JP2006118872A - Precision weight measuring instrument - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a weight measuring instrument capable of shortening a time from weight loading up to measurement, and capable of preventing lowering of precision, even in a place where disturbance vibration exists, in precision weight measurement. <P>SOLUTION: This instrument is constituted of a mechanism for exciting forcibly a balance, and a device for extracting data in a specified frequency area. The vibration generated in the weight loading is quickly damped by the forcible excitation/control to shorten the measuring time. The frequency area containing a data as to weight data are set in an area different from the frequency area of the disturbance vibration to impart resistance against disturbance. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、粉末状の薬品等の重量測定を行う際に、迅速且つ精密な重量測定を行う重量測定装置に関するものである。特に、本発明は、重量測定装置が平衡状態へと達する時間が短いという特徴を持つため、重量の測定を連続的に行う場合において、測定時間の短縮を行うことができる。また、本発明は、特定の周波数領域に関する情報のみを利用するため、機械的な振動を外乱として受けるような環境において精密重量測定を行う用途に適している。   The present invention relates to a weight measuring apparatus that performs quick and precise weight measurement when measuring the weight of a powdered medicine or the like. In particular, the present invention is characterized in that the time required for the weight measuring device to reach an equilibrium state is short, so that the measurement time can be shortened when the weight is continuously measured. In addition, since the present invention uses only information relating to a specific frequency region, the present invention is suitable for applications in which precise weight measurement is performed in an environment where mechanical vibrations are received as disturbances.

粉末状の薬品等の重量を正確に計量する手法の従来法は、大きく分けて静的重量測定法と動的重量測定法に分けられる。以降で、これらの具体的な例について説明する。   Conventional methods for accurately measuring the weight of powdered chemicals and the like are roughly classified into a static weight measurement method and a dynamic weight measurement method. Hereinafter, specific examples of these will be described.

静的重量測定法しては、天秤や竿秤のように支点の両端に測定物と錘をそれぞれ配置し、平衡状態となる錘の重量から測定物の重量を測定する方法が一般的に知られている。上皿天秤では、天秤の竿の部分にロバーバル機構と呼ばれる機構を持たせることにより、測定物・錘を乗せる位置による偏置誤差を生じないことが知られている。   Static weight measurement is generally known as a method of measuring the weight of a measured object from the weight of the weight in an equilibrium state by placing a measured object and a weight on both ends of a fulcrum, such as a balance or a balance. It has been. It is known that an upper pan balance does not cause a deviation error due to a position where a measurement object / weight is placed by providing a mechanism called a Roverval mechanism in the heel portion of the balance.

また、台秤や電子天秤などでは、荷重を加えたときの弾性体の変位量が、加えられた荷重の大きさに対して一意に決定されることを利用して重量計測を行っている。弾性体としては、ばねやロードセルが利用され、精密重量計測装置として一般的に利用されている。   Moreover, in a platform balance, an electronic balance, etc., weight measurement is performed by utilizing the fact that the amount of displacement of the elastic body when a load is applied is uniquely determined with respect to the magnitude of the applied load. As the elastic body, a spring or a load cell is used, and is generally used as a precision weight measuring device.

上記のいずれの場合においても、重量を測定するためには静的な平衡状態に達していなくてはならない。そのため、天秤に負荷を与えたときに発生する振動が減衰するのを待つ時間が発生する。特に精密な重量測定を行うための天秤では、振動の周期が長く減衰により多くの時間がかかる。そのため、一定量の薬品を量り取るような場合には、調整のたびに振動の減衰を待たなくてはならず、大きなタイムロスが発生してしまう。   In any of the above cases, a static equilibrium must be reached in order to measure the weight. For this reason, there is a time for waiting for the vibration generated when a load is applied to the balance to be attenuated. In particular, in a balance for performing precise weight measurement, the period of vibration is long and much time is required for damping. Therefore, in the case where a certain amount of medicine is weighed, it is necessary to wait for the vibration to be attenuated at every adjustment, resulting in a large time loss.

次に動的重量測定法について説明する。動的重量測定法は、負荷を与えた際に発生する振動の様子から重量の測定を行う方法である。例えば、以下のような手法が知られている。   Next, the dynamic weight measurement method will be described. The dynamic weight measurement method is a method of measuring weight from a state of vibration generated when a load is applied. For example, the following methods are known.

重量測定装置(特開昭56−117126号公報)では、荷重に応じて振動子の固有振動数が変わる特性を利用して、固有振動数の値を読み取ることから重量測定を行っている。また、物品重量の連続測定及び分類法(特開昭53−048768号公報)では、物品の到着及び通過時に質量の大きさに比例した振幅の減衰振動出力が発生することを利用して、この振幅の大きさを測定することから重量測定を行っている。   In the weight measuring device (Japanese Patent Laid-Open No. 56-117126), the characteristic frequency is changed by reading the value of the natural frequency using the characteristic that the natural frequency of the vibrator changes according to the load. Further, in the continuous measurement and classification method of the article weight (Japanese Patent Laid-Open No. 53-048768), the fact that a damped vibration output with an amplitude proportional to the mass size is generated at the arrival and passage of the article is used. The weight is measured by measuring the amplitude.

上記のいずれの方法を用いた場合も、減衰振動の状態をある程度の間は観測する必要がある。そのため、元々の振動周期が長くなる精密天秤等では計測時間を短縮することはできない。この問題を解決するため、外力を与えて強制的に静止させることで、測定時間を短くする方法が提案されている。   When any of the above methods is used, it is necessary to observe the state of the damped vibration for a certain period. Therefore, the measurement time cannot be shortened with a precision balance or the like that originally has a long vibration cycle. In order to solve this problem, a method has been proposed in which the measurement time is shortened by applying an external force to forcibly stop.

