JP2006125895A - Flat panel display inspection device - Google Patents

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Hiroshi Naito
宏 内藤
Naomori Matsumoto
尚盛 松本
Kazunori Noso
千典 農宗
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To correct fogging generated in a picked-up image to recognize a defect accurately. <P>SOLUTION: A known image 31 of a flat panel display is imaged by a camera to acquire a concentration value in camera coordinates 35 corresponding to each picture element position. Each coordinate position of the corresponding camera coordinates is correlated with FPD coordinates 41 corresponding to the each picture element position of the flat panel display to form a coordinate correspondence table 42. The coordinates are found therein over up to a value smaller than a decimal point based on the concentration value, coordinates having the same value in a figure smaller than the decimal point are collected to form subpixel coordinates 51, 52 the value by the value, and a neighboring image concentration distribution is formed in every of the subpixel coordinates. The concentration value in the camera coordinates for inspection acquired in the inspection is transformed into a corresponding coordinates for the inspection corresponding to the each pixel position of the flat panel display, based on the correspondence table 41, and an estimated image corresponding to a luminescent brightness of the flat panel display is formed based on the neighboring concentration distribution to inspect the defect. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、プラズマディスプレイや液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイに発生する点欠陥を検査するフラットパネルディスプレイ検査装置に関する。   The present invention relates to a flat panel display inspection apparatus for inspecting point defects generated in a flat panel display such as a plasma display or a liquid crystal display.

従来、プラズマディスプレイや液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイを検査する際には、フラットパネルディスプレイ検査装置が用いられていた。   Conventionally, when inspecting a flat panel display such as a plasma display or a liquid crystal display, a flat panel display inspection apparatus has been used.

このフラットパネルディスプレイ検査装置で点欠陥を検査する際には、フラットパネルディスプレイの解像度の2倍(面積比4倍)以上の解像度を有するカメラを使用するとともに、そのレンズとしては、シャープなものが要求されていた。   When inspecting point defects with this flat panel display inspection device, a camera having a resolution that is at least twice the resolution of the flat panel display (4 times the area ratio) is used, and the lens is sharp. It was requested.

しかしながら、このようなフラットパネルディスプレイ検査装置にあっては、解像度の低いカメラを使用した場合、フラットパネルディスプレイの一画素は、カメラ画像において数画素に映り、ボケた画像として撮像されるとともに、一つの欠陥が複数の欠陥と認識されてしまう。   However, in such a flat panel display inspection apparatus, when a low-resolution camera is used, one pixel of the flat panel display appears in several pixels in the camera image and is captured as a blurred image. One defect is recognized as a plurality of defects.

本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、比較的低解像度のカメラであっても、撮像画像に生じるボケを補正し、正確な欠陥認識を行うことができるフラットパネルディスプレイ検査装置を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of such a conventional problem, and is a flat panel that can correct blurring in a captured image and perform accurate defect recognition even with a relatively low-resolution camera. An object of the present invention is to provide a display inspection apparatus.

前記課題を解決するために本発明のフラットパネルディスプレイ検査装置にあっては、カメラで撮像したフラットパネルディスプレイの映像から点欠陥を検出するフラットパネルディスプレイ検査装置において、前記フラットパネルディスプレイに表示位置の座標が既知な点状の輝点を所定の間隔をおいて表示するとともに、この表示された既知画像の映像をカメラで撮像し、当該カメラにおける各画素位置に対応したカメラ座標での濃度値を取得する撮像手段と、前記フラットパネルディスプレイの各画素位置を示すFPD座標に対応する前記カメラ座標の座標位置を、各座標位置での前記濃度値に基づいて小数点以下の値まで求めて対応表を作成する対応表作成手段と、前記FPD座標が示す前記カメラ座標の座標位置において、小数点以下の値が同じ値のもので構成されたサブピクセル座標を形成するとともに、各サブピクセル座標別に近傍画像濃度分布を形成する画像処理手段と、前記フラットパネルディスプレイに検査用画像を表示して該検査用画像の映像を前記カメラで撮像し、当該カメラにおける各画素位置に対応した検査用カメラ座標での濃度値を取得する検査画像撮像手段と、前記検査用カメラ座標での前記濃度値を前記対応表に基づいて前記フラットパネルディスプレイの各画素位置に対応した検査用対応座標に変換する座標変換手段と、前記検査用対応座標での濃度値と前記近傍濃度分布とから前記フラットパネルディスプレイの発光輝度に対応する推定画像を形成する推定画像形成手段と、前記推定画像を用いて点欠陥を検出する点欠陥検出手段と、を備えている。   In order to solve the above problems, in the flat panel display inspection apparatus of the present invention, in the flat panel display inspection apparatus for detecting point defects from the image of the flat panel display imaged by the camera, the display position of the flat panel display is determined. The point-like bright spots whose coordinates are known are displayed at a predetermined interval, and the image of the displayed known image is captured by a camera, and the density value at the camera coordinates corresponding to each pixel position in the camera is obtained. An image pickup means to be acquired and a coordinate table of the camera coordinates corresponding to the FPD coordinates indicating each pixel position of the flat panel display are obtained up to a value after the decimal point based on the density value at each coordinate position. In the correspondence table creation means to be created and the coordinate position of the camera coordinate indicated by the FPD coordinate, An image processing unit for forming sub-pixel coordinates composed of the lower values having the same value, and forming a neighborhood image density distribution for each sub-pixel coordinate, and displaying an inspection image on the flat panel display Inspection image imaging means for capturing an image of an inspection image with the camera and obtaining a density value at an inspection camera coordinate corresponding to each pixel position in the camera, and the density value at the inspection camera coordinate Coordinate conversion means for converting to inspection corresponding coordinates corresponding to each pixel position of the flat panel display based on the correspondence table, and light emission of the flat panel display from the density value and the neighboring density distribution at the inspection corresponding coordinates Estimated image forming means for forming an estimated image corresponding to luminance; and point defect detecting means for detecting point defects using the estimated image. To have.

