JP2006070713A

JP2006070713A - Liquid supply device

Info

Publication number: JP2006070713A
Application number: JP2004251633A
Authority: JP
Inventors: Makoto Tanabe; 真田辺
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2004-08-31
Filing date: 2004-08-31
Publication date: 2006-03-16

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid supply device employing a magnet pump capable of supplying liquid without an overload on the magnet pump even in a small amount of discharge flow. <P>SOLUTION: The liquid supply device is provided with a tank 11 for reserving liquid L, a magnet pump 2, a shower head 4 through which the liquid L is discharged, a supply piping 6 for connecting the tank 1 with the magnet pump 2, a discharge piping 7 for connecting the magnet pump 2 with the shower head 4 and a circulation piping 8 branched off from the discharge piping 7 to be connected with the tank 1. By adjusting liquid flow to the circulation piping 8, the liquid flow through the shower head 4 can be adjusted with the discharge amount of the magnet pump 2 kept constant. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は液体供給装置に関し、より詳細にはマグネットポンプを用いてタンクから吐出部へ液体を供給する装置に関するものである。 The present invention relates to a liquid supply apparatus, and more particularly to an apparatus for supplying a liquid from a tank to a discharge unit using a magnet pump.

液体を送り出す手段として、渦巻きポンプや渦流ポンプなどのメカニカルポンプがこれまでから広く使用されている。しかし、このようなメカニカルポンプでは、軸シール部分から液体が漏れることがある。特に、長期間の使用によって軸シール部分が摩耗すると液体漏れが不可避的に生じる。このような液体漏れを防止するためには、定期的に軸シール部分を交換しなければならず、多くの労力と時間が必要となる。 Mechanical pumps such as vortex pumps and vortex pumps have been widely used as means for delivering liquids. However, in such a mechanical pump, liquid may leak from the shaft seal portion. In particular, when the shaft seal portion is worn due to long-term use, liquid leakage inevitably occurs. In order to prevent such liquid leakage, the shaft seal portion must be periodically replaced, and much labor and time are required.

そこで、ケーシングを密閉容器とし、インペラーの軸に磁石を取り付けるとともに、ケーシングの外側に、電動モータで回転する磁石を取り付け、磁力を利用してインペラーを回転させるマグネットポンプが開発され、近年使用されつつある。このマグネットポンプでは軸シールは不要であるため、軸シール部分からの液体漏れは発生しない。 Therefore, a magnet pump has been developed and used in recent years in which the casing is a sealed container, a magnet is attached to the shaft of the impeller, a magnet that is rotated by an electric motor is attached to the outside of the casing, and the impeller is rotated using magnetic force. is there. Since this magnet pump does not require a shaft seal, liquid leakage from the shaft seal portion does not occur.

一方、マグネットポンプにはその構造から、吐出流量を少なくすると軸動力が大きくなり電動モータに過負荷が掛かるという特性がある。このため、使用に際しては所定値以上の吐出流量を保持する必要がある。 On the other hand, due to the structure of the magnet pump, there is a characteristic that if the discharge flow rate is reduced, the shaft power increases and the electric motor is overloaded. For this reason, it is necessary to maintain a discharge flow rate equal to or higher than a predetermined value in use.