フォースバランス秤(特開2002−174545号公報)では、秤の位置を常に一定位置に保つように制御をかけ、静止時に必要な力の大きさから重量が算出できることを利用して重量計測を行っている。この手法を使うことにより、振動の減衰が迅速に行われ、重量測定時間の短縮が可能となる。
特開昭56−117126号公報 特開昭53−048768号公報 特開2002−174545号公報
In the force balance scale (Japanese Patent Laid-Open No. 2002-174545), control is performed so that the position of the scale is always maintained at a constant position, and weight measurement is performed by using the fact that the weight can be calculated from the magnitude of the force required when stationary. ing. By using this method, the vibration is quickly attenuated, and the weight measurement time can be shortened.
JP 56-117126 A JP-A-53-048768 JP 2002-174545 A

しかしながら、これら手法を用いて精密重量測定を行うためには、床の振動等の外乱振動が無いことが条件となる。これは、外乱振動があると、測定値も同様に振動して安定した値が得られないためである。そのため、除震台上に設置する等の除震対策が必須となる。   However, in order to perform accurate weight measurement using these methods, it is a condition that there is no disturbance vibration such as floor vibration. This is because if there is disturbance vibration, the measured value vibrates in the same manner and a stable value cannot be obtained. For this reason, it is essential to take measures for seismic isolation such as installing on a seismic isolation table.

上記の理由から、現状の精密重量測定装置では、工場等の多数の振動源(機械装置)があるような場所での重量計測や、自動化装置としての組み込み利用等、除震の徹底が困難な状況下においては、精密重量測定が行えないという問題がある。この性質は、今回従来例として挙げたもの以外でも、精密重量測定装置が共通に抱える問題である。   For the above reasons, it is difficult for thorough seismic isolation with current precision weight measuring devices, such as weight measurement in places where there are many vibration sources (mechanical devices) such as factories, and built-in use as automation devices. Under the circumstances, there is a problem that precise weight measurement cannot be performed. This property is a problem that the precision weight measuring apparatus has in common with those other than the conventional examples.

そこで、本発明では、外乱振動のあるような環境下においても、迅速に精密重量測定が行える精密重量測定装置について提案する。   In view of this, the present invention proposes a precision weight measuring apparatus that can perform accurate weight measurement quickly even in an environment with disturbance vibrations.

本発明によれば、請求項1に記載の重量測定装置では、支点によって支えられる天秤の一端に天秤皿を備え、残りの一端に天秤の変位量を検知する変位センサと、天秤を任意に振動・変位させることができる駆動動力源を備え、変位センサの出力が一定周期T・一定振幅Aの正弦波状のプロファイルとなるように駆動動力源への入力信号を制御する制御システムを備え、この入力信号の特定周波数1/Tにおける情報を抽出する信号処理装置を備え、データ処理情報から天秤上に乗せられた測定重量物の重量を演算する演算装置とを備えていることを特徴とする重量測定装置が提供される。   According to the present invention, in the weight measuring device according to claim 1, the balance pan is supported at one end of the balance supported by the fulcrum, the displacement sensor for detecting the displacement amount of the balance at the other end, and the balance is arbitrarily vibrated. -A drive power source that can be displaced, and a control system that controls the input signal to the drive power source so that the output of the displacement sensor has a sinusoidal profile with a constant period T and a constant amplitude A. Weight measurement characterized by comprising a signal processing device for extracting information at a specific frequency 1 / T of a signal, and an arithmetic device for calculating the weight of a measurement weight placed on the balance from the data processing information An apparatus is provided.

上記構成において、変位センサ・駆動動力源を用いた制御システムは、重量測定可能な状態への早期安定化を実現する効果がある。   In the above configuration, the control system using the displacement sensor and the driving power source has an effect of realizing early stabilization to a state where the weight can be measured.

また、特定周波数1/Tにおける情報を抽出する信号処理装置は、外乱振動の影響を除去する効果がある。   In addition, the signal processing device that extracts information at the specific frequency 1 / T has an effect of removing the influence of disturbance vibration.

また、本発明によれば、前記天秤がロバーバル機構によって構成されていることを特徴とした重量測定装置が提供される。   In addition, according to the present invention, there is provided a weight measuring device characterized in that the balance is configured by a Roverval mechanism.

上記構成において、ロバーバル機構は、天秤皿への重量負荷位置による偏置誤差の発生を無くす効果がある。   In the above configuration, the Robert mechanism has the effect of eliminating the occurrence of an offset error due to the position of the weight load on the balance pan.

また、本発明によれば、前記変位センサが光学式変位センサで構成されていることを特徴とした重量測定装置が提供される。   According to the present invention, there is provided a weight measuring device characterized in that the displacement sensor is constituted by an optical displacement sensor.

また、本発明によれば、前記変位センサが渦電流式変位センサで構成されていることを特徴とした重量測定装置が提供される。   According to the present invention, there is provided a weight measuring device characterized in that the displacement sensor is constituted by an eddy current displacement sensor.

また、本発明によれば、前記変位センサが静電容量式変位センサで構成されていることを特徴とした重量測定装置が提供される。   In addition, according to the present invention, there is provided a weight measuring device characterized in that the displacement sensor is constituted by a capacitance type displacement sensor.

また、本発明によれば、前記駆動動力源が電磁石と着磁性物質とで構成されていることを特徴とした重量測定装置が提供される。   In addition, according to the present invention, there is provided a weight measuring device characterized in that the driving power source is composed of an electromagnet and a magnetized substance.

また、本発明によれば、前記駆動動力源が直動型モータで構成されていることを特徴とした重量測定装置が提供される。   In addition, according to the present invention, there is provided a weight measuring device characterized in that the driving power source is constituted by a direct acting motor.

また、本発明によれば、前記駆動動力源が回転型モータで構成されていることを特徴とした重量測定装置が提供される。   According to the present invention, there is provided a weight measuring device characterized in that the driving power source is constituted by a rotary motor.

