JP2006072220A - Illuminating device and image generation device - Google Patents

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Satoshi Nakano
聡 中野
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain illuminating light of high uniformity in an illuminating device using a plurality of laser light sources, and an image generation device. <P>SOLUTION: An illuminating device 1A includes collimator lenses 3a provided for a plurality of laser light sources 2a respectively and optical systems 3b disposed in succeeding stages of respective collimator lenses and superposes near field images of respective laser light sources to illuminate a linear radiation object (a linear optical modulator or the like) 4. they are configured so as to satisfy ¾Δθ¾<(w/fc) wherein; fc is the focal length of each collimator lens 3a; w is the width of a near field image relating to each laser light source 2a; and Δθ is a relative angular displacement of adjacent emitted light beams of an emitted luminous flux transmitted through collimator lenses from respective laser light sources. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、レーザ光源を用いた照明装置と該照明装置を用いた画像生成装置(プロジェクタやプリンタ等)への適用において、照明光の不均一性に起因する弊害を克服するための技術に関する。   The present invention relates to a technique for overcoming an adverse effect caused by unevenness of illumination light in application to an illumination device using a laser light source and an image generation device (projector, printer, etc.) using the illumination device.

複数のレーザ光源又は複数本のレーザビームを用いて均一な光強度分布の照明を実現するための光学系が知られている。例えば、プロジェクション型の画像表示装置等への適用においては、一次元空間変調型の光変調素子に対して線状ビームを照射するとともに、該光変調素子を用いて光を変調して得られる一次元画像を、ガルバノメータ等の光走査手段で一次元方向に直交する方向に沿って走査しながらスクリーン上に投影することにより、二次元画像を形成することができる。尚、一次元空間変調型の光変調素子として、例えば、米国シリコン・ライト・マシン(SLM)社開発のグレーティング・ライト・バルブ(Grating Light Valve、以下、「GLV」という。)が挙げられる。このGLV素子は反射型回折格子により構成され、複数の可動リボンが所定間隔で配置され、隣り合う可動リボンの間に固定リボンが配置されている。そして、共通電極と可動リボンとの間に駆動電圧を印加することによって可動リボンが移動し、入射光に対する回折格子が構成される。   An optical system for realizing illumination with a uniform light intensity distribution using a plurality of laser light sources or a plurality of laser beams is known. For example, in application to a projection-type image display device or the like, a primary beam obtained by irradiating a linear beam to a one-dimensional spatial modulation type light modulation element and modulating light using the light modulation element A two-dimensional image can be formed by projecting the original image on a screen while scanning the original image along a direction orthogonal to the one-dimensional direction by an optical scanning unit such as a galvanometer. An example of the one-dimensional spatial modulation type light modulation element is a grating light valve (hereinafter referred to as “GLV”) developed by Silicon Light Machine (SLM). This GLV element is composed of a reflective diffraction grating, and a plurality of movable ribbons are arranged at predetermined intervals, and a fixed ribbon is arranged between adjacent movable ribbons. Then, by applying a drive voltage between the common electrode and the movable ribbon, the movable ribbon moves, and a diffraction grating for incident light is configured.

このような一次元光変調素子への照明においては、所定の範囲で光強度がほぼ一定である必要があり(所謂「トップハット」形状の分布)、例えば、レーザアレイ光源とフライアイレンズを用いて均一な照明を行う場合に、フライアイレンズの分割数がレーザアレイ数の約数であるときでも、強度分布の均一性を高めることができるように、各レンズアレイに入射されるレーザアレイ光のプロファイルについて空間的な位相がそれぞれ異なるようにした設計的手法が知られている(例えば、特許文献1参照)。   In such illumination of the one-dimensional light modulation element, the light intensity needs to be substantially constant within a predetermined range (a so-called “top hat” shape distribution), for example, using a laser array light source and a fly-eye lens. In order to improve the uniformity of intensity distribution even when the number of divisions of the fly-eye lens is a divisor of the number of laser arrays when performing uniform illumination, the laser array light incident on each lens array A design method is known in which the spatial phases of the profiles are different from each other (see, for example, Patent Document 1).

また、並列化光源、レンズアレイ、結像レンズを用いた照明装置において、レンズアレイを構成する各エレメントの偏心を利用して、並列化光源の像を空間的にずらして重ね合わせることで光強度分布の均一化を図るようにした構成形態が挙げられる(例えば、特許文献2参照)。   Also, in an illumination device using a parallel light source, a lens array, and an imaging lens, the light intensity is obtained by using the eccentricity of each element constituting the lens array to superimpose the parallel light source images while being spatially shifted. An example of the configuration is one in which the distribution is made uniform (see, for example, Patent Document 2).

特開2003−218017号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-218017 特開2003−121777号公報JP 2003-121777 A

ところで、従来の照明光学系において、レーザ光源の近視野像(ニアフィールドパターン)を拡大して被照射部(一次元光変調素子)上で重ね合わせる構成とされ、各レーザ光源の近視野像を平均化した強度分布をもって被照射部への照射が行われる。   By the way, in the conventional illumination optical system, the near-field image (near field pattern) of the laser light source is enlarged and superimposed on the irradiated part (one-dimensional light modulation element). The irradiated portion is irradiated with the averaged intensity distribution.

光学設計上では、各レーザ光源やレーザアレイの個々のエミッタに関する特性が理想的な状態、つまり、個体差や特性のバラツキがなく、理想的なガウシアンビームが出力されるものと仮定されるが、現実のレーザの特性は様々であって個体差の存在等について充分な配慮を要する。   In the optical design, it is assumed that the characteristics of each laser light source and the individual emitters of the laser array are in an ideal state, that is, there is no individual difference or characteristic variation, and an ideal Gaussian beam is output. There are various characteristics of actual lasers, and sufficient consideration must be given to the existence of individual differences.

例えば、複数本のレーザ光を重ね合わせることで得られる一次元照明光を光変調素子に対して照射する場合には、個々のレーザの特性が強度分布にそのまま反映されるため、照明光の均一性を得るためには、レーザの近視野像(一般的にはガウス分布のような山なりの強度分布形状をしている。)に対して、「トップハット形状」の強度分布を実現する必要がある。   For example, when one-dimensional illumination light obtained by superimposing a plurality of laser beams is applied to the light modulation element, the characteristics of the individual lasers are reflected as they are in the intensity distribution. In order to obtain the characteristics, it is necessary to realize the “top hat shape” intensity distribution for the near-field image of the laser (generally, it has a mountain-like intensity distribution shape like a Gaussian distribution). There is.

