JP2006165085A - Method of automatically designing semiconductor integrated circuit - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of automatically designing semiconductor integrated circuit by which the time required for design can be shortened to the utmost. <P>SOLUTION: In the method of automatically designing a semiconductor integrated circuit constituted by laminating a plurality of wiring layers upon another, an I/O cell 11, a memory cell 12, and a standard cell 13 are arranged on a semiconductor chip 10. Then, before arranging wiring among the cells 11, 12, and 13 to be connected to each other, dummy cells 14 using some wiring layer of the plurality of wiring layers constituting the semiconductor integrated circuit except the lowest wiring layer are arranged among the cells 11, 12, and 13. Thereafter, a plurality of wiring 15 is arranged by using different wiring layers by arranging the wiring 15 through the dummy cells 14. When the wiring 15 is arranged in this way, the distance between parallelly adjacent wiring 15 in a plane of the same wiring layer can be shortened to the utmost. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、半導体集積回路の自動設計方法に関し、特に、半導体チップ上にセル及び配線を配置する半導体集積回路の自動設計方法に関するものである。   The present invention relates to an automatic design method for a semiconductor integrated circuit, and more particularly to an automatic design method for a semiconductor integrated circuit in which cells and wirings are arranged on a semiconductor chip.

近年、LSI(Large Scale Integration)にみられるような半導体集積回路の大規模化に伴い、半導体集積回路を構成するセルや配線の高密度化や多層化の傾向が益々高まっている。そのような半導体集積回路は、電子計算機を用いたCAD(Computer Aided Design)システムによる自動設計、即ち、機能設計、論理設計、及びレイアウト設計等を経て設計される。機能設計では、ハードウェア記述言語によって所望の半導体集積回路の機能を指定し、論理設計では、機能設計で指定した機能を実現するように論理合成を行って論理回路データを生成する。レイアウト設計では、論理設計で論理合成された論理回路データに基づいて、半導体チップ上に論理回路をレイアウトする。   In recent years, with the increase in the scale of semiconductor integrated circuits such as those found in LSI (Large Scale Integration), the tendency of higher density and multilayering of cells and wirings constituting the semiconductor integrated circuits is increasing. Such a semiconductor integrated circuit is designed through automatic design by a CAD (Computer Aided Design) system using an electronic computer, that is, functional design, logical design, layout design, and the like. In the function design, a desired semiconductor integrated circuit function is specified by a hardware description language, and in the logic design, logic circuit data is generated by performing logic synthesis so as to realize the function specified in the function design. In layout design, a logic circuit is laid out on a semiconductor chip based on logic circuit data logically synthesized in the logic design.

次に、電子計算機を用いた半導体集積回路の自動設計方法のうち、従来のレイアウト設計の一例の概略について、図面を参照して説明する。図4は、従来例に係る半導体集積回路の自動設計方法を説明するフロー図である。図4に示すように、最初に、半導体集積回路を構成するセル(半導体集積回路を構成する回路の単位ブロック)の回路パターン情報(各セルの回路パターンのデータ群)から成るデータベースであるセルライブラリと、上記セル間の回路接続情報から成るデータベースであるネットリストとを準備する。   Next, an outline of an example of a conventional layout design in an automatic design method of a semiconductor integrated circuit using an electronic computer will be described with reference to the drawings. FIG. 4 is a flowchart for explaining an automatic designing method of a semiconductor integrated circuit according to a conventional example. As shown in FIG. 4, first, a cell library which is a database composed of circuit pattern information (circuit pattern data group of each cell) of cells constituting a semiconductor integrated circuit (unit blocks of circuits constituting the semiconductor integrated circuit) And a net list which is a database composed of circuit connection information between the cells.

そして、ステップB1では、セルライブラリ及びネットリストから回路パターン情報及び回路接続情報を読み込む。次に、ステップB2では、読み込んだ上記回路パターン情報に基づいて、半導体チップの所定の領域に複数のセルを配置する。そして、ステップB3では、上記回路接続情報に基づいて、各セル間を接続するようにして配線を配置する。   In step B1, circuit pattern information and circuit connection information are read from the cell library and netlist. Next, in step B2, a plurality of cells are arranged in a predetermined region of the semiconductor chip based on the read circuit pattern information. In step B3, wiring is arranged so as to connect the cells based on the circuit connection information.

次に、ステップB4では、あるセル内のトランジスタを構成するゲート電極と接続される配線に、いわゆるプロセスアンテナ効果が生じないように、当該配線の配線長を所定の長さ以下となるように調整する。   Next, in step B4, the wiring length of the wiring is adjusted to a predetermined length or less so that the so-called process antenna effect does not occur in the wiring connected to the gate electrode constituting the transistor in a certain cell. To do.

