JP2006131801A - Conductive organic molecule and electronic device using the same, and methods of manufacturing conductive organic molecule and electronic device - Google Patents

Conductive organic molecule and electronic device using the same, and methods of manufacturing conductive organic molecule and electronic device Download PDF

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英幸 村田
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  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a new conductive organic molecule effective for realizing an organic electronic device high in characteristics, and a method of manufacturing the new conductive organic molecule and a method of manufacturing the electronic device using the same. <P>SOLUTION: The manufacturing method of the conductive organic molecules containing following repeating units (1), includes a process for alternately supplying a first organic molecule shown by following formula (2) and a second organic molecule shown by formula (3) onto a substrate (i) to react with each other. Formula (1) -R<SP>1</SP>-CH=N-R<SP>2</SP>-N=CH-, formula (2) OHC-R<SP>1</SP>-CHO, formula (3) H<SB>2</SB>N-R<SP>2</SP>-NH<SB>2</SB>, [in formulae (1)-(3), R<SP>1</SP>and R<SP>2</SP>are each independently a group having π electron conjugated chain of which the principal chain length is in the range of 0.65 nm-4.0 nm, as a principal chain]. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、導電性有機分子およびそれを用いた電子デバイスならびに導電性有機分子および電子デバイスの製造方法に関する。   The present invention relates to a conductive organic molecule, an electronic device using the same, and a method for manufacturing the conductive organic molecule and the electronic device.

シリコン集積回路における微細加工の限界がまさに現実の問題となりつつある今、シリコンに代わる新しい基幹材料の創製は、次世代産業のイニシアティブを獲得するうえで極めて重要な研究課題である。この問題を解決するひとつのアプローチとして分子デバイスが注目されている。   Now that the limits of microfabrication in silicon integrated circuits are becoming a real problem, the creation of new key materials to replace silicon is an extremely important research issue for acquiring next-generation industry initiatives. Molecular devices are attracting attention as one approach to solving this problem.

有機分子の示す機能性は分子内で非局在化したπ電子の電場応答に由来し、非局在化長の増加と共に増大する。従って分子鎖に沿って一次元的に非局在化したπ電子を持つ共役系高分子は、低分子に比べてさらに優れた機能性が期待される。ところが現実には、共役系高分子の分子構造から予想されるような性能をマクロな特性として実現した例はほとんど報告されていない。分子構造から期待される性能が得られない主な理由には、以下の三点が挙げられる。   The functionality exhibited by organic molecules originates from the electric field response of π electrons delocalized within the molecule and increases with increasing delocalization length. Therefore, a conjugated polymer having π electrons that are delocalized one-dimensionally along the molecular chain is expected to have further superior functionality compared to a low molecule. In reality, however, there have been few reports on the realization of performance expected from the molecular structure of conjugated polymers as macroscopic characteristics. There are three main reasons why the expected performance cannot be obtained from the molecular structure.

1.材料の高純度化が不十分。
2.完全な伸び切り分子鎖が達成されておらず実効共役連鎖長が短い。
3.分子鎖の配向や配列といった秩序構造が厳密に制御されていない。
1. Insufficient material purification.
2. A completely extended molecular chain is not achieved and the effective conjugated chain length is short.
3. The ordered structure such as molecular chain orientation and alignment is not strictly controlled.

これらの問題点は、共役系高分子の合成方法に深く関連しており、一般に用いられている合成法を使う限り解決は困難である。例えば、溶液重合によって得られた共役系高分子は分子量に分布を持ち分子鎖はランダムコイル構造を取る。この結果、実効共役連鎖長は分子鎖長に比べ短くなり幅広い分布を持つ。さらに一旦溶液中で生成したランダムコイル構造から直鎖状の伸び切り構造へ分子鎖を再配列させることは熱力学的にも容易ではない。   These problems are deeply related to the method for synthesizing conjugated polymers, and are difficult to solve as long as commonly used synthesis methods are used. For example, a conjugated polymer obtained by solution polymerization has a distribution in molecular weight and a molecular chain has a random coil structure. As a result, the effective conjugated chain length is shorter than the molecular chain length and has a wide distribution. Further, it is not easy thermodynamically to rearrange the molecular chain from the random coil structure once formed in the solution to the linear extended structure.

最近、テレフタルアルデヒドとp−フェニレンジアミンとを反応させて導電性重合体を形成する方法が提案されている(非特許文献1および2)。
エム・エス・ウィーバー(M. S. Weaver), ディー・ディー・シー・ブラッドレー(D. D. C. Bradley), シンセティックメタルズ(Synthetic Metals), 1996年, p.61-66 テツゾー・ヨシムラら(Tetsuzo Yoshimura, et al.), アプライド・フィジックス・レターズ(Appl. Phys. Lett.), Vol.60, No.3,1992年, p.268-270
Recently, a method of forming a conductive polymer by reacting terephthalaldehyde and p-phenylenediamine has been proposed (Non-patent Documents 1 and 2).
MS Weaver, DDC Bradley, Synthetic Metals, 1996, p.61-66 Tetsuzo Yoshimura, et al., Applied Physics Letters, Vol. 60, No. 3, 1992, p.268-270

しかしながら、上記先行技術で用いられている化合物では、基板上に形成した場合などにおいて十分な特性が得られない場合があった。   However, the compounds used in the above prior art sometimes fail to obtain sufficient characteristics when formed on a substrate.

