号振幅よりも大きくなる。すなわち、メモリ層233に記録されている磁区が微小であっても、それを増幅した再生信号で再生することができる。   As shown in FIG. 22, when the DWDD medium is irradiated with the laser light 241, the DWDD medium is heated according to the temperature distribution of the laser light 241. In the region 242 heated to the Curie temperature Ts or higher of the switching layer 234, the magnetization disappears, and the exchange coupling between the moving layer 235 and the memory layer 233 located above and below the region 242 is released. The region 242 in which the magnetization of the switching layer 234 has disappeared will be referred to as a bond cut region in the following description. When the DWDD medium is scanned with the light spot, the domain wall 243 (the boundary portion between the upward magnetic domain and the downward magnetic domain) enters the front boundary 245 of the coupling cut region 242. In general, since the force applied to the domain wall depends on the domain wall energy density, and the domain wall energy density is a function of temperature, the force applied to the domain wall is generated by a temperature gradient around the domain wall. Therefore, as shown in the lower graph of FIG. 22, a force F (x) is generated on the domain wall 243 from the low temperature side to the high temperature side in the track direction, with the right direction being the positive direction. Therefore, the domain wall 243 of the moving layer 235 that has lost the constraint in the track direction due to the exchange coupling force moves to the peak temperature position 246 of the temperature distribution in the light spot by the force F (x). Since the moving speed of the domain wall 243 is faster than the moving speed of the medium, the magnetic domain of the moving layer 235 on the upper layer of the coupling cut region 242 expands in the track direction. Thereby, the reproduction signal amplitude read from the moving layer 235 by the magneto-optic effect (Kerr effect) becomes larger than the reproduction signal amplitude when the magnetic domain recorded in the memory layer 233 is directly read. In other words, even if the magnetic domain recorded in the memory layer 233 is very small, it can be reproduced with an amplified reproduction signal.

DWDD媒体に記録されている孤立磁区を従来の光磁気再生したとき、その再生波形は図23に示したように2つの再生波形が観測される。そのメカニズムについて図23及び図24を参照しながら説明する。なお、図23に示した(1)〜(4)の番号は、図24の(1)〜(4)にそれぞれ対応している。以下、(1)〜(4)の様子について簡単に説明する。(1)移動層235の孤立磁区(上向き磁区とする)251の左側の磁壁252が、結合切断領域242の前方境界部245の位置に進入すると、上述の原理に従って、移動層235内において磁壁252が図中左向きにピーク温度の位置に向かって移動する。(2)DWDD媒体が光スポットに対して移動して、メモリ層233の孤立磁区253の右側の磁壁253aが結合切断領域の前方境界部245の位置に進入したとき、移動層235内において磁壁252が図中左向きに温度分布のピーク温度の位置に移動する。(3)DWDD媒体が光スポットに対して更に移動すると、メモリ層233の孤立磁区253の左側の磁壁253bが結合切断領域の後方境界部247を通過する。通過した部分のメモリ層233の孤立磁区253は、結合切断領域の左側の領域で移動層235に交換結合により転写される。移動層235の、後方境界部247の右側に位置する磁壁254は、右向きにピーク温度の位置に向かって移動する。(4)更に、DWDD媒体が光スポットに対して移動すると、メモリ層233の孤立磁区253の右側の磁壁253aが結合切断領域の後方境界部247を通過し、通過した部分のメモリ層233の下向き磁区(スペース)255が結合切断領域の左側で交換結合により移動層235に転写される。そして、後方境界部247での移動層235内の磁壁256が右向きにピーク温度に向かって移動する。これは、読み出すべき一個の孤立磁区に対して2つの再生信号が観測されることを示している。図23において、(1)及び(2)の再生信号は読み出されるべき再生信号であり、(3)及び(4)の再生信号は、意図しない再生信号である。この(3)及び(4)の再生信号はゴースト信号と呼ばれる。このように、一個の孤立磁区から2つの再生信号が観測されることは好ましくない。更なる高密度化のために磁区の間隔が狭まってくると、それら再生信号を個別に区別することが困難となるからである。本実施例では、かかる問題を、後述するような誘導型磁気ヘッドを用いて再生することによって有効に防止することができた。以下に、誘導型磁気ヘッドを用いてDWDD媒体に記録されている情報を再生する例について説明する。   When the isolated magnetic domain recorded on the DWDD medium is subjected to conventional magneto-optical reproduction, two reproduced waveforms are observed as shown in FIG. The mechanism will be described with reference to FIGS. The numbers (1) to (4) shown in FIG. 23 correspond to (1) to (4) in FIG. Hereinafter, the states (1) to (4) will be briefly described. (1) When the domain wall 252 on the left side of the isolated magnetic domain 251 (moving upward domain) of the moving layer 235 enters the position of the front boundary 245 of the coupling cut region 242, the domain wall 252 is formed in the moving layer 235 in accordance with the principle described above. Moves leftward in the figure toward the peak temperature position. (2) When the DWDD medium moves with respect to the light spot and the domain wall 253a on the right side of the isolated magnetic domain 253 of the memory layer 233 enters the position of the front boundary portion 245 of the coupling cut region, the domain wall 252 is formed in the moving layer 235. Moves to the position of the peak temperature of the temperature distribution in the left direction in the figure. (3) When the DWDD medium further moves with respect to the light spot, the domain wall 253b on the left side of the isolated magnetic domain 253 of the memory layer 233 passes through the rear boundary portion 247 of the coupled cutting region. The isolated magnetic domain 253 of the portion of the memory layer 233 that has passed through is transferred to the moving layer 235 by exchange coupling in the region on the left side of the coupling cut region. The domain wall 254 located on the right side of the rear boundary 247 of the moving layer 235 moves to the right toward the peak temperature position. (4) Further, when the DWDD medium moves with respect to the light spot, the domain wall 253a on the right side of the isolated magnetic domain 253 of the memory layer 233 passes through the rear boundary portion 247 of the coupling cut region, and the downward portion of the memory layer 233 passes through the portion. The magnetic domain (space) 255 is transferred to the moving layer 235 by exchange coupling on the left side of the bond cutting region. Then, the domain wall 256 in the moving layer 235 at the rear boundary 247 moves rightward toward the peak temperature. This indicates that two reproduced signals are observed for one isolated magnetic domain to be read. In FIG. 23, the reproduction signals (1) and (2) are reproduction signals to be read, and the reproduction signals (3) and (4) are unintended reproduction signals. The reproduction signals (3) and (4) are called ghost signals. Thus, it is not preferable that two reproduced signals are observed from one isolated magnetic domain. This is because if the magnetic domain interval is narrowed for further higher density, it becomes difficult to individually distinguish these reproduced signals. In this embodiment, such a problem can be effectively prevented by reproducing using an induction type magnetic head as will be described later. Hereinafter, an example in which information recorded on a DWDD medium is reproduced using an induction type magnetic head will be described.

