JP2006083942A - Actuator - Google Patents

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JP2006083942A JP2004269358A JP2004269358A JP2006083942A JP 2006083942 A JP2006083942 A JP 2006083942A JP 2004269358 A JP2004269358 A JP 2004269358A JP 2004269358 A JP2004269358 A JP 2004269358A JP 2006083942 A JP2006083942 A JP 2006083942A
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Hidekazu Nakamura
秀和 中村
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actuator usable under environment subject to much dust and directly in a water jet flow without problems. <P>SOLUTION: The actuator comprises a hollow member 27, a screw 25 stored and arranged on the inner peripheral side of the hollow member 27 and adapted to be rotationally driven, a nut 29 stored and arranged on the inner peripheral side of the hollow member 27 and threaded to the screw 25, a piston portion 41 stored and arranged on the inner peripheral side of the hollow member 27 and fixed to the nut, a driving side magnet portion 60 provided on the piston portion 41, a slider portion 71 movably arranged on the outer peripheral side of the hollow member 27 in its rotation restricted state, and a driven side magnet portion 82 provided on the slider portion. The nut and the piston portion are moved in a proper direction by rotationally driving the screw 25. Thus, the slider portion is moved in the same direction by the operation of the driving side magnet portion on the driven side magnet portion. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、アクチュエータに係り、特に、塵埃の多い環境下や水が直接噴流されるような環境下においても、何等支障なく使用することができるように工夫したものに関する。 The present invention relates to an actuator, and more particularly, to an actuator devised so that it can be used without any trouble even in a dusty environment or an environment where water is directly jetted.

従来のアクチュエータは概略次のような構成になっている。まず、ハウジングがあり、このハウジング内にはボールネジが回転可能に収容されている。このボールネジは、例えば、サーボモータの回転軸にカップリングを介して連結されていて、サーボモータによって回転駆動されるようになっている。上記ボールネジにはボールナットがその回転を規制された状態で螺合している。上記ボールナットにはスライダが固着されていて、このスライダに任意の機器が搭載されることになる。   A conventional actuator is generally configured as follows. First, there is a housing, and a ball screw is rotatably accommodated in the housing. For example, the ball screw is connected to a rotation shaft of a servo motor via a coupling, and is rotated by the servo motor. A ball nut is screwed onto the ball screw in a state where its rotation is restricted. A slider is fixed to the ball nut, and an arbitrary device is mounted on the slider.

そして、上記サーボモータを適宜の方向に回転駆動することにより、ボールネジを同方向に回転させる。このボールネジの回転によってそこにその回転を規制された状態で螺合しているボールナットが任意の方向に移動し、それによって、ボールナットに固着されているスライダ及びそこに搭載されている機器が同方向に所定量だけ移動することになる。   Then, the ball screw is rotated in the same direction by rotationally driving the servo motor in an appropriate direction. With this rotation of the ball screw, the ball nut screwed in a state where the rotation is regulated moves in an arbitrary direction, so that the slider fixed to the ball nut and the device mounted on the ball nut are moved. It moves by a predetermined amount in the same direction.

ところで、この種のアクチュエータにおいては、ボールナットに固着されたスライダがハウジングの外部に露出している必要があるため、ハウジングにはスライダの移動方向に沿って開口部がスリット状に形成されている。そのため、この開口部を介して塵埃や水滴等がハウジングの内部に侵入してしまうことになる。逆にボールネジやボールナットに付着しているグリースや油等が開口部を介して外部に飛散・流出してしまうことも懸念される。 By the way, in this type of actuator, since the slider fixed to the ball nut needs to be exposed to the outside of the housing, the housing has an opening formed in a slit shape along the moving direction of the slider. . Therefore, dust, water droplets, etc. will enter the inside of the housing through this opening. On the contrary, there is a concern that grease, oil, or the like adhering to the ball screw or ball nut may be scattered and outflowed to the outside through the opening.

そこで、上記開口部を極力小さくしたり、開口部に保護カバ等からなるラビリンス構造を構成して隙間を極力小さくしたり、或いは開口部に蛇腹を取付ける等の処理を行ない、開口部を介して塵埃や水滴等がハウジングの内部に侵入してしまうことを抑制すると共に、ボールネジやボールナットに付着しているグリースや油等が開口部を介して外部に飛散・流出してしまうことを防止するようにしていた。
又、上記方策以外にも、例えば、真空引きによってハウジングの内部を負圧状態にして、それによって、ボールネジやボールナットに付着しているグリースや油等が開口部を介して外部に飛散・流出してしまうことを防止することも行なわれていた。又、逆にハウジング内を加圧することによって開口部を介して塵埃や水滴等がハウジングの内部に侵入してしまうことを抑制することも行なわれていた。
Therefore, processing such as making the opening as small as possible, forming a labyrinth structure made of a protective cover or the like in the opening to make the gap as small as possible, or attaching a bellows to the opening, Prevents dust and water droplets from entering the inside of the housing, and prevents grease and oil adhering to the ball screw and ball nut from splashing and flowing outside through the opening. It was like that.
In addition to the above measures, for example, the inside of the housing is brought into a negative pressure state by evacuation, so that grease, oil, etc. adhering to the ball screw or ball nut scatter and flow out to the outside through the opening. It was also done to prevent this. Conversely, pressurizing the inside of the housing has also prevented dust and water droplets from entering the inside of the housing through the opening.

上記各種の方策に関して具体的な例を挙げて説明する。
まず、アクチュエータを食品工場の食品機械に使用する場合が挙げられる。この種の食品工場の場合には様々な洗浄が行なわれ、そのような洗浄時の水滴等が食品機械に使用されているアクチュエータの内部に開口部を介して侵入してしまうことが予想される。又、アクチュエータのハウジング内に内装されているボールネジやボールナットに塗布されている油やグリースが、開口部を介して外部に飛散したり油等が洩れ出て食品に付着してしまうことが懸念される。このような場合は、既に説明したように、開口部に保護カバ等からなるラビリンス構造を構成して隙間を極力小さくしたり、或いは開口部に蛇腹を取付ける等の処理を行ない、開口部を介して塵埃や水滴等がハウジングの内部に侵入してしまうことを抑制すると共に、ボールネジやボールナットのグリースや油等が開口部を介して外部に飛散・流出してしまうことを防止するようにしていた。
又、それ以外にも、多少のグリースや油が外部に流出して食品に付着しても人体に害を与えないように、高価な食品用グリースや油を使用する等の対策を採用する場合もあった。
The various measures will be described with specific examples.
First, there is a case where the actuator is used in a food machine of a food factory. In the case of this kind of food factory, various washings are performed, and it is expected that water droplets and the like at the time of such washing will enter the inside of the actuator used in the food machine through the opening. . Also, there is a concern that oil or grease applied to the ball screw or ball nut built in the actuator housing may be scattered outside through the opening or oil may leak and adhere to food. Is done. In such a case, as described above, a labyrinth structure made of a protective cover or the like is formed in the opening to reduce the gap as much as possible, or a process such as attaching a bellows to the opening is performed, and the opening is inserted through the opening. This prevents dust and water droplets from entering the inside of the housing, and prevents grease and oil from the ball screw and ball nut from splashing and flowing outside through the opening. It was.
In addition, when taking measures such as using expensive food grease or oil so that the human body will not be harmed even if some grease or oil flows outside and adheres to food. There was also.