ところが、例えば製品の洗浄工程などでは、製品の種類に応じて洗浄液の吐出量を調整することが日常的に行われている。図３に、従来の液体供給装置の一例を示す概説図を示す。図３の液体供給装置では、タンク１に貯留された洗浄液Ｌは配管６を通ってマグネットポンプ２へ供給される。そして洗浄液Ｌは、マグネットポンプ２によって、途中フィルタ３によって異物や気泡が除去された後、シャワーノズル４へ送られる。シャワーノズル４に送られた洗浄液Ｌは、シャワーノズル４の噴出口（不図示）から、シャワーノズル４の下方を図の右方向に搬送される板状製品９に向かって噴射され、これにより製品９の表面が洗浄される。なお、複数のフィルタ３が並列に取り付けられているのは、シャワーヘッド４への洗浄液Ｌの供給を止めることなく各フィルタ３を個別に交換可能とするためである。またフィルタ３を交換する際のエアーを除去するために各フィルターにドレイン配管１１が接続されている。 However, in a product cleaning process, for example, it is a common practice to adjust the discharge amount of the cleaning liquid in accordance with the type of product. FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of a conventional liquid supply apparatus. In the liquid supply apparatus of FIG. 3, the cleaning liquid L stored in the tank 1 is supplied to the magnet pump 2 through the pipe 6. Then, the cleaning liquid L is sent to the shower nozzle 4 after foreign matter and bubbles are removed by the filter 3 on the way by the magnet pump 2. The cleaning liquid L sent to the shower nozzle 4 is sprayed from the jet nozzle (not shown) of the shower nozzle 4 toward the plate-like product 9 that is conveyed in the right direction in the drawing below the shower nozzle 4. 9 surfaces are cleaned. The reason why the plurality of filters 3 are attached in parallel is that each filter 3 can be individually replaced without stopping the supply of the cleaning liquid L to the shower head 4. A drain pipe 11 is connected to each filter in order to remove air when the filter 3 is replaced.

このような液体供給装置において、大きな製品を洗浄する場合には洗浄液Ｌの噴射量を多くし、小さな製品を洗浄する場合には洗浄液Ｌの噴射量を少なくする。この洗浄液Ｌの噴射量を少なくしたときに、マグネットポンプ２の吐出流量が所定値未満となることがある。すると、マグネットポンプ２の電動モータに過負荷が掛かり安全装置が働いて電源が落ちてしまう。 In such a liquid supply apparatus, when a large product is washed, the spray amount of the cleaning liquid L is increased, and when a small product is washed, the spray amount of the cleaning liquid L is decreased. When the injection amount of the cleaning liquid L is reduced, the discharge flow rate of the magnet pump 2 may become less than a predetermined value. Then, an overload is applied to the electric motor of the magnet pump 2 and the safety device is activated to turn off the power.

かかる問題を解決するためには、複数種類のマグネットポンプを用意し、洗浄液の吐出量に合わせて、使用するマグネットポンプを切り換える方策が考えられるが、複数のマグネットポンプの購入費や設置場所などの点で現実的ではない。
特開２００１−２６９６０８号公報（特許請求の範囲、（００５１）、図６） To solve this problem, it is possible to prepare multiple types of magnet pumps and switch the magnet pump to be used according to the discharge amount of the cleaning liquid. Not realistic in terms.
JP 2001-269608 A (Claims, (0051), FIG. 6)

本発明はこのような従来の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、吐出量が少量の場合であってもマグネットポンプのモータに過負荷が生じることなく液体を供給きる液体供給装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of such conventional problems, and an object of the present invention is to provide a liquid supply apparatus that can supply liquid without overloading the motor of the magnet pump even when the discharge amount is small. Is to provide.

本発明によれば、液体を貯留するタンクと、マグネットポンプと、液体が吐出される吐出部と、タンクとマグネットポンプとを結ぶ供給配管と、マグネットポンプと吐出部とを結ぶ吐出配管と、吐出配管から分岐してタンクに接続する循環配管とを備えたことを特徴とする液体供給装置が提供される。 According to the present invention, a tank for storing liquid, a magnet pump, a discharge part for discharging liquid, a supply pipe connecting the tank and the magnet pump, a discharge pipe connecting the magnet pump and the discharge part, and a discharge There is provided a liquid supply apparatus comprising a circulation pipe branched from a pipe and connected to a tank.

ここで、液体中の異物や気泡を取り除く観点から、吐出配管の、マグネットポンプと配管分岐部との間にフィルタを設けるのが好ましい。 Here, from the viewpoint of removing foreign substances and bubbles in the liquid, it is preferable to provide a filter between the magnet pump and the pipe branching portion of the discharge pipe.

