JP2006095455A - Coating method and coating apparatus for coating liquid - Google Patents

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JP2006095455A JP2004286026A JP2004286026A JP2006095455A JP 2006095455 A JP2006095455 A JP 2006095455A JP 2004286026 A JP2004286026 A JP 2004286026A JP 2004286026 A JP2004286026 A JP 2004286026A JP 2006095455 A JP2006095455 A JP 2006095455A
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Kazuhiko Noujiyou
和彦 能條
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To perform uniform coating in a web width direction and to hardly generate stripe failure even in the case of low viscosity/ultra-thin film coating. <P>SOLUTION: In the coating method, the coating liquid from a lip distal end 18A of a coating head 18 is liquid-bridged on a web 14 surface continuously traveling while wound and supported on a backup roller 12 to form a bead 20 between the web 14 and it and the web surface is coated with the coating liquid through the bead 20. At least one of a pair of bearings 28 for rotatably supporting both ends of a rotation shaft of the backup roller 12 is moved in a vertical direction (X axis direction) and/or a horizontal direction (Y axis direction). Thereby, the backup roller 12 is positioned and finely adjusted relatively to the lip distal end 18A. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は塗布液の塗布方法に係り、特に反射防止、防眩性、視野角拡大の何れかの高機能性薄層フィルムを製造するための低粘度・超薄膜塗布技術に関する。   The present invention relates to a coating solution coating method, and more particularly to a low-viscosity / ultra-thin film coating technique for producing a high-functional thin film having any of antireflection, antiglare properties and widening of the viewing angle.

スロットダイコータやスライドダイコータのような塗布装置は、バックアップローラに巻きがけ支持されて連続走行するウエブ表面に、塗布ヘッドのリップ先端から塗布液を液架橋させてウエブとの間にビードを形成し、該ビードを介してウエブ表面に塗布液を塗布する。かかる塗布装置においては、ウエブ幅方向において均一な膜厚の塗布を行う上で、リップ先端とバックアップローラに巻きがけ支持されるウエブとのクリアランスをウエブ幅方向で均一に設定することが極めて重要である。   A coating apparatus such as a slot die coater or a slide die coater forms a bead between the web and the web surface that is continuously supported by being wound around a backup roller by cross-linking the coating liquid from the lip tip of the coating head. A coating solution is applied to the web surface through the bead. In such a coating apparatus, in order to apply a uniform film thickness in the web width direction, it is extremely important to set the clearance between the tip of the lip and the web supported around the backup roller uniformly in the web width direction. is there.

クリアランスを均一に調整する方法としては、特許文献1にみられるように、塗布ヘッドの架台の位置を微調整することが提案されている。これにより、塗布ヘッドを洗浄ゾーンから運んできて、新たに設置する際に、塗布ヘッドのリップ先端とバックアップローラとができるだけ平行になるように塗布ヘッドを位置決めするものである。また、特許文献2では、塗布ヘッドや架台は重量物であり、重量物をバックアップローラに対して急速に接近・退避させて、100μm程度の極めて小さなクリアランスに調整することには限界があることから、バックアップローラを塗布ヘッドに対して接近・退避させることが提案されている。   As a method for uniformly adjusting the clearance, as seen in Patent Document 1, it has been proposed to finely adjust the position of the base of the coating head. Thus, when the coating head is carried from the cleaning zone and newly installed, the coating head is positioned so that the lip tip of the coating head and the backup roller are as parallel as possible. Further, in Patent Document 2, the coating head and the base are heavy objects, and there is a limit to adjusting the clearance to an extremely small clearance of about 100 μm by rapidly approaching and retracting the heavy objects with respect to the backup roller. It has been proposed that the backup roller be moved toward and away from the coating head.

ところで、液晶表示装置等に使用される反射防止、防眩性、視野角拡大等の高機能性薄層フィルムの製造は、これらの機能を有する塗布液をウエブに塗布することにより製造される。そして、近年は、高機能性薄層フィルムに所望の機能を高精度に発現させるために、従来の塗布液に比べて低粘度(例えば10mPa・s以下)で、超薄膜(例えば塗布量10cc/m2 以下)で塗布することが要求されている。かかる、低粘度・超薄膜塗布の場合には、塗布した後の塗布液のレベリング効果が期待できにくいことから、塗布時においてウエブ幅方向において如何に均一な塗布を行えるかが重要になる。一般的に高機能性薄層フィルムの場合、ウエブ幅方向の膜厚分布5%以下が要求される。
特開2003−33710号公報 特開昭63−80872号公報
By the way, the production of a high-functional thin layer film such as antireflection, antiglare and viewing angle expansion used in a liquid crystal display device or the like is produced by applying a coating liquid having these functions to the web. In recent years, an ultra-thin film (for example, a coating amount of 10 cc / s) has a low viscosity (for example, 10 mPa · s or less) compared with a conventional coating liquid in order to express a desired function with high accuracy in a highly functional thin film. m 2 or less). In the case of such low-viscosity / ultra-thin film coating, it is difficult to expect the leveling effect of the coating liquid after coating, so it is important how uniform coating can be performed in the web width direction during coating. In general, in the case of a highly functional thin film, a film thickness distribution in the web width direction of 5% or less is required.
JP 2003-33710 A JP-A-63-80872

しかしながら、塗布液が塗布される数千メートルと長いウエブは、必ずしも平坦なものではなく、ウエブ幅方向の左右で厚み分布がある。また、ウエブはロール状に巻かれて保管されていることからウエブ幅方向の左右で伸びに差があることが多く、バックアップローラに支持された状態においてウエブ幅方向のテンションが異なることが多い。更には、塗布液の種類、ロット、塗布速度等によっても塗布状況が微妙に変化することがあり、特許文献1や特許文献2だけでは、ウエブ幅方向に均一塗布を行うことができないと共に、クリアランスの微調整が高精度に行われないとスジ故障が発生することがある。   However, a web as long as several thousand meters on which the coating liquid is applied is not necessarily flat, and has a thickness distribution on the left and right in the web width direction. Further, since the web is wound and stored in a roll shape, there is often a difference in elongation between the left and right in the web width direction, and the tension in the web width direction is often different in the state supported by the backup roller. Furthermore, the coating state may change slightly depending on the type, lot, and coating speed of the coating solution, and it is impossible to perform uniform coating in the web width direction only with Patent Document 1 and Patent Document 2, and the clearance. If this fine adjustment is not performed with high accuracy, streak failure may occur.

