JP2006078498A - Manufacturing method of dna chip - Google Patents

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Juichi Hirota
寿一 廣田
Nobuo Takahashi
伸夫 高橋
Yukihisa Takeuchi
幸久 武内
Kosei Onishi
孝生 大西
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To realize the uniformity of a spot diameter formed on a substrate and improve the quality and the reliability of DNA chips, by performing a dosing control in response to the types of sample solutions supplied to the substrate. <P>SOLUTION: When the thickness shape of a spot 80 on the substrate 10 to which the sample solutions are supplied is raised on a fringe portion 130, the so-called "doughnut-shape", the substrate 10 is cooled to 0°C and thereafter treatment for returning to the environment of ambient temperature in which a sufficient volume of gas with a humidity of 30% or higher is present. Moisture is supplied to the spot 80 of the doughnut-shape and the fluidity of the sample solutions in the spot 80 increases to change into hemispherical shape by surface tension force, and then the raise of the fringe portion 130 vanishes. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、顕微鏡スライドグラス等の基板上に、数千から一万種類以上の異なる種類のDNA断片をスポットとして高密度に整列固定させたDNAチップ(DNAマイクロアレイ)の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a DNA chip (DNA microarray) in which thousands to 10,000 or more different types of DNA fragments are aligned and fixed as spots on a substrate such as a microscope slide glass.

近年における遺伝子構造の解析方法の進歩にはめざましいものがあり、ヒトの遺伝子をはじめとして、多数の遺伝子構造が明らかにされてきている。このような遺伝子構造の解析には、顕微鏡スライドグラス等の基板上に数千から一万種類以上の異なる種類のDNA断片をスポットとして整列固定させたDNAチップ(DNAマイクロアレイ)が用いられるようになってきている。   In recent years, there has been a remarkable progress in gene structure analysis methods, and a large number of gene structures including human genes have been revealed. For analysis of such a gene structure, a DNA chip (DNA microarray) in which thousands to 10,000 or more different kinds of DNA fragments are aligned and fixed as spots on a substrate such as a microscope slide glass has come to be used. It is coming.

このDNAチップの製造におけるスポットの形成方法としては、QUILL方式、ピン&リング方式、あるいはスプリングピン方式といった、いわゆるピンによる基板上へのDNA断片を含んだ試料溶液の供給(打ち込み)を行う方式が広く用いられており、いずれの方法を採用した場合であっても、各スポットの容量と形状のばらつきを低く抑えて、各スポット間の距離を一定に保つことが重要となる。   As a method for forming spots in the manufacture of this DNA chip, there is a method of supplying (driving) a sample solution containing a DNA fragment onto a substrate by a so-called pin, such as a QUILL method, a pin & ring method, or a spring pin method. Regardless of which method is used, it is important to keep the distance between each spot constant by keeping the variation in the capacity and shape of each spot low.

一方、更なる高密度化に向けて、スポットの形状制御性が良好であり、生産性に優れた新しい方法の開発に対する期待も大きい(特許文献1〜3参照)。   On the other hand, there is a great expectation for the development of a new method with good spot shape controllability and excellent productivity for higher density (see Patent Documents 1 to 3).

特開平11−99000号公報JP-A-11-99000 国際公開第99/02266号パンフレットInternational Publication No. 99/02266 Pamphlet 国際公開第97/44134号パンフレットWO 97/44134 pamphlet

ところで、図16に示すように、基板200上に、試料溶液の滴下によるスポット202を形成した際、該スポット202は、その表面張力によって半球状となる。この場合、基板200上に固定化される実質的な試料の量としては、基板200に接する僅かな部分204だけであり、その量は、全体(半球状)のごく一部である。残りの部分206は、固定化されていないため、その後の洗浄工程で洗い流されてしまい、試料溶液の損失が多く、試料溶液の使用効率が低いという問題がある。   By the way, as shown in FIG. 16, when a spot 202 is formed on the substrate 200 by dropping the sample solution, the spot 202 becomes hemispherical due to the surface tension. In this case, the amount of the substantial sample immobilized on the substrate 200 is only a small portion 204 in contact with the substrate 200, and the amount is a very small part of the whole (hemisphere). Since the remaining portion 206 is not immobilized, the remaining portion 206 is washed away in the subsequent washing step, and there is a problem that the loss of the sample solution is large and the use efficiency of the sample solution is low.

DNAチップを製造する際のコストは、実質的に試料溶液の量で支配され、上述の例の場合、ほとんどの試料溶液が流されてしまい、生産効率の向上の点で不利になる。   The cost for manufacturing the DNA chip is substantially controlled by the amount of the sample solution, and in the case of the above example, most of the sample solution is flowed, which is disadvantageous in terms of improving the production efficiency.

また、1つの基板上には、数千から一万種類以上の異なる種類の試料溶液が滴下されることになるが、種類の異なる試料溶液毎に、粘度や表面張力が異なることから、同一のスポット径を得るためには、試料溶液の滴下量を粘度や表面張力等に応じて変える必要がある。   In addition, several thousand to 10,000 or more different types of sample solutions are dropped on a single substrate. However, because different types of sample solutions have different viscosities and surface tensions, they are the same. In order to obtain the spot diameter, it is necessary to change the dropping amount of the sample solution according to the viscosity, the surface tension, and the like.

しかし、従来の手法では、ピンに付着した試料溶液をピンごと基板に物理的に接触させて、試料溶液を滴下するようにしているため、基板上へのスポットの形成を1回の滴下で行うようになっており、きめ細かな滴下制御(滴下量や滴下位置の制御)を行うことができず、基板上に形成されたスポットの径にばらつきが生じるという問題がある。   However, in the conventional method, since the sample solution adhering to the pins is physically brought into contact with the substrate together with the pins and the sample solution is dropped, the spot is formed on the substrate by one drop. Thus, fine drop control (control of drop amount and drop position) cannot be performed, and there is a problem that the diameter of the spot formed on the substrate varies.

また、試料溶液中のDNA断片の基板上への固定化をより確実なものとするため、試料溶液中に有機、あるいは無機ポリマーを混合させ、ポリマー架橋中にDNA断片を物理的に保持する方法も開発されているが、この場合、試料溶液の粘度が増大し、乾燥、増粘、固化しやすいものとなり、スポット形成時の試料のポットライフが短くなったり、1回の滴下量が増えてしまう問題がある。   In addition, in order to more reliably fix the DNA fragment in the sample solution on the substrate, a method of mixing the organic or inorganic polymer in the sample solution and physically holding the DNA fragment during polymer crosslinking However, in this case, the viscosity of the sample solution increases, and it becomes easy to dry, thicken, and solidify, shortening the pot life of the sample at the time of spot formation, and increasing the amount of one drop. There is a problem.

本発明はこのような課題を考慮してなされたものであり、コストの高い試料溶液の使用効率を向上させることができ、DNAチップの生産性の向上及び歩留まりの向上を図ることができるDNAチップの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, a DNA chip capable of improving the efficiency of use of a high-cost sample solution, and improving the productivity and yield of the DNA chip. It aims at providing the manufacturing method of.

また、本発明の他の目的は、基板上に供給する試料溶液の種類に応じた供給制御を行うことができ、基板上に形成されるスポット径の均一化を図ることができ、DNAチップの品質並びに信頼性の向上を図ることができるDNAチップの製造方法を提供することにある。   Another object of the present invention is to control the supply according to the type of sample solution supplied on the substrate, to make the spot diameter formed on the substrate uniform, An object of the present invention is to provide a DNA chip manufacturing method capable of improving quality and reliability.

本発明に係るDNAチップの製造方法は、試料溶液を基板上にインクジェット方式で供給して、前記基板上に試料溶液によるスポットが多数配列されたDNAチップを製造するDNAチップの製造方法において、前記試料溶液を前記基板上に供給する際に、前記試料溶液を吐出、供給する箇所の周りの湿度をその他の部分より選択的に高くして、前記試料溶液が乾燥もしくは増粘もしくは固化しないようにしたことを特徴とする。これにより、特に、乾燥、増粘、固化しやすい試料溶液を用いる場合に、吐出不良を回避できる。   The method for producing a DNA chip according to the present invention includes: supplying a sample solution onto a substrate by an inkjet method, and producing a DNA chip in which a large number of spots of the sample solution are arranged on the substrate. When supplying the sample solution onto the substrate, the humidity around the portion where the sample solution is discharged and supplied is selectively made higher than other parts so that the sample solution does not dry, thicken or solidify. It is characterized by that. Thereby, discharge failure can be avoided especially when using a sample solution which is easy to dry, thicken and solidify.

また、本発明においては、前記基板上に前記試料溶液が供給されてスポットが多数配列された基板を作製した後に、前記基板を0℃以下に冷却した後、湿度30%以上の十分な体積の気体が存在する室温下に戻す工程を採用してもよい。   Further, in the present invention, after the sample solution is supplied onto the substrate to produce a substrate on which a large number of spots are arranged, the substrate is cooled to 0 ° C. or lower, and then has a sufficient volume of 30% or higher. You may employ | adopt the process returned to the room temperature in which gas exists.

さらに、前記基板上に前記試料溶液が供給されてスポットが多数配列された基板を作製した後に、前記基板を、湿度80%以上の十分な体積の気体が存在する雰囲気下にさらしたり、ミストを含んだ水蒸気中にさらしてもよい。   Furthermore, after the sample solution is supplied onto the substrate to produce a substrate on which a large number of spots are arranged, the substrate is exposed to an atmosphere containing a sufficient volume of gas having a humidity of 80% or more, or mist is applied. It may be exposed to the steam contained.

これらの発明は、ポリマー等を混合させ、粘度を増加させた試料溶液を用い、試料溶液の滴下方法を調整し、基板上のスポットの形状を、例えばスポットの周縁部分が盛り上がり、中央部分が凹んだ、いわゆるドーナツ形状を呈するようにする場合に好適に採用される。   These inventions use a sample solution in which a polymer or the like is mixed to increase the viscosity, adjust the dropping method of the sample solution, and adjust the shape of the spot on the substrate, for example, the peripheral portion of the spot is raised and the central portion is recessed. However, it is preferably used when presenting a so-called donut shape.