また、本発明によれば、前記信号処理装置が、測定信号の位相情報を読み出す位相計と、測定された位相情報と同位相且つ一定周期Tの正弦波状信号を発生する発振装置と、測定信号と発振された正弦波状信号を乗算する乗算演算器と、乗算された信号から直流成分のみを抽出するローパスフィルタとで構成されていることを特徴とした重量測定装置が提供される。   According to the present invention, the signal processing device includes a phase meter that reads phase information of the measurement signal, an oscillation device that generates a sinusoidal signal having the same phase as the measured phase information and a constant period T, and the measurement signal. There is provided a weight measuring device comprising: a multiplication calculator that multiplies the oscillated sinusoidal signal; and a low-pass filter that extracts only a direct current component from the multiplied signal.

また、本発明によれば、前記信号処理装置が周波数2π/Tに対応するバンドパスフィルタと、出力信号の振幅を読み取る交流電圧計とで構成されていることを特徴とした重量測定装置が提供される。   Further, according to the present invention, there is provided a weight measuring device, wherein the signal processing device is composed of a band-pass filter corresponding to a frequency of 2π / T and an AC voltmeter that reads the amplitude of the output signal. Is done.

上記のように構成された本発明による重量測定装置を用いれば、天秤の振動波形をアクティブに制御するという特性から、重量負荷の瞬間から重量測定装置の状態が安定し、重量測定可能になるまでの時間を短縮することが可能である。   If the weight measuring device according to the present invention configured as described above is used, from the characteristic of actively controlling the vibration waveform of the balance, the state of the weight measuring device is stabilized from the moment of weight loading until the weight can be measured. It is possible to shorten the time.

また、上記のように構成された本発明による重量測定装置を用いれば、特定周波数1/Tにおける情報のみを抽出・利用するという特性から、周波数1/T以外に周波数帯域を持つ振動ノイズの影響を除去した高S/N比な重量測定が可能である。   In addition, if the weight measuring device according to the present invention configured as described above is used, the influence of vibration noise having a frequency band other than the frequency 1 / T from the characteristic that only information at a specific frequency 1 / T is extracted and used. It is possible to measure the weight with a high S / N ratio from which the water is removed.

以下に本発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。図1に本発明の最も単純な構成を表す。変位センサに光学式変位センサを利用し、駆動動力源として電磁石を利用した重量測定装置を表す図である。この図における信号処理装置は、位相計と位相シフターと乗算演算器とローパスフィルタとで構成されている。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows the simplest configuration of the present invention. It is a figure showing the weight measuring apparatus using an optical displacement sensor for a displacement sensor, and using an electromagnet as a drive power source. The signal processing apparatus in this figure includes a phase meter, a phase shifter, a multiplication calculator, and a low-pass filter.

図2は図1の構成に加えて、天秤部にロバーバル機構を持ち、変位センサに光学式変位センサを利用し、駆動動力源として電磁石を利用した重量測定装置を表す図である。この図における信号処理装置は、位相計と位相シフターと乗算演算器とローパスフィルタとで構成されている。   FIG. 2 is a view showing a weight measuring apparatus having a robust mechanism in the balance portion, using an optical displacement sensor as a displacement sensor, and using an electromagnet as a driving power source in addition to the configuration in FIG. The signal processing apparatus in this figure includes a phase meter, a phase shifter, a multiplication calculator, and a low-pass filter.

また、変位センサは光学式変位センサの代わりに、請求項4に記載したように渦電流式変位センサや、請求項5に記載したように静電容量式変位センサを用いてもよい。また、駆動動力源には請求項7に記載したように直動型モータを使用してもよい。(図3)また、請求項8に記載したように支点部分に回転型モータを用いてもよい。(図4)
請求項1に記載の重量測定装置では、天秤に一定周期Tの振動をあたえるため、駆動動力源から力F+F0を負荷することができる。このとき、変位センサからの出力が正弦波波形を描くように制御システムで制御を行う。この制御が安定化したとき、天秤に作用する力の釣り合いは以下の式(1)のように表される。
The displacement sensor may be an eddy current displacement sensor as described in claim 4 or a capacitance displacement sensor as described in claim 5 instead of the optical displacement sensor. Further, as the drive power source, a direct acting motor may be used as described in claim 7. (FIG. 3) Further, as described in claim 8, a rotary motor may be used for the fulcrum portion. (Fig. 4)
In the weight measuring device according to the first aspect, since the balance is vibrated with a constant period T, the force F + F 0 can be applied from the driving power source. At this time, the control system performs control so that the output from the displacement sensor draws a sine wave waveform. When this control is stabilized, the balance of forces acting on the balance is expressed by the following equation (1).

Figure 2006118872
Figure 2006118872

Figure 2006118872
Figure 2006118872

ここで、aは駆動動力Fの作用点と天秤支点からの距離を表し、bは天秤皿側の重量mの作用点と天秤支点との距離を表す。またΘは天秤と水平基準の為す角度の大きさを表し、θはその振動振幅の大きさである。   Here, a represents the distance between the operating point of the driving power F and the balance fulcrum, and b represents the distance between the operating point of the weight m on the balance pan side and the balance fulcrum. Θ represents the magnitude of the angle between the balance and the horizontal reference, and θ is the magnitude of the vibration amplitude.

この振動振幅θの大きさが微小である場合について考えると、釣り合いの式(1)は式(3)のように近似される。ここで、ω=2π/Tとする。   Considering the case where the magnitude of the vibration amplitude θ is very small, the balance equation (1) is approximated as the equation (3). Here, ω = 2π / T.

Figure 2006118872
Figure 2006118872

このとき、   At this time,

Figure 2006118872
となるようにすれば、釣り合いの式は式(4)のようになる。
Figure 2006118872
Then, the balance equation is as shown in equation (4).

Figure 2006118872
Figure 2006118872

ここで、天秤皿に重量Δmの測定重量物を負荷した場合、力の釣り合いは式(5)のように表される。   Here, when a weighing object having a weight of Δm is loaded on the balance pan, the balance of force is expressed as in Equation (5).