図25に、誘導型磁気ヘッドを用いてDWDD媒体を再生する様子の概念図を示す。図に示すように、DWDD媒体230の基板231側にレーザー光が入射するように光学系が配置されるとともに、誘導型磁気ヘッド260が、媒体230を介して光学系と対向する位置に配置される。光学系は、波長λ=680nmのレーザー光を出射するレーザー光源(図示しない)と、開口数NA=0.55の対物レンズを備える。フォーカシング及びトラッキングサーボは、かかるレーザー光を媒体に照射して媒体からの反射光を検出することで行うことができる。   FIG. 25 is a conceptual diagram showing how a DWDD medium is reproduced using an induction type magnetic head. As shown in the figure, the optical system is arranged so that laser light is incident on the substrate 231 side of the DWDD medium 230, and the induction type magnetic head 260 is arranged at a position facing the optical system via the medium 230. The The optical system includes a laser light source (not shown) that emits laser light having a wavelength λ = 680 nm, and an objective lens having a numerical aperture NA = 0.55. Focusing and tracking servo can be performed by irradiating the medium with such laser light and detecting light reflected from the medium.

誘導型磁気ヘッド260は、コア261(磁芯)とコイル262とを備える単磁極の接触型の磁気ヘッドである。コア261は、例えばパーマロイを用いて構成することができる。コア261の媒体と接触する部分は、トラック幅方向の寸法が約1.0μm、トラック方向の長さ(以下、ヘッド長と称する)が約0.5μmになるように加工されている。コイル262の巻数は100である。誘導型磁気ヘッド260は、情報記録時に、記録磁界を発生させてメモリ層に記録磁区を記録することができる。また情報再生時には、電磁誘導による起電力を利用して、記録磁区からの漏れ磁界の変化を電気信号に変えて情報を再生することができる。   The induction type magnetic head 260 is a single-pole contact type magnetic head including a core 261 (magnetic core) and a coil 262. The core 261 can be configured using, for example, permalloy. The portion of the core 261 that is in contact with the medium is processed so that the dimension in the track width direction is about 1.0 μm and the length in the track direction (hereinafter referred to as the head length) is about 0.5 μm. The number of turns of the coil 262 is 100. The inductive magnetic head 260 can record a recording magnetic domain in the memory layer by generating a recording magnetic field during information recording. Further, at the time of information reproduction, information can be reproduced by changing the leakage magnetic field from the recording magnetic domain into an electric signal using an electromotive force due to electromagnetic induction.

誘導型磁気ヘッド260の再生出力eは、コイルの巻数をN、磁束をΦ、時間をtとすると、
e=−N(dΦ/dt)
で表される。この式を更に変更すると、
e=−N(dΦ(x)/dx)(dx/dt)=N(dΦ/dx)v ・・・(1)
となる。vは、誘導型磁気ヘッドに対する媒体の相対移動速度(線速)である。
The reproduction output e of the induction type magnetic head 260 is expressed as follows, where N is the number of coil turns, Φ is magnetic flux, and t is time.
e = -N (dΦ / dt)
It is represented by If we change this formula further,
e = −N (dΦ (x) / dx) (dx / dt) = N (dΦ / dx) v (1)
It becomes. v is a relative moving speed (linear velocity) of the medium with respect to the induction type magnetic head.