レーザプロジェクションシステム等への適用において要求される、均一な一次元照明光の強度分布が得られない場合には、光利用効率が低くなることや画質への影響が問題となる。   When a uniform intensity distribution of one-dimensional illumination light required in application to a laser projection system or the like cannot be obtained, the light use efficiency becomes low and the influence on image quality becomes a problem.

そこで、本発明は、複数のレーザ光源を用いた照明装置及び画像生成装置において、均一性の高い照明光を得ることを課題とする。   Accordingly, an object of the present invention is to obtain highly uniform illumination light in an illumination device and an image generation device using a plurality of laser light sources.

本発明は、上記した課題を解決するために、複数のレーザ光源に対してそれぞれに設けられたコリメータレンズと、各コリメータレンズの後段に配置された光学系を備え、各レーザ光源の近視野像を拡大して重ね合わせることにより線状照射対象(一次元光変調素子等)への照明を行うものである。そして、コリメータレンズの焦点距離を「fc」と記し、各レーザ光源に係る近視野像の幅を「w」と記し(例えば、所定の強度閾値を基準とする場合に該閾値以上の幅として定義される。)、各レーザ光源からコリメータレンズを透過した出射光束について、上記光学系に向けて出射される光線のうち隣り合う各光線の相対的な角変位を「Δθ」と記すとき、Δθの絶対値|Δθ|が、「|Δθ|<(w/fc) 」を満たすように構成している。   In order to solve the above-described problems, the present invention includes a collimator lens provided for each of a plurality of laser light sources, and an optical system disposed at the subsequent stage of each collimator lens, and a near-field image of each laser light source. Is used to illuminate a linear irradiation target (such as a one-dimensional light modulation element). The focal length of the collimator lens is denoted as “fc”, and the width of the near-field image associated with each laser light source is denoted as “w” (for example, defined as a width equal to or greater than the threshold when a predetermined intensity threshold is used as a reference) When the relative angular displacement of the adjacent light beams among the light beams emitted toward the optical system is denoted as “Δθ”, the output light flux that has passed through the collimator lens from each laser light source is expressed as Δθ The absolute value | Δθ | is configured to satisfy “| Δθ | <(w / fc)”.

従って、本発明では、コリメート後の出射光束に関する角変位Δθに条件を課し、被照射部上での光強度分布を均一化させることが可能である(つまり、「|Δθ|≧(w/fc)」では、空間的な重なり部分の割合が低下してしまい、充分な均一性を保証することが難しくなる。)。   Therefore, in the present invention, it is possible to impose a condition on the angular displacement Δθ relating to the emitted light beam after collimation and to uniformize the light intensity distribution on the irradiated portion (that is, “| Δθ | ≧ (w / In “fc)”, the ratio of spatially overlapping portions is reduced, and it is difficult to ensure sufficient uniformity.)

本発明によれば、照明光の均一性を高めることができ、光学的な影響の緩和や性能保証に有効である。   According to the present invention, the uniformity of illumination light can be improved, which is effective for mitigating optical effects and guaranteeing performance.

そして、「Δθ=α・(w/fc)」とする場合に、α値が「α≦0.25」の範囲内であることが好ましい。その理由は、αの値が0.25より大きい値になると、空間的な重なり部分の割合が低下し、各レーザ光源の出力のばらつきや出力変動の影響によるに均一性の低下が顕著になることに依る。   When “Δθ = α · (w / fc)”, the α value is preferably in the range of “α ≦ 0.25”. The reason is that when the value of α is larger than 0.25, the ratio of the spatial overlap portion decreases, and the decrease in uniformity becomes noticeable due to the output variation of each laser light source and the influence of output fluctuation. Depends.

レーザ光源及びコリメータレンズの姿勢を変化させることにより、隣り合う各光線同士を上記Δθの角度で傾けた形態では構成が簡単であり、角度調整や設定用の光学素子が不要である。   By changing the postures of the laser light source and the collimator lens, the configuration in which the adjacent light beams are inclined at the angle of Δθ is simple, and an optical element for angle adjustment and setting is unnecessary.

また、レーザ光源から発した後でコリメータレンズを透過したレーザ光を反射させるための反射部材を設けるとともに、各反射部材の姿勢を相対的にΔθ/2の角度で傾けた形態では、レーザ光源の配置上の自由度が高く、また、反射部材の角度設定でを行えば済み、調整が容易である。   In addition, a reflection member for reflecting the laser light emitted from the laser light source and transmitted through the collimator lens is provided, and in the form in which the posture of each reflection member is relatively inclined by an angle of Δθ / 2, The degree of freedom in arrangement is high, and it is sufficient to set the angle of the reflecting member, and adjustment is easy.

コリメータレンズに対してその光軸に直交する方向に「fc・Δθ」の変位量でレーザ光源をずらした構成形態では、レーザ光源毎にコリメータレンズへのビーム入射位置を個別に設定することができ、簡便な構成であって損失低減等に有効である。   In the configuration in which the laser light source is shifted by the amount of displacement of “fc · Δθ” with respect to the collimator lens in the direction perpendicular to the optical axis, the beam incident position on the collimator lens can be individually set for each laser light source. It has a simple configuration and is effective in reducing loss.

そして、複数のレーザ光源と、コリメータレンズ及びフーリエ変換レンズを含む光学系と、該光学系からの光の変調に用いる一次元光変調素子とを備え、各レーザ光源の近視野像を拡大して重ね合わせて一次元光変調素子への照明を行い、光変調により画像を生成する画像生成装置への適用においては、光強度分布の均一化により、高性能化や画質の向上等を実現することが可能となる。   And a plurality of laser light sources, an optical system including a collimator lens and a Fourier transform lens, and a one-dimensional light modulation element used for modulating light from the optical system, and expanding a near-field image of each laser light source. In application to an image generation device that illuminates a one-dimensional light modulation element by superimposing and generates an image by light modulation, the light intensity distribution is made uniform to achieve higher performance and improved image quality. Is possible.