Figure 2006118872
Figure 2006118872

このとき、駆動動力源への入力信号は、   At this time, the input signal to the drive power source is

Figure 2006118872
だけ増加するため、この値の大きさがわかれば、重量Δmを算出することができる。
Figure 2006118872
Therefore, if the magnitude of this value is known, the weight Δm can be calculated.

次に、安定振動状態に対して外部からの振動ノイズΝ(t)が加えられた場合について考える。Ν(t)をフーリエ級数展開して表すと、釣り合いの式は式(6)のようになる。   Next, consider the case where vibration noise Ν (t) from the outside is added to the stable vibration state. When Ν (t) is expressed by Fourier series expansion, the balance equation is as shown in Equation (6).

Figure 2006118872
Figure 2006118872

このときに考えられる振動ノイズは、(1)周囲の振動源の共振周波数ωaround(2)ホワイトノイズ(3)天秤の共振周波数ωlibraである。したがって駆動電源への入力信号をフーリエ変換すると、周波数ω、ωlibra、ωaroundに強いスペクトルが現れる。このうち、周波数ωのスペクトルに測定重量情報が含まれている。そこで、ωを、ωlibra、ωaroundとは異なる値に設定することにより、周波数ωに対応する情報はフーリエ空間において分離することが可能となる。 The vibration noise considered at this time is (1) the resonance frequency ω around the surrounding vibration source, (2) white noise, and (3) the resonance frequency ω libra of the balance. Therefore, when the input signal to the drive power supply is Fourier transformed, a strong spectrum appears at frequencies ω, ω libra and ω around . Among these, the measurement weight information is included in the spectrum of the frequency ω. Therefore, by setting ω to a value different from ω libra and ω around , information corresponding to the frequency ω can be separated in the Fourier space.

具体的に分離を行う方法としては、請求項9に記載の信号処理装置構成による方法がある。このときの信号処理装置構成を図5に示す。   As a specific method for performing the separation, there is a method using the signal processing device configuration according to claim 9. FIG. 5 shows the configuration of the signal processing apparatus at this time.

まず、駆動動力源への入力信号の位相φを位相計501によって読み取る。この位相φは制御システムによって発生する位相遅れである。次にこの位相φの分だけ位相シフター503で補正した正弦波信号Dsin(ωt+φ)を作成する。この正弦波信号と駆動動力源への入力信号を乗算器505にて乗算すると、式(7)のようになる。   First, the phase meter 501 reads the phase φ of the input signal to the drive power source. This phase φ is a phase lag generated by the control system. Next, a sine wave signal Dsin (ωt + φ) corrected by the phase shifter 503 corresponding to the phase φ is created. When the sine wave signal and the input signal to the driving power source are multiplied by the multiplier 505, the equation (7) is obtained.

Figure 2006118872
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このとき、直流成分のみを取り出すため、乗算した信号をローパスフィルタ506でフィルタすると式(8)のようになる。   At this time, in order to extract only the DC component, when the multiplied signal is filtered by the low-pass filter 506, Expression (8) is obtained.

Figure 2006118872
Figure 2006118872

このCiは、外乱振動ノイズの周波数ωに対応するスペクトルである。そのため、天秤の共振周波数ωlibra・外部振動源の振動数ωaroundと周波数ωが一致しない場合、Ciは微弱な信号となる。 C i is a spectrum corresponding to the frequency ω of the disturbance vibration noise. Therefore, if the vibration frequency omega around-the frequency omega of the resonance frequency omega libra · external vibration source of the balance does not match, C i is the weak signal.

同様の信号処理は、駆動動力源への入力信号を周波数ωに対応するバンドパスフィルタで直接フィルタリングする、請求項10に記載の装置構成でも同様に実現できる。   Similar signal processing can be similarly realized by the apparatus configuration according to claim 10 in which an input signal to the driving power source is directly filtered by a band-pass filter corresponding to the frequency ω.

上記のようにして得られた信号から、目的の負荷重量Δmを算出するためには、以下に述べる方法がある。一つは、上記の信号処理装置によって得られる電圧値と、負荷重量との間の関数に基づいて、重量計算を行う方法である。また、無負荷時に信号処理装置から得られる電圧値をゼロ点としてデータ保持し、重量負荷時の出力電圧との電位差を測定することで、重量を求める方法もある。いずれの手法を用いても、出力電圧値から重量データを導出することができる。   In order to calculate the target load weight Δm from the signal obtained as described above, there is a method described below. One is a method of calculating the weight based on a function between the voltage value obtained by the signal processing device and the load weight. There is also a method of obtaining the weight by holding data with the voltage value obtained from the signal processing device at zero load as zero point and measuring the potential difference from the output voltage at heavy load. Whichever method is used, the weight data can be derived from the output voltage value.

以上のような性質から、本発明によれば、外部振動ノイズに対して優れた耐性を有する重量計測装置が提供される。   From the above properties, according to the present invention, a weight measuring device having excellent resistance to external vibration noise is provided.

本発明の具体的な実施形態を以下に述べる。本発明において、もっとも基本となる実施例の構成を図6に示す。   Specific embodiments of the present invention are described below. The configuration of the most basic embodiment in the present invention is shown in FIG.

図の支柱602に、ロバーバル機構を備えた天秤603が設置されている。このとき、ロバーバル機構と支柱602との接点及びロバーバル機構を構成する各部品の接点部には、円滑な回転運動を実現する必要がある。そのため、各接点部は、ボールベアリングに代表される軸受けを利用することが望ましい。回転軸は一軸のみで、軸方向は図面に対して垂直方向である。   A balance 603 equipped with a Roberval mechanism is installed on the column 602 in the figure. At this time, it is necessary to realize a smooth rotational motion at the contact point between the Roverval mechanism and the support column 602 and at the contact portion of each component constituting the Roverval mechanism. Therefore, it is desirable that each contact portion uses a bearing represented by a ball bearing. There is only one axis of rotation, and the axial direction is perpendicular to the drawing.