このように、塗布ヘッドを洗浄ゾーンから運んできて新たに設置する場合における組み立て精度や熱歪みによる再現性の問題、塗布ヘッドや架台は重量物であり極めて小さなクリアランスを形成する作業には高精度な熟練を必要とする問題、更にはウエブ自体の厚み分布等による問題を解決するには、水平方向と鉛直方法の高精度な再現性を備えた位置決め制御を必要とするが、従来技術では達成することができない。   As described above, when the application head is transported from the cleaning zone and newly installed, there is a problem of assembly accuracy and reproducibility due to thermal distortion, and the application head and mount are heavy and highly accurate for operations that form extremely small clearances. In order to solve problems that require special skills, as well as problems due to the thickness distribution of the web itself, positioning control with high-precision reproducibility of the horizontal and vertical methods is required, but this is achieved with the prior art. Can not do it.

特に、上記した高機能性薄層フィルムのように、塗布ヘッドのリップ先端とバックアップローラに巻きがけ支持されるウエブとのクリアランスを100μm以下に狭くして、低粘度・超薄膜塗布を行うと、ウエブ幅方向の膜厚分布、スジ故障の発生、塗り付け不良が発生しやすく、従来の技術だけでは、これらの欠点を解消することは難しい。例えば、ウエブ幅方向のクリアランス分布が10%あると、ウエブ幅方向の膜厚分布は5%以上になり、高機能性薄層フィルムの要求を満足できない。   In particular, as in the above-described highly functional thin film, when the clearance between the lip tip of the coating head and the web supported by the backup roller is narrowed to 100 μm or less, and low viscosity / ultra thin film coating is performed, The film thickness distribution in the web width direction, the occurrence of streak failure, and poor coating are likely to occur, and it is difficult to eliminate these drawbacks only with the conventional technology. For example, if the clearance distribution in the web width direction is 10%, the film thickness distribution in the web width direction is 5% or more, and the requirement for a highly functional thin film cannot be satisfied.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、バックアップローラの水平方向と鉛直方法の高精度な再現性を備えた位置決め制御が可能なので、低粘度・超薄膜塗布の場合であっても、ウエブ幅方向に均一塗布を行うことができると共に、スジ故障等も発生しにくい塗布液の塗布方法及び装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and since positioning control with high accuracy reproducibility of the horizontal direction and vertical method of the backup roller is possible, even in the case of low viscosity / ultra thin film coating Another object of the present invention is to provide a coating liquid coating method and apparatus that can perform uniform coating in the web width direction and are less likely to cause streak failure.

本発明の請求項1は前記目的を達成するために、バックアップローラに巻きがけ支持されて連続走行するウエブ表面に、塗布ヘッドのリップ先端から塗布液を液架橋させて前記ウエブとの間にビードを形成し、該ビードを介して前記ウエブ表面に塗布液を塗布する塗布液の塗布方法において、前記バックアップローラの回転軸両端を回転自在に支持する一対の軸受のうちの少なくとも一方を、鉛直方向(X軸方向)及び/又は水平方向(Y軸方向)に移動することにより、前記リップ先端に対して前記バックアップローラを位置決め微調整することを特徴とする。   According to a first aspect of the present invention, in order to achieve the above object, a coating liquid is cross-linked from the tip of the lip of the coating head on the surface of the web that is continuously supported while being wound around a backup roller, and the bead is interposed between the web and the web. In the coating liquid coating method for coating the web surface with the coating liquid through the beads, at least one of a pair of bearings that rotatably supports both ends of the rotating shaft of the backup roller is The backup roller is positioned and finely adjusted with respect to the tip of the lip by moving in the (X-axis direction) and / or horizontal direction (Y-axis direction).

ウエブ幅方向左右におけるウエブ厚みの分布、ウエブ幅方向左右での伸びの違い、更には塗布液の種類、ロット、塗布速度等の多様な塗布状況に対応してウエブ幅方向の塗布厚みを均一化するには、従来のように塗布ヘッド又はバックアップローラを互いに接近・退避させる、いわゆる水平方向のみの調整では対応することができず、バックアップローラ両端個々において水平・鉛直方向に微妙な微調整が必要である。   Uniform coating thickness in the web width direction according to various coating conditions such as the distribution of web thickness in the left and right direction in the web width direction, the difference in elongation in the left and right direction in the web width direction, and the type, lot, and coating speed of the coating liquid. To achieve this, it is not possible to cope with the so-called horizontal adjustment that moves the application heads or backup rollers close to each other as in the past, but it is necessary to make fine adjustments in the horizontal and vertical directions at both ends of the backup roller. It is.

本発明の請求項1によれば、バックアップローラの回転軸両端を回転自在に支持する一対の軸受のうちの少なくとも一方を、鉛直方向(X軸方向)及び/又は水平方向(Y軸方向)に移動することにより、リップ先端に対してバックアップローラを位置決め微調整するようにしたので、バックアップローラ両端個々において水平・鉛直方向に微妙な微調整が可能となる。これにより、水平方向と鉛直方法の高精度な再現性を備えた位置決め制御が可能なので、ウエブ幅方向左右におけるウエブ厚みの分布、ウエブ幅方向左右での伸びの違い、更には塗布液の種類、ロット、塗布速度等の多様な塗布状況があっても、塗布ヘッドのリップ先端と、バックアップローラに巻き付け支持されたウエブとのウエブ幅方向の平行度を高精度に微調整することができる。従って、ウエブ幅方向の塗布厚みを均一化ができる。   According to claim 1 of the present invention, at least one of the pair of bearings that rotatably supports both ends of the rotating shaft of the backup roller is arranged in the vertical direction (X-axis direction) and / or the horizontal direction (Y-axis direction). Since the backup roller is positioned and finely adjusted with respect to the tip of the lip by moving, fine adjustment in the horizontal and vertical directions is possible at both ends of the backup roller. As a result, positioning control with high accuracy reproducibility of the horizontal direction and the vertical method is possible, so the web thickness distribution in the web width direction left and right, the difference in elongation in the web width direction left and right, and the type of coating liquid, Even in various application situations such as lot and application speed, the parallelism in the web width direction between the lip tip of the application head and the web wound and supported by the backup roller can be finely adjusted with high accuracy. Accordingly, the coating thickness in the web width direction can be made uniform.