本発明は、複数のレーザ光源を用いて均一性の高い照明光が得られるようにし、レーザプロジェクタ装置等への適用において光束利用率を高めることを目的とする。尚、本発明は、例えば、一次元空間変調型の光変調素子により形成される一次元画像を、ガルバノメータ等の光走査手段にて走査することで二次元画像を形成し、これを投影表示する前面投射型又は背面投射型の画像表示装置、あるいはプリンタ等の画像出力装置に適用することが可能である。   It is an object of the present invention to obtain highly uniform illumination light using a plurality of laser light sources, and to increase the luminous flux utilization rate in application to a laser projector apparatus or the like. In the present invention, for example, a two-dimensional image is formed by scanning a one-dimensional image formed by a one-dimensional spatial modulation type light modulation element with an optical scanning means such as a galvanometer, and this is projected and displayed. The present invention can be applied to a front projection type or rear projection type image display device, or an image output device such as a printer.

図1は本発明に係る照明装置1の基本構成を示すものであり、光源部2、光学系3を備えている。   FIG. 1 shows a basic configuration of an illumination device 1 according to the present invention, which includes a light source unit 2 and an optical system 3.

光源部2は、複数のレーザ光源2a、2a、…を用いて構成される。レーザ光源2aとしては、例えば、複数のエミッタ(放射源)を一定方向に配列させた半導体レーザアレイ等の並列化光源を用いた形態や、個別のレーザ光源を複数個用いる形態が挙げられる。本発明の適用においてレーザ光源の種類や配置等が特定の形態に限定される訳ではないので、設計上の自由度が高い。   The light source unit 2 is configured using a plurality of laser light sources 2a, 2a,. Examples of the laser light source 2a include a form using a parallel light source such as a semiconductor laser array in which a plurality of emitters (radiation sources) are arranged in a fixed direction, and a form using a plurality of individual laser light sources. Since the type and arrangement of the laser light source are not limited to a specific form in the application of the present invention, the degree of freedom in design is high.

光源部2からのレーザビームは光学系3に送られた後、その結像面(図中の「S」参照)上において均一性の高い照明光が得られる。尚、この結像面は、例えば、一次元光変調素子の被照射面に相当し、図1に一点鎖線「G」で示すように、一次元方向(素子の長軸方向)の所定範囲に亘って均一な強度分布をもった照明が行われる。   After the laser beam from the light source unit 2 is sent to the optical system 3, illumination light with high uniformity can be obtained on the image plane (see “S” in the figure). This imaging plane corresponds to, for example, the irradiated surface of the one-dimensional light modulation element, and is within a predetermined range in the one-dimensional direction (major axis direction of the element) as shown by a one-dot chain line “G” in FIG. Illumination with a uniform intensity distribution is performed throughout.

光学系3については、単レンズでも良いしレンズ群でも良い。例えば、各レーザ光源2aに対してそれぞれ設けられたコリメータレンズ(あるいはコリメートレンズ)と、各コリメータレンズの後段に配置された結像レンズを備えた構成において、各レーザ光源2aの近視野像を拡大して空間的に重ね合わせた上で線状照射対象(被照射部)への照明を行う。   The optical system 3 may be a single lens or a lens group. For example, in a configuration including a collimator lens (or a collimator lens) provided for each laser light source 2a and an imaging lens disposed at the subsequent stage of each collimator lens, the near-field image of each laser light source 2a is enlarged. Then, after spatially superimposing, the linear irradiation target (irradiated part) is illuminated.

図2は、本発明の実施形態について一例を示したものである。   FIG. 2 shows an example of the embodiment of the present invention.

本例に示す照明装置1Aでは、光源部2が複数個(図中では3個)のレーザエミッタ(レーザ光源2a)から構成され、各エミッタについてはそれぞれの近視野像(図の「NFP」参照)がほぼ等しい幅(これを「w」と記す。)を有している。   In the illuminating device 1A shown in this example, the light source unit 2 includes a plurality (three in the figure) of laser emitters (laser light sources 2a), and each emitter has a near-field image (see “NFP” in the figure). ) Have substantially equal widths (this is referred to as “w”).

各エミッタの光束は、コリメータレンズ(その焦点距離を「fc」と記す。)3aによってそれぞれコリメートされ、さらにはフーリエ変換レンズ(その焦点距離を「fFT」と記す。)3bにより、該レンズの焦点上に配置された被照射部4、例えば、一次元空間変調器において各エミッタの近視野像が幅(これを「D」と記す。)をもって再結像される。尚、ここで、「D=w・(fFT/fc)」の関係が成立する。 The luminous flux of each emitter is collimated by a collimator lens (whose focal length is denoted as “fc”) 3a, and further, a Fourier transform lens (whose focal length is denoted as “f FT ”) 3b. A near-field image of each emitter is re-imaged with a width (denoted as “D”) in an irradiated portion 4 arranged on the focal point, for example, a one-dimensional spatial modulator. Here, the relationship “D = w · (f FT / fc)” is established.

エミッタとコリメータレンズとを組みとする3つのコリメーションユニット5U、5C、5Dが配置され、各ユニットについては、図示しない支持部材に搭載されるとともに既知の調整機構によってユニット毎の姿勢を変化させることができる。   Three collimation units 5U, 5C, and 5D each including an emitter and a collimator lens are disposed. Each unit is mounted on a support member (not shown) and the posture of each unit can be changed by a known adjustment mechanism. it can.

本例では、図の上下方向において中央に位置するコリメーションユニット5Cから出射されるレーザ光がフーリエ変換レンズ3bの光軸に平行な方向に伝播する。 これに対して、図の上下に位置するコリメーションユニット5U、5Dについては、中央のコリメーションユニット5Cに対して、それぞれ「−Δθ」、「+Δθ」の角変位(角度については時計回り方向を正方向とする。)をもって傾いている。つまり、それぞれの出射光束に関しては、その出射光線の伝播方向が、中央のコリメーションユニット5Cからの出射光線の伝播方向に対して、それぞれΔθの角度をなしている。尚、本例では、コリメーションユニット5U、5Dの出射光が、コリメーションユニット5Cの出射光から離れる方向に伝播してフーリエ変換レンズ3bに入射される。   In this example, the laser light emitted from the collimation unit 5C located at the center in the vertical direction of the figure propagates in a direction parallel to the optical axis of the Fourier transform lens 3b. On the other hand, with respect to the collimation units 5U and 5D positioned above and below the figure, the angular displacements of “−Δθ” and “+ Δθ” are respectively positive with respect to the central collimation unit 5C. And tilted. That is, with respect to each outgoing light beam, the propagation direction of the outgoing light beam forms an angle of Δθ with respect to the propagation direction of the outgoing light beam from the central collimation unit 5C. In this example, the light emitted from the collimation units 5U and 5D propagates in a direction away from the light emitted from the collimation unit 5C and enters the Fourier transform lens 3b.