このような状況に鑑み、本発明は、特性が高い有機電子デバイスの実現に有効な新規な導電性有機分子およびそれを用いた電子デバイスを提供することを目的の1つとする。また、本発明は、特性が高い有機電子デバイスの実現に有効な新規な導電性有機分子の製造方法およびそれを用いた電子デバイスの製造方法を提供することを目的の1つとする。   In view of such circumstances, an object of the present invention is to provide a novel conductive organic molecule effective for realizing an organic electronic device having high characteristics and an electronic device using the same. Another object of the present invention is to provide a novel method for producing a conductive organic molecule effective for realizing an organic electronic device having high characteristics and a method for producing an electronic device using the same.

上記目的を達成するため、本発明の製造方法は、以下の繰り返し構造単位(1)を含む導電性有機分子の製造方法であって、(i)基板上に、以下の式(2)で表される第1の有機分子と以下の式(3)で表される第2の有機分子とを交互に供給して互いに反応させる工程を含む。
(1)−R1−CH=N−R2−N=CH−
(2)OHC−R1−CHO
(3)H2N−R2−NH2
[式(1)〜(3)中、R1およびR2はそれぞれ独立に、主鎖長が0.65nm〜4.0nmの範囲にあるπ電子共役鎖を主鎖とする基である。]
In order to achieve the above object, a production method of the present invention is a method for producing a conductive organic molecule comprising the following repeating structural unit (1), and is represented by the following formula (2) on a substrate: The process includes supplying the first organic molecule and the second organic molecule represented by the following formula (3) alternately to react with each other.
(1) —R 1 —CH═N—R 2 —N═CH—
(2) OHC—R 1 —CHO
(3) H 2 N—R 2 —NH 2
[In formulas (1) to (3), R 1 and R 2 are each independently a group having a main chain of a π-electron conjugated chain having a main chain length in the range of 0.65 nm to 4.0 nm. ]

なお、式(1)の繰り返し構造単位は、実質的に以下の(1’)の繰り返し単位と同じとみなせる。
(1’)−N=CH−R1−CH=N−R2
The repeating structural unit of the formula (1) can be regarded as substantially the same as the following repeating unit (1 ′).
(1 ′) —N═CH—R 1 —CH═N—R 2

また、電子デバイスを製造するための本発明の方法は、上記本発明の製造方法によって、基板上に導電性有機分子を形成する工程を含む。   Moreover, the method of this invention for manufacturing an electronic device includes the process of forming a conductive organic molecule on a board | substrate by the manufacturing method of the said invention.

また、本発明の導電性有機分子は、以下の繰り返し構造単位(1)を含む。
(1)−R1−CH=N−R2−N=CH−
[式中、R1およびR2はそれぞれ独立に、主鎖長が0.65nm〜4.0nmの範囲にあるπ電子共役鎖を主鎖とする基である。]
Moreover, the electroconductive organic molecule of this invention contains the following repeating structural units (1).
(1) —R 1 —CH═N—R 2 —N═CH—
[Wherein, R 1 and R 2 are each independently a group having a main chain of a π-electron conjugated chain having a main chain length in the range of 0.65 nm to 4.0 nm. ]

また、本発明の電子デバイスは、第1の導電性有機分子を含む電子デバイスであって、前記第1の導電性有機分子が上記本発明の導電性有機分子である   Moreover, the electronic device of the present invention is an electronic device containing a first conductive organic molecule, and the first conductive organic molecule is the conductive organic molecule of the present invention.

本発明によれば、直線性が高い導電性有機分子が得られ、特に、基板に対して直立した状態で基板に結合した導電性有機分子が得られる。本発明では、反応させるモノマのπ電子共役鎖の種類を変更することによって、様々な特性の導電性有機分子を得ることが可能である。このような導電性有機分子を用いることによって、特性が高い電子デバイス、たとえば、有機発光ダイオードなどを実現できる。さらには、単一分子内に量子構造を形成し精密な電子状態制御を行い、単一分子発光ダイオードなどを実現できる。   According to the present invention, conductive organic molecules having high linearity can be obtained, and in particular, conductive organic molecules bonded to the substrate in an upright state with respect to the substrate can be obtained. In the present invention, it is possible to obtain conductive organic molecules having various characteristics by changing the kind of π electron conjugated chain of the monomer to be reacted. By using such conductive organic molecules, an electronic device having high characteristics, such as an organic light emitting diode, can be realized. Furthermore, a quantum structure is formed in a single molecule and precise electronic state control is performed to realize a single molecule light emitting diode or the like.

以下に、本発明の実施の形態について説明する。   Embodiments of the present invention will be described below.

(導電性有機分子の製造方法)
本発明の製造方法は、以下の繰り返し構造単位(1)を含む導電性有機分子の製造方法である。
(Method for producing conductive organic molecules)
The manufacturing method of this invention is a manufacturing method of the electroconductive organic molecule containing the following repeating structural units (1).

[式中、R1およびR2はそれぞれ独立に、主鎖長が0.65nm〜4.0nmの範囲にあるπ電子共役鎖を主鎖とする基である(以下、同様である)。] [Wherein, R 1 and R 2 are each independently a group having a main chain of a π-electron conjugated chain having a main chain length in the range of 0.65 nm to 4.0 nm (the same applies hereinafter). ]

本発明の製造方法で製造される導電性有機分子は、上記構造単位(1)が繰り返し結合した分子鎖を含む。R1とR2とは同じであってもよいし、異なってもよい。R1およびR2の主鎖はπ電子共役鎖であればよく、たとえば、−CH=CH−基、−C≡C−基、芳香環(複素環を含む)が、単独または組み合わされて共役結合したものである。主鎖には、側鎖が結合していなくてもよいし、側鎖が結合していてもよい。適切な主鎖および側鎖を選択することによって、様々な特性を有する導電性有機分子を製造できる。主鎖の鎖長は、1.0nm〜3.0nmの範囲にあることがより好ましい。 The conductive organic molecule produced by the production method of the present invention includes a molecular chain in which the structural unit (1) is repeatedly bonded. R 1 and R 2 may be the same or different. The main chain of R 1 and R 2 may be a π-electron conjugated chain. For example, a —CH═CH— group, a —C≡C— group, an aromatic ring (including a heterocyclic ring) may be conjugated alone or in combination. It is a combination. The side chain may not be bound to the main chain, or the side chain may be bound. By selecting appropriate main and side chains, conductive organic molecules with various properties can be produced. The chain length of the main chain is more preferably in the range of 1.0 nm to 3.0 nm.