次に、アクチュエータを梱包機械に使用する場合が挙げられる。この種の梱包機械が使用される環境下においては、細かい紙の繊維等が浮遊しており、これらが開口部を介してアクチュエータの内部に侵入して、潤滑部分等の油に付着する事により潤滑不良や異物混入によって機械にダメージを与えることが懸念される。そこで、既に述べたように、開口部に保護カバ等からなるラビリンス構造を構成して隙間を極力小さくしたり、或いは開口部に蛇腹を取付ける等の処理を行ない、開口部を介して細かい繊維等がハウジングの内部に侵入してしまうことを防止するようにしているものである。 Next, the case where an actuator is used for a packaging machine is mentioned. In an environment where this type of packaging machine is used, fine paper fibers, etc. are floating, and they enter the inside of the actuator through the opening and adhere to the oil in the lubrication part. There is concern over damage to the machine due to poor lubrication or contamination. Therefore, as described above, a labyrinth structure composed of a protective cover or the like is formed in the opening to make the gap as small as possible, or a process such as attaching a bellows to the opening is performed, and fine fibers etc. are passed through the opening. Is prevented from entering the inside of the housing.

上記従来の構成によると次のような問題があった。
まず、開口部に保護カバ等からなるラビリンス構造を構成して隙間を極力小さくしたり、或いは開口部に蛇腹を取付ける等の処理を行なっても、開口部を完全に閉塞しているわけではないので、塵や水滴の侵入を完全に防止することはできず、又、飛沫や直接噴流等がない場合でも環境湿度が高い場合等では内部の湿度も必然的に高くなり錆びの発生の原因になってしまい、結局、塵埃の多い環境下や、水が直接噴流されるような環境下での使用には大きな制限があった。
又、蛇腹等を用いた場合には、蛇腹の畳代の関係上ストロークが長くなるという問題があり、又、機械の大型化と蛇腹が高価であるため製造コストが上昇してしまうという問題があった。
又、アクチュエータの内部を吸引してボールネジやボールナットのグリースや油等が開口部を介して外部に飛散・流出してしまうことを防止したり、逆にアクチュエータの内部を加圧して開口部を介して塵埃や水滴等がハウジングの内部に侵入してしまうことを抑制する方法の場合には、吸引・加圧の為の設備が大型化し製造コストが上昇してしまうという問題があった。
The conventional configuration has the following problems.
First, even if a labyrinth structure composed of a protective cover or the like is formed in the opening to make the gap as small as possible or a bellows is attached to the opening, the opening is not completely closed. Therefore, the intrusion of dust and water droplets cannot be completely prevented, and even when there are no splashes or direct jets, etc., when the environmental humidity is high, the internal humidity is inevitably high, which may cause rusting. As a result, the use in a dusty environment or an environment in which water is directly jetted has a great restriction.
In addition, when a bellows or the like is used, there is a problem that the stroke becomes long due to the mating cost of the bellows, and there is a problem that the manufacturing cost increases because the machine is large and the bellows is expensive. there were.
In addition, the inside of the actuator can be sucked to prevent grease or oil from the ball screw or ball nut from splashing or flowing outside through the opening, or the inside of the actuator can be pressurized to open the opening. In the case of a method for preventing dust, water droplets and the like from entering the inside of the housing, there is a problem that the equipment for suction and pressurization becomes large and the manufacturing cost increases.

本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、塵埃の多い環境下における使用や水の直接噴流が行なわれるような環境下においても、何等支障なく使用することが可能なアクチュエータを提供することにある。 The present invention has been made on the basis of such points, and the object of the present invention is to be used without any trouble even in an environment where there is a lot of dust or where a direct jet of water is used. It is to provide a possible actuator.

尚、本願発明に対する先行出願としては、例えば、特許文献1、特許文献2がある。   As prior applications for the present invention, there are, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2.

実開昭58−76804号公報Japanese Utility Model Publication No. 58-76804 実開平5−67866号公報Japanese Utility Model Publication No. 5-67866

上記目的を達成するべく本願発明の請求項1によるアクチュエータは、中空部材と、上記中空部材の内周側に収容・配置され回転駆動されるネジと、上記中空部材の内周側に収容・配置され上記ネジに対して螺合・配置されたナットと、 上記中空部材の内周側に収容・配置され上記ナットに固着されたピストン部と、上記ピストン部に設けられた駆動側磁石部と、上記中空部材の外周側にその回転を規制された状態で移動可能に配置されたスライダ部と、上記スライダ部に設けられ上記駆動側磁石部との組合せによって磁気式スラスト方向カップリング機構を構成する従動側磁石部と、を具備し、上記ネジを回転・駆動することにより上記ナット及び上記ピストン部を適宜の方向に移動させ、それによって、上記駆動側磁石部と従動側磁石部とから構成される磁気式スラスト方向カップリング機構の作用によって上記スライダ部を同方向に移動させるように構成したことを特徴とするものである。
又、請求項2によるアクチュエータは、請求項1記載のアクチュエータにおいて、上記中空部材は非磁性材料から構成されていることを特徴とするものである。
又、請求項3によるアクチュエータは、請求項1又は請求項2記載のアクチュエータにおいて、上記従動側磁石部は磁石の表面に樹脂をコーティング又はモールドされたものであることを特徴とするものである。
又、請求項4によるアクチュエータは、請求項1記載のアクチュエータにおいて、上記ピストン部とスライダ部との間には上記中空部材を挟んで磁気式回転方向カップリング機構が設けられていることを特徴とするものである。
又、請求項5によるアクチュエータは、請求項4記載のアクチュエータにおいて、上記磁気式回転方向カップリング機構は、上記ピストン部に設けられた磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石と、上記スライダ部に設けられた磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石とから構成されていることを特徴とするものである。
又、請求項6によるアクチュエータは、請求項1〜請求項5の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ネジはボールネジであることを特徴とするものである。
又、請求項7によるアクチュエータは、請求項1〜請求項5の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ネジは台形ネジであることを特徴とするものである。
In order to achieve the above object, an actuator according to claim 1 of the present invention includes a hollow member, a screw that is housed and disposed on the inner peripheral side of the hollow member and is driven to rotate, and a housing and disposed on the inner peripheral side of the hollow member. A nut that is screwed and arranged with respect to the screw, a piston portion that is housed and arranged on the inner peripheral side of the hollow member and is fixed to the nut, and a drive-side magnet portion that is provided on the piston portion; A magnetic thrust direction coupling mechanism is configured by a combination of a slider portion movably disposed on the outer peripheral side of the hollow member in a state where its rotation is restricted and a driving side magnet portion provided on the slider portion. A driven-side magnet portion, and by rotating and driving the screw, the nut and the piston portion are moved in appropriate directions, whereby the driven-side magnet portion and the driven-side magnet portion The slider portion is configured to move in the same direction by the action of a magnetic thrust direction coupling mechanism comprising:
According to a second aspect of the present invention, in the actuator according to the first aspect, the hollow member is made of a nonmagnetic material.
According to a third aspect of the present invention, in the actuator according to the first or second aspect of the present invention, the driven-side magnet portion is formed by coating or molding a resin on the surface of the magnet.
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the actuator according to the first aspect, wherein a magnetic rotational direction coupling mechanism is provided between the piston portion and the slider portion with the hollow member interposed therebetween. To do.
According to a fifth aspect of the present invention, in the actuator according to the fourth aspect, the magnetic rotational direction coupling mechanism includes an inner magnet for a magnetic rotational direction coupling mechanism provided in the piston portion, and the slider portion. The magnetic rotation direction coupling mechanism is provided with an outer magnet.
An actuator according to claim 6 is the actuator according to any one of claims 1 to 5, wherein the screw is a ball screw.
An actuator according to claim 7 is the actuator according to any one of claims 1 to 5, wherein the screw is a trapezoidal screw.