請求項2は請求項1において、前記ウエブに塗布液を塗布しながら前記バックアップローラの位置決め微調整を行うことを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the positioning of the backup roller is finely adjusted while applying the coating liquid to the web.

本発明は、バックアップローラの軸受を微量移動させる方法であり、従来のように塗布ヘッド全体やバックアップローラ全体を移動する方法ではないので、ウエブに塗布液を塗布しながらバックアップローラの位置決め微調整が可能になる。これにより、ウエブに塗布された塗布膜面の面質状態をモニタリングしながらバックアップローラの位置決め微調整が可能なので、ウエブ幅方向左右におけるウエブ厚みの分布、ウエブ幅方向左右での伸びの違い、更には塗布液の種類、ロット、塗布速度等の多様な塗布状況に対応し易い。尚、請求項2では、ウエブに塗布液を塗布しながらバックアップローラの位置決め微調整を行うことを特徴としたが、本発明は塗布せずに運転を停止した状態でもバックアップローラの位置決め微調整ができることは当然である。   The present invention is a method of moving a small amount of the bearing of the backup roller, and not the method of moving the entire coating head or the entire backup roller as in the prior art, so that the positioning of the backup roller can be finely adjusted while applying the coating liquid to the web. It becomes possible. As a result, the positioning of the backup roller can be fine-adjusted while monitoring the surface condition of the coating film surface applied to the web, so that the web thickness distribution in the left and right in the web width direction, the difference in elongation in the left and right in the web width direction, It is easy to cope with various application situations such as the type, lot, and application speed of the application liquid. In claim 2, the backup roller positioning fine adjustment is performed while applying the coating liquid to the web. However, the present invention allows the backup roller positioning fine adjustment even when the operation is stopped without coating. It is natural that we can do it.

請求項3は請求項1又は2において、前記リップ先端と前記バックアップローラとのクリアランスが100μm以下であると共に、粘度が10mPa・s以下の塗布液を10cc/m2 以下の塗布量で塗布することを特徴とする。 A third aspect of the present invention is the method according to the first or second aspect, wherein a coating liquid having a clearance between the lip tip and the backup roller of 100 μm or less and a viscosity of 10 mPa · s or less is applied in an amount of 10 cc / m 2 or less. It is characterized by.

このように、100μm以下のクリアランス、10mPa・s以下の塗布液粘度、10cc/m2 以下の塗布量で低粘度・超薄膜塗布する場合に本発明はより有効だからである。 Thus, this is because the present invention is more effective when a low viscosity / ultra thin film is applied with a clearance of 100 μm or less, a coating solution viscosity of 10 mPa · s or less, and a coating amount of 10 cc / m 2 or less.

請求項4は請求項1〜3の何れか1において、前記塗布ヘッドのリップ先端とバックアップローラに巻きがけ支持されるウエブとのウエブ幅方向におけるクリアランス分布が10%以下になるようにして微調整することを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the clearance distribution in the web width direction between the lip tip of the coating head and the web supported by the backup roller is adjusted to be 10% or less. It is characterized by doing.

これは、ウエブ幅方向におけるクリアランス分布が10%あるとウエブ幅方向の膜厚分布は5%以上になり、高機能性薄層フィルムの要求を満足できないからである。   This is because if the clearance distribution in the web width direction is 10%, the film thickness distribution in the web width direction is 5% or more, and the requirement for a highly functional thin film cannot be satisfied.

請求項5は前記目的を達成するために、バックアップローラに巻きがけ支持されて連続走行するウエブ表面に、塗布ヘッドのリップ先端から塗布液を液架橋させて前記ウエブとの間にビードを形成し、該ビードを介して前記ウエブ表面に塗布液を塗布する塗布液の塗布装置において、前記バックアップローラの回転軸両端を回転自在に支持する一対の軸受は、前記バックアップローラの軸芯に対して直交する鉛直面上における鉛直方向(X軸方向)及び水平方向(Y軸方向)に移動可能なX−Yテーブルを介して支柱にそれぞれ支持されていることを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, in order to achieve the above-mentioned object, a bead is formed between the web surface, which is wound around and supported by a backup roller, by continuously crosslinking the coating liquid from the lip end of the coating head. In the coating liquid coating apparatus for coating the web surface with the coating liquid via the beads, the pair of bearings that rotatably support both ends of the rotating shaft of the backup roller are orthogonal to the axis of the backup roller. It is characterized in that it is supported by the column via an XY table that can move in the vertical direction (X-axis direction) and the horizontal direction (Y-axis direction) on the vertical plane.

請求項5によれば、バックアップローラの回転軸両端を回転自在に支持する一対の軸受は、バックアップローラの軸芯に対して直交する鉛直面上における鉛直方向(X軸方向)及び水平方向(Y軸方向)に移動可能なX−Yテーブルを介して支柱にそれぞれ支持されている。これにより、バックアップローラを塗布ヘッドのリップ先端に対して鉛直方向(X軸方向)・水平方向(Y軸方向)させることができ、リップ先端と、バックアップローラに巻き付け支持されたウエブとのウエブ幅方向の平行度を高精度に微調整することができる。従って、リップ先端と、バックアップローラに巻き付け支持されたウエブとの間に形成されるウエブ幅方向のクリアランス分布を極めて小さくすることができるので、低粘度(例えば10mPa・s以下)・超薄膜(例えばウエット膜厚で10μm以下)塗布の場合であっても、ウエブ幅方向に均一塗布を行うことができると共に、スジ故障等も発生しにくい。   According to the fifth aspect, the pair of bearings that rotatably support both ends of the rotating shaft of the backup roller have a vertical direction (X-axis direction) and a horizontal direction (Y (Supported in the axial direction) by stan- dards via XY tables. As a result, the backup roller can be vertically (X-axis direction) and horizontal (Y-axis direction) with respect to the lip tip of the coating head, and the web width between the lip tip and the web that is wound around and supported by the backup roller. The direction parallelism can be finely adjusted with high accuracy. Accordingly, since the clearance distribution in the web width direction formed between the lip tip and the web wound and supported by the backup roller can be made extremely small, low viscosity (for example, 10 mPa · s or less), ultrathin film (for example, Even in the case of coating with a wet film thickness of 10 μm or less, uniform coating can be performed in the web width direction, and streak failure or the like hardly occurs.