本実施例では、DWDD媒体230のランドに情報を記録するものとし、情報を記録する際には、メモリ層に磁壁の閉じていない(unclosed domain wall)記録磁区を形成するために、グルーブのメモリ層をアニールすることによってグルーブのメモリ層の磁性を劣化させた。アニール条件は、線速v=1.5m/s、アニールレーザーパワーPa=10.0mWとした。図26の中段に、DWDD媒体に連続磁区が形成されている場合における、誘導型磁気ヘッドのコイルと鎖交する磁束Φのトラック方向の分布を示す。かかる連続磁区を再生したときの再生信号出力は、上記式(1)に従って、図の下方に示す波形と同様な波形になる。   In this embodiment, information is recorded on the land of the DWDD medium 230. When recording information, the memory of the groove is formed in order to form a recording magnetic domain in the memory layer that is not closed. The magnetism of the groove memory layer was degraded by annealing the layer. The annealing conditions were linear velocity v = 1.5 m / s and annealing laser power Pa = 10.0 mW. The middle part of FIG. 26 shows the distribution in the track direction of the magnetic flux Φ interlinking with the coil of the induction type magnetic head when continuous magnetic domains are formed on the DWDD medium. The reproduction signal output when reproducing such a continuous magnetic domain has a waveform similar to the waveform shown in the lower part of the figure according to the above equation (1).

つぎに、DWDD媒体230に0.8μmの連続磁区を磁界変調方式により記録した。記録条件は、線速v=1.5m/s、記録パワーPw=3.0mW、記録磁界Hw=±400Oeとした。かかる記録磁区を、レーザー光を照射しつつ誘導型磁気ヘッドを用いて再生した。図27に再生出力(Δx=0.2μm)を示す。図27において、実線は再生レーザーパワーPr=1.0mWにて通常再生したときの再生出力を示し、点線は再生レーザーパワーPr=1.7mWにてDWDD再生したときの再生出力である。ここで、通常再生とは、スイッチング層の温度がそのキュリー温度以下であるために結合切断領域が形成されずにメモリ層の磁区が交換結合によりスイッチング層を介して移動層に転写されて、移動層では磁壁移動が発生することなく情報が再生される方法であり、DWDD再生とは、スイッチング層に結合切断領域が形成され、前述のように移動層において磁気移動が発生することによって情報が再生される再生方法である。   Next, a continuous magnetic domain of 0.8 μm was recorded on the DWDD medium 230 by a magnetic field modulation method. The recording conditions were linear velocity v = 1.5 m / s, recording power Pw = 3.0 mW, and recording magnetic field Hw = ± 400 Oe. The recorded magnetic domain was reproduced using an induction type magnetic head while irradiating a laser beam. FIG. 27 shows the reproduction output (Δx = 0.2 μm). In FIG. 27, the solid line indicates the reproduction output when normal reproduction is performed with the reproduction laser power Pr = 1.0 mW, and the dotted line is the reproduction output when DWDD reproduction is performed with the reproduction laser power Pr = 1.7 mW. Here, normal reproduction means that since the switching layer temperature is equal to or lower than its Curie temperature, the magnetic domain of the memory layer is transferred to the moving layer through the switching layer by exchange coupling without moving, and the moving layer moves. In this layer, information is reproduced without domain wall movement. DWDD reproduction is a method in which a coupling disconnection region is formed in the switching layer, and information is reproduced by generating magnetic movement in the moving layer as described above. Is a playback method.

通常再生では、上記式(1)の”v”は線速1.5m/sに相当する。一方、DWDD再生では、”v”すなわち磁壁移動速度がその数十倍以上になる。それゆえ、図27に示したように、DWDD再生は、通常再生に比べて再生出力が大きくなり、再生信号波形の半値幅は小さくなる。これは、トラック方向の分解能の観点から考えると、誘導型磁気ヘッドによるDWDD再生は、高密度記録された情報を再生する方法として極めて有効であることを示している。   In normal reproduction, “v” in the above equation (1) corresponds to a linear velocity of 1.5 m / s. On the other hand, in DWDD reproduction, “v”, that is, the domain wall motion speed becomes several tens of times or more. Therefore, as shown in FIG. 27, in the DWDD reproduction, the reproduction output is larger than that in the normal reproduction, and the half width of the reproduction signal waveform is small. From the viewpoint of resolution in the track direction, this indicates that DWDD reproduction by an induction type magnetic head is extremely effective as a method for reproducing information recorded at high density.