ここで、プロセスアンテナ効果とは、トランジスタを構成するゲート電極と接続された配線の配線長が長い場合、半導体集積回路を製造する際の例えばエッチング工程において、当該配線を通してゲート電極に電荷が蓄積して、その電荷によりゲート絶縁膜の絶縁破壊等が生じる現象である。   Here, the process antenna effect means that when a wiring connected to a gate electrode constituting a transistor has a long wiring length, charges are accumulated in the gate electrode through the wiring in, for example, an etching process when manufacturing a semiconductor integrated circuit. This is a phenomenon in which the dielectric breakdown of the gate insulating film occurs due to the charge.

さらに、ステップB5では、半導体集積回路内の信号のタイミングの整合性である信号整合性(Signal Integrity)を解析する。ここで、所望の信号整合性が得られない場合、ステップB6で上記配線の調整(配置位置の移動等)を行う。この配線の調整にも関わらず所望の信号整合性が得られない場合、当該配線に、信号の遅延時間を調整するためのバッファを挿入する。   Further, in step B5, signal integrity (Signal Integrity), which is signal timing integrity in the semiconductor integrated circuit, is analyzed. If the desired signal consistency cannot be obtained, the wiring is adjusted (moving the arrangement position, etc.) in step B6. If the desired signal consistency cannot be obtained despite the adjustment of the wiring, a buffer for adjusting the delay time of the signal is inserted into the wiring.

このような信号整合性の解析、及び配線の調整や信号の遅延時間を調整するためバッファの挿入、即ちステップB5及びステップB6は、上記所望の信号整合性が得られようになるまで繰り返される。   Such signal integrity analysis and buffer insertion for adjusting the wiring and signal delay time, that is, step B5 and step B6 are repeated until the desired signal integrity is obtained.

次に、上述したような従来例に係る半導体集積回路の自動設計方法により設計された半導体集積回路の平面的なレイアウトの概略について、図面を参照して説明する。図5は、従来例に係る半導体集積回路の自動設計方法により設計された半導体集積回路の概略平面図である。   Next, an outline of a planar layout of a semiconductor integrated circuit designed by the above-described conventional semiconductor integrated circuit automatic design method will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is a schematic plan view of a semiconductor integrated circuit designed by a conventional semiconductor integrated circuit automatic design method.

図5に示すように、半導体チップ20の端部には、入出力ポートであるI/O(Input/Output)セル21が配置されている。また、半導体チップ20の所定の領域に、複数のメモリセル22及びスタンダードセル23が配置されている。ここで、スタンダードセル23とは、標準化された基本論理ゲートやその組み合わせから成る論理回路の単位ブロックである。そして、上記各セルの間にそれらを接続する配線25が配置されている。また、スタンダードセル23と接続される配線の一方の端には、スタンダードセル領域で論理を組むNAND回路、NOR回路やFF回路やバッファ26等が配置されている。   As shown in FIG. 5, an I / O (Input / Output) cell 21, which is an input / output port, is disposed at the end of the semiconductor chip 20. A plurality of memory cells 22 and standard cells 23 are arranged in a predetermined region of the semiconductor chip 20. Here, the standard cell 23 is a unit block of a logic circuit composed of standardized basic logic gates and combinations thereof. And wiring 25 which connects them between each above-mentioned cell is arranged. In addition, a NAND circuit, a NOR circuit, an FF circuit, a buffer 26, and the like that form logic in the standard cell region are arranged at one end of the wiring connected to the standard cell 23.

なお、関連する技術文献としては、例えば以下の特許文献が挙げられる。
特開2004−288685号公報
In addition, as a related technical document, the following patent documents are mentioned, for example.
Japanese Patent Laid-Open No. 2004-288685

しかしながら、上述した従来例に係る半導体集積回路の自動設計方法によれば、半導体集積回路の高密度化に伴い、隣接する配線25同士が、狭い間隔で互いに平行に配置される区間が長くなる場合があった。この場合、図5に示すように、互いに平行に配置される配線の区間が長くなるに従って、当該隣接する配線間には、より大きな寄生容量30が存在する。この寄生容量30により、当該隣接する配線間に、当該配線を伝播する信号の歪みの要因となる電圧変化、即ちクロストークが誘起される。このクロストークは、論理誤りや信号の遅延時間の増加を引き起こして、半導体集積回路の信号整合性の劣化や誤動作を招いていた。   However, according to the semiconductor integrated circuit automatic design method according to the conventional example described above, when the density of the semiconductor integrated circuit is increased, the interval in which the adjacent wirings 25 are arranged in parallel with each other at a narrow interval becomes long. was there. In this case, as shown in FIG. 5, as the section of the wirings arranged in parallel with each other becomes longer, a larger parasitic capacitance 30 exists between the adjacent wirings. The parasitic capacitance 30 induces a voltage change, that is, crosstalk, that causes distortion of a signal propagating through the wiring between the adjacent wirings. This crosstalk causes a logic error and an increase in signal delay time, leading to deterioration in signal integrity and malfunction of the semiconductor integrated circuit.