このようなドーナツ形状の場合、スポットの周縁部分と基板の境界が際立って観測されやすくなり、DNA断片を含む試料溶液のように、無色透明な液体のスポットを、無色透明のガラス基板等の上に形成する場合に、そのスポット形状を観測しやすくなり、スポット形状の良否を検査しやすくなるという利点を有する。   In the case of such a donut shape, the boundary between the peripheral edge of the spot and the substrate is easily observed, and a spot of a colorless and transparent liquid is placed on a colorless and transparent glass substrate or the like like a sample solution containing a DNA fragment. In the case of forming the film, the spot shape can be easily observed, and it is easy to inspect the quality of the spot shape.

しかしながら、このようなドーナツ形状を呈したスポットにおいては、多くの場合、その後の固定化時の洗浄工程で周縁の盛り上がり部分の大半が洗い流されたとしても、固定化される実質的な試料は周縁部分で多く(濃く)なることから、DNAチップとして使用したときに、スポットから発せられる蛍光発光量の分布は、スポット内でドーナツ形状を呈することになり、感度の劣化、ばらつきの一因となってしまう。   However, in such a spot having a donut shape, in many cases, even if most of the bulging portion of the peripheral edge is washed away in the subsequent cleaning process at the time of immobilization, the substantial sample to be immobilized is the peripheral edge. Since it becomes large (darker) in the part, when used as a DNA chip, the distribution of the amount of fluorescent light emitted from the spot exhibits a donut shape within the spot, which causes a deterioration in sensitivity and variation. End up.

従って、検査のしやすさ(ドーナツ形状)と、スポット形状の良さ(非ドーナツ形状)を両立させるためには、基板に試料溶液を供給する際は、インクジェット方式等で吐出し、基板に試料溶液を滴下させ、その運動エネルギーと基板との疎水性の制御で試料溶液を、そのスポットの周縁部分に集中させるようにしてドーナツ形状を形成し、その後、液体の表面張力により球状にならない程度に、予め試料溶液の粘度を増加させる一方、検査終了後には、スポットを形成する試料溶液の流動性を増し、表面張力により、ドーナツ形状を非ドーナツ形状に変化させる方法が適している。本発明は、この方法を実現するために好適である。   Therefore, in order to achieve both the ease of inspection (doughnut shape) and the good spot shape (non-doughnut shape), when supplying the sample solution to the substrate, the sample solution is ejected by the inkjet method or the like. In order to concentrate the sample solution on the peripheral part of the spot by controlling the kinetic energy and the hydrophobicity of the substrate, a donut shape is formed, and then it does not become spherical due to the surface tension of the liquid, While increasing the viscosity of the sample solution in advance, after completion of the inspection, a method of increasing the fluidity of the sample solution forming a spot and changing the donut shape to a non-doughnut shape by surface tension is suitable. The present invention is suitable for realizing this method.

すなわち、ドーナツ形状のスポットが形成された基板を0℃以下に冷却した後、湿度30%以上の十分な体積の気体が存在する室温下に戻すことや、前記基板を湿度80%以上の十分な体積の気体が存在する雰囲気下にさらしたり、ミストを含んだ水蒸気中にさらしたりすることで、周りの気体から試料溶液中に水分が取り込まれたり、ミストが接触して試料溶液の流動性が増し、スポット形状が非ドーナツ形状である半球状に変化し、もって、DNAチップの感度向上、感度ばらつきの低減が図られることになる。もちろん、スポット形状が、半球状になった後は、速やかに基板を乾燥工程に投入し、形状の固定化を行ってもよい。なお、水蒸気にさらす場合は、水蒸気の温度をDNA断片が変質しない程度の温度以下にしなければならないことはもちろんである。   That is, after cooling the substrate on which the doughnut-shaped spot is formed to 0 ° C. or lower, the substrate is returned to room temperature where a sufficient volume of gas having a humidity of 30% or more exists, or the substrate is sufficiently heated to have a humidity of 80% or more. When exposed to an atmosphere containing a volume of gas or exposed to water vapor containing mist, moisture is taken into the sample solution from the surrounding gas, or the fluidity of the sample solution is affected by contact with the mist. As a result, the spot shape changes to a hemispherical shape that is a non-doughnut shape, thereby improving the sensitivity of the DNA chip and reducing the sensitivity variation. Of course, after the spot shape has become hemispherical, the substrate may be immediately put into a drying process to fix the shape. In addition, when exposed to water vapor | steam, of course, the temperature of water vapor | steam must be below the temperature which does not denature a DNA fragment.

以上説明したように、本発明に係るDNAの製造方法によれば、コストの高い試料溶液の使用効率を向上させることができ、DNAチップの生産性の向上及び歩留まりの向上を図ることができる。また、滴下する試料溶液の種類に応じた滴下制御を行うことができ、基板上に形成されるスポット径の均一化を図ることができ、DNAチップの品質並びに信頼性の向上を図ることができる。   As described above, according to the method for producing DNA according to the present invention, it is possible to improve the use efficiency of the costly sample solution, and to improve the productivity and yield of the DNA chip. Further, the dropping control according to the type of the sample solution to be dropped can be performed, the spot diameter formed on the substrate can be made uniform, and the quality and reliability of the DNA chip can be improved. .

以下、本発明に係るDNAチップの製造方法のいくつかの実施の形態例を図1〜図15を参照しながら説明する。   Several embodiments of the method for producing a DNA chip according to the present invention will be described below with reference to FIGS.

本実施の形態に係るDNAチップの製造方法は、図1に示すように、基板10の表面にpoly−L−lysine層12(図10A参照)を形成する前処理工程S1と、DNA断片を含む試料を調製する試料調製工程S2と、得られた試料の濃度を希釈する希釈工程S3と、希釈された試料溶液を基板10上に供給(滴下を含む)して、図3に示すように、基板10上に多数のスポット80が配列されたスポット済み基板を作成する供給工程S4と、基板10に熱を加えてスポット80を乾燥させる乾燥工程S5と、スポット80中のDNA断片を基板10上に固定化する固定化工程S6とからなり、図3に示すDNAチップ20を製造する。   As shown in FIG. 1, the method for manufacturing a DNA chip according to the present embodiment includes a pretreatment step S1 for forming a poly-L-lysine layer 12 (see FIG. 10A) on the surface of a substrate 10, and a DNA fragment. A sample preparation step S2 for preparing a sample, a dilution step S3 for diluting the concentration of the obtained sample, and supplying the diluted sample solution onto the substrate 10 (including dripping), as shown in FIG. A supply step S4 for creating a spotted substrate in which a large number of spots 80 are arranged on the substrate 10, a drying step S5 for drying the spot 80 by applying heat to the substrate 10, and DNA fragments in the spots 80 on the substrate 10 The DNA chip 20 shown in FIG. 3 is manufactured.

また、試料調製工程S2は、図2に示すように、DNA断片をPCR増幅してPCR産物を調製する増幅工程S11と、得られたPCR産物を乾燥してDNA粉末とする粉末生成工程S12と、得られたDNA粉末を緩衝液に溶かす混合工程S13とを含む。   Further, as shown in FIG. 2, the sample preparation step S2 includes an amplification step S11 for PCR amplification of a DNA fragment to prepare a PCR product, and a powder generation step S12 for drying the obtained PCR product to obtain a DNA powder. And a mixing step S13 in which the obtained DNA powder is dissolved in a buffer solution.

具体的に説明すると、前処理工程S1は、まず、基板10をアルカリ溶液に浸し、室温で少なくとも2時間ゆっくりと振盪する。前記アルカリ溶液は、例えばNaOHを蒸留水に溶かし、さらにエタノールを加えて、完全に透明になるまで攪拌した溶液である。   Specifically, in the pretreatment step S1, first, the substrate 10 is immersed in an alkaline solution and slowly shaken at room temperature for at least 2 hours. The alkaline solution is, for example, a solution in which NaOH is dissolved in distilled water, ethanol is further added, and the mixture is stirred until it becomes completely transparent.

その後、基板10を取り出して、蒸留水中に移し、リンスして、アルカリ溶液を除去する。次いで、蒸留水中にpoly−L−lysineを加えて調製されたpoly−L−lysine液に基板10を浸し、1時間放置する。   Thereafter, the substrate 10 is taken out, moved into distilled water, rinsed, and the alkaline solution is removed. Next, the substrate 10 is immersed in a poly-L-lysine solution prepared by adding poly-L-lysine in distilled water, and left for 1 hour.

その後、基板10を取り出して、遠心機にかけて遠心し、余分なpoly−L−lysine液を除去する。次いで、基板10を40℃、5分ほど乾燥させて、表面にpoly−L−lysine層12が形成された基板10を得る。   Thereafter, the substrate 10 is taken out and centrifuged in a centrifuge to remove excess poly-L-lysine solution. Next, the substrate 10 is dried at 40 ° C. for about 5 minutes to obtain the substrate 10 on which the poly-L-lysine layer 12 is formed.

次に、試料調製工程S2は、まず、既知のPCR機で増幅したPCR産物(増幅工程S11)に、3Msodium acetateとイソプロパノールとを加え、数時間放置する。その後、このPCR産物溶液を遠心機で遠心し、DNA断片を沈殿させる。   Next, in the sample preparation step S2, first, 3Msodium acetate and isopropanol are added to a PCR product (amplification step S11) amplified by a known PCR machine, and left for several hours. Thereafter, the PCR product solution is centrifuged with a centrifuge to precipitate DNA fragments.