つぎに、光スポット中心に対する誘導型磁気ヘッドのコア中心の相対位置(Δx)を変更することによって再生信号が変化する様子を調べた。図28に、0.8μmの孤立磁区をDWDD再生したときの再生出力のΔx依存性を示す。図に示すように、光スポットの中心からΔxだけずれた位置に誘導型磁気ヘッドのコアの中心が位置するように配置させて再生信号を観測した。ここで、図中右側をプラスとし、左側をマイナスとする。Δx=−0.2μmのとき、すなわちコア中心が光スポットの中心よりも左側(媒体移動方向において後方側)にあるとき、ゴースト信号が観測された。一方、Δxが大きく、すなわちコア中心が光スポット中心よりも右側(媒体移動方向において前方側)になるとゴースト信号の振幅が小さくなり、やがて消失しているのがわかる。これは、図22において、磁気ヘッドのコア中心が結合切断領域の前方境界部とピーク温度位置との間にあればゴースト信号を抑制することができることを意味する。   Next, it was examined how the reproduction signal changes by changing the relative position (Δx) of the core center of the induction type magnetic head with respect to the center of the light spot. FIG. 28 shows the Δx dependency of the reproduction output when the isolated magnetic domain of 0.8 μm is reproduced by DWDD. As shown in the figure, the reproduction signal was observed by placing the core of the inductive magnetic head at a position shifted by Δx from the center of the light spot. Here, the right side in the figure is positive and the left side is negative. A ghost signal was observed when Δx = −0.2 μm, that is, when the core center was on the left side (the rear side in the medium movement direction) of the center of the light spot. On the other hand, when Δx is large, that is, when the core center is on the right side (front side in the medium movement direction) with respect to the light spot center, the amplitude of the ghost signal becomes small, and it can be seen that it disappears. This means that the ghost signal can be suppressed if the core center of the magnetic head is between the front boundary portion of the coupling cut region and the peak temperature position in FIG.

DWDD再生においては、レーザー光を照射することによって生じる温度分布において、ピーク温度となる位置に向かって移動層で磁壁移動が起こる。Δx=−0.2μm〜0.1μmのときに、誘導型磁気ヘッドのコアの直下にピークとなる温度が位置するためゴースト信号が観測されたものと考えられる。一方、Δx≧0.2μmではピーク温度位置がコアの外側に外れるため、ゴースト信号が観測されないと考えることができる。   In the DWDD reproduction, in the temperature distribution generated by irradiating laser light, the domain wall moves in the moving layer toward the position where the peak temperature is reached. When Δx = −0.2 μm to 0.1 μm, it is considered that a ghost signal was observed because the peak temperature is located directly under the core of the induction type magnetic head. On the other hand, when Δx ≧ 0.2 μm, the peak temperature position deviates outside the core, so that it can be considered that no ghost signal is observed.

このように、DWDD媒体を、誘導型磁気ヘッドを用いて再生(DWDD再生)することで通常再生よりも大きな再生出力を得ることができ、更に高密度記録に伴う分解能の低下を抑制することができた。また、誘導型磁気ヘッドのコアのヘッド長を光スポット径の半分程度にするとともに、コアの位置を光スポット中心よりも媒体進行方向の前方側(図28において右側)に配置させることによりゴースト信号を抑制することができた。   As described above, by reproducing the DWDD medium using the induction type magnetic head (DWDD reproduction), it is possible to obtain a reproduction output larger than that of the normal reproduction, and further, it is possible to suppress a decrease in resolution due to high-density recording. did it. Further, the ghost signal is obtained by setting the core length of the core of the induction type magnetic head to about half of the diameter of the light spot and disposing the core at the front side (right side in FIG. 28) in the medium traveling direction from the center of the light spot. Could be suppressed.

以上、本発明について図面を用いて具体的に説明したが、本発明は上記実施例1〜5に限定されるものではなく、当業者が考え得る変更及び改良を含むことはいうまでもない。例えば、上記実施例1及び2における基板1と記録補助層2との間や上記実施例3及び4における基板1と記録保持層3との間に磁気異方性を制御するための下地層を設けてもよい。   As mentioned above, although this invention was concretely demonstrated using drawing, this invention is not limited to the said Examples 1-5, It cannot be overemphasized that the change and improvement which those skilled in the art can think are included. For example, an underlayer for controlling the magnetic anisotropy is provided between the substrate 1 and the recording auxiliary layer 2 in the first and second embodiments and between the substrate 1 and the recording holding layer 3 in the third and fourth embodiments. It may be provided.

本発明の磁気記録媒体は、垂直磁化を有するフェリ磁性材料を用いて記録層が構成されており、媒体の所定の領域に熱を加えつつ記録磁界を印加することによって超高密度に情報を記録することができる。また、記録層は室温において5kOe以上の大きな保磁力を有しているので、記録層に微小な記録マークを形成しても熱磁気緩和現象により記録マークが消滅することが防止または抑制される。   In the magnetic recording medium of the present invention, a recording layer is formed using a ferrimagnetic material having perpendicular magnetization, and information is recorded at an extremely high density by applying a recording magnetic field while applying heat to a predetermined area of the medium. can do. Further, since the recording layer has a large coercive force of 5 kOe or more at room temperature, even if a minute recording mark is formed on the recording layer, the disappearance of the recording mark due to the thermomagnetic relaxation phenomenon is prevented or suppressed.