半導体集積回路の信号整合性の劣化等を解消するためには、設計された半導体集積回路の信号整合性を、専用の解析ツールを用いて解析し、クロストークを招く箇所の配線間の距離を大きくするように当該配線の配置を調整していた。もしくは、信号の遅延時間を調整するためのバッファ26を配置していた。このような信号整合性の解析や配線の調整を行うために、結果として、半導体集積回路の設計に費やす時間が増大するという問題が生じていた。   In order to eliminate the degradation of the signal integrity of the semiconductor integrated circuit, etc., the signal integrity of the designed semiconductor integrated circuit is analyzed using a dedicated analysis tool, and the distance between the wirings where the crosstalk is caused is determined. The layout of the wiring is adjusted so as to increase. Alternatively, the buffer 26 for adjusting the delay time of the signal is arranged. In order to perform such signal consistency analysis and wiring adjustment, as a result, there has been a problem that the time required for designing a semiconductor integrated circuit increases.

そこで本発明は、設計に費やす時間を極力短縮した半導体集積回路の自動設計方法縮を提供する。   Therefore, the present invention provides a method for automatically designing a semiconductor integrated circuit in which the time spent for designing is shortened as much as possible.

本発明の半導体集積回路の自動設計方法は、上述の課題に鑑みて為されたものであり、複数の配線層が積層されて成る半導体集積回路の自動設計方法であって、以下の特徴を有する。即ち、本発明の半導体集積回路の自動設計方法は、半導体集積回路を構成する複数のセルを配置するステップと、互いに接続される予定のセル間に、複数の配線層の中の最下層を除くいずれかの配線層、入力端子、及び出力端子を有するダミーセルを配置するステップと、互いに接続される予定のセル間に配置されたダミーセルの入力端子及び出力端子を経由して当該セル間を接続するように、当該ダミーセルが配置された配線層と同層の配線層を用いた配線を配置するステップと、を含むことを特徴とする。   An automatic design method for a semiconductor integrated circuit according to the present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and is an automatic design method for a semiconductor integrated circuit in which a plurality of wiring layers are stacked, and has the following characteristics. . That is, in the semiconductor integrated circuit automatic design method of the present invention, the lowermost layer in the plurality of wiring layers is removed between the step of arranging the plurality of cells constituting the semiconductor integrated circuit and the cells to be connected to each other. A dummy cell having any wiring layer, an input terminal, and an output terminal is arranged, and the cells are connected via the input terminal and the output terminal of the dummy cell arranged between the cells to be connected to each other. Thus, the method includes a step of arranging a wiring using a wiring layer in the same layer as the wiring layer in which the dummy cell is arranged.

また、本発明の半導体集積回路の自動設計方法は、上記配線を配置するステップの後、ダミーセルを消去するステップと、ダミーセルの入力端子及び出力端子と接続されていた配線の2つの端子を短絡するように再配線処理するステップと、再配線処理された配線のセル間の配線長が、プロセスアンテナ効果による影響を受けない所定の長さ以下となるように、当該配線長を調整するステップと、を含むことを特徴とする。   Further, in the method for automatically designing a semiconductor integrated circuit according to the present invention, after the step of arranging the wiring, the step of erasing the dummy cell and the two terminals of the wiring connected to the input terminal and the output terminal of the dummy cell are short-circuited. Rewiring processing, and adjusting the wiring length so that the wiring length between cells of the rewiring processing is less than a predetermined length not affected by the process antenna effect; It is characterized by including.

ここで、上記ダミーセルを配置するステップは、複数の配線層の中の最下層を除くいずれかの配線層をランダムに選択するステップと、選択された配線層を用いたダミーセルを配置するステップと、を含む。   Here, the step of disposing the dummy cell includes a step of randomly selecting any one of the wiring layers excluding the lowermost layer among the plurality of wiring layers, a step of disposing a dummy cell using the selected wiring layer, including.

もしくは、上記ダミーセルを配置するステップは、互いに接続される予定のセル間を結ぶ配線を予測するステップと、平面的に隣接する予定の配線が互いに異なる配線層となるように、複数の配線層の中の最下層を除くいずれかの配線層を選択するステップと、選択された配線層を用いたダミーセルを配置するステップと、を含む。   Alternatively, the step of arranging the dummy cells includes a step of predicting wiring connecting between cells to be connected to each other, and a step of arranging a plurality of wiring layers so that wirings scheduled to be adjacent in plan are different from each other. A step of selecting one of the wiring layers excluding the lowermost layer, and a step of arranging a dummy cell using the selected wiring layer.