沈殿させたDNA断片をエタノールでリンスし、遠心の後、乾燥させてDNA粉末を生成する(粉末生成工程S12)。得られたDNA粉末に緩衝液(例えばTEバッファ溶液)を加え、数時間放置して完全に溶かすことによって(混合工程S13)、試料が調製される。この段階での試料の濃度は1〜10μg/μリットルである。   The precipitated DNA fragments are rinsed with ethanol, centrifuged and then dried to produce DNA powder (powder production step S12). A sample is prepared by adding a buffer solution (for example, TE buffer solution) to the obtained DNA powder and allowing it to stand for several hours to completely dissolve (mixing step S13). The concentration of the sample at this stage is 1 to 10 μg / μl.

そして、この実施の形態では、得られた試料の濃度を希釈する(希釈工程S3)。この希釈工程S3では、前記試料を水や塩化ナトリウムを含む水溶液や、ポリマーを含む水溶液等で希釈するようにしている。なお、希釈後の試料溶液は、必要に応じて1時間〜数時間放置するか、冷凍−解凍の混合を行って、試料と希釈液とをなじませてもよい。その後、前記希釈された試料溶液を遠心分離又は真空脱泡処理して溶液中の泡を取り除いた後、基板10上に供給してスポット済み基板を作成する(供給工程S4)。   In this embodiment, the concentration of the obtained sample is diluted (dilution step S3). In the dilution step S3, the sample is diluted with an aqueous solution containing water or sodium chloride, an aqueous solution containing a polymer, or the like. The diluted sample solution may be allowed to stand for 1 hour to several hours as necessary, or may be mixed by freezing and thawing to mix the sample and the diluted solution. Thereafter, the diluted sample solution is centrifuged or vacuum defoamed to remove bubbles in the solution, and then supplied onto the substrate 10 to create a spotted substrate (supplying step S4).

特に、この実施の形態では、供給工程S4に、図4A〜図4C及び図5に示すような分注装置30を使用する。   In particular, in this embodiment, a dispensing device 30 as shown in FIGS. 4A to 4C and FIG. 5 is used in the supply step S4.

この分注装置30は、矩形状の固定板32の上面に例えば10個のマイクロピペット34を5行2列に配列し、各列方向に整列されたマイクロピペット34群をそれぞれ固定治具36を介して固定板32に固定させた構成を有する。   In the dispensing device 30, for example, 10 micropipettes 34 are arranged in 5 rows and 2 columns on the upper surface of a rectangular fixed plate 32, and a group of micropipettes 34 aligned in the direction of each column is provided with a fixing jig 36. It has the structure fixed to the fixed plate 32 via.

マイクロピペット34は、図4C及び図5に示すように、ほぼ直方体の形状を有する基体50の上面に形成された試料注入口52と、該基体50の下面に形成された試料吐出口54と、内部に試料注入口52と試料吐出口54との間に形成されたキャビティ56と、基体50を振動させたり、キャビティ56の体積を変化させたりするアクチュエータ部58とを有して構成されている。   As shown in FIGS. 4C and 5, the micropipette 34 includes a sample injection port 52 formed on the upper surface of the substrate 50 having a substantially rectangular parallelepiped shape, a sample discharge port 54 formed on the lower surface of the substrate 50, and A cavity 56 formed between the sample injection port 52 and the sample discharge port 54 and an actuator unit 58 that vibrates the base body 50 and changes the volume of the cavity 56 are configured. .

従って、図5に示すように、前記固定板32には、マイクロピペット34の試料吐出口54に対応する箇所にそれぞれ貫通孔40が設けられている。これにより、マイクロピペット34の試料吐出口54から吐出された試料溶液が、前記貫通孔40を通じて、例えば固定板32の下方に固定された基板10に供給されることになる。   Therefore, as shown in FIG. 5, the fixing plate 32 is provided with through holes 40 at locations corresponding to the sample discharge ports 54 of the micropipette 34. As a result, the sample solution discharged from the sample discharge port 54 of the micropipette 34 is supplied to the substrate 10 fixed below, for example, the fixed plate 32 through the through hole 40.

このマイクロピペット34は、試料注入口52から基体50の内部にかけて開口幅の大きいほぼL字状の導入穴60が形成されている。この導入穴60とキャビティ56との間には、径の小さい第1の連通孔62が形成され、試料注入口52から注入された試料溶液が導入穴60及び第1の連通孔62を通じてキャビティ56に導入されるようになっている。   The micropipette 34 has a substantially L-shaped introduction hole 60 having a large opening width from the sample injection port 52 to the inside of the substrate 50. A first communication hole 62 having a small diameter is formed between the introduction hole 60 and the cavity 56, and the sample solution injected from the sample injection port 52 passes through the introduction hole 60 and the first communication hole 62 to form the cavity 56. To be introduced.

キャビティ56のうち、前記第1の連通孔62とは異なる位置に、試料吐出口54に連通し、且つ、第1の連通孔62よりも径の大きい第2の連通孔64が形成されている。本実施の形態では、キャビティ56の下面のうち、試料注入口52寄りに第1の連通孔62を形成し、同じくキャビティ56の下面のうち、試料吐出口54に対応した位置に第2の連通孔64を形成するようにしている。   A second communication hole 64 communicating with the sample discharge port 54 and having a diameter larger than that of the first communication hole 62 is formed at a position different from the first communication hole 62 in the cavity 56. . In the present embodiment, the first communication hole 62 is formed near the sample injection port 52 in the lower surface of the cavity 56, and the second communication is formed at a position corresponding to the sample discharge port 54 in the lower surface of the cavity 56. A hole 64 is formed.

さらに、この実施の形態では、基体50のうち、キャビティ56の上面が接する部分が薄肉とされ、外部応力に対して振動を受けやすい構造となっており、振動部66として機能するようになっている。振動部66の上面に前記アクチュエータ部58が形成されている。   Further, in this embodiment, the portion of the base body 50 where the upper surface of the cavity 56 contacts is thin, and is structured to be easily subjected to vibration against external stress, and functions as the vibrating portion 66. Yes. The actuator portion 58 is formed on the upper surface of the vibration portion 66.

基体50は、複数枚のジルコニアセラミックスのグリーンシート(第1の薄板層50A、第1のスペーサ層50B、第2の薄板層50C、第2のスペーサ層50D及び第3の薄板層50E)を積層し、一体焼成して構成されている。   The substrate 50 is formed by laminating a plurality of zirconia ceramic green sheets (first thin plate layer 50A, first spacer layer 50B, second thin plate layer 50C, second spacer layer 50D, and third thin plate layer 50E). And it is configured to be integrally fired.

つまり、基体50は、試料注入口52を構成する窓部が形成され、一部において振動部66を構成する薄肉の第1の薄板層50Aと、導入穴60の一部及びキャビティ56を構成する複数の窓部がそれぞれ形成された厚肉の第1のスペーサ層50Bと、導入穴60の一部、第1の連通孔62及び第2の連通孔64の一部を構成する複数の窓部がそれぞれ形成された薄肉の第2の薄板層50Cと、導入穴60の一部及び第2の連通孔64の一部を構成する複数の窓部がそれぞれ形成された厚肉の第2のスペーサ層50Dと、試料吐出口54を構成する窓部が形成された薄肉の第3の薄板層50Eとを積層し、一体焼成して構成されている。   That is, the base 50 is formed with a window portion that constitutes the sample injection port 52, and a thin first thin plate layer 50 </ b> A that constitutes the vibrating portion 66, a part of the introduction hole 60, and the cavity 56. A plurality of window portions constituting the thick first spacer layer 50B formed with a plurality of window portions, a part of the introduction hole 60, a part of the first communication hole 62 and a part of the second communication hole 64, respectively. And a second thin plate layer 50C formed with a plurality of window portions constituting a part of the introduction hole 60 and a part of the second communication hole 64, respectively. The layer 50D and the thin third thin plate layer 50E in which the window constituting the sample discharge port 54 is formed are laminated and integrally fired.

アクチュエータ部58は、前記振動部66のほか、該振動部66上に直接形成された下部電極70と、該下部電極70上に形成された圧電/電歪素子や反強誘電体等からなる圧電層72と、該圧電層72の上面に形成された上部電極74とを有して構成されている。   In addition to the vibration part 66, the actuator part 58 includes a lower electrode 70 formed directly on the vibration part 66, and a piezoelectric / electrostrictive element or antiferroelectric material formed on the lower electrode 70. The layer 72 includes an upper electrode 74 formed on the upper surface of the piezoelectric layer 72.

下部電極70と上部電極74は、図4Cに示すように、それぞれ基体50の上面に形成された複数のパッド76及び78を通じて図示しない駆動回路に電気的に接続される。   As shown in FIG. 4C, the lower electrode 70 and the upper electrode 74 are electrically connected to a drive circuit (not shown) through a plurality of pads 76 and 78 formed on the upper surface of the substrate 50, respectively.

上記のような構成のマイクロピペット34によれば、上部電極74と下部電極70との間に電界が生じると、圧電層72が変形し、それに伴って振動部66が変形し、振動部66に接しているキャビティ(加圧室)56の容積が減少又は増加することになる。   According to the micropipette 34 having the above-described configuration, when an electric field is generated between the upper electrode 74 and the lower electrode 70, the piezoelectric layer 72 is deformed, and accordingly, the vibrating portion 66 is deformed, and the vibrating portion 66 is deformed. The volume of the contacting cavity (pressurizing chamber) 56 is reduced or increased.

このキャビティ56の容積の減少によってキャビティ56内に充填された試料溶液がキャビティ56に連通する試料吐出口54から所定速度で吐出され、図3に示すように、マイクロピペット34から吐出された試料溶液が顕微鏡スライドガラス等の基体50上にスポット80として整列固定されたDNAチップ20を作製することができる。また、このキャビティ56の容積増加によって、キャビティ56内に第1の連通孔62から新たな試料溶液が注入、充填され、次の吐出に備えられる。   As the volume of the cavity 56 is reduced, the sample solution filled in the cavity 56 is discharged from the sample discharge port 54 communicating with the cavity 56 at a predetermined speed, and the sample solution discharged from the micropipette 34 as shown in FIG. Can be prepared as DNA spots 20 aligned and fixed as spots 80 on a substrate 50 such as a microscope slide glass. Further, as the volume of the cavity 56 increases, a new sample solution is injected and filled into the cavity 56 from the first communication hole 62 to prepare for the next discharge.