天秤の右端部には、図のようにロバーバル機構の縦辺部に天秤皿601が設置される。天秤の左端部には、同様に縦辺部に梁604が設置される。左端部の梁には、変位量を測定するための変位センサ605が設置される。   At the right end of the balance, a balance pan 601 is installed on the vertical side of the Roverval mechanism as shown. Similarly, a beam 604 is installed on the vertical side at the left end of the balance. A displacement sensor 605 for measuring a displacement amount is installed on the left end beam.

変位センサには、光学式変位センサを用いた。ここで用いる光学式変位センサは、振動状態を測定するため、高い応答周波数を持つことが望ましい。例えば、この場合では光ヘテロダイン式微小変位計測器を用いた。また、レーザドップラ式微小変位計測器を用いるのも、好ましい例である。また、三角測距式変位計測器を用いるのも好ましい例である。   An optical displacement sensor was used as the displacement sensor. The optical displacement sensor used here preferably has a high response frequency in order to measure the vibration state. For example, in this case, an optical heterodyne type minute displacement measuring instrument was used. It is also a preferable example to use a laser Doppler micro displacement measuring instrument. It is also a preferable example to use a triangulation type displacement measuring instrument.

また、測定の精度を良好に保つため、レーザ照射部=測定点には平面ミラー606を設置した。ミラーには不用なレーザ干渉が発生しないように、アルミ平面ミラーを使用した。   Further, in order to keep the measurement accuracy good, a flat mirror 606 was installed at the laser irradiation part = measurement point. An aluminum flat mirror was used to prevent unnecessary laser interference.

左端部の梁には、さらに駆動動力源として、図が示すような位置に電磁石607を設置した。このとき、電磁石からの力を梁に対して充分に作用させるため、梁にスチール部材608を付加している。   On the left end beam, an electromagnet 607 was installed at a position as shown in the figure as a driving power source. At this time, a steel member 608 is added to the beam in order to sufficiently apply the force from the electromagnet to the beam.

上記の変位センサからの変位量データを参照し、その変位が振幅A・周期Tの正弦波となるように、制御システム609を用いて電磁石の出力を制御する。この制御システムには、振動振幅Aは微小で、周期Tの短い高周波数の正弦波が制御できる性能が求められる。そのため、この制御システムでは、高周波数領域(10KHz以上)でのゲインが−3db(70%)以上得られ、かつ安定性が補償されている制御系を使用することが望ましい。   With reference to the displacement amount data from the displacement sensor, the output of the electromagnet is controlled using the control system 609 so that the displacement becomes a sine wave having an amplitude A and a period T. This control system is required to have a performance capable of controlling a high-frequency sine wave having a small vibration amplitude A and a short period T. Therefore, in this control system, it is desirable to use a control system in which a gain in a high frequency region (10 KHz or more) is obtained at −3 db (70%) or more and stability is compensated.

また、この制御システムに対して、制御のための参照信号としてファンクションジェネレータ610から正弦波信号の入力が行った。このときに入力される正弦波の周波数は、天秤の持つ共振周波数と異なる値となっている。   In addition, a sine wave signal was input from the function generator 610 as a reference signal for control to this control system. The frequency of the sine wave input at this time is different from the resonance frequency of the balance.

以上述べたような装置構成によって、天秤に強制振動を与えるシステムが実現される。以降では、この制御システムによって与えられる電磁石607への出力信号から、重量情報を含む信号を抽出するための信号処理システムの実施例について説明する。   With the apparatus configuration as described above, a system for applying forced vibration to the balance is realized. Hereinafter, an embodiment of a signal processing system for extracting a signal including weight information from an output signal to the electromagnet 607 given by the control system will be described.

重量に関する情報が含まれるのは、出力信号の振幅成分である。信号処理を行った際に、制御系へ影響を及ぼさないようにするため、信号処理用の信号を制御システムから別途出力させている。このときの信号は電磁石への出力信号と全く同じ値の信号である。   It is the amplitude component of the output signal that contains information about the weight. In order to prevent the control system from being affected when signal processing is performed, a signal for signal processing is separately output from the control system. The signal at this time is exactly the same value as the output signal to the electromagnet.

この信号から重量情報=振動振幅量を抽出するためには、前述のように出力信号に対して別の正弦波信号を乗算演算器611にて乗算し、ローパスフィルタ612を用いて直流成分の抽出を行う。このときに用いる正弦波信号は、前述のファンクションジェネレータ610から出力される正弦波信号を利用する。このとき、2つの信号の位相差が大きくなるほど、直流成分の大きさが小さくなり、測定のS/N比が向上する。そのため、本実施例では、位相差を一致・補正するシステムを設けている。   In order to extract the weight information = vibration amplitude amount from this signal, as described above, the output signal is multiplied by another sine wave signal by the multiplication calculator 611, and the DC component is extracted using the low-pass filter 612. I do. As the sine wave signal used at this time, the sine wave signal output from the function generator 610 is used. At this time, as the phase difference between the two signals increases, the magnitude of the direct current component decreases and the S / N ratio of the measurement improves. Therefore, in this embodiment, a system for matching and correcting the phase difference is provided.

まず、出力信号の位相を、位相計613を用いて計測している。そして、2つの信号の位相を一致させるため、正弦波信号の位相を、位相シフター614によって計測された位相の分だけシフトさせている。これにより、乗算される2つの信号の位相を一致させることができる。   First, the phase of the output signal is measured using a phase meter 613. In order to match the phases of the two signals, the phase of the sine wave signal is shifted by the phase measured by the phase shifter 614. Thereby, the phases of the two signals to be multiplied can be matched.

また、微小な重量変化を鋭敏に検知するためには、信号の増幅率が大きいことが求められる。この信号の増幅率は、乗算する正弦波信号の振幅の大きさと比例関係にある。そのため、アンプ615を用いて、正弦波信号の振幅を増幅している。   Also, in order to detect minute changes in weight sensitively, a large signal amplification factor is required. The amplification factor of this signal is proportional to the magnitude of the amplitude of the sine wave signal to be multiplied. Therefore, the amplifier 615 is used to amplify the amplitude of the sine wave signal.