すなわち、フラットパネルディスプレイを検査する際には、その前段階として、前記フラットパネルディスプレイに、表示位置の座標が既知な点状の輝点を所定の間隔をおいて表示するとともに、この表示された既知画像の映像をカメラで撮像し、当該カメラにおける各画素位置に対応したカメラ座標での濃度値を取得した後、前記フラットパネルディスプレイの各画素位置を示すFPD座標に対応する前記カメラ座標の座標位置を、前記カメラ座標での前記濃度値に基づいて小数点以下の値まで求めて対応表を作成する。このとき、前記既知画像においては、表示される輝点の表示位置の座標が既知なため、各輝点間の値を補間することができる。   That is, when inspecting the flat panel display, as a previous step, the luminescent spots are displayed at predetermined intervals on the flat panel display with the coordinates of the display position being known. After capturing an image of a known image with a camera and obtaining a density value at camera coordinates corresponding to each pixel position in the camera, the coordinates of the camera coordinates corresponding to FPD coordinates indicating each pixel position of the flat panel display Based on the density value in the camera coordinates, the position is calculated to a value after the decimal point, and a correspondence table is created. At this time, in the known image, since the coordinates of the display position of the bright spot to be displayed are known, values between the bright spots can be interpolated.

そして、このFPD座標で示された前記カメラ座標の座標位置において、小数点以下の値が同じ値のもので構成されたサブピクセル座標を形成するとともに、各サブピクセル座標別に近傍画像濃度分布を形成する。   Then, at the coordinate position of the camera coordinates indicated by the FPD coordinates, sub-pixel coordinates composed of the same values after the decimal point are formed, and a neighborhood image density distribution is formed for each sub-pixel coordinate. .

検査時において、前記フラットパネルディスプレイに検査用画像を表示して該検査用画像の映像をカメラで撮像し、当該カメラにおける各画素位置に対応した検査用カメラ座標での濃度値を取得した後、前記検査用カメラ座標での前記濃度値を前記対応表に基づいて前記フラットパネルディスプレイの各画素位置に対応した検査用対応座標に変換する。そして、前記検査用対応座標での濃度値と前記近傍濃度分布とから前記フラットパネルディスプレイの発光輝度に対応する推定画像を形成し、この推定画像から点欠陥を検出する。   At the time of inspection, the inspection image is displayed on the flat panel display, and the image of the inspection image is captured by the camera, and after obtaining the density value at the inspection camera coordinates corresponding to each pixel position in the camera, The density value at the inspection camera coordinates is converted into inspection corresponding coordinates corresponding to each pixel position of the flat panel display based on the correspondence table. Then, an estimated image corresponding to the light emission luminance of the flat panel display is formed from the density value at the corresponding coordinates for inspection and the neighborhood density distribution, and a point defect is detected from the estimated image.

このため、フラットパネルディスプレイ上の一画素がカメラ画像において複数画素に映り、ボケた画像として取得された場合であっても、推定画像において、そのボケが修正される。   For this reason, even if one pixel on the flat panel display appears in a plurality of pixels in the camera image and is acquired as a blurred image, the blur is corrected in the estimated image.