請求項6は請求項5において、前記塗布ヘッドは、スロットダイ又はスライドダイであることを特徴とする。請求項6は、本発明を適用する代表的な塗布装置を挙げたものである。   A sixth aspect of the present invention according to the fifth aspect is characterized in that the coating head is a slot die or a slide die. The sixth aspect of the present invention is a typical coating apparatus to which the present invention is applied.

請求項7は請求項5又は6において、前記支柱が前記塗布ヘッドのリップ先端に接近・退避可能な移動台の上に支持されていることを特徴とする。   A seventh aspect according to the fifth or sixth aspect is characterized in that the support column is supported on a movable table that can approach and retreat to the tip of the lip of the coating head.

これは、塗布ヘッドに対してバックアップローラを目標の位置にラフに位置決めしておいてから、X−Yテーブルで微調整する方が効率的だからである。   This is because it is more efficient to finely adjust the XY table after the backup roller is roughly positioned at the target position with respect to the coating head.

請求項8は前記目的を達成するために、請求項1〜4の何れか1の塗布液の塗布方法を使用して、反射防止、防眩性、視野角拡大の何れかの高機能性薄層フィルムを製造することを特徴とする。   In order to achieve the above object, an eighth aspect of the present invention is the use of the coating liquid coating method according to any one of the first to fourth aspects, wherein any one of the anti-reflection, anti-glare, and wide viewing angle thin films is used. A layer film is produced.

本発明の塗布装置を使用した塗布方法は、反射防止、防眩性、視野角拡大の何れかの高機能性薄層フィルムを製造する際の塗布方法として、特に有効だからである。   This is because the coating method using the coating apparatus of the present invention is particularly effective as a coating method when producing a highly functional thin film of any one of antireflection, antiglare property, and viewing angle expansion.

本発明の塗布液の塗布方法及び装置によれば、バックアップローラの水平方向と鉛直方法の高精度な再現性を備えた位置決め制御が可能なので、低粘度・超薄膜塗布の場合であっても、ウエブ幅方向に均一塗布を行うことができると共に、スジ故障等も発生しにくい。従って、液晶表示装置等に使用される反射防止、防眩性、視野角拡大等の高機能性薄層フィルムを製造する際の塗布方法として好適である。   According to the coating liquid coating method and apparatus of the present invention, since the positioning control with high accuracy reproducibility of the horizontal direction and the vertical method of the backup roller is possible, even in the case of low viscosity and ultra thin film coating, Uniform coating can be performed in the web width direction, and streak failure is less likely to occur. Therefore, it is suitable as a coating method for producing a high-functional thin film having anti-reflection, anti-glare and viewing angle expansion used for a liquid crystal display device and the like.

以下添付図面に従って本発明に係る塗布液の塗布方法及び装置の好ましい実施の形態について説明する。   Preferred embodiments of a coating liquid coating method and apparatus according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明の塗布液の塗布装置でスロットダイ方式の塗布ヘッドの場合の構成図であり、図2はX−Yテーブルを備えたバックアップローラ装置を示すものである。尚、本実施の形態では、スロットダイ方式の塗布ヘッドの例で説明するが、これに限定されるものではなく、塗布ヘッドとバックアップローラとの間に形成した塗布液のビードを介して塗布する塗布装置であれば適用できる。   FIG. 1 is a configuration diagram of a coating apparatus of the present invention, which is a slot die type coating head, and FIG. 2 shows a backup roller apparatus having an XY table. In this embodiment, an example of a slot die type coating head will be described. However, the present invention is not limited to this, and coating is performed via a bead of coating liquid formed between the coating head and the backup roller. Any applicator can be used.

図1及び図2に示すように、塗布装置10は、バックアップローラ12に支持されて連続走行するウエブ14表面に、リップランド16を近接配置させた塗布ヘッド18のリップ先端18Aから塗布液を吐出してウエブ14との間に液架橋してビード20を形成する。そして、このビード20を介して塗布液を連続走行するウエブ14に塗布する。この場合、ビード20のウエブ上流側を減圧する減圧チャンバ(図示せず)を設けることが好ましい。これにより、ビードを安定させることができる。   As shown in FIGS. 1 and 2, the coating apparatus 10 discharges a coating solution from a lip tip 18A of a coating head 18 in which a lip land 16 is disposed close to the surface of a web 14 that is supported by a backup roller 12 and continuously runs. Then, the bead 20 is formed by liquid crosslinking with the web 14. Then, the coating liquid is applied to the web 14 that runs continuously through the bead 20. In this case, it is preferable to provide a decompression chamber (not shown) for decompressing the web upstream side of the bead 20. Thereby, a bead can be stabilized.

塗布ヘッド18は架台19に搭載されると共に、塗布ヘッド18の内部には、マニホールド22とスロット24とが形成される。マニホールド22は、塗布ヘッド18に供給された塗布液をウエブ幅方向(塗布幅方向)に拡流する液溜め部であり、その断面が略円形でもよいし、あるいは半円形でもよい。マニホールド22への塗布液の供給は、マニホールド22の一端側から供給しても、マニホールド22の中央部から供給してもよく、マニホールド22の両端部には塗布液が漏れ出ることを防止する栓が設けられている。   The coating head 18 is mounted on the mount 19, and a manifold 22 and a slot 24 are formed inside the coating head 18. The manifold 22 is a liquid reservoir for spreading the coating liquid supplied to the coating head 18 in the web width direction (coating width direction), and the cross section thereof may be substantially circular or semicircular. The supply of the coating liquid to the manifold 22 may be supplied from one end side of the manifold 22 or from the central portion of the manifold 22, and a plug that prevents the coating liquid from leaking to both ends of the manifold 22. Is provided.