この製造方法は、基板上に、以下の式(2)で表される第1の有機分子と以下の式(3)で表される第2の有機分子とを交互に供給して互いに反応させる工程(工程(i))を含む。
(2)OHC−R1−CHO
(3)H2N−R2−NH2
[式中、R1およびR2は、それぞれ、上述したR1およびR2と同じである。]
In this manufacturing method, a first organic molecule represented by the following formula (2) and a second organic molecule represented by the following formula (3) are alternately supplied onto a substrate to react with each other. Including a step (step (i)).
(2) OHC—R 1 —CHO
(3) H 2 N—R 2 —NH 2
[Wherein, R 1 and R 2 are the same as R 1 and R 2 described above, respectively. ]

第1の有機分子の例を図1に示し、第2の有機分子の例を図2に示す。本発明の製造方法では、第1の有機分子と第2の有機分子とを交互に供給するサイクルを繰り返すことによって、分子鎖を伸長する。基板上に供給する第1および第2の有機分子は、原則としてすべてのサイクルで共通であるが、本発明の効果が得られる限り、サイクルごとに異なる第1および第2の有機分子を供給してもよい。   An example of the first organic molecule is shown in FIG. 1, and an example of the second organic molecule is shown in FIG. In the production method of the present invention, the molecular chain is elongated by repeating the cycle of alternately supplying the first organic molecule and the second organic molecule. The first and second organic molecules to be supplied on the substrate are common in all cycles in principle. However, different first and second organic molecules are supplied for each cycle as long as the effect of the present invention is obtained. May be.

主鎖長が短い有機分子を用いて導電性有機分子を基板上に作製する場合、基板表面と鎖軸とがなす角度が大きい状態で立ち上がった導電性有機分子を作製することが困難である。これに対し、本発明では、主鎖の鎖長が所定の範囲の有機分子を用いるため、基板表面と鎖軸とがなす角度が大きい導電性有機分子を基板上に形成することが可能となる。   When conductive organic molecules are formed on a substrate using organic molecules having a short main chain length, it is difficult to manufacture conductive organic molecules that stand up in a state where the angle formed by the substrate surface and the chain axis is large. On the other hand, in the present invention, since organic molecules having a main chain chain length within a predetermined range are used, conductive organic molecules having a large angle formed by the substrate surface and the chain axis can be formed on the substrate. .

上記R1およびR2は、[主鎖長]/[鎖軸に垂直な方向における幅]の値(以下、「アスペクト比」という場合がある)が、3〜12の範囲にあることが好ましい。このように、アスペクト比が高い分子を用いることによって、基板表面と鎖軸とがなす角度を特に大きくできる。アスペクト比は、5〜10の範囲にあることがより好ましい。 R 1 and R 2 preferably have a value of [main chain length] / [width in a direction perpendicular to the chain axis] (hereinafter sometimes referred to as “aspect ratio”) in the range of 3 to 12. . Thus, by using a molecule having a high aspect ratio, the angle formed by the substrate surface and the chain axis can be particularly increased. The aspect ratio is more preferably in the range of 5-10.

好ましいアスペクト比を有する基の例として、上記R1およびR2は、それぞれ独立に以下の式(4)または式(5)で表される基であってもよい。 As an example of a group having a preferred aspect ratio, the above R 1 and R 2 may each independently be a group represented by the following formula (4) or formula (5).

本発明の製造方法では、基板がシリコン基板であり、上記工程(i)の前に、(a)シリコン基板表面のシリコン原子にアミノ基を結合させる工程と、(b)シリコン基板表面に上記第1の有機分子を供給することによって、アミノ基と第1の有機分子とを反応させる工程と、を含んでもよい。   In the manufacturing method of the present invention, the substrate is a silicon substrate, and before the step (i), (a) a step of bonding an amino group to a silicon atom on the surface of the silicon substrate; A step of reacting the amino group with the first organic molecule by supplying one organic molecule.

工程(a)は、シリコン基板表面のシリコン原子と、NH2ラジカルとを反応させることによって行うことができる。たとえば、表面が(111)面であるシリコン単結晶基板の表面でNH2ラジカルを発生させることによって行うことができる。NH2ラジカルは、たとえば、アンモニアの加熱分解によって形成できる。また、シリコン基板表面に紫外線を照射することで、シリコン表面に未結合手(ダングリングボンド)を形成しアンモニアガスと接触させることでも工程(a)を行うことができる。 Step (a) can be performed by reacting silicon atoms on the surface of the silicon substrate with NH 2 radicals. For example, it can be performed by generating NH 2 radicals on the surface of a silicon single crystal substrate whose surface is a (111) plane. The NH 2 radical can be formed by, for example, thermal decomposition of ammonia. Alternatively, the step (a) can be performed by irradiating the surface of the silicon substrate with ultraviolet rays to form dangling bonds on the silicon surface and bringing it into contact with ammonia gas.