なお、アクチュエータ部58の駆動によって、キャビティ56の容積が減少する構造としては、いわゆるインクジェット方式の装置構造を採用することができる(特開平6−40030号公報参照)。   In addition, as a structure in which the volume of the cavity 56 is reduced by driving the actuator portion 58, a so-called ink jet type apparatus structure can be adopted (see Japanese Patent Laid-Open No. 6-40030).

そして、キャビティ(加圧室)56は、DNA断片等を含む試料溶液が乱れの少ない状態下で移動するような流路寸法に形成されている。   The cavity (pressurizing chamber) 56 is formed with a flow path dimension so that the sample solution containing the DNA fragment and the like moves under a less disturbed state.

つまり、キャビティ56の寸法は、試料の種類、作成する液滴の大きさ、形成密度により異なるが、例えば、塩基対1〜10000程度のDNA断片を100μg/μリットル以下の濃度で×1TEバッファ溶液(緩衝液)に溶解させ、さらに等量のポリマーを含んだ水溶液と混合させた試料を50〜600μmピッチで30〜500μmφ液滴径の滴下を行う場合においては、図6に示すように、キャビティ長(L)は、1〜5mm、キャビティ幅(W)は、0.1〜1mm、キャビティ深さ(D)は、0.1〜0.5mmが好ましい。またキャビティ56の内壁には、流れを乱す突起物がないように滑らかであることがよく、その材質は、試料溶液と親和性の良いセラミックスからなることが好ましい。   In other words, the size of the cavity 56 varies depending on the type of sample, the size of the droplet to be created, and the formation density. For example, a DNA fragment of about 1 to 10,000 base pairs at a concentration of 100 μg / μl or less × 1 TE buffer solution When a sample dissolved in (buffer solution) and mixed with an aqueous solution containing an equal amount of polymer is dropped at a pitch of 30 to 500 μmφ at a pitch of 50 to 600 μm, as shown in FIG. The length (L) is preferably 1 to 5 mm, the cavity width (W) is preferably 0.1 to 1 mm, and the cavity depth (D) is preferably 0.1 to 0.5 mm. Further, the inner wall of the cavity 56 is preferably smooth so that there are no protrusions that disturb the flow, and the material is preferably made of ceramics having good affinity for the sample solution.

このような形状にすることにより、キャビティ56を試料注入口52から試料吐出口54に至る流路の一部として、試料注入口52から導入穴60、第1の連通孔62を経てキャビティ56内に移動する試料溶液の流れを乱すことなく試料吐出口54に導くことができる。   With this shape, the cavity 56 is used as a part of the flow path from the sample injection port 52 to the sample discharge port 54, and enters the cavity 56 from the sample injection port 52 through the introduction hole 60 and the first communication hole 62. It is possible to guide the sample solution to the sample discharge port 54 without disturbing the flow of the sample solution.

なお、基体50は、前述したように、ジルコニアセラミックスの一体積層、焼成体であるほかに、アクチュエータ部58を形成したジルコニアセラミック焼結体と金属、樹脂フィルム等との接着体であってもよい。特に、試料吐出口54を形成した第3の薄板層50Eは、その加工法とのマッチングを考慮して、PETフィルム等の有機樹脂をエキシマレーザ等で加工したシート、あるいはステンレスフィルム等の金属を金型等で打ち抜いたシートであることが好ましい。   As described above, the substrate 50 is an integrally laminated and fired body of zirconia ceramics, or may be an adhesive body of a zirconia ceramic sintered body on which the actuator portion 58 is formed and a metal, a resin film, or the like. . In particular, the third thin plate layer 50E in which the sample discharge port 54 is formed is made of a sheet obtained by processing an organic resin such as a PET film with an excimer laser or a metal such as a stainless film in consideration of matching with the processing method. A sheet punched with a mold or the like is preferable.

また、試料吐出口54と第1の連通孔62の寸法は、吐出する試料溶液の物性、吐出量、吐出速度等によって最適設計がなされるが、10〜100μmφ程度であることがよい。   The dimensions of the sample discharge port 54 and the first communication hole 62 are optimally designed depending on the physical properties of the sample solution to be discharged, the discharge amount, the discharge speed, and the like, but are preferably about 10 to 100 μmφ.

図7は、1つの試料注入口52とそれに連結する導入穴60に対し、2つの第1の連通孔62が連通し、それぞれの連通孔62には、キャビティ56、第2の連通孔64及び試料吐出口54が連続して形成された流路65がそれぞれ独立して2つ形成されている。各キャビティ56の上面には、それぞれ独立して配線、駆動するアクチュエータ部58(図示せず)が形成される。このような構成のマイクロピペット34によれば、同一の試料溶液を同時に、又はタイミングをずらして基板10上に供給することができる。   In FIG. 7, two first communication holes 62 communicate with one sample injection port 52 and an introduction hole 60 connected thereto, and each communication hole 62 includes a cavity 56, a second communication hole 64, and Two channels 65 each having a sample discharge port 54 formed continuously are formed independently. Actuators 58 (not shown) for wiring and driving independently are formed on the upper surface of each cavity 56. According to the micropipette 34 having such a configuration, the same sample solution can be supplied onto the substrate 10 simultaneously or at different timings.

ところで、図4Aに示すように、固定板32の上面には、マイクロピペット34を位置決め固定するための複数のピン38が設けられている。マイクロピペット34を固定板32上に固定する場合は、マイクロピペット34の基体50の両側に設けられた位置決め用孔90(図4C参照)に固定板32のピン38を挿入させながら、マイクロピペット34を固定板32に載置することで、自動的に複数のマイクロピペット34が所定の並びで配列位置決めされることになる。   By the way, as shown in FIG. 4A, a plurality of pins 38 for positioning and fixing the micropipette 34 are provided on the upper surface of the fixing plate 32. When the micropipette 34 is fixed on the fixing plate 32, the micropipette 34 is inserted into the positioning holes 90 (see FIG. 4C) provided on both sides of the base 50 of the micropipette 34 while the pins 38 of the fixing plate 32 are inserted. Is placed on the fixed plate 32, the plurality of micropipettes 34 are automatically arranged and positioned in a predetermined arrangement.

また、各固定治具36は、複数のマイクロピペット34を固定板32に押さえ付ける押さえ板100を有する。押さえ板100の両端には、それぞれネジ102が挿通される挿通孔が形成され、この挿通孔にネジ102を挿通して、固定板32にねじ込むことによって、前記押さえ板100で複数のマイクロピペット34を一度に固定板32に押さえ付けることができるようになっている。そして、1つの押さえ板100で押さえ付けた複数のマイクロピペット34で1つのユニットが構成される。図4Aの例では列方向に配列された5つのマイクロピペット34で1つのユニットが構成された例を示している。   Each fixing jig 36 includes a pressing plate 100 that presses the plurality of micropipettes 34 against the fixing plate 32. Insertion holes into which the screws 102 are inserted are formed at both ends of the holding plate 100, and the screws 102 are inserted into the insertion holes and screwed into the fixing plate 32. Can be pressed against the fixed plate 32 at a time. A plurality of micropipettes 34 pressed by one pressing plate 100 constitutes one unit. The example of FIG. 4A shows an example in which one unit is configured by five micropipettes 34 arranged in the row direction.

また、押さえ板100には、複数のマイクロピペット34を押さえ付けたときに、各マイクロピペット34の試料注入口52に対応する箇所にそれぞれ試料溶液を供給するための導入孔104(図4B参照)が形成されており、各導入孔104の上端部にはそれぞれ試料溶液を導入孔104に導くためのチューブ106が保持されている。   In addition, when a plurality of micropipettes 34 are pressed into the holding plate 100, introduction holes 104 (see FIG. 4B) for supplying sample solutions to locations corresponding to the sample injection ports 52 of the micropipettes 34, respectively. The tubes 106 for guiding the sample solution to the introduction holes 104 are held at the upper ends of the introduction holes 104, respectively.

なお、押さえ板100の幅は、配線作業の効率化を考慮すると、複数のマイクロピペット34を固定板32に押さえ付けた際に、アクチュエータ部58の各電極70及び74につながるパッド76及び78が上方に臨むような寸法であることが好ましい。   Note that the width of the pressing plate 100 is determined so that the pads 76 and 78 connected to the electrodes 70 and 74 of the actuator portion 58 when the plurality of micropipettes 34 are pressed against the fixed plate 32 are taken into consideration for the efficiency of wiring work. The dimensions are preferably such that they face upward.

このように、上述の分注装置30は、試料注入口52及び試料吐出口54を有するマイクロピペット34の複数個をそれぞれ試料吐出口54を下方向に向けた状態で立設させて構成されている。   Thus, the above-described dispensing apparatus 30 is configured by standing a plurality of micropipettes 34 each having the sample injection port 52 and the sample discharge port 54 with the sample discharge port 54 facing downward. Yes.

すなわち、各マイクロピペット34は、それぞれの試料注入口52を上側とし、試料吐出口54を下側とし、且つ、各試料吐出口54が縦横に配列配置されて、試料吐出口54からそれぞれ種類の異なる試料溶液が吐出されるようになっている。   That is, each micropipette 34 has the respective sample injection ports 52 on the upper side, the sample discharge ports 54 on the lower side, and the sample discharge ports 54 arranged vertically and horizontally. Different sample solutions are discharged.