スロット24は、マニホールド22からスロット先端の開口24Aに至る狭隘な塗布液の流路であり、スロット24の両端部には、塗布幅を規制する塗布幅規制板が挿入されることが一般的である。スロット24の開口24Aが位置する塗布ヘッド18のリップ先端18Aは先細り状に形成されており、その先端はリップランド16と呼ばれる平坦部が形成される。   The slot 24 is a narrow flow path for the coating liquid from the manifold 22 to the opening 24A at the tip of the slot, and a coating width regulating plate for regulating the coating width is generally inserted at both ends of the slot 24. is there. The lip tip 18A of the coating head 18 where the opening 24A of the slot 24 is located is tapered, and a flat portion called a lip land 16 is formed at the tip.

一方、バックアップローラ装置11は、主として、バックアップローラ12の回転軸26両端を回転自在に支持する一対の軸受28と、一対の軸受28、28をバックアップローラ12の軸芯30に対して直交する鉛直面上における鉛直方向(X軸方向)及び水平方向(Y軸方向)に移動可能な一対のX−Yテーブル32、32と、一対のX−Yテーブル32、32を支持する一対の支柱34、34と、該支柱34、34を搭載して、塗布ヘッド18に対して進退移動する移動機構36とで構成される。   On the other hand, the backup roller device 11 mainly includes a pair of bearings 28 that rotatably support both ends of the rotation shaft 26 of the backup roller 12, and a pair of bearings 28, 28 perpendicular to the axis 30 of the backup roller 12. A pair of XY tables 32, 32 movable in a vertical direction (X-axis direction) and a horizontal direction (Y-axis direction) on the surface, and a pair of support columns 34 supporting the pair of XY tables 32, 32; 34 and a moving mechanism 36 that mounts the support columns 34 and moves forward and backward with respect to the coating head 18.

移動機構36は、基台38の上に一対の軌道レール40、40が平行に配設され、この軌道レール40の上にリニアベアリング42を介して移動台44がスライド自在に支持され、この移動台44の上に支柱34が立設される。また、移動台44の中央下面側には、ナット部材46が固定されると共に、このナット部材46にボールネジ48が螺合される。そして、ボールネジ48の一端が正逆回転可能なモータ50の回転軸に連結される。これにより、モータ50を正駆動するとバックアップローラ12が塗布ヘッド18側に接近移動し、モータ50を逆駆動するとバックアップローラ12が塗布ヘッド18から離れる方向に退避移動する。この移動機構36では、塗布ヘッド18のリップ先端18Aとバックアップローラ12に巻きがけ支持されたウエブ14とのクリアランスL(図3参照)をラフに調整する役目を行う。   In the moving mechanism 36, a pair of track rails 40, 40 are arranged in parallel on a base 38, and a moving table 44 is slidably supported on the track rail 40 via a linear bearing 42. A column 34 is erected on the table 44. A nut member 46 is fixed to the center lower surface side of the moving table 44, and a ball screw 48 is screwed to the nut member 46. Then, one end of the ball screw 48 is connected to a rotating shaft of a motor 50 that can rotate forward and backward. Thus, when the motor 50 is driven forward, the backup roller 12 moves closer to the coating head 18 side, and when the motor 50 is driven reversely, the backup roller 12 moves away from the coating head 18. The moving mechanism 36 serves to roughly adjust the clearance L (see FIG. 3) between the lip tip 18A of the coating head 18 and the web 14 wound around and supported by the backup roller 12.

X−Yテーブル32は、図3に示すように、支柱34には、鉛直方向(X軸方向)に平行な一対のX軸軌道レール52、52が設けられ、このX軸軌道レール52にリニアベアリング(図示せず)を介してX軸スライダ54がスライド自在に支持される。このX軸スライダ54の下側には、支柱34に支持されると共にX軸スライダ54をスライドさせるX軸アクチュエータ56が設けられる。更に、X軸スライダ54には、水平方向(Y軸方向)に平行な一対のY軸軌道レール58、58が設けられ、このY軸軌道レール58にリニアベアリング(図示せず)を介して軸受28が支持される。この軸受28の塗布ヘッド反対側には、X軸スライダ54に支持されると共に軸受28をスライドさせるY軸アクチュエータ60が設けられる。これにより、X軸アクチュエータ56を駆動すると、軸受28は鉛直方向に微調整され、Y軸アクチュエータ60を駆動すると、軸受28が水平方向に微調整される。   As shown in FIG. 3, the XY table 32 is provided with a pair of X-axis track rails 52, 52 parallel to the vertical direction (X-axis direction). An X-axis slider 54 is slidably supported via a bearing (not shown). Below the X-axis slider 54, an X-axis actuator 56 that is supported by the column 34 and slides the X-axis slider 54 is provided. Further, the X-axis slider 54 is provided with a pair of Y-axis track rails 58, 58 parallel to the horizontal direction (Y-axis direction), and a bearing is provided to the Y-axis track rail 58 via a linear bearing (not shown). 28 is supported. A Y-axis actuator 60 that is supported by the X-axis slider 54 and slides the bearing 28 is provided on the opposite side of the bearing 28 from the coating head. Accordingly, when the X-axis actuator 56 is driven, the bearing 28 is finely adjusted in the vertical direction, and when the Y-axis actuator 60 is driven, the bearing 28 is finely adjusted in the horizontal direction.

従って、一対のX−Yテーブル32のX軸アクチュエータ56及びY軸アクチュエータ60のスライド量を色々変えることにより、塗布ヘッド18のリップ先端18Aと、バックアップローラ12に巻きがけ支持されたウエブ14とのウエブ幅方向の平行度を高精度に微調整することができる。更には、リップ先端18Aのバックアップローラ12に対する位置である塗布点の微調整も高精度に行うことができる。これにより、リップ先端18Aと、バックアップローラ12に巻きがけ支持されたウエブ14との間に形成されるウエブ幅方向のクリアランスLの分布を極めて小さくすることができるので、低粘度(例えば10mPa・s以下)・超薄膜(例えば塗布量10cc/m2 以下)塗布の場合であっても、ウエブ幅方向に均一塗布を行うことができると共に、スジ故障等も発生しにくい。 Accordingly, by changing the slide amount of the X-axis actuator 56 and the Y-axis actuator 60 of the pair of XY tables 32, the lip tip 18A of the coating head 18 and the web 14 supported by being wound around the backup roller 12 are supported. The parallelism in the web width direction can be finely adjusted with high accuracy. Furthermore, fine adjustment of the application point, which is the position of the lip tip 18A with respect to the backup roller 12, can be performed with high accuracy. As a result, the distribution of the clearance L in the web width direction formed between the lip tip 18A and the web 14 wound and supported by the backup roller 12 can be made extremely small, so that the low viscosity (for example, 10 mPa · s) The following) ・ Even if ultra-thin film (for example, coating amount of 10 cc / m 2 or less) is applied, uniform application can be performed in the web width direction, and streak failure or the like hardly occurs.