この結果、図3に示すように、一次元空間変調器上では、コリメーションユニット5U、5Dからの光束が、コリメーションユニット5Cからの光束に対して、それぞれ「+Δx」、「−Δx」だけずれて結像する(図に破線で示す曲線を参照。)。尚、「Δx=Δθ・fFT」である。 As a result, as shown in FIG. 3, on the one-dimensional spatial modulator, the light beams from the collimation units 5U and 5D are shifted by “+ Δx” and “−Δx” respectively from the light beams from the collimation unit 5C. An image is formed (see the curve indicated by the broken line in the figure). Note that “Δx = Δθ · f FT ”.

パラメータ「α」を導入して、「Δθ=α・(w/fc)」と記すとき、下式が得られる。   When the parameter “α” is introduced and expressed as “Δθ = α · (w / fc)”, the following equation is obtained.

Δx=Δθ・fFT=α・(w/fc)・fFT=α・D Δx = Δθ · f FT = α · (w / fc) · f FT = α · D

例えば、「α=0.25」として、「Δθ=0.25・(w/fc)」となるよう角変位Δθを選んだ場合には、「Δx=0.25・D」となる。つまり、各コリメーションユニットからの光束は互いに各幅Dの4分の1の値だけ一次元空間変調器の長さ方向(長軸方向)にシフトした状態で結像する。   For example, when “α = 0.25” is selected and the angular displacement Δθ is selected to be “Δθ = 0.25 · (w / fc)”, “Δx = 0.25 · D”. That is, the light beams from each collimation unit are imaged in a state where they are shifted in the length direction (major axis direction) of the one-dimensional spatial light modulator by a value of a quarter of each width D.

このように、一次元空間変調器上において、各近視野像が互いにシフトした関係をもって結像され、それぞれの分布を重ね合わせた合成光強度分布が得られる。図3に示すように、一次元空間変調器の長さ方向に対する均一度が増した分布形状となり、これによって光利用効率が増加する。   In this manner, on the one-dimensional spatial modulator, the near-field images are formed in a shifted relationship with each other, and a combined light intensity distribution obtained by superimposing the respective distributions is obtained. As shown in FIG. 3, the distribution shape has increased uniformity in the length direction of the one-dimensional spatial modulator, thereby increasing the light utilization efficiency.

また、合成光強度分布に係る一次元空間変調器の長さ方向の幅を「Dttl」とすると、この幅は「2・Δx+D」(=(2・α+1)・D)に近い値となるが、一次元空間変調器の長さ(長軸方向における有効長)を「L」としたとき、「L≦Dttl≦1.2・L」の範囲が好ましい。つまり、Dttl値がL未満となる場合には、一次元空間変調器における画素配列に対して充分な照射範囲に亘って照明することができず、また、Dttl値が「1.2・L」よりも大きくなると、実質的な照射範囲の占める割合が少なくなるので光利用効率が低くなってしまう。 Further, if the width in the length direction of the one-dimensional spatial modulator related to the combined light intensity distribution is “D ttl ”, this width is a value close to “2 · Δx + D” (= (2 · α + 1) · D). However, when the length of the one-dimensional spatial modulator (effective length in the long axis direction) is “L”, the range of “L ≦ D ttl ≦ 1.2 · L” is preferable. In other words, when the D ttl value is less than L, the pixel array in the one-dimensional spatial modulator cannot be illuminated over a sufficient irradiation range, and the D ttl value is “1.2 · If it is larger than “L”, the ratio of the substantial irradiation range is reduced, so that the light use efficiency is lowered.

尚、上記の説明では、光源数が3個の場合を示したが、光源数がn個の場合に一般化することにより同様の構成を実現可能である(この場合に、Dttlは「(n−1)・Δx+D」に近い値となる。)。 In the above description, the case where the number of light sources is three is shown, but a similar configuration can be realized by generalizing when the number of light sources is n (in this case, D ttl is “( n−1) · Δx + D ”.

本発明の適用においては、上記「α=0.25」に限らないので、「0<α<1」の場合、フーリエ変換レンズ3bの光軸を基準とする各出射光線の角変位Δθの絶対値|Δθ|は、「0≦|Δθ|<(w/fc) 」を満たす。   Since the application of the present invention is not limited to “α = 0.25”, when “0 <α <1,” the absolute displacement Δθ of each outgoing ray with respect to the optical axis of the Fourier transform lens 3b is used. The value | Δθ | satisfies “0 ≦ | Δθ | <(w / fc)”.

実用上でのα値については、「α≦0.25」の範囲が好ましい。つまり、α値が上限値「0.25」を越える場合には、各レーザ光源の出力ばらつきや出力変動の影響により、光強度分布に係る均一性の低下が顕著になるといったデメリットが生じてくる。   The practical α value is preferably in the range of “α ≦ 0.25”. That is, when the α value exceeds the upper limit “0.25”, there is a demerit that the uniformity of the light intensity distribution is significantly reduced due to the output variation and output fluctuation of each laser light source. .

また、上記の説明では、コリメーションユニット(レーザ光源及びコリメータレンズを含む。)を回転させることにより、該ユニットからの出射光を傾けるようにしたが(該ユニットの姿勢を基準軸に対して変化させることでΔθの角度設定を行う形態)、本発明の適用においてはこれを含めて下記に示す各種の形態が挙げられる。   In the above description, the collimation unit (including the laser light source and the collimator lens) is rotated so that the light emitted from the unit is tilted (the posture of the unit is changed with respect to the reference axis). In other words, in the application of the present invention, various forms shown below are included.