このような構成を有する分注装置30において、各試料注入口52に対応してそれぞれ種類の異なる試料溶液を供給する方法としては、図8に示すように、例えば多数の断面ほぼV字状の凹部(溜め部)110が配列されたカートリッジ112を使用する方法がある。この方法は、カートリッジ112の各凹部110にそれぞれ種類の異なる試料溶液を入れ、該カートリッジ112を各凹部110とチューブ106とがそれぞれ対応するように取り付け、針等で各凹部110の底を開封することによって、各凹部110にあった試料溶液をチューブ106を介して各マイクロピペット34に供給する方法等が考えられる。   In the dispensing apparatus 30 having such a configuration, as a method of supplying different types of sample solutions corresponding to the respective sample inlets 52, for example, as shown in FIG. There is a method of using a cartridge 112 in which concave portions (reservoir portions) 110 are arranged. In this method, different types of sample solutions are put in the respective recesses 110 of the cartridge 112, the cartridges 112 are attached so that the respective recesses 110 and the tubes 106 correspond to each other, and the bottom of each recess 110 is opened with a needle or the like. Thus, a method of supplying the sample solution in each recess 110 to each micropipette 34 through the tube 106 can be considered.

また、チューブ106を用いない場合は、カートリッジ112を各凹部110と固定治具36の各導入孔104とがそれぞれ対応するように取り付け、針等で各凹部110の底を開封することによって、各凹部110にあった試料溶液を導入孔104を介して各マイクロピペット34に供給する方法のほか、予め、固定治具36における各導入孔104の近傍に針等を形成し、カートリッジ112を固定治具36に取り付けると同時に各凹部110が開封されるようにしてもよい。   When the tube 106 is not used, the cartridge 112 is attached so that each recess 110 and each introduction hole 104 of the fixing jig 36 correspond to each other, and the bottom of each recess 110 is opened with a needle or the like. In addition to supplying the sample solution in the recess 110 to each micropipette 34 through the introduction hole 104, a needle or the like is previously formed in the vicinity of each introduction hole 104 in the fixing jig 36 to fix the cartridge 112. Each recess 110 may be opened simultaneously with attachment to the tool 36.

なお、開封後に気体等を圧送し、試料溶液を強制的に押し出す機構を加えてもよい。また、各マイクロピペット34の基体50内に形成された試料注入口52から試料吐出口54に至る空間を洗浄する機構を備えることは、数千から数万種類という多種類のDNA断片等を汚染なく、しかも純度よくスポット80として吐出するために望ましい。   In addition, you may add the mechanism which pumps gas etc. after opening and forcibly pushes out a sample solution. Further, providing a mechanism for cleaning the space from the sample injection port 52 to the sample discharge port 54 formed in the base 50 of each micropipette 34 contaminates thousands to tens of thousands of DNA fragments. In addition, it is desirable to eject the spot 80 with high purity.

図4Aの例では、押さえ板100の両端をネジ102で固定板32に締め付けることで行っているが、押さえ板100の固定法は、ネジ、バネ等で機械的に行うほか、接着剤等で行ってもよい。   In the example of FIG. 4A, both ends of the pressing plate 100 are fastened to the fixing plate 32 with screws 102. However, the pressing plate 100 is fixed not only mechanically with screws, springs, etc., but also with an adhesive or the like. You may go.

また、マイクロピペット34を構成する基体50は、上述したように、セラミックスで形成されており、例えば、安定化ジルコニアや部分安定化ジルコニア、アルミナ、マグネシア、窒化珪素等を用いることができる。   Moreover, the base | substrate 50 which comprises the micropipette 34 is formed with ceramics as mentioned above, for example, stabilized zirconia, partially stabilized zirconia, alumina, magnesia, silicon nitride etc. can be used.

このうち、安定化/部分安定化ジルコニアは、薄板においても機械的強度が大きいこと、靱性が高いこと、圧電層72や電極材との反応性が小さいことから最も好適に採用される。   Of these, stabilized / partially stabilized zirconia is most preferably employed because of its high mechanical strength, high toughness, and low reactivity with the piezoelectric layer 72 and the electrode material even in a thin plate.

そして、基体50等の材料として安定化/部分安定化ジルコニアを使用する場合には、少なくとも、アクチュエータ部58が形成される部分(振動部66)には、アルミナあるいはチタニア等の添加物が含有されることが好ましい。   When stabilized / partially stabilized zirconia is used as the material for the substrate 50 or the like, an additive such as alumina or titania is contained at least in the portion where the actuator portion 58 is formed (vibrating portion 66). It is preferable.

また、アクチュエータ部58を構成する圧電層72は、圧電セラミックスとして、例えば、ジルコン酸鉛、チタン酸鉛、マグネシウムニオブ酸鉛、マグネシウムタンタル酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、マンガンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、マンガンタングステン酸鉛、コバルトニオブ酸鉛、チタン酸バリウム等やこれらのいずれかを組み合わせた成分を含有する複合セラミックスを用いることができるが、本実施の形態においては、ジルコン酸鉛とチタン酸鉛及びマグネシウムニオブ酸鉛からなる成分を主成分とする材料が好適に用いられる。   In addition, the piezoelectric layer 72 constituting the actuator unit 58 is, for example, lead zirconate, lead titanate, lead magnesium niobate, lead magnesium tantalate, lead nickel niobate, lead zinc niobate, manganese niobate as piezoelectric ceramics. Composite ceramics containing components such as lead, lead antimony stannate, lead manganese tungstate, lead cobalt niobate, barium titanate, etc., or any combination thereof can be used. A material mainly composed of components composed of lead oxide, lead titanate and lead magnesium niobate is preferably used.

これは、このような材料が、高い電気機械結合係数と圧電定数を有することに加え、圧電層72の焼結時における基体材料との反応性が小さく、所定の組成のものを安定に形成することができることに基づくからである。   This is because such a material has a high electromechanical coupling coefficient and a piezoelectric constant, and has low reactivity with the base material during sintering of the piezoelectric layer 72, so that a material having a predetermined composition can be stably formed. Because it is based on what can be done.

さらに、本実施の形態では、前記圧電セラミックスに、ランタン、カルシウム、ストロンチウム、モリブデン、タングステン、バリウム、ニオブ、亜鉛、ニッケル、マンガン、セリウム、カドミウム、クロム、コバルト、アンチモン、鉄、イットリウム、タンタル、リチウム、ビスマス、スズ等の酸化物、もしくはこれらいずれかの組合せ、又は他の化合物を適宜、添加したセラミックスを用いてもよい。   Further, in the present embodiment, the piezoelectric ceramic includes lanthanum, calcium, strontium, molybdenum, tungsten, barium, niobium, zinc, nickel, manganese, cerium, cadmium, chromium, cobalt, antimony, iron, yttrium, tantalum, lithium. Further, ceramics to which oxides such as bismuth and tin, or any combination thereof, or other compounds are appropriately added may be used.

例えば、ジルコン酸鉛とチタン酸鉛及びマグネシウムニオブ酸鉛を主成分とし、これにランタンやストロンチウムを含有するセラミックスを用いることもまた好ましい。   For example, it is also preferable to use a ceramic containing lead zirconate, lead titanate and lead magnesium niobate as main components and containing lanthanum or strontium.

一方、アクチュエータ部58における上部電極74及び下部電極70は、室温で、固体であって導電性の金属で構成されていることが好ましく、例えば、アルミニウム、チタン、クロム、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、パラジウム、ロジウム、銀、スズ、タンタル、タングステン、イリジウム、白金、金、鉛等の金属単体あるいはこれらのいずれかを組み合わせた合金が用いられ、さらに、これらに圧電層72や基体50と同じ材料を分散させたサーメット材料を用いてもよい。   On the other hand, the upper electrode 74 and the lower electrode 70 in the actuator unit 58 are preferably made of a solid and conductive metal at room temperature, for example, aluminum, titanium, chromium, iron, cobalt, nickel, copper Zinc, Niobium, Molybdenum, Ruthenium, Palladium, Rhodium, Silver, Tin, Tantalum, Tungsten, Iridium, Platinum, Gold, Lead, etc. A cermet material in which the same material as the layer 72 and the substrate 50 is dispersed may be used.

次に、この実施の形態では、上記のような分注装置30を用い、試料溶液を基板10上に供給したスポット済み基板を80℃の恒温槽に1時間程度放置してスポット80を乾燥させた(乾燥工程S5)後、120mJのUV照射、NaBr液中への20分浸漬(ブロッキング処理)、煮沸2分、エタノール置換(脱水)を行って、DNA断片を基板10上に固定化して(固定化工程S6)、DNAチップ20を製造する。   Next, in this embodiment, using the dispensing device 30 as described above, the spotted substrate on which the sample solution is supplied onto the substrate 10 is left in a constant temperature bath at 80 ° C. for about 1 hour to dry the spot 80. After (drying step S5), 120 mJ UV irradiation, immersion in NaBr solution for 20 minutes (blocking treatment), boiling for 2 minutes, and ethanol substitution (dehydration) were performed to immobilize DNA fragments on the substrate 10 ( Immobilization step S6), the DNA chip 20 is manufactured.

次に、この分注装置30を使って基板10上に試料溶液を供給し、スポット80を形成するいくつかの方法について図9〜図15を参照しながら説明する。   Next, several methods for supplying the sample solution onto the substrate 10 using the dispensing device 30 and forming the spots 80 will be described with reference to FIGS.

まず、第1の方法は、図9に示すように、各チューブ106からそれぞれ固定治具36の導入孔104を介して各マイクロピペット34のキャビティ56内にそれぞれ種類の異なる試料溶液(希釈済み)を充填し、次いで、各アクチュエータ部58を駆動して、各マイクロピペット34の試料吐出口54から試料溶液を吐出させる。   First, as shown in FIG. 9, in the first method, different types of sample solutions (diluted) are supplied from the tubes 106 into the cavities 56 of the micropipettes 34 through the introduction holes 104 of the fixing jig 36, respectively. Then, each actuator unit 58 is driven to discharge the sample solution from the sample discharge port 54 of each micropipette 34.