本発明の液体供給装置では、マグネットポンプと吐出部とを結ぶ吐出配管から、循環配管を分岐させてタンクに接続させたので、循環配管への液体流量を調整することによって、マグネットポンプの吐出量を一定としたまま吐出部からの液体吐出量を自由に設定することこができる。これにより、吐出部からの液体吐出量を少なくしたときでも、マグネットポンプの吐出流量は所定値以上を維持できるので、マグネットポンプのモータに過負荷が掛かることがない。 In the liquid supply apparatus of the present invention, since the circulation pipe is branched from the discharge pipe connecting the magnet pump and the discharge section and connected to the tank, the discharge amount of the magnet pump can be adjusted by adjusting the liquid flow rate to the circulation pipe. It is possible to freely set the amount of liquid discharged from the discharge unit while keeping the value constant. As a result, even when the liquid discharge amount from the discharge unit is reduced, the discharge flow rate of the magnet pump can be maintained at a predetermined value or more, so that the magnet pump motor is not overloaded.

また、吐出配管の、マグネットポンプと配管分岐部との間にフィルタを設けると、マグネットポンプとタンクとの間を循環する液体がフィルタを繰り返し通過するようになるので、液体中の異物や気泡がより確実に除去される。 Also, if a filter is installed between the magnet pump and the pipe branch of the discharge pipe, the liquid that circulates between the magnet pump and the tank will repeatedly pass through the filter. More reliably removed.

以下、本発明の液体供給装置について図に基づいて説明する。なお、本発明はこれらの実施形態に何ら限定されるものではない。 Hereinafter, the liquid supply apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings. The present invention is not limited to these embodiments.

図１は、本発明の液体供給装置の一例を示す概略構成図である。図１の液体供給装置は、レジスト剥離液Ｌを基板９に噴射して、基板９上に付着しているレジスト（不図示）を除去するものである。レジスト剥離液（液体）Ｌはタンク１に貯留され、供給配管６を通してマグネットポンプ２に供給される。供給されたレジスト剥離液Ｌはマグネットポンプ２によって吐出配管７を通してシャワーヘッド（吐出部）４に送られ、シャワーヘッド４の噴出口（不図示）から基板９に向かって噴射される。 FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a liquid supply apparatus of the present invention. The liquid supply apparatus in FIG. 1 ejects a resist stripping solution L onto the substrate 9 to remove the resist (not shown) adhering to the substrate 9. The resist stripping liquid (liquid) L is stored in the tank 1 and supplied to the magnet pump 2 through the supply pipe 6. The supplied resist stripping solution L is sent to the shower head (discharge unit) 4 through the discharge pipe 7 by the magnet pump 2, and is sprayed from the outlet (not shown) of the shower head 4 toward the substrate 9.

吐出配管７にはフィルタ３が取り付けられている。このフィルタ３によってレジスト剥離液Ｌの異物や気泡が除去される。この図の装置ではフィルタ３は吐出配管７に設けられているが、供給配管６にフィルタ３を設けても構わない。ただし、マグネットポンプ２から生じる異物や気泡をも取り除くためには、フィルタ３は吐出配管７に設けるのが好ましい。 A filter 3 is attached to the discharge pipe 7. The filter 3 removes foreign matters and bubbles from the resist stripping solution L. In the apparatus of this figure, the filter 3 is provided in the discharge pipe 7, but the filter 3 may be provided in the supply pipe 6. However, in order to remove foreign matters and bubbles generated from the magnet pump 2, the filter 3 is preferably provided in the discharge pipe 7.