また、本発明の磁気記録媒体の記録方法によれば、垂直磁化を有する記録層を備えた磁気記録媒体に熱を加えつつ、記録方向と垂直な方向における磁極の幅が1μm以下である磁気ヘッドを用いて、高密度に記録を行うことができるので上記本発明の磁気記録媒体の記録方法として極めて好適である。   According to the recording method of the magnetic recording medium of the present invention, the magnetic head having a magnetic pole width of 1 μm or less in the direction perpendicular to the recording direction while applying heat to the magnetic recording medium having the recording layer having perpendicular magnetization. Can be recorded at a high density, so that it is extremely suitable as a recording method for the magnetic recording medium of the present invention.

また、本発明の磁気記録媒体の再生方法によれば、磁気記録媒体に熱を加えつつ、磁気記録媒体に垂直磁気記録された情報を、磁気抵抗素子やスピンバルブ膜を有する磁気素子、誘導型磁気素子を用いて再生することができるので、上記本発明の磁気記録媒体の再生方法として好適である。   In addition, according to the method for reproducing a magnetic recording medium of the present invention, information recorded perpendicularly on the magnetic recording medium while applying heat to the magnetic recording medium is converted into a magnetic element having a magnetoresistive element or a spin valve film, an induction type Since it can be reproduced using a magnetic element, it is suitable as a method for reproducing the magnetic recording medium of the present invention.

また、本発明の記録再生用ヘッドは、磁気記録媒体を加熱するための熱源と、エアスライダーに搭載された磁界発生源及び磁気素子を備えており、熱源を用いて磁気記録媒体を加熱しつつ、エアスライダーに搭載された磁界発生源を用いて情報を高密度に記録することができる。磁気素子には、例えば磁気抵抗素子やスピンバルブ膜を備える磁気素子、誘導型磁気素子を使用できる。また、高密度に記録された情報を、これらの磁気素子を用いて再生することができるので、上記本発明の磁気記録媒体の記録再生用ヘッドとして好適である。   The recording / reproducing head of the present invention includes a heat source for heating the magnetic recording medium, a magnetic field generation source and a magnetic element mounted on the air slider, and uses the heat source to heat the magnetic recording medium. Information can be recorded with high density by using a magnetic field generation source mounted on an air slider. As the magnetic element, for example, a magnetoresistive element, a magnetic element including a spin valve film, or an inductive magnetic element can be used. Also, since information recorded at high density can be reproduced using these magnetic elements, it is suitable as a recording / reproducing head of the magnetic recording medium of the present invention.

また、本発明の情報記録媒体の記録方法によれば、垂直磁化を有する記録層を備えた情報記録媒体に光スポットを投射しつつ、光スポットの内側の領域に光スポットよりも小さい記録マークを形成することができるので、超高密度の情報記録媒体の記録方法として極めて好適である。   Further, according to the recording method of the information recording medium of the present invention, a recording mark smaller than the light spot is formed in the area inside the light spot while projecting the light spot on the information recording medium having the recording layer having perpendicular magnetization. Since it can be formed, it is extremely suitable as a recording method for an ultra-high-density information recording medium.