さらに、本発明の半導体集積回路の自動設計方法は、ダミーセルを配置する前に、当該ダミーセル及び上記複数のセルの接続関係を示す接続情報を取得するステップを含む。   Furthermore, the method for automatically designing a semiconductor integrated circuit according to the present invention includes a step of acquiring connection information indicating a connection relationship between the dummy cell and the plurality of cells before arranging the dummy cell.

本発明の半導体集積回路の自動設計方法によれば、互いに接続される予定のセル間に配線を配置する前に、当該セル間に、半導体集積回路を構成する複数の配線層の中の最下層を除くいずれかの配線層を用いたダミーセルを配置した。そして、このダミーセルを経由して配線を配置することにより、複数の配線が、それぞれ異なる配線層を用いて配置される。   According to the semiconductor integrated circuit automatic design method of the present invention, before arranging wiring between cells to be connected to each other, the lowermost layer among the plurality of wiring layers constituting the semiconductor integrated circuit is arranged between the cells. A dummy cell using any one of the wiring layers except for was placed. Then, by arranging the wiring via this dummy cell, a plurality of wirings are arranged using different wiring layers.

これにより、同じ配線層の配線が平行に隣接して配置される距離が従来例に比して短縮される。即ち、従来例にみられたような平行に隣接する配線間に寄生容量を極力小さく抑えることが可能となる。そのため、上記寄生容量を起因とする配線間のクロストークを従来例に比して低く抑えることが可能となる。従って、クロストークによる信号整合性の劣化を解消するために要する時間が従来例に比して短縮される。結果として、半導体集積回路の自動設計に費やす時間を極力短縮することが可能となる。   Thereby, the distance at which the wirings of the same wiring layer are arranged adjacent to each other in parallel is shortened as compared with the conventional example. That is, it is possible to suppress the parasitic capacitance as small as possible between the wirings adjacent in parallel as in the conventional example. Therefore, it is possible to suppress the crosstalk between the wirings due to the parasitic capacitance as compared with the conventional example. Accordingly, the time required to eliminate the signal integrity degradation due to crosstalk is shortened compared to the conventional example. As a result, the time spent for the automatic design of the semiconductor integrated circuit can be reduced as much as possible.

次に、本発明の実施形態に係る半導体集積回路の自動設計方法ついて説明する。本実施形態の自動設計方法は、機能設計及び論理設計を経た後の、レイアウト設計の自動設計方法である。機能設計及び論理設計は、従来例と同様に行われる。また、本発明の実施形態に係る半導体集積回路の自動設計方法は、電子計算機を用いたCAD(Computer Aided Design)システムによって行われるものである。また、本実施形態に係る半導体集積回路の自動設計方法によって設計される半導体集積回路は、半導体チップ上に複数の配線層が積層される多層配線構造を有するものとする。   Next, a method for automatically designing a semiconductor integrated circuit according to an embodiment of the present invention will be described. The automatic design method of this embodiment is an automatic layout design method after function design and logic design. Functional design and logical design are performed in the same manner as in the conventional example. Also, the semiconductor integrated circuit automatic design method according to the embodiment of the present invention is performed by a CAD (Computer Aided Design) system using an electronic computer. The semiconductor integrated circuit designed by the semiconductor integrated circuit automatic design method according to the present embodiment has a multilayer wiring structure in which a plurality of wiring layers are stacked on a semiconductor chip.

次に、本実施形態の半導体集積回路の自動設計方法について、図面を参照して説明する。図1は、本実施形態の半導体集積回路の自動設計方法を説明するフロー図である。また、図2及び図3は、本発明の実施形態に係る半導体集積回路の自動設計方法を説明する概略平面図である。図2及び図3は、CADシステムにより自動設計された半導体チップ上のレイアウトを概略的に示すものである。   Next, a method for automatically designing a semiconductor integrated circuit according to the present embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a flowchart illustrating an automatic design method for a semiconductor integrated circuit according to this embodiment. 2 and 3 are schematic plan views for explaining an automatic design method of a semiconductor integrated circuit according to the embodiment of the present invention. 2 and 3 schematically show a layout on a semiconductor chip automatically designed by a CAD system.

最初に、図1に示すように、半導体集積回路を構成する回路の単位ブロックであるセルの回路パターン情報(各セルの回路パターンのデータ群)から成るデータベース、即ちセルライブラリと、上記セル間の回路接続情報から成るデータベース、即ちネットリストとを準備する。   First, as shown in FIG. 1, a database consisting of circuit pattern information (a data group of circuit patterns of each cell) which is a unit block of a circuit constituting a semiconductor integrated circuit, that is, a cell library, and between the cells. A database consisting of circuit connection information, that is, a net list is prepared.