このようにして得られる乗算信号から、直流成分を抽出するため、信号をローパスフィルタ612に通す。このときに使用するローパスフィルタは、カットオフ周波数が0.1mHzのものを使用している。このようなカットオフ周波数が小さいフィルタを用いることにより、信号処理システムは、加振周波数1/Tに対する高Q値のバンドパスフィルタとしての性質を得ることができる。例えば加振周波数が1KHzの場合、Q値が107程度のバンドパスフィルタと同等の性質となる。そのため、得られる直流成分は、高Q値のバンドパスフィルタによって抽出された特定周波数1/Tの振幅情報を表していることとなり、高S/Nな信号振幅測定が実現される。 The signal is passed through a low-pass filter 612 to extract a direct current component from the multiplication signal thus obtained. The low pass filter used at this time has a cutoff frequency of 0.1 mHz. By using such a filter with a low cut-off frequency, the signal processing system can obtain properties as a high-Q bandpass filter with respect to the excitation frequency 1 / T. For example, when the excitation frequency is 1 kHz, the characteristics are the same as those of a band-pass filter having a Q value of about 10 7 . Therefore, the obtained DC component represents the amplitude information of the specific frequency 1 / T extracted by the band-pass filter having a high Q value, and a high S / N signal amplitude measurement is realized.

以上述べたような信号処理システムを使用することで、重量情報を含んでいる特定周波数1/Tの振幅情報を抽出することができる。以降では、この振幅情報から重量情報を抽出する情報処理システムについての実施例について説明する。   By using the signal processing system as described above, it is possible to extract the amplitude information of the specific frequency 1 / T including the weight information. Hereinafter, an embodiment of an information processing system that extracts weight information from the amplitude information will be described.

前述の信号処理システムによって抽出された振幅情報は式(9)で表される。   The amplitude information extracted by the signal processing system described above is expressed by Equation (9).

Figure 2006118872
Figure 2006118872

このうち、Δmが測定重量を表すものである。また、CiD/2は外乱振動の周波数1/T成分に相当し、そのパワーレベルは信号処理システムのQ値が高いほど減少する。本実施例では、信号処理システムのQ値が107程度と高く、ノイズレベルが元のレベルの0.1%以下まで減少する。そのため、この場合では無視して考えてよい。 Of these, Δm represents the measured weight. C i D / 2 corresponds to the frequency 1 / T component of disturbance vibration, and its power level decreases as the Q value of the signal processing system increases. In this embodiment, the Q value of the signal processing system is as high as about 10 7 , and the noise level is reduced to 0.1% or less of the original level. Therefore, it can be ignored in this case.

そのため、無負荷状態の値Fがわかれば、残りの値が既知の値であることから、測定重量Δmの特定を行うことができる。この値Fは、重量無負荷時の測定値に他ならないため、あらかじめ、無負荷時の測定値をゼロ点として記憶・保持しておけばよい。そのため、本実施例における情報処理システムでは、無負荷時の測定値を保持する記録装置616を備えている。そしてこの記録装置616で記録したゼロ点での測定値と、測定重量負荷時の測定値との差分を抽出する差分増幅器617を備えることで、測定重量Δmの抽出が行われる。   Therefore, if the value F of the no-load state is known, the remaining value is a known value, so that the measured weight Δm can be specified. Since this value F is nothing but a measured value when there is no weight, the measured value when there is no load may be stored and held in advance as a zero point. Therefore, the information processing system according to the present embodiment includes a recording device 616 that holds a measurement value at no load. The measurement weight Δm is extracted by providing a differential amplifier 617 that extracts the difference between the measured value at the zero point recorded by the recording device 616 and the measured value at the time of measurement weight loading.

以上のような構成を持つ重量測定装置を用いれば、除振対策の施されていないような場所においても、立ち上がり速度100ms以下・最小重量分解能0.01mgで重量測定可能な精密重量測定装置が提供される。以降では、上記のような構成の精密重量測定装置を試作し、これを使用した秤量実験の実施例について説明する。   By using the weight measuring device having the above configuration, a precise weight measuring device capable of measuring the weight with a rising speed of 100 ms or less and a minimum weight resolution of 0.01 mg is provided even in a place where anti-vibration measures are not taken. The In the following, a precision weight measuring apparatus having the above-described configuration will be prototyped, and an example of a weighing experiment using this apparatus will be described.

本発明による精密重量測定装置と、株式会社島津製作所製分析天秤AW220(AW220は商品名)により、同一サンプルに対する秤量を行い、その測定結果について比較実験を行った。秤量に使用しサンプルには、株式会社島津製作所製超精密級標準分銅1mgを使用した。サンプル重量を1〜20mgまで1mg刻みで変化させ、測定を行った結果、±0.5mgの範囲で秤量結果が一致することが確認された。以上の実施例から、本発明による精密重量測定装置を使用することで、±0.5mgの精度で重量測定できることがわかる。   The same sample was weighed with a precision weight measuring apparatus according to the present invention and an analytical balance AW220 (AW220 is a trade name) manufactured by Shimadzu Corporation, and a comparative experiment was performed on the measurement results. The sample used for weighing was 1 mg of ultra-precision grade standard weight manufactured by Shimadzu Corporation. As a result of changing the sample weight from 1 to 20 mg in increments of 1 mg and measuring, it was confirmed that the weighing results were in the range of ± 0.5 mg. From the above examples, it can be seen that by using the precision weight measuring apparatus according to the present invention, the weight can be measured with an accuracy of ± 0.5 mg.