以上説明したように本発明のフラットパネルディスプレイ検査装置にあっては、カメラによってボケた画像が取得された場合であっても、そのボケを修正した推定画像を用いて欠陥検査を行うことができる。   As described above, in the flat panel display inspection apparatus of the present invention, even when a blurred image is acquired by the camera, the defect inspection can be performed using the estimated image in which the blur is corrected. .

したがって、比較的低解像度のカメラを用いた場合であっても、撮像画像に生じるボケを補正し、正確な欠陥認識を行うことができる。これにより、レンズ特性やCCDカメラの特性も比較的低解像度のカメラを使用することができる。   Therefore, even when a relatively low-resolution camera is used, it is possible to correct blurring that occurs in the captured image and perform accurate defect recognition. Accordingly, it is possible to use a camera having a relatively low resolution in terms of lens characteristics and CCD camera characteristics.

以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図1は、本実施の形態にかかるフラットパネルディスプレイ検査装置1を示すブロック図であり、該フラットパネルディスプレイ検査装置1は、プラズマディスプレイや液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ2に発生する点欠陥を検査する装置である。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a flat panel display inspection apparatus 1 according to the present embodiment. The flat panel display inspection apparatus 1 inspects a point defect generated in a flat panel display 2 such as a plasma display or a liquid crystal display. It is a device to do.

このフラットパネルディスプレイ検査装置1は、画像処理を行うコンピュータ11を中心に構成されており、該コンピュータ11には、カメラインターフェイス12を介してカメラ13が接続されている。前記コンピュータ11には、検査対象となるフラットパネルディスプレイ2が接続されており、前記コンピュータ11からの信号に応じた映像を出力できるように構成されている。   The flat panel display inspection apparatus 1 is mainly configured by a computer 11 that performs image processing, and a camera 13 is connected to the computer 11 via a camera interface 12. The computer 11 is connected to a flat panel display 2 to be inspected, and is configured to output an image corresponding to a signal from the computer 11.

また、前記コンピュータ11には、フィルタ装置21が接続されており、該フィルタ装置21は、前記カメラ13のレンズ22と前記フラットパネルディスプレイ2との間に配置されている。これにより、前記コンピュータ11からの制御信号によって前記フィルタ装置21を制御することによって、前記カメラ13において減光フィルタやカラーフィルタを通した映像と、各フィルタを通さない映像とが取得できるように構成されている。   Further, a filter device 21 is connected to the computer 11, and the filter device 21 is disposed between the lens 22 of the camera 13 and the flat panel display 2. Thereby, by controlling the filter device 21 with a control signal from the computer 11, the camera 13 can acquire an image that passes through a neutral density filter and a color filter and an image that does not pass through each filter. Has been.

前記コンピュータ11は、記憶されたプログラムに従って動作するように構成されており、前記カメラ13で取得した画像を処理して前記フラットパネルディスプレイ2に発生した点欠陥を検出し、その位置を、他の装置やモニタに出力できるように構成されている。   The computer 11 is configured to operate in accordance with a stored program, processes an image acquired by the camera 13 to detect a point defect generated in the flat panel display 2, and determines the position of the other It is configured so that it can be output to a device or a monitor.

以上の構成にかかる本実施の形態の動作を、図2に示すフローチャートに従って説明する。   The operation of the present embodiment according to the above configuration will be described with reference to the flowchart shown in FIG.

すなわち、フラットパネルディスプレイ2を検査する際には、その前段階として、コンピュータ11からの出力によって前記フラットパネルディスプレイ2に、図3に示すような既知画像31を表示するとともに、その画像を検査用のカメラ13で撮像する(S1)。前記既知画像31(A(i,j))としては、3×3画素の領域内の中央画素を輝点32とした格子点画像33が、図中横方向であるi方向及び図中縦方向であるj方向に4画素(又は8画素)おきに設けられた画像からなり(一つの格子点画像33のみ図示)、各格子点画像33が表示される位置座標(i,j)は、前記コンピュータ11において既知である。これにより、前記カメラ13における各画素位置に対応したカメラ座標35(B(i,j))での濃度値を取得する。   That is, when the flat panel display 2 is inspected, as a previous step, a known image 31 as shown in FIG. 3 is displayed on the flat panel display 2 by the output from the computer 11, and the image is used for inspection. The camera 13 takes an image (S1). As the known image 31 (A (i, j)), a lattice point image 33 having a central pixel in a 3 × 3 pixel region as a bright point 32 is represented by the i direction which is the horizontal direction in the figure and the vertical direction in the figure. The position coordinates (i, j) at which each grid point image 33 is displayed are composed of images provided every 4 pixels (or 8 pixels) in the j direction (only one grid point image 33 is shown). It is known in the computer 11. Thereby, the density value at the camera coordinates 35 (B (i, j)) corresponding to each pixel position in the camera 13 is acquired.