また、塗布前に、リップ先端18Aと、バックアップローラ12に巻きがけ支持されたウエブ14とのウエブ幅方向の平行度を高精度に微調整することができるだけでなく、塗布運転中に、ウエブ14に塗布される塗布膜の膜面状態を見ながら一対のX−Yテーブル32で微調整することも可能である。   Prior to application, not only can the parallelism in the web width direction of the lip tip 18A and the web 14 wound and supported by the backup roller 12 be finely adjusted with high accuracy, but also during the coating operation, the web 14 It is also possible to make fine adjustments with the pair of XY tables 32 while observing the film surface state of the coating film applied to the substrate.

この場合、鉛直方向(X軸方向)・水平方向(Y軸方向)には、それぞれ1μmの精度で100μmのストローク幅、好ましくは200μmのストローク幅で移動可能なことが好ましい。従って、X軸アクチュエータ56及びY軸アクチュエータ60としては、圧電素子、電歪素子のような微動アクチュエータを、複数多段に設けたものを使用することが好ましい。   In this case, in the vertical direction (X-axis direction) and the horizontal direction (Y-axis direction), it is possible to move with a stroke width of 100 μm, preferably with a stroke width of 200 μm, with an accuracy of 1 μm. Therefore, as the X-axis actuator 56 and the Y-axis actuator 60, it is preferable to use a plurality of fine movement actuators such as piezoelectric elements and electrostrictive elements provided in multiple stages.

次に、上記の如く構成された塗布装置10を用いた本発明の塗布方法の一例について説明する。   Next, an example of the coating method of the present invention using the coating apparatus 10 configured as described above will be described.

例えば、塗布ヘッド18のリップ先端18Aとバックアップローラ12に巻きがけ支持されるウエブ14とのクリアランスLを例えば100μmで塗布する場合、先ず移動機構36により、クリアランスLが100μm程度になるようにバックアップローラ12を移動させる。   For example, when the clearance L between the lip tip 18A of the coating head 18 and the web 14 wound and supported by the backup roller 12 is applied at, for example, 100 μm, the backup roller is first moved by the moving mechanism 36 so that the clearance L becomes about 100 μm. 12 is moved.

次に、X−Yテーブル32のX軸アクチュエータ及び/又はY軸アクチュエータを駆動して、バックアップローラ12を回転自在に支持する少なくとも一方の軸受32を鉛直方向(X軸方向)及び/又は水平方向(Y軸方向)に移動して微調整し、ウエブ幅方向のクリアランスLが100μmで均等になるようにする。クリアランスLが100μmで均等になっているか否かは、例えばレーザー測定計、あるいは楔状のテーパゲージを使用して確認することができる。   Next, the X-axis actuator and / or the Y-axis actuator of the XY table 32 is driven, and at least one of the bearings 32 that rotatably supports the backup roller 12 is moved in the vertical direction (X-axis direction) and / or in the horizontal direction. Move in the (Y-axis direction) and make fine adjustments so that the clearance L in the web width direction is equal to 100 μm. Whether or not the clearance L is uniform at 100 μm can be confirmed using, for example, a laser measuring meter or a wedge-shaped taper gauge.

X−Yテーブル32による微調整が終了したら塗布運転を開始する。そして、塗布運転継続中に塗布膜面の面質をモニタリングし、面質が悪化するような場合には、塗布運転を継続したまま、X−Yテーブル32を微調整し、面質を回復させる。   When the fine adjustment by the XY table 32 is completed, the coating operation is started. Then, the surface quality of the coating film surface is monitored while the coating operation is continued. When the surface quality deteriorates, the XY table 32 is finely adjusted while the coating operation is continued to restore the surface quality. .

従来のように架台19を含む塗布ヘッド18全体やバックアップローラ12全体のように重量物を塗布運転中に移動させて微調整をしようとすると移動による慣性力が大きいためにバックアップローラと塗布ヘッドとが衝突して破損する危険がある。しかし、本発明の場合には、X−Yテーブル32でバックアップローラ12の軸受28を移動させて微調整するので、慣性力でバックアップローラ12と塗布ヘッド18とが衝突して破損する危険もなく、塗布運転中であっても高精度な微調整が可能である。   As in the prior art, if an attempt is made to finely adjust a heavy object by moving it during the coating operation, such as the entire coating head 18 including the gantry 19 or the entire backup roller 12, the inertia force due to the movement is large, and therefore the backup roller and coating head There is a risk of damage due to collision. However, in the case of the present invention, since the bearing 28 of the backup roller 12 is moved and finely adjusted by the XY table 32, there is no risk of the backup roller 12 and the coating head 18 colliding with each other due to inertial force and being damaged. Even during the coating operation, fine adjustment with high accuracy is possible.

これにより、低粘度(例えば10mPa・s以下)・超薄膜(例えば塗布量10cc/m2 以下)塗布の場合であっても、ウエブ幅方向に均一塗布を行うことができると共に、スジ故障等も発生しにくい。更には、ウエブ幅方向左右におけるウエブ厚みの分布、ウエブ幅方向左右での伸びの違い、更には塗布液の種類、ロット、塗布速度等の多様な塗布状況があっても、塗布ヘッドのリップ先端と、バックアップローラに巻き付け支持されたウエブとのウエブ幅方向の平行度を高精度に微調整することができる。従って、液晶表示装置等に使用される反射防止、防眩性、視野角拡大等の高機能性薄層フィルムを製造する際の塗布方法として好適である。 As a result, even in the case of low viscosity (for example, 10 mPa · s or less) and ultra-thin film (for example, coating amount of 10 cc / m 2 or less), uniform coating can be performed in the web width direction, and streak failure etc. Hard to occur. Furthermore, even if there are various application conditions such as the distribution of web thickness in the left and right direction in the web width direction, the difference in elongation in the left and right direction in the web width direction, and the type, lot, and application speed of the application liquid, And the parallelism of the web width direction with the web wound and supported by the backup roller can be finely adjusted with high accuracy. Therefore, it is suitable as a coating method for producing a high-functional thin film having anti-reflection, anti-glare and viewing angle expansion used for a liquid crystal display device and the like.