ここで、アクチュエータ部58の各電極70及び74に印加する電圧波形のうち、アクチュエータ部58がオン動作して、キャビティ56の容積を減少させる場合、各電極70及び74にはパルス的な電圧が印加されることになる。この場合、パルスの振幅(電圧)、単位時間当たりの変化量(電圧波形の立ち上がり角度)、パルス幅等を変化させることで、振動部66の変形量、変形速度等が変化し、これにより、試料溶液の吐出量が制御できる。また、一定期間に発生させるパルス数を変化させることで、単位時間当たりの試料溶液の滴下回数を変更することができる。   Here, of the voltage waveforms applied to the electrodes 70 and 74 of the actuator unit 58, when the actuator unit 58 is turned on to reduce the volume of the cavity 56, a pulsed voltage is applied to the electrodes 70 and 74. Will be applied. In this case, by changing the amplitude (voltage) of the pulse, the amount of change per unit time (rising angle of the voltage waveform), the pulse width, etc., the deformation amount, the deformation speed, etc. of the vibration part 66 change, The discharge amount of the sample solution can be controlled. Further, the number of drops of the sample solution per unit time can be changed by changing the number of pulses generated in a certain period.

試料溶液を複数回供給して1つのスポット80を形成する場合、通常、供給位置を固定して、供給回数を重ねるが、供給毎に供給位置をずらしてもよい。例えば図10A及び図10Bに示すように、試料溶液の供給位置を適宜変えることによって、形成されるべき1つのスポット80(二点鎖線で示す)内に複数の試料溶液による微小スポット80aが形成され、これら微小スポット80aが基板10上で組み合わされることで(合体)、図11A及び図11Bに示すように、1つのスポット80が形成されることになる。この場合、供給する試料溶液の種類に応じて、供給回数、供給位置及び1回の供給量を制御することで、基板10上に形成される各スポット80の径の均一化を図ることができる。   When the sample solution is supplied a plurality of times to form one spot 80, the supply position is usually fixed and the supply frequency is repeated. However, the supply position may be shifted for each supply. For example, as shown in FIGS. 10A and 10B, by appropriately changing the supply position of the sample solution, minute spots 80a made of a plurality of sample solutions are formed in one spot 80 (indicated by a two-dot chain line) to be formed. These fine spots 80a are combined on the substrate 10 (merging), so that one spot 80 is formed as shown in FIGS. 11A and 11B. In this case, the diameter of each spot 80 formed on the substrate 10 can be made uniform by controlling the number of times of supply, the supply position, and the amount of supply at one time according to the type of sample solution to be supplied. .

さらに、この実施の形態では、試料溶液を基板10上に供給する際に、図12A〜図13に示すように、該試料溶液の部分を乾燥、増粘、固化するようにしている。この処理は、例えば基板10を加熱することで実現できる。   Furthermore, in this embodiment, when the sample solution is supplied onto the substrate 10, as shown in FIGS. 12A to 13, the portion of the sample solution is dried, thickened, and solidified. This process can be realized, for example, by heating the substrate 10.

基板10を加熱する方法としては、図13に示すように、赤外線ランプ122から出射された赤外線を基板10の裏面に照射して加熱する方法がある。また、試料溶液を直接加熱する方法としては、図12A、図12Bに示すように、レーザ光源120、電磁波発生源121から出射されたレーザ光L、電磁波Eを、試料溶液に焦点を合わせて照射、加熱する方法がある。試料溶液は、基板10上に供給された状態で加熱してもよいが、供給の際の形状の安定性、スポット80の広がり防止の観点から、試料吐出口54から吐出されて、基板10上に落下する間に、照射、加熱することが望ましい。   As a method for heating the substrate 10, as shown in FIG. 13, there is a method in which the back surface of the substrate 10 is irradiated with infrared rays emitted from the infrared lamp 122 and heated. As a method for directly heating the sample solution, as shown in FIGS. 12A and 12B, the laser light L and the electromagnetic wave E emitted from the laser light source 120 and the electromagnetic wave generation source 121 are focused on the sample solution and irradiated. There is a method of heating. The sample solution may be heated while being supplied onto the substrate 10, but is discharged from the sample discharge port 54 on the substrate 10 from the viewpoint of stability of the shape during supply and prevention of the spread of the spot 80. It is desirable to irradiate and heat while falling.

また、電磁波Eは、試料溶液のように、水分を含んだものを選択的に加熱できるため、スポット80を形成する試料溶液(供給中の試料溶液)のみを加熱でき、より好ましい。なお、加熱に際しては、吐出を終えた試料吐出口54は、乾燥による吐出不良を回避するため、金属シールド板等で遮蔽してもよい。   Further, the electromagnetic wave E is more preferable because it can selectively heat a water-containing material such as a sample solution, and therefore can heat only the sample solution forming the spot 80 (the sample solution being supplied). During heating, the sample discharge port 54 that has been discharged may be shielded with a metal shield plate or the like in order to avoid discharge failure due to drying.

さらにまた、この実施の形態では、試料溶液を基板10上に供給する際に、試料溶液及び基板10を冷却するようにしている。冷却方法は、試料溶液が供給される基板10を予め室温以下に冷却しておいてもよいし、試料溶液自体に、代替フロンや液体窒素等からなる冷却剤をふきかけてもよい。但し、このような冷却処理は、冷却に際し、周りの気体からの水分の露結による水滴の付着が起こり、スポット80自体を流してしまうおそれがあるため、周りの気体の湿度管理、冷却、常温復帰の速度管理等が必要である。   Furthermore, in this embodiment, when the sample solution is supplied onto the substrate 10, the sample solution and the substrate 10 are cooled. In the cooling method, the substrate 10 to which the sample solution is supplied may be cooled in advance to room temperature or lower, or a coolant made of alternative chlorofluorocarbon or liquid nitrogen may be sprayed on the sample solution itself. However, in such a cooling process, water droplets adhere due to dew condensation of moisture from the surrounding gas during cooling, and the spot 80 itself may flow, so the humidity management, cooling, and room temperature of the surrounding gas may occur. It is necessary to manage the speed of return.

また、キャビティ56に試料溶液を充填した後に、アクチュエータ部58に振動を励起する程度の電圧を印加することが好ましい。これにより、キャビティ内に充填された試料溶液に含まれるDNA断片が均一に分散され、滴下毎のDNA断片の量にばらつきは生じなくなる。   In addition, it is preferable to apply a voltage that excites vibration to the actuator unit 58 after the cavity 56 is filled with the sample solution. Thereby, the DNA fragments contained in the sample solution filled in the cavity are uniformly dispersed, and the amount of the DNA fragments for each dropping does not vary.

次に、分注装置30を使った第2の方法について説明する。この第2の方法は、図14に示すように、各チューブ106からそれぞれ固定治具36の導入孔104を介して各マイクロピペット34のキャビティ56内に精製水や緩衝液等の置換液を充填し、次いで、予め希釈した試料を試料注入口52からキャビティ56内に置換させながら注入する。そして、アクチュエータ部58を駆動させて、試料溶液を基板10上に吐出供給させる。なお、置換液と試料溶液の間に、試料溶液と比重をほぼ同じくするDNA断片を含まない中間液(例えば、緩衝液とポリマーを含んだ水溶液の混合液)を介してもよい。   Next, a second method using the dispensing device 30 will be described. In this second method, as shown in FIG. 14, a replacement solution such as purified water or buffer solution is filled into the cavity 56 of each micropipette 34 from each tube 106 through the introduction hole 104 of the fixing jig 36. Then, a pre-diluted sample is injected from the sample inlet 52 into the cavity 56 while being replaced. Then, the actuator unit 58 is driven to discharge and supply the sample solution onto the substrate 10. An intermediate solution (for example, a mixed solution of an aqueous solution containing a buffer solution and a polymer) that does not contain a DNA fragment having a specific gravity substantially the same as that of the sample solution may be interposed between the replacement solution and the sample solution.

キャビティ56内における試料の層流置換の完了は、キャビティ56内の流体特性の変化を検知することにより把握することが好ましい。   Completion of the laminar flow replacement of the sample in the cavity 56 is preferably grasped by detecting a change in fluid characteristics in the cavity 56.

なお、キャビティ56内の置換液と試料の置換は層流で行われることが好ましいが、試料の種類が変わった場合や、液体の移動速度が非常に速い場合においては、キャビティ56のうち、第1の連通孔62の近辺部分は、必ずしも層流でなくてもよい。この場合、試料溶液と置換液の混合により試料溶液のパージ量は増大するが、キャビティ56内の流体特性の変化を検知することにより置換完了を判断することで、パージ量の増大を最小にできる。   The replacement of the replacement liquid and the sample in the cavity 56 is preferably performed in a laminar flow. However, when the type of the sample is changed or the moving speed of the liquid is very high, the first of the cavities 56 is changed. The vicinity of one communication hole 62 may not necessarily be a laminar flow. In this case, the purge amount of the sample solution is increased by mixing the sample solution and the replacement solution. However, the increase in the purge amount can be minimized by determining the completion of the replacement by detecting the change in the fluid characteristics in the cavity 56. .

ここで、キャビティ56内の流体特性の変化は、アクチュエータ部58に振動を励起する程度の電圧を印加し、その振動に伴う電気的定数の変化を検出することにより把握する。このような流体特性の変化の検知は、例えば、特開平8−201265号公報に記載されており、この内容が参照できる。   Here, the change in the fluid characteristics in the cavity 56 is grasped by applying a voltage that excites vibration to the actuator unit 58 and detecting a change in electrical constant associated with the vibration. Such detection of changes in fluid characteristics is described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-201265, and the contents thereof can be referred to.