以上述べたように本発明によるアクチュエータは、中空部材と、上記中空部材の内周側に収容・配置され回転駆動されるネジと、上記中空部材の内周側に収容・配置され上記ネジに対して螺合・配置されたナットと、 上記中空部材の内周側に収容・配置され上記ナットに固着されたピストン部と、上記ピストン部に設けられた駆動側磁石部と、上記中空部材の外周側にその回転を規制された状態で移動可能に配置されたスライダ部と、上記スライダ部に設けられ上記駆動側磁石部との組合せによって磁気式スラスト方向カップリング機構を構成する従動側磁石部と、を具備し、上記ネジを回転・駆動することにより上記ナット及び上記ピストン部を適宜の方向に移動させ、それによって、上記駆動側磁石部と従動側磁石部とから構成される磁気式スラスト方向カップリング機構の作用によって上記スライダ部を同方向に移動させるように構成しているので、まず、ネジとナット等からなる機械構成部分が全て中空部材内に収容・配置されていて隔離されているので、液体等の飛沫及び直接噴流下においても何等支障なく使用することができるようになった。
又、ネジとナット等からなる機械構成部分が全て中空部材内に収容・配置されていて隔離されているので、内部の油やグリース等が外部に流出することについても防止することができ、外部環境を汚染することがなくクリーンな環境下においても使用可能なアクチュエータを提供することができるようになった。
又、従来のように高価な蛇腹や、複雑なラビリンス機構等を採用する必要がないため加工費を安くでき低コストでかつ容易に防塵、防滴構造のスライダータイプアクチュエータを実現可能である。
又、上記中空部材を非磁性材料から構成した場合には、磁気式スラスト方向カップリング機構の機能をより精度の高いものとすることができる。
又、上記従動側磁石部を磁石の表面に樹脂をコーティング又はモールドされたものとした場合には、防錆効果を得ることができる。
又、ピストン部とスライダ部との間に上記中空部材を挟んで磁気式回転方向カップリング機構を設けた場合には、それによって、ナット及びピストン部の不用意な回転を規制することができ、例えば、外力の作用によってスライダ部が不用意に移動してしまうようなことを防止することができる。
尚、ネジとしては、例えば、ボールネジや台形ネジ等が考えられる。勿論、それらに限定されるものではない。
As described above, the actuator according to the present invention includes a hollow member, a screw that is housed and disposed on the inner peripheral side of the hollow member, and a rotationally driven screw, and a screw that is housed and disposed on the inner peripheral side of the hollow member. A nut screwed and arranged; a piston portion housed and arranged on the inner peripheral side of the hollow member and fixed to the nut; a driving magnet portion provided on the piston portion; and an outer periphery of the hollow member And a driven-side magnet portion that constitutes a magnetic thrust direction coupling mechanism by a combination of a slider portion movably arranged in a state where its rotation is restricted on the side, and the driving-side magnet portion provided on the slider portion; And the nut and the piston part are moved in an appropriate direction by rotating and driving the screw, whereby a magnet composed of the drive-side magnet part and the driven-side magnet part. Since the slider portion is configured to move in the same direction by the action of the pneumatic thrust direction coupling mechanism, first, all mechanical components including screws and nuts are accommodated and arranged in the hollow member. Since it is isolated, it can be used without any trouble even in the case of liquid droplets and direct jets.
In addition, since all machine components consisting of screws and nuts are housed and isolated in the hollow member, it is possible to prevent the internal oil and grease from flowing out to the outside. An actuator that can be used in a clean environment without polluting the environment can be provided.
Further, since it is not necessary to employ an expensive bellows or a complicated labyrinth mechanism as in the prior art, the processing cost can be reduced, and a slider type actuator having a dustproof and dripproof structure can be easily realized at a low cost.
Further, when the hollow member is made of a nonmagnetic material, the function of the magnetic thrust direction coupling mechanism can be made more accurate.
Further, when the driven magnet portion is formed by coating or molding a resin on the surface of the magnet, a rust prevention effect can be obtained.
In addition, when a magnetic rotational direction coupling mechanism is provided with the hollow member sandwiched between the piston portion and the slider portion, it is possible to restrict inadvertent rotation of the nut and the piston portion, For example, it is possible to prevent the slider portion from inadvertently moving due to the action of an external force.
As the screw, for example, a ball screw or a trapezoidal screw can be considered. Of course, it is not limited to them.

以下、図1乃至図6を参照して本発明の第1の実施の形態を説明する。図1に示すように、まず、ハウジング1がある。このハウジング1はその横断面形状が略U字状をなしていて、底壁3と一対の側壁5、5とから構成されている。上記ハウジング1の長手方向両端開口部には端部材7、7が取り付けられている。
尚、図2は図1からハウジング1等を撤去した状態を示している。
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, there is a housing 1 first. The housing 1 has a substantially U-shaped cross section, and is composed of a bottom wall 3 and a pair of side walls 5 and 5. End members 7 and 7 are attached to both ends of the housing 1 in the longitudinal direction.
2 shows a state in which the housing 1 and the like are removed from FIG.

上記ハウジング1の外側であって上記端部材7の図1〜図4中右側にはサーボモータケース9が取り付けられている。このサーボモータケース9内には、図4に示すように、サーボモータ11が内装されている。又、上記サーボモータケース9の図1乃至図4中右側には、ケーブル取出部材10、12が取り付けられている。上記サーボモータ11の図4中右側には位置検出機構13が取り付けられている。又、上記サーボモータケース9は、図4に示すように、円筒部材15とこの円筒部材15の両端に取り付けられた端部材17、19とから構成されている。   A servo motor case 9 is attached to the outer side of the housing 1 and on the right side of the end member 7 in FIGS. As shown in FIG. 4, a servo motor 11 is built in the servo motor case 9. Cable take-out members 10 and 12 are attached to the right side of the servo motor case 9 in FIGS. A position detection mechanism 13 is attached to the right side of the servo motor 11 in FIG. The servo motor case 9 includes a cylindrical member 15 and end members 17 and 19 attached to both ends of the cylindrical member 15 as shown in FIG.

又、図4に示すように、上記サーボモータ13の回転軸21には、カップリング機構23を介してボールネジ25が連結されている。又、図4及び図5に示すように、ハウジング1内には中空部材27が収容・配置されている。この中空部材27は既に説明した一対の端部材7、7との間に介挿・固定されている。そして、上記ボールネジ25はこの中空部材27内に収容・配置されている。上記中空部材27は、非磁性材料から構成されている。この実施の形態の場合には、ステンレス鋼(SUS)製である。
尚、それ以外にも、例えば、アルミニウムの押出材から構成することが考えられる。
As shown in FIG. 4, a ball screw 25 is connected to the rotating shaft 21 of the servo motor 13 via a coupling mechanism 23. As shown in FIGS. 4 and 5, a hollow member 27 is accommodated and arranged in the housing 1. The hollow member 27 is inserted and fixed between the pair of end members 7 and 7 already described. The ball screw 25 is accommodated and arranged in the hollow member 27. The hollow member 27 is made of a nonmagnetic material. In this embodiment, it is made of stainless steel (SUS).
In addition, for example, it is conceivable to use an extruded aluminum material.

上記中空部材27内にはボールナット29が収容・配置されていて、このボールナット29は上記ボールネジ25に対して螺合・配置されている。又、上記ボールネジ25は、軸受部材31、33、37によって回転可能に支持されている。又、上記ボールネジ25の外周にはポリマー潤滑部材35が設置されている。このポリマー潤滑部材35は潤滑油を含んだ樹脂である。   A ball nut 29 is accommodated / arranged in the hollow member 27, and the ball nut 29 is screwed / arranged with the ball screw 25. The ball screw 25 is rotatably supported by bearing members 31, 33, and 37. A polymer lubricating member 35 is installed on the outer periphery of the ball screw 25. The polymer lubricating member 35 is a resin containing lubricating oil.

図4及び図5に示すように、上記ボールナット29にはピストン部41が連結されている。上記ピストン部41は第1スリーブ43と第2スリーブ45とから構成されていて、上記第1スリーブ43の図5中右端を第2スリーブ45の図5中左端に螺合・結合させている。又、上記第2スリーブ45の図5中右端はボールナット29の図5中左端を覆うように取り付けられていて、複数本の固定ボルト46によって連結・固定されているものである。   As shown in FIGS. 4 and 5, a piston portion 41 is connected to the ball nut 29. The piston portion 41 includes a first sleeve 43 and a second sleeve 45, and the right end of the first sleeve 43 in FIG. 5 is screwed and coupled to the left end of the second sleeve 45 in FIG. 5. The right end of the second sleeve 45 in FIG. 5 is attached so as to cover the left end of the ball nut 29 in FIG. 5 and is connected and fixed by a plurality of fixing bolts 46.