工程(b)では、シリコン基板表面に第1の有機分子を供給することによって、基板表面のアミノ基と、第1の有機分子のアルデヒド基とを反応させる。工程(b)においても、第1の有機分子の主鎖長やアスペクト比が重要になる。工程(b)ののちは、工程(i)を行い、導電性有機分子を形成する。   In the step (b), by supplying the first organic molecule to the silicon substrate surface, the amino group on the substrate surface is reacted with the aldehyde group of the first organic molecule. Also in the step (b), the main chain length and aspect ratio of the first organic molecule are important. After step (b), step (i) is performed to form conductive organic molecules.

上記工程(a)および(b)を行うことによって、シリコン基板表面と鎖軸とがなす角度が大きい状態で導電性有機分子をシリコン基板表面に形成できる。この導電性有機分子は、アゾメチン結合(−N=CH−)を介してシリコン基板と結合しているため、シリコン基板との間に良好な導電性を有する。なお、工程(b)において、第1の有機分子の代わりに、アルデヒド基またはハロゲン化カルボニル基と、アミノ基またはアルデヒド基とを有する導電性有機分子を用いてもよい。   By performing the above steps (a) and (b), conductive organic molecules can be formed on the silicon substrate surface in a state where the angle formed by the silicon substrate surface and the chain axis is large. Since the conductive organic molecule is bonded to the silicon substrate via an azomethine bond (—N═CH—), the conductive organic molecule has good conductivity with the silicon substrate. In the step (b), a conductive organic molecule having an aldehyde group or a carbonyl halide group and an amino group or an aldehyde group may be used instead of the first organic molecule.

本発明の製造方法では、有機分子を基板上に供給する際の基板温度は、供給する有機分子の蒸発温度近傍、たとえば[蒸発温度−50℃]以上の温度とすることが好ましく、たとえば蒸発温度以上の温度である。この構成によれば、基板上に供給された有機分子のうち、不要な分子が気相中に遊離するため、導電性有機分子を設計通りに効率よく形成できる。また、基板温度は、たとえば[蒸発温度+50℃]以下とすることが好ましい。この構成によれば、基板上に供給された有機分子を効率よく反応させることができる。   In the production method of the present invention, the substrate temperature when supplying organic molecules onto the substrate is preferably close to the evaporation temperature of the organic molecules to be supplied, for example, [evaporation temperature −50 ° C.] or higher. It is the above temperature. According to this configuration, unnecessary organic molecules out of the organic molecules supplied onto the substrate are released into the gas phase, so that conductive organic molecules can be efficiently formed as designed. The substrate temperature is preferably set to, for example, [evaporation temperature + 50 ° C.] or less. According to this configuration, the organic molecules supplied on the substrate can be reacted efficiently.

本発明の製造方法では、第1の有機分子と第2の有機分子とを交互に反応させるサイクルを繰り返すことによって、任意の鎖長の導電性有機分子を形成できる。導電性有機分子の鎖長に特に限定はないが、一例では、1.5nm〜1μmの範囲である。   In the production method of the present invention, a conductive organic molecule having an arbitrary chain length can be formed by repeating a cycle in which the first organic molecule and the second organic molecule are alternately reacted. Although there is no limitation in particular in the chain length of an electroconductive organic molecule, in an example, it is the range of 1.5 nm-1 micrometer.

(電子デバイスの製造方法)
本発明の電子デバイスの製造方法は、上記本発明の導電性有機分子の製造方法によって、基板上に導電性有機分子を形成する工程を含む。上記製造方法で導電性有機分子からなる層を形成したのち、さらに他の有機分子層を積層することによって、様々な有機電子デバイスを実現できる。また、上記製造方法で導電性有機分子を形成したのち、他の有機分子を結合させることによって、様々な単一分子素子を実現することも可能である。
(Electronic device manufacturing method)
The method for manufacturing an electronic device of the present invention includes a step of forming conductive organic molecules on a substrate by the method for manufacturing conductive organic molecules of the present invention. Various organic electronic devices can be realized by forming a layer made of conductive organic molecules by the above manufacturing method and then laminating other organic molecular layers. It is also possible to realize various single-molecule elements by forming conductive organic molecules by the above manufacturing method and then combining other organic molecules.

以下、本発明の製造方法の一例について説明する。ただし、以下の製造方法は一例であり、本発明はこれに限定されない。   Hereinafter, an example of the manufacturing method of the present invention will be described. However, the following manufacturing method is an example, and the present invention is not limited to this.

(第1の例)
第1の例では、発光素子を形成する方法の一例について説明する。まず、Si(111)基板を5%のフッ酸(フッ化水素酸)に5分間接触させて表面の水素終端処理を行った後、50mMの亜硫酸アンモニウム水溶液と接触させ、原子レベルにまで平坦化したSi(111)面を得る。次に、処理したSi基板をチャンバー内に設置し、アンモニアガス流量を50sccm、雰囲気圧力を2torr(約266Pa)に保持する。この状態で、水素終端処理した基板表面に、サファイア窓を介して高圧水銀灯(100W)から紫外線を24時間照射する。このようにして、アミノ基が表面に結合したシリコン基板を作製する。
(First example)
In the first example, an example of a method for forming a light emitting element will be described. First, the Si (111) substrate was brought into contact with 5% hydrofluoric acid (hydrofluoric acid) for 5 minutes to treat the surface with hydrogen termination, and then brought into contact with a 50 mM aqueous ammonium sulfite solution to flatten it to the atomic level. An Si (111) plane is obtained. Next, the treated Si substrate is placed in a chamber, and the ammonia gas flow rate is maintained at 50 sccm and the atmospheric pressure is maintained at 2 torr (about 266 Pa). In this state, the surface of the hydrogen-terminated substrate is irradiated with ultraviolet rays from a high-pressure mercury lamp (100 W) through a sapphire window for 24 hours. In this way, a silicon substrate having an amino group bonded to the surface is produced.