吐出配管７の、フィルタ３よりも下流側から循環配管８が分岐している。循環配管８の端部はタンク１に接続され、その途中には弁５が取り付けられている。マグネットポンプ２から吐出されたレジスト剥離液Ｌは、配管分岐部１０において一部はシャワーヘッド４へ供給され、残りはタンク１へ戻される。そして循環配管８に設けられた弁５を調整することによって、マグネットポンプ２の吐出流量を所定値以上に維持したままで、シャワーヘッド４へ送られる流量を任意に調整することができるようになる。これにより、従来問題となっていた、マグネットポンプ２の吐出流量が所定値未満となることによって生じるマグネットポンプ２の電動モータへの過負荷が確実に防止される。 A circulation pipe 8 is branched from the downstream side of the filter 3 in the discharge pipe 7. The end of the circulation pipe 8 is connected to the tank 1, and a valve 5 is attached in the middle thereof. A part of the resist stripping liquid L discharged from the magnet pump 2 is supplied to the shower head 4 in the pipe branching portion 10, and the rest is returned to the tank 1. By adjusting the valve 5 provided in the circulation pipe 8, the flow rate sent to the shower head 4 can be arbitrarily adjusted while maintaining the discharge flow rate of the magnet pump 2 at a predetermined value or more. . Thereby, the overload to the electric motor of the magnet pump 2 which arises when the discharge flow rate of the magnet pump 2 becomes less than a predetermined value, which has been a problem in the past, is reliably prevented.

弁５の調整は手動及び自動のいずれでもよい。弁５を自動調整する場合には、シャワーヘッド４からのレジスト剥離液Ｌの噴射量を流量計など従来公知の検知手段で検知し、噴射量が所望値となるように弁５の開度を制御すればよい。また、この図の装置では弁５は循環配管８に設けられているが、配管分岐部１０から下流の吐出配管７に設けても構わない。 Adjustment of the valve 5 may be either manual or automatic. When the valve 5 is automatically adjusted, the injection amount of the resist stripping liquid L from the shower head 4 is detected by a conventionally known detection means such as a flow meter, and the opening of the valve 5 is adjusted so that the injection amount becomes a desired value. Control is sufficient. Moreover, in the apparatus of this figure, although the valve 5 is provided in the circulation piping 8, you may provide in the discharge piping 7 downstream from the piping branch part 10. FIG.

図１の液体供給装置では、吐出配管７と循環配管８に流れる液体流量を弁５で調整しているが、吐出配管７と循環配管８を流れる液体の流量を調整できる手段であればこれに限定されるものではなく、従来公知の手段を用いることができる。また、図１の液体供給装置ではレジスト剥離液Ｌを供給しているが、これに限定されるものではなく、従来公知の液体を供給することができる。 In the liquid supply apparatus of FIG. 1, the flow rate of the liquid flowing through the discharge pipe 7 and the circulation pipe 8 is adjusted by the valve 5. However, any means capable of adjusting the flow rate of the liquid flowing through the discharge pipe 7 and the circulation pipe 8 is used. It is not limited and a conventionally well-known means can be used. Moreover, although the resist stripping liquid L is supplied in the liquid supply apparatus of FIG. 1, it is not limited to this, A conventionally well-known liquid can be supplied.

本発明の液体供給装置の他の実施形態を図２に示す。図１の液体供給装置と異なる点は、複数のフィルタ３ａ，３ｂ，３ｃを吐出配管７に並列に取り付けた点にある。これによりシャワーヘッド４へのレジスト剥離液Ｌの供給を止めることなくフィルタ交換が行える。なお、フィルタ交換の際のエアー抜きは従来はドレイン配管１１（図３に図示）を用いて行われていたが、この図の液体供給装置では、エアー抜き時のレジスト剥離液Ｌを循環配管８を通してタンク１に戻すことによりエアー抜きを行う。 Another embodiment of the liquid supply apparatus of the present invention is shown in FIG. The difference from the liquid supply apparatus of FIG. 1 is that a plurality of filters 3 a, 3 b, 3 c are attached to the discharge pipe 7 in parallel. As a result, the filter can be replaced without stopping the supply of the resist stripping solution L to the shower head 4. In the meantime, air removal at the time of filter replacement has been conventionally performed using the drain pipe 11 (shown in FIG. 3). However, in the liquid supply apparatus shown in FIG. The air is vented by returning to the tank 1 through.