そして、前記フラットパネルディスプレイ2の各画素位置に対応するFPD座標41(C(x,y))に、各FPD座標位置(x,y)に対応する前記カメラ座標35(B(i,j))の座標位置(i,j)を関連付けて座標対応表42を形成する(S2)。その一例としては、前記カメラ座標35における前記各格子点画像33上での座標を、前記濃度値に基づいて小数点以下の値まで求め、その値を前記FPD座標41の各座標位置に記憶する方法が挙げられる。このとき、前記既知画像31において、表示される輝点32の表示位置の座標は既知なため、各輝点32間の値を補間して求めることができる。これにより求められたFPD座標41の各座標位置に記憶された前記カメラ座標35における各座標位置において、小数点以下の値が同じ値のものを集めて各値毎にサブピクセル座標51,52,・・・を形成するとともに、各サブピクセル座標51,52,・・・別に、近傍の濃度値が記憶された近傍画像濃度分布の濃度分布H(k,p,q)を求めて形成する(S3)。   Then, the FPD coordinate 41 (C (x, y)) corresponding to each pixel position of the flat panel display 2 and the camera coordinate 35 (B (i, j) corresponding to each FPD coordinate position (x, y) are provided. ) Is associated with each other to form a coordinate correspondence table 42 (S2). As an example, a method of obtaining coordinates on each grid point image 33 in the camera coordinates 35 up to a value after the decimal point based on the density value, and storing the value at each coordinate position of the FPD coordinates 41. Is mentioned. At this time, since the coordinates of the display position of the bright spot 32 to be displayed in the known image 31 are known, the values between the bright spots 32 can be obtained by interpolation. At each coordinate position in the camera coordinate 35 stored in each coordinate position of the FPD coordinate 41 obtained in this way, the ones having the same value after the decimal point are collected, and the subpixel coordinates 51, 52,. .., And the density distribution H (k, p, q) of the neighborhood image density distribution in which the neighborhood density values are stored separately for each subpixel coordinate 51, 52,... ).

次に、前記フラットパネルディスプレイ2に検査用画像を表示して該検査用画像の映像をカメラ13で撮像し、当該カメラ13における各画素位置に対応した検査用カメラ座標での濃度値を取得した後(前述したカメラ座標に相当)、前記検査用カメラ座標での前記濃度値を前記対応表42に基づいて前記フラットパネルディスプレイ2の各画素位置に対応した検査用対応座標に変換し(S4)、フラットパネルディスプレイ2と同じ画素数の推定画像61(D(x,y))の初期値とする(S5)。   Next, an inspection image is displayed on the flat panel display 2, and an image of the inspection image is captured by the camera 13, and a density value at the inspection camera coordinates corresponding to each pixel position in the camera 13 is acquired. After (corresponding to the camera coordinates described above), the density value at the inspection camera coordinates is converted into inspection corresponding coordinates corresponding to each pixel position of the flat panel display 2 based on the correspondence table 42 (S4). The initial value of the estimated image 61 (D (x, y)) having the same number of pixels as that of the flat panel display 2 is set (S5).

この推定画像61に前記サブピクセル座標51,52,・・・での前記近傍濃度分布(重みW)を合成して合成画像71(E(x,y))を形成し(S6)、この合成画像71とカメラ入力された検査用画像とにおいて、各所の濃度が一致するように推定画像61上の濃度を変更して(S7)、前記各ステップS6〜S7を数回繰り返す。この動作を、図4の式75に示す。   The estimated density 61 is combined with the neighborhood density distribution (weight W) at the subpixel coordinates 51, 52,... To form a combined image 71 (E (x, y)) (S6). In the image 71 and the inspection image input by the camera, the density on the estimated image 61 is changed so that the density at each location matches (S7), and the above steps S6 to S7 are repeated several times. This operation is shown in Equation 75 of FIG.

これにより、フラットパネルディスプレイ2上の一画素がカメラ画像において複数画素に映り、ボケた画像として取得された場合であっても、前記推定画像において、そのボケを修正することができる。   Thereby, even if one pixel on the flat panel display 2 appears in a plurality of pixels in the camera image and is acquired as a blurred image, the blur can be corrected in the estimated image.