次に、図3に示すように、得られたシリコン基板10を真空蒸着装置20のチャンバ内の基板ホルダ21にセットする。チャンバ内には、第1の有機分子である1,4−ビス(4−ホルミルスチリル)ベンゼン(1,4-bis(4-formylstyryl)benzene)が充填された蒸着源22と、第2の有機分子である4,4”−ジアミノ−p−ターフェニル(4,4"-Diamino-p-terphenyl)が充填された蒸着源24とを配置する。   Next, as shown in FIG. 3, the obtained silicon substrate 10 is set on the substrate holder 21 in the chamber of the vacuum evaporation apparatus 20. In the chamber, a vapor deposition source 22 filled with 1,4-bis (4-formylstyryl) benzene, which is a first organic molecule, and a second organic molecule. A vapor deposition source 24 filled with 4,4 ″ -diamino-p-terphenyl (4,4 ″ -Diamino-p-terphenyl) as a molecule is disposed.

次に、チャンバ21内をターボ分子ポンプを用いて排気し、圧力が1×10-6Torr(約1.3×10-4Pa)となったところで、基板ホルダ21を200℃に加熱する。次に、蒸着源22を260℃まで加熱し、第1の有機分子である1,4−ビス(4−ホルミルスチリル)ベンゼンを蒸発させ、一定時間経過後に加熱を停止する。基板表面に到達した第1の有機分子のうち、基板表面のアミノ基と反応した分子は化学結合によって基板表面に固定されるが、反応しなかった分子については、図4(a)に示すように再蒸発する。このようにして、第1の有機分子の単分子層が基板上に形成される。 Next, the chamber 21 is evacuated using a turbo molecular pump, and when the pressure reaches 1 × 10 −6 Torr (about 1.3 × 10 −4 Pa), the substrate holder 21 is heated to 200 ° C. Next, the vapor deposition source 22 is heated to 260 ° C. to evaporate 1,4-bis (4-formylstyryl) benzene, which is the first organic molecule, and the heating is stopped after a predetermined time. Of the first organic molecules that have reached the substrate surface, the molecules that have reacted with the amino groups on the substrate surface are fixed to the substrate surface by chemical bonding, but the molecules that have not reacted are shown in FIG. Re-evaporate. In this manner, a monomolecular layer of the first organic molecule is formed on the substrate.

次に、蒸発源23を200℃まで加熱し、第2の有機分子である4,4”−ジアミノ−p−ターフェニルを蒸発させ、一定時間経過後に加熱を停止する。このとき、基板上に固定された第1の有機分子のアルデヒド基と、第2の有機分子のアミノ基の1つとが脱水縮合反応し、アゾメチン結合を形成して結合する。この反応は、反応性が非常に高いため、室温でも容易に進行する。この反応により、図4(b)に示すように、導電性有機分子の分子鎖が伸長する。   Next, the evaporation source 23 is heated to 200 ° C. to evaporate 4,4 ″ -diamino-p-terphenyl, which is the second organic molecule, and the heating is stopped after a certain period of time. The fixed aldehyde group of the first organic molecule and one of the amino groups of the second organic molecule undergo a dehydration condensation reaction to form an azomethine bond, which is highly reactive. This reaction proceeds easily even at room temperature, and as a result, the molecular chain of the conductive organic molecule extends as shown in FIG.

第1の有機分子と第2の有機分子とを交互に供給するサイクルを30回繰り返すことによって、膜厚約100nmのポリアゾメチンの薄膜が得られる。最後に、シャドウマスクを用いてパターン化した金属電極を蒸着することによって、素子が得られる。電極用の金属としては、Au、Ag、Al、Ca、Mg、Na、Li、およびこれらの合金を用いることができる。   By repeating the cycle of alternately supplying the first organic molecule and the second organic molecule 30 times, a polyazomethine thin film having a thickness of about 100 nm can be obtained. Finally, a device is obtained by depositing a patterned metal electrode using a shadow mask. As the metal for the electrode, Au, Ag, Al, Ca, Mg, Na, Li, and alloys thereof can be used.

(第2の例)
第2の例では、pn接合型の発光ダイオードを形成する方法の一例について説明する。 まず、図5(a)に示すように、第1の例と同様の方法で、基板表面にアミノ基が結合したシリコン基板を作製する。次に、図6に示すように、シリコン基板10を真空蒸着装置20のチャンバ内の基板ホルダ21にセットする。この真空蒸着装置20は4つの蒸着源22〜25を備える。4つの蒸着源には、p形の共役系ポリマーとして機能するポリアゾメチンを生成するための2種類のモノマーと、n形の共役系ポリマーとして機能するポリオキサジアゾールを生成するための2種類のモノマーとが、それぞれ充填されている。
(Second example)
In the second example, an example of a method of forming a pn junction type light emitting diode will be described. First, as shown in FIG. 5A, a silicon substrate having an amino group bonded to the substrate surface is produced by the same method as in the first example. Next, as shown in FIG. 6, the silicon substrate 10 is set on the substrate holder 21 in the chamber of the vacuum evaporation apparatus 20. The vacuum deposition apparatus 20 includes four deposition sources 22 to 25. The four vapor deposition sources include two types of monomers for generating polyazomethine that functions as a p-type conjugated polymer, and two types for generating polyoxadiazole that functions as an n-type conjugated polymer. Each monomer is filled.