本発明に従う磁気記録媒体の一具体例の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of one specific example of the magnetic recording medium according to this invention. 本発明に従う記録再生用ヘッドの一具体例の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of one specific example of the recording / reproducing head according to this invention. 本発明に従う磁気記録媒体の記録層の保磁力の温度特性を示す図である。It is a figure which shows the temperature characteristic of the coercive force of the recording layer of the magnetic recording medium according to this invention. 図4(a)は、磁気記録媒体の記録再生実験の概要を示す図であり、図4(b)は、磁気記録媒体及び記録再生用ヘッドの配置の断面図である。FIG. 4A is a diagram showing an outline of a recording / reproducing experiment of the magnetic recording medium, and FIG. 4B is a sectional view of the arrangement of the magnetic recording medium and the recording / reproducing head. 図1に示した磁気記録媒体の記録原理について説明する図である。It is a figure explaining the recording principle of the magnetic recording medium shown in FIG. 本発明に従う磁気記録媒体のS/N比の環境耐久性について示したグラフである。It is the graph shown about the environmental durability of the S / N ratio of the magnetic recording medium according to this invention. 本発明に従う磁気記録媒体と従来の磁気記録媒体とのS/N比の環境耐久性を比較したグラフである。It is the graph which compared the environmental durability of the S / N ratio of the magnetic recording medium according to this invention, and the conventional magnetic recording medium. 磁気記録媒体の記録マーク長に対する再生出力の変化の様子を示すグラフである。It is a graph which shows the mode of the change of the reproduction output with respect to the recording mark length of a magnetic recording medium. 実施例2で製造した本発明に従う磁気記録媒体の概略断面図である。6 is a schematic cross-sectional view of a magnetic recording medium according to the present invention manufactured in Example 2. FIG. 図9に示す磁気記録媒体の再生層及び記録層の飽和磁化の温度特性を示すグラフである。10 is a graph showing temperature characteristics of saturation magnetization of the reproducing layer and the recording layer of the magnetic recording medium shown in FIG. 9. 図9に示す磁気記録媒体の記録原理について説明する図である。It is a figure explaining the recording principle of the magnetic recording medium shown in FIG. 実施例3で製造した本発明に従う磁気記録媒体の概略断面図である。6 is a schematic sectional view of a magnetic recording medium according to the present invention manufactured in Example 3. FIG. 実施例3で用いた本発明に従う記録再生用ヘッドの概略断面図である。6 is a schematic cross-sectional view of a recording / reproducing head according to the present invention used in Example 3. FIG. 図12に示す磁気記録媒体の記録原理について説明する図である。It is a figure explaining the recording principle of the magnetic recording medium shown in FIG. 図12に示す磁気記録媒体の再生原理について説明する図である。It is a figure explaining the reproduction | regeneration principle of the magnetic recording medium shown in FIG. 実施例4で製造した本発明に従う磁気記録媒体の概略断面図である。6 is a schematic sectional view of a magnetic recording medium according to the present invention manufactured in Example 4. FIG. 図16に示す磁気記録媒体の記録原理について説明する図である。It is a figure explaining the recording principle of the magnetic recording medium shown in FIG. 図16に示す磁気記録媒体の記録層に下向きの記録磁区が形成されている場合の再生原理について説明する図である。FIG. 17 is a diagram for explaining the reproduction principle when a downward recording magnetic domain is formed in the recording layer of the magnetic recording medium shown in FIG. 16. 図16に示す磁気記録媒体の記録層に上向きの記録磁区が形成されている場合の再生原理について説明する図である。FIG. 17 is a diagram for explaining the reproduction principle when an upward recording magnetic domain is formed in the recording layer of the magnetic recording medium shown in FIG. 16. 単磁極ヘッドの断面構造を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the cross-sectional structure of a single pole head. 実施例5で製造したDWDDに従う光磁気記録媒体の概略断面図である。6 is a schematic cross-sectional view of a magneto-optical recording medium according to DWDD manufactured in Example 5. FIG. DWDD媒体の従来の再生方法における基本原理を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the basic principle in the conventional reproduction | regeneration method of a DWDD medium. 孤立磁区を従来の光磁気再生したときの再生波形であり、2つの再生波形が観測された様子を示す。This is a reproduction waveform when an isolated magnetic domain is subjected to conventional magneto-optical reproduction, and shows a state in which two reproduction waveforms are observed. 図23に示した再生波形の(1)〜(4)の様子について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the mode of (1)-(4) of the reproduction | regeneration waveform shown in FIG. 誘導型磁気ヘッドを用いてDWDD媒体を再生する様子の概念図である。It is a conceptual diagram of a mode that a DWDD medium is reproduced using an induction type magnetic head. DWDD媒体に連続磁区が形成されている場合に、誘導型磁気ヘッドのコイルと鎖交する磁束Φのトラック方向の分布と再生信号出力を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a track direction distribution of a magnetic flux Φ interlinked with a coil of an induction type magnetic head and a reproduction signal output when continuous magnetic domains are formed on a DWDD medium. 連続磁区を通常再生したときの再生出力と、DWDD再生したときの再生出力を示す図である。It is a figure which shows the reproduction output at the time of carrying out normal reproduction | regeneration of a continuous magnetic domain, and the reproduction output at the time of DWDD reproduction. 光スポット中心に対する誘導型磁気ヘッドのコア中心の相対位置(Δx)を変更することによって再生信号が変化する様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that a reproduction signal changes by changing the relative position ((DELTA) x) of the core center of the induction | guidance | derivation type magnetic head with respect to a light spot center.

符号の説明Explanation of symbols

1 基板
2 記録補助層
3 記録保持層
4 記録制御層
5 記録層
50 再生層
52 マスク層
54 磁気転写層
20、120 ヘッド本体部
22、122 記録用磁気ヘッド
23、123 再生用MRヘッド
27、127 レーザー光源
31 熱源
100、300、400、500 磁気記録媒体
200、210 記録再生用ヘッド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Recording auxiliary layer 3 Recording holding layer 4 Recording control layer 5 Recording layer 50 Reproducing layer 52 Mask layer 54 Magnetic transfer layer 20, 120 Head main body 22, 122 Recording magnetic head 23, 123 Reproducing MR head 27, 127 Laser light source 31 Heat source 100, 300, 400, 500 Magnetic recording medium 200, 210 Recording / reproducing head

Claims (17)