上記ピストン部41の第1スリーブ43の外周であって左右両端にはニードルベアリング51、53が取り付けられている。又、
これらニードルベアリング51、53の外周側であって中空部材27との間には、滑り軸受部材55、57が設置されている。そして、上記第1スリーブ43の外周側であって上記ニードルベアリング51、53の間には駆動側磁石部60が設けられている。この駆動側磁石部60は、複数個の駆動側磁石61とヨーク62を交互に積層・配置した構成になっている。又、上記第2スリーブ45の外周側には磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石63が設置されている。又、上記ニードルベアリング51の図5中左側には固定ナット52が螺合されている。
Needle bearings 51 and 53 are attached to the left and right ends of the outer periphery of the first sleeve 43 of the piston portion 41. or,
Sliding bearing members 55 and 57 are installed between the outer peripheral sides of these needle bearings 51 and 53 and the hollow member 27. A drive side magnet portion 60 is provided between the needle bearings 51 and 53 on the outer peripheral side of the first sleeve 43. The drive-side magnet unit 60 has a configuration in which a plurality of drive-side magnets 61 and yokes 62 are alternately stacked and arranged. An inner magnet 63 for a magnetic rotational direction coupling mechanism is installed on the outer peripheral side of the second sleeve 45. A fixing nut 52 is screwed to the left side of the needle bearing 51 in FIG.

上記中空部材27の外周側にはスライダ部71が設置されている。このスライダ部71は、円筒部材73と、この円筒部材73の両端に取り付けられた端部材75、77とから構成されている。上記円筒部材73の内周側には、滑り軸受部材79、81が設置されている。これら滑り軸受け部材79、81は、既に説明したピストン部41側の滑り軸受部材55、57に対応した位置に設置されているものである。   A slider portion 71 is installed on the outer peripheral side of the hollow member 27. The slider portion 71 includes a cylindrical member 73 and end members 75 and 77 attached to both ends of the cylindrical member 73. Sliding bearing members 79 and 81 are installed on the inner peripheral side of the cylindrical member 73. These sliding bearing members 79 and 81 are installed at positions corresponding to the already described sliding bearing members 55 and 57 on the piston portion 41 side.

上記滑り軸受け部材79、81の間には従動側磁石部82が設けられている。既に説明した駆動側磁石部60とこの従動側磁石部82とによって磁気式スラスト方向カップリング機構80を構成しているものである。上記従動磁石部82は、複数個の従動側磁石83とヨーク84を交互に積層・配置した構成になっている。上記端部材77の内周側には磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85が設置されているものである。上記従動側磁石83と磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85は、共に、その表面に樹脂のコーティング又はモールドが施されているものであり、それによって、防錆効果を得るようにしている。
因みに、駆動側磁石61と磁気式回転カップリング機構用内側磁石63は共に中空部材27の内周側に収容・配置されているので、防錆の必要性は低いものである。
A driven-side magnet portion 82 is provided between the sliding bearing members 79 and 81. The driving-side magnet unit 60 and the driven-side magnet unit 82 described above constitute a magnetic thrust direction coupling mechanism 80. The driven magnet portion 82 has a configuration in which a plurality of driven magnets 83 and yokes 84 are alternately stacked and arranged. An outer magnet 85 for a magnetic rotational direction coupling mechanism is installed on the inner peripheral side of the end member 77. The driven magnet 83 and the outer magnet 85 for the magnetic rotational direction coupling mechanism both have a resin coating or mold on the surface thereof, thereby obtaining a rust prevention effect. .
Incidentally, since the drive-side magnet 61 and the inner magnet 63 for the magnetic rotary coupling mechanism are both housed and arranged on the inner peripheral side of the hollow member 27, the necessity for rust prevention is low.

ここで、既に説明した駆動側磁石部60と従動側磁石部82との関係について詳細に説明する。まず、上記駆動側磁石部60を構成する駆動側磁石61と従動側磁石部82を構成する従動側磁石83の磁極をみてみると、まず、半径方向に関しては、上記駆動側磁石61と従動側磁石83の異極同士が対向・配置されていて吸着力が発揮されるように構成されている。又、隣接する駆動側磁石61、61を軸方向に沿ってみてみると同極同士が対向・配置されている。同様に、隣接する従動側磁石83、83を軸方向に沿ってみてみると、同極同士が対向・配置されている。そして、ピストン部41が軸方向に移動することにより、上記複数個の駆動側磁石61と複数個の従動側磁石83の作用によってスライダ部71がそれに追従して同方向に移動することになる。 Here, the relationship between the drive side magnet part 60 already demonstrated and the driven side magnet part 82 is demonstrated in detail. First, looking at the magnetic poles of the drive side magnet 61 that constitutes the drive side magnet unit 60 and the driven side magnet 83 that constitutes the driven side magnet unit 82, first, the drive side magnet 61 and the driven side magnets in the radial direction. The different polarities of the magnet 83 are opposed to each other and arranged so as to exert an attractive force. Further, when the adjacent drive-side magnets 61 and 61 are viewed along the axial direction, the same poles are opposed to each other. Similarly, when the adjacent driven magnets 83 and 83 are viewed along the axial direction, the same poles are opposed to each other. Then, when the piston portion 41 moves in the axial direction, the slider portion 71 follows and moves in the same direction by the action of the plurality of driving side magnets 61 and the plurality of driven side magnets 83.

次に、既に述べた磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石63と磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85の関係について説明する。これら磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石63と磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85とによって磁気式回転方向カップリング機構86を構成している。上記磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石63と磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85の素材としては、例えば、ネオジ磁石、フェライト磁石等の焼結磁石が考えられるが、脆性材料であるため機械加工が困難であり加工工数を要する等の問題がある。そこでこの実施の形態では、圧縮成形によるボンド磁石で製作するようにしている。それによって、簡単に後加工が可能であり様々な寸法に容易に対応可能となる。又、圧縮方向の金型の範囲内で長さ調整が可能な為、多くの金型を用いることなく長さの異なる磁石、具体的には、磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石63と磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85を容易に製作できる。そして、モータトルクとリードに対応した最適な磁気式回転方向カップリング機構86を容易に製作することができるものである。   Next, the relationship between the already described inner magnet 63 for the magnetic rotational direction coupling mechanism and the outer magnet 85 for the magnetic rotational direction coupling mechanism will be described. The magnetic rotational direction coupling mechanism outer magnet 63 and the magnetic rotational direction coupling mechanism outer magnet 85 constitute a magnetic rotational direction coupling mechanism 86. The material of the inner magnet 63 for the magnetic rotational coupling mechanism and the outer magnet 85 for the magnetic rotational coupling mechanism may be, for example, a sintered magnet such as a neodymium magnet or a ferrite magnet, but is a brittle material. Therefore, there is a problem that machining is difficult and processing man-hours are required. Therefore, in this embodiment, the magnet is manufactured with a bonded magnet by compression molding. As a result, post-processing can be easily performed and various dimensions can be easily accommodated. Further, since the length can be adjusted within the range of the mold in the compression direction, the magnets having different lengths without using many molds, specifically, the inner magnet 63 for the magnetic rotational direction coupling mechanism, The outer magnet 85 for the magnetic rotational direction coupling mechanism can be easily manufactured. An optimum magnetic rotational direction coupling mechanism 86 corresponding to the motor torque and the lead can be easily manufactured.