第1の例と同様の方法で、第1の有機分子(1,4−ビス(4−ホルミルスチリル)ベンゼン)と第2の有機分子(4,4”−ジアミノ−p−ターフェニル)とを交互に蒸着するサイクルを15回繰り返す(図5(b))。このようにして、p形ポリマーとして機能するポリアゾメチンの薄膜(膜厚約50nm)を作製する。成膜終了後、これらのモノマが充填されている2つの蒸着源を室温まで冷却する。   In the same manner as in the first example, the first organic molecule (1,4-bis (4-formylstyryl) benzene) and the second organic molecule (4,4 ″ -diamino-p-terphenyl) are combined. The cycle of alternating deposition is repeated 15 times (FIG. 5 (b)) In this way, a polyazomethine thin film (film thickness of about 50 nm) that functions as a p-type polymer is produced. Are cooled to room temperature.

次に、n形ポリマーとして機能するポリオキサジアゾールを形成する。その合成スキームを図7に示す。ポリオキサジアゾールは、芳香族ジカルボニルジクロリドと芳香族ジカルボヒドラジドとの重縮合反応によって生成したポリジカルボヒドラジドを真空中で300℃以上に過熱する事によって得られる。すなわち基板温度を300℃以上に設定しておくことで、モノマーからポリオキサジアゾールへの反応が進行する。   Next, polyoxadiazole that functions as an n-type polymer is formed. The synthesis scheme is shown in FIG. Polyoxadiazole is obtained by heating polydicarbohydrazide produced by polycondensation reaction of aromatic dicarbonyl dichloride and aromatic dicarbohydrazide to 300 ° C. or higher in vacuum. That is, by setting the substrate temperature to 300 ° C. or higher, the reaction from the monomer to polyoxadiazole proceeds.

なお、この反応で用いる有機分子の主鎖は、芳香族に限定されず、π電子共役鎖であればよい。この反応に適用できるジカルボニルジクロリド化合物の例を図8に示す。また、この反応に適用できるジカルボヒドラジド化合物の例を図9に示す。   Note that the main chain of the organic molecule used in this reaction is not limited to an aromatic group, and may be a π-electron conjugated chain. An example of a dicarbonyl dichloride compound applicable to this reaction is shown in FIG. An example of a dicarbohydrazide compound applicable to this reaction is shown in FIG.

ポリオキサジアゾールの形成では、まず、基板温度を300℃まで上昇させる。そして、ビフェニル−4,4”−ジカルボニル ジクロライド(Biphenyl-4,4”-dicarbonyl dichloride)が充填されている蒸着源を115℃まで加熱して蒸発させる。この時、基板表面に到達したモノマー(Biphenyl-4,4”-dicarbonyl dichloride)のうち、垂直に配向したポリアゾメチン分子の末端アミノ基と反応したモノマーはアミド結合(−NH−CO−)によって膜表面に固定化されるが、反応しなかったモノマーは再蒸発する。このようにして、ビフェニル−4,4”−ジカルボニル ジクロライドの一端がポリアゾメチン分子の末端に結合した層を形成する。この操作によって、膜の最表面はカルボニルクロリド基によって終端される。   In the formation of polyoxadiazole, first, the substrate temperature is raised to 300 ° C. Then, the evaporation source filled with biphenyl-4,4 ″ -dicarbonyl dichloride is heated to 115 ° C. and evaporated. At this time, among the monomers (Biphenyl-4,4 ″ -dicarbonyl dichloride) that have reached the substrate surface, the monomer that has reacted with the terminal amino group of the polyazomethine molecule oriented vertically is an amide bond (—NH—CO—). Monomers immobilized on the surface but not reacted re-evaporate, thus forming a layer in which one end of biphenyl-4,4 "-dicarbonyl dichloride is bonded to the end of the polyazomethine molecule. By this operation, the outermost surface of the film is terminated by a carbonyl chloride group.

次に、ビフェニル−4,4”−ジカルボヒドラジド(Biphenyl-4,4”-dicarbohydrazide)が充填されている蒸着源を300℃に加熱して蒸発させる。膜表面に到達したビフェニル−4,4”−ジカルボヒドラジドは、最表面のカルボニルクロリド基と反応してカルボヒドラジド結合(−CONHNHCO−)を形成すると同時に脱水環化反応してオキサジアゾール環を形成する。このようにして、膜の最表面がカルボヒドラジド基で終端された単分子膜を形成する。このように、ビフェニル−4,4”−ジカルボニル ジクロライドとビフェニル−4,4”−ジカルボヒドラジドとを交互に蒸着するプロセスを20回繰り返し、分子鎖が垂直に配向したポリオキサジアゾール層(厚さ約50nm)を形成する(図5(c))。このようにして、図5(d)に示す導電性有機分子を形成する。   Next, a vapor deposition source filled with biphenyl-4,4 ″ -dicarbohydrazide is heated to 300 ° C. and evaporated. Biphenyl-4,4 ″ -dicarbohydrazide that has reached the surface of the membrane reacts with the carbonyl chloride group on the outermost surface to form a carbohydrazide bond (—CONHNHCO—) and simultaneously undergoes dehydration cyclization to form an oxadiazole ring. In this way, a monomolecular film in which the outermost surface of the film is terminated with a carbohydrazide group is formed. Thus, biphenyl-4,4 "-dicarbonyl dichloride and biphenyl-4,4" -di The process of alternately depositing carbohydrazide is repeated 20 times to form a polyoxadiazole layer (thickness of about 50 nm) in which molecular chains are vertically oriented (FIG. 5 (c)). Conductive organic molecules shown in (d) are formed.

最後に、シャドウマスクを用いてパターン化した金属電極を蒸着し、p形領域とn形領域とを備える素子を作製する。   Finally, a patterned metal electrode is deposited using a shadow mask to produce a device having a p-type region and an n-type region.