そして、図1及び図2に示すように、ステップA1では、セルライブラリ及びネットリストから回路パターン情報及び回路接続情報を読み込む。次に、ステップA2では、読み込んだ上記回路パターン情報に基づいて、半導体チップの所定の領域に複数のセルを配置する。即ち、半導体チップ10の端部には、入出力ポートであるI/O(Input/Output)セル11が配置される。   Then, as shown in FIGS. 1 and 2, in step A1, circuit pattern information and circuit connection information are read from the cell library and net list. Next, in step A2, a plurality of cells are arranged in a predetermined region of the semiconductor chip based on the read circuit pattern information. That is, an I / O (Input / Output) cell 11 that is an input / output port is disposed at the end of the semiconductor chip 10.

また、半導体チップ10の所定の領域に、複数のメモリセル12及びスタンダードセル13が配置されている。ここで、スタンダードセル13とは、標準化された基本論理ゲートやその組み合わせから成る論理回路の単位ブロックである。当該スタンダードセル13は、不図示のトランジスタ等の電子素子から成る。図2では、複数のスタンダードセル13が、所定のスタンダードセル領域に配置されているものとする。   A plurality of memory cells 12 and standard cells 13 are arranged in a predetermined region of the semiconductor chip 10. Here, the standard cell 13 is a unit block of a logic circuit composed of standardized basic logic gates and combinations thereof. The standard cell 13 includes an electronic element such as a transistor (not shown). In FIG. 2, it is assumed that a plurality of standard cells 13 are arranged in a predetermined standard cell region.

次に、ステップA3では、互いに接続される予定のセル間にダミーセルを配置する。即ち、I/Oセル11とスタンダードセル13との間、メモリセル12とスタンダードセル13との間に、論理機能を持たないダミーセル14を配置する。ダミーセル14は、入力端子14A及び出力端子14Bを有し、多層配線構造を有する半導体チップ10を構成する複数の配線層の中の最下層を除くいずれかの配線層を用いて配置される。例えば、半導体集積回路が5層の配線層から成る多層構造を有している場合、2層目以上のいずれかの配線層を用いて、ダミーセル14を配置する。   Next, in step A3, dummy cells are arranged between cells that are to be connected to each other. That is, a dummy cell 14 having no logic function is arranged between the I / O cell 11 and the standard cell 13 and between the memory cell 12 and the standard cell 13. The dummy cell 14 has an input terminal 14A and an output terminal 14B, and is arranged using any wiring layer except for the lowest layer among a plurality of wiring layers constituting the semiconductor chip 10 having a multilayer wiring structure. For example, when the semiconductor integrated circuit has a multilayer structure composed of five wiring layers, the dummy cells 14 are arranged using any one of the second and higher wiring layers.

ここで、上記ダミーセル14を配置するステップA3は、次に示すステップを経て行われる。即ち、最初に、多層配線構造を有する半導体チップ10を構成する複数の配線層の中の最下層を除くいずれかの配線層をランダムに選択する。その後、選択された当該配線層を用いたダミーセル14を配置する。こうして、複数のダミーセル14が、それぞれ異なる配線層を用いて配置される。   Here, the step A3 of arranging the dummy cell 14 is performed through the following steps. That is, first, any wiring layer excluding the lowermost layer among the plurality of wiring layers constituting the semiconductor chip 10 having the multilayer wiring structure is selected at random. Thereafter, dummy cells 14 using the selected wiring layer are arranged. Thus, the plurality of dummy cells 14 are arranged using different wiring layers.

もしくは、上記ダミーセル14を配置するステップA3は、次に示すステップを経て行われてもよい。即ち、最初に、互いに接続される予定のセル間(I/Oセル11とスタンダードセル13との間や、メモリセル12とスタンダードセル13との間)を接続する配線の配置を予測する。そして、平面的に隣接して配置される予定の配線が互いに異なる配線層となるように、上記複数の配線層の中の最下層を除くいずれかの配線層を選択する。その後、選択された当該配線層を用いたダミーセル14を配置する。こうして、複数のダミーセル14が、それぞれ異なる配線層を用いて配置される。   Or step A3 which arrange | positions the said dummy cell 14 may be performed through the step shown next. That is, first, the layout of wirings connecting between cells to be connected to each other (between the I / O cell 11 and the standard cell 13 or between the memory cell 12 and the standard cell 13) is predicted. Then, one of the wiring layers excluding the lowermost layer among the plurality of wiring layers is selected so that the wirings scheduled to be arranged adjacent to each other are different from each other. Thereafter, dummy cells 14 using the selected wiring layer are arranged. Thus, the plurality of dummy cells 14 are arranged using different wiring layers.

