JP2006170734A - 試料作製装置 - Google Patents
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Abstract
試料から分析や観察に必要な部分のみの試料片を短時間に摘出でき、かつ安定した試料像の観察または精度の高い試料の加工ができる試料作製装置を提供する。
【解決手段】
試料室と、該試料室内に設置される試料ステージと、該試料ステージにセットされた試料から摘出した試料を載置する、該試料ステージに載置された試料ホルダと、前記試料ステージにセットされた試料に集束イオンビームを照射する集束イオンビーム照射光学系と、を備えた試料作製装置であって、前記試料ホルダを前記試料ステージと独立して移動させる試料ホルダ移動機構を備えた試料作製装置。
【選択図】図1
Description
300mmのウェハが搭載可能なものが求められている)がそのままセットできるものが好ましい。大きな試料から試料を摘出するために集束イオンビームを照射して目的位置の試料を切り出すのに好適な補助機構があっても良い。例えば、大きな試料から切り出した試料を試料ホルダに移すために探針(プローブ)を備え、該探針の先に切り出した試料をデポジションガスを析出させることにより接着する機構があっても良い。試料ホルダは大きな試料から切り出した小さな試料を載置可能な構造を備え、XYZの三次元方向または一軸周りに回転できる機構を備えても良い。このようなホルダ移動機構を備えた場合は、その機構も含めて、試料ステージに接するかたちで試料ホルダが載置されていることを特徴とする。これにより、試料ステージと独立して試料ホルダを備える場合に比べ、振動等の影響がなく安定した映像を得ることができ、また加工精度も向上する。更に、試料ホルダが試料ステージと接していることで、試料ホルダと試料ステージ間で座標を共有することができ、位置決め精度を向上することができる(試料ホルダと試料ステージが別々に設けられている場合は、相互間での座標の調整が必要になる)。
17に接着する。その後、試料カートリッジ5は微動台8によって下降させる。微動台8により試料カートリッジ支持台6が下方向に移動すると共に固定具7は試料ホルダ2の内部方向に移動し、試料カートリッジ支持台6は試料ホルダ2の拘束から開放される。開放された試料カートリッジ支持台6はガイド11に沿って試料ホルダ2の下面方向に移動する。これにより、試料カートリッジ支持台6の最頂部は試料ホルダ2表面下に設置されることになり、試料ホルダ2上に試料3のみとなり試料ステージ1の移動に関する制限を解消することができる。また、試料カートリッジ支持台6に固定具7を格納する溝12を用意することにより、試料カートリッジ支持台6の移動における上限と下限を設けることにより、必要以上の移動を制限する。さらに、固定具7の先端に、接触検出等の位置検出器13を搭載することにより、微動台8を簡単に制御することが可能とする。
11に沿って試料ホルダ2の上面方向に移動する。これにより、試料カートリッジ支持台6に装填されている小型試料カートリッジ5の試料観察面14は試料ホルダ2に装填されている試料3と同じ高さとすることが可能となり、小型試料ホルダ上の試料片4の観察及び加工が可能になる。
Claims (4)
- 試料室と、
該試料室内に設置される試料ステージと、
該試料ステージにセットされた試料から摘出した試料を載置する、該試料ステージに載置された試料ホルダと、
前記試料ステージにセットされた試料に集束イオンビームを照射する集束イオンビーム照射光学系と、
を備えた試料作製装置であって、
前記試料ホルダを前記試料ステージと独立して移動させる試料ホルダ移動機構を備えたことを特徴とする試料作製装置。 - 請求項1記載の試料作製装置において、
前記試料ホルダ移動機構は、試料ステージに搭載された上下に移動する微動台であることを特徴とする試料作製装置。 - 請求項2記載の試料作製装置において、
前記試料ホルダ移動機構は、更にX軸Y軸の二次元に移動可能であることを特徴とする試料作製装置。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の試料作製装置において、
前記試料ホルダは前記試料ステージに脱着可能な脱着機構を備えたことを特徴とする試料作製装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004362163A JP2006170734A (ja) | 2004-12-15 | 2004-12-15 | 試料作製装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004362163A JP2006170734A (ja) | 2004-12-15 | 2004-12-15 | 試料作製装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006170734A true JP2006170734A (ja) | 2006-06-29 |
Family
ID=36671662
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004362163A Abandoned JP2006170734A (ja) | 2004-12-15 | 2004-12-15 | 試料作製装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006170734A (ja) |
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2004
- 2004-12-15 JP JP2004362163A patent/JP2006170734A/ja not_active Abandoned
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