次に測定重量物を負荷した後に、測定可能となるまでの応答速度の測定実験を実施した。実験方法は、測定重量物を付加した後に、重量測定値が±0.5mgの幅に収束するまでの時間を測定するものである。この±0.5mgという大きさは、本実施例における重量計測装置の測定精度を表している。また、負荷した測定重量は200mgの超精密級標準分銅である。この実験を複数回行い、平均所要時間を測定した結果、0.1s以下で測定値の収束が達せられることが確認された。以上の実施例から、本発明による精密重量測定装置が、0.1s以下の高速応答性能を備えていることがわかる。   Next, after loading a measurement weight, a measurement experiment of response speed until measurement was possible was performed. The experimental method measures the time until the weight measurement value converges to a width of ± 0.5 mg after adding the measurement weight. The size of ± 0.5 mg represents the measurement accuracy of the weight measuring device in the present embodiment. Moreover, the loaded measurement weight is 200 mg of an ultra-precision standard weight. As a result of conducting this experiment a plurality of times and measuring the average required time, it was confirmed that the convergence of the measured value was achieved in 0.1 s or less. From the above examples, it can be seen that the precision weight measuring apparatus according to the present invention has a high-speed response performance of 0.1 s or less.

次に、本実施例における精密重量測定装置に対して外乱振動を与えたときの安定性について、検証実験を実施した。実験は、(1)重量測定装置に対してインパルスを加えた場合、(2)重量測定装置に定常的な振動が与えられた場合の2つについて実験を実施した。   Next, a verification experiment was conducted on the stability when disturbance vibration was applied to the precision gravimetric measurement apparatus in this example. The experiment was conducted for two cases: (1) when an impulse was applied to the weight measuring device, and (2) when a constant vibration was applied to the weight measuring device.

(1)に関する検証実験は、精密重量測定装置の天秤支柱に対して金属槌で衝撃を与えたとき測定値が±0.5mgの幅に収束するまでの時間を測定するものである。この実験を複数回行い、平均所要時間を測定した結果、0.1s以下で測定値の収束が達せられることが確認された。   The verification experiment related to (1) measures the time until the measured value converges to a width of ± 0.5 mg when an impact is applied to the balance column of the precision weight measuring apparatus with a metal rod. As a result of conducting this experiment a plurality of times and measuring the average required time, it was confirmed that the convergence of the measured value was achieved in 0.1 s or less.

(2)に関する検証実験は、精密重量測定装置の近傍に、定常的な振動源を設置したときに重量測定実験を行うものである。振動源として真空ポンプを近傍に配置した。このポンプは、50Hzで定常的に振動している。このような状態において、本発明による精密重量測定装置によって、超精密級標準分銅の秤量を実施した。サンプル重量を1〜20mgまで1mg刻みで変化させ、測定を行った結果、振動源が無い場合での測定結果と同様、±0.5mgの範囲で測定されていることが確認された。以上の実施例から、本発明による精密重量測定装置を使用することで、外乱振動のある環境下であっても、±0.5mgの精度で重量測定を行うことができることが確認された。   The verification experiment related to (2) is a weight measurement experiment when a stationary vibration source is installed in the vicinity of the precision weight measurement device. A vacuum pump was placed in the vicinity as a vibration source. This pump is constantly oscillating at 50 Hz. In such a state, the precision weight measuring apparatus according to the present invention was used to weigh the ultra-precision standard weight. As a result of measuring by changing the sample weight from 1 to 20 mg in increments of 1 mg, it was confirmed that the measurement was performed in the range of ± 0.5 mg as in the case of the measurement result without the vibration source. From the above examples, it was confirmed that by using the precision weight measuring apparatus according to the present invention, it is possible to perform weight measurement with an accuracy of ± 0.5 mg even in an environment with disturbance vibration.

本発明による基本的な重量測定装置の構成Configuration of basic weight measuring apparatus according to the present invention 天秤部にロバーバル機構を備える重量測定装置の構成Configuration of a weight measuring device with a robust mechanism in the balance 天秤駆動動力源に直動型モータを使用した重量測定装置の構成Configuration of a weight measuring device using a direct-acting motor as a power source for driving the balance 天秤駆動動力源に回転型モータを使用した重量測定装置の構成Configuration of weight measuring device using rotary motor as power source for driving balance 特定周波数領域の情報を抽出する信号処理装置の構成Configuration of a signal processing device that extracts information in a specific frequency region 本発明による重量測定装置の実施例の構成Configuration of an embodiment of a weight measuring apparatus according to the present invention

符号の説明Explanation of symbols

101 天秤皿
102 天秤支柱
103 天秤竿
104 変位センサ
105 電磁石
106 制御システム
107 位相計
108 位相シフター
109 ファンクションジェネレータ
110 乗算演算器
111 ローパスフィルタ
112 電圧計
201 天秤皿
202 ロバーバル機構
203 変位センサ
204 電磁石
205 制御システム
206 位相計
207 位相シフター
208 ファンクションジェネレータ
209 ローパスフィルタ
210 電圧計
301 天秤皿
302 ロバーバル機構
303 変位センサ
304 直動型モータ
305 制御システム
306 位相計
307 位相シフター
308 ファンクションジェネレータ
309 乗算演算器
310 ローパスフィルタ
311 電圧計
401 天秤皿
402 ロバーバル機構
403 変位センサ
404 回転型モータ
405 制御システム
406 位相計
407 位相シフター
408 ファンクションジェネレータ
409 ローパスフィルタ
410 電圧計
501 位相計
502 ファンクションジェネレータ
503 位相シフター
504 ゲイン
505 乗算演算器
506 ローパスフィルタ
601 天秤皿
602 支柱
603 ロバーバル機構
604 梁
605 変位センサ
606 平面ミラー
607 電磁石
608 スチール部材
609 制御システム
610 ファンクションジェネレータ
611 乗算演算器
612 ローパスフィルタ
613 位相計
614 位相シフター
615 アンプ
616 記録装置
617 差分増幅器
DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 Balance pan 102 Balance strut 103 Balance scale 104 Displacement sensor 105 Electromagnet 106 Control system 107 Phase meter 108 Phase shifter 109 Function generator 110 Multiplier 111 Low pass filter 112 Voltmeter 201 Balance pan 202 Roval mechanism 203 Displacement sensor 204 Electromagnet 205 Control system 206 Phase meter 207 Phase shifter 208 Function generator 209 Low-pass filter 210 Voltmeter 301 Balance pan 302 Roval mechanism 303 Displacement sensor 304 Direct acting motor 305 Control system 306 Phase meter 307 Phase shifter 308 Function generator 309 Multiplier 310 Low pass filter 311 Voltage Total 401 Weighing pan 402 Roverval mechanism 403 Displacement sensor 40 Rotation type motor 405 Control system 406 Phase meter 407 Phase shifter 408 Function generator 409 Low pass filter 410 Voltmeter 501 Phase meter 502 Function generator 503 Phase shifter 504 Gain 505 Multiplier 506 Low pass filter 601 Balance pan 602 Column 603 Beam mechanism 60 Displacement sensor 606 Flat mirror 607 Electromagnet 608 Steel member 609 Control system 610 Function generator 611 Multiplier 612 Low pass filter 613 Phase meter 614 Phase shifter 615 Amplifier 616 Recording device 617 Difference amplifier