(I)隣り合うコリメーションユニットの姿勢を、相対的にΔθの角度で傾ける構成形態
(II)コリメータレンズを透過したレーザ光を反射させるための反射部材を設けるともに、各反射部材の姿勢を互いにΔθ/2の角度で傾ける構成形態
(III)コリメータレンズに対してその光軸に直交する方向においてレーザ光源を「fc・Δθ」の変位量でずらす構成形態
(IV)上記(I)乃至(III)の2つ以上を組み合せた構成形態
(I) A configuration in which the postures of adjacent collimation units are relatively inclined by an angle of Δθ. (II) A reflection member for reflecting the laser light transmitted through the collimator lens is provided, and the postures of the reflection members are mutually Δθ. (III) Configuration in which the laser light source is shifted by a displacement of “fc · Δθ” with respect to the collimator lens in a direction perpendicular to the optical axis. (IV) Above (I) to (III) Configuration form combining two or more

図4は、上記形態(II)に係る照明装置1Bを例示したものであり、各コリメータレンズを透過したレーザ光を反射させるための反射部材(6U、6C、6D)がそれぞれ設けられている。即ち、各コリメーションユニットからの出射光を各反射部材によって反射させる構成とし、それぞれの反射部材の角度がΔθ/2ずつ異なるように設定されている。   FIG. 4 illustrates the illuminating device 1B according to the embodiment (II), and is provided with reflecting members (6U, 6C, 6D) for reflecting the laser light transmitted through each collimator lens. That is, the light emitted from each collimation unit is reflected by each reflecting member, and the angle of each reflecting member is set to be different by Δθ / 2.

本例では、図の上下方向において中央に位置するコリメーションユニット5Cから出射されるレーザ光が、反射部材6Cにより反射されることで90°の角度をもって光路変更を受け、フーリエ変換レンズ3bの光軸に平行な方向に伝播する。 これに対して、図の上下に位置するコリメーションユニット5U、5Dについては、その出射光が反射部材6U、6Dによってそれぞれ反射されるが、反射部材6Uの姿勢が基準方向に対して「−Δθ/2」の角度だけ傾き、反射部材6Dの姿勢が基準方向に対して「+Δθ/2」の角度だけ傾いている。つまり、各反射部材で反射された光線は、反射部材6Cによる反射光の伝播方向に対して、それぞれ「−Δθ」、「+Δθ」の角度をなしている。尚、本例では、反射部材6U、6Dによってそれぞれ光路変更を受けた光が、反射部材6Cにより光路変更を受けた光から離れる方向に伝播してフーリエ変換レンズ3bに入射される。   In this example, the laser beam emitted from the collimation unit 5C located in the center in the vertical direction in the figure is reflected by the reflecting member 6C, thereby undergoing an optical path change at an angle of 90 °, and the optical axis of the Fourier transform lens 3b. Propagates in a direction parallel to On the other hand, with respect to the collimation units 5U and 5D positioned above and below in the drawing, the emitted light is reflected by the reflecting members 6U and 6D, respectively, but the posture of the reflecting member 6U is “−Δθ / The angle of the reflection member 6D is inclined by an angle of “+ Δθ / 2” with respect to the reference direction. That is, the light beams reflected by the respective reflecting members form angles of “−Δθ” and “+ Δθ”, respectively, with respect to the propagation direction of the reflected light by the reflecting member 6C. In this example, the light whose optical path has been changed by the reflecting members 6U and 6D propagates in the direction away from the light whose optical path has been changed by the reflecting member 6C, and enters the Fourier transform lens 3b.

図5は、上記形態(III)に係る照明装置1Cを例示したものであり、コリメーションユニット内のコリメータレンズに対するエミッタ中心の相対位置を、「fc・Δθ」ずつずらすことにより、コリメーションユニットからの出射光線を基準光軸に対して傾けている。尚、各エミッタについては、ディスクリート形態としてレーザダイオードをそれぞれに用いることができる。あるいは、所定間隔をもって配列されたエミッタの出射光軸に対してコリメータレンズの光軸を相対的にずらした構成も可能である。   FIG. 5 illustrates the illuminating device 1C according to the embodiment (III), and the emission from the collimation unit is performed by shifting the relative position of the emitter center with respect to the collimator lens in the collimation unit by “fc · Δθ”. The light beam is tilted with respect to the reference optical axis. For each emitter, a laser diode can be used as a discrete form. Alternatively, a configuration in which the optical axis of the collimator lens is displaced relative to the outgoing optical axis of the emitters arranged at a predetermined interval is also possible.

本例では、図の上下方向において中央に位置するコリメーションユニット5Cから出射されるレーザ光が、フーリエ変換レンズ3bの光軸に平行な方向に伝播する。 つまり、コリメーションユニット5Cを構成するコリメータレンズ3aの光軸上にエミッタの中心が位置するように設定されている。これに対して、図の上下に位置するコリメーションユニット5U、5Dについては、各ユニットを構成するコリメータレンズ3aの光軸上からずれた位置にエミッタの中心が設定されている。コリメーションユニット5Uのコリメータレンズ3aの光軸に対して、該光軸に直交する方向におけるエミッタの位置変位が「−fc・Δθ」とされ(図の下方への変位)、また、コリメーションユニット5Dのコリメータレンズ3aの光軸に対して、該光軸に直交する方向におけるエミッタの位置変位が「+fc・Δθ」とされる(図の上方への変位)。これによって、各コリメーションユニット5U、5Dの出射光線は、コリメーションユニット5Cの出射光線の伝播方向に対して、それぞれ「−Δθ」、「+Δθ」の角度をなしている。尚、本例では、各コリメーションユニット5U、5Dの出射光が、コリメーションユニット5Cの出射光から離れる方向に伝播してフーリエ変換レンズ3bに入射される。   In this example, the laser light emitted from the collimation unit 5C located at the center in the vertical direction of the figure propagates in a direction parallel to the optical axis of the Fourier transform lens 3b. That is, the center of the emitter is set on the optical axis of the collimator lens 3a constituting the collimation unit 5C. On the other hand, for the collimation units 5U and 5D positioned in the upper and lower directions in the figure, the center of the emitter is set at a position shifted from the optical axis of the collimator lens 3a constituting each unit. With respect to the optical axis of the collimator lens 3a of the collimation unit 5U, the positional displacement of the emitter in the direction orthogonal to the optical axis is set to “−fc · Δθ” (displacement downward in the figure), and the collimation unit 5D The positional displacement of the emitter in the direction orthogonal to the optical axis of the collimator lens 3a is set to “+ fc · Δθ” (displacement upward in the figure). As a result, the outgoing rays of the collimation units 5U and 5D form angles of “−Δθ” and “+ Δθ”, respectively, with respect to the propagation direction of the outgoing rays of the collimation unit 5C. In this example, the emitted light of each of the collimation units 5U and 5D propagates in a direction away from the emitted light of the collimation unit 5C and enters the Fourier transform lens 3b.