そして、この推定画像から点欠陥を検出する(S8)。このように、前記カメラ13によってボケた画像が取得された場合であっても、そのボケを修正した前記推定画像を用いて欠陥検査を行うことができる。   Then, a point defect is detected from this estimated image (S8). As described above, even when an image blurred by the camera 13 is acquired, the defect inspection can be performed using the estimated image obtained by correcting the blur.

したがって、比較的低解像度のカメラ13を用いた場合であっても、撮像画像に生じるボケを補正し、正確な欠陥認識を行うことができる。これにより、レンズ特性やCCDカメラの特性も比較的低解像度のカメラ13を使用することができる。   Therefore, even when the camera 13 having a relatively low resolution is used, it is possible to correct the blur generated in the captured image and perform accurate defect recognition. As a result, the camera 13 having a relatively low resolution can be used for the lens characteristics and the CCD camera characteristics.

本発明の一実施の形態を示すブロック図である。It is a block diagram which shows one embodiment of this invention. 同実施の形態の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the operation | movement of the embodiment. 同実施の形態の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the operation | movement of the embodiment. 同実施の形態を動作を示す式である。4 is an equation showing the operation of the embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1 フラットパネルディスプレイ検査装置
2 フラットパネルディスプレイ
11 コンピュータ
13 カメラ
31 既知画像
32 輝点
33 格子点画像
35 カメラ座標
41 FPD座標
42 座標対応表
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flat panel display inspection apparatus 2 Flat panel display 11 Computer 13 Camera 31 Known image 32 Bright spot 33 Grid point image 35 Camera coordinate 41 FPD coordinate 42 Coordinate correspondence table

Claims (1)

カメラで撮像したフラットパネルディスプレイの映像から点欠陥を検出するフラットパネルディスプレイ検査装置において、
前記フラットパネルディスプレイに表示位置の座標が既知な点状の輝点を所定の間隔をおいて表示するとともに、この表示された既知画像の映像をカメラで撮像し、当該カメラにおける各画素位置に対応したカメラ座標での濃度値を取得する撮像手段と、
前記フラットパネルディスプレイの各画素位置を示すFPD座標に対応する前記カメラ座標の座標位置を、各座標位置での前記濃度値に基づいて小数点以下の値まで求めて対応表を作成する対応表作成手段と、
前記FPD座標が示す前記カメラ座標の座標位置において、小数点以下の値が同じ値のもので構成されたサブピクセル座標を形成するとともに、各サブピクセル座標別に近傍画像濃度分布を形成する画像処理手段と、
前記フラットパネルディスプレイに検査用画像を表示して該検査用画像の映像を前記カメラで撮像し、当該カメラにおける各画素位置に対応した検査用カメラ座標での濃度値を取得する検査画像撮像手段と、
前記検査用カメラ座標での前記濃度値を前記対応表に基づいて前記フラットパネルディスプレイの各画素位置に対応した検査用対応座標に変換する座標変換手段と、
前記検査用対応座標での濃度値と前記近傍濃度分布とから前記フラットパネルディスプレイの発光輝度に対応する推定画像を形成する推定画像形成手段と、
前記推定画像を用いて点欠陥を検出する点欠陥検出手段と、
を備えたことを特徴とするフラットパネルディスプレイ検査装置。
In the flat panel display inspection device that detects point defects from the image of the flat panel display imaged by the camera,
Point-like bright spots whose display position coordinates are known are displayed on the flat panel display at a predetermined interval, and the displayed image of the known image is captured by a camera, corresponding to each pixel position in the camera. Imaging means for obtaining density values at the camera coordinates,
Correspondence table creation means for creating a correspondence table by obtaining the coordinate position of the camera coordinate corresponding to the FPD coordinate indicating each pixel position of the flat panel display to a value after the decimal point based on the density value at each coordinate position When,
Image processing means for forming subpixel coordinates composed of the same value after the decimal point at the coordinate position of the camera coordinates indicated by the FPD coordinates, and forming a neighborhood image density distribution for each subpixel coordinate; ,
Inspection image imaging means for displaying an inspection image on the flat panel display, capturing an image of the inspection image with the camera, and acquiring density values at inspection camera coordinates corresponding to the respective pixel positions in the camera; ,
Coordinate conversion means for converting the density value at the inspection camera coordinates into inspection corresponding coordinates corresponding to each pixel position of the flat panel display based on the correspondence table;
Estimated image forming means for forming an estimated image corresponding to the light emission luminance of the flat panel display from the density value at the corresponding coordinates for inspection and the neighborhood density distribution;
Point defect detection means for detecting point defects using the estimated image;
A flat panel display inspection apparatus comprising:
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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