なお、ダミーセル14を配置する前には、当該ダミーセル14、I/Oセル11、メモリセル12、及びスタンダードセル13に、ステップA1で読み込んだ回路接続情報を付与するステップが含まれる。   In addition, before the dummy cell 14 is arranged, a step of adding the circuit connection information read in step A1 to the dummy cell 14, the I / O cell 11, the memory cell 12, and the standard cell 13 is included.

次に、ステップA4では、上記回路接続情報に基づいて、互いに接続される予定のセル間を接続するようにして配線を配置する。即ち、I/Oセル11とスタンダードセル13との間、メモリセル12とスタンダードセル13との間に、配線15を配置する。ここで、配線15は、ステップA3で配置されたダミーセル14を経由して(一旦ダミーセル14の入力端子14Aに入力された後に当該出力端子14Bから出力されて)、上記セル間を接続するようにして配置される。即ち、上記セル間を接続する配線15は、当該ダミーセル14を構成する配線層と同層の配線層を用いて配置される。なお、半導体チップ10を構成する複数の配線層の中の最下層、即ち第1層目の配線層は、例えば半導体集積回路の電源線として用いられる。   Next, in step A4, based on the circuit connection information, wiring is arranged so as to connect cells that are to be connected to each other. That is, the wiring 15 is disposed between the I / O cell 11 and the standard cell 13 and between the memory cell 12 and the standard cell 13. Here, the wiring 15 connects the cells via the dummy cell 14 arranged in step A3 (once it is input to the input terminal 14A of the dummy cell 14 and then output from the output terminal 14B). Arranged. That is, the wiring 15 that connects the cells is arranged using a wiring layer that is the same layer as the wiring layer constituting the dummy cell 14. Note that the lowest layer among the plurality of wiring layers constituting the semiconductor chip 10, that is, the first wiring layer is used as a power supply line of a semiconductor integrated circuit, for example.

このような配線15の配置により、平面的に隣接して配置される配線15は、極力異なる配線層を用いて配置される。言い換えれば、同一の配線層を用いた配線15が平行に隣接して配置される距離が、従来例に比して短縮される。即ち、従来例にみられたような平行に隣接して配置される配線間に寄生容量を極力小さく抑えることが可能となる。そのため、上記寄生容量を起因とする配線間のクロストークを従来例に比して低く抑えることが可能となる。従って、クロストークによる信号整合性の劣化を解消するために要する時間が従来例に比して短縮される。結果として、半導体集積回路の自動設計に費やす時間を極力短縮することが可能となる。   With such an arrangement of the wirings 15, the wirings 15 arranged adjacent to each other in plan are arranged using wiring layers that are as different as possible. In other words, the distance at which the wires 15 using the same wiring layer are arranged adjacent to each other in parallel is shortened as compared with the conventional example. That is, it is possible to suppress the parasitic capacitance as small as possible between wirings arranged adjacent to each other in parallel as in the conventional example. Therefore, it is possible to suppress the crosstalk between the wirings due to the parasitic capacitance as compared with the conventional example. Accordingly, the time required to eliminate the signal integrity degradation due to crosstalk is shortened compared to the conventional example. As a result, the time spent for the automatic design of the semiconductor integrated circuit can be reduced as much as possible.

さらに、あるスタンダードセル13内の不図示のトランジスタを構成する不図示のゲート電極と接続される配線15に、いわゆるプロセスアンテナ効果が生じないように、当該配線15の配線長を所定の長さ以下となるように調整する。   Further, the wiring length of the wiring 15 is not more than a predetermined length so that the so-called process antenna effect does not occur in the wiring 15 connected to a gate electrode (not shown) constituting a transistor (not shown) in a certain standard cell 13. Adjust so that

ここで、プロセスアンテナ効果とは、上記トランジスタを構成するゲート電極と接続された配線15の配線長が長い場合、半導体集積回路を製造する際の例えばエッチング工程において、当該配線15を通してゲート電極に電荷が蓄積して、その電荷によりゲート絶縁膜の絶縁破壊等が生じる現象である。   Here, the process antenna effect means that when the wiring 15 connected to the gate electrode constituting the transistor has a long wiring length, the gate electrode is charged through the wiring 15 in, for example, an etching process when manufacturing a semiconductor integrated circuit. Is accumulated, and the electric breakdown causes breakdown of the gate insulating film.