磁気記録媒体の記録及び/または再生用のヘッドにおいて、
磁気記録媒体に記録磁界を印加するための磁界発生源と;
磁気記録媒体の磁化情報を読み出すための磁気素子であって、磁気抵抗素子、スピンバルブ膜を備える磁気素子及び誘導型磁気素子からなる群から選ばれた一種の磁気素子と;
前記磁界発生源及び磁気素子を搭載するエアスライダーと;を備えることを特徴とする記録及び/または再生用ヘッド。
In a recording and / or reproducing head for a magnetic recording medium,
A magnetic field source for applying a recording magnetic field to the magnetic recording medium;
A magnetic element for reading magnetization information of a magnetic recording medium, and a kind of magnetic element selected from the group consisting of a magnetoresistive element, a magnetic element having a spin valve film, and an inductive magnetic element;
A recording and / or reproducing head comprising: an air slider on which the magnetic field generation source and the magnetic element are mounted.
更に、磁気記録媒体を加熱するための熱源を備えることを特徴とする請求項1に記載の記録及び/または再生用ヘッド。 The recording and / or reproducing head according to claim 1, further comprising a heat source for heating the magnetic recording medium. 前記熱源がレーザー光源であり、レーザー光源から射出するレーザー光により磁気記録媒体が加熱されることを特徴とする請求項2に記載の記録及び/または再生用ヘッド。 The recording and / or reproducing head according to claim 2, wherein the heat source is a laser light source, and the magnetic recording medium is heated by laser light emitted from the laser light source. 前記エアスライダーが、熱伝導率の異なる複数の材料により構成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の記録及び/または再生用ヘッド。 The recording and / or reproducing head according to claim 1, wherein the air slider is made of a plurality of materials having different thermal conductivities. 前記磁界発生源と磁気素子との間を、前記熱伝導率の異なる複数の材料のうち、熱伝導率の低い材料により構成したことを特徴とする請求項4に記載の記録及び/または再生用ヘッド。 5. The recording and / or reproducing device according to claim 4, wherein the magnetic field generation source and the magnetic element are made of a material having a low thermal conductivity among the plurality of materials having different thermal conductivities. head. 前記磁界発生源と磁気素子との間を、前記熱伝導率の異なる複数の材料のうち、熱伝導率の高い材料を用いて構成したことを特徴とする請求項4に記載の記録及び/または再生用ヘッド。 5. The recording and / or recording according to claim 4, wherein a material having a high thermal conductivity among the plurality of materials having different thermal conductivity is configured between the magnetic field generation source and the magnetic element. Reproduction head. 前記磁界発生源、磁気素子及び熱源が、共に磁気記録媒体の一方の表面側に配置されていることを特徴とする請求項2〜6のいずれか一項に記載の記録及び/または再生用ヘッド。 The recording and / or reproducing head according to claim 2, wherein the magnetic field generation source, the magnetic element, and the heat source are all disposed on one surface side of the magnetic recording medium. . 前記磁界発生源及び磁気素子と、熱源とが、磁気記録媒体を介して対向して配置されていることを特徴とする請求項2〜6のいずれか一項に記載の記録及び/または再生用ヘッド。 7. The recording and / or reproducing device according to claim 2, wherein the magnetic field generation source, the magnetic element, and the heat source are disposed to face each other with a magnetic recording medium interposed therebetween. head. 磁気記録媒体をヘッドに対して移動させながら記録または再生を行うときに、磁気記録媒体の移動方向の前方側に熱源が、後方側に磁気素子がそれぞれヘッド内で配置されていることを特徴とする請求項2〜8のいずれか一項に記載の記録及び/または再生用ヘッド。 When recording or reproduction is performed while moving the magnetic recording medium relative to the head, a heat source is disposed in the head in the moving direction of the magnetic recording medium, and a magnetic element is disposed in the head in the rear. The recording and / or reproducing head according to any one of claims 2 to 8. 前記磁気素子が誘導型磁気素子であり、磁気記録媒体をヘッドに対して移動させながら記録または再生を行うときに、磁気記録媒体の移動方向前方側に磁気素子が、後方側に熱源がそれぞれヘッド内で配置されていることを特徴とする請求項2に記載の記録及び/または再生用ヘッド。 The magnetic element is an inductive magnetic element, and when performing recording or reproduction while moving the magnetic recording medium relative to the head, the magnetic element is on the front side in the moving direction of the magnetic recording medium, and the heat source is on the rear side. The recording and / or reproducing head according to claim 2, wherein the recording and / or reproducing head is disposed within the recording head. 磁気記録媒体が、熱源からの熱によって形成された熱分布に従って磁区の磁壁が膜面内方向に移動する磁気特性を有する磁性層を少なくとも備える記録媒体であることを特徴とする請求項10に記載の記録及び/または再生用ヘッド。 The magnetic recording medium is a recording medium comprising at least a magnetic layer having a magnetic property in which a domain wall of a magnetic domain moves in a film in-plane direction according to a heat distribution formed by heat from a heat source. Recording and / or reproducing head. 前記磁界発生源が、単磁極ヘッドにより構成されることを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載の記録及び/または再生用ヘッド。 The recording and / or reproducing head according to claim 1, wherein the magnetic field generation source is constituted by a single magnetic pole head. 前記単磁極ヘッドの少なくとも一部が、2.0T以上の飽和磁束密度を有する材料により構成されることを特徴とする請求項12に記載の記録及び/または再生用ヘッド。 The recording and / or reproducing head according to claim 12, wherein at least a part of the single magnetic pole head is made of a material having a saturation magnetic flux density of 2.0 T or more. 前記単磁極ヘッドの磁界発生部が、2.0T以上の飽和磁束密度を有する材料により構成されることを特徴とする請求項13に記載の記録及び/または再生用ヘッド。 14. The recording and / or reproducing head according to claim 13, wherein the magnetic field generating portion of the single pole head is made of a material having a saturation magnetic flux density of 2.0 T or more. 2.0T以上の飽和磁束密度を有する材料は、CoNiFeまたはそれを含む合金であることを特徴とする請求項13または14に記載の記録及び/または再生用ヘッド。 15. The recording and / or reproducing head according to claim 13, wherein the material having a saturation magnetic flux density of 2.0 T or more is CoNiFe or an alloy containing the same. 前記磁気記録媒体が複数のトラックを有し、
前記単磁極ヘッドがコイルを芯に巻き付けて構成され、トラック幅方向における芯の先端部の幅が1μm以下であることを特徴とする請求項12〜15のいずれか一項に記載の記録及び/または再生用ヘッド。
The magnetic recording medium has a plurality of tracks;
The recording and / or recording according to any one of claims 12 to 15, wherein the single magnetic pole head is configured by winding a coil around a core, and the width of the tip of the core in the track width direction is 1 µm or less. Or playback head.
前記情報記録媒体が、基板上に記録層を有し、
記録層は、垂直磁化を有するフェリ磁性材料を用いて構成され、磁気記録媒体の所定の領域を加熱しつつ記録磁界を印加することによって記録層の記録磁区が反転されて情報が記録され、記録層の記録磁区からの磁界を検出することによって情報が再生される磁気記録媒体であることを特徴とする請求項1に記載の記録及び/または再生用ヘッド。
The information recording medium has a recording layer on a substrate,
The recording layer is made of a ferrimagnetic material having perpendicular magnetization, and by applying a recording magnetic field while heating a predetermined area of the magnetic recording medium, the recording magnetic domain of the recording layer is reversed and information is recorded. 2. The recording and / or reproducing head according to claim 1, wherein the recording and reproducing head is a magnetic recording medium on which information is reproduced by detecting a magnetic field from a recording magnetic domain of the layer.
JP2006027286A 1998-11-05 2006-02-03 Recording and reproducing head Pending JP2006172715A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006027286A JP2006172715A (en) 1998-11-05 2006-02-03 Recording and reproducing head