具体的には、アクチュエータ部58に対して、所定の間隔で、吐出駆動用の電源からの電気的接続をリレーで切り離し、同時に、共振周波数を測定する手段をリレーにより接続し、その時点でのインピーダンスあるいは共振周波数を電気的に測定する。   Specifically, the electrical connection from the discharge driving power source is disconnected by a relay at a predetermined interval with respect to the actuator unit 58, and at the same time, the means for measuring the resonance frequency is connected by the relay, and at that time Electrically measure impedance or resonant frequency.

これにより、液体の粘度、比重等が目的の試料(DNA断片等を含む液体)であるかどうかを把握することができる。すなわち、各マイクロピペット34においては、マイクロピペット34自体がセンサとして機能するため、マイクロピペット34の構成も単純化することができる。   Thereby, it can be grasped whether the viscosity, specific gravity, etc. of a liquid are the target samples (liquid containing a DNA fragment etc.). That is, in each micropipette 34, since the micropipette 34 itself functions as a sensor, the configuration of the micropipette 34 can be simplified.

そして、前記置換が済んだ後、アクチュエータ部58を、求められるスポット径に応じた液適量に対応した駆動条件にて駆動し、試料溶液の基板10上への供給を繰り返すことにより、DNAチップ20を製造する。通常、1つのスポット80を形成するのに、マイクロピペット34から1〜数百滴を吐出して行う。   After the replacement, the actuator unit 58 is driven under a driving condition corresponding to an appropriate amount of the liquid according to the required spot diameter, and the supply of the sample solution onto the substrate 10 is repeated, whereby the DNA chip 20 Manufacturing. Usually, 1 to several hundred drops are ejected from the micropipette 34 to form one spot 80.

なお、試料注入口52中の試料の量が減少したら、緩衝液や精製水や塩化ナトリウムを含む水溶液を追加して、流路中に気泡が入らないようにし、吐出を続けることにより、試料溶液をマイクロピペット34内に残すことなく使い切ることができる。試料から置換液への置換の完了(試料吐出の終了)は、同じく、アクチュエータ部58を用いた液体の粘度、比重の検出で行う。   When the amount of the sample in the sample injection port 52 decreases, an aqueous solution containing a buffer solution, purified water, or sodium chloride is added so that bubbles do not enter the flow path, and the sample solution is continued by discharging. Can be used up without leaving in the micropipette 34. Completion of replacement of the sample with the replacement liquid (end of sample discharge) is similarly performed by detecting the viscosity and specific gravity of the liquid using the actuator unit 58.

また、使用する置換液、中間液、試料溶液としては、予め脱気操作を通して溶液中の溶存気体を取り除いたものを使用することが好ましい。そのような溶液を用いることにより、マイクロピペット34の流路内に試料溶液を充填する際に、流路途中で気泡がひっかかってしまい、充填の不備が生じた場合でも、その気泡を試料溶液中に溶かし込んで不具合を回避できると共に、吐出の途中において、流体中に気泡が発生することがなく、吐出の不具合を生じることもない。   In addition, it is preferable to use a replacement liquid, an intermediate liquid, and a sample solution that are used in advance by removing dissolved gas in the solution through a degassing operation. By using such a solution, when the sample solution is filled in the flow path of the micropipette 34, bubbles are trapped in the middle of the flow path, and even if a filling defect occurs, the bubbles are contained in the sample solution. It is possible to avoid problems by being dissolved in the liquid, and bubbles are not generated in the fluid in the middle of discharge, so that discharge problems do not occur.

また、上述の第2の方法において、試料溶液を吐出しつつ、緩衝液や精製水や塩化ナトリウムを含む水溶液のような置換液を試料注入口52からキャビティに注入し、同様に、層流置換によりキャビティ56内に残留する試料溶液を完全に吐出し、次の試料注入に備えることができる。   Further, in the second method described above, while discharging the sample solution, a replacement solution such as an aqueous solution containing a buffer solution, purified water, or sodium chloride is injected into the cavity from the sample injection port 52, and similarly, laminar flow replacement is performed. Thus, the sample solution remaining in the cavity 56 can be completely discharged to prepare for the next sample injection.

そして、キャビティ56内に試料溶液が残留しているかどうか(試料溶液として吐出できるかどうか)を検知するのにも、同じく、キャビティ56内の流体特性の変化を検知することにより把握できる。この場合、層流置換あるいは置換完了検出機構により使用に供しない試料のパージ量を極めて少なくすることができると共に、試料溶液の使用効率を向上することができる。   Similarly, whether or not the sample solution remains in the cavity 56 (whether or not the sample solution can be discharged) can be detected by detecting a change in fluid characteristics in the cavity 56. In this case, the amount of purge of the sample that is not used by the laminar flow replacement or replacement completion detection mechanism can be extremely reduced, and the use efficiency of the sample solution can be improved.

また、試料を試料注入口52からキャビティ56に充填する際に、アクチュエータ部58を駆動させながら試料を試料注入口52からキャビティ56内に層流置換させてもよい。この場合、予め安価な置換液によりキャビティ56内を確実に置換後、高価な試料を層流置換することにより、吐出不良の発生が完全に防止でき、高価な試料溶液を効率よく吐出できる。   Further, when the sample is filled into the cavity 56 from the sample injection port 52, the sample may be laminarly replaced from the sample injection port 52 into the cavity 56 while the actuator unit 58 is driven. In this case, by reliably replacing the interior of the cavity 56 with an inexpensive replacement liquid in advance and then performing laminar flow replacement of an expensive sample, the occurrence of defective discharge can be completely prevented, and an expensive sample solution can be discharged efficiently.

次いで、前記試料溶液が供給された基板10上のスポット80の厚みの形状が、図15に示すように、周縁部分130で盛り上がった、いわゆるドーナツ形状になった場合は、基板10を0℃に冷却した後、湿度30%以上の十分な体積の気体が存在する室温下に戻す処理を行う。こうすることで、ドーナツ形状になったスポット80に水分が供給され、スポット80中の試料溶液の流動性が増し、表面張力により半球状に変化し、周縁部分130の盛り上がりがなくなる。   Next, when the shape of the thickness of the spot 80 on the substrate 10 to which the sample solution has been supplied becomes a so-called donut shape raised at the peripheral portion 130 as shown in FIG. 15, the substrate 10 is brought to 0 ° C. After cooling, a process of returning to room temperature where a sufficient volume of gas with a humidity of 30% or more is present is performed. By doing so, moisture is supplied to the spot 80 having a donut shape, the fluidity of the sample solution in the spot 80 is increased, the hemisphere is changed by the surface tension, and the peripheral portion 130 is not raised.

ドーナツ形状の場合、スポット80の周縁部分130と基板10の境界が際立って観測されやすくなり、DNA断片を含む試料溶液のように、無色透明な液体のスポット80を、無色透明のガラス基板等の上に形成する場合に、そのスポット形状を観測しやすくなり、スポット形成の良否を検査しやすくなるという利点を有する。   In the case of a donut shape, the boundary between the peripheral portion 130 of the spot 80 and the substrate 10 is easily observed, and a colorless and transparent liquid spot 80 is formed on a colorless and transparent glass substrate or the like like a sample solution containing DNA fragments. When formed on the top, it is easy to observe the spot shape, and it is easy to inspect the quality of spot formation.

しかしながら、このようなドーナツ形状を呈したスポット80においては、多くの場合、その後の固定化時の洗浄工程において、前記周縁部分130(盛り上がり部分)の大半が洗い流されたとしても、固定化される実質的な試料132は周縁部分130で多く(濃く)なることから、DNAチップ20として使用したときに、スポット80から発せられる蛍光発光量の分布は、スポット80内でドーナツ形状を呈することになり、感度の劣化、ばらつきの一因となってしまう。   However, in many cases, the spot 80 having such a donut shape is fixed even if most of the peripheral portion 130 (swelled portion) is washed away in a cleaning step at the time of subsequent fixing. Since the substantial sample 132 is large (darker) in the peripheral portion 130, the distribution of the amount of fluorescence emitted from the spot 80 when used as the DNA chip 20 exhibits a donut shape in the spot 80. This is a cause of sensitivity deterioration and variation.

従って、検査のしやすさ(ドーナツ形状)と、スポット形状の良さ(非ドーナツ形状)を両立させるためには、基板10に試料溶液を供給する際に、インクジェット方式等で吐出して、基板10に試料溶液を供給し、その運動エネルギーと基板10との疎水性の制御によって、試料溶液を、そのスポット80の周縁部分130に集中させるようにしてドーナツ形状を形成する。   Therefore, in order to achieve both the ease of inspection (doughnut shape) and the good spot shape (non-doughnut shape), when the sample solution is supplied to the substrate 10, the substrate 10 is discharged by an inkjet method or the like. A donut shape is formed by supplying the sample solution to the substrate and concentrating the sample solution on the peripheral portion 130 of the spot 80 by controlling the kinetic energy and hydrophobicity of the substrate 10.

その後、液体の表面張力により球状にならない程度に、予め試料溶液の粘度を増加させる一方、検査終了後には、スポット80を形成する試料溶液の流動性を増すようにして、表面張力により、ドーナツ形状を非ドーナツ形状に変化させる方法が適している。   Thereafter, the viscosity of the sample solution is increased in advance to such an extent that it does not become spherical due to the surface tension of the liquid. On the other hand, after completion of the inspection, the fluidity of the sample solution that forms the spot 80 is increased. A method of changing the shape into a non-doughnut shape is suitable.

本実施の形態に係る方法(基板10を0℃に冷却した後、湿度30%以上の十分な体積の気体が存在する室温下に戻す処理)は、上述の方法を簡単に実現することができる。   The method according to the present embodiment (the process of cooling the substrate 10 to 0 ° C. and then returning it to room temperature in which a sufficient volume of gas having a humidity of 30% or more exists) can easily realize the above-described method. .