しかしながら、プロセスアンテナ効果が生じないように、当該配線15の配線長を所定の長さ以下となるように調整する際には、CADシステムは、セル間を結ぶ配線の長さを検出するアルゴリズムを有しているため、ダミーセル14とスタンダードセル13とを結ぶ配線の長さを検出する。そのため、本来検出されるべき、あるセルからスタンダードセル13内の不図示のトランジスタを構成するゲート電極に至る配線の長さが検出されずに、プロセスアンテナ効果に対処するための上記配線長の調整が正確に行われない。   However, when adjusting the wiring length of the wiring 15 to be a predetermined length or less so that the process antenna effect does not occur, the CAD system uses an algorithm for detecting the length of the wiring connecting the cells. Therefore, the length of the wiring connecting the dummy cell 14 and the standard cell 13 is detected. Therefore, the adjustment of the wiring length to cope with the process antenna effect without detecting the length of the wiring from a certain cell to the gate electrode constituting the transistor (not shown) in the standard cell 13 that should be detected. Is not done accurately.

そこで、本発明では、上述したステップにより配置された配線15に対して、次のようなステップを経て、プロセスアンテナ効果に対処するための上記配線長の調整を行う。即ち、図1及び図3に示すように、ステップA5では、ステップA3で配置したダミーセル14を除去する。   Therefore, in the present invention, the wiring length adjusted to deal with the process antenna effect is performed through the following steps on the wiring 15 arranged by the above-described steps. That is, as shown in FIGS. 1 and 3, in step A5, the dummy cell 14 arranged in step A3 is removed.

次に、ステップA6では、ダミーセル14の入力端子14A及び出力端子14Bと接続していた配線15の接続点15A,15Bとを短絡するように再配線処理する。即ち、配線15の接続点15A,15Bとの間に、再配線17を配置する。   Next, in step A6, rewiring processing is performed so as to short-circuit the connection points 15A and 15B of the wiring 15 connected to the input terminal 14A and the output terminal 14B of the dummy cell 14. That is, the rewiring 17 is disposed between the connection points 15A and 15B of the wiring 15.

そして、ステップA7では、再配線17を含む配線15に対して、プロセスアンテナ効果に対処するための上記配線長の調整を行う。即ち、上記再配線処理により、あるセルからスタンダードセル13内の不図示のトランジスタを構成するゲート電極に至る配線の長さが正常に検出されて、上記プロセスアンテナ効果に対処するための上記配線長の調整が正常に行われる。   In step A7, the wiring length is adjusted for the wiring 15 including the rewiring 17 to cope with the process antenna effect. That is, by the rewiring process, the length of a wiring from a certain cell to a gate electrode constituting a transistor (not shown) in the standard cell 13 is normally detected, and the wiring length for dealing with the process antenna effect is detected. Adjustment is performed normally.

さらに、次のようなステップが追加されてもよい。即ち、ステップA8では、半導体集積回路内の信号整合性を解析する。ここで、所望の信号整合性が得られない場合、ステップA9において、配線15の調整(配置位置の移動等)を行う。この配線15の調整にも関わらず所望の信号整合性が得られない場合、当該配線15に、その信号の遅延時間を調整するためのバッファ16を挿入する。   Furthermore, the following steps may be added. That is, in step A8, signal consistency in the semiconductor integrated circuit is analyzed. If the desired signal consistency cannot be obtained, the wiring 15 is adjusted (such as moving the arrangement position) in step A9. If the desired signal consistency cannot be obtained despite the adjustment of the wiring 15, a buffer 16 for adjusting the delay time of the signal is inserted into the wiring 15.

このような信号整合性の解析、及び配線の調整やバッファの挿入、即ちステップA8及びステップA9は、上記所望の信号整合性が得られようになるまで繰り返される。   Such signal consistency analysis, wiring adjustment and buffer insertion, that is, Step A8 and Step A9 are repeated until the desired signal consistency is obtained.

ここで、本発明では、上述したようにクロストークが従来例に比して低く抑えられている。そのため、信号整合性の解析、及び配線の調整やバッファの挿入、即ちステップA8及びステップA9から成るループ処理の繰り返し回数を、従来例に比して極力少なく抑えることが可能となる。結果として、半導体集積回路の自動設計に費やす時間を極力短縮することが可能となる。   Here, in the present invention, as described above, the crosstalk is suppressed to be lower than that of the conventional example. For this reason, it is possible to minimize the number of repetitions of the signal matching analysis, the wiring adjustment and the buffer insertion, that is, the loop processing composed of step A8 and step A9, as compared with the conventional example. As a result, the time spent for the automatic design of the semiconductor integrated circuit can be reduced as much as possible.