尚、本発明の実施では、スロットダイ方式の塗布ヘッド18の例で説明したが、スライドダイ方式の塗布ヘッドでもよい。スライドダイ方式の塗布ヘッドとは、塗布ヘッドのスロットからスライド面に吐出した塗布液をスライド面を流下させ、バックアップローラに巻きがけ支持されているウエブにスライド面先端から塗布する方式である。   In the embodiment of the present invention, the slot die type coating head 18 has been described as an example, but a slide die type coating head may be used. The slide die type coating head is a system in which the coating liquid discharged from the slot of the coating head flows down the sliding surface and is wound around a backup roller and applied to the web supported from the sliding surface tip.

以下、本発明の実施例を説明するが、これに限定されるものではない。   Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited thereto.

試験は、塗布ヘッド18のリップ先端18Aに対してバックアップローラ12に巻きがけ支持されたウエブ14のウエブ幅方向の平行度をX−Yテーブルで微調整することにより、ウエブ幅方向の塗布量分布がどのように改善されるかを調べた。比較例としては、X−Yテーブルで微調整しないで塗布する場合である。   In the test, the application amount distribution in the web width direction is adjusted by finely adjusting the parallelism in the web width direction of the web 14 supported by being wound around the backup roller 12 with respect to the lip tip 18A of the application head 18 by an XY table. To see how it improves. As a comparative example, there is a case where application is performed without fine adjustment with an XY table.

[実施例1]
実施例1における塗布液の組成及び塗布条件は表1の通りである。
[Example 1]
The composition of the coating solution and the coating conditions in Example 1 are as shown in Table 1.

Figure 2006095455
Figure 2006095455

(試験結果)
X−Yテーブル32を微調整しない比較例1では、ウエブ幅方向の一端側と他端側との塗布量差が10%あった。実施例1では比較例1での運転を一旦停止した後、一対のX−Yテーブル32のうちの一方のX−Yテーブル32のY軸アクチュエータ60を駆動して軸受28を水平方向に20μm微調整してバックアップローラ12の水平位置を位置決めし直した後に塗布を再開した。その結果、ウエブ幅方向の一端側と他端側との塗布量差が3%まで良化した。
(Test results)
In Comparative Example 1 in which the XY table 32 was not finely adjusted, the coating amount difference between the one end side and the other end side in the web width direction was 10%. In Example 1, after the operation in Comparative Example 1 is temporarily stopped, the Y-axis actuator 60 of one XY table 32 of the pair of XY tables 32 is driven to move the bearing 28 slightly in the horizontal direction by 20 μm. The application was resumed after adjusting and repositioning the horizontal position of the backup roller 12. As a result, the coating amount difference between the one end side and the other end side in the web width direction was improved to 3%.

[実施例2]
実施例2における塗布液の組成及び塗布条件は表2の通りである。
[Example 2]
The composition of the coating solution and the coating conditions in Example 2 are as shown in Table 2.

Figure 2006095455
Figure 2006095455

(試験結果)
X−Yテーブルを微調整しない比較例2では、ウエブ幅方向の一端側が液切れを起こして塗り付け不良が生じた。実施例2では比較例2の運転を継続しながら、一対のX−Yテーブル32のうちの一方のX−Yテーブル32のY軸アクチュエータ60を駆動して軸受28を水平方向に20μm微調整し、更にX軸アクチュエータ56を駆動して軸受28を鉛直方向に35μm微調整したところで液切れが停止し、その後安定塗布することができた。このように、本発明は、塗布装置を運転しながらでも塗布ヘッドのリップ先端に対するバックアップローラの位置決め微調整を行うことができる。従って、塗布膜面の面質状態をモニタリングしながらX−Yテーブルを駆動することで、最適な面質状態にすることができる。
(Test results)
In Comparative Example 2 in which the XY table was not finely adjusted, the one end side in the web width direction caused the liquid to run out, resulting in poor coating. In Example 2, while continuing the operation of Comparative Example 2, the Y-axis actuator 60 of one XY table 32 of the pair of XY tables 32 is driven to finely adjust the bearing 28 by 20 μm in the horizontal direction. Further, when the X-axis actuator 56 was further driven to finely adjust the bearing 28 in the vertical direction by 35 μm, the running out of liquid stopped, and then stable coating could be performed. As described above, the present invention can finely adjust the positioning of the backup roller with respect to the tip of the lip of the coating head while operating the coating device. Therefore, by driving the XY table while monitoring the surface quality state of the coating film surface, the optimal surface quality state can be obtained.

[実施例3]
実施例3における塗布液の組成及び塗布条件は表3の通りである。
[Example 3]
The composition of the coating solution and the coating conditions in Example 3 are as shown in Table 3.

Figure 2006095455
Figure 2006095455

(試験結果)
X−Yテーブル32を微調整しない比較例3では、ウエブ14への塗布液の塗り付けが不安定で、ウエブ幅方向の全幅に渡ってビード20が切れてしまうことが度々生じた。実施例3では比較例3の運転を継続しながら、両方のX−Yテーブル32のX軸アクチュエータ56を駆動して、両方の軸受28を同じ85μmだけ鉛直方向下方にスライドさせたところ、良好な塗り付けを開始し、その後安定塗布することができた。
(Test results)
In Comparative Example 3 in which the XY table 32 was not finely adjusted, the application of the coating liquid to the web 14 was unstable, and the bead 20 was frequently cut across the entire width in the web width direction. In Example 3, while the operation of Comparative Example 3 was continued, the X-axis actuators 56 of both XY tables 32 were driven, and both bearings 28 were slid vertically downward by the same 85 μm. Application was started, and then stable application was possible.

尚、本実施例2及び3では、塗布運転中にバックアップローラの微調整を行う例で示したが、塗布せずに運転を停止した状態でもバックアップローラの位置決め微調整ができることは当然である。   In the second and third embodiments, the backup roller is finely adjusted during the coating operation. However, it is natural that the backup roller can be finely adjusted even when the operation is stopped without coating.