上記磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石63と磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85の着磁の形態を図6に示す。まず、磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石63の外周部には「N極」と「S極」が交互に着磁されている。同様に、磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85の内周部にも、「N極」と「S極」が交互に着磁されている。そして、相互の「N極」と「S極」が吸着した状態で落ち着いているものである。このような構成をなす磁気式回転方向カップリング機構86によって、ボールナット29とピストン部41の回転方向の動作を規制するようにしているものである。   The form of magnetization of the inner magnet 63 for the magnetic rotational coupling mechanism and the outer magnet 85 for the magnetic rotational coupling mechanism is shown in FIG. First, “N pole” and “S pole” are alternately magnetized on the outer periphery of the inner magnet 63 for the magnetic rotational direction coupling mechanism. Similarly, “N pole” and “S pole” are alternately magnetized on the inner peripheral portion of the outer magnet 85 for the magnetic rotational direction coupling mechanism. Then, the “N pole” and “S pole” of each other are settled in a state of being adsorbed. The operation in the rotational direction of the ball nut 29 and the piston portion 41 is regulated by the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 having such a configuration.

具体的に例を挙げて説明すると、例えば、スライダ部71に対して軸方向の外力が外部から加わった場合には、ボールネジ25がロックされている状態であっても、スライダ部71と磁気的に結合しているピストン部41を介してボールナット29が回転してしまうことが予想される。ボールナット29が回転してしまった場合には、スライダ部71が軸方向に移動してしまうことになる。このような現象を防止する為に上記磁気式回転方向カップリング機構86を採用しているものであり、ボールナット29の回転を規制して、スライダ部71が外力の作用によって不用意に移動してしまうことを防止しているものである。 Specifically, for example, when an external force in the axial direction is applied to the slider portion 71 from the outside, even if the ball screw 25 is locked, the slider portion 71 and the magnetic force It is expected that the ball nut 29 will rotate through the piston part 41 coupled to the. When the ball nut 29 is rotated, the slider portion 71 is moved in the axial direction. In order to prevent such a phenomenon, the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 is employed, and the rotation of the ball nut 29 is restricted, and the slider portion 71 moves carelessly by the action of an external force. It is what prevents it.

尚、この実施の形態ではピストン部41にベアリング51、53が装着されていてピストン部41が回転可能な構成になっているが、これはピストン部41の回転方向の摺動抵抗を減らし、磁気式回転方向カップリング機構86の必要トルクを抑え、トルク変動やバラツキを抑えるためである。 In this embodiment, bearings 51 and 53 are attached to the piston portion 41 so that the piston portion 41 can rotate. However, this reduces the sliding resistance in the rotation direction of the piston portion 41 and reduces the magnetic force. This is because the required torque of the rotary direction coupling mechanism 86 is suppressed and torque fluctuations and variations are suppressed.

又、磁気式回転方向カップリング機構86を構成する上記磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85は磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石63に比べて軸方向に長い構成になっている。具体的には、両者の長さの差は磁気式スラスト方向カップリング機構80が脱調するまでの変位量の2倍以上に設定されている。その理由はスライダ部71に対して軸方向に力が加わるとその量に比例してスライダ部71とピストン部41の相対位置関係に差が生じることとなり、同時に磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石63と磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85の軸方向の相対位置関係にも差が生じることになる。磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石63と磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85が正規の位置からずれることによりその回転方向の磁気的結合力も弱まり、磁気式回転方向カップリング機構86が脱調する原因となって所定の位置決めが出来なくなることが予想される。これを防止するために、磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85の長さを磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石63の長さより長くしているものであり、特に、その差を、磁気式スラスト方向カップリング機構が脱調するまでの変位量の2倍以上に設定しているものである。 Further, the magnetic rotational direction coupling mechanism outer magnet 85 constituting the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 is longer in the axial direction than the magnetic rotational direction coupling mechanism inner magnet 63. Specifically, the difference in length between the two is set to be twice or more the amount of displacement until the magnetic thrust direction coupling mechanism 80 steps out. The reason is that if a force is applied to the slider portion 71 in the axial direction, the relative positional relationship between the slider portion 71 and the piston portion 41 will be proportional to the amount, and at the same time the inner side of the magnetic rotational coupling mechanism A difference also arises in the relative positional relationship in the axial direction between the magnet 63 and the outer magnet 85 for the magnetic rotational coupling mechanism. When the inner magnet 63 for the magnetic rotational direction coupling mechanism and the outer magnet 85 for the magnetic rotational direction coupling mechanism are displaced from the normal positions, the magnetic coupling force in the rotational direction is also weakened, and the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 is It is expected that predetermined positioning cannot be performed due to the cause of step-out. In order to prevent this, the length of the outer magnet 85 for the magnetic rotational coupling mechanism is made longer than the length of the inner magnet 63 for the magnetic rotational coupling mechanism. This is set to at least twice the amount of displacement until the magnetic thrust direction coupling mechanism steps out.

又、ピストン部41とスライダ部71は駆動側磁石部60と従動側磁石部82とから構成される磁気式スラスト方向カップリング機構80の吸着力のみで固定されているため、外部から過大に力が加わった場合や、スライダ部71をロックさせた状態でサーボモータ11に大きなトルクを出力させた場合には、発生推力に応じて、上記磁気式スラスト方向カップリング機構80を構成する上記駆動側磁石部60と従動側磁石部82の相対位置関係がずれ最終的には脱調することになる。そして、一旦脱調してしまった場合には、強制的に力を加えてスライダ部71とピストン部41の位置関係を元の状態に戻す必要がある。しかしながら、その際大きな力が必要となったりをロックした状態で外部からスライダ部71に強制的に力を加えたり、若しくは分解等を行う必要が生じたりと非常に困難な作業となる。 Further, since the piston portion 41 and the slider portion 71 are fixed only by the attraction force of the magnetic thrust direction coupling mechanism 80 composed of the driving side magnet portion 60 and the driven side magnet portion 82, an excessive force is applied from the outside. When a large torque is output to the servo motor 11 with the slider 71 locked, the drive side that constitutes the magnetic thrust direction coupling mechanism 80 according to the generated thrust. The relative positional relationship between the magnet unit 60 and the driven-side magnet unit 82 is shifted, and eventually the step-out occurs. And once it has stepped out, it is necessary to forcefully apply force to return the positional relationship between the slider portion 71 and the piston portion 41 to the original state. However, in this state, it becomes very difficult to force a large force from the outside or to force the slider unit 71 from the outside in a locked state, or to perform disassembly or the like.

そこで上記のような脱調現象を起こさないように、予め磁気式スラスト方向カップリング機構80と磁気式回転方向カップリング機構86の夫々の磁気締結力を調整するようにしている。具体的には、磁気式スラスト方向カップリング機構80が脱調する前に磁気式回転方向カップリング機構86が脱調するように、磁気式回転方カップリング機構86のトルクを調整しているものである。つまり、磁気式回転方向カップリング機構86をトルクリミッタとして使用するものである。
尚、磁気式回転方向カップリング機構86が脱調しても、図6に示すように、所定角度だけ回転して次の吸着ポイントに移動するだけであるので、何等の不都合も生じないものである。
Therefore, the magnetic fastening force of each of the magnetic thrust direction coupling mechanism 80 and the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 is adjusted in advance so as not to cause the above-described step-out phenomenon. Specifically, the torque of the magnetic rotational coupling mechanism 86 is adjusted so that the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 steps out before the magnetic thrust direction coupling mechanism 80 steps out. It is. That is, the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 is used as a torque limiter.
Even if the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 is stepped out, it does not cause any inconvenience because it rotates only by a predetermined angle and moves to the next attraction point as shown in FIG. is there.

又、上記スライダ部71の円筒部材73の外周には別の円筒部材90が隙間を存した状態で設置されている。この円筒部材90と上記円筒部材73との間にはフローティング用ピン92が取り付けられている。又、上記円筒部材90と円筒部材73の間には止めリング部材94、96が取り付けられている。 Further, another cylindrical member 90 is installed on the outer periphery of the cylindrical member 73 of the slider portion 71 with a gap. A floating pin 92 is attached between the cylindrical member 90 and the cylindrical member 73. Stop ring members 94 and 96 are attached between the cylindrical member 90 and the cylindrical member 73.