上記形態(IV)では、上記(I)乃至(III)の組み合せることによって各種態様での設計が可能であるが、徒らに構成を複雑化させるよりは、Δθの調整や設定が容易であって、かつ経年変化や温度変化等の影響を受け難い構成が好ましい。   In the above form (IV), it is possible to design in various aspects by combining the above (I) to (III). However, it is easy to adjust and set Δθ rather than making the structure complicated. In addition, a configuration that is hardly affected by aging, temperature change, and the like is preferable.

図6及び図7は、本発明に係る画像生成装置の構成例を示したものである。尚、照明光学系の光軸をx軸にとり、これに直交する2軸をそれぞれy軸、z軸とするとき、図6がx−z面内での構成を示し、図7がx−y面内での構成を示している。   6 and 7 show a configuration example of the image generation apparatus according to the present invention. When the optical axis of the illumination optical system is taken as the x-axis, and the two axes orthogonal thereto are the y-axis and z-axis, respectively, FIG. 6 shows the configuration in the xz plane, and FIG. An in-plane configuration is shown.

本例に示す画像生成装置7は、プロジェクション装置等の画像表示装置に適用したものであり、光源部8、照明光学系9、一次元光変調素子10、投射光学系11、光走査系12を備えている。   The image generation apparatus 7 shown in this example is applied to an image display apparatus such as a projection apparatus, and includes a light source unit 8, an illumination optical system 9, a one-dimensional light modulation element 10, a projection optical system 11, and an optical scanning system 12. I have.

光源部8は、LD(レーザダイオード)エミッタ等、複数のレーザ光源2a、2a、…を用いて構成され、各レーザ光源に対してコリメータレンズ3a、3a、…がそれぞれに設けられている。   The light source unit 8 is configured using a plurality of laser light sources 2a, 2a,... Such as LD (laser diode) emitters, and collimator lenses 3a, 3a,.

照明光学系9は、各コリメータレンズ3aの後段に配置されたフーリエ変換レンズ3bと集光レンズ3cを含む結像光学系を有する。フーリエ変換レンズ3bは、x−z面において正パワーをもつが、x−y面においてパワーをもたない。また、集光レンズ3cは、x−y面において正パワーをもつが、x−z面においてパワーをもたない。尚、本例に限らず、さらにビームエキスパンダ光学系等を照明光学系に設けて一次元光変調素子の被照射面上に所定の横倍率で拡大照明を行うといった形態が挙げられる。   The illumination optical system 9 has an imaging optical system including a Fourier transform lens 3b and a condensing lens 3c arranged at the subsequent stage of each collimator lens 3a. The Fourier transform lens 3b has a positive power in the xz plane, but has no power in the xy plane. The condensing lens 3c has positive power in the xy plane, but does not have power in the xz plane. The present invention is not limited to this example, and a form in which a beam expander optical system or the like is further provided in the illumination optical system and enlarged illumination is performed at a predetermined lateral magnification on the irradiated surface of the one-dimensional light modulation element.

照明光学系9を経た光は一次元光変調素子10に照射され、該素子を用いてレーザ光が変調される。尚、図には一次元光変調素子に関して透過型の構成を示しているが、反射型の構成も可能である。例えば、GLV素子を使った適用例において、反射型回折格子の場合、複数の可動リボン及び固定リボンが所定の方向に沿って交互に配置されている。1画素を構成する6本のリボン素子が設けられていて、3本ずつの可動リボンと固定リボンとが1つおきにそれぞれ配置されている場合に、1ライン分の1080画素では6480本のリボン素子が一次元方向(長軸方向)に沿って配列される。照明光学系9からのレーザ光の照射面において、可動リボンの表面である第1面と、固定リボンの表面である第2面とが交互に配置されるとともに、駆動信号を受けて可動リボンが移動されてその第1面がレーザ光の照射方向に沿う方向に位置制御される。つまり、画像信号に応じた駆動電圧を印加すると、駆動電圧値に対応する変位量をもって可動リボンが移動し、この状態(所謂ピクセルオン時)では入射光に対する反射型回折格子が構成される(一次回折光の発生)。また、可動リボンを動かさずに固定リボンとの間で変位量を揃えた状態(所謂ピクセルオフ時)では、一次回折光が発生しない(入射光に対する正反射のみ)。   The light that has passed through the illumination optical system 9 is applied to the one-dimensional light modulation element 10, and the laser light is modulated using the element. Although the figure shows a transmissive configuration for the one-dimensional light modulation element, a reflective configuration is also possible. For example, in an application example using a GLV element, in the case of a reflective diffraction grating, a plurality of movable ribbons and fixed ribbons are alternately arranged along a predetermined direction. When six ribbon elements constituting one pixel are provided and every three movable ribbons and every other fixed ribbon are arranged, 6480 ribbons for 1080 pixels for one line. Elements are arranged along a one-dimensional direction (major axis direction). On the irradiation surface of the laser beam from the illumination optical system 9, the first surface that is the surface of the movable ribbon and the second surface that is the surface of the fixed ribbon are alternately arranged, and the movable ribbon is received by receiving a drive signal. The position of the first surface is controlled in the direction along the irradiation direction of the laser beam. That is, when a driving voltage corresponding to an image signal is applied, the movable ribbon moves with a displacement corresponding to the driving voltage value, and in this state (so-called pixel on), a reflective diffraction grating for incident light is configured (primary Generation of diffracted light). Further, in a state where the displacement amount is made uniform with the fixed ribbon without moving the movable ribbon (so-called pixel off), the first-order diffracted light is not generated (only regular reflection with respect to the incident light).