本発明の塗布液の塗布装置であって、塗布ヘッドとしてスロットダイ方式を使用した場合の全体構成図FIG. 1 is an overall configuration diagram of a coating liquid coating apparatus according to the present invention when a slot die method is used as a coating head. バックアップローラ装置を説明する説明図Explanatory drawing explaining a backup roller device X−Yテーブルを説明する説明図Explanatory drawing explaining an XY table

符号の説明Explanation of symbols

10…塗布装置、11…バックアップローラ装置、12…バックアップローラ、14…ウエブ、16…リップランド、18…スロットダイ方式の塗布ヘッド、20…ビード、22…マニホールド、24…スロット、26…回転軸、28…軸受、30…バックアップローラの軸芯、32…X−Yテーブル、34…支柱、36…移動機構、38…基台、40…軌道レール、42…リニアベリング、44…移動台、46…ナット部材、48…ボールネジ、50…モータ、52…X軸軌道レール、54…X軸スライダ、56…X軸アクチュエータ、58…Y軸軌道レール、60…Y軸アクチュエータ   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Application | coating apparatus, 11 ... Backup roller apparatus, 12 ... Backup roller, 14 ... Web, 16 ... Lip land, 18 ... Slot die type application head, 20 ... Bead, 22 ... Manifold, 24 ... Slot, 26 ... Rotating shaft , 28 ... bearings, 30 ... axis of backup roller, 32 ... XY table, 34 ... support, 36 ... moving mechanism, 38 ... base, 40 ... track rail, 42 ... linear belling, 44 ... moving table, 46 ... Nut member, 48 ... Ball screw, 50 ... Motor, 52 ... X-axis track rail, 54 ... X-axis slider, 56 ... X-axis actuator, 58 ... Y-axis track rail, 60 ... Y-axis actuator

Claims (8)

バックアップローラに巻きがけ支持されて連続走行するウエブ表面に、塗布ヘッドのリップ先端から塗布液を液架橋させて前記ウエブとの間にビードを形成し、該ビードを介して前記ウエブ表面に塗布液を塗布する塗布液の塗布方法において、
前記バックアップローラの回転軸両端を回転自在に支持する一対の軸受のうちの少なくとも一方を、鉛直方向(X軸方向)及び/又は水平方向(Y軸方向)に移動することにより、前記リップ先端に対して前記バックアップローラを位置決め微調整することを特徴とする塗布液の塗布方法。
A coating liquid is cross-linked from the tip of the lip of the coating head on the surface of the web that is continuously supported while being wound around a backup roller, and a bead is formed between the web and the coating liquid on the surface of the web via the bead. In the application method of the application liquid for applying
By moving at least one of a pair of bearings rotatably supporting both ends of the rotation shaft of the backup roller in the vertical direction (X-axis direction) and / or the horizontal direction (Y-axis direction), On the other hand, the coating liquid coating method is characterized by finely adjusting the positioning of the backup roller.
前記ウエブに塗布液を塗布しながら前記バックアップローラの位置決め微調整を行うことを特徴とする請求項1の塗布液の塗布方法。   2. The coating liquid application method according to claim 1, wherein fine positioning of the backup roller is performed while applying the coating liquid to the web. 前記リップ先端と前記バックアップローラとのクリアランスが100μm以下であると共に、粘度が10mPa・s以下の塗布液を10cc/m2 以下の塗布量で塗布することを特徴とする請求項1又は2の塗布液の塗布方法。 3. The coating according to claim 1, wherein a clearance between the lip tip and the backup roller is 100 μm or less and a coating liquid having a viscosity of 10 mPa · s or less is applied at a coating amount of 10 cc / m 2 or less. Liquid application method. 前記塗布ヘッドのリップ先端とバックアップローラに巻きがけ支持されるウエブとのウエブ幅方向におけるクリアランス分布が10%以下になるようにして微調整することを特徴とする請求項1〜3の何れか1の塗布液の塗布方法。   The fine adjustment is performed so that the clearance distribution in the web width direction between the lip tip of the coating head and the web supported by the backup roller is 10% or less. Application method of coating liquid. バックアップローラに巻きがけ支持されて連続走行するウエブ表面に、塗布ヘッドのリップ先端から塗布液を液架橋させて前記ウエブとの間にビードを形成し、該ビードを介して前記ウエブ表面に塗布液を塗布する塗布液の塗布装置において、
前記バックアップローラの回転軸両端を回転自在に支持する一対の軸受は、前記バックアップローラの軸芯に対して直交する鉛直面上における鉛直方向(X軸方向)及び水平方向(Y軸方向)に移動可能なX−Yテーブルを介して支柱にそれぞれ支持されていることを特徴とする塗布液の塗布装置。
A coating liquid is cross-linked from the tip of the lip of the coating head on the surface of the web that is continuously supported while being wound around a backup roller, and a bead is formed between the web and the coating liquid on the surface of the web via the bead. In the coating liquid coating apparatus for coating
A pair of bearings that rotatably supports both ends of the rotating shaft of the backup roller move in a vertical direction (X-axis direction) and a horizontal direction (Y-axis direction) on a vertical plane perpendicular to the axis of the backup roller. A coating liquid coating apparatus, wherein the coating liquid is supported on a support column via a possible XY table.
前記塗布ヘッドは、スロットダイ又はスライドダイであることを特徴とする請求項5の塗布液の塗布装置。   6. The coating liquid coating apparatus according to claim 5, wherein the coating head is a slot die or a slide die. 前記支柱が前記塗布ヘッドのリップ先端に接近・退避可能な移動台の上に支持されていることを特徴とする請求項5又は6の塗布液の塗布装置。   7. The coating liquid coating apparatus according to claim 5, wherein the support column is supported on a movable table that can approach and retreat to the tip of the lip of the coating head. 請求項1〜4の何れか1の塗布液の塗布方法を使用して、反射防止、防眩性、視野角拡大の何れかの高機能性薄層フィルムを製造することを特徴とする高機能性薄層フィルムの製造方法。   A high-functional thin layer film having any of antireflection, antiglare property, and widening of the viewing angle is produced using the coating solution coating method according to any one of claims 1 to 4. For producing a conductive thin layer film.
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