又、上記シリンダ部71はガイド機構91によってその回転を規制されている。すなわち、図2及び図3に示すように、スライダ部71の上記円筒部材90の左右両側には一対のガイド軸93、93が設置されていて、これら一対のガイド軸93、93の両端は端部材7、7に固定されている。上記一対のガイド軸93、93にはガイド部材95、95が摺動可能に取り付けられている。そして、これら一対のガイド部材95、95が上記スライダ部71の円筒部材90に固定されているものである。円筒部材90はこのガイド機構91によってその回転を規制された状態でガイドされるものである。又、円筒部材73はフローティング用ピン92によって円筒部材90と回転方向に対しては一対化されているので、円筒部材73もその回転を規制されることになり、結局、スライダ部71全体がその回転を規制されているものである。又、スライダ部71がその回転を規制されていることにより、既に説明した磁気式回転方向カップリング機構86を介して、ピストン部41とボールナット29がその回転を規制されているものである。 Further, the rotation of the cylinder portion 71 is restricted by the guide mechanism 91. That is, as shown in FIGS. 2 and 3, a pair of guide shafts 93, 93 are installed on both the left and right sides of the cylindrical member 90 of the slider portion 71, and both ends of the pair of guide shafts 93, 93 are ends. It is fixed to the members 7 and 7. Guide members 95, 95 are slidably attached to the pair of guide shafts 93, 93. The pair of guide members 95 and 95 are fixed to the cylindrical member 90 of the slider portion 71. The cylindrical member 90 is guided by the guide mechanism 91 in a state where its rotation is restricted. Further, since the cylindrical member 73 is paired with the cylindrical member 90 in the rotational direction by the floating pin 92, the rotation of the cylindrical member 73 is also restricted. The rotation is restricted. Further, since the rotation of the slider portion 71 is restricted, the rotation of the piston portion 41 and the ball nut 29 is restricted via the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 already described.

又、上記円筒部材90に何等かの外力が作用した場合であるが、この場合には、上記フローティング用ピン92が半径方向に移動するだけで、内側の円筒部材73側には何等影響を与えることはない。つまり、円筒部材90の内側のシリンダ部71は中空部材27の外周側において不用意な外力の影響を受けることがないようなある種浮上した状態に保持されているものである。 In this case, any external force is applied to the cylindrical member 90. In this case, the floating pin 92 only moves in the radial direction, and the inner cylindrical member 73 side is affected. There is nothing. In other words, the cylinder portion 71 inside the cylindrical member 90 is held in a certain floating state so as not to be affected by an inadvertent external force on the outer peripheral side of the hollow member 27.

又、図1に示すように、ハウジング1の上端開口部にはカバ101が取り付けられており、このカバ101とハウジング1の左右の側壁5、5との間には隙間103、103が形成されている。この隙間103、103は、上記ガイド部材95、95の上端突出部95a、95aの通路となるものである。 As shown in FIG. 1, a cover 101 is attached to the upper end opening of the housing 1, and gaps 103, 103 are formed between the cover 101 and the left and right side walls 5, 5 of the housing 1. ing. The gaps 103 and 103 serve as passages for the upper end protrusions 95a and 95a of the guide members 95 and 95.

以上の構成を基にその作用を説明する。
サーボモータ11を適宜の方向に回転・駆動することによりボールネジ25が同方向に回転する。このボールネジ25の回転によってボールナット29及びピストン部41が何れかの方向に移動する。そして、上記ピストン部41の移動によって、中空部材27を介して外周側に配置されているスライダ部71が、磁気式スラスト方向カップリング機構80を構成する駆動側磁石部60と従動側磁石部82の作用によって同方向に移動することになる。
この一連の動作において、スライダ部71はガイド機構91によってその回転を規制されており、又、磁気式回転方向カップリング機構86を介して、ピストン部41とボールナット29がその回転を規制されているものである。
又、スライダ部71が停止している状態でスライダ部71に何らかの外力が作用した場合について説明する。この場合には、磁気式回転方向カップリング機構86によってピストン部41とボールナット29の回転が規制されているので、ボールナット29が不用意に回転してしまうようなことを防止することができ、それによって、スライダ部71の誤動作は防止される。
又、何等かの外力の作用により磁気式スラスト方向カップリング機構80を構成する駆動側磁石部60と従動側磁石部82の間に位置ずれが生じたような場合について説明する。この場合には、磁気式回転方向カップリング機構86を構成する磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85を磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石63に比べて軸方向に長い構成としていて、特に、両者の長さの差は磁気式スラスト方向カップリング機構80が脱調するまでの変位量の2倍以上に設定されていので、磁気式回転方向カップリング機構86を構成する磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石63が磁気式回転方向カップリング機構外側磁石85からはみ出すことはなく、回転方向に対して常に一定のトルクを保持することができる。そして、磁気式回転方向カップリング機構86が脱調して所定の位置決めができなくなるような事態の発生が防止される。
又、磁気式スラスト方向カップリング機構80に何等かの外力が作用してこれが脱調するような事態の発生を想定する。この場合には、磁気式スラスト方向カップリング機構80が脱調する前に磁気式回転方向カップリング機構86が脱調するように、磁気式回転方向カップリング機構86のトルクを調整しているので、磁気式スラスト方向カップリング機構の脱調は確実に防止される。つまり、磁気式回転方向カップリング機構86をトルクリミッタとして機能させるようにしているものである。又、磁気式スラスト方向カップリング機構80が脱調した場合には、その後のリセットに困難を要してしまうが、磁気式回転方向カップリング機構86が脱調した場合には、回転方向に所定角度だけ回転して次の吸着ポイントに移行するだけであり、何等の不都合も生じないものである。
The operation will be described based on the above configuration.
The ball screw 25 rotates in the same direction by rotating and driving the servo motor 11 in an appropriate direction. As the ball screw 25 rotates, the ball nut 29 and the piston portion 41 move in either direction. Then, by the movement of the piston portion 41, the slider portion 71 disposed on the outer peripheral side via the hollow member 27 causes the driving side magnet portion 60 and the driven side magnet portion 82 that constitute the magnetic thrust direction coupling mechanism 80. It moves in the same direction by the action of.
In this series of operations, the rotation of the slider portion 71 is restricted by the guide mechanism 91, and the rotation of the piston portion 41 and the ball nut 29 is restricted via the magnetic rotational direction coupling mechanism 86. It is what.
A case where some external force is applied to the slider portion 71 while the slider portion 71 is stopped will be described. In this case, since the rotation of the piston portion 41 and the ball nut 29 is restricted by the magnetic rotational direction coupling mechanism 86, the ball nut 29 can be prevented from rotating carelessly. Thereby, malfunction of the slider part 71 is prevented.
A case will be described in which a positional deviation occurs between the driving side magnet portion 60 and the driven side magnet portion 82 constituting the magnetic thrust direction coupling mechanism 80 due to the action of some external force. In this case, the magnetic rotation direction coupling mechanism outer magnet 85 constituting the magnetic rotation direction coupling mechanism 86 is configured to be longer in the axial direction than the magnetic rotation direction coupling mechanism inner magnet 63. In particular, the difference in length between the two is set to be twice or more the amount of displacement until the magnetic thrust direction coupling mechanism 80 steps out, so the magnetic rotational direction constituting the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 is set. The coupling mechanism inner magnet 63 does not protrude from the magnetic rotational direction coupling mechanism outer magnet 85, and a constant torque can always be maintained in the rotational direction. Further, it is possible to prevent a situation in which the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 is out of step and the predetermined positioning cannot be performed.
Further, it is assumed that a situation occurs in which some external force acts on the magnetic thrust direction coupling mechanism 80 to cause the step-out. In this case, the torque of the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 is adjusted so that the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 will step out before the magnetic thrust direction coupling mechanism 80 steps out. The step-out of the magnetic thrust direction coupling mechanism is reliably prevented. That is, the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 is made to function as a torque limiter. Further, when the magnetic thrust direction coupling mechanism 80 has stepped out, it will be difficult to perform a subsequent reset. However, when the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 has stepped out, the rotational direction is predetermined. It only rotates to an angle and moves to the next suction point, and no inconvenience occurs.