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32878898 1998-11-05
JP2006027286A JP2006172715A (en) 1998-11-05 2006-02-03 Recording and reproducing head

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11312178A Division JP2000200411A (en) 1998-11-05 1999-11-02 Magnetic recording medium, recording and reproducing head and magnetic recording and reproducing method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006172715A true JP2006172715A (en) 2006-06-29

Family

ID=36673252

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006027286A Pending JP2006172715A (en) 1998-11-05 2006-02-03 Recording and reproducing head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006172715A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3130929B2 (en) Thermomagnetic recording system with high storage density and direct overwrite capability
US6650598B2 (en) Magnetic head having magnetoresistance device and recording/reproducing apparatus incorporating the same
US6493164B1 (en) Magnetic recording apparatus and method of magnetic recording
US7110327B2 (en) Magneto-optical recording and reproducing method, using reproducing layer with high saturation magnetization
JPH028364B2 (en)
Sukeda et al. Thermally assisted magnetic recording on flux-detectable RE-TM media
JPH10289434A (en) Magnetic disk and magnetic recordor using the magnetic disk
EP0899721A1 (en) Magnetic recording method
JP3294231B2 (en) Magnetic recording device and magnetic recording method
US7352658B2 (en) Method for recording information data to a recording medium by irradiation with a light beam and application of a magnetic field
US4363052A (en) Thermomagnetic recording device
JP2000200411A (en) Magnetic recording medium, recording and reproducing head and magnetic recording and reproducing method
JP2002117502A (en) Information storage device and recording/reproducing head
JP2006172715A (en) Recording and reproducing head
JP2006059474A (en) Magnetic recording method, magnetic recording medium, and magnetic recording device
Kojima et al. Narrow track recording in TbFeCo by laser-assisted magnetic recording using a blue laser
JPH0325854B2 (en)
JPS61214258A (en) Write and reproducing integrated magnetic head
JP2007012226A (en) Method and device for recording magnetic information
JP2000207702A (en) Perpendicular magnetic recording device and its method and perpendicular magnetic recording medium
WO1999052101A1 (en) Magnetic recording medium and method of recording
JP3245190B2 (en) Information storage device
KR100447159B1 (en) magneto-optical recording medium
JP2002298325A (en) Magnetic recording medium and magnetic recorder having the same
Kamimura et al. Thermally Assisted Magnetic Recording Using an Optical Head with NA= 0.85

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060323

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070710

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070910

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20071016