一次元光変調素子10を用いて変調された光は、投射光学系11を経て光走査系12に到達する。尚、投射光学系11には、投射レンズの他、例えば、特定次数の回折光成分を選別する空間フィルタ(シュリーレンフィルタ)、ディフュ−ザ等が含まれる。   The light modulated using the one-dimensional light modulation element 10 reaches the optical scanning system 12 via the projection optical system 11. In addition to the projection lens, the projection optical system 11 includes, for example, a spatial filter (Schlieren filter), a diffuser, and the like for selecting a diffracted light component of a specific order.

光走査系12には、例えば、ガルバノメータ等が用いられ、一次元像の入射光を受けて二次元像を形成する。即ち、一次元像の形成方向を「第一の方向」とするとき、該方向は一次元光変調素子の長軸方向に対応しており、該第一の方向に対して直交する「第二の方向」に沿って光走査を行うことにより二次元像が形成される。尚、走査方式については、一方向性スキャン方式と双方向性スキャン方式が挙げられる。前者の方式では、例えば、表示画面の左端縁が走査開始位置とされ、右端縁が走査終了位置とされており、左端縁から光走査が開始されて上記第一の方向に延びる縦ラインが上記第二の方向に沿って走査された後、右端縁に達すると再び左端縁に戻って光走査が繰り返される。また、後者の方式では、表示画面の左端縁及び右端縁が走査開始位置及び走査終了位置とされ、例えば、左端縁から光走査が開始されて、上記第一の方向に延びる縦ラインが上記第二の方向に沿って走査された後、右端縁に達すると、今度は反対方向に光走査が行われ、元の左端縁に達すると左端縁から再び光走査を開始するという動作が繰り返される。   For example, a galvanometer or the like is used as the optical scanning system 12 and receives a one-dimensional image of incident light to form a two-dimensional image. That is, when the formation direction of the one-dimensional image is the “first direction”, the direction corresponds to the major axis direction of the one-dimensional light modulation element, and the “second direction” is orthogonal to the first direction. A two-dimensional image is formed by performing optical scanning along the “direction of”. Note that the scanning method includes a unidirectional scanning method and a bidirectional scanning method. In the former method, for example, the left edge of the display screen is set as the scanning start position, the right edge is set as the scanning end position, and the vertical line extending in the first direction from the left edge is started. After scanning along the second direction, when the right edge is reached, the light returns to the left edge again and the optical scanning is repeated. In the latter method, the left edge and the right edge of the display screen are set as the scanning start position and the scanning end position. For example, optical scanning is started from the left edge, and the vertical line extending in the first direction is the first line. After scanning along the two directions, when the right edge is reached, light scanning is performed in the opposite direction, and when the original left edge is reached, the light scanning is started again from the left edge.

プロジェクタ装置では、光走査によって得られる二次元像が図示しないスクリーン上に投影されることで映像が表示される。尚、本例では、一次元像が投射光学系11を経て光走査が行われる構成形態を示しているが、これに限らず、一次元像の光走査によって二次元中間像を形成してから投射光学系を経て画像投影を行う構成形態を採用しても構わない。   In the projector device, an image is displayed by projecting a two-dimensional image obtained by optical scanning onto a screen (not shown). In this example, a configuration in which a one-dimensional image is optically scanned through the projection optical system 11 is shown. However, the present invention is not limited thereto, and a two-dimensional intermediate image is formed by optical scanning of a one-dimensional image. A configuration in which an image is projected through a projection optical system may be adopted.

画像生成装置7では、各レーザ光源の近視野像を拡大して重ね合わせて一次元光変調素子10への照明を行い、該一次元光変調素子を用いた光変調により画像を生成することが可能であるが、レーザ光源2aとコリメータレンズ3a、フーリエ変換レンズ3bを含む光学系において、前記した形態(I)乃至(IV)を適用することにより、一次元光変調素子11の長軸方向(画素配列方向、つまり、図6のz方向に相当する)に沿って均一度の高い光強度分布形状が得られ、その結果、光利用効率が増加する。   In the image generation device 7, the near-field images of the respective laser light sources are enlarged and superimposed to illuminate the one-dimensional light modulation element 10, and an image is generated by light modulation using the one-dimensional light modulation element. Although possible, in the optical system including the laser light source 2a, the collimator lens 3a, and the Fourier transform lens 3b, by applying the above-described forms (I) to (IV), the major axis direction of the one-dimensional light modulation element 11 ( A light intensity distribution shape with high uniformity is obtained along the pixel array direction (that is, corresponding to the z direction in FIG. 6), and as a result, the light utilization efficiency increases.

以上に説明した構成によれば、複数のレーザ光源を用いて均一性の高い照明光を得ることができ、光変調素子を用いて照射光学系からの光を変調することにより画像を生成する装置への適用において、高画質化等に効果的である。   According to the configuration described above, a highly uniform illumination light can be obtained using a plurality of laser light sources, and an image is generated by modulating light from an irradiation optical system using a light modulation element. This is effective for improving the image quality.

本発明に係る照明装置の基本構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the basic composition of the illuminating device which concerns on this invention. 本発明の実施形態について一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example about embodiment of this invention. 被照射部上での光強度分布について説明するための図である。It is a figure for demonstrating light intensity distribution on a to-be-irradiated part. 本発明に係る別の構成例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows another structural example which concerns on this invention. 本発明に係るさらに別の構成例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows another structural example which concerns on this invention. 図7とともに本発明に係る画像生成装置の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the image generation apparatus which concerns on this invention with FIG. 図6とは異なる方向からみた場合の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure at the time of seeing from the direction different from FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1、1A、1B、1C…照明装置、2…光源部、2a…レーザ光源、3…光学系、3a…コリメータレンズ、3b…フーリエ変換レンズ、6U、6C、6D…反射部材、7…画像生成装置、8…光源部、10…一次元光変調素子   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1A, 1B, 1C ... Illuminating device, 2 ... Light source part, 2a ... Laser light source, 3 ... Optical system, 3a ... Collimator lens, 3b ... Fourier transform lens, 6U, 6C, 6D ... Reflective member, 7 ... Image generation Apparatus, 8 ... light source unit, 10 ... one-dimensional light modulation element

Claims (10)