以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、ボールネジ25とボールナット29等からなる機械構成部分が全て中空部材27内に収容・配置されていて隔離されているので、液体等の飛沫及び直接噴流下においても何等支障なく使用することができるようになった。
又、ボールネジ25とボールナット29等からなる機械構成部分が全て中空部材27内に収容・配置されていて隔離されているので、内部の油やグリース等が外部に流出することについても防止することができ、外部環境を汚染することがなくクリーンな環境下においても使用可能なアクチュエータを提供することができる。
又、従来のように高価な蛇腹や、複雑なラビリンス機構等を採用する必要がないため加工費を安くでき低コストでかつ容易に防塵、防滴構造のスライダータイプアクチュエータを実現可能である。
又、磁気式回転方向カップリング機構86を設けているので、スライダ部71に何らかの外力が作用しても、ボールナット29が不用意に回転してしまうようなことを防止することができ、それによって、スライダ部71の誤動作を防止することができる。
磁気式回転方向カップリング機構86においては、磁気式回転方向カップリング機構86を構成する磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85を磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石63に比べて軸方向に長い構成としている。具体的には、両者の長さの差は磁気式スラスト方向カップリング機構80が脱調するまでの変位量の2倍以上に設定されている。それによって、仮に、磁気式スラスト方向カップリング機構80を構成する駆動側磁石部60と従動側磁石部82の間に位置ずれが生じても、磁気式回転方向カップリング機構86を構成する磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石63が磁気式回転方向カップリング機構外側磁石85からはみ出すことがないので、回転方向に対して常に一定のトルクを保持することができる。そして、磁気式回転方向カップリング機構86が脱調して所定の位置決めができなくなるような事態の発生を防止することができる。
又、磁気式スラスト方向カップリング機構80が脱調する前に磁気式回転方向カップリング機構86が脱調するように、磁気式回転方向カップリング機構86のトルクを調整しているので、磁気式スラスト方向カップリング機構80の脱調を防止することができ、磁気式スラスト方向カップリング機構80の脱調による不具合の発生を防止することができる。
従動側磁石83と磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85は、共にその表面に樹脂のコーティング又はモールド処理が施されているので、それによって、所望の防錆効果を得ることができる。
又、磁気式回転方向カップリング機構86を構成する磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石63、磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85は、共に圧縮成形によるボンド磁石で製作されているので、簡単に後加工が可能であり様々な寸法に容易に対応可能である。又、圧縮方向の金型の範囲内で長さ調整が可能な為、多くの金型を用いることなく長さの異なる磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石63、磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石85を容易に製作できる。そして、モータトルクとリードに対応した最適な回転カップリング機構86を容易に製作することができる。
As described above, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
First, since all the mechanical components including the ball screw 25 and the ball nut 29 are housed and isolated in the hollow member 27, they can be used without any trouble even in the case of liquid droplets or direct jet flow. I can do it now.
In addition, since all the mechanical components including the ball screw 25 and the ball nut 29 are housed and isolated in the hollow member 27, it is possible to prevent internal oil and grease from flowing out to the outside. Thus, an actuator that can be used in a clean environment without polluting the external environment can be provided.
Further, since it is not necessary to employ an expensive bellows or a complicated labyrinth mechanism as in the prior art, the processing cost can be reduced, and a slider type actuator having a dustproof and dripproof structure can be easily realized at a low cost.
Further, since the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 is provided, it is possible to prevent the ball nut 29 from rotating carelessly even if some external force is applied to the slider portion 71. Thus, the malfunction of the slider portion 71 can be prevented.
In the magnetic rotational direction coupling mechanism 86, the magnetic rotational direction coupling mechanism outer magnet 85 constituting the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 is axially compared with the magnetic rotational direction coupling mechanism inner magnet 63. It has a long configuration. Specifically, the difference in length between the two is set to be twice or more the amount of displacement until the magnetic thrust direction coupling mechanism 80 steps out. As a result, even if a positional deviation occurs between the driving side magnet portion 60 and the driven side magnet portion 82 constituting the magnetic thrust direction coupling mechanism 80, the magnetic type constituting the magnetic rotational direction coupling mechanism 86. Since the rotation direction coupling mechanism inner magnet 63 does not protrude from the magnetic rotation direction coupling mechanism outer magnet 85, a constant torque can always be maintained in the rotation direction. Further, it is possible to prevent a situation in which the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 is out of step and cannot be positioned in a predetermined manner.
Further, the torque of the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 is adjusted so that the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 is stepped out before the magnetic thrust direction coupling mechanism 80 is stepped out. The step-out of the thrust direction coupling mechanism 80 can be prevented, and the occurrence of problems due to the step-out of the magnetic thrust direction coupling mechanism 80 can be prevented.
Since both the driven magnet 83 and the outer magnet 85 for the magnetic rotational direction coupling mechanism are coated with resin or molded on the surfaces thereof, a desired rust prevention effect can be obtained.
Also, the magnetic rotational coupling mechanism inner magnet 63 and the magnetic rotational coupling mechanism outer magnet 85 constituting the magnetic rotational coupling mechanism 86 are both made of compression-bonded magnets. It can be easily post-processed and can easily cope with various dimensions. Further, since the length can be adjusted within the range of the mold in the compression direction, the inner magnet 63 for the magnetic rotational direction coupling mechanism having different lengths without using many molds, the magnetic rotational direction coupling mechanism The outer magnet 85 can be easily manufactured. Then, the optimum rotational coupling mechanism 86 corresponding to the motor torque and the lead can be easily manufactured.

次に、本発明の第2の実施の形態を説明する。この第2の実施の形態においては、前記第1の実施の形態の構成において、さらに、サーボモータ11側において電流制限をかけることにより、サーボモータ11の最大出力トルクを制限するように構成するものである。
尚、それ以外の構成は前記第1の実施の形態の場合と同様である。
そして、このような構成とすることにより、磁気式回転方向カップリング機構86がトルクリミッタとして機能すると共に、サーボモータ11の最大出力トルクが制限されているので、磁気式スラスト方向カップリング機構80の脱調を確実に防止することができる。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the second embodiment, in the configuration of the first embodiment, the maximum output torque of the servo motor 11 is limited by applying a current limit on the servo motor 11 side. It is.
Other configurations are the same as those in the first embodiment.
With such a configuration, the magnetic rotational direction coupling mechanism 86 functions as a torque limiter and the maximum output torque of the servo motor 11 is limited. Step-out can be reliably prevented.

次に、本発明の第3の実施の形態を説明する。この第3の実施の形態の場合には、環境温度の変化によって、中空部材27内或いはサーボモータカバ9内に圧力差が発生しないように圧力調整機構を設けたものである。具体的には、中空部材27の端面に通気性は有るが液密を保持できるシール部材を介在させ、それによって、中空部材27内と外気とを連通させて圧力差が生じないような構成にしたものである。同様に、サーボモータカバ9についても、その端面に同様のシール部材を介在させて、サーボモータカバ9内と外気とを連通させて圧力差が生じないように構成したものである。
尚、その他の構成は前記第1の実施の形態の場合と同じである。
そして、このような構成とすることにより、圧力差が発生することにより各種不具合、例えば、結露等の発生を防止することができる。
Next, a third embodiment of the present invention will be described. In the case of the third embodiment, a pressure adjustment mechanism is provided so that a pressure difference does not occur in the hollow member 27 or the servo motor cover 9 due to a change in environmental temperature. Specifically, the end face of the hollow member 27 is provided with a sealing member that is air permeable but can maintain liquid tightness, thereby allowing the inside of the hollow member 27 to communicate with the outside air so that no pressure difference is generated. It is a thing. Similarly, the servo motor cover 9 is also configured such that a similar sealing member is interposed on the end face thereof so that the inside of the servo motor cover 9 communicates with the outside air so that no pressure difference is generated.
Other configurations are the same as those in the first embodiment.
And by setting it as such a structure, generation | occurrence | production of various malfunctions, for example, dew condensation etc., can be prevented when a pressure difference generate | occur | produces.