Claims (10)

支点1で支持される天秤2の一端3に天秤皿4を備え、
前記天秤2の他端5に前記天秤2の移動量を測定する変位センサ6を備え、
前記天秤2を駆動するための駆動動力源7を備え、
前記変位センサ6から得られる変位量が一定周期T・一定振幅Aの正弦波状のプロファイルとなるように前記駆動動力源7の入力信号を制御する制御システム8を備え、
前記駆動動力源7への入力値の大きさをモニタする測定装置9を備え、
前記測定装置9でモニタされた入力信号から周波数1/Tに対応する情報のみを抽出する信号処理装置10を備え、
前記信号処理装置10の出力情報から前記天秤皿4に負荷された測定重量物11の重量を演算する演算装置12とを備えていることを特徴とする重量測定装置。
A balance pan 4 is provided at one end 3 of the balance 2 supported by the fulcrum 1,
A displacement sensor 6 for measuring the amount of movement of the balance 2 at the other end 5 of the balance 2;
A driving power source 7 for driving the balance 2;
A control system 8 for controlling the input signal of the drive power source 7 so that the displacement obtained from the displacement sensor 6 has a sinusoidal profile with a constant period T and a constant amplitude A;
A measuring device 9 for monitoring the magnitude of an input value to the driving power source 7;
A signal processing device 10 for extracting only information corresponding to the frequency 1 / T from the input signal monitored by the measuring device 9;
A weight measuring apparatus comprising: an arithmetic unit that calculates a weight of the measurement weight loaded on the weighing pan from the output information of the signal processing apparatus.
前記請求項1における天秤2が、
ロバーバル機構13によって構成されていることを特徴とする前記請求項1に記載の重量測定装置。
The balance 2 according to claim 1 is:
The weight measuring device according to claim 1, wherein the weight measuring device is configured by a Roverval mechanism 13.
前記請求項1における変位センサ6が、
光学式変位センサ14で構成されていることを特徴とする前記請求項1に記載の重量測定装置。
The displacement sensor 6 according to claim 1 is:
The weight measuring device according to claim 1, wherein the weight measuring device comprises an optical displacement sensor.
前記請求項1における変位センサ6が、
渦電流式変位センサ15で構成されていることを特徴とする前記請求項1に記載の重量測定装置。
The displacement sensor 6 according to claim 1 is:
The weight measuring device according to claim 1, wherein the weight measuring device comprises an eddy current displacement sensor 15.
前記請求項1における変位センサ6が、
静電容量式変位センサ16で構成されていることを特徴とする前記請求項1に記載の重量測定装置。
The displacement sensor 6 according to claim 1 is:
The weight measuring device according to claim 1, wherein the weight measuring device comprises a capacitance type displacement sensor 16.
前記請求項1における駆動動力源7が、
電磁石17と着磁性物質18とで構成されることを特徴とする前記請求項1に記載の重量測定装置。
The drive power source 7 according to claim 1 is:
The weight measuring device according to claim 1, comprising an electromagnet 17 and a magnetized material 18.
前記請求項1における駆動動力源7が、
直動型モータ19で構成されていることを特徴とする前記請求項1に記載の重量測定装置。
The drive power source 7 according to claim 1 is:
The weight measuring device according to claim 1, wherein the weight measuring device comprises a direct acting motor.
前記請求項1における駆動動力源7が、
回転型モータ20で構成されていることを特徴とする前記請求項1に記載の重量測定装置。
The drive power source 7 according to claim 1 is:
The weight measuring device according to claim 1, wherein the weight measuring device comprises a rotary motor.
前記請求項1における信号処理装置11が、
前記請求項1における測定装置9による測定信号の位相情報を読み出す位相計21と、
前記位相計21によって測定された位相情報と同位相且つ一定周期Tの正弦波状信号を発生する発振装置22と、
前記請求項1における測定装置9による測定信号と前記発振装置22から発振された正弦波状信号を乗算する乗算演算器23と、
前記乗算演算器23からの出力信号から直流成分のみを抽出するローパスフィルタ24とで構成されていることを特徴とする前記請求項1に記載の重量測定装置。
The signal processing device 11 according to claim 1 comprises:
A phase meter 21 for reading out phase information of a measurement signal by the measuring device 9 according to claim 1;
An oscillating device 22 for generating a sinusoidal signal having the same phase and a constant period T as the phase information measured by the phase meter 21;
A multiplier 23 for multiplying a measurement signal from the measurement device 9 in claim 1 by a sinusoidal signal oscillated from the oscillation device 22;
The weight measuring device according to claim 1, wherein the weight measuring device comprises a low-pass filter that extracts only a direct current component from an output signal from the multiplier.
前記請求項1における信号処理装置11が、
特定周波数2π/Tに対応するバンドパスフィルタ25で構成されていることを特徴とする前記請求項1に記載の重量測定装置。
The signal processing device 11 according to claim 1 comprises:
The weight measuring device according to claim 1, wherein the weight measuring device comprises a bandpass filter 25 corresponding to a specific frequency of 2π / T.
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