（実施例１）
図２の液体供給装置におけるマグネットポンプの電流値および動力を測定した。なお、使用したマグネットポンプの最小吐出流量は２００〜２２０Ｌ／ｍｉｎであり、測定時のマグネットポンプの吐出流量は２４０Ｌ／ｍｉｎであった。そして、シャワーヘッドから１８０Ｌ／ｍｉｎのレジスト剥離液を噴出させ、６０Ｌ／ｍｉｎは循環配管を通して循環させた。結果を表１に示す。 Example 1
The current value and power of the magnet pump in the liquid supply apparatus of FIG. 2 were measured. In addition, the minimum discharge flow rate of the used magnet pump was 200-220 L / min, and the discharge flow rate of the magnet pump at the time of measurement was 240 L / min. Then, a resist stripping solution of 180 L / min was ejected from the shower head, and 60 L / min was circulated through a circulation pipe. The results are shown in Table 1.

（比較例１）
図３の液体供給装置を用い、シャワーヘッドからのレジスト剥離液の噴出量を実施例１と同じ１８０Ｌ／ｍｉｎとするため、マグネットポンプの吐出流量を１８０Ｌ／ｍｉｎとした以外は、実施例１と同じ条件でマグネットポンプの電流値および動力を測定した。結果を表１に合わせて示す。 (Comparative Example 1)
Using the liquid supply apparatus of FIG. 3, the amount of the resist stripping liquid ejected from the shower head is 180 L / min, which is the same as that of Example 1, so that the discharge flow rate of the magnet pump is 180 L / min. The current value and power of the magnet pump were measured under the same conditions. The results are shown in Table 1.

表１から明らかなように、実施例１の装置では、最小吐出流量を超える流量のレジスト剥離液をマグネットポンプから吐出させながら、所定の噴出量を超える分は循環させるようにしたので、マグネットポンプの電流値は９．１Ａ、動力は２．４ｋＷと仕様範囲内であった。これに対し、比較例１の装置では、レジスト剥離液のマグネットポンプからの吐出量がそのままシャワーヘッドからの噴出量となるため、マグネットポンプの吐出量を最小吐出流量以下とした。このため、マグネットポンプの電流値は１３．１Ａ、動力は３．５ｋＷと仕様範囲を超える値となった。 As is apparent from Table 1, in the apparatus of Example 1, the resist stripping liquid having a flow rate exceeding the minimum discharge flow rate was discharged from the magnet pump, and the portion exceeding the predetermined ejection amount was circulated. The current value was 9.1 A, and the power was 2.4 kW, which was within the specification range. On the other hand, in the apparatus of Comparative Example 1, since the discharge amount of the resist stripping solution from the magnet pump is directly used as the discharge amount from the shower head, the discharge amount of the magnet pump is set to the minimum discharge flow rate or less. For this reason, the current value of the magnet pump was 13.1 A, and the power was 3.5 kW, which exceeded the specification range.

本発明の液体供給装置の一例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the liquid supply apparatus of this invention. 本発明の液体供給装置の他の例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the other example of the liquid supply apparatus of this invention. 従来の液体供給装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the conventional liquid supply apparatus.

Explanation of symbols

１タンク
２マグネットポンプ
３フィルタ
３ａ，３ｂ，３ｃフィルタ
４シャワーヘッド（吐出部）
５弁
６供給配管
７吐出配管
８循環配管
１０配管分岐部
Ｌレジスト剥離液（液体） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Tank 2 Magnet pump 3 Filter 3a, 3b, 3c Filter 4 Shower head (discharge part)
5 Valve 6 Supply piping 7 Discharge piping 8 Circulation piping 10 Piping branch L Resist stripping solution (liquid)

Claims

A tank that stores liquid, a magnet pump, a discharge part that discharges liquid, a supply pipe that connects the tank and the magnet pump, a discharge pipe that connects the magnet pump and the discharge part, and a tank branched from the discharge pipe And a circulation pipe connected to the liquid supply device.

The liquid supply apparatus according to claim 1, wherein a filter is provided between the magnet pump and the pipe branch portion of the discharge pipe.