本発明の実施形態に係る半導体集積回路の自動設計方法を説明するフロー図である。It is a flowchart explaining the automatic design method of the semiconductor integrated circuit which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る半導体集積回路の自動設計方法を説明する概略平面図である。1 is a schematic plan view illustrating an automatic design method for a semiconductor integrated circuit according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る半導体集積回路の自動設計方法を説明する概略平面図である。1 is a schematic plan view illustrating an automatic design method for a semiconductor integrated circuit according to an embodiment of the present invention. 半導体集積回路の自動設計方法を説明するフロー図である。It is a flowchart explaining the automatic design method of a semiconductor integrated circuit. 従来例に係る半導体集積回路の自動設計方法により設計された半導体集積回路の概略平面図である。It is a schematic plan view of a semiconductor integrated circuit designed by an automatic designing method for a semiconductor integrated circuit according to a conventional example.

符号の説明Explanation of symbols

10,20 半導体チップ
11,21 I/0セル
12,22 メモリセル
13,23 スタンダードセル
14 ダミーセル
14A 入力端子
14B 出力端子
15 配線
15A,15B 接続点
17 再配線
26 バッファ
30 寄生容量
10, 20 Semiconductor chip 11, 21 I / O cell 12, 22 Memory cell 13, 23 Standard cell 14 Dummy cell 14A Input terminal 14B Output terminal 15 Wiring 15A, 15B Connection point 17 Rewiring 26 Buffer 30 Parasitic capacitance

Claims (5)

複数の配線層が積層されて成る半導体集積回路の自動設計方法であって、
前記半導体集積回路を構成する複数のセルを配置するステップと、
互いに接続される予定のセル間に、前記複数の配線層の中の最下層を除くいずれかの配線層、入力端子、及び出力端子を有するダミーセルを配置するステップと、
互いに接続される予定の前記セル間に配置された前記ダミーセルの前記入力端子及び前記出力端子を経由して当該セル間を接続するように、当該ダミーセルが配置された前記配線層と同層の配線層を用いた配線を配置するステップと、を含むことを特徴とする半導体集積回路の自動設計方法。
An automatic design method of a semiconductor integrated circuit formed by laminating a plurality of wiring layers,
Disposing a plurality of cells constituting the semiconductor integrated circuit;
Arranging a dummy cell having any wiring layer except the lowest layer of the plurality of wiring layers, an input terminal, and an output terminal between cells to be connected to each other;
Wiring in the same layer as the wiring layer in which the dummy cells are arranged so as to connect the cells via the input terminal and the output terminal of the dummy cells arranged between the cells to be connected to each other A method of automatically designing a semiconductor integrated circuit, comprising: arranging a wiring using a layer.
前記配線を配置するステップの後、
前記ダミーセルを消去するステップと、
前記ダミーセルの前記入力端子及び前記出力端子と接続されていた前記配線の2つの端子を短絡するように再配線処理するステップと、
再配線処理された前記配線の前記セル間の配線長が、プロセスアンテナ効果による影響を受けない所定の長さ以下となるように、当該配線長を調整するステップと、を含むことを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路の自動設計方法。
After placing the wiring,
Erasing the dummy cell;
Rewiring process to short-circuit the two terminals of the wiring connected to the input terminal and the output terminal of the dummy cell;
Adjusting the wiring length so that the wiring length between the cells of the wiring subjected to rewiring processing is not more than a predetermined length not affected by the process antenna effect. 2. A method for automatically designing a semiconductor integrated circuit according to claim 1.
前記ダミーセルを配置するステップは、
前記複数の配線層の中の最下層を除くいずれかの配線層をランダムに選択するステップと、
選択された前記配線層を用いたダミーセルを配置するステップと、を含むことを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路の自動設計方法。
The step of arranging the dummy cells includes:
Randomly selecting any wiring layer except the lowest layer among the plurality of wiring layers;
2. The method for automatically designing a semiconductor integrated circuit according to claim 1, further comprising the step of arranging a dummy cell using the selected wiring layer.
前記ダミーセルを配置するステップは、
互いに接続される予定の前記セル間を接続する配線を予測するステップと、
平面的に隣接する予定の前記配線が互いに異なる配線層となるように、前記複数の配線層の中の最下層を除くいずれかの配線層を選択するステップと、
選択された前記配線層を用いたダミーセルを配置するステップと、を含むことを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路の自動設計方法。
The step of arranging the dummy cells includes:
Predicting wiring connecting the cells that are to be connected to each other;
Selecting one of the wiring layers excluding the lowermost layer of the plurality of wiring layers so that the wirings scheduled to be adjacent in a plane are different from each other;
2. The method for automatically designing a semiconductor integrated circuit according to claim 1, further comprising the step of arranging a dummy cell using the selected wiring layer.
前記ダミーセルを配置する前に、当該ダミーセル及び前記複数のセルの接続関係を示す接続情報を取得するステップを含むことを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路の自動設計方法。 2. The method for automatically designing a semiconductor integrated circuit according to claim 1, further comprising the step of obtaining connection information indicating a connection relationship between the dummy cell and the plurality of cells before arranging the dummy cell.
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