(導電性有機分子)
本発明の導電性有機分子は、以下の繰り返し構造単位(1)を含む。
(1)−R1−CH=N−R2−N=CH−
[式中、R1およびR2はそれぞれ独立に、主鎖長が0.65nm〜4.0nmの範囲にあるπ電子共役鎖を主鎖とする基である。]
(Conductive organic molecules)
The conductive organic molecule of the present invention includes the following repeating structural unit (1).
(1) —R 1 —CH═N—R 2 —N═CH—
[Wherein, R 1 and R 2 are each independently a group having a main chain of a π-electron conjugated chain having a main chain length in the range of 0.65 nm to 4.0 nm. ]

この有機分子は、上記本発明の製造方法で製造できる。R1およびR2は、それぞれ、上述したものと同様であるため、重複する説明を省略する。 This organic molecule can be produced by the production method of the present invention. Since R 1 and R 2 are the same as those described above, redundant description is omitted.

(電子デバイス)
また、本発明の電子デバイスは、第1の導電性有機分子を含む電子デバイスであって、その第1の導電性有機分子が上記本発明の導電性有機分子である。
(Electronic device)
The electronic device of the present invention is an electronic device including a first conductive organic molecule, and the first conductive organic molecule is the conductive organic molecule of the present invention.

本発明の電子デバイスは、n形の第2の導電性有機分子を含み、発光ダイオードとして機能するものであってもよい。この第2の導電性有機分子は、第1の導電性有機分子(本発明の導電性有機分子)に対してn形の導電性を示す有機分子である。   The electronic device of the present invention may include an n-type second conductive organic molecule and function as a light emitting diode. This second conductive organic molecule is an organic molecule that exhibits n-type conductivity with respect to the first conductive organic molecule (the conductive organic molecule of the present invention).

また、本発明の電子デバイスは、第1および第2の導電性有機分子のいずれか一方がシリコン基板に結合しており、第1および第2の導電性有機分子がシリコン基板から立ち上がっていてもよい。   In the electronic device of the present invention, either one of the first and second conductive organic molecules is bonded to the silicon substrate, and the first and second conductive organic molecules stand up from the silicon substrate. Good.

また、本発明の電子デバイスは、第1の導電性有機分子と第2の導電性有機分子とが直接または分子鎖を介して結合しており、単一分子素子として機能してもよい。   In the electronic device of the present invention, the first conductive organic molecule and the second conductive organic molecule are bonded directly or via a molecular chain, and may function as a single molecule element.

これらの電子デバイスの一例は、上記第1および第2の例で説明した素子である。なお、本発明の製造方法を用いることによって、有機量子デバイスを実現することも可能となる。そのような有機量子デバイスの一例を図10に示す。   An example of these electronic devices is the element described in the first and second examples. An organic quantum device can also be realized by using the manufacturing method of the present invention. An example of such an organic quantum device is shown in FIG.

図10の単一分子素子30は、p形領域31、障壁領域32、再結合領域33、障壁領域34およびn形領域35を備える。p形領域31に注入されたホールは、障壁領域32をトンネルして再結合領域33に到達する。一方、n形領域35に注入された電子は、障壁領域34をトンネルして再結合領域33に到達する。再結合領域33でホールと電子とが再結合し、光が発せられる。p形領域31およびn形領域は、上述した有機分子で形成できる。また、障壁領域32は、脂肪族炭化水素などの、導電性がない分子鎖で形成できる。このような単一分子素子は、分子鎖長がたとえば1〜10nmの範囲であり、分子の幅は0.5〜1nmの範囲である。   10 includes a p-type region 31, a barrier region 32, a recombination region 33, a barrier region 34, and an n-type region 35. The holes injected into the p-type region 31 tunnel through the barrier region 32 and reach the recombination region 33. On the other hand, the electrons injected into the n-type region 35 tunnel through the barrier region 34 and reach the recombination region 33. In the recombination region 33, holes and electrons recombine, and light is emitted. The p-type region 31 and the n-type region can be formed of the organic molecules described above. Further, the barrier region 32 can be formed of a molecular chain having no electrical conductivity, such as an aliphatic hydrocarbon. Such a single molecule device has a molecular chain length of, for example, 1 to 10 nm and a molecular width of 0.5 to 1 nm.

以上、本発明の実施形態について例を挙げて説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の技術的思想に基づいて他の実施形態に適用できる。   The embodiments of the present invention have been described above by way of examples, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be applied to other embodiments based on the technical idea of the present invention.

本発明は、有機分子を用いた電子デバイスに適用でき、たとえば、発光ダイオードやトランジスタなどに適用できる。   The present invention can be applied to electronic devices using organic molecules, for example, light emitting diodes and transistors.

本発明の製造方法で用いられる第1の有機分子の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the 1st organic molecule used with the manufacturing method of this invention. 本発明の製造方法で用いられる第2の有機分子の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the 2nd organic molecule used with the manufacturing method of this invention. 本発明の製造方法で用いられる装置の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the apparatus used with the manufacturing method of this invention. 本発明の製造方法の工程を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the process of the manufacturing method of this invention. 本発明の製造方法の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the manufacturing method of this invention. 本発明の製造方法で用いられる装置の他の例を示す図である。It is a figure which shows the other example of the apparatus used with the manufacturing method of this invention. ポリオキサジアゾールの合成スキームを示す図である。It is a figure which shows the synthetic scheme of polyoxadiazole. 本発明の製造方法で用いられるジカルボニルジクロリド化合物の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the dicarbonyl dichloride compound used with the manufacturing method of this invention. 本発明の製造方法で用いられるジカルボヒドラジド化合物の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the dicarbohydrazide compound used with the manufacturing method of this invention. 単一分子素子の一例を模式的に示す図である。It is a figure which shows an example of a single molecule element typically.