尚、本発明は前記第1〜第3の実施の形態に限定されるものではない。
まず、駆動側磁石部と従動側磁石部を構成する駆動部側磁石と従動部側磁石の個数、大きさ等についてはこれを特に限定するものではない。
又、前記第1〜第3の実施の形態の場合には、ボールネジ・ボールナット機構を例に挙げて説明したが、それ以外にも、送りねじとして台形ねじを使用する構成、他様々な構成が想定される。
又、駆動側磁石部と従動側磁石部を構成する駆動部側磁石と従動部側磁石の着磁の態様についても図示したものはあくまで一例である。
The present invention is not limited to the first to third embodiments.
First, the number, size, etc. of the drive unit side magnet and the driven unit side magnet constituting the drive side magnet unit and the driven side magnet unit are not particularly limited.
In the case of the first to third embodiments, the ball screw / ball nut mechanism has been described as an example, but in addition to this, a configuration using a trapezoidal screw as a feed screw, and various other configurations Is assumed.
Moreover, what was illustrated about the aspect of magnetization of the drive part side magnet and driven part side magnet which comprise a drive side magnet part and a driven side magnet part is an example to the last.

本発明は、アクチュエータに係り、特に、塵埃の多い環境下における使用や、水の直接噴流下においても問題なく使用することができるように工夫したものに関し、例えば、食品加工工場や梱包工場等において使用される各種のアクチュエータに好適である。 The present invention relates to an actuator, and in particular, to an actuator devised so that it can be used without problems even under a dusty environment or under a direct jet of water, for example, in a food processing factory or a packing factory. It is suitable for various actuators used.

本発明の第1〜第3の実施の形態を示す図で、アクチュエータの全体の外観を示す斜視図である。It is a figure which shows the 1st-3rd embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the external appearance of the whole actuator. 本発明の第1〜第3の実施の形態を示す図で、アクチュエータの内部の構成を示す斜視図である。It is a figure which shows the 1st-3rd embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the structure inside an actuator. 本発明の第1〜第3の実施の形態を示す図で、アクチュエータの内部の構成を示す平面図である。It is a figure which shows the 1st-3rd embodiment of this invention, and is a top view which shows the structure inside an actuator. 本発明の第1〜第3の実施の形態を示す図で、アクチュエータの内部の構成を示す断面図である。It is a figure which shows the 1st-3rd embodiment of this invention, and is sectional drawing which shows the structure inside an actuator. 本発明の第1〜第3の実施の形態を示す図で、図4のV部を拡大して示す断面図である。It is a figure which shows the 1st-3rd embodiment of this invention, and is sectional drawing which expands and shows the V section of FIG. 本発明の第1〜第3の実施の形態を示す図で、磁気式回転方向カップリング機構の構成を示す横断面図である。It is a figure which shows the 1st-3rd embodiment of this invention, and is a cross-sectional view which shows the structure of a magnetic rotation direction coupling mechanism.

符号の説明Explanation of symbols

1 ハウジング
3 底壁
5 側壁
7 端部材
9 サーボモータハウジング
11 サーボモータ
25 ボールネジ(ネジ)
27 中空部材
29 ボールナット(ナット)
41 ピストン部
60 駆動側磁石部
61 駆動側磁石
63 磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石
71 スライダ部
80 磁気式スラスト方向カップリング機構
82 従動側磁石部
83 従動側磁石
85 磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石
86 磁気式回転方向カップリング機構


DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Housing 3 Bottom wall 5 Side wall 7 End member 9 Servo motor housing 11 Servo motor 25 Ball screw (screw)
27 Hollow member 29 Ball nut (nut)
41 Piston part 60 Drive side magnet part 61 Drive side magnet 63 Inner magnet 71 for magnetic rotation direction coupling mechanism Slider part 80 Magnetic thrust direction coupling mechanism 82 Driven side magnet part 83 Driven side magnet 85 Magnetic rotation direction coupling Outer magnet 86 for mechanism Magnetic rotation direction coupling mechanism


Claims (7)

中空部材と、
上記中空部材の内周側に収容・配置され回転駆動されるネジと、
上記中空部材の内周側に収容・配置され上記ネジに対して螺合・配置されたナットと、
上記中空部材の内周側に収容・配置され上記ナットに固着されたピストン部と、
上記ピストン部に設けられた駆動側磁石部と、
上記中空部材の外周側にその回転を規制された状態で移動可能に配置されたスライダ部と、
上記スライダ部に設けられ上記駆動側磁石部との組合せによって磁気式スラスト方向カップリング機構を構成する従動側磁石部と、
を具備し、
上記ネジを回転・駆動することにより上記ナット及び上記ピストン部を適宜の方向に移動させ、それによって、上記駆動側磁石部と従動側磁石部とから構成される磁気式スラスト方向カップリング機構の作用によって上記スライダ部を同方向に移動させるように構成したことを特徴とするアクチュエータ。
A hollow member;
A screw that is housed and disposed on the inner peripheral side of the hollow member and is driven to rotate;
A nut housed and arranged on the inner peripheral side of the hollow member and screwed and arranged with respect to the screw;
A piston portion housed and disposed on the inner peripheral side of the hollow member and fixed to the nut;
A driving side magnet portion provided in the piston portion;
A slider part arranged movably on the outer peripheral side of the hollow member in a state where its rotation is restricted;
A driven-side magnet unit that is provided in the slider unit and constitutes a magnetic thrust direction coupling mechanism in combination with the driving-side magnet unit;
Comprising
By rotating and driving the screw, the nut and the piston part are moved in an appropriate direction, whereby the action of the magnetic thrust direction coupling mechanism composed of the driving side magnet part and the driven side magnet part is achieved. The slider is configured to move the slider portion in the same direction.
請求項1記載のアクチュエータにおいて、
上記中空部材は非磁性材料から構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 1, wherein
The said hollow member is comprised from the nonmagnetic material, The actuator characterized by the above-mentioned.
請求項1又は請求項2記載のアクチュエータにおいて、
上記従動側磁石部は磁石の表面に樹脂をコーティング又はモールドされたものであることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 1 or 2,
The actuator is characterized in that the driven-side magnet portion is a magnet whose surface is coated or molded with resin.
請求項1記載のアクチュエータにおいて、
上記ピストン部とスライダ部との間には上記中空部材を挟んで磁気式回転方向カップリング機構が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 1, wherein
An actuator characterized in that a magnetic rotational direction coupling mechanism is provided between the piston portion and the slider portion with the hollow member interposed therebetween.
請求項4記載のアクチュエータにおいて、
上記磁気式回転方向カップリング機構は、上記ピストン部に設けられた磁気式回転方向カップリング機構用内側磁石と、上記スライダ部に設けられた磁気式回転方向カップリング機構用外側磁石とから構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 4, wherein
The magnetic rotation direction coupling mechanism includes an inner magnet for a magnetic rotation direction coupling mechanism provided in the piston portion, and an outer magnet for a magnetic rotation direction coupling mechanism provided in the slider portion. An actuator characterized by that.
請求項1〜請求項5の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記ネジはボールネジであることを特徴とするアクチュエータ。
In the actuator according to any one of claims 1 to 5,
The actuator is characterized in that the screw is a ball screw.
請求項1〜請求項5の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記ネジは台形ネジであることを特徴とするアクチュエータ。
In the actuator according to any one of claims 1 to 5,
The actuator is characterized in that the screw is a trapezoidal screw.
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