複数のレーザ光源と、各レーザ光源に対してそれぞれ設けられたコリメータレンズと、該コリメータレンズの後段に配置された光学系を備え、各レーザ光源の近視野像を拡大して重ね合わせて線状照射対象への照明を行う照明装置において、
上記コリメータレンズの焦点距離を「fc」と記し、上記各レーザ光源に係る近視野像の幅を「w」と記し、上記各レーザ光源から上記コリメータレンズを透過した出射光束について、隣り合う出射光線の相対的な角変位を「Δθ」と記すとき、Δθの絶対値|Δθ|が、「|Δθ|<(w/fc) 」を満たす
ことを特徴とする照明装置。
Equipped with a plurality of laser light sources, a collimator lens provided for each laser light source, and an optical system arranged at the subsequent stage of the collimator lens, and enlarges the near-field image of each laser light source to form a linear shape In the lighting device that illuminates the irradiation target,
The focal length of the collimator lens is denoted as “fc”, the width of the near-field image associated with each laser light source is denoted as “w”, and the emitted light beams transmitted from the laser light sources through the collimator lens are adjacent to each other. The absolute value | Δθ | of Δθ satisfies “| Δθ | <(w / fc)” when the relative angular displacement of is expressed as “Δθ”.
請求項1に記載した照明装置において、
上記Δθが「Δθ=α・(w/fc)」(但し、α≦0.25)である
ことを特徴とする照明装置。
The lighting device according to claim 1,
The above-mentioned Δθ is “Δθ = α · (w / fc)” (where α ≦ 0.25).
請求項1に記載した照明装置において、
互いに隣り合う上記レーザ光源及び該レーザ光源に対応するコリメータレンズの姿勢を、相対的に上記Δθの角度で傾けた
ことを特徴とする照明装置。
The lighting device according to claim 1,
The illuminating device, wherein the laser light sources adjacent to each other and the postures of the collimator lenses corresponding to the laser light sources are relatively inclined by the angle Δθ.
請求項1に記載した照明装置において、
上記レーザ光源から発した後で該レーザ光源に対応するコリメータレンズを透過したレーザ光を反射させるための反射部材を設けるとともに、各反射部材の姿勢を相対的にΔθ/2の角度で傾けた
ことを特徴とする照明装置。
The lighting device according to claim 1,
A reflecting member for reflecting the laser light emitted from the laser light source and transmitted through the collimator lens corresponding to the laser light source is provided, and the posture of each reflecting member is relatively inclined by an angle of Δθ / 2. A lighting device characterized by the above.
請求項1に記載した照明装置において、
上記レーザ光源を、上記コリメータレンズに対してその光軸に直交する方向に沿って互いに「fc・Δθ」の変位量でずらした
ことを特徴とする照明装置。
The lighting device according to claim 1,
The illuminating apparatus characterized in that the laser light sources are shifted from each other by a displacement amount of “fc · Δθ” along a direction perpendicular to the optical axis with respect to the collimator lens.
複数のレーザ光源と、各レーザ光源に対してそれぞれ設けられたコリメータレンズ及び該コリメータレンズの後段に配置されたフーリエ変換レンズを含む光学系と、該光学系からの光の変調に用いる一次元光変調素子とを備え、各レーザ光源の近視野像を拡大して重ね合わせて一次元光変調素子への照明を行い、該一次元光変調素子を用いた光変調により画像を生成する画像生成装置において、
上記コリメータレンズの焦点距離を「fc」と記し、上記各レーザ光源に係る近視野像の幅を「w」と記し、上記各レーザ光源から上記コリメータレンズを透過した出射光束について、隣り合う出射光線の相対的な角変位を「Δθ」と記すとき、Δθの絶対値|Δθ|が、「|Δθ|<(w/fc) 」を満たす
ことを特徴とする画像生成装置。
An optical system including a plurality of laser light sources, a collimator lens provided for each of the laser light sources, and a Fourier transform lens disposed at the subsequent stage of the collimator lens, and one-dimensional light used for modulation of light from the optical system An image generating apparatus comprising: a modulation element; illuminating the one-dimensional light modulation element by magnifying and superimposing a near-field image of each laser light source; and generating an image by light modulation using the one-dimensional light modulation element In
The focal length of the collimator lens is denoted as “fc”, the width of the near-field image associated with each laser light source is denoted as “w”, and the emitted light beams transmitted from the laser light sources through the collimator lens are adjacent to each other. An absolute value | Δθ | of Δθ satisfies “| Δθ | <(w / fc)” when the relative angular displacement of is expressed as “Δθ”.
請求項6に記載した画像生成装置において、
上記Δθが「Δθ=α・(w/fc)」(但し、α≦0.25)である
ことを特徴とする画像生成装置。
The image generation apparatus according to claim 6,
The image generation apparatus, wherein Δθ is “Δθ = α · (w / fc)” (where α ≦ 0.25).
請求項6に記載した画像生成装置において、
互いに隣り合う上記レーザ光源及び該レーザ光源に対応するコリメータレンズの姿勢を、相対的に上記Δθの角度で傾けた
ことを特徴とする画像生成装置。
The image generation apparatus according to claim 6,
An image generating apparatus, wherein the laser light sources adjacent to each other and the postures of the collimator lenses corresponding to the laser light sources are relatively inclined by the angle Δθ.
請求項6に記載した画像生成装置において、
上記レーザ光源から発した後で該レーザ光源に対応するコリメータレンズを透過したレーザ光を反射させるための反射部材を設けるとともに、各反射部材の姿勢を相対的にΔθ/2の角度で傾けた
ことを特徴とする画像生成装置。
The image generation apparatus according to claim 6,
A reflecting member for reflecting the laser light emitted from the laser light source and transmitted through the collimator lens corresponding to the laser light source is provided, and the posture of each reflecting member is relatively inclined by an angle of Δθ / 2. An image generation apparatus characterized by the above.
請求項1に記載した画像生成装置において、
上記レーザ光源を、上記コリメータレンズに対してその光軸に直交する方向に沿って互いに「fc・Δθ」の変位量でずらした
ことを特徴とする画像生成装置。
The image generation apparatus according to claim 1,
An image generating apparatus, wherein the laser light source is shifted by a displacement amount of “fc · Δθ” from each other along a direction orthogonal to the optical axis with respect to the collimator lens.
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