符号の説明Explanation of symbols

10 シリコン基板
20 真空蒸着装置
21 基板ホルダ
22,23,24,25 蒸着源
30 単一分子素子
31 p形領域
32 障壁領域
33 再結合領域
34 障壁領域
35 n形領域
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Silicon substrate 20 Vacuum deposition apparatus 21 Substrate holder 22, 23, 24, 25 Deposition source 30 Single molecule element 31 P-type area | region 32 Barrier area | region 33 Recombination area | region 34 Barrier area | region 35 N-type area | region

Claims (12)

以下の繰り返し構造単位(1)を含む導電性有機分子の製造方法であって、
(i)基板上に、以下の式(2)で表される第1の有機分子と以下の式(3)で表される第2の有機分子とを交互に供給して互いに反応させる工程を含む導電性有機分子の製造方法。
(1)−R1−CH=N−R2−N=CH−
(2)OHC−R1−CHO
(3)H2N−R2−NH2
[式(1)〜(3)中、R1およびR2はそれぞれ独立に、主鎖長が0.65nm〜4.0nmの範囲にあるπ電子共役鎖を主鎖とする基である。]
A method for producing a conductive organic molecule comprising the following repeating structural unit (1),
(I) A step of alternately supplying a first organic molecule represented by the following formula (2) and a second organic molecule represented by the following formula (3) on the substrate to react with each other. A method for producing a conductive organic molecule.
(1) —R 1 —CH═N—R 2 —N═CH—
(2) OHC—R 1 —CHO
(3) H 2 N—R 2 —NH 2
[In formulas (1) to (3), R 1 and R 2 are each independently a group having a main chain of a π-electron conjugated chain having a main chain length in the range of 0.65 nm to 4.0 nm. ]
前記R1およびR2は、[主鎖長]/[鎖軸に垂直な方向における幅]の値が、3〜12の範囲にある請求項1に記載の導電性有機分子の製造方法。 2. The method for producing a conductive organic molecule according to claim 1, wherein R 1 and R 2 have a value of [main chain length] / [width in a direction perpendicular to the chain axis] in the range of 3 to 12. 3. 前記R1およびR2が、それぞれ独立に以下の式(4)または式(5)で表される基である請求項1に記載の導電性有機分子の製造方法。
The method for producing a conductive organic molecule according to claim 1, wherein R 1 and R 2 are each independently a group represented by the following formula (4) or formula (5).
前記基板がシリコン基板であり、
前記(i)の工程の前に、
(a)前記シリコン基板表面のシリコン原子にアミノ基を結合させる工程と、
(b)前記シリコン基板表面に前記第1の有機分子を供給することによって、前記アミノ基と前記第1の有機分子とを反応させる工程と、を含む請求項1に記載の導電性有機分子の製造方法。
The substrate is a silicon substrate;
Before the step (i),
(A) attaching an amino group to silicon atoms on the surface of the silicon substrate;
And (b) supplying the first organic molecule to the surface of the silicon substrate to react the amino group with the first organic molecule. Production method.
請求項1〜4のいずれか1項に記載の製造方法によって、基板上に導電性有機分子を形成する工程を含む電子デバイスの製造方法。   The manufacturing method of an electronic device including the process of forming a conductive organic molecule on a board | substrate by the manufacturing method of any one of Claims 1-4. 以下の繰り返し構造単位(1)を含む導電性有機分子。
(1)−R1−CH=N−R2−N=CH−
[式中、R1およびR2はそれぞれ独立に、主鎖長が0.65nm〜4.0nmの範囲にあるπ電子共役鎖を主鎖とする基である。]
A conductive organic molecule comprising the following repeating structural unit (1).
(1) —R 1 —CH═N—R 2 —N═CH—
[Wherein, R 1 and R 2 are each independently a group having a main chain of a π-electron conjugated chain having a main chain length in the range of 0.65 nm to 4.0 nm. ]
前記R1およびR2は、[主鎖長]/[鎖軸に垂直な方向における幅]の値が、3〜12の範囲にある請求項6に記載の導電性有機分子。 7. The conductive organic molecule according to claim 6, wherein R 1 and R 2 have a value of [main chain length] / [width in a direction perpendicular to the chain axis] in the range of 3 to 12. 8. 前記R1およびR2が、それぞれ独立に以下の式(4)または式(5)で表される基である請求項6に記載の導電性有機分子。
The conductive organic molecule according to claim 6, wherein R 1 and R 2 are each independently a group represented by the following formula (4) or formula (5).
第1の導電性有機分子を含む電子デバイスであって、前記第1の導電性有機分子が請求項6〜8のいずれか1項に記載の導電性有機分子である電子デバイス。   It is an electronic device containing a 1st conductive organic molecule, Comprising: The said 1st conductive organic molecule is an electronic device which is a conductive organic molecule of any one of Claims 6-8. n形の第2の導電性有機分子を含み、発光ダイオードとして機能する請求項9に記載の電子デバイス。   The electronic device according to claim 9, comprising an n-type second conductive organic molecule and functioning as a light emitting diode. 前記第1および第2の導電性有機分子のいずれか一方がシリコン基板に結合しており、前記第1および第2の導電性有機分子が前記シリコン基板に対して直立している請求項10に記載の電子デバイス。   11. One of the first and second conductive organic molecules is bonded to a silicon substrate, and the first and second conductive organic molecules are upright with respect to the silicon substrate. The electronic device described. 前記第1の導電性有機分子と前記第2の導電性有機分子とが直接または分子鎖を介して結合しており、単一分子素子として機能する請求項10または11に記載の電子デバイス。   The electronic device according to claim 10 or 11, wherein the first conductive organic molecule and the second conductive organic molecule are bonded directly or via a molecular chain and function as a single molecule element.
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