そして、スポット80への水分の供給は、ミスト等を含む蒸気を直接あてるようにしてもよいが、前記冷却後、室温に戻す工程で、基板10上に露結する水分を利用することが、過剰水分でスポットを流してしまうことなく、また、均一に細かい水滴が供給される点で好ましい。   The water supply to the spot 80 may be made by directly applying a vapor containing mist or the like, but in the step of returning to room temperature after the cooling, it is possible to use the water condensed on the substrate 10; This is preferable in that spots do not flow due to excessive moisture and that fine water droplets are supplied uniformly.

その後、基板10を80℃で1時間ベークすることにより、スポット80を乾燥させる。80℃で1時間ベークした後に、冷却−室温に戻す工程を施してもよいが、その場合は、再度ベーク処理が必要となる。   Then, the spot 80 is dried by baking the substrate 10 at 80 ° C. for 1 hour. After baking at 80 degreeC for 1 hour, you may give the process which returns to cooling-room temperature, In that case, a baking process is needed again.

このように、本実施の形態に係るDNAチップの製造方法においては、試料溶液の基板10上への供給に先立って、試料溶液の濃度を希釈するようにしているため、該試料溶液を基板10上に供給したとき、図11Aに示すように、試料溶液によるスポット80は半球状にはならず、平坦な形状となる。この場合、供給された試料溶液のほとんどが固定化されるため、その後の洗浄工程でも試料溶液の大半以上が流されてしまうということがなく、試料溶液の使用効率を向上させることができる。   Thus, in the DNA chip manufacturing method according to the present embodiment, the concentration of the sample solution is diluted prior to the supply of the sample solution onto the substrate 10. When supplied above, as shown in FIG. 11A, the spot 80 due to the sample solution does not become hemispherical but has a flat shape. In this case, since most of the supplied sample solution is fixed, most of the sample solution is not flowed in the subsequent washing step, and the use efficiency of the sample solution can be improved.

また、試料溶液に含まれるDNA断片の種類に応じて希釈の度合いを変えて、試料溶液の粘度や表面張力を変化させることにより、基板10上に形成されるスポット80の径を均一化させることができる。   Further, the diameter of the spot 80 formed on the substrate 10 can be made uniform by changing the degree of dilution according to the type of DNA fragment contained in the sample solution and changing the viscosity and surface tension of the sample solution. Can do.

さらにまた、基板10上に試料溶液を供給してスポット80を形成した後、該スポット80に水分を供給する工程を付加することにより、スポット80の厚み方向の形状をさらに均一にすることができる。   Furthermore, the shape of the spot 80 in the thickness direction can be made more uniform by adding a step of supplying moisture to the spot 80 after the sample solution is supplied onto the substrate 10 to form the spot 80. .

このように、本実施の形態においては、コストの高い試料溶液の使用効率を向上させることができ、DNAチップ20の生産性の向上及び歩留まりの向上を図ることができる。また、供給する試料溶液の種類に応じた供給制御を行うことができ、基板10上に形成されるスポット径の均一化を図ることができ、DNAチップ20の品質並びに信頼性の向上を図ることができる。   As described above, in this embodiment, it is possible to improve the use efficiency of the costly sample solution, and to improve the productivity and yield of the DNA chip 20. In addition, supply control according to the type of sample solution to be supplied can be performed, the spot diameter formed on the substrate 10 can be made uniform, and the quality and reliability of the DNA chip 20 can be improved. Can do.

なお、この発明に係るDNAチップの製造方法は、上述の実施の形態に限らず、この発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。   The method for manufacturing a DNA chip according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is needless to say that various configurations can be adopted without departing from the gist of the present invention.

本実施の形態に係るDNAチップの製造方法を示す工程ブロック図である。It is a process block diagram which shows the manufacturing method of the DNA chip which concerns on this Embodiment. 試料調製工程の内訳を示す工程ブロック図である。It is a process block diagram which shows the breakdown of a sample preparation process. 製造されるDNAチップを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the DNA chip manufactured. 図4Aは本実施の形態に係るDNAチップの製造方法で使用される分注装置の構成を示す平面図であり、図4Bはその正面図であり、図4Cは、分注装置を構成する1つのマイクロピペットを示す拡大平面図である。FIG. 4A is a plan view showing a configuration of a dispensing device used in the method of manufacturing a DNA chip according to the present embodiment, FIG. 4B is a front view thereof, and FIG. 4C is a diagram showing 1 constituting the dispensing device. It is an enlarged plan view showing two micropipettes. マイクロピペットの構成を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure of a micropipette. マイクロピペットの基体内に形成されるキャビティを含む流路の形状を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the shape of the flow path containing the cavity formed in the base | substrate of a micropipette. マイクロピペットの基体内に形成されるキャビティを含む流路の他の形状を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the other shape of the flow path containing the cavity formed in the base | substrate of a micropipette. カートリッジと共に示す分注装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the dispensing apparatus shown with a cartridge. 分注装置を使用してDNAチップを製造する場合の第1の方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the 1st method in the case of manufacturing a DNA chip using a dispensing apparatus. 図10Aは基板上に試料溶液を供給して、形成されるべき1つのスポット内に多数の微小スポットが形成されていく過程を示す断面図であり、図10Bはその平面図である。FIG. 10A is a cross-sectional view showing a process in which a sample solution is supplied onto a substrate and a large number of minute spots are formed in one spot to be formed, and FIG. 10B is a plan view thereof. 図11Aは基板上において、多数の微小スポットが合体して1つのスポットが形成された状態を示す断面図であり、図11Bはその平面図である。FIG. 11A is a cross-sectional view showing a state where a single spot is formed by combining a number of minute spots on a substrate, and FIG. 11B is a plan view thereof. 図12Aは試料溶液又は基板を加熱する方法の一例を示す説明図であり、図12Bはその他の方法を示す説明図である。FIG. 12A is an explanatory diagram illustrating an example of a method for heating a sample solution or a substrate, and FIG. 12B is an explanatory diagram illustrating another method. 基板を加熱する方法の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the method of heating a board | substrate. 分注装置を使用してDNAチップを製造する場合の第2の方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the 2nd method in the case of manufacturing a DNA chip using a dispensing apparatus. ドーナツ形状のスポットの例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of a donut-shaped spot. 従来例に係るDNAチップの製造方法によって基板上に形成されたスポットの形状を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the shape of the spot formed on the board | substrate by the manufacturing method of the DNA chip concerning a prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

10…基板 20…DNAチップ
30…分注装置 34…マイクロピペット
50…基体 52…試料注入口
54…試料吐出口 56…キャビティ
58…アクチュエータ部 80…スポット
80a…微小スポット 112…カートリッジ
120…レーザ光源 122…赤外線ランプ
S1…前処理工程 S2…試料調製工程
S3…希釈工程 S4…供給工程
S5…乾燥工程 S6…固定化工程
S11…増幅工程 S12…粉末生成工程
S13…混合工程
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Board | substrate 20 ... DNA chip 30 ... Dispensing apparatus 34 ... Micropipette 50 ... Base | substrate 52 ... Sample injection port 54 ... Sample discharge port 56 ... Cavity 58 ... Actuator part 80 ... Spot 80a ... Minute spot 112 ... Cartridge 120 ... Laser light source 122 ... Infrared lamp S1 ... Pretreatment step S2 ... Sample preparation step S3 ... Dilution step S4 ... Supply step S5 ... Drying step S6 ... Immobilization step S11 ... Amplification step S12 ... Powder production step S13 ... Mixing step

Claims (4)

試料溶液を基板上にインクジェット方式で供給して、前記基板上に前記試料溶液によるスポットが多数配列されたDNAチップを製造するDNAチップの製造方法において、
前記試料溶液を前記基板上に供給する際に、前記試料溶液を吐出、供給する箇所の周りの湿度をその他の部分より選択的に高くして、前記試料溶液を乾燥もしくは増粘もしくは固化しないようにしたことを特徴とするDNAチップの製造方法。
In a method for manufacturing a DNA chip, a sample solution is supplied onto a substrate by an inkjet method, and a DNA chip in which a number of spots of the sample solution are arranged on the substrate is manufactured.
When supplying the sample solution onto the substrate, the humidity around the portion where the sample solution is discharged and supplied is selectively made higher than other parts so that the sample solution is not dried, thickened or solidified. A method for producing a DNA chip, characterized in that
請求項1記載のDNAチップの製造方法において、
前記基板上に前記試料溶液が供給されてスポットが多数配列された基板を作製した後に、前記基板を0℃以下に冷却した後、湿度30%以上の十分な体積の気体が存在する室温下に戻す工程を含むことを特徴とするDNAチップの製造方法。
In the manufacturing method of the DNA chip of Claim 1,
After the sample solution is supplied onto the substrate to produce a substrate on which a large number of spots are arranged, the substrate is cooled to 0 ° C. or lower, and then at room temperature where a sufficient volume of gas having a humidity of 30% or more exists. A method for producing a DNA chip, comprising a step of returning.
請求項1又は2記載のDNAチップの製造方法において、
前記基板上に前記試料溶液が供給されてスポットが多数配列された基板を作製した後に、前記基板を湿度80%以上の十分な体積の気体が存在する雰囲気下にさらす工程を含むことを特徴とするDNAチップの製造方法。
The method for producing a DNA chip according to claim 1 or 2,
And a step of exposing the substrate to an atmosphere containing a sufficient volume of gas having a humidity of 80% or more after the sample solution is supplied onto the substrate to produce a substrate on which a large number of spots are arranged. A method for manufacturing a DNA chip.
請求項1〜3のいずれか1項に記載のDNAチップの製造方法において、
前記基板上に前記試料溶液が供給されてスポットが多数配列された基板を作製した後に、前記基板をミストを含んだ水蒸気中にさらす工程を含むことを特徴とするDNAチップの製造方法。
In the manufacturing method of the DNA chip of any one of Claims 1-3,
A method for producing a DNA chip, comprising the step of exposing the substrate to water vapor containing mist after the sample solution is supplied onto the substrate to produce a substrate on which a large number